KR20130105326A - Probe and connection jig - Google Patents

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KR20130105326A
KR20130105326A KR1020130009660A KR20130009660A KR20130105326A KR 20130105326 A KR20130105326 A KR 20130105326A KR 1020130009660 A KR1020130009660 A KR 1020130009660A KR 20130009660 A KR20130009660 A KR 20130009660A KR 20130105326 A KR20130105326 A KR 20130105326A
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outer conductor
spring
conductor
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노리히로 오타
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니혼덴산리드가부시키가이샤
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Abstract

PURPOSE: A probe and a connection jig are provided to effectively inhibit the reaction of preload when the probe is mounted because the spring property of the probe is not damaged when the probe contacts the contacting point of an inspected object. CONSTITUTION: A probe (20) comprises an external conductor (22), an internal conductor (24), a fixing part (26), and a spring part (22s). The external conductor has the form of a pipe. The internal conductor is inserted into the external conductor so that the fore-end of the internal conductor is protruded from the fore-end of the external conductor and the rear end of the internal conductor is not protruded from the rear end of the external conductor. The inner conductor is electrically connected to the external conductor. The fore-end of the inner conductor contacts the contacting point of an inspected object. The fixing part electrically connects and fixes the external conductor and the internal conductor. The spring part expands and contracts in the axis direction of the probe with a spiral notch around the external conductor.

Description

프로브 및 접속치구{PROBE AND CONNECTION JIG}PROBE AND CONNECTION JIG}

본 발명은, 검사대상에 형성된 접속점과의 전기접속(電氣接續)을 하기 위한 접속치구(接續治具)에 사용되는 프로브(probe) 및 접속치구에 관한 것이다.
TECHNICAL FIELD This invention relates to the probe used for the connection jig for making electrical connection with the connection point formed in the test object, and a connection jig.

이러한 종류의 접속치구는 예를 들면 검사치구(檢査治具) 또는 검사카드(檢査card)라고 불리는 것으로서, 복수의 프로브를 구비하고 있고, 이 프로브를 경유하여 검사대상에 미리 설정되는 접속점에 검사장치 등으로부터의 전류 혹은 전기신호를 공급함과 아울러, 접속점으로부터 전기신호를 검출함으로써 접속점 사이의 전기적 특성을 검출하여 도통검사(導通檢査)나 리크검사(leak檢査)의 동작시험 등을 한다.This kind of connection jig is called, for example, an inspection jig or an inspection card, and includes a plurality of probes, and the inspection device is connected to a connection point preset to the inspection object via the probe. In addition to supplying a current or an electric signal from the lamp, and detecting an electric signal from the connection point, electrical characteristics between the connection points are detected to conduct a conduction test or a leak test operation test.

그 검사대상으로서는 예를 들면 프린트 배선기판(print 配線基板), 플렉시블 기판(flexible 基板), 세라믹 다층배선기판(ceramic 多層配線基板), 액정디스플레이(液晶display)나 플라즈마 디스플레이용의 전극판(電極板) 또는 반도체 패키지용의 패키지 기판(package 基板)이나 필름 캐리어 등 다양한 기판이나 반도체 웨이퍼나 반도체 칩이나 CSP(chip size package) 등의 반도체 장치(LSI(Large Scale Integration) 등)가 해당된다.Examples of the inspection target include printed wiring boards, flexible substrates, ceramic multilayer wiring boards, electrode plates for liquid crystal displays and plasma displays. Or various substrates such as package substrates or film carriers for semiconductor packages, semiconductor wafers such as semiconductor wafers, semiconductor chips, or chip size packages (LSPs, etc.).

이러한 종류의 종래의 프로브로서는 특허문헌1에 기재에 되어 있는 것이 있다. 이 특허문헌1에 기재에 되어 있는 프로브에서는, 도전성(導電性)의 극세(極細)의 통 모양체에 의하여 프로브가 구성됨과 아울러, 그 통 모양체의 둘레벽면에 축방향으로 신축되는 스프링부가 형성되어 있다. 이 때문에 이 프로브는, 그 선단부가 검사대상의 접속점에 접촉되었을 때에 접속점으로부터 받는 반력(하중)에 의하여 스프링부가 축방향으로 압축되도록 되어 있다. 또한 이 프로브를 접속치구에 장착할 때에 스프링부를 축방향으로 압축한 상태에서 장착됨으로써 스프링부의 탄성력에 의하여 프로브의 후단(後端)이 전극부에 가압되어, 프로브와 전극부의 전기적인 접촉상태(예를 들면 접촉저항 등)가 안정되도록 되어 있다.
Conventional probes of this kind are described in Patent Document 1. In the probe described in Patent Document 1, the probe is constituted by a conductive ultrafine tubular body, and a spring portion that is axially stretched in the circumferential wall surface of the tubular body is formed. . For this reason, in this probe, the spring part is compressed in the axial direction by the reaction force (load) received from the connection point when the tip part contacts the connection point of the inspection object. In addition, when the probe is mounted on the connecting jig, the spring portion is mounted in the axial direction so that the rear end of the probe is pressed against the electrode portion by the elastic force of the spring portion, and thus the electrical contact state between the probe and the electrode portion (eg For example, contact resistance) is stabilized.

일본국 공개특허 특개2011-164028호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2011-164028

그러나 상기의 특허문헌1에 기재에 되어 있는 프로브에서는, 접속치구에 장착되었을 때의 예압(豫壓)에 따르는 프로브의 반력의 조절이 어려워서 반력이 커지기 쉽다는 문제가 있다. 접속치구에는 몇 백개로부터 몇 만개의 프로브가 장착되기 때문에 예압의 반력이 지나치게 크면, 프로브의 선단측을 반력에 저항하여 빠지지 않게 지지하고 있는 프로브 지지부재가 예압의 반력에 의하여 변형되어 버리는 등의 단점이 발생한다.However, in the probe described in Patent Document 1, there is a problem that the reaction force of the probe due to the preload when it is attached to the connecting jig is difficult, and the reaction force tends to be large. Since the connecting jig is equipped with hundreds to hundreds of thousands of probes, if the reaction force of the preload is too large, the probe supporting member, which supports the front end side of the probe against the reaction force, is deformed by the reaction force of the preload. This happens.

또 이러한 종류의 프로브에서는, 스프링부의 스프링 특성(예를 들면 스프링 정수(spring 定數) 등)은 프로브가 검사대상의 접속점에 접촉될 때의 압력과 스프링부의 축방향의 압축치수와의 관계 등이 우선되는 경향에 있어, 예압에 알맞은 스프링 정수보다 큰 스프링 정수로 설정되는 경향이 있다.In this type of probe, the spring characteristics of the spring portion (e.g., spring constant, etc.) depend on the relationship between the pressure when the probe contacts the connection point of the inspection object and the compression dimension in the axial direction of the spring portion. In the tendency to be preferred, it tends to be set to a spring constant larger than the spring constant suitable for preload.

또한 프로브의 예압에 의한 반력을 작게 하기 위하여 프로브에 예압을 부여하기 위한 프로브의 축방향의 압축치수를 작게 하는 것이 생각된다. 그러나 이 구성에서는, 프로브 길이의 편차의 영향에 의하여 각 프로브의 예압을 위한 압축치수에 편차가 발생하여 각 프로브의 예압에 편차가 발생하여 버린다.It is also conceivable to reduce the compression dimension in the axial direction of the probe for applying the preload to the probe in order to reduce the reaction force due to the preload of the probe. However, in this configuration, a deviation occurs in the compression dimension for the preload of each probe due to the influence of the deviation of the probe length, and a deviation occurs in the preload of each probe.

또한 최근에는 LSI의 형성 프로세스가 향상되고, LSI의 미세화가 추진되고, LSI 검사용 패드의 협피치화(挾pitch化)나 다수화(多數化)가 진행됨으로써 검사대상 기판의 복잡화나 미세화가 더 진행되어, 기판에 설정되는 대상점이 더 좁게 또는 작게 형성되고 있기 때문에, 프로브가 더 가늘게 형성되고 있다. 이 때문에 다수의 미세한 프로브이더라도 확실하게 선단부와 접속점과의 전기적 접속이 도모되는 것이 요구되고 있다.In addition, in recent years, the formation process of the LSI has been improved, the LSI has been miniaturized, and the pitch of the LSI inspection pad has been narrowed and the number of multiples has been increased, thereby further increasing the complexity and miniaturization of the inspection target substrate. Since the target point set to the board | substrate advances and is narrower or smaller, the probe is formed thinner. For this reason, even with many fine probes, it is required to reliably establish electrical connection between the tip and the connection point.

