KR20130103353A - 전기적 접촉자 - Google Patents

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KR20130103353A
KR20130103353A KR1020130016401A KR20130016401A KR20130103353A KR 20130103353 A KR20130103353 A KR 20130103353A KR 1020130016401 A KR1020130016401 A KR 1020130016401A KR 20130016401 A KR20130016401 A KR 20130016401A KR 20130103353 A KR20130103353 A KR 20130103353A
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마코토 요코야마
토시오 후쿠시
야스히토 카사이
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가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
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Abstract

본 발명은, 콘택트부의 비틀림이나 벗겨짐을 방지하여, 추가 도금가공을 가능하게 하기 위한 것이다. 본 발명의 전기적 접촉자는, 필름 위에 패턴화된 복수의 콘택트부를 갖추고, 상기 각 콘택트부가 대상 부재의 각 전극에 전기적으로 접촉하는 전기적 접촉자이다. 상기 필름 위의 각 콘택트부의 가장자리에 절연재료를 충진하였다. 이 절연재료는, 열이나 빛 등으로 경화하는 경화형 절연수지로 구성되었다. 상기 경화형 절연수지는, 상기 필름 위의 각 콘택트부를 덮은 상태로 경화되고, 각 콘택트부의 상기 경화형 절연수지가 제거되어, 상기 각 콘택트부의 가장자리에 절연재료가 세밀하게 충진된다.

Description

전기적 접촉자{Electrical Contactor}
본 발명은 필름 위의 복수의 콘택트부가 대상 부재의 각 전극에 전기적으로 접촉하는 전기적 접촉자에 관한 것이다.
FPC 패턴 콘택트 프로브나 COF 패턴 콘택트 프로브에서는, 각 패턴의 콘택트부에서, 검사대상 부재의 각 전극에 직접 콘택트하여, 검사신호 등이 인가되도록 되어 있다.
이와 같은 패턴 콘택트 프로브의 예로는, 예를 들어 특허문헌 1의 평판상 피검사체 시험용 프로브 유닛이나, 특허문헌 2의 통전시험용 접촉자 유닛이 있다.
특허문헌 1: 일본 공개특허공보 특개평10-282144 특허문헌 2: 일본 공개특허공보 특개평10-319079
그런데, 상기 종래기술로는, 검사대상의 각 전극에 확실하게 접촉시킬 수는 있지만, 각 콘택트부와 각 전극과의 콘택트 시에, 각 콘택트부에 비틀림이나 벗겨짐이 생길 수 있다. 그리고, 비틀림이나 벗겨짐이 생기면, 콘택트 불량(위치 정밀도 불량, 오픈 불량, 쇼트 불량 등)을 일으켜, 프로브로서의 기능이 저하하는 문제가 있다.
또, 완성상태의 FPC나 COF의 패턴 위에 추가로 각종 도금가공을 하는 경우, 도금액 등의 영향으로 패턴이 벗겨져 버려, 추가 도금가공이 불가능한 문제가 있다.
본 발명은, 상술한 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로, 콘택트부의 비틀림이나 벗겨짐을 방지하여, 추가 도금가공을 가능하게 한 전기적 접촉자를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해 본 발명에 따른 전기적 접촉자는, 필름 위에 패턴화된 복수의 콘택트부를 갖추고, 그 각 콘택트부가 대상 부재의 각 전극에 전기적으로 접촉하는 전기적 접촉자로서, 상기 필름 위의 각 콘택트부의 가장자리에 절연재료를 충진하였다.
상기 전기적 접촉자로는, 콘택트부의 비틀림이나 벗겨짐을 방지하여, 추가 도금가공을 가능하게 한다.
도 1은, 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 조립체를 나타낸 측면 단면도이다.
도 2는, 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 조립체의 요부(要部)를 나타낸 측면 단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시형태에 따른 필름상 프로브의 각 배선의 가장자리에 경화형 절연수지를 충진하는 제1 공정을 나타낸 모식도이다.
