KR20130062143A - 전기 분무법을 이용한 유기 다층 박막의 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 전기 분무법을 이용한 유기 박막의 제조방법에 관한 것으로, 구체적으로, 용액공정 (soluble process)에서 전기 분무법을 사용하여 유기 다층 박막을 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따라 제조된 유기 다층 박막은 전자와 정공의 흐름을 원활하게 해줌으로써 크기에 관계없이 효율이 우수하고 수명이 긴 유기 발광 소자를 구현할 수 있다.

Description

전기 분무법을 이용한 유기 다층 박막의 제조방법 {METHOD FOR PREPARATION OF ORGANIC MULTILAYER THIN FILM USING ELECTROSPRAY}
본 발명은 용액공정 (soluble process)에서 전기 분무법을 이용하여 유기 다층 박막을 제조하는 방법에 관한 것이다.
유기 발광 소자 (OLED; Organic Light Emitting Display)는 형광성 또는 인광성 유기 화합물 박막 (이하, 유기 박막이라 함)에 전류를 흘려주면 전자와 정공이 유기 박막에서 결합하면서 빛이 발생되는 현상을 이용한 자체 발광형 표시소자이다.
일반적으로 OLED는 기판 상에 양극 (cathode), 정공수송층 (hole transporting layer), 발광층 (light emitting layer), 전자수송층 (electron transporting layer) 및 음극 (anode)이 순차적으로 형성되어 있는 구조를 갖는다.
유기 풀 (full) 컬러 디스플레이 산업에서는 해상도, 균일성, 물질 이용 효율, 제조비용 등이 중요한 변수이다. 그러나 기존의 열증착법의 경우에는 온도가 높아 마스크 및 기판이 열에 손상되고, 물질 이용 효율이 낮으며, 고압 진공 시스템이 필요하므로 제조비용이 높은 단점이 있었다.
이에 대한 대안으로 용액공정 (Solution Process)이 개발되고 있고, 이 공정의 장점으로는 비 진공 공정이며 인쇄방식으로 물질을 도포하기 때문에 물질의 이용률이 높으며, 대면적 패널제작이 용이하다는 것이다. 초기엔 용해성과 박막 형성 특성이 우수한 고분자 발광 물질을 이용하였으나 고분자 재료의 불안정성 때문에 현재는 기존의 저분자 증착재료를 용해도 및 박막형성 능력이 좋도록 제조하여 사용한다. 그러나 효율적인 다층 박막구조를 제작할 수 있는 기존의 증착법과는 달리 용액공정에서는 용매가 밑에 형성된 층을 녹이기 때문에 다층 박막의 구조를 만들기 어렵다. 이에 대한 개선책으로 버퍼층 삽입법, 가교물질 이용 방법, 블레이드 코팅법 등이 연구개발 되고 있는데 이 방법들은 다층을 형성하기 위해서 추가적인 공정들이 요구된다.
이에 본 발명자들은 용액공정에 의한 다층구조를 갖는 OLED를 제조하기 위해 연구한 결과, 전기 분무법을 이용한 연속적인 다층구조 방법을 착안하여 본 발명을 완성하였다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위해, 본 발명은 용액공정에서 전기 분무법을 이용하여 유기 다층 박막을 제조하는 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 또한, 상기 방법에 따라 제조된 균일성이 우수한 유기 다층 박막을 포함하여 수명이 길고 대화면이 가능하면서 우수한 발광효율을 나타낼 수 있는 OLED를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명은 유기 다층 박막을 제조함에 있어서,
(1) 용액공정 (soluble process)으로 발광층 (emissive layer) 형성용 유기 분자를 유기용매에 용해시켜 제조된 제 1 전기 분무 용액을 제조하고, 전자수송층 (electron transfer layer) 형성용 유기 분자를 유기용매에 용해시켜 제 2 전기 분무 용액을 제조하는 단계;
(2) 상기 제 1 전기 분무 용액을 고전압이 인가된 전기 분무의 노즐을 통해 정공수송층 위에 분사하여 발광층을 형성하는 단계;
(3) 상기 발광층이 완전히 건조되기 전에 제 2 전기 분무 용액을 상기 발광층 위에 분사하여 전자수송층을 형성하는 단계; 및
(4) 상기 발광층과 전자수송층이 형성된 다층 박막을 건조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 분무법을 이용한 유기 다층 박막의 제조방법을 제공한다.
