KR20130072602A - 마스크 적재 및 기판 반송 챔버와, 마스크 적재 및 기판 반송 챔버의 운용방법 - Google Patents

마스크 적재 및 기판 반송 챔버와, 마스크 적재 및 기판 반송 챔버의 운용방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 마스크 적재 및 기판 반송 챔버에 관한 것으로서, 제1공간부와, 제2공간부와, 마스크 적재부와, 이송유닛을 포함한다. 제1공간부는 측면에 기판 또는 마스크가 출입하는 도어를 구비한다. 제2공간부는 제1공간부와 연통하게 형성된다. 마스크 적재부는 다수의 마스크가 적재된다. 이송유닛은 마스크 적재부가 제1공간부 또는 제2공간부에 선택적으로 위치하도록 마스크 적재부를 왕복이송시킨다. 마스크 적재부가 제1공간부에 위치할 때는 도어를 통해 마스크가 출입되고, 마스크 적재부가 제2공간부에 위치할 때는 도어를 통해 기판이 출입된다.

Description

마스크 적재 및 기판 반송 챔버와, 마스크 적재 및 기판 반송 챔버의 운용방법{Mask Stock and Panel Passage Chamber, Method for Operating the same}
본 발명은 마스크 적재 및 기판 반송 챔버와, 마스크 적재 및 기판 반송 챔버의 운용방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 공정 챔버로 또는 공정 챔버로부터 기판을 반송하는 반송 장치와 협동하여 복수의 기판을 로딩/언로딩하는 마스크 적재 및 기판 반송 챔버와, 마스크 적재 및 기판 반송 챔버의 운용방법에 관한 것이다.
유기발광 표시장치는 자발광형 표시장치로서, 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점이 있어서 차세대 표시장치로서 주목받고 있다.
유기발광 표시장치에 구비되는 유기발광 표시소자는 서로 대향된 전극들 사이에 중간층이 형성되고, 이러한 중간층(예컨대 홀 주입층, 홀 수송층, 발광층, 전자 수송층 또는 전자 주입층 등)들은 유기물로 형성된 유기 박막들이다. 이러한 유기 박막들은 일반적으로 증착 공정에 의해 형성된다.
증착 공정은 일반적으로 진공 챔버 내에 기판을 장착한 후, 증착될 유기 물질을 담은 도가니를 가열하여 그 내부의 유기 물질을 증발 또는 승화시킨다. 형성하고자 하는 패턴의 개구부를 가지는 마스크를 기판의 앞에 정렬하고 기판에 유기 물질을 증발 또는 승화시켜서 기판상에 유기 박막 등을 증착하게 된다.
도 1은 통상의 유기발광 표시소자의 유기 박막을 증착하는 공정에 사용되는 공정 유닛의 일례를 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 공정 유닛(10)은 상류의 공정 유닛으로부터 반송된 기판이 대기하거나 하류의 공정 유닛으로 반송할 기판이 대기하는 로드락 챔버(30), 로드락 챔버(30) 내의 기판을 해당 공정 챔버(20)로 이송하는 반송로봇(41), 각종 유기박막을 형성하는 복수의 공정 챔버(20), 공정 챔버(20) 및 로드락 챔버(30)를 연결하고 반송로봇(41)이 위치하는 트랜스퍼 챔버(40)를 구비한다.
종래의 증착 공정에서는 공정 챔버(20) 내부로 마스크와 기판을 반입하고, 반입된 마스크와 기판을 정렬하여 증착 공정을 수행한다. 종래의 공정 유닛(10)에는 공정 챔버(20)로 반입될 오염되지 않은 마스크와, 이미 공정 챔버(20)에서 사용되어 오염된 마스크를 적재하는 마스크 적재 챔버(50)가 별도로 마련되어 있다.
이와 같이, 마스크를 적재하는 마스크 적재 챔버(50)가 공정 유닛(10)에서 별도의 공간을 차지하는 관계로, 공정 유닛(10)은 유기 박막을 형성하는 공정 챔버(10)를 설치할 수 있는 공간을 잃게 되어 공간 활용도가 저하되는 문제점이 있다.