여기에서 본 발명이 해결하여야 할 과제는, 프로브가 검사대상의 접속점에 접촉될 때의 스프링 특성을 손상시키지 않아, 접속치구에 장착되었을 때의 프로브의 예압의 반력을 효과적으로 억제할 수 있는 프로브 및 접속치구를 제공하는 것이다.
The problem to be solved by the present invention is a probe and a connection that can effectively suppress the reaction force of the preload of the probe when mounted on the connection jig without damaging the spring characteristics when the probe is in contact with the connection point of the inspection object To provide jig.

상기의 과제를 해결하기 위하여 청구항1에 기재되어 있는 발명은, 검사대상에 형성된 접속점과의 전기접속(電氣接續)을 하기 위한 접속치구(接續治具)에 사용되는 프로브(probe)로서, 도전성(導電性)을 구비하고 통(筒) 모양의 형태를 구비하는 외측도체(外側導體)와, 도전성을 구비하고 그 선단부가 상기 외측도체의 선단측으로부터 돌출되고 또한 그 후단부가 상기 외측도체의 후단측으로부터 돌출되지 않도록 상기 외측도체 내에 삽입됨과 아울러 상기 외측도체와 전기접속되고 그 선단부가 상기 검사대상의 상기 접속점에 접촉되어 전기접속되는 내측도체(內側導體)와, 상기 외측도체와 상기 내측도체를 전기적으로 접속함과 아울러 고정하는 고정부(固定部)를 구비하고, 상기 외측도체의 둘레벽에는, 나선 모양의 노치(notch)에 의한 상기 프로브의 축방향(軸方向)으로 신축하는 스프링부(spring部)가 형성되고, 상기 스프링부의 나선 모양의 피치(pitch)가 일정하지 않은 것을 특징으로 하는 프로브를 제공한다(여기에서 통 모양이라는 것은, 물리적으로 정확한 통 모양을 포함하는 대략 통 모양을 의미한다. 이하, 본 명세서에서 동일하다).In order to solve the above problems, the invention described in claim 1 is a probe used for a connection jig for making electrical connection with a connection point formed on an inspection object. An outer conductor having a cylindrical shape and having a cylindrical shape, having a conductivity, and having a tip thereof protruding from the tip side of the outer conductor, and having a rear end thereof at a rear end side of the outer conductor. An inner conductor inserted into the outer conductor so as not to protrude from the inner conductor and electrically connected to the outer conductor and having its tip contacted and electrically connected to the connection point of the inspection object; And a fixing part for fixing and fixing to the peripheral wall of the outer conductor. And a spring portion is formed to expand and contract in the axial direction of the probe by a spiral notch, and the spiral pitch of the spring portion is not constant. Providing a probe (in this case, the cylindrical shape means an approximately cylindrical shape including a physically correct cylindrical shape. The following is the same herein).

청구항2에 기재되어 있는 발명은, 상기 스프링부의 나선 모양의 피치가, 상기 프로브의 축방향을 따라 서서히 커지거나 또는 작아지게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 청구항1에 기재에 되어 있는 프로브를 제공한다.The invention described in claim 2 provides the probe according to claim 1, wherein the spiral pitch of the spring portion is formed to increase or decrease gradually along the axial direction of the probe.

청구항3에 기재되어 있는 발명은, 상기 스프링부의 나선 모양의 피치가, 상기 피치가 서로 다른 적어도 2개 이상의 그룹으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 청구항1에 기재에 되어 있는 프로브를 제공한다.The invention described in claim 3 provides the probe according to claim 1, wherein the spiral pitch of the spring portion is formed in at least two groups having different pitches.

청구항4에 기재되어 있는 발명은, 상기 그룹이, 피치가 상이한 대소(大小) 2개의 그룹으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 청구항3에 기재에 되어 있는 프로브를 제공한다.The invention described in claim 4 provides the probe according to claim 3, wherein the group is formed of two groups of small and large groups having different pitches.

청구항5에 기재되어 있는 발명은, 청구항1 내지 청구항4 중 어느 하나에 기재된 프로브를 사용한 접속치구로서, 청구항1 내지 청구항4 중 어느 하나에 기재된 상기 프로브와, 상기 프로브의 상기 외측도체의 후단부가 접촉되어 전기접속되는 전극부(電極部)와, 상기 프로브의 상기 내측도체의 선단측 부분이 상기 검사대상측으로 돌출되도록 삽입되어 지지되는 제1관통구멍이 형성됨과 아울러, 상기 제1관통구멍의 내면 또는 상기 검사대상과 반대측의 개구부(開口部)에, 상기 프로브의 상기 외측도체의 선단측 끝부가 접촉되는 접촉부(接觸部)가 형성되고, 상기 전극부와의 사이에서 상기 외측도체를 상기 축방향으로 압축한 상태에서 지지하는 제1프로브 지지부재(第一probe 支持部材)와, 상기 프로브의 후단측 부분이 삽입되어 지지되는 제2관통구멍이 형성된 제2프로브 지지부재(第二probe 支持部材)와, 상기 전극부를 지지하는 전극지지부재(電極支持部材)를 구비하는 것을 특징으로 하는 접속치구를 제공한다.
The invention described in claim 5 is a connecting jig using the probe according to any one of claims 1 to 4, wherein the probe according to any one of claims 1 to 4 is in contact with a rear end of the outer conductor of the probe. An electrode portion to be electrically connected and a first through hole into which the tip side portion of the inner conductor of the probe is inserted and supported so as to protrude toward the inspection target side, and an inner surface of the first through hole or A contact portion is formed in an opening on the side opposite to the inspection object to contact the tip end of the outer conductor of the probe, and the outer conductor in the axial direction between the electrode portion and the electrode portion. The first probe supporting member, which is supported in the compressed state, and the second through hole, in which the rear end portion of the probe is inserted and supported, is formed. A connecting jig is provided, comprising: a formed second probe support member; and an electrode support member supporting the electrode portion.

청구항1에 기재되어 있는 발명에 의하면, 나선 모양의 노치의 피치가 일정하지 않기 때문에, 프로브가 가압되어 스프링부가 수축될 때에 피치가 좁은 장소의 스프링부의 노치가 변형된다. 이 때문에 스프링부의 외관상 권수(卷數)가 감소하게 되어 스프링 정수가 올라가게 된다. 즉 수축량에 따라 스프링 정수가 변화되는 프로브를 제공할 수 있다. 또한 이와 같이 수축량에 따라 스프링 정수가 변화되기 때문에, 프로브의 지지체에 지지되어 있을 때와 검사가 이루어지고 있을 때에 서로 다른 스프링 정수의 프로브를 제공할 수 있다.According to the invention described in claim 1, since the pitch of the spiral notch is not constant, the notch of the spring portion at the narrow pitch is deformed when the probe is pressed and the spring portion is contracted. As a result, the number of turns of the spring portion decreases, resulting in an increase in the spring constant. That is, it is possible to provide a probe in which the spring constant changes according to the shrinkage amount. In addition, since the spring constant changes according to the amount of shrinkage as described above, it is possible to provide a probe having a different spring constant when it is supported by the support of the probe and when the inspection is being performed.

청구항2에 기재되어 있는 발명에 의하면, 노치의 피치가 프로브의 축방향을 따라 서서히 커지거나 또는 작아지게 형성되기 때문에, 프로브의 수축량에 따라 기능을 하는 스프링부의 길이 조정을 용이하게 할 수 있다.According to the invention described in claim 2, since the pitch of the notch is formed to increase or decrease gradually along the axial direction of the probe, the length adjustment of the spring portion functioning according to the shrinkage amount of the probe can be facilitated.

청구항3에 기재되어 있는 발명에 의하면, 노치의 피치가, 피치가 서로 다른 적어도 2개 이상의 그룹으로 형성되어 있기 때문에, 프로브의 수축량에 따라 기능을 하는 스프링부를 적어도 2개 이상으로 나누어서 조정할 수 있다.According to the invention described in claim 3, since the pitch of the notch is formed in at least two or more groups having different pitches, it is possible to adjust by dividing at least two or more spring portions that function according to the amount of shrinkage of the probe.

