KR20140008266A

KR20140008266A - 냉각 유체의 유독성 가스 누설 차단장치를 구비한 반도체 공정 설비용 칠러

Info

Publication number: KR20140008266A
Application number: KR1020130081252A
Authority: KR
Inventors: 임남경
Original assignee: 김남원
Priority date: 2012-07-11
Filing date: 2013-07-10
Publication date: 2014-01-21

Abstract

본 발명은 반도체 공정 설비용 칠러에 관한 것으로, 보다 상세하게는 이차 냉매의 산화에 의하여 발생하는 유독성 가스를 감지하고 누설을 차단하기 위한 수단을 구비한 반도체 공정 설비용 칠러에 관한 것이다.
본 발명에 따른 칠러는, 공정설비의 냉각 유체를 수용하기 위한 냉각 유체 탱크와, 냉매와 냉각 유체의 열교환을 위한 증발기를 구비한다. 맹독성 냉각 유체를 수용하는 냉각 유체 탱크의 상부에는 냉각 유체 탱크 내부의 공기가 외부와 통하도록 하기 위한 벤트 홀이 형성되어 있다. 또한, 벤트 홀에는 냉각 유체 탱크의 공기가 외부와 통하는 것을 개폐하기 위한 밸브가 설치되어 있다. 또한, 냉각 유체 탱크나 탱크에서 연장된 배관의 단부에는 불산 감지센서가 설치되어 있고, 불산 감지센서는 냉각 유체 탱크의 내부에 냉각 유체가 산화되어 형성된 불산 증기(또는 가스)를 감지한다. 또한, 본 발명에 따른 칠러는 불산 감지센서의 감지신호가 설정치 이상인 경우에 상기 밸브를 차단하도록 되어 있다.
본 발명에 따른 칠러는 냉각 유체가 산화되어 발생하는 맹독성의 불산 가스가 냉각 유체 탱크로부터 누설되는 것을 사전에 차단하여 작업자와 고가의 공정설비를 보호할 수 있다.

Description

냉각 유체의 유독성 가스 누설 차단장치를 구비한 반도체 공정 설비용 칠러{CHILLER FOR PROCESS EQUIPMENT HAVING LEAKAGE BLOCKING MEANS OF TOXIC GAS OF TOXIC GAS COOLING FLUID}

본 발명은 반도체, FPD, LED 등의 공정 설비용 칠러에 관한 것으로, 보다 상세하게는 이차 냉매의 산화에 의하여 발생하는 유독성 가스를 감지하고 누설을 차단하기 위한 수단을 구비한 반도체, FPD, LED 등의 공정 설비용 칠러에 관한 것이다.

반도체 소자는 웨이퍼 상에 포토리소그래피, 화학 또는 물리적 증착 및 플라즈마 에칭 등과 같은 일련의 반도체 공정을 수행하여 제조된다. 상기와 같은 일련의 반도체 공정을 거쳐서 제조되는 반도체 소자의 품질은 웨이퍼의 품질과 반도체 공정 제어의 정밀도에 의하여 결정된다. 반도체 공정 제어의 변수 중에 중요한 변수의 하나로 웨이퍼 표면의 온도가 있다. 웨이퍼의 표면온도가 균일하지 못한 경우 웨이퍼 표면의 식각률 등이 달라져서 불량이 발생한다. 따라서 웨이퍼 표면의 온도를 균일하게 제어할수록 보다 고품질의 반도체 소자를 제조할 수 있게 된다. 웨이퍼의 표면온도 조절은 웨이퍼가 장착되는 웨이퍼 척의 온도를 조절함에 의해 수행된다. 웨이퍼 척과 같은 반도체 공정 설비의 온도 조절을 위한 장치를 통상적으로 칠러(Chiller)라고 한다. 칠러는 반도체 제조공정뿐만 아니라, FPD의 제조 공정에도 많이 사용되고 있다.

