KR20130135752A - N상 교류를 발생시키기 위한 인버터를 구비한 파워 서플라이 시스템 - Google Patents

N상 교류를 발생시키기 위한 인버터를 구비한 파워 서플라이 시스템 Download PDF

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아에게 파워 솔루션즈 베.파우
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Abstract

이 발명은 N-상 교류를 발생시키기 위한 인버터(12), 및 1차 권선(211, 212, 213)과 2차 권선(221, 222, 223)을 가진 적어도 하나의 N-상 교류 트랜스포머(2)를 포함하는 파워 서플라이 시스템(MF)에 관한 것이며, 상기 1차 권선들(211, 212, 213)은 다각형으로 접속되고 상기 트랜스포머(2)의 무부하시에 N 개의 2차 권선(221, 222, 223)에 인가된 전압들의 벡터 합이 제로가 되고, 상기 1차 권선(211, 212, 213)에 의해 형성된 다각형의 각각의 꼭지점은 각각 하나의 커패시터(C11, C12, C13)를 통해 상기 인버터(12)의 외부 도체 접속부와 접속된다.

Description

N상 교류를 발생시키기 위한 인버터를 구비한 파워 서플라이 시스템{POWER SUPPLY SYSTEM WITH AN INVERTER FOR GENERATION OF N-PHASE ALTERNATING CURRENT}
이 발명은 N-상 교류를 발생시키기 위한 인버터 및 1차 권선들과 2차 권선들을 가진 적어도 하나의 N-상 교류 트랜스포머를 포함하는 파워 서플라이 시스템으로서, 상기 1차 권선들은 다각형으로 접속되고, 트랜스포머의 무부하 시에 N 개의 2차 권선에 인가된 전압들의 벡터 합이 제로가 되는, 파워 서플라이 시스템에 관한 것이다.
출원 번호 11 174 546.9를 가진 미공개 유럽 특허 출원에는 이러한 파워 서플라이 시스템이 공지되어 있다(출원 11 174 546.9의 도 1 참고). 동일한 출원(11 174 546.9)에는 상기 제 1 파워 서플라이 시스템이 지멘스 방법에 따른 폴리실리콘의 제조를 위한 실리콘 로드들에 에너지를 공급하기 위해 사용되는 것이 공지되어 있다. 상기 출원 11 174 546.9에 도시된 제 1 파워 서플라이 시스템은 3개의 출력부를 가지며, 상기 출력부들에 서로 120°만큼 시프트된 전압이 제공된다. 상기 전압들은 1 내지 1000 kHz 주파수를 가진 중간 주파수 전류를 실리콘 로드들 내로 드라이브한다. 전압들은 3개의 1차 권선 및 3개의 2차 권선을 가진 3상 교류 트랜스포머에 의해 제공된다. 1차 권선들은 삼각 결선된다. 트랜스포머의 무부하 시에, 3개의 2차 권선에 인가된 전압들의 벡터 합이 제로가 된다.
3개의 2차 권선들은 직렬 접속되며 파워 서플라이 시스템의 3개의 출력에 대해 병렬 접속된다. 출력부들에는 부하로서 실리콘 로드들이 접속되며, 파워 서플라이 시스템은 상기 실리콘 로드를 통해 전류를 드라이브한다.
제 1 파워 서플라이 시스템에 의한 파워 공급과 더불어, 실리콘 로드들은 상기 출원 11 174 546.9에 개시된 바와 같이, 동시에 제 2 파워 서플라이 시스템에 의해 제 1 파워 서플라이 시스템에 에너지 공급을 위해 사용될 수 있다. 상기 제 2 파워 서플라이 시스템에는 직렬 접속된 실리콘 로드들이 접속된다. 약 50 Hz의 주파수를 가진 전류가 공급된다.
출원 11 174 546.9에는 제 1 파워 서플라이 시스템의 직렬 접속된 출력부들을 통한 전압이 제로가 됨으로써, 제 2 파워 서플라이 시스템이 제 1 파워 서플라이 시스템으로부터 분리되는 것이 개시된다.
