KR20130066674A - 이송 시스템 - Google Patents

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유스케 후자와라
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무라다기카이가부시끼가이샤
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Abstract

횡이송시에도 물품을 탑재대의 소정 위치로 이송한다. 이송 시스템(100)은 천장에 부설된 궤도(1)를 따라 주행하면서 피반송물(3)을 반송하는 반송차(2)와 궤도보다 하방에 설치된 탑재대(4) 사이에서 피반송물을 횡이송 방식으로 이송 가능하다. 이송 시스템은 기억부(101)와 제어부(102)를 구비하고 있다. 기억부는 (i)반송차에 파지되는 물품을 탑재대의 소정 위치에 탑재하는 탑재 동작을 행할 때의 물품의 이송 위치를 나타내는 탑재 위치 정보, 및 (ii)탑재대 상의 물품을 반송차가 파지하는 파지 동작을 행할 때의 물품의 이송 위치를 나타내는 파지 위치 정보를 기억한다. 제어부는 탑재 동작을 행할 경우 탑재 위치 정보의 이송 위치에서 이송이 행하도록 하는 한편, 파지 동작을 행할 경우 파지 위치 정보의 이송 위치에서 이송이 행해지도록 반송차를 제어한다.

Description

이송 시스템{TRANSFER SYSTEM}
본 발명은 예를 들면 반도체소자 제조용의 각종 기판을 수용하는 FOUP(Front Opening Unified Pod) 등의 물품을 차량 등의 반송차와 포트 등의 탑재대 사이에서 이송하는 이송 시스템의 기술분야에 관한 것이다.
이 종류의 시스템으로서 매달림 반송 설비가 제안되어 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조). 이 설비에서는 지지대마다 들어올림용 위치 조정량 및 내림용 위치 조정량이 설정되어 있다. 설비의 워크 핸드는 워크(즉, 물품)를 매달은 상태에서 승강시킬 때에 워크 들어올림 또는 워크 내림 작업에 따라 설정되어 있는 위치 조정량만큼 적하 상태에 있는 워크의 위치 조정을 행한다.
일본 특허 공개 제 2003-192269 호 공보
상술한 특허문헌 1의 시스템에서는 반송용 주행체의 주행 경로 바로 아래에 배치된 포트와의 사이에서 워크를 로드/언로드하는 소위 횡이송을 가능하게 하고 있다. 그러나, 상기 시스템은 반송용 주행체(즉, 주행 경로)에 대하여 좌우 횡방향으로 배치된 포트와의 사이에서 워크를 로드/언로드하는 소위 횡이송에는 대응하고 있지 않다. 이것은 특허문헌 1에 있어서의 위치 조정용 횡이동대를 어떻게 구동시켜도, 주행 경로 바로 아래의 포트에 대향하는 위치 조정용 횡이동대의 좌우 횡방향의 어긋남을 조정하는 것에 지나지 않기 때문이다.
여기서, 본원 발명자에 의한 연구 또는 실험의 성과 또는 경험에 의하면 만약, 특허문헌 1의 시스템에서 횡이송을 행할 경우 위치 조정용 횡이동대[이하, 단지 「횡이동대」라고 부름]가 좌우 횡방향에 있어서의 예를 들면 우방향으로 이동하면 횡이동대와 이 하방으로 연이어지는 승강 유닛 및 워크 핸드가 우방향으로 크게 돌출한 상태가 된다. 그러면, 이 돌출 정도에 따라서는 횡이동대가 승강 유닛 및 워크 핸드의 중량에 의해 휘고, 워크 핸드 및 이것에 파지되는 워크가 주행 경로를 축으로 하는 회전의 방향으로 경사진다. 특히, 워크를 내릴(즉 탑재할) 때에는 워크의 중량에 기인해서 횡이동대의 휨이 현저해져 워크가 크게 경사지기 쉽다. 이러한 워크의 경사는 횡이송시의 워크의 이송 위치에 대해서 어긋남을 발생시키게 된다. 이 때문에, 횡이송을 행할 경우 워크를 소망의 위치로 이송할 수 없고 횡이송을 실패할 수 있다는 취지의 기술적 문제점이 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 감안하여 이루어진 것이며 횡이송시에도 물품을 소망의 위치로 이송할 수 있는 이송 시스템을 제공하는 것을 과제로 한다.
상술한 과제를 해결하기 위해서 본 발명의 일견지에 의한 이송 시스템은 천장에 설치된 궤도를 따라 주행하면서 물품을 반송하는 반송차와, 궤도보다 하방에 설치되어 있어 물품을 소정 위치에 탑재가능한 탑재대를 구비하고 있다. 반송차는 탑재대 상의 물품을 파지하는 파지 동작과 물품을 상기 탑재대에 탑재하는 탑재 동작이 가능한 이송부를 갖고 있다. 이송부는 반송차와 탑재대 사이에서 물품을 횡이송 방식으로 이송 가능하다. 이송 시스템은 기억부와 제어부를 더 구비하고 있다. 기억부는 이하의 (i), (ii)의 정보를 기억한다.
(i) 이송부가 탑재 동작을 행할 때의 물품의 이송 위치를 나타내는 탑재 위치 정보
(ii) 이송부가 파지 동작을 행할 때의 물품의 이송 위치를 나타내는 파지 위치 정보
제어부는 탑재 동작을 행할 경우 기억되어 있는 탑재 위치 정보의 이송 위치에서 이송이 행하도록 하는 한편, 파지 동작을 행할 경우 기억되어 있는 파지 위치 정보의 이송 위치에서 이송이 행하도록 이송부를 제어한다.
본 발명의 일견지에 의한 반송차는 예를 들면 FOUP를 반송하는 OHT(Overhead Hoist Transfer) 등으로서 반도체소자 제조용의 제조 장치 및 스토커의 내외로 출납입시키기 위한 로드 포트 또는 반송 컨베이어 상에 설치된 버퍼 등의 탑재대와의 사이에서 종이송 방식뿐만 아니라 횡이송 방식으로 물품을 이송가능하다. 여기서, 반송차 본체의 연직 방향으로 설치되는 탑재대와의 사이에서 FOUP를 이송하는 「종이송 방식」에 대하여 「횡이송 방식」은 궤도의 방향에 직교하는 횡방향으로 FOUP를 이동 가능하게 하고 반송차 본체의 횡방향으로 설치되는 탑재대와의 사이에서 FOUP를 이송하는 것을 나타낸다. 즉, 횡방향으로 FOUP를 이동시키는 공정을 통해서 이송이 행해지는 것을 나타낸다.
