KR20130081201A - 물품 보관 설비 및 물품 보관 방법 - Google Patents

Abstract

제어 장치가, 같은 시기에 제1 공급 상태로 제어하는 것이 결정된 불활성 기체 공급부의 총수가 동시 공급 최대수를 넘는 것으로 판정한 경우에는, 같은 시기에 제1 공급 상태로 제어하는 것이 결정된 불활성 기체 공급부 중, 동시 공급 최대수 이하의 불활성 기체 공급부를 제1 공급 상태로 제어하고, 나머지의 불활성 기체 공급부에 대해서는, 설정 지연 시간 동안 제1 공급 상태의 개시를 지연시키는 처리인 개시 지연 처리를 실행한다.

Description

물품 보관 설비 및 물품 보관 방법{ARTICLE STORAGE FACILITY AND ARTICLE STORAGE METHOD}

본 발명은, 기판을 수용하는 반송 용기를 수납하는 복수의 수납부와, 상기 복수의 수납부에 대하여 상기 반송 용기를 반송하는 반송 장치와, 상기 수납부에 수납된 상기 반송 용기의 내부에 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급부와, 상기 반송 장치의 작동 및 상기 불활성 기체 공급부의 유량 조절 장치의 작동을 제어하는 제어 장치를 구비한 물품 보관 설비, 및 이와 같은 물품 보관 설비를 이용한 물품 보관 방법에 관한 것이다.

상기와 같은 물품 보관 설비의 일례로서, 다음과 같은 퍼지(purge) 기능을 가지는 물품 보관 선반을 구비한 물품 보관 설비가 알려져 있다. 이 물품 보관 선반은, 반도체 웨이퍼를 수용하는 FOUP 등의 반송 용기를 수납하는 복수의 수납부를 구비하고, 수납부의 각각에, 반송 용기 내부에 수용한 반도체 웨이퍼의 오염 또는 손상을 방지하기 위해, 예를 들면, 질소 가스나 아르곤 가스 등의 불활성 기체를 반송 용기의 내부에 공급하는 불활성 기체 공급부로서의 공급 노즐이 구비되어 있다.

일본공개특허 제20l0-16l99호 공보(특허 문헌 l)에는, 이와 같은 물품 보관 설비의 일례가 개시되어 있고, 상기 물품 보관 설비에서는, 반송 용기가 수납부에 수납되어 있는 경우와 수납되어 있지 않은 경우에, 공급 노즐로부터 배출하는 불활성 기체의 유량을 변경하고, 반송 용기가 수납부에 수납되어 있지 않은 경우의 불활성 기체의 유량을, 반송 용기가 수납부에 수납되어 있는 경우의 유량보다 작게 한다.

상기 특허 문헌 1의 물품 보관 선반은, 반송 용기를 수납하는 수납부가 복수 구비되고, 그 각각의 수납부에 반송 용기의 유무를 검출하는 검출 장치가 설치되어 있다. 그리고 검출 장치에 의해 반송 용기가 수납부에 수납되어 있는 것이 검출된 경우에는, 반송 용기 내에, 그 내부에 수용한 반도체 웨이퍼의 오염 또는 손상을 방지하는 데 충분한 유량(제1 유량이라고 함)의 불활성 기체를 공급하도록 구성되어 있다. 또한, 반송 용기가 수납부에 수납되어 있지 않은 것이 검출된 경우에는, 상기 공급 노즐에 불순물 입자가 축적하는 것을 방지하기 위해, 상기 제1 유량보다 작은 값으로 설정된 유량(제2 유량이라고 함)의 불활성 기체를 공급 노즐로부터 배출하도록 구성되어 있다.

이와 같은 유량의 전환은 유량 조절 장치에서 행해진다. 유량 조절 장치는, 불활성 기체의 공급 유량을, 제어 장치에 의해 지령된 목표 유량에 조절하도록 구성되어 있다.

상기 특허 문헌 l에 있어서는, 물품 보관 선반에 복수의 반송 용기가 같은 시기에 수납된 경우에, 수납된 모든 반송 용기에 대하여 제1 유량의 불활성 기체를 공급하도록 되어 있고, 제어 장치로부터 각각의 유량 조절 장치에 목표 유량이 지령된다. 그러나 물품 보관 선반에 수납된 모든 반송 용기에 대하여 제1 유량의 불활성 기체를 공급하기 위해 필요한 유량이, 공급원(예를 들면, 질소 가스 등의 봄베)으로부터 공급 가능한 불활성 기체의 유량을 상회하는 경우에는, 각각의 반송 용기에 공급 가능한 불활성 기체의 유량이 목표 유량인 제1 유량에 못 미치게 된다. 그러므로 유량 조절 장치는, 목표 유량으로서 제1 유량이 지령되어도, 불활성 기체의 공급 유량을 그 목표 유량에 조절하지 못하고, 불활성 기체 공급부로부터는 목표 유량을 하회하는 유량의 불활성 기체 밖에 공급할 수 없다는 문제가 있다.

실제로 공급하는 유량이 목표 유량보다 낮은 상태가 설정 시간 계속된 상태에 빠졌을 때 에러를 출력하는 기능이, 유량 조절 장치에 구비되는 경우가 있다. 이와 같은 기능을 구비한 유량 조절 장치를 사용하는 경우, 상기한 바와 같이, 각각의 반송 용기에 공급 가능한 불활성 기체의 유량이 목표 유량인 제1 유량에 미치지 않는 상태가 설정 시간 계속되었을 때는 에러가 출력되므로 설비를 정상적으로 운전할 수 없게 될 우려가 있었다.

상기 배경으로 하기 위해서는, 불활성 기체의 공급원으로부터 복수의 반송 용기에 불활성 기체를 공급하는 경우에도, 설비를 정상적으로 운전할 수 있는 물품 보관 설비의 실현이 요구된다.

본 발명에 관한 물품 보관 설비는,

기판을 수용하는 반송 용기를 수납하는 복수의 수납부;

상기 복수의 수납부에 대하여 상기 반송 용기를 반송하는 반송 장치;

상기 복수의 수납부의 각각에 대하여 설치되고, 불활성 기체를 배출하는 배출구와, 상기 배출구로부터 배출하는 상기 불활성 기체의 유량을 조절할 수 있는 유량 조절 장치를 구비하여, 상기 수납부에 수납된 상기 반송 용기의 내부에 상기 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급부;

상기 반송 장치와 상기 유량 조절 장치의 작동을 제어하는 제어 장치;

상기 복수의 수납부 중 일군의 수납부에 대응하는 일군의 상기 불활성 기체 공급부에 상기 불활성 기체를 공급하는 공급원

을 포함하고,

여기서, 상기 공급원으로부터 상기 일군의 불활성 기체 공급부에 공급 가능한 최대 허용 유량이 설정되고,

상기 제어 장치가, 상기 일군의 불활성 기체 공급부의 각각의 제어 상태를, 상기 수납부에 수납된 상기 반송 용기에 대하여 상기 불활성 기체를 제1 목표 유량으로 공급하기 위해 상기 유량 조절 장치를 작동시키는 제1 공급 상태와, 상기 수납부에 수납된 상기 반송 용기에 대하여 상기 불활성 기체를 상기 제1 목표 유량 보다 작은 제2 목표 유량으로 공급하기 위해 상기 유량 조절 장치를 작동시키는 제2 공급 상태로 전환 가능하게 구성되며,

상기 최대 허용 유량과 상기 제1 목표 유량과 상기 제2 목표 유량에 따라 정해지는, 같은 시기에 상기 제1 공급 상태로 제어할 수 있는 상기 불활성 기체 공급부의 최대수가, 동시 공급 최대수이며,

상기 제어 장치가, 같은 시기에 상기 제1 공급 상태로 제어하는 것이 결정된 상기 불활성 기체 공급부의 총수인 대상 총수가, 상기 동시 공급 최대수를 넘는 것으로 판정한 경우에는, 같은 시기에 상기 제1 공급 상태로 제어하는 것이 결정된 상기 불활성 기체 공급부 중, 상기 동시 공급 최대수 이하의 상기 불활성 기체 공급부를 상기 제1 공급 상태로 제어하고, 나머지의 상기 불활성 기체 공급부에 대해서는, 설정 지연 시간 동안 상기 제1 공급 상태의 개시를 지연시키는 처리인 개시 지연 처리를 실행하도록 구성되어 있다.

상기한 구성에 의하면, 개시 지연 처리를 실행함으로써, 제1 공급 상태로 제어하기 위한 지령이, 동시 공급 최대수를 초과하는 수량의 불활성 기체 공급부에 대하여 같은 시기에 지령되는 상태를 회피할 수 있다. 이 결과, 불활성 기체 공급부에서의 불활성 기체의 유량이 목표 유량인 제1 유량을 하회하는 상태로 되는 것을 회피하고, 설비를 정상적으로 운전할 수 있다.

설명을 추가하면, 반송 장치가 반송 용기를 수납부에 수납하면, 제어 장치는, 수납부에 수납된 반송 용기에 대하여, 불활성 기체의 공급을 개시하기 위해 유량 조절 장치의 작동을 제어한다. 이때, 이미 제1 공급 상태로 제어되고 있는 불활성 기체 공급부에 더하여, 제1 공급 상태로 제어되는 불활성 기체 공급부가 추가 되므로 이미 제1 공급 상태 또는 제2 공급 상태로 제어되고 있는 불활성 기체 공급부의 목표 유량과 새롭게 제1 공급 상태로 제어되는 불활성 기체 공급부의 목표 유량과의 합계가 최대 허용 유량을 초과하는 경우에는, 그들에 있어서의 불활성 기체의 공급량이 목표 유량에 못 미치게 된다. 또한, 일단 모든 불활성 기체 공급부에 대한 불활성 기체의 공급을 정지한 후에 공급을 재개하는 경우, 또는 수동 운전에서 자동 운전으로 전환하는 등으로 하여, 반송 용기가 수납되어 있는 모든 수납부에 대응하는 불활성 기체 공급부에 대하여, 제1 공급 상태를 개시하는 타이밍이 같아지게 되는 경우에는, 반송 용기 내의 기체를 새로운 불활성 기체에 의해 신속하게 치환시키기 위해 모든 불활성 기체 공급부가 제1 공급 상태로 제어되지만, 목표 유량의 합계가 최대 허용 유량을 초과하는 경우에는, 각 불활성 기체 공급부에서의 불활성 기체의 공급량이 목표 유량에 못 미치게 된다.

이에 대하여, 상기한 구성에 의하면, 같은 시기에 제1 공급 상태로 제어하는 것이 결정된 불활성 기체 공급부 중, 동시 공급 최대수 이하의 불활성 기체 공급부를 제1 공급 상태로 제어하여 불활성 기체의 공급을 계속하고, 나머지의 불활성 기체 공급부에 대해서는 제1 공급 상태의 개시를 설정 시간 동안 지연시키기 위해 불활성 기체의 공급원으로부터 복수의 반송 용기에 불활성 기체를 공급하는 경우에도, 불활성 기체의 공급량이 목표 유량에 미치지 않는 상태로 되는 것을 회피하여, 설비를 정상적으로 운전할 수 있다.

본 발명에 관한 물품 보관 설비의 기술적 특징은, 물품 보관 방법에도 적용 가능하며, 본 발명은 그와 같은 방법도 권리의 대상으로 할 수 있다. 이 물품 보관 방법에 대해서도, 전술한 물품 보관 설비에 관한 작용 효과를 얻을 수 있다.

즉, 본 발명에 관한 물품 보관 방법은,

기판을 수용하는 반송 용기를 수납하는 복수의 수납부와,

상기 복수의 수납부에 대하여 상기 반송 용기를 반송하는 반송 장치와,

상기 복수의 수납부의 각각에 대하여 설치되고, 불활성 기체를 배출하는 배출구와, 상기 배출구로부터 배출하는 상기 불활성 기체의 유량을 조절할 수 있는 유량 조절 장치를 구비하여, 상기 수납부에 수납된 상기 반송 용기의 내부에 상기 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급부와,

상기 반송 장치와 상기 유량 조절 장치의 작동을 제어하는 제어 장치와,

상기 복수의 수납부 중 일군의 수납부에 대응하는 일군의 상기 불활성 기체 공급부에 상기 불활성 기체를 공급하는 공급원을 구비한 물품 보관 설비를 이용한 방법이며, 상기 공급원으로부터 상기 일군의 불활성 기체 공급부에 공급 가능한 최대 허용 유량이 설정되고,

상기 제어 장치가, 상기 일군의 불활성 기체 공급부의 각각의 제어 상태를, 상기 수납부에 수납된 상기 반송 용기에 대하여 상기 불활성 기체를 제1 목표 유량으로 공급하기 위해 상기 유량 조절 장치를 작동시키는 제1 공급 상태와, 상기 수납부에 수납된 상기 반송 용기에 대하여 상기 불활성 기체를 상기 제1 목표 유량 보다 작은 제2 목표 유량으로 공급하기 위해 상기 유량 조절 장치를 작동시키는 제2 공급 상태로 전환 가능하게 구성되며,

상기 최대 사용 유량과 상기 제1 목표 유량과 상기 제2 목표 유량에 따라 정해지는, 같은 시기에 상기 제1 공급 상태로 제어할 수 있는 상기 불활성 기체 공급부의 최대수가 동시 공급 최대수이며,

상기 물품 보관 방법은, 상기 제어 장치에 의해 실행되는 이하의 공정을 포함한다:

동시 사에 상기 제1 공급 상태로 제어하는 것이 결정된 상기 불활성 기체 공급부의 총수인 대상 총수가, 상기 동시 공급 최대수를 넘는 것으로 판정한 경우에는, 같은 시기에 상기 제1 공급 상태로 제어하는 것이 결정된 상기 불활성 기체 공급부 중, 상기 동시 공급 최대수 이하의 상기 불활성 기체 공급부를 상기 제1 공급 상태로 제어하고, 나머지의 상기 불활성 기체 공급부에 대해서는, 설정 지연 시간 동안 상기 제1 공급 상태의 개시를 지연시키는 처리인 개시 지연 처리를 실행하는 공급 상태 제어 공정.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예의 예에 대하여 설명한다.

