KR20130122869A - 검사용 탐침장치 및 검사용 탐침장치의 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 검사용 탐침장치 및 검사용 탐침장치의 제조방법에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위하여 사용되되 하우징 내에 배치되는 검사용 탐침 장치에 있어서, 피검사 디바이스의 단자와 접촉될 수 있는 상부 플런저; 상기 상부 플런저와 결합되고 내부가 빈 원통형상으로 이루어지되 하부에는 바깥방향으로 절곡되어 돌출되는 돌출부가 마련되어 있는 배럴; 일부는 상기 배럴 내에 삽입되며, 나머지 일부는 상기 배럴로부터 하측으로 돌출되는 하부 플런저; 및 상기 배럴 내에 삽입되어 있으며 상기 하부 플런저를 상기 상부 플런저과 멀어지는 방향으로 탄성바이어스시키는 탄성바이어스부재를 포함하는 검사용 탐침장치 및 검사용 탐침장치의 제조방법에 대한 것이다.

Description

검사용 탐침장치 및 검사용 탐침장치의 제조방법{Probe apparatus for test and fabrication method thereof}

본 발명은 검사용 탐침장치 및 검사용 탐침장치의 제조방법에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 제조가 용이하여 제작비용이 절감될 수 있는 검사용 탐침장치 및 검사용 탐침장치의 제조방법에 대한 것이다.

일반적으로 완성된 반도체 디바이스는 정상동작의 유무 또는 신뢰성을 확인하기 위한 전기적 검사를 수행하게 된다. 이러한 테스트는 반도체 패키지의 모든 입출력 단자를 검사 신호 발생회로와 연결하여 정상적인 동작 및 단선여부를 검사하는 전기적 특성 테스트와, 반도체 패키지의 전원 입력 단자 등 일부 입출력 단자들을 검사신호 발생 회로와 연결하여 스트레스를 인가함으로써 반도체 패키지의 수명 및 결함 발생 여부를 체크하는 번인테스트(Burn-In Test)가 있다.

이때, 상기 번인테스트의 경우에는 정상 동작 조건 보다 높은 온도, 전압 및 전류 등으로 스트레스를 인가하게 된다.

이러한 테스트를 위하여, 별도의 테스트 소켓에 반도체 패키지를 탑재시킨 상태에서 테스트가 진행된다. 그리고, 상기 테스트 소켓은 기본적으로 반도체 패키지의 형태에 따라 그 모양이 결정되고, 반도체 패키지의 외부접속단자와 소켓리드의 기계적인 접촉에 의해 테스트 기판을 연결하는 매개 역할을 한다.

즉, 상기 테스트 소켓은 반도체 패키지와 연결됨과 동시에 테스트 기판과 연결되어 이들을 연결함으로써, 테스트 기판의 신호를 반도체 패키지에 전달하여 테스트가 이루어지도록 하는 것이다.

그리고, 반도체 패키지 중에서 외부접속단자로 솔더볼을 사용하는 볼 그리드 어레이(Ball Grid Array:BGA) 패키지의 경우에는, 플라스틱 소재의 테스트 소켓 몸체 내부에 소켓핀이 내설된 구조를 갖게 된다. 그리고, 이러한 소켓핀으로는 포고핀이라고 불리우는 탐침장치가 사용된다.

이러한 탐침장치(100)는, 도 1에 도시된 바와 같이 피검사 디바이스(150)의 단자(151)와 검사장치(160)의 패드(161)를 서로 전기적으로 접속시키는 것으로서, 원통형상으로 이루어진 배럴(110)과, 상기 배럴(110)의 상측에 배치되며 상단에 다수의 요철(121)이 형성되는 상부 플런저(120)와, 상기 배럴(110)의 내부로부터 외부로 출몰되는 하부 플런저(130)와, 상기 배럴(110)의 내부에 배치되어 상기 하부 플런저(130)를 하측방향으로 탄성바이어스시키는 스프링(미도시)을 포함하여 구성된다. 한편, 상기 배럴(110)의 외주면에는 외측으로 돌출된 플랜지(111)가 마련되어 있으며 상기 플랜지(111)는 상기 탐침장치(100)가 상기 하우징(140) 내에 걸려 외부로 이탈되는 것을 방지하도록 한다.