여기서, 상술한 바와 같이 반송차 본체의 횡방향으로 FOUP를 이동시켰을 경우 FOUP와, 상기 FOUP를 파지하는 파지부와, 상기 파지부를 연직 방향이나 횡방향 등으로 이동시키는 이동부의 중량에 의해 반송차 본체의 중심이 어긋난다. 이때, 궤도를 따라 주행하는 주행 롤러가 변형되거나 이동부의 일부가 휘어져 반송차 본체가 궤도의 방향을 축 중심으로 해서 회전하는 회전 방향으로 기운다. 반송차 본체의 기울기는 파지부의 기울기가 되고, 이것에 파지되는 FOUP도 기울어진다. 이러한 기울어진 상태에서 이 상태가 고려되지 않는 이송 위치에서 횡이송을 행하려고 하면 FOUP는 탑재대에 기울어진 상태로 탑재되거나 탑재대로부터 밀려나와서 탑재대에 미리 설정되는 위치(즉, 소정 위치)로부터 어긋나 버린다. FOUP가 그 소정 위치로부터 어긋나면 반도체소자 제조용의 제조 공정, 상기 제조 공정에 포함되는 반송 공정 또는 상기 반송 공정의 일부를 정지해야만 한다. 반대로, 이러한 FOUP의 경사(즉, 중량)에 기인하는 이송 동작(즉, 탑재 동작)시에(즉, 엄밀하게는 FOUP를 내리기 전에) 어긋남을 없애도록 미리 위치 결정을 행하면, 이번은 FOUP의 중량이 없는 파지 동작시에(즉, 엄밀하게는 FOUP를 파지하는 전에) 어긋남이 발생한다.
그래서, 본 발명의 일견지에 의한 이송 장치에서는 횡이송을 행할 때에 탑재 동작 및 파지 동작의 어느 것에 있어서도 FOUP를 확실하게 탑재대의 고정 위치에 탑재하거나 또는 상기 소정 위치에 있는 FOUP를 파지하도록 반송차를 제어한다.
본 발명의 일견지에 의한 이송 장치에 의하면 ROM 또는 메모리 등의 기억부는 예를 들면 반송차에 구비되어 있다. 기억부는 탑재 동작에 대응하는 탑재 위치 정보 및 파지 동작에 대응하는 파지 위치 정보를 기억한다. CPU 등의 제어부는 예를 들면, 기억과 동일하게 반송차에 구비되어 있다. 제어부는 기억부로부터 실행하려고 하는 동작(즉, 탑재 동작 및 파지 동작)에 대응하는 위치 정보(즉, 탑재 위치 정보 또는 파지 위치 정보)를 판독하고, 판독된 위치 정보의 이송 위치에서 그 동작이 행해지도록 반송차를 제어한다.
이와 같이, 탑재 동작을 행할 경우 탑재 위치 정보의 이송 위치에서 탑재 동작을 행하여 파지 동작을 행할 경우 파지 위치 정보의 이송 위치에서 파지 동작을 행한다. 즉, 탑재 동작에서는 이송에 따라 발생할 수 있다, 물품의 어긋남을 해소하기 위해 파지 동작의 경우와 이송 위치를 다르게 한다. 이에 따라, 물품의 중량에 기인한 이동부 등의 휨의 대소에 따르지 않고 물품을 탑재대의 소정 위치인 소망의 위치에 탑재하는 횡이송을 행하는 것이 가능하다.
또한, 상술한 작용 효과(즉, 탑재 동작과 파지 동작으로 이송 위치를 다르게 해서 물품을 상시 소망의 위치에 탑재함)는 횡이송 방식에서의 이송에 한정되지 않고 종이송 방식에서의 이송에 있어서도 유효하다. 이것은 궤도, 반송차에 있어서의 주행 롤러, 파지부를 매다는 한 쌍의 벨트 및 탑재 또는 파지되는 물품의 상태(예를 들면, 궤도의 변형, 주행 롤러의 기울기, 벨트 길이의 차이, FOUP 중심의 치우침) 등에 기인해서 종이송에 있어서도 탑재 동작과 파지 동작에 의해 이송 위치에 어긋남이 생기기 때문이다.
또한, 기억부 및 제어부는 반송차에 구비되는 대신에 상기 이송 시스템을 통괄적으로 제어하는 주 제어부에 구비되어도 좋다. 이 경우, 주 제어부는 예를 들면 반송차의 인증 번호와 반송차 고유의 위치 정보를 대응시켜 기억하는 기억 수단인 데이터베이스와, 상기 데이터베이스로부터 판독된 탑재 동작 또는 파지 동작에 대응하는 위치 정보에 따라 반송차를 제어하는 제어 수단인 반송차 제어부를 구비한다.
또한, 상기 이송 시스템은 복수의 반송차 및 복수의 탑재대를 구비하는 것이 가능하다.
본 발명의 일견지에 의한 이송 시스템의 일형태에서는 탑재 위치 정보 및 파지 위치 정보 각각은 복수의 반송차에 공통되는 이송 위치를 나타내는 공통 데이터와 각 반송차에 고유의 이송 위치를 나타내는 기차(機差) 데이터의 합으로서 나타내어진다.
여기서, 탑재 위치 정보 및 파지 위치 정보에 의한 「공통 데이터」는 복수의 탑재대 각각에 있어서의 복수의 반송차에 공통의 데이터를 나타낸다. 이 공통 데이터는 예를 들면 탑재 위치 정보 및 파지 위치 정보의 경우에서 동일하다. 또한, 「기차 데이터」는 복수의 탑재대 각각에 있어서의 각 반송차에 고유의 데이터를 나타낸다. 이 기차 데이터는 예를 들면 탑재 위치 정보 및 파지 위치 정보의 경우에서 다르다. 이 형태에 의하면, 탑재 위치 정보 및 파지 위치 정보 각각을 공통 데이터 및 기차 데이터의 2개의 데이터로 구성함으로써 예를 들면, 공통 데이터를 주로 해서 관리하여 이것을 정기적으로 갱신하도록 하면, 기억 수단으로 상시 정확도가 높은 이송 위치에 의한 데이터를 보유하는 것이 가능하다. 또한, 특히 복수의 반송차에 공통되는 공통 데이터의 취득 시간을 지극히 짧게 하는 것이 가능해진다. 상기 이송 시스템에는 다수의 반송차 및 다수의 이송 위치가 존재하는 것을 고려하면, 이에 따라 데이터 취득 시간을 짧게 하는 것은 이송 시간의 단축으로연결되어 실천상 대단히 유익하다.
