KR20130081239A

KR20130081239A - 필름 박리 장치

Info

Publication number: KR20130081239A
Application number: KR1020130000205A
Authority: KR
Inventors: 아츠시 다카타; 마사카즈 다카츠
Original assignee: 가부시끼 가이샤 나노템
Priority date: 2012-01-06
Filing date: 2013-01-02
Publication date: 2013-07-16
Also published as: KR101494954B1; CN103193010B; CN103193010A

Abstract

본 발명의 과제는 간이한 구성, 동작에 의해, 피보호재에 부착된 보호 필름을 용이하고 또한 확실하게 박리시킬 수 있는 필름 박리 장치를 제공하는 것이다.
필름 박리 장치는 프레임 본체와, 당해 프레임 본체에 대해 전후 방향 이동 가능하게 설치되는 평판 부재와, 평판 부재의 저면측으로부터 선단부에서 폴드되어 상면측으로 연장되고, 또한 후단부로부터 폴드되어 저면측으로 연장되고, 평판 부재에 권취되는 벨트 부재를 구비하고, 벨트 부재는 평판 부재의 저면측의 소정 위치에서 프레임 본체에 대해 고정되어 설치되고, 평판 부재의 저면측의 벨트 부재를 필름에 접착시킨 상태에서, 평판 부재를 전후 방향 이동시키면, 당해 전후 방향 이동에 수반하여, 필름이 접착되어 있는 평판 부재의 저면측의 벨트 부재가, 필름이 접착된 상태에서 상기 평판 부재의 상면측으로 폴드됨으로써, 필름이 피보호재로부터 박리된다.

Description

필름 박리 장치{FILM PEELING APPARATUS}

본 발명은 평판 형상의 피보호재의 표면에 부착된 보호 필름을 박리하는 필름 박리 장치에 관한 것이다.

액정 패널 등의 박형 디스플레이 패널, 반도체 웨이퍼 등의 전자 디바이스의 표면에는 제조 공정 및 조립 공정에 있어서, 흠집이나 먼지의 부착 등을 방지하기 위해, 그 표면을 보호하기 위한 보호 필름이 부착된다. 이와 같이, 표면에 보호 필름이 부착된 판형상의 전자 디바이스(피보호재)의 사용 단계에서는, 이 필름을 박리할 필요가 있어, 다양한 필름 박리 방법이 제안되어 있다.

특허 문헌 1 및 2는 액정 패널의 편광판에 부착된 보호 필름의 단부에 점착 테이프 등의 점착재를 부착하고, 그 점착 테이프를 상방으로 잡아당겨 올리도록 하여 박리하는 방법에 대해 개시하고 있다. 특허 문헌 3은 글래스 기판과 그 표면에 부착된 필름 사이에 절삭날부를 삽입하여, 필름의 코너부를 박리시키는 방법에 대해 개시하고 있다. 특허 문헌 4는 회전 고무 롤러와 필름의 마찰력에 의해, 보호 필름을 피보호재로부터 박리시키는 방법에 대해 개시하고 있다. 특허 문헌 5는 필름의 피착면의 법선에 대해 경사진 방향으로부터 액체를 분사하여, 표시 패널에 부착된 필름을 박리하는 방법에 대해 개시하고 있다.

일본 특허 출원 공개 제2010-149965호 공보 일본 특허 출원 공개 제2000-95429호 공보 일본 특허 출원 공개 제2010-247985호 공보 일본 특허 출원 공개 제2003-252526호 공보 일본 특허 출원 공개 제2004-157146호 공보

그러나, 피보호재가 매우 얇고 가볍고 또한 유연성 및 가요성을 갖는 부재(예를 들어, 두께 수십 내지 수백 마이크로미터 정도의 필름 디스플레이 등)인 경우, 예를 들어 점착 테이프에 의해 보호 필름을 박리하려고 하면, 피보호재를 하방측으로부터 흡착 고정해 두어도, 보호 필름과 함께 피보호재도 넘겨져 버려, 보호 필름을 피보호재로부터 박리시킬 수 없다. 다른 필름 박리 방법에 있어서도, 피보호재가 얇고 가요성을 갖는 부재에 부착된 보호 필름의 박리에 적합하지 않다. 또한, 어떤 필름 박리 방법도, 장치가 복잡하고, 대규모이고, 수동에 의한 간이한 박리 조작에도 적합하지 않다.