본 발명에 관한 물품 보관 설비 실시예에서는, 상기 제어 장치가, 상기 개시 지연 처리의 실행 대상의 상기 불활성 기체 공급부인 지연 처리 대상 공급부를 상기 제2 공급 상태로 제어하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.

상기한 구성에 의하면, 지연 처리 대상 공급부에서, 제1 공급 상태의 개시를 지연시키고 있는 동안, 제1 목표 유량보다 작은 유량의 제2 목표 유량이지만, 불활성 기체의 공급을 행할 수 있고, 반송 용기 내부의 환경을 최대한 양호하게 유지하는 것이 가능해진다.

본 발명에 관한 물품 보관 설비 실시예에서는, 상기 제어 장치가, 상기 대상 총수가 상기 동시 공급 최대수를 넘는 것으로 판정한 경우에는, 같은 시기에 상기 제1 공급 상태로 제어하는 것이 결정된 상기 불활성 기체 공급부 중, 상기 동시 공급 최대수와 같은 수의 상기 불활성 기체 공급부를 상기 제1 공급 상태로 제어하고, 나머지의 상기 불활성 기체 공급부에 대하여 상기 개시 지연 처리를 실행하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.

상기한 구성에 의하면, 불활성 기체 공급부에서의 불활성 기체의 유량이 목표 유량인 제1 유량을 하회하는 상태로 되는 것을 회피할 수 있는 최대 수량의 불활성 기체 공급부를 제1 공급 상태로 제어할 수 있고, 설비 전체로서, 반송 용기 내부의 환경을 최대한 양호하게 유지하는 것이 가능해진다.

본 발명에 관한 물품 보관 설비 실시예에서는, 상기 동시 공급 최대수를 산출하는 동시 공급 산출부가 설치되고, 상기 제어 장치가, 상기 일군의 불활성 기체 공급부의 각각의 제어 상태를, 상기 제1 공급 상태 및 상기 제2 공급 상태에 부가하여, 수납전 공급 상태로 전환 가능하게 구성되며, 상기 수납전 공급 상태는, 상기 수납부에 상기 반송 용기가 수납될 때까지의 사이의 설정 기간만큼, 상기 수납부에 설치된 상기 배출구에 대하여 상기 불활성 기체를 상기 제1 목표 유량보다 작은 수납전 목표 유량으로 공급하기 위해 상기 유량 조절 장치를 작동시키는 공급 상태이며 상기 동시 공급 산출부가, 상기 동시 공급 최대수를, 상기 최대 허용 유량과 상기 제1 목표 유량과 상기 제2 목표 유량과 상기 수납전 목표 유량에 기초하여 산출하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.

상기한 구성에 의하면, 반송 용기를 수납부에 수납할 때, 상기 수납부의 배출구에 부착된 불순물 입자 등을, 반송 용기가 도착하기 전에 상기 수납전 목표 유량의 불활성 기체에 의해 청소할 수 있다. 따라서, 수납부에 수납된 반송 용기의 내부에, 배출구에 부착된 불순물 입자 등이 침입하는 것을 방지할 수 있고, 반송 용기 내의 환경이 악화되는 것을 양호하게 방지할 수 있다.

그리고 수납전 공급 상태를 개시하는 타이밍으로서는, 예를 들면, 반송 장치가 반송 용기를 수취한 시점이나, 반송 장치가 반송 대상의 반송 용기를 수취하기 위한 동작을 개시한 시점 등, 각종 타이밍을 설정할 수 있다.

또한, 상기한 구성에 의하면, 동시 공급 최대수가, 최대 허용 유량과 제1 목표 유량과 제2 목표 유량에 더하여, 수납전 목표 유량도 고려하여 산출되므로 제1 공급 상태의 전에 수납전 공급 상태와 구 유량 조절 장치를 작동시키는 경우에도, 모든 불활성 기체 공급부에 대한 불활성 기체의 목표 유량의 합계가 최대 허용 유량을 초과하는 상태를 회피할 수 있다.

본 발명에 관한 물품 보관 설비 실시예에서는, 상기 동시 공급 최대수를 산출하는 동시 공급 산출부가 설치되고, 상기 동시 공급 산출부는, 상기 동시 공급 최대수를, 상기 일군의 불활성 기체 공급부의 모두에 대해 상기 불활성 기체의 목표 유량의 합계를 상기 최대 허용 유량 이하로 하기 위해 산출하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.

상기한 구성에 의하면, 제1 공급 상태로 제어하기 위한 지령을, 동시 공급 최대수를 초과하는 수량의 불활성 기체 공급부에 대하여 같은 시기에 지령하지 않는 한, 일군의 불활성 기체 공급부의 모두에 대한 불활성 기체의 목표 유량의 합계는 최대 허용 유량을 넘지 않는다. 따라서, 제1 공급 상태로 제어하기 위한 지령을, 동시 공급 최대수를 초과하는 수량의 불활성 기체 공급부에 대하여 같은 시기에 지령하지 않는 조건 하에서는, 각 불활성 기체 공급부에 있어서 공급 가능한 불활성 기체의 유량이 목표 유량을 하회하는 상태를 회피할 수 있다. 이 결과, 예를 들면, 반송 용기의 각각에 대하여 필요로 하는 유량의 불활성 기체를 공급할 수 있고, 반송 용기 내부의 환경이 악화되는 상황을 회피할 수 있다.

본 발명에 관한 물품 보관 설비 실시예에서는, 상기 제어 장치가, 상기 개시 지연 처리의 실행 후에, 상기 대상 총수가 상기 동시 공급 최대수를 하회하는 것으로 판정한 경우에는, 상기 개시 지연 처리의 실행 대상의 상기 불활성 기체 공급부인 지연 처리 대상 공급부 중, 상기 대상 총수와 상기 동시 공급 최대수와의 차이를 넘지 않는 수량의 상기 지연 처리 대상 공급부에 대하여, 상기 제1 공급 상태로 제어하는 처리인 공급 처리를 실행하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.

상기한 구성에 의하면, 대상 총수와 동시 공급 최대수와의 차이를 넘지 않는 수경의 지연 처리 대상 공급부에 대하여, 지연시키고 있었던 제1 공급 상태를 개시할 수 있다. 따라서, 상기 지연 처리 대상 공급부에 대응하는 수납부에 수납되어 있는 반송 용기 내부의 환경의 악화를 적절히 방지하는 것이 가능해진다.

본 발명에 관한 물품 보관 설비 실시예에서는, 상기 제어 장치가, 상기 복수의 수납부를 식별 정보에 기초하여 관리하도록 구성되어 있는 동시에, 상기 반송 용기를 상기 수납부에 수납하는 수납 지령이 지령되었을 때, 상기 식별 정보에 기초하여 설정된 우선 순서에 따라 상기 복수의 수납부로부터 상기 반송 용기를 수납하는 빈 상태의 수납부를 선택하고, 선택한 상기 빈 상태의 수납부에 상기 반송 용기를 수납하도록 상기 반송 장치의 작동을 제어하도록 구성되어 있고, 또한 상기 제어 장치가, 상기 공급 처리의 실행 대상의 상기 지연 처리 대상 공급부를, 상기 수납부의 상기 우선 순서에 따라 선택하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.

상기한 구성에 의하면, 수납부로의 반송 용기의 수납 순서와 공급 처리의 실행 순서를, 식별 정보에 기초하여 설정된 동일한 우선 순서에 따라서 결정할 수 있어 상기 각각의 순서를 결정하는 경우에서의 제어 구성의 간소화를 도모할 수 있다.

본 발명에 관한 물품 보관 설비 실시예에서는, 상기 지연 처리 대상 공급부의 각각에 대하여, 상기 개시 지연 처리를 개시하고 나서의 시간인 대기 시간을 계측하는 대기 시간 계측부가 설치되고, 상기 제어 장치가, 상기 복수의 수납부를 식별 정보에 기초하여 관리하도록 구성되어 있는 동시에, 상기 반송 용기를 상기 수납부에 수납하는 수납 지령이 지령되었을 때, 상기 식별 정보에 기초하여 설정된 우선 순서에 따라 상기 복수의 수납부로부터 상기 반송 용기를 수납하는 빈 상태의 수납부를 선택하고, 선택한 상기 빈 상태의 수납부에 상기 반송 용기를 수납하도록 상기 반송 장치의 작동을 제어하도록 구성되어 있고, 또한 상기 제어 장치가, 상기 공급 처리를, 상기 대기 시간 계측부가 계측한 상기 대기 시간이 긴 상기 지연 처리 대상 공급부로부터 순서대로 실행하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.

상기한 구성에 의하면, 개시 지연 처리를 개시하고 나서의 경과 시간이 긴 지연 처리 대상 공급부에 대하여, 또한 제1 공급 상태의 개시를 지연시키는 것을 회피하여, 반송 용기 내부의 환경이 악화되는 상태로 되는 것을 적절히 억제할 수 있다.

본 발명에 관한 물품 보관 방법 실시예에서는, 상기 공급 상태 제어 공정에서는, 상기 개시 지연 처리의 실행 대상의 상기 불활성 기체 공급부인 지연 처리 대상 공급부를, 상기 제2 공급 상태로 제어하는 것이 바람직하다.

본 발명에 관한 물품 보관 방법 실시예에서는, 상기 공급 상태 제어 공정에서는, 상기 대상 총수가 상기 동시 공급 최대수를 넘는 것으로 판정한 경우에는, 같은 시기에 상기 제1 공급 상태로 제어하는 것이 결정된 상기 불활성 기체 공급부 중, 상기 동시 공급 최대수와 같은 수의 상기 불활성 기체 공급부를 상기 제1 공급 상태로 제어하고, 나머지의 상기 불활성 기체 공급부에 대하여 상기 개시 지연 처리를 실행하는 것이 바람직하다.

본 발명에 관한 물품 보관 방법 실시예에서는, 상기 제어 장치가, 상기 일군의 불활성 기체 공급부의 각각의 제어 상태를, 상기 제1 공급 상태 및 상기 제2 공급 상태에 부가하여, 수납전 공급 상태로 전환 가능하게 구성되며, 상기 수납전 공급 상태는, 상기 수납부에 상기 반송 용기가 수납될 때까지의 사이의 설정 기간만큼, 상기 수납부에 설치된 상기 배출구에 대하여 상기 불활성 기체를 상기 제1 목표 유량보다 작은 수납전 목표 유량으로 공급하기 위해 상기 유량 조절 장치를 작동시키는 공급 상태이며, 상기 제어 장치에 의해 실행되는 공정으로서, 상기 동시 공급 최대수를 산출하는 동시 공급 산출 공정을 더 포함하고, 상기 동시 공급 산출 공정에서는, 상기 동시 공급 최대수를, 상기 최대 허용 유량과 상기 제1 목표 유량과 상기 제2 목표 유량과 상기 수납전 목표 유량에 기초하여 산출하는 것이 바람직하다.

본 발명에 관한 물품 보관 방법 실시예에서는, 상기 제어 장치에 의해 실행되는 공정으로서, 상기 동시 공급 최대수를 산출하는 동시 공급 산출 공정을 더 포함하고, 상기 동시 공급 산출 공정에서는, 상기 동시 공급 최대수를, 상기 일군의 불활성 기체 공급부의 모두에 대해 상기 불활성 기체의 목표 유량의 합계를 상기 최대 허용 유량 이하로 되도록 산출하는 것이 바람직하다.

본 발명에 관한 물품 보관 방법 실시예에서는, 상기 공급 상태 제어 공정에서는, 상기 개시 지연 처리의 실행 후에, 상기 대상 총수가 상기 동시 공급 최대수를 하회하는 것으로 판정한 경우에는, 상기 개시 지연 처리의 실행 대상의 상기 불활성 기체 공급부인 지연 처리 대상 공급부 중, 상기 대상 총수와 상기 동시 공급 최대수와의 차이를 넘지 않는 수량의 상기 지연 처리 대상 공급부에 대하여, 상기 제1 공급 상태로 제어하는 처리인 공급 처리를 실행하는 것이 바람직하다.

본 발명에 관한 물품 보관 방법 실시예에서는, 상기 제어 장치가, 상기 복수의 수납부를 식별 정보에 기초하여 관리하도록 구성되어 있는 동시에, 상기 반송 용기를 상기 수납부에 수납하는 수납 지령이 지령되었을 때, 상기 식별 정보에 기초하여 설정된 우선 순서에 따라 상기 복수의 수납부로부터 상기 반송 용기를 수납하는 빈 상태의 수납부를 선택하고, 선택한 상기 빈 상태의 수납부에 상기 반송 용기를 수납하도록 상기 반송 장치의 작동을 제어하도록 구성되어 있고, 상기 공급 상태 제어 공정에서는, 상기 공급 처리의 실행 대상의 상기 지연 처리 대상 공급부를, 상기 수납부의 상기 우선 순서에 따라 선택하는 것이 바람직하다.