이 형태에서는 탑재 위치 정보의 기차 데이터와 파지 위치 정보의 기차 데이터의 차는 물품의 이송 위치에서의 기울기 정도 및 물품의 높이에 의거하여 물품의어긋남량에 상당해도 좋다.
여기서, 물품에 의한 「기울기 정도」는 탑재대에 대한 이송 위치에 있는 물품의 기울기 각도를 도시한다. 또한, 물품에 의한 「어긋남량」에 대해서 종이송에서의 탑재 동작 및 파지 동작 및 횡이송에서의 파지 동작을 행할 때에 이송 위치에서 수평 상태에 있는 물품의 위치를 영점으로 한다. 이 경우, 「어긋남량」은 영점으로부터 횡이송에서의 탑재 동작을 행할 때에 이송 위치에서 기울어진 상태에 있는 물품까지의 거리를 나타낸다. 이러한 어긋남량(σ)은 예를 들면 하기 (1)식에서 기울기 정도(φ) 및 물품의 높이(h)에 의거하여 일률적으로 산출하는 것이 가능하다. 이러한 어긋남량(σ)이 특정되면 어긋남량(σ)을 나타내는 예를 들면 어긋남 정보를 기차 데이터에 있어서의 파지 위치 정보에 가산함으로써 기차 데이터에 있어서의 탑재 위치 정보가 결정한다.
σ ＝ h × sinφ (1)
이와 같이 구성하면, 기차 데이터로서 파지 위치 정보 및 어긋남량 정보의 2개의 데이터로 구성하고 기억 수단의 데이터 용량을 최소한으로 억제하는 것도 가능하다.
본 발명에 의한 이송 시스템의 다른 형태에서는 이송부는 파지부와, 연직 이동부와, 횡수평 이동부와, 회전 이동부를 구비하고 있다. 파지부는 물품을 파지 및 해방한다. 연직 이동부는 파지부를 연직 방향으로 승강 가능하다. 횡수평 이동부는 파지부를 궤도의 방향에 직교하는 횡방향으로 수평 이동가능하다. 회전 이동부는 파지부를 연직축을 중심으로 해서 회전 가능하다. 탑재 위치 정보 및 파지 위치 정보 각각은 궤도의 방향, 횡방향, 연직 방향 및 연직축 회전 방향의 4방향에서의 위치를 나타낸다.
이 형태에 의하면, 이송부는 물품을 파지 가능한 그리퍼(Gripper) 등의 파지부를 연직 방향, 횡방향 및 연직축 회전 방향의 3방향에 이동가능하다. 탑재 위치 정보 및 파지 위치 정보 각각은 3방향에 궤도의 방향을 더한 4방향에서의 위치를 나타낸다. 4방향에서의 위치에 대해서, 예를 들면 좌표로서 파지 위치 정보를 (X＊＊1, Y＊＊1, Z＊＊1, φ＊＊1), 탑재 위치 정보를 (X＊＊2, Y＊＊2, Z＊＊2, φ＊＊2)로 나타낸다. 이에 따라, 탑재 위치 정보 및 파지 위치 정보에 의한 데이터를 높은 정밀도로 구축하는 것이 가능하다.
또한, 4방향에서의 위치가 상기 좌표로서 나타내어지는 경우 상기 어긋남량 정보가 (σX, σY, σZ, σφ)로 하면, 탑재 위치 정보 및 파지 위치 정보의 관계는 하기 (2)식이 된다.
(X＊＊2, Y＊＊2, Z＊＊2, φ＊＊2) = (X＊＊1, Y＊＊1, Z＊＊1, φ＊＊1) + (σX, σY, σZ, σφ) (2)
본 발명에 의한 이송 시스템의 다른 형태에서는 물품은 오목부가 형성된 저면을 갖고, 탑재대는 오목부에 맞물림 가능한 볼록부가 형성된 상면을 갖고, 탑재 동작에서는 오목부 및 볼록부의 맞물림에 의해 탑재대에 대하여 물품이 위치 결정되는 소정 위치에 물품이 탑재된다.
여기서, 물품에 의한 「오목부」는 물품의 저면에 역 V형으로 형성된 예를 들면 V홈으로 불리는 오목부로서, 탑재대에 의한 「볼록부」는 탑재대의 상면에 물품의 오목부에 맞물림 가능하게 형성된 예를 들면 키네마 핀으로 불리는 돌출된 것이다. 이들 오목부와 볼록부가 맞물림 상태에 있을 경우 탑재대에 의한 물품이 위치 결정된 위치 결정 상태가 된다. 탑재대에 의한 「소정 위치」는 물품이 위치 결정 상태가 되는 위치를 나태낸다.
탑재 위치 정보 및 파지 위치 정보 각각이 공통 데이터와 기차 데이터의 합으로서 나타내어지는 상기 이송 시스템은 복수의 반송차의 사이에서 서로 공통 데이터를 교시하는 교시 수단을 더 구비해도 좋다.
여기서, 무선 또는 적외선 등에 의한 통신 수단을 적어도 포함하는 교시 수단은 예를 들면 기억 수단 및 제어 수단과 동일하게 해서 반송차에 구비되어 있다. 교시 수단은 기억 수단이 기억하는 공통 데이터를 배신(配信)함으로써 다른 반송차에 대하여 공통 데이터의 교시를 행한다. 이와 같이 구성하면, 하나의 반송차로부터 복수의 반송차로의 교시가 용이하게 되고, 통신 가능 영역으로 된 교시 영역에 있는 모든 반송차가 최신의 공통 데이터를 보유하는 것이 가능하다. 이에 따라, 이송 위치를 알기 위한 탑재 위치 정보 및 파지 위치 정보의 취득이 단시간에 행해져 이송 시간을 단축하는 것이 가능하다.
본 발명의 작용 및 다른 이득은 다음에 설명하는 실시하기 위한 형태로부터 명백해진다.
도 1은 본 발명의 실시형태에 의한 이송 시스템의 구성 및 상기 이송 시스템에 있어서의 반송차의 구조를 모식적으로 나타내는 정면도이다.
도 2는 실시형태에 의한 횡이송 방식에서의 이송를 행할 때의 도 1의 반송차의 상태를 설명하는 정면도이다.
도 3은 실시형태에 의한 파지 동작시에 도 1의 반송차에 파지되는 물품의 이송 위치를 나타내는 정면도이다.
도 4는 실시형태에 의한 탑재 동작시에 도 1의 반송차에 파지되는 물품의 이송 위치를 설명하는 정면도이다.
