JP5523916B2 - Polarizing film laminating apparatus and liquid crystal display manufacturing system having the same - Google Patents

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Description

本発明は、偏光フィルムの貼合装置およびこれを備える液晶表示装置の製造システムに関するものである。   The present invention relates to a polarizing film laminating apparatus and a liquid crystal display manufacturing system including the same.

従来、液晶表示装置が広く製造されている。液晶表示装置に用いられる基板(液晶パネル)には、光の透過または遮断を制御するために、偏光フィルムが貼合されることが通常である。偏光フィルムはその吸収軸が直交するように貼合されている。   Conventionally, liquid crystal display devices have been widely manufactured. In general, a polarizing film is bonded to a substrate (liquid crystal panel) used in a liquid crystal display device in order to control transmission or blocking of light. The polarizing film is bonded so that the absorption axes thereof are orthogonal.

基板に偏光フィルムを貼合する方法としては、偏光フィルムを基板に応じたサイズにカットした後に貼合する所謂 chip to panel 方式が挙げられる。しかしながら、この方式では、基板に対して、一枚ずつ偏光フィルムを貼合するため、生産効率が低いという欠点がある。一方、他の方式として、偏光フィルムをコンベアーロールに供給し、連続的に基板に貼合する所謂 roll to panel 方式が挙げられる。当該方法によれば、高い生産効率にて貼合が可能となる。   As a method of bonding the polarizing film to the substrate, a so-called chip to panel method in which the polarizing film is bonded to the substrate after being cut into a size corresponding to the substrate can be mentioned. However, this method has a disadvantage that the production efficiency is low because the polarizing films are bonded to the substrate one by one. On the other hand, as another method, there is a so-called roll to panel method in which a polarizing film is supplied to a conveyor roll and continuously bonded to a substrate. According to this method, bonding can be performed with high production efficiency.

roll to panel 方式の例として、特許文献1に光学表示装置の製造システムが開示されている。上記製造システムは、基板の上面に光学フィルム(偏光フィルム)を貼合した後に、基板を旋回させ、下面から偏光フィルムを貼合するものである。   As an example of the roll to panel method, Patent Document 1 discloses an optical display device manufacturing system. The said manufacturing system rotates a board | substrate after bonding an optical film (polarizing film) on the upper surface of a board | substrate, and bonds a polarizing film from a lower surface.

特許第4307510号公報(2009年8月5日発行)Japanese Patent No. 4307510 (issued on August 5, 2009)

しかしながら、上記従来の装置では、以下の問題がある。   However, the conventional apparatus has the following problems.

まず、基板に対して偏光フィルムを貼合する場合、埃などの異物が貼合面へ混入することを回避するため、クリーンルームにて作業がなされるのが通常である。そして、クリーンルームでは、空気の整流がなされている。基板に対してダウンフローにて整流がなされた状態にて偏光フィルムの貼合がなされることが、異物による歩留低下を抑制するために必要だからである。   First, when a polarizing film is bonded to a substrate, work is usually performed in a clean room in order to prevent foreign matters such as dust from entering the bonding surface. In the clean room, air is rectified. This is because it is necessary to bond the polarizing film in a state in which rectification is performed on the substrate in a downflow in order to suppress the yield reduction due to the foreign matter.

この点に関して、特許文献1の製造システムは、基板に対して上面および下面から偏光フィルムを貼合する構成となっている。しかし、偏光フィルムの上面から貼合を行う場合、気流(ダウンフロー)が偏光フィルムによって妨げられ、基板への整流環境が悪化してしまうというデメリットが挙げられる。偏光フィルムの上面から貼合を行う場合の例として、図11(a)および図11(b)に上貼り型の製造システムにおける気流の速度ベクトルを示す。図11における、領域Aは、偏光フィルムを巻出す巻出部等が設置される領域であり、領域Bは主に偏光フィルムが通過する領域、および、領域Cは、偏光フィルムから除去された剥離フィルムを巻き取る巻取部等が設置される領域である。   In this regard, the manufacturing system of Patent Document 1 has a configuration in which a polarizing film is bonded to the substrate from the upper surface and the lower surface. However, when bonding is performed from the upper surface of the polarizing film, there is a demerit that the airflow (downflow) is hindered by the polarizing film and the rectification environment to the substrate is deteriorated. As an example of pasting from the upper surface of the polarizing film, FIGS. 11 (a) and 11 (b) show air velocity vectors in the top-paste type manufacturing system. In FIG. 11, region A is a region where an unwinding part for unwinding the polarizing film is installed, region B is a region through which the polarizing film mainly passes, and region C is peeled off from the polarizing film. This is an area in which a take-up unit or the like for winding the film is installed.

また、HEPA(High Efficiency Particulate Air)フィルター40からはクリーンエアーが供給される。なお、図11(a)では、クリーンエアーが通過可能なグレーチング41が設置されているためグレーチング41を介して気流が垂直方向に移動することが可能である。一方、図11(b)では、グレーチング41が設置されていないため、気流は図11(b)最下部の床に接触した後、床に沿って移動することとなる。   Also, clean air is supplied from a HEPA (High Efficiency Particulate Air) filter 40. In FIG. 11A, since the grating 41 through which clean air can pass is installed, the airflow can move in the vertical direction via the grating 41. On the other hand, in FIG. 11B, since the grating 41 is not installed, the airflow moves along the floor after contacting the floor at the bottom of FIG. 11B.

図11(a)・(b)には、領域A〜Cが2F(2階)部分に配置されており、HEPAフィルター40からのクリーンエアーが偏光フィルムによって妨げられる。したがって、2F部分を通過する基板に対して垂直方向に向う気流が生じ難い。これに対して、水平方向の気流ベクトルは大きな(ベクトルの密度が濃い)状態となっている。すなわち、整流環境が悪化した状態であるといえる。   In FIGS. 11A and 11B, the areas A to C are arranged in the 2F (second floor) portion, and the clean air from the HEPA filter 40 is blocked by the polarizing film. Therefore, it is difficult to generate an airflow in the vertical direction with respect to the substrate passing through the 2F portion. On the other hand, the airflow vector in the horizontal direction is large (vector density is high). That is, it can be said that the rectification environment has deteriorated.

本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、整流環境を妨げることのない偏光フィルムの貼合装置およびこれを備える液晶表示装置の製造システムを提供することにある。   This invention is made | formed in view of the said conventional problem, Comprising: The objective is to provide the manufacturing system of a polarizing film bonding apparatus and a liquid crystal display device provided with the same which do not disturb a rectification environment. is there.

本発明の偏光フィルムの貼合装置は、上記課題を解決するために、長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第1基板搬送機構と、上記第1基板搬送機構における上記基板の下面に偏光フィルムを貼合する第1貼合部と、上記第1基板搬送機構にて搬送された上記基板を反転させて第2基板搬送機構に配置する反転機構と、上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第2基板搬送機構と、上記第2基板搬送機構における上記基板の下面に偏光フィルムを貼合する第2貼合部とを含む偏光フィルムの貼合装置であって、上記第1基板搬送機構および第2基板搬送機構は、基板を同一方向に搬送するものであり、上記反転機構は、上記基板を吸着する吸着部と、上記吸着部を介して基板を反転させる、吸着部に連結した基板反転部とを有しており、上記基板反転部は、(1)上記基板の長辺または短辺が第2基板搬送機構の基板の搬送方向に直交するように上記基板を第2基板搬送機構へ移動させ、(2)上記基板の表面側を第2基板搬送機構に向かって移動させることによって基板を反転させることを特徴としている。   In order to solve the above problems, the polarizing film laminating apparatus of the present invention transports a rectangular substrate with a long side or a short side along the transport direction, and the first substrate. A first bonding unit that bonds a polarizing film to the lower surface of the substrate in the transport mechanism; a reversing mechanism that reverses the substrate transported by the first substrate transport mechanism and places the substrate in the second substrate transport mechanism; A second substrate transport mechanism for transporting the substrate in a state where the short side or the long side is along the transport direction, and a second bonding unit for bonding a polarizing film to the lower surface of the substrate in the second substrate transport mechanism; The first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism transport the substrate in the same direction, and the reversing mechanism includes an adsorbing unit that adsorbs the substrate, and Invert the substrate through the suction part A substrate reversing unit coupled to the suction unit, and the substrate reversing unit includes: (1) the long side or the short side of the substrate is perpendicular to the substrate transport direction of the second substrate transport mechanism. The substrate is moved to the second substrate transfer mechanism, and (2) the substrate is inverted by moving the surface side of the substrate toward the second substrate transfer mechanism.

上記の発明によれば、第1貼合部によって基板の下面に偏光フィルムを貼合し、反転機構における基板反転部の反転軸に沿った回転によって、基板を反転させると共に、搬送方向に対する長辺および短辺を変更することができる。その後、第2貼合部によって基板の下面に偏光フィルムを貼合することができる。すなわち、基板の両面に対して、下面から偏光フィルムを貼合することができるため、整流環境を妨げることがない。また、反転機構の動作は単純な2動作であるため、タクトタイムが短い。したがって、タクトタイムの短い貼合をも実現できる。さらに、上記第1基板搬送機構と第2基板搬送機構とが基板を同一方向に搬送するものである。すなわち、L字型形状などの複雑な構造を有していない。したがって、本発明に係る貼合装置は、設置が非常に簡便であり、面積効率に優れる。   According to said invention, while sticking a polarizing film to the lower surface of a board | substrate by the 1st bonding part and rotating along the inversion axis | shaft of the board inversion part in a inversion mechanism, while reversing a board | substrate, the long side with respect to a conveyance direction And the short side can be changed. Then, a polarizing film can be bonded to the lower surface of a board | substrate by a 2nd bonding part. That is, since a polarizing film can be bonded from the lower surface to both surfaces of the substrate, the rectifying environment is not hindered. Further, since the operation of the reversing mechanism is a simple two operation, the tact time is short. Therefore, it is possible to realize bonding with a short tact time. Further, the first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism transport the substrate in the same direction. That is, it does not have a complicated structure such as an L shape. Therefore, the bonding apparatus according to the present invention is very simple to install and is excellent in area efficiency.

また、本発明の偏光フィルムの貼合装置では、上記(1)において、第2基板搬送機構における基板の搬送方向に上記基板の表面側が向かう状態となるように、上記基板反転部が基板を移動させることが好ましい。   In the polarizing film laminating device of the present invention, in the above (1), the substrate reversing unit moves the substrate so that the surface side of the substrate faces the substrate transport direction in the second substrate transport mechanism. It is preferable to make it.

上記のように、(1)の動作において、基板5の表面側を搬送方向D2に向かって移動させると、(2)の動作によって、第2基板搬送機構における基板の搬送方向の方向へ基板をより移動させることができる。このため、反転させた基板を第2貼合部へ速やかに搬送させることができ、より短いタクトタイムを実現することができる。   As described above, when the front surface side of the substrate 5 is moved in the transport direction D2 in the operation (1), the substrate is moved in the direction of the substrate transport direction in the second substrate transport mechanism by the operation (2). It can be moved more. For this reason, the reversed board | substrate can be rapidly conveyed to a 2nd bonding part, and a shorter tact time can be implement | achieved.

また、本発明の偏光フィルムの貼合装置では、上記第1基板搬送機構および第2基板搬送機構が一直線上に配置されており、第1基板搬送機構における第2基板搬送機構側の端部において、上記端部の第1基板搬送機構の搬送方向に対して水平な両方向に沿って、基板載置部および上記反転機構が2対ずつ備えられ、上記端部には、上記端部から上記基板載置部へ基板を搬送する搬送手段が備えられており、上記反転機構は上記基板載置部のそれぞれに搬送された基板を反転させて第2基板搬送機構に配置することが好ましい。   In the polarizing film bonding apparatus of the present invention, the first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism are arranged in a straight line, and at the end of the first substrate transport mechanism on the second substrate transport mechanism side. The substrate mounting portion and the reversing mechanism are provided in two pairs along both directions parallel to the transport direction of the first substrate transport mechanism at the end portion, and the end portion includes the substrate from the end portion to the substrate. It is preferable that transport means for transporting the substrate to the placement unit is provided, and the reversing mechanism reverses the substrate transported to each of the substrate placement units and places it on the second substrate transport mechanism.

上記構成によれば、反転機構が2つ備えられているため、単位時間当り2倍の基板を反転処理することができる。これにより、単位時間当たり多くの基板の反転が可能なため、タクトタイムが短縮される。さらに、第1基板搬送機構および第2基板搬送機構が一直線上に配置されているため、より面積効率に優れた構造の貼合装置を提供することができる。   According to the above configuration, since two reversing mechanisms are provided, it is possible to perform reversal processing of twice as many substrates per unit time. Thereby, since many substrates can be reversed per unit time, the tact time is shortened. Furthermore, since the 1st board | substrate conveyance mechanism and the 2nd board | substrate conveyance mechanism are arrange | positioned on the straight line, the bonding apparatus of the structure excellent in area efficiency can be provided.

