KR20130047113A - Apparatus for adjusting a position of cassette - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An apparatus for controlling the position of a cassette is provided to accurately load a wafer in a preset position by accurately aligning the wafer from a pickup position to the preset position. CONSTITUTION: A vertical movement member vertically moves. A movable cassette support stand(600) is movably combined with the vertical movement member in a horizontal direction. The movable cassette support stand detachably receives a cassette. A pair of support units(700) are formed on both sides of the movable cassette support stand. The support unit supports the cassette in a preset position.

Description

카세트의 위치조절장치{APPARATUS FOR ADJUSTING A POSITION OF CASSETTE}Cassette positioning device {APPARATUS FOR ADJUSTING A POSITION OF CASSETTE}

본 발명은 카세트의 위치조절장치에 관한 것이다.The present invention relates to a position adjusting device of a cassette.

태양전지는 태양의 빛에너지를 전기에너지로 바꾼다. 광전효과를 이용하여 발전시키는 최소 단위를 셀(cell)이라 한다.Solar cells convert the sun's light energy into electrical energy. The minimum unit for generating power using the photoelectric effect is called a cell.

일반적으로 태양전지는 다양한 공정을 통해 제작되며, 이와 같은 다양한 공정은 다수 개의 장비들이 배열된 태양전지 제작 라인을 통해 진행된다. 태양전지를 제작하는 공정은 텍스쳐링(texturing) 공정을 포함한다. 테스쳐링 공정은 다수 장의 웨이퍼들이 적재된 카세트를 일정한 온도(보통 80도 정도임)의 화학 약품에 넣어 처리하게 된다. 텍스쳐링 공정이 끝나고 나면 이어지는 공정을 위하여 카세트에 적재된 웨이퍼를 꺼내어 다른 장비로 이송시키게 된다. 웨이퍼를 다른 장비로 이송시키는 방법은 다른 카세트에 텍스쳐링 공정이 끝난 웨이퍼를 적재한 후 다른 장비로 이송시키거나, 컨베이어를 통해 이송시키게 된다.In general, solar cells are manufactured through various processes, and such various processes are performed through a solar cell manufacturing line in which a plurality of devices are arranged. The process of fabricating a solar cell includes a texturing process. The testing process involves processing a cassette loaded with multiple wafers in a chemical at a constant temperature (usually around 80 degrees). After the texturing process is completed, the wafer loaded in the cassette is taken out and transferred to another device for subsequent processing. In the method of transferring the wafer to another device, the wafer having the texturing process is loaded in another cassette and then transferred to another device or transferred through a conveyor.

도 1, 2, 3은 카세트에 적재된 웨이퍼들을 꺼내는 장치의 측면도, 정면도, 사시도를 각각 도시한 것이다.1, 2, and 3 show a side view, a front view, and a perspective view, respectively, of an apparatus for taking out wafers loaded in a cassette.

도 1, 2, 3을 참조하여, 카세트에 적재된 웨이퍼들을 꺼내는 장치를 설명하면 다음과 같다. Referring to Figures 1, 2, 3, a description will be given of an apparatus for taking out wafers loaded in a cassette.

사각 형상의 관통구멍(11)이 구비된 베이스 프레임(10)과, 상기 베이스 프레임(10)의 하면에 구비된 수직 부재(20)와, 상기 수직 부재(20)에 상하 방향으로 움직임 가능하게 구비되며 상면에 카세트(30)가 놓여지는 카세트 지지대(40)와, 상기 수직 부재(20)에 구비되며 상기 카세트 지지대(40)를 상하로 움직이는 상하 구동유닛(50)과, 상기 카세트 지지대(40)에 구비되어 카세트(30)를 고정하거나 해제하는 착탈유닛(60)과, 상기 베이스 프레임(10)의 상면에 구비되어 상기 카세트(30)에 적재된 웨이퍼를 꺼내어 다른 장비에 전달하는 이재유닛(70)을 포함한다.The base frame 10 is provided with a rectangular through-hole 11, the vertical member 20 provided on the lower surface of the base frame 10, and the vertical member 20 to be movable in the vertical direction And a cassette support 40 on which a cassette 30 is placed on an upper surface thereof, an up and down drive unit 50 provided on the vertical member 20 to move the cassette support 40 up and down, and the cassette support 40. Detachable unit 60 is provided on the fixing unit 30 to release or fix the release unit, and the transfer unit 70 is provided on the upper surface of the base frame 10 to take out the wafer loaded in the cassette 30 to other equipment ).

