KR20130111179A - 비접촉식 클린부가 구비된 기판 클리닝 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 비접촉식 클린부가 구비된 기판 클리닝 장치에 관한 것으로, 기판의 상부면에 공기를 가하여 기판 표면 부착되어있던 먼지(Dust)를 부유(浮游)시키는 상부클리너(110)와, 상기 상부클리너(110)에 의해 부유된 먼지를 진공으로 흡입하는 상부흡입부(120)와, 기판의 하부면에 공기를 가하여 기판 표면 부착되어있던 먼지(Dust)를 부유(浮游)시키는 하부클리너(130)와, 상기 하부클리너(130)에 의해 부유된 먼지를 진공으로 흡입하는 하부흡입부(140)와, 롤축(51)을 중심으로 회전하며 기판의 하부에서 기판이 상기 상부클리너(110)와 하부클리너(130)와 사이를 통과하도록 가이드하는 가이드롤부(50)와; 상기 가이드롤부(50)를 회전시키며 프레임(1)에 지지, 고정된 구동부(60)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 클린부가 구비된 기판 클리닝 장치에 관한 것이다.

Description

비접촉식 클린부가 구비된 기판 클리닝 장치 { Substrate Cleaning Device }
본 발명은 비접촉식 클린부가 구비된 기판 클리닝 장치에 관한 것이다.
본 발명은 반도체 패키지 제조 공정 중 칩이 탑재되기 전의 기판을 노광하기에 앞서 노광 단계를 거쳐야할 수 기판을 세정하는 장치에 관한 것이다.
종래의 기판 크리닝 장치는 기판 직접 접촉을 통하여 점착성 물질이 도포된 상태의 상, 하 점착롤러를 통하여 먼지나 이물질을 닦아내는 방식이었다. 하지만, 최근에 기판의 박판화 경향(두께가 30μm 정도의 박판)으로 얇어지면서 기판 세정 작업시 상하 롤러의 압력에 의해 기판이 깨지는 품질 불량 문제가 발생하는 문제점이 있다.
또한, 직접 접촉에 의해 세정방식은 롤러의 점착물질 터치에 의해 기판의 외면에 필연적으로 손상(Scratch)을 가져오는 문제점이 있었다. 손상은 상, 하 롤러이 기판에 가하는 압력이 클수록 커지는 경향이 있었다.
또한, 유연성의 박판 형상의 기판이 세정장치를 거치는 과정에서 기판이 진행하면서 추력에 의해 접혀져서 차후 정밀도에 문제를 일으키는 문제점이 있었다.
본 발명은 기판 클린부를 비접촉 흡수식으로 구현하여 종래의 기판 세정 작업시 상하 롤러의 압력에 의해 기판이 깨지는 문제와 필연적으로 발생하는 접촉에 의한 손상(Scratch) 발생을 원천적으로 차단하거나 줄일 수 있는 비접촉식 클린부가 구비된 기판 클리닝 장치를 제공하기 위함이다.
본 발명은 기판의 상하부에 모두 가이드롤부를 적용하여 진행하는 기판의 말림 현상을 방지할 수 있는 비접촉식 클린부가 구비된 기판 클리닝 장치를 제공하기 위함이다.
또한, 피세정 대상인 박판 형상의 기판을 세정 장치로 통과시키기 위한 롤러부와 롤러부를 구동하는 구동수단의 결합을 비접촉식으로 구현하여, 롤러부(상, 하부 롤러, 점착롤러, 또는 컨베이어 롤러)를 몸체부(프레임)로부터 서랍식으로 삽입, 탈출시킬 수 있게 함으로써, 롤러부의 이물질 제거나 보수, 또는 점착롤러 보수 등의 작업을 수월하게 하고 소음이 적으며 내구성 있는 비접촉식 클린부가 구비된 기판 클리닝 장치를 제공하기 위함이다.
본 발명의 일실시예에 따른 비접촉식 클린부가 구비된 기판 클리닝 장치는,
기판의 상부면에 공기를 가하여 기판 표면 부착되어있던 먼지(Dust)를 부유(浮游)시키는 상부클리너(110)와,
상기 상부클리너(110)에 의해 부유된 먼지를 진공으로 흡입하는 상부흡입부(120)와,
기판의 하부면에 공기를 가하여 기판 표면 부착되어있던 먼지(Dust)를 부유(浮游)시키는 하부클리너(130)와,
상기 하부클리너(130)에 의해 부유된 먼지를 진공으로 흡입하는 하부흡입부(140)와,
롤축(51)을 중심으로 회전하며 기판의 하부에서 기판이 상기 상부클리너(110)와 하부클리너(130)와 사이를 통과하도록 가이드하는 가이드롤부(50)와;
상기 가이드롤부(50)를 회전시키며 프레임(1)에 지지, 고정된 구동부(60)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르는 경우, 기판 클린부를 비접촉 흡수식으로 구현하여 종래의 기판 세정 작업시 상하 롤러의 압력에 의해 기판이 깨지는 문제와 필연적으로 발생하는 접촉에 의한 손상(Scratch) 발생을 원천적으로 차단하거나 줄일 수 있는 비접촉식 클린부가 구비된 기판 클리닝 장치가 제공된다.