또한, 일반적으로 유기 박막을 증착하는 시스템은 도 1에 도시된 공정 유닛(10) 복수 개가 인라인으로 배치되어 구성되는데, 마스크 적재 챔버(50)로 인한 공간 손실로 추가적인 공정 유닛이 필요하게 되어 시스템 전체 크기가 커지고, 그로 인해 시스템 구매 비용 또한 증가하게 되는 문제가 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 하나의 챔버를 기판을 반송하는 기능과 마스크를 적재하는 기능을 선택적으로 수행할 수 있도록 구성함으로써, 단일 공정 유닛에서는 공간 활용도를 높일 수 있고, 전체 시스템에서는 시스템의 크기를 줄임과 동시에 구매 비용까지 절감할 수 있는 마스크 적재 및 기판 반송 챔버와, 마스크 적재 및 기판 반송 챔버의 운용방법을 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 마스크 적재 및 기판 반송 챔버는, 측면에 기판 또는 마스크가 출입하는 도어를 구비하는 제1공간부; 상기 제1공간부와 연통하게 형성된 제2공간부; 다수의 마스크가 적재되는 마스크 적재부; 및 상기 마스크 적재부가 상기 제1공간부 또는 상기 제2공간부에 선택적으로 위치하도록 상기 마스크 적재부를 왕복이송시키는 이송유닛;를 포함하고, 상기 마스크 적재부가 상기 제1공간부에 위치할 때는 상기 도어를 통해 마스크가 출입되고, 상기 마스크 적재부가 상기 제2공간부에 위치할 때는 상기 도어를 통해 기판이 출입되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 마스크 적재 및 기판 반송 챔버에 있어서, 바람직하게는, 상기 마스크 적재부가 상기 제2공간부에 위치할 때, 상기 제1공간부와 상기 제2공간부를 차단하여 상기 제1공간부와 상기 제2공간부 각각을 독립적으로 밀폐시키는 밀폐부;를 더 포함한다.
본 발명에 따른 마스크 적재 및 기판 반송 챔버에 있어서, 바람직하게는, 상기 밀폐부는, 상기 마스크 적재부와 함께 왕복이송되며, 상기 제1공간부와 상기 제2공간부 사이에 형성된 개구부를 밀폐시키는 밀폐 플레이트; 상기 개구부의 테두리에 설치된 실링부재;를 포함한다.
본 발명에 따른 마스크 적재 및 기판 반송 챔버에 있어서, 바람직하게는, 상기 밀폐부는, 상기 마스크 적재부를 상기 제2공간부로부터 반출할 때, 상기 밀폐 플레이트를 클램핑하는 클램핑부재;를 더 포함한다.
본 발명에 따른 마스크 적재 및 기판 반송 챔버에 있어서, 바람직하게는, 상기 밀폐 플레이트의 상면에 설치되고, 상기 제1공간부에 반입된 기판을 회전시키는 회전 플레이트;를 더 포함한다.
본 발명에 따른 마스크 적재 및 기판 반송 챔버에 있어서, 바람직하게는, 상기 제1공간부를 진공 상태로 형성하기 위하여 상기 제1공간부에 연결되는 제1진공펌프; 상기 제2공간부를 진공 상태로 형성하기 위하여 상기 제2공간부에 연결되는 제2진공펌프;를 더 포함한다.
본 발명에 따른 마스크 적재 및 기판 반송 챔버에 있어서, 바람직하게는, 상기 제1공간부와 상기 제2공간부는 상하 방향으로 배치되고, 상기 이송유닛은 상기 마스크 적재부를 상하 방향으로 왕복이송시킨다.
본 발명에 따른 마스크 적재 및 기판 반송 챔버에 있어서, 바람직하게는, 상기 제1공간부와 상기 제2공간부는 좌우 방향으로 배치되고, 상기 이송유닛은 상기 마스크 적재부를 좌우 방향으로 왕복이송시킨다.