また、本発明の偏光フィルムの貼合装置では、偏光フィルムを搬送する第1フィルム搬送機構および第2フィルム搬送機構が備えられており、上記第1フィルム搬送機構には、剥離フィルムに保護された偏光フィルムを巻出す複数の巻出部と、偏光フィルムを切断する切断部と、偏光フィルムから剥離フィルムを除去する除去部と、除去された上記剥離フィルムを巻取る複数の巻取部とが備えられており、上記第2フィルム搬送機構には、剥離フィルムに保護された偏光フィルムを巻出す複数の巻出部と、偏光フィルムを切断する切断部と、偏光フィルムから剥離フィルムを除去する除去部と、除去された上記剥離フィルムを巻取る複数の巻取部とが備えられており、上記第1基板搬送機構および第2基板搬送機構は上記第1フィルム搬送機構および第2フィルム搬送機構の上部に備えられており、上記剥離フィルムが除去された偏光フィルムを基板に貼合する上記第1貼合部が上記第1フィルム搬送機構と第1基板搬送機構との間に、上記剥離フィルムが除去された偏光フィルムを基板に貼合する第2貼合部が上記第2フィルム搬送機構と第2基板搬送機構との間にそれぞれ備えられていることが好ましい。   Moreover, in the bonding apparatus of the polarizing film of this invention, the 1st film conveyance mechanism and 2nd film conveyance mechanism which convey a polarizing film are provided, and the said 1st film conveyance mechanism was protected by the peeling film. A plurality of unwinding sections for unwinding the polarizing film, a cutting section for cutting the polarizing film, a removing section for removing the release film from the polarizing film, and a plurality of winding sections for winding the removed release film are provided. The second film transport mechanism includes a plurality of unwinding sections for unwinding the polarizing film protected by the peeling film, a cutting section for cutting the polarizing film, and a removing section for removing the peeling film from the polarizing film. And a plurality of winding units for winding the removed release film, wherein the first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism are the first film transport machine. And the first film transport mechanism and the first substrate transport mechanism are provided at the upper part of the second film transport mechanism, and the first bonding section that bonds the polarizing film from which the release film has been removed to the substrate. It is preferable that the 2nd bonding part which bonds the polarizing film from which the said peeling film was removed to the board | substrate in between is provided between the said 2nd film conveyance mechanism and the 2nd board | substrate conveyance mechanism, respectively.

これにより、巻出部および巻取部が複数備えられているため、一方の巻出部における偏光フィルムの原反の残量が少なくなった場合、その原反に他方の巻出部に備えられた原反を連結させることが可能である。その結果、偏光フィルムの巻出しを停止させることなく、作業を続行することができ、生産効率を高めることができる。   Thereby, since the unwinding part and the winding part are provided in plural, when the remaining amount of the original film of the polarizing film in one unwinding part decreases, the other unwinding part is provided in the original film. It is possible to connect raw materials. As a result, the operation can be continued without stopping the unwinding of the polarizing film, and the production efficiency can be increased.

また、本発明の偏光フィルムの貼合装置では、上記第1貼合部によって基板の下面に偏光フィルムを貼合する前に、基板を洗浄する洗浄部を備え、上記第1基板搬送機構は、基板の短辺が搬送方向に沿った状態にて基板を搬送することが好ましい。   Moreover, in the polarizing film bonding apparatus of the present invention, before the polarizing film is bonded to the lower surface of the substrate by the first bonding portion, the first film transporting mechanism includes a cleaning unit for cleaning the substrate. It is preferable to transport the substrate with the short side of the substrate along the transport direction.

これにより、基板の搬送方向に対して基板の長辺が直交する状態にて、洗浄部による基板の洗浄を行うことができる。すなわち、搬送方向に沿った基板の距離を小さくすることができるため、洗浄に必要なタクトタイムをより短縮することができる。その結果、さらに生産効率に優れた偏光フィルムの貼合装置を提供することができる。   Accordingly, the substrate can be cleaned by the cleaning unit in a state where the long sides of the substrate are orthogonal to the substrate transport direction. That is, since the distance of the substrate along the transport direction can be reduced, the tact time required for cleaning can be further shortened. As a result, it is possible to provide a polarizing film laminating apparatus that is further excellent in production efficiency.

また、本発明の偏光フィルムの貼合装置では、上記第1フィルム搬送機構および上記第2フィルム搬送機構には、第1巻出部から巻出された偏光フィルムに付された欠点表示を検出する欠点検出部と、上記欠点表示を判別して、上記基板の搬送を停止させる貼合回避部と、基板との貼合が回避された偏光フィルムを回収する回収部とを有することが好ましい。   Moreover, in the polarizing film bonding apparatus of the present invention, the first film transport mechanism and the second film transport mechanism detect a defect display attached to the polarizing film unwound from the first unwinding section. It is preferable to have a defect detection unit, a bonding avoidance unit that discriminates the defect display and stops the conveyance of the substrate, and a recovery unit that recovers the polarizing film from which bonding with the substrate is avoided.

上記欠点検出部、貼合回避部および回収部によれば、欠点を有する偏光フィルムと基板との貼合わせを回避できるため、歩留まりを高めることができる。   According to the above-mentioned fault detection part, pasting avoidance part, and recovery part, since a pasting with a polarizing film and a substrate which has a fault can be avoided, a yield can be raised.

本発明の液晶表示装置の製造システムは、上記偏光フィルムの貼合装置と、上記第2貼合部によって偏光フィルムの貼合がなされた基板における貼りずれを検査する貼りずれ検査装置を備えるものである。   The manufacturing system of the liquid crystal display device of this invention is equipped with the bonding apparatus of the said polarizing film, and the sticking | shift detection apparatus which test | inspects the sticking gap in the board | substrate with which the polarizing film was bonded by the said 2nd bonding part. is there.

これにより、偏光フィルムを貼合した基板に生じた貼りずれを検査することが可能である。   Thereby, it is possible to inspect the sticking deviation which arose on the board | substrate which bonded the polarizing film.

また、本発明の液晶表示装置の製造システムでは、上記貼りずれ検査装置による検査結果に基づき貼りずれの有無を判定し、当該判定結果に基づき、偏光フィルムが貼合された基板の仕分けを行う仕分け搬送装置を備えることが好ましい。   Further, in the liquid crystal display manufacturing system of the present invention, the presence / absence of sticking misalignment is determined based on the inspection result of the sticking misalignment inspection apparatus, and the substrate on which the polarizing film is bonded is classified based on the determination result. It is preferable to provide a transport device.

これにより、偏光フィルムが貼合された基板に貼りずれが生じている場合、速やかに不良品の仕分けを行うことができ、タクトタイムを短縮することが可能である。   Thereby, when the sticking shift | offset | difference has arisen in the board | substrate with which the polarizing film was bonded, it can classify | categorize a defective product quickly and can shorten a tact time.

また、本発明の液晶表示装置の製造システムでは、偏光フィルムの貼合装置と、上記貼合装置における第2貼合部によって偏光フィルムの貼合がなされた基板における異物を検査する貼合異物自動検査装置とを備えることが好ましい。   Moreover, in the manufacturing system of the liquid crystal display device of this invention, the bonding foreign material automatic which test | inspects the foreign material in the board | substrate with which the polarizing film was bonded by the bonding apparatus of a polarizing film and the 2nd bonding part in the said bonding apparatus. It is preferable to provide an inspection device.

これにより、偏光フィルムを貼合した液晶パネルに混入した異物を検査することが可能である。   Thereby, it is possible to inspect the foreign matter mixed in the liquid crystal panel to which the polarizing film is bonded.

また、本発明の液晶表示装置の製造システムでは、上記貼合異物自動検査装置による検査結果に基づき異物の有無を判定し、当該判定結果に基づき、偏光フィルムが貼合された基板の仕分けを行う仕分け搬送装置を備えることが好ましい。   Moreover, in the manufacturing system of the liquid crystal display device of this invention, the presence or absence of a foreign material is determined based on the inspection result by the said bonded foreign material automatic test | inspection apparatus, and the board | substrate with which the polarizing film was bonded is performed based on the said determination result. It is preferable to provide a sorting and conveying device.

これにより、偏光フィルムを貼合した液晶パネルに異物が混入している場合、速やかに不良品の仕分けを行うことができ、タクトタイムを短縮することが可能である。   Thereby, when the foreign material is mixed in the liquid crystal panel which bonded the polarizing film, it can classify | categorize a defective product rapidly and can shorten a tact time.

また、本発明の液晶表示装置の製造システムでは、上記第2貼合部によって偏光フィルムの貼合がなされた基板における異物を検査する貼合異物自動検査装置を備え、上記貼りずれ検査装置による検査結果、および、上記貼合異物自動検査装置による検査結果に基づき、貼りずれおよび異物の有無を判定し、当該判定結果に基づき、偏光フィルムが貼合された基板の仕分けを行う仕分け搬送装置を備えることが好ましい。   Moreover, in the manufacturing system of the liquid crystal display device of this invention, it has the bonding foreign material automatic test | inspection apparatus which test | inspects the foreign material in the board | substrate with which the polarizing film was bonded by the said 2nd bonding part, and test | inspected by the said sticking | shift detection apparatus. Based on the result and an inspection result by the bonded foreign matter automatic inspection device, a determination is made as to whether or not there is a sticking deviation and a foreign matter, and based on the determination result, there is provided a sorting and conveying device that sorts the substrate on which the polarizing film is bonded. It is preferable.

これにより、偏光フィルムを貼合した液晶パネルに貼りずれまたは異物の混入が生じている場合、速やかに不良品の仕分けを行うことができ、タクトタイムを短縮することが可能である。   As a result, when the liquid crystal panel bonded with the polarizing film is stuck or mixed with foreign matter, defective products can be quickly sorted, and the tact time can be shortened.

本発明の偏光フィルムの貼合装置は、以上のように、第1基板搬送機構、第1貼合部、第2基板搬送機構および第2貼合部を含んでおり、上記第1基板搬送機構および第2基板搬送機構は、基板を同一方向に搬送するものであり、上記反転機構は、上記基板を吸着する吸着部と、上記吸着部を介して基板を反転させる、吸着部に連結した基板反転部とを有しており、上記基板反転部は、(1)上記基板の長辺または短辺が第2基板搬送機構の基板の搬送方向に直交するように上記基板を第2基板搬送機構へ移動させ、(2)上記基板の表面側を第2基板搬送機構に向かって移動させることによって基板を反転させるものである。   As described above, the polarizing film bonding apparatus of the present invention includes the first substrate transport mechanism, the first bonding portion, the second substrate transport mechanism, and the second bonding portion, and the first substrate transport mechanism. And the second substrate transport mechanism transports the substrate in the same direction, and the reversing mechanism includes a suction unit that sucks the substrate and a substrate connected to the suction unit that reverses the substrate through the suction unit. The substrate reversing unit includes: (1) a second substrate transport mechanism that positions the substrate so that a long side or a short side of the substrate is orthogonal to a substrate transport direction of the second substrate transport mechanism. (2) The substrate is reversed by moving the surface side of the substrate toward the second substrate transport mechanism.

それゆえ、上記反転機構によって基板を反転させると共に、搬送方向に対する長辺および短辺を変更することができる。これにより、基板の両面に対して、下面から偏光フィルムを貼合することができるため、整流環境を妨げることがない。また、反転機構の動作は単純な1動作であるため、タクトタイムが短い。したがって、タクトタイムの短い貼合をも実現することができる。さらに、上記第1基板搬送機構と第2基板搬送機構とは基板を同一方向に搬送するものである。すなわち、L字型形状などの複雑な構造を有していない。したがって、本発明に係る貼合装置は、設置が非常に簡便であり、面積効率に優れるという効果も合わせて奏する。   Therefore, the substrate can be reversed by the reversing mechanism, and the long side and the short side with respect to the transport direction can be changed. Thereby, since a polarizing film can be bonded from the lower surface with respect to both surfaces of a board | substrate, a rectification environment is not prevented. Moreover, since the operation of the reversing mechanism is a simple operation, the tact time is short. Therefore, it is possible to realize bonding with a short tact time. Further, the first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism transport the substrate in the same direction. That is, it does not have a complicated structure such as an L shape. Therefore, the bonding apparatus according to the present invention is very simple to install and also has an effect of being excellent in area efficiency.

本発明に係る製造システムの実施の一形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows one Embodiment of the manufacturing system which concerns on this invention. 図1の製造システムにおけるニップロールの周辺部分を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the peripheral part of the nip roll in the manufacturing system of FIG. 本発明と同様の下貼り型の製造システムにおける気流の速度ベクトルを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the velocity vector of the airflow in the underlay type manufacturing system similar to this invention. 本発明に係る反転機構を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the inversion mechanism which concerns on this invention. 本発明に係る反転機構によって基板を反転させる過程を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the process in which a board | substrate is reversed by the inversion mechanism which concerns on this invention. 本発明に係る反転機構によって基板を反転させる過程を示す平面図である。It is a top view which shows the process in which a board | substrate is reversed by the inversion mechanism based on this invention. 本発明に係る貼合装置の変形例を示す平面図である。It is a top view which shows the modification of the bonding apparatus which concerns on this invention. 反転機構の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of a reversing mechanism. 本発明に係る液晶表示装置の製造システムが備える各部材の関連を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the relationship of each member with which the manufacturing system of the liquid crystal display device which concerns on this invention is provided. 本発明に係る液晶表示装置の製造システムの動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of the manufacturing system of the liquid crystal display device which concerns on this invention. 上貼り型の製造システムにおける気流の速度ベクトルを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the velocity vector of the airflow in an upper sticking type manufacturing system.