이때, 하우징(140)은 상하방향으로 일정한 내경을 가지면서 연장되는 제1관통공(141a)이 형성되는 상부하우징(141)과, 상기 상부하우징(141)의 하측에 배치되며 상기 제1관통공(141a)보다 큰 직경을 가지되 하단이 내측으로 돌출된 단턱(142b)에 의하여 좁혀진 제2관통공(142a)을 가지는 하부하우징(142)의 내부에 배치되어 전기적인 접속을 가능하게 하는 것이다.

이러한 본 발명의 일실시예에 따른 탐침장치는 하부 플런저가 검사장치의 패드에 접촉된 상태에서 검사장치에 탑재되어 배치되고, 그 상부측에는 상부 플런저에 접촉될 수 있는 다수의 단자를 가지는 피검사 디바이스가 배치된다. 한편, 도 2에 도시된 바와 같이, 피검사 디바이스가 하강하면 상기 피검사 디바이스의 단자는 상기 상부 플런저의 요철에 접촉되면서 상기 탐침장치를 전체적으로 하강시킨다. 이때, 상부 플런저와 함께 배럴도 하강하게 되는데, 이때 하부 플런저는 배럴의 내부로 삽입되면서 그 하단에 배치된 패드와 확실하게 접촉되도록 한다. 한편, 배럴의 내부에 배치된 스프링은 탄성반발력에 의하여 상부 플런저와 단자 및 하부 플런저와 패드 간의 접촉을 더욱 확실하게 할 수 있다.

상기 검사장치로부터 소정의 전기적인 신호가 인가되면 상기 신호는 하부 플런저, 배럴, 상부 플런저를 거쳐 피검사 디바이스의 단자로 전달되고 이에 따라 소정의 전기적인 검사가 수행될 수 있다.

이러한 탐침장치에서, 배럴의 제조방법은 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같다.

먼저, 도 3에 도시된 바와 같이 일정두께를 가지는 원통형상의 모재(110')를 준비하고, 상기 모재(110')의 표면을 선반 등에 의하여 절삭하여 표면에 플랜지(111)가 마련될 수 있도록 한다. 즉, 도 4에 도시된 바와 같이 점선으로 표시된 부분을 절삭가공에 의하여 제거하여 제작되어야 할 배럴(110)의 표면에 돌출된 플랜지가 형성될 수 있도록 한다. 이후에는 도 5에 도시된 바와 같이 상기 배럴(110)의 하단을 내측으로 절곡한다.

이러한 기존의 공정에서 플랜지는 상술한 바와 같이, 하우징의 내부에 배치되어 상기 배럴이 외부로 이탈되는 것을 방지하는 기능을 수행하게 된다.

이러한 종래기술에 따른 탐침장치는 다음과 같은 문제점을 가진다.

먼저, 종래기술에 따른 배럴의 제조방법은 비교적 두꺼운 두께를 가진 모재를 준비한 후에 그 모재를 절삭가공함에 의하여 플랜지가 형성되도록 한다. 그러나, 이러한 제조방법은 절삭가공과정에서 모재에서 제거되어야 하는 부분이 필연적으로 발생하게 되어 재료의 낭비가 유발된다는 단점이 있다.

또한, 최근 미세피치의 단자를 가진 피검사 디바이스가 제작됨에 따라서 탐침장치 간의 간격이 좁아지게 되는데, 이 과정에서 플랜지의 두께도 감소될 수 밖에 없는데, 절삭가공에 의하여 이러한 미세한 플랜지를 형성하는 것은 용이하지 않거나 제작에 많은 비용이 유발된다는 단점이 있다.