본 발명에 관한 물품 보관 방법 실시예에서는, 상기 물품 보관 설비에는, 상기 지연 처리 대상 공급부의 각각에 대하여, 상기 개시 지연 처리를 개시하고 나서의 시간인 대기 시간을 계측하는 대기 시간 계측부가 설치되고, 상기 제어 장치가, 상기 복수의 수납부를 식별 정보에 기초하여 관리하도록 구성되어 있는 동시에, 상기 반송 용기를 상기 수납부에 수납하는 수납 지령이 지령되었을 때, 상기 식별 정보에 기초하여 설정된 우선 순서에 따라 상기 복수의 수납부로부터 상기 반송 용기를 수납하는 빈 상태의 수납부를 선택하고, 선택한 상기 공 상태의 수납부에 상기 반송 용기를 수납하도록 상기 반송 장치의 작동을 제어하도록 구성되어 있고, 상기 공급 상태 제어 공정에서는, 상기 공급 처리를, 상기 대기 시간 계측부가 계측한 상기 대기 시간이 긴 상기 지연 처리 대상 공급부로부터 순서대로 실행하는 것이 바람직하다.

도 1은 물품 보관 설비의 종단 측면도이다.
도 2는 동 설비의 일부를 나타낸 종단 정면도이며, 도 3은 수납부의 사시도이다.
도 4는 수납부와 반송 용기와의 관계를 나타낸 개략적인 구성도이다.
도 5는 복수의 수납부로의 불활성 기체의 공급 형태를 나타낸 도면이다.
도 6은 제어 장치의 접속 구성도이다.
도 7은 불활성 기체의 공급량의 제어 형태를 나타낸 설명도이다.
도 8은 동시 개시 대응 처리의 실행을 판별하는 처리에 대한 플로차트이다.
도 9는 동시 개시 대응 처리를 나타낸 플로차트이다.
도 10은 개시 지연 처리의 실행 결과를 나타낸 타임 차트이다.

본 발명을 퍼지 기능을 가지는 물품 보관 설비에 적용한 경우의 실시예를 도면을 참조하여 설명한다.

(전체 구성)

물품 보관 설비는, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 기판을 밀폐 상태로 수용하는 반송 용기(50)(이하, 용기(50)라고 함)를 보관하는 보관 선반(10), 반송 장치로서의 스태커 크레인(stacker crane)(20), 및 용기(50)의 입출고부로서의 입출고 컨베이어 CV를 구비하고 있다.

보관 선반(10) 및 스태커 크레인(20)이, 벽체 K에 의해 외주부가 덮인 설치 공간 내에 설치되고, 입출고 컨베이어 CV가, 벽체 K를 관통하는 상태로 설치되어 있다.

보관 선반(10)은, 용기(50)를 지지하는 지지부로서의 수납부(10S)를, 상하 방향 및 좌우 방향으로 배열되는 상태로 복수 구비하여, 복수의 수납부(10S)의 각각에, 용기(50)를 수납하도록 구성되어 있고, 그 자세한 것은 후술한다.

그리고 본 실시예에서는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 물품 보관 설비가 설치된 청정실의 천장부에 부설의 가이드 레일 G에 따라 주행하는 호이스트(hoist) 식의 반송차 D가 장비되어, 이 호이스트 식의 반송차 D에 의해, 입출고 컨베이어 CV에 대하여 용기(50)가 반입 및 반출되도록 구성되어 있다.

(용기(50)의 구성)

용기(50)는, SEMI(SemiconductorEquipmentandMaterialsInstitute) 규격에 따른 합성 수지제의 기밀 용기이며, 기판으로서의 반도체 웨이퍼 W(도 4 참조)를 수납하기 위해 사용되고, FOUP(Front 0pening Unified Pod)로 호칭되어 있다. 그리고 상세한 설명은 생략하지만, 용기(50)의 전면에는, 착탈 가능한 덮개체에 의해 개폐되는 기판 출입용의 개구가 형성되고, 용기(50)의 상면에는, 호이스트 식의 반송차 D에 의해 파지되는 탑 플랜지(52)가 형성되어 있다. 용기(50)의 바닥면에는, 위치결정핀(10b)(도 3 참조)이 걸어맞추어지는 3개의 걸어맞춤홈(도시하지 않음)이 형성되어 있다.

즉, 용기(50)는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 내부에 상하 방향으로 복수의 반도체 웨이퍼 W를 탑재 가능한 기판 지지체(53)를 구비한 케이싱(51)과 도시하지 않은 덮개체를 구비하고 있다. 용기(50)는, 케이싱(51)에 덮개체를 장착한 상태에 있어서는, 내부 공간이 기밀형태로 밀폐되도록 구성되며, 그리고 수납부(10S)에 수납된 상태에서는, 위치결정핀(10b)에 따라 위치 결정되도록 구성되어 있다.

또한, 도 4에 나타낸 바와 같이, 용기(50)의 바닥부에는, 후술하는 바와 같이, 불활성 기체로서의 질소 가스를 주입하기 위해, 급기구(50i), 및 배기구(50o)가 설치되어 있다. 도시는 생략하지만, 급기구(50i)에는, 주입측 개폐 밸브가 설치되고, 배기구(50o)에는, 배출측 개폐 밸브가 설치되어 있다.

주입측 개폐 밸브는, 스프링 등의 가세 부재에 의해 폐쇄 방향으로 가세되어 있고, 급기구(50i)에 공급되는 질소 가스의 배출 압력이, 대기압보다 설정값 높은 설정 밸브 개방 압력 이상이 되면, 그 압력에 의해 열림 조작되도록 구성되어 있다.

또한, 배출측 개폐 밸브는, 스프링 등의 가세 부재에 의해 폐쇄 방향으로 가세되어 있고, 용기(50) 내부의 압력이, 대기압보다 설정값 높은 설정 관 밸브 압력 이상이 되면, 그 장력에 의해 열림 조작되도록 구성되어 있다.

(스태커 크레인(20)의 구성)

스태커 크레인(20)은, 보관 선반(10)의 전면측의 바닥부에 설치된 주행 레일 E에 따라 주행 이동 가능한 주행 대차(carriage)(21)와 그 주행 대차(21)에 세워서 설치된 마스트(22)와, 마스트(22)에 안내되는 상태로 승강 이동 가능한 승강대(24)를 구비하고 있다.

그리고 도시하지 않지만, 마스트(22)의 상단에 설치된 상부 틀(23)이, 벽체 K에 의해 외주부가 덮인 설치 공간의 천장측에 설치된 상부 가이드 레일에 걸어맞추어져 이동하도록 구성되어 있다.

승강대(24)에는, 수납부(10S)에 대하여 용기(50)를 이송탑재하는 이송탑재 장치(25)가 장비되어 있다.

이송탑재 장치(25)는, 용기(50)를 탑재 지지하는 판형의 탑재 지지체(25A)를, 수납부(10S)의 내부로 돌출하는 돌출 위치와 승강대(24) 측에 퇴피한 퇴피 위치에 출퇴 가능하게 구비하고 있다. 이송탑재 장치(25)를 구비한 스태커 크레인(20)은, 탑재 지지체(25A)의 출퇴 작동 및 승강대(24)의 승강 작동에 의해, 탑재 지지체(25A)에 탑재한 용기(50)를 수납부(10S)에 내리는 끌어내림 처리, 및 수납부(10S)에 수납되어 있는 용기(50)를 인출하는 들어올림 처리를 행하도록 구성되어 있다.

즉, 용기(50)는, 반송차 D에 의해 입출고 컨베이어 CV 상에 탑재되고, 상기 입출고 컨베이어 CV에 의해 벽체 K의 외부로부터 내부에 반송된 후, 스태커 크레인(20)에 의해 복수의 수납부(10S) 중 어느 하나에 반송된다.

즉, 반송 장치로서의 스태커 크레인(20)이, 복수의 수납부(10S)에 대하여 용기(50)를 반송하도록 구성되어 있다.

스태커 크레인(20)에는, 도시하지 않지만, 주행 경로 상의 주행 위치를 검출하는 주행 위치 검출 장치, 및 승강대(24)의 승강 위치를 검출하는 승강 위치 검출 장치가 장비되어 있다. 스태커 크레인(20)의 작동을 제어하는 제어 장치 H로서의 크레인 컨트롤러 H3이, 주행 위치 검출 장치 및 승강 위치 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 스태커 크레인(20)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.

즉, 크레인 컨트롤러 H3이, 입출고 컨베이어 CV에 반입된 용기(50)를 수납부(10S)에 수납하는 입고 작업, 및 수납부(10S)에 수납되어 있는 용기(50)를 입출고 컨베이어 CV에 인출하는 출고 작업을 행하도록, 주행 대차(21)의 주행 작동 및 승강대(24)의 승강 작동, 및 이송탑재 장치(25)에서의 탑재 지지체(25A)의 출퇴 작동을 제어하도록 구성되어 있다.

(수납부(10S)의 구성)

도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 복수의 수납부(10S)의 각각은, 용기(50)를 탑재 지지하는 판형의 탑재 지지부(10a)를 구비하고 있다.

이 탑재 지지부(10a)는, 이송탑재 장치(25)의 탑재 지지체(25A)가 상하로 통과하는 공간을 형성하기 위해, 평면에서 볼 때 형상이 U자형으로 되도록 형성되고, 그 상면에는, 전술한 위치결정핀(10b)이 위쪽으로 돌출하는 상태로 장비되어 있다.

또한, 탑재 지지부(10a)에는, 용기(50)가 탑재되어 있는지의 여부(즉, 용기(50)가 수납부(10S)에 수납되어 있는지의 여부)를 검출하는 2개의 재고 센서(10z)가 설치되고, 이들 검출 정보는, 후술하는 유량 조절 장치로서의 매스 플로 컨트롤러(40)의 운전을 관리하는, 제어 장치 H로서의 퍼지 컨트롤러 Hl(도 6 참조)에 입력되도록 구성되어 있다.

탑재 지지부(10a)에는, 불활성 기체로서의 질소 가스를 용기(50)의 내부에 공급하는 배출구로서의 배출 노즐(10i)과, 용기(50)의 내부로부터 배출되는 기체를 통류시키는 배출용 통기체(100)가 설치되어 있다. 그리고 배출 노즐(10i)에는, 매스 플로 컨트롤러(40)로부터의 질소 가스를 유동시키는 공급 배관 Li가 접속되고, 배출용 통기체(10o)에는, 단부가 개구된 배출관 Lo가 접속되어 있다.

또한, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 평면에서 볼 때 각각의 수납부(10S)의 안쪽으로, 또한 선반 좌우 방향에 있어서 용기(50)의 단부 근방으로 되는 위치에, 질소 가스의 공급을 제어하는 매스 플로 컨트롤러(40)가 장비되어 있다. 평면에서 볼 때에서의 각각의 수납부(10S)의 안쪽은, 용기(50)가 출입되는 개구(출입구)에 대향하는 단부측이다.

수납부(10S)는, 상하 방향으로 배열된 복수의 층으로 나누어지도록 보관 선반(10)에 배치되어 있고, 매스 플로 컨트롤러(40)는, 타층 중 어느 하나의 수납부(10S)에 설치된 매스 플로 컨트롤러(40)와 평면에서 볼 때 중복되는 위치에 설치되어 있다. 매스 플로 컨트롤러(40)의 설치되는 개소는, 평면에서 볼 때 탑재 지지부(10a) 및 그것을 지지하는 기둥재 등의 존재하지 않는 개소에서 있고, 또한 용기(50)의 수납 시에 있어서도, 용기(50)의 존재하지 않는 개소이다. 따라서, 매스 플로 컨트롤러(40)의 근방에는, 보관 선반(10)의 하단으로부터 상단에 걸쳐 연통되고, 상하 방향으로 공기가 통류 가능한 공간이 형성되어 있다.

이로써, 매스 플로 컨트롤러(40)가 발생하는 열에 의해 생기는 기류는, 보관 선반(10)의 하단으로부터 상단에 이를 때까지 장애물에 저해되지 않고 유동하고, 매스 플로 컨트롤러(40)로부터 방산되고 열이 체류하는 것을 억제하여, 매스 플로 컨트롤러(40)의 열에 의한 오작동 등의 장해를 억제할 수 있다.

그리고 상기한 기류가 통류 가능한 공간은, 예를 들면, 보관 선반(10)이 불활성 기체 또는 클린 에어의 다운플로에 의해 청정하게 유지되는 경우에, 그 다운플로를 저항이 적은 상태로 통류시키는 것을 가능하게 한다. 이 경우에도, 매스 플로 컨트롤러(40)가 다운플로에 의해 적절히 냉각된다.

용기(50)가 탑재 지지부(10a)에 탑재 지지되면, 배출 노즐(10i)이 용기(50)의 급기구(50i)에 취합 상태로 접속되고, 또한 배출용 통기체(10o)가 용기(50)의 배기구(50o)에 취합 상태로 접속되도록 구성되어 있다.

그리고 용기(50)가 탑재 지지부(10a)에 탑재 지지된 상태에서, 배출 노즐(10i)로부터 대기압보다 설정값 이상 높은 압력의 질소 가스를 배출시킴으로써, 용기(50)의 배기구(50o)로부터 용기 내의 기체를 외부에 배출시키는 상태로, 용기(50)의 급기구(50i)로부터 질소 가스를 용기(50)의 내부에 주입 가능하도록 구성되어 있다.

본 실시예에서는, 주로 매스 플로 컨트롤러(40), 공급 배관 Li, 및 배출 노즐(10i)로부터 불활성 기체 공급부 F가 구성된다.

즉, 불활성 기체 공급부 F는, 불활성 기체를 배출하는 배출 노즐(10i)과, 그 배출 노즐(10i)로부터 배출하는 불활성 기체의 유량을 조절 가능한 매스 플로 컨트롤러(40)를 구비하고, 수납부(10S)에 수납된 용기(50)의 내부에 불활성 기체를 공급하도록 구성되어 있다. 그리고 불활성 기체 공급부 F는, 복수의 수납부(10S)의 각각에 대하여 설치되어 있다.