청구항4에 기재되어 있는 발명에 의하면, 피치가 대소 2개의 서로 다른 그룹으로 형성되어 있기 때문에, 피치가 좁게 형성되는 스프링부를 비검사 시(예압)를 위한 스프링부로서 이용하고, 피치가 넓게 형성되는 스프링부를 검사 시를 위한 스프링부로서 이용할 수 있다.According to the invention as set forth in claim 4, since the pitch is formed in two different groups, the pitch is narrow and the pitch is formed as a spring part for non-inspection (preload). The spring portion can be used as a spring portion for inspection.

청구항5에 기재되어 있는 발명에 의하면, 프로브가 검사대상의 접속점에 접촉될 때의 프로브의 스프링 특성을 손상시키지 않아, 접속치구에 장착되었을 때의 프로브의 예압의 반력을 효과적으로 억제할 수 있는 접속치구를 제공할 수 있다.
According to the invention as set forth in claim 5, the connecting jig can effectively suppress the reaction force of the preload of the probe when it is attached to the connecting jig without damaging the spring characteristic of the probe when the probe is in contact with the connection point of the inspection object. Can be provided.

도1은, 본 발명에 관한 프로브가 구비된 접속치구의 개략적인 구성을 나타내는 일부 단면 정면도이다.
도2는, 본 발명에 관한 프로브의 개략적인 구성을 나타내는 일부 단면도이다. 외측도체를 측단면으로 나타내고, 내측도체를 측면도로 나타낸다.
도3은, 프로브에 구비되는 외측도체의 개략적인 구성을 나타내는 측면도이다.
도4는, 본 발명에 관한 프로브의 선단측의 구성을 나타내는 일부 단면도이다.
도5는, 본 발명에 관한 프로브의 후단측의 구성을 나타내는 일부 단면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a partial sectional front view showing a schematic configuration of a connection jig with a probe according to the present invention.
2 is a partial sectional view showing a schematic configuration of a probe according to the present invention. The outer conductor is shown in side section and the inner conductor is shown in side view.
3 is a side view illustrating a schematic configuration of an outer conductor included in the probe.
4 is a partial cross-sectional view showing the configuration of the tip side of the probe according to the present invention.
5 is a partial cross-sectional view showing the configuration of the rear end side of the probe according to the present invention.

본 발명에 관한 접속치구(接續治具) 및 프로브(probe)는, 검사대상이 구비하는 검사대상부에 검사장치로부터 전력 혹은 전기신호를 소정의 검사위치인 접속점에 공급함과 아울러, 그 접속점을 통하여 검사대상부로부터 전기신호를 검출함으로써 검사대상부의 전기적 특성을 검출하거나 동작시험을 하거나 하는 것을 가능하게 한다. 또 이하의 각 첨부된 도면에 있어서, 각 부재의 두께, 길이, 형상, 부재 상호간의 간격 등은 이해를 용이하게 하기 위하여 적절하게 확대·축소·변형·간략화 등을 하였다.The connecting jig and the probe according to the present invention supply the power or electric signal from the inspection apparatus to the connection point, which is a predetermined inspection position, to the inspection target portion provided by the inspection object, and through the connection point. By detecting the electrical signal from the top, it is possible to detect the electrical characteristics of the inspection object or to perform an operation test. In the accompanying drawings, the thickness, length, shape, spacing between members, and the like have been appropriately enlarged, reduced, deformed, simplified, etc. in order to facilitate understanding.

<접속치구의 개략적인 구성><Schematic Configuration of Connection Tool>

도1을 참조하여 본 발명의 제1실시형태에 관한 프로브가 사용된 접속치구의 개략적인 구성에 대하여 설명한다. 접속치구(10)는, 제1프로브 지지부재(第一probe 支持部材)(12), 제2프로브 지지부재(第二probe 支持部材)(14), 전극부(電極部)(도면에는 나타내지 않는다) 및 전극지지부재(電極支持部材)(16)를 구비한다. 제1 및 제2프로브 지지부재(12, 14)는 수지(樹脂) 혹은 세라믹스(ceramics) 등의 절연성의 판 모양 부재로 이루어진다. 도1의 실시형태에서는, 제1 및 제2프로브 지지부재(12, 14)가 막대 모양의 지지부재(支持部材)(11) 및 그 주위에 고리 모양으로 이루어진 스페이서(spacer)(11s)에 의하여 소정의 거리만큼 격리되어 지지되어 있지만, 제1프로브 지지부재(12)와 제2프로브 지지부재(14) 사이의 공간을 비우지 않고 복수의 판 모양 부재를 적층(積層)하여도 좋다.Referring to Fig. 1, a schematic configuration of a connection jig in which a probe according to a first embodiment of the present invention is used will be described. The connecting jig 10 is not shown in the drawing of the first probe support member 12, the second probe support member 14, and the electrode portion (not shown in the drawing). ) And an electrode support member 16. The first and second probe supporting members 12 and 14 are made of an insulating plate-like member such as resin or ceramics. In the embodiment of Fig. 1, the first and second probe support members 12 and 14 are formed by a rod-shaped support member 11 and a spacer 11s formed in a ring shape around the support member 11 and its surroundings. Although separated and supported by a predetermined distance, a plurality of plate-like members may be laminated without emptying the space between the first probe supporting member 12 and the second probe supporting member 14.

제1프로브 지지부재(12)에는 복수의 관통구멍(12h)이 형성되어 있고, 이것에 삽입되어 지지된 프로브(20)의 선단부가 소정의 위치로 안내된다. 제2프로브 지지부재(14)에는 복수의 관통구멍(14h)이 형성되어 있고, 이것에 삽입되어 지지된 프로브(20)의 후단부가 전극부로 안내된다. 검사대상이 미세하게 됨에 따라 접속점 사이의 거리가 매우 작아지고 있기 때문에, 각 관통구멍(12h, 14h)의 내경 및 이웃하는 관통구멍(12h, 14h) 상호간의 간격도 매우 작다.A plurality of through holes 12h are formed in the first probe supporting member 12, and the tip portion of the probe 20 inserted and supported therein is guided to a predetermined position. A plurality of through holes 14h are formed in the second probe support member 14, and the rear end of the probe 20 inserted and supported therein is guided to the electrode portion. As the inspection object becomes finer, the distance between the connection points becomes very small, so that the inner diameter of each of the through holes 12h and 14h and the space between the adjacent through holes 12h and 14h are also very small.

프로브(20)의 후단부는, 전극부 지지부재(16)에 지지(고정)된 후술하는 전극부(15)의 검사대상측 표면과 접촉된다. 본 실시형태에서는, 예를 들면 전극부는 전극지지부재(16)에 고정된 도선(導線)(18)의 끝부에 의하여 구성되어 있고, 그 도선(18)은 도면에 나타내지 않은 검사장치에 접속되어 있다. 또 도1에 있어서는, 도면을 간략화 하기 위하여 일부의 프로브(20)만을 나타내고 있다.The rear end of the probe 20 is in contact with the surface to be inspected of the electrode portion 15 described later supported (fixed) by the electrode portion supporting member 16. In the present embodiment, for example, the electrode portion is constituted by an end portion of the conductive wire 18 fixed to the electrode supporting member 16, and the conductive wire 18 is connected to an inspection apparatus not shown in the drawing. . In addition, in FIG. 1, only some probe 20 is shown in order to simplify drawing.

또한 특별하게 한정되는 것은 아니지만, 도1에 나타나 있는 바와 같이 검사대상의 검사 시에는, 접속치구(10)의 하방에 검사대상인 피검사물(30)(예를 들면 기판)을 배치하고, 접속치구(10)를 하강시켜서 프로브(20)의 선단부를 소정의 접속점 예를 들면 30dn에 접촉시키고, 이것에 의하여 검사대상부의 전기적 특성을 검사한다.In addition, although not specifically limited, as shown in FIG. 1, when the inspection object is to be inspected, the inspection object 30 (for example, a substrate) to be inspected is disposed below the connection jig 10, and the connection jig ( 10) is lowered, and the tip of the probe 20 is brought into contact with a predetermined connection point, for example, 30dn, thereby inspecting the electrical characteristics of the inspection target part.

<프로브의 구성><Configuration of the probe>

다음에 도2 및 도3을 참조하여 본 실시형태에 관한 프로브(20)의 구성에 대하여 설명한다. 이 프로브(20)는, 도2에 나타나 있는 바와 같이 외측도체(外側導體)(22), 내측도체(內側導體)(24) 및 고정부(固定部)(26)를 구비하여 구성되어 있다.Next, with reference to FIG. 2 and FIG. 3, the structure of the probe 20 which concerns on this embodiment is demonstrated. As shown in FIG. 2, the probe 20 includes an outer conductor 22, an inner conductor 24, and a fixing part 26.