本発明の一実施形態について図1〜図10に基づいて説明すれば以下の通りであるが、本発明はこれに限定されるものではない。まず、本発明に係る製造システム(液晶表示装置の製造システム)の構成について以下に説明する。製造システムは、本発明に係る貼合装置を含んでいる。   One embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 10, but the present invention is not limited to this. First, the structure of the manufacturing system (liquid crystal display device manufacturing system) according to the present invention will be described below. The manufacturing system includes a bonding apparatus according to the present invention.

図1は、製造システムを示す断面図である。同図に示すように、製造システム100は2段構造となっており、1F(1階)部分はフィルム搬送機構50であり、2F(2階)部分は基板搬送機構(第1基板搬送機構および第2基板搬送機構)を含む貼合装置60となっている。   FIG. 1 is a cross-sectional view showing a manufacturing system. As shown in the figure, the manufacturing system 100 has a two-stage structure, the 1F (first floor) portion is a film transport mechanism 50, and the 2F (second floor) portion is a substrate transport mechanism (first substrate transport mechanism and It becomes the bonding apparatus 60 containing a 2nd board | substrate conveyance mechanism).

<フィルム搬送機構>
まず、フィルム搬送機構50について説明する。フィルム搬送機構50は、偏光フィルム(偏光板)を巻出してニップロール6・6aおよび16・16aまで搬送し、不要となった剥離フィルムを巻き取る役割を果たす。一方、貼合装置60はフィルム搬送機構50によって巻出された偏光フィルムを基板(液晶パネル)5に対して貼合する役割を果たすものである。
<Film transport mechanism>
First, the film transport mechanism 50 will be described. The film transport mechanism 50 plays the role of unwinding the polarizing film (polarizing plate) and transporting it to the nip rolls 6 · 6a and 16 · 16a and winding up the peeling film that is no longer needed. On the other hand, the bonding device 60 plays a role of bonding the polarizing film unwound by the film transport mechanism 50 to the substrate (liquid crystal panel) 5.

フィルム搬送機構50は、第1フィルム搬送機構51および第2フィルム搬送機構52を備えている。第1フィルム搬送機構51は、基板5の下面に最初に偏光フィルムを貼合するニップロール6・6aに偏光フィルムを搬送するものである。一方、第2フィルム搬送機構52は、反転された基板5の下面に偏光フィルムを搬送するものである。   The film transport mechanism 50 includes a first film transport mechanism 51 and a second film transport mechanism 52. The 1st film conveyance mechanism 51 conveys a polarizing film to the nip roll 6 * 6a which bonds a polarizing film to the lower surface of the board | substrate 5 first. On the other hand, the second film transport mechanism 52 transports the polarizing film to the bottom surface of the inverted substrate 5.

第1フィルム搬送機構51は、第1巻出部1、第2巻出部1a、第1巻取部2、第2巻取部2a、ハーフカッター3、ナイフエッジ4、および欠点フィルム巻取ローラー7・7aを備えている。第1巻出部1には偏光フィルムの原反が設置されており、偏光フィルムが巻出される。上記偏光フィルムとしては公知の偏光フィルムを用いればよい。具体的には、ポリビニルアルコールフィルムにヨウ素等によって染色がなされており、1軸方向に延伸されたフィルム等を用いることができる。上記偏光フィルムの厚さとしては、特に限定されないが、5μm以上、400μm以下の偏光フィルムを好ましく用いることができる。   The first film transport mechanism 51 includes a first unwinding unit 1, a second unwinding unit 1a, a first winding unit 2, a second winding unit 2a, a half cutter 3, a knife edge 4, and a defect film winding roller. 7 · 7a. The first unwinding unit 1 is provided with a polarizing film original, and the polarizing film is unwound. A known polarizing film may be used as the polarizing film. Specifically, a polyvinyl alcohol film is dyed with iodine or the like, and a film stretched in a uniaxial direction can be used. Although it does not specifically limit as thickness of the said polarizing film, A polarizing film 5 micrometers or more and 400 micrometers or less can be used preferably.

上記偏光フィルムの原反では、流れ方向(MD方向)に吸収軸の方向が位置している。上記偏光フィルムは剥離フィルムによって粘着剤層が保護されている。上記剥離フィルム(保護フィルムまたはセパレーターともいう)としては、ポリエステルフィルム、ポリエチレンテレフタラートフィルムなどを用いることができる。上記剥離フィルムの厚さとしては、特に限定されないが、5μm以上、100μm以下の剥離フィルムを好ましく用いることができる。   In the original film of the polarizing film, the direction of the absorption axis is located in the flow direction (MD direction). The polarizing film has a pressure-sensitive adhesive layer protected by a release film. As the release film (also referred to as a protective film or a separator), a polyester film, a polyethylene terephthalate film, or the like can be used. Although it does not specifically limit as thickness of the said peeling film, The peeling film of 5 micrometers or more and 100 micrometers or less can be used preferably.

製造システム100には、巻出部が2つ、巻出部に対応する巻取部が2つ備えられているため、第1巻出部1の原反の残量が少なくなった場合、第2巻出部1aに備えられた原反を第1巻出部1の原反に連結させることが可能である。その結果、偏光フィルムの巻出しを停止させることなく、作業を続行することが可能である。本構成により、生産効率を高めることができる。なお、上記巻出部および巻取部はそれぞれ複数備えられていればよく、3つ以上備えられていてももちろんよい。   Since the manufacturing system 100 includes two unwinding portions and two unwinding portions corresponding to the unwinding portions, the first unwinding portion 1 has a low remaining amount of raw material. It is possible to connect the original fabric provided in the two unwinding portions 1 a to the original fabric of the first unwinding portion 1. As a result, it is possible to continue the operation without stopping the unwinding of the polarizing film. With this configuration, production efficiency can be increased. Of course, a plurality of unwinding sections and winding sections may be provided, and three or more winding sections may be provided.

ハーフカッター(切断部)3は、剥離フィルムに保護された偏光フィルム(偏光フィルム、粘着剤層および剥離フィルムから構成されるフィルム積層体)をハーフカットし、偏光フィルムおよび粘着剤層を切断する。ハーフカッター3としては、公知の部材を用いればよい。具体的には、刃物、レーザカッターなどを挙げることができる。ハーフカッター3によって偏光フィルムおよび粘着剤層が切断された後に、ナイフエッジ(除去部)4によって剥離フィルムが偏光フィルムから除去される。   The half cutter (cutting unit) 3 half-cuts the polarizing film (film laminate composed of the polarizing film, the pressure-sensitive adhesive layer and the peeling film) protected by the peeling film, and cuts the polarizing film and the pressure-sensitive adhesive layer. As the half cutter 3, a known member may be used. Specifically, a cutter, a laser cutter, etc. can be mentioned. After the polarizing film and the pressure-sensitive adhesive layer are cut by the half cutter 3, the release film is removed from the polarizing film by the knife edge (removal part) 4.

偏光フィルムと剥離フィルムとの間には粘着剤層が塗布されており、剥離フィルムが除去された後、粘着剤層は偏光フィルム側に残存する。上記粘着剤層としては、特に限定されるものではなく、アクリル系、エポキシ系、ポリウレタン系などの粘着剤層を挙げることができる。粘着剤層の厚さは特に制限されないが、通常5〜40μmである。   An adhesive layer is applied between the polarizing film and the release film, and after the release film is removed, the adhesive layer remains on the polarizing film side. The pressure-sensitive adhesive layer is not particularly limited, and examples thereof include acrylic, epoxy, and polyurethane pressure-sensitive adhesive layers. Although the thickness in particular of an adhesive layer is not restrict | limited, Usually, it is 5-40 micrometers.

一方、第2フィルム搬送機構52は、第1フィルム搬送機構51と同様の構成であり、第1巻出部11、第2巻出部11a、第1巻取部12、第2巻取部12a、ハーフカッター13、ナイフエッジ14および欠点フィルム巻取ローラー17・17aを備えている。同一の部材名を付した部材については第1フィルム搬送機構51における部材と同一の作用を示す。   On the other hand, the 2nd film conveyance mechanism 52 is the structure similar to the 1st film conveyance mechanism 51, and is the 1st unwinding part 11, the 2nd unwinding part 11a, the 1st winding part 12, and the 2nd winding part 12a. , Half cutter 13, knife edge 14 and defect film winding rollers 17 and 17 a. About the member which attached | subjected the same member name, the effect | action same as the member in the 1st film conveyance mechanism 51 is shown.

好ましい形態として製造システム100は、洗浄部71を備えている。洗浄部71はニップロール6・6aによって基板5の下面に偏光フィルムを貼合する前に、基板5を洗浄するものである。洗浄部71としては、洗浄液を噴射するノズルおよびブラシなどから構成される公知の洗浄部を用いればよい。洗浄部71によって貼合の直前に基板5を洗浄することによって、基板5の付着異物が少ない状態にて貼合を行うことができる。   As a preferred embodiment, the manufacturing system 100 includes a cleaning unit 71. The cleaning unit 71 cleans the substrate 5 before the polarizing film is bonded to the lower surface of the substrate 5 by the nip rolls 6 and 6a. As the cleaning unit 71, a known cleaning unit composed of a nozzle and a brush for injecting a cleaning liquid may be used. By cleaning the substrate 5 immediately before the bonding by the cleaning unit 71, the bonding can be performed in a state where there are few adhered foreign substances on the substrate 5.

次に、図2を用いて、ナイフエッジ4について説明する。図2は、製造システム100におけるニップロール6・6aの周辺部分を示す断面図である。図2は、基板5が左方向から搬送され、左下方向から粘着剤層を有する(図示せず、以降同じ)偏光フィルム5aが搬送される状況を示している。偏光フィルム5aには剥離フィルム5bが備えられており、ハーフカッター3によって偏光フィルム5aおよび粘着剤層が切断され、剥離フィルム5bは切断されていない(ハーフカット)。   Next, the knife edge 4 will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a cross-sectional view showing a peripheral portion of the nip rolls 6 and 6a in the manufacturing system 100. FIG. FIG. 2 shows a situation where the substrate 5 is conveyed from the left direction and the polarizing film 5a having an adhesive layer (not shown, the same hereinafter) is conveyed from the lower left direction. The polarizing film 5a is provided with a release film 5b. The polarizing film 5a and the pressure-sensitive adhesive layer are cut by the half cutter 3, and the release film 5b is not cut (half cut).

剥離フィルム5b側には、ナイフエッジ4が設置されている。ナイフエッジ4は、剥離フィルム5bを剥離させるためのエッジ状部材であり、偏光フィルム5aと接着力が低い剥離フィルム5bがナイフエッジ4を伝って剥離されることとなる。   A knife edge 4 is provided on the release film 5b side. The knife edge 4 is an edge-shaped member for peeling the peeling film 5b, and the polarizing film 5a and the peeling film 5b having a low adhesive force are peeled off along the knife edge 4.

その後、剥離フィルム5bは、図1の第1巻取部2に巻き取られることとなる。なお、ナイフエッジに代えて、粘着ローラーを用いて剥離フィルムを巻き取る構成を用いることも可能である。その場合、巻取部と同様に、粘着ローラーを2箇所に備えることによって、剥離フィルムの巻取効率を高めることができる。   Thereafter, the release film 5b is wound around the first winding portion 2 in FIG. In addition, it can replace with a knife edge and can also use the structure which winds up a peeling film using an adhesion roller. In that case, the winding efficiency of a peeling film can be improved by providing an adhesive roller in two places similarly to a winding part.

次に、貼合装置60について説明する。貼合装置60は基板5を搬送し、フィルム搬送機構50によって搬送された偏光フィルムを基板に貼合するものである。図示しないが、貼合装置60では基板5の上面に対して、クリーンエアーが供給されている。すなわち、ダウンフローの整流が行われている。これによって、基板5の搬送および貼合を安定した状態にて行うことが可能である。   Next, the bonding apparatus 60 will be described. The bonding apparatus 60 conveys the board | substrate 5, and bonds the polarizing film conveyed by the film conveyance mechanism 50 to a board | substrate. Although not shown, clean air is supplied to the upper surface of the substrate 5 in the bonding apparatus 60. That is, downflow rectification is performed. Thereby, it is possible to perform conveyance and bonding of the substrate 5 in a stable state.