실제로, 제 1 파워 서플라이 시스템의 출력부들에서 부하들이 동일한 크기가 아니면, 문제가 생길 수 있다. 특히 하나의 부하의 유도성이 다른 부하의 유도성보다 크면, 부분적으로 제 1 파워 서플라이 시스템의 출력부들에 제공된 전압 값들에서 큰 차이가 나타날 수 있다. 이는 제 1 파워 서플라이 시스템의 출력부들을 통한 전압들의 합이 더 이상 O V 가 아니게 할 것이다. 그 대신 수 100 V의 값들이 달성될 것이다. 달성된 전압은 제 1 파워 서플라이 시스템이 작동되는 주파수에 의존할 수 있다.
제 1 파워 서플라이 시스템의 상기 불균일한 부하 및 이로부터 얻어지는, 제 1 파워 서플라이 시스템의 직렬 접속된 출력부들을 통한 전압은 제 2 파워 서플라이 시스템이 손상되거나 파괴되게 할 수 있다.
이 발명의 과제는 전술한 제 1 파워 서플라이 시스템의 출력부들에서 전압 값들 간의 차이가 가능한 넓게 방지되도록 제 1 파워 서플라이 시스템을 개선하는 것이다.
상기 과제는 이 발명에 따라 1차 권선으로 형성된 다각형의 각각의 꼭지점이 각각 하나의 커패시터를 통해 인버터의 외부 도체 접속부와 접속됨으로써 달성된다.
다각형의 꼭지점들을 외부 도체 접속부들과 접속시키는 커패시터들은 파워 서플라이 시스템의 작동 중에 간접적으로, 즉 트랜스포머의 중간 접속 하에 2개의 부하들의 회로 내에 배치된다. 이로 인해, 커패시터들은 파워 서플라이 시스템의 출력부들에서 전압 값들 간의 차이를 보상할 수 있다. 커패시터들은 4 내지 6μF, 특히 4.5μF의 커패시턴스를 가질 수 있다. 1차 측의 커패시터들은 2차 측의 커패시터들과는 다른 커패시턴스 및 다른 전압 부하 값을 가질 수 있다. 2차 측의 커패시터들에 대한 전형적인 커패시턴스 값들은 2μF 내지 10μF 일 수 있다.
파워 서플라이 시스템의 출력부들은 바람직하게 2차 권선에 대해 병렬로 배치된다.
파워 서플라이 시스템의 출력부들이 각각 하나의 2차 권선과 하나의 다른 커패시터로 이루어진 직렬 회로에 대해 병렬로 배치될 수 있는 것이 바람직하다. 다른 커패시터에 의해, 이 발명에 따른 파워 서플라이 시스템(이하, 제 1 파워 서플라이 시스템이라고 함)이 제 1 파워 서플라이 시스템의 출력부들의 직렬 회로에 대해 병렬로 제공된 제 2 파워 서플라이 시스템으로부터 분리될 수 있다. 상기 다른 커패시터들은 다른 소자와 함께 고역 패스 필터를 형성하고, 상기 고역 패스 필터는 제 2 파워 서플라이 시스템에 의해 드라이브된, 제 1 파워 서플라이 시스템의 출력 전류들에 비해 저주파수인 전류가 제 1 파워 서플라이 시스템 내로 흘러 이 시스템을 손상 또는 파괴하는 것을 방지한다.
제 2 파워 서플라이 시스템으로부터 제 1 파워 서플라이 시스템의 이러한 분리 시에도, 동일하지 않은 부하시 전압이 제 1 파워 서플라이 시스템의 모든 출력부들을 통해 감소할 수 있다. 그러나, 이 감소는 외부 도체 접속부들에서 상기 커패시터들의 생략의 경우만큼 크지 않다.
