KR20130056857A

KR20130056857A - Polarizing film application device and system of manufacturing liquid crystal display device provided with same

Info

Publication number: KR20130056857A
Application number: KR1020127026690A
Authority: KR
Inventors: 리키야 마츠모토
Original assignee: 수미토모 케미칼 컴퍼니 리미티드
Priority date: 2010-04-12
Filing date: 2011-04-11
Publication date: 2013-05-30
Also published as: JP2011237785A; WO2011129093A1; TW201207493A; JP5170913B2; CN102844702A; KR101877066B1; TWI522688B; CN102844702B

Abstract

기판(5)을 짧은 변이 반송 방향을 따른 상태로 반송하는 제1 기판 반송 기구와 기판(5)의 하면에 편광 필름을 접합하는 닙 롤(nip roll)과 기판(5)을 반전시켜 제2 기판 반송 기구에 배치하는 반전 기구와 기판(5)을 긴 변이 반송 방향을 따른 상태로 반송하는 제2 기판 반송 기구와 제2 기판 반송 기구에서의 기판(5)의 하면에 편광 필름을 접합하는 닙 롤을 포함하며, 제1 기판 반송 기구와 제2 기판 반송 기구는 동일 방향을 향하고 있으며, 반전 기구의 기판 반전부는 제1 기판 반송 기구에서의 기판(5)을 (1) 곡선을 그리도록, (2) 반전시키면서, (3) 제1 기판 반송 기구의 반송 방향을 따른 긴 변이 반송 방향에 대해서 직교하는 방향을 따르도록 제2 기판 반송 기구에 배치하는 접합 장치. The first substrate transfer mechanism for transporting the substrate 5 in a state along the short-side transfer direction and the nip roll for bonding the polarizing film to the lower surface of the substrate 5 and the substrate 5 are reversed. Nip roll which bonds a polarizing film to the lower surface of the board | substrate 5 in the 2nd board | substrate conveyance mechanism and the 2nd board | substrate conveyance mechanism which convey the inversion mechanism and board | substrate 5 which are arrange | positioned at a conveyance mechanism in the state along a conveyance direction with a long side. Wherein the first substrate transfer mechanism and the second substrate transfer mechanism face the same direction, and the substrate reversal portion of the inversion mechanism curves the substrate 5 in the first substrate transfer mechanism (1), (2) (3) The bonding apparatus arrange | positioned in a 2nd board | substrate conveyance mechanism so that the long side along the conveyance direction of a 1st board | substrate conveyance mechanism may follow a direction orthogonal to a conveyance direction.

Description

A bonding apparatus for a polarizing film and a manufacturing system for a liquid crystal display device having the same {POLARIZING FILM APPLICATION DEVICE AND SYSTEM OF MANUFACTURING LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE PROVIDED WITH SAME}

본 발명은, 편광 필름의 접합 장치 및 이를 구비하는 액정 표시 장치의 제조 시스템에 관한 것이다.
This invention relates to the bonding apparatus of a polarizing film, and the manufacturing system of the liquid crystal display device provided with the same.

종래, 액정 표시 장치가 널리 제조되고 있다. 액정 표시 장치에 이용되는 기판(액정 패널)에는, 광의 투과 또는 차단을 제어하기 위해서, 편광 필름이 접합되는 것이 통상이다. 편광 필름은 그 흡수축이 직교하도록 접합되어 있다. Background Art Conventionally, liquid crystal displays have been widely manufactured. A polarizing film is usually bonded to the board | substrate (liquid crystal panel) used for a liquid crystal display device in order to control transmission or interruption of light. The polarizing film is bonded so that its absorption axes are orthogonal.

기판에 편광 필름을 접합하는 방법으로서는, 편광 필름을 기판에 대응한 크기로 절단한 후에 접합하는 소위 칩 투 패널(chip to panel) 방식을 들 수 있다. 그렇지만, 이 방식에서는, 기판에 대하여, 1매씩 편광 필름을 접합하기 때문에, 생산 효율이 낮다고 하는 결점이 있다. 한편, 다른 방식으로서, 편광 필름을 컨베이어 롤에 공급하여, 연속적으로 기판에 접합하는 소위 롤 투 패널(roll to panel) 방식을 들 수 있다. 해당 방법에 의하면, 높은 생산 효율로 접합이 가능해진다. As a method for bonding a polarizing film to a substrate, there is a so-called chip to panel method in which a polarizing film is cut to a size corresponding to a substrate and then bonded. However, in this system, since a polarizing film is bonded one by one with respect to a board | substrate, there exists a fault that production efficiency is low. On the other hand, as another method, a so-called roll-to-panel method in which a polarizing film is supplied to a conveyor roll and is continuously bonded to a substrate is exemplified. According to this method, bonding can be performed with high production efficiency.

롤 투 패널 방식의 예로서, 특허 문헌 1에 광학 표시 장치의 제조 시스템이 개시되어 있다. 상기 제조 시스템은, 기판의 상면(上面)에 광학 필름(편광 필름)을 접합한 후에, 기판을 선회(旋回)시켜, 하면(下面)으로부터 편광 필름을 접합하는 것이다.
As an example of a roll-to-panel system, Patent Document 1 discloses a manufacturing system of an optical display device. In the said manufacturing system, after bonding an optical film (polarizing film) to the upper surface of a board | substrate, a board | substrate is rotated and a polarizing film is bonded from a lower surface.

특허 문헌 1 : 일본특허 제4307510호 공보(2009년 8월 5일 발행)Patent Document 1: Japanese Patent No. 4307510 (issued August 5, 2009)

그렇지만, 상기 종래의 장치에서는 이하의 문제가 있다. However, the above conventional apparatus has the following problems.

우선, 기판에 대하여 편광 필름을 접합하는 경우, 먼지 등의 이물이 접합면으로 혼입하는 것을 회피하기 위해, 클린 룸에서 작업이 이루어지는 것이 통상이다. 그리고, 클린 룸에서는, 공기가 정류(整流)되어 있다. 기판에 대하여 하강 기류(down flow)에 의해 정류가 된 상태에서 편광 필름의 접합이 이루어지는 것이, 이물에 의한 수율 저하를 억제하기 위해 필요하기 때문이다. First, when a polarizing film is bonded to a substrate, work is usually performed in a clean room in order to prevent foreign matter such as dust from mixing into the bonding surface. In the clean room, air is rectified. This is because it is necessary for the polarizing film to be bonded in a state in which the substrate is rectified by a down flow with respect to the substrate in order to suppress the yield reduction due to foreign matter.

이 점에 관하여, 특허 문헌 1의 제조 시스템은, 기판에 대하여, 상면 및 하면으로부터 편광 필름을 접합하는 구성으로 되어 있다. 그러나, 편광 필름의 상면으로부터 접합을 행하는 경우, 기류(하강 기류)가 편광 필름에 의해 방해되고, 기판으로의 정류 환경이 악화되어 버린다고 하는 단점이 있다. 편광 필름의 상면으로부터 접합을 행하는 경우의 예로서, 도 20의 (a) 및 도 20의 (b)에 상부 접합형 제조 시스템에서의 기류의 속도벡터를 나타낸다. 도 20에서의 영역 A는 편광 필름을 권출하는 권출부 등이 설치되는 영역이고, 영역 B는 주로 편광 필름이 통과하는 영역이며, 그리고 영역 C는 편광 필름으로부터 제거된 박리 필름을 권취하는 권취부 등이 설치되는 영역이다. In this regard, the manufacturing system of Patent Document 1 is configured to bond a polarizing film from an upper surface and a lower surface to a substrate. However, when bonding is performed from the upper surface of a polarizing film, there exists a disadvantage that airflow (falling airflow) is interrupted by a polarizing film, and the rectifying environment to a board | substrate worsens. As an example in the case of bonding from the upper surface of a polarizing film, the velocity vector of the airflow in a top bonding type | mold manufacturing system is shown to FIG. 20 (a) and FIG. 20 (b). The area A in FIG. 20 is an area where unwinding portions and the like are wound up the polarizing film, the area B is mainly a region through which the polarizing film passes, and the area C is a winding portion winding up the release film removed from the polarizing film. It is an area where lamps are installed.

또, HEPA(High Efficiency Particulate Air) 필터(40)로부터는 클린 에어가 공급된다. 또한, 도 20의 (a)에서는, 클린 에어가 통과 가능한 그레이팅(grating, 41)이 설치되어 있기 때문에 그레이팅(41)을 통하여 기류가 수직 방향으로 이동하는 것이 가능하다. 한편, 도 20의 (b)에서는, 그레이팅(41)이 설치되어 있지 않기 때문에, 기류는 도 20의 (b) 최하부의 바닥에 접촉한 후, 바닥을 따라 이동하게 된다. Clean air is supplied from the HEPA (High Efficiency Particulate Air) filter 40. In addition, in FIG. 20A, since the grating 41 through which clean air can pass is provided, it is possible to move the airflow in the vertical direction through the grating 41. On the other hand, in FIG. 20B, since the grating 41 is not provided, the airflow moves along the bottom after contacting the bottom of the lowermost part of FIG. 20B.

도 20의 (a)·(b)에는, 영역 A ~ C가 2F(2층) 부분에 배치되어 있어, HEPA 필터(40)로부터의 클린 에어가 편광 필름에 의해 방해된다. 따라서, 2F 부분을 통과하는 기판에 대하여 수직 방향을 향하는 기류가 생기기 어렵다. 이것에 대하여, 수평 방향의 기류 벡터는 큰(벡터의 밀도가 높은) 상태로 되어 있다. 즉, 정류 환경이 악화된 상태라고 말할 수 있다. In FIG.20 (a) (b), area | regions A-C are arrange | positioned in 2F (two layers) part, and clean air from the HEPA filter 40 is obstructed by a polarizing film. Therefore, it is difficult to generate an air current directed in the vertical direction with respect to the substrate passing through the 2F portion. On the other hand, the airflow vector in the horizontal direction is large (the density of the vector is high). That is, it can be said that the rectification environment is deteriorated.

본 발명은, 상기 종래의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로서, 그 목적은, 정류 환경을 방해하지 않는 편광 필름의 접합 장치 및 이를 구비하는 액정 표시 장치의 제조 시스템을 제공하는 것에 있다. This invention is made | formed in view of the said conventional problem, The objective is to provide the bonding apparatus of the polarizing film which does not disturb a rectifying environment, and the manufacturing system of the liquid crystal display device provided with the same.

청구항 1에 기재된 본 발명(제1 발명)의 편광 필름의 접합 장치는, 상기 과제를 해결하기 위해서, 장방형의 기판을 긴 변 또는 짧은 변이 반송 방향을 따른 상태로 반송하는 제1 기판 반송 기구와, 상기 제1 기판 반송 기구에서의 상기 기판의 하면(下面)에 편광 필름을 접합하는 제1 접합부와, 상기 제1 기판 반송 기구에 의해 반송된 상기 기판을 반전시켜 제2 기판 반송 기구에 배치하는 반전 기구와, 상기 기판을 짧은 변 또는 긴 변이 반송 방향을 따른 상태로 반송하는 제2 기판 반송 기구와, 상기 제2 기판 반송 기구에서의 상기 기판의 하면에 편광 필름을 접합하는 제2 접합부를 포함하는 편광 필름 접합 장치로서, 상기 제1 기판 반송 기구와 제2 기판 반송 기구는 동일 방향을 향해서 배치되어 있고, 상기 반전 기구는 상기 기판을 흡착하는 흡착부와, 상기 흡착부에 연결되어 있고, 기판을 반전시키는 기판 반전부를 구비하고 있으며, 상기 기판 반전부는, 제1 기판 반송 기구에서의 기판을, (1) 곡선을 그리도록, (2) 반전시키면서, (3) 제1 기판 반송 기구의 반송 방향을 따른 긴 변 또는 짧은 변이 반송 방향에 대해서 직교하는 방향을 따르도록, 제2 기판 반송 기구에 배치하는 것을 구비하는 것이다. In order to solve the said subject, the bonding apparatus of the polarizing film of this invention (1st invention) of Claim 1 is a 1st board | substrate conveyance mechanism which conveys a rectangular board | substrate in the state along a conveyance direction with a long side, or a short side, A first bonding portion for bonding the polarizing film to the lower surface of the substrate in the first substrate transfer mechanism, and an inversion in which the substrate transferred by the first substrate transfer mechanism is inverted and placed in the second substrate transfer mechanism A mechanism, a second substrate conveying mechanism for conveying the substrate in a state in which a short side or a long side is along the conveying direction, and a second bonding portion for bonding a polarizing film to a lower surface of the substrate in the second substrate conveying mechanism. As a polarizing film bonding apparatus, the said 1st board | substrate conveyance mechanism and the 2nd board | substrate conveyance mechanism are arrange | positioned toward the same direction, The said inversion mechanism is an adsorption | suction part which adsorb | sucks the said board | substrate, and It is connected to the adsorption | suction part, and has the board | substrate inversion part which inverts a board | substrate, The said board | substrate inversion part (3), while inverting (2) the board | substrate in a 1st board | substrate conveyance mechanism to draw a curve, (3) It arrange | positions to a 2nd board | substrate conveyance mechanism so that the long side or short side along the conveyance direction of a 1st board | substrate conveyance mechanism may follow the direction orthogonal to a conveyance direction.

상기의 제1 발명에 의하면, 제1 접합부에 의해서 기판의 하면에 편광 필름을 접합하고, 반전 기구에 의해서, 제1 기판 반송 기구에서의 기판을 반전시켜, 제1 기판 반송 기구의 반송 방향을 따른 긴 변 또는 짧은 변이 반송 방향에 대해서 직교하는 방향을 따르는 상태로, 제2 기판 반송 기구에 배치할 수 있고, 그 후, 제2 접합부에 의해서 기판의 하면에 편광 필름을 접합할 수 있다. 즉, 기판의 양면에 대해서, 하면으로부터 편광 필름을 접합할 수 있기 때문에, 정류 환경을 방해하지 않는다. 또, 반전 기구의 동작은 하나의 동작이기 때문에, 택트 타임(tact time)이 짧다. 따라서, 택트 타임이 짧은 접합도 실현할 수 있다. 게다가, 상기 제1 기판 반송 기구와 제2 기판 반송 기구가 동일 방향을 향해서 배치되어 있다. 즉, L자형 형상 등의 복잡한 구조를 가지지 않는다. 따라서, 본 발명에 관한 접합 장치는, 설치가 매우 간편하고, 면적 효율이 뛰어나다. According to said 1st invention, a polarizing film is bonded to the lower surface of a board | substrate by a 1st bonding part, the board | substrate in a 1st board | substrate conveyance mechanism is inverted by an inversion mechanism, and it follows the conveyance direction of a 1st board | substrate conveyance mechanism. It can arrange | position to a 2nd board | substrate conveyance mechanism in the state along which the long side or the short side is orthogonal to a conveyance direction, and a polarizing film can be bonded to the lower surface of a board | substrate by a 2nd bonding part after that. That is, since a polarizing film can be bonded to both surfaces of a board | substrate from a lower surface, it does not disturb a rectifying environment. In addition, since the operation of the inversion mechanism is one operation, the tact time is short. Therefore, a short junction with a short tact time can be realized. In addition, the said 1st board | substrate conveyance mechanism and the 2nd board | substrate conveyance mechanism are arrange | positioned toward the same direction. That is, it does not have a complicated structure such as an L-shaped shape. Therefore, the bonding apparatus which concerns on this invention is very easy to install, and is excellent in area efficiency.

청구항 2에 기재된 본 발명(제2 발명)의 편광 필름의 접합 장치는, The bonding apparatus of the polarizing film of this invention (2nd invention) of Claim 2 is

장방형의 기판을 긴 변 또는 짧은 변이 반송 방향을 따른 상태로 반송하는 제1 기판 반송 기구와, A first substrate conveying mechanism for conveying a rectangular substrate in a state in which a long side or a short side is along the conveying direction;

상기 제1 기판 반송 기구에서의 상기 기판의 하면에 편광 필름을 접합하는 제1 접합부와, A first bonding portion for bonding a polarizing film to a lower surface of the substrate in the first substrate transport mechanism,

상기 제1 기판 반송 기구에 의해 반송된 상기 기판을 지지하는 기판 지지부를 구비한 기판 지지 장치와, A substrate support device having a substrate support portion for supporting the substrate conveyed by the first substrate transfer mechanism;

상기 기판 지지부에 연결하여 해당 기판 지지부에 지지된 기판을 반전시켜 배치하는 기판 반전부를 구비한 반전 기구와, An inversion mechanism having a substrate inversion portion connected to the substrate support portion to invert and place the substrate supported on the substrate support portion;

상기 반전 기구에 의해서 반전시킴과 아울러 짧은 변 또는 긴 변이 반송 방향을 따른 상태로 배치된 상기 기판을 반송하는 제2 기판 반송 기구와, A second substrate conveyance mechanism for inverting by the inversion mechanism and conveying the substrate arranged in a state in which a short side or a long side is along the conveying direction;

상기 제2 기판 반송 기구에서의 상기 기판의 하면에 편광 필름을 접합하는 제2 접합부를 포함하는 편광 필름 접합 장치로서,As a polarizing film bonding apparatus containing the 2nd bonding part which bonds a polarizing film to the lower surface of the said board | substrate in a said 2nd board | substrate conveyance mechanism,

상기 제1 기판 반송 기구와 제2 기판 반송 기구는 동일 방향을 향해서 배치되어 있으며,The said 1st board | substrate conveyance mechanism and the 2nd board | substrate conveyance mechanism are arrange | positioned toward the same direction,

상기 반전 기구는, 상기 기판의 표면(表面)이 이면(裏面)이 되도록 기판 반전부를 반전시키는 반전축 및 상기 제1 기판 반송 기구에서 반송되는 상기 기판의 배치 방향으로부터 상기 제2 기판 반송 기구에서 반송되는 상기 기판의 배치 방향으로 배치 변경부에 의해서 변경되는 배치 변경축 주위로 일정 각도 범위로 회전시키는 것에 의해, 상기 제1 기판 반송 기구에서 반송된 상기 기판을 원호 궤적을 그려 반전시킴과 아울러, 상기 제2 기판 반송 기구에서의 기판의 반송 방향을 따르도록 배치를 변경하여, 상기 제2 기판 반송 기구에 대해서 배치되도록 구성되어 있는 것이다. The said reverse mechanism conveys by a 2nd board | substrate conveyance mechanism from the reverse axis which inverts a board | substrate inversion part so that the surface of the said board | substrate may be a back surface, and the arrangement direction of the board | substrate conveyed by the said 1st board | substrate conveyance mechanism. By rotating the substrate conveyed by the first substrate transfer mechanism by drawing a circular arc trajectory by rotating the substrate in a predetermined angle range around the arrangement change axis changed by the arrangement change unit in the arrangement direction of the substrate. It is comprised so that arrangement | positioning may be changed so that it may follow the conveyance direction of the board | substrate in a 2nd board | substrate conveyance mechanism, and it arrange | positions with respect to the said 2nd board | substrate conveyance mechanism.

청구항 3에 기재된 본 발명(제3 발명)의 편광 필름의 접합 장치는, The bonding apparatus of the polarizing film of this invention (third invention) of Claim 3 is

제2 발명에 있어서, In the second invention,

상기 반전 기구는, 상기 기판 반전부가 상기 배치 변경부에 회전 가능하게 배설(配設)된 상기 반전축을 구비하는 반전축부에 연결하여, 회전 구동원에 의해서 각각 회전 구동되도록 구성되어 있는 것이다. The said inversion mechanism is comprised so that the said board | substrate inversion part may be connected to the inversion shaft part provided with the said inversion shaft rotatably arrange | positioned at the said arrangement change part, and will be rotationally driven by a rotation drive source, respectively.

청구항 4에 기재된 본 발명(제4 발명)의 편광 필름의 접합 장치는, The bonding apparatus of the polarizing film of this invention (4th invention) of Claim 4 is

제2 발명에 있어서, In the second invention,

상기 반전 기구는, 상기 배치 변경부가 상기 반전축을 구비하는 반전축부에 연결한 상기 기판 반전부에 상대 회전 가능하게 배설되며, 회전 구동원에 의해서 각각 회전 구동되도록 구성되어 있는 것이다. The said inversion mechanism is arrange | positioned so that a relative rotation part is arrange | positioned at the said board | substrate inversion part connected to the inversion shaft part provided with the said inversion shaft, and is rotated by a rotation drive source, respectively.

청구항 5에 기재된 본 발명(제5 발명)의 편광 필름의 접합 장치는, The bonding apparatus of the polarizing film of this invention (5th invention) of Claim 5 is

제2 발명 내지 제4 발명 중 어느 하나에 있어서, In any one of 2nd invention-4th invention,

상기 기판 지지 장치의 상기 기판 지지부가, 상기 제1 기판 반송 기구에 의해 반송된 상기 기판의 양면을 협착(挾着)하여 지지하는 복수의 지지 부재에 의해서 구성되어 있는 것이다. The said board | substrate support part of the said board | substrate support apparatus is comprised by the some support member which clamps and supports both surfaces of the said board | substrate conveyed by the said 1st board | substrate conveyance mechanism.

청구항 6에 기재된 본 발명(제6 발명)의 편광 필름의 접합 장치는, The bonding apparatus of the polarizing film of this invention (6th invention) of Claim 6 is

상기 기판 지지 장치의 상기 기판 지지부가, 상기 제1 기판 반송 기구에 의해 반송된 상기 기판의 표면을 흡착하는 흡착부를 구비한 흡착 부재에 의해서 구성되어 있는 것이다. The said board | substrate support part of the said board | substrate support apparatus is comprised by the adsorption | suction member provided with the adsorption | suction part which adsorb | sucks the surface of the said board | substrate conveyed by the said 1st board | substrate conveyance mechanism.

청구항 7에 기재된 본 발명(제7 발명)의 편광 필름의 접합 장치는, The bonding apparatus of the polarizing film of this invention (7th invention) of Claim 7 is

제3 발명 또는 제4 발명에 있어서, In the third invention or the fourth invention,

상기 기판 지지 장치가, 상기 기판의 반전 동작을 행하는 기판 반전부에 연결한 부재에 배설되고, 상기 제1 기판 반송 기구 및 제2 기판 반송 기구의 단부로 진입하는 제1 지지 부재와 제2 지지 부재와의 상대적 이동에 의해서, 상기 제1 지지 부재와 제2 지지 부재와의 사이에 상기 제1 기판 반송 기구로부터 반송된 상기 기판을, 협착하는 것에 의해서 지지됨과 아울러, 상기 제1 지지 부재와 제2 지지 부재와의 상대적 이동에 의해서, 상기 기판 반전부에 의해서 반전된 상기 제1 지지 부재와 제2 지지 부재와의 사이에 협착되는 것에 의해서 지지된 상기 기판을, 협착에 의한 지지를 해제하여, 상기 제2 기판 반송 기구의 단부에 재치(載置)하도록 구성되어 있는 것이다. The substrate supporting apparatus is disposed on a member connected to a substrate inverting unit which performs the inverting operation of the substrate, and the first supporting member and the second supporting member entering the ends of the first substrate conveying mechanism and the second substrate conveying mechanism. By the relative movement with the said 2nd support member, the said board | substrate conveyed from the said 1st board | substrate conveyance mechanism is supported by clamping, and the said 1st support member and 2nd By the relative movement with the supporting member, the substrate supported by being clamped between the first supporting member and the second supporting member inverted by the substrate inverting portion is released by the narrowing, and the It is comprised so that it may be mounted to the edge part of a 2nd board | substrate conveyance mechanism.

청구항 8에 기재된 본 발명(제8 발명)의 편광 필름의 접합 장치는, The bonding apparatus of the polarizing film of this invention (8th invention) of Claim 8 is

상기 제1 기판 반송 기구의 단부가, 폭 방향으로 복수의 부분으로 분할되며, 서로 이웃하는 부분의 사이에 상기 제1 및 제2 지지 부재를 구성하는 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부가 진입하는 복수의 간극이 형성되어 있음과 아울러, 상기 제2 기판 반송 기구의 단부가, 반송 방향으로 복수의 부분으로 분할되며, 서로 이웃하는 부분의 사이에 반전한 상기 제1 및 제2 지지 부재를 구성하는 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부가 진입하는 복수의 간극이 형성되어 있는 것이다. End portions of the first substrate transfer mechanism are divided into a plurality of portions in the width direction, and a plurality of protrusions of the first and second comb-shaped members constituting the first and second support members between adjacent portions. The first and second supporting members, in which a plurality of gaps into which is entered, are formed, and an end portion of the second substrate transfer mechanism is divided into a plurality of portions in a conveying direction and inverted between neighboring portions. A plurality of gaps in which a plurality of protrusions of the first and second comb-shaped members constituting the inlet enters are formed.

청구항 9에 기재된 본 발명(제9 발명)의 편광 필름의 접합 장치는, The bonding apparatus of the polarizing film of this invention (ninth invention) of Claim 9 is

제8 발명에 있어서, In the eighth invention,

상기 제1 및 제2 지지 부재를 구성하는 복수의 돌출부를 구비한 제1 및 제2 빗 모양 부재가, 일부를 지점(支點)으로 하여 일정 각도 범위에서 요동하도록 구성되어 있는 것이다. The 1st and 2nd comb-shaped members provided with the some protrusion part which comprises the said 1st and 2nd support member are comprised so that it may oscillate in fixed angle range at a part as a point.

청구항 10에 기재된 본 발명(제10 발명)의 편광 필름의 접합 장치는, The bonding apparatus of the polarizing film of this invention (tenth invention) of Claim 10 is

제9 발명에 있어서, In the ninth invention,

상기 제1 및 제2 지지 부재를 구성하는 복수의 돌출부를 구비한 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재가, 요동 구동 기구에 의해서 요동 구동되도록 구성되어 있는 것이다. The said 1st and 2nd comb-shaped members provided with the some protrusion part which comprises the said 1st and 2nd support member are comprised so that it may be rock-driven by a rocking drive mechanism.

청구항 11에 기재된 본 발명(제11 발명)의 편광 필름의 접합 장치는, The bonding apparatus of the polarizing film of this invention (11th invention) of Claim 11 is

제10 발명에 있어서, In the tenth invention,

상기 요동 구동 기구는, 상기 제1 지지 부재를 구성하는 복수의 돌출부를 구비한 상기 제1 빗 모양 부재를 요동 구동하는 제1 요동 구동 기구와, 제2 지지 부재를 구성하는 복수의 돌출부를 구비한 상기 제2 빗 모양 부재를 요동 구동하는 제2 요동 구동 기구로 이루어지는 것이다. The oscillation drive mechanism includes a first oscillation drive mechanism for oscillating the first comb-shaped member including the plurality of protrusions constituting the first support member, and a plurality of protrusions constituting the second support member. It consists of a 2nd oscillation drive mechanism which oscillates and drives the said 2nd comb-shaped member.

청구항 12에 기재된 본 발명(제12 발명)의 편광 필름의 접합 장치는, The bonding apparatus of the polarizing film of this invention (12th invention) of Claim 12 is

제8 발명에 있어서, In the eighth invention,

상기 제1 및 제2 지지 부재를 구성하는 복수의 돌출부를 구비한 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재가, 일방향에서 상대적으로 접근 또는 이격(離隔)하여 대향 간격이 변화하도록 왕복 이동 가능하게 구성되어 있는 것이다. The first and second comb-shaped members having a plurality of protrusions constituting the first and second support members are configured to be reciprocally movable so that their opposing intervals change by relatively approaching or spaced apart in one direction. It is.

청구항 13에 기재된 본 발명(제13 발명)의 편광 필름의 접합 장치는, The bonding apparatus of the polarizing film of this invention (13th invention) of Claim 13 is

제12 발명에 있어서, In the twelfth invention,

상기 제1 및 제2 지지 부재를 구성하는 복수의 돌출부를 구비한 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재가, 직선적 구동 기구에 의해서 구동되어, 왕복 이동하도록 구성되어 있는 것이다. The said 1st and 2nd comb-shaped members provided with the some protrusion part which comprises the said 1st and 2nd support member are driven by a linear drive mechanism, and are comprised so that it may reciprocate.

또, 청구항 14에 기재된 본 발명(제14 발명)의 편광 필름의 접합 장치에서는, 상기 제1 기판 반송 기구 및 제2 기판 반송 기구가 일직선 상에 배치되어 있고, 제1 기판 반송 기구에서의 제2 기판 반송 기구측의 단부에서, 제1 기판 반송 기구의 반송 방향에 대해서 수평인 양방향을 따라서, 기판 재치부 및 상기 반전 기구가 2쌍씩 구비되며, 상기 단부에는, 상기 단부로부터 상기 기판 재치부로 기판을 반송하는 반송 수단이 구비되어 있고, 상기 반전 기구는 상기 기판 재치부의 각각으로 반송된 기판을 반전시켜 제2 기판 반송 기구에 배치하는 것이 바람직하다. Moreover, in the bonding apparatus of the polarizing film of this invention (14th invention) of Claim 14, the said 1st board | substrate conveyance mechanism and the 2nd board | substrate conveyance mechanism are arrange | positioned on a straight line, and the 2nd in a 1st board | substrate conveyance mechanism At an end portion on the substrate conveyance mechanism side, two pairs of substrate placing portions and the inversion mechanism are provided along both directions horizontal to the conveyance direction of the first substrate conveyance mechanism, and the end portion is provided with the substrate from the end portion to the substrate placing portion. It is preferable that the conveying means to convey is provided, and the said inversion mechanism inverts the board | substrate conveyed by each of the said board | substrate mounting parts, and arrange | positions to a 2nd board | substrate conveyance mechanism.

상기 구성에 의하면, 반전 기구가 2개 구비되어 있기 때문에, 기판을 단위 시간당 2배 처리할 수 있다. 이것에 의해, 단위 시간당 많은 기판의 반전이 가능하기 때문에, 택트 타임이 단축된다. 게다가, 제1 기판 반송 기구 및 제2 기판 반송 기구가 일직선 상에 배치되어 있기 때문에, 보다 면적 효율이 뛰어난 구조의 접합 장치를 제공할 수 있다. According to the said structure, since two inversion mechanisms are provided, a board | substrate can be processed twice per unit time. As a result, since many substrates can be inverted per unit time, the tact time is shortened. Moreover, since the 1st board | substrate conveyance mechanism and the 2nd board | substrate conveyance mechanism are arrange | positioned in a straight line, the bonding apparatus of the structure which was more excellent in area efficiency can be provided.