상기 수직 부재(20)는 일정 길이를 가지며 수직 부재(20)의 길이 방향이 상기 베이스 프레임(10)에 수직이 되도록 결합된다. 상기 수직 부재(20)는 베이스 프레임(10)의 관통구멍 가장자리에 위치한다. 또한 상기 수직 부재(20)에 가이드 레일(21)이 구비되며, 상기 가이드 레일(21)의 길이 방향이 수직 방향으로 위치한다.The vertical member 20 has a predetermined length and is coupled so that the longitudinal direction of the vertical member 20 is perpendicular to the base frame 10. The vertical member 20 is located at the edge of the through hole of the base frame 10. In addition, the guide rail 21 is provided on the vertical member 20, and the longitudinal direction of the guide rail 21 is positioned in the vertical direction.

상기 카세트 지지대(40)는 수평판(41)과, 상기 수평판(41)의 하면에 결합되는 수직판(42)과, 상기 수직판(42)에 결합됨과 아울러 상기 가이드 레일(21)에 슬라이딩 가능하게 결합되는 슬라이딩 블록(43)을 포함한다. The cassette support 40 is coupled to the horizontal plate 41, the vertical plate 42 coupled to the lower surface of the horizontal plate 41, the vertical plate 42, and slides on the guide rail 21. A sliding block 43 is possibly coupled.

상기 착탈유닛(60)은 상기 카세트 지지대(40)의 수평판(41)에 서로 일정 간격을 두고 결합된 기역자형 블록(61)들과, 상기 기역자형 블록(61)과 일정 간격을 두고 결합되는 두 개의 일자형 블록(62)들과, 상기 카세트 지지대(40)의 수평판(41)에 구비된 락커(63)를 포함한다. 상기 두 개의 기역자형 블록(61)들은 카세트 지지대(40)의 수평판(41) 뒤쪽 양측에 각각 위치하고, 상기 두 개의 일자형 블록(62)들은 수평판(41)의 앞쪽 양측에 각각 위치한다. 상기 카세트(30)는 두 개의 기역자형 블록(61)들과 두 개의 일자형 블록(62)들에 의해 형성되는 수평판(41) 상의 내부 영역에 위치하게 된다. The detachable unit 60 is coupled to the horizontal plate 41 of the cassette support 40 at a predetermined distance from each other with a delimiter-shaped block 61, the delimiter-shaped block 61 is coupled with a predetermined interval Two straight blocks 62 and a locker 63 provided on the horizontal plate 41 of the cassette support 40. The two pilot-type blocks 61 are respectively located on both sides behind the horizontal plate 41 of the cassette support 40, and the two straight blocks 62 are respectively located on both sides of the front of the horizontal plate 41. The cassette 30 is located in the inner region on the horizontal plate 41 formed by the two primitive blocks 61 and the two straight blocks 62.

상기 카세트(30)는 하측판(31)과, 상기 하측판(31)과 대면되도록 하측판(31)과 일정 거리를 두고 위치하는 상측판(32)과, 상기 하측판(31)과 상측판(32)을 우측에서 연결하는 두 개의 우측바(33)들과, 상기 하측판(31)과 상측판(32)을 좌측에서 연결하는 두 개의 좌측바(34)들과, 상기 하측판(31)과 상측판(32)을 후측(뒤쪽)에서 연결하는 후측바(35)들을 포함한다. 상기 하측판(31)과 상측판(32)은 각각 일정 두께를 가지며 사각 형상으로 형성된다. 상기 두 개의 우측바(33)들은 서로 일정 간격을 유지하고, 상기 두 개의 좌측바(34)들도 상기 두 개의 우측바(33)들과 같은 간격을 유지한다. 상기 우측바(33)들과 좌측바(34)들은 각각 내측면에 웨이퍼(W)가 삽입되는 삽입홈(S)들이 위에서 아래로 일정 간격을 두고 구비된다. 웨이퍼(W)의 한쪽 끝은 우측바(33)들의 삽입홈(S)에 삽입되고 상기 웨이퍼(W)의 다른 한쪽 끝은 좌측바(34)들의 삽입홈(S)에 삽입된다. 우측바(33)들의 하나의 삽입홈(S)과 그 우측바(33)들의 삽입홈(S)에 대면되는 좌측바(34)들의 하나의 삽입홈(S)에 한 개의 웨이퍼(W)가 삽입된다.The cassette 30 includes a lower side plate 31, an upper side plate 32 positioned at a predetermined distance from the lower side plate 31 so as to face the lower side plate 31, and the lower side plate 31 and the upper side plate. Two right bars 33 connecting 32 at the right side, two left bars 34 connecting the lower plate 31 and the upper plate 32 at the left side, and the lower plate 31. ) And rear bars 35 connecting the upper plate 32 to the rear side (back side). The lower plate 31 and the upper plate 32 are each formed in a rectangular shape with a predetermined thickness. The two right bars 33 maintain a constant distance from each other, and the two left bars 34 also maintain the same distance as the two right bars 33. The right bars 33 and the left bars 34 are provided with insertion grooves S into which the wafers W are inserted into the inner side, respectively, with a predetermined distance from top to bottom. One end of the wafer W is inserted into the insertion groove S of the right bars 33 and the other end of the wafer W is inserted into the insertion groove S of the left bars 34. One wafer W is placed in one insertion groove S of the right bars 33 and one insertion groove S of the left bars 34 facing the insertion groove S of the right bars 33. Is inserted.