상기 과제는 이 발명에 따라 전압이 적어도 N-1 2차 권선을 통해 별개로 또는 연속해서 조절될 수 있음으로써 달성될 수 있다. 전압의 별개의 조절 가능성은 2차 권선들이 다수의 탭을 가짐으로써 달성될 수 있다. 전압이 N-1 2차 권선을 통해 조절될 수 있으면, 전압은 이 발명에 따른 파워 서플라이 시스템에 접속된 부하를 통해 효과적으로 동일해지도록 변화될 수 있다.
다른 이 발명에 따른 해결책은 2차 권선에 대해 직렬인 커패시터들 중 적어도 N-1 커패시터가 조절 가능한 커패시턴스를 갖는 것이다. 이러한 조절 가능한 커패시터들에 의해, 전압이 이 발명에 따른 파워 서플라이 시스템에 접속된 부하들을 통해 효과적으로 동일해질 수 있다.
인버터는 파워 트랜지스터들을 구비한 브릿지 회로일 수 있다.
파워 서플라이 시스템은 주파수 컨버터를 포함할 수 있고, 인버터는 상기 주파수 컨버터의 부분일 수 있다. 인버터와 더불어, 주파수 컨버터는 정류기 및 직류 전압 중간 회로를 포함할 수 있다.
주파수 컨버터는 대안으로서 사이클로 컨버터일 수 있다. 이 경우, 본 출원의 의미에서 인버터는 사이클로 컨버터의 통합 구성 요소이다.
이 발명에 따른 파워 서플라이 시스템은 지멘스 방법에 따라 폴리실리콘을 제조하기 위한 리액터의 부분일 수 있다. 이 발명에 따른 파워 서플라이 시스템은 유도 가열을 위해 교류를 실리콘 로드들 또는 얇은 실리콘 로드들에 공급하기 위한 제 1 파워 서플라이 시스템일 수 있다. 실리콘 로드들 또는 얇은 실리콘 로드들은 리액터 용기 내에 배치될 수 있다. 리액터 용기 내에 홀더들이 제공되고, 상기 홀더들에 의해 실리콘 로드들 또는 얇은 실리콘 로드들이 지지된다. 홀더들은 동시에 전기 접속부들이고, 상기 접속부들에 의해 실리콘 로드들 또는 얇은 실리콘 로드들이 부하 회로 내로 결합된다.
리액터는 유도 가열을 위해 교류를 실리콘 로드들 또는 얇은 실리콘 로드들에 공급하기 위한 제 2 파워 서플라이 시스템을 포함할 수 있다. 제 2 파워 서플라이 시스템은 다수의 2차 측 탭 및 이것에 접속된 파워 컨트롤러들을 구비한 트랜스포머를 포함할 수 있고, 상기 파워 컨트롤러들은 전압 시퀀스 제어 동안 작동되며 제 2 파워 서플라이 시스템의 출력부의 외부 도체 접속부와, 예컨대 도 1에서 공개된 바와 같이 접속된다. 제 1 파워 서플라이 시스템에 의해 발생 가능한 교류의 주파수는 1 내지 1000 kHz 이고, 제 2 파워 서플라이 시스템에 의해 발생 가능한 교류의 주파수는 1 내지 100 Hz이다.
이 발명에 의해, 전술한 제 1 파워 서플라이 시스템의 출력부들에서 전압 값들 간의 차이가 가능한 넓게 방지되도록 개선된 제 1 파워 서플라이 시스템이 제공된다.
이 발명의 다른 특징들은 첨부한 도면을 참고로 하는 바람직한 실시예의 하기 설명에 제시된다.
도 1은 제 1 파워 서플라이 시스템 및 제 2 파워 서플라이 시스템으로 이루어진 선행 기술에 따른 시스템의 회로도.
도 2는 이 발명에 따른 제 1 파워 서플라이 시스템의 회로도.
도 3은 이 발명에 따른 제 2 파워 서플라이 시스템의 회로도.