도 5는 실시형태에 의한 각종 탑재대의 설치를 모식적으로 나타내는 상면도이다.
도 6은 실시형태에 의한 공통 데이터를 판독하기 위한 표이다.
도 7은 실시형태에 의한 기차 데이터를 판독하기 위한 표이다.
도 8a는 본 발명의 기차 데이터의 다른 예를 나타내는 표이다.
도 8b는 본 발명의 기차 데이터의 다른 예를 나타내는 표이다.
도 9는 실시형태에 의한 횡이송 방식에서의 이송 처리를 설명하는 플로우 차트이다.
이하, 도면을 참조해서 본 발명의 호적한 실시형태에 대해서 설명한다.
<실시형태>
<실시형태의 구성>
처음에, 도 1을 참조해서 본 발명의 실시형태에 의한 이송 시스템(100)의 구성에 대해서 설명한다. 여기서, 도 1은 이송 시스템(100)의 구성 및 이송 시스템(100)에 있어서의 차량(2)의 구조를 모식적으로 나타내는 정면도이다.
도 1에 있어서 이송 시스템(100)은 반도체소자 제조용 기판인 FOUP(3)를 반송하기 위한 반송 시스템(200)에 포함되어 있고, 반송 시스템(200)에 있어서의 반송 지시부(201)로부터의 지시 신호를 따라 FOUP(3)를 차량(2)과 탑재대(4) 사이에서 이송가능하게 구성되어 있다. 이송 시스템(100)은 주로 레일(1), 차량(2), 탑재대(4)를 구비한다.
FOUP(3)는 본 발명에 의한 「물품」의 일례로서 차량(2)이 파지할 때의 손잡이가 되는 플랜지(3a)를 구비한다. FOUP(3)는 그 하면에 탑재대(4)의 키네마 핀(4a)과 맞물림 가능한 V홈(3b)[즉, 본 발명에 의한 「오목부」의 일례]을 갖는다. V홈(3b)은 탑재대(4)에 대한 FOUP(3) 본체의 위치 결정에 이용된다.
탑재대(4)는 제조 장치 포트, UTB(Under Track Baffer) 및 좌우의 STB(Side Table Baffer)라는 각종 여러가지 형태로 레일(1)보다 하방에 설치된다. 각 탑재대(4)는 그 상면에 FOUP(3)의 V홈(3b)과 맞물림 가능한 키네마 핀(4a)[즉, 본 발명에 의한 「볼록부」의 일례]을 구비한다. 키네마 핀(4a)은 탑재대(4)에 대한 FOUP(3)의 위치 결정에 이용된다.
레일(1)은 본 발명에 의한 「궤도」의 일례로서, 반송 시스템(200)이 설치되는 반도체소자 제조 공장 등의 건물 내부의 천장에 부설되어 있다. 레일(1)에 대해서 그 내부는 차량(2)의 주행로의 일부가 되어 있다. 레일(1)의 하면에 대해서 그 중앙부는 차량(2)의 주행부(20)와 본체부를 접속하는 부위를 피하기 위해서 개방되어 있다.
차량(2)은 본 발명에 의한 「반송차」의 일례로서, 주행부(20)와, 그리퍼(21), 승강 기구(22), 측면 기구(23) 및 회전 기구(24)를 구비하는 본체부와, 메모리(101), 차량 컨트롤러(102) 및 송수신부(103)를 구비하는 제어부로 이루어진다. 주행부(20)는 동력원인 도시하지 않은 모터와, 한 쌍의 롤러(20a)를 구비하고 있고, 모터의 동력에 의해 한 쌍의 롤러(20a)를 구동함으로써 주행부(20)에 의해 본체부를 레일(1)을 따라 이동시킨다.
그리퍼(21)는 본 발명에 의한 「파지부」의 일례로서, 동력원인 도시하지 않은 모터와 한 쌍의 핑거(21a)를 구비한다. 그리퍼(21)는 모터의 동력에 의해 한 쌍의 핑거(21a)를 구동함으로써 FOUP(3)를 파지하는 파지 상태와 FOUP(3)를 해방하는 해방 상태 사이에서 한 쌍의 핑거(21a)를 변위시킨다.
승강 기구(22)는 본 발명에 의한 「연직 이동부」의 일례로서, 동력원인 도시하지 않은 모터와, 권취부(22a)와, 벨트(22b)를 구비한다. 승강 기구(22)는 모터의 동력에 의해 권취부(22a)를 권취 방향 또는 권출(卷出) 방향으로 회전시킴으로써 그리퍼(21)의 상면에 일단이 고정되는 벨트(22b)의 권취 또는 권출을 행한다. 이와 같이 하여 승강 기구(22)는 그리퍼(21)를 연직 방향으로 이동시킨다.
측면 기구(23)는 본 발명에 의한 「횡수평 이동부」의 일례로서, 구동원인 도시하지 않은 모터와, 슬라이드부(23a)를 구비한다. 측면 기구(23)는 모터의 동력에 의해 슬라이드부(23a)를 레일(1)에 직교하는 횡방향(즉, 도 1에 있어서의 좌우 방향)으로 슬라이딩시킴으로써 슬라이드부(23a)의 하면에 고정되는 승강 기구(22)를 횡방향으로 이동시킨다.
회전 기구(24)는 본 발명에 의한 「회전 이동부」의 일례로서, 승강 기구(22)에 포함되어 있고 구동원인 도시하지 않은 모터를 구비한다. 회전 기구(24)는 모터의 동력에 의해 회전 기구(24) 본체의 하면에 고정되는 권취부(22a)를 연직축을 중심으로 하는 연직축회전 방향으로 회전시킴으로써 권취부(22a) 및 벨트(22b)를 통해서 접속되는 그리퍼(21)를 연직축 회전 방향으로 이동시킨다.
<횡이송에서의 파지 동작 및 탑재 동작>
여기서, 메모리(101), 차량 컨트롤러(102) 및 송수신부(103)를 설명하기 전에 도 2를 참조하여 이송 시스템(100)에 있어서의 횡이송에 대해서 설명한다. 여기서, 도 2는 횡이송을 행하는 차량(2)의 상태를 설명하는 정면도이다.