상기 카세트(30)가 카세트 지지대(40)의 수평판(41)에 놓여질 때 상기 두 개의 기역자형 블록(61)들의 내측면은 카세트(30)의 하측판(31)의 한쪽 두 모서리를 지지하고 상기 두 개의 일자형 블록(62)의 내측면은 카세트(30)의 하측판(31)의 다른 한쪽 양측면을 지지하게 된다. 상기 락커(63)는 카세트(30)의 하측판 상면을 누르거나 그 누름을 해제하게 된다.When the cassette 30 is placed on the horizontal plate 41 of the cassette support 40, the inner surface of the two translating blocks 61 supports one two corners of the lower plate 31 of the cassette 30. The inner side surfaces of the two straight blocks 62 support the other two side surfaces of the lower plate 31 of the cassette 30. The locker 63 presses or releases the upper surface of the lower plate of the cassette 30.

상기 이재유닛(70)은 포크(71)를 포함하며, 상기 포크(71)가 직선 왕복 운동하면서 카세트(30)에 적재된 웨이퍼(W)를 꺼내어 다른 장비에 놓는다.The transfer unit 70 includes a fork 71. The fork 71 linearly reciprocates while taking out the wafer W loaded on the cassette 30 and placing it on another equipment.

상기 장치의 작동을 설명하면 다음과 같다.The operation of the device is described as follows.

먼저, 카세트 지지대(40)가 최상측에 위치한 상태에서 웨이퍼(W)들이 적재된 카세트(30)를 카세트 지지대(40)의 수평판(41)에 위에 안착시킨다. 이때, 카세트(30)의 하측판(31)이 두 개의 기역자형 블록(61)들의 내측면과 두 개의 일자형 블록(62)들의 내측면에 지지된다. 카세트(30)가 카세트 지지대(40)의 수평판(41)에 안착된 상태에서 락커(63)가 카세트(30)의 하측판(31) 상면을 눌러 카세트(30)를 카세트 지지대(40)의 수평판(41)에 고정시킨다. 이재유닛(70)의 포크(71)가 카세트(30)쪽으로 이동하여 카세트(30)에 적재된, 픽업 위치에 있는 웨이퍼(W)를 픽업 한 후 꺼내어 다른 장비의 설정 위치에 적재시킨다. 한편, 이재유닛(70)의 포크(71)가 한 장의 웨이퍼(W)를 다른 장비의 설정 위치에 적재시키는 동안 상하 구동유닛(50)이 카세트 지지대(40)를 아래로 한 단계 이동시킴에 의해 카세트를 아래로 이동시켜 다른 웨이퍼(W)를 픽업 위치로 이동시킨다. 포크(71)가 웨이퍼(W)를 다른 장비의 설정 위치에 적재시킨 후 다시 카세트(30)로 이동하여 픽업 위치에 있는 웨이퍼(W)를 픽업 한 후 꺼내어 다른 장비의 설정 위치에 적재시킨다. First, the cassette 30 on which the wafers W are stacked is mounted on the horizontal plate 41 of the cassette support 40 with the cassette support 40 positioned on the uppermost side. At this time, the lower plate 31 of the cassette 30 is supported on the inner side of the two block-shaped blocks 61 and the inner side of the two straight blocks 62. While the cassette 30 is seated on the horizontal plate 41 of the cassette support 40, the locker 63 presses the upper surface of the lower plate 31 of the cassette 30 to move the cassette 30 to the cassette support 40. It is fixed to the horizontal plate 41. The fork 71 of the transfer unit 70 moves toward the cassette 30, picks up the wafer W in the pickup position, which is loaded in the cassette 30, and takes it out to be loaded at a setting position of another equipment. On the other hand, while the fork 71 of the transfer unit 70 loads one wafer W to the setting position of the other equipment, the vertical drive unit 50 moves the cassette support 40 downward by one step. The cassette is moved down to move another wafer W to the pickup position. After the fork 71 loads the wafer W at the setting position of another equipment, the fork 71 moves to the cassette 30 again, picks up the wafer W at the pick-up position, and removes the wafer W at the setting position of the other equipment.