<貼合装置>
貼合装置60はフィルム搬送機構50の上部に備えられている。これにより、製造システム100の省スペース化を図ることができる。図示しないが、貼合装置60にはコンベアーロールを備える基板搬送機構が設置されており、これにより基板5が搬送方向へ搬送される(図6にて後述する第1基板搬送機構61・第2基板搬送機構62が基板搬送機構に該当する)。
<Bonding device>
The bonding device 60 is provided on the upper part of the film transport mechanism 50. Thereby, space saving of the manufacturing system 100 can be achieved. Although not shown, a substrate transport mechanism including a conveyor roll is installed in the laminating apparatus 60, whereby the substrate 5 is transported in the transport direction (first substrate transport mechanism 61 and second described later in FIG. 6). The substrate transport mechanism 62 corresponds to the substrate transport mechanism).

製造システム100では、左側から基板5が搬送され、その後、図中右側、つまり、第1フィルム搬送機構51の上部から第2フィルム搬送機構52の上部へと搬送される。フィルム搬送機構50と貼合装置60との間には、貼合部であるニップロール6・6a(第1貼合部)およびニップロール16・16a(第2貼合部)がそれぞれ備えられている。ニップロール6・6aおよび16・16aは、基板5の下面に剥離フィルムが除去された偏光フィルムを貼合わせる役割を果たす部材である。なお、基板5の両面には下面から偏光フィルムが貼合されるため、ニップロール6・6aにて貼合された後に、基板5は反転機構65によって反転される。反転機構65については後述する。   In the manufacturing system 100, the substrate 5 is transported from the left side, and then transported from the right side in the drawing, that is, from the top of the first film transport mechanism 51 to the top of the second film transport mechanism 52. Between the film conveyance mechanism 50 and the bonding apparatus 60, the nip rolls 6 * 6a (1st bonding part) and the nip rolls 16 * 16a (2nd bonding part) which are bonding parts are each provided. The nip rolls 6, 6 a and 16, 16 a are members that serve to bond the polarizing film from which the release film has been removed to the lower surface of the substrate 5. In addition, since a polarizing film is bonded to both surfaces of the substrate 5 from the lower surface, the substrate 5 is reversed by the reversing mechanism 65 after being bonded by the nip rolls 6 and 6a. The reversing mechanism 65 will be described later.

ニップロール6・6aへ搬送された偏光フィルムは、粘着剤層を介して基板5の下面に貼合される。ニップロール6・6aとしては、それぞれ圧着ロール、加圧ロールなどの公知の構成を採用することができる。また、ニップロール6・6aにおける貼合時の圧力および温度は適宜調整すればよい。ニップロール16・16aの構成も同様である。なお、図示しないが、製造システム100では、好ましい構成として、第1巻出部1からハーフカッターまでの間に欠点表示(マーク)検出部が備えられており、欠点を有する偏光フィルムが検出される構成となっている。   The polarizing film conveyed to the nip rolls 6 and 6a is bonded to the lower surface of the substrate 5 through an adhesive layer. As the nip rolls 6 and 6a, known configurations such as a pressure roll and a pressure roll can be employed. Moreover, what is necessary is just to adjust the pressure and temperature at the time of bonding in the nip rolls 6 and 6a suitably. The configuration of the nip rolls 16 and 16a is the same. Although not shown, in the manufacturing system 100, as a preferable configuration, a defect display (mark) detection unit is provided between the first unwinding unit 1 and the half cutter, and a polarizing film having a defect is detected. It has a configuration.

なお、上記欠点表示は、偏光フィルムの原反作成時に検出を行って欠点表示を付与する、または、欠点表示検出部よりも第1巻出部11または第2巻出部11a側に備えられた欠点表示付与部によって偏光フィルムに付される。欠点表示付与部は、カメラ、画像処理装置および欠点表示形成部によって構成されている。まず、上記カメラによって偏光フィルムの撮影がなされ、当該撮影情報を処理することによって、欠点の有無を検査することができる。上記欠点としては、具体的には、埃などの異物、フィッシュアイなどが挙げられる。欠点が検出された場合、欠点表示形成部によって偏光フィルムに欠点表示が形成される。欠点表示としては、インクなどのマークが用いられる。   In addition, the said defect display is provided at the time of the 1st unwinding part 11 or the 2nd unwinding part 11a rather than a defect display detection part by performing the detection at the time of original film production of a polarizing film, and providing a defect display. It attaches | subjects to a polarizing film by a fault display provision part. The defect display imparting unit includes a camera, an image processing device, and a defect display forming unit. First, a polarizing film is imaged by the camera, and the presence or absence of a defect can be inspected by processing the imaging information. Specific examples of the drawback include foreign matters such as dust and fish eyes. When a defect is detected, a defect display is formed on the polarizing film by the defect display forming unit. A mark such as ink is used as the defect display.

さらに、図示しない貼合回避部は、上記マークをカメラにより判別して、貼合装置60に停止信号を送信して基板5の搬送を停止させる。その後、欠点が検出された偏光フィルムは、ニップロール6・6aによって貼合が行われず、欠点フィルム巻取ローラー(回収部)7・7aにて巻き取られる。これにより、基板5と、欠点を有する偏光フィルムとの貼合わせを回避することができる。当該一連の構成が備えられていれば、欠点を有する偏光フィルムと基板5との貼合わせを回避できるため、歩留まりを高めることができ好ましい。欠点検出部および貼合回避部としては、公知の検査センサを適宜用いることができる。   Further, a bonding avoiding unit (not shown) discriminates the mark with a camera and transmits a stop signal to the bonding apparatus 60 to stop the conveyance of the substrate 5. Thereafter, the polarizing film in which the defect is detected is not bonded by the nip rolls 6 and 6a and is wound by the defect film winding roller (collecting unit) 7 and 7a. Thereby, pasting with substrate 5 and a polarizing film which has a fault can be avoided. If such a series of structures is provided, it is possible to avoid the bonding between the polarizing film having a defect and the substrate 5, so that the yield can be increased, which is preferable. A publicly known inspection sensor can be used suitably as a fault detection part and a pasting avoidance part.

図1に示すように、反転機構65によって基板5が反転状態となった後、基板5はニップロール16・16aに搬送される。そして、基板5の下面に偏光フィルムが貼合される。その結果、基板5の両面に偏光フィルムが貼合わされることとなり、基板5の両面に2枚の偏光フィルムが互いに異なる吸収軸にて貼合された状態となる。その後、必要に応じて、貼りずれが生じていないか、基板5の両面について検査がなされる。当該検査は、通常、カメラを備える検査部等によってなされる構成を採用することができる。   As shown in FIG. 1, after the substrate 5 is reversed by the reversing mechanism 65, the substrate 5 is conveyed to the nip rolls 16 and 16a. Then, a polarizing film is bonded to the lower surface of the substrate 5. As a result, the polarizing film is bonded to both surfaces of the substrate 5, and the two polarizing films are bonded to both surfaces of the substrate 5 with different absorption axes. Thereafter, if necessary, the both sides of the substrate 5 are inspected for misalignment. For the inspection, it is possible to adopt a configuration that is usually made by an inspection unit equipped with a camera.

このように製造システム100では、基板5へ偏光フィルムを貼合わせる際、基板5の下面から貼合を行う構成となっており、基板5への整流環境を妨げることがない。このため、基板5の貼合面への異物混入をも防止することができ、より正確な貼合わせが可能となる。   Thus, in the manufacturing system 100, when the polarizing film is bonded to the substrate 5, the bonding is performed from the lower surface of the substrate 5, and the rectifying environment to the substrate 5 is not hindered. For this reason, foreign matter mixing into the bonding surface of the substrate 5 can be prevented, and more accurate bonding can be performed.

図3(a)および図3(b)に本発明と同様の下貼り型の製造システムにおける気流の速度ベクトルを示す。図3(a)・(b)における領域Aは巻出部が設置される領域であり、領域Bは主に偏光フィルムが通過する領域、および、領域Cは巻取部等が設置される領域である。また、HEPAフィルター40からはクリーンエアーが供給される。なお、図3(a)では、クリーンエアーが通過可能なグレーチング41が設置されているため、グレーチング41を介して、気流が垂直方向に移動することが可能である。一方、図3(b)では、グレーチング41が設置されていないため、気流は床に接触した後、床に沿って移動することとなる。   FIG. 3A and FIG. 3B show the velocity vector of the airflow in the under-paste type manufacturing system similar to the present invention. Regions A in FIGS. 3 (a) and 3 (b) are regions where the unwinding part is installed, region B is a region through which the polarizing film mainly passes, and region C is a region where the winding unit and the like are installed. It is. Further, clean air is supplied from the HEPA filter 40. In FIG. 3A, since the grating 41 through which clean air can pass is installed, the airflow can move in the vertical direction via the grating 41. On the other hand, in FIG. 3B, since the grating 41 is not installed, the airflow moves along the floor after contacting the floor.

図3(a)・(b)に示す製造システムは下貼り型であるため、図11(a)・(b)で示したように、偏光フィルムによってHEPAフィルター40からの気流が妨げられない。このため、気流ベクトルの方向はほとんど基板に向う方向となっており、クリーンルームにて好ましい整流環境が実現されているといえる。図3(a)では、グレーチング41が設置され、図3(b)では設置されていないが、両図とも同様の好ましい状態が示されている。なお、図3および図11では、基板搬送機構は水平に形成されているが、一連の構造としては設置されていない。このため、基板搬送機構間を気流が通過可能な構成となっている。基板は後述する反転機構によって保持された後、基板搬送機構間を移送される構成となっている。   Since the manufacturing system shown in FIGS. 3 (a) and 3 (b) is a bottom-attached type, the air current from the HEPA filter 40 is not hindered by the polarizing film, as shown in FIGS. 11 (a) and 11 (b). For this reason, the direction of the airflow vector is almost directed toward the substrate, and it can be said that a preferable rectification environment is realized in the clean room. In FIG. 3 (a), the grating 41 is installed and not installed in FIG. 3 (b), but both drawings show the same preferable state. In FIGS. 3 and 11, the substrate transport mechanism is formed horizontally, but is not installed as a series of structures. For this reason, the airflow can pass between the substrate transport mechanisms. After the substrate is held by a reversing mechanism to be described later, the substrate is transferred between the substrate transport mechanisms.

また、製造システム100では、まず、基板5を長辺間口(長辺が搬送方向と直交する)にて搬送し、その後、短辺間口(短辺が搬送方向と直交する)にて搬送する構成となっている。   Moreover, in the manufacturing system 100, the board | substrate 5 is first conveyed by a long side opening (a long side is orthogonal to a conveyance direction), and is conveyed by a short side opening (a short side is orthogonal to a conveyance direction) after that. It has become.

<反転機構>
反転機構65は、短辺または長辺が搬送方向に沿った基板5を、長辺または短辺が搬送方向に沿った状態であり、反転された状態に配置を変更するものである。つまり、表面と裏面とを反転させ、搬送方向に沿った基板の方向を入れ替えるものである。まず、図4を用いて反転機構65の基本構造について説明する。
<Reversing mechanism>
The reversing mechanism 65 changes the arrangement of the substrate 5 whose short side or long side is along the transport direction to a state where the long side or short side is along the transport direction and reversed. That is, the front surface and the back surface are reversed, and the direction of the substrate along the transport direction is switched. First, the basic structure of the reversing mechanism 65 will be described with reference to FIG.

図4は、反転機構65を示す斜視図である。反転機構65は、吸着部66、支持部(基板反転部)67および昇降回転部(基板反転部)68を備えている。吸着部66は、基板5の表面に吸着する部材である。吸着部66の吸着により基板5の表面は吸着部66に保持される。吸着部66としては、公知の吸着部を用いることができ、例えば、空気吸引方式の吸着部を用いることができる。図4では吸着部66は、パイプ状の空気吸引部および吸着部分から構成されているが、当該構成に限定されるものではない。また、吸着部66は基板5に吸着できればよく、吸着部66の吸着部分の数を吸着力に応じて増減させることができる。吸着部66の吸着部分の設置場所を基板5の中心部分に集中させる、または、基板5の端部周辺に変更するなど、構成変更は適宜可能である。   FIG. 4 is a perspective view showing the reversing mechanism 65. The reversing mechanism 65 includes a suction part 66, a support part (substrate reversing part) 67, and a lifting / lowering rotating part (substrate reversing part) 68. The adsorption unit 66 is a member that adsorbs to the surface of the substrate 5. The surface of the substrate 5 is held by the suction unit 66 by the suction of the suction unit 66. As the adsorption unit 66, a known adsorption unit can be used, and for example, an air suction type adsorption unit can be used. In FIG. 4, the adsorbing portion 66 includes a pipe-shaped air suction portion and an adsorbing portion, but is not limited to this configuration. Moreover, the adsorption | suction part 66 should just be able to adsorb | suck to the board | substrate 5, and can increase / decrease the number of the adsorption | suction parts of the adsorption | suction part 66 according to adsorption power. The configuration can be changed as appropriate, for example, by concentrating the installation location of the suction portion of the suction portion 66 on the central portion of the substrate 5 or changing it to the periphery of the end portion of the substrate 5.