이송 시스템(100)에서는 차량(2)과 탑재대(4) 사이에서 FOUP(3)가 종이송뿐만 아니라 횡이송된다. 도 2에 있어서 차량(2)은 횡이송을 행할 경우 슬라이드부(23a)를 슬라이딩시켜 승강 기구(22)를 횡방향으로 이동시킨다. 이때, 횡방향으로 이동한 승강 기구(22)의 중량에 의해 한 쌍의 주행 롤러(20a) 중 승강 기구(22)로부터 먼 일방이 부상함과 아울러 승강 기구(22)에 근접한 타방이 승강 기구(22)측으로 압박되어 변형된다. 또한, 승강 기구(22)의 중량에 의해 측면 기구(23)가 휘고 차량(2) 본체가 기울어지게 된다. 이 기울어짐 방향은 레일(1)을 축 중심으로 해서 회전하는 궤도 회전 방향이며, 승강 기구(22)가 φ1도 기울어질 경우 승강 기구(22)에 벨트(22b)를 통해서 연결되는 그리퍼(21), 및 그리퍼(21)에 파지되는 FOUP(3)도 또한 φ1도 기울어진 상태가 된다. 또한, 이러한 기울어짐은 차량(2)이 공하중인지[즉, FOUP(3)를 취득으로 행하는 경우인지] 또는 FOUP(3)를 파지하고 있는지[즉, FOUP(3)를 내림으로 행할 때인지]에 따라서 즉, FOUP(3)의 중량에 따라 그리퍼(21) 또는 FOUP(3)의 위치를 결정하는데 있어서 무시할 수 없는 정도로 다르다.
메모리(101)는 본 발명에 의한 「기억 수단」의 일례로서, 차량(2)과 탑재대(4) 사이에서 FOUP(3)가 이송될 때에 그리퍼(21)가 취득해야 할 위치인 이송 위치를 나타내는 데이터를 기억하고 있다. 단, 이 데이터는 차량(2)으로부터 탑재대(4)로의 횡이송을 행하는 탑재 동작시와 탑재대(4)로부터 차량(2)으로의 횡이송을 행하는 파지 동작시에서 다르다.
여기서, 도 3 및 도 4를 참조하여 파지 동작 및 탑재 동작에 대해서 설명한다. 여기서, 도 3은 파지 동작시의 이송 위치를 설명하는 정면도이며, 도 4는 탑재 동작시의 이송 위치를 설명하는 정면도이다.
도 3에는 우STB로서 기능하는 탑재대(4)와, 이 탑재대(4)에 대하여 위치 결정된 위치[즉, 본 발명에 의한 「소정 위치」의 일례로서 적절한 「위치 결정 위치」라고 부름]에 있는 FOUP(3)와, 이 FOUP(3)를 파지한 상태에 있는 그리퍼(21)가도시되어 있다. 위치 결정 위치에 있는 FOUP(3)는 보통 탑재대(4)에 수평으로 탑재된다. 또한, 도 3에는 FOUP(3)[즉, 탑재대(4)]에 대한 그리퍼(21)의 기울기 각도 [즉, 본 발명에 의한 「기울기 정도」의 일례](φ)가 도시되어 있다. 본 실시형태에서는 그리퍼(21)의 중심과 FOUP(3)의 플랜지(3a)의 중심이 동일 연직선 상에 있는 이송 위치에서 차량(2)이 FOUP(3)를 파지하는 파지 동작이 행하여진다. 즉, FOUP(3)를 파지하지 않는 그리퍼(21)를 횡방향으로 이동시키지 않더라도 파지 동작을 행하는 것이 가능하다.
도 4에는 우STB로서 기능하는 탑재대(4)와, 이 탑재대(4)로 이송하려고 하는 FOUP(3)와, 이 FOUP(3)를 파지한 상태에 있는 그리퍼(21)가 도시되어 있다. 또한, 탑재대(4)에 대한 FOUP(3)[즉, 그리퍼(21)]의 기울기 각도(φ1)와, FOUP(3)의 높이(h)가 도시되어 있다. 본 실시형태에서는 기울기 각도(φ1) 및 FOUP 높이(h)에 의거하여 산출되는 어긋남량(σY) 분, 횡방향(즉, 도 4에 있어서의 화살표 방향)으로 이동시킨 위치를 이송 위치로 해서 차량(2)이 FOUP(3)를 탑재대(4)의 위치 결정 위치에 탑재하는 탑재 동작을 행한다.
만일, 어긋남량(σY) 부분의 횡방향으로의 이동이 되지 않는 위치(즉, 도 4에 도시되는 상태)를 이송 위치로 해서 탑재 동작을 행하였을 경우 탑재대(4)의 키네마 핀(4a)의 중앙부에 FOUP(3)의 V홈(3b)의 단부가 연직 방향에서 대향하고, FOUP(3)가 탑재대(4)의 위치 결정 위치부터 어긋나 탑재되어 버린다.
그래서, 하기 (3)식에서 키네마 핀(4a)의 중앙부와 V홈(3b)의 중앙부가 연직 방향에서 일치하는 위치 결정 위치에 FOUP(3)를 탑재하기 위해 FOUP(3)의 횡방향에서의 어긋남량(σY)을 산출한다. 예를 들면, FOUP 높이(h)가 330mm, 기울기 각도(φ1)가 0.5도일 경우 σY는 2.9mm이다.
σ Y ＝ h × ｓｉｎφ1 (3)
본 실시형태에서는 파지 동작을 행할 때에 그리퍼(21) 중심과 플랜지(3a) 중심이 동일 연직선 상에 있으면 이송 위치의 변경을 필요로 하지 않는 것에 대해 탑재 동작을 행하는 때에는 FOUP(3)[즉, 그리퍼(21)]의 기울기 각도(φ1) 및 높이(h)에 의거한 어긋남량(σY) 분, 이송 위치가 어긋난다. 즉, 파지 동작시의 이송 위치와, 탑재 동작시의 이송 위치는 횡방향으로 어긋남량(σY)만큼 차이를 갖게 된다.
메모리(101)에 접속되는 차량 컨트롤러(102)는 본 발명에 의한 「제어 수단」의 일례로서, 실행하려고 하는 파지 동작 또는 탑재 동작에 대응하는 데이터를 메모리(101)로부터 판독하여 판독된 데이터가 나타내는 이송 위치에서 실행해야 할 파지 동작 또는 탑재 동작을 실행한다.
메모리(101) 및 차량 컨트롤러(102)에 접속되는 송수신부(103)는 본 발명에 의한 「교시 수단」의 일례로서, 메모리(101)에 기록되어 있는 데이터가 갱신된 경우 갱신된 데이터를 다른 차량(2)에 송신한다. 한편, 다른 차량(2)으로부터 송신된 갱신 데이터를 수신한다. 이 경우, 차량 컨트롤러(102)는 수신한 갱신 데이터를 메모리(101)에 기억시킨다.