또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 마스크 적재 및 기판 반송 챔버의 운용방법은, 내부가 측면에 기판 또는 마스크가 출입하는 도어를 구비하는 제1공간부와, 상기 제1공간부와 연통하게 형성된 제2공간부로 구분된 마스크 적재 및 기판 반송 챔버를 이용하며, 다수의 마스크가 적재된 마스크 적재부를 상기 제1공간부로 이송시키는 제1이송단계; 상기 마스크 적재부로 또는 상기 마스크 적재부로부터 마스크를 반송하는 마스크 반송단계; 상기 마스크 적재부를 상기 제2공간부로 이송시키는 제2이송단계; 상기 제1공간부로 또는 상기 제1공간부로부터 기판을 반송하는 기판 반송단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 마스크 적재 및 기판 반송 챔버의 운용방법에 있어서, 바람직하게는, 상기 제2공간부에 위치한 상기 마스크 적재부를 외부로 반출하는 적재부 반출단계; 새로운 마스크가 적재된 마스크 적재부를 상기 제2공간부로 반입하는 적재부 반입단계; 상기 제2공간부를 진공 상태로 형성시키는 진공형성단계;를 더 포함한다.
본 발명의 마스크 적재 및 기판 반송 챔버와, 마스크 적재 및 기판 반송 챔버의 운용방법에 따르면, 공간 활용도를 높이고, 전체 시스템의 크기를 줄이며, 동시에 구매 비용까지 절감할 수 있다.
또한, 본 발명의 마스크 적재 및 기판 반송 챔버와, 마스크 적재 및 기판 반송 챔버의 운용방법에 따르면, 제1공간부와 제2공간부를 밀폐시키는 추가적인 공정시간이 필요없게 되어 전체 공정시간을 줄일 수 있다.
또한, 본 발명의 마스크 적재 및 기판 반송 챔버와, 마스크 적재 및 기판 반송 챔버의 운용방법에 따르면, 제1공간부와 제2공간부 사이의 공기의 흐름을 완전히 차단할 수 있다.
도 1은 종래의 공정 유닛의 일례를 도시한 도면이고,
도 2는 본 발명의 마스크 적재 및 기판 반송 챔버가 설치된 공정 유닛의 일례를 도시한 도면이고,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 적재 및 기판 반송 챔버를 도시한 도면이고,
도 4는 도 3의 마스크 적재 및 기판 반송 챔버에서 기판이 반송되는 상태 및 마스크가 반송되는 상태를 도시한 도면이고,
도 5는 도 3의 마스크 적재 및 기판 반송 챔버의 밀폐부와, 클램핑부재를 확대한 도면이고,
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 적재 및 기판 반송 챔버의 운용방법을 설명하는 도면이다.
이하, 본 발명에 따른 마스크 적재 및 기판 반송 챔버와, 마스크 적재 및 기판 반송 챔버의 운용방법의 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
본 발명의 기판과 마스크는 유기발광 표시소자(Organic Light Emitting Device: OLED)의 유기 박막을 증착하는데 이용되는 기판과 마스크를 예로 들어 설명하나, 반도체, 액정표시장치의 증착 공정에서의 기판과 마스크도 가능하다.
도 2는 본 발명의 마스크 적재 및 기판 반송 챔버가 설치된 공정 유닛의 일례를 도시한 도면이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 적재 및 기판 반송 챔버를 도시한 도면이고, 도 4는 도 3의 마스크 적재 및 기판 반송 챔버에서 기판이 반송되는 상태 및 마스크가 반송되는 상태를 도시한 도면이고, 도 5는 도 3의 마스크 적재 및 기판 반송 챔버의 밀폐부와, 클램핑부재를 확대한 도면이다.
도 2 내지 도 5를 참조하면, 본 실시예의 마스크 적재 및 기판 반송 챔버(100)는, 기판을 반송하는 기능과 마스크를 적재하는 기능을 선택적으로 수행할 수 있는 것으로서, 제1공간부(110)와, 제2공간부(120)와, 마스크 적재부(130)와, 이송유닛(140)과, 밀폐부과, 회전 플레이트(160)를 포함한다.