칠러는 통상적으로 반도체 공정 설비에 냉각 유체를 순환시켜서 공정설비의 온도를 제어하기 위한 냉각 사이클과(냉각 유체 사이클), 냉각 유체의 온도를 제어하기 위한 냉각 사이클(냉매 사이클)을 구비한다. 또한, 칠러는 냉각 유체의 냉각 목표 온도에 따라서 저온용 칠러와 고온용 칠러로 구별된다. 저온용 칠러는 통상적으로 프레온 가스를 이용하거나 열전소자를 이용하여 냉각 유체를 냉각하고, 고온용 칠러는 공정 냉각수나 외기 공기를 이용하여 냉각 유체를 냉각한다.

공정설비를 냉각하기 위한 냉각 유체와 냉각 유체를 냉각하기 위한 공정 냉각수는 열교환기(통상 증발기)에서 열 교환을 한다. 냉각 유체는 냉각 유체 탱크에 저장되어 있고, 냉각 유체 펌프에 의하여 공정설비와 냉각 유체 탱크와 증발기를 순환하도록 배관으로 연결되어 있다.

냉각 유체는 통상적으로 불소용액(상품명 GALDEN(R) SV,HT, ZT, 제조사 SOLVAY SOLEXIS S.p.a. 또는 상품명 HFE 3M Novec Engineered Fluid, FC 3M Fluorinert, 제조사 3M)을 사용한다. 냉각 유체(불소용액)는 열 및 화학적 노출이 장기간 지속될 시 맹독성으로 변질되며 이는 인체에 대단히 해롭다. 냉각 유체는 정상 운전 중일 경우 유체 펌프에 의하여 밀폐계를 이루어 순환하므로 무취이거나 냄새가 매우 약하여, 냄새나 색깔로 용이하게 운전 중인 냉각 유체의 변질 여부를판단하기가 어렵다.

칠러의 냉각 유체는 설비의 오동작, 작업자의 실수, 불순물의 혼입, 장시간 고온상태에서의 사용 등으로 산화되면, 심한 악취와 함께 맹독성의 가스(불산 등)가 발생하는 경우가 있다. 맹독성의 불산 가스는 배관이나 O-링과 같은 배관재의 침식할 뿐만 아니라, 누설될 경우 인체에 치명적인 손상을 가하게 된다.

그러나 종래의 칠러에는 냉각 유체가 산화(화학적 열적으로 손상되어)하였을 경우 이의 누설을 차단하기 위한 안전장치가 구비되어 있지 않다. 따라서, 칠러가 사용되는 환경에서 작업하는 작업자와 고가 설비의 안전을 위협하고 있다.

본 발명은 칠러의 냉각 유체의 산화로 인해 발생되는 독성가스(불산 등)를 감지하고, 이의 누설을 사전에 차단할 수 있는 안전 수단을 구비한 칠러를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명에 따른 칠러는, 공정설비의 냉각 유체를 수용하기 위한 냉각 유체 탱크와, 냉각 유체를 가열하기 위한 히터와, 냉각 유체와 열교환을 위한 열교환기 를구비한다. 맹독성 냉각 유체를 수용하는 냉각 유체 탱크의 상부에는 냉각 유체 탱크 내부의 공기가 외부와 통하도록 하기 위한 벤트 홀이 형성되어 있다. 또한, 벤트 홀에는 냉각 유체 탱크의 공기가 외부와 통하는 것을 개폐하기 위한 밸브가 설치되어 있다. 일실시예에 있어서, 냉각 유체 탱크에 유독가스 감지센서가 설치될 수 있다. 유독가스 감지센서는 냉각 유체 탱크의 내부에 냉각 유체가 산화되어 형성된 유독 가스를 감지한다. 또한, 본 발명에 따른 칠러는 유독가스 감지센서의 감지신호가 설정치 이상인 경우에 히터의 작동을 정지시키도록 되어 있다. 히터의 작동을 정지시켜서, 유독 가스가 더 발생하는 것을 사전에 차단한다. 또한, 본 발명에 따른 칠러는 유독가스 감지센서의 감지신호가 설정치 이상인 경우에 밸브를 차단하여 유독가스가 대기로 유출되는 것을 방지하도록 되어 있다. 또한, 본 발명에 따른 칠러는 유독가스 감지센서의 감지신호가 설정치 이상인 경우에 알람을 표시하여 작업자가 대피하거나 조치를 취할 수 있도록 한다.