支持部67は吸着部66を支持するものであり、吸着部66に連結されている。また、支持部67は昇降回転部68にも連結されている。支持部67と昇降回転部68とは可動部を介して連結されており、支持部67は昇降回転部68に対して回転可能となっている。図4では上記可動部は円柱上の回転部材となっており、図示しないモータなどの駆動装置によってなされる。ただし、昇降回転部68は、支持部67を回転させることができればよく、上記回転部材を有する構造に限定されるものではない。   The support part 67 supports the suction part 66 and is connected to the suction part 66. Further, the support part 67 is also connected to the lifting / lowering rotating part 68. The support part 67 and the lifting / lowering rotating part 68 are connected via a movable part, and the supporting part 67 is rotatable with respect to the lifting / lowering rotating part 68. In FIG. 4, the movable part is a rotating member on a cylinder, and is made by a driving device such as a motor (not shown). However, the raising / lowering rotation part 68 should just be able to rotate the support part 67, and is not limited to the structure which has the said rotation member.

昇降回転部68は、支持部67を昇降可能であると共に、回転可能な構造となっている。支持部67の昇降は、昇降回転部68の屈曲によってなされる。すなわち、昇降回転部68は屈曲部を有するアーム状を有しており、アームの角度を小さくすることによって、支持部67を上昇させることができる。一方、アームの角度を大きくすることによって、支持部67を下降させることもできる。   The up-and-down rotation unit 68 can move up and down the support unit 67 and has a rotatable structure. The support part 67 is raised and lowered by bending of the raising / lowering rotating part 68. That is, the up-and-down rotating part 68 has an arm shape having a bent part, and the support part 67 can be raised by reducing the angle of the arm. On the other hand, the support portion 67 can be lowered by increasing the angle of the arm.

図4では、基板反転部が支持部67および昇降回転部68から構成されるとして説明したが、基板反転部は支持部67および昇降回転部68の機能を含んだ一体の構造であってもよい。すなわち、基板反転部は基板5を昇降および回転させることが可能な構成であればよい。また、他の構成例として、基板反転部は、複数の可動部を有するロボットアームであってもよい。支持部67と同様に、上記ロボットアームは吸着部66に連結されており、基板5を昇降および回転させることができるものである。   In FIG. 4, the substrate reversing unit is described as being configured of the support unit 67 and the lifting / lowering rotating unit 68. . That is, the substrate reversing unit may be configured to be able to lift and rotate the substrate 5. As another configuration example, the substrate reversing unit may be a robot arm having a plurality of movable units. Similar to the support portion 67, the robot arm is connected to the suction portion 66 and can move the substrate 5 up and down and rotate.

次に、反転機構65の動作について説明する。図5は、本発明に係る反転機構65によって基板5を反転させる過程を示す斜視図である。図5は基板5の軌跡69を説明するためのものであり、図面が煩雑とならないように基板5および軌跡69のみを図示している。   Next, the operation of the reversing mechanism 65 will be described. FIG. 5 is a perspective view showing a process of reversing the substrate 5 by the reversing mechanism 65 according to the present invention. FIG. 5 is for explaining the locus 69 of the substrate 5, and only the substrate 5 and the locus 69 are shown so that the drawing is not complicated.

図5(a)は、基板5が第1基板搬送機構61にて搬送された状態を示しており、反転機構65による動作はなされていない。なお、基板5の表面には×印を付しているが、これは説明の便宜上付したものである。基板5の裏面には何ら印を付していない。   FIG. 5A shows a state where the substrate 5 is transported by the first substrate transport mechanism 61, and the operation by the reversing mechanism 65 is not performed. The surface of the substrate 5 is marked with x, but this is for convenience of explanation. The back surface of the substrate 5 is not marked at all.

本発明によれば、上記状態の基板5は反転機構65によって移動され、第2基板搬送機構62に移動される。なお、図5(a)〜(d)に対応する平面図を、図6(a)〜(d)に示した。第1基板搬送機構61および第2基板搬送機構62の位置は図6(a)〜(d)に示す通りである。   According to the present invention, the substrate 5 in the above state is moved by the reversing mechanism 65 and moved to the second substrate transport mechanism 62. In addition, the top view corresponding to Fig.5 (a)-(d) was shown to Fig.6 (a)-(d). The positions of the first substrate transport mechanism 61 and the second substrate transport mechanism 62 are as shown in FIGS.

反転機構65の動作について以下、説明する。本発明に係る反転機構65は、第1基板搬送機構における搬送方向に長辺または短辺が沿った状態の基板を搬送するものであり、(1)基板5の長辺または短辺が第2基板搬送機構62の基板5の搬送方向D2に直交するように基板5を第2基板搬送機構62へ移動させ、(2)上記基板5の表面側を第2基板搬送機構に向かって移動させることによって基板5を反転させるものである。   The operation of the reversing mechanism 65 will be described below. The reversing mechanism 65 according to the present invention transports a substrate having a long side or a short side along the transport direction in the first substrate transport mechanism. (1) The long side or the short side of the substrate 5 is the second side. The substrate 5 is moved to the second substrate transfer mechanism 62 so as to be orthogonal to the transfer direction D2 of the substrate 5 of the substrate transfer mechanism 62, and (2) the surface side of the substrate 5 is moved toward the second substrate transfer mechanism. The substrate 5 is inverted.

図5では、第1基板搬送機構の搬送方向D1に基板5の短辺が沿っており、反転によって、基板5の長辺が第2基板搬送機構の搬送方向D2に沿った状態となる場合について説明するが、長辺と短辺とが入れ替わった場合であっても同様に(1)および(2)の動作によって基板5の反転を行うことができる。   In FIG. 5, the short side of the substrate 5 is along the transport direction D1 of the first substrate transport mechanism, and the long side of the substrate 5 is in the state along the transport direction D2 of the second substrate transport mechanism by reversal. As will be described, even when the long side and the short side are interchanged, the substrate 5 can be similarly reversed by the operations (1) and (2).

まず、(1)の動作について説明する。図5では、長辺間口の基板5を短辺間口に変更するため、基板5の短辺が搬送方向D2に直交するように基板5を移動させる。図5では、図5(a)から図5(b)へ、さらに、図5(b)から図5(c)へと反転機構65によって基板5を曲線の軌跡69に沿って移動させる。   First, the operation (1) will be described. In FIG. 5, the substrate 5 is moved so that the short side of the substrate 5 is orthogonal to the transport direction D <b> 2 in order to change the substrate 5 having the long side opening to the short side opening. In FIG. 5, the substrate 5 is moved along a curved locus 69 by the reversing mechanism 65 from FIG. 5 (a) to FIG. 5 (b) and from FIG. 5 (b) to FIG. 5 (c).

図5(c)に示すように、(1)の動作おける基板5の終点である位置は直交方向D3に沿っている。図5(a)において基板5の表面が吸着部66によって吸着された後、昇降回転部68によって基板5は上方に移動された後に回転移動されるため、直交方向D3に沿った基板5は、図5(a)の基板5よりも上方に位置している。   As shown in FIG. 5C, the position that is the end point of the substrate 5 in the operation of (1) is along the orthogonal direction D3. In FIG. 5A, after the surface of the substrate 5 is adsorbed by the adsorbing unit 66, the substrate 5 is rotated upward after being moved upward by the up-and-down rotating unit 68. Therefore, the substrate 5 along the orthogonal direction D3 is It is located above the substrate 5 in FIG.

しかし、(1)の動作における基板5の終点は、図5(c)に示された位置に限定されず、基板5の短辺が搬送方向D2に直交する位置であればよい。すなわち、第1基板搬送機構61の基板5を含む面に直交方向D3が含まれていれもよい。また、図5(c)では、第1基板搬送機構61の基板5と、第2基板搬送機構62の基板5とは同一面上に位置しているが、移動後の基板5の位置は、移動前の基板5に対して直交する面上にあればよい。例えば、移動前の基板5の中心を通る面上に移動後の基板5が位置していてもよい。   However, the end point of the substrate 5 in the operation of (1) is not limited to the position shown in FIG. 5C, and may be a position where the short side of the substrate 5 is orthogonal to the transport direction D2. That is, the orthogonal direction D3 may be included in the surface including the substrate 5 of the first substrate transport mechanism 61. In FIG. 5C, the substrate 5 of the first substrate transport mechanism 61 and the substrate 5 of the second substrate transport mechanism 62 are located on the same plane, but the position of the substrate 5 after movement is It only needs to be on a plane orthogonal to the substrate 5 before movement. For example, the substrate 5 after movement may be located on a plane passing through the center of the substrate 5 before movement.

次に、(2)の動作によって基板5の反転を完了させる。すなわち、図5(d)に示すように基板5の表面側を第2基板搬送機構62に向かって移動させる。図5(a)から図5(c)への過程において基板5は半時計回りに回転されているため、基板5の表面側を第2基板搬送機構62の搬送方向D2に向かって移動させることとなる。このように、反転機構65によって、搬送方向に向かう基板5の短辺および長辺の方向を変更すると共に基板5を反転させることができる。   Next, the inversion of the substrate 5 is completed by the operation (2). That is, the surface side of the substrate 5 is moved toward the second substrate transport mechanism 62 as shown in FIG. Since the substrate 5 is rotated counterclockwise in the process from FIG. 5A to FIG. 5C, the surface side of the substrate 5 is moved toward the transport direction D2 of the second substrate transport mechanism 62. It becomes. As described above, the reversing mechanism 65 can change the direction of the short side and the long side of the substrate 5 in the transport direction and can reverse the substrate 5.

上述のように本発明に係る反転機構65によれば、吸着部66による基板5の吸着の後、基板5を(1)および(2)の2の動作によって反転させると共に、搬送方向に対する基板5の長辺および短辺を変更することができる。反転動作の前には、基板5の下面には偏光フィルムが貼合されており、上記反転動作を行った後、反転された基板5の下面に対してさらに偏光フィルムを貼合することができる。1.このように基板5の両面に対して下面から偏光フィルムを貼合することができ、2.上記反転動作は比較的単純な回転動作であり、しかも2の動作のためタクトタイムが短い。したがって、整流環境を妨げることなく、タクトタイムの短い貼合をも実現することができる。   As described above, according to the reversing mechanism 65 according to the present invention, the substrate 5 is reversed by the operations (1) and (2) after the adsorption of the substrate 5 by the adsorption unit 66 and the substrate 5 with respect to the transport direction. The long side and the short side of can be changed. Before the reversing operation, a polarizing film is bonded to the lower surface of the substrate 5, and after performing the reversing operation, a polarizing film can be further bonded to the lower surface of the reversed substrate 5. . 1. Thus, a polarizing film can be bonded to both surfaces of the substrate 5 from the lower surface. The inversion operation is a relatively simple rotation operation, and the tact time is short because of the second operation. Therefore, it is possible to realize bonding with a short tact time without disturbing the rectification environment.

なお、支持部67の反転動作は2の動作であるが、それぞれの動作の前後に基板5を昇降させる動作および/または支持部67の位置を調整する動作が含まれていたとしても、本発明に係る反転機構65の動作に含まれる。   The reversing operation of the support part 67 is the operation of 2. However, even if the operation of raising and lowering the substrate 5 and / or the operation of adjusting the position of the support part 67 is included before and after each operation, the present invention Are included in the operation of the reversing mechanism 65.

さらに、図5(d)では、基板5の表面側を搬送方向D2に向かって移動させることによって、基板5の上方の短辺側がより搬送方向D2の方向へと移動する。つまり、基板5はより搬送方向D2の方向に移動される。このため、反転させた基板5をニップロール16・16aへより速やかに移動させることができ、より短いタクトタイムを実現することができる。したがって、タクトタイムの観点から本構成はより好ましい実施形態といえる。   Further, in FIG. 5D, by moving the surface side of the substrate 5 toward the transport direction D2, the short side above the substrate 5 is further moved in the transport direction D2. That is, the substrate 5 is moved further in the transport direction D2. Therefore, the inverted substrate 5 can be moved to the nip rolls 16 and 16a more quickly, and a shorter tact time can be realized. Therefore, this configuration can be said to be a more preferable embodiment from the viewpoint of tact time.

これに対して、図5(a)の基板5を(1)の回転動作によって時計回りに回転させた場合、基板5の表面側を第2基板搬送機構62側に向かって移動させると、(2)の動作で基板5は、搬送方向D2の方向とは逆方向に移動することとなる。この場合、前者よりもニップロール16・16aへの基板5の移動時間がより長く必要となる。ただし、ニップロール16・16aが反転機構65の近傍に設置されており、基板5の反転位置をニップロール16・16aから遠ざけたい場合もある。このような場合には、後者の形態を好ましく用いることができる。   On the other hand, when the substrate 5 in FIG. 5A is rotated clockwise by the rotation operation of (1), when the surface side of the substrate 5 is moved toward the second substrate transport mechanism 62 side, The substrate 5 moves in the direction opposite to the direction of the transport direction D2 by the operation of 2). In this case, the movement time of the substrate 5 to the nip rolls 16 and 16a is required to be longer than the former. However, there are cases where the nip rolls 16 and 16a are installed in the vicinity of the reversing mechanism 65 and the reversing position of the substrate 5 is desired to be away from the nip rolls 16 and 16a. In such a case, the latter form can be preferably used.