본 발명은 또한, 상기 방법에 따라 제조된 유기 다층 박막을 제공한다.
본 발명은 또한, 상기 유기 다층 박막을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 소자 (OLED) 또는 유기 태양 전지 (OPV)를 제공한다.
본 발명에 따르면 용액공정에 의한 OLED 또는 OPV를 제조함에 있어서, 전기 분무법을 이용하여 유기 다층 박막을 형성하면 다른 용액공정들보다 효과적으로 공정 단계를 줄이면서 효율적인 소자제작을 위한 다층 박막구조를 갖는 OLED 또는 OPV를 구현할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 유기 다층 박막의 제조방법을 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 2는 본 발명에 따라 ITO-유리 기판위에 전기 분무 방법으로 제조된 PVK 박막의 광발광을 확인한 사진이다.
도 3 및 4는 본 발명에 따라 ITO-유리 기판위에 전기 분무 방법으로 제조된 PVK 및 TPBi 다층 박막의 광발광을 확인한 사진이다.
도 5는 본 발명에 따라 ITO-유리 기판위에 전기 분무 방법으로 제조된 PVK 및 TPBi 다층 박막의 사진이다.
도 6은 본 발명에 따라 ITO-유리 기판위에 전기 분무 방법으로 제조된 PVK 박막, 및 P파 및 TPBi 다층 박막의 단면을 SEM (scanning electron microscopy)로 확인한 사진이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명을 더욱 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따라 전기 분무 장치를 이용한 유기 다층 박막의 제조방법을 도식화하여 나타낸 것이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 유기 다층 박막의 제조방법은 유기 다층 박막을 제조함에 있어서,
(1) 용액공정으로 발광층 (emissive layer) 형성용 유기 분자를 유기용매에 용해시켜 제조된 제 1 전기 분무 용액을 제조하고, 전자수송층 (electron transfer layer) 형성용 유기 분자를 유기용매에 용해시켜 제 2 전기 분무 용액을 제조하는 단계;
(2) 상기 제 1 전기 분무 용액을 고전압이 인가된 전기 분무의 노즐을 통해 정공수송층 위에 분사하여 발광층을 형성하는 단계;
(3) 상기 발광층이 완전히 건조되기 전에 제 2 전기 분무 용액을 상기 발광층 위에 분사하여 전자수송층을 형성하는 단계; 및
(4) 상기 발광층과 전자수송층이 형성된 다층 박막을 건조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
용액공정으로 발광층을 형성하기 위해 증착하고자 하는 유기물질을 유기용매 중에 용해시켜 전기 분무 용액을 준비하는 단계 (1)에서, 상기 유기물질은 발광층 형성을 위한 공지의 유기물질이 사용될 수 있으며, 특히 분자량이 400-1,100,000이고, 박막형성에 유리한 구조, 예를 들어, 별모양 (star-like shape), 갈고리 모양 (hook-like shape) 등을 갖는 저분자, 덴드리머 (dendrimer) 또는 고분자의 화합물, 또는 인광재료로 사용될 수 있는 금속착체일 수 있으며, 바람직하게는 폴리(N-비닐카바졸) (PVK), 아릴아민 치환체, 방향족 다환 치환체 및 헤테로방향족 치환체 또는 금속착체 등의 OLED 재료로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상의 화합물일 수 있다.
또한, 상기 단계 (1)에서 상기 전자수송층 형성용 유기 분자는 전자수송을 위한 공지의 유기 분자가 사용될 수 있으며, 특히 분자량 400 내지 1200의 저분자 또는 단분자 화합물일 수 있으며, 바람직하게는 TPBi (1,3,5-트리스(N-페닐벤즈이미다졸-2-일)벤젠) 및 Alq3 (알루미늄 트리스(8-하이드록시 퀴놀린))로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 화합물인 것이 좋다.
