KR20130138194A - 관성적으로 제어되는 누출 보상 밸브를 가지는 멤브레인 펌프 - Google Patents

Abstract

본 발명은 멤브레인(1)에 의해 펌핑챔버(9)와 분리되는 유체 챔버(8)를 가지고, 상기 펌핑챔버(9)는 각각 흡입연결부 및 압력연결부와 연결되고, 맥동하는 작동 유체 압력이 작동유체로 채워지는 유압챔버에 가해질 수 있고, 상기 유압챔버(8)는 누출 보상 밸브(6)를 통해 작동유체 리저버(15)에 연결되고, 상기 누출 보상 밸브(6)는 압력 요소의 도움으로 닫힘 위치에 고정되고 밸브 게이트가 닫히는 닫힘 위치와 밸브 게이트가 열리는 열림 위치 사이에서 전후진되는 닫힘 몸체를 포함하고, 상기 압력 요소는 유압챔버(8)의 압력이 설정압력(p_L)보다 낮을 때 닫힘몸체(16)가 열림위치의 방향으로 움직이도록 설계되는 멤브레인 펌프에 관한 것이다. 종래 기술의 불리한 점을 극복하거나 저감하는 누출 보상 밸브를 가지는 멤브레인펌프를 제공하기 위해, 본 발명은 0bar로의 압력강하가 발생할 때 닫힘몸체(16)의 질량이 닫힘몸체(16)가 열림 위치 방향으로 기껏해야 0.2mm 만큼 이동하기에 충분히 크게 한 것을 제안한다.

Description

관성적으로 제어되는 누출 보상 밸브를 가지는 멤브레인 펌프{MEMBRANE PUMP HAVING AN INERTIALLY CONTROLLED LEAK EXTENSION VALVE}

본 발명은 누출 보상 밸브를 가지는 멤브레인 펌프 및 누출 보상 밸브를 필요한 크기로 하기(dimensioning) 위한 방법에 관한 것이다.

멤브레인 펌프는 멤브레인에 의해 유압챔버와 분리된 펌핑챔버를 포함하고, 상기 펌핑챔버는 흡입연결부와 압력연결부로 연결된다. 맥동하는 작동유체의 압력은 유압챔버에 작용하고, 유압챔버는 작동유체로 채워진다. 맥동하는 작동유체의 압력은 멤브레인의 맥동운동을 발생시키고, 펌핑 챔버의 체적은 주기적으로 팽창 및 압축된다. 이러한 방식으로 펌핑챔버의 체적이 팽창할 때 펌핑 매개체는 각각의 체크밸브를 통해 펌핑챔버에 연결되는 흡입연결부를 통해 흡입될 수 있고, 펌핑챔버의 체적이 압축될 때 또한 각각의 체크밸브에 의해 펌핑챔버에 연결되는 압력연결부를 통해 압력을 받아 배출된다.

일반적으로 작동유체는 유압오일이다. 그러나, 원칙적으로 다른 적절한 유체, 예를 들어 수용성 광물 보충물이 첨가된 물과 같은 것이 사용될 수 있다.

멤브레인은 구동부(drive)로부터 펌핑되는 매개체를 분리하고, 한편 구동부(drive)는 펌핑 매개체에 의해 생기는 손상으로부터 보호하고, 다른 한편으로 펌핑 매개체는 드라이브에 의해 생기는 예를 들어 오염 등 손상으로부터 보호된다.

맥동하는 작동 유체 압력은 작동유체와 접촉하는 이동가능한 피스톤에 의해 통상적으로 발생된다.

이를 위해, 예를 들어 피스톤이 실린더의 중공요소에서 전후진함으로써 유압챔버의 체적이 팽창 및 압축되고, 그 결과 유압챔버의 압력을 증가 및 감소시키고 결국 멤브레인을 움직인다.

작동유체가 피스톤 주변에서 흘러나오는 것을 방지하기 위한 다양한 수단에도 불구하고, 작동유체의 적은 양이 피스톤과 실린더 중공요소 사이에 존재하는 갭을 통해 각 행정에서 손실되는 것을 막는 것이 실질적으로 불가능하고, 점차적으로 유압챔버의 작동유체의 양이 줄어든다. 멤브레인의 압축운동을 실행하는데 이용가능한 충분한 작동유체가 더이상 없기 때문에 압력 행정이 멤브레인에 의해 더이상 완성되지 않는다는 사실을 초래한다.