또한, 본 발명은 기판의 상하부에 모두 가이드롤부를 적용하여 기판의 말림 현상을 방지할 수 있는 비접촉식 클린부가 구비된 기판 클리닝 장치가 제공된다.
또한, 피세정 대상인 박판 형상의 기판을 세정 장치로 통과시키기 위한 롤러부와 롤러부를 구동하는 구동수단의 결합을 비접촉식으로 구현하여, 롤러부(상, 하부 롤러, 점착롤러, 또는 컨베이어 롤러)를 몸체부(프레임)로부터 서랍식으로 삽입, 탈출시킬 수 있게 함으로써, 롤러부의 이물질 제거나 보수, 또는 점착롤러 보수 등의 작업을 수월하게 하고 소음이 적으며 내구성 있는 비접촉식 클린부가 구비된 기판 클리닝 장치가 제공된다.
도 1은 본 본 발명의 일실시예에 따른 비접촉식 클린부가 구비된 기판 클리닝 장치 구성도.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 비접촉식 회전수단이 구비된 기판 클리닝장치 정면도.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 비접촉식 회전수단이 구비된 기판 클리닝장치 정면 주요부 확대도.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 비접촉식 회전수단이 구비된 기판 클리닝장치 좌측면도.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 비접촉식 회전수단이 구비된 기판 클리닝장치 평면도.
도 6(a, b)은 본 발명의 비접촉식 구동부의 제1 자석환이 구비된 제1 구동바와 제2 자석환이 구비된 롤축의 구성을 보이는 평면도.
도 7은 도 6(a, b)의 제1 자석환이 구비된 제1 구동바와 제2 자석환이 구비된 롤축의 상하 위치 관계를 보이는 정면도.
도 8(a, b)은 본 발명의 비접촉식 구동부의 제3 자석환이 구비된 제2 구동바와 제3 자석환이 구비된 하부롤러축의 구성을 보이는 평면도.
도 9는 도 8의 제3 자석환이 구비된 제2 구동바와 제3 자석환이 구비된 하부롤러축의 상하 위치 관계를 보이는 정면도.
이하에서 본 발명의 일실시예에 따른 비접촉식 회전수단이 구비된 기판 클리닝장치에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 도 1은 본 본 발명의 일실시예에 따른 비접촉식 클린부가 구비된 기판 클리닝 장치 구성도, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 비접촉식 회전수단이 구비된 기판 클리닝장치 정면도, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 비접촉식 회전수단이 구비된 기판 클리닝장치 정면 주요부 확대도, 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 비접촉식 회전수단이 구비된 기판 클리닝장치 좌측면도, 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 비접촉식 회전수단이 구비된 기판 클리닝장치 평면도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 비접촉식 클린부가 구비된 기판 클리닝 장치는 상부클리너(110)와 상부흡입부(120)와 하부클리너(130)와 하부흡입부(140)와 가이드롤부(50)를 포함하여 구성된다.
도 1에 도시된 바와 같이, 상부클리너(110)는 기판의 상부면에 공기를 가하여 기판 표면 부착되어있던 먼지(Dust)를 부유(浮游)시킨다. 상부흡입부(120)는 상기 상부클리너(110)에 의해 부유된 먼지를 진공으로 흡입한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 하부클리너(130)는 기판의 하부면에 공기를 가하여 기판 표면 부착되어있던 먼지(Dust)를 부유(浮游)시킨다. 하부흡입부(140)는 하부클리너(130)에 의해 부유된 먼지를 진공으로 흡입한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 가이드롤부(50)는 롤축(51)을 중심으로 회전하며 기판의 하부에서 기판이 상기 상부클리너(110)와 하부클리너(130)와 사이를 통과하도록 가이드한다. 구동부(60)는 가이드롤부(50)를 회전시키며 프레임(1)에 지지, 고정된다.
도 1에 도시된 바와 같이, 상부클리너(110) 또는 하부클리너(130)는 모(毛)가 심어진 브러시(Brush)인 것이 바람직하다. 상부클리너(110) 또는 하부클리너(130)는 고압의 공기 공급부로부터 고압공기를 공급받아 내부의 공기관을 통과한 후 기판의 일면에 공기를 고속으로 분사하는 분사구 또는 분사노즐 일 수 있다. 상부클리너(110) 또는 하부클리너(130)는 회전하는 팬(fan)일 수도 있다.