또, 청구항 15에 기재된 본 발명(제15 발명)의 편광 필름의 접합 장치에서는, 편광 필름을 반송하는 제1 필름 반송 기구 및 제2 필름 반송 기구가 구비되어 있고, 상기 제1 필름 반송 기구에는, 박리 필름으로 보호된 편광 필름을 권출하는 복수의 권출부와, 편광 필름을 절단하는 절단부와, 편광 필름으로부터 박리 필름을 제거하는 제거부와, 제거된 상기 박리 필름을 권취하는 복수의 권취부가 구비되어 있고, 상기 제2 필름 반송 기구에는, 박리 필름으로 보호된 편광 필름을 권출하는 복수의 권출부와, 편광 필름을 절단하는 절단부와, 편광 필름으로부터 박리 필름을 제거하는 제거부와, 제거된 상기 박리 필름을 권취하는 복수의 권취부가 구비되어 있고, 상기 제1 기판 반송 기구 및 제2 기판 반송 기구는 상기 제1 필름 반송 기구 및 제2 필름 반송 기구의 상부에 구비되어 있으며, 상기 박리 필름이 제거된 편광 필름을 기판에 접합하는 상기 제1 접합부가 상기 제1 필름 반송 기구와 제1 기판 반송 기구와의 사이에, 상기 박리 필름이 제거된 편광 필름을 기판에 접합하는 제2 접합부가 상기 제2 필름 반송 기구와 제2 기판 반송 기구와의 사이에 각각 구비되어 있는 것이 바람직하다. Moreover, in the bonding apparatus of the polarizing film of this invention (15th invention) of Claim 15, the 1st film conveyance mechanism and 2nd film conveyance mechanism which convey a polarizing film are provided, and the said 1st film conveyance mechanism is A plurality of unwinding parts which unwind the polarizing film protected by the peeling film, the cut part which cut | disconnects a polarizing film, the removal part which removes a peeling film from a polarizing film, and the some winding part which winds up the removed said peeling film are provided. In the said 2nd film conveyance mechanism, the some unwinding part which unwinds the polarizing film protected by the peeling film, the cutting part which cut | disconnects a polarizing film, the removal part which removes a peeling film from a polarizing film, and removed A plurality of winding portions for winding the release film are provided, and the first substrate conveyance mechanism and the second substrate conveyance mechanism are formed of the first film conveyance mechanism and the second film conveyance mechanism. The polarizing film with which the said peeling film was removed was provided in the upper part, and the said 1st bonding part which bonds the polarizing film from which the said peeling film was removed to the board | substrate between the said 1st film conveyance mechanism and a 1st board | substrate conveyance mechanism It is preferable that the 2nd bonding part bonded to a board | substrate is provided between the said 2nd film conveyance mechanism and the 2nd board | substrate conveyance mechanism, respectively.

이것에 의해, 권출부 및 권취부가 복수개 구비되어 있기 때문에, 일방의 권출부에서의 편광 필름의 원반(原反)의 잔량이 적게 된 경우, 그 원반에 타방의 권출부에 구비된 원반을 연결시키는 것이 가능하다. 그 결과, 편광 필름의 권출을 정지시키지 않고, 작업을 속행할 수 있어, 생산 효율을 높일 수 있다. As a result, since a plurality of unwinding portions and a winding portion are provided, when the remaining amount of the original disk of the polarizing film in one unwinding portion becomes small, the disc provided with the other unwinding portion is connected to the disc. It is possible. As a result, the operation can be continued without stopping the unwinding of the polarizing film, and the production efficiency can be increased.

또, 청구항 16에 기재된 본 발명(제16 발명)의 편광 필름의 접합 장치에서는, 상기 제1 접합부에 의해서 기판의 하면에 편광 필름을 접합하기 전에, 기판을 세정하는 세정부를 구비하며, 상기 제1 기판 반송 기구는, 기판의 짧은 변이 반송 방향을 따른 상태로 기판을 반송하는 것이 바람직하다. Moreover, in the bonding apparatus of the polarizing film of this invention (16th invention) of Claim 16, the washing | cleaning part which wash | cleans a board | substrate is provided before bonding a polarizing film to the lower surface of a board | substrate by said 1st bonding part, The said agent It is preferable that 1 board | substrate conveyance mechanism conveys a board | substrate in the state in which the short side of a board | substrate followed the conveyance direction.

이것에 의해, 기판의 반송 방향에 대해서 기판의 긴 변이 직교하는 상태로, 세정부에 의한 기판의 세정을 행할 수 있다. 즉, 반송 방향을 따른 기판의 거리를 작게 할 수 있기 때문에, 세정에 필요한 택트 타임을 보다 단축할 수 있다. 그 결과, 생산 효율이 더 뛰어난 편광 필름의 접합 장치를 제공할 수 있다. Thereby, the board | substrate can be wash | cleaned by a washing | cleaning part in the state which the long side of a board | substrate orthogonally crosses with respect to the conveyance direction of a board | substrate. That is, since the distance of the substrate along the transport direction can be reduced, the tact time required for cleaning can be further shortened. As a result, the bonding apparatus of the polarizing film which is more excellent in production efficiency can be provided.

또, 청구항 17에 기재된 본 발명(제17 발명)의 편광 필름의 접합 장치에서는, 상기 제1 필름 반송 기구 및 상기 제2 필름 반송 기구에는, 제1 권출부로부터 권출된 편광 필름에 부착된 결점 표시를 검출하는 결점 검출부와, 상기 결점 표시를 판별하여, 상기 기판의 반송을 정지시키는 접합 회피부와, 기판과의 접합이 회피된 편광 필름을 회수하는 회수부를 가지는 것이 바람직하다. Moreover, in the bonding apparatus of the polarizing film of this invention (17th invention) of Claim 17, the fault display adhering to the said polarizing film unwound from the 1st unwinding part to the said 1st film conveyance mechanism and the said 2nd film conveyance mechanism. It is preferable to have a fault detection part which detects the said, a junction avoidance part which determines the said fault indication, and stops conveyance of the said board | substrate, and a collection | recovery part which collect | recovers the polarizing film in which bonding with the board | substrate was avoided.

상기 결점 검출부, 접합 회피부 및 회수부에 의하면, 결점을 가지는 편광 필름과 기판과의 접합을 회피할 수 있기 때문에, 수율을 높일 수 있다. According to the defect detecting portion, the joining skin and the collecting portion, the joining between the polarizing film having defects and the substrate can be avoided, and the yield can be increased.

청구항 18에 기재된 본 발명(제18 발명)의 액정 표시 장치의 제조 시스템은, 상기 편광 필름의 접합 장치와, 상기 제2 접합부에 의해서 편광 필름의 접합이 이루어진 기판에서의 접합 어긋남을 검사하는 접합 어긋남 검사 장치를 구비하는 것이다. In the manufacturing system of the liquid crystal display device of this invention (18th invention) of Claim 18, the bonding shift | offset | difference which examines the bonding shift in the bonding device of the said polarizing film and the board | substrate with which the polarizing film was bonded by the said 2nd bonding part. It is provided with an inspection apparatus.

이것에 의해, 편광 필름을 접합한 기판에 생긴 접합 어긋남을 검사하는 것이 가능하다. Thus, it is possible to inspect the deviation of the bonding caused on the substrate to which the polarizing film is bonded.

또, 청구항 19에 기재된 본 발명(제19 발명)의 액정 표시 장치의 제조 시스템에서는, 상기 접합 어긋남 검사 장치에 의한 검사 결과에 근거하여 접합 어긋남의 유무를 판정하고, 해당 판정 결과에 근거하여, 편광 필름이 접합된 기판의 분류를 행하는 분류 반송 장치를 구비하는 것이 바람직하다. Moreover, in the manufacturing system of the liquid crystal display device of this invention (19th invention) of Claim 19, presence or absence of junction shift is determined based on the inspection result by the said junction shift test | inspection apparatus, and based on the said determination result, it is polarized light It is preferable to provide the sorting conveying apparatus which classifies the board | substrate with which the film was bonded.

이것에 의해, 편광 필름이 접합된 기판에 접합 어긋남이 생긴 경우, 신속하게 불량품의 분류를 행할 수 있어, 택트 타임을 단축하는 것이 가능하다. Thereby, when joining shift | offset | difference generate | occur | produces in the board | substrate with which the polarizing film was bonded, classification of a defective product can be performed quickly and it is possible to shorten a tact time.

또, 청구항 20에 기재된 본 발명(제20 발명)의 액정 표시 장치의 제조 시스템에서는, 편광 필름의 접합 장치와, 상기 접합 장치에서의 제2 접합부에 의해서 편광 필름의 접합이 이루어진 기판에서의 이물을 검사하는 접합 이물 자동 검사 장치를 구비하는 것이 바람직하다. Moreover, in the manufacturing system of the liquid crystal display device of this invention (20th invention) of Claim 20, the foreign material in the board | substrate with which the polarizing film was bonded by the bonding apparatus of a polarizing film and the 2nd bonding part in the said bonding apparatus was carried out. It is preferable to provide the bonded foreign material automatic inspection apparatus to test | inspect.

이것에 의해, 편광 필름을 접합한 기판에 혼입한 이물을 검사하는 것이 가능하다. Thereby, it is possible to test the foreign material mixed in the board | substrate which bonded the polarizing film.

또, 청구항 21에 기재된 본 발명(제21 발명)의 액정 표시 장치의 제조 시스템에서는, 상기 접합 이물 자동 검사 장치에 의한 검사 결과에 근거하여 이물의 유무를 판정하고, 해당 판정 결과에 근거하여, 편광 필름이 접합된 기판의 분류를 행하는 분류 반송 장치를 구비하는 것이 바람직하다. Moreover, in the manufacturing system of the liquid crystal display device of this invention (21st invention) of Claim 21, presence or absence of a foreign material is determined based on the inspection result by the said bonded foreign material automatic inspection device, and based on the said determination result, it is polarized light It is preferable to provide the sorting conveying apparatus which classifies the board | substrate with which the film was bonded.

이것에 의해, 편광 필름을 접합한 기판에 이물이 혼입해 있는 경우, 신속하게 불량품의 분류를 행할 수 있어, 택트 타임을 단축하는 것이 가능하다. Thereby, when a foreign material mixes in the board | substrate which bonded the polarizing film, classification of a defective article can be performed quickly and it is possible to shorten a tact time.

또, 청구항 22에 기재된 본 발명(제22 발명)의 액정 표시 장치의 제조 시스템에서는, 상기 제2 접합부에 의해서 편광 필름의 접합이 이루어진 기판에서의 이물을 검사하는 접합 이물 자동 검사 장치를 구비하며, 상기 접합 어긋남 검사 장치에 의한 검사 결과 및 상기 접합 이물 자동 검사 장치에 의한 검사 결과에 근거하여, 접합 어긋남 및 이물의 유무를 판정하고, 해당 판정 결과에 근거하여, 편광 필름이 접합된 기판의 분류를 행하는 분류 반송 장치를 구비하는 것이 바람직하다. Moreover, in the manufacturing system of the liquid crystal display device of this invention (22nd invention) of Claim 22, the bonding foreign material automatic inspection apparatus which inspects the foreign material in the board | substrate with which the polarizing film was bonded by the said 2nd bonding part is provided, Based on the inspection result by the said bonding misalignment inspection apparatus and the inspection result by the said automatic bonding foreign material inspection apparatus, the presence or absence of a bonding deviation and a foreign material is judged, and based on the said determination result, the classification of the board | substrate with which the polarizing film was bonded was carried out. It is preferable to provide the sorting conveying apparatus to perform.

이것에 의해, 편광 필름을 접합한 기판에 접합 어긋남 또는 이물의 혼입이 생긴 경우, 신속하게 불량품의 분류를 행할 수 있어, 택트 타임을 단축하는 것이 가능하다. Thereby, when the bonding shift | offset | difference or a foreign material mixing arises in the board | substrate which bonded the polarizing film, classification of a defective product can be performed quickly and it is possible to shorten a tact time.

본 제1 발명의 편광 필름의 접합 장치는, 이상과 같이, 상기 제1 기판 반송 기구와 제2 기판 반송 기구는 동일 방향을 향해서 배치되어 있고, 상기 반전 기구는 상기 기판을 흡착하는 흡착부와, 상기 흡착부에 연결되고 있고, 기판을 반전시키는 기판 반전부를 구비하고 있으며, 상기 기판 반전부는, 제1 기판 반송 기구에서의 기판을, (1) 곡선을 그리도록, (2) 반전시키면서, (3) 제1 기판 반송 기구의 반송 방향을 따른 긴 변 또는 짧은 변이 반송 방향에 대해서 직교하는 방향을 따르도록, 제2 기판 반송 기구에 배치하는 것이다. As for the bonding apparatus of the polarizing film of this 1st invention, the said 1st board | substrate conveyance mechanism and the 2nd board | substrate conveyance mechanism are arrange | positioned toward the same direction, The said inversion mechanism is the adsorption | suction part which adsorb | sucks the said board | substrate, It is connected to the said adsorption | suction part, The board | substrate inversion part is provided, The said board | substrate inversion part inverts the board | substrate in a 1st board | substrate conveyance mechanism, (2) so that it may draw (1) curve, (3) ) It arrange | positions to a 2nd board | substrate conveyance mechanism so that the long side or short side along the conveyance direction of a 1st board | substrate conveyance mechanism may follow the direction orthogonal to a conveyance direction.

그러므로, 상기 반전 기구에 의해서 하나의 동작으로 기판을, 반전 및 반송 방향에 대한 긴 변 및 짧은 변이 변경된 상태로 할 수 있다. 이것에 의해, 기판의 양면에 대해서, 하면으로부터 편광 필름을 접합할 수 있기 때문에, 정류 환경을 방해하지 않는다. 또, 반전 기구의 동작은 단순한 하나의 동작이기 때문에, 택트 타임이 짧다. 따라서, 택트 타임이 짧은 접합도 실현할 수 있다. 게다가, 상기 제1 기판 반송 기구와 제2 기판 반송 기구가 동일 방향을 향해서 배치되어 있다. 즉, L자형 형상 등의 복잡한 구조를 가지지 않는다. 따라서, 본 제1 발명에 관한 접합 장치는, 설치가 매우 간편하고, 면적 효율이 뛰어나다고 하는 효과도 나타낸다. Therefore, it is possible to bring the substrate into a state in which the long side and the short side with respect to the inversion and conveyance directions are changed in one operation by the inversion mechanism. Thereby, since a polarizing film can be bonded from the lower surface with respect to both surfaces of a board | substrate, it does not disturb a rectifying environment. In addition, since the operation of the inversion mechanism is only one operation, the tact time is short. Therefore, a short junction with a short tact time can be realized. In addition, the said 1st board | substrate conveyance mechanism and the 2nd board | substrate conveyance mechanism are arrange | positioned toward the same direction. That is, it does not have a complicated structure such as an L-shaped shape. Therefore, the bonding apparatus which concerns on this 1st invention has the effect that installation is very easy and is excellent in area efficiency.

상기 구성에 의해 이루어지는 제2 발명의 편광 필름의 접합 장치는, 상기 반전 기구가, 상기 기판의 표면이 이면이 되도록 기판 반전부를 반전시키는 반전축 및 상기 제1 기판 반송 기구에서 반송되는 상기 기판의 배치 방향으로부터 상기 제2 기판 반송 기구에서 반송되는 상기 기판의 배치 방향으로 배치 변경부에 의해서 변경되는 배치 변경축 주위로 일정 각도 범위에서 회전시키는 것에 의해, 상기 제1 기판 반송 기구에서 반송된 상기 기판을 원호 궤적을 그려 반전시킴과 아울러, 상기 제2 기판 반송 기구에서의 기판의 반송 방향을 따르도록 배치를 변경하여, 상기 제2 기판 반송 기구에 대해서 배치되므로, 상기 기판 반전부의 일련의 원호 궤적을 그리는 반전 동작에 의해서, 상기 기판의 반전과 상기 제2 기판 반송 기구에서의 배치를 따르도록 상기 기판의 배치를 변경하기 때문에, 택트 타임을 짧게 하여, 택트 타임이 짧은 접합을 가능하게 한다고 하는 효과를 나타낸다. The bonding apparatus of the polarizing film of the 2nd invention by the said structure is an arrangement | positioning of the said board | substrate conveyed by the inversion axis | shaft which the said inversion mechanism reverses a board | substrate inversion part so that the surface of the said board | substrate may be a back surface, and the said 1st board | substrate conveyance mechanism. The substrate conveyed by the first substrate conveying mechanism by rotating in a certain angle range around the arrangement changing axis changed by the arrangement changing portion in the arrangement direction of the substrate conveyed by the second substrate conveying mechanism from the direction. By drawing and inverting the arc trajectory, the arrangement is changed so as to follow the conveying direction of the substrate in the second substrate conveying mechanism, and is arranged with respect to the second substrate conveying mechanism, thereby drawing a series of arc trajectories of the substrate inverting portion. By the inversion operation, the inversion of the substrate and the arrangement in the second substrate transfer mechanism are followed. Since the arrangement of the substrate is changed, the tact time is shortened, and the effect that the tact time can be shortened is achieved.

상기 구성에 의해 이루어지는 제3 발명의 편광 필름의 접합 장치는, 제2 발명에 있어서, 상기 반전 기구는, 상기 회전 구동원에 의해서 회전 구동되는 상기 배치 변경부에 회전 가능하게 배설된 상기 반전축을 구비하는 반전축부에 연결하고 있는 상기 기판 반전부가, 상기 회전 구동원에 의해서 회전 구동되므로, 상기 회전 구동원에 의해서 회전 구동되는 상기 기판 반전부의 일련의 원호 궤적을 그리는 반전 동작에 의해서, 상기 기판의 반전과 상기 제2 기판 반송 기구에서의 배치를 따르도록 상기 기판의 배치를 변경하기 때문에, 택트 타임을 짧게 하여, 택트 타임이 짧은 접합을 가능하게 한다고 하는 효과를 나타낸다. The bonding apparatus of the polarizing film of 3rd invention by the said structure is a 2nd invention WHEREIN: The said inversion mechanism is equipped with the said inversion shaft rotatably arrange | positioned at the said arrangement change part rotated by the said rotation drive source. Since the substrate inverting portion, which is connected to the inverting shaft portion, is rotationally driven by the rotation driving source, the substrate is inverted and the first portion is made by an inverting operation of drawing a series of arc trajectories of the substrate inverting portion that is rotationally driven by the rotation driving source. Since the arrangement | positioning of the said board | substrate is changed to follow the arrangement | positioning in 2 board | substrate conveyance mechanisms, the tact time is shortened and the effect which enables joining with short tact time is exhibited.

상기 구성에 의해 이루어지는 제4 발명의 편광 필름의 접합 장치는, 제2 발명에 있어서, 상기 반전 기구는, 상기 반전축을 구비하는 반전축부에 연결한 상기 회전 구동원에 의해서 회전 구동되는 상기 기판 반전부에 상대 회전 가능하게 배설된 상기 배치 변경부가 회전 구동원에 의해서 회전 구동되므로, 상기 회전 구동원에 의해서 회전 구동되는 상기 기판 반전부의 일련의 원호 궤적을 그리는 반전 동작에 의해서, 상기 기판의 반전과 상기 제2 기판 반송 기구에서의 배치를 따르도록 상기 기판의 배치를 변경하기 때문에, 택트 타임을 짧게 하여, 택트 타임이 짧은 접합을 가능하게 한다고 하는 효과를 나타낸다. As for the bonding apparatus of the polarizing film of 4th invention by the said structure, in 2nd invention, the said inversion mechanism is the said board | substrate inversion part rotationally driven by the said rotation drive source connected to the inversion shaft part provided with the said inversion axis | shaft. Since the arrangement changer disposed so as to be relatively rotatable is rotationally driven by a rotational drive source, the inversion of the substrate and the second substrate are performed by an inverting operation of drawing a series of arc trajectories of the substrate inversion unit that is rotationally driven by the rotational drive source. Since the arrangement | positioning of the said board | substrate is changed to follow the arrangement | positioning in a conveyance mechanism, the tact time is shortened and the effect which enables joining with short tact time is exhibited.

상기 구성에 의해 이루어지는 제5 발명의 편광 필름의 접합 장치는, 제2 발명 내지 제4 발명 중 어느 하나에 있어서, 상기 기판 지지 장치의 상기 기판 지지부를 구성하는 상기 복수의 지지 부재에 의해서, 상기 제1 기판 반송 기구에 의해 반송된 상기 기판의 양면을 협착하여 지지하므로, 상기 제1 기판 반송 기구에 의해 반송된 상기 기판을 확실히 지지함과 아울러, 지지한 상기 기판의 반전 및 배치 변경을 확실히 한다고 하는 효과를 나타낸다. As for the bonding apparatus of the polarizing film of 5th invention which consists of the said structure, in any one of 2nd invention-4th invention, it is said agent by the said some support member which comprises the said board | substrate support part of the said board | substrate support apparatus. Since both sides of the substrate conveyed by the 1st substrate conveyance mechanism are clamped and supported, the said substrate conveyed by the said 1st substrate conveyance mechanism is reliably supported, and the inversion and arrangement | positioning change of the supported substrate are ensured. Effect.

상기 구성에 의해 이루어지는 제6 발명의 편광 필름의 접합 장치는, 제2 발명 내지 제4 발명 중 어느 하나에 있어서, 상기 기판 지지 장치의 상기 기판 지지부를 구성하는 상기 흡착부를 구비한 상기 흡착 부재에 의해서, 상기 제1 기판 반송 기구에 의해 반송된 상기 기판의 표면을 흡착하므로, 상기 기판 지지부의 구성을 심플하게 하여, 경량화 및 고속 회전을 가능하게 한다고 하는 효과를 나타낸다. The bonding apparatus of the polarizing film of 6th invention by the said structure is in any one of 2nd invention-4th invention WHEREIN: The said adsorption member provided with the said adsorption part which comprises the said board | substrate support part of the said board | substrate support apparatus. Since it adsorbs the surface of the said board | substrate conveyed by the said 1st board | substrate conveyance mechanism, the structure of the said board | substrate support part is simplified, and the effect of enabling weight reduction and high speed rotation is attained.

상기 구성에 의해 이루어지는 제7 발명의 편광 필름의 접합 장치는, 제3 발명 또는 제4 발명에 있어서, 상기 기판 지지 장치가, 상기 기판의 반전 동작을 행하는 기판 반전부에 연결한 부재에 배설되고, 상기 제1 기판 반송 기구 및 제2 기판 반송 기구의 단부로 진입하는 제1 지지 부재와 제2 지지 부재와의 상대적 이동에 의해서, 상기 제1 지지 부재와 제2 지지 부재와의 사이에 상기 제1 기판 반송 기구로부터 반송된 상기 기판을, 협착하는 것에 의해서 지지함과 아울러, 상기 제1 지지 부재와 제2 지지 부재와의 상대적 이동에 의해서, 상기 기판 반전부에 의해서 반전된 상기 제1 지지 부재와 제2 지지 부재와의 사이에 협착되는 것에 의해서 지지된 상기 기판을, 협착에 의한 지지를 해제하여, 상기 제2 기판 반송 기구의 단부에 재치하므로, 심플한 구성에 의해서, 상기 제1 기판 반송 기구에 의해서 반송된 상기 기판이, 상기 제1 기판 반송 기구의 단부로 진입한 상기 제1 지지 부재 및 제2 지지 부재와의 사이에 협착되는 것에 의해서, 확실히 지지된다고 하는 효과를 나타냄과 아울러, 상기 기판 반전부에 의한 상기 기판의 반전을 가능하게 함과 동시에, 상기 기판 반전부에 의해서 반전된 상기 제1 지지 부재와 제2 지지 부재와의 사이에 협착되는 것에 의해서 지지된 상기 기판이, 협착에 의한 지지가 해제되어, 상기 제2 기판 반송 기구의 단부에 재치되는 것에 의해서, 상기 제2 기판 반송 기구에서의 상기 기판의 반송을 가능하게 한다고 하는 효과를 나타낸다. In the 3rd invention or 4th invention, the bonding apparatus of the polarizing film of 7th invention by the said structure is arrange | positioned at the member which the said board | substrate support apparatus connected to the board | substrate inversion part which performs the inversion operation of the said board | substrate, The first support member and the second support member are moved between the first support member and the second support member by relative movement between the first support member and the second support member that enter the end portions of the first substrate transfer mechanism and the second substrate transfer mechanism. The first supporting member inverted by the substrate inverting unit by supporting the substrate conveyed from the substrate conveying mechanism by narrowing, and by relative movement between the first supporting member and the second supporting member. Since the said board | substrate supported by being clamped with the 2nd support member is released by clamping, and is mounted in the edge part of the said 2nd board | substrate conveyance mechanism, it is simple in a simple structure Therefore, it is said that the said board | substrate conveyed by the said 1st board | substrate conveyance mechanism is reliably supported by being clamped between the said 1st support member and the 2nd support member which entered the edge part of the said 1st board | substrate conveyance mechanism. In addition to exhibiting an effect, it is possible to invert the substrate by the substrate inverting portion and to be supported by being caught between the first supporting member and the second supporting member inverted by the substrate inverting portion. Since the said board | substrate which became the said board | substrate is released and mounted on the edge part of the said 2nd board | substrate conveyance mechanism, the said board | substrate exhibits the effect of enabling the conveyance of the said board | substrate in a said 2nd board | substrate conveyance mechanism.

상기 구성에 의해 이루어지는 제8 발명의 편광 필름의 접합 장치는, 제3 발명 또는 제4 발명에 있어서, 상기 제1 기판 반송 기구의 단부에서의 폭 방향의 복수의 분할 부분의 서로 이웃하는 부분의 사이에 형성된 복수의 간극에, 상기 제1 및 제2 지지 부재를 구성하는 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부가 진입하는 것에 의해, 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부와의 사이에, 상기 제1 기판 반송 기구로부터 반송된 상기 기판이, 협착되는 것에 의해서 확실히 지지된다고 하는 효과를 나타냄과 아울러, 상기 제2 기판 반송 기구의 단부에서의 반송 방향의 복수의 분할 부분의 서로 이웃하는 부분의 사이에 형성된 복수의 간극에, 반전한 상기 제1 및 제2 지지 부재를 구성하는 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부가 진입하여, 반전한 상기 기판의 협착에 의한 지지가 해제되어, 상기 제2 기판 반송 기구의 단부에 재치되는 것에 의해서, 상기 제2 기판 반송 기구에서의 상기 기판의 반송 및 편광 필름의 접합을 가능하게 한다고 하는 효과를 나타낸다. In the 3rd invention or 4th invention, the bonding apparatus of the polarizing film of 8th invention comprised by the said structure WHEREIN: Between the mutually adjacent parts of the some division part of the width direction in the edge part of the said 1st board | substrate conveyance mechanism. And a plurality of protrusions of the first and second comb-shaped members by entering a plurality of protrusions of the first and second comb-like members constituting the first and second support members into a plurality of gaps formed in the gaps. While the said board | substrate conveyed from the said 1st board | substrate conveyance mechanism exhibits the effect that it is reliably supported by being pinched, and the several division part of the conveyance direction in the edge part of a said 2nd board | substrate conveyance mechanism is mutually mutually The plurality of protrusions of the first and second comb-shaped members constituting the inverted first and second support members enter the plurality of gaps formed between the neighboring portions, and the inverted portions The support by the plate-blocking is released, the first by being mounted on the end portion of the second substrate transport device, an effect which should enable the second transfer and the bonding of the polarizing film of the substrate in the substrate conveying mechanism.

상기 구성에 의해 이루어지는 제9 발명의 편광 필름의 접합 장치는, 제8 발명에 있어서, 상기 제1 기판 반송 기구의 단부에서의 폭 방향의 복수의 분할 부분의 서로 이웃하는 부분의 사이에 형성된 복수의 간극에, 상기 제1 및 제2 지지 부재를 구성하는 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부가 진입하여, 적어도 일방의 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부가, 일부를 지점(支點)으로 하여 일정 각도 범위에서 요동하는 것에 의해, 상기 제1 기판 반송 기구로부터 반송된 상기 기판이, 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부와의 사이에 협착되는 것에 의해서 확실히 지지된다고 하는 효과를 나타냄과 아울러, 상기 제2 기판 반송 기구의 단부에서의 반송 방향의 복수의 분할 부분의 서로 이웃하는 부분의 사이에 형성된 복수의 간극에, 반전한 상기 제1 및 제2 지지 부재를 구성하는 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부가 진입하여, 적어도 일방의 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부가, 일단을 지점으로 하여 일정 각도 범위에서 요동하는 것에 의해, 반전한 상기 기판의 협착에 의한 지지가 해제되어, 상기 제2 기판 반송 기구의 단부에 재치되는 것에 의해서, 상기 제2 기판 반송 기구에서의 상기 기판의 반송 및 편광 필름의 접합을 가능하게 한다고 하는 효과를 나타낸다. In the 8th invention, the bonding apparatus of the polarizing film of 9th invention made by the said structure is the some formed between the adjacent parts of the some division part of the width direction in the edge part of the said 1st board | substrate conveyance mechanism. A plurality of protrusions of the first and second comb-like members constituting the first and second support members enter the gap, and at least one of the plurality of protrusions of the first and second comb-shaped members is partially removed. By oscillating in a certain angle range as a point, the substrate conveyed from the first substrate conveying mechanism is reliably clamped between a plurality of protrusions of the first and second comb-shaped members. While exhibiting the effect of being supported, it is reversed to a plurality of gaps formed between neighboring portions of the plurality of divided portions in the conveying direction at the end of the second substrate conveyance mechanism. A plurality of protrusions of the first and second comb-shaped members constituting the first and second support members enter, and at least one of the plurality of protrusions of the first and second comb-shaped members is positioned at one end. The oscillation in a certain angle range causes the support by the narrowing of the inverted substrate to be released, and is placed on the end of the second substrate transfer mechanism to convey the substrate in the second substrate transfer mechanism. The effect of enabling bonding of a polarizing film is shown.

상기 구성에 의해 이루어지는 제10 발명의 편광 필름의 접합 장치는, 제9 발명에 있어서, 상기 제1 및 제2 지지 부재를 구성하는 복수의 돌출부를 구비한 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재가, 상기 요동 구동 기구에 의해서 요동 구동되는 것에 의해, 상기 제1 기판 반송 기구로부터 반송된 상기 기판이, 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부와의 사이에 협착되는 것에 의해서 확실히 지지된다고 하는 효과를 나타냄과 아울러, 반전한 상기 기판의 협착에 의한 지지가 해제되어, 상기 제2 기판 반송 기구의 단부에 재치되는 것에 의해서, 상기 제2 기판 반송 기구에서의 상기 기판의 반송 및 편광 필름의 접합을 가능하게 한다고 하는 효과를 나타낸다. As for the bonding apparatus of the polarizing film of 10th invention which consists of the said structure, in the 9th invention, the said 1st and 2nd comb-shaped members provided with the some protrusion part which comprises the said 1st and 2nd support member, It is said that the board | substrate conveyed from the said 1st board | substrate conveyance mechanism is reliably supported by being clamped between the some protrusion of the said 1st and 2nd comb-shaped member by being rocked-driven by the said rocking drive mechanism. While showing the effect, the support by the narrowing of the inverted substrate is released and placed on the end of the second substrate transfer mechanism, whereby the substrate is transported and the bonding of the polarizing film in the second substrate transfer mechanism. It shows the effect that it enables.