따라서, 본 발명의 목적은 간이한 구성, 동작에 의해, 피보호재에 부착된 보호 필름을 용이하고 또한 확실하게 박리시킬 수 있는 필름 박리 장치를 제공하는 데 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 필름 박리 장치는 피보호재에 부착된 필름을 박리하는 필름 박리 장치에 있어서, 프레임 본체와, 상기 프레임 본체에 대해 전후 방향 이동 가능하게 설치되는 평판 부재와, 상기 평판 부재의 저면측으로부터 선단부에서 폴드되어 상면측으로 연장되고, 또한 후단부로부터 폴드되어 저면측으로 연장되고, 상기 평판 부재에 권취되는 벨트 부재를 구비하고, 상기 벨트 부재는 상기 평판 부재의 저면측의 소정 위치에서 상기 프레임 본체에 대해 고정되어 설치되고, 상기 평판 부재의 저면측의 상기 벨트 부재를 상기 필름에 접착시킨 상태에서, 상기 평판 부재를 전후 방향 이동시키면, 당해 전후 방향 이동에 수반하여, 상기 필름이 접착되어 있는 상기 평판 부재의 저면측의 상기 벨트 부재가, 상기 필름이 접착된 상태에서 상기 평판 부재의 상면측으로 폴드됨으로써, 상기 필름이 상기 피보호재로부터 박리되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 필름 박리 장치에 따르면, 보호 필름을 벨트 부재의 저면측에 접착시켜, 벨트 부재가 권취된 판형상 부재를 전후 방향 이동시킴으로써, 보호 필름을 벨트 부재의 상면측에 폴드하도록 박리하는 구성ㆍ동작으로 함으로써, 피보호재에 부착된 보호 필름을 확실하고 또한 용이하게 박리할 수 있다. 특히, 피보호재가 얇고 가요성이 있는 재질이어도, 피보호재가 넘겨지는 일 없이, 보호 필름만을 확실하게 박리할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 있어서의 필름 박리 장치의 구성예를 도시하는 사시도.
도 2는 본 발명의 실시 형태에 있어서의 필름 박리 장치의 구성예를 도시하는 평면도.
도 3은 본 발명의 실시 형태에 있어서의 필름 박리 장치의 구성예를 도시하는 측단면도(후퇴 위치).
도 4는 본 발명의 실시 형태에 있어서의 필름 박리 장치의 구성예를 도시하는 측단면도(전진 위치).
도 5는 벨트(15)가 멈춤판(14)에 비스 고정된 상태를 도시하는 도면.
도 6은 본 발명의 실시 형태의 필름 박리 장치의 필름 박리 동작을 설명하는 도면.
도 7은 벨트(15)의 선단 부분의 각도를 도시하는 도면.
도 8은 본 발명의 필름 장치의 다른 구성예를 도시하는 도면.

이하, 도면을 참조하여 실시 형태에 대해 설명한다. 그러나, 이러한 실시 형태가 본 발명의 기술적 범위를 한정하는 것은 아니다.

도 1 내지 도 4는 본 발명의 실시 형태에 있어서의 필름 박리 장치의 구성예를 도시하는 도면으로, 도 1은 사시도, 도 2는 평면도, 도 3 및 도 4는 도 2의 A-A선에 있어서의 단면도이다. 또한, 도 3에는 동그라미 부분의 부분 확대도도 도시된다.

필름 박리 장치는 평판 부재(11), 브래킷(12), 프레임 본체(13), 멈춤판(14), 벨트(15) 및 로드(16)를 갖고 구성된다.

평판 부재(11)는 두께 1 내지 2㎜ 정도의 사각 형상의 평판(11a)(예를 들어, 철판, 스테인리스판)과, 그 후단부의 테두리를 따라서 설치되는 원기둥 형상의 막대 스테이(11b)를 갖고 구성된다. 막대 스테이(11b)는, 예를 들어 직경 10㎜ 정도의 원기둥 부재이며, 평판 부재(11)의 후단부는 막대 스테이(11b)의 주위면에 의해 원호를 형성하고, 또한 평판(11a)의 선단부도, 도시된 바와 같이 평판(11a)의 선단 부위를 절첩함으로써 원호를 형성하고 있다.