다른 실시예에 있어서, 본 발명에 따른 공정 설비용 칠러는, 상기 냉각 유체 탱크의 상부에 형성된 벤트 홀에서 연장된 배관과, 상기 배관에 설치되어 배관을 통한 가스의 흐름을 개폐하기 위한 밸브와, 상기 배관의 말단에 근접하게 설치된 독성가스 감지센서를 더 포함하고, 상기 제어기는 상기 독성가스 감지센서의 감지신호를 입력받아 감지신호가 설정치 이상인 경우에 상기 히터의 작동을 중지하도록 구성할 수 있다. 또한, 상기 제어기는 상기 독성가스 감지센서의 설정치 이상의 감지신호가 일정시간 이상 지속될 경우에 상기 히터의 작동을 중지하도록 구성하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 히터의 상부에 설치된 레벨 센서를 더 포함하고, 상기 제어기는 레벨센서의 신호가 동작 이상 등으로 불분명하여 정해진 레벨 이하인 경우 상기 히터의 동작을 정지하도록 하는 보완기능을 수행할 수도 있다. 상기 독성가스 감지센서는 불산 감지센서일 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 칠러에 있어서, 상기 밸브는 전자 제어되는 상시 폐쇄(Normal closed) 형식의 밸브를 사용하고, 유독가스 감지센서의 감지신호가 설정치 미만인 경우에는 개방된 상태를 유지하고, 감지신호가 설정치 이상인 경우에 밸브를 차단하도록 하는 것이 바람직하다. 또한, 본 발명에 따른 칠러에 있어서, 열교환기를 냉각 유체 탱크의 내부에 설치하거나 외부에 설치할 수도 있다.

본 발명에 따른 칠러는 냉각 유체가 산화되어 발생하는 맹독성의 불산 가스를 사전에 감지하고, 히터의 작동을 정지시켜서 유독가스가 계속 발생하는 것을 차단하고, 밸브를 폐쇄하여 냉각 유체 탱크로부터 누설되는 것을 차단하여 주변 작업자와 고가의 공정설비를 보호할 수 있다. 또한, 불산 감지 센서는 냉각 유체 탱크의 불산의 발생량을 실시간으로 감지하고, 외부로 감지된 정보를 전송하여 냉각 유체의 작동 온도에 따른 불산의 발생량을 실시간으로 모니터링 할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 칠러의 제1 실시예의 개략도
도 2는 본 발명에 따른 칠러의 제2 실시예의 개략도
도 3은 본 발명에 따른 칠러의 제3 실시예의 개략도
도 4는 본 발명에 따른 칠러에서 3M의 FC-3283을 냉각유체로 사용한 경우 발생한 불산 가스의 농도 그래프
도 5는 본 발명에 따른 칠러에서 3M의 FC-40을 냉각유체로 사용한 경우 발생한 불산 가스의 농도 그래프
도 6은 본 발명에 따른 칠러에서 SOLVAY의 HT-170을 냉각유체로 사용한 경우 발생한 불산 가스의 농도 그래프

이하에서는 첨부의 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 칠러(100)의 제1 실시예의 개략도이다. 본 실시예의 칠러는 공정설비(10)를 냉각시키기 위한 것으로, 공정설비는 웨이퍼에 증착을 하기 위한 설비나 식각을 위한 설비가 대표적이나 다른 공정 설비가 될 수도 있다. 냉각 유체 저장 탱크(20)에 저장된 냉각 유체(22)는 냉각 유체 펌프(30)에 의하여 냉각 유체배관(12)을 통하여 설비(10)와 냉각유체 저장탱크(20)를 순환한다. 냉각 유체 저장 탱크(20)의 내부에 증발기(40)가 수용되어 있다. 냉각유체(20)는 산화되었을 시 인체에 상당히 위험한 불소용액(상품명 GALDEN(R) SV, HT, ZT 제조사 SOLVAY SOLEXIS S.p.a. 또는 상품명 HFE 3M Novec Engineered Fluid, FC 3M Fluorinert 제조사 3M)으로, 고온으로 가열되면 열분해 되거나 화학적 산화과정을 거쳐서 불산(HF)을 생성한다.