예를 들어, DE 1 034 030은 유압챔버를 중계밸브(interposed valve)를 통해, 소위 누출 보상 밸브를 통해 작동유체 리저버로 연결하는 것을 제안한다.

상기 누출 보상 밸브에 의해, 필요한 경우 작동유체가 유압챔버에 첨가될 ㅅ수 있다. 그러나, 이경우 너무 많은 작동유체가 유압챔버로 첨가되어, 멤브레인이 압력 행정 중 펌핑챔버로 너무 멀리 이동하고 어떤 환경 하에서 밸브 또는 다른 컴포넌트와 접촉하여 손상되지 않도록 주의하여야 한다.

이러한 이유로, 누출 보상 밸브는 통상 예를 들어 닫힘 볼의 형태로 이루어진 닫힘 몸체를 포함하고, 이 닫힘 볼은 밸브 게이트가 닫히는 닫힘 위치와 밸브 게이트가 열리는 열림 위치 사이에서 앞뒤로 움직일 수 있다. 이 닫힘 몸체는 압력 요소, 예를 들어 스프링의 도움으로 닫힘 위치로 치우치게 된다. 이 압력 요소는 유압챔버의 압력이 설정압력 p_L 보다 더 낮은 경우에 열림 위치 방향으로 움직이도록 설계되어 있다.

흡입행정 중, 즉 피스톤이 뒤로 움직이는 동안 유압챔버의 압력이 불가피하게 감소하므로, 설정압력 p_L 이 흡입행정 중 어떤 유체도 누출 보상 밸브를 통해 유압챔버로 유입되지 않도록 설정되어야 한다. 누출 보상 밸브는 어떤 작동유체를 통과시켜 피스톤이 거의 움직이지 않을 때 흡입행정의 끝에서 작동유체가 손실될 수 있다.

이 경우 압력행정의 끝에서 펌핑챔버의 압력이 최대가 됨을 주의해야 한다. 이경우 흡입 행정이 시작할 때, 멤브레인은 펌팽챔버의 압력이 흡입연결부에서 정적 압력으로 떨어질 때까지 유압챔버 방향으로 움직인다. 펌핑챔버에서 펌핑 매개체가 흡입연결부를 통해 공급되기 때문에 흡입행정이 계속되면서 압력 펄스, 소위 Joukowsky pulse를 상승시켜 흡입라인의 갑작스런 속도변화를 발생시킨다. 이러한 압력 펄스는 유압챔버에서 높은 주파수의 압력 진동을 야기시킨다.. 유압챔버의 압력은 크게 감소한다.

작동유체가 유압챔버로 유입되도록 이러한 압력펄스의 발생 시 누출 보상 밸브가 열리는 것을 방지하기 위해 상기 설정 압력 p_L 이 충분히 낮게 설정되어야 하고, 이는 누출 보상 밸브의 압력 요소가 상대적으로 크기가 커야한다는 것을 의미한다.

그러나, 종래의 멤브레인 펌프에서 흡입 행정의 끝에서 누출 보상 밸브의 설정 압력 이하로 강하되는 것이 어렵기 때문에 이것은 불리한 점이다. 따라서 유압챔버에 작동유체가 아주 조금 있다면 흡입 행정의 끝에서 누출 보상배브가 실제적으로 열기는 것을 확보하기 위해 적절한 구조적인 수단이 필요하다. 이것은 멤브레인 펌프의 비용을 상승시킨다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 발명한 것으로서, 종래의 불리한 점을 극복하거나 저감하는 누출 보상 밸브를 가진 멤브레인 펌프를 제공하는데 그 목적이 있다.

또한, 본 발명은 종래의 불리한 점을 극복하거나 저감하는 누출 보상 밸브를 필요한 크기로 하기 위한 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 멤브레인 펌프는 전술한 타입의 멤브레인 펌프에 있어서, 유압챔버의 압력펄스로 인해 1ms 이상 지속되지 않는 압력강하가 발생할 때 닫힘몸체의 질량은 닫힘 몸체가 열림 위치의 방향으로 기껏해야 0.2mm만큼 움직이는데 충분히 큰 것이다.