도 4는 본 발명의 실시형태에 따른 필름상 프로브의 각 배선의 가장자리에 경화형 절연수지를 충진하는 제1 공정을 나타낸 정면도이다.
도 5는 본 발명의 실시형태에 따른 필름상 프로브의 각 배선의 가장자리에 경화형 절연수지를 충진하는 제2 공정을 나타낸 모식도이다.
도 6은 본 발명의 실시형태에 따른 필름상 프로브의 각 배선의 가장자리에 경화형 절연수지를 충진하는 제2 공정을 나타낸 정면도이다.
도 7은 본 발명의 실시형태에 따른 필름상 프로브의 각 배선의 가장자리에 경화형 절연수지를 충진하는 제3 공정을 나타낸 모식도이다.
도 8은 본 발명의 실시형태에 따른 필름상 프로브의 각 배선의 가장자리에 경화형 절연수지를 충진하는 제3 공정을 나타낸 정면도이다.
도 9는 본 발명의 실시형태에 따른 필름상 프로브의 각 배선에 도금을 실시하는 공정을 나타낸 모식도이다.
도 10은 본 발명의 실시형태에 따른 필름상 프로브의 각 배선에 범프를 실시하는 공정을 나타낸 모식도이다.
이하, 본 발명의 실시형태에 따른 전기적 접촉자에 대해서, 첨부도면을 참조하면서 설명한다.
본 실시형태에 따른 전기적 접촉자는, FPC(Flexible Printed Circuit)나 COF(Chip on Film) 등의 필름 위의 패턴을 프로브로서 사용한 필름상 프로브이다. 이 플름상 프로브의 각 패턴 사이에 경화형 절연재료를 충진하여 이 경화형 절연재료의 패턴에의 밀착 강도를 강하게 함으로써, 콘택트 시의 패턴의 비틀림, 벗겨짐을 방지하여, 안정한 콘택트를 실현하고, 동시에 상기 패턴 위에 추가 도금가공이 가능하게 한 것이다.
우선, 본 실시형태의 필름상 프로브가 조립되는 검사장치에 대해서 설명한다. 본 실시형태의 검사장치로는, 상기 필름상 프로브를 조립할 수 있는 공지의 모든 검사장치를 이용할 수 있다. 이 검사장치로는 각종 구성의 것이 있지만, 그 일례로서 패널 세트부와 측정부를 갖춘 것이 있다. 패널 세트부는, 외부로부터 삽입된 피검사체로서의 액정패널 등을 받아 측정부로 반송하고, 검사종료 후의 상기 액정패널 등을 외부로 건네기 위한 장치이다. 측정부는, 패널 세트부로부터 건네진 상기 액정패널 등을 지지하여 점등검사 등을 하기 위한 장치이다. 측정부는, 상기 액정패널 등을 지지하는 워크 테이블, 이 워크 테이블을 지지하여 XYZθ 방향의 위치 조정을 하는 얼라인먼트 스테이지, 상기 필름상 프로브를 상기 액정패널 등의 각 전극에 전기적으로 접촉시키는 프로브 유닛 등을 갖추어 구성되어 있다. 그리고, 상기 프로브 유닛에, 본 실시형태의 필름상 프로브를 갖춘 프로브 조립체(1)가 설치되어 있다. 이 프로브 조립체(1)를 도 1에 근거하여 설명한다.
프로브 조립체(1)는, 후술하는 필름상 프로브(5)를 지지하여 액정패널(14)의 각 전극(15)에 전기적으로 접촉시키기 위한 부재이다. 프로브 조립체(1)는, 프로브 베이스(2)에 설치되어 있다. 이 프로브 베이스(2)는, 장치 본체 쪽에 고정되어, 프로브 조립체(1) 등을 지지하는 판재이다. 프로브 조립체(1)는 매니퓰레이터(3), 슬라이드부(4), 필름상 프로브(5)로 구성되어 있다.