그리고 도 3에 나타낸 바와 같이, 공급 배관 Li에는, 수동 조작식의 개폐 밸브 Vi가 장비되어 있고, 매스 플로 컨트롤러(40)가 고장나는 등의 긴급 시에는, 질소 가스의 공급을 정지하는 상태로 전환할 수 있도록 구성되어 있다.

(질소 가스의 공급 구성)

도 5에 나타낸 바와 같이, 보관 선반(10)에서의 불활성 기체 공급부 F의 각각에 질소 가스를 공급하기 위한 질소 가스의 공급원으로서, 원료 가스 공급 배관 Lm이 구비되어 있다. 그 원료 가스 공급 배관 Lm으로부터 2분기하는 상태로, 제1 분기 공급 배관 Lb1 및 제2 분기 공급 배관 Lb2가 구비되어 있다. 원료 가스 공급 배관 Lm에는 원료 가스 개폐 밸브 V1이 설치되고, 보관 선반(10) 단위로 질소 가스의 공급 및 공급 정지를 전환할 수 있다.

제1 분기 공급 배관 Lb1 및 제2 분기 공급 배관 Lb2의 각각은, 또한 12개의 공급 배관 Ls에 분기되어 있고, 이들 공급 배관 Ls의 각각이, 매스 플로 컨트롤러(40)의 유입측 포트(40i)에 접속된다. 이하, 제1 분기 공급 배관 Lb1로부터 질소 가스가 공급되는 일군의 불활성 기체 공급부 F를 제1 채널(CHl)로 호칭하고, 제2분기 공급 배관 Lb2로부터 질소 가스가 공급되는 일군의 불활성 기체 공급부 F를 제2 채널(CH2)이라고 한다.

제1 분기 공급 배관 Lb1에는 제1 전자 개폐 밸브 V21이 설치되고, 제2 분기 공급 배관 Lb(2)에는 제2 전자 개폐 밸브 V22가 설치되어 있다. 그리고 이들 제1 전자 개폐 밸브 V21 및 제2 전자 개폐 밸브 V22는, 후술하는 IO 확장 모듈 A를 통하여 후술하는 퍼지 컨트롤러 H1에 전기적으로 접속되어 있고, 퍼지 컨트롤러 H1이 제1 전자 개폐 밸브 V21 및 제2 전자 개폐 밸브 V22의 개폐를 제어하도록 구성되어 있다.

또한, 제1 분기 공급 배관 Lb1 및 제2 분기 공급 배관 Lb2의 각각은, 제1 전자 개폐 밸브 V21 및 제2 전자 개폐 밸브 V22의 하류측으로 바이패스 배관 Lbp에 의해 서로 접속되고, 바이패스 배관 Lbp에는 수동으로 개폐 조작 가능한 바이패스 밸브 Vb가 설치되어 있다. 따라서, 바이패스 밸브 Vb를 개방하면 제1 채널 CH1과 제2 채널 CH2는 서로 질소 가스를 공급할 수 있도록 접속된다.

본 실시예에서, 채널 CH1, CH2의 각각이, 복수의 수납부 중 일군의 수납부에 대응하는 일군의 불활성 기체 공급부 F에 상당하여, 제1 분기 공급 배관 Lb1 및 제2 분기 공급 배관 Lb2의 각각이, 일군의 불활성 기체 공급부 F에 질소 가스를 공급하는 공급원에 상당한다.

(매스 플로 컨트롤러(40)의 구성)

도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 매스 플로 컨트롤러(40)는, 유입측 포트(40i)와 배출측 포트(40o)를 구비하고 있다. 배출측 포트(40o)에는, 전술한 공급 배관 Li가 접속되고, 유입측 포트(40i)에는, 질소 가스의 공급원으로서의 제1 분기 공급 배관 Lb1 또는 제2 분기 공급 배관 Lb2로부터의 질소 가스를 안내하는 공급 배관 Ls가 접속되어 있다.

그리고 질소 가스 공급원에는, 질소 가스의 압력을 대기압보다 설정값 이상 높은 설정 압력에 조정하는 거버너(governor)나, 질소 가스의 공급을 단속하는 수동 조작식의 개폐 밸브 등이 장비된다.

매스 플로 컨트롤러(40)에는, 유입측 포트(40i)로부터 배출측 포트(40o)를 향하여 내부 유로를 유동하는 질소 가스의 유량을 변경 조절하는 유량 조절 밸브, 내부 유로를 유동하는 질소 가스의 유량을 계측하는 유량 센서, 및 유량 조절 밸브의 작동을 제어하는 내부 제어부가 장비되어 있다.

그리고 내부 제어부가, 유량 센서의 검출 정보에 기초하여, 용기(50)로의 공급 유량을 전술한 퍼지 컨트롤러 H1로부터 지령되는 목표 유량에 조정하도록 유량 조절 밸브를 제어하도록 구성되어 있다. 즉, 퍼지 컨트롤러 H1이, 매스 플로 컨트롤러(40)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.

(제어 장치 H의 구성)

도 6에 나타낸 바와 같이, 제어 장치 H는, 매스 플로 컨트롤러(40)를 제어하는 퍼지 컨트롤러 H1, 보관 선반(10)에서의 용기(50)의 재고 상태 등을 관리하는 스토커 컨트롤러 H2, 및 스태커 크레인(20)의 작동을 제어하는 크레인 컨트롤러 H3을 구비하고 있다. 퍼지 컨트롤러 Hl, 스토커 컨트롤러 H2, 및 크레인 컨트롤러 H3은, 예를 들면, 축적 프로그램 방식으로 정보를 처리하는 컴퓨터로 구성되며, 서로 LAN 등의 네트워크 C1에 접속되어 있다. 또한, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P 및 IO 확장 모듈 A가, 상기 제어 장치 H와 통신 가능하게 네트워크 C1에 접속되어 있다.

프로그래머블 로직 컨트롤러 P에는, 제어 버스 C2를 경유하여 12대의 매스 플로 컨트롤러(40)가 접속되어 있다. 또한, IO 확장 모듈 A에는, 상기 12대의 매스 플로 컨트롤러(40)가 구비되어 있는 수납부(10S)에 대응하는 재고 센서(10z)가 각각 신호선 C3에 접속되어 있다.

퍼지 컨트롤러 H1은, 프로그래머블 로직 컨트롤러 P를 경유하여, 복수의 수납부(10S)의 각각에 대응하여 설치된 매스 플로 컨트롤러(40)에 대하여 목표 유량을 지령한다.

그리고 퍼지 컨트롤러 H1에는, 각종 정보를 입력하기 위한 조작탁자 HS가 장비되어 있다.

스토커 컨트롤러 H2는, 복수의 수납부(10S)를 식별 번호 등의 식별 정보에 기초하여 관리하도록 구성되어 있다. 스토커 컨트롤러 H2는, 상위 컨트롤러(작업 스케줄을 관리하는 스케줄러 등)로부터의 용기(50)의 수납 요구가 송신되면, 식별 정보에 기초하여 설정된 우선 순서에 따라 복수의 수납부(10S)로부터 용기(50)를 수납하는 빈 상태의 수납부(10S)를 선택한다. 그리고 스토커 컨트롤러 H2는, 선택한 빈 상태의 수납부(10S)에 용기(50)를 수납하도록 수납 지령을 크레인 컨트롤러 H3에 지령한다.

크레인 컨트롤러 H3은, 스토커 컨트롤러 H2로부터의 수납 지령에 의해 지시된 수납부(10S)에 용기(50)를 수납하도록 스태커 크레인(20)의 작동을 제어한다.

본 실시예에서는 우선 순서를 식별 정보로서의 식별 번호 순으로 설정하고 있다.

퍼지 컨트롤러 H1이 지령하는 목표 유량으로서는, 용기(50)가 수납부(10S)에 수납되어 있는 상태에서, 용기(50)의 내부에 질소 가스를 주입하기 위해, 매스 플로 컨트롤러(40)에 대하여 지령되는 보관용의 목표 유량, 용기(50)가 수납부(10S)에 수납되기 직전에, 배출 노즐(10i)을 청정화하기 위해 지령되는 노즐 정화용의 목표 유량, 및 보관 선반(10)의 설치 시 등에 있어서, 배출 노즐(10i)이나 공급 배관 Li 등을 청정화하기 위해 지령되는 클리닝용의 목표 유량이 있다.

즉, 퍼지 컨트롤러 H1이, 도 7에 나타낸 바와 같이, 목표 유량과 공급 시간을 정한 복수의 퍼지 패턴으로서, 노즐 퍼지 패턴 P1, 클리닝 패턴 P2, 및 4개의 보관용 퍼지 패턴 P3~P6을 기억하고 있다.

그리고 보관 선반(10)의 설치 시 등에 있어서, 조작탁자 HS에 의해 클리닝 개시 지령이 지령되면, 퍼지 컨트롤러 H1은, 클리닝 패턴 P2에 따라 매스 플로 컨트롤러(40)에 지령을 내고, 매스 플로 컨트롤러(40)의 작동을 제어한다. 이때, 목표 유량이, 클리닝용의 청소용 유량에 설정되고, 또한 공급 시간이, 클리닝용의 청소용 시간에 설정된다.

또한, 제어 장치 H는, 용기(50)가 입출고 컨베이어 CV에 반입되어 스태커 크레인(20)의 이송탑재 장치(25)가 상기 용기(50)를 수취하면, 노즐 퍼지 패턴 P1에 따라 노즐 정화용의 목표 유량을 지령하도록 구성되어 있다.

본 실시예에서는, 제어 장치 H, 용기(50)가 입출고 컨베이어 CV에 반입된 시점을, 호이스트 식의 반송차 D의 운전을 제어하는 반송차 컨트롤러(도시하지 않음)로부터 수납 지령이 통신되는 것에 의해 판별하도록 구성되어 있다.

즉, 반송차 컨트롤러가, 반송차 D가 용기(50)를 입출고 컨베이어 CV에 반입했을 때, 수납 지령을 제어 장치 H에 지령하도록 구성되어 있다.

또한, 제어 장치 H는, 2개의 재고 센서(10z)가 용기(50)를 검출하고 있을 때에는, 절약 공급 패턴으로서의 4개의 보관용 퍼지 패턴 P3~P6 중, 조작탁자 HS에 의해 미리 선택된 1개의 패턴에 기초하여 보관용의 목표 유량(공급 유량)을 지령하도록 구성되어 있다.

즉, 사용자는, 4개의 보관용 퍼지 패턴 P3~P6의 각각에 대하여, 패턴 특정 파라미터로서, 불활성 기체 공급부 F로부터 불활성 기체를 용기(50)에 공급하는 목표 유량과 불활성 기체 공급부 F로부터 불활성 기체를 용기(50)에 공급하는 공급 시간을 조작탁자 HS에 의해 변경 설정하면서, 4개의 보관용 퍼지 패턴 P3~P6의 각각을 시험적으로 사용하여 바람직한 패턴을 선택한다.

(퍼지 패턴)

다음에, 노즐 퍼지 패턴 P1, 클리닝 패턴 P2, 및 4개의 보관용 퍼지 패턴 P3~P6의 각각에 대하여, 도 7에 기초하여 설명한다.

노즐 퍼지 패턴 P1, 전술한 수납 지령이 지령된 시점으로부터 수납전 공급 시간으로서 설정된 공급 시간 t1의 사이, 노즐 정화용의 목표 유량으로서 설정된 목표 유량(11)에 의해 질소 가스를 공급하는 패턴으로서 정해져 있다.

공급 시간 t1은, 예를 들면, 5초에 설정되고, 목표 유량(11)은, 예를 들면, 30리터/분에 설정된다.

클리닝 패턴 P2는, 조작탁자 HS에 의해 클리닝 개시 지령이 지령되고 나서 설치 초기 공급 시간으로서 설정된 공급 시간 t2의 사이, 클리닝용의 목표 유량으로서 설정된 목표 유량 L2에 의해 질소 가스를 공급하는 패턴으로서 정해져 있다.

공급 시간 t2는, 예를 들면, 1800초에 설정되고, 목표 유량 L2는, 예를 들면, 20리터/분에 설정된다.

4개의 보관용 퍼지 패턴 P3~P6의 각각에 대해서는, 보관용의 목표 유량으로서, 초기 목표 유량값 Lα와, 그 초기 목표 유량값 Lα보다 작은 정상 목표 유량값 Lβ가 설정되어 있다.

초기 목표 유량값 Lα는, 예를 들면, 50리터/분에 설정되고, 정상 목표 유량값 Lβ는 예를 들면, 5리터/분에 설정된다.

그리고 4개의 보관용 퍼지 패턴 P3~P6의 각각은, 용기(50)에 질소 가스를 공급할 때는, 먼저, 목표 유량값을 초기 목표 유량값 Lα에 설정하고, 그 후, 목표 유량값을 정상 목표 유량값 Lβ에 설정 변경하는 점이 공통되지만, 서로 다른 패턴으로 정해져 있다.

이하, 4개의 보관용 퍼지 패턴 P3~P6을, 제1 보관용 퍼지 패턴 P3, 제2 보관용 퍼지 패턴 P4, 제3 보관용 퍼지 패턴 P5, 및 제4 보관용 퍼지 패턴 P6와 기재하여, 각각의 패턴에 대하여 설명한다.

제1 보관용 퍼지 패턴 P3은, 용기(50)를 수납부(10S)에 수납하는 것이 완료한 용기 수납 완료 시점을 시작점으로 하고, 용기 수납 완료 시점으로부터 설정 공급 시간 t3의 사이, 초기 목표 유량값 Lα로서의 공급 유량 L31에 의해 질소 가스를 공급하고, 그 후, 한 쌍의 재고 센서(10z)가 용기(50)의 존재를 검출하고 있는 동안, 정상 목표 유량값 Lβ로서의 공급 유량 L32에 의해 질소 가스를 공급하는 것을 계속하는 패턴으로서 정해져 있다.