우선 마스크 적재 및 기판 반송 챔버(100)의 내부공간은 제1공간부(110)와 제2공간부(120)로 구분된다.
상기 제1공간부(110)는, 마스크 적재 및 기판 반송 챔버(100)의 내부공간에서 상부에 위치하며, 측면에는 기판(S) 또는 마스크(M)가 출입하는 도어(111)를 구비한다.
상기 제2공간부(120)는, 마스크 적재 및 기판 반송 챔버(100)의 내부공간에서 하부에 위치하며, 제1공간부(110)와의 사이에 형성된 개구부(121)를 통해 제1공간부(110)와 연통하여 형성되어 있다.
제2공간부(120)의 측면에는 후술할 마스크 적재부(130)가 출입하는 도어(미도시)가 구비되어 있는데, 도어를 개방하여 오염된 마스크를 적재하고 있는 마스크 적재부(130)를 제2공간부(120)로부터 반출하고, 오염되지 않은 새로운 마스크를 적재한 마스크 적재부(130)를 제2공간부(120)로 다시 반입한 후 도어를 닫는다.
상기 마스크 적재부(130)에는 다수의 마스크(M)가 적재된다. 다수의 마스크(M)가 마스크 적재부(130) 내에서 상하 방향으로 일정 간격 이격된 채로 적재된다.
상기 이송유닛(140)은, 마스크 적재부(130)를 상하 방향으로 왕복이송시킨다. 이송유닛(140)에 의해 마스크 적재부(130)는 제1공간부(110) 또는 제2공간부(120)에 선택적으로 위치할 수 있다. 도 4에서는 이송유닛(140)이 마스크 적재 및 기판 반송 챔버(100) 외부에 설치된 것으로 도시되었으나, 마스크 적재 및 기판 반송 챔버(100) 내부에 설치될 수 있다.
본 실시예의 이송유닛(140)은 직선왕복운동을 수행할 수 있는 다양한 형태로 구현될 수 있는데, 공압 실린더, 리니어 모터, 회전모터와 볼 스크류를 조합한 구성 등 통상의 기술자에게 잘 알려진 구성을 채용할 수 있으므로, 더 이상의 상세한 설명은 생략한다.
상기 밀폐부는, 마스크 적재부(130)가 제2공간부(120)에 위치할 때, 제1공간부(110)와 제2공간부(120)를 차단하여 제1공간부(110)와 제2공간부(120) 각각을 독립적으로 밀폐시키며, 밀폐 플레이트(151)와, 실링부재(152)와, 클램핑부재(153)를 포함한다.
상기 밀폐 플레이트(151)는, 마스크 적재부(130)와 함께 왕복이송되며, 제1공간부(110)와 제2공간부(120) 사이에 형성된 개구부(121)를 밀폐시킨다.
여기서, 개구부(121)는 마스크 적재 및 기판 반송 챔버(100)의 내부공간을 제1공간부(110)와 제2공간부(120)로 구분하는 지점에 형성되어 있다. 개구부(121)의 외측으로는, 마스크 적재 및 기판 반송 챔버(100)의 측벽으로부터 돌출되고 마스크 적재 및 기판 반송 챔버(100)의 측벽 내부 전체에 띠를 이루며 형성되어 있는 돌출부(122)가 배치된다.
상기 실링부재(152)는, 개구부(121)의 테두리에 설치되며, 고무 등으로 제작된 오링부재 등이 이용된다.
상기 클램핑부재(153)는, 마스크 적재부(130)를 제2공간부(120)로부터 반출할 때, 밀폐 플레이트(151)를 클램핑한다. 클램핑부재(153)는 밀폐 플레이트(151)를 하측으로 눌러줌으로써, 밀폐 플레이트(151)와 실링부재(152) 사이에서 새어 나올 수 있는 공기의 흐름을 완전히 차단한다.