また、(1)の動作によって移動された基板5は、第1基板搬送機構61における基板5の表面に対して90°傾いた状態となっている。このような傾きであれば、基板5が移動する際の軌跡69が短くなる。(1)の動作は、(2)の動作に比較するとより複雑であるため、移動後の基板5の傾きは上記のように90°または90°に近いことが好ましい。具体的な好ましい範囲は85°以上、95°以下である。   Further, the substrate 5 moved by the operation (1) is in a state of being inclined by 90 ° with respect to the surface of the substrate 5 in the first substrate transport mechanism 61. With such an inclination, the locus 69 when the substrate 5 moves is shortened. Since the operation (1) is more complicated than the operation (2), the inclination of the substrate 5 after the movement is preferably 90 ° or close to 90 ° as described above. A specific preferable range is 85 ° or more and 95 ° or less.

図6は、図5に対応する基板5の回転過程を示す平面図である。図6では、第1基板搬送機構61および第2基板搬送機構62を図示している。第1基板搬送機構61および第2基板搬送機構62には図示しないが、基板5の搬送方向に対して垂直に配置されたコンベアーロールが備えられている。当該コンベアーロールによって基板5が搬送方向に搬送される。もちろん、コンベアーロール以外の搬送手段を用いてもよい。   FIG. 6 is a plan view showing the rotation process of the substrate 5 corresponding to FIG. FIG. 6 illustrates the first substrate transport mechanism 61 and the second substrate transport mechanism 62. Although not shown, the first substrate transport mechanism 61 and the second substrate transport mechanism 62 are provided with conveyor rolls arranged perpendicular to the transport direction of the substrate 5. The substrate 5 is transported in the transport direction by the conveyor roll. Of course, conveyance means other than the conveyor roll may be used.

第1基板搬送機構61および第2基板搬送機構62は、基板5を同一方向に搬送する。すなわち、搬送方向D1・D2は同一方向に向かっている。このため、第1基板搬送機構61および第2基板搬送機構62は、搬送方向D1・D2にそれぞれ沿った直線状の形状となっている。すなわち、L字型形状などの複雑な構造を有していない。したがって、本発明に係る貼合装置60は、設置が非常に簡便であり、面積効率に優れる構造となっている。   The first substrate transport mechanism 61 and the second substrate transport mechanism 62 transport the substrate 5 in the same direction. That is, the transport directions D1 and D2 are in the same direction. For this reason, the first substrate transport mechanism 61 and the second substrate transport mechanism 62 have linear shapes along the transport directions D1 and D2, respectively. That is, it does not have a complicated structure such as an L shape. Therefore, the bonding apparatus 60 according to the present invention is very simple to install and has a structure with excellent area efficiency.

図5の斜視図を用いて基板5が回転する軌跡69を説明したが、図6の平面図を用いて異なる角度からの基板5の回転過程を示す。図6(a)〜(d)のそれぞれは、図5(a)〜(d)に対応するものである。   The locus 69 of rotation of the substrate 5 has been described with reference to the perspective view of FIG. 5, and the rotation process of the substrate 5 from different angles will be described with reference to the plan view of FIG. Each of FIGS. 6A to 6D corresponds to FIGS. 5A to 5D.

図6(a)における基板5は、搬送方向D1に沿って搬送され、吸着部6によって吸着される吸着位置まで搬送された状態である。基板5が搬送されるまでの間、反転機構65は待機状態となっている。待機状態の吸着部66は、基板5に接触しないように吸着位置にある基板5よりも上側に配置されている。基板5が吸着位置まで搬送されると昇降回転部68によって支持部67が下降され、吸着部66も下降される。そして、吸着部66により基板5が吸着される。   The substrate 5 in FIG. 6A is transported along the transport direction D <b> 1 and is transported to the suction position where it is sucked by the suction unit 6. Until the substrate 5 is transported, the reversing mechanism 65 is in a standby state. The suction unit 66 in the standby state is disposed above the substrate 5 at the suction position so as not to contact the substrate 5. When the substrate 5 is transported to the suction position, the support part 67 is lowered by the lifting / lowering rotating part 68 and the suction part 66 is also lowered. Then, the substrate 5 is adsorbed by the adsorption unit 66.

その後、昇降回転部68によって基板5が持ち上げられ、支持部67および昇降回転部68により、第1基板搬送機構61側の基板5の短辺が直交方向D3に沿うように基板5の回転がなされる。支持部67および昇降回転部68の(1)の動作によって、基板5は、図6(a)〜(c)に示すように移動される。さらに、支持部67および昇降回転部68の(2)の動作によって、基板5は第2基板搬送機構62に向かって移動され、図6(d)に示すように反転される。基板5が反転される際、基板5は図示しないコンベアーロールに配置され、コンベアーロールは支持部67と接触しないように配置されている。このため、基板5が反転されると、反転機構65は基板5の下側に位置することとなる。   Thereafter, the substrate 5 is lifted by the lifting / lowering rotation unit 68, and the substrate 5 is rotated by the support unit 67 and the lifting / lowering rotation unit 68 so that the short side of the substrate 5 on the first substrate transport mechanism 61 side is along the orthogonal direction D3. The The substrate 5 is moved as shown in FIGS. 6A to 6C by the operation (1) of the support portion 67 and the lifting / lowering rotation portion 68. Furthermore, the substrate 5 is moved toward the second substrate transport mechanism 62 by the operations (2) of the support portion 67 and the lifting / lowering rotation portion 68, and is inverted as shown in FIG. 6 (d). When the substrate 5 is reversed, the substrate 5 is disposed on a conveyor roll (not shown), and the conveyor roll is disposed so as not to contact the support portion 67. For this reason, when the substrate 5 is reversed, the reversing mechanism 65 is positioned below the substrate 5.

また、基板5が反転された後には吸着部66の空気吸着が解除され、その後、昇降回転部68によって支持部67が下方に移動されると共に吸着部66が基板5から離れる。これにより、基板5の保持が解かれ、基板5は第2基板搬送機構62によって搬送される。そして、反転機構65は図6(a)の位置に戻り、順次搬送される他の基板5を同様の動作にて反転させる。   Further, after the substrate 5 is inverted, the air adsorption of the adsorption unit 66 is released, and thereafter, the support unit 67 is moved downward by the up-and-down rotation unit 68 and the adsorption unit 66 is separated from the substrate 5. Thereby, the holding of the substrate 5 is released, and the substrate 5 is transferred by the second substrate transfer mechanism 62. Then, the reversing mechanism 65 returns to the position of FIG. 6A and reverses the other substrates 5 that are sequentially transported by the same operation.

図7は、貼合装置60の変形例を示す平面図である。当該変形例における変更点としては、(1)反転機構65が2つ備えられており、(2)第1基板搬送機構61の両側に基板載置部61aが2つ備えられており、(3)第1基板搬送機構61および第2基板搬送機構62が一直線上に配置されている点である。なお、第1基板搬送機構61および第2基板搬送機構62によって、基板5が同一方向に搬送される点は同じである。   FIG. 7 is a plan view showing a modification of the bonding apparatus 60. Changes in the modification include (1) two reversing mechanisms 65, (2) two substrate mounting portions 61 a on both sides of the first substrate transport mechanism 61, and (3 ) The first substrate transport mechanism 61 and the second substrate transport mechanism 62 are arranged on a straight line. The first substrate transport mechanism 61 and the second substrate transport mechanism 62 are the same in that the substrate 5 is transported in the same direction.

基板載置部61aおよび反転機構65は、第1基板搬送機構61における第2基板搬送機構62側の端部において、上記端部の第1基板搬送機構61の搬送方向に対して水平な両方向に沿って備えられている。反転機構65は図4および図6にて説明した構造と同様である。また、上記端部の領域61bには、基板載置部61aへ基板5を搬送する搬送手段が備えられており、後述する制御部70によって制御される構成としてもよい。搬送手段として具体的には、例えば、コンベアーロールを挙げることができる。   The substrate platform 61a and the reversing mechanism 65 are arranged at both ends of the first substrate transport mechanism 61 on the second substrate transport mechanism 62 side, which are horizontal with respect to the transport direction of the first substrate transport mechanism 61 at the end. Are provided along. The reversing mechanism 65 is the same as the structure described in FIGS. Further, the end region 61b is provided with transport means for transporting the substrate 5 to the substrate platform 61a, and may be configured to be controlled by the control unit 70 described later. Specific examples of the conveying means include a conveyor roll.

基板載置部61aは、吸着部66によって基板5が配置される場である。当該変形例によれば、第1基板搬送機構61に搬送された基板5は、2つの基板載置部61aに交互に搬送される。基板載置部61aおよび反転機構65は2対ずつ備えられているため、基板載置部61aに搬送された基板5は、反転機構65によって1つの動作によって反転される。   The substrate mounting portion 61a is a place where the substrate 5 is placed by the suction portion 66. According to the modification, the substrates 5 transported to the first substrate transport mechanism 61 are transported alternately to the two substrate platforms 61a. Since two pairs of the substrate platform 61a and the reversing mechanism 65 are provided, the substrate 5 transported to the substrate platform 61a is inverted by the reversing mechanism 65 by one operation.

当該変形例では、2つの基板載置部61aは第1基板搬送機構61の水平な両方向に沿ってそれぞれ備えられており、反転された基板5は、第1基板搬送機構61の搬送方向に沿って配置されることとなる。したがって、第1基板搬送機構61および第2基板搬送機構62を一直線上に配置することが可能である。   In this modification, the two substrate platforms 61 a are provided along both horizontal directions of the first substrate transport mechanism 61, and the inverted substrate 5 is along the transport direction of the first substrate transport mechanism 61. Will be placed. Therefore, the first substrate transport mechanism 61 and the second substrate transport mechanism 62 can be arranged on a straight line.

当該変形例によれば、(1)反転機構65が2つ備えられているため、基板5を単位時間当り2倍処理することができる。これにより、単位時間当たり多くの基板5の反転が可能なため、タクトタイムが短縮される。(2)さらに、第1基板搬送機構61および第2基板搬送機構62が一直線上に配置されているため、より面積効率に優れた構造の貼合装置を提供できる。特にクリーンルームにおいては面積効率が要求されるため、当該貼合装置は非常に好ましい。   According to the modification, (1) since two reversing mechanisms 65 are provided, the substrate 5 can be processed twice per unit time. Thereby, since many substrates 5 can be reversed per unit time, the tact time is shortened. (2) Furthermore, since the 1st board | substrate conveyance mechanism 61 and the 2nd board | substrate conveyance mechanism 62 are arrange | positioned on the straight line, the bonding apparatus of the structure excellent in area efficiency can be provided. Especially in a clean room, since the area efficiency is required, the bonding apparatus is very preferable.

反転機構65の構成例を図8に示す。図8は反転機構65および反転機構65に連結されたインターフェイス部165の構成を示すブロック図である。図8に示す構成はあくまで一例であって反転機構65はこの一例に限定されるものではない。図8に示すように、さらに、反転機構65は、インターフェイス部165に接続されている。インターフェイス部165は、オペレーターからの操作入力を受け付け、入力データを表示および反転機構65へと送信するものである。反転機構65には、吸着部66、支持部67および昇降回転部68が備えられており、これらはインターフェイス部における制御部70に接続されている。一方、インターフェイス部165は、入力部166、表示部167、記憶部168および制御部70を備えている。入力部166は、基板5の情報等を記憶部168に送信するものである。基板5の各情報としては、基板5の長辺および短辺の長さ、厚さ、搬送速度、単位時間当たりの搬送枚数が挙げられる。その他の情報としては、第1基板搬送機構61および第2基板搬送機構62の位置およびこれらが備えるコンベアーロールの位置、搬送方向D1・D2、直交方向D3の設定、(1)・(2)の動作における基板5の軌跡69の設定、などが挙げられる。また、インターフェイス部165は、図示しない入力装置を備えている。上記入力装置はオペレーターが各種情報を入力できるものであればよく、例えば、入力キーやタッチパネルで構成することができる。表示部167は、入力部166によって入力された各種情報の内容を表示するものであり、公知の液晶ディスプレイ等で構成することができる。   A configuration example of the reversing mechanism 65 is shown in FIG. FIG. 8 is a block diagram showing the configuration of the reversing mechanism 65 and the interface unit 165 connected to the reversing mechanism 65. The configuration shown in FIG. 8 is merely an example, and the reversing mechanism 65 is not limited to this example. As shown in FIG. 8, the reversing mechanism 65 is further connected to the interface unit 165. The interface unit 165 receives an operation input from an operator and transmits input data to the display and inversion mechanism 65. The reversing mechanism 65 is provided with a suction part 66, a support part 67, and an elevating / rotating part 68, which are connected to a control part 70 in the interface part. On the other hand, the interface unit 165 includes an input unit 166, a display unit 167, a storage unit 168, and a control unit 70. The input unit 166 transmits information on the substrate 5 and the like to the storage unit 168. As each information of the board | substrate 5, the length of the long side and the short side of the board | substrate 5, thickness, a conveyance speed, and the conveyance number of sheets per unit time are mentioned. Other information includes the positions of the first substrate transport mechanism 61 and the second substrate transport mechanism 62 and the positions of the conveyor rolls included in these, the settings of the transport directions D1 and D2, and the orthogonal direction D3, and (1) and (2) For example, the setting of the locus 69 of the substrate 5 in the operation may be mentioned. The interface unit 165 includes an input device (not shown). The input device may be any device that allows an operator to input various types of information, and may be configured with, for example, an input key or a touch panel. The display unit 167 displays the contents of various information input by the input unit 166, and can be configured by a known liquid crystal display or the like.