그리고 설정 공급 시간 t3은 초기값으로서 예를 들면, 5분에 설정된다. 전술한 바와 같이, 설정 공급 시간 t3은 사용자에 의해 변경 설정된다.

제2 보관용 퍼지 패턴 P4는, 용기 수납 완료 시점으로부터 설정 공급 시간 t41의 사이, 초기 목표 유량값 Lα로서의 공급 유량 L41에 의해 질소 가스를 공급하고, 그 후에는, 한 쌍의 재고 센서(10z)가 용기(50)의 존재를 검출하고 있는 동안, 정상 목표 유량값 Lβ로서의 공급 유량 L42에 의해 질소 가스를 간헐적으로 공급하는 것을 계속하는 패턴으로 정해져 있다.

즉, 제2 보관용 퍼지 패턴 P4는, 목표 유량을, 초기 목표 유량값 Lα로서의 공급 유량 L41로부터 정상 목표 유량값 Lβ로서의 공급 유량 L42로 변경한 후에는, 설정 공급 시간 t43이 경과하면 질소 가스의 공급을 설정 휴지 시간 동안 정지하는 것을 반복하는 패턴으로 정해져 있다.

즉, 목표 유량을, 초기 목표 유량값 Lα로서의 공급 유량 L41로부터 정상 목표 유량값 Lβ로서의 공급 유량 L42로 변경한 후에는, 반복 주기 t42 중, 설정 공급 시간 t43의 사이는, 공급 유량 L42에 의해 질소 가스를 공급하고, 설정 휴지 시간 t42-t43의 사이는, 질소 가스의 공급을 정지하는 것이, 한 쌍의 재고 센서(10z)에 의해 용기(50)를 검출하고 있는 동안, 반복 실행된다.

그리고 설정 공급 시간 t41는 초기값으로서 예를 들면, 5분에 설정되고, 반복 주기 t42는 초기값으로서 예를 들면, 10분에 설정되고, 설정 공급 시간 t43은 초기값으로서 예를 들면, 5분에 설정된다. 전술한 바와 같이, 설정 공급 시간 t41, 반복 주기 t42, 및 설정 공급 시간 t43은 사용자에 의해 변경 설정된다.

제3 보관용 퍼지 패턴 P5는, 용기 수납 완료 시점으로부터 설정 공급 시간 t51의 사이, 초기 목표 유량값 Lα로서의 공급 유량 L51에 의해 질소 가스를 공급하고, 이어서, 설정 공급 시간 t52의 사이, 정상 목표 유량값 Lβ로서의 공급 유량 L52에 의해 질소 가스를 공급하는 것을 기본 패턴으로 하고, 이 기본 패턴을, 한 쌍의 재고 센서(10z)가 용기(50)의 존재를 검출하고 있는 동안, 반복하는 패턴으로 정해져 있다.

그리고 설정 공급 시간 t51은 초기값으로서 예를 들면, 5분에 설정되고, 설정 공급 시간 t52는 초기값으로서 예를 들면, 5분에 설정된다. 전술한 바와 같이, 설정 공급 시간 t51 및 설정 공급 시간 t52는 사용자에 의해 변경 설정된다.

제4 보관용 퍼지 패턴 P6는, 용기 수납 완료 시점으로부터 설정 공급 시간 t61의 사이, 초기 목표 유량값 Lα로서의 공급 유량 L61에 의해 질소 가스를 공급하고, 이어서, 설정 공급 시간 t64-t61의 사이, 정상 목표 유량값 Lβ로서의 공급 유량 L62에 의해 질소 가스를 간헐적으로 공급하는 것을 기본 패턴으로 하고, 이 기본 패턴을, 한 쌍의 재고 센서(10z)가 용기(50)의 존재를 검출하고 있는 동안, 계속하는 패턴으로 정해져 있다.

즉, 제4 보관용 퍼지 패턴 P6에는, 초기 목표 유량값 Lα로서의 공급 유량 L61에 의해 질소 가스를 공급하는 것을 반복하는 주기인 제1 반복 주기 t64, 및 정상 목표 유량값 Lβ로서의 공급 유량 L62에 의해 질소 가스를 간헐적으로 공급하는 것을 반복하는 주기인 제2 반복 주기 t62가 설정되어 있다.

그리고 용기 수납 완료 시점 및 제1 반복 주기 t64의 개시 시점에서는, 설정 공급 시간 t61의 사이, 초기 목표 유량값 Lα로서의 공급 유량 L61에 의해 질소 가스가 공급되고, 초기 목표 유량값 Lβ로서의 공급 유량 L61에서의 질소 가스의 공급이 종료된 후에는, 설정 공급 시간 t63의 사이, 정상 목표 유량값 Lβ로서의 공급 유량 L62에 의해 질소 가스를 공급하는 것과 설정 휴지 시간 t62-t63의 사이, 질소 가스의 공급을 정지하는 것이 교대로 반복 실행된다.

그리고 설정 공급 시간 t61은 초기값으로서 예를 들면, 5분에 설정되고, 제1 반복 주기 t64는 초기값으로서 예를 들면, 30분에 설정되고, 제2 반복 주기 t62는 초기값으로서 예를 들면, 5분에 설정된다.

이 제4 보관용 퍼지 패턴 P6에 있어서는, 제1 반복 주기 t64, 및 제2 반복 주기 t62도 사용자에 의해 변경 설정된다.

본 실시예에서, 제1 목표 유량 LM1이 초기 목표 유량값 Lα에 상당하고, 제2 목표 유량 LM2가 정상 목표 유량값 Lβ에 상당한다. 또한, 목표 유량(11)이 제1 목표 유량 LM1보다 작은 유량인 수납전 목표 유량 LM0에 상당한다.

그리고 제어 장치 H는, 불활성 기체 공급부 F의 각각의 제어 상태를, 제1 공급 상태 R1과, 제2 공급 상태 R2와, 수납전 공급 상태 Rn으로 전환 가능하게 구성되어 있다. 여기서, 제1 공급 상태 R1은, 수납부(10S)에 수납된 용기(50)에 대한 불활성 기체의 공급 유량을 제1 목표 유량 LM1에 조정하도록, 매스 플로 컨트롤러(40)를 작동시키는 공급 상태이다. 제2 공급 상태 R2는, 수납부(10S)에 수납된 용기(50)에 대한 불활성 기체의 공급 유량을 제1 목표 유량 LM1보다 작은 제2 목표 유량 LM2에 조정하도록 매스 플로 컨트롤러(40)를 작동시키는 공급 상태이다. 수납전 공급 상태 Rn은, 용기(50)를 수납부(10S)에 수납하는 수납 지령이 지령되었을 때부터 그 수납부(10S)에 용기(50)가 수납될 때까지의 사이의 공급 시간 t1만큼, 배출 노즐(10i)에 대한 불활성 기체의 공급 유량을 제1 목표 유량 LM1보다 작은 목표 유량(11)에 조정하도록 매스 플로 컨트롤러(40)를 작동시키는 공급 상태이다.

또한, 퍼지 컨트롤러 H1은, 제1 분기 공급 배관 Lb1로부터 제1 채널 CH1에 대하여 공급 가능한 최대 허용 유량, 및 제2 분기 공급 배관 Lb2로부터 제2 채널 CH2에 대하여 공급 가능한 최대 허용 유량을 기억하고 있고, 퍼지 컨트롤러 H1에 구비되는 프로그램 모듈로서의 동시 공급 산출부 H11이, 최대 허용 유량 Lmax와 제1 목표 유량 LM1과 제2 목표 유량 LM2와 목표 유량(11)에 기초하여, 같은 시기에 제1 공급 상태 R1로 제어할 수 있는 불활성 기체 공급부 F의 최대수인 동시 공급 최대수 N을 산출한다.

동시 공급 산출부 H11은, 동시 공급 최대수 N을, 이하의 수식(1)에 기초하여 산출하는

Lmax=(N×LMl)＋{(B-N)×LM2}＋LM0.......(1)

여기서, Lmax는 최대 허용 유량, B는 일군의 불활성 기체 공급부 F에 대응하는 일군의 수납부(10S)의 총수, LM1은 제1 목표 유량, LM2는 제2 목표 유량, LM0는 수납전 목표 유량이다. 상기(1)를 N에 대하여 풀면, 이하의 식(2)과 같이 된다.

N=(Lmax-B×LM2-LM0)/(LMl-LM2).......(2)

즉, 동시 공급 산출부 H11은, 동시 공급 최대수 N을, 일군의 수납부(10S)에 대응하는 일군의 불활성 기체 공급부 F의 모두에 대한 불활성 기체의 목표 유량의 합계를, 최대 허용 유량 Lmax 이하로 하기 위해 산출하도록 구성되어 있다.

(제어 장치 H에 의한 퍼지 패턴의 선택)

본 실시예에서는, 제어 장치 H로서의 퍼지 컨트롤러 H1이, 절약 공급 패턴으로서의 보관용 퍼지 패턴 P3~P6을 포함하는, 복수의 퍼지 패턴(P1~P6)을 기억 가능하도록 구성되어 있다.

조작탁자 HS는, 용기(50)를 수납부(10S)에 수납한 수납 상태에서, 보관용 퍼지 패턴 P3~P6에 관한 정보를 표시하고, 도시하지 않은 입력 장치(마우스, 키보드 등)에 의해, 어느 보관용 퍼지 패턴을 사용할지를 인위적으로 선택할 수 있도록 구성되어 있다. 즉, 보관용 퍼지 패턴 P3~P6 중 어느 것을 사용할지를 인위적으로 선택하는 패턴 선택부로 하여, 조작탁자 HS가 설치되고, 퍼지 컨트롤러 H1이, 복수의 보관용 퍼지 패턴 P3~P6 중 조작탁자 HS에 의해 미리 선택된 절약 공급 패턴에 따라 매스 플로 컨트롤러(40)의 작동을 제어하여, 용기(50) 내에 불활성 기체를 공급하도록 구성되어 있다.

(제어 장치 H에 의한 동시 개시 대응 처리의 실행)

다음에, 제어 장치 H에 의한 동시 개시 대응 처리의 실행에 대하여, 도 8 및 도 9의 흐름도를 참조하여 설명한다.

도 8에 나타낸 바와 같이, 동시 공급 산출부 H11은, 동시 공급 최대수 N을, 상기(2)에 기초하여 산출한다(스텝#11).

이어서, 같은 시기에 제1 공급 상태 R1로 제어하는 것이 결정된 불활성 기체 공급부 F의 총수인 대상 총수 m이, 동시 공급 최대수 N보다 큰지의 여부를 판별한다(스텝#12). 여기서, 본 실시예에서는, 이번 판별을 실행하는 시점에서 이미 제1 공급 상태 R1로 제어되고 있는 동시에 제1 공급 상태 R1의 개시 시점으로부터 설정 공급 시간이 경과하고 있지 않은 불활성 기체 공급부 F의 수와, 전회의 판별의 시점으로부터 이번 판별의 시점까지의 사이에 개시 지연 처리를 실행하고 있는 불활성 기체 공급부 F의 수와, 전회의 판별의 시점으로부터 이번 판별의 시점까지의 사이에 제1 공급 상태 R1로 제어하는 것이 결정된 불활성 기체 공급부 F의 수와의 합이, 대상 총수 m이 된다. 3개째의 수에는, 전회의 판별의 시점으로부터 이번 판별의 시점까지의 사이에, 대응하는 수납부(10S)에 용기(50)가 수납된 불활성 기체 공급부 F의 수와, 전회의 판별의 시점으로부터 이번 판별의 시점까지의 사이에, 퍼지 패턴으로 규정되는 제1 공급 상태 R1의 개시 타이밍이 도래한 불활성 기체 공급부 F의 수가 포함된다. 대상 총수 m이 동시 공급 최대수 N보다 큰 것으로 판별한 경우(스텝#12: Yes)에는, 퍼지 컨트롤러 H1은, 동시 공급 최대수 N을 초과하는 수량의 불활성 기체 공급부 F에 대하여 동시 개시 대응 처리를 실행한다(스텝#13). 이 동시 개시 대응 처리의 상세한 것에 대해서는 후에 설명한다. 또한, 대상 총수 m이 동시 공급 최대수 N보다 작은 것으로 판별한 경우(스텝#12: No)에는, 퍼지 컨트롤러 H1은, 모든 불활성 기체 공급부 F에 대하여 통상의 퍼지 처리를 실행한다(스텝#14). 여기서, 통상의 퍼지 처리와는, 상기 보관용 퍼지 패턴 P3~P6 중 선택된 퍼지 패턴에 따라, 상기 선택된 퍼지 패턴에 대하여 설정된 목표 유량 및 배출 시간을 변경하지 않고 용기(50) 내에 불활성 기체를 공급하는 처리이다. 제어 장치 H는, 스텝#12에서의 판정이 Yes인 동안, 설정 지연 시간 TD가 경과할 때마다 스텝#13의 동시 개시 대응 처리를 반복 실행하도록 구성되어 있다. 즉, 개시 지연 처리는 설정 지연 시간 TD를 단위 시간으로서 실행되고, 설정 지연 시간 TD가 경과할 때마다, 계속해서 개시 지연 처리를 실행할 것인지의 여부가 판별된다.

다음에, 도 9에 기초하여, 동시 개시 대응 처리에 대하여 설명한다.