냉각 유체 저장탱크(20)의 외부에는 응축기(50)가 설치되어 있고, 압축기(54)에 의하여 압축된 냉매가 응축기(50)를 통하여 응축되고, 팽창밸브(56)에서 팽창되어 증발기(40)에서 증발되어 순환되도록 배관(52)으로 연결되어 있다. 응축기(50)는 냉매 배관(54)을 통하여 순환하는 또 다른 냉매에 의하여 냉각된다.

냉각 유체 탱크(20)의 상부에는 벤트 홀(27)이 형성되어 있다. 또한, 벤트홀(27)에 연결된 배관에는 전자밸브(26)가 설치되어 있다. 전자밸브(26)는 상시 개방(NORMAL OPEN) 형식의 전자밸브를 사용할 수도 있으나, 상시 폐쇄(NORMAL CLOSED) 형식의 밸브를 사용하는 것이 바람직하다. 냉각 유체 탱크(20)의 상부에는 또한 불산감지센서(24)가 설치되어 있다. 불산감지센서(24)는 유체상태의 불산을 감지하는 것이 아니라 가스(GAS)나 증기(FUME) 상태의 불산을 감지하는 센서로, 상품화된 것을 사용한다. 불산감지센서(24)는 실시간으로 불산의 발생량(농도)를 감지하여 제어기(60)로 전송한다. 제어기(60)는 감지신호가 설정치 이상인 경우에는 히터(28)의 동작을 차단하고, 전자밸브(26)를 차단하기 위한 신호를 출력하고, 설정치 미만인 경우에는 전자밸브(26)를 개방시키기 위한 신호를 출력하도록 되어 있다.

이하에서는 도1에 도시된 실시예의 칠러의 작동에 대하여 설명한다. 제어기(60)는 펌프(30)와, 히터(28)와, 램프(61)와, 전자밸브(26)의 동작을 제어한다. 또한, 불산감지센서(24)는 제어기(60)에 연결되어 불산 가스의 농도를 측정하여 제어(60)기로 전송한다. 냉각유체(22)는 냉각유체 배관(12)에 설치된 펌프(30)에 의하여 가압되어 공정설비(10)에서 가열된 후에 냉각유체탱크(20)로 복귀되고, 냉각유체탱크(20)의 내부에 설치된 증발기(40)에서 냉각된다. 불산감지센서(24)의 감지신호가 정해진 설정치 이하로 감지되면, 칠러(100)가 정상적으로 작동하고 있는 경우에 해당하므로, 제어기(60)는 냉각 유체탱크(20)에 과도한 압력이 걸리지 않도록 벤트 홀(27)을 개방하기 위하여 전자밸브(26)에 개방신호를 출력한다. 냉매 사이클에서 압축기(54)는 프레온 가스와 같은 냉매를 압축하고, 압축된 냉매는 응축기(50)에서 응축되고 팽창밸브(56)를 통하여 증발기(40)에서 냉각 유체(22)의 열을 흡수하여 냉각시키고 냉매배관(52)을 통하여 순환된다.

칠러(100)에 고장이 발생하거나 작업자가 조작을 잘못하여, 불소용액을 사용하는 냉각 유체(22)가 발열체들(히터(28), 공정설비(10), 펌프(30))에 의해 과도하게 가열이 되거나 불소용액에 불순물이 섞인 경우, 냉각 유체(22)의 분해된 불소와 수소가 반응하여 생성된 불산 가스가 냉각 유체 탱크(20)의 내부에 모이게 된다. 이때, 제어기(60)는 불산감지센서(24)의 감지신호가 정해진 설정치 이상이 되면 히터(28)의 작동을 정지시켜서 독성 가스가 계속 발생하는 것을 정지시킨다. 동시에 제어기(60)는 램프(61)를 작동시켜서, 작업자가 이상을 감지하고 대피하거나 문제를 해결하도록 표시한다. 램프(61) 대신에 부저를 사용할 수도 있다. 또한, 탱크(20) 내부에서 생성된 불산 가스가 대기로 유출되는 것을 차단하기 위하여 전자밸브(26)를 폐쇄하도록 전자밸브(26)에 폐쇄 신호를 출력한다. 전자밸브(26)는 폐쇄신호에 의하여 벤트홀(27)을 폐쇄하고, 불산 가스가 대기로 유출되는 것을 차단한다. 또한, 전자밸브(26)는 폐쇄 형식의 밸브를 사용하므로, 전원의 공급이 중단되거나 불산감지센서(24)가 고장 난 경우와 같은 비상시에는 벤트 홀(27)을 차단하도록 되어 있어서 안전하다.