도 6(a, b)은 본 발명의 비접촉식 구동부의 제1 자석환(M1)이 구비된 제1 구동바(61)와 제2 자석환(M2)이 구비된 롤축(51)의 구성을 보이는 평면도이고, 도 7은 도 6(a, b)의 제1 자석환(M1)이 구비된 제1 구동바(61)와 제2 자석환(M2)이 구비된 롤축(51)의 상하 위치 관계를 보이는 정면도이다. 도 8(a, b)은 본 발명의 비접촉식 구동부의 제3 자석환(M3)이 구비된 제2 구동바(65)와 제3 자석환(M3)이 구비된 하부롤러축(11)의 구성을 보이는 평면도이고, 도 9는 도 8의 제3 자석환(M3)이 구비된 제2 구동바(65)와 제3 자석환(M3)이 구비된 하부롤러축(11)의 상하 위치 관계를 보이는 정면도이다.
도 2 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 비접촉식 회전수단이 구비된 기판 클리닝장치는, 하부 롤러(10)와 상부 롤러(20)와 하부 점착 롤러(30)와 상부 점착롤러(40)와 가이드롤부(50)와 구동부(60)를 포함하여 구성된다.
도 2, 도 3, 도 4, 또는 도 5에 도시된 바와 같이, 하부 롤러(10)는 하부롤러축(11)을 중심으로 회전한다. 상부 롤러(20)는 하부 롤러(10)와 평행하게 상기 하부 롤러(10) 상부에 구비된다. 하부 점착 롤러(30)는 하부 롤러(10)의 하부에 평행하게 구비되고, 상부 점착롤러(40)는 상부 롤러(20)의 하부에 평행하게 구비된다.
또한, 가이드롤부(50)는 롤축(51)을 중심으로 회전하며 기판의 하부에서 기판이 상기 상부 롤러(20)와 하부 롤러(10) 사이를 통과하도록 가이드한다. 구동부(60)는 가이드롤부(50), 하부롤러(10), 및 상부 롤러(20) 중에서 적어도 하나를 회전시키며 프레임(1)에 지지, 고정된다.
본 발명의 비접촉식 회전수단이 구비된 기판 클리닝장치에 있어서, 도 3, 도 4, 도 6, 도 7에 도시된 바와 같이, 구동부(60)는 상기 가이드롤부(50)를 비접촉식으로 회전시킨다. 구동부(60)는, 프레임(1)에 지지된 구동모터(M)와, 상기 구동모터(M)의 회전력으로 회전되고 기판 진행방향으로 평행하게 회동가능하게 지지된 제1 구동바(61)와, 상기 제1 구동바(61)에 소정간격으로 이격되어 구비된 복수개의 제1 자석환(M1)을 포함하여 구성된다.
이때, 롤축(51)은 제1 구동바(61)와 수직으로 이루며 서로 이격되게 배치되되 상기 제1 자석환(M1)과 상응하는 위치에 제2 자석환(M2)이 구비되어, 상기 제1 자석환(M1)이 회전되면 자력에 의한 반발력에 의해 상기 제2 자석환(M2)이 회전됨으로써 상기 제1 구동바(61)에 회전에 의해 상기 롤축(51)이 비접촉식으로 회전되는 것이다.
본 발명의 비접촉식 회전수단이 구비된 기판 클리닝장치에 있어서, 도 1 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 하부 롤러(10), 상부 롤러(20), 하부 점착 롤러(30), 및 상부 점착롤러(40)는 기판 진행 방향으로 서로 평행하게 적어도 2개 이상 구비된다. 이때, 가이드롤부(50)는 상기 롤축(51)의 외주에 복수개씩 고정된 롤핀(52)을 더 포함하고, 기판의 상면과 하면을 가이드하여 기판의 말림 또는 접힘 현상이 방지되도록 상부롤축(56)과 상부롤핀(57)으로 구성된 상부가이드롤부(55)가 더 구비되는 것이 바람직하다.
도 2 내지 도 5, 도 8, 도 9에 도시된 바와 같이, 구동부(60)는 상기 하부 롤러(10)를 비접촉식으로 회전시킨다. 구동부(60)는, 프레임(1)에 지지된 구동모터(M)와, 상기 구동모터(M)의 회전력으로 회전되고 기판(B) 진행방향으로 평행하게 회동가능하게 지지된 제2 구동바(65)와, 상기 제2 구동바(65)에 구비된 제3 자석환(M3)을 포함하여 구성된다.