펌핑챔버의 압력이 흡입연결부에서의 압력으로 떨어질 때 발생하는 압력펄스, 소위 Joukowsky pulse는 고주파수, 즉 1ms이하의 시간간격으로 발생한다. 본 발명에 따라 닫힘몸체는 그 질량 및 관성이 충분히 크도록 구성되어, 압력펄스가 발생할 때 관성질량으로 인해, 닫힘몸체가 열림 위치 방향으로 기껏해야 0.2mm만큼 움직일 수 있다. 1ms 이후로 압력은 벌써 다시 올라가서 닫힘몸체의 움직임이 정지된다. 통상적으로 0.2mm이하의 닫힘몸체의 움직임은 작동유체를 위한 갭이 너무 작아 작동유체의 양을 펌핑하여 유압챔버로 이송하기 어렵다.

상기 작은 양이 여전히 불리하면, 바람직한 구현예에서는 유압챔버의 압력펄스로 인해 1ms 이상 지속되지 않는 압력강하가 발생할 때 열림 위치의 방향으로 ㄱ기기껏해야 0.1mm만큼 움직인다.

명확하게는, Joukowsky pulse 때문에 최대 압력펄스는 0bar로의 유압챔버의 압력 강하를 발생시킬 수 있다. 닫힘몸체의 질량의 계산예는 그 이하로 제공된다.

사실, 압력펄스에도 불구하고 유압챔버의 압력은 0bar로 떨어지지 않고 최소압력 p_min 으로 떨어질 것이다. 이 최소압력 p_min 은 예를 들어 펌프 흡입 연결부에서의 정적압력, 피스톤의 위치 및 유압챔버 및 펌핑챔버의 체적과 같은 공정 파라미터에 따라 다르다.

종래기술에서 설정압력 p_L 은 통상 p_min 이하이지만, 바람직한 구현예에서, p_L 은 p_min 보다 더 크다. 따라서 누출 보상 밸브의 리턴스프링은 더 작게 만들어지며, 펌프의 작동을 용이하게 한다.

멤브레인 펌프의 누출 보상 밸브를 필요한 크기로 하기 위한 방법에 관하여, 상기한 목적을 이루기 위해 1ms 이상 지속되지 않는 압력강하가 유압챔버의 압력펄스로 인해 발생할 때 닫힘몸체가 열림 위치에서 열림위치의 방향으로 기껏해야 0.2mm, 바람직하게는 0.1mm 만큼 움직이도록 닫힘몸체가 선택되는 것을 제공한다.

또한 본 발명의 이점, 특징 및 가능한 적용은 바람직한 구현예의 이하 설명및 도면으로부터 분명하여질 것이다:
도 1은 종래 기술의 멤브레인 펌프의 부분 단면도이고;
도 2는 흡입 행정 중 유압 챔버에서 압력 프로파일이고; 및
도 3은 본 발명의 일 구현예에 따른 누출 보상 밸브의 단면도이다.

도 1은 멤브레인 펌프의 본질적인 부분을 보여주는 부분 단면도이다. 상기 멤브레인 펌프는 멤브레인(1)을 포함하고, 멤브레인은 유압 챔버(hydraulic chamber;8)와 펌핑 챔버(9)를 분리한다. 펌핑 챔버(9)는 각각의 체크밸브를 경유하여 흡입 연결부와 압력 연결부에 연결된다. 맥동하는 작동유체의 압력이 피스톤(3)의 보조로 유압챔버(8)에 가해진다. 도시된 구현예에서 멤브레인(1)은 마운팅(13)에 장착된 스프링(10)에 연결되고, 멤브레인이 유압챔버 방향으로 치우치게 구성된다. 작동 유체의 맥동압력은 벽(4,7) 사이에서 멤브레인으로 이리저리 움직이고, 이에 따라 펌핑 챔버의 체적이 팽창 및 압축된다. 펌핑 챔버의 체적이 압축되는 경우 펌핑 챔버에서의 펌핑 유체는 체크밸브를 경유하여 압력출구에서 배출된다. 멤브레인의 후퇴로 인해 펌핑챔버의 체적이 팽창할 때 펌핑 유체는 체크밸브를 경유하여 흡입연결부에서 흡입된다. 따라서 멤브레인의 주기적인 운동에 의해 흡입 연결부에서 펌핑 유체를 흡입하고, 압력 연결부를 경유하여 펌핑 유체를 고압으로 배출시킨다.