상기 구성에 의해 이루어지는 제11 발명의 편광 필름의 접합 장치는, 제10 발명에 있어서, 상기 요동 구동 기구를 구성하는 상기 제1 요동 구동 기구가, 상기 제1 지지 부재를 구성하는 복수의 돌출부를 구비한 상기 제1 빗 모양 부재를 요동 구동함과 아울러, 상기 요동 구동 기구를 구성하는 제2 요동 구동 기구가, 제2 지지 부재를 구성하는 복수의 돌출부를 구비한 상기 제2 빗 모양 부재를 요동 구동하는 것에 의해, 상기 제1 기판 반송 기구로부터 반송된 상기 기판이, 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부와의 사이에 협착되는 것에 의해서 확실히 지지된다고 하는 효과를 나타냄과 동시에, 반전한 상기 기판의 협착에 의한 지지가 해제되어, 상기 제2 기판 반송 기구의 단부에 재치되는 것에 의해서, 상기 제2 기판 반송 기구에서의 상기 기판의 반송 및 편광 필름의 접합을 가능하게 한다고 하는 효과를 나타낸다. As for the bonding apparatus of the polarizing film of 11th invention by the said structure, in the 10th invention, the said 1st rocking drive mechanism which comprises the said rocking drive mechanism is equipped with the some protrusion part which comprises the said 1st support member. In addition to oscillating the first comb-shaped member, the second oscillation drive mechanism constituting the oscillation drive mechanism oscillates the second comb member having a plurality of protrusions constituting the second support member. By doing so, the board | substrate conveyed from the said 1st board | substrate conveyance mechanism exhibits the effect that it is reliably supported by pinching between the some protrusion part of the said 1st and 2nd comb-shaped member, and reversed Half of the said board | substrate in the said 2nd board | substrate conveyance mechanism is released by the support by narrowing of the said board | substrate, and is mounted in the edge part of the said 2nd board | substrate conveyance mechanism. The effect of enabling bonding of a song and a polarizing film is shown.

상기 구성에 의해 이루어지는 제12 발명의 편광 필름의 접합 장치는, 제8 발명에 있어서, 상기 제1 기판 반송 기구의 단부에서의 폭 방향의 복수의 분할 부분의 서로 이웃하는 부분의 사이에 형성된 복수의 간극에, 상기 제1 및 제2 지지 부재를 구성하는 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부가 진입하여, 적어도 일방의 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부가, 일방향에서 상대적으로 접근하는 것에 의해, 상기 제1 기판 반송 기구로부터 반송된 상기 기판이, 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부와의 사이에 협착되는 것에 의해서 확실히 지지된다고 하는 효과를 나타냄과 아울러, 상기 제2 기판 반송 기구의 단부에서의 반송 방향의 복수의 분할 부분의 서로 이웃하는 부분의 사이에 형성된 복수의 간극에, 반전한 상기 제1 및 제2 지지 부재를 구성하는 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부가 진입하여, 적어도 일방의 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부가, 일방향에서 상대적으로 이격하는 것에 의해, 반전한 상기 기판의 협착에 의한 지지가 해제되어, 상기 제2 기판 반송 기구의 단부에 재치되는 것에 의해서, 상기 제2 기판 반송 기구에서의 상기 기판의 반송 및 편광 필름의 접합을 가능하게 한다고 하는 효과를 나타낸다. In the 8th invention, the bonding apparatus of the polarizing film of the 12th invention formed by the said structure is the some formed between the adjacent parts of the some division part of the width direction in the edge part of the said 1st board | substrate conveyance mechanism. A plurality of protrusions of the first and second comb-shaped members constituting the first and second support members enter the gap, and at least one of the plurality of protrusions of the first and second comb-shaped members is in one direction. By approaching relatively, the board | substrate conveyed from the said 1st board | substrate conveyance mechanism exhibits the effect that it is reliably supported by being clamped between the some protrusion of the said 1st and 2nd comb-shaped member, And the inverted first and second supports in a plurality of gaps formed between neighboring portions of the plurality of divided portions in the conveyance direction at the end of the second substrate conveyance mechanism. The plurality of protrusions of the first and second comb-like members constituting the member enter, and the plurality of protrusions of the at least one first and second comb-like member are relatively spaced in one direction, thereby inverting the above. The support by narrowing of a board | substrate is released, and it is mounted in the edge part of the said 2nd board | substrate conveyance mechanism, and the effect of enabling the conveyance of the said board | substrate in the said 2nd board | substrate conveyance mechanism, and the bonding of a polarizing film is exhibited.

상기 구성에 의해 이루어지는 제13 발명의 편광 필름의 접합 장치는, 제12 발명에서, 상기 직선적 구동 기구에 의해서, 상기 제1 및 제2 지지 부재를 구성하는 복수의 돌출부를 구비한 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재가 직선 구동되어, 왕복 이동하는 것에 의해, 상기 제1 기판 반송 기구로부터 반송된 상기 기판이, 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부와의 사이에 협착되는 것에 의해서 확실히 지지된다고 하는 효과를 나타냄과 아울러, 반전한 상기 기판의 협착에 의한 지지가 해제되어, 상기 제2 기판 반송 기구의 단부에 재치되는 것에 의해서, 상기 제2 기판 반송 기구에서의 상기 기판의 반송 및 편광 필름의 접합을 가능하게 한다고 하는 효과를 나타낸다.
In the twelfth invention, the bonding apparatus for the polarizing film of the thirteenth invention formed by the above-described configuration comprises the first and second parts including a plurality of protrusions that constitute the first and second supporting members by the linear driving mechanism. 2 The comb-shaped member is linearly driven and reciprocated so that the said board | substrate conveyed from the said 1st board | substrate conveyance mechanism is clamped by the some protrusion part of the said 1st and 2nd comb-shaped member. In addition to exhibiting the effect of being supported, support by the narrowing of the inverted substrate is released and placed on an end of the second substrate transfer mechanism, thereby conveying and polarizing the substrate in the second substrate transfer mechanism. The effect of enabling bonding of a film is shown.

도 1은 본 발명에 관한 제조 시스템의 일 실시예를 나타내는 단면도이다.
도 2는 도 1의 제조 시스템에서의 닙 롤의 주변 부분을 나타내는 단면도이다.
도 3은 본 실시예와 동일한 하부 접합형 제조 시스템에서의 기류의 속도벡터를 나타내는 단면도이다.
도 4는 본 실시예에서의 반전 기구에 의해서 기판을 반전시키는 과정을 나타내는 사시도이다.
도 5는 그 외의 본 실시예에서의 기판 지지 장치 및 반전 기구를 나타내는 평면도이다.
도 6은 그 외의 본 실시예에서의 지지된 기판을 반전 기구에 의해서 반전시킨 상태를 나타내는 평면도이다.
도 7은 그 외의 본 실시예에서의 반전 기구를 나타내는 부분 확대 사시도이다.
도 8은 또 그 외의 본 실시예에서의 기판 지지 장치 및 반전 기구를 나타내는 평면도이다.
도 9는 그 외의 본 실시예에서의 제1 기판 반송 기구의 하류 단부에서, 기판 지지 장치 및 반전 기구의 동작 형태를 설명하기 위한 설명도이다.
도 10은 그 외의 본 실시예에서의 제2 기판 반송 기구의 상류 단부에서, 기판 지지 장치의 동작 형태를 설명하기 위한 설명도이다.
도 11은 그 외의 본 실시예에서의 1개의 회전 구동원에 의해서 제1 및 제2 기판 지지 부재를 선택적으로 구동하는 형태와, 2개의 솔레노이드에 의해서 제1 및 제2 기판 지지 부재의 일단을 이동시키는 형태를 설명하기 위한 부분 확대 설명도이다.
도 12는 그 외의 본 실시예에서의 2개의 직선 구동원으로서의 솔레노이드에 의해서 제1 및 제2 기판 지지 부재를 왕복 이동시켜 기판을 지지하는 형태와, 기판에 접촉하는 면에 복수의 흡착부가 형성된 1개의 지지 부재에 의해서, 기판을 흡착하는 형태와, 양단에 흡착부와 피흡착부를 형성한 2개의 지지 부재에 의해서 기판을 흡착 지지하는 형태를 설명하기 위한 부분 확대 설명도이다.
도 13은 본 실시예에서, 기판이 반전할 때의 궤도를 나타내는 사시도이다.
도 14는 도 4에 나타내어지는 반전 기구에 의해서 기판을 반전시키는 과정을 나타내는 평면도이다.
도 15는 도 8에 나타내어지는 반전 기구를 나타내는 평면도, 정면도, 사시도 및 반전 과정에서의 기판 반전부의 각도 및 위치의 변화를 설명하기 위한 설명도이다.
도 16은 도 8에 나타내어지는 반전 기구의 반전 과정에서의 중간 회전 부재의 각도의 변화와 중간 회전 부재의 외주벽에 배설된 기판 반전부의 원주 방향에서의 위치의 변화를 설명하기 위한 설명도이다.
도 17은 본 실시예에 관한 접합 장치의 변형예를 나타내는 평면도이다.
도 18은 본 실시예에 관한 액정 표시 장치의 제조 시스템이 구비하는 각 부재의 관계를 나타내는 블럭도이다.
도 19는 본 실시예에 관한 액정 표시 장치의 제조 시스템의 동작을 나타내는 플로우 차트이다.
도 20은 상부 접합형 제조 시스템에서의 기류의 속도벡터를 나타내는 단면도이다. 1 is a cross-sectional view showing an embodiment of a manufacturing system according to the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a peripheral portion of the nip roll in the manufacturing system of FIG. 1.
3 is a cross-sectional view showing the velocity vector of the airflow in the bottom junction type manufacturing system similar to the present embodiment.
4 is a perspective view showing a process of inverting a substrate by the inversion mechanism in this embodiment.
5 is a plan view of the substrate support apparatus and the inversion mechanism in the other embodiment.
Fig. 6 is a plan view showing a state in which the supported substrate in the other embodiment is inverted by the inversion mechanism.
Fig. 7 is a partially enlarged perspective view showing another inversion mechanism in the present embodiment.
Fig. 8 is a plan view showing another substrate support device and an inversion mechanism in the other embodiment.
FIG. 9: is explanatory drawing for demonstrating the operation form of a board | substrate support apparatus and the inversion mechanism in the downstream end of the 1st board | substrate conveyance mechanism in this other Example.
FIG. 10: is explanatory drawing for demonstrating the operation form of the board | substrate support apparatus at the upstream end of the 2nd board | substrate conveyance mechanism in this other Example.
FIG. 11 shows a form in which the first and second substrate support members are selectively driven by one rotational drive source in this embodiment, and one end of the first and second substrate support members is moved by two solenoids. It is a partially enlarged explanatory drawing for demonstrating a form.
FIG. 12 shows a form in which the first and second substrate support members are reciprocated to support the substrate by solenoids as two linear drive sources in this embodiment, and one in which a plurality of adsorption portions are formed on the surface in contact with the substrate. It is a partial enlarged explanatory drawing for demonstrating the form which adsorb | sucks a board | substrate by a support member, and the form which adsorbs and supports a board | substrate by two support members which provided the adsorption part and the to-be-adsorbed part in both ends.
13 is a perspective view showing a trajectory when the substrate is reversed in this embodiment.
14 is a plan view illustrating a process of inverting a substrate by the inversion mechanism shown in FIG. 4.
FIG. 15 is a plan view, a front view, a perspective view, and an explanatory view for explaining a change in the angle and the position of the substrate inverting unit in the inversion process showing the inversion mechanism shown in FIG. 8.
It is explanatory drawing for demonstrating the change of the angle of the intermediate rotation member in the inversion process of the inversion mechanism shown in FIG. 8, and the change of the position in the circumferential direction of the board | substrate inversion part arrange | positioned at the outer peripheral wall of the intermediate rotation member.
17 is a plan view showing a modification of the bonding apparatus according to the present embodiment.
18 is a block diagram showing the relationship between the members included in the manufacturing system of the liquid crystal display device according to the present embodiment.
19 is a flowchart showing the operation of the manufacturing system of the liquid crystal display device according to the present embodiment.
20 is a cross-sectional view illustrating a velocity vector of airflow in the top junction type manufacturing system.

[실시예 1]Example 1

본 발명의 일 실시예에 대해서 도 1 ~ 도 9에 근거하여 설명하면 이하와 같지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다. 우선, 본 실시예에 관한 제조 시스템(액정 표시 장치의 제조 시스템)의 구성에 대해서 이하에 설명한다. 제조 시스템은, 본 발명에 관한 접합 장치를 포함하고 있다. An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 9, but the present invention is not limited thereto. First, the configuration of the manufacturing system (manufacturing system of the liquid crystal display device) according to the present embodiment will be described below. The manufacturing system includes the bonding apparatus which concerns on this invention.

도 1은 제조 시스템을 나타내는 단면도이다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 제조 시스템(100)은 2단 구조로 되어 있으며, 1F(1층) 부분은 필름 반송 기구(50)이고, 2F(2층) 부분은 기판 반송 기구를 포함하는 접합 장치(60)로 되어 있다. 1 is a cross-sectional view showing a manufacturing system. As shown in FIG. 1, the manufacturing system 100 has a two-stage structure, the 1F (1st layer) part is a film conveyance mechanism 50, and the 2F (2nd layer) part is a bonding apparatus containing a board | substrate conveyance mechanism. (60).

<필름 반송 기구><Film conveyance mechanism>

먼저, 필름 반송 기구(50)에 대해서 설명한다. 필름 반송 기구(50)는, 편광 필름(편광판)을 권출(卷出)하여 닙 롤(nip roll, (6·6a) 및 (16·16a))까지 반송하고, 불필요해진 박리 필름을 권취(卷取)하는 역할을 한다. 한편, 접합 장치(60)는 필름 반송 기구(50)에 의해 권출된 편광 필름을 기판(액정 패널, 5)에 대하여 접합하는 역할을 한다.First, the film transport mechanism 50 will be described. The film conveyance mechanism 50 unwinds a polarizing film (polarizing plate), conveys to a nip roll (6 * 6a) and (16 * 16a), and winds up the peeling film which became unnecessary.取) serves to. On the other hand, the bonding apparatus 60 plays a role of bonding the polarizing film unwound by the film conveyance mechanism 50 with respect to the board | substrate (liquid crystal panel 5).

필름 반송 기구(50)는, 제1 필름 반송 기구(51) 및 제2 필름 반송 기구(52)를 구비하고 있다. 제1 필름 반송 기구(51)는, 기판(5)의 하면(下面)에 최초로 편광 필름을 접합하는 닙 롤(6·6a)로 편광 필름을 반송한다. 한편, 제2 필름 반송 기구(52)는, 반전된 기판(5)의 하면에 편광 필름을 반송한다.The film transport mechanism 50 includes a first film transport mechanism 51 and a second film transport mechanism 52. The 1st film conveyance mechanism 51 conveys a polarizing film by the nip roll 6 * 6a which bonds a polarizing film to the lower surface of the board | substrate 5 for the first time. On the other hand, the second film transport mechanism 52 transports the polarizing film to the lower surface of the inverted substrate 5.

제1 필름 반송 기구(51)는, 제1 권출부(1), 제2 권출부(1a), 제1 권취부(2), 제2 권취부(2a), 하프 커터(3), 나이프 엣지(4), 및 결점 필름 권취 롤러(7·7a)를 구비하고 있다. 제1 권출부(1)에는 편광 필름의 원반(原反)이 설치되어 있고, 편광 필름이 권출된다. 상기 편광 필름으로서는 공지의 편광 필름을 이용하면 좋다. 구체적으로는, 폴리 비닐 알코올 필름에 요오드 등에 의해 염색이 이루어져 있고, 1축 방향으로 연신된 필름 등을 이용할 수 있다. 상기 편광 필름의 두께로서는, 특별히 한정되지 않지만, 5μm 이상, 400μm 이하의 편광 필름을 바람직하게 이용할 수 있다. The first film transporting mechanism 51 includes a first winding portion 1, a second winding portion 1a, a first winding portion 2, a second winding portion 2a, a half cutter 3, (4), and a defect film winding roller (7 · 7a). The first winding unit 1 is provided with a polarizing film raw material, and the polarizing film is wound therearound. As the polarizing film, a known polarizing film may be used. Concretely, a film or the like which is stained with iodine or the like and stretched in the uniaxial direction can be used for the polyvinyl alcohol film. The thickness of the polarizing film is not particularly limited, but a polarizing film having a size of 5 탆 or more and 400 탆 or less can be preferably used.

상기 편광 필름의 원반에서는, 흐름 방향(MD 방향)으로 흡수축의 방향이 위치하고 있다. 상기 편광 필름은 박리 필름에 의해 점착제층이 보호되어 있다. 상기 박리 필름('보호 필름' 또는 '세퍼레이터'라고도 함)으로서는, 폴리에스테르 필름, 폴리에틸렌 테레프탈레이트 필름 등을 이용할 수 있다. 상기 박리 필름의 두께로서는, 특별히 한정되지 않지만, 5μm 이상, 100μm 이하의 박리 필름을 바람직하게 이용할 수 있다.In the disk of the said polarizing film, the direction of an absorption axis is located in a flow direction (MD direction). The pressure-sensitive adhesive layer of the polarizing film is protected by a release film. As the peeling film (also referred to as a 'protective film' or a 'separator'), a polyester film, a polyethylene terephthalate film, or the like can be used. Although it does not specifically limit as thickness of the said peeling film, The peeling film of 5 micrometers or more and 100 micrometers or less can be used preferably.

제조 시스템(100)에는, 권출부가 2개, 권출부에 대응하는 권취부가 2개 구비되어 있기 때문에, 제1 권출부(1)의 원반의 잔량이 적게 된 경우, 제2 권출부(1a)에 구비된 원반을 제1 권출부(1)의 원반에 연결시키는 것이 가능하다. 그 결과, 편광 필름의 권출을 정지시키지 않고, 작업을 속행하는 것이 가능하다. 본 구성에 의해, 생산 효율을 높일 수 있다. 또한, 상기 권출부 및 권취부는 각각 복수개 구비되어 있으면 좋고, 3개 이상 구비되어 있어도 물론 좋다.Since the manufacturing system 100 includes two unwinding portions and two unwinding portions corresponding to the unwinding portions, when the remaining amount of the original disk of the first unwinding portion 1 becomes small, the second unwinding portion 1a is provided. It is possible to connect the provided disk to the disk of the 1st unwinding part 1. As a result, it is possible to continue the operation without stopping the unwinding of the polarizing film. With this configuration, it is possible to increase the production efficiency. Further, a plurality of the winding portions and the winding portions may be provided, and three or more winding portions may be provided.

하프 커터(절단부, 3)는, 박리 필름으로 보호된 편광 필름(편광 필름, 점착제층 및 박리 필름으로 구성되는 필름 적층체)을 하프 컷하여, 편광 필름 및 점착제층을 절단한다. 하프 커터(3)로서는, 공지의 부재를 이용하면 좋다. 구체적으로는, 칼날, 레이저 커터 등을 들 수 있다. 하프 커터(3)에 의해 편광 필름 및 점착제층이 절단된 후에, 나이프 엣지(제거부, 4)에 의해 박리 필름이 편광 필름으로부터 제거된다.The half cutter (cut portion) 3 cuts the polarizing film and the pressure-sensitive adhesive layer by half cutting the polarizing film (film laminate composed of polarizing film, pressure-sensitive adhesive layer and release film) protected with a release film. As the half cutter 3, a known member may be used. Specifically, a blade, a laser cutter and the like can be mentioned. After the polarizing film and the pressure-sensitive adhesive layer are cut by the half cutter 3, the release film is removed from the polarizing film by the knife edge (removing unit 4).

편광 필름과 박리 필름과의 사이에는 점착제층이 도포되어 있으며, 박리 필름이 제거된 후, 점착제층은 편광 필름측에 잔존한다. 상기 점착제층으로서는, 특별히 한정되는 것은 아니고, 아크릴계, 에폭시계, 폴리우레탄계 등의 점착제층을 들 수 있다. 점착제층의 두께는 특별히 제한되지 않지만, 통상 5 ~ 40μm이다.A pressure sensitive adhesive layer is applied between the polarizing film and the release film, and after the release film is removed, the pressure sensitive adhesive layer remains on the polarizing film side. The pressure-sensitive adhesive layer is not particularly limited, and examples thereof include acrylic, epoxy, and polyurethane pressure-sensitive adhesive layers. The thickness of the pressure-sensitive adhesive layer is not particularly limited, but is usually 5 to 40 占 퐉.

한편, 제2 필름 반송 기구(52)는, 제1 필름 반송 기구(51)와 동일한 구성이며, 제1 권출부(11), 제2 권출부(11a), 제1 권취부(12), 제2 권취부(12a), 하프 커터(13), 나이프 엣지(14) 및 결점 필름 권취 롤러(17·17a)를 구비하고 있다. 동일한 부재명을 부여한 부재에 대해서는 제1 필름 반송 기구(51)에서의 부재와 동일한 작용을 나타낸다.On the other hand, the second film transport mechanism 52 has the same structure as the first film transport mechanism 51 and has a first winding section 11, a second winding section 11a, a first winding section 12, A twin winding section 12a, a half cutter 13, a knife edge 14, and a defect film winding roller 17 占 7a. And the same member name is given to the member in the first film transport mechanism 51.

바람직한 형태로서 제조 시스템(100)은, 세정부(71)를 구비하고 있다. 세정부(71)는 닙 롤(6·6a)에 의해 기판(5)의 하면에 편광 필름을 접합하기 전에, 기판(5)을 세정한다. 세정부(71)로서는, 세정액을 분사하는 노즐 및 브러쉬 등으로 구성되는 공지의 세정부를 이용하면 좋다. 세정부(71)에 의해 접합 직전에 기판(5)을 세정하는 것에 의해서, 기판(5)의 부착 이물이 적은 상태에서 접합을 행할 수 있다.As a preferable aspect, the manufacturing system 100 includes a washing unit 71. The cleaning part 71 wash | cleans the board | substrate 5 before bonding a polarizing film to the lower surface of the board | substrate 5 with the nip roll 6 * 6a. As the cleaning section 71, a known cleaning section composed of a nozzle, a brush, and the like for spraying the cleaning liquid may be used. By washing | cleaning the board | substrate 5 just before joining with the washing | cleaning part 71, joining can be performed in the state in which the foreign material of the board | substrate 5 is few.

다음에, 도 2를 이용하여, 나이프 엣지(4)에 대해서 설명한다. 도 2는 제조 시스템(100)에서의 닙 롤(6·6a)의 주변 부분을 나타내는 단면도이다. 도 2는, 기판(5)이 왼쪽 방향으로부터 반송되고, 왼쪽 아래 방향으로부터 점착제층을 가지는(도시하지 않음, 이후 동일함) 편광 필름(5a)이 반송되는 상황을 나타내고 있다. 편광 필름(5a)에는 박리 필름(5b)이 구비되어 있고, 하프 커터(3)에 의해 편광 필름(5a) 및 점착제층이 절단되며, 박리 필름(5b)은 절단되어 있지 않는다(하프 컷).Next, the knife edge 4 is demonstrated using FIG. FIG. 2: is sectional drawing which shows the peripheral part of the nip roll 6 * 6a in the manufacturing system 100. FIG. FIG. 2 has shown the situation that the board | substrate 5 is conveyed from the left direction, and the polarizing film 5a which has an adhesive layer (not shown, same is hereafter) from the lower left direction is conveyed. The polarizing film 5a is equipped with the peeling film 5b, the polarizing film 5a and the adhesive layer are cut | disconnected by the half cutter 3, and the peeling film 5b is not cut | disconnected (half cut).

박리 필름(5b)측에는, 나이프 엣지(4)가 설치되어 있다. 나이프 엣지(4)는, 박리 필름(5b)을 박리시키기 위한 엣지 모양의 부재이며, 편광 필름(5a)과 접착력이 낮은 박리 필름(5b)이 나이프 엣지(4)를 따라 박리되게 된다.On the side of the peeling film 5b, a knife edge 4 is provided. The knife edge 4 is an edge member for peeling the peeling film 5b and the peeling film 5b having a low adhesive strength to the polarizing film 5a is peeled off along the knife edge 4. [

그 후, 박리 필름(5b)은, 도 1의 제1 권취부(2)에 권취되게 된다. 또한, 나이프 엣지를 대신하여, 점착 롤러를 이용하여 박리 필름을 권취하는 구성을 이용하는 것도 가능하다. 그 경우, 권취부와 마찬가지로, 점착 롤러를 2개소에 구비하는 것에 의해서, 박리 필름의 권취 효율을 높일 수 있다.Then, the peeling film 5b is wound up by the 1st winding part 2 of FIG. It is also possible to use a constitution in which a peeling film is wound by using an adhesive roller instead of a knife edge. In that case, the winding efficiency of a peeling film can be improved by providing an adhesive roller in two places similarly to a winding-up part.

<접합 장치><Junction device>

다음에, 접합 장치(60)에 대해서 설명한다. 접합 장치(60)는 기판(5)을 반송하고, 필름 반송 기구(50)에 의해 반송된 편광 필름을 기판에 접합한다. 도시하지 않았지만, 접합 장치(60)에서는 기판(5)의 상면에 대하여, 클린 에어가 공급되고 있다. 즉, 하강 기류의 정류가 행하여지고 있다. 이것에 의해서, 기판(5)의 반송 및 접합을 안정한 상태에서 행하는 것이 가능하다. Next, the bonding apparatus 60 is demonstrated. The bonding apparatus 60 conveys the board | substrate 5, and bonds the polarizing film conveyed by the film conveyance mechanism 50 to a board | substrate. Although not shown, clean air is supplied to the upper surface of the substrate 5 in the bonding apparatus 60. That is, rectification of the downdraft is performed. Thereby, it is possible to carry out conveyance and bonding of the board | substrate 5 in a stable state.

접합 장치(60)는 필름 반송 기구(50)의 상부에 구비되어 있다. 이것에 의해, 제조 시스템(100)의 공간 절약화를 도모할 수 있다. 도시하지 않았지만, 접합 장치(60)에는 컨베이어 롤을 구비하는 기판 반송 기구가 설치되어 있고, 이것에 의해 기판(5)이 반송 방향으로 반송된다(도 6에서 후술하는 제1 기판 반송 기구(61)· 제2 기판 반송 기구(62)가 기판 반송 기구에 해당한다).The bonding apparatus 60 is provided in the upper part of the film conveyance mechanism 50. As shown in FIG. Thereby, space saving of the manufacturing system 100 can be aimed at. Although not shown, the bonding apparatus 60 is provided with the board | substrate conveyance mechanism provided with a conveyor roll, and by this, the board | substrate 5 is conveyed in a conveyance direction (the 1st board | substrate conveyance mechanism 61 mentioned later in FIG. 6). The second substrate transfer mechanism 62 corresponds to the substrate transfer mechanism).

제조 시스템(100)에서는, 좌측으로부터 기판(5)이 반송되고, 그 후, 도면 중 우측, 즉, 제1 필름 반송 기구(51)의 상부로부터 제2 필름 반송 기구(52)의 상부로 반송된다. 기판(5)은 장방형 형상이며, 긴 변 및 짧은 변의 비율은 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 16 : 9 ~ 4 : 3의 비율로 할 수 있다. 또, 기판(5)의 구체예로서는, 예를 들면 유기 EL패널, 액정 셀의 유리 기판 패널을 들 수 있다. In the manufacturing system 100, the board | substrate 5 is conveyed from the left side, and is conveyed to the upper part of the 2nd film conveyance mechanism 52 from the right side of a figure, ie, the upper part of the 1st film conveyance mechanism 51 in the figure after that. . Although the board | substrate 5 is rectangular shape and the ratio of a long side and a short side is not specifically limited, For example, it can be set as the ratio of 16: 9-4: 3. Moreover, as a specific example of the board | substrate 5, the organic EL panel and the glass substrate panel of a liquid crystal cell are mentioned, for example.

필름 반송 기구(50)와 접합 장치(60)와의 사이에는, 접합부인 닙 롤(제1 접합부, 6·6a) 및 닙 롤(제2 접합부, 16·16a)이 각각 구비되어 있다. 닙 롤(6·6a 및 16·16a)은, 기판(5)의 하면에 박리 필름이 제거된 편광 필름을 접합하는 역할을 하는 부재이다. 또한, 기판(5)의 양면에는 하면으로부터 편광 필름이 접합되기 위해서, 닙 롤(6·6a)에서 접합된 후에, 기판(5)은 반전 기구(65)에 의해서 반전된다. 반전 기구(65)에 대해서는 후술한다. Between the film conveyance mechanism 50 and the bonding apparatus 60, the nip roll (1st bonding part, 6 * 6a) and the nip roll (2nd bonding part, 16 * 16a) which are joining parts are provided, respectively. The nip rolls 6 · 6a and 16 · 16a are members that serve to bond the polarizing film from which the release film is removed to the lower surface of the substrate 5. In addition, in order that the polarizing film may be bonded to both surfaces of the board | substrate 5, after bonding by the nip roll 6 * 6a, the board | substrate 5 is inverted by the inversion mechanism 65. As shown in FIG. The reversing mechanism 65 will be described later.

닙 롤(6·6a)로 반송된 편광 필름은, 점착제층을 매개로 기판(5)의 하면에 접합된다. 닙 롤(6·6a)로서는, 각각 압착 롤, 가압 롤 등의 공지 구성을 채용할 수 있다. 또, 닙 롤(6·6a)에서의 접합시 압력 및 온도는 적절히 조정하면 좋다. 닙 롤(16·16a)의 구성도 마찬가지이다. 또한, 도시하지 않았지만, 제조 시스템(100)에서는, 바람직한 구성으로서, 제1 권출부(1)로부터 하프 커터까지의 사이에 결점 표시(마크) 검출부가 구비되어 있고, 결점을 가지는 편광 필름이 검출되는 구성으로 되어 있다.The polarizing film conveyed by the nip roll 6 * 6a is bonded by the lower surface of the board | substrate 5 via an adhesive layer. As nip roll 6 * 6a, well-known structures, such as a press roll and a press roll, can be employ | adopted, respectively. Moreover, what is necessary is just to adjust the pressure and temperature at the time of joining in the nip roll 6 * 6a suitably. The same applies to the configuration of the nip rolls 16 · 16a. In addition, although not shown, in the manufacturing system 100, as a preferable structure, the fault display (mark) detection part is provided between the 1st unwinding part 1 to the half cutter, and the polarizing film which has a fault is detected. It is made up.

또한, 상기 결점 표시는, 편광 필름의 원반 작성시에 검출을 행하여 결점 표시를 부여한다. 또는, 결점 표시 검출부 보다도 제1 권출부(11) 또는 제2 권출부(11a)측에 구비된 결점 표시 부여부에 의해 편광 필름에 부착된다. 결점 표시 부여부는, 카메라, 화상 처리 장치 및 결점 표시 형성부에 의해 구성되어 있다. 우선, 상기 카메라에 의해 편광 필름의 촬영이 이루어지고, 해당 촬영 정보를 처리하는 것에 의해서, 결점의 유무를 검사할 수 있다. 상기 결점으로서는, 구체적으로는, 먼지 등의 이물, 피시 아이(fish eye) 등을 들 수 있다. 결점이 검출된 경우, 결점 표시 형성부에 의해 편광 필름에 결점 표시가 형성된다. 결점 표시로서는, 잉크 등의 마크가 이용된다.Further, the defect display is detected at the time of preparing the original of the polarizing film to give defect display. Or it adheres to a polarizing film by the fault display provision part provided in the 1st unwinding part 11 or the 2nd unwinding part 11a side rather than a fault display detection part. The defect display assigning section is constituted by a camera, an image processing apparatus, and a defect display forming section. First, imaging | photography of a polarizing film is performed by the said camera, and the presence or absence of a fault can be examined by processing the said imaging | photography information. Specific examples of the drawbacks include foreign matters such as dust, fish eyes, and the like. When a defect is detected, a defect display is formed on the polarizing film by the defect display forming portion. Marks such as ink are used as defect marks.