도 2에는 본 발명에 따른 칠러의 다른 실시예가 도시되어 있다. 본 실시예의 칠러(200)가 도 1에 도시된 실시예의 칠러(100)와 다른 점은 증발기(40)가 냉각 유체 탱크(20)의 외부에 배치된 점이다.

도 3에는 본 발명에 따른 칠러의 다른 실시예가 도시되어 있다. 본 실시예의 칠러(200)가 도 1에 도시된 실시예의 칠러(100)와 다른 점은 불산감지센서(24)가 유체 탱크(20)의 상부에 설치되어 있지 않고, 벤트홀(27)에 연결된 배관(27-2)의 상부에 설치된 점이다. 불산감지센서(24)를 유체 탱크(20)에 설치할 경우, 온도와 습도의 변화에 따라서 센서의 감지 정밀도가 떨어지고, 부식이 발생하여 수명이 짧아지는 단점이 있다. 배관(27-2)으로부터 불산감지센서(24)를 일정거리 이격하여 배치한다. 불산감지센서(24)의 이격 거리(d)가 너무 까갑거나 멀면 불산 감지 능력이 떨어지므로, 적당한 거리 예를 들면 1 - 30 mm 범위에 위치하도록 배치하는 것이 좋다. 또한, 배관(27-2)은 직경이 3 - 12 mm 범위의 것을 사용하는 것이 바람직하다. 제어기(60)는 예를 들면 농도 3 ppm 이상의 불산 가스가 일정시간 이상 검출하면, 램프(61)를 점등하도록 경보를 출력하고 칠러의 운전이 정지되도록 제어한다.

또한, 유체 탱크(20)의 히터(28) 상부에 레벨 센서(29)를 설치하고, 레벨센서(29)의 레벨 측정 값을 제어기(60)에서 입력받도록 한 점이다. 유체탱크(20) 내의 유체의 레벨이 히터(28)가 노출될 정도록 낮아진 경우, 유독 가스가 급속히 대량 발생한다. 제어기(60)는 유체의 레벨이 레벨 센서가 설치된 위치 이하로 낮아질 경우 유독가스가 급속히 대량으로 발생하게 되기 때문에, 칠러의 운전이 정지되도록 제어한다.

도 4는 본 발명에 따른 칠러에서 3M의 FC-3283을 냉각유체로 사용한 경우 발생한 불산 가스의 농도 그래프이다. 히터를 일정시간 고온으로 할 경우 FC-3283 냉각유체는 짧은 시간 동안 산화되어 HF 가스가 발생하고 안정한 상태로 복귀되는 특성을 보인다. 도 5는 본 발명에 따른 칠러에서 3M의 FC-40을 냉각유체로 사용한 경우 발생한 불산 가스의 농도 그래프이다. FC-40 냉각유체는 FC-3283보다 장시간 HF 가스가 발생하여 복귀가 늦으며, 독한 냄새가 나는 특성이 있다. 또한, 도 6은 본 발명에 따른 칠러에서 SOLVAY의 HT-170을 냉각유체로 사용한 경우 발생한 불산 가스의 농도 그래프이다. HT-170 냉각 유체는 히터의 가열은 멈춘 후에도 계속하여 HF 가스가 발생하고 독한 냄새가 나는 특성이 있다. 따라서, 제어기는 사용하는 냉각 유체의 특성에 따라서 제어를 달리하여야 한다. 예를 들면, FC-3283 냉각 유체의 경우에는 일시적으로 HF가 발생한 후에 복귀하는 특성이 있으므로, 일정시간 이상 유독 가스의 발생을 모니터링할 필요가 있다. 또한, HT-170 냉각 유체는 일단 유독 가스가 검출되면 즉시 히터의 작동을 정지할 필요가 있다.