먼저, 퍼지 컨트롤러 H1은, 대상 총수 m이 동시 공급 최대수 N보다 작은지 아닌지를 판별한다(스텝#21). 여기서 대상 총수 m이 동시 공급 최대수 N보다 크며 있는 것으로 판별한 경우(스텝#21: No)에는, 동시 공급 최대수 N을 초과하는 수량의 불활성 기체 공급부 F에 대해서는 제1 공급 상태 R1로 제어할 수 없기 때문에, 설정 지연 시간 TD만큼 제1 공급 상태 R1의 개시를 지연시키는 처리인 개시 지연 처리를 실행한다(스텝#22). 대상 총수 m이 동시 공급 최대수 N보다 작은 것으로 판별한 경우(스텝#21: Yes)에는, 지연 처리 대상 공급부를 제1 공급 상태 R1로 제어할 수 있으므로, 제1 공급 상태 R1로 제어하는 처리인 공급 개시 처리(공급 처리)를 실행한다. 이때, 예를 들면, 스토커 컨트롤러 H2가 관리하는 식별 정보에 기초하여 설정된 우선 순서에 따라서, 즉 식별 정보로서의 식별 번호 순으로, 공급 개시 처리의 실행 대상의 불활성 기체 공급부 F를 선택하고, 선택한 불활성 기체 공급부 F에 대하여 공급 개시 처리를 실행한다(스텝#23). 스텝#22 또는 스텝#23의 실행이 종료하면, 퍼지 컨트롤러 H1은 동시 개시 대응 처리를 종료한다.

즉, 퍼지 컨트롤러 H1은, 동시 공급 최대수 N을 초과하는 수량의 불활성 기체 공급부 F가, 같은 시기에 제1 공급 상태 R1로 제어되는 것이 결정된 때에는(스텝#12: Yes), 동시 개시 대응 처리를 실행한다(스텝#13). 구체적으로는, 같은 시기에 제1 공급 상태 R1로 제어하는 것이 결정된 불활성 기체 공급부 F 중, 동시 공급 최대수 N과 같은 수의 불활성 기체 공급부 F를 제1 공급 상태 R1로 제어하고, 나머지의 불활성 기체 공급부 F에 대하여 개시 지연 처리를 실행하고(스텝#22), 설정 지연 시간 TD만큼 제1 공급 상태 R1의 개시를 지연시킨다.

그리고 상기 설정 지연 시간 TD는 이하의 식(3)에서 산출된다.

설정 지연 시간 TD = 제1 공급 상태 R1의 계속 시간/(N＋1)........3

본 실시예에서는, 퍼지 컨트롤러 H1은, 개시 지연 처리에 의해 제1 공급 상태 R1의 개시를 지연시키고 있는 동안, 상기 개시 지연 처리의 대상의 불활성 기체 공급부 F인 지연 처리 대상 공급부를 제2 공급 상태 R2로 제어하도록 구성되어 있다.

또한, 퍼지 컨트롤러 H1은, 동시 개시 대응 처리로서, 다음과 같은 처리를 실행하도록 구성되어 있다. 즉, 개시 지연 처리의 실행 후에, 대상 총수 m이 동시 공급 최대수 N을 하회하는 것으로 판정한 경우에는(스텝#21: Yes), 개시 지연 처리를 실행 중의 불활성 기체 공급부 F인 지연 처리 대상 공급부 중, 그것을 제1 공급 상태 R1로 제어해도 동시 공급 최대수 N을 넘지 않는 수량(즉, 대상 총수 M과 동시 공급 최대수 N과의 차이를 넘지 않는 수량)의 지연 처리 대상 공급부에 대하여, 제1 공급 상태 R1로 제어하는 처리인 공급 개시 처리를 실행한다(스텝#23). 그리고 지연 처리 대상 공급부가 존재하는 경우에 스텝#21의 판정을 실행하는 경우에는, 스텝#12의 판정과는 달리, 대상 총수 M에는, 전회의 판별의 시점으로부터 이번 판별의 시점까지의 사이에 개시 지연 처리를 실행하고 있는 불활성 기체 공급부 F의 수와, 전회의 판별의 시점으로부터 이번 판별의 시점까지의 사이에 제1 공급 상태 R1로 제어하는 것이 결정된 불활성 기체 공급부 F의 수를 포함하지 않는다. 즉, 이 경우의 대상 총수 M은, 이번 판별을 실행하는 시점에서 이미 제1 공급 상태 R1로 제어되고 있는 동시에 제1 공급 상태 R1의 개시 시점으로부터 설정 공급 시간이 경과하고 있지 않은 불활성 기체 공급부 F의 수와 같다.

그리고 스토커 컨트롤러 H2는, 복수의 수납부(10S)를 식별 정보에 기초하여 관리하고 있고, 퍼지 컨트롤러 H1은, 공급 개시 처리의 실행 대상의 지연 처리 대상 공급부를, 식별 정보에 기초하여 설정된 우선 순서에 따라 선택한다. 본 실시예에서는, 식별 정보는 식별 번호이며, 퍼지 컨트롤러 H1은, 식별 번호의 작은 지연 처리 대상 공급부로부터 순서대로, 또는 식별 번호의 큰 지연 처리 대상 공급부로부터 순서대로, 공급 처리를 실행한다.

(동시 개시 대응 처리의 실행 결과)

다음에, 동시 개시 대응 처리를 실행한 결과를 도 10의 타임 차트를 참조하여 설명한다.

도 10은 세로축에 수납부(10S)에 부여된 식별 정보로서의 식별 번호를 취하여, 가로축에 경과 시간을 취한 타임 차트이다. 도 10의 예에서는, 복수의 수납부(10S)의 모두에 있어서 용기(50)가 수납되어 있지 않은 상태를 초기 상태로 하고, 용기(50)를 수납하는 수납 지령이 지령되는 데 따라, 식별 번호가 「1」의 수납부(10S)로부터 식별 번호가 「12」의 수납부(10S)까지 식별 번호의 작은 수납부(10S)로부터 순서대로, 용기(50)를 수납한다. 그리고 본 실시예에서, 설치되는 스태커 크레인(20)은 1대이며, 용기(50)를 동시에 수납부(10S)에 수납하는 것은 할 수 없다. 즉, 수납부(10S)에 수납되는 타이밍은 용기(50)마다 상이하다.

도 10의 가로축의 하부에서의 표는, 경과 시간을 설정 지연 시간 TD를 단위 시간으로서 단락지은 경우에 있어서 같은 시기에 제1 공급 상태 R1, 제2 공급 상태 R2, 및 수납전 공급 상태 Rn로 제어되는 불활성 기체 공급부 F의 수량을 나타내고 있다. 제1 공급 상태 R1에 대해서는, 상단에, 개시 지연 처리가 실행되기 전(즉, 개시 지연 처리를 실행하지 않는 경우)의, 제1 공급 상태 R1로 제어되는 불활성 기체 공급부 F의 수를 기재하고 있다. 이 수는, 대상 총수 M과 같고, 지연 처리 대상 공급부가 존재하는 경우에는, 동시 공급 최대수 N과 지연 처리 대상 공급부의 수와의 합계 수와 같다. 또한, 제1 공급 상태 R1에 대해서는, 하단에, 개시 지연 처리가 실행된 후(즉, 개시 지연 처리를 실행하는 경우)의, 제1 공급 상태 R1로 제어되는 불활성 기체 공급부 F의 수를 기재하고 있다. 그리고 도 10에 있어서는, 제3 보관용 퍼지 패턴 P5를 적용한 경우를 나타내고 있다.

식(2)에 있어서, 전 수납부 수 B=12, 최대 허용 유량 Lmax=315[리터/분], 제1 목표 유량 LM1=50)[리터/분], 제2 목표 유량 LM2=5[리터/분], 수납전 목표 유량LM0=30[리터/분]으로 하여 동시 공급 최대수 N을 산출하면, N=5로 된다. 또한, 설정 지연 시간 TD를 상기 식(3)에 기초하여 산출하면, 5[분]/(5＋1)=50[초]가 된다.

따라서, 제1 공급 상태 R1로 제어하는 것이 결정된 불활성 기체 공급부 F의 수가 「5」보다 크게 되었을 경우, 「5」를 초과하는 수의 불활성 기체 공급부 F를 지연 처리 대상 공급부로 하고, 설정 지연 시간 TD인 50[초]의 사이, 제1 공급 상태 R1의 개시가 지연된다.

그리고 상기한 각 수치는, 본 발명에 있어서 설정될 수 있는 수치 및 그에 기초하여 산출되는 수치의 일례를 나타낸 것이며, 본 발명의 적용 범위는, 상기 각 수치로 한정되는 것은 아니다.

도 10의 타임 차트를 보면 가로축의 제19번째의 단위 시간에 있어서, 6개의 불활성 기체 공급부 F에 대하여 제1 공급 상태 R1로 제어하는 것이 결정된다. 전술한 바와 같이 본 실시예에서는 동시 공급 최대수 N이 「5」이므로, 어느 하나의 불활성 기체 공급부 F에 대하여, 제1 공급 상태 R1를 개시하는 타이밍을 지연시키는 처리인 개시 지연 처리를 실행한다. 여기서는, 다음에, 제1 공급 상태 R1로 제어하는 것이 예정되어 있는 식별 번호가 「4」의 수납부(10S)에 대응하는 불활성 기체 공급부 F에 대하여, 개시 지연 처리가 실행된다.

다음의 제20 번째의 단위 시간에 있어서는, 6개의 불활성 기체 공급부 F가 제1 공급 상태 R1로 제어하는 것이 결정된다. 여기서, 제20번째의 단위 시간에 있어서, 이미 제1 공급 상태 R1로 제어되고 있는 동시에 제1 공급 상태 R1의 개시 시점으로부터 설정 공급 시간이 경과하고 있지 않은 불활성 기체 공급부 F의 수는, 동시 공급 최대수 N보다 적은 「3」이다. 그러므로 개시 지연 처리를 실행 중의 불활성 기체 공급부 F(여기서는 식별 번호가 「4」의 수납부(10S)에 대응하는 불활성 기체 공급부 F)에 대하여 공급 개시 처리를 실행하고, 상기 불활성 기체 공급부 F를 제1 공급 상태 R1로 제어한다. 또한, 다음에, 제1 공급 상태 R1로 제어하는 것이 예정되어 있는 식별 번호(5)의 수납부(10S)에 대응하는 불활성 기체 공급부 F에 대하여, 개시 지연 처리가 실행된다.

계속되는 제21번째의 단위 시간에 있어서는, 7개의 불활성 기체 공급부 F가 제1 공급 상태 R1로 제어하는 것이 결정된다. 여기서, 제21 번째의 단위 시간에 있어서, 이미 제1 공급 상태 R1로 제어되고 있는 동시에 제1 공급 상태 R1의 개시 시점으로부터 설정 공급 시간이 경과하고 있지 않은 불활성 기체 공급부 F의 수는, 동시 공급 최대수 N과 같은 수의 「5」이다. 그러므로 다음에, 제1 공급 상태 R1로 제어하는 것이 예정되어 있는, 식별 번호가 「5」의 수납부(10S)에 대응하는 불활성 기체 공급부 F, 및 식별 번호가 「6」의 수납부(10S)L개 대응하는 불활성 기체 공급부 F의 각각에 대하여, 개시 지연 처리가 실행된다.

이와 같이, 본 실시예에서는, 단위 시간의 경과마다 개시 지연 처리가 필요한지의 여부를 판별한다고 하는 간단한 구성이며, 동시 공급 최대수 N 이상의 수의 불활성 기체 공급부 F가 같은 시기에 제1 공급 상태 R1로 제어되는 것을 억제하면서, 제1 공급 상태 R1의 개시를 지연시키는 상태를 최대한 조기에 해소할 수 있는 물품 보관 설비를 제공할 수 있다.

그리고 도 10에 있어서는, 개시 지연 처리를 실행하고 있는 상태인 단위 시간을 Re로 나타내고 있다.

〔다른 실시예〕

(1) 상기 실시예에서는, 반송 용기(50)를 FOUP으로 하고, 수용하는 기판을 반도체 웨이퍼 W으로 하고, 불활성 기체로서 반송 용기에 질소 가스를 공급하는 구성을 예시했지만, 본 발명의 실시예는 이와 같은 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 수용하는 기판을 레티클(reticle)로 하고, 반송 용기(50)를 레티클 용기로 하여도 된다. 또한, 반송 용기에 공급하는 불활성 기체로서는, 질소 가스 이외에도 아르곤 가스 등, 수용되는 기판에 대하여 반응성이 낮은 각종 기체를 사용할 수 있다.

(2) 상기 실시예에서는, 유량 검출 장치를 매스 플로 컨트롤러(40)에 내장하는 상태로 설치하는 구성을 예시했지만, 본 발명의 실시예는 이와 같은 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 유량 검출 장치를 공급 배관 Li에 구비하는 구성으로 해도 된다.

(3) 상기 실시예에서는, 용기(50)의 수납 상태에서, 목표 유량을 제1 목표 유량 LM1과 제2 목표 유량 LM2의 2단계로 전환할 수 있도록 매스 플로 컨트롤러(40)를 제어하는 구성을 설명하였다. 본 발명의 실시예는 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 예를 들면 3단계 이상의 목표 유량으로 전환 가능하게 구성해도 된다.

(4) 상기 실시예에서는, 제1 공급 상태 R1과 그 다음의 제1 공급 상태 R1과의 사이에 실현되는 제2 공급 상태 R2에 있어서, 불활성 기체를, 연속적 또는 단속적으로 제1 목표 유량 LM1보다 작은 제2 목표 유량 LM2로 공급하기 위해 유량 조절 장치를 작동시키는 구성을 예시했다. 이와 같은 구성 대신에, 제1 공급 상태 R1과 그 다음의 제1 공급 상태 R1과의 사이에 실현되는 제2 공급 상태 R2에 있어서, 제2 목표 유량 LM2를 계속적으로 0리터/분으로 하도록 구성해도 된다.