매니퓰레이터(3)는, 그 기단 쪽이 상기 프로브 베이스(2)에 지지된 상태로, 그 선단 쪽에서 상기 슬라이드부(4)를 지지하기 위한 부재이다. 매니퓰레이터(3)는 그 측면 형상이 거의 L자형으로 형성되어 있다. 매니퓰레이터(3) 내에는, 2개의 볼트(7, 8)가 지나고 있다. 이 볼트(7, 8)는 프로브 베이스(2)에 삽입되어 고정하고 있다. 이에 의해, 매니퓰레이터(3)가 프로브 베이스(2)에 고정되어 있다.
매니퓰레이터(3)의 상부의 선단 쪽(상기 워크 테이블쪽)에는, 슬라이드 지지부(9)가 형성되어 있다. 이 슬라이드 지지부(9)는, 매니퓰레이터(3)의 상부로부터 수평으로 연장하여, 슬라이드부(4)의 상부를 덮도록 형성되어 있다. 슬라이드 지지부(9)에는, 조정볼트 구멍(10)이 설치되어 있다. 이 조정볼트 구멍(10)에는 조정볼트(11)가 장착되어 있다. 이 조정볼트(11)가 슬라이드부(4)에 삽입되어 이 슬라이드부(4)를 상하운동 가능하게 지지하고 있다.
매니퓰레이터(3) 중, 슬라이드 지지부(9) 쪽의 세로벽에는, 슬라이드 레일(13)이 상하방향을 향해 설치되어 있다. 이 슬라이드 레일(13)은, 슬라이드부(4)를 상하방향으로 슬라이드 가능하게 지지하는 레일이다.
슬라이드부(4)는, 필름상 프로브(5)를 직접 지지하여 액정패널(14)의 각 전극(15)에 접촉시키기 위한 부재이다. 슬라이드부(4)는, 슬라이드 블록(16)과 프로브 블록(17)으로 구성되어 있다. 슬라이드 블록(16)은 매니퓰레이터(3)에 상하방향으로 슬라이드 가능하게 지지되어 있다. 슬라이드 블록(16)은 슬라이드 가이드(20), 조정볼트 구멍(21), 고정볼트 구멍(22)을 갖추고 있다.
슬라이드 가이드(20)는, 매니퓰레이터(3)의 슬라이드 레일(13)에 슬라이드 가능하게 설치되어 있다. 슬라이드 가이드(20)는, 슬라이드 블록(16)에 고정되어, 이 슬라이드 블록(16)을 상하로 슬라이드 가능하게 지지하고 있다.
조정볼트 구멍(21)은, 상기 조정볼트(11)가 삽입되기 위한 나사구멍이다. 이 조정볼트 구멍(21)에 조정볼트(11)가 삽입되고, 이 조정볼트(11)의 삽입량을 바꾸어, 슬라이드 블록(16)의 높이를 조정하도록 되어 있다. 이에 의해, 슬라이드 블록(16)이 설정 높이로 조정되고, 필름상 프로브(5)의 후술하는 각 접촉 전극(39)과 액정패널(14)의 각 전극(15)과의 간격을 조정하도록 되어 있다.
고정볼트 구멍(22)은, 고정볼트(23)를 통과시키기 위한 볼트구멍이다. 고정볼트 구멍(22)은, 슬라이드 블록(16)의 하부에서 수평으로 앞으로 나온 플랜지부(24)에 설치되어 있다. 고정볼트 구멍(22)을 지난 고정볼트(23)가, 후술하는 프로브 블록(17)의 고정볼트 구멍(25)에 삽입됨으로써, 슬라이드 블록(16)과 프로브 블록(17)이 서로 고정되어 있다.