이와 같은 작동을 반복하면서 카세트(30)에 적재된 웨이퍼(W)들을 다른 장비로 이송시킨다. 다른 장비는 카세트, 컨베이어, 또는 로봇이 될 수 있다. 상기 카세트(30)에 적재된 웨이퍼(W)들을 모두 다른 장비로 이송시킨 후 상하 구동유닛(50)이 최하측에 위치한 카세트 지지대(40)를 최상측으로 이동시킨다. 락커(63)를 풀어 카세트(30)의 고정을 해제한 후 카세트 지지대(40)에 놓여진 카세트(30)를 웨이퍼(W)들이 적재된 새로운 카세트(30)로 교체하게 된다.While repeating such an operation, the wafers W loaded on the cassette 30 are transferred to other equipment. Other equipment can be cassettes, conveyors, or robots. After transferring all the wafers W loaded on the cassette 30 to other equipment, the vertical driving unit 50 moves the cassette support 40 positioned at the lowermost side to the uppermost side. After unlocking the locker 63 to release the cassette 30, the cassette 30 placed on the cassette support 40 is replaced with a new cassette 30 loaded with wafers W.

그러나 웨이퍼(W)들을 텍스쳐링하기 위하여 웨이퍼(W)들이 적재된 카세트(30)를 설정된 온도의 화학 약품에 담그는 과정에서 카세트(30)의 좌,우측바(33)(34)에 변형이 발생될 경우 카세트(30)의 좌,우측바(33)(34)가 휘어지게 된다. 이와 같이, 좌,우측바(33)(34)가 휘어진 카세트(30)가, 도 4에 도시한 바와 같이, 카세트 지지대(40)에 안착될 경우 카세트(30)가 카세트 지지대(40)와 함께 단계적으로 아래로 이동하면서 카세트(30)의 웨이퍼(W)들을 하나씩 픽업 위치(P)로 이동시킬 때 카세트(30)의 좌,우측바(33)(34)가 휘어져 그 휘어진 부분에 위치한 웨이퍼(W)는 픽업 위치(P)에서 왼쪽이나 오른쪽으로 이동된 상태가 된다. 따라서, 포크(71)가 왼쪽이나 오른쪽으로 이동된 상태의 웨이퍼(W)를 픽업하여 다른 장비의 설정된 위치에 적재시킬 때 웨이퍼(W)가 설정된 위치에 적재되지 못하고 다른 장비의 부품에 부딪혀 파손된다.However, deformation of the left and right bars 33 and 34 of the cassette 30 may occur in the process of dipping the cassette 30 loaded with the wafers W into a chemical at a predetermined temperature in order to texture the wafers W. In this case, the left and right bars 33 and 34 of the cassette 30 are bent. As described above, when the cassette 30 having the curved left and right bars 33 and 34 is seated on the cassette support 40, the cassette 30 is together with the cassette support 40. When the wafers W of the cassette 30 are moved to the pick-up position P one by one while moving down in steps, the left and right bars 33 and 34 of the cassette 30 are bent to place the wafer ( W) is in the state moved to the left or the right from the pickup position P. FIG. Therefore, when the fork 71 picks up the wafer W while being moved to the left or the right and loads the wafer W at the set position of the other equipment, the wafer W is not loaded at the set position and is damaged by hitting parts of the other equipment. .

본 발명의 목적은 웨이퍼들이 적재된 카세트를 단계적으로 아래로 이동시키면서 카세트에 적재된 웨이퍼를 픽업 위치로 위치시킬 때 웨이퍼가 픽업 위치에서 정확하게 설정된 위치에 얼라인되도록 카세트를 위치를 조절하는 카세트의 위치조절장치를 제공함에 있다.It is an object of the present invention to position a cassette to position the cassette such that when the wafer loaded in the cassette is moved to the pick-up position while moving the cassette loaded with the wafers step by step, the wafer is aligned at a precisely set position at the pick-up position. In providing an adjusting device.