평판 부재(11)의 평판(11a)은 막대 스테이(11b)를 통해, 비스 등을 사용하여 ㄷ자 형상의 브래킷(12)에 고정된다. 평판(11a)과 막대 스테이(11b)는, 이와 같이 각각의 부재를 연결하여 평판 부재(11)를 구성하도록 형성되어도 되지만, 일체적으로 형성되어도 된다. 또한, 평판 부재(11)는 선단부가 후단부보다도 그 원호 직경이 작아지는 끝이 가는 형상으로 형성되어도 된다.

평판 부재(11)의 후단부에는, 후술하는 바와 같이 막대 스테이(11b)로부터 후방으로 연장되는 가늘고 긴 형상의 로드(16)가 설치되어 있다. 로드(16)는 평판 부재(11)를 수동으로 전후 방향 이동시키기 위해 파지 가능한 길이, 형상을 갖는다.

프레임 본체(13)는 사각 형상의 바닥판과, 개방된 일단부측을 제외하고 바닥판의 주위를 둘러싸는 측판을 갖고, 브래킷(12)에 설치된 평판 부재(11)는 그 개방된 일단부측으로부터 전후 방향 이동 가능하게 프레임 본체(13)에 적재된다. 로드(16)는 프레임 본체(13)의 측판에 형성되는 구멍부를 관통하여 후방으로 연장된다. 로드(16)를 전진 이동 및 후퇴 이동시킴으로써, 평판 부재(11)를 전진 위치 및 후퇴 위치로 이동시킬 수 있다. 도 3은 평판 부재(11)가 후퇴 위치에 있는 상태를 도시하고, 도 4는 평판 부재(11)가 전진 위치에 있는 상태를 도시한다. 또한, 프레임 본체(13)를 구성하는 양측의 측판의 선단 부근에는 멈춤판(14)이 가설된다. 멈춤판(14)은 띠 형상의 가늘고 긴 판 부재이다.

평판 부재(11)에는 얇은 시트 형상의 벨트(15)가 권취되어 있다. 구체적으로는, 벨트(15)는 평판 부재(11)의 저면측으로부터 선단부에서 상면측으로 폴드되어 상면을 후단부 방향으로 연장하고, 또한 후단부로부터 저면측으로 폴드되어 저면을 선단 방향으로 연장하고, 평판 부재(11)를 권취하도록 배치된다. 평판 부재(11)의 저면측에 있어서, 벨트(15)의 일단부와 타단부는 포개어져, 멈춤판(14)과 함께 비스 고정된다.

도 5는 벨트(15)가 멈춤판(14)에 비스 고정된 상태를 도시하는 도면이다. 이에 의해, 멈춤판(14)과 함께 양단부가 비스 고정되어 고정된 벨트(15)의 당해 고정 부위는 프레임 본체(13)에 대해 고정되는 위치로 되어, 평판 부재(11)의 전후 방향 이동에 대해서도, 당해 고정 부위는 이동하지 않는다.

벨트(15)는 그 표면에 접촉하는 보호 필름을 당해 표면에 접착시키는 접착 기능을 갖는다. 예를 들어, 시트 형상의 벨트(15)의 표면에 점착재(점착 테이프를 포함함)를 부착시킴으로써, 벨트(15)의 표면에 보호 필름을 점착시킨다. 또한, 벨트(15)를 2매의 시트를 접합하여 형성하고, 보호 필름과 접촉하는 표면측의 시트에 복수의 미세 구멍을 형성하고, 접합한 2매의 시트의 중공 내부를 진공 흡착 장치(도시하지 않음)에 의해 감압함으로써, 벨트(15)의 표면에 보호 필름을 흡착시켜도 된다. 이 경우, 진공 흡착 장치와 접속하는 튜브는 벨트(15)의 상기 고정 부위로부터 접합한 시트 내에 삽입함으로써, 튜브의 삽입 위치를 고정할 수 있다. 도 5에 당해 튜브를 삽입하기 위해 벨트(15)에 설치된 튜브 접속구(15a)의 예를 도시한다.

도 6은 본 발명의 실시 형태의 필름 박리 장치의 필름 박리 동작을 설명하는 도면이다. 도 6의 (a)에 있어서, 우선, 평판 부재(11)를 전진 위치에 배치하고, 그 상태에 있어서, 상방측으로부터, 벨트(15)의 저면측을 피보호재(20) 상의 보호 필름(30)에 접촉시켜 적재한다. 이때, 벨트(15)는 보호 필름(30)의 선단부(30a)가 벨트(15)의 저면측에 접착하도록 적재된다. 또한, 피보호재(20)는 하면측에 있어서, 진공 흡착 등에 의한 흡착반(40)에 흡착 고정되어 있다.