외측도체(22)는, 도전성(導電性)을 구비함과 아울러 대략 통(筒) 모양의 형태(본 실시형태에서는 원통 모양의 형태)를 구비하고 있다. 내측도체(24)는, 도전성을 구비하는 가늘고 긴 대략 막대 모양(본 실시형태에서는 원기둥 모양)의 부재이고, 그 선단부에는 검사대상의 접속점에 접촉되는 첨예(尖銳)한 모양의 접촉단(接觸端)(24a)이 형성되어 있다. 이러한 내측도체(24)는, 그 선단부가 외측도체(22)의 선단측으로부터 돌출되고 또한 그 후단부가 외측도체(22)의 후단측으로부터 돌출되지 않도록 외측도체(22) 내에 삽입됨과 아울러 외측도체(22)와 전기적으로 접속되어 있다. 고정부(26)는 외측도체(22)와 내측도체(24)를 고정하고 있다. 본 실시형태에서는, 외측도체(22)와 내측도체(24)의 전기접속은, 내측도체(24)가 외측도체(22) 내에 삽입되었을 때에 발생하는 양자의 접촉장소 및 고정부(26)에 의하여 이루어지고 있다.The outer conductor 22 has a conductive shape and a substantially cylindrical shape (cylindrical shape in this embodiment). The inner conductor 24 is a member of an elongated, substantially rod-shaped (cylindrical shape in the present embodiment) having conductivity, and has a sharp contact end in contact with the connection point of the inspection object at the tip end thereof. ) 24a is formed. The inner conductor 24 is inserted into the outer conductor 22 so that its front end protrudes from the front end side of the outer conductor 22 and its rear end does not protrude from the rear end side of the outer conductor 22, and the outer conductor ( 22) is electrically connected. The fixing part 26 fixes the outer conductor 22 and the inner conductor 24. In the present embodiment, the electrical connection between the outer conductor 22 and the inner conductor 24 is caused by the contact points and the fixing portions 26 generated when the inner conductor 24 is inserted into the outer conductor 22. It is done.

외측도체(22)는, 도2에 나타나 있는 바와 같이 선단통부(先端筒部)(22f), 후단통부(後端筒部)(22r)와 스프링부(spring部)(22s)를 구비하고 있다.As shown in FIG. 2, the outer conductor 22 has a front end portion 22f, a rear end portion 22r, and a spring portion 22s. .

외측도체(22)의 원통 모양의 둘레벽에는, 프로브(20)의 축방향(軸方向)으로 신축하는 스프링부(22s)가 형성되어 있다. 스프링부(22s)는, 외측도체(22)의 둘레벽에 형성된 대략 나선 모양(더 상세하게는 가늘고 긴 판스프링을 나선 모양으로 감은 것과 같은 형상)의 노치(notch)를 형성함으로써 스프링부(22s)가 형성되어 있다. 도2의 실시형태에서는, 프로브(20)의 대략 중앙에 스프링부(22s)가 1개 형성되어 있지만, 복수 장소에 스프링부(22s)를 형성하여도 좋지만 적어도 후술하는 노치의 피치(pitch) 특징을 구비하는 스프링부를 1개 구비할 필요가 있다.On the cylindrical circumferential wall of the outer conductor 22, a spring portion 22s which expands and contracts in the axial direction of the probe 20 is formed. The spring portion 22s is formed by forming a notch of a substantially spiral shape (more specifically, a shape in which a thin and long leaf spring is wound in a spiral shape) formed on the circumferential wall of the outer conductor 22. ) Is formed. In the embodiment of Fig. 2, one spring portion 22s is formed at approximately the center of the probe 20, but the spring portions 22s may be formed at a plurality of locations, but at least the pitch feature of the notch described later It is necessary to provide one spring part provided with a.

스프링부(22s)의 피치에 대하여 설명한다. 도3은, 외측도체(22)를 나타내는 측면도로서, 본 발명의 스프링부의 피치에 대하여 설명하기 위한 설명도이다. 또 이 도3에서는, 스프링부(22s)의 노치의 폭을 부호 s로서 나타내고 있고, 스프링부(22s)의 노치(s)와 노치(s) 사이의 스프링의 띠(帶, strap)를 부호 w로서 나타내고 있다. 또한 스프링부(22s)의 피치는, 이 노치의 폭(s)과 스프링의 띠(w)를 합하여 부호 x로서 나타내고 있다. 도3에서는, 스프링부(22s)로서 4개의 스프링이 형성되어 있고, 그 피치로서 순서에 따라 부호 x1 내지 x4로 되어 있고, 그 노치의 폭이 부호 s1 내지 s4로 되어 있고, 스프링의 띠가 부호 w1 내지 w4로 되어 있다. 또 이 스프링부의 스프링은 한정되지 않으며 설명의 편의상 4개로 되어 있다.The pitch of the spring part 22s is demonstrated. 3 is a side view showing the outer conductor 22, which is an explanatory diagram for explaining the pitch of the spring portion of the present invention. In Fig. 3, the width of the notch of the spring portion 22s is indicated by the symbol s, and the band of the spring between the notch s and the notch s of the spring portion 22s is the symbol w. It is shown as In addition, the pitch of the spring part 22s adds the width | variety s of this notch and the strip | belt w of the spring, and is shown as code | symbol x. In Fig. 3, four springs are formed as the spring portions 22s, and the pitches are coded x1 to x4 in order, the width of the notches is coded s1 to s4, and the band of the spring is coded. w1 to w4. In addition, the spring of this spring part is not limited, and is four for convenience of description.

<외측도체의 제1실시형태>First Embodiment of Outer Conductor

외측도체(22)의 제1실시형태에 대하여 설명한다. 외측도체(22)의 제1실시형태에서는, 피치(x)가 프로브(20)(외측도체(22))의 축방향을 따라 서서히 커지거나 또는 작아지도록 형성되어 있다. 구체적으로는, 피치가 서서히 커지도록 형성되는 경우에는 피치(x1) > 피치(x2) > 피치(x3) > 피치(x4)의 길이를 구비하도록 형성되어 있다. 이 경우에 노치의 폭도 s1 > s2 > s3 > s4가 되도록 형성되어 있다. 이와 같이 형성됨으로써 처음에는 스프링부(22s)의 피치(x1) 내지 스프링부의 피치(x4)가 스프링으로서 기능을 하지만, 스프링부(22s)의 수축량에 따라 스프링부(22s)의 피치(x1) 내지 피치(x3), 피치(x1)와 피치(x2) 그리고 피치(x1)만이 스프링으로서 기능을 하는 부분이 서서히 작아지게 됨과 아울러 스프링 정수(spring 定數)가 증가하게 된다. 또 이 경우에 스프링의 내구성의 문제로부터 스프링의 띠(w1) > 스프링의 띠(w2) > 스프링의 띠(w3) > 스프링의 띠(w4)가 되도록 형성되어도 좋다.A first embodiment of the outer conductor 22 will be described. In the first embodiment of the outer conductor 22, the pitch x is formed to gradually increase or decrease along the axial direction of the probe 20 (outer conductor 22). Specifically, when the pitch is gradually formed, the pitch is formed to have a length of pitch x1> pitch x2> pitch x3> pitch x4. In this case, the notch width is formed to be s1> s2> s3> s4. By forming in this way, the pitch x1 of the spring portion 22s to the pitch x4 of the spring portion function as springs, but depending on the shrinkage of the spring portion 22s, the pitch x1 to springs 22s. Only the pitch x3, the pitch x1 and the pitch x2, and the pitch x1 function as the springs are gradually reduced, and the spring constant increases. In this case, it may be formed such that the spring w1> spring w2> spring w3> spring w4 from the spring durability problem.