<이송 위치를 나타내는 데이터의 구조>
이어서, 도 5로부터 도 7을 참조하여 이송 위치를 나타내는 데이터에 대해서 설명한다. 여기서, 도 5는 상기 이송 시스템에 설치되는 각종 탑재대(4)를 설명하는 상면도이며 도 6 및 도 7은 메모리(101)에 기억되는 데이터의 구조를 설명하는 표이다.
도 5에는 레일(1)의 연직 하방에 설치되는 제조 장치 포트:A 및 B, 및 UTB:A와, 레일(1)보다 하방 또한 그 좌횡방향으로 설치되는 좌STB:A와, 레일(1)의 하방 또한 그 우횡방향으로 설치되는 우STB:A가 도시되어 있다. 본 실시형태에서는 파지 동작시 및 탑재 동작시의 각 이송 위치는 모든 차량(2)에 공통되는 공통 데이터를 나타내는 좌표와 차량(2)에 고유의 기차 데이터를 나타내는 좌표의 합으로 나타내어진다.
도 6에는 공통 데이터가 도시되어 있다. 공통 데이터는 각 탑재대(4)와 각 탑재대(4)에 대응하는 공통 좌표가 연결된 데이터를 나타낸다. 도 7에는 기차 데이터가 도시되어 있다. 기차 데이터는 제조 장치 포트, UTB 및 좌우STB의 4종류의 탑재대(4)와, 각종 탑재대(4) 상의 FOUP(3)의 유무와, FOUP(3)가 있을 경우 및 없을 경우의 기차 좌표가 연결된 데이터를 나타낸다. 여기서, 「FOUP가 없음」의 경우는 그리퍼(21)가 FOUP(3)를 파지하지 않는 해방 상태에서 이송를 행하는 파지 동작을 나타내고, 「FOUP가 있음」의 경우는 그리퍼(21)가 FOUP(3)를 파지하는 파지 상태에서 이송를 행하는 탑재 동작을 도시된다.
도 6에 있어서 공통 좌표 및 기차 좌표 각각은 레일(1)의 연신 방향에서의 위치(X), 횡방향에서의 위치(Y), 연직 방향에서의 위치(Z) 및 연직축 회전 방향에서의 위치 또는 기울기(φ)의 4방향에서의 위치인 좌표로서 도시된다. 여기서, 공통 좌표(X＊＊，Y＊＊，Z＊＊，φ＊＊에 있어서의 각 방향에서의 위치에 붙여진 첨자에 대해서 좌측에 위치하는 제 1 첨자는 탑재대의 종별을 나타내고 있고, 제조 장치 포트 「1」, UTB 「2」, 우STB 「3」 및 좌STB 「4」중 어느 하나이다. 또한, 우측에 위치하는 제 2 첨자는 탑재대의 식별 번호를 나타내고 있고, 각 탑재대(4)에 붙여진 「1」이상의 숫자이다. 한편, 기차 좌표(X＊＊＊，Y＊＊＊，Z＊＊＊，φ＊＊＊）에 있어서의 각 방향에서의 위치에 붙여진 첨자에 대해서 좌측에 위치하는 제 1 첨자는 공통 좌표와 같이 해서 탑재대의 종별을 나타내고 있다. 중앙에 위치하는 제 2 첨자는 차량(2)의 식별 번호를 나타내고 있고 각 차량(2)에 붙여진 「1」이상의 숫자이다. 또한, 우측에 위치하는 제 3 첨자는 FOUP(3)의 유무를 나타내고 있고, FOUP:있음일 경우 「1」 FOUP(3):없음일 때 「2」의 숫자이다. 이 경우, 예를 들면 제조 장치 포트:A에 대해서 파지 동작시의 이송 위치는 공통 좌표(X1A, Y1A, Z1A, φ1A)와 기차 좌표(X111, Y111, Z111, φ111)의 합으로 도시된다. 또한, 탑재 동작시의 이송 위치는 공통 좌표(X1A, Y1A, Z1A, φ1A)와 기차 좌표(X112, Y112, Z112, φ112)의 합으로 도시된다.
파지 동작시와 탑재 동작시의 FOUP(3)의 어긋남량(σ)은 4방향의 좌표로서 도시된다. 여기서, 어긋남량(σ)을 나타내는 좌표(σx＊，σy＊，σz＊，σφ＊）에 있어서의 각 방향에서의 위치에 붙여진 첨자에 대해서 좌측에 위치하는 제 1 첨자는 X, Y, Z 및 φ의 4방향 중 어느 한쪽의 방향을 나타내고 있고, 우측에 위치하는 제 2 첨자는 제조 장치 포트 「1」, UTB 「2」, 우STB 「3」 및 좌STB 「4」중 어느 하나의 탑재대의 종별을 나타낸다. 이 경우, 예를 들면 제조 장치 포트:A에 대해서 파지 동작시와 탑재 동작시의 이송 위치의 차인 어긋남량(σ)은 (σX1, σY1, σZ1, σφ1)이다.
또한, 기차 데이터에 대해서 도 7에 도시된 바와 같이 FOUP(3)의 유무에 각각 대응하는 기차 좌표를 도시하는 것에 한정되지 않는다. 예를 들면, 도 8a에 도시된 바와 같이, 기차 데이터에 대해서 파지 동작시에 즉 FOUP:없음일 경우, 기준 차량과의 차이를 기차 좌표(X111, Y111, Z111, φ111)로서 도시하고, 탑재 동작시에 즉 FOUP:있음일 경우 FOUP: 없음일 때의 기차 좌표와의 차이를 기차 좌표(σX1, σY1, σZ1, σφ1)로서 도시해도 좋다. 이 경우, 예를 들면 제조 장치 포트:A에 대해서 파지 동작시의 이송 위치는 공통 좌표(X1A, Y1A, Z1A, φ1A)와 기차 좌표(X111, Y111, Z111, φ111)의 합으로 도시된다. 또한, 탑재 동작시의 이송 위치는 공통 좌표(X1A, Y1A, Z1A, φ1A)와 파지 동작시의 기차 좌표(X111, Y111, Z111,φ111)의 합에 어긋남량(σ)에 상당하는 기차 좌표(σX1, σY1, σZ1, σφ1)를 더함으로써 도시된다.