본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 상하로 움직이는 상하 이동부재; 상기 상하 이동부재에 수평방향으로 움직임 가능하게 결합되며, 카세트가 착탈 가능하게 안착되는 이동형 카세트 지지대; 상기 이동형 카세트 지지대의 양쪽에 구비되며, 상기 상하 이동부재를 따라 상하로 이동하는 상기 카세트를 설정된 위치에서 지지하는 한 쌍의 지지유닛을 포함하는 카세트의 위치조절장치가 제공된다.In order to achieve the object of the present invention, the vertical movement member moving up and down; A movable cassette supporter coupled to the vertically movable member in a horizontal direction, the cassette being detachably seated thereon; Provided on both sides of the movable cassette support, there is provided a cassette position adjusting device including a pair of support units for supporting the cassette to move up and down along the vertical movement member in a set position.

상기 상하 이동부재와 이동형 카세트 지지대 사이에 상기 이동형 카세트 지지대의 수평 움직임을 안내하는 가이드 유닛이 구비되는 것이 바람직하다.Preferably, a guide unit is provided between the vertically movable member and the movable cassette supporter to guide the horizontal movement of the movable cassette supporter.

상기 가이드 유닛은 상하 이동부재의 상면에 구비되는 가이드 레일과, 상기 이동형 카세트 지지대의 하면에 결합되며 상기 가이드 레일에 슬라이딩 가능하게 결합되는 슬라이딩 부재를 포함하며, 상기 가이드 레일의 길이 방향이 수평 방향으로 위치하는 것이 바람직하다.The guide unit includes a guide rail provided on an upper surface of the vertical moving member, and a sliding member coupled to a lower surface of the movable cassette supporter and slidably coupled to the guide rail, wherein the longitudinal direction of the guide rail is in a horizontal direction. Preferably located.

상기 지지유닛은 몸체부와, 상기 몸체부에 결합되는 엑츄에이터와, 상기 엑츄에이터의 작동축에 결합되는 보조 부재와, 상기 보조 부재에 회전 가능하게 결합되어 상기 카세트를 지지하는 롤러를 포함하는 것이 바람직하다.The support unit preferably includes a body portion, an actuator coupled to the body portion, an auxiliary member coupled to an operating shaft of the actuator, and a roller rotatably coupled to the auxiliary member to support the cassette. .

상기 한 개의 지지유닛이 카세트의 한쪽을 지지하는 지지점과 다른 한 개의 지지유닛이 카세트의 다른 한쪽을 지지하는 지지점을 연결하는 가상의 연결 라인에 웨이퍼를 픽업하는 픽업 위치가 위치하는 것이 바람직하다.It is preferable that the pick-up position for picking up the wafer is located in a virtual connection line connecting the support point for one support unit to support one side of the cassette and the support point for the other support unit to support the other side of the cassette.

상기 상하 이동부재와 이동형 카세트 지지대 사이에 상기 이동형 카세트 지지대를 탄성력으로 지지함과 아울러 이동형 카세트 지지대의 움직임 거리를 한정하는 탄성형 스토퍼가 구비되는 것이 바람직하다.It is preferable that an elastic stopper is provided between the up and down moving member and the movable cassette support to support the movable cassette support with elastic force and to limit the moving distance of the movable cassette support.

상기 탄성형 스토퍼는 개구홈이 구비되며 상기 상하 이동부재에 결합되는 고정블록과, 상기 이동형 카세트 지지대에 결합되며 일측이 상기 고정블록의 개구홈에 삽입되는 이동블록과, 상기 고정블록에 각각 결합되어 이동블록의 양쪽을 각각 지지하는 탄성부재들을 포함하는 것이 바람직하다.The elastic stopper is provided with an opening groove and coupled to the up and down moving member, a movable block coupled to the movable cassette support, one side of which is inserted into the opening groove of the fixed block, and is respectively coupled to the fixed block. It is preferable to include elastic members for supporting both sides of the moving block.