상기 발광층 형성 및 전자수송층 형성용 유기물질로는 동일 용매에 용해되는 서로 다른 두 가지 이상의 물질이 사용될 수도 있으며, 이들은 분자량에 따라 순차적으로 기판 상에 증착될 수 있다.
상기 단계 (1)의 발광층 형성용 유기분자를 용해시키기 위한 용매는 휘발성이 있으면서 유기분자를 용해시킬 수 있는 것이면 특별히 제한되지 않으며, 유기물질의 용해도를 고려하여 용매를 적절히 선정될 수 있고, 바람직하게는 클로로벤젠 (CB), 1,2-다이클로로벤젠 (DCB), 1,2-다이클로로에탄 (DCE), 다이클로로메탄 (DCM) 및 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 1종 이상이 선택될 수 있다. 예를 들면, 발광층 형성용 PVK의 경우 클로로벤젠과 1,2-다이클로로벤젠의 혼합 용매를 이용할 수 있다. 또한 유기물질이 용해되는 용매는 녹는점 이상으로 가열하여 사용이 가능하며, 일반적으로 유기물질을 용매에 녹인 용액 상태로 이용이 가능하다. 용매의 혼합비율은 용매의 표면장력 및 끓는점에 따라 조절될 수 있으며, 마랑고니 효과 (Marangoni Effect)를 유발 시킬 수 있는 비율을 사용하는 것이 유리하다. 예를 들면, 발광층 형성용 PVK의 경우 클로로벤젠과 1,2-다이클로로벤젠을 혼합할 때의 비율은 3:1 정도가 적당하다. 또한 전자수송층 형성용 유기분자를 용해시키는 용매도 유기분자를 용해시킬 수 있는 것이면 특별히 제한되지 않으며, 유기물질의 용해도를 고려하여 용매를 적절히 선정될 수 있고, 상기 발광층 형성용 유기분자를 용해시키기 위한 용매와 같거나 다를 수 있으며, 일예로 클로로벤젠 (CB), 1,2-다이클로로벤젠 (DCB), 1,2-다이클로로에탄 (DCE), 다이클로로메탄 (DCM), 클로로포름 및 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 1종 이상이 선택될 수 있다.
또한, 전기 분무 용액은 용액의 점도, 극성, 표면장력, 전기전도도 등을 고려하여 만들어질 수 있다. 전기 분무 용액에서 증착되는 유기물질과 용매의 조성은 전기 분무 용액이 분사되는 노즐의 크기에 따라 결정될 수 있으며, 바람직하게는 용매 중에 용해되는 유기물질의 농도는 0.5 내지 2 중량%인 것이 바람직하다.
상기 전기 분무 용액을 전압을 인가한 상태에서 노즐을 통해 분사시키는 단계 (2) 및 (3)은 전기 분무 장치를 통해 수행된다. 상기 전기 분무 장치는 당분야에서 통상적으로 사용하는 전기 분무 장치라면 어느 것이나 사용할 수 있다.
구체적으로, 전기 분무 장치는 전기 분무 용액이 저장되는 시린지, 시린지에 라인을 통해 연결된 노즐, 노즐에 전압을 인가하는 전압 공급 장치로 구성될 수 있다. 즉, 전기 분무 용액은 시린지에 저장되고, 저장된 전기 분무 용액은 전압이 인가되는 노즐을 통해 분사된다.　 이때, 전압 공급 장치에 의해 인가된 전압에 의해 액적은 쉽게 분극화되어, 증착되는 유기물질, 즉 용질은 기체상태의 이온이 된다.　
상기 인가되는 전압은 고전압이 바람직하며, 구체적으로 2 내지 10 kV의 범위일 수 있다.