프로브 블록(17)은, 필름상 프로브(5)를 지지하기 위한 부재이다. 프로브 블록(17)은, 슬라이드 블록(16)에 지지된 상태로, 액정패널(14)의 각 전극(15)을 향하여 설치되어 있다. 프로브 블록(17)은, 상기 고정볼트(23)가 삽입되는 고정볼트 구멍(25)과 필름상 프로브(5)가 설치되는 아래쪽 설치면(26)을 갖추고 있다. 아래쪽 설치면(26)은, 필름상 프로브(5)를 비스듬히 지지하도록 경사면 형상으로 형성되어 있다. 이에 의해, 아래쪽 설치면(26)은, 필름상 프로브(5)를 액정패널(14)의 각 전극(15)에 대하여 비스듬히 연장하도록 지지한다.
필름상 프로브(5)는, 필름 위에 패턴화된 복수의 콘택트부를 갖춘 프로브이다. 필름상 프로브(5)에서는 각 콘택트부가 대상 부재인 액정패널(14)의 각 전극(15)에 전기적으로 접촉한다.
필름상 프로브(5)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 프로브 블록(17)의 아래쪽 설치면(26)에 직접 설치되는 필름상 기판부(29)와 이 필름상 기판부(29)의 아래쪽 면에 설치된 배선부(30)로 구성되어 있다.
필름상 기판부(29)는, 위쪽 지지부재(31), 아래쪽 지지부재(32), 완충부재(33), 시트상 부재(34)로 구성되어 있다.
위쪽 지지부재(31)는, 프로브 블록(17)의 아래쪽 설치면(26)에 직접 설치되는 판재이다. 위쪽 지지부재(31)는, 그 선단 쪽(도 2 중의 A부분)을 프로브 블록(17)의 아래쪽 설치면(26)으로부터 비스듬히 아래쪽으로 연장한 상태로 설치되어 있다. 위쪽 지지부재(31)의 아래쪽 면에는, 아래쪽 지지부재(32)와 완충부재(33)가 접착된다. 위쪽 지지부재(31)는 아크릴수지나 에폭시수지 등으로 구성되어 있다. 이에 의해, 위쪽 지지부재(31)는, 접촉 전극(39)이 액정패널(14)의 각 전극(15)에 접촉했을 때, 완충부재(33)와 함께 휘어 적절한 압력을 발생시키도록 되어 있다.
아래쪽 지지부재(32)는, 위쪽 지지부재(31)의 아래쪽 면에 맞붙는 판재이다. 아래쪽 지지부재(32)는, 선단 쪽(액정패널(14)쪽)에 완충부재(33)를 위한 스페이스를 확보하여 위쪽 지지부재(31)의 아래쪽 면에 맞붙어 있다. 이에 의해, 아래쪽 지지부재(32)는, 선단 쪽에서 완충부재(33)를 지지함과 동시에, 아래쪽 면에서 시트상 부재(34)를 지지하고 있다. 아래쪽 지지부재(32)는, 유리, 아크릴수지, 에폭시수지 등으로 구성된다. 또한, 아래쪽 지지부재(32)는, 배선부(30)의 배선의 피치 보정을 하는 경우가 있다.
완충부재(33)는, 접촉 전극(39)의 접촉 시의 충격을 완화하여 탄성적으로 지지하기 위한 부재이다. 완충부재(33)는, 위쪽 지지부재(31)와 시트상 부재(34)로 끼워지고, 아래쪽 지지부재(32)에 접하여, 필름상 기판부(29)의 선단부에 설치되어 있다. 완충부재(33)는, 탄성부재로 구성되고, 그 탄성에 의한 반발력으로 접촉 전극(39)을 탄성적으로 지지하고 있다. 이 완충부재(33)의 탄성에 의해, 접촉 전극(39)을 액정패널(14)의 각 전극(15)에 눌렀을 때, 접촉 전극(39)에 가해지는 충격을 흡수하면서 접촉 전극(39)을 각 전극(15) 위에서 이동시켜 스크래치 동작을 시키도록 되어 있다.