한편, 예를 들면 도 8b에 나타낸 바와 같이 기차 데이터에 대해서 탑재 동작시에 즉 FOUP:있음일 경우 기준 차량과의 차이를 기차 좌표(X112, Y112, Z112, φ112)로서 도시하고 파지 동작시에 즉 FOUP:없음일 경우 FOUP:있음일 때의 기차 좌표와의 차이를 기차 좌표(σX1, σY1, σZ1, σφ1)로서 도시해도 좋다. 이 경우, 예를 들면 제조 장치 포트:A에 대해서 탑재 동작시의 이송 위치는 공통 좌표(X1A, Y1A, Z1A, φ1A)와 기차 좌표(X112, Y112, Z112, φ112)의 합으로 도시된다. 또한, 파지 동작시의 이송 위치는 공통 좌표(X1A, Y1A, Z1A, φ1A)와 탑재 동작시의 기차 좌표(X112, Y112, Z112, φ112)의 합으로부터 어긋남량(σ)에 상당하는 기차 좌표(σX1, σY1, σZ1, σφ1)를 감산함으로써 도시된다.
<실시형태의 동작>
이어서, 도 9를 참조하여 본 발명의 본 실시형태에 의한 이송 시스템(100)의 동작에 대해서 설명한다. 여기서, 도 9는 이송 시스템(100)에 있어서의 이송 처리를 도시하는 플로우 차트이다. 또한, 이송 시스템(100)에 있어서의 모든 차량(2)은 송수신부(103)를 통해서 차량(2) 사이에서 공통 데이터를 교시하고 상시 최신의 공통 데이터를 보유하는 것으로 한다.
도 9에 있어서 차량 컨트롤러(102)는 우선 반송 지시부(201)로부터의 지시 신호를 따라 실행되는 동작이 파지 동작일지 탑재 동작일지를 판정한다[스텝(S51)]. 이 판정의 결과, 파지 동작일 경우[스텝(S51):파지] 메모리(101)로부터 이송처인 하나의 탑재대(4)에 연결되는 공통 데이터 및 기차 데이터를 판독하고, 판독된 이들 데이터로부터 파지 동작시의 이송 위치를 산출한다[스텝(S52)]. 그러면, 산출된 이송 위치에서 파지 동작을 실행한다[스텝(S53)]. 이에 따라, 일련의 이송 처리를 종료한다.
한편, 스텝(S51)의 판정의 결과 탑재 동작일 경우[스텝(S51):탑재] 메모리(101)로부터 이송처인 하나의 탑재대(4)에 연결되는 공통 데이터 및 기차 데이터를 판독하고, 판독된 이들 데이터로부터 탑재 동작시의 이송 위치를 산출한다[스텝(S54)]. 그러면, 산출한 이송 위치에서 탑재 동작을 실행한다[스텝(S55)]. 이에 따라, 일련의 이송 처리를 종료한다.
본 실시형태의 이송 처리에 의하면, 파지 동작을 행할 때에 파지 동작에 대응하는 이송 위치에서 파지 동작을 행하고, 탑재 동작을 행할 때에 탑재 동작에 대응하는 이송 위치에서 탑재 동작을 행한다. 즉, 탑재 동작에서는 종이송 또는 횡이송에 따라 발생할 수 있다, FOUP(3)의 어긋남을 해소하기 위해 파지 동작의 경우와 이송 위치를 다르게 한다. 이에 따라, FOUP(3)를 탑재대(4)의 위치 결정 위치로 확실하게 이송하는 것이 가능하다.
또한, 파지 동작시 및 탑재 동작시의 각 이송 위치를 공통 데이터 및 기차 데이터의 2개의 데이터로 구성한다. 이렇게 구성함으로써 모든 차량(2)에 공통되는 공통 데이터를 이송 시스템(100)에 있어서의 모든 차량(2) 사이에서 교시하고, 이것을 상시 갱신한다. 이에 따라, 각 차량(2)에 있어서 상시 고정밀도의 이송 위치 정보를 유지 가능하다. 이에 따라, 이송 동작전에 최신의 공통 데이터를 취득하는 시간을 절약할 수 있고, 이송 시간을 최소한으로 억제하는 것이 가능하다.
본 발명은 상술한 실시형태에 한정되는 것이 아니고, 청구의 범위 및 명세서 전체로부터 취득되는 발명의 요지 또는 사상에 반하지 않는 범위에서 적절히 변경가능하며, 그러한 변경을 수반하는 이송 시스템도 또한 본 발명의 기술적 범위에 포함되는 것이다.
1 : 레일
2 : 차량
3 : FOUP
4 : 탑재대
100 : 이송 시스템
101 : 메모리
102 : 차량 컨트롤러
103 : 송수신부

Claims (23)

  1. 천장에 설치된 궤도를 따라 주행하면서 물품을 반송하는 반송차와,
    상기 궤도보다 하방에 설치되어 있어 상기 물품을 소정 위치에 탑재 가능한 탑재대를 구비하고,
    상기 반송차는 상기 탑재대 상의 상기 물품을 파지하는 파지 동작과, 상기 물품을 상기 탑재대에 탑재하는 탑재 동작이 가능한 이송부를 가지고 있고,
    상기 이송부는 상기 반송차와 상기 탑재대 사이에서 상기 물품을 횡이송 방식으로 이송 가능하고,
    (i)상기 이송부가 탑재 동작을 행할 때의 상기 물품의 이송 위치를 나타내는 탑재 위치 정보, 및 (ii)상기 이송부가 파지 동작을 행할 때의 상기 물품의 이송 위치를 나타내는 파지 위치 정보를 기억하는 기억부와,
    상기 탑재 동작을 행할 경우 기억되어 있는 탑재 위치 정보의 이송 위치에서 이송이 행해지도록 하는 한편, 상기 파지 동작을 행할 경우 기억되어 있는 파지 위치 정보의 이송 위치에서 이송이 행해지도록 상기 이송부를 제어하는 제어부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 탑재 위치 정보 및 상기 파지 위치 정보 각각은 복수의 반송차에 공통되는 이송 위치를 나타내는 공통 데이터와, 각 반송차에 고유의 이송 위치를 나타내는 기차 데이터의 합으로서 나타내어지는 것을 특징으로 하는 이송 시스템
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 탑재 위치 정보의 상기 기차 데이터와 상기 파지 위치 정보의 상기 기 데이터의 차는 상기 이송 위치에서의 상기 물품의 기울기 정도 및 상기 물품의 높이에 의거하여 상기 물품의 어긋남량에 상당한 것을 특징으로 하는 이송 시스템.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 이송부는,
    상기 물품을 파지 및 해방하는 파지부와,
    상기 파지부를 연직 방향으로 승강가능한 연직 이동부와,
    상기 파지부를 상기 궤도의 방향에 직교하는 횡방향으로 수평 이동가능한 횡수평 이동부와,
    상기 파지부를 연직축을 중심으로 해서 회전가능한 회전 이동부를 구비하고,
    상기 탑재 위치 정보 및 상기 파지 위치 정보 각각은 상기 궤도의 방향, 상기 횡방향, 상기 연직 방향 및 상기 연직축 회전 방향의 4방향에서의 위치를 나타내는 것을 특징으로 하는 이송 시스템.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 이송부는,
    상기 물품을 파지 및 해방하는 파지부와,
    상기 파지부를 연직 방향으로 승강가능한 연직 이동부와,
    상기 파지부를 상기 궤도의 방향에 직교하는 횡방향으로 수평 이동가능한 횡수평 이동부와,
    상기 파지부를 연직축을 중심으로 해서 회전가능한 회전 이동부를 구비하고,
    상기 탑재 위치 정보 및 상기 파지 위치 정보 각각은 상기 궤도의 방향, 상기 횡방향, 상기 연직 방향 및 상기 연직축 회전 방향의 4방향에서의 위치를 나타내는 것을 특징으로 하는 이송 시스템.