전기 분무를 이용하여 박막을 형성하는 방법은 크게 두 가지로 분류할 수 있는데, 이 둘의 차이는 분무되는 액적에서 용매가 완전히 건조되는 가에 따른 것이다. 용매가 액적의 비행 도중에 완전히 건조되는 경우에는 대개 입자의 형태로 도포되며, 이 입자들이 모여 박막을 이루게 되는데, 이렇게 박막을 형성할 경우 거칠기가 10 nm 이하인 박막을 제조하기가 어렵다. 반면, 용매가 건조되지 않고 기판에 도포된 후 건조되어 박막을 형성하는 경우에는 거칠기가 1 nm 이하인 박막을 형성할 수 있으나, 추가적으로 용매를 제거해주는 공정이 요구된다.
또한 필요에 따라 기판 상에 증착시 패턴닝을 하기 위하여 기판 위에 패턴화된 마스크를 위치시켜 유기물질을 패턴화하여 증착시킬 수 있으며, 노즐의 수를 복수로 하여 기판의 크기에 무관하게 대면적 박막을 형성할 수 있다.
여기서, 노즐은 전기 분무 용액의 농도에 따라 결정될 수 있지만, 바람직하게는 외경이 100 내지 300 ㎛인 것이 사용될 수 있으며, 시린지는 분사 노즐로부터 홀 (hole) 당 1 내지 100 ㎕/분의 속도로 분사시킬 수 있는 것이 사용될 수 있으며, 전력 공급 장치는 수십 내지 수만 볼트의 고전압을 인가하는 것이 사용될 수 있지만, 이것으로 제한되는 것은 아니다.
또한, 노즐과 기판 사이의 거리는 기판에 증착되기 전에 용매가 제거되어져야 하는 것을 고려하여 결정될 수 있으며, 간격이 작으면 인가하는 전압이 낮은 반면 기판의 요철에 대한 공정 변화가 크며, 간격이 크면 인가하는 전압이 높은 단점이 있어서, 1 내지 10 cm가 바람직하다.
이때 상기 기판은 유리 또는 고분자 필름 일 수 있으며, 양극층을 형성하기 위하여 상기 기판 위에 인듐-주석-산화물 (ITO, indium-tin-oxide), 그라핀 (Graphene), 탄소나노튜브 (Carbon nanotube) 또는 실버나노와이어 (Silver nanowire) 박막을 통상의 방법에 따라 증착할 수 있다.
또한 본 발명은 제 2 전기 분무 용액을 상기와 같이 형성된 발광층 위에 분사하는 단계 (3)에 있어서, 제 2 전기 분무 용액은 발광층이 완전히 건조되기 전에 분무되는 것이 바람직하다.
상기와 같이 형성된 유기 다층 박막을 건조하는 단계 (4)는 형성되는 유기물질의 유리전이 온도 근처에서 20분 이상 건조되는 조건으로 수행되는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서는 정공수송층을 포함하는 유기 다층 박막을 제조하는 경우, 상기 단계 (1) 또는 (2) 전에 용액공정으로 인쇄법을 이용하여 기판 위에 정공수송층 (hole transfer layer)을 형성하는 단계를 추가로 포함할 수 있으며, 이때 상기 정공수송층은 PEDOT:PSS, 또는 PANI:PSS를 포함하는 단분자 및 고분자 물질일 수 있으며, 상기 인쇄법으로는 슬롯다이 코팅, 스프레이코팅, 그라비아 코팅 등 당분야에서 통상적으로 사용되는 인쇄법이라면 어느 것이라도 사용할 수 있다.
상기와 같이 정공수송층을 포함하는 유기 다층박막을 제조하는 경우, 발광층이 용매가 건조되지 않은 채로 기판 위에 형성된 정공수송층 위에 도포되고, 그 발광층 위에 연속적으로 전자수송층 물질이 수백 나노미터에서 수천 나노미터 사이즈의 건조된 입자 상태로 도포되며, 이 후 건조되는 것이 바람직하다.
이와 같이 전기 분무 원리를 이용한 유기 박막의 제조는 진공 및 대기압 하에서 증착할 수 있으며, 다른 용액공정과는 달리 별도의 추가 공정이 요구되지 않는다.