또한, 플랜지는 하우징 내부에 내면과 접촉되게 되는데, 수많은 접촉으로 인하여 상기 플랜지가 마모되거나 훼손될 염려가 있다. 그러나, 일단 훼손된 플랜지는 다시 생성하는 것이 어렵기 때문에 플랜지가 훼손된 배럴은 폐기처분하여야 하고 이에 따라 전체적인 검사비용이 증가된다는 단점이 있다.

대한민국 공개특허 제2009-0067572호

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 제조가 간편하고 유지보수가 용이하며 전체적인 제작비용을 감소시킬 수 있는 검사용 탐침장치 및 검사용 탐침장치의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 탐침장치 및 검사용 탐침장치의 제조방법은, 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위하여 사용되되 하우징 내에 배치되는 검사용 탐침 장치에 있어서,

피검사 디바이스의 단자와 접촉될 수 있는 상부 플런저;

상기 상부 플런저와 결합되고 내부가 빈 원통형상으로 이루어지되 하부에는 바깥방향으로 절곡되어 돌출되는 돌출부가 마련되어 있는 배럴;

일부는 상기 배럴 내에 삽입되며, 나머지 일부는 상기 배럴로부터 하측으로 돌출되는 하부 플런저; 및

상기 배럴 내에 삽입되어 있으며 상기 하부 플런저를 상기 상부 플런저과 멀어지는 방향으로 탄성바이어스시키는 탄성바이어스부재를 포함할 수 있다.

상기 검사용 탐침장치에서,

상기 하부 플런저는, 상기 배럴의 내경과 대응되는 내경을 가지는 상측부; 및 상기 상측부와 일체로 연결되며 하측으로 연장되고 상기 상측부보다 작은 외경을 가지는 하측부를 포함할 수 있다.

상기 검사용 탐침장치에서,

상기 돌출부의 상측에는 상기 하부 플런저의 일부가 상기 배럴 내에서 벗어나지 못하도록 내측으로 절곡되어 함입된 함입부가 마련될 수 있다.

상기 검사용 탐침장치에서,

상기 돌출부는 하단으로부터 상측으로 갈수록 외경이 점차 감소하는 형상을 가질 수 있다.

상기 검사용 탐침장치에서,

상기 돌출부는, 배럴의 일부 영역으로부터 국부적으로 절곡되어 돌출된 요철의 형상을 가질 수 있다.

상기 검사용 탐침장치에서,

상기 돌출부는, 배럴의 원주방향을 따라서 서로 이격되어 다수개가 배치될 수 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 탐침장치의 제조방법은, 전기적 검사를 위한 검사용 탐침장치의 제조방법으로서,

(a) 상하단이 개구되며 외경이 일정하게 유지되는 원통형상의 모재를 준비하는 단계;

(b) 상기 모재의 하부의 일부 또는 전부를 바깥방향으로 절곡하여 돌출시켜 돌출부를 생성시키는 단계;

(c) 상기 돌출부의 상측으로서, 모재의 일부 또는 전부를 내측으로 절곡하여 함입시켜 함입부를 생성시키는 단계;

(d) 상기 모재의 상단을 통하여 하부 플런저를 삽입하여 상기 함입부에 걸리도록 안착시키는 단계;를 포함할 수 있다.

상기 제조방법에서,

상기 (d) 단계 이후에 배치되는 단계로서,

(e) 상기 모재 내에 스프링 및 상부 플런저를 순차적으로 삽입하는 단계; 및

(f) 상기 상부 플런저가 삽입된 모재의 상부를 절곡하여 함입시켜 함입부를 생성시키는 단계;를 더 포함할 수 있다.

상기 제조방법에서,

(b) 단계는, 모재의 직경보다 작은 외경으로부터 상기 모재의 직경보다 큰 외경까지 점차적으로 증가되는 원뿔형상의 금형을 준비하고, 상기 금형 내에 상기 모재의 개구된 하단을 올려놓은 후에 상기 모재를 하측으로 가압하여 상기 모재의 하단이 점차적으로 확장되도록 할 수 있다.

상기 제조방법에서,

(c)단계는, 단부가 뾰족한 탐침형상의 정을 모재의 외부로부터 내측방향으로 가압하여 함입부가 형성되도록 할 수 있다.