계속해서, 도 6의 (b)에 있어서, 로드(16)를 후방으로 당기면, 평판 부재(11)의 저면측의 벨트(15)를 보호 필름(30)에 접착시킨 상태에서, 평판 부재(11)도 후방으로 당겨진다. 당해 후방 이동에 수반하여, 보호 필름(30)이 접착되어 있는 평판 부재(11)의 저면측의 벨트(15)는 보호 필름(30)이 접착된 상태에서 평판 부재(11)의 상면측으로 폴드되어 가고, 보호 필름(30)이 피보호재(20)로부터 순차적으로 박리되어 간다[도 6의 (c)]. 그리고, 도 6의 (d)에 도시된 바와 같이, 평판 부재(11)가 후퇴 위치까지 당겨지면, 보호 필름(30)은 피보호재(20)의 대략 전체면으로부터 박리된다.

도 7에 도시되는 벨트(15)의 선단 부분의 각도 θ는 45도를 초과하지 않는 각도이고, 가능한 한 작은 각도(예를 들어, 10도 미만)가 바람직하다. 벨트(15)의 선단 부분의 각도가 작을수록 보호 필름(30)을 피보호재(20)로부터 박리할 때에, 피보호재(20)에 가하는 상방향의 인장력[피보호재(20)를 들어올리려고 하는 힘]을 작게 할 수 있다. 또한, 벨트(15)가 권취되는 평판 부재(11)를 얇게 함으로써(두께를 작게 함으로써), 보호 필름(30)이 넘겨져 폴드될 때의 상방향(두께 방향)으로의 이동 길이를 작게 할 수 있어, 보호 필름(30)을 피보호재로부터 박리할 때에, 피보호재(20)에 가하는 상방향의 인장력을 작게 할 수 있다.

예를 들어, 피보호재(20)가 글래스 등의 어느 정도의 중량이 있고, 경질이고 가요성이 없는 재질인 경우에는, 보호 필름을 박리할 때에, 피보호재에 상방향의 인장력이 가해져도, 피보호재(20)가 보호 필름(30)과 함께 넘겨지는 일은 없다. 그러나, 피보호재(20)가, 예를 들어 두께 수십 내지 수백 마이크로미터 정도의 필름 디스플레이(유기 EL 필름 디스플레이 등)와 같은 매우 얇고 가볍고 또한 유연성 및 가요성을 갖는 재질인 경우, 하방측으로부터의 흡착에 의해 피보호재(20)를 고정하고 있어도, 예를 들어 점착 테이프에 의해 보호 필름을 박리하려고 하면, 피보호재에 상방향의 인장력이 가해짐으로써, 보호 필름과 함께 피보호재도 넘겨져 버려, 보호 필름을 피보호재로부터 박리시킬 수 없는 경우가 있다.

본 실시 형태에 있어서의 필름 박리 장치는 얇은 평판 부재에 벨트 부재를 권취하여, 보호 필름을 매우 작은 각도에서 폴드하여 박리시키므로, 상방향의 인장력을 거의 발생시키지 않고, 극히 얇고 가요성을 갖는 필름 형상의 피보호재에 부착된 보호 필름이어도, 그 피보호재로부터 확실하게 박리할 수 있다. 또한, 벨트(15)가 권취된 평판 부재(11)를 보호 필름에 면끼리 접촉시켜, 수평 방향으로 직선 이동시키는 것뿐인 단순 동작에 의해, 수동에 있어서도, 보호 필름을 신속하게 박리할 수 있어, 박리 시간의 단축화, 효율화도 실현된다. 즉, 간이한 구성 및 동작에 의해, 보호 필름을 박리시키기 어려운 필름 형상의 피보호재로부터도 보호 필름을 용이하게 박리시킬 수 있다. 물론, 본 발명의 실시 형태에 있어서의 필름 박리 장치는 글래스, 액정 패널 등의 경질이고 가요성을 갖지 않는 피보호재에 부착된 보호 필름의 박리에도 적용 가능하다.