본 발명에 따라 제조된 유기 다층 박막은 전자와 정공의 흐름을 원활하게 해줌으로써 크기에 관계없이 효율이 우수하고 수명이 긴 유기 발광 소자를 구현할 수 있으며, 디스플레이, 트랜지스터 및 태양 전지와 같은 분야에도 적용될 수 있다.
이하, 본 발명의 이해를 돕기 위하여 바람직한 실시예를 제시하나, 하기 실시예는 본 발명을 예시하는 것일 뿐 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다.
실시예 1: 유기 다층 박막의 제조
고분자 호스트 물질인 PVK를 CB:DCB 혼합용매 (혼합중량비율 3:1)에 녹여 1 중량%의 용액을 제조하였으며, 상기 용액을 ITO-유리 기판 위에 전기 분무하였다. 이때 분사되는 액적은 용매가 전부 증발되지 않은 상태로 ITO-유리 기판 위를 용액으로 적시도록 분사되었다. 이때, 전기 분무 조건은 3.3 kV의 인가전압, 10 ㎕/분의 용액주입속도, 노즐의 내경 150 um (30G) 및 5 cm의 노즐과 기판사이의 거리로 하였으며, 주변 온도는 20 ~ 23℃이고, 습도는 20 ~ 25%였다.
이후, 전자수송층 물질인 TPBi를 끓는점이 낮은 용매인 클로로포름에 1 중량% 로 녹여 용액을 제조하였으며, 상기 용액은 다층 박막을 형성하기 위해 완전히 건조되지 않는 PVK 위에 분사되었다. 전기 분무의 조건은 4 kV의 인가전압, 1 ㎕/분의 용액주입속도, 노즐의 내경 100 um (32G) 및 5 cm의 노즐과 기판사이의 거리로 하였다. 상기 조건에서 전기 분무된 용액은 용매가 완전히 제거된 수백에서 수천 나노미터의 입자크기를 갖는 입자로 형성된다. 상기 입자는 용매가 남아있는 PVK 층 위에 분사되며, 분사된 입자가 잔류 용매에 녹으면서 박막이 형성된다.
상기와 같이 제조된 유기 다층 박막의 광발광 (photoluminescence)을 UV 램프를 이용하여 관찰하였으며, 그 결과를 도 2 내지 5에 나타내었다.
또한 발광층 위에 전자수송층이 적층된 유기 박막의 단면을 주사전자현미경 (SEM)을 이용하여 관찰하였으며 그 결과를 도 6에 나타내었다.
도 2 및 도 4에 나타난 바와 같이, 도 2의 PVK 박막의 광발광은 도 4의 PVK/TPBi 박막의 광발광과 확연히 다름을 알 수 있으며, 이는 다층 박막이 제대로 형성되었다는 증거이다. 또한 도 3 및 도 4에 나타난 바와 같이, TPBi가 입자 형태로 도포되었음을 알 수 있다.
또한 도 6에 나타난 바와 같이, 낮은 거칠기 (Roughness)를 가지는 TPBi 박막이 PVK 박막 위에 형성된 것을 확인할 수 있다. 좌측 사진은 대략 300 nm 두께의 PVK 박막이고 우측 사진은 대략 300 nm 두께의 PVK 박막 위에 대략 30 nm 두께의 TPBi 박막이 형성된 다층 박막의 단면 사진이다.