상기 멤브레인은 클램핑 림(11,12) 사이에서 고정된다. 리턴스프링(10)의 존재는 점선(14)에 의해 지시된 것처럼 멤브레인이 불룩해진다는 것을 의미한다.

작동중 어떤 환경하에서 작동 유체는 피스톤(3)에서 갭(5)을 통해 빠져나간다. 작동 유체의 올바른 양이 항상 유압챔버(8)에 존재하도록 하기 위해, 누출 보상 밸브(6)가 제공되고, 누출 보상 밸브를 통해 유압챔버(8)가 작동유체 리저버(15)와 연결된다. 누출 보상 밸브는 작은 구(救)(ball)를 포함하고, 이 구(ball)는 스프링에 의해 밸브시트로 강하게 움직인다. 누출 보상 밸브(6)의 스프링은 설정 압력(p_L)을 확보한다. 유압챔버(8)의 압력이 설정 압력(p_L) 이하로 떨어지면, 누출 보상 밸브의 압력시트에서 상승하고, 추가적인 작동유체가 일반적으로 대기압 하에 있는 작동유체 리저버(15)로부터 흘러나와 유압챔버(8)의 압력이 설정 압력(p_L)으로 상승할 때까지 유압챔버로 유입되며, 설정압력으로 상승된 후 누출 보상 밸브의 스프링은 구(ball)를 밸브시트 위로 복귀시킴으로서 밸브 게이트를 닫는다.

도 2는 시간에 따른 흡입 행정 중 유압챔버의 압력을 도식적으로 보여준다. 흡입 스트로크의 시작 시 유압챔버의 압력은 펌프가 전달 연결로부터 펌핑 매개체를 방출시키는 압력과 대략적으로 동일한 압력이다. 이 압력은 실질적으로 흡입 라인의 압력보다 더 높다. 유압챔버의 압력은 또한 리턴스프링(10)에 의해 결정되는 것으로 이해되어야 한다. 이러한 압력 차이는 그러나 본 발명과 관련이 없는 것으로 고려될 것이다.

흡입행정은 피스톤(3)이 후퇴할 때, 즉 도 1의 구현예에서 오른쪽으로 시작한다. 이것은 초기에 유압챔버의 압력이 천천히 감소하고, 펌핑챔버의 압력이 더 높기 때문에 멤브레인이 유압챔버 방향으로 오른쪽으로 이동한다. 여기서, 펌핑챔버의 압력이 흡입 연결부에서의 정적인 압력(p_SO)에 도달할 때까지 천천히 떨어진다. 상기 압력이 더 떨어지면 펌핑 챔버와 흡입연결부를 연결하는 각각의 체크밸브가 열리고 펌핑 매개체가 흡입연결부를 통해 흘러나올 것이다. 펌핑챔버의 압력이 흡입연결부의 정적인 압력에 도달할 때, 유체의 갑작스런 속도 변화가 흡입 라인에서 발생한다. 이러한 속도 변화(△v)는 소위 Joukowsky 펄스(pulse), Δp_st=ρ×a×ΔV, 이때 ρ는 펌핑 매개체의 밀도이고, "a"는 유체가 채워진 흡입 파이프의 파동전파율이다.

펌핑 챔버의 이러한 Joukowsky 펄스는 두 챔버가 멤브레인을 통해 연결되어 있어서 유압챔버에서 압력 펄스를 발생시킨다.

흡입행정 "s"의 시작으로부터 어느 정도의 시간이 경과한 후 유압챔버의 압력 p_H이 짧은 시간 간격(Δp_st) 동안 갑자기 떨어진다. 요약하면 그 후 급속도로 상승하고, 고주파수와 급속 페이딩 압력 진동이 발생한다. 압력 펄스가 즉시 p=0으로 강하되는 것을 발견할 수 있을 것이다. 그러나, 유압 챔버의 압력이 실제적으로 0(zero)로 떨어지지 않지만 최소 압력 P_min 은 작동 파라미터 및 멤브레인 펌프의 구성에 의해 설정된다.

종래기술에서 P_min 으로의 압력 펄스 강하가 발생할 때 누출 보상 밸브의 개방을 방지하기 위해 누출 보상 밸브의 설정 압력(P_L)이 P_min 보다 더 작다.