제1실시형태에서의 피치(x)가 서서히 변화하는 스프링이 형성되는 경우에는, 반드시 피치(x)가 커지거나 또는 작아지도록 형성할 필요는 없고, 프로브(20)의 스프링부(22)의 전체 길이에 걸쳐서 서서히 변화되고 있으면, 인접하는 피치(x) 상호간이 동일하게 형성되어 있어도 좋다. 구체적으로는, 예를 들면 피치를 x1 > x2 = x3 > x4로 하는 관계가 되도록 형성할 수 있다. 또 상기한 경우에 프로브(20)를 접속치구에 지지시킬 때에는, 스프링부(22s)의 모든 피치(x)의 스프링이 전체에 걸쳐서 스프링으로서 작은 스프링 정수의 스프링부(22s)로서 기능을 하게 되며, 검사점에 접촉되어 수축량이 증가함에 따라 좁은 피치(x)의 스프링으로부터 스프링 기능을 잃어 서서히 큰 스프링 정수의 스프링부(22s)로서 기능을 하게 된다.When the spring whose pitch x changes gradually in 1st Embodiment is formed, it is not necessary to form so that pitch x may become large or small, but the whole of the spring part 22 of the probe 20 is carried out. As long as it changes gradually over length, adjacent pitches x may mutually be formed the same. Specifically, for example, the pitch can be formed so as to have a relationship of x1> x2 = x3> x4. In the above case, when the probe 20 is supported by the connecting jig, the springs of all the pitches x of the spring portion 22s function as the spring portion 22s of the small spring constant as a spring throughout. As the amount of shrinkage in contact with the inspection point increases, the spring function is lost from the spring of the narrow pitch x, and gradually functions as the spring portion 22s of the large spring constant.

제1실시형태에서의 외측도체(22)의 피치(x)는 예를 들면 50μm∼300μm로 형성할 수 있다. 노치의 폭(s)은 예를 들면 25μm∼60μm로 형성할 수 있다. 스프링의 띠(w)는 15μm∼200μm로 형성할 수 있다. 어떻게 되더라도 스프링부(22s)의 내구성이나 프로브(20)로서의 압력이 조정된다.The pitch x of the outer conductor 22 in 1st Embodiment can be formed, for example in 50 micrometers-300 micrometers. The width s of the notch can be formed, for example, from 25 μm to 60 μm. The band w of a spring can be formed in 15 micrometers-200 micrometers. In any case, the durability of the spring portion 22s and the pressure as the probe 20 are adjusted.

<외측도체의 제2실시형태>Second Embodiment of Outer Conductor

외측도체(22)의 제2실시형태에 대하여 설명한다. 제2실시형태에서는, 스프링부(22s)의 피치(x)가, 피치가 서로 다른 2개 이상의 그룹으로 형성되어 있다. 구체적으로는 예를 들면 피치(x1)와 피치(x2)는 같은 피치로 형성되고, 피치(x3)와 피치(x4)는 피치(x1)와 서로 다른 피치로 형성된다. 이 경우에 피치(x1)와 피치(x2)의 제1그룹과, 피치(x3)와 피치(x4)의 제2그룹의 2개의 그룹이 형성된다. 이 경우에 제1그룹의 피치 길이가 제2그룹의 피치 길이보다 길게 형성되어 있으면, 프로브(20)의 스프링부(22s)가 수축됨으로써 제2그룹의 노치가 없어지게 되어 제1그룹의 스프링만이 기능을 하게 된다. 이와 같이 그룹별로 피치를 설정함으로써 프로브(20)의 수축량에 따라 스프링으로서 기능을 하는 그룹을 설정할 수 있다. 또 상기한 경우에 프로브(20)를 접속치구에 지지시킬 때에는 적은 수축량에서 제1그룹과 제2그룹의 스프링이 기능을 하게 되고, 검사점에 접촉되어 수축량이 증가하였을 경우에는 제2그룹의 스프링은 기능을 하지 않고 제1그룹만이 스프링으로서 기능을 하게 된다.The second embodiment of the outer conductor 22 will be described. In the second embodiment, the pitch x of the spring portion 22s is formed in two or more groups having different pitches. Specifically, for example, the pitch x1 and the pitch x2 are formed at the same pitch, and the pitch x3 and the pitch x4 are formed at different pitches from the pitch x1. In this case, two groups of the first group of the pitch x1 and the pitch x2 and the second group of the pitch x3 and the pitch x4 are formed. In this case, if the pitch length of the first group is formed longer than the pitch length of the second group, the spring portion 22s of the probe 20 is contracted so that the notch of the second group is lost and only the spring of the first group is eliminated. This function will work. By setting the pitch for each group in this way, a group functioning as a spring can be set according to the amount of shrinkage of the probe 20. In this case, when the probe 20 is supported by the connecting jig, the springs of the first group and the second group function at a small amount of shrinkage, and when the amount of shrinkage is increased by contacting the inspection point, the spring of the second group is Does not function, only the first group functions as a spring.

이러한 제2실시형태의 피치(x), 노치의 폭(s)이나 스프링의 띠(w)는 상기한 제1실시형태와 같이 조정하여 설정된다.The pitch x of the second embodiment, the width s of the notch, and the band w of the spring are adjusted and set as in the first embodiment described above.

<외측도체의 제3실시형태>Third Embodiment of Outer Conductor

외측도체(22)의 제3실시형태에 대하여 설명한다. 제3실시형태에서는, 스프링부(22s)의 피치(x)가 서서히 변화되어 가고 또한 피치가 서로 다른 그룹으로 형성되어, 제1실시형태와 제2실시형태를 합친 조건에서 형성되는 경우이다. 구체적으로는, 예를 들면 스프링부(22s)가 10의 피치(x)(x1, x2 …… x9, x10)로 형성되어 있었던 경우에, x1 = x2 = x3 > x4 > x5 > x6 > x7 > x8 = x9 = x10과 같은 피치의 크기 순서로 형성되는 경우이다. 이러한 경우이더라도 프로브(20)가 수축량에 따라 피치(x8 = x9 = x10)의 그룹의 스프링이 우선 기능을 하지 않게 되고, 다음에 피치(x7)의 스프링, 피치(x=6)의 스프링, 피치(x=5)의 스프링, 피치(x=4)의 스프링이 순서대로 기능을 하지 않게 되고, 최후까지 수축시킨 경우에는 피치(x1 = x2 = x3)의 스프링이 기능을 하지 않게 된다. 이와 같이 설정하였을 경우이더라도 상기와 같은 프로브(20)의 수축량에 따라 스프링 정수가 변화되면서 기능을 하게 된다. 또 제3실시형태인 경우의 각각의 수치는, 제1실시형태의 수치를 조정하여 이용할 수 있다.A third embodiment of the outer conductor 22 will be described. In the third embodiment, the pitch x of the spring portion 22s is gradually changed, and the pitch is formed in different groups, and is formed under the condition of combining the first and second embodiments. Specifically, for example, when the spring portion 22s is formed with a pitch of 10 (x) (x1, x2 ... ... x9, x10), x1 = x2 = x3> x4> x5> x6> x7> This is the case in which they are formed in the order of the pitch such as x8 = x9 = x10. Even in this case, the spring of the group of the pitch (x8 = x9 = x10) does not function first according to the shrinkage amount, and then the spring of the pitch (x7), the spring of the pitch (x = 6), the pitch The spring of (x = 5) and the spring of pitch (x = 4) do not function in order, and when it is contracted to the end, the spring of pitch (x1 = x2 = x3) does not function. Even in this case, the spring constant changes according to the contraction amount of the probe 20 as described above. Moreover, each numerical value in the case of 3rd Embodiment can adjust and use the numerical value of 1st Embodiment.

고정부(26)는 외측도체(22)와 내측도체(24)를 전기적으로 접속하여 고정하고 있다. 이 때문에 외측도체(22)의 스프링부(22s)의 신축에 따라 내측도체(24)가 외측도체(22)와 함께 축방향으로 움직이도록 되어 있다. 또 외측도체(22) 내에 삽입된 내측도체(24)의 후단부 위치는, 내측도체(24)가 후단측에 압입되어 스프링부(22s)가 축방향으로 압축되었을 때에 그 후단부가 외측도체(22)의 후단으로부터 외부로 돌출되지 않도록 설정되어 있다.The fixing part 26 electrically connects and fixes the outer conductor 22 and the inner conductor 24. For this reason, the inner conductor 24 moves axially with the outer conductor 22 in accordance with the expansion and contraction of the spring portion 22s of the outer conductor 22. The rear end position of the inner conductor 24 inserted into the outer conductor 22 is the rear end portion of the outer conductor 22 when the inner conductor 24 is press-fitted to the rear end and the spring portion 22s is compressed in the axial direction. It is set so that it does not protrude to the outside from the rear end of).