(5) 상기 실시예에서는, 같은 시기에 제1 공급 상태 R1로 제어할 수 있는 불활성 기체 공급부 F의 최대수인 동시 공급 최대수 N을 산출하는 동시 공급 산출부 H11를, 퍼지 컨트롤러 H1에 설치하는 구성으로 하였으나, 동시 공급 산출부 H11를 퍼지 컨트롤러 H1이외의 컨트롤러에 설치하거나, 단독의 컴퓨터(마이크로 컨트롤러를 포함함)에 설치하는 구성으로 해도 된다. 또한, 동시 공급 산출부 H11를 설치하지 않는 구성으로 하고, 최대 허용 유량 Lmax, 제1 목표 유량 LM1, 제2 목표 유량 LM2, 수납전 목표 유량 LM0, 및 동시 공급 최대수 N을 고정한 값으로 하는 구성으로 해도 된다.

(6) 상기 실시예에서는, 개시 지연 처리로서 설정 지연 시간 TD만큼 제1 공급 상태 R1의 개시를 지연시키고, 그 후, 개시 지연 처리를 계속 행할 것인지의 여부를 설정 지연 시간 TD의 경과마다 판별하여, 제1 공급 상태 R1로 제어되고 있는 불활성 기체 공급부 F의 개수가 동시 공급 최대수 N보다 작게 된 것으로 판별한 경우에는, 그와 같은 판별을 행한 설정 지연 시간 TD가 경과한 시점을 시작점으로, 지연 처리 대상 공급부에 공급 개시 처리를 실행하는 구성으로 하였다. 이와 같은 구성 대신에, 제1 공급 상태 R1로 제어되고 있는 불활성 기체 공급부 F의 개수가 동시 공급 최대수 N보다 작게 된 것을 판별한 경우(예를 들면, 제1 공급 상태 R1로 불활성 기체를 공급하고 있던 용기(50)가 수납부(10S)로부터 인출된 것을 재고 센서(10z)에 의해 검출한 경우 등)에는, 설정 지연 시간 TD가 만료되어 있지 않아도, 지연 처리 대상 공급부에 공급 개시 처리를 실행하도록 구성해도 된다. 이와 같이 구성함으로써, 제1 공급 상태 R1로 제어되고 있는 불활성 기체 공급부 F의 개수가 동시 공급 최대수 N보다 작게 된 경우에, 다음의 설정 지연 시간 TD의 경과를 기다리는 일 없이 일 빨리 지연 처리 대상 공급부에 공급 개시 처리를 실행할 수 있다.

또한, 상기 실시예에서는, 개시 지연 처리로서 설정 지연 시간 TD만큼 제1 공급 상태 R1의 개시를 지연시키고, 그 후, 설정 지연 시간 TD가 경과할 때마다 제1 공급 상태 R1로 제어되고 있는 불활성 기체 공급부 F의 개수가 동시 공급 최대수 N보다 작게 되었는지 아닌지(즉 공급 개시 처리의 실행이 가능한가 아닌가)를 판별하는 구성으로 하였다. 이와 같은 구성 대신에, 개시 지연 처리의 개시 후, 제1 공급 상태 R1로 제어되고 있는 불활성 기체 공급부 F의 개수가 동시 공급 최대수 N보다 작아지게 되어 그 지연 처리 대상 공급부에 대하여 제1 공급 상태 R1의 개시가 가능해지는 시점까지를, 설정 지연 시간으로 하도록 구성해도 된다. 이 경우, 설정 지정 시간은 입출고 상황에 따라서 변동한다.

(7) 상기 실시예에서는, 퍼지 컨트롤러 H1이, 개시 지연 처리에 의해 제1 공급 상태 R1의 개시를 지연시키고 있는 동안, 상기 불활성 기체 공급부 F에 대하여 제2 공급 상태 R2로 불활성 기체를 공급하기 위해 매스 플로 컨트롤러(40)의 작동을 제어하는 구성을 예시했다. 이와 같은 구성 대신에, 제1 공급 상태 R1의 개시를 지연시키고 있는 동안, 제2 목표 유량 이외의 유량으로 불활성 기체를 공급하기 위해 매스 플로 컨트롤러(40)의 작동을 제어하도록 구성해도 된다. 이 경우의 유량은, 제2 목표 유량보다 작은 쪽이 바람직하지만, 동시 공급 최대수 N에 영향을 주지 않은 범위 내에서, 제2 목표 유량보다 커도 된다. 또한, 제1 공급 상태 R1의 개시를 지연시키고 있는 동안의 불활성 기체의 공급 유량을 가변으로 구성하여 두고, 그때마다 공급 가능한 잉여 유량의 불활성 기체를 공급하도록 구성해도 된다.

(8) 상기 실시예에서는, 불활성 기체 공급부 F의 제어 상태를 수납전 공급 상태 Rn로 전환 가능하게 구성하였지만, 본 발명의 실시예는 이와 같은 구성에 한정되는 것이 아니고, 전환 가능한 상태로서 수납전 공급 상태 RN을 설치하지 않는 구성으로 할 수도 있다.

(9) 상기 실시예에서는, 스토커 컨트롤러 H2가 관리하는 식별 정보를, 수납부(10S)에 고유의 식별 번호로 하는 구성을 예시했지만, 이와 같은 구성 대신에, 예를 들면, 식별 정보를 캐릭터 라인 등으로 이루어지는 수납부 ID로 하고, 그 수납부 ID에 대하여 우선 순서를 정의하도록 구성해도 된다. 그리고 이 경우의 우선 순서는, 입고구로부터 가까운 개소의 수납부(10S)의 우선 순서를 높게 하고, 입고구에서 먼 개소의 수납부(10S)의 우선 순서를 낮게 설정하는 것이나, 또는 그 반대로, 입고구로부터 가까운 개소의 수납부(10S)의 우선 순서를 낮게 하고, 입고구로부터 먼 개소의 수납부(10S)의 우선 순서를 높게 설정할 수 있다. 또한, 사용 빈도의 낮은 수납부(10S)의 우선 순위를 높고, 사용 빈도의 높은 수납부(10S)의 우선 순위를 낮게 설정하면, 수납부(10S)의 사용 빈도의 균등화를 도모하는 것도 가능하다.

(10) 상기 실시예에서는, 공급 개시 처리를, 스토커 컨트롤러 H2가 관리하는 수납부(10S)의 식별 정보에 기초하여 설정된 우선 순서로 따르는 형태로 실행하도록 구성하였다. 이와 같은 구성 대신에, 개시 지연 처리의 대상의 불활성 기체 공급부인 지연 처리 대상 공급부의 각각에 대하여, 개시 지연 처리를 개시하고 나서의 시간인 대기 시간을 계측하는 대기 시간 계측부를, 퍼지 컨트롤러 H1에 설치하고, 퍼지 컨트롤러 H1이, 공급 개시 처리를, 대기 시간 계측부가 계측한 대기 시간이 긴 지연 처리 대상 공급부로부터 순서대로 실행하도록 구성해도 된다. 이와 같이 구성하면, 개시 지연 처리를 개시하고 나서의 대기 시간이 긴 용기(50)에 대하여, 또한 긴 시간 개시 지연 처리가 계속되는 것을 억제하여, 용기(50) 내의 반도체 웨이퍼 W가 오염 또는 손상하는 것을 방지할 수 있다.

(11) 상기 실시예에서는, 용기(50)를 수납하는 수납부로서, 보관 선반(10)의 수납부(10S)를 예시했지만, 수납부로서는, 예를 들면, 호이스트 식의 반송차 D의 가이드 레일 G의 가로측 옆부분에 설치한 수납부이어도 좋다.

(12) 상기 실시예에서는, 제어 장치 H는, 용기(50)가 입출고 컨베이어 CV에 반입되어 스태커 크레인(20)의 이송탑재 장치(25)가 용기(50)를 수취하면, 노즐 퍼지 패턴 P1에 따라 노즐 정화용의 목표 유량을 지령하도록 구성하였다. 본 발명의 실시예는 이와 같은 구성에 한정되는 것이 아니고, 예를 들면, 스태커 크레인(20)이 용기(50)를 수취하기 위한 동작을 개시한 시점이나, 용기(50)를 수취하기 위한 주행 경로에서의 미리 정해진 주행 위치에 스태커 크레인(20)이 도달한 시점에서, 노즐 퍼지 패턴 P1에 따른 노즐 정화용의 목표 유량을 지령하는 구성으로 해도 된다.

(13) 상기 실시예에서는, 동시 공급 산출부 H11에 의해 산출된 동시 공급 최대수 N을 초과하는 수량의 불활성 기체 공급부 F가, 같은 시기에 제1 공급 상태 R1로 제어하는 것이 결정되었을 때는, 같은 시기에 제1 공급 상태 R1로 제어하는 것이 결정된 불활성 기체 공급부 F 중, 동시 공급 최대수 N과 같은 수의 불활성 기체 공급부 F를 제1 공급 상태 R1로 제어하고, 나머지의 불활성 기체 공급부 F에 대하여 개시 지연 처리를 실행하는 구성으로 하였다. 본 발명의 실시예는 이와 같은 구성에 한정되는 것이 아니고, 같은 시기에 제1 공급 상태 R1로 제어하는 것이 결정된 불활성 기체 공급부 F 중, 동시 공급 최대수 N 미만의 불활성 기체 공급부 F를 제1 공급 상태 R1로 제어하고, 나머지의 불활성 기체 공급부 F에 대하여 설정 지연 시간 TD만큼 제1 공급 상태 R1의 개시를 지연시키는 개시 지연 처리를 실행하도록 구성해도 된다.

즉, 예를 들면, 일단 모든 불활성 기체 공급부 F에 대한 불활성 기체의 공급을 정지한 후에 공급을 재개하는 경우, 또는 수동 운전에서 자동 운전으로 전환하는 등으로 하여, 반송 용기(50)가 수납되어 있는 모든 수납부(10S)에 대응하는 불활성 기체 공급부 F에 대하여 같은 시기에 제1 공급 상태 R1로 제어하는 것이 결정되는 경우에 있어서, 반송 용기(50) 내의 기체를 새로운 불활성 기체에 의해 신속하게 치환시키기 위해, 반송 용기(50)가 수납되어 있는 수납부(10S)에 대응하는 모든 불활성 기체 공급부 F를 같은 타이밍에서 제1 공급 상태 R1로 제어하는 경우가 있다. 이와 같은 경우에는, 불활성 기체 공급부 F가 공급하는 불활성 기체의 유량이 급격하게 증가하여 불활성 기체 공급부 F에서의 매스 플로 컨트롤러(40)나 거기에 도달하는 배관(공급 배관 Ls) 등에 충격이 가해지는 등의 사상을 억제하기 위해, 제1 공급 상태 R1로 제어하는 불활성 기체 공급부 F의 수량을 단번에 동시 공급 최대수 N까지 증가시키고 것은 아니고, 먼저 동시 공급 최대수 N 미만의 설정수(개시 시 수량)의 불활성 기체 공급부 F를 제1 공급 상태 R1로 제어하고, 그 후, 미소 지연 시간(예를 들면, 1초 ~ 몇 초 등)을 어긋나게 하고, 1개 또는 설정된 증가 수량의 불활성 기체 공급부 F를 제1 공급 상태 R1로 제어하고, 최종적으로 동시 공급 최대수 N과 같은 수의 불활성 기체 공급부 F를 제1 공급 상태 R1로 제어하는 같은 구성으로 할 수 있다. 상기한 개시 시의 수량은, 예를 들면, 동시 공급 최대수 N의 1/2 이하 또는 2/3 이하의 수단계에 설정되고, 동시 공급 최대수 N의 산출에 따라 개시 시 수량도 산출하여 두는 것이나, 개시 시 수량을 고정적으로 설정하여 두는 것이 고려된다. 그리고 개시 시 수량의 산출법은 상기에 한정되는 것은 아니다.