그러나, 본 발명에 따른 설정압력 P_L 은 P_L 이 유압챔버의 평균 압력 p_m 이하인 경우에 실질적으로 P_min 보다 더 높게 선택될 수 있다.

본 발명은 압력 펄스가 매운 짧은 시간 간격 Δts<1 ms(millisecond) 으로 발생한다는 인식에 기초한다.

본 발명에 따른 닫힘 몸체(closing body)의 질량은 충분히 크게 설정되어 압력 펄스가 0.2mm 보다 더 작게 혹은 바람직하게는 0.1mm보다 더 작게 발생한다.

본 발명에 따른 누출 보상 밸브는 도 3에 도시되어 있다.

이러한 누출 보상 밸브는 밸브몸체(18)에 수용된 닫힘 몸체(16)를 포함하고, 밸브몸체는 닫힘 위치에서 밸브몸체(18)의 보어(bore)를 닫는 닫힘 요소(closing element;20)를 포함하여, 작동유체 리저버(19)로의 라인(line)이 유압챔버(8)와 분리된다. 닫힘 몸체는 도 3에 도시한 바와 같이 스프링 요소(17)에 의해 닫힘 위치로 치우치게 되어 있다. 작동유체 리저버 안에 있는 작동유체의 압력, 따라서 라인(19)의 압력은 본질적으로 일정하다. 유압챔버(8)의 압력이 본질적으로 스프링에 의해 제공되는 설정압력 p_L 이하로 떨어질 때, 이후 도 3의 위치에서 닫힘 몸체(16)가 상승하여 라인(19)과 유압챔버(8) 사이의 연결부가 개방된다. 원칙적으로, 닫힘 몸체가 0.2mm만큼만 이동하면 밸브몸체(18)와 닫힘 요소(20) 사이의 갭이 충분하지 않아 라인(19)을 통해 충분한 양의 작동유체를 유체 챔버로 배출시키지 못한다.

닫힘 몸체의 스트로크(stroke)Δs는, 다음 식에 의해 계산된다:

(1)

이때, Δt는 압력펄스 시간이고, b는 압력 펄스로 인해 발생되는 닫힘 몸체의 가속도이다. 상기 가속도는 다음 식에 의해 계산된다:

(2)

이때, F는 닫힘 몸체에 작용하는 힘이고, m은 닫힘 몸체의 질량이다. 따라서, 우리는

(3)

또는

(4)

상기 펄스 압력이 1ms(millisecond) 이상 지속되지 않는다고 가정할 때, 즉 Δt_s=1ms, 닫힘 몸체의 운동거리는 최대 0.1mm, 즉 Δs_s 0.1mm이고, 압력 펄스가 0 bar로 감소할 때, 즉 압력 펄스가 설정 압력 p_L, 예를 들어 0.7 bar이고, 그러면 닫힘 요소의 직경이 8mm, 즉 해당 표면적이 약 0.5㎠이다.

F=pL·A=0.7×10×0.5=3.5N (5)

및 따라서

(6)

도시된 예에서, 그 후 닫힘 몸체의 질량은 닫힘 몸체가 0.1mm 이상 움직이는 것을 방지하기 위해 적어도 17.5g이어야 한다.

닫힘 몸체의 질량이 이보다 더 크게 선택되면, 0 bar로의 압력 펄스가 닫힘 몸체로 이동하지 않아 충분한 양의 작동 유체가 유체 챔버로 방출될 것이다.

상기한 방법은 압력 펄스가 일반적으로 0 bar로의 압력 강하를 발생시키지 않고 최소 압력 p_min 으로만 압력 강하되도록 고려함으로써 더욱 개선된 것이다. 상기한 식 (5)에서, 설정 압력 p_L 대신에, 압력 펄스로 인한 설정압력과 최소압력의 차이 p_L-p_min 가 사용됨에 따라 질량이 더욱 감소될 수 있다. 또한, 설정압력 p_L 은 증가될 수 있고, 이에 따라 스프링(17)은 더 약하게 만들 수 있고, 펌프의 작동을 단순하게 할 수 있다.