상기 제조방법에서,

상기 함입부는 상기 모재의 원주방향을 따라서 서로 이격되어 다수 배치될 수 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 탐침장치는, 전기적 검사를 위한 검사용 탐침장치에 있어서,

내부가 비어 있고 일정한 내경 및 외경을 가지는 원통형상으로 이루어지되 하단에는 바깥방향으로 절곡되어 돌출되는 돌출부와, 상기 돌출부의 상측에 배치되며 내측방향으로 절곡되어 함입되는 함입부를 가지는 배럴; 및

일부는 상기 배럴 내에 삽입되고 나머지 일부는 상기 배럴로부터 하측으로 돌출되되 상기 함입부에 걸려 배럴의 외부로 빠지지 않게 구성된 하부 플런저를 포함한다.

상기 검사용 탐침장치에서,

상기 돌출부는 배럴의 둘레를 따라 원주방향으로 연장되어 형성되며, 전체적으로 나팔꽃 형상을 가질 수 있다.

상기 검사용 탐침장치에서,

상기 돌출부는 V 형상으로 절곡되어 돌출되어 있을 수 있다.

상기 검사용 탐침장치에서,

상기 함입부는 V 형상으로 내측으로 절곡되어 함입될 수 있다.

본 발명의 검사용 탐침장치는, 하우징에 걸리도록 하는 돌출부가 바깥방향으로 절곡되어 마련됨에 따라서 제조가 간편하고 필요한 소재가 감소될 수 있게 된다.

또한, 본 발명의 검사용 탐침장치는, 돌출부가 훼손 또는 파손되는 경우에도 절곡에 의하여 손쉽게 재가공이 가능하기 때문에 전체적인 유지비용을 절감할 수 있다는 장점이 있다.

도 1은 종래기술에 따른 검사용 탐침장치를 도시한 도면.
도 2는 도 1의 검사용 탐침장치의 작동모습을 나타내는 도면.
도 3 내지 도 5는 도 1의 검사용 탐침장치의 배럴을 제작하는 모습의 일예를 나타나는 도면.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 검사용 탐침장치를 도시한 도면.
도 7 내지 도 14는 도 6의 검사용 탐침장치를 제작하는 모습을 나타내는 도면.
도 15는 도 6의 검사용 탐침장치의 배럴에 대한 다양한 단면형상을 나타내는 도면.

이하, 본 발명의 일실시예에 따른 검사용 탐침장치를 첨부된 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.

본 발명의 일실시예에 따른 검사용 탐침장치(10)는 피검사 디바이스(80)의 단자(81)와 검사장치(90)의 패드(91)를 서로 전기적으로 연결시키기 위하여 사용되는 것으로서 상단은 피검사 디바이스(80)의 단자(81)와 접촉되고 하단은 검사장치(90)의 패드(91)에 접촉될 수 있다.

이러한 검사용 탐침장치(10)는 하우징(70) 내에 배치된 상태를 가지는 것이다. 상기 하우징(70)은, 상면과 하면을 일정한 직경으로 관통하는 제1관통공(71a)이 마련되는 상부하우징(71)과, 상기 제1관통공(71a)보다 직경이 다소 크며 하단에는 단턱(72b)에 의하여 직경이 감소되는 제2관통공(72a)이 형성되는 하부하우징(72)으로 이루어진다. 이때, 상기 검사용 탐침장치(10)는 제1관통공(71a)과 제2관통공(72a)의 내부에 배치된 상태에 놓이게 된다.

상기 검사용 탐침장치(10)는, 상부 플런저(20), 배럴(30), 하부 플런저(40) 및 탄성바이어스부재(50)를 포함하여 구성된다.