이상에서는 본 발명의 실시 예를 중심으로 설명하였지만, 당업자의 수준에서 다양한 변경이나 변형을 가할 수 있음은 물론이다. 예를 들어, 프레온 가스 대신에 공정 냉각수나 공기를 냉매로 사용하거나 열전소자(Thermo-Electric Module)를 이용하여 냉각 유체를 냉각할 수 있다. 이 경우에는 압축기(54)와 팽창밸브(56)를 사용할 필요가 없다. 대신에 배관(52)에 공정 냉각수를 통하거나 열전소자를 추가로 설치하고, 응축기(50) 대신에 열교환기를 설치하여 칠러를 구성할 수 있다. 따라서, 본 발명의 보호범위는 상기의 실시 예에 한정되어 해석되어서는 안 되며 이하에 기재된 특허청구범위에 의해서 해석되어야 한다.

10 공정설비
20 냉각 유체 탱크
28 히터
30 펌프
40 증발기
50 응축기
60 제어기

Claims

공정설비의 냉각 유체를 수용하기 위한 냉각 유체 탱크와, 냉각 유체를 가열하기 위한 히터와, 냉각 유체와 열교환을 위한 열교환기와, 제어기를 구비한 공정 설비용 칠러에 있어서,
상기 냉각 유체 탱크의 상부에 형성된 벤트 홀에서 연장된 배관과,
상기 배관에 설치되어 배관을 통한 가스의 흐름을 개폐하기 위한 밸브와,
상기 배관의 말단에 근접하게 설치된 독성가스 감지센서를 더 포함하고,
상기 제어기는 상기 독성가스 감지센서의 감지신호를 입력받아 감지신호가 설정치 이상인 경우에 상기 히터의 작동을 중지하도록 된 것을 특징으로 하는 공정 설비용 칠러.
제1항에 있어서,
상기 제어기는 상기 독성가스 감지센서의 설정치 이상의 감지신호가 일정시간 이상 지속될 경우에 상기 히터의 작동을 중지하도록 된 것을 특징으로 하는 공정 설비용 칠러.
제2항에 있어서,
상기 밸브는 상시 폐쇄 형식의 밸브이고,
상기 제어기는, 독성가스 감지센서의 감지신호가 설정치 미만인 경우에는 밸브를 개방된 상태로 유지하고, 감지신호가 설정치 이상인 경우에 밸브를 차단하도록 된 것을 특징으로 하는 공정 설비용 칠러.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 히터의 상부에 설치된 레벨 센서를 더 포함하고,
상기 제어기는 레벨센서의 신호가 정해진 레벨 이하인 경우 상기 히터의 동작을 정지하도록 된 것을 특징으로 하는 공정 설비용 칠러.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 열교환기는 상기 냉각 유체 탱크의 내부에 설치된 것을 특징으로 하는 공정 설비용 칠러.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 열교환기는 상기 냉각 유체 탱크의 외부에 설치된 것을 특징으로 하는 공정 설비용 칠러.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 독성가스 감지센서는 불산 감지센서인 것을 특징으로 하는 공정 설비용 칠러.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
경보용 램프를 더 포함하고,
상기 제어기는 상기 독성가스 감지센서의 감지신호가 설정치 이상인 경우에 상기 램프를 점등하도록 된 것을 특징으로 하는 공정 설비용 칠러.
공정설비의 냉각 유체를 수용하기 위한 냉각 유체 탱크와, 냉각 유체를 가열하기 위한 히터와, 냉각 유체와 열교환을 위한 열교환기와, 제어기를 구비한 공정 설비용 칠러에 있어서,
상기 냉각 유체 탱크에 설치된 독성가스 감지센서를 더 포함하고,
상기 냉각 유체 탱크의 상부에는 벤트 홀이 형성되어 있고, 상기 벤트 홀을 개폐하기 위한 밸브를 더 포함하고, 상기 밸브는 상시 폐쇄 형식의 밸브이고,
상기 제어기는, 상기 독성가스 감지센서의 감지신호를 입력받아 감지신호가 설정치 이상인 경우에 상기 히터의 작동을 중지하고, 독성가스 감지센서의 감지신호가 설정치 미만인 경우에는 밸브를 개방된 상태로 유지하고, 감지신호가 설정치 이상인 경우에 상기 밸브를 차단하도록 된 것을 특징으로 하는 공정 설비용 칠러.