10S 수납부
10i 배출구
20 반송 장치
40 유량 조절 장치
50 반송 용기
F 불활성 기체 공급부
W 기판
H 제어 장치
Hl1 동시 공급 산출부
N 동시 공급 최대수
Lmax 최대 허용 유량
LM0 수납전 목표 유량
LM1 제1 목표 유량
LM2 제2 목표 유량

Claims (16)

1. 기판을 수용하는 반송 용기를 수납하는 복수의 수납부와,
   상기 복수의 수납부에 대하여 상기 반송 용기를 반송하는 반송 장치와,
   상기 복수의 수납부의 각각에 대하여 설치되고, 불활성 기체를 배출하는 배출구와, 상기 배출구로부터 배출하는 상기 불활성 기체의 유량을 조절할 수 있는 유량 조절 장치를 구비하여, 상기 수납부에 수납된 상기 반송 용기의 내부에 상기 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급부와,
   상기 반송 장치와 상기 유량 조절 장치의 작동을 제어하는 제어 장치를 구비한 물품 보관 설비로서,
   상기 복수의 수납부 중 일군의 수납부에 대응하는 일군의 상기 불활성 기체 공급부에 대하여 상기 불활성 기체를 공급하는 공급원이 설치되고,
   상기 공급원으로부터 상기 일군의 불활성 기체 공급부에 공급 가능한 최대 허용 유량이 설정되고,
   상기 제어 장치가, 상기 일군의 불활성 기체 공급부의 각각의 제어 상태를, 상기 수납부에 수납된 상기 반송 용기에 대하여 상기 불활성 기체를 제1 목표 유량으로 공급하기 위해 상기 유량 조절 장치를 작동시키는 제1 공급 상태와, 상기 수납부에 수납된 상기 반송 용기에 대하여 상기 불활성 기체를 상기 제1 목표 유량 보다 작은 제2 목표 유량으로 공급하기 위해 상기 유량 조절 장치를 작동시키는 제2 공급 상태로 전환 가능하게 구성되며,
   상기 최대 허용 유량과 상기 제1 목표 유량과 상기 제2 목표 유량에 따라 정해지고, 같은 시기에 상기 제1 공급 상태로 제어할 수 있는 상기 불활성 기체 공급부의 최대수가, 동시 공급 최대수이며,
   상기 제어 장치가, 같은 시기에 상기 제1 공급 상태로 제어하는 것이 결정된 상기 불활성 기체 공급부의 총수인 대상 총수가, 상기 동시 공급 최대수를 넘는 것으로 판정한 경우에는, 같은 시기에 상기 제1 공급 상태로 제어하는 것이 결정된 상기 불활성 기체 공급부 중, 상기 동시 공급 최대수 이하의 상기 불활성 기체 공급부를 상기 제1 공급 상태로 제어하고, 나머지의 상기 불활성 기체 공급부에 대해서는, 설정 지연 시간 동안 상기 제1 공급 상태의 개시를 지연시키는 처리인 개시 지연 처리를 실행하도록 구성되어 있는 물품 보관 설비.
2. 제1항에 있어서,
   상기 제어 장치가, 상기 개시 지연 처리의 실행 대상의 상기 불활성 기체 공급부인 지연 처리 대상 공급부를, 상기 제2 공급 상태로 제어하도록 구성되어 있는, 물품 보관 설비.
3. 제1항에 있어서,
   상기 제어 장치가, 상기 대상 총수가 상기 동시 공급 최대수를 넘는 것으로 판정한 경우에는, 같은 시기에 상기 제1 공급 상태로 제어하는 것이 결정된 상기 불활성 기체 공급부 중, 상기 동시 공급 최대수와 같은 수의 상기 불활성 기체 공급부를 상기 제1 공급 상태로 제어하고, 나머지의 상기 불활성 기체 공급부에 대하여 상기 개시 지연 처리를 실행하도록 구성되어 있는, 물품 보관 설비.
4. 제1항에 있어서,
   상기 동시 공급 최대수를 산출하는 동시 공급 산출부가 설치되고,
   상기 제어 장치가, 상기 일군의 불활성 기체 공급부의 각각의 제어 상태를, 상기 제1 공급 상태 및 상기 제2 공급 상태에 부가하여, 수납전 공급 상태로 전환 가능하게 구성되며,
   상기 수납전 공급 상태는, 상기 수납부에 상기 반송 용기가 수납될 때까지의 사이의 설정 기간만큼, 상기 수납부에 설치된 상기 배출구에 대하여 상기 불활성 기체를 상기 제1 목표 유량보다 작은 수납전 목표 유량으로 공급하기 위해 상기 유량 조절 장치를 작동시키는 공급 상태이며,
   상기 동시 공급 산출부가, 상기 동시 공급 최대수를, 상기 최대 허용 유량과 상기 제1 목표 유량과 상기 제2 목표 유량과 상기 수납전 목표 유량에 기초하여 산출하도록 구성되어 있는, 물품 보관 설비.
5. 제1항에 있어서,
   상기 동시 공급 최대수를 산출하는 동시 공급 산출부가 설치되고,
   상기 동시 공급 산출부는, 상기 동시 공급 최대수를, 상기 일군의 불활성 기체 공급부의 모두에 대해 상기 불활성 기체의 목표 유량의 합계를 상기 최대 허용 유량 이하로 하기 위해 산출하도록 구성되어 있는, 물품 보관 설비.
6. 제1항에 있어서,
   상기 제어 장치가, 상기 개시 지연 처리의 실행 후에, 상기 대상 총수가 상기 동시 공급 최대수를 하회하는 것으로 판정한 경우에는, 상기 개시 지연 처리의 실행 대상의 상기 불활성 기체 공급부인 지연 처리 대상 공급부 중, 상기 대상 총수와 상기 동시 공급 최대수와의 차이를 넘지 않는 수량의 상기 지연 처리 대상 공급부에 대하여, 상기 제1 공급 상태로 제어하는 처리인 공급 처리를 실행하도록 구성되어 있는, 물품 보관 설비.
7. 제6항에 있어서,
   상기 제어 장치가, 상기 복수의 수납부를 식별 정보에 기초하여 관리하도록 구성되어 있는 동시에, 상기 반송 용기를 상기 수납부에 수납하는 수납 지령이 지령되었을 때, 상기 식별 정보에 기초하여 설정된 우선 순서에 따라 상기 복수의 수납부로부터 상기 반송 용기를 수납하는 빈 상태의 수납부를 선택하고, 선택한 상기 빈 상태의 수납부에 상기 반송 용기를 수납하도록 상기 반송 장치의 작동을 제어하도록 구성되어 있고,
   또한, 상기 제어 장치가, 상기 공급 처리의 실행 대상의 상기 지연 처리 대상 공급부를, 상기 수납부의 상기 우선 순서에 따라 선택하도록 구성되어 있는, 물품 보관 설비.
8. 제6항에 있어서,
   상기 지연 처리 대상 공급부의 각각에 대하여, 상기 개시 지연 처리를 개시하고 나서의 시간인 대기 시간을 계측하는 대기 시간 계측부가 설치되고,
   상기 제어 장치가, 상기 복수의 수납부를 식별 정보에 기초하여 관리하도록 구성되어 있는 동시에, 상기 반송 용기를 상기 수납부에 수납하는 수납 지령이 지령되었을 때, 상기 식별 정보에 기초하여 설정된 우선 순서에 따라 상기 복수의 수납부로부터 상기 반송 용기를 수납하는 빈 상태의 수납부를 선택하고, 선택한 상기 빈 상태의 수납부에 상기 반송 용기를 수납하도록 상기 반송 장치의 작동을 제어하도록 구성되어 있고,
   또한, 상기 제어 장치가, 상기 공급 처리를, 상기 대기 시간 계측부가 계측한 상기 대기 시간이 긴 상기 지연 처리 대상 공급부로부터 순서대로 실행하도록 구성되어 있는, 물품 보관 설비.
9. 물품 보관 설비를 이용한 물품 보관 방법으로서,
   상기 물품 보관 설비는,
   기판을 수용하는 반송 용기를 수납하는 복수의 수납부와,
   상기 복수의 수납부에 대하여 상기 반송 용기를 반송하는 반송 장치와,
   상기 복수의 수납부의 실들에 대하여 설치되고, 불활성 기체를 배출하는 배출구와, 상기 배출구로부터 배출하는 상기 불활성 기체의 유량을 조절 가능한 유량 조절 장치를 구비하여, 상기 수납부에 수납된 상기 반송 용기의 내부에 상기 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급부와,
   상기 반송 장치와 상기 유량 조절 장치의 작동을 제어하는 제어 장치와,
   상기 복수의 수납부 중 일군의 수납부에 대응하는 일군의 상기 불활성 기체 공급부에 상기 불활성 기체를 공급하는 공급원을 구비하고,
   상기 공급원으로부터 상기 일군의 불활성 기체 공급부에 공급 가능한 최대 허용 유량이 설정되고,
   상기 제어 장치가, 상기 일군의 불활성 기체 공급부의 각각의 제어 상태를, 상기 수납부에 수납된 상기 반송 용기에 대하여 상기 불활성 기체를 제1 목표 유량으로 공급하기 위해 상기 유량 조절 장치를 작동시키는 제1 공급 상태와, 상기 수납부에 수납된 상기 반송 용기에 대하여 상기 불활성 기체를 상기 제1 목표 유량 보다 작은 제2 목표 유량으로 공급하기 위해 상기 유량조절 장치를 작동시키는 제2 공급 상태로 전환 가능하게 구성되며,
   상기 최대 허용 유량과 상기 제1 목표 유량과 상기 제2 목표 유량에 따라 정해지는, 같은 시기에 상기 제1 공급 상태로 제어할 수 있는 상기 불활성 기체 공급부의 최대수가 동시 공급 최대수이며,
   상기 제어 장치에 의해 실행되는 공정으로서,
   같은 시기에 상기 제1 공급 상태로 제어하는 것이 결정된 상기 불활성 기체 공급부의 총수인 대상 총수가, 상기 동시 공급 최대수를 넘는 것으로 판정한 경우에는, 같은 시기에 상기 제1 공급 상태로 제어하는 것이 결정된 상기 불활성 기체 공급부 중, 상기 동시 공급 최대수 이하의 상기 불활성 기체 공급부를 상기 제1 공급 상태로 제어하고, 나머지의 상기 불활성 기체 공급부에 대해서는, 설정 지연 시간 동안 상기 제1 공급 상태의 개시를 지연시키는 처리인 개시 지연 처리를 실행하는 공급 상태 제어 공정을 포함하는 물품 보관 방법.
10. 제9항에 있어서,
    상기 공급 상태 제어 공정에서는, 상기 개시 지연 처리의 실행 대상의 상기 불활성 기체 공급부인 지연 처리 대상 공급부를, 상기 제2 공급 상태로 제어하는, 물품 보관 방법.
11. 제9항에 있어서,
    상기 공급 상태 제어 공정에서는, 상기 대상 총수가 상기 동시 공급 최대수를 넘는 것으로 판정한 경우에는, 같은 시기에 상기 제1 공급 상태로 제어하는 것이 결정된 상기 불활성 기체 공급부 중, 상기 동시 공급 최대수와 같은 수의 상기 불활성 기체 공급부를 상기 제1 공급 상태로 제어하고, 나머지의 상기 불활성 기체 공급부에 대하여 상기 개시 지연 처리를 실행하는, 물품 보관 방법.
12. 제9항에 있어서,
    상기 제어 장치가, 상기 일군의 불활성 기체 공급부의 각각의 제어 상태를, 상기 제1 공급 상태 및 상기 제2 공급 상태에 부가하여, 수납전 공급 상태로 전환 가능하게 구성되며,
    상기 수납전 공급 상태는, 상기 수납부에 상기 반송 용기가 수납될 때까지의 사이의 설정 기간만큼, 상기 수납부에 설치된 상기 배출구에 대하여 상기 불활성 기체를 상기 제1 목표 유량보다 작은 수납전 목표 유량으로 공급하기 위해 상기 유량 조절 장치를 작동시키는 공급 상태이며,
    상기 제어 장치에 의해 실행되는 공정으로서, 상기 동시 공급 최대수를 산출하는 동시 공급 산출 공정을 더 포함하고,
    상기 동시 공급 산출 공정에서는, 상기 동시 공급 최대수를, 상기 최대 허용 유량과 상기 제1 목표 유량과 상기 제2 목표 유량과 상기 수납 목표 유량에 기초하여 산출하는, 물품 보관 방법.
13. 제9항에 있어서,
    상기 제어 장치에 의해 실행되는 공정으로서, 상기 동시 공급 최대수를 산출하는 동시 공급 산출 공정을 더 포함하고,
    상기 동시 공급 산출 공정에서는, 상기 동시 공급 최대수를, 상기 일군의 불활성 기체 공급부의 모두에 대해 상기 불활성 기체의 목표 유량의 합계를 상기 최대 허용 유량 이하로 하기 위해 산출하는, 물품 보관 방법.
14. 제9항에 있어서,
    상기 공급 상태 제어 공정에서는, 상기 개시 지연 처리의 실행 후에, 상기 대상 총수가 상기 동시 공급 최대수를 하회하는 것으로 판정한 경우에는, 상기 개시 지연 처리의 실행 대상의 상기 불활성 기체 공급부인 지연 처리 대상 공급부 중, 상기 대상 총수와 상기 동시 공급 최대수와의 차이를 넘지 않는 수량의 상기 지연 처리 대상 공급부에 대하여, 상기 제1 공급 상태로 제어하는 처리인 공급 처리를 실행하는, 물품 보관 방법.
15. 제14항에 있어서,
    상기 제어 장치가, 상기 복수의 수납부를 식별 정보에 기초하여 관리하도록 구성되어 있는 동시에, 상기 반송 용기를 상기 수납부에 수납하는 수납 지령이 지령되었을 때, 상기 식별 정보에 기초하여 설정된 우선 순서에 따라 상기 복수의 수납부로부터 상기 반송 용기를 수납하는 빈 상태의 수납부를 선택하고, 선택한 상기 빈 상태의 수납부에 상기 반송 용기를 수납하도록 상기 반송 장치의 작동을 제어하도록 구성되어 있고,
    상기 공급 상태 제어 공정에서는, 상기 공급 처리의 실행 대상의 상기 지연 처리 대상 공급부를, 상기 수납부의 상기 우선 순서에 따라 선택하는, 물품 보관 방법.
16. 제14항에 있어서,
    상기 물품 보관 설비에는, 상기 지연 처리 대상 공급부의 각각에 대하여, 상기 개시 지연 처리를 개시하고 나서의 시간인 대기 시간을 계측하는 대기 시간 계측부가 설치되고,
    상기 제어 장치가, 상기 복수의 수납부를 식별 정보에 기초하여 관리하도록 구성되어 있는 동시에, 상기 반송 용기를 상기 수납부에 수납하는 수납 지령이 지령되었을 때, 상기 식별 정보에 기초하여 설정된 우선 순서에 따라 상기 복수의 수납부로부터 상기 반송 용기를 수납하는 빈 상태의 수납부를 선택하고, 선택한 상기 빈 상태의 수납부에 상기 반송 용기를 수납하도록 상기 반송 장치의 작동을 제어하도록 구성되어 있고,
    상기 공급 상태 제어 공정에서는, 상기 공급 처리를, 상기 대기 시간 계측부가 계측한 상기 대기 시간이 긴 상기 지연 처리 대상 공급부로부터 순서대로 실행하는, 물품 보관 방법.
    

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