시트상 부재(34)는 그 아래쪽 면에 배선부(30)를 설치하기 위한 필름 부재이다. 시트상 부재(34)는 TAB 테이프 등으로 구성되어 있다.
배선부(30)는, 액정패널(14)의 각 전극(15)에 신호전압의 인가 등을 행하는 탐침(探針)으로서 기능하는 부분이다. 배선부(30)는, 도 2∼7에 나타나 있듯이, 구동회로 IC(37), 배선(38), 접촉 전극(39), 경화형 절연수지(40)로 구성되어 있다.
구동회로 IC(37)는 액정패널(14)을 제어하는 회로이다. 배선(38)은 제어신호 등을 전하기 위한 배선이다. 배선(38)은, 선단 쪽의 접촉배선(38A)과 기단 쪽의 접속배선(38B)으로 구성되어 있다. 선단 쪽의 접촉배선(38A)은 접촉 전극(39)이 설치되어 접촉자가 된다. 기단 쪽의 접속배선(38B)은 테스터(도시하지 않음) 쪽의 접속시트(42)(도 1, 2 참조)에 접속되는 배선이 된다. 선단 쪽의 접촉배선(38A) 및 기단 쪽의 접속배선(38B)은 구동회로 IC(37)를 끼우고 직선상으로 형성되어 있다. 접촉배선(38A) 및 접속배선(38B)으로 이루어지는 배선(38)은, 병렬로 복수 배설되어 있다. 각 배선(38)의 간격은, 액정패널(14)의 각 전극(15)의 간격에 맞추어 설정되어 있다. 접촉 전극(39)은 액정패널(14)의 각 전극(15)에 전기적으로 접촉하는 콘택트부이다. 접촉 전극(39)은 각 배선(38)의 선단 쪽의 접촉배선(38A)(도 6, 7의 아래쪽 단부)에 설치되어 있다. 이 접촉 전극(39)은, 후술하는 도금(44)이나 범프(45)로 구성되어 있다. 각 배선(38)의 기단 쪽의 접속배선(38B)은, 접속시트(42)에 접속되어 있다. 이에 의해, 각 배선(38)의 접속배선(38B)은 접속시트(42)를 사이에 두고 테스터에 접속되어 있다. 접속시트(42)는, 가요성(可撓性)이 있는 플랫 케이블로 구성되어 있다. 이 접속시트(42)는 시트상 부재(34)와 일체화하여 제작해도 좋다.
경화형 절연수지(40)는, 시트상 부재(34) 위의 각 접촉 전극(39) 사이에 충진되는 절연재료이다. 경화형 절연수지(40)는, 열로 경화하는 열경화 수지나, 빛으로 경화하는 광경화 수지나, 자외선으로 경화하는 자외선 경화수지 등으로 구성되어 있다. 이들 수지에 절연 성능을 갖게 되어 있다.
이 경화형 절연수지(40)는, 다음과 같이 형성된다. 우선, 도 3∼6에 나타낸 바와 같이, 경화형 절연수지(40)를, 각 배선(38)의 선단 쪽의 접촉배선(38A)을 덮도록 시트상 부재(34)의 선단면에 맞추어 놓는다. 각 접촉배선(38A)의 선단부를 덮은 경화형 절연수지(40)는, 가압 등을 함으로써 각 접촉배선(38A)의 가장자리에 밀착시킨다. 이어서, 열이나 빛 등으로 경화형 절연수지(40)를 경화시킨다.
계속해서, 도 7, 8에 나타낸 바와 같이, 경화형 절연수지(40)를 기계가공이나 에칭에 의해 삭제한다. 구체적으로는, 각 접촉배선(38A)의 표면에서 완전히 경화형 절연수지(40)가 없어지고, 각 접촉배선(38A)의 가장자리에 경화형 절연수지(40)가 밀착하여 남도록 가공한다. 각 접촉배선(38A)의 표면은 세정하여 이물질을 제거한다.