마스크 적재부(130)가 제2공간부(120)로 이송되면서 밀폐 플레이트(151)가 하강하고, 하강한 밀폐 플레이트(151)는 개구부(121)를 막으면서 실링부재(152)와 밀착되면서, 제1공간부(110)와 제2공간부(120) 사이의 공기의 흐름은 완전히 차단되고, 제1공간부(110)와 제2공간부(120) 각각은 독립적으로 밀폐된 공간이 된다. 제2공간부(120)로부터 마스크 적재부(130)를 반출할 때, 기판(S)이 반송되는 제1공간부(110)는 진공 상태를 유지해야 하고, 마스크 적재부(130)가 반출되는 제2공간부(120)는 대기압 상태에 놓이게 된다. 이때, 밀폐부를 이용하여 위와 같이 제1공간부(110)와 제2공간부(120) 사이의 공기의 흐름을 완전히 차단함으로써, 기판(S)을 반송하는 작업과 마스크 적재부(130)를 반출하는 작업을 동시에 수행할 수 있다.
상기 회전 플레이트(160)는, 제1공간부(110)에 반입된 기판(S)을 회전시키며, 밀폐 플레이트(151)의 상면에 설치된다. 마스크 적재부(130)가 제2공간부(120)에 위치한 상태에서, 상류 공정으로부터 제1공간부(110)에 기판(S)이 반입되고, 회전 플레이트(160)에 안착된 기판(S)은 제1공간부(110) 내부에서 180도 회전한다. 그리고, 제1공간부(110)로부터 기판(S)이 반출되어 하류 공정으로 반송된다. 기판(S)이 반입된 후 180도 회전되어 반출됨으로써, 항상 기판(S)이 동일한 방향을 유지하면서 공정 챔버(20)에 투입될 수 있다.
또한, 회전 플레이트(160)에는, 기판(S)을 일정한 간격으로 회전 플레이트(160)로부터 이격시키며 안착된 기판(S)을 지지하는 기판 지지핀(161)이 다수 형성되어 있다.
제1공간부(110)에는 제1공간부(110)를 진공 상태로 형성하기 위한 제1진공펌프(171)가 연결되고, 제2공간부(120)에는 제2공간부(120)를 진공 상태로 형성하기 위한 제2진공펌프(172)가 연결된다.
제2공간부(120)로부터 마스크 적재부(130)를 반출하는 과정에서 제2공간부(120)의 진공 상태는 해제되고 대기압 상태가 된다. 이후, 오염되지 않은 새로운 마스크(M)가 적재된 마스크 적재부(130)를 제2공간부(120)에 반입하고, 다시 제2진공펌프(172)를 이용하여 제2공간부(120)를 진공 상태로 형성한다.
또한, 공정 전체가 중지되었다가 다시 공정을 재개하는 경우, 제1공간부(110)를 진공 상태로 형성해야 한다. 이때, 마스크 적재부(130)를 제2공간부(120)로 이송시키고, 제1진공펌프(171)를 이용하여 제1공간부(110)를 진공 상태로 형성한다.
이하, 도 2 내지 도 6을 참조하면서, 상술한 바와 같이 구성된 마스크 적재 및 기판 반송 챔버를 이용하여 본 발명의 마스크 적재 및 기판 반송 챔버를 운용하는 방법에 대하여 설명하기로 한다. 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 적재 및 기판 반송 챔버의 운용방법을 설명하는 도면이다.
본 발명의 일 실시예에 따르는 마스크 적재 및 기판 반송 챔버의 운용방법은, 제1이송단계와, 마스크 반송단계와, 제2이송단계와, 기판 반송단계를 포함한다.
도 6의 (a)를 참조하면, 제1이송단계에서는 다수의 마스크(M)가 적재된 마스크 적재부(130)를 제1공간부(110)로 이송시킨다. 이후, 도 6의 (b)를 참조하면, 마스크 반송단계에서는 제1공간부(110)의 도어(111)가 개방되고, 마스크 적재부(130)로 사용한 마스크(M)를 반송하거나 또는 마스크 적재부(130)에 적재되어 있는 미사용 마스크(M)를 마스크 적재부(130)로부터 반송한다.