상기 상부 플런저(20)는, 피검사 디바이스(80)의 단자(81)와 접촉될 수 있도록 상단에 요철이 형성되는 것이다. 구체적으로는 상측요철부(21), 중간부(22) 및 삽입부(23)로 이루어진다. 상기 상측요철부(21)는 대략 원기둥형상으로 이루어지되 하우징의 외부로 돌출되는 부분이다. 이러한 상측요철부(21)는 그 상단에 원뿔 또는 사각뿔과 같은 형상의 다수의 요철(211)이 형성되어 있다. 이러한 요철(211)은 피검사 디바이스(80)의 단자(81)와 접촉시 단자 표면에 확실하게 접촉하도록 함으로서 전기적 전도성을 높일 수 있는 형상을 가진다. 또한, 상기 요철에는 전도성을 높이기 위한 금과 같은 전도성 우수한 소재로 도금되어 있을 수 있다.

상기 중간부(22)는, 상기 상측요철부(21)로부터 외경이 확장되는 부분으로서 대략 원뿔대형 및 원기둥형이 복합되어 구성된다.

상기 삽입부(23)는 상기 배럴(30)의 내부에 삽입되는 부분으로서, 대략 중앙에 오목하게 패여진 홈(231)이 원주방향을 따라 형성되고 그 하단에는 하단을 향하여 돌출된 핀이 마련된다. 이러한 삽입부(23)는 홈(231)이 배럴(30)의 함입부(31)에 의하여 위치고정될 수 있도록 구성된다.

상기 배럴(30)은, 상기 상부 플런저(20)와 결합되고 내부가 빈 원통형상으로 이루어지되 하부에는 바깥방향을 절곡되어 돌출되는 돌출부(32)가 마련되는 구성이다. 이러한 배럴(30)은 내부와 외부에 모두 전도성이 우수한 전도성 도금층이 형성될 수 있으며, 이에 한정되는 것은 아니며 내부에만 전도성 도금층이 형성될 수 있다.

배럴(30)의 상측에 내측으로 절곡되어 함입된 함입부(31)가 마련되어 있으며 상기 함입부(31)가 삽입부(23)의 홈(231)에 끼워걸림으로서 상기 상부 플런저(20)를 배럴(30)에 위치고정한다.

배럴(30)의 하측에는 바깥방향으로 절곡되어 돌출되는 돌출부(32)가 마련된다. 이러한 돌출부(32)는 대략 하단으로 갈수록 외경이 증가되는 형상을 가지고 있으며 배럴(30)의 상측 또는 중간부에 비하여 배럴(30) 하단의 외경이 다소 크게 형성된다. 이러한 배럴(30)의 돌출부(32)는 하우징의 내부에 걸려 외부로 빠져나가지 않는 기능을 수행한다.

상기 배럴(30)의 하측으로서 돌출부(32)의 위에는 하부 플런저(40)의 일부가 상기 배럴(30) 내에서 벗어나지 못하도록 내측으로 절곡되어 함입된 함입부(31)가 마련된다. 상기 함입부(31)는 배럴(30) 상측의 함입부(31)와 대략 동일한 형태로 이루어진다.

상기 하부 플런저(40)는, 일부는 배럴(30) 내에 삽입되며, 나머지 일부는 배럴(30)로부터 하측으로 돌출되는 것으로서, 검사장치(90)의 패드(91)와 접촉되는 부분이다. 이러한 하부 플런저(40)는, 상기 배럴(30)의 내경과 대응되는 내경을 가지는 상측부(41)와, 상기 상측부(41)와 일체로 연결되며 하측으로 연장되는 하측부(42)를 포함하여 구성된다.

구체적으로 상기 상측부(41)는 대략 원기둥형상으로 이루어지되, 상기 배럴(30)의 내부에서 상측 또는 하강을 하는 부분이다. 이러한 상측부(41)는 그 하단이 상기 배럴(30)의 함입부(31)에 걸려 상기 하부 플런저(40)가 외부로 빠져나가는 것을 방지하는 기능을 수행한다.

상기 하측부(42)는 상기 상측부(41)로부터 하측으로 연장되는 부분으로서 배럴(30)의 외부로 연장되어 돌출되는 것으로서, 그 하단이 검사장치(90)의 패드(91)와 접촉되는 부분이다. 이러한 하측부(42)는 대략 핀형상으로 이루어진다.