본 실시형태에서는, 고정부(26)에는 예를 들면 전기용접에 의한 고정이 채용되고 있지만, 레이저 용접 등 다른 용접, 코킹고정(caulking固定), 접착제에 의한 고정 등 다양한 구성이 채용될 수 있다.In this embodiment, the fixing part 26 is employ | adopted, for example by electric welding, but various structures, such as other welding, such as laser welding, caulking fixing, fixing with an adhesive agent, can be employ | adopted.

또 프로브(20) 및 그 각 부의 치수에 대하여 기재한다. 프로브(20)는 예를 들면 2∼12mm 정도로 설정되고, 프로브(20) 및 외측도체(22)의 외경은 예를 들면 30∼100μm 정도로 설정된다. 외측도체(22)의 전체 길이는 예를 들면 1∼10mm 정도로 설정되고, 그 내경은 예를 들면 20∼80μm 정도로 설정된다. 내측도체(24)의 전체 길이는 예를 들면 1∼10mm 정도로 설정되고, 그 외경은 내측도체(24)가 외측도체(22) 내로 슬라이딩 가능하도록 외측도체(22)의 내경보다 조금 작은 값으로 설정된다.Moreover, the dimension of the probe 20 and each part is described. The probe 20 is set, for example, about 2 to 12 mm, and the outer diameters of the probe 20 and the outer conductor 22 are set, for example, about 30 to 100 μm. The total length of the outer conductor 22 is set to, for example, about 1 to 10 mm, and the inner diameter thereof is set to about 20 to 80 µm, for example. The total length of the inner conductor 24 is set to, for example, about 1 to 10 mm, and the outer diameter thereof is set to a value smaller than the inner diameter of the outer conductor 22 so that the inner conductor 24 can slide into the outer conductor 22. do.

외측도체(22)의 재료로서는 예를 들면 니켈 또는 니켈합금의 튜브 등(예를 들면 전기주조튜브 등)을 사용할 수 있다. 또한 외측도체(22)의 선단부의 끝면 및 후단부의 끝면을 제외하고 둘레면은 필요에 따라 절연피복을 하더라도 좋다. 내측도체(24)의 재료로서는 예를 들면 텅스텐, 공구용 탄소강(SK재) 또는 베릴륨 동(beryllium copper) 등을 들 수 있다.As the material of the outer conductor 22, for example, a nickel or nickel alloy tube (for example, an electroforming tube or the like) can be used. In addition, except for the end face of the front end part and the end face of the rear end part of the outer conductor 22, the peripheral surface may be insulated as needed. As a material of the inner conductor 24, tungsten, carbon steel for tools (SK material), beryllium copper, etc. are mentioned, for example.

또한 내측도체(24)의 선단부(24a)의 형상 특히 접촉단의 형상으로서는, 예를 들면 도2에 나타나 있는 바와 같이 돌출된 첨예한 형상으로 형성될 수 있다. 이 선단 형상은, 돌출된 첨예한 형상 이외에 구(球) 형상이나 플랫(flat) 형상으로 형성할 수도 있다. 또한 내측도체(24)의 선단부 형상은, 내측도체(24)의 선단인 접촉단이 중심축에 대하여 편심(偏心)되도록 형성할 수도 있다.In addition, the shape of the tip portion 24a of the inner conductor 24, in particular, the shape of the contact end, may be formed in a sharp shape protruding, for example, as shown in FIG. This tip shape may be formed in a spherical shape or a flat shape in addition to the protruding sharp shape. The tip end shape of the inner conductor 24 may be formed so that the contact end, which is the tip of the inner conductor 24, is eccentric with respect to the central axis.

<접속치구의 구성><Configuration of connection jig>

다음에 도4 및 도5를 참조하여 접속치구(10)의 세부적인 구성에 대하여 설명한다. 도4에 나타나 있는 바와 같이 제1프로브 지지부재(12)의 관통구멍(12h)의 내면 또는 검사대상과 반대측의 개구부에, 프로브(20)의 외측도체(22)의 선단부(22a)의 끝면이 접촉되는 접촉부(도4의 구성에서는, 내경이 변화되는 경계부에 있어서의 단차부(段差部))(121)가 형성되어 있다. 그리고 프로브(20)는, 그 내측도체(24)의 선단부(24a)가 관통구멍(12h)에 검사대상의 반대측으로부터 검사대상측을 향하여 삽입되었을 때에 외측도체(22)의 선단부(22a)의 끝면이 접촉부(121)에 접촉되도록 되어 있다. 이와 같이 외측도체(22)의 끝면이 접촉부(121)에 접촉되었을 때에 내측도체(24)의 선단부(24a)가 관통구멍(12h)을 통하여 제1프로브 지지부재(12)의 검사대상측의 표면으로부터 소정의 돌출 약간 돌출하도록 되어 있다.Next, the detailed structure of the connection jig 10 is demonstrated with reference to FIG.4 and FIG.5. As shown in FIG. 4, the end face of the tip portion 22a of the outer conductor 22 of the probe 20 is formed in the inner surface of the through hole 12h of the first probe support member 12 or in an opening opposite to the inspection object. A contact portion (step portion in the boundary portion in which the inner diameter is changed) 121 to be contacted is formed. The probe 20 has an end face of the tip end 22a of the outer conductor 22 when the tip end 24a of the inner conductor 24 is inserted into the through hole 12h from the opposite side to the test subject side. The contact portion 121 is to be contacted. In this way, when the end surface of the outer conductor 22 contacts the contact portion 121, the tip portion 24a of the inner conductor 24 passes from the surface of the inspection target side of the first probe supporting member 12 through the through hole 12h. The predetermined protrusion is made to protrude slightly.

한편 프로브(20)의 후단부를 구성하는 외측도체(22)의 후단부(22b)는, 도5에 나타나 있는 바와 같이 제2프로브 지지부재(14)의 관통구멍(14h)에 삽입되어 안내되어, 전극지지부재(16)에 의하여 지지된 전극부(15)에 접촉되어 전기적으로 접속된다.On the other hand, the rear end 22b of the outer conductor 22 constituting the rear end of the probe 20 is inserted and guided into the through hole 14h of the second probe support member 14 as shown in FIG. The electrode portion 15 is supported by the electrode support member 16 and electrically connected thereto.

제1프로브 지지부재(12)의 접촉부(121)와 전극부(15) 사이의 간격은, 스프링부(22s)가 자유상태에 있을 때의 프로브(20)의 외측도체(22)의 길이보다 소정의 예압(豫壓)으로서 압축되는 치수만큼 작게 설정되어 있다. 이 때문에 프로브(20)가 접속치구(10)에 장착되었을 때에 접촉부(121)와 전극부(15)의 사이에서 외측도체(22)가 소정의 예압 치수만큼 축방향으로 압축된 상태가 된다. 이 때에 외측도체(22)의 스프링부(22s)가 축방향으로 압축된다. 이에 따라 외측도체(22)의 후단부(22b)가 전극부(15)에 소정의 압력으로 가압되어 예압이 걸려서, 외측도체(22)의 후단부(22b)와 전극부(15)의 전기접속이 안정화 된다.The distance between the contact portion 121 and the electrode portion 15 of the first probe support member 12 is less than the length of the outer conductor 22 of the probe 20 when the spring portion 22s is in the free state. It is set as small as the dimension compressed as the preload of. For this reason, when the probe 20 is attached to the connection jig 10, the outer conductor 22 is axially compressed by a predetermined preload dimension between the contact portion 121 and the electrode portion 15. As shown in FIG. At this time, the spring portion 22s of the outer conductor 22 is compressed in the axial direction. As a result, the rear end 22b of the outer conductor 22 is pressed against the electrode portion 15 at a predetermined pressure to apply a preload, and the rear end 22b of the outer conductor 22 is electrically connected to the electrode portion 15. This is stabilized.