이후, 도 6의 (c)를 참조하면, 제2이송단계에서는 마스크 적재부(130)를 제2공간부(120)로 이송시킨다. 마스크 적재부(130)가 제2공간부(120)에 위치하면, 밀폐 플레이트(151)와 실링부재(152)에 의해 제1공간부(110)와 제2공간부(120) 사이의 공기의 흐름이 차단되고, 제1공간부(110)와 제2공간부(120)는 각각 독립적으로 밀폐된다.
이후, 도 6의 (d)를 참조하면, 기판 반송단계에서는 제1공간부(110)로 기판(S)이 반송되거나 또는 제1공간부(110)로부터 기판(S)을 반송한다.
이와 같이, 본 발명의 마스크 적재 및 기판 반송 챔버의 운용방법에서는 마스크 적재부(130)가 제1공간부(110)에 위치할 때는 도어(111)를 통해 마스크(M)가 출입되고, 마스크 적재부(130)가 제2공간부(120)에 위치할 때는 도어(111)를 통해 기판(S)이 출입된다.
기판 반송단계가 수행되거나 또는 기판 반송단계가 수행되지 않더라도 마스크 적재부(130)가 제2공간부(120)에 위치할 때, 마스크 적재부(130)를 외부로 반출하는 공정을 수행할 수 있다.
즉, 마스크 적재부(130)가 제2공간부(120)에 위치하고, 밀폐부에 의해 제1공간부(110)와 제2공간부(120)가 각각 밀폐될 때, 우선, 제2공간부(120)에 위치한 마스크 적재부(130)를 외부로 반출하고(적재부 반출단계), 이후 새로운 마스크(M)가 적재된 마스크 적재부(130)를 제2공간부(120)로 반입하며(적재부 반입단계), 제진공펌프(172)를 이용하여 제2공간부(120)를 다시 진공 상태로 형성시킨다(진공형성단계).
상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 마스크 적재 및 기판 반송 챔버와, 마스크 적재 및 기판 반송 챔버의 운용방법은, 하나의 챔버를 기판을 반송하는 기능과 마스크를 적재하는 기능을 선택적으로 수행할 수 있도록 구성함으로써, 공간 활용도를 높이고, 전체 시스템의 크기를 줄이며, 동시에 구매 비용까지 절감할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 마스크 적재 및 기판 반송 챔버와, 마스크 적재 및 기판 반송 챔버의 운용방법은, 마스크 적재부가 제2공간부로 이송되면서 동시에 제1공간부와 제2공간부가 각각 밀폐되도록 구성됨으로써, 제1공간부와 제2공간부를 밀폐시키는 추가적인 공정시간이 필요없게 되어 전체 공정시간을 줄일 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 마스크 적재 및 기판 반송 챔버와, 마스크 적재 및 기판 반송 챔버의 운용방법은, 밀폐 플레이트와 실링부재를 밀착시키는 클램핑부재를 구비함으로써, 제1공간부와 제2공간부 사이의 공기의 흐름을 완전히 차단할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 마스크 적재 및 기판 반송 챔버와, 마스크 적재 및 기판 반송 챔버의 운용방법은, 챔버 자체의 크기를 작게 구성할 수 있으므로, 기판을 반송하는 반송로봇이 작아지며, 반송로봇 외에 챔버 내에서 기판을 이송하는 별도의 시스템이 필요 없게 되어, 전체 시스템을 간소화할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
도 3에 도시된 실시예의 마스크 적재 및 기판 반송 챔버에서는 제1공간부와 제2공간부가 상하 방향으로 배치되고, 이송유닛은 마스크 적재부를 상하 방향으로 왕복이송시키는 것으로 설명하였으나, 본 발명의 마스크 적재 및 기판 반송 챔버는 제1공간부와 제2공간부가 좌우 방향으로 배치되어, 이송유닛이 마스크 적재부를 좌우 방향으로 왕복이송시키도록 구성될 수도 있다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예 및 변형례에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
100 : 마스크 적재 및 기판 반송 챔버
110 : 제1공간부
120 : 제2공간부
130 : 마스크 적재부
140 : 이송유닛
151 : 밀폐 플레이트
160 : 회전 플레이트

Claims (10)

  1. 측면에 기판 또는 마스크가 출입하는 도어를 구비하는 제1공간부;
    상기 제1공간부와 연통하게 형성된 제2공간부;
    다수의 마스크가 적재되는 마스크 적재부; 및