게다가, 도시하지 않은 접합 회피부는, 상기 마크를 카메라에 의해 판별하여, 접합 장치(60)에 정지 신호를 송신하여 기판(5)의 반송을 정지시킨다. 그 후, 결점이 검출된 편광 필름은, 닙 롤(6·6a)에 의해 접합이 행해지지 않고, 결점 필름 권취 롤러(회수부, 7·7a)에 의해 권취된다. 이것에 의해, 기판(5)과, 결점을 가지는 편광 필름과의 접합을 회피할 수 있다. 해당 일련의 구성이 구비되어 있으면, 결점을 가지는 편광 필름과 기판(5)과의 접합을 회피할 수 있기 때문에, 수율을 높일 수 있어 바람직하다. 결점 검출부 및 접합 회피부로서는, 공지의 검사 센서를 적절히 이용할 수 있다.In addition, the bonding avoidance part which is not shown in figure discriminates the said mark with a camera, transmits a stop signal to the bonding apparatus 60, and stops conveyance of the board | substrate 5. Thereafter, the polarizing film in which the defect is detected is not wound by the nip roll 6 · 6a, but is wound up by the defect film winding roller (recovery portion, 7 · 7a). As a result, it is possible to avoid the bonding between the substrate 5 and the polarizing film having a defect. If the said series of structures is provided, since the bonding of the polarizing film which has a fault and the board | substrate 5 can be avoided, a yield can be improved and it is preferable. A well-known inspection sensor can suitably be used as the defect detecting portion and the bonded skin.

도 1에 나타내는 바와 같이, 반전 기구(65)에 의해 기판(5)이 반전 상태로 된 후, 기판(5)은 닙 롤(16·16a)로 반송된다. 그리고, 기판(5)의 하면에 편광 필름이 접합된다. 그 결과, 기판(5)의 양면에 편광 필름이 접합하게 되어, 기판(5)의 양면에 2매의 편광 필름이 서로 다른 흡수축으로 접합된 상태가 된다. 그 후, 필요에 따라, 접합 어긋남이 생기지 않은지, 기판(5)의 양면에 대하여 검사가 이루어진다. 해당 검사는, 통상, 카메라를 구비하는 검사부 등에 의해 이루어지는 구성을 채용할 수 있다. As shown in FIG. 1, after the board | substrate 5 turns into an inverted state by the inversion mechanism 65, the board | substrate 5 is conveyed by the nip roll 16 * 16a. Then, the polarizing film is bonded to the lower surface of the substrate 5. As a result, the polarizing film is bonded to both surfaces of the substrate 5, and two polarizing films are bonded to the both surfaces of the substrate 5 with different absorption axes. Thereafter, if necessary, inspection is performed on both surfaces of the substrate 5 to see if any deviation occurs. The inspection may be performed by an inspection unit having a camera, for example.

이와 같이 제조 시스템(100)에서는, 기판(5)에 편광 필름을 접합할 때, 기판(5)의 하면으로부터 접합을 행하는 구성으로 되어, 기판(5)으로의 정류 환경을 방해하지 않는다. 이 때문에, 기판(5)의 접합면으로의 이물 혼입도 방지할 수 있어, 보다 정확한 접합이 가능해진다.Thus, in the manufacturing system 100, when bonding a polarizing film to the board | substrate 5, it becomes a structure which performs bonding from the lower surface of the board | substrate 5, and does not disturb the rectifying environment to the board | substrate 5. Therefore, it is also possible to prevent foreign matter from entering the bonding surface of the substrate 5, thereby enabling more accurate bonding.

도 3의 (a) 및 도 3의 (b)에 본 발명과 동일한 하부 접합형 제조 시스템에서의 기류의 속도벡터를 나타낸다. 도 3의 (a)·(b)에서의 영역 A는 권출부가 설치되는 영역이며, 영역 B는 주로 편광 필름이 통과하는 영역이며, 그리고 영역 C는 권취부 등이 설치되는 영역이다. 또, HEPA 필터(40)로부터는 클린 에어가 공급된다. 또한, 도 3의 (a)에서는, 클린 에어가 통과 가능한 그레이팅(41)이 설치되어 있기 때문에, 그레이팅(41)을 통하여 기류가 수직 방향으로 이동하는 것이 가능하다. 한편, 도 3의 (b)에서는, 그레이팅(41)이 설치되어 있지 않기 때문에, 기류는 바닥에 접촉한 후, 바닥을 따라 이동하게 된다.3 (a) and 3 (b) show the velocity vectors of the airflow in the bottom junction type manufacturing system similar to the present invention. In FIG.3 (a) (b), area | region A is an area | region in which a unwinding part is provided, area | region B is a area | region through which a polarizing film passes mainly, and area | region C is a area | region in which a winding part etc. are provided. Clean air is supplied from the HEPA filter 40. In addition, since the grating 41 which can pass clean air is provided in FIG.3 (a), it is possible for the air flow to move to a vertical direction through the grating 41. FIG. On the other hand, in FIG. 3 (b), since the grating 41 is not provided, the airflow moves along the floor after coming into contact with the floor.

도 3의 (a)·(b)에 나타내는 제조 시스템은 하부 접합형이기 때문에, 도 20의 (a)·(b)에서 나타낸 바와 같이, 편광 필름에 의해 HEPA 필터(40)로부터의 기류가 방해되지 않는다. 이 때문에, 기류 벡터의 방향은 거의 기판을 향하는 방향으로 되어 있고, 클린 룸에서 바람직한 정류 환경이 실현되고 있다고 말할 수 있다. 도 3의 (a)에서는, 그레이팅(41)이 설치되고, 도 3의 (b)에서는 설치되어 있지 않지만, 양 도면 모두 동일한 바람직한 상태가 나타내어져 있다. 또한, 도 3 및 도 20에서는, 기판 반송 기구는 수평으로 형성되어 있지만, 일련의 구조로 하여 설치되어 있지 않다. 이 때문에, 기판 반송 기구 사이를 기류가 통과 가능한 구성으로 되어 있다. 기판은 후술하는 반전 기구에 의해 유지된 후, 기판 반송 기구 사이를 이송되는 구성으로 되어 있다. Since the manufacturing system shown to FIG.3 (a) (b) is a bottom bonding type | mold, as shown in FIG.20 (a) (b), the airflow from the HEPA filter 40 is interrupted by a polarizing film. It doesn't work. For this reason, the direction of the airflow vector is almost the direction toward the substrate, and it can be said that the preferred rectification environment is realized in the clean room. In FIG. 3A, the grating 41 is provided, and in FIG. 3B, the grating 41 is provided, but the same preferred state is shown in both figures. In addition, although the board | substrate conveyance mechanism is formed horizontally in FIG. 3 and FIG. 20, it is not provided as a series structure. Therefore, the airflow can pass between the substrate transport mechanisms. After the board | substrate is hold | maintained by the inversion mechanism mentioned later, it is a structure which is conveyed between board | substrate conveyance mechanisms.

또, 제조 시스템(100)에서는, 우선, 기판(5)을 긴 변 폭(긴 변이 반송 방향과 직교함)으로 반송하고, 그 후, 짧은 변 폭(짧은 변이 반송 방향과 직교함)으로 반송하는 구성으로 되어 있다.Moreover, in the manufacturing system 100, first, the board | substrate 5 is conveyed by a long side width (long side orthogonal to a conveyance direction), and then conveyed by a short side width (short side orthogonal to a conveyance direction). It is made up.

<기판 지지 장치><Substrate support device>

상기 제1 기판 반송 기구(61)에서 반송된 상기 기판(5)을 반전할 때에 유지하는 기판 지지 장치는, 복수의 기판 지지 부재에 의해서 기계적으로 협착(挾着)하는 형태나, 유체압의 흡인 작용을 이용하여 흡착하는 형태, 그 외의 형태가 가능하다. The board | substrate support apparatus hold | maintained at the time of reversing the said board | substrate 5 conveyed by the said 1st board | substrate conveyance mechanism 61 is a form which pinches mechanically with a some board | substrate support member, and the suction of fluid pressure is carried out. Adsorption by using the action, and other forms are possible.

흡착부(66S)는, 도 4에 나타내어지는 바와 같이 상기 제1 기판 반송 기구(61)에서 반송된 기판(5)의 표면의 복수 개소를 흡착하는 복수의 흡착구가 개구한 복수의 흡착 부재에 의해서 구성된다. 이것에 의해 기판(5)의 표면은 흡착부(66S)에 유지된다. 흡착부(66S)로서는, 공지의 흡착부를 이용할 수 있으며, 예를 들면, 공기 흡인 방식의 흡착부를 이용할 수 있다. As shown in FIG. 4, the adsorption | suction part 66S is a some adsorption member which the several adsorption opening which adsorbs several places of the surface of the board | substrate 5 conveyed by the said 1st board | substrate conveyance mechanism 61 opened. It is composed by. As a result, the surface of the substrate 5 is held by the adsorption portion 66S. As the adsorption part 66S, a well-known adsorption part can be used, for example, the air suction system adsorption part can be used.

기판 지지 장치(66)는, 도 5 내지 도 7에 나타내어지는 바와 같이 기계적으로 협착하는 타입(type)의 것이며, 컨베이어 롤(612)을 구비하는 상기 제1 기판 반송 기구(61)의 필름 및 기판의 반송 방향의 하류 단부 및 컨베이어 롤(622)을 구비하는 상기 제2 기판 반송 기구(62)의 필름 및 기판의 반송 방향의 상류 단부에 대해서, 유격을 고려해도 간섭하지 않도록 진입하여, 반전 기구(65)의 기판 반전부(67)의 반전 동작에 따라 제1 및 제2 기판 지지부(661, 662)가 끼워져 배치되도록 구성되어 있는 기판 반송 기구에서의 기판 지지 장치에 관한 것이다. The board | substrate support apparatus 66 is of the type mechanically constricted as shown in FIGS. 5-7, and the film and board | substrate of the said 1st board | substrate conveyance mechanism 61 provided with the conveyor roll 612. A film of the second substrate conveying mechanism 62 including the downstream end in the conveying direction and the conveyor roll 622 and an upstream end in the conveying direction of the substrate are entered so as not to interfere even when the clearance is taken into consideration, The substrate support apparatus in the board | substrate conveyance mechanism comprised so that the 1st and 2nd board | substrate support parts 661 and 662 may be pinched | interposed according to the inversion operation of the board | substrate inversion part 67 of 65. FIG.

상기 기판 지지 장치(66)는, 도 5에 나타내어지는 바와 같이 필름이 접합된 기판보다 큰 사이즈의 한 쌍의 빗 모양 부재에 의해서 구성되고, 2개의 한 쌍의 빗 모양 부재가, 기판 반전부(67)에 연결한 베이스 부재(660)에 대해서 상대적으로 요동 가능하게 배설되어 있다. As shown in FIG. 5, the substrate support device 66 is constituted by a pair of comb-shaped members having a larger size than a substrate on which a film is bonded, and two pairs of comb-shaped members are formed of a substrate inverting portion ( It is arrange | positioned so that relative rotation is possible with respect to the base member 660 connected to 67).

또 기판 지지 장치(66)는, 도 8에 나타내어지는 바와 같이 택트 타임의 단축의 관점에서 수직면에서 180도의 각도 관계로 2개 배설되며, 상기 제1 및 제2 기판 반송 기구(61, 62)의 반송 방향과, 해당 반송 방향에 대해서 직교하는 폭 방향의 중간 위치에 배치된 반전 기구인 2개의 기판 반전부(67)에 연결함과 아울러, 제1 기판 반송 기구(61)의 폭 방향으로 연장하는 제1 기판 지지 장치(66)와 제2 기판 반송 기구(62)의 반송 방향으로 연장하는 제2 기판 지지 장치(66)가, 동일 평면에서 직교하는 배치 관계로 하는 것도 가능하다. 택트 타임을 더 단축하기 위해서 수직면에서 90도(60도)의 각도 관계로 기판 반전부(67)에 대해서 4개(6개)의 기판 지지 장치를 배설하는 것도 가능하다. In addition, as shown in FIG. 8, two board | substrate support apparatuses 66 are arrange | positioned by 180 degree angle relationship from a vertical plane from a viewpoint of shortening of a tact time, and the said 1st and 2nd board | substrate conveyance mechanisms 61 and 62 are carried out. While being connected to two substrate inverting sections 67 which are inverting mechanisms disposed at an intermediate position in the conveying direction and the width direction perpendicular to the conveying direction, they extend in the width direction of the first substrate conveying mechanism 61. The 2nd board | substrate support apparatus 66 extended in the conveyance direction of the 1st board | substrate support apparatus 66 and the 2nd board | substrate conveyance mechanism 62 can also be made into the arrangement relationship orthogonal to a same plane. In order to further shorten the tact time, it is also possible to arrange four (six) substrate support devices with respect to the substrate inverting portion 67 in an angle relationship of 90 degrees (60 degrees) in the vertical plane.

즉 일방의 기판 지지 장치(66)가, 도 8에 나타내어지는 바와 같이 컨베이어 롤(612)을 구비하는 상기 제1 기판 반송 기구(61)의 필름 및 기판의 반송 방향의 하류 단부에 대향하여 진입 배치되어 있을 때에는, 타방의 기판 지지 장치(66)가, 컨베이어 롤(622)을 구비하는 상기 제2 기판 반송 기구(62)의 필름 및 기판의 반송 방향의 상류 단부에 대해서, 끼워져 진입 배치되도록 구성되어 있다.That is, one board | substrate support apparatus 66 enters and arranges | positions facing the downstream end of the conveyance direction of the film of the said 1st board | substrate conveyance mechanism 61 provided with the conveyor roll 612, and a board | substrate, as shown in FIG. When the other board | substrate support apparatus 66 is provided, it is comprised so that the other board | substrate support apparatus 66 may be inserted and arrange | positioned with respect to the film of the said 2nd board | substrate conveyance mechanism 62 provided with the conveyor roll 622, and the upstream end part of the conveyance direction of a board | substrate. have.

상기 기판 지지 장치(66)는, 상기 기판의 반전 동작을 행하는 상기 기판 반전부(67)에 연결한 부재에 배설되며, 장방형의 기판을 긴 변 또는 짧은 변이 반송 방향을 따른 상태로 반송하는 제1 기판 반송 기구(61) 및 상기 기판을 짧은 변 또는 긴 변이 반송 방향을 따른 상태로 반송하는 제2 기판 반송 기구(62)의 단부로 진입하는 제1 지지 부재(661)와 제2 지지 부재(662)와의 상대적 이동에 의해서, 상기 제1 지지 부재(661)와 제2 지지 부재(662)와의 사이에 상기 제1 기판 반송 기구로부터 반송된 상기 기판(5)이, 협착되는 것에 의해서 지지됨과 아울러, 상기 제1 지지 부재(661)와 제2 지지 부재(662)와의 상대적 이동에 의해서, 상기 기판 반전부(67)에 의해서 반전된 상기 제1 지지 부재(661)와 제2 지지 부재(662)와의 사이에 협착되는 것에 의해서 지지된 상기 기판(5)이, 협착에 의한 지지가 해제되어, 상기 제2 기판 반송 기구(62)의 단부에 재치되도록 구성되어 있다. The said board | substrate support apparatus 66 is arrange | positioned at the member connected to the said board | substrate inversion part 67 which performs the inversion operation of the said board | substrate, and 1st which conveys a rectangular board | substrate in the state along the conveyance direction of a long side or a short side. The first support member 661 and the second support member 662 which enter the end of the substrate transfer mechanism 61 and the second substrate transfer mechanism 62 for carrying the substrate in a short or long side along the conveying direction. The substrate 5 conveyed from the first substrate transfer mechanism is supported by being narrowed between the first support member 661 and the second support member 662 by relative movement with Due to the relative movement between the first support member 661 and the second support member 662, the first support member 661 and the second support member 662 inverted by the substrate inverting portion 67 are moved. The said board | substrate 5 supported by being clamped in between is narrowed. It is comprised so that support by attachment may be released and it will be mounted in the edge part of the said 2nd board | substrate conveyance mechanism 62. As shown in FIG.

상기 제1 기판 반송 기구(61)의 하류측 단부가, 폭 방향으로 복수의 예를 들면 4개의 분할 부분(61A, 61B, 61C, 61D)으로 분할되며, 서로 이웃하는 분할 부분의 사이에 상기 제1 및 제2 지지 부재(661, 662)를 구성하는 대략 E자 모양의 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 예를 들면 3개의 돌출부(6611 ~ 6613, 6621 ~ 6623)가 진입하는 복수의 간극이 형성되어 있음과 아울러, 상기 제2 기판 반송 기구(62)의 상류측 단부가, 반송 방향으로 복수의 예를 들면 4개의 분할 부분(62A, 62B, 62C, 62D)으로 분할되며, 서로 이웃하는 분할 부분의 사이로 반전한 상기 제1 및 제2 지지 부재(661, 662)를 구성하는 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부(6611 ~ 6613, 6621 ~ 6623)가 진입하는 복수의 간극이 형성되어 있다. The downstream end part of the said 1st board | substrate conveyance mechanism 61 is divided into several division parts 61A, 61B, 61C, 61D, for example in the width direction, and is divided between the division parts which adjoin each other. A plurality of, for example, three protrusions 6611 to 6613 and 6621 to 6623 of the substantially E-shaped first and second comb-shaped members constituting the first and second support members 661 and 662 enter. While the gap is formed, the upstream end portion of the second substrate transfer mechanism 62 is divided into a plurality of divided portions 62A, 62B, 62C, 62D in the conveyance direction, and adjacent to each other. A plurality of protrusions 6611 to 6613 and 6621 to 6623 of the first and second comb-shaped members constituting the first and second support members 661 and 662, which are inverted between the divided portions, enter. A gap is formed.

도 5 및 도 6에 나타내어지는 바와 같이 상기 제1 기판 반송 기구(61)의 하류측 단부에 있어서, 폭 방향으로 분할된 4개의 분할 부분(61A, 61B, 61C, 61D)에는, 각각 반송 롤러(612)가 배설되며, 회전 구동 지령에 따르는 회전 구동 기구 및 회전 연결 수단(도시하지 않음)을 통하여, 동기시켜 회전 구동되고, 하면에 편향 필름이 접합된 상기 기판(5)이 도면 중 우측으로 반송되어, 정지 위치에 도달하면 정지하도록 구성되어 있다. As shown to FIG. 5 and FIG. 6, in the downstream end part of the said 1st board | substrate conveyance mechanism 61, four conveyance parts 61A, 61B, 61C, 61D divided in the width direction are respectively conveyed rollers ( 612 is provided, and the said board | substrate 5 with which the deflection film was bonded to the lower surface is conveyed to the right side in the figure through the rotation drive mechanism and rotation connection means (not shown) which follow a rotation drive command, and are bonded to the lower surface. It is configured to stop when reaching the stop position.

도 5 및 도 6에 나타내어지는 바와 같이 상기 제2 기판 반송 기구(62)의 상류측 단부에 있어서, 기판의 반송 방향에서 분할된 4개의 분할 부분(62A, 62B, 62C, 62D)에는, 각각 반송 롤러(622)가 배설되며, 회전 구동 지령에 따르는 회전 구동 기구 및 회전 연결 수단(도시하지 않음)을 통하여, 동기시켜 회전 구동되고, 기판 반전부(67)에 의해서 반전되어 상면에 편향 필름이 접합된 상기 기판(5)이 도면 중 우측의 제2 접합 장치로 반송되도록 구성되어 있다. As shown to FIG. 5 and FIG. 6, in the upstream end part of the said 2nd board | substrate conveyance mechanism 62, it conveys to four division parts 62A, 62B, 62C, 62D divided | segmented in the conveyance direction of a board | substrate, respectively. The roller 622 is disposed, is rotated in synchronization with the rotation drive mechanism and rotation connection means (not shown) according to the rotation drive command, and is inverted by the substrate inverting portion 67 to bond the deflection film to the upper surface. The said board | substrate 5 is comprised so that it may be conveyed to the 2nd bonding apparatus of the right side in a figure.

도 5 내지 도 7에 나타내어지는 바와 같이 상기 제1 및 제2 지지 부재(661, 662)는, 복수의 돌출부(6611 ~ 6613, 6621 ~ 6623)를 구비한 제1 및 제2 빗 모양 부재로서, 제어 베이스부(660) 내의 일단을 지점(支點)으로 하여 요동하는 요동 부재에 의해서 구성되어 있다. As shown in FIGS. 5 to 7, the first and second support members 661 and 662 are first and second comb members provided with a plurality of protrusions 6611 to 6613 and 6621 to 6623. It is comprised by the oscillation member which oscillates using the end in the control base part 660 as a point.

즉 상기 제1 및 제2 지지 부재(661, 662)를 구성하는 복수의 돌출부(6611 ~ 6613, 6621 ~ 6623)를 구비한 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재가, 요동 구동 기구(663)에 의해서 일정 각도 범위 예를 들면 90도의 범위에서 요동 구동되도록 구성되어 있다. That is, the first and second comb-shaped members having a plurality of protrusions 6611 to 6613 and 6621 to 6623 constituting the first and second support members 661 and 662 are provided to the swing drive mechanism 663. It is configured to oscillate in a certain angle range, for example, in a range of 90 degrees.

상기 요동 구동 기구(663)는, 도 9에 나타내어지는 바와 같이 상기 제1 지지 부재(661)를 구성하는 복수의 돌출부(6611 ~ 6613)를 구비한 상기 제1 빗 모양 부재를 요동 구동하는 도 9 중 상부의 제1 요동 구동 기구(6631)와, 제2 지지 부재(662)를 구성하는 복수의 돌출부(6621 ~ 6623)를 구비한 상기 제2 빗 모양 부재를 요동 구동하는 도 9 중 하부의 제2 요동 구동 기구(6632)로 이루어진다. The swing drive mechanism 663 swings the first comb-shaped member having a plurality of protrusions 6611 to 6613 constituting the first support member 661 as shown in FIG. 9. The lower part of FIG. 9 which rock-drives the said 2nd comb-shaped member provided with the 1st oscillation drive mechanism 6631 of the upper part, and the several protrusion parts 6621-6623 which comprise the 2nd support member 662. It consists of two swing drive mechanisms 6664.

상기 제1 요동 구동 기구(6631)는, 상기 기판의 반전 동작을 행하는 상기 기판 반전부(67)의 단부(672)에 상기 연결부(673)를 매개로 연결한 베이스 부재(660)의 일단에 배설된 전기적 구동 장치로서의 제1 모터에 의해서 구성되며, 요동 지령에 근거하는 구동력 및 요동 방향을 따라서, 상기 베이스 부재(660)에 끼워진 중간 중공축(6601)을 요동 회전시키는 것에 의해, 해당 중간 중공축(6601)에 일체적으로 연결된 상기 제1 지지 부재(661)로서의 상기 제1 빗 모양 부재를 구성하는 상기 복수의 돌출부(6611 ~ 6613)를 요동 회전시키도록 구성되어 있다. The first swing drive mechanism 6631 is disposed at one end of the base member 660 connected to the end portion 672 of the substrate inverting portion 67 that performs the inverting operation of the substrate via the connecting portion 673. The intermediate hollow shaft is constituted by a first motor serving as an electrically driven device, and the intermediate hollow shaft 6601 is pivoted by rotating the intermediate hollow shaft 6601 fitted to the base member 660 along a driving force and a swinging direction based on the swing command. The plurality of protrusions 6611 to 6613 constituting the first comb-shaped member as the first support member 661 integrally connected to the 6601 are configured to swing and rotate.

도 5 내지 도 10에 나타내어지는 바와 같이 회전 구동 지령에 따라 회전 구동 기구 및 회전 연결 수단(도시하지 않음)을 통하여, 상기 제1 기판 반송 기구(61)의 하류측 단부의 4개의 분할 부분(61A, 61B, 61C, 61D)에서, 반송 롤러(612)가 회전 구동되고, 하면에 편향 필름이 접합된 상기 기판(5)이 도면 중 우측으로 반송되어, 정지 위치에 도달하여 정지하면, 상기 제1 요동 구동 기구(6631)를 구성하는 전기적 구동 장치로서의 제1 모터가, 요동 지령에 근거하는 구동력 및 요동 방향을 따라서, 상기 베이스 부재(660)에 끼워진 중간 중공축(6601)을 반시계 방향으로 요동 회전시키는 것에 의해, 해당 중간 중공축(6601)에 일체적으로 연결된 상기 제1 빗 모양 부재를 구성하는 도 9 중 (A)에 나타내어지는 바와 같이 수직 상태의 상기 복수의 돌출부(6611 ~ 6613)를 반시계 방향으로 90도 요동 회전시키는 것에 의해, 도 9 중 (B)에 나타내어지는 바와 같이 수평 상태의 상기 제2 빗 모양 부재를 구성하는 상기 복수의 돌출부(6621 ~ 6623)와의 사이에, 정지하고 있는 하면에 편향 필름이 접합된 상기 기판(5)을 협착하여 지지하는 것이다. As shown in FIGS. 5-10, the four divided parts 61A of the downstream end part of the said 1st board | substrate conveyance mechanism 61 via a rotation drive mechanism and rotation connection means (not shown) according to a rotation drive command. , 61B, 61C, and 61D, the conveying roller 612 is driven to rotate, and when the substrate 5 on which the deflection film is bonded to the lower surface is conveyed to the right side in the drawing and reaches the stop position and stops, the first The first motor serving as the electric drive device constituting the swing drive mechanism 6631 swings the intermediate hollow shaft 6601 fitted to the base member 660 counterclockwise along the driving force and the swing direction based on the swing command. By rotating, the plurality of protrusions 6611 to 6613 in a vertical state as shown in FIG. 9A constituting the first comb-shaped member integrally connected to the intermediate hollow shaft 6601 are rotated. Counterclockwise By rotating 90 degrees, it deflects to the lower surface which is stopped between the some protrusions 6621-6623 which comprise the said 2nd comb-shaped member of a horizontal state as shown to (B) in FIG. The board | substrate 5 to which the film was bonded is clamped and supported.

상기 제2 요동 구동 기구(6632)는, 상기 기판의 반전 동작을 행하는 상기 기판 반전부(67)의 단부(672)에 상기 연결부(673)를 매개로 연결한 베이스 부재(660)의 타단에 배설된 전기적 구동 장치로서의 제2 모터에 의해서 구성되며, 그 구동력 및 요동 방향을 따라서, 상기 베이스 부재(660)에 끼워진 중심축(6602)을 요동 회전시키는 것에 의해, 해당 중심축에 일체적으로 연결된 상기 제2 지지 부재(662)로서의 상기 제2 빗 모양 부재를 구성하는 상기 복수의 돌출부(6621 ~ 6623)를 요동 회전시키도록 구성되어 있다. The second swing drive mechanism 6632 is disposed at the other end of the base member 660 connected to the end portion 672 of the substrate inverting portion 67 that performs the inverting operation of the substrate via the connecting portion 673. And a second motor as an electrically driven device, wherein the central axis 6602 fitted to the base member 660 is oscillated and rotated in accordance with the driving force and the swinging direction thereof so as to be integrally connected to the central axis. It is comprised so that the said some protrusion parts 6621-6623 which comprise the said 2nd comb-shaped member as the 2nd support member 662 may rock.

상기 복수의 돌출부(6611 ~ 6613)의 반시계 방향에서의 90도의 요동 회전에 의해, 도 9 중 (B)에 나타내어지는 바와 같이 수평 상태의 상기 제2 빗 모양 부재를 구성하는 상기 복수의 돌출부(6621 ~ 6623)와의 사이에, 정지하고 있는 하면에 편향 필름이 접합된 상기 기판(5)이 협착되어 지지되면, 후술하는 기판 반전 기구의 상기 기판 반전부(67)가 반전축 주위로 반전하므로, 도 10의 (A)에 나타내어지는 바와 같이 상기 기판(5)을 협착하고 있는 상기 복수의 돌출부(6611 ~ 6613)와 상기 복수의 돌출부(6621 ~ 6623)와의 상하 관계가 반전하여, 상기 제2 기판 반송 기구의 상류측 단부에 기판(5)을 재치(載置)한다. The plurality of protrusions constituting the second comb-like member in a horizontal state as shown in (B) in FIG. 9 by oscillating rotation of 90 degrees in the counterclockwise direction of the plurality of protrusions 6611 to 6613 ( When the board | substrate 5 with which the deflection film was bonded on the lower surface which is stopped is clamped and supported between 6621-6623, since the board | substrate inversion part 67 of the board | substrate inversion mechanism mentioned later inverts around an inversion axis, As shown in FIG. 10A, the vertical relationship between the plurality of protrusions 6611 to 6613 and the plurality of protrusions 6621 to 6623 that clamp the substrate 5 is reversed, and the second substrate is inverted. The board | substrate 5 is mounted in the upstream edge part of a conveyance mechanism.

상기 제2 요동 구동 기구(6632)를 구성하는 전기적 구동 장치로서의 제2 모터가, 요동 지령에 근거하는 구동력 및 요동 방향을 따라서, 상기 베이스 부재(660)에 끼워진 중심축(6602)을 반시계 방향으로 요동 회전시키는 것에 의해, 해당 중심축(6602)에 일체적으로 연결된 상기 제2 빗 모양 부재를 구성하는 도 10 중 (A)에 나타내어지는 바와 같이 수평 상태의 상기 복수의 돌출부(6621 ~ 6623)를 반시계 방향으로 요동 회전시키는 것에 의해, 도 10 중 (B)에 나타내어지는 바와 같이 90도 요동 회전시켜, 수직 상태로 하므로, 상기 제1 빗 모양 부재를 구성하는 상기 복수의 돌출부(6611 ~ 6613)와의 사이에, 협착하고 있던 하면에 편향 필름이 접합된 상기 기판(5)의 협착 상태를 해제하여, 상기 제2 기판 반송 기구의 반송 롤러(622)의 회전에 의해서, 제2 접합 장치로 하면에 편향 필름이 접합된 상기 기판(5)을 반송하는 것이다. The second motor serving as the electric drive device constituting the second swing drive mechanism 6632 counterclockwise rotates the central axis 6602 fitted to the base member 660 along the driving force and swing direction based on the swing command. The plurality of protrusions 6621 to 6623 in a horizontal state as shown in FIG. 10A forming the second comb-shaped member integrally connected to the central axis 6602 by swinging and rotating. Is rotated in a counterclockwise direction so as to be rotated by 90 degrees as shown in FIG. 10 (B), so as to be in a vertical state. Thus, the plurality of protrusions 6611 to 6613 constituting the first comb-shaped member ) And release the clamping state of the substrate 5 in which the deflection film is bonded to the lower surface that has been squeezed, and the second bonding device is rotated by rotation of the conveying roller 622 of the second substrate transfer mechanism. Hen The film is bonded to transport the substrate (5).