이어서, 접촉 전극(39)을 형성한다. 이 접촉 전극(39)으로는 도금이나 범프를 이용한다. 접촉 전극(39)으로서 도금을 이용하는 경우는, 도 9에 나타낸 바와 같이, 각 배선(38)의 접촉배선(38A)(그 선단의 가장자리에 경화형 절연수지(40)를 세밀하게 입힌 각 접촉배선(38A))의 선단의 표면(도 1의 아래쪽 면)에 도금(44)을 실시하여, 각 접촉배선(38A)의 다른 부분보다도 융기시킨다. 이때, 각 접촉배선(38A)의 선단의 가장자리는, 경화형 절연수지(40)(세밀하게 입혀진 경화형 절연수지(40))로 막혀 있기 때문에, 도금액의 침입 등에 의해 도금가공에 악영향을 미치는 일은 없다. 이 도금(44)이 접촉 전극(39)으로서 기능한다. 또한, 도금의 종류는, 경질 금도금, 금도금, 로듐 도금, 파라듐 도금, 코발트 도금, 니켈 도금, 주석 도금, 이들의 합금 도금 등, 패턴 위에 도금 가능한 모든 도금을 이용할 수 있다.
또, 접촉 전극(39)으로서 범프를 이용하는 경우, 도 10에 나타낸 바와 같이, 각 접촉배선(38A)의 선단부에 상기 도금(44)을 실시하고, 이 도금(44) 위에 범프(45)를 형성한다. 이 범프(45)가 접촉 전극(39)으로서 기능한다. 또한, 도금(44)이 없는 경우도 있다. 이 접촉 전극(39)은 액정패널(14)의 각 전극(15)에 접촉할 때의 접촉배선(38A)의 박리 강도의 향상, 접촉 저항의 저감, 향상을 위해, 시트상 부재(34)의 액정패널(14) 쪽의 단면(端面)에 설치되어 있다.
이상과 같이 구성된 전기적 접촉자는, 다음과 같이 작용한다. 또한, 액정패널(14)이 장치 내에 설치될 때까지의 동작은 주지이므로, 여기에서는, 필름상 프로브(5)의 접촉 전극(39)과 액정패널(14)의 각 전극(15)이 접촉하는 것부터 설명한다.
접촉 전극(39)을 액정패널(14)의 각 전극(15)을 향한 상태로, XYZθ 스테이지에 의해 액정패널(14)을 상승시켜, 각 전극(15)과 각 접촉 전극(39)을 서로 접촉시킨다. 이어서, 오버드라이브를 건다.
이에 의해, 각 접촉 전극(39)이 각 전극(15)에 의해 눌려 위쪽으로 밀어 올려진다. 이때, 각 접촉 전극(39)은, 시트상 부재(34)를 사이에 두고 완충부재(33) 및 위쪽 지지부재(31)로 탄성적으로 지지되어 있기 때문에, 각 접촉 전극(39)이 각 전극(15)에 접촉할 때, 완충부재(33) 및 위쪽 지지부재(31)가 휘면서 충격을 흡수한다. 각 접촉 전극(39)은, 접촉 시의 충격을 흡수하면서 각 전극(15)의 표면을 미끄러져 움직여, 스크래치 동작이 행해진다.
이때, 각 접촉 전극(39)의 부분에 비틀림이나 벗겨짐이 생기는 힘이 발생하는 경우가 있다. 그러나, 각 배선(38)의 접촉배선(38A)은 그 가장자리에 세밀하게 입혀진 경화형 절연수지(40)에 의해 견고하게 지지되어 있다. 이에 의해, 각 배선(38)의 접촉배선(38A) 위의 각 접촉 전극(39)도 견고하게 지지되어 있다.