    상기 마스크 적재부가 상기 제1공간부 또는 상기 제2공간부에 선택적으로 위치하도록 상기 마스크 적재부를 왕복이송시키는 이송유닛;를 포함하고,
    상기 마스크 적재부가 상기 제1공간부에 위치할 때는 상기 도어를 통해 마스크가 출입되고, 상기 마스크 적재부가 상기 제2공간부에 위치할 때는 상기 도어를 통해 기판이 출입되는 것을 특징으로 하는 마스크 적재 및 기판 반송 챔버.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 마스크 적재부가 상기 제2공간부에 위치할 때, 상기 제1공간부와 상기 제2공간부를 차단하여 상기 제1공간부와 상기 제2공간부 각각을 독립적으로 밀폐시키는 밀폐부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 적재 및 기판 반송 챔버.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 밀폐부는,
    상기 마스크 적재부와 함께 왕복이송되며, 상기 제1공간부와 상기 제2공간부 사이에 형성된 개구부를 밀폐시키는 밀폐 플레이트;
    상기 개구부의 테두리에 설치된 실링부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 적재 및 기판 반송 챔버.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 밀폐부는,
    상기 마스크 적재부를 상기 제2공간부로부터 반출할 때, 상기 밀폐 플레이트를 클램핑하는 클램핑부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 적재 및 기판 반송 챔버.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 밀폐 플레이트의 상면에 설치되고, 상기 제1공간부에 반입된 기판을 회전시키는 회전 플레이트;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 적재 및 기판 반송 챔버.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1공간부를 진공 상태로 형성하기 위하여 상기 제1공간부에 연결되는 제1진공펌프;
    상기 제2공간부를 진공 상태로 형성하기 위하여 상기 제2공간부에 연결되는 제2진공펌프;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 적재 및 기판 반송 챔버.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제1공간부와 상기 제2공간부는 상하 방향으로 배치되고,
    상기 이송유닛은 상기 마스크 적재부를 상하 방향으로 왕복이송시키는 것을 특징으로 하는 마스크 적재 및 기판 반송 챔버.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 제1공간부와 상기 제2공간부는 좌우 방향으로 배치되고,
    상기 이송유닛은 상기 마스크 적재부를 좌우 방향으로 왕복이송시키는 것을 특징으로 하는 마스크 적재 및 기판 반송 챔버.
  9. 내부가 측면에 기판 또는 마스크가 출입하는 도어를 구비하는 제1공간부와, 상기 제1공간부와 연통하게 형성된 제2공간부로 구분된 마스크 적재 및 기판 반송 챔버를 이용하며,
    다수의 마스크가 적재된 마스크 적재부를 상기 제1공간부로 이송시키는 제1이송단계;
    상기 마스크 적재부로 또는 상기 마스크 적재부로부터 마스크를 반송하는 마스크 반송단계;
    상기 마스크 적재부를 상기 제2공간부로 이송시키는 제2이송단계;
    상기 제1공간부로 또는 상기 제1공간부로부터 기판을 반송하는 기판 반송단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 적재 및 기판 반송 챔버의 운용방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제2공간부에 위치한 상기 마스크 적재부를 외부로 반출하는 적재부 반출단계;
    새로운 마스크가 적재된 마스크 적재부를 상기 제2공간부로 반입하는 적재부 반입단계;
    상기 제2공간부를 진공 상태로 형성시키는 진공형성단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 적재 및 기판 반송 챔버의 운용방법.
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