また、記憶部168は、制御部70および入力部166に接続されている。記憶部168は、入力部から入力された情報を記憶するものであり、例えば、例えばRAM(random access memory)、HDD(ハードディスクドライブ)などの記憶装置を備えて、各種データおよび各種プログラムを記憶するものである。   The storage unit 168 is connected to the control unit 70 and the input unit 166. The storage unit 168 stores information input from the input unit. For example, the storage unit 168 includes a storage device such as a RAM (random access memory) and an HDD (hard disk drive), and stores various data and various programs. Is.

制御部70は、記憶部168から受信した情報に基づき吸着部66、支持部67および昇降回転部68を制御する。当該構成によれば、例えば、基板5の搬送速度の変更情報を入力部166から記憶部168へ送信し、容易に反転機構65の動作に反映させることが可能である。制御部70は、CPU(central processing unit)、上記プログラムを記憶したROM(read only memory)、上記プログラムを展開するRAM、上記プログラムおよび各種データを記憶するメモリ等の記憶装置(記録媒体)などを備えた構成とすることができる。   The control unit 70 controls the adsorption unit 66, the support unit 67, and the lifting / lowering rotation unit 68 based on the information received from the storage unit 168. According to this configuration, for example, the change information of the conveyance speed of the substrate 5 can be transmitted from the input unit 166 to the storage unit 168 and easily reflected in the operation of the reversing mechanism 65. The control unit 70 includes a CPU (central processing unit), a ROM (read only memory) that stores the program, a RAM that expands the program, a storage device (recording medium) such as a memory that stores the program and various data, and the like. It can be set as the structure provided.

<その他の付帯的構成>
さらに、好ましい形態として、製造システム100は、制御部70、洗浄部71、貼りずれ検査装置72および貼合異物自動検査装置73および仕分け搬送装置74を備えている。貼りずれ検査装置72、貼合異物自動検査装置73および仕分け搬送装置74は、貼合後の基板5、すなわち、液晶表示装置に対して検査等の処理を行うものである。
<Other incidental configurations>
Furthermore, as a preferable form, the manufacturing system 100 includes a control unit 70, a cleaning unit 71, a sticking misalignment inspection device 72, a bonded foreign matter automatic inspection device 73, and a sorting and conveying device 74. The sticking deviation inspection device 72, the bonding foreign substance automatic inspection device 73, and the sorting and conveying device 74 perform processing such as inspection on the substrate 5 after bonding, that is, the liquid crystal display device.

図9は上記液晶表示装置の製造システムが備える各部材の関連を示すブロック図であり、図10は液晶表示装置の製造システムの動作を示すフローチャートである。以下、液晶表示装置が備える各部材の説明と共にその動作について説明する。   FIG. 9 is a block diagram showing the relationship of each member provided in the liquid crystal display device manufacturing system, and FIG. 10 is a flowchart showing the operation of the liquid crystal display device manufacturing system. Hereinafter, the operation of the liquid crystal display device will be described together with the description of each member.

制御部70は、洗浄部71、貼りずれ検査装置72、貼合異物自動検査装置73および仕分け搬送装置74と接続されており、これらに制御信号を送信して制御するものである。制御部70は、主としてCPU(Central Processing Unit)により構成され、必要に応じてメモリ等を備える。   The control unit 70 is connected to the cleaning unit 71, the bonding deviation inspection device 72, the bonded foreign matter automatic inspection device 73, and the sorting and conveying device 74, and controls them by transmitting control signals thereto. The control unit 70 is mainly configured by a CPU (Central Processing Unit), and includes a memory or the like as necessary.

製造システム100に洗浄部71が備えられている場合、洗浄部71でのタクトタイムを短縮するため、第1基板搬送機構61における基板5は、長辺間口にて洗浄部71に搬送されることが好ましい。通常、洗浄部71での洗浄は長時間を要するため、タクトタイムを短縮する観点から当該構成は非常に有効である。   In the case where the cleaning unit 71 is provided in the manufacturing system 100, the substrate 5 in the first substrate transport mechanism 61 is transported to the cleaning unit 71 at the front edge of the long side in order to reduce the tact time in the cleaning unit 71. Is preferred. Usually, since the cleaning in the cleaning unit 71 takes a long time, this configuration is very effective from the viewpoint of shortening the tact time.

次に、偏光フィルムを基板5の両面に貼合する貼合工程(基板5の反転動作を含む)を行うが(図10のS2)、本工程については、図1〜図6を用いて説明した通りである。   Next, although the bonding process (including the reversing operation of the substrate 5) for bonding the polarizing film to both surfaces of the substrate 5 is performed (S2 in FIG. 10), this process will be described with reference to FIGS. That's right.

貼りずれ検査装置72は、貼合された基板5における偏光フィルムの貼りずれの有無を検査するものである。貼りずれ検査装置72は、カメラおよび画像処理装置によって構成されており、ニップロール16・16aによって偏光フィルムが貼合された基板5の貼合位置に上記カメラが設置されている。上記カメラにて基板5の撮影が行われ、撮影された画像情報を処理することによって、基板5に貼りずれの有無を検査することができる(貼りずれ検査工程、図10のS3)。なお、貼りずれ検査装置72としては、従来公知の貼りずれ検査装置を使用可能である。   The sticking deviation inspection device 72 inspects the presence or absence of sticking deviation of the polarizing film in the bonded substrate 5. The sticking displacement inspection device 72 is constituted by a camera and an image processing device, and the camera is installed at the bonding position of the substrate 5 on which the polarizing film is bonded by the nip rolls 16 and 16a. The substrate 5 is photographed by the camera, and the photographed image information is processed, whereby it is possible to inspect whether or not there is a sticking deviation on the substrate 5 (sticking deviation inspection step, S3 in FIG. 10). Note that as the misalignment inspection apparatus 72, a conventionally known misalignment inspection apparatus can be used.

貼合異物自動検査装置73は、貼合された基板5における異物の有無を検査するものである。貼合異物自動検査装置73は、貼りずれ検査装置72と同様に、カメラおよび画像処理装置によって構成されており、ニップロール16・16aによって偏光フィルムが貼合された後の基板5の第2基板搬送機構(貼合装置60)に上記カメラが設置されている。上記カメラにて基板5の撮影が行われ、撮影された画像情報を処理することによって、基板5に貼合異物の有無を検査することができる(貼合異物検査工程、S4)。上記異物としては、埃などの異物、フィッシュアイなどが挙げられる。なお、貼合異物自動検査装置73としては、従来公知の貼合異物検査装置を使用可能である。   The bonded foreign matter automatic inspection device 73 inspects the presence or absence of foreign matters in the bonded substrate 5. The bonded foreign matter automatic inspection device 73 is configured by a camera and an image processing device, like the misalignment inspection device 72, and transports the second substrate of the substrate 5 after the polarizing film is bonded by the nip rolls 16 and 16a. The camera is installed in the mechanism (bonding device 60). The board | substrate 5 is image | photographed with the said camera, and the presence or absence of the bonding foreign material to the board | substrate 5 can be test | inspected by processing the image | photographed image information (bonding foreign material inspection process, S4). Examples of the foreign matter include foreign matters such as dust, fish eyes, and the like. In addition, as the bonding foreign material automatic inspection apparatus 73, a conventionally well-known bonding foreign material inspection apparatus can be used.

S3およびS4は逆の順序でなされてもよいし、同時になされてもよい。また、一方の工程を省略することも可能である。   S3 and S4 may be performed in the reverse order or simultaneously. One step can be omitted.

仕分け搬送装置74は、貼りずれ検査装置72および貼合異物自動検査装置73からの検査結果に基づき、貼りずれおよび異物の有無を判定する。仕分け搬送装置74は、貼りずれ検査装置72および貼合異物自動検査装置73から検査結果に基づく出力信号を受信して、貼合された基板5を良品または不良品に仕分けできるものであればよい。したがって、従来公知の仕分け搬送システムを用いることができる。   The sorting and conveying device 74 determines the presence or absence of sticking misalignment and foreign matter based on the inspection results from the sticking misalignment inspection device 72 and the bonded foreign matter automatic inspection device 73. The sorting and conveying device 74 only needs to receive an output signal based on the inspection result from the sticking misalignment inspection device 72 and the bonding foreign matter automatic inspection device 73 and can sort the bonded substrates 5 into non-defective products or defective products. . Therefore, a conventionally known sorting and conveying system can be used.

当該液晶表示装置の製造システムでは好ましい態様として貼りずれおよび異物の両方を検出する構成となっており、貼りずれまたは異物が検査されたと判定された場合(YES)、貼合された基板5は不良品として仕分けされる(S7)。一方、貼りずれおよび異物のいずれもが検知されなかったと判定された場合(NO)、貼合された基板5は良品として仕分けされる(S6)。   In the manufacturing system of the liquid crystal display device, as a preferred mode, both the misalignment and foreign matter are detected. When it is determined that the misalignment or foreign matter has been inspected (YES), the bonded substrate 5 is not used. Sorted as good (S7). On the other hand, when it is determined that neither sticking deviation nor foreign matter is detected (NO), the bonded substrates 5 are classified as non-defective products (S6).

仕分け搬送装置74を備える液晶表示装置の製造システムによれば、良品および不良品の仕分けを速やかに行うことができ、タクトタイムを短縮することが可能である。貼りずれ検査装置72または貼合異物自動検査装置73のみが備えられている場合、仕分け搬送装置74は、貼りずれおよび異物の一方のみ有無を判定する構成であってもよい。   According to the manufacturing system of the liquid crystal display device provided with the sorting and conveying device 74, the non-defective product and the defective product can be sorted quickly, and the tact time can be shortened. When only the sticking misalignment inspection device 72 or the bonded foreign matter automatic inspection device 73 is provided, the sorting and conveying device 74 may be configured to determine the presence / absence of only one of the sticking misalignment and the foreign matter.

なお、本発明は、上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made within the scope of the claims, and the technical means disclosed in different embodiments can be appropriately combined. Such embodiments are also included in the technical scope of the present invention.

本発明に係る偏光フィルムの貼合装置は、偏光フィルムを基板に貼合する分野にて利用可能である。   The polarizing film bonding apparatus according to the present invention can be used in the field of bonding a polarizing film to a substrate.

1 第1巻出部
1a 第2巻出部
2 第1巻取部
2a 第2巻取部
3 ハーフカッター
4 ナイフエッジ
5 基板
5a 偏光フィルム
5b 剥離フィルム
6・6a ニップロール(第1貼合部)
7・7a 欠点フィルム巻取ローラー
11 第1巻出部
11a 第2巻出部
12 第1巻取部
12a 第2巻取部
13 ハーフカッター
14 ナイフエッジ
16・16a ニップロール(第2貼合部)
17・17a 欠点フィルム巻取ローラー
40 HEPAフィルター
41 グレーチング
50 フィルム搬送機構
51 第1フィルム搬送機構
52 第2フィルム搬送機構
60 貼合装置(偏光フィルムの貼合装置)
61 第1基板搬送機構
61a 基板載置部
62 第2基板搬送機構
65 反転機構
66 吸着部
67 支持部
68 昇降回転部
70 制御部
71 洗浄部
72 検査装置
73 貼合異物自動検査装置
74 搬送装置
100 製造システム(液晶表示装置の製造システム)
165 インターフェイス部
166 入力部
167 表示部
168 記憶部
D1 搬送方向
D2 搬送方向
D3 直交方向
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 1st unwinding part 1a 2nd unwinding part 2 1st winding part 2a 2nd winding part 3 Half cutter 4 Knife edge 5 Substrate 5a Polarizing film 5b Release film 6 * 6a Nip roll (1st bonding part)
7.7a Defect film winding roller 11 First unwinding portion 11a Second unwinding portion 12 First winding portion 12a Second winding portion 13 Half cutter 14 Knife edge 16 · 16a Nip roll (second bonding portion)
17.17a Defect film winding roller 40 HEPA filter 41 Grating 50 Film transport mechanism 51 First film transport mechanism 52 Second film transport mechanism 60 Bonding device (polarizing film bonding device)
61 First substrate transport mechanism 61a Substrate placement unit 62 Second substrate transport mechanism 65 Reversing mechanism 66 Adsorption unit 67 Support unit 68 Elevating and rotating unit 70 Control unit 71 Cleaning unit 72 Inspection device 73 Bonding foreign matter automatic inspection device 74 Transfer device 100 Manufacturing system (Liquid crystal display manufacturing system)
165 Interface unit 166 Input unit 167 Display unit 168 Storage unit D1 Transport direction D2 Transport direction D3 Orthogonal direction