Claims (17)

  1. 유기 다층 박막을 제조함에 있어서,
    (1) 용액공정 (soluble process)으로 발광층 (emissive layer) 형성용 유기 분자를 유기용매에 용해시켜 제조된 제 1 전기 분무 용액을 제조하고 전자수송층 (electron transfer layer) 형성용 유기 분자를 유기용매에 용해시켜 제 2 전기 분무 용액을 제조하는 단계 ;
    (2) 상기 제 1 전기 분무 용액을 고전압이 인가된 전기 분무의 노즐을 통해 상기 정공수송층 위에 분사하여 발광층을 형성하는 단계;
    (3) 상기 발광층이 완전히 건조되기 전에 제 2 전기 분무 용액을 상기 발광층 위에 분사하여 전자수송층을 형성하는 단계; 및
    (4) 상기 발광층과 전자수송층이 형성된 다층 박막을 건조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 분무법을 이용한 유기 다층 박막의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 발광층 형성용 유기 분자가 별모양 (star-like shape) 또는 갈고리 모양 (hook-like shape)을 갖는 것을 특징으로 하는 전기 분무법을 이용한 유기 다층 박막의 제조방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 발광층 형성용 유기 분자가 저분자 (small molecule), 덴드리머 (dendrimer) 또는 고분자 (polymer) 화합물이고, 분자량이 400-1,100,000인 것을 특징으로 하는 전기 분무법을 이용한 유기 다층 박막의 제조방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 발광층 형성용 유기 분자가 폴리(N-비닐카바졸) (PVK), 아릴아민 치환체, 방향족 다환 치환체 및 헤테로방향족 치환체 및 금속착체로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 화합물임을 특징으로 하는 전기 분무법을 이용한 유기 다층 박막의 제조방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 전자수송층 형성용 유기 분자가 분자량 400 내지 1200의 저분자 또는 단분자 화합물인 것을 특징으로 하는 전기 분무법을 이용한 유기 다층 박막의 제조방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 전자수송층 형성용 유기 분자가 TPBi (1,3,5-트리스(N-페닐벤즈이미다졸-2-일)벤젠) 및 Alq3 (알루미늄 트리스(8-하이드록시 퀴놀린))로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 화합물인 것을 특징으로 하는 전기 분무법을 이용한 유기 다층 박막의 제조방법.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 단계 (1)의 유기용매가 클로로벤젠 (CB), 1,2-다이클로로벤젠 (DCB), 1,2-다이클로로에탄 (DCE), 다이클로로메탄 (DCM) 및 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 화합물임을 특징으로 하는 유기 다층 박막의 제조방법.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 기판이 ITO (indium tin oxide), 그라핀 (Graphene), 탄소나노튜브 (Carbon nanotube) 또는 실버나노와이어 (Silver nanowire)가 유리 또는 고분자 필름 위에 형성된 것을 특징으로 하는 전기 분무법을 이용한 유기 다층 박막의 제조방법.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 전기 분무가 2 ~ 10 kV의 인가전압, 1 ~ 10 cm의 기판과 노즐 사이의 거리, 및 1 ~ 100 ㎕/분의 용액주입속도의 조건으로 수행되는 것을 특징으로 하는 전기 분무법을 이용한 유기 다층 박막의 제조방법.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 기판은 패터닝된 마스크를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 분무법을 이용한 유기 다층 박막의 제조방법.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 단계 (4)에서 건조가 유기 물질의 유리전이온도 부근에서 20분 이상 건조되는 조건으로 수행되는 것을 특징으로 하는 전기 분무법을 이용한 유기 다층 박막의 제조방법.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 단계 (1) 또는 (2)의 전에 용액공정으로 인쇄법을 이용하여 기판 위에 정공수송층 (hole transfer layer)을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 분무법을 이용한 유기 다층 박막의 제조방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 정공수송층이 PEDOT:PSS, 또는 PANI:PSS를 포함하는 단분자 및 고분자 물질인 것을 특징으로 하는 전기 분무법을 이용한 유기 다층 박막의 제조방법.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 인쇄법이 슬롯다이 코팅, 스프레이코팅 및 그라비아 코팅으로 이루어진 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 전기 분무법을 이용한 유기 다층 박막의 제조방법.
  15. 제12항에 있어서,
    상기 발광층 위에 전자수송층이 형성되는 과정은 발광층이 용매가 건조되지 않은 채로 정공수송층 위에 도포되고, 그 발광층 위에 연속적으로 전자수송층 물질이 건조된 입자 상태로 도포된 후 건조되는 것을 특징으로 하는 전기 분무법을 이용한 유기 다층 박막의 제조방법.
  16. 제1항의 방법에 따라 제조된 유기 다층 박막.
  17. 제1항의 방법에 다라 제조된 유기 다층 박막을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 소자 (OLED) 또는 유기 태양 전지 (OPV).
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