상기 요동 구동 기구(663)는, 도 11의 (A)에 나타내어지는 바와 같이 요동 구동원으로서의 1개의 모터(6630)와, 해당 모터(6630)로부터의 요동 구동력을 상기 제1 지지 부재(661)를 구성하는 복수의 돌출부(6611 ~ 6613)를 구비한 상기 제1 빗 모양 부재에 회전 연결하여 요동 구동하는 제1 클러치 수단(6633)과, 상기 요동 구동원으로서의 1개의 모터(6630)로부터의 요동 구동력을 상기 제2 지지 부재(662)를 구성하는 복수의 돌출부(6621 ~ 6623)를 구비한 상기 제2 빗 모양 부재에 회전 연결하여 요동 구동하는 제2 클러치 수단(6634)으로 구성하므로, 요동 구동원으로서의 모터(6630)를 1개로 하기 때문에, 기판 지지 장치의 간소화, 경량화에 적합하다. As shown in Fig. 11A, the swing drive mechanism 663 uses one motor 6630 as the swing drive source and the swing drive force from the motor 6630 to provide the first support member 661 with the swing support mechanism 661. The first clutch means (6633) which rotates and couples to the said 1st comb-shaped member provided with the several protrusion parts (6611-6613) which comprise, and the oscillation drive force from one motor 6630 as the oscillation drive source. Since it is comprised by the 2nd clutch means 6634 which rotationally couples to the said 2nd comb-shaped member provided with the some protrusions 6621-6623 which comprise the said 2nd support member 662, it is a motor as a swing drive source. Since 1630 is one, it is suitable for the simplification and weight reduction of the substrate support apparatus.

상기 요동 구동 기구(663)는, 도 11의 (B)에 나타내어지는 바와 같이 제1 및 제2 요동 구동원으로서 액추에이터(6635, 6636)를 이용하여, 일부를 지점으로 하여 요동하는 요동 부재에 의해서 제1 및 제2 지지 부재(661, 662)의 타단을 도면 중 상하로 이동시키는 것에 의해 구성하여, 상기 제1 및 제2 지지 부재(661, 662)를 구성하는 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부(6611 ~ 6613, 6621 ~ 6623)를 상기 지점을 중심으로 하여 일정 각도 범위 예를 들면 0도에서 ±30도 전후 각각 요동시키는 것에 의해, 상기 기판(5)의 협착 지지 및 협착 지지 상태의 해제를 가능하게 하는 형태가 가능하고, 컨트롤러(6637)에 의해서 상기 액추에이터(6635, 6636)를 구성하는 솔레노이드의 전류의 인가 제어 즉 온 오프 제어로 실현하므로, 제어가 간단하다고 하는 이점을 가진다. As shown in FIG. 11B, the oscillation drive mechanism 663 is made of a rocking member that is oscillated by using a portion of the oscillation drive mechanism as the first and the second oscillation drive sources 6635 and 6636. The first and second comb-shaped members constituting the first and second support members 661 and 662 by moving the other ends of the first and second support members 661 and 662 up and down in the drawing. The plurality of protrusions 6611 to 6613 and 6621 to 6623 of the plurality of protrusions are oscillated at a predetermined angle range, for example, from 0 degrees to ± 30 degrees, respectively, so as to narrow and support the narrowing support of the substrate 5. The state enabling the release of the state is possible, and the controller 6637 realizes the application of the current of the solenoids constituting the actuators 6635 and 6636, that is, the on-off control, so that the control is simple. .

상술에서는, 상기 제1 및 제2 지지 부재(661, 662)를 상대적으로 요동 회전하는 것에 의해, 상기 기판(5)을 협착 지지하는 예에 대해서 설명했지만, 실시 형태를 상기 제1 및 제2 지지 부재를 구성하는 복수의 돌출부를 구비한 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재가, 상하 방향에서 상대적으로 접근 또는 이격하여 대향 간격이 변화하도록 왕복 이동 가능하게 구성하는 것이 가능하다. In the above description, the example of narrowly supporting the substrate 5 by rotating the first and second support members 661 and 662 relative to each other is described, but embodiments are described as the first and second supports. The first and second comb-shaped members having a plurality of protruding portions constituting the member can be configured to be reciprocally movable so that their opposing intervals change relative to or spaced apart in the vertical direction.

즉 상기 제1 및 제2 지지 부재(661, 662)를 구성하는 복수의 돌출부(6611 ~ 6613, 6621 ~ 6623)를 구비한 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재가, 직선적 구동 기구 즉 왕복 이동 구동 기구에 의해서 구동되어, 왕복 이동하도록 구성하는 것이 가능하다. That is, the first and second comb-shaped members having a plurality of protrusions 6611 to 6613 and 6621 to 6623 constituting the first and second support members 661 and 662 are linear drive mechanisms, that is, reciprocating drive. It can be configured to be driven by a mechanism to reciprocate.

상기 직선적 구동 기구가, 도 12의 (A)에 나타내어지는 바와 같이 컨트롤러(6638C)로부터의 구동 전류에 따라 제1 및 제2 솔레노이드(6638A, 6638B) 외의 전기적 구동 장치의 도 8 중 상하 방향의 구동력에 의해서, 상기 제1 및 제2 지지 부재(661, 662) 중 적어도 일방이 상대적으로 접근하는 것에 의해, 상기 기판(5)을 협착하여 지지함과 아울러, 반전 후 상기 제2 기판 반송 기구의 상류단에서, 상기 제1 및 제2 지지 부재(661, 662) 중 적어도 일방이 상대적으로 이격하는 것에 의해, 상기 기판(5)의 협착 상태를 해제하도록 구성하는 것도 가능하다. As shown in Fig. 12A, the linear drive mechanism drives up and down in Fig. 8 of an electric drive device other than the first and second solenoids 6664A and 6638B according to the drive current from the controller 6664C. By at least one of the said 1st and 2nd support members 661 and 662 approaching relatively, the board | substrate 5 is clamped and supported, and it is upstream of the said 2nd board | substrate conveyance mechanism after inversion. However, at least one of the said 1st and 2nd support members 661 and 662 can also be comprised so that the constriction state of the said board | substrate 5 may be released.

또 상기 직선적 구동 기구가, 도 12의 (B)에 나타내어지는 바와 같이 기판 지지 부재(661)를 구성하는 빗 모양 부재의 복수의 돌출부의 기판(5)과의 접촉면에 상기 기판(5)을 흡착하는 흡착부(6639)를 복수 형성하여, 구동 장치로서의 펌프(P)로부터 공급되는 유체압에 의한 부압 흡인 작용에 의해, 상기 기판(5)을 흡착 또는 협착함으로써, 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재가 상대적으로 접근하는 것에 의해, 상기 기판을 협착하여 지지하도록 구성하는 것이 가능하고, 구동 장치로서의 펌프나 압력원을 공장 내의 적절한 개소에 설치하여 배관으로 연결하면, 기판 지지 장치의 구성을 심플하게 하여, 경량화 및 고속화가 가능하게 된다고 하는 이점을 가진다. Moreover, the said linear drive mechanism adsorb | sucks the said board | substrate 5 to the contact surface with the board | substrate 5 of the several protrusion part of the comb-shaped member which comprises the board | substrate supporting member 661, as shown to FIG. 12 (B). The first and second comb shapes are formed by adsorbing or narrowing the substrate 5 by forming a plurality of adsorption portions 6639 to be formed, and by a negative pressure suction action by the fluid pressure supplied from the pump P as a driving device. When the member is relatively close, the substrate can be configured to be narrowed and supported. When the pump or pressure source as a driving device is installed at a suitable location in the factory and connected by piping, the structure of the substrate supporting device can be simplified. This has the advantage that the weight and speed can be increased.

또 도 12의 (C)에 나타내어지는 바와 같이 제1 및 제2 지지 부재(661, 662)의 양단에 피흡착부와 흡착부(6639)를 복수 형성하여, 구동 장치로서의 진공 펌프와 같은 흡인 펌프(P)로부터 배관을 통하여 공급되는 유체압(부압)에 의한 부압 흡인 작용에 의해, 피흡착부가 상기 흡착부(6639)에 흡착되는 것에 의해, 상기 제1 지지 부재(661)를 도면 중 상부로 이동시켜, 상기 제1 및 제2 지지 부재(661, 662)와의 사이에 기판을 협착 지지하도록 구성하는 것이 가능하고, 구동 장치로서의 펌프나 압력원을 공장 내의 적절한 개소에 설치하여 배관으로 연결하면, 기판 지지 장치의 구성을 심플하게 하여, 경량화 및 고속화가 가능하게 된다고 하는 이점을 가진다. 상기 실시 형태는, 흡착부에 의한 흡인 작용에 의해 기판을 흡착하는 형태에 대해서 설명했지만, 토출구로부터 에어 그 외의 압력 유체를 토출하여, 그 가압력에 의해서 기판(5)을 지지하는 형태도 가능하다.As shown in FIG. 12C, a plurality of suction portions and suction portions 6639 are formed at both ends of the first and second support members 661 and 662, and a suction pump such as a vacuum pump as a driving device. The first supporting member 661 is moved upward in the drawing by the suction part being sucked by the suction part 6703 by the negative pressure suction action by the fluid pressure (negative pressure) supplied through the pipe from (P). It is possible to move so as to narrowly support the substrate between the first and second support members 661 and 662. If a pump or a pressure source as a drive device is provided at a suitable location in the factory and connected by piping, It has the advantage that the structure of the substrate supporting apparatus can be simplified and the weight and speed can be increased. Although the said embodiment demonstrated the form which adsorb | sucks a board | substrate by the suction effect | action by an adsorption | suction part, the form which discharges air or other pressure fluid from a discharge port, and supports the board | substrate 5 by the pressing force is also possible.

또 편광 필름의 접합 장치에서의 기판 지지 장치는, 장방형의 기판을 긴 변 또는 짧은 변이 반송 방향을 따른 상태로 반송하는 제1 기판 반송 기구(61)와, 상기 제1 기판 반송 기구(61)에서의 상기 기판의 하면에 제1 편광 필름을 접합하는 제1 접합부(6)와, 상기 기판을 짧은 변 또는 긴 변이 반송 방향을 따른 상태로 반송하는 제2 기판 반송 기구(62)와, 상기 제2 기판 반송 기구에서의 상기 기판의 하면에 제2 편광 필름을 접합하는 제2 접합부(16)와, 상기 제1 기판 반송 기구에 의해 반송되어 제1 편광 필름이 접합된 상기 기판(5)을 지지하는 기판 지지부를 구비한 기판 지지 장치(66)를 포함하는 편광 필름의 접합 장치에 있어서, 상기 기판의 반전 동작을 행하는 기판 반전부(67)에 연결한 베이스 부재(660)에 배설되며, 상기 제1 기판 반송 기구(61) 및 제2 기판 반송 기구(62)의 단부로 진입하는 제1 지지 부재(661)와 제2 지지 부재(662)와의 상대적 이동에 의해서, 상기 제1 지지 부재(661)와 제2 지지 부재(662)와의 사이에 상기 제1 기판 반송 기구(61)로부터 반송된 제1 편광 필름이 접합된 상기 기판(5)이, 협착되는 것에 의해서 지지됨과 아울러, 상기 제1 지지 부재(661)와 제2 지지 부재(662)와의 상대적 이동에 의해서, 상기 기판 반전부(67)에 의해서 반전된 상기 제1 지지 부재(661)와 제2 지지 부재(662)와의 사이에 협착되는 것에 의해서 지지된 제1 편광 필름이 접합된 상기 기판(5)이, 협착에 의한 지지가 해제되어, 상기 제2 기판 반송 기구(62)의 단부에 재치되도록 구성되어 있는 것이다. Moreover, the board | substrate support apparatus in the bonding apparatus of a polarizing film is a 1st board | substrate conveyance mechanism 61 which conveys a rectangular board | substrate in the state along a long side or a short side conveyance direction, and the said 1st board | substrate conveyance mechanism 61. 1st bonding part 6 which bonds a 1st polarizing film to the lower surface of the said board | substrate, the 2nd board | substrate conveyance mechanism 62 which conveys the said board | substrate in the state along a short side or a long side along a conveyance direction, and the said 2nd The second bonding part 16 which bonds a 2nd polarizing film to the lower surface of the said board | substrate in a board | substrate conveyance mechanism, and the said board | substrate 5 conveyed by the said 1st board | substrate conveyance mechanism, and bonded to the 1st polarizing film are supported. In the bonding apparatus of the polarizing film containing the board | substrate support apparatus 66 provided with the board | substrate support part, it is arrange | positioned at the base member 660 connected to the board | substrate inversion part 67 which performs the inversion operation of the said board | substrate, The said 1st Substrate conveyance mechanism 61 and 2nd substrate conveyance The relative movement between the first support member 661 and the second support member 662 entering the end of the mechanism 62 causes the first support member 661 and the second support member 662 to be moved between the first support member 661 and the second support member 662. While the said board | substrate 5 to which the 1st polarizing film conveyed from the 1st board | substrate conveyance mechanism 61 was bonded is supported by being clamped, and the said 1st support member 661 and the 2nd support member 662 The substrate on which the first polarizing film supported by being clamped between the first supporting member 661 and the second supporting member 662 inverted by the substrate inverting portion 67 by the relative movement is bonded. (5) is comprised so that support by narrowing is released and it is mounted in the edge part of the said 2nd board | substrate conveyance mechanism 62. As shown in FIG.

게다가 편광 필름의 접합 장치에서의 기판 지지 기구는, 장방형의 기판을 긴 변 또는 짧은 변이 반송 방향을 따른 상태로 반송하는 제1 기판 반송 기구(61)와, 상기 제1 기판 반송 기구에서의 상기 기판의 하면에 제1 편광 필름을 접합하는 제1 접합부(6)와, 상기 기판을 짧은 변 또는 긴 변이 반송 방향을 따른 상태로 반송하는 제2 기판 반송 기구(62)와, 상기 제2 기판 반송 기구에서의 상기 기판의 하면에 제2 편광 필름을 접합하는 제2 접합부(16)와, 상기 제1 기판 반송 기구(61)에 의해 반송되어 제1 편광 필름이 접합된 상기 기판을 지지하는 기판 지지부에 연결한 기판 반전부(67)의 반전 동작에 의해, 상기 기판 지지부에 지지된 상기 기판을 반전시킴과 아울러, 배치를 변경하여 제2 기판 반송 기구에 배치하도록 구성되어 있는 반전 기구를 포함하는 편광 필름의 접합 장치에 있어서, 상기 기판의 반전 동작을 행하는 상기 반전 기구의 기판 반전부(67)에 연결한 베이스 부재(660)에 배설되며, 상기 제1 기판 반송 기구(61) 및 제2 기판 반송 기구(62)의 단부로 진입하는 제1 지지 부재(661)와 제2 지지 부재(662)와의 상대적 이동에 의해서, 상기 제1 지지 부재(661)와 제2 지지 부재(662)와의 사이에 상기 제1 기판 반송 기구(61)로부터 반송된 제1 편광 필름이 접합된 상기 기판(5)이, 협착되는 것에 의해서 지지됨과 아울러, 상기 제1 지지 부재(661)와 제2 지지 부재(662)와의 상대적 이동에 의해서, 상기 기판 반전부(67)에 의해서 반전된 상기 제1 지지 부재(661)와 제2 지지 부재(662)와의 사이에 협착되는 것에 의해서 지지된 제1 편광 필름이 접합된 상기 기판(5)이, 협착에 의한 지지가 해제되어, 상기 제2 기판 반송 기구의 단부에 재치되도록 구성되어 있다. Furthermore, the board | substrate support mechanism in the bonding apparatus of a polarizing film is the 1st board | substrate conveyance mechanism 61 which conveys a rectangular board | substrate in the state along a long side or a short side conveyance direction, and the said board | substrate in the said 1st board | substrate conveyance mechanism. 1st bonding part 6 which bonds a 1st polarizing film to the lower surface of the lower surface, the 2nd board | substrate conveyance mechanism 62 which conveys the said board | substrate in the state along a short side or a long side along a conveyance direction, and the said 2nd board | substrate conveyance mechanism 2nd bonding part 16 which bonds a 2nd polarizing film to the lower surface of the said board | substrate in the board | substrate, and the board | substrate support part which is conveyed by the said 1st board | substrate conveyance mechanism 61, and supports the said board | substrate with which the 1st polarizing film was bonded. By the inverting operation of the connected substrate inverting portion 67, the polarization peeler includes an inversion mechanism configured to invert the substrate supported on the substrate supporting portion and to change the arrangement and to arrange the second substrate transfer mechanism. Bonding apparatus WHEREIN: The 1st board | substrate conveyance mechanism 61 and the 2nd board | substrate conveyance mechanism are arrange | positioned at the base member 660 connected to the board | substrate inversion part 67 of the said inversion mechanism which performs the inversion operation | movement of the said board | substrate. The first support member 661 and the second support member 662 are moved between the first support member 661 and the second support member 662 by the relative movement between the first support member 661 and the second support member 662. While the said board | substrate 5 to which the 1st polarizing film conveyed from the 1st board | substrate conveyance mechanism 61 was bonded is supported by being clamped, it is the relative of the said 1st support member 661 and the 2nd support member 662. The substrate on which the first polarizing film supported by being clamped between the first supporting member 661 and the second supporting member 662 inverted by the substrate inverting portion 67 by the movement ( 5) The support by the stenosis is released, and the end of the second substrate transfer mechanism That is composed.

상기 편광 필름의 접합 장치에서, 상기 반전 기구가, 상기 기판의 반송 방향에 대해서 직교하는 제1 및 제2 기판 반송 기구(61, 62)의 폭 방향의 중간 위치에 배설된 반전 기구의 베이스부(670)에 회전 가능하게 배치되어, 반전 동작을 실현하는 기판 반전부(67)를 구비하고 있다. In the bonding apparatus of the said polarizing film, the base part of the inversion mechanism in which the said inversion mechanism was arrange | positioned in the intermediate position of the width direction of the 1st and 2nd board | substrate conveyance mechanisms 61 and 62 orthogonal to the conveyance direction of the said board | substrate ( It is provided with the board | substrate inversion part 67 arrange | positioned rotatably at 670 and implements the inversion operation | movement.

상기 기판 지지 부재의 그 외의 형태에 대해서, 이하 설명한다. Other aspects of the substrate support member will be described below.

기판 지지부는, 기판(5)을 지지하는 부재이며, 재치한 기판을 협지(挾持)할 수 있다. 또, 기판 지지부는 기판(5)을 흡착하는 흡착 수단을 바람직한 형태로서 구비하고 있다. 흡착 수단으로서는, 공지의 것을 이용할 수 있으며, 예를 들면, 공기 흡인 방식의 흡착 수단을 이용할 수 있다. 기판 지지부는 파이프 모양의 암(arm) 및 흡착 수단으로 구성되어 있으며, 흡착 수단으로 흡인된 공기가 암 속을 통과하는 구성으로 이루어져 있지만, 암 및 흡착 수단의 형상은 해당 구성에 한정되는 것은 아니다. The board | substrate support part is a member which supports the board | substrate 5, and can hold | maintain the mounted board | substrate. Moreover, the board | substrate support part is equipped with the adsorption means which adsorb | sucks the board | substrate 5 as a preferable form. As an adsorption means, a well-known thing can be used, For example, the adsorption means of an air suction system can be used. The substrate support is composed of a pipe-shaped arm and adsorption means, and the air sucked by the adsorption means passes through the arm, but the shape of the arm and the adsorption means is not limited to the configuration.

또, 기판 지지부는 암에 흡착 수단이 2개 구비된 구조로 되어 있으며, 3개의 암으로 이루어진 암군을 1쌍 구비하고 있다. 또, 흡착 수단은 기판(5)의 대각선 상에 4개 배치되어 있으며, 기판(5)의 길이 방향에서, 상기 흡착 수단 사이에 흡착 수단이 2개 더 배치되어 있다. 해당 암의 개수 및 흡착 수단의 설치수는 어디까지나 일례이며, 예를 들면, 큰 기판을 반전시키는 경우에는, 암의 개수 및 흡착 수단의 수를 증가시키는 등 적절히 변경하면 좋다. 또, 흡착 수단의 설치 장소를 기판(5)의 중심 부분에 집중시키거나, 또는, 기판(5)의 단부 주변으로 변경하는 등의 변경도 물론 가능하다. Moreover, the board | substrate support part has a structure with two adsorption means in an arm, and is equipped with one pair of arm groups which consist of three arms. Moreover, four adsorption means are arrange | positioned on the diagonal of the board | substrate 5, and two adsorption means are further arrange | positioned between the said adsorption means in the longitudinal direction of the board | substrate 5. The number of the arms and the number of installation of the adsorption means are only one example. For example, when inverting a large substrate, the number of arms and the number of adsorption means may be changed as appropriate. It is also possible, of course, to change the installation site of the adsorption means to the center portion of the substrate 5 or to change the periphery of the end of the substrate 5.

기판 반전부가 기판(5)을 재치하고 있지 않는 경우, 기판(5)을 받아들일 수 있도록 암군 사이의 거리가 넓어진 상태로 되어 있다(이하, 이 상태를「대기 상태」라고 칭한다). 한편, 기판 반전부(67)는 기판(5)도 암군 사이의 거리가 넓어진 상태로 되어 있다. 또, 1쌍의 암군은 기판(5)을 협지하기 위해, 암군 사이의 거리를 좁힐 수도 있다. 이와 같이 암군 사이의 거리는 변경 가능하고, 이를 위해서 기판 지지부는, 모터를 가지고 있으며, 모터의 회전 운동을 직선 운동으로 바꾸어 암군 사이의 거리를 변경하는 구성으로 되어 있다. 또한, 암군 사이의 거리를 변경할 수 있는 구성이면, 모터를 구비하는 구성으로 바꾸어 이용해도 괜찮다. When the board | substrate inversion part does not mount the board | substrate 5, the distance between arm groups is widened so that the board | substrate 5 can be accommodated (this state is called "wait state" hereafter). On the other hand, the board | substrate inversion part 67 is also in the state in which the board | substrate 5 also extended the distance between arm groups. In addition, the pair of arm groups may narrow the distance between the arm groups in order to sandwich the substrate 5. Thus, the distance between arm groups can be changed. For this purpose, the board | substrate support part has a motor, and it is set as the structure which changes the distance between arm groups by changing the rotational motion of a motor into linear motion. In addition, as long as it is the structure which can change the distance between arm groups, you may change to the structure provided with a motor, and may use.

상기 구성에 의해 이루어지는 본 실시예의 편향 필름의 접합 장치는, 상기 기판 지지 장치(66)가, 상기 기판의 반전 동작을 행하는 기판 반전부(67)에 연결한 베이스 부재(660)에 배설되고, 장방형의 기판을 긴 변 또는 짧은 변이 반송 방향을 따른 상태로 반송하는 상기 제1 기판 반송 기구(61) 및 상기 기판을 짧은 변 또는 긴 변이 반송 방향을 따른 상태로 반송하는 제2 기판 반송 기구(62)의 단부로 진입하는 제1 지지 부재(661)와 제2 지지 부재(662)와의 상대적 이동에 의해서, 상기 제1 지지 부재(661)와 제2 지지 부재(662)와의 사이에 상기 제1 기판 반송 기구(61)로부터 반송된 상기 기판(5)이, 협착되는 것에 의해서 지지됨과 아울러, 상기 제1 지지 부재(661)와 제2 지지 부재(662)와의 상대적 이동에 의해서, 상기 기판 반전부(67)에 의해서 반전된 상기 제1 지지 부재(661)와 제2 지지 부재(662)와의 사이에 협착되는 것에 의해서 지지된 상기 기판(5)이, 협착에 의한 지지가 해제되어, 상기 제2 기판 반송 기구(62)의 단부에 재치되므로, 심플한 구성에 의해서, 상기 제1 기판 반송 기구(61)에 의해서 반송된 상기 기판(5)이, 상기 제1 기판 반송 기구(61)의 단부로 진입한 상기 제1 지지 부재(661) 및 제2 지지 부재(662)와의 사이에 협착되는 것에 의해서, 확실히 지지된다고 하는 효과를 나타냄과 동시에, 상기 기판 반전부(67)에 의한 상기 기판의 반전을 가능하게 함과 아울러, 상기 기판 반전부(67)에 의해서 반전된 상기 제1 지지 부재(661)와 제2 지지 부재(662)와의 사이에 협착되는 것에 의해서 지지된 상기 기판이, 협착에 의한 지지가 해제되어, 상기 제2 기판 반송 기구(62)의 단부에 재치되는 것에 의해서, 상기 제2 기판 반송 기구(62)에서의 상기 기판의 반송 및 편향 필름의 접합을 가능하게 한다고 하는 효과를 나타낸다. As for the bonding apparatus of the deflection film of this Example which consists of the said structure, the said board | substrate support apparatus 66 is arrange | positioned at the base member 660 connected to the board | substrate inversion part 67 which performs the inversion operation of the said board | substrate, and is rectangular Board | substrate conveyance mechanism 61 which conveys the board | substrate of the board | substrate in the state along the long side or the short side conveyance direction, and the 2nd board | substrate conveyance mechanism 62 which conveys the board | substrate in the state along the short side or long side conveyance direction. The first substrate is conveyed between the first support member 661 and the second support member 662 by the relative movement between the first support member 661 and the second support member 662 which enter the end of the first support member 661. The substrate 5 conveyed from the mechanism 61 is supported by being pinched, and the substrate inverting portion 67 is caused by relative movement between the first supporting member 661 and the second supporting member 662. The first support member 6 reversed by Since the substrate 5 supported by the narrowing between the 61 and the second supporting member 662 is released from the narrowing and placed on the end of the second substrate transfer mechanism 62, the substrate 5 is simple. By the structure, the said 1st support member 661 and the 2nd support which the said board | substrate 5 conveyed by the said 1st board | substrate conveyance mechanism 61 entered into the edge part of the said 1st board | substrate conveyance mechanism 61 are supported. By being squeezed between the member 662, the effect of being surely supported is exerted, the inversion of the substrate by the substrate inverting portion 67 is enabled, and the substrate inverting portion 67 is provided. When the board | substrate supported by being clamped between the said 1st support member 661 and the 2nd support member 662 which were reversed by this is clamped, the support by stenosis is released and the said 2nd board | substrate conveyance mechanism 62 The second substrate transfer mechanism 62 is mounted on an end portion. Shows that the effect of enabling the transfer and bonding of the deflection of the substrate film of books.

또 본 실시예의 편향 필름의 접합 장치는, 상기 제1 기판 반송 기구(61)의 단부에서의 폭 방향의 복수의 분할 부분(61A, 61B, 61C, 61D)의 서로 이웃하는 부분의 사이에 형성된 복수의 간극에, 상기 제1 및 제2 지지 부재(661, 662)를 구성하는 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부(6611 ~ 6613, 6621 ~ 6623)가 진입하는 것에 의해, 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부와의 사이에, 상기 제1 기판 반송 기구(61)로부터 반송된 상기 기판(5)이, 협착되는 것에 의해서 확실히 지지된다고 하는 효과를 나타냄과 아울러, 상기 제2 기판 반송 기구(62)의 단부에서의 반송 방향의 복수의 분할 부분(62A, 62B, 62C, 62D)의 서로 이웃하는 부분의 사이에 형성된 복수의 간극에, 반전한 상기 제1 및 제2 지지 부재(661, 662)를 구성하는 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부(6611 ~ 6613, 6621 ~ 6623)가 진입하여, 반전한 상기 기판의 협착에 의한 지지가 해제되어, 상기 제2 기판 반송 기구(62)의 단부에 재치되는 것에 의해서, 상기 제2 기판 반송 기구(62)에서의 상기 기판의 반송 및 편향 필름의 접합을 가능하게 한다고 하는 효과를 나타낸다. Moreover, the bonding apparatus of the deflection film of this Example has the some formed between adjacent parts of the some division part 61A, 61B, 61C, 61D of the width direction in the edge part of the said 1st board | substrate conveyance mechanism 61. The plurality of protrusions 6611 to 6613 and 6621 to 6623 of the first and second comb-shaped members constituting the first and second support members 661 and 662 enter the gaps of the first and second support members 661 and 6623. And the said board | substrate 5 conveyed from the said 1st board | substrate conveyance mechanism 61 between the some protrusion part of the 2nd comb-shaped member, the effect that it is reliably supported by being clamped, and the said agent The said 1st and 2nd support which inverted by the some clearance gap formed between the adjacent parts of several division parts 62A, 62B, 62C, 62D of the conveyance direction in the edge part of the 2 board | substrate conveyance mechanism 62. A plurality of protrusions 6611 to 6613 of the first and second comb-shaped members constituting the members 661 and 662, 6621-6623 enter, support by the narrowing of the inverted said board | substrate is released, and it is mounted in the edge part of the said 2nd board | substrate conveyance mechanism 62, The said by the said 2nd board | substrate conveyance mechanism 62 The effect of enabling the conveyance of a board | substrate and the bonding of a deflection film is exhibited.

게다가 본 실시예의 편향 필름의 접합 장치는, 상기 제1 기판 반송 기구(61)의 단부에서의 폭 방향의 복수의 분할 부분의 서로 이웃하는 부분의 사이에 형성된 복수의 간극에, 상기 제1 및 제2 지지 부재(661, 662)를 구성하는 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부가 진입하여, 적어도 일방의 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부(6611 ~ 6613, 6621 ~ 6623)가, 일부를 지점으로 하여 일정 각도 범위에서 요동하는 것에 의해, 상기 제1 기판 반송 기구(61)로부터 반송된 상기 기판(5)이, 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부와의 사이에 협착되는 것에 의해서 확실히 지지된다고 하는 효과를 나타냄과 아울러, 상기 제2 기판 반송 기구(62)의 단부에서의 반송 방향의 복수의 분할 부분의 서로 이웃하는 부분의 사이에 형성된 복수의 간극에, 반전한 상기 제1 및 제2 지지 부재(661, 662)를 구성하는 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부가 진입하여, 적어도 일방의 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부가, 일부를 지점으로 하여 일정 각도 범위에서 요동하는 것에 의해, 반전한 상기 기판의 협착에 의한 지지가 해제되어, 상기 제2 기판 반송 기구(62)의 단부에 재치되는 것에 의해서, 상기 제2 기판 반송 기구(62)에서의 상기 기판의 반송 및 편향 필름의 접합을 가능하게 한다고 하는 효과를 나타낸다. Furthermore, the bonding apparatus of the deflection film of this Example is a said 1st and 1st in the some clearance gap formed between the mutually adjacent parts of the some division part of the width direction in the edge part of the said 1st board | substrate conveyance mechanism 61. A plurality of protrusions of the first and second comb-shaped members constituting the second support members 661 and 662 enter, and a plurality of protrusions 6611 to 6613 and 6621 of at least one of the first and second comb-shaped members enter. 6623 is a part of a plurality of protrusions of the first and second comb-shaped member is the substrate 5 conveyed from the first substrate transfer mechanism 61 by swinging at a certain angle range. A plurality of gaps formed between the adjacent portions of the plurality of divided portions in the conveying direction at the end of the second substrate conveyance mechanism 62 while exhibiting the effect of being reliably supported by being clamped between the To, reversed above A plurality of protrusions of the first and second comb-like members constituting the first and second support members 661 and 662 enter, and at least one of the plurality of protrusions of the first and second comb-shaped members is partially. By swinging in a certain angle range with the point as the point, the support by the narrowing of the inverted substrate is released and placed on the end of the second substrate transfer mechanism 62, whereby the second substrate transfer mechanism ( The effect of enabling conveyance of the said board | substrate in 62), and bonding of a deflection film is exhibited.