도 1에 도시된 이 발명에 따른 시스템은 제 1 파워 서플라이 시스템(VSC) 및 제 2 파워 서플라이 시스템(MF)을 포함하며, 상기 두 시스템들은 이 시스템에 접속된 부하에 전기 에너지를 공급하기 위해 제공된다. 부하들은 지멘스 방법에 따라 증착에 의해 폴리실리콘을 제조하기 위한 리액터 내에 장착된 실리콘 로드들(3)이다.
리액터의 용기 내에 홀더들(7)이 장착되고, 상기 홀더들은 한편으로는 실리콘 로드들(3)을 지지하며 다른 한편으로는 실리콘 로드들(3)과 리액터의 전기 접속부들 사이의 전기 접촉을 형성한다.
제 1 파워 서플라이 시스템(MF)은 제 2 파워 서플라이 시스템(VSC)과 같이, 입력부를 포함하며 상기 입력부는 단상 교류 시스템의 외부 도체(L1) 및 중성선(N)에 접속된다. 제 1 파워 서플라이 시스템(MF)은 AC-AC 컨버터(1)를 포함하고, 상기 컨버터는 제 2 파워 서플라이 시스템(MF)의 입력부에 접속된다.
AC-AC 컨버터(1)는 50 내지 60 Hz의 주파수를 가진 AC-AC 컨버터(1)의 입력부에 있는 단상 교류를 20 내지 200 MHz의 주파수를 가진 3상 교류로 변환시키는 매트릭스 컨버터일 수 있다. AC-AC 컨버터(1)는 동시에 입력 전류를 3상 교류로 변환시키는 회로 및 주파수 컨버터이다. AC-AC 컨버터(1)의 출력부에는 3개의 외부 도체(L1', L2', L3')를 통해 3상 교류가 제공된다.
AC-AC 컨버터의 출력부는 3상 교류 트랜스포머(2)와 접속되며, 상기 트랜스포머의 1차 권선들(211, 212, 213)은 삼각 결선되어 있다. 2차 권선들(212, 222, 232)은 접속부들(H", L1", L2", L3")과 접속되고, 상기 접속부들은 쌍으로 제 2 파워 서플라이 시스템(MF)의 출력부들을 형성한다. 상기 출력부들에는 실리콘 로드들(3)이 접속되고, 제 1 실리콘 로드(31)는 제 2 파워 서플라이 시스템(MF)의 제 1 출력부를 형성하는 접속부들(H", L1")과 접속되고, 제 2 실리콘 로드(32)는 제 2 출력부를 형성하는 접속부들(L1", L2")과 접속되며, 제 3 실리콘 로드(33)는 제 3 출력부를 형성하는 접속부들(L2", L3")과 접속된다. 외부 도체들 사이의 120°위상 각으로 인해, 대칭 부하 시에 접속부(H")와 접속부(L3") 사이에서 실리콘 로드들(31, 32, 33)을 통해 전압이 강하하지 않는다.
AC-AC 컨버터(1)는 제어부(8)에 의해 제어되며, 이는 상세히 도시되지 않는다.
기본적으로, 접속부들(H" 및 L3")이 제 2 파워 서플라이 시스템(MF)에 대한 작용 없이 접속될 수 있다. 2차 권선들(31, 32, 33)은 삼각 결선될 것이다. 그러나, 2개의 접속부들(H", L3") 사이의 접속은 형성되지 않는데, 그 이유는 이들이 제 2 파워 서플라이 시스템(VSC)의 외부 도체 접속부(L1'") 및 중성선 접속부(N'")를 단락시킬 것이기 때문이다. 그러나, 이는 바람직하지 않다.
제 2 파워 서플라이 시스템(MF)의 접속부들(H" 및 L3") 사이에서 전압이 강하하지 않고, 따라서 제 2 파워 서플라이 시스템(VSC)의 출력부의 접속부들(L1'", N'") 사이에서도 제 1 파워 서플라이 시스템(MF)에 의해 제공된 전압이 강하하지 않기 때문에, 제 2 파워 서플라이 시스템(MF)은 대칭 부하 시에 실리콘 로드들(31, 32, 33)을 통해 전류를 제 1 파워 서플라이 시스템(VSC) 내로 드라이브할 수 없다.