Claims (11)

長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第1基板搬送機構と、
上記第1基板搬送機構における上記基板の下面に偏光フィルムを貼合する第1貼合部と、
上記第1基板搬送機構にて搬送された上記基板を反転させて第2基板搬送機構に配置する反転機構と、
上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第2基板搬送機構と、
上記第2基板搬送機構における上記基板の下面に偏光フィルムを貼合する第2貼合部とを含む偏光フィルムの貼合装置であって、
上記第1基板搬送機構および第2基板搬送機構は、基板を同一方向に搬送するものであり、
上記反転機構は、上記基板を吸着する吸着部と、
上記吸着部を介して基板を反転させる、吸着部に連結した基板反転部とを有しており、
上記基板反転部は、
(1)上記基板の長辺または短辺が第2基板搬送機構の基板の搬送方向に直交するように上記基板を第2基板搬送機構へ移動させ、
(2)上記基板の表面側を第2基板搬送機構に向かって移動させることによって基板を反転させ、
上記第1基板搬送機構および第2基板搬送機構が一直線上に配置されており、
第1基板搬送機構における第2基板搬送機構側の端部において、上記端部の第1基板搬送機構の搬送方向に対して水平な両方向に沿って、基板載置部および上記反転機構が2対ずつ備えられ、
上記端部には、上記端部から上記基板載置部へ基板を搬送する搬送手段が備えられており、
上記反転機構は上記基板載置部のそれぞれに搬送された基板を反転させて第2基板搬送機構に配置することを特徴とする偏光フィルムの貼合装置。
A first substrate transport mechanism for transporting a rectangular substrate with a long side or a short side along the transport direction;
A first bonding unit for bonding a polarizing film to the lower surface of the substrate in the first substrate transport mechanism;
A reversing mechanism for inverting the substrate transported by the first substrate transporting mechanism and placing it on the second substrate transporting mechanism;
A second substrate transport mechanism for transporting the substrate in a state where the short side or the long side is along the transport direction;
A polarizing film laminating apparatus comprising: a second laminating unit that laminates the polarizing film on the lower surface of the substrate in the second substrate transport mechanism,
The first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism transport substrates in the same direction,
The reversing mechanism includes a suction part that sucks the substrate;
A substrate reversing unit connected to the adsorption unit, which inverts the substrate through the adsorption unit,
The substrate inversion part is
(1) The substrate is moved to the second substrate transport mechanism so that the long side or the short side of the substrate is orthogonal to the substrate transport direction of the second substrate transport mechanism,
(2) inverting the substrate by moving the surface side of the substrate toward the second substrate transport mechanism ;
The first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism are arranged on a straight line,
At the end portion of the first substrate transport mechanism on the second substrate transport mechanism side, two pairs of substrate mounting portions and reversing mechanisms are provided along both directions parallel to the transport direction of the first substrate transport mechanism at the end portion. One by one,
The end portion is provided with a transport means for transporting the substrate from the end portion to the substrate mounting portion.
The polarizing film bonding apparatus, wherein the reversing mechanism reverses the substrate transported to each of the substrate mounting portions and arranges it on the second substrate transporting mechanism .
上記(1)において、第2基板搬送機構における基板の搬送方向に上記基板の表面側が向かう状態となるように、上記基板反転部が基板を移動させることを特徴とする請求項1に記載の偏光フィルムの貼合装置。   2. The polarized light according to claim 1, wherein, in (1), the substrate reversing unit moves the substrate so that the surface side of the substrate is directed in the substrate transport direction in the second substrate transport mechanism. Film bonding device. 偏光フィルムを搬送する第1フィルム搬送機構および第2フィルム搬送機構が備えられており、
上記第1フィルム搬送機構には、剥離フィルムに保護された偏光フィルムを巻出す複数の巻出部と、偏光フィルムを切断する切断部と、偏光フィルムから剥離フィルムを除去する除去部と、除去された上記剥離フィルムを巻取る複数の巻取部とが備えられており、
上記第2フィルム搬送機構には、剥離フィルムに保護された偏光フィルムを巻出す複数の巻出部と、偏光フィルムを切断する切断部と、偏光フィルムから剥離フィルムを除去する除去部と、除去された上記剥離フィルムを巻取る複数の巻取部とが備えられており、
上記第1基板搬送機構および第2基板搬送機構は上記第1フィルム搬送機構および第2フィルム搬送機構の上部に備えられており、
上記剥離フィルムが除去された偏光フィルムを基板に貼合する上記第1貼合部が上記第1フィルム搬送機構と第1基板搬送機構との間に、上記剥離フィルムが除去された偏光フィルムを基板に貼合する第2貼合部が上記第2フィルム搬送機構と第2基板搬送機構との間にそれぞれ備えられていることを特徴とする請求項1または2に記載の偏光フィルムの貼合装置。
A first film transport mechanism and a second film transport mechanism for transporting the polarizing film;
The first film transport mechanism includes a plurality of unwinding sections for unwinding the polarizing film protected by the release film, a cutting section for cutting the polarizing film, and a removing section for removing the peeling film from the polarizing film. And a plurality of winding sections for winding the release film,
The second film transport mechanism includes a plurality of unwinding sections for unwinding the polarizing film protected by the release film, a cutting section for cutting the polarizing film, and a removing section for removing the peeling film from the polarizing film. And a plurality of winding sections for winding the release film,
The first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism are provided above the first film transport mechanism and the second film transport mechanism,
The first bonding portion for bonding the polarizing film from which the release film has been removed to the substrate is between the first film transport mechanism and the first substrate transport mechanism, and the polarizing film from which the release film has been removed is the substrate. The bonding apparatus of the polarizing film of Claim 1 or 2 with which the 2nd bonding part bonded together is provided between the said 2nd film conveyance mechanism and the 2nd board | substrate conveyance mechanism, respectively. .
上記第1貼合部によって基板の下面に偏光フィルムを貼合する前に、基板を洗浄する洗浄部を備え、
上記第1基板搬送機構は、基板の短辺が搬送方向に沿った状態にて基板を搬送することを特徴とする請求項1〜の何れか1項に記載の偏光フィルムの貼合装置。
Before the polarizing film is bonded to the lower surface of the substrate by the first bonding unit, a cleaning unit for cleaning the substrate is provided,
The said 1st board | substrate conveyance mechanism conveys a board | substrate in the state in which the short side of the board | substrate followed the conveyance direction, The bonding apparatus of the polarizing film of any one of Claims 1-3 characterized by the above-mentioned.
上記第1フィルム搬送機構および上記第2フィルム搬送機構には、第1巻出部から巻出された偏光フィルムに付された欠点表示を検出する欠点検出部と、
上記欠点表示を判別して、上記基板の搬送を停止させる貼合回避部と、
基板との貼合が回避された偏光フィルムを回収する回収部とを有することを特徴とする請求項に記載の偏光フィルムの貼合装置。
In the first film transport mechanism and the second film transport mechanism, a defect detection unit that detects a defect display attached to the polarizing film unwound from the first unwinding unit;
A bonding avoidance unit that determines the defect display and stops the conveyance of the substrate,
It has a collection | recovery part which collect | recovers the polarizing films by which the bonding with a board | substrate was avoided, The bonding apparatus of the polarizing film of Claim 3 characterized by the above-mentioned.
請求項1〜の何れか1項に記載の偏光フィルムの貼合装置と、
上記第2貼合部によって偏光フィルムの貼合がなされた基板における貼りずれを検査する貼りずれ検査装置を備えることを特徴とする液晶表示装置の製造システム。
A polarizing film bonding apparatus according to any one of claims 1 to 5 ,
The manufacturing system of the liquid crystal display device provided with the sticking deviation test | inspection apparatus which test | inspects the sticking deviation in the board | substrate with which the polarizing film was bonded by the said 2nd bonding part.
長方形の基板を長辺または短辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第1基板搬送機構と、A first substrate transport mechanism for transporting a rectangular substrate with a long side or a short side along the transport direction;
上記第1基板搬送機構における上記基板の下面に偏光フィルムを貼合する第1貼合部と、A first bonding unit for bonding a polarizing film to the lower surface of the substrate in the first substrate transport mechanism;
上記第1基板搬送機構にて搬送された上記基板を反転させて第2基板搬送機構に配置する反転機構と、A reversing mechanism for inverting the substrate transported by the first substrate transporting mechanism and placing it on the second substrate transporting mechanism;
上記基板を短辺または長辺が搬送方向に沿った状態にて搬送する第2基板搬送機構と、A second substrate transport mechanism for transporting the substrate in a state where the short side or the long side is along the transport direction;
上記第2基板搬送機構における上記基板の下面に偏光フィルムを貼合する第2貼合部とを含む偏光フィルムの貼合装置であって、A polarizing film laminating apparatus comprising: a second laminating unit that laminates the polarizing film on the lower surface of the substrate in the second substrate transport mechanism,
上記第1基板搬送機構および第2基板搬送機構は、基板を同一方向に搬送するものであり、The first substrate transport mechanism and the second substrate transport mechanism transport substrates in the same direction,
上記反転機構は、上記基板を吸着する吸着部と、The reversing mechanism includes a suction part that sucks the substrate;
上記吸着部を介して基板を反転させる、吸着部に連結した基板反転部とを有しており、A substrate reversing unit connected to the adsorption unit, which inverts the substrate through the adsorption unit,
上記基板反転部は、The substrate inversion part is
(1)上記基板の長辺または短辺が第2基板搬送機構の基板の搬送方向に直交するように上記基板を第2基板搬送機構へ移動させ、(1) The substrate is moved to the second substrate transport mechanism so that the long side or the short side of the substrate is orthogonal to the substrate transport direction of the second substrate transport mechanism,
(2)上記基板の表面側を第2基板搬送機構に向かって移動させることによって基板を反転させることを特徴とする偏光フィルムの貼合装置と、(2) A polarizing film laminating device, wherein the substrate is reversed by moving the surface side of the substrate toward the second substrate transport mechanism;
上記第2貼合部によって偏光フィルムの貼合がなされた基板における貼りずれを検査する貼りずれ検査装置を備えることを特徴とする液晶表示装置の製造システム。The manufacturing system of the liquid crystal display device provided with the sticking deviation test | inspection apparatus which test | inspects the sticking deviation in the board | substrate with which the polarizing film was bonded by the said 2nd bonding part.
上記貼りずれ検査装置による検査結果に基づき貼りずれの有無を判定し、当該判定結果に基づき、偏光フィルムが貼合された基板の仕分けを行う仕分け搬送装置を備えることを特徴とする請求項または7に記載の液晶表示装置の製造システム。 7. The apparatus according to claim 6, further comprising: a sorting and conveying device that determines whether or not there is a pasting error based on an inspection result by the pasting error inspection device, and sorts the substrate on which the polarizing film is bonded based on the determination result. 8. A manufacturing system of a liquid crystal display device according to 7. 請求項1〜の何れか1項に記載の偏光フィルムの貼合装置と、
上記貼合装置における第2貼合部によって偏光フィルムの貼合がなされた基板における異物を検査する貼合異物自動検査装置とを備えることを特徴とする液晶表示装置の製造システム。
A polarizing film bonding apparatus according to any one of claims 1 to 5 ,
A manufacturing system for a liquid crystal display device, comprising: a bonded foreign matter automatic inspection device that inspects foreign matter on a substrate on which a polarizing film has been bonded by the second bonding portion in the bonding device.
上記貼合異物自動検査装置による検査結果に基づき異物の有無を判定し、当該判定結果に基づき、偏光フィルムが貼合された基板の仕分けを行う仕分け搬送装置を備えることを特徴とする請求項9に記載の液晶表示装置の製造システム。   10. A sorting / conveying device that judges the presence / absence of a foreign substance based on an inspection result by the bonded foreign substance automatic inspection apparatus and sorts a substrate on which a polarizing film is bonded based on the determination result. A manufacturing system of a liquid crystal display device according to 1. 上記第2貼合部によって偏光フィルムの貼合がなされた基板における異物を検査する貼合異物自動検査装置を備え、
上記貼りずれ検査装置による検査結果、および、上記貼合異物自動検査装置による検査結果に基づき、貼りずれおよび異物の有無を判定し、当該判定結果に基づき、偏光フィルムが貼合された基板の仕分けを行う仕分け搬送装置を備えることを特徴とする請求項または7に記載の液晶表示装置の製造システム。
It is equipped with a bonded foreign matter automatic inspection device that inspects foreign matters on the substrate on which the polarizing film has been bonded by the second bonding portion,
Based on the inspection result by the pasting inspection device and the inspection result by the pasting foreign matter automatic inspection device, the presence or absence of pasting and foreign matter is determined, and the substrate on which the polarizing film is pasted is determined based on the determination result. The manufacturing system of the liquid crystal display device of Claim 6 or 7 provided with the sorting conveyance apparatus which performs this.
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