이 예압상태에 있어서의 외측도체(22)의 압축변위에 대한 스프링 특성은, 스프링부(22s)의 전체 길이에 걸쳐서 형성되는 스프링의 스프링 정수의 합성이 된다. 또 이 예압상태에서의 스프링부(22s)의 스프링 정수는, 검사점에 접촉되어 스프링부(22s)가 수축되어 스프링부(22s)의 일부의 스프링이 그 기능을 잃기 때문에, 검사 시의 스프링부(22s)의 스프링 정수보다 작게 설정된다. 즉 예압상태에서의 스프링 정수는 검사상태(검사점에 접촉된 상태)의 스프링 정수보다 작게 설정되어, 제1프로브 지지부재(12)가 예압의 반력(反力)에 의하여 변형되어 버리는 등의 단점을 방지할 수 있다. 여기에서 예압 때문에 외측도체(22)가 압축되는 치수(예압압축치수)는 예를 들면 10∼100μm 정도로 설정된다. 또한 예압압축 시의 하중은 예를 들면 0.05∼0.5gf 정도로 설정된다.The spring characteristic of the compression displacement of the outer conductor 22 in this preload state is a combination of the spring constants of the springs formed over the entire length of the spring portion 22s. In addition, the spring constant of the spring part 22s in this preload state is in contact with the inspection point, and the spring part 22s contracts, so that a part of the springs of the spring part 22s loses its function. It is set smaller than the spring constant of (22s). That is, the spring constant in the preload state is set smaller than the spring constant in the inspection state (contacted to the inspection point), and the first probe supporting member 12 is deformed by the reaction force of the preload. Can be prevented. Here, the dimension (pre-compression dimension) in which the outer conductor 22 is compressed due to the preload is set to, for example, about 10 to 100 µm. In addition, the load at the time of precompression is set to about 0.05 to 0.5 gf, for example.

그리고 기판 등의 피검사물의 검사 시에는, 접속치구(10)를 하강시켜서 프로브(20)의 선단부(24a)를 피검사물의 배선 등의 대상부 상의 소정의 접속점에 접촉시킨다. 또한 접속치구(10)가 더 하강되면, 프로브(20)의 내측도체(24)는 밀려 올라가서 제1프로브 지지부재(12)의 관통구멍(12h) 내에 삽입된다. 이 때에 프로브(20)의 내측도체(24)는 외측도체(22)와 고정되어 있기 때문에, 내측도체(24)의 압입에 따라 외측도체(22)의 제2스프링부(22s)가 축방향으로 압축됨과 아울러 내측도체(24)가 외측도체(22) 내에 압입된다.At the time of inspecting an inspection object such as a substrate, the connecting jig 10 is lowered to bring the tip portion 24a of the probe 20 into contact with a predetermined connection point on an object such as wiring of the inspection object. In addition, when the connection jig 10 is further lowered, the inner conductor 24 of the probe 20 is pushed up to be inserted into the through hole 12h of the first probe support member 12. At this time, since the inner conductor 24 of the probe 20 is fixed to the outer conductor 22, the second spring portion 22s of the outer conductor 22 moves in the axial direction as the inner conductor 24 is press-fitted. In addition to being compressed, the inner conductor 24 is pressed into the outer conductor 22.

외측도체(22)가 압입되면, 스프링부(22s)의 노치의 폭(s)이 이 압입량에 따라 서서히 작아져 가게 되어, 노치의 폭(s)이 작게 설정되어 있는 피치(x)로부터 스프링 기능을 잃어 가게 된다. 이 때문에 스프링 정수가 서서히 커지게 된다. 또 이 검사압축치수는 예를 들면 30∼200μm 정도로 설정된다. 또한 검사 시에 프로브(20)의 선단부(24a)에 부여되는 하중은 예를 들면 1∼10gf 정도로 설정된다.When the outer conductor 22 is press-fitted, the width s of the notch of the spring portion 22s gradually decreases in accordance with this press-fitting amount, and the spring from the pitch x at which the width s of the notch is set small. You lose functionality. This causes the spring constant to gradually increase. This inspection compression dimension is set to, for example, about 30 to 200 m. In addition, the load given to the front-end | tip part 24a of the probe 20 at the time of test | inspection is set, for example about 1-10 gf.

그 결과 프로브(20)가 피검사물(30)의 접속점(30d1)에 접촉될 때의 스프링 특성을 손상시키지 않아, 접속치구(10)에 장착되었을 때의 프로브(20)의 예압의 반력을 효과적으로 억제할 수 있는 프로브(20) 및 접속치구(10)를 제공할 수 있다.As a result, the spring property when the probe 20 contacts the connection point 30d1 of the inspection object 30 is not impaired, and the reaction force of the preload of the probe 20 when mounted on the connection jig 10 is effectively suppressed. Probe 20 and the connecting jig 10 can be provided.

또 본 실시형태의 설명에서는, 외측도체(22)의 스프링부(22s)의 피치(x)나 노치의 폭(w)에 관하여 부호의 숫자가 작은 것을 부호의 숫자가 큰 것보다 큰 폭이나 길이를 구비하는 것으로 하여 설명하였지만, 이 반대이더라도 상관없다.In the description of the present embodiment, the smaller the number of the sign in relation to the pitch x of the spring portion 22s of the outer conductor 22 and the width w of the notch, the larger the width or length than the larger number of the sign. Although demonstrated as having, it may be reversed.

<외측도체의 제법예(製法例)><Example of manufacturing outer conductor>

다음에 프로브(20)의 외측도체(22)의 제법예에 대하여 설명한다. 우선 소정의 심재(芯材)의 외주면 상에 금도금층(金鍍金層)을 형성하고 또한 그 위에 니켈도금층을 형성함으로써 전기주조튜브를 제작한다. 심재로서는 예를 들면 외경이 5μm로부터 300μm의 금속선(金屬線)이나 수지선(樹脂線)을 사용할 수 있다. 금속선으로서는 예를 들면 SUS선을 사용할 수 있고, 수지선으로서는 예를 들면 나일론 수지나 폴리에틸렌 수지 등의 합성수지선을 사용할 수 있다. 또한 금도금층의 두께는 예를 들면 약 0.1μm로부터 1μm이며, 니켈도금층의 두께는 예를 들면 약 5μm로부터 50μm이다. 전기주조튜브의 길이는 반송작업의 용이성 등의 관점에서 예를 들면 50cm 이하가 바람직하지만, 이것에 한정되는 것이 아니라 절단하지 않고 연속적으로 제조하여도 좋다.Next, the manufacturing example of the outer conductor 22 of the probe 20 is demonstrated. First, an electroforming tube is produced by forming a gold plated layer on the outer circumferential surface of a predetermined core material and forming a nickel plated layer thereon. As the core material, for example, a metal wire or a resin wire having an outer diameter of 5 μm to 300 μm can be used. As the metal wire, for example, SUS wire can be used, and as the resin wire, synthetic resin wire such as nylon resin or polyethylene resin can be used. In addition, the thickness of a gold plating layer is about 0.1 micrometer-1 micrometer, for example, and the thickness of a nickel plating layer is about 5 micrometers-50 micrometer, for example. The length of the electroforming tube is preferably, for example, 50 cm or less from the standpoint of ease of conveyance, and the like, but is not limited thereto.

계속하여 전기주조튜브의 니켈도금층의 외주면 상에 절연막을 형성한다. 절연막은 후술하는 소정의 홈을 형성할 때에 레지스트로서도 기능을 한다. 이 절연막의 두께는 예를 들면 약 2μm로부터 50μm이다. 절연막으로서 예를 들면 불소 코팅 또는 실리콘 수지재를 사용하여 형성하여도 좋다.Subsequently, an insulating film is formed on the outer circumferential surface of the nickel plating layer of the electroforming tube. The insulating film also functions as a resist when forming a predetermined groove to be described later. The thickness of this insulating film is, for example, about 2 µm to 50 µm. As an insulating film, you may form using a fluorine coating or silicone resin material, for example.

계속하여 절연막의 복수 장소에 있어서 그 일부를 나선 모양으로 제거함으로써 나선홈을 형성한다. 이 때에 절연층의 복수 장소에 있어서 그 일부를 둘레 모양으로 제거함으로써 전기주조튜브를 부품단위로 절단하기 위한 둘레홈도 형성된다. 이들 홈을 형성한 부분에는 니켈도금층이 노출된다. 이러한 홈을 형성할 때에는, 절연막에 레이저빔을 조사하여 절연막을 제거하는 방법을 채용할 수 있다. 이 경우에 심재를 둘레방향으로 회전시키면서 홈의 위치에 레이저빔을 직접 조사하고, 그 조사에 의하여 절연막을 제거한다. 이 나선 모양의 형상이 스프링부(22s)로서 형성되고, 이 나선 모양의 형상은 미리 설정되는 피치가 일정하지 않은 형상(예를 들면 제1 내지 제3실시형태의 스프링부)으로 형성된다.Subsequently, a plurality of portions of the insulating film are removed to form a spiral groove by removing a portion thereof in a spiral shape. At this time, a plurality of places of the insulating layer are removed in a circumferential shape so that a circumferential groove for cutting the electroforming tube in parts is also formed. The nickel plating layer is exposed to the part where these grooves were formed. In forming such a groove, a method of removing the insulating film by irradiating a laser beam to the insulating film can be employed. In this case, the laser beam is directly irradiated to the position of the groove while the core is rotated in the circumferential direction, and the insulating film is removed by the irradiation. This spiral shape is formed as the spring part 22s, and this spiral shape is formed in the shape (for example, the spring part of 1st-3rd embodiment) whose pitch is not preset.