제 2 파워 서플라이 시스템(VSC)은 단상 교류 시스템의 외부 도체(L1) 및 중성선(N)에 접속된 입력부를 포함한다. 제 2 파워 서플라이 시스템(VSC)은 단상 교류 트랜스포머(4)를 포함하고, 상기 트랜스포머의 1차 권선(41)은 제 2 파워 서플라이 시스템(VSC)의 입력부와 접속된다. 트랜스포머(4)의 2차 권선(42)은 4개의 탭들(421, 422, 423, 424)을 포함하고, 상기 탭들 중 3개의 탭들(421, 422, 423)은 파워 컨트롤러(51, 52, 53)를 통해 제 2 파워 서플라이 시스템(VSC)의 출력부의 외부 도체 접속부(L1'")와 접속된다. 이에 반해, 제 4 탭(424)은 제 2 파워 서플라이 시스템(VSC)의 출력부의 중성선 접속부(N'")와 접속된다.
제 4 탭(424)은 2차 권선(42)의 하나의 단부에 제공된다.
파워 컨트롤러들(51, 52, 53)은 2개의 역 병렬로(antiparallel) 접속된 사이리스터로 형성된 사이리스터-파워 컨트롤러들이다. 파워 컨트롤러들(51, 52, 53)은 전압 시퀀스 제어 동안 작동된다.
전압 시퀀스 제어는 제어부(9)에 의해 실시되고, 상기 제어부(9)는 파워 컨트롤러(51, 52, 53)의 사이리스터들 및 다른 제어될 소자들 및/또는 전류, 전압 및 다른 것을 검출하기 위한 센서들과 접속되며, 이는 상세히 도시되지 않는다.
제 1 파워 서플라이 시스템(MF)에 대한 제 2 파워 서플라이 시스템(VSC)의 반작용을 막기 위해, 제 1 파워 서플라이 시스템(MF)의 출력부들에 고역 패스 필터들이 설치될 수 있고, 상기 필터는 제 1 파워 서플라이 시스템(VSC)의 출력 전압을 통과시키지 않는다.
도 1에 도시된 시스템, 특히 제 1 파워 서플라이 시스템(MF)은 더 많은 출력부들에 더 많은 실리콘 로드들을 접속할 수 있도록 확장될 수 있다. 이를 위해, 3상 교류 시스템용 출력부를 가진 AC-AC 컨버터 대신에, 3상보다 많은 상을 가진 다상 교류 시스템, 예컨대 4상, 5상 또는 6상 교류 시스템용 출력부를 제공하는 AC-AC 컨버터가 사용될 수 있다.
쌍으로 병렬 접속된 1차 권선들 및 직렬로 접속된 2차 권선들을 포함하는 2개의 3상 교류 트랜스포머들(2)의 사용에 의해, 제 1 파워 서플라이 시스템들도 확장될 수 있다.
제 1 파워 서플라이 시스템(MF)은 그 출력부(L1", L2", L3", H")에 서로 120°만큼 시프트된 3개의 전압을 제공하고, 상기 전압들은 무부하시 및 상기 출력부(L1", L2", L3", H")의 접속부들의 대칭 부하시 동일한 값을 갖는다. 이 경우, 접속부들(L3", H") 사이의 전압은 0 V 이다.
출력부(L1", L2", L3", H")의 접속부들의 비대칭 부하에 의해, 출력부(L1", L2", L3", H")의 접속부에서 전압들이 효과적으로 상이한 크기일 수 있다. 이 경우, 접속부들(L3", H") 사이의 전압은 0 V 가 아니다. 편차는 출력부들에서 교류 전압의 주파수에 따라 그리고 부하의 형태에 따라, 더 큰 시스템 내로 제 1 파워 서플라이 시스템(MF)의 삽입에 문제가 되는 크기로 될 수 있다. 특히 상이한 유도 부하시, 제 1 파워 서플라이 시스템의 작동 동안 교류 전압이 발산할 수 있다. 특히, 출력 회로의 공진 주파수에 가까운 주파수를 가진 교류 전압을 제공하기 위한 제 1 파워 서플라이 시스템의 작동의 경우, 접속부들(L3", H") 사이에 높은 전압이 나타날 수 있다.