상기 탄성바이어스부재(50)는, 상기 배럴(30) 내에 삽입되어 있으며 상기 하부 플런저(40)를 상기 상부 플런저(20)와 멀어지는 방향으로 탄성바이어스시키는 것이다. 이러한 탄성바이어스부재(50)로는 압축코일 스프링이 사용되는 것이 일반적이다. 다만, 전기적인 흐름을 용이하게 하기 위하여 상기 스프링의 표면에는 전도성이 우수한 전도성 도금층이 형성되는 것도 가능하다.

이러한 탄성바이어스부재(50)는 상기 배럴(30) 내에 삽입된 상태에서 그 상단이 상기 상부 플런저(20)에 접촉되고 하단은 상기 하부 플런저(40)에 접촉되어 있어 상시적으로 상기 하부 플런저(40)를 탄성가압하고 있도록 배치되어 있게 된다.

이러한 본 발명의 일실시예에 따른 검사용 탐침장치(10)는 다음과 같이 제작될 수 있다.

먼저, 도 7에 도시된 바와 같이 상하단이 개구되며 외경이 일정하게 유지되는 원통형상의 모재(30')(여기서 '모재(30')'란 배럴(30)을 완성하기 전 단계의 파이프를 의미한다)를 준비한다. 이때 모재(30')는 통상의 금속소재의 파이프를 사용하는 것이 가능하다.

이후에, 도 8 내지 10에 도시된 바와 같이, 모재(30')의 하부 일부 또는 전부를 바깥방향으로 절곡하여 돌출시켜 돌출부(32)를 생성한다.

이때, 모재(30')의 하측에는 모재(30')의 직경보다 작은 외경으로부터 모재(30')의 직경보다 큰 외경까지 점차적으로 외경이 증가되는 원뿔형상의 금형(60)을 준비하고, 상기 금형(60) 내에 상기 모재(30')의 개구된 하단을 올려놓은 후에 상기 모재(30')를 하측으로 가압하여 상기 모재(30')의 하단이 점차적으로 확장되도록 하는 것이다. 이때, 모재(30')를 하측에서 바라본 모습을 도 9에 도시된 바와 같다.

이후에, 도 11에 도시된 바와 같이, 돌출부(32)의 상측으로서 모재(30')의 일부 또는 전부를 내측으로 절곡하여 함입시켜 함입부(31)를 생성시킨다. 구체적으로는, 단부가 뾰족한 탐침형상의 정을 모재(30')의 외부로부터 내측방향으로 가압하여 합임부가 형성되도록 한다. 이때 내측방향이란 모재(30')의 중심축을 향하는 방향을 의미한다. 이와 같이 함입부(31)가 생성된 모재(30')는 도 12에 도시되어 있다.

이후에는, 도 13에 도시된 바와 같이, 모재(30')의 상단을 통하여 하부 플런저(40)를 삽입하여 상기 함입부(31)에 걸리도록 안착시키고, 이후에는 모재(30') 내에 스프링 및 상부 플런저(20)를 순차적으로 삽입하게 된다.

이후에는, 도 14에 도시된 바와 같이, 상부 플런저(20)가 삽입된 모재(30')의 상부를 절곡하여 함입시켜 함입부(31)를 생성시킨다. 구체적으로는 모재(30')의 상부에 함입부(31)를 형성하여 함입부(31)가 상부 플런저(20)의 홈(231)에 끼워질 수 있도록 한다. 이때, 함입부(31)는 모재(30')의 원주방향을 따라서 서로 이격되어 다수 배치될 수 있다.

다만, 이에 한정되는 것은 아니며 단일의 함입부(31)가 상기 모재(30')에 형성되는 것도 가능함은 물론이다. 이때, 함입부(31)는 V 형상의 단면을 가지면서 내측으로 절곡되어 함입되는 것도 가능하며 기타 다양한 형태로 구성될 수 있다.

이러한 본 발명의 검사용 탐침장치(10)는 다음과 같은 작용효과를 가진다.