또한, 하부롤러축(11)은 상기 제2 구동바(65)와 수직으로 이루며 서로 이격되게 배치되되 상기 제3 자석환(M3)과 상응하는 위치에 제4 자석환(M4)이 구비되어, 상기 제3 자석환(M3)이 회전되면 자력에 의한 반발력에 의해 상기 제4 자석환(M4)이 회전됨으로써 상기 제2 구동바(65)에 회전에 의해 상기 하부롤러축(11)이 비접촉식으로 회전되는 것이다.
도 2 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 구동부(60)는 가이드롤부(50)를 비접촉식으로 회전시키고, 상기 구동부(60)는 하부 롤러(10)를 비접촉식으로 회전시키며, 가이드롤부(50)와 상기 하부 롤러(10)의 양단은 제1 슬라이딩 지지체(B1)에 회동가능하게 지지, 고정되고, 제1 슬라이딩 지지체(B1)는 프레임(1)에 고정된 안내레일(R)을 따라 삽입, 탈출 가능하게 구성되는 것이 바람직하다.
도 2에 도시된 바와 같이, 제1 구동바(61)는 좌측, 우측으로 추가로 연장되고 자석환(M22. M33)가 구비되는 것이 바람직하다. 이때, 보조 롤축(151, 161)이 대응되게 구비됨은 당연하다. 롤핀(152, 162)는 전술한 형태로 구비된다.
본 발명은 상기에서 언급한 바람직한 실시예와 관련하여 설명됐지만, 본 발명의 범위가 이러한 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 범위는 이하의 특허청구범위에 의하여 정하여지는 것으로 본 발명과 균등 범위에 속하는 다양한 수정 및 변형을 포함할 것이다.
아래의 특허청구범위에 기재된 도면부호는 단순히 발명의 이해를 보조하기 위한 것으로 권리범위의 해석에 영향을 미치지 아니함을 밝히며 기재된 도면부호에 의해 권리범위가 좁게 해석되어서는 안될 것이다.
110 : 상부클리너
120 : 상부흡입부
130 : 하부클리너
140 : 하부흡입부
1 : 프레임 10 : 하부 롤러
11 : 하부롤러축 20 : 상부 롤러
30 : 하부 점착 롤러 40 : 상부 점착롤러
50 : 가이드롤부 51 : 롤축
52 : 롤핀 55 : 상부가이드롤부
56 : 상부롤축 57 : 상부롤핀
60 : 구동부 61 : 제1 구동바
65 : 제2 구동바 M : 구동모터
M1 : 제1 자석환 M2 : 제2 자석환
M3 : 제3 자석환 M4 : 제4 자석환
B1 : 제1 슬라이딩 지지체 R : 안내레일

Claims (3)

  1. 기판의 상부면에 공기를 가하여 기판 표면 부착되어있던 먼지(Dust)를 부유(浮游)시키는 상부클리너(110)와,
    상기 상부클리너(110)에 의해 부유된 먼지를 진공으로 흡입하는 상부흡입부(120)와,
    기판의 하부면에 공기를 가하여 기판 표면 부착되어있던 먼지(Dust)를 부유(浮游)시키는 하부클리너(130)와,
    상기 하부클리너(130)에 의해 부유된 먼지를 진공으로 흡입하는 하부흡입부(140)와,
    롤축(51)을 중심으로 회전하며 기판의 하부에서 기판이 상기 상부클리너(110)와 하부클리너(130)와 사이를 통과하도록 가이드하는 가이드롤부(50)와;
    상기 가이드롤부(50)를 회전시키며 프레임(1)에 지지, 고정된 구동부(60),
    를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 클린부가 구비된 기판 클리닝 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 상부클리너(110) 또는 하부클리너(130)는 모(毛)가 심어진 브러시(Brush)인 것을 특징으로 하는 비접촉식 클린부가 구비된 기판 클리닝 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 구동부(60)는 상기 가이드롤부(50)를 비접촉식으로 회전시키되;
    상기 구동부(60)는,
    프레임(1)에 지지된 구동모터(M)와,
    상기 구동모터(M)의 회전력으로 회전되고 기판 진행방향으로 평행하게 회동가능하게 지지된 제1 구동바(61)와,
    상기 제1 구동바(61)에 소정간격으로 이격되어 구비된 복수개의 제1 자석환(M1)을 포함하여 구성되고;
    상기 롤축(51)은 상기 제1 구동바(61)와 수직으로 이루며 서로 이격되게 배치되되 상기 제1 자석환(M1)과 상응하는 위치에 제2 자석환(M2)이 구비되어, 상기 제1 자석환(M1)이 회전되면 자력에 의한 반발력에 의해 상기 제2 자석환(M2)이 회전됨으로써 상기 제1 구동바(61)에 회전에 의해 상기 롤축(51)이 비접촉식으로 회전되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 회전수단이 구비된 기판 클리닝장치.
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