이 발명에 따라 AC-AC 컨버터(1)의 출력부의 접속부들과 삼각 결선된 1차 권선들(211, 212, 213)의 꼭지점 사이에 각각 하나의 커패시터(C11, C12, C13)가 접속된다. 이 발명에 따른 제 1 파워 서플라이 시스템(MF)은 도 2 및 도 3에 도시된다.
도 2 및 도 3에 도시된 제 1 파워 서플라이 시스템(MF)은 도 1에 도시된 파워 서플라이 시스템(MF)에 대부분 상응한다. 따라서, 기능적으로 동일한 소자들 및 컴포넌트들은 동일한 도면 부호로 표시된다. 도 2에는 제 2 파워 서플라이 시스템(VSC)이 도시되지 않는다. 그러나, 이는 도 1 및 도 2에 도시된 시스템에서와 같이 부하들(31, 32, 33)에 접속될 수 있다.
AC-AC 컨버터(1)는 도 2 및 도 3에 상세히 도시된다. AC-AC 컨버터는 정류기(11)를 구비한 주파수 컨버터(1), 커패시터(CG) 및 인버터(12)를 구비한 직류 중간 회로이다.
정류기(11)는 메인 파워 서플라이의 외부 도체(L1) 및 중성선(N)에 접속된다. 정류기의 출력부에는 커패시터(CG)가 접속되며, 상기 커패시터는 직류 전압 중간 회로를 형성한다. 직류 전압 중간 회로에는 인터버(12)가 접속된다.
인버터(12)는 컨버터 밸브들로 이루어진 H-브릿지, 특히 인버터에서 수배 확장된 IGBT(121)이다. IGBT 대신에 다른 제어 가능한 스위치들도 사용될 수 있다. H-브릿지의 하프 브릿지의 컨버터 밸브들(121) 사이의 점들은 인버터(12)의 출력부의 접속부들을 형성한다. 출력부들에는 커패시터들(C11, C12, C13)이 접속된다. 커패시터들(C11, C12, C13)은 3상 교류 트랜스포머(2)의 1차 권선들(211, 212, 213)로 이루어진 삼각 결선의 꼭지점(L1', L2', L3')과 접속된다. 3상 교류 트랜스포머(2) 및 이것에 접속된 부하들(31, 32, 33)의 2차 측 회로는 도 1에 도시된 회로와 다르지 않다.
커패시터들(C11, C12, C13)에 의해, 비대칭 부하시 발생하는 접속부들(L3", H") 사이의 전압이 현저히 줄어들 수 있다.
커패시터들(C11, C12, C13)에 의해 출력 회로의 1차 측 결합이 생기고, 이는 출력부들(L3", H") 사이의 전압을 줄인다. 접속부들(L3", H")의 전압들이 도 1을 참고로 설명된 비대칭 부하의 경우에 대해 조절된다. 전압들은 약 100%까지 줄어들 수 있다.
커패시터들(C21, C22 및 C23)이, 도 2에 따른 이 발명의 제 1 회로 시스템에 상응하는 도 3에 따른 이 발명의 제 2 회로 시스템에 도시된 바와 같이, 트랜스포머(2)의 2차 권선들(212, 222, 232)과 접속부들(L1", L2", L3", H") 사이의 접속부 내로 삽입되면, 제 1 파워 서플라이 시스템(MF)의 출력부의 비대칭, 특히 비대칭 옴-유도성 부하의 경우 외부 도체들 사이의 전압의 거의 80% 감소가 달성될 수 있다. 상기 추가의 커패시터들(C21, C22 및 C23)은 출력 전압의 완전한 대칭화를 방지하기는 하지만, 이를 위해 제 1 파워 서플라이 시스템(VSC)으로부터 제 1 파워 서플라이 시스템(MF)의 분리가 달성될 수 있다.