먼저, 도 6의 검사용 탐침장치(10)에서 피검사 디바이스(80)가 하강하면 그 피검사 디바이스(80)의 단자(81)는 상부 플런저(20)에 접촉하면서 상부 플런저(20)와 배럴(30)을 하강시킨다. 이때, 하부 플런저(40)는 배럴(30) 내로 삽입되면서 탄성바이어스부재(50)에 의하여 탄력지지되어 검사장치(90)의 패드(91)와 확실하게 접촉된다. 이후에, 검사장치(90)의 패드(91)로부터 전기적인 신호가 인가되면 그 신호는 하부 플런저(40), 탄성바이어스부재(50) 및/또는 배럴(30), 상부 플런저(20)를 거쳐 피검사 디바이스(80)의 단자(81)로 전달되어 소정의 전기적인 검사가 이루어지게 된다.

이러한 본 발명의 검사용 탐침장치는, 기존과 같이 소정두께를 가진 환봉을 기계적으로 절삭가공함이 없이도 파이프 형태의 배럴에 필요한 돌출부를 용이하게 형성할 수 있어 제작편의성이 증대되고, 소재의 낭비가 최소화될 수 있다는 장점이 있다.

또한, 본 발명의 검사용 탐침장치는, 돌출부가 빈번한 작동으로 마모 또는 파손되는 경우에도 손쉽게 바깥방향으로 절곡하여 새로운 돌출부를 용이하게 제작할 수 있어 유지관리가 용이하다는 장점이 있다.

또한, 본 발명의 검사용 탐침장치는, 기계적인 절삭가공에 의하여 돌출부를 형성하고 있는 것이 아니기 때문에 미세피치를 가진 피검사 디바이스의 단자에 쉽게 적용할 수 있다는 장점이 있다.

본 발명은 상술한 실시예에 국한되는 것이 아니라 다음과 같이 변형되는 것도 가능하다.

먼저, 상술한 실시예에서는 돌출부를 전체적으로 직경이 확장되는 형태로 구성되는 것을 예시하였다. 예컨데, 나팔꽃과 같은 형상으로 이루어지는 것을 예시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨데, 도 15의 (a), (b), (c)에 도시된 바와 같이 국부적으로 V 형상의 단면을 가지도록 돌출성형되는 것도 가능하다. 이때 돌출부(32)은 배럴(30)의 일측에만 형성되거나, 양측에 형성되거나, 상하좌우에 각각 형성되는 것도 가능하며 기타 다양한 형태로 변경되어 형성될 수 있다.

또한, 상술한 실시예에서는 함입부 또는 돌출부를 형성하기 위하여 금형 또는 정 등의 도구를 사용한 것을 예시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 예시되지 않은 다양한 도구를 이용하여 배럴의 일부 또는 전부를 절곡하여 형성하는 것이 가능하다.

이러한 본 발명에 따른 검사용 탐침장치 및 그 제조방법은 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 형태로 변형되는 것도 가능하며 이러한 변형의 범위는 특허청구범위에서 합리적으로 해석되는 범위까지에 이른다.

10...검사용 탐침장치 20...상부 플런저
21...상측 요철부 211...요철
22...중간부 23...삽입부
30...배럴 31...함입부
32...돌출부 40...하부 플런저
41...상측부 42...하측부
50...탄성바이어스부재 60...금형
61...정 70...하우징
71...상부하우징 72...하부하우징
80...피검사 디바이스 81...단자
90...검사장치 91...패드

Claims (15)