이상과 같이, 각 배선(38)의 접촉배선(38A) 부분의 강도가 경화형 절연수지(40)에 의해 향상하기 때문에, 각 접촉 전극(39) 부분에 비틀림이나 벗겨짐이 생기는 것을 확실하게 방지할 수 있어, 안정한 콘택트를 지속시킬 수 있다. 이에 의해, 전기적 접촉자의 내구성이 향상한다. 그 결과, 전기적 접촉자를 조립한 검사장치의 내구성이 향상하고, 검사의 신뢰성이 향상한다.
게다가, 완성상태의 FPC나 COF의 패턴(각 배선(38)의 접촉배선(38A)) 위에 추가의 각종 도금가공이 가능해진다. 이에 의해, 측정 디바이스에 대응한 도금을, 뒤에서 추가로 붙일 수 있게 된다.
또한, 상기 실시형태에서는, 경화형 절연수지(40)는, 도 9, 10과 같이, 배선(38)의 접촉배선(38A)의 주위에만 설치되었지만, 각 배선(38) 사이를 매우도록 설치해도 좋다. 시트상 부재(34) 전체에 경화형 절연수지(40)를 설치해도 좋다. 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것이 아니고, 그 요지를 벗어나지 않는 범위에서 각종 변경이 가능하다.
이 경우도 상기 실시형태와 동일한 작용, 효과를 나타낼 수 있다.
1: 프로브 조립체 2: 프로브 베이스
3: 매니퓰레이터(manipulator) 4: 슬라이드부
5: 필름상 프로브 7, 8: 볼트
9: 슬라이드 지지부 10: 조정볼트 구멍
11: 조정볼트 13: 슬라이드 레일
14: 액정패널 15: 전극
16: 슬라이드 블록 17: 프로브 블록
20: 슬라이드 가이드 21: 조정볼트 구멍
22: 고정볼트 구멍 23: 고정볼트
24: 플랜지부 25: 고정볼트 구멍
26: 아래쪽 설치면 29: 필름상 기판부
30: 배선부 31: 위쪽 지지부재
32: 아래쪽 지지부재 33: 완충부재
34: 시트상 부재 37: 구동회로 IC
38: 배선 38A: 접촉배선
38B: 기단 쪽의 접속배선 39: 접촉 전극
40: 경화형 절연수지 42: 접속시트
44: 도금 45: 범프(bump)

Claims (6)

  1. 필름 위에 패턴화된 복수의 콘택트부를 갖고, 상기 각 콘택트부가 대상 부재의 각 전극에 전기적으로 접촉하는 전기적 접촉자에 있어서,
    상기 필름 위의 각 콘택트부의 가장자리에 절연재료를 충진한 것을 특징으로 하는 전기적 접촉자.
  2. 제1항에 있어서, 상기 절연재료가 열이나 빛 등으로 경화하는 경화형 절연수지로 구성된 것을 특징으로 하는 전기적 접촉자.
  3. 제2항에 있어서, 상기 경화형 절연수지가 상기 필름 위의 각 콘택트부를 덮은 상태로 경화되고, 각 콘택트부의 상기 경화형 절연수지가 제거되어, 상기 각 콘택트부의 가장자리에 절연재료가 세밀하게 충진된 것을 특징으로 하는 전기적 접촉자.
  4. 제2항에 있어서, 상기 경화형 절연수지가 가장자리에 세밀하게 충진된 상기 각 콘택트부에 입혀진 도금을 갖는 것을 특징으로 하는 전기적 접촉자.
  5. 제1항에 있어서, 상기 콘택트부가 상기 대상 부재 쪽의 단면(端面)에 설치된 것을 특징으로 하는 전기적 접촉자.
  6. 제1항에 있어서, 상기 콘택트부가 제어신호 등을 전달하는 각 배선의 선단 쪽의 접촉배선에 설치된 것을 특징으로 하는 전기적 접촉자.
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