또 본 실시예의 편향 필름의 접합 장치는, 상기 제1 및 제2 지지 부재(661, 662)를 구성하는 복수의 돌출부(6611 ~ 6613, 6621 ~ 6623)를 구비한 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재가, 상기 요동 구동 기구에 의해서 요동 구동되는 것에 의해, 상기 제1 기판 반송 기구(61)로부터 반송된 상기 기판(5)이, 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부(6611 ~ 6613, 6621 ~ 6623)와의 사이에 협착되는 것에 의해서 확실히 지지된다고 하는 효과를 나타냄과 아울러, 반전한 상기 기판(5)의 협착에 의한 지지가 해제되어, 상기 제2 기판 반송 기구(62)의 단부에 재치되는 것에 의해서, 상기 제2 기판 반송 기구(62)에서의 상기 기판(5)의 반송 및 편향 필름의 접합을 가능하게 한다고 하는 효과를 나타낸다. Moreover, the bonding apparatus of the deflection film of this Example is the said 1st and 2nd comb shape provided with the some protrusion parts 6611-6613, 6621-6623 which comprise the said 1st and 2nd support members 661,662. The board | substrate 5 conveyed from the said 1st board | substrate conveyance mechanism 61 is a several protrusion part 6611-of the said 1st and 2nd comb-shaped member by a member being rock-driven by the said rocking drive mechanism. 6613, 6621-6623 show the effect that it is surely supported by being clamped, and the support by the narrowing of the inverted said board | substrate 5 is canceled | released, and the edge part of the said 2nd board | substrate conveyance mechanism 62 is exhibited. By being mounted in, the effect of enabling the conveyance of the said board | substrate 5 and the bonding of a deflection film in the said 2nd board | substrate conveyance mechanism 62 is exhibited.

게다가 본 실시예의 편향 필름의 접합 장치는, 상기 요동 구동 기구를 구성하는 상기 제1 요동 구동 기구(6631)가, 상기 제1 지지 부재(661)를 구성하는 복수의 돌출부(6611 ~ 6613, 6621 ~ 6623)를 구비한 상기 제1 빗 모양 부재를 요동 구동함과 아울러, 상기 요동 구동 기구를 구성하는 제2 요동 구동 기구(6632)가, 제2 지지 부재(662)를 구성하는 복수의 돌출부를 구비한 상기 제2 빗 모양 부재를 요동 구동하는 것에 의해, 상기 제1 기판 반송 기구(61)로부터 반송된 상기 기판(5)이, 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부(6611 ~ 6613, 6621 ~ 6623)와의 사이에 협착되는 것에 의해서 확실히 지지된다고 하는 효과를 나타냄과 동시에, 반전한 상기 기판의 협착에 의한 지지가 해제되어, 상기 제2 기판 반송 기구(62)의 단부에 재치되는 것에 의해서, 상기 제2 기판 반송 기구(62)에서의 상기 기판의 반송 및 편향 필름의 접합을 가능하게 한다고 하는 효과를 나타낸다. In addition, in the bonding apparatus of the deflection film of the present embodiment, the plurality of protrusions 6611 to 6613 and 6621 to which the first swing drive mechanism 6631 constituting the swing drive mechanism constitutes the first support member 661 are provided. While oscillating the first comb member provided with the 6623, the second oscillation drive mechanism 6632 constituting the oscillation drive mechanism includes a plurality of protrusions constituting the second support member 662. By oscillating the said 2nd comb-shaped member, the said board | substrate 5 conveyed from the said 1st board | substrate conveyance mechanism 61 has the several protrusion parts 6611-6613 of the said 1st and 2nd comb-shaped member. 6621-6623 are secured by being squeezed between and 6621-6623, and the support by the narrowing of the inverted substrate is released and placed on the end of the second substrate transfer mechanism 62. By the second substrate transfer mechanism ( The effect of enabling conveyance of the said board | substrate in 62), and bonding of a deflection film is exhibited.

또 본 실시예의 편향 필름의 접합 장치는, 상기 요동 구동 기구가, 요동 구동원(6630)과, 상기 요동 구동원으로부터의 요동 구동력을 상기 제1 클러치 수단(6633)을 통하여 상기 제1 지지 부재(661)를 구성하는 복수의 돌출부(6611 ~ 6613)를 구비한 상기 제1 빗 모양 부재에 전달하여 요동 구동함과 아울러, 상기 요동 구동원(6630)로부터의 요동 구동력을 상기 제2 클러치 수단(6634)을 통하여 상기 제2 지지 부재(662)를 구성하는 복수의 돌출부(6621 ~ 6623)를 구비한 상기 제2 빗 모양 부재에 전달하여 요동 구동하는 것에 의해, 상기 제1 기판 반송 기구(61)로부터 반송된 상기 기판(5)이, 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부와의 사이에 협착되는 것에 의해서 확실히 지지된다고 하는 효과를 나타냄과 동시에, 반전한 상기 기판(5)의 협착에 의한 지지가 해제되어, 상기 제2 기판 반송 기구(62)의 단부에 재치되는 것에 의해서, 상기 제2 기판 반송 기구(62)에서의 상기 기판(5)의 반송 및 편향 필름의 접합을 가능하게 한다고 하는 효과를 나타낸다. Moreover, in the bonding apparatus of the deflection film of this embodiment, the said oscillation drive mechanism is the oscillation drive source 6630 and the oscillation drive force from the oscillation drive source via the said 1st clutch means 6633 the said 1st support member 661. It is transmitted to the first comb-shaped member having a plurality of protrusions (6611 ~ 6613) constituting the oscillation drive, and the oscillation drive force from the oscillation drive source 6630 through the second clutch means (6634) Said conveyed from the said 1st board | substrate conveyance mechanism 61 by delivering to the said 2nd comb-shaped member provided with the some protrusion parts 6621-6623 which comprise the said 2nd support member 662, and rocking | driving to drive. While the substrate 5 exhibits the effect of being reliably supported by being pinched between a plurality of protrusions of the first and second comb-shaped members, the support by the narrowing of the inverted substrate 5 Turned off, By being mounted on the end of the period the second substrate transport device 62, an effect that they enable the transfer and bonding of the deflection of the film substrate 5 in the second substrate transport device (62).

게다가 본 실시예의 편향 필름의 접합 장치는, 상기 제1 기판 반송 기구(61)의 단부에서의 폭 방향의 복수의 분할 부분(61A, 61B, 61C, 61D)의 서로 이웃하는 부분의 사이에 형성된 복수의 간극에, 상기 제1 및 제2 지지 부재(661, 662)를 구성하는 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부(6611 ~ 6613, 6621 ~ 6623)가 진입하여, 적어도 일방의 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부가, 상하 방향에서 상대적으로 접근하는 것에 의해, 상기 제1 기판 반송 기구(61)로부터 반송된 상기 기판(5)이, 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부와의 사이에 협착되는 것에 의해서 확실히 지지된다고 하는 효과를 나타냄과 아울러, 상기 제2 기판 반송 기구(62)의 단부에서의 반송 방향의 복수의 분할 부분(62A, 62B, 62C, 62D)의 서로 이웃하는 부분의 사이에 형성된 복수의 간극에, 반전한 상기 제1 및 제2 지지 부재(61, 62)를 구성하는 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부(6611 ~ 6613, 6621 ~ 6623)가 진입하여, 적어도 일방의 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부가, 상하 방향에서 상대적으로 이격하는 것에 의해, 반전한 상기 기판의 협착에 의한 지지가 해제되어, 상기 제2 기판 반송 기구(62)의 단부에 재치되는 것에 의해서, 상기 제2 기판 반송 기구(62)에서의 상기 기판(5)의 반송 및 편향 필름의 접합을 가능하게 한다고 하는 효과를 나타낸다. Furthermore, the bonding apparatus of the deflection film of this embodiment has a plurality formed between neighboring portions of the plurality of divided portions 61A, 61B, 61C, 61D in the width direction at the end of the first substrate transfer mechanism 61. A plurality of protrusions 6611 to 6613 and 6621 to 6623 of the first and second comb-shaped members constituting the first and second support members 661 and 662 enter a gap of the at least one of the first and second support members 661 and 662. The said board | substrate 5 conveyed from the said 1st board | substrate conveyance mechanism 61 makes the said 1st and 2nd comb-shaped by the some protrusion of 1st and 2nd comb-shaped member approaching relatively in an up-down direction. While exhibiting the effect of being reliably supported by being clamped between the plurality of protrusions of the member, the plurality of divided portions 62A, 62B, 62C in the conveying direction at the end of the second substrate conveyance mechanism 62. 62D) in a plurality of gaps formed between neighboring portions of each other. And a plurality of protrusions 6611 to 6613 and 6621 to 6623 of the first and second comb-shaped members constituting the inverted first and second support members 61 and 62 enter, and at least one of the first And the plurality of protrusions of the second comb-shaped member are relatively spaced apart in the vertical direction, thereby releasing support due to the narrowing of the inverted substrate and placing the end portions of the second substrate transfer mechanism 62. Thereby, the effect of enabling the conveyance of the said board | substrate 5 in the said 2nd board | substrate conveyance mechanism 62, and bonding of a deflection film is exhibited.

또 본 실시예의 편향 필름의 접합 장치는, 상기 직선적 구동 기구(6638A, 6638B)에 의해서, 상기 제1 및 제2 지지 부재(661, 662)를 구성하는 복수의 돌출부(6611 ~ 6613, 6621 ~ 6623)를 구비한 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재가 직선 구동되어, 왕복 이동하는 것에 의해, 상기 제1 기판 반송 기구(61)로부터 반송된 상기 기판(5)이, 상기 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부와의 사이에 협착되는 것에 의해서 확실히 지지된다고 하는 효과를 나타냄과 아울러, 반전한 상기 기판(5)의 협착에 의한 지지가 해제되어, 상기 제2 기판 반송 기구(62)의 단부에 재치되는 것에 의해서, 상기 제2 기판 반송 기구(62)에서의 상기 기판(5)의 반송 편향 필름의 접합을 가능하게 한다고 하는 효과를 나타낸다. Moreover, the lamination | stacking apparatus of the deflection film of this Example is the several protrusion parts 6611-6613, 6621-6623 which comprise the said 1st and 2nd support members 661, 662 by the said linear drive mechanisms 6664A and 6638B. The first and second comb-shaped members with) are linearly driven and reciprocated so that the substrate 5 conveyed from the first substrate transfer mechanism 61 is the first and second combs. The effect of being reliably supported by being squeezed between a plurality of projecting portions of the shape member is exhibited, and the support by the narrowing of the inverted substrate 5 is released, so that the second substrate transfer mechanism 62 By being mounted in the edge part, the effect of enabling the bonding of the conveyance deflection film of the said board | substrate 5 in the said 2nd board | substrate conveyance mechanism 62 is exhibited.

게다가 본 실시예의 편향 필름의 접합 장치는, 상기 직선적 구동 기구가, 전기적 구동 장치(6638A, 6638B)의 구동력에 의해서, 상기 제1 및 제2 지지 부재(661, 662)를 구성하는 빗 모양 부재가 상대적으로 접근하는 것에 의해, 상기 기판(5)을 협착하여 지지하므로, 구동 지령에 근거하는 상기 전기적 구동 장치의 구동력에 의해서, 상기 기판을 협착하여 지지하는 제어를 용이하게 실현하게 한다고 하는 효과를 나타낸다. Furthermore, in the bonding apparatus of the deflection film of this embodiment, the linear drive mechanism has the comb member which comprises the said 1st and 2nd support members 661 and 662 by the driving force of the electric drive devices 6664A and 6638B. Since the board | substrate 5 is narrowed and supported by approaching relatively, the effect which makes it easy to implement control which narrows and supports the said board | substrate by the driving force of the said electric drive apparatus based on a drive command. .

또 본 실시예의 편향 필름의 접합 장치는, 상기 직선적 구동 기구가, 구동 장치로부터 공급되는 유체압의 작용에 의해, 흡착 또는 협착하는 것에 의해서, 상기 제1 및 제2 지지 부재(661, 662)를 구성하는 빗 모양 부재가 상대적으로 접근하는 것에 의해, 상기 기판(5)을 협착하여 지지하므로, 유체압을 공급하는 구동 장치를 상기 기판 지지 부재와는 별도로 배치하는 것에 의해, 상기 기판 지지 부재의 구성을 심플하게 하여, 경량화를 가능하게 한다고 하는 효과를 나타낸다. Moreover, in the bonding apparatus of the deflection film of this Example, the said linear drive mechanism adsorb | sucks or constricts by the action of the fluid pressure supplied from a drive apparatus, and the said 1st and 2nd support members 661 and 662 are moved. Since the comb-shaped member which comprises is relatively close, and the said board | substrate 5 is clamped and supported, the structure of the said board | substrate support member is arrange | positioned separately from the said board | substrate support member by providing the drive apparatus which supplies fluid pressure. The effect of making it simple and enabling weight reduction is exhibited.

게다가 본 실시예의 편향 필름의 접합 장치는, 상기 기판의 반전 동작을 행하는 기판 반전부(67)에 연결하는 베이스 부재(660)에 배설되며, 장방형의 기판을 긴 변 또는 짧은 변이 반송 방향을 따른 상태로 반송하는 상기 제1 기판 반송 기구(61) 및 상기 기판을 짧은 변 또는 긴 변이 반송 방향을 따른 상태로 반송하는 제2 기판 반송 기구(62)의 단부로 진입하는 제1 지지 부재(661)와 제2 지지 부재(662)와의 상대적 이동에 의해서, 상기 제1 지지 부재(661)와 제2 지지 부재(662)와의 사이에 상기 제1 기판 반송 기구(61)로부터 반송된 제1 편광 필름이 접합된 상기 기판(5)이 협착되는 것에 의해서 확실히 지지된다고 하는 효과를 나타냄과 아울러, 상기 제1 지지 부재(661)와 제2 지지 부재(662)와의 상대적 이동에 의해서, 상기 기판 반전부(67)에 의해서 반전된 상기 제1 지지 부재(661)와 제2 지지 부재(662)와의 사이에 협착되는 것에 의해서 지지된 제1 편광 필름이 접합된 상기 기판(5)이, 협착에 의한 지지가 해제되어, 상기 제2 기판 반송 기구(62)의 단부에 재치되므로, 상기 베이스 부재(660)에 연결한 상기 기판 반전부(67)에 의해서, 제1 편광 필름이 접합된 상기 기판을 상기 기판을 짧은 변 또는 긴 변이 반송 방향을 따른 상태로 반송하는 제2 기판 반송 기구(62)의 단부로의 상기 기판 반전부(67)의 반전 동작 및 상기 제2 접합부(16)에 의한 제2 편광 필름의 접합을 가능하게 한다고 하는 효과를 나타낸다. Moreover, the bonding apparatus of the deflection film of this embodiment is arrange | positioned at the base member 660 connected to the board | substrate inversion part 67 which performs the inversion operation | movement of the said board | substrate, and has a long side or a short side along a conveyance direction of a rectangular board | substrate. A first supporting member 661 entering the end of the first substrate transfer mechanism 61 to be conveyed by the first substrate transfer mechanism 61 and the substrate in a state in which the short side or the long side is along the conveying direction; By the relative movement with the 2nd support member 662, the 1st polarizing film conveyed from the said 1st board | substrate conveyance mechanism 61 is bonded between the 1st support member 661 and the 2nd support member 662. The substrate inverting portion 67 is formed by the relative movement between the first supporting member 661 and the second supporting member 662, and the effect of being firmly supported by the narrowed substrate 5. The first branch inverted by When the said board | substrate 5 with which the 1st polarizing film supported by being clamped between the member 661 and the 2nd support member 662 was bonded, support by a narrowing is released, and the said 2nd board | substrate conveyance mechanism ( 62, the short side or the long side of the substrate along the conveying direction of the substrate to which the first polarizing film is bonded by the substrate inverting portion 67 connected to the base member 660. The inversion operation of the said board | substrate inversion part 67 to the edge part of the 2nd board | substrate conveyance mechanism 62 conveyed by this, and the effect of enabling the bonding of the 2nd polarizing film by the said 2nd bonding part 16 are exhibited.

또 본 실시예의 편광 필름의 접합 장치는, 상기 기판 지지 장치가, 상기 기판의 반전 동작을 행하는 상기 반전 기구의 기판 반전부(67)에 연결한 베이스 부재(660)에 배설되며, 상기 제1 기판 반송 기구(61) 및 제2 기판 반송 기구(62)의 단부로 진입하는 제1 지지 부재(661)와 제2 지지 부재(662)와의 상대적 이동에 의해서, 상기 제1 지지 부재(661)와 제2 지지 부재(662)와의 사이에 상기 제1 기판 반송 기구(61)로부터 반송된 제1 편광 필름이 접합된 상기 기판(5)이, 협착되는 것에 의해서 지지되므로, 제1 편광 필름이 접합된 상기 기판(5)이 확실히 지지된다고 하는 효과를 나타냄과 아울러, 상기 제1 지지 부재와 제2 지지 부재와의 상대적 이동에 의해서, 상기 기판 반전부(67)에 의해서 반전된 상기 제1 지지 부재(661)와 제2 지지 부재(662)와의 사이에 협착되는 것에 의해서 지지된 제1 편광 필름이 접합된 상기 기판(5)이, 협착에 의한 지지가 해제되어, 상기 제2 기판 반송 기구(62)의 단부에 재치되므로, 상기 베이스 부재(660)에 연결한 상기 기판 반전부(67)에 의해서, 제1 편광 필름이 접합된 상기 기판(5)을 상기 기판을 짧은 변 또는 긴 변이 반송 방향을 따른 상태로 반송하는 제2 기판 반송 기구(62)의 단부로의 상기 기판 반전부(67)의 반전 동작 및 상기 제2 접합부(16)에서의 제2 편광 필름의 접합을 가능하게 한다고 하는 효과를 나타낸다. Moreover, in the bonding apparatus of the polarizing film of this embodiment, the said board | substrate support apparatus is arrange | positioned at the base member 660 connected to the board | substrate inversion part 67 of the said inversion mechanism which performs the inversion operation of the said board | substrate, and the said 1st board | substrate By the relative movement between the 1st support member 661 and the 2nd support member 662 which enters the edge part of the conveyance mechanism 61 and the 2nd board | substrate conveyance mechanism 62, the said 1st support member 661 and 1st Since the said board | substrate 5 to which the 1st polarizing film conveyed from the said 1st board | substrate conveyance mechanism 61 was bonded between 2 support members 662 is supported by being clamped, the said 1st polarizing film was bonded together The first supporting member 661 inverted by the substrate inverting portion 67 by the relative movement between the first supporting member and the second supporting member while exhibiting the effect that the substrate 5 is reliably supported. ) Between the second support member 662 and the second support member 662 Since the said board | substrate 5 with which the supported 1st polarizing film was bonded is released | released by narrowing, and is mounted in the edge part of the said 2nd board | substrate conveyance mechanism 62, the said board | substrate connected to the said base member 660 By the inversion part 67, the said board | substrate 5 to which the 1st polarizing film was bonded is sent to the edge part of the 2nd board | substrate conveyance mechanism 62 which conveys the said board | substrate in the state along a short side or a long side along a conveyance direction. The inversion operation | movement of the board | substrate inversion part 67 and the effect of enabling the bonding of the 2nd polarizing film in the said 2nd bonding part 16 are exhibited.

<반전 기구><Reverse mechanism>

반전 기구(65)는, 제1 기판 반송 기구에 의해 반송된 기판(5)을 반전시켜 제2 기판 반송 기구에 배치하는 부재이다. 상기 제1 기판 반송 기구와 제2 기판 반송 기구는 동일 방향을 향해서 배치되어 있다. 도 4는 반전 기구(65)를 나타내는 사시도이다. 반전 기구(65)는, 제1 기판 반전부(기판 반전부, 67) 및 제2 기판 반전부(기판 반전부, 68)를 구비하고 있다. The inversion mechanism 65 is a member which inverts the board | substrate 5 conveyed by the 1st board | substrate conveyance mechanism, and arrange | positions it to a 2nd board | substrate conveyance mechanism. The said 1st board | substrate conveyance mechanism and the 2nd board | substrate conveyance mechanism are arrange | positioned toward the same direction. 4 is a perspective view illustrating the inversion mechanism 65. The inversion mechanism 65 is equipped with the 1st board | substrate inversion part (substrate inversion part 67) and the 2nd board | substrate inversion part (substrate inversion part 68).

제1 기판 반전부(67)는 막대 모양의 형상이며, 흡착부(66)를 구비하고 있다. 제1 기판 반전부(67)는 자신의 축방향으로 회전하는 것이 가능하고, 흡착부(66)를 통하여, 축에 대해 수직 방향으로 기판(5)을 이동시킬 수 있다. 또, 제1 기판 반전부(67)는, 제2 기판 반전부(68)와 연결되어 있다. 해당 연결 부분은 구동 가능하고, 제1 기판 반전부(67)는 그 위치를 변경할 수 있어, 기판(5)의 위치를 변경할 수 있다. The 1st board | substrate inversion part 67 is a rod-shaped shape, and has the adsorption part 66. As shown in FIG. The first substrate inverting portion 67 can rotate in its own axial direction, and can move the substrate 5 in a direction perpendicular to the axis through the adsorption portion 66. The first substrate inverting portion 67 is connected to the second substrate inverting portion 68. The connection portion can be driven, and the first substrate inverting portion 67 can change its position, thereby changing the position of the substrate 5.

또, 제2 기판 반전부(68)는, 2개의 암 구조에 더하여, 받침대부가 수평으로 회전 가능한 구조로 되어 있다. 2개의 암 구조에 의해서, 기판(5)을 상하 방향으로 이동할 수 있고, 받침대부의 회전에 의해, 기판(5)을 수평 방향으로 회전시킬 수 있다. The second substrate inverting portion 68 has a structure in which the pedestal portion can be rotated horizontally in addition to the two arm structures. By the two arm structures, the board | substrate 5 can be moved to an up-down direction, and the board | substrate 5 can be rotated to a horizontal direction by rotation of a base part.

본 실시 형태에서는 기판 반전부로서, 제1 기판 반전부(67) 및 제2 기판 반전부(68)의 구조를 나타냈지만, 기판 반전부는 해당 구성에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 바람직한 형태로서 제어부를 가지는 로봇 암을 이용할 수 있다. 로봇 암을 이용한 경우, 보다 정밀한 기판(5)의 조작이 가능하기 때문에 바람직하다. 로봇 암으로서는 공지의 로봇 암을 이용할 수 있다. Although the structures of the 1st board | substrate inversion part 67 and the 2nd board | substrate inversion part 68 were shown as a board | substrate inversion part in this embodiment, a board | substrate inversion part is not limited to the said structure. For example, the robot arm which has a control part can be used as a preferable form. In the case where a robot arm is used, since a more precise operation of the substrate 5 is possible, it is preferable. As the robot arm, a known robot arm can be used.

다음에, 제1 기판 반전부(67) 및 제2 기판 반전부(68)에 의한 기판(5)의 반전에 대해서 설명한다. 도 13은, 기판(5)이 반전할 때의 궤도를 나타내는 사시도이다. 도 13의 (a)는 도 4에서의 기판(5)의 상태에 대응하고 있다. 기판(5)의 궤도를 파악하기 쉽도록 흡착부(66S), 제1 기판 반전부(67) 및 제2 기판 반전부(68)는 도시를 생략하고 있다. Next, the inversion of the substrate 5 by the first substrate inverting portion 67 and the second substrate inverting portion 68 will be described. 13 is a perspective view illustrating a trajectory when the substrate 5 is reversed. FIG. 13A corresponds to the state of the substrate 5 in FIG. 4. The adsorption | suction part 66S, the 1st board | substrate inversion part 67, and the 2nd board | substrate inversion part 68 are abbreviate | omitted so that the track | orbit of the board | substrate 5 may be grasped easily.

우선, 제1 기판 반송 기구로부터 기판(5)의 짧은 변이 반송 방향을 따른 상태로 기판(5)이 반송된다. 도 13의 (a)와 같이, 기판(5)은, 도시하지 않은 제1 기판 반전부(67)의 앞에서 정지하고, 흡착부(66)가 기판(5)의 표면에 흡착한다. 기판(5)은, 최종적으로는, 도 13의 (d)와 같이, 제1 기판 반송 기구의 반송 방향을 따른 짧은 변이 반송 방향에 대해서 직교하는 방향을 따르도록, 제2 기판 반송 기구에 배치된다. First, the board | substrate 5 is conveyed from the 1st board | substrate conveyance mechanism in the state which the short side of the board | substrate 5 along the conveyance direction. As shown in FIG. 13A, the substrate 5 stops in front of the first substrate inverting portion 67 (not shown), and the adsorption portion 66 adsorbs onto the surface of the substrate 5. Finally, the board | substrate 5 is arrange | positioned in a 2nd board | substrate conveyance mechanism so that the short side along the conveyance direction of a 1st board | substrate conveyance mechanism may follow the direction orthogonal to a conveyance direction, as shown in FIG.13 (d). .

제1 기판 반전부(67) 및 제2 기판 반전부(68)는, 도 13의 (a)에서의 기판(5) 의 상태를 도 13의 (d)에서의 기판(5)의 상태로 변경하도록, 기판(5)이 곡선을 그리도록 이동시킨다. 즉, 완만한 하나의 동작에 의해서 기판(5)을 이동시킨다. 따라서, 본 실시예에서의 기판(5)의 반전은, 직선적인 이동, 예를 들면, 기판(5)의 한 변을 따른 방향으로의 반전시키는 이동을 따르는 것은 아니다. 또, 해당 동작은, 기판의 반전 및 기판의 수평 방향에서의 선회(旋回)의 두개의 동작을 연속시키는 동작은 아니고, 이들 2개의 동작을 동시에 행하는 것도 아니다. The first substrate inverting portion 67 and the second substrate inverting portion 68 change the state of the substrate 5 in FIG. 13A to the state of the substrate 5 in FIG. 13D. The substrate 5 is moved to draw a curve. That is, the substrate 5 is moved by one gentle operation. Therefore, the inversion of the substrate 5 in this embodiment does not follow the linear movement, for example, the movement to invert in the direction along one side of the substrate 5. In addition, this operation | movement is not the operation | movement which continues two operations of the inversion of a board | substrate and the turning in the horizontal direction of a board | substrate, and does not perform these two operations simultaneously.

도 13의 (a)에서의 기판(5)은, 도 13의 (b) ~ (d)에 나타내는 바와 같이, 그 일방의(도면 중 좌측의) 짧은 변을 내측, 타방의(도면 중 우측) 짧은 변을 외측으로 하여 이동된다. 구체적으로는, 도 4에 나타내어지는 로봇의 각 축의 회전 구동계가 멈추어, 작업자에 의해서 로봇의 각 축을 이동할 수 있는 상태로서, 이동된 로봇의 각 축의 각도 및 변위가 센서에 의해서 검지되는 티칭 모드(teaching mode)에서, 작업자에 의해서 이하에 상술하도록 기판(5)의 자세와 그 자세를 실현하는 로봇의 각 축의 각도 및 변위가 교시(敎示)되고, 기억된다. 도 13의 (a)에서는, 기판(5)이 위치하고 있는 수평면으로부터 기판(5)이 들어 올려지고, 내측 짧은 변 보다도 외측 짧은 변의 쪽이 높은 위치가 되도록, 기판(5)이 경사진 상태로 이동된다. 기판(5')은 기판(5)이 이동한 후의 위치를 나타내고 있다. 또, 곡선(69)은, 기판(5) 및 기판(5')에서 서로 대응하는 정점끼리를 잇는 기판(5)의 궤적을 나타내고 있다. 제1 기판 반전부(67) 및 제2 기판 반전부(68)는 곡선을 그리도록 기판(5)을 이동시킨다. 환언하면, 기판이 곡선의 궤적을 따라서 이동한다고도 말할 수 있다. 상기 곡선은 원호이며, 직선이 아니고 매끄러운 궤적이다. 상술의 티칭 이외에도 도 13에 나타내어지는 원호 궤적을 따라서 기판이 반전 이동하도록 로봇의 각 축의 각도 및 변위 데이터를 작성하여 미리 제어 장치의 ROM에 격납(格納)하여 두고, 이와 같은 데이터에 따라서 로봇을 동작시키는 것에 의해, 도 13에 나타내어지는 원호 궤적을 따라서 기판이 반전 이동되는 실시예도 채용 가능하다. As shown in FIGS. 13B to 13D, the substrate 5 in FIG. 13A has an inner side and the other side (right side in the drawing) of the short side of one side (left side of the drawing). The short side is moved outward. Specifically, a teaching mode in which the rotation drive system of each axis of the robot shown in FIG. 4 is stopped and the robot can move each axis of the robot, and the angle and displacement of each axis of the moved robot are detected by the sensor. mode), the attitude of the board | substrate 5 and the angle and displacement of each axis of the robot which implement | achieves the attitude | position are explained and memorize | stored by the operator below. In FIG. 13A, the substrate 5 is lifted from the horizontal plane where the substrate 5 is located, and the substrate 5 moves in an inclined state so that the outer short side is higher than the inner short side. do. The board | substrate 5 'has shown the position after the board | substrate 5 moved. Moreover, the curve 69 has shown the trajectory of the board | substrate 5 which connects the vertices which correspond to each other in the board | substrate 5 and the board | substrate 5 '. The first substrate inverting portion 67 and the second substrate inverting portion 68 move the substrate 5 to draw a curve. In other words, it can be said that the substrate moves along the trajectory of the curve. The curve is an arc and is not a straight line but a smooth trajectory. In addition to the above-described teachings, the angle and displacement data of each axis of the robot are created and stored in the ROM of the control device in advance so that the substrate is inverted along the circular arc trajectory shown in FIG. By making it possible, an embodiment in which the substrate is inverted and moved along the circular arc trajectory shown in Fig. 13 can be employed.

기판(5)은, 도 13의 (b) 및 (c)에 나타내는 상태를 경유하여, 최종적으로 도 13의 (d)에 나타내는 상태로 이동된다. 도 13의 (d)의 기판(5)의 배치는, 도 13의 (a)의 기판(5)이 반전하여, 반송 방향을 따른 짧은 변이 긴 변이 되도록 변경된 배치이다. The board | substrate 5 is finally moved to the state shown to FIG. 13 (d) via the state shown to FIG. 13 (b) and (c). The arrangement of the substrate 5 in FIG. 13D is a configuration in which the substrate 5 in FIG. 13A is inverted so that the short side along the conveying direction becomes a long side.