1. 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위하여 사용되되 하우징 내에 배치되는 검사용 탐침 장치에 있어서,
   피검사 디바이스의 단자와 접촉될 수 있는 상부 플런저;
   상기 상부 플런저와 결합되고 내부가 빈 원통형상으로 이루어지되 하부에는 바깥방향으로 절곡되어 돌출되는 돌출부가 마련되어 있는 배럴;
   일부는 상기 배럴 내에 삽입되며, 나머지 일부는 상기 배럴로부터 하측으로 돌출되는 하부 플런저; 및
   상기 배럴 내에 삽입되어 있으며 상기 하부 플런저를 상기 상부 플런저과 멀어지는 방향으로 탄성바이어스시키는 탄성바이어스부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침 장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 하부 플런저는, 상기 배럴의 내경과 대응되는 내경을 가지는 상측부; 및
   상기 상측부와 일체로 연결되며 하측으로 연장되고 상기 상측부보다 작은 외경을 가지는 하측부를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 돌출부의 상측에는 상기 하부 플런저의 일부가 상기 배럴 내에서 벗어나지 못하도록 내측으로 절곡되어 함입된 함입부가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침장치.
4. 제1항에 있어서,
   상기 돌출부는 하단으로부터 상측으로 갈수록 외경이 점차 감소하는 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침장치.
5. 제1항에 있어서,
   상기 돌출부는, 배럴의 일부 영역으로부터 국부적으로 절곡되어 돌출된 요철의 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침장치.
6. 제5항에 있어서,
   상기 돌출부는, 배럴의 원주방향을 따라서 서로 이격되어 다수개가 배치되는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침장치.
7. 전기적 검사를 위한 검사용 탐침장치의 제조방법으로서,
   (a) 상하단이 개구되며 외경이 일정하게 유지되는 원통형상의 모재를 준비하는 단계;
   (b) 상기 모재의 하부의 일부 또는 전부를 바깥방향으로 절곡하여 돌출시켜 돌출부를 생성시키는 단계;
   (c) 상기 돌출부의 상측으로서, 모재의 일부 또는 전부를 내측으로 절곡하여 함입시켜 함입부를 생성시키는 단계;
   (d) 상기 모재의 상단을 통하여 하부 플런저를 삽입하여 상기 함입부에 걸리도록 안착시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침장치의 제조방법.
8. 제7항에 있어서,
   상기 (d) 단계 이후에 배치되는 단계로서,
   (e) 상기 모재 내에 스프링 및 상부 플런저를 순차적으로 삽입하는 단계; 및
   (f) 상기 상부 플런저가 삽입된 모재의 상부를 절곡하여 함입시켜 함입부를 생성시키는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침장치의 제조방법.
9. 제7항에 있어서,
   (b) 단계는, 모재의 직경보다 작은 외경으로부터 상기 모재의 직경보다 큰 외경까지 점차적으로 증가되는 원뿔형상의 금형을 준비하고, 상기 금형 내에 상기 모재의 개구된 하단을 올려놓은 후에 상기 모재를 하측으로 가압하여 상기 모재의 하단이 점차적으로 확장되도록 하는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침장치의 제조방법.
10. 제7항에 있어서,
    (c)단계는, 단부가 뾰족한 탐침형상의 정을 모재의 외부로부터 내측방향으로 가압하여 함입부가 형성되도록 하는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침장치의 제조방법.
11. 제7항에 있어서,
    상기 함입부는 상기 모재의 원주방향을 따라서 서로 이격되어 다수 배치되는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침장치의 제조방법.
12. 전기적 검사를 위한 검사용 탐침장치에 있어서,
    내부가 비어 있고 일정한 내경 및 외경을 가지는 원통형상으로 이루어지되 하단에는 바깥방향으로 절곡되어 돌출되는 돌출부와, 상기 돌출부의 상측에 배치되며 내측방향으로 절곡되어 함입되는 함입부를 가지는 배럴; 및
    일부는 상기 배럴 내에 삽입되고 나머지 일부는 상기 배럴로부터 하측으로 돌출되되 상기 함입부에 걸려 배럴의 외부로 빠지지 않게 구성된 하부 플런저를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침 장치.
13. 제12항에 있어서,
    상기 돌출부는 배럴의 둘레를 따라 원주방향으로 연장되어 형성되며, 전체적으로 나팔꽃 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침 장치.
14. 제12항에 있어서,
    상기 돌출부는 V 형상으로 절곡되어 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침 장치.
15. 제12항에 있어서,
    상기 함입부는 V 형상으로 내측으로 절곡되어 함입된 것을 특징으로 하는 검사용 탐침 장치.

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