계속하여 절연막을 마스크로서 사용하여, 홈을 통하여 노출된 니켈도금층을 에칭 제거(etching 除去)하여 금도금층을 노출시킨다. 이 때에 니켈도금층과 심재의 사이에 금도금층이 존재하기 때문에, 에칭을 할 때에 니켈 에칭액이 심재까지 도달하는 것을 방지할 수 있다.Subsequently, using the insulating film as a mask, the nickel plated layer exposed through the groove is etched away to expose the gold plated layer. At this time, since the gold plating layer exists between the nickel plating layer and the core material, it is possible to prevent the nickel etching solution from reaching the core material during etching.

계속하여 초음파 세정을 하여, 홈을 통하여 노출된 금도금층을 제거한다. 계속하여 심재의 양단에 장력을 가하여 연장시켜서 그 단면적이 작아지도록 변형시킨다. 심재가 연장되어 그 단면적이 작아지면, 심재의 외주면을 피복하고 있었던 금도금층이 그 외주면으로부터 박리되어 전기주조튜브의 내측에 남아, 심재와 금도금층의 사이에 공간이 형성된다. 계속하여 심재를 빼내면, 전기주조튜브가 둘레홈에 의하여 각 부품단위로 분리되어 스프링부(22s)를 구비하는 복수의 외측도체(22)가 얻어진다. 또 이 스프링부(22s)는 미리 설정되는 스프링부의 형상이 형성된다.Subsequently, ultrasonic cleaning is performed to remove the gold plated layer exposed through the grooves. Subsequently, tension is applied to both ends of the core to extend the cross section so that the cross-sectional area is reduced. When the core is extended and its cross-sectional area becomes small, the gold plated layer covering the outer circumferential surface of the core is peeled off from the outer circumferential surface and remains inside the electroforming tube to form a space between the core and the gold plated layer. Subsequently, when the core member is pulled out, the plurality of outer conductors 22 having the spring portions 22s are obtained by separating the electroformed tubes into the respective unit units by the peripheral grooves. Moreover, the spring part 22s is formed in the shape of the spring part preset.

이와 같이 형성된 외측도체(22)는 도전성 재료의 원통 형상 튜브의 니켈도금층을 구비하고, 이 니켈도금층의 외주에 절연층이 형성되어 있다. 이 제법예에서는, 절연막을 형성하고 이것을 필요에 따라 레지스트막으로서 사용하였지만, 절연막은 반드시 필요하지는 않기 때문에 에칭을 할 때에는 레지스트막을 사용하여도 좋다.
The outer conductor 22 thus formed includes a nickel plated layer of a cylindrical tube of conductive material, and an insulating layer is formed on the outer circumference of the nickel plated layer. In this manufacturing method, an insulating film was formed and used as a resist film if necessary. However, since the insulating film is not necessarily required, a resist film may be used for etching.

10 : 접속치구
12 : 제1프로브 지지부재
12h : 관통구멍
121 : 접촉부
14 : 제2프로브 지지부재
14h : 관통구멍
15 : 전극부
16 : 전극지지부재
20 : 프로브
22 : 외측도체
22s : 스프링부
26 : 고정부
30 : 피검사물
30d1 …… 30dn : 접속점10: connection jig
12: first probe support member
12h: through hole
121: contact portion
14: second probe support member
14h: through hole
15: electrode part
16 electrode support member
20 probe
22: outer conductor
22s: spring portion
26: fixing part
30: test object
30d1... ... 30dn: connection point

Claims (5)

검사대상에 형성된 접속점과의 전기접속(電氣接續)을 하기 위한 접속치구(接續治具)에 사용되는 프로브(probe)로서,
도전성(導電性)을 구비하고, 통(筒) 모양의 형태를 구비하는 외측도체(外側導體)와,
도전성을 구비하고, 그 선단부가 상기 외측도체의 선단측으로부터 돌출되고 또한 그 후단부가 상기 외측도체의 후단측으로부터 돌출되지 않도록 상기 외측도체 내에 삽입됨과 아울러, 상기 외측도체와 전기접속되고, 그 선단부가 상기 검사대상의 상기 접속점에 접촉되어 전기접속되는 내측도체(內側導體)와,
상기 외측도체와 상기 내측도체를 전기적으로 접속함과 아울러 고정하는 고정부(固定部)를 구비하고,
상기 외측도체의 둘레벽에는, 나선 모양의 노치(notch)에 의한 상기 프로브의 축방향(軸方向)으로 신축하는 스프링부(spring部)가 형성되고,
상기 스프링부의 나선 모양의 피치(pitch)가 일정하지 않은 것을 특징으로 하는 프로브.
A probe used for a connection jig for electrical connection with a connection point formed on an inspection object,
An outer conductor having electroconductivity and having a cylindrical shape;
It has conductivity and is inserted into the outer conductor so that its front end protrudes from the front end side of the outer conductor and its rear end does not protrude from the rear end side of the outer conductor, and is electrically connected to the outer conductor, and the front end thereof is An inner conductor in electrical contact with the connection point of the inspection object;
A fixing part for electrically connecting and fixing said outer conductor and said inner conductor,
On the circumferential wall of the outer conductor, a spring portion is formed which expands and contracts in the axial direction of the probe by a spiral notch,
And a spiral pitch of the spring portion is not constant.
제1항에 있어서,
상기 스프링부의 나선 모양의 피치가, 상기 프로브의 축방향을 따라 서서히 커지거나 또는 작아지게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브.
The method of claim 1,
And a spiral pitch of the spring portion is gradually increased or decreased along the axial direction of the probe.
제1항에 있어서,
상기 스프링부의 나선 모양의 피치가, 상기 피치가 서로 다른 적어도 2개 이상의 그룹으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브.
The method of claim 1,
And the spiral pitch of the spring portion is formed in at least two groups of different pitches.
제3항에 있어서,
상기 그룹이, 피치가 상이한 대소(大小) 2개의 그룹으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브.
The method of claim 3,
The said group is formed in two groups of the big and the small difference in pitch, The probe characterized by the above-mentioned.
제1항 내지 제4항 중 어느 하나의 항에 기재된 프로브를 사용한 접속치구로서,
제1항 내지 제4항 중 어느 하나의 항에 기재된 상기 프로브와,
상기 프로브의 상기 외측도체의 후단부가 접촉되어 전기접속되는 전극부(電極部)와,
상기 프로브의 상기 내측도체의 선단측 부분이 상기 검사대상측으로 돌출되도록 삽입되어 지지되는 제1관통구멍이 형성됨과 아울러, 상기 제1관통구멍의 내면 또는 상기 검사대상과 반대측의 개구부(開口部)에, 상기 프로브의 상기 외측도체의 선단측 끝부가 접촉되는 접촉부(接觸部)가 형성되고, 상기 전극부와의 사이에서 상기 외측도체를 상기 축방향으로 압축한 상태에서 지지하는 제1프로브 지지부재(第一probe 支持部材)와,
상기 프로브의 후단측 부분이 삽입되어 지지되는 제2관통구멍이 형성된 제2프로브 지지부재(第二probe 支持部材)와,
상기 전극부를 지지하는 전극지지부재(電極支持部材)를
구비하는 것을 특징으로 하는 접속치구.As a connection jig | tool using the probe of any one of Claims 1-4,
The said probe of any one of Claims 1-4,
An electrode portion in contact with and electrically connected to a rear end of the outer conductor of the probe;
A first through hole is formed in which the tip side portion of the inner conductor of the probe is inserted and supported to protrude toward the inspection target side, and is formed in the inner surface of the first through hole or in an opening opposite to the inspection target. And a first probe supporting member for contacting the tip end side of the outer conductor of the probe to be in contact with and supporting the outer conductor in a state in which the outer conductor is compressed in the axial direction.第一 probe 支持 部 材),
A second probe support member having a second through hole in which a rear end portion of the probe is inserted and supported;
An electrode support member for supporting the electrode portion
Connection jig characterized in that it comprises.
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