게다가, 도 14를 이용하여 기판(5)의 배치를 변경시키는 과정에 대해서 설명한다. 도 14의 (a) ~ (d)는, 반전 기구(65)에 의해서 기판(5)을 반전시키는 과정을 나타내는 평면도이다. 도 14의 (a) ~ (d)의 기판(5)의 배치는 각각, 도 13의 (a) ~ (d)에서의 기판(5)의 배치에 대응하고 있다. In addition, a process of changing the arrangement of the substrate 5 will be described with reference to FIG. 14. 14A to 14D are plan views illustrating a process of inverting the substrate 5 by the inversion mechanism 65. The arrangement of the substrates 5 in FIGS. 14A to 14D corresponds to the arrangement of the substrates 5 in FIGS. 13A to 13D, respectively.

도 14는, 도 4에서의 기판(5)의 회전 과정을 나타내는 평면도이다. 도 14에서는, 반전 기구(65)에 추가하여 제1 기판 반송 기구(61) 및 제2 기판 반송 기구(62)를 도시하고 있다. 제1 기판 반송 기구(61) 및 제2 기판 반송 기구(62)에는 컨베이어 롤이 구비되어 있으며, 이것에 의해서 기판(5)이 반송된다. 또, 제1 기판 반송 기구(61)와 제2 기판 반송 기구(62)는 동일 방향을 향해서 배치되어 있다. 즉, L자형 형상 등의 복잡한 구조를 가지지 않는다. 따라서, 본 발명에 관한 접합 장치(60)는, 설치가 매우 간편하고, 면적 효율이 뛰어나다. FIG. 14 is a plan view illustrating a rotation process of the substrate 5 in FIG. 4. In FIG. 14, the first substrate transfer mechanism 61 and the second substrate transfer mechanism 62 are illustrated in addition to the inversion mechanism 65. The conveyor roll is provided in the 1st board | substrate conveyance mechanism 61 and the 2nd board | substrate conveyance mechanism 62, and the board | substrate 5 is conveyed by this. Moreover, the 1st board | substrate conveyance mechanism 61 and the 2nd board | substrate conveyance mechanism 62 are arrange | positioned toward the same direction. That is, it does not have a complicated structure such as an L-shaped shape. Therefore, the bonding apparatus 60 which concerns on this invention is very easy to install, and is excellent in area efficiency.

우선, 도 14의 (a)와 같이, 흡착부(66)가 기판(5)의 표면에 흡착하여, 기판(5)의 표면이 유지된다. 그 후, 도 14의 (d)의 기판(5)의 배치가 되도록, 도 13의 (a) ~ (c)에서 나타낸 곡선(69)의 궤적을 따라서 기판(5)의 이동이 이루어진다. 도 13의 (d)에 나타내는 위치에 기판(5)이 도달한 후에는, 흡착부(66)의 흡착이 해제되는 것에 의해 기판(5)의 유지가 풀린 후, 기판(5)은 제2 기판 반송 기구(62)에 의해서 반송된다. 그리고, 반전 기구(65)는 도 14의 (a)의 위치로 되돌아와, 순차적으로 반송되는 다른 기판(5)을 동일한 동작으로 반전시킨다. First, as shown in FIG. 14A, the adsorption portion 66 is adsorbed onto the surface of the substrate 5, and the surface of the substrate 5 is maintained. Thereafter, the substrate 5 is moved along the trajectory of the curve 69 shown in FIGS. 13A to 13C so as to arrange the substrate 5 of FIG. 14D. After the substrate 5 reaches the position shown in FIG. 13D, after the holding of the substrate 5 is released by the adsorption of the adsorption portion 66 released, the substrate 5 is the second substrate. It is conveyed by the conveyance mechanism 62. And the inversion mechanism 65 returns to the position of FIG. 14A, and inverts the other board | substrate 5 conveyed sequentially by the same operation | movement.

본 실시예의 반전 기구(65)에 의하면, 결과로서, 하나의 동작에 의해서, (1) 기판(5)은 반전됨과 아울러, (2) 제1 기판 반송 기구(61)의 반송 방향을 따른 긴 변 또는 짧은 변이 반송 방향에 대해서 직교하는 방향을 따르도록 배치된다. 이 때문에, 하나의 동작에 의해서, 기판(5)의 2개의 상태를 변경시킬 수 있다. According to the inversion mechanism 65 of this embodiment, as a result, (1) the board | substrate 5 is inverted and (2) the long side along the conveyance direction of the 1st board | substrate conveyance mechanism 61 by one operation | movement. Or the short side is arrange | positioned so that it may follow the direction orthogonal to a conveyance direction. For this reason, two states of the board | substrate 5 can be changed by one operation.

이와 같이 1개의 반전 기구(65)에 의해서 2개의 작용을 생기게 하기 때문에, 짧은 택트 타임으로 기판(5)의 반전이 가능하다. 즉, 1개의 반전 기구(65)에 의해서 기판(5)의 반전 및 반송 방향을 따른 변(邊)의 변경을 행하기 때문에, 접합 장치(60)에서의 라인(line) 길이를 압박하지도 않는다. As described above, since two actions are caused by one inversion mechanism 65, the substrate 5 can be inverted with a short tact time. That is, since the inversion of the board | substrate 5 and the side along a conveyance direction are changed by one inversion mechanism 65, the line length in the bonding apparatus 60 is not pressed.

또, 반전 기구(65)에 의해서 기판(5)에 대해서 반전 및 반송 방향을 따른 변의 변경을 행한 후, 닙 롤(16·16a)에 의해서, 기판(5)에 대해서 하면으로부터 편광 필름을 접합할 수 있다. 이것에 의해, 접합 장치(60)에 의해서 기판(5)의 양면에 대해서 동시에 하면으로부터 편광 필름이 접합될 수 있어, 정류 환경을 방해하지도 않는다. Moreover, after changing the inversion and conveyance direction with respect to the board | substrate 5 with the inversion mechanism 65, a polarizing film is bonded from the lower surface with respect to the board | substrate 5 with the nip roll 16 * 16a. Can be. Thereby, the polarizing film can be bonded by the bonding apparatus 60 with respect to both surfaces of the board | substrate 5 simultaneously, and does not disturb a rectifying environment.

도 14에서는, 제1 기판 반송 기구(61) 및 제2 기판 반송 기구(62)는 그 반송 방향이 일직선 상에 배치되지 않고, 인접한 구조로 되어 있다. 이것은, 도 14의 (a)의 기판(5)과, 도 14의 (d)의 기판(5)을 비교하면, 서로 대응하는 정점끼리의 복수의 중점(中點)을 이은 직선이, 제1 기판 반송 기구(61)에서의 기판(5)의 반송 방향에 대해서 45°각도로 되어 있다. 이와 같이, 제1 기판 반송 기구(61)와의 반송 방향과, 제2 기판 반송 기구(62)에서의 기판(5)의 반송 방향과는 동일 방향을 향하는, 즉 평행이기는 하지만 동일 직선 상으로는 아니기 때문이다. 또한, 도 14의 (d)의 기판(5)의 배치는 어디까지나 일례이며, 엄밀하게 해당 배치로 할 필요는 없다. In FIG. 14, the 1st board | substrate conveyance mechanism 61 and the 2nd board | substrate conveyance mechanism 62 do not have the conveyance direction arrange | positioned in a straight line, but have an adjacent structure. When the board | substrate 5 of FIG. 14 (a) and the board | substrate 5 of FIG. 14 (d) are compared, the straight line which connected the several midpoint of the vertices corresponding to each other is 1st. It is set at 45 degrees with respect to the conveyance direction of the board | substrate 5 in the board | substrate conveyance mechanism 61. As shown in FIG. Thus, the conveyance direction with the 1st board | substrate conveyance mechanism 61 and the conveyance direction of the board | substrate 5 in the 2nd board | substrate conveyance mechanism 62 are oriented in the same direction, ie, in parallel but not on the same straight line. . In addition, the arrangement | positioning of the board | substrate 5 of FIG.14 (d) is an example to the last, and it does not need to make this arrangement strictly.

도 5 내지 도 7에 나타내어지는 실시예의 반전 기구는, 베이스부(670)에 대해서 도면 중 상하 방향과 같이 일방향으로 신축 가능한 왕복부(671)와, 해당 왕복부(671) 내에 끼워져 도면 중 수평면에서 90도의 범위 내에서 회전하는 회전부(672)와, 해당 회전부(672)의 상단에 배설된 2개의 지지부(6731, 6732) 내에 회전 가능하게 삽입된 모터(6733)에 의해서 180도의 범위 내에서 회전 구동되는 회전축(6734)에 일체적으로 배설되고, 상기 기판 지지 장치(66)의 베이스 부재(660)의 일단에 배설된 모터(6630)에 일체적으로 연결한 기판 반전부로서의 기판 반전 부재(673)로 이루어진다. The inversion mechanism of the embodiment shown in FIGS. 5-7 is a reciprocating part 671 which can be stretched and contracted in one direction with respect to the base part 670 in the same direction as the up and down direction in the figure, and is fitted in the reciprocating part 671 in a horizontal plane in the drawing. Rotational drive within a range of 180 degrees by a rotating portion 672 rotating within a range of 90 degrees and a motor 6731 rotatably inserted into two support portions 6731 and 6732 disposed on an upper end of the rotating portion 672. A substrate inverting member 673 which is integrally disposed on the rotating shaft 6734 and which is integrally connected to the motor 6630 disposed on one end of the base member 660 of the substrate supporting apparatus 66. Is made of.

상기 모터(6733)에 의해서 회전 구동되는 상기 회전축(6734)이, 반전 기구의 기판 반전부(673)의 반전축을 구성하는 것으로, 왕복부(671) 내에 끼워져 도면 중 수평면에서 90도의 범위 내에서 회전하는 회전부(672)가, 배치 변경 부재이며, 해당 회전부(672)의 회전 축심(軸心)이 배치 변경축이다. The rotary shaft 6734, which is rotationally driven by the motor 6731, constitutes an inverted shaft of the substrate inverting portion 673 of the inverting mechanism, and is fitted in the reciprocating portion 671 to rotate within a range of 90 degrees in the horizontal plane in the drawing. The rotating part 672 is an arrangement changing member, and the rotation axis of the rotation part 672 is an arrangement changing axis.

상기 기판 반전 부재(673)는, 제어 장치로부터의 제어 신호에 의해서 도 5 및 도 7에 나타내어지는 제1 기판 반송 기구(61)의 하류단의 폭 방향으로 연장하는 상태로부터 도면 중 전(前) 방향으로 180도 반전하는 것이지만, 그 때 상기 회전부(672)가 반시계 방향으로 90도 회전 구동되기 때문에, 90도 회전했을 때에는, 도 6에 나타내어지는 바와 같이 제2 기판 반송 기구(62)의 상류단의 반송 방향으로 연장하는 상태가 되어, 제1 기판 반송 기구(61)의 하류단으로 반송된 기판(5)을 제2 기판 반송 기구(62)의 상류단에 배치 방향을 90도 변경하여 배치하여, 반송을 가능하게 한다. The said board | substrate inversion member 673 is before the figure from the state extended in the width direction of the downstream end of the 1st board | substrate conveyance mechanism 61 shown by FIG. 5 and FIG. 7 by the control signal from a control apparatus. In this case, the rotating unit 672 is rotated 90 degrees in the counterclockwise direction, and when rotated 90 degrees, the upstream of the second substrate transfer mechanism 62 is shown in FIG. 6. It is in the state extending in the conveyance direction of a stage, and arrange | positions the board | substrate 5 conveyed to the downstream end of the 1st board | substrate conveyance mechanism 61 to 90 degree upstream of the 2nd board | substrate conveyance mechanism 62, and arrange | positions. Thereby enabling conveyance.

상기 회전부(672)의 반시계 방향의 회전은, 도 5에 나타내어지는 상태에서는, 상기 제1 기판 반송 기구(61)의 하류측 단부의 폭 방향으로 분할된 복수의 예를 들면 4개의 분할 부분(61A, 61B, 61C, 61D)의 서로 이웃하는 분할 부분의 사이에 상기 제1 및 제2 지지 부재(661, 662)를 구성하는 대략 E자 모양의 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 예를 들면 3개의 돌출부(6611 ~ 6613, 6621 ~ 6623)가 진입하고 있는 상태이기 때문에, 상기 분할 부분(61A, 61B, 61C, 61D)과 상기 돌출부(6611 ~ 6613, 6621 ~ 6623)와의 간섭의 회피, 원호 궤적의 제어, 그 외의 관점을 위해서, 상기 기판 반전 부재(673)가 상부로 회전하여, 상기 3개의 돌출부(6611 ~ 6613, 6621 ~ 6623)가, 상기 분할 부분(61A, 61B, 61C, 61D) 보다 상부에 위치하여 진입 상태가 해소된 반전 각도 15도 이상, 30도, 45도로부터, 상기 회전부(672)의 반시계 방향의 회전을 개시함과 아울러, 도 6에 나타내어지는 상기 제2 기판 반송 기구(62)의 상류측 단부의 복수의 예를 들면 4개의 분할 부분(62A, 62B, 62C, 62D) 내에, 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부(6611 ~ 6613, 6621 ~ 6623)가 진입을 개시하기 전의 반전 각도 135도 이상, 150도, 165도 까지는 상기 회전부(672)의 반시계 방향의 회전이 종료하도록 회전 위상(位相)을 임의로 설정할 수 있다. In the state shown by FIG. 5, the rotation of the said rotating part 672 is the several division part (for example, four division parts divided into the width direction of the downstream end of the said 1st board | substrate conveyance mechanism 61 ( A plurality of examples of substantially E-shaped first and second comb-shaped members constituting the first and second support members 661 and 662 between adjacent divided portions of 61A, 61B, 61C, and 61D. For example, since the three projections 6611 to 6613 and 6621 to 6623 are entering, the interference between the divided portions 61A, 61B, 61C, and 61D and the protrusions 6611 to 6613 and 6621 to 6623 is avoided. In order to control the arc trajectory and other aspects, the substrate reversing member 673 rotates upwards so that the three protrusions 6611 to 6613 and 6621 to 6623 are divided into the divided portions 61A, 61B, 61C, 61D) from the inversion angle of 15 degrees or more, 30 degrees, or 45 degrees in which the entry state is eliminated above the half-time of the rotating part 672 In addition to starting rotation of the system direction, a plurality of, for example, four divided portions 62A, 62B, 62C, and 62D of the upstream end of the second substrate transfer mechanism 62 shown in FIG. The counterclockwise rotation of the rotary part 672 is at least 135 degrees, 150 degrees, and 165 degrees before the plurality of protrusions 6611 to 6613 and 6621 to 6623 of the first and second comb-shaped members start entering. The rotational phase can be arbitrarily set to end.

상기 구성에 의해 이루어지는 반전 기구는, 90도의 범위 내에서 회전하는 상기 회전부(672)의 상단에 배설된 2개의 지지부(6731, 6732) 내에 회전 가능하게 삽입된 상기 회전축(6734) 주위로 180도의 범위 내에서 기판 반전부로서의 기판 반전 부재(673)가 반전하기 때문에, 복합된 일련의 원호 궤적을 따른 이동에 의해서, 상기 제1 기판 반송 기구(61)의 하류측 단부에서 지지된 기판(5)을 반전시킴과 아울러, 상기 제2 기판 반송 기구(62)의 상류측 단부에 상기 제2 기판 반송 기구(62)에서의 반송 방향을 따르는 방향으로 변경하여 배치하므로, 택트 타임의 단축을 가능하게 한다. The reversal mechanism formed by the above configuration has a range of 180 degrees around the rotation shaft 6734 rotatably inserted in the two support portions 6731 and 6732 disposed on the upper end of the rotating portion 672 rotating within the range of 90 degrees. Since the substrate inverting member 673 as the substrate inverting portion is inverted within, the substrate 5 supported at the downstream end of the first substrate transfer mechanism 61 is moved by the movement along the combined series of circular arc trajectories. In addition to the inversion, the switch is arranged at an upstream end of the second substrate transfer mechanism 62 in a direction along the transfer direction of the second substrate transfer mechanism 62, thereby shortening the tact time.

도 8, 도 15 및 도 16에 나타내어지는 실시예의 반전 기구는, 베이스부(670)에 대해서 도면 중 상하 방향과 같이 일방향으로 신축 가능한 대략 L자 모양의 왕복부(671)와, 해당 L자 모양의 왕복부(671)의 선단부에 배설된 기판 반전용 구동 모터(6733)와, 해당 구동 모터(6733)의 회전축(6734)의 선단에 일체적으로 배설된 고착부(6735)와, 해당 고착부(6735)에 일부가 고착된 상하의 링 부재(6736, 6737)와, 해당 상하의 링 부재(6736, 6737)의 사이에 형성되는 공간 내에 도면 중 반시계 방향으로 회전 가능하게 끼워진 중간 회전 부재(6738)와, 해당 중간 회전 부재(6738)의 외주벽에 원주각으로 90도의 각도 관계가 되도록 고착되고, 제1 기판 반송 기구(61)의 하류단의 폭 방향으로 연장함과 아울러, 제2 기판 반송 기구(62)의 상류단의 반송 방향으로 연장하는 상기 기판 지지 장치(66)의 2개의 베이스 부재(660)의 일단에 배설된 모터(6630)에 일체적으로 연결한 제1 및 제2 기판 반전부(673)로 이루어진다. 8, 15 and 16, the inversion mechanism of the embodiment shown in FIG. 8 includes a substantially L-shaped reciprocating portion 671 which can be stretched and contracted in one direction with respect to the base portion 670 in the up-down direction, and the corresponding L-shape. Substrate inverting drive motor 6731 disposed at the distal end of reciprocating portion 671, fixing portion 6735 integrally disposed at the distal end of rotation shaft 6734 of the driving motor 6713, and the fixing portion Intermediate rotation member 6738 rotatably inserted counterclockwise in the figure in a space formed between the upper and lower ring members 6736 and 6737, part of which is fixed to 6767 and the upper and lower ring members 6736 and 6737. And the outer peripheral wall of the intermediate rotating member 6738 so as to have an angular relationship of 90 degrees at the circumferential angle, and extend in the width direction of the downstream end of the first substrate conveying mechanism 61, and the second substrate conveying mechanism ( The substrate support device 66 extending in the conveying direction of the upstream end of the substrate 62). 2 consists of a first end and a second substrate inverting portion (673) integrally coupled to the loose motor (6630) to the one base member (660).

상기 구동 모터(6733)의 상기 회전축(6734)은, 반전 기구의 반전축을 구성하므로, 제1 및 제2 기판 반송 기구의 기판 반송 방향과 평행하게 배치되어 있으며, 상하의 링 부재(6736, 6737)의 사이에 형성되는 공간 내에 도면 중 반시계 방향으로 회전 가능하게 끼워진 중간 회전 부재(6738)는, 배치 변경 부재를 구성하는 것으로, 해당 중간 회전 부재(6738)의 회전 중심이 배치 변경축이다. Since the rotation shaft 6734 of the drive motor 6731 constitutes an inversion shaft of the inversion mechanism, the rotation shaft 6734 is disposed in parallel with the substrate conveyance directions of the first and second substrate transfer mechanisms, and the upper and lower ring members 6736 and 6737 The intermediate rotation member 6738 rotatably fitted in the space formed in the counterclockwise direction constitutes a configuration change member, and the rotation center of the intermediate rotation member 6738 is the configuration change axis.

상기 기판 반전 부재(673)는, 제어 장치로부터의 제어 신호에 근거한 구동 모터(6733)의 회전에 의해서, 도 8, 도 15 및 도 16에 나타내어지는 제1 기판 반송 기구(61)의 하류단의 폭 방향 및 제2 기판 반송 기구(62)의 상류단의 반송 방향으로 각각 연장하는 상태로부터 도면의 지면 두께 방향 상측 및 하측으로 180도 반전하는 것이지만, 그 때 상기 중간 회전 부재(6738) 및 90도의 각도 관계로 배설된 제1 및 제2 기판 반전부(673)가 시계 방향으로 회전 구동원(도시하지 않음)에 의해서 90도 회전 구동되기 때문에, 90도 회전했을 때에는, 도 8에 나타내어지는 바와 같이 제1 기판 반송 기구(61)의 하류단에서 지지된 기판(5)이, 원호 모양 궤적을 따라서 이동하여 제2 기판 반송 기구(62)의 상류단의 반송 방향으로 연장하는 상태로 됨과 아울러, 제2 기판 반송 기구(62)의 상류단에서 지지된 기판(5)이, 원호 모양 궤적을 따라서 이동하여 제1 기판 반송 기구(61)의 하류단의 폭 방향으로 연장하는 상태로 된다. The substrate inversion member 673 is formed at the downstream end of the first substrate transfer mechanism 61 shown in FIGS. 8, 15, and 16 by rotation of the drive motor 6735 based on the control signal from the control device. Although it is reversed 180 degrees from the state extending in the width direction and the conveyance direction of the upstream end of the 2nd board | substrate conveyance mechanism 62, respectively to the upper side and the lower side of the paper thickness direction of drawing, the said intermediate | middle rotation member 6738 and 90 degrees Since the 1st and 2nd board | substrate inversion parts 673 arrange | positioned at an angular relationship are rotated 90 degrees by a rotation drive source (not shown) clockwise, when it rotates 90 degrees, it is made as shown in FIG. The board | substrate 5 supported by the downstream end of the 1st board | substrate conveyance mechanism 61 moves along an arc-shaped trace, and becomes the state which extends to the conveyance direction of the upstream end of the 2nd board | substrate conveyance mechanism 62, and is 2nd Upstream of the substrate conveyance mechanism 62 The board | substrate 5 supported by the stage moves along an arc-shaped trace, and will be in the state which extends in the width direction of the downstream end of the 1st board | substrate conveyance mechanism 61. As shown in FIG.

본 실시예도 상술의 실시예와 마찬가지로, 상기 기판 지지 장치(66)의 상기 분할 부분(61A, 61B, 61C, 61D)과 상기 돌출부(6611 ~ 6613, 6621 ~ 6623)와의 간섭의 회피, 원호 궤적의 제어, 그 외의 관점을 위해서, 상기 기판 반전 부재(673)가 상부 및 하부로 회전하여, 상기 3개의 돌출부(6611 ~ 6613, 6621 ~ 6623)가, 상기 분할 부분(61A, 61B, 61C, 61D)보다 상부 및 하부에 위치하여 진입 상태가 해소된 반전 각도 15도 이상, 30도, 45도로부터, 상기 중간 회전 부재(6738)의 시계 방향의 회전을 개시함과 아울러, 도 8에 나타내어지는 상기 제2 기판 반송 기구(62)의 상류측 단부의 복수의 예를 들면 4개의 분할 부분(62A, 62B, 62C, 62D) 내에, 제1 및 제2 빗 모양 부재의 복수의 돌출부(6611 ~ 6613, 6621 ~ 6623)가 진입을 개시하기 전의 반전 각도 135도 이상, 150도, 160도까지는 상기 중간 회전 부재(6738)의 시계 방향의 회전이 종료하도록 회전 위상을 임의로 설정할 수 있다. Similar to the above-described embodiment, the present embodiment also avoids the interference between the divided portions 61A, 61B, 61C, and 61D of the substrate support device 66 and the protrusions 6611 to 6613, 6621 to 6623, and the circular arc trajectory. For control and other viewpoints, the substrate reversing member 673 rotates up and down, so that the three protrusions 6611 to 6613, 6621 to 6623 are divided parts 61A, 61B, 61C, and 61D. The clockwise rotation of the intermediate rotation member 6738 is initiated from the inversion angles of 15 degrees or more, 30 degrees, and 45 degrees, which are located at the upper and lower portions, and the entry state is eliminated. The plurality of protrusions 6611 to 6613 and 6621 of the first and second comb-shaped members, for example, in four divided portions 62A, 62B, 62C, and 62D at the upstream end of the second substrate transfer mechanism 62. 6623 to 135 degrees, 150 degrees, and 160 degrees of inversion angles before starting to enter the The rotation direction of the system may set the rotational phase optionally to shut down.

상기 상하의 링 부재(6736, 6737)가 상부 및 하부로 45도 회전한 상태로 되었을 때에는, 도 15의 (C) 및 도 16의 (B)에 나타내어지는 바와 같이 상기 중간 회전 부재(6738)가 시계 방향으로 22.5도 회전 구동되므로, 상기 중간 회전 부재(6738)의 외주벽에 90도의 각도 관계로 배설된 제1 및 제2 기판 반전부(673)가 시계 방향으로 22.5도 회전 구동되고, 회전축(6734)을 중심으로 한 회전과 상기 중간 회전 부재(6738)의 회전축을 중심으로 한 회전이 복합된 원호 궤적을 따른 이동에 의해서 각각 22.5도 및 112.5도 상태가 된다. When the upper and lower ring members 6736 and 6737 are rotated 45 degrees to the upper and lower parts, as shown in FIGS. 15C and 16B, the intermediate rotating member 6738 is clockwise. Since the rotational drive is performed 22.5 degrees in the direction, the first and second substrate inverting portions 673 disposed in the 90 ° angle relationship on the outer circumferential wall of the intermediate rotating member 6738 are driven to rotate 22.5 degrees in the clockwise direction, and the rotary shaft 6672 is rotated. ) And the rotation about the rotation axis of the intermediate rotation member (6738) is 22.5 degrees and 112.5 degrees respectively by the movement along the circular arc trajectory.

상기 상하의 링 부재(6736, 6737)가 상부 및 하부로 90도 회전하여, 수직 상태로 되었을 때에는, 도 15의 (C) 및 도 16의 (C)에 나타내어지는 바와 같이 상기 중간 회전 부재(6738)가 시계 방향으로 45도 회전 구동되므로, 상기 중간 회전 부재(6738)의 외주벽에 90도의 각도 관계로 배설된 제1 및 제2 기판 반전부(673)가 시계 방향으로 45도 회전 구동되고, 상기 복합된 원호 궤적을 따른 이동에 의해서 각각 45도 및 135도 상태가 된다. When the upper and lower ring members 6736 and 6737 are rotated 90 degrees to the upper and lower parts and are in a vertical state, the intermediate rotating members 6738 as shown in FIGS. 15C and 16C are shown. Is rotated 45 degrees clockwise, the first and second substrate inverting portion 673 disposed in the angular relationship of 90 degrees to the outer peripheral wall of the intermediate rotation member 6738 is driven to rotate 45 degrees clockwise, Movement along the combined arc trajectory results in 45 and 135 degrees, respectively.

상기 상하의 링 부재(6736, 6737)가 상부 및 하부로 135도 회전한 상태로 되었을 때에는, 도 15의 (C) 및 도 16의 (D)에 나타내어지는 바와 같이 상기 중간 회전 부재(6738)가 시계 방향으로 135도 회전 구동되므로, 상기 중간 회전 부재(6738)의 외주벽에 90도의 각도 관계로 배설된 제1 및 제2 기판 반전부(673)가 시계 방향으로 62.5도 회전 구동되고, 상기 복합된 원호 궤적을 따른 이동에 의해서 각각 62.5도 및 152.5도 상태가 된다. When the upper and lower ring members 6736 and 6737 are rotated 135 degrees upward and downward, as shown in FIGS. 15C and 16D, the intermediate rotation member 6738 is clockwise. In the direction of rotation 135 degrees, the first and second substrate inverting portion 673 disposed in the angular relationship of 90 degrees on the outer circumferential wall of the intermediate rotation member 6738 is driven to rotate 62.5 degrees clockwise, the composite The movement along the arc trajectory results in a state of 62.5 degrees and 152.5 degrees, respectively.

상기 상하의 링 부재(6736, 6737)가 상부 및 하부로 180도 회전한 상태로 되었을 때에는, 도 15의 (C) 및 도 16의 (E)에 나타내어지는 바와 같이 상기 중간 회전 부재(6738)가 시계 방향으로 180도 회전 구동되므로, 상기 중간 회전 부재(6738)의 외주벽에 90도의 각도 관계로 배설된 제1 및 제2 기판 반전부(673)가 시계 방향으로 90도 회전 구동되고, 상기 복합된 원호 궤적을 따른 이동에 의해서 각각 90도 및 180도 상태가 된다. When the upper and lower ring members 6736 and 6737 are rotated 180 degrees upward and downward, as shown in FIGS. 15C and 16E, the intermediate rotation member 6738 is clockwise. Since the first and second substrate inverting portion 673 disposed in the angular relationship of 90 degrees on the outer peripheral wall of the intermediate rotation member 6738 is rotated by 90 degrees clockwise, the composite The movement along the arc trajectory results in 90 and 180 degrees, respectively.

본 실시예의 기판 반전부(67) 및 기판 지지 장치(66)는, 도 8, 도 15의 (E), 도 16의 (A)에 나타내어지는 바와 같이 수직면에서 180도의 각도 관계로 2개 배설되고, 상기 제1 및 제2 기판 반송 기구(61, 62)의 반송 방향과, 해당 반송 방향에 대해서 직교하는 폭 방향의 중간 위치에 배치된 반전 기구의 2개의 기판 반전부(673)에 연결함과 아울러, 제1 기판 반송 기구(61)의 폭 방향으로 연장하는 제1 기판 지지 장치(66)와 제2 기판 반송 기구(62)의 반송 방향으로 연장하는 제2 기판 지지 장치(66)가, 동일 평면에서 직교하는 배치 관계로 했으므로, 180도 기판 반전부(67)가 반전하면, 상기 복합된 일련의 원호 궤적을 따른 이동에 의해서 제1 및 제2 기판 반전부(67)가 바뀌어, 다음 기판의 지지 및 반전을 즉시 행할 수 있기 때문에, 도 4 및 도 5에 나타내어지는 실시예보다 택트 타임의 단축을 가능하게 하는 것이다. As shown in FIG. 8, FIG. 15E, and FIG. 16A, two board | substrate inversion parts 67 and the board | substrate support apparatus 66 of this embodiment are arrange | positioned at 180 degree angle relationship in a vertical plane, And two substrate inverting portions 673 of the inversion mechanism disposed at an intermediate position in the width direction perpendicular to the transport direction of the first and second substrate transport mechanisms 61 and 62, and In addition, the 1st board | substrate support apparatus 66 extended in the width direction of the 1st board | substrate conveyance mechanism 61 and the 2nd board | substrate support apparatus 66 extended in the conveyance direction of the 2nd board | substrate conveyance mechanism 62 are the same. Since the arrangement relationship is orthogonal to the plane, when the 180 degree substrate inverting portion 67 is inverted, the first and second substrate inverting portions 67 are changed by the movement along the complex series of arc trajectories, and the Since support and inversion can be performed immediately, the tact is better than the embodiment shown in FIGS. 4 and 5. It is to enable a certain speed.

도 17은, 반전 기구(65)를 2개 이용한 접합 장치(60)의 변형예를 나타내는 평면도이다. 해당 변형예의 변경점으로서는, (1) 반전 기구(65)가 2개이고, (2) 제1 기판 반송 기구(61)에 기판 재치부(61a)가 구비되어 있으며, (3) 제1 기판 반송 기구(61) 및 제2 기판 반송 기구(62)가 일직선 상에 배치되어 있는 점이다. 또한, 제1 기판 반송 기구(61) 및 제2 기판 반송 기구(62)가 동일 방향을 향해서 배치되어 있는 점은 동일하다. FIG. 17: is a top view which shows the modification of the bonding apparatus 60 which used two inversion mechanism 65. As shown in FIG. As a modification of this modification, (1) the inversion mechanism 65 is two, (2) the 1st board | substrate conveyance mechanism 61 is equipped with the board | substrate mounting part 61a, (3) the 1st board | substrate conveyance mechanism ( 61 and the 2nd board | substrate conveyance mechanism 62 are the points arrange | positioned on a straight line. In addition, the point in which the 1st board | substrate conveyance mechanism 61 and the 2nd board | substrate conveyance mechanism 62 are arrange | positioned toward the same direction is the same.