도 8은 본 발명의 필름 장치의 다른 구성예를 도시하는 도면으로, 도 8의 (a)는 평면도, 도 8의 (b)는 측단면도이다. 다른 구성예에서는, 평판 부재(11)의 온도 조정을 행하여, 벨트(15)의 점착성을 제어하는 기능이 부가된다. 도 8에 도시한 바와 같이, 열전소자(40)(예를 들어, 펠티에 소자)와 같은 온도 변화 수단을 평판 부재(11)의 평판(11a)에 설치하여, 열전소자(40)에 의한 발열 및 흡열 작용에 의해, 평판(11a)의 온도를 변화시킨다. 열전소자(40)는 도시되지 않은 전원 및 제어 장치와 배선 접속하여, 온도 변화를 자유롭게 제어할 수 있다. 평판(11a)의 온도 변화에 의해, 벨트(15)는 평판(11a)의 선단 부분 등의 접촉 개소에 의한 열전도 및 복사열에 의해, 그 온도가 변화되고, 온도 변화에 의해 벨트(15)의 점착력이 변화된다. 예를 들어, 벨트(15)의 온도를 높게 함으로써, 벨트(15)의 점착력이 올라가, 박리 대상의 보호 필름의 말단을 파지하는 그립력이 향상된다. 예를 들어, 보호 필름이 2매 겹쳐서 피보호재에 부착되고, 겹쳐진 2매 중 1매를 박리시키는 경우에, 보호 필름끼리의 부착력이 강하면, 박리를 위해 보다 강한 점착력으로 된다. 온도 변화 수단에 의해 평판(11a)의 온도를 변화시킴으로써, 벨트(15)를 가열하여 그 점착력을 높임으로써, 부착력이 강한 보호 필름도 박리할 수 있게 된다. 또한, 벨트(15)의 온도를 낮게 함으로써, 지나치게 강한 점착력을 조정하는 것도 가능하다. 온도 변화 수단은 열전소자로 한정되지 않고, 예를 들어 전열선과 같은 다른 형태여도 된다.

본 발명의 필름 박리 장치는 상술한 실시 형태로 한정되는 것은 아니고, 예를 들어 평판 부재(11)의 전후 방향 이동은 수동에 의한 조작으로 한정되지 않고, 예를 들어 모터 구동 등에 의해 자동 조작되어도 된다. 또한, 설계 사항의 범위 내에서 적절하게 각 구성 요소의 치수, 형상 등의 변경도 본 발명의 기술적 범위에 포함되는 것이다.

11 : 평판 부재
12 : 브래킷
13 : 프레임 본체
14 : 멈춤판
15 : 벨트
16 : 로드
20 : 피보호재
30 : 보호 필름
40 : 열전소자

Claims

피보호재에 부착된 필름을 박리하는 필름 박리 장치에 있어서,
프레임 본체와,
상기 프레임 본체에 대해 전후 방향 이동 가능하게 설치되는 평판 부재와,
상기 평판 부재의 저면측으로부터 선단부에서 폴드되어 상면측으로 연장되고, 또한 후단부로부터 폴드되어 저면측으로 연장되고, 상기 평판 부재에 권취되는 벨트 부재를 구비하고,
상기 벨트 부재는 상기 평판 부재의 저면측의 소정 위치에서 상기 프레임 본체에 대해 고정되어 설치되고,
상기 평판 부재의 저면측의 상기 벨트 부재를 상기 필름에 접착시킨 상태에서, 상기 평판 부재를 전후 방향 이동시키면, 당해 전후 방향 이동에 수반하여, 상기 필름이 접착되어 있는 상기 평판 부재의 저면측의 상기 벨트 부재가, 상기 필름이 접착된 상태에서 상기 평판 부재의 상면측으로 폴드됨으로써, 상기 필름이 상기 피보호재로부터 박리되는 것을 특징으로 하는, 필름 박리 장치.
제1항에 있어서, 상기 벨트 부재는 점착재에 의해 상기 필름과 접착하는 것을 특징으로 하는, 필름 박리 장치.
제1항에 있어서, 상기 벨트 부재는 진공 흡착에 의해 상기 필름과 접착하는 것을 특징으로 하는, 필름 박리 장치.
제1항에 있어서, 상기 평판 부재의 온도를 변화시키는 온도 변화 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는, 필름 박리 장치.