2 N 상 교류 트랜스포머
12 인버터
121 파워 트랜지스터
211, 212, 213 1차 권선
221, 222, 223 2차 권선
C11, C12, C13 커패시터
C21, C22, C23 커패시터
MF 파워 서플라이 시스템

Claims (7)

  1. N-상 교류를 발생시키기 위한 인버터(12), 및 1차 권선(211, 212, 213)과 2차 권선(221, 222, 223)을 가진 적어도 하나의 N-상 교류 트랜스포머(2)를 포함하는 파워 서플라이 시스템(MF)으로서, 상기 1차 권선들(211, 212, 213)은 다각형으로 접속되고 상기 트랜스포머(2)의 무부하시에 N 개의 2차 권선(221, 222, 223)에 인가된 전압들의 벡터 합이 제로가 되는, 파워 서플라이 시스템(MF)에서,
    - 상기 1차 권선(211, 212, 213)에 의해 형성된 다각형의 각각의 꼭지점은 각각 하나의 커패시터(C11, C12, C13)를 통해 상기 인버터의 외부 도체 접속부와 접속되고,
    - 적어도 N-1 개의 2차 권선(221, 222, 223)을 통해 전압이 별개로 또는 연속해서 조절 가능하며 및/또는
    - 상기 2차 권선(221, 222, 223)과 직렬로 커패시터들이 제공되고, 상기 커패시터들 중 적어도 N-1 개의 커패시터가 조절 가능한 커패시턴스를 갖는 것을 특징으로 하는, 파워 서플라이 시스템.
  2. 제 1 항에서, 상기 파워 서플라이 시스템(MF)의 출력부들은 상기 2차 권선들(221, 222, 223)에 대해 병렬로 배치되는 것을 특징으로 하는, 파워 서플라이 시스템.
  3. 제 2 항에서, 상기 파워 서플라이 시스템(MF)의 상기 출력부들은 상기 2차 권선들(221, 222, 223) 중 하나와 하나의 커패시터(C21, C22, C23)로 이루어진 직렬 회로에 대해 병렬로 배치되는 것을 특징으로 하는, 파워 서플라이 시스템.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에서, 상기 인버터(12)는 파워 트랜지스터들(121)을 구비한 H-브릿지인 것을 특징으로 하는, 파워 서플라이 시스템.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에서, 상기 파워 서플라이 시스템은 주파수 컨버터(11, 12, CG)를 포함하고, 상기 인버터(12)는 상기 주파수 컨버터(11, 12, CG)의 부분인 것을 특징으로 하는, 파워 서플라이 시스템.
  6. 리액터 용기 내에 배치될 수 있는 실리콘 로드들 또는 얇은 실리콘 로드들에 유도 가열을 위한 교류를 공급하기 위한 제 1 파워 서플라이 시스템(MF)을 포함하는 지멘스 방법에 따라 폴리실리콘을 제조하기 위한 리액터에서,
    상기 제 1 파워 서플라이 시스템(MF)은 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 따른 파워 서플라이 시스템인 것을 특징으로 하는, 리액터.
  7. 제 6 항에서, 상기 리액터는 유도 가열을 위한 교류를 실리콘 로드 또는 얇은 실리콘 로드들에 공급하기 위한 제 2 파워 서플라이 시스템(VSC)을 포함하고, 상기 제 1 파워 서플라이 시스템에 의해 발생 가능한 교류의 주파수가 10 내지 100 Hz 이며, 상기 제 2 파워 서플라이 시스템에 의해 발생 가능한 교류의 주파수가 10 내지 1000 kHz인 것을 특징으로 하는, 리액터.
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