기판 재치부(61a) 및 반전 기구(65)는, 제1 기판 반송 기구(61)에서의 제2 기판 반송 기구(62)측의 단부에서, 상기 단부의 제1 기판 반송 기구(61)의 반송 방향에 대해서 수평인 양방향을 따라서 구비되어 있다. 반전 기구(65)는 도 4, 도 13 및 도 14에서 설명한 구조이다. 또, 상기 단부에는, 기판 재치부(61a)로 기판(5)을 반송하는 반송 수단이 구비되어 있으며, 구체적으로는, 예를 들면, 컨베이어 롤을 들 수 있다. The board | substrate mounting part 61a and the inversion mechanism 65 convey at the edge part of the 2nd board | substrate conveyance mechanism 62 side in the 1st board | substrate conveyance mechanism 61 of the 1st board | substrate conveyance mechanism 61 of the said end. It is provided along both directions horizontal to the direction. The inversion mechanism 65 is the structure demonstrated in FIG. 4, FIG. 13, and FIG. Moreover, the said conveyance means which conveys the board | substrate 5 to the board | substrate mounting part 61a is provided in the said edge part, Specifically, a conveyor roll is mentioned, for example.

기판 재치부(61a)는, 반전 기구(65)에 의한 기판(5)의 이동 전에, 기판(5)이 반송되는 종점이 되는 곳이다. 해당 구조에 의하면, 제1 기판 반송 기구(61)로 반송된 기판(5)은, 반송 수단에 의해서 2개의 기판 재치부(61a)로 교대로 반송된다. 기판 재치부(61a) 및 반전 기구(65)는 2쌍씩 구비되어 있고, 2개의 반전 기구(65)로 교대로 반송되는 복수의 기판(5)은, 제2 기판 반송 기구(62)에 순차적으로 이동된다. The board | substrate mounting part 61a is a place used as an end point which the board | substrate 5 conveys before the movement of the board | substrate 5 by the inversion mechanism 65. FIG. According to the said structure, the board | substrate 5 conveyed by the 1st board | substrate conveyance mechanism 61 is conveyed alternately to the two board | substrate mounting parts 61a by a conveying means. The board | substrate mounting part 61a and the inversion mechanism 65 are provided in pairs, and the some board | substrate 5 alternately conveyed by the two inversion mechanisms 65 is carried out to the 2nd board | substrate conveyance mechanism 62 sequentially. Is moved.

해당 변형예에서는, 2개의 기판 재치부(61a)는 제1 기판 반송 기구(61)의 수평인 양방향을 따라서 각각 구비되어 있기 때문에, 반전한 기판(5)은, 제1 기판 반송 기구(61)의 반송 방향을 따라서 배치되게 된다. 따라서, 제1 기판 반송 기구(61) 및 제2 기판 반송 기구(62)를 일직선 상에 배치하는 것이 가능하다. In this modification, since the two board | substrate mounting parts 61a are each provided along the horizontal direction of the 1st board | substrate conveyance mechanism 61, the inverted board | substrate 5 is the 1st board | substrate conveyance mechanism 61, respectively. It is arrange | positioned along the conveyance direction of. Therefore, it is possible to arrange | position the 1st board | substrate conveyance mechanism 61 and the 2nd board | substrate conveyance mechanism 62 in a straight line.

해당 변형예에 의하면, (1) 반전 기구(65)가 2개 구비되어 있기 때문에, 기판(5)을 단위 시간당 2배 처리할 수 있다. 이것에 의해, 단위 시간당 많은 기판(5)의 반전이 가능하기 때문에, 택트 타임이 단축된다. (2) 게다가, 제1 기판 반송 기구(61) 및 제2 기판 반송 기구(62)가 일직선 상에 배치되어 있기 때문에, 보다 면적 효율이 뛰어난 구조의 접합 장치를 제공할 수 있다. 특히 클린 룸에서 면적 효율이 요구되기 때문에, 해당 접합 장치는 매우 바람직하다. According to this modification, since (1) two inversion mechanisms 65 are provided, the board | substrate 5 can be processed twice per unit time. Thereby, since the inversion of many board | substrates 5 per unit time is possible, the tact time is shortened. (2) Moreover, since the 1st board | substrate conveyance mechanism 61 and the 2nd board | substrate conveyance mechanism 62 are arrange | positioned in a straight line, the bonding apparatus of the structure which is more excellent in area efficiency can be provided. Since the area efficiency is required especially in a clean room, the said bonding apparatus is very preferable.

<그 외의 부대적 구성><Other Incidents>

게다가, 바람직한 형태로서, 제조 시스템(100)은, 제어부(70), 세정부(71), 접합 어긋남 검사 장치(72) 및 접합 이물 자동 검사 장치(73) 및 분류 반송 장치(74)를 구비하고 있다. 접합 어긋남 검사 장치(72), 접합 이물 자동 검사 장치(73) 및 분류 반송 장치(74)는, 접합 후의 기판(5), 즉, 액정 표시 장치에 대하여 검사 등의 처리를 행한다.Moreover, as a preferable aspect, the manufacturing system 100 includes the control unit 70, the washing unit 71, the bonding misalignment inspection device 72, the bonding foreign material automatic inspection device 73, and the classification conveying device 74. have. The bonding misalignment inspection apparatus 72, the bonding foreign substance automatic inspection apparatus 73, and the classification conveyance apparatus 74 perform processing such as inspection on the substrate 5 after bonding, that is, the liquid crystal display device.

도 18은 상기 액정 표시 장치의 제조 시스템이 구비하는 각 부재의 관계를 나타내는 블럭도이며, 도 19는 액정 표시 장치의 제조 시스템의 동작을 나타내는 플로우 차트이다. 이하, 액정 표시 장치가 구비하는 각 부재의 설명과 함께 그 동작에 대해서 설명한다.FIG. 18 is a block diagram showing the relationship between each member included in the manufacturing system of the liquid crystal display device, and FIG. 19 is a flowchart showing the operation of the manufacturing system of the liquid crystal display device. Hereinafter, the operation | movement is demonstrated with description of each member with which a liquid crystal display device is equipped.

제어부(70)는, 반전부(65), 세정부(71), 접합 어긋남 검사 장치(72), 접합 이물 자동 검사 장치(73) 및 분류 반송 장치(74)와 접속되어 있으며, 이들에 제어 신호를 송신하여 제어한다. 제어부(70)는, 주로 CPU(Central Processing Unit)에 의해 구성되며, 필요에 따라 메모리 등을 구비한다.The control part 70 is connected with the inversion part 65, the washing | cleaning part 71, the bonding shift | offset | difference test | inspection apparatus 72, the bonded foreign material automatic inspection apparatus 73, and the classification conveyance apparatus 74, and a control signal to these. Send to control. The control unit 70 is mainly constituted by a CPU (Central Processing Unit), and has a memory or the like as necessary.

제조 시스템(100)에 세정부(71)가 구비되어 있는 경우, 세정부(71)에서의 택트 타임을 단축하기 위해, 제1 기판 반송 기구(61)에서의 기판(5)은, 긴 변 폭으로 세정부(71)로 반송되는 것이 바람직하다. 통상, 세정부(71)에서의 세정은 장시간을 필요로 하기 때문에, 택트 타임을 단축하는 관점에서 해당 구성은 매우 유효하다.When the manufacturing part 100 is equipped with the washing | cleaning part 71, in order to shorten the tact time in the washing | cleaning part 71, the board | substrate 5 in the 1st board | substrate conveyance mechanism 61 has a long side width. It is preferable to be conveyed to the washing | cleaning part 71 by this. In general, since the cleaning in the cleaning section 71 requires a long time, the configuration is very effective from the viewpoint of shortening the tact time.

다음에, 편광 필름을 기판(5)의 양면에 접합하는 접합 공정을 행하는데(도 19의 S2), 본 공정에 대해서는, 도 1 ~ 도 17을 이용하여 설명한 바와 같다.Next, although the bonding process of bonding a polarizing film to both surfaces of the board | substrate 5 is performed (S2 of FIG. 19), this process is as having demonstrated using FIG.

접합 어긋남 검사 장치(72)는, 접합된 기판(5)에서의 편광 필름의 접합 어긋남의 유무를 검사한다. 접합 어긋남 검사 장치(72)는, 카메라 및 화상 처리 장치에 의해 구성되어 있으며, 닙 롤(16·16a)에 의해 편광 필름이 접합된 기판(5)의 접합위치에 상기 카메라가 설치되어 있다. 상기 카메라로 기판(5)의 촬영이 행해지고, 촬영된 화상 정보를 처리하는 것에 의해서, 기판(5)에 접합 어긋남의 유무를 검사할 수 있다(접합 어긋남 검사 공정, 도 19의 S3). 또한, 접합 어긋남 검사 장치(72)로서는, 종래 공지의 접합 어긋남 검사 장치를 사용할 수 있다. The bonding deviation inspection device 72 inspects whether there is a bonding deviation of the polarizing film on the bonded substrate 5. The bonding shift | offset | difference test | inspection apparatus 72 is comprised by the camera and the image processing apparatus, and the said camera is provided in the bonding position of the board | substrate 5 with which the polarizing film was bonded by the nip roll 16 * 16a. The photographing of the board | substrate 5 is performed with the said camera, and the process of the image | photographed image | photographed can test the presence or absence of the bonding shift | deviation to the board | substrate 5 (bonding misalignment inspection process, S3 of FIG. 19). Moreover, as a junction shift inspection apparatus 72, a conventionally well-known junction shift inspection apparatus can be used.

접합 이물 자동 검사 장치(73)는, 접합된 기판(5)에서의 이물의 유무를 검사한다. 접합 이물 자동 검사 장치(73)는, 접합 어긋남 검사 장치(72)와 마찬가지로, 카메라 및 화상 처리 장치에 의해 구성되어 있으며, 닙 롤(16·16a)에 의해 편광 필름이 접합된 후의 기판(5)의 제2 기판 반송 기구(접합 장치(60))에 상기 카메라가 설치되어 있다. 상기 카메라로 기판(5)의 촬영이 행해지고, 촬영된 화상 정보를 처리하는 것에 의해서, 기판(5)에 접합 이물의 유무를 검사할 수 있다(접합 이물 검사 공정, S4). 상기 이물로서는, 먼지 등의 이물, 피시 아이(fish eye) 등을 들 수 있다. 또한, 접합 이물 자동 검사 장치(73)로서는, 종래 공지의 접합 이물 검사 장치를 사용할 수 있다.The bonded foreign object automatic inspecting device 73 inspects presence or absence of foreign matter on the bonded substrate 5. The bonding foreign material automatic inspection apparatus 73 is comprised by the camera and the image processing apparatus similarly to the bonding misalignment inspection apparatus 72, and the board | substrate 5 after a polarizing film is bonded by the nip roll 16 * 16a. The said camera is provided in the 2nd board | substrate conveyance mechanism (bonding apparatus 60) of the. The photographing of the board | substrate 5 is performed with the said camera, and the presence or absence of the bonding foreign material can be test | inspected to the board | substrate 5 by processing the photographed image information (bonding foreign material inspection process, S4). Examples of the foreign matter include foreign matter such as dust, fish eye, and the like. As the bonded foreign material automatic inspecting apparatus 73, a conventionally known bonded foreign body inspecting apparatus can be used.

S3 및 S4는 역(逆)의 순서로 이루어져도 좋으며, 동시에 이루어져도 좋다. 또, 일방의 공정을 생략하는 것도 가능하다.S3 and S4 may be made in the reverse order, and may be made simultaneously. It is also possible to omit one step.

분류 반송 장치(74)는, 접합 어긋남 검사 장치(72) 및 접합 이물 자동 검사 장치(73)로부터의 검사 결과에 근거하여, 접합 어긋남 및 이물의 유무를 판정한다. 분류 반송 장치(74)는, 접합 어긋남 검사 장치(72) 및 접합 이물 자동 검사 장치(73)로부터 검사 결과에 근거하는 출력 신호를 수신하여, 접합된 기판(5)을 우량품 또는 불량품으로 분류할 수 있는 것이면 좋다. 따라서, 종래 공지의 분류 반송 시스템을 이용할 수 있다.The sorting and conveying device 74 judges whether or not there is a bond displacement or foreign matter based on the inspection results from the bonding deviation inspection device 72 and the automatic bonded product inspection device 73. The sorting conveying apparatus 74 receives the output signal based on a test result from the bonding misalignment inspection apparatus 72 and the bonding foreign material automatic inspection apparatus 73, and classifies the bonded board | substrate 5 as a quality goods or a defective article. It is good if there is. Therefore, conventionally known sorting and transporting systems can be used.

해당 액정 표시 장치의 제조 시스템에서는 바람직한 형태로서 접합 어긋남 및 이물의 양쪽 모두를 검출하는 구성으로 되어 있으며, 접합 어긋남 또는 이물이 검사되었다고 판정된 경우(YES), 접합된 기판(5)은 불량품으로서 분류된다(S7). 한편, 접합 어긋남 및 이물 중 어느 것도 검지되지 않았다고 판정된 경우(NO), 접합된 기판(5)은 우량품으로서 분류된다(S6).In the manufacturing system of the said liquid crystal display device, it is a structure which detects both a bonding shift | offset and a foreign material as a preferable form, and when it determines with a bonding shift or a foreign material being inspected (YES), the bonded board | substrate 5 is classified as a defective product. (S7). On the other hand, when it is determined that none of the bonding misalignment and the foreign matter are detected (NO), the bonded substrate 5 is classified as a good product (S6).

분류 반송 장치(74)를 구비하는 액정 표시 장치의 제조 시스템에 의하면, 우량품 및 불량품의 분류를 신속하게 행할 수 있어, 택트 타임을 단축하는 것이 가능하다. 접합 어긋남 검사 장치(72) 또는 접합 이물 자동 검사 장치(73)만이 구비되어 있는 경우, 분류 반송 장치(74)는, 접합 어긋남 및 이물 중 일방만의 유무를 판정하는 구성이라도 좋다.According to the manufacturing system of the liquid crystal display device provided with the sorting conveying apparatus 74, sorting of quality goods and inferior goods can be performed quickly, and it is possible to shorten a tact time. When only the bonding shift inspection apparatus 72 or the bonding foreign matter automatic inspection apparatus 73 is provided, the classification conveyance apparatus 74 may be a structure which determines the presence or absence of only one of the bonding shift | offsets and a foreign material.

게다가 본 실시예의 편광 필름의 접합 장치 및 액정 표시 장치의 제조 시스템은, 상기 기판 지지 장치가, 상기 편광 필름의 접합 장치가 포함하는 상기 반전 기구가 구비하는 상기 기판 반전부(67)가, 회전하여 반전 동작하므로, 상기 기판 반전부의 1회의 반전 동작에 의한 원호 궤적을 따르는 이동에 의해, 제1 편광 필름이 접합된 상기 기판의 반송 방향을 따라서 오프셋 한 위치에서 짧은 변 및 긴 변의 방향을 변경할 수 있음과 아울러, 택트 타임을 짧게 할 수 있다고 하는 효과를 나타낸다. Furthermore, in the bonding apparatus of the polarizing film of this Example, and the manufacturing system of a liquid crystal display device, the said board | substrate support apparatus rotates the said board | substrate inversion part 67 with which the said inversion mechanism which the bonding apparatus of the said polarizing film comprises is rotated, Since the inversion operation, the short and long sides can be changed at positions offset along the conveying direction of the substrate to which the first polarizing film is bonded by the movement along the arc trajectory by one inverting operation of the substrate inverting unit. In addition, it shows the effect that the tact time can be shortened.

또 본 실시예의 편광 필름의 접합 장치는, 상기 기판 지지 장치가, 상기 편광 필름의 접합 장치가 포함하는 상기 반전 기구가 구비하는 상기 기판 반전부(67)가, 반전하여 반전 동작하므로, 상기 기판 반전부의 상기 1회의 반전 동작에 의한 원호 궤적을 따르는 이동에 의해, 제1 편광 필름이 접합된 상기 기판의 반송 방향을 따라서 오프셋 한 위치에서 짧은 변 및 긴 변의 방향을 변경할 수 있음과 아울러, 택트 타임을 짧게 할 수 있다고 하는 효과를 나타낸다. Moreover, in the bonding apparatus of the polarizing film of this Example, since the said board | substrate support apparatus inverts and inverts the said board | substrate inversion part 67 with which the said inversion mechanism which the bonding apparatus of the said polarizing film comprises is inverted, the said substrate inversion By the movement along the arc trajectory of the negative one-time inversion operation, the direction of the short and long sides can be changed at a position offset along the conveying direction of the substrate to which the first polarizing film is bonded, and the tact time can be changed. It shows the effect that it can be shortened.

또한, 본 발명은, 상술한 각 실시 형태에 한정되는 것은 아니고, 청구항에 나타낸 범위 및 그 정신에 근거하여 여러 가지의 변경이 가능하고, 다른 실시예에 각각 개시된 기술적 수단을 적절히 조합하여 얻어지는 실시 형태에 대해서도 본 발명의 기술적 범위에 포함된다.
In addition, this invention is not limited to each embodiment mentioned above, Various changes are possible based on the range and the mind which were shown in the claim, and embodiment obtained by combining suitably the technical means disclosed in each other example suitably. Also included in the technical scope of the present invention.

[산업상의 이용 가능성][Industrial Availability]

본 발명에 관한 편광 필름의 접합 장치는, 편광 필름을 기판에 접합하는 분야에서 이용 가능하다.
The bonding apparatus of the polarizing film which concerns on this invention can be utilized in the field which bonds a polarizing film to a board | substrate.

1 제1 권출부 1a 제2 권출부
2 제1 권취부 2a　　제2 권취부
3 하프 커터 4 나이프 엣지
5·5' 기판 5a 편광 필름
5b 박리 필름 6·6a　닙 롤(제1 접합부)
7·7a　결점 필름 권취 롤러 11　　 제1 권출부
11a　　제2 권출부 12　　 제1 권취부
12a　　제2 권취부 13　　 하프 커터
14　　 나이프 엣지 16·16a 닙 롤(제2 접합부)
17·17 a　결점 필름 권취 롤러 40　　　HEPA 필터
41 그레이팅 50　　필름 반송 기구
51 제1 필름 반송 기구 52　　 제2 필름 반송 기구
60 접합 장치(편광 필름의 접합 장치) 61 제1 기판 반송 기구
61a 기판 재치부 62 제2 기판 반송 기구
65 반전 기구 66 기판 지지 장치
66S 흡착부
67 제1 기판 반전부(기판 반전부)
68 제2 기판 반전부(기판 반전부) 69 곡선
70 제어부 71 세정부
72 접합 어긋남 검사 장치
73 접합 이물 자동 검사 장치 74 분류 반송 장치 100　　제조 시스템(액정 표시 장치의 제조 시스템)1 Book 1 Book 1a Book 2 Book
2 1st winding part 2a 2nd winding part
3 Half cutter 4 Knife edge
5 'substrate 5a polarizing film
5b peeling film 6, 6a nip roll (1st junction part)
7 占 7a defective film winding roller 11 1st winding part
11a 2nd winding part 12 1st winding part
12a 2nd winding 13 half cutter
14 Knife Edge 16 / 16a Nip Roll (Second Junction)
17 · 17 a defect film winding roller 40 HEPA filter
41 Grating 50 Film Transfer Mechanism
51 1st film conveyance mechanism 52 2nd film conveyance mechanism
60 bonding apparatus (bonding apparatus of polarizing film) 61 1st board | substrate conveyance mechanism
61a substrate placement unit 62 second substrate transfer mechanism
65 Reverse Mechanism 66 Substrate Support
66S adsorption part
67 First substrate inverter (substrate inverter)
68 2nd substrate inversion part (substrate inversion part) 69 curve
70 control unit 71 tax administration
72 joint misalignment inspection device
73 Bonding foreign material automatic inspection device 74 Classification conveying apparatus 100 Manufacturing system (production system of liquid crystal display device)

Claims

A first substrate conveying mechanism for conveying a rectangular substrate in a state in which a long side or a short side is along the conveying direction;
A first bonding portion for bonding a polarizing film to a lower surface of the substrate in the first substrate transport mechanism,
An inversion mechanism for inverting the substrate conveyed by the first substrate transfer mechanism and placing the substrate on the second substrate transfer mechanism;
A second substrate conveying mechanism for conveying the substrate in a state in which a short side or a long side is along the conveying direction;
As a polarizing film bonding apparatus containing the 2nd bonding part which bonds a polarizing film to the lower surface of the said board | substrate in a said 2nd board | substrate conveyance mechanism,
The said 1st board | substrate conveyance mechanism and the 2nd board | substrate conveyance mechanism are arrange | positioned toward the same direction,
The inversion mechanism includes an adsorption unit for adsorbing the substrate,
It is connected to the said adsorption part, and has a board | substrate inversion part which inverts a board | substrate, The said board | substrate inversion part inverts the board | substrate in a 1st board | substrate conveyance mechanism, (1) to draw a curve, (2), (3 ) The bonding apparatus of the polarizing film arrange | positioned at a 2nd board | substrate conveyance mechanism so that the long side or short side along the conveyance direction of a 1st board | substrate conveyance mechanism may follow the direction orthogonal to a conveyance direction.

A first substrate conveying mechanism for conveying a rectangular substrate in a state in which a long side or a short side is along the conveying direction;
A first bonding portion for bonding a polarizing film to a lower surface of the substrate in the first substrate transport mechanism,
A substrate support device having a substrate support portion for supporting the substrate conveyed by the first substrate transfer mechanism;
An inversion mechanism having a substrate inversion portion connected to the substrate support portion to invert and place the substrate supported on the substrate support portion;
A second substrate conveyance mechanism for inverting by the inversion mechanism and conveying the substrate arranged in a state in which a short side or a long side is along the conveying direction;
As a polarizing film bonding apparatus containing the 2nd bonding part which bonds a polarizing film to the lower surface of the said board | substrate in a said 2nd board | substrate conveyance mechanism,
The said 1st board | substrate conveyance mechanism and the 2nd board | substrate conveyance mechanism are arrange | positioned toward the same direction,
The said reverse mechanism conveys by a 2nd board | substrate conveyance mechanism from the reverse axis which inverts a board | substrate inversion part so that the surface of the said board | substrate may be a back surface, and the arrangement direction of the board | substrate conveyed by the said 1st board | substrate conveyance mechanism. By rotating the substrate conveyed by the first substrate transfer mechanism by drawing a circular arc trajectory by rotating the substrate in a predetermined angle range around the arrangement change axis changed by the arrangement change unit in the arrangement direction of the substrate. The bonding apparatus of the polarizing film comprised so that arrangement | positioning may be changed so that it may follow the conveyance direction of the board | substrate in a 2nd board | substrate conveyance mechanism, and it arrange | positions with respect to the said 2nd board | substrate conveyance mechanism.

The method according to claim 2,
The said inversion mechanism is connected to the inversion shaft part provided with the said inversion shaft rotatably arrange | positioned by the said board | substrate inversion part, The bonding apparatus of the polarizing film comprised so that each may be rotationally driven by a rotation drive source. .

The method according to claim 2,
The said inversion mechanism is arrange | positioned at the said board | substrate inversion part connected to the inversion shaft part provided with the said inversion axis part so that relative rotation is possible, The bonding apparatus of the polarizing film comprised so that each may be rotationally driven by a rotation drive source.

The method according to any one of claims 2 to 4,
The said board | substrate support part of the said board | substrate support apparatus is a bonding apparatus of the polarizing film comprised by the some support member which clamps and supports both surfaces of the said board | substrate conveyed by the said 1st board | substrate conveyance mechanism.

The method according to any one of claims 2 to 4,
The said board | substrate support part of the said board | substrate support apparatus is a bonding apparatus of the polarizing film comprised by the adsorption member provided with the adsorption | suction part which adsorb | sucks the surface of the said board | substrate conveyed by the said 1st board | substrate conveyance mechanism.

The method according to claim 3 or 4,
The substrate supporting apparatus is disposed on a member connected to a substrate inverting unit which performs the inverting operation of the substrate, and the first supporting member and the second supporting member entering the ends of the first substrate conveying mechanism and the second substrate conveying mechanism. By the relative movement with the said 2nd support member, the said board | substrate conveyed from the said 1st board | substrate conveyance mechanism is supported by clamping, and the said 1st support member and 2nd By the relative movement with the supporting member, the substrate supported by being clamped between the first supporting member and the second supporting member inverted by the substrate inverting portion is released by the narrowing, and the The bonding apparatus of the polarizing film comprised so that it may be mounted to the edge part of a 2nd board | substrate conveyance mechanism.

The method according to claim 3 or 4,
End portions of the first substrate transfer mechanism are divided into a plurality of portions in the width direction, and a plurality of protrusions of the first and second comb-shaped members constituting the first and second support members between adjacent portions. The first and second supporting members, in which a plurality of gaps into which is entered, are formed, and an end portion of the second substrate transfer mechanism is divided into a plurality of portions in a conveying direction and inverted between neighboring portions. The bonding apparatus of the polarizing film in which the some gap which the some protrusion of the said 1st and 2nd comb-shaped member which comprises this enters enters is formed.

The method according to claim 8,
The bonding apparatus of the polarizing film comprised so that the 1st and 2nd comb-shaped members provided with the some protrusion part which comprises the said 1st and 2nd support member may be rocked in a fixed angle range with a part as point.

The method according to claim 9,
The bonding apparatus of the polarizing film in which the said 1st and 2nd comb-shaped members provided with the some protrusion part which comprises the said 1st and 2nd support member are rock-driven by a rocking drive mechanism.

The method of claim 10,
The oscillation drive mechanism includes a first oscillation drive mechanism for oscillating the first comb-shaped member including the plurality of protrusions constituting the first support member, and a plurality of protrusions constituting the second support member. Bonding apparatus of the polarizing film which consists of a 2nd oscillation drive mechanism which oscillates and drives the said 2nd comb-shaped member.

The method according to claim 8,
The first and second comb-shaped members having a plurality of protrusions constituting the first and second support members are configured to be reciprocally movable so that their opposing intervals change by relatively approaching or spaced apart in one direction. Bonding device of polarizing film.

The method of claim 12,
The said 1st and 2nd comb-shaped member provided with the some protrusion part which comprises the said 1st and 2nd support member is driven by a linear drive mechanism, and the bonding apparatus of the polarizing film comprised so that it may reciprocate.

The method according to claim 1 or 2,
The first substrate transfer mechanism and the second substrate transfer mechanism are arranged in a straight line,
At the edge part on the side of the 2nd board | substrate conveyance mechanism in a 1st board | substrate conveyance mechanism, the board | substrate mounting part and the said inversion mechanism are provided by two pairs along the bidirectional which is horizontal with respect to the conveyance direction of a 1st board | substrate conveyance mechanism,
The said end part is equipped with the conveying means which conveys a board | substrate from the said end to the said board | substrate mounting part,
The said inversion mechanism inverts the board | substrate conveyed by each of the said board | substrate mounting parts, and is a bonding apparatus of the polarizing film arrange | positioned to a 2nd board | substrate conveyance mechanism.

The method according to any one of claims 1, 2 or 14,
The 1st film conveyance mechanism and 2nd film conveyance mechanism which convey a polarizing film are provided,
In the said 1st film conveyance mechanism, the some unwinding part which unwinds the polarizing film protected by the peeling film, the cut part which cut | disconnects a polarizing film, the removal part which removes a peeling film from a polarizing film, and the said peeling film removed It is provided with a plurality of windings for winding the
In the said 2nd film conveyance mechanism, the some unwinding part which unwinds the polarizing film protected by the peeling film, the cut part which cut | disconnects a polarizing film, the removal part which removes a peeling film from a polarizing film, and the said peeling film removed It is provided with a plurality of windings for winding the
The said 1st board | substrate conveyance mechanism and the 2nd board | substrate conveyance mechanism are provided in the upper part of the said 1st film conveyance mechanism and the 2nd film conveyance mechanism,
A second bonding portion for bonding the polarizing film from which the release film is removed, to the substrate, between the first film transfer mechanism and the first substrate transfer mechanism, wherein the first bonding portion for bonding the polarizing film from which the release film is removed is bonded to the substrate; The bonding apparatus of the polarizing film with which a bonding part is each provided between the said 2nd film conveyance mechanism and a 2nd board | substrate conveyance mechanism.

The method according to any one of claims 1, 2, 14 or 15,
It is equipped with the washing part which wash | cleans a board | substrate before bonding a polarizing film to the lower surface of a board | substrate by a said 1st bonding part,
The said 1st board | substrate conveyance mechanism is a bonding apparatus of the polarizing film which conveys a board | substrate in the state in which the short side of a board | substrate followed the conveyance direction.

The method according to claim 15,
In the said 1st film conveyance mechanism and the said 2nd film conveyance mechanism,
A defect detection unit for detecting a defect indication attached to the polarizing film unrolled from the first unwinding unit,
A joint avoidance unit which determines the defect display and stops the conveyance of the substrate;
The bonding apparatus of the polarizing film which has a collection part which collect | recovers the polarizing film in which the bonding with the board | substrate was avoided.

The bonding apparatus of the polarizing film of any one of Claims 1, 2, 14-17,
The manufacturing system of the liquid crystal display device provided with the bonding shift | offset | difference inspection apparatus which inspects the bonding shift | offset | difference in the board | substrate with which the polarizing film was bonded by the said 2nd bonding part.

19. The method of claim 18,
The manufacturing system of the liquid crystal display device provided with the classification conveyance apparatus which judges the presence or absence of the bonding misalignment based on the inspection result by the said bonding misalignment inspection apparatus, and classifies the board | substrate with which the polarizing film was bonded based on the said determination result.

The bonding apparatus of the polarizing film of any one of Claims 1, 2, 14-17,
The manufacturing system of the liquid crystal display device provided with the bonding foreign material automatic inspection apparatus which inspects the foreign material in the board | substrate with which the polarizing film was bonded by the 2nd bonding part in the said bonding apparatus.

The method of claim 20,
The manufacturing system of the liquid crystal display device provided with the classification conveyance apparatus which determines the presence or absence of a foreign material based on the inspection result by the said bonded foreign material automatic inspection device, and classifies the board | substrate with which the polarizing film was bonded based on the said determination result.

19. The method of claim 18,
It is provided with the bonding foreign material automatic inspection apparatus which inspects the foreign material in the board | substrate with which the polarizing film was bonded by the said 2nd bonding part,
Based on the inspection result by the said bonding misalignment inspection apparatus and the inspection result by the said automatic bonding foreign material inspection apparatus, the presence or absence of a bonding deviation and a foreign material is judged, and based on the said determination result, the classification of the board | substrate with which the polarizing film was bonded was carried out. The manufacturing system of the liquid crystal display device provided with the classification conveyance apparatus performed.