1 : 멤프레인
3 : 피스톤
4 : 벽
5 : 갭(gap)
6 : 누출 보상 밸브
7 : 벽
8 : 유압챔버
9 : 펌핑챔버
10 : 리턴스프링
11 : 클램핑 림
12 : 클램핑 림
13 : 마운팅
14 : 부풀게 되는 멤브레인을 도식적으로 나타냄
15 : 작동유체 리저버
16 : 닫힘 몸체
17 : 스프링
18 : 밸브몸체
19 : 라인
20 : 닫힘 요소

Claims (5)

1. 멤브레인(1)에 의해 펌핑챔버(9)와 분리되는 유체 챔버(8)를 가지고, 상기 펌핑챔버(9)는 각각 흡입연결부 및 압력연결부와 연결되고, 맥동하는 작동 유체 압력이 작동유체로 채워지는 유압챔버에 가해질 수 있고, 상기 유압챔버(8)는 누출 보상 밸브(6)를 통해 작동유체 리저버(15)에 연결되고, 상기 누출 보상 밸브(6)는 압력 요소의 도움으로 닫힘 위치에 고정되고 밸브 게이트가 닫히는 닫힘 위치와 밸브 게이트가 열리는 열림 위치 사이에서 전후진되는 닫힘 몸체를 포함하고, 상기 압력 요소는 유압챔버(8)의 압력이 설정압력(p_L)보다 낮을 때 닫힘몸체(16)가 열림위치의 방향으로 움직이도록 설계되는 멤브레인 펌프에 있어서, 닫힘몸체(16)의 질량은 유압챔버(8)의 압력펄스로 인해 1ms 이상 지속되지 않는 0bar로의 압력강하가 발생할 때 닫힘몸체(16)가 열림 위치 방향으로 기껏해야 0.2mm 만큼 이동하기에 충분히 큰 것을 특징으로 하는 멤브레인 펌프.
   
2. 청구항 1에 있어서, 상기 닫힘몸체(16)의 질량은 유압챔버(8)의 압력펄스로 인해 1ms 이상 지속되지 않는 0bar로의 압력강하가 발생할 때 닫힘몸체(16)가 열림 위치 방향으로 기껏해야 0.1mm 만큼 이동하도록 선택된 것을 특징으로 하는 멤브레인 펌프.
   
3. 청구항 1에 있어서, 상기 닫힘몸체(16)는 유압챔버(8)의 압력펄스로 인해 1ms 이상 지속되지 않는 최소압력 p_min 으로의 압력강하가 발생할 때 열림 위치의 방향으로 기껏해야 0.2mm, 바람직하게는 기껏해야 0.1mm 움직이고, 상기 p_min 은 흡입행정 중 흡입연결부를 통해 유체의 속도 변화로 인해 압력의 발생 시 상승하는 유압챔버의 최소압력인 것을 특징으로 하는 멤브레인 펌프.
   
4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서, p_L 은 유압챔버(8)의 최소압력보다 높은 것을 특징으로 하는 멤브레인 펌프.
   
5. 멤브레인(1)에 의해 펌핑챔버(9)와 분리되는 유체 챔버(8)를 가지고, 상기 펌핑챔버(9)는 각각 흡입연결부 및 압력연결부와 연결되고, 맥동하는 작동 유체 압력이 작동유체로 채워지는 유압챔버에 가해질 수 있고, 상기 유압챔버(8)는 누출 보상 밸브(6)를 통해 작동유체 리저버(15)에 연결되고, 상기 누출 보상 밸브(6)는 압력 요소의 도움으로 닫힘 위치에 고정되고 밸브 게이트가 닫히는 닫힘 위치와 밸브 게이트가 열리는 열림 위치 사이에서 전후진되는 닫힘 몸체를 포함하고, 상기 압력 요소는 유압챔버(8)의 압력이 설정압력(p_L)보다 낮을 때 닫힘몸체(16)가 열림위치의 방향으로 움직이도록 설계되는 멤브레인 펌프를 필요한 크기로 하기 위한(dimensioning) 방법에 있어서, 상기 닫힘몸체(16)의 질량은 유압챔버(8)의 압력펄스로 인해 1ms 이상 지속되지 않는 압력강하가 발생할 때 닫힘몸체(16)가 열림 위치 방향으로 기껏해야 0.1mm 만큼 이동하도록 선택된 것을 특징으로 하는 멤브레인 펌프를 필요한 크기로 하기 위한(dimensioning) 방법.
   

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