  6. 제 3 항에 있어서,
    상기 이송부는,
    상기 물품을 파지 및 해방하는 파지부와,
    상기 파지부를 연직 방향에 승강가능한 연직 이동부와,
    상기 파지부를 상기 궤도의 방향에 직교하는 횡방향으로 수평 이동가능한 횡수평 이동부와,
    상기 파지부를 연직축을 중심으로 해서 회전가능한 회전 이동부를 구비하고,
    상기 탑재 위치 정보 및 상기 파지 위치 정보 각각은 상기 궤도의 방향, 상기 횡방향, 상기 연직 방향 및 상기 연직축 회전 방향의 4방향에서의 위치를 나타내는 것을 특징으로 하는 이송 시스템.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 물품은 오목부가 형성된 저면을 갖고,
    상기 탑재대는 상기 오목부에 맞물림 가능한 볼록부가 형성된 상면을 갖고,
    상기 탑재 동작에서는 상기 오목부 및 상기 볼록부의 맞물림에 의해 상기 탑재대에 대하여 상기 물품이 위치 결정되는 상기 소정 위치에 상기 물품이 탑재되는 것을 특징으로 하는 이송 시스템.
  8. 제 2 항에 있어서,
    상기 물품은 오목부가 형성된 저면을 갖고,
    상기 탑재대는 상기 오목부에 맞물림 가능한 볼록부가 형성된 상면을 갖고,
    상기 탑재 동작에서는 상기 오목부 및 상기 볼록부의 맞물림에 의해 상기 탑재대에 대하여 상기 물품이 위치 결정되는 상기 소정 위치에 상기 물품이 탑재되는 것을 특징으로 하는 이송 시스템.
  9. 제 3 항에 있어서,
    상기 물품은 오목부가 형성된 저면을 갖고,
    상기 탑재대는 상기 오목부에 맞물림 가능한 볼록부가 형성된 상면을 갖고,
    상기 탑재 동작에서는 상기 오목부 및 상기 볼록부의 맞물림에 의해 상기 탑재대에 대하여 상기 물품이 위치 결정되는 상기 소정 위치에 상기 물품이 탑재되는 것을 특징으로 하는 이송 시스템.
  10. 제 4 항에 있어서,
    상기 물품은 오목부가 형성된 저면을 갖고,
    상기 탑재대는 상기 오목부에 맞물림 가능한 볼록부가 형성된 상면을 갖고,
    상기 탑재 동작에서는 상기 오목부 및 상기 볼록부의 맞물림에 의해 상기 탑재대에 대하여 상기 물품이 위치 결정되는 상기 소정 위치에 상기 물품이 탑재되는 것을 특징으로 하는 이송 시스템.
  11. 제 5 항에 있어서,
    상기 물품은 오목부가 형성된 저면을 갖고,
    상기 탑재대는 상기 오목부에 맞물림 가능한 볼록부가 형성된 상면을 갖고,
    상기 탑재 동작에서는 상기 오목부 및 상기 볼록부의 맞물림에 의해 상기 탑재대에 대하여 상기 물품이 위치 결정되는 상기 소정 위치에 상기 물품이 탑재되는 것을 특징으로 하는 이송 시스템.
  12. 제 6 항에 있어서,
    상기 물품은 오목부가 형성된 저면을 갖고,
    상기 탑재대는 상기 오목부에 맞물림 가능한 볼록부가 형성된 상면을 갖고,
    상기 탑재 동작에서는 상기 오목부 및 상기 볼록부의 맞물림에 의해 상기 탑재대에 대하여 상기 물품이 위치 결정되는 상기 소정 위치에 상기 물품이 탑재되는 것을 특징으로 하는 이송 시스템.
  13. 제 2 항에 있어서,
    복수의 상기 반송차의 사이에서 서로 상기 공통 데이터를 교시하는 교시부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 시스템.
  14. 제 3 항에 있어서,
    복수의 상기 반송차의 사이에서 서로 상기 공통 데이터를 교시하는 교시부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 시스템.
  15. 제 4 항에 있어서,
    복수의 상기 반송차의 사이에서 서로 상기 공통 데이터를 교시하는 교시부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 시스템.
  16. 제 5 항에 있어서,
    복수의 상기 반송차의 사이에서 서로 상기 공통 데이터를 교시하는 교시부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 시스템.
  17. 제 6 항에 있어서,
    복수의 상기 반송차의 사이에서 서로 상기 공통 데이터를 교시하는 교시부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 시스템.
  18. 제 7 항에 있어서,
    복수의 상기 반송차의 사이에서 서로 상기 공통 데이터를 교시하는 교시부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 시스템.
  19. 제 8 항에 있어서,
    복수의 상기 반송차의 사이에서 서로 상기 공통 데이터를 교시하는 교시부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 시스템.
  20. 제 9 항에 있어서,
    복수의 상기 반송차의 사이에서 서로 상기 공통 데이터를 교시하는 교시부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 시스템.
  21. 제 10 항에 있어서,
    복수의 상기 반송차의 사이에서 서로 상기 공통 데이터를 교시하는 교시부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 시스템.
  22. 제 11 항에 있어서,
    복수의 상기 반송차의 사이에서 서로 상기 공통 데이터를 교시하는 교시부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 시스템.
  23. 제 12 항에 있어서,
    복수의 상기 반송차의 사이에서 서로 상기 공통 데이터를 교시하는 교시부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 시스템.
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