본 발명은 웨이퍼가 적재된 변형된 카세트가 이동형 카세트 지지대에 안착된 경우 변형된 카세트에 적재된 각 웨이퍼가 픽업 위치에서 설정된 위치에 정확하게 얼라인되므로 포크가 픽업 위치에 있는 웨이퍼를 픽업한 후 꺼내어 다른 장비의 설정된 위치에 적재시킬 때 설정된 위치에 정확하게 적재(또는 이송)된다. 이로 인하여, 웨이퍼를 다른 장비의 설정된 위치에 적재시킬 때 웨이퍼가 다른 장비의 부품에 충돌하여 파손되는 것을 방지하게 된다.According to the present invention, when the modified cassette on which the wafer is loaded is seated on the movable cassette support, each wafer loaded on the modified cassette is correctly aligned at the position set at the pick-up position, so the fork picks up the wafer at the pick-up position and then removes it. When loaded at the set position of the equipment, it is loaded (or transported) exactly at the set position. This prevents the wafer from colliding with components of the other equipment and breaking when the wafer is loaded at the set position of the other equipment.

물론, 웨이퍼들이 적재된 카세트가 변형이 발생되지 않은 경우에도 카세트에 적재된 웨이퍼가 픽업 위치에 위치할 때 그 픽업 위치에서의 설정된 위치에 정확하게 얼라인된다.Of course, even when the cassette on which the wafers are loaded is not deformed, when the wafer loaded on the cassette is positioned at the pickup position, it is precisely aligned to the set position at the pickup position.

도 1은 카세트에 적재된 웨이퍼들을 꺼내는 장치를 도시한 측면도,
도 2는 카세트에 적재된 웨이퍼들을 꺼내는 장치를 도시한 정면도,
도 3은 카세트에 적재된 웨이퍼들을 꺼내는 장치를 도시한 사시도,
도 4는 상기 장치에 변형된 카세트가 안착된 상태를 도시한 정면도,
도 5는 본 발명에 따른 카세트의 위치조절장치의 일실시예를 도시한 측면도,
도 6은 본 발명에 따른 카세트의 위치조절장치의 일실시예를 도시한 정면도,
도 7은 본 발명에 따른 카세트의 위치조절장치의 일실시예를 구성하는 두 개의 롤러들의 위치를 도시한 정면도,
도 8은 본 발명에 따른 카세트의 위치조절장치의 일실시예에 변형된 카세트가 장착된 상태에서 작동 상태를 각각 도시한 정면도.1 is a side view showing an apparatus for taking out wafers loaded in a cassette;
2 is a front view showing an apparatus for taking out wafers loaded in a cassette;
3 is a perspective view showing an apparatus for taking out wafers loaded in a cassette;
4 is a front view showing a state in which the modified cassette is seated in the apparatus;
Figure 5 is a side view showing an embodiment of a position adjusting device of the cassette according to the present invention,
Figure 6 is a front view showing an embodiment of a position adjusting device of the cassette according to the present invention,
Figure 7 is a front view showing the position of the two rollers constituting an embodiment of the position adjusting device of the cassette according to the present invention,
8 is a front view respectively showing an operating state in a state where the modified cassette is mounted in an embodiment of the cassette position adjusting apparatus according to the present invention.

이하, 본 발명에 따른 카세트의 위치조절장치의 일실시예를 첨부도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of a cassette position adjusting device according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 5는 본 발명에 따른 카세트의 위치조절장치의 일실시예를 도시한 측면도이다. 도 6은 본 발명에 따른 카세트의 위치조절장치의 일실시예를 도시한 정면도이다. Figure 5 is a side view showing an embodiment of a position adjusting device of the cassette according to the present invention. Figure 6 is a front view showing an embodiment of a position adjusting device of the cassette according to the present invention.

도 5, 6에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 카세트의 위치조절장치의 일실시예가 구비된, 카세트(30)에 적재된 웨이퍼(W)들을 꺼내는 장치는 베이스 프레임(100), 수직 부재(200), 상하 이동부재(300), 상하 구동유닛(500), 이동형 카세트 지지대(600), 한 쌍의 지지유닛(700), 이재유닛(800)을 포함한다.As shown in Figures 5 and 6, equipped with an embodiment of the cassette positioning device according to the present invention, the device for taking out the wafers (W) loaded on the cassette 30 is a base frame 100, a vertical member ( 200), the vertical movement member 300, the vertical drive unit 500, the movable cassette support 600, a pair of support unit 700, the transfer unit 800.

상기 베이스 프레임(100)은 내부에 관통구멍(101)이 구비된다. 상기 베이스 프레임(100)의 관통구멍(101)은 사각형상인 것이 바람직하다.The base frame 100 has a through hole 101 therein. The through hole 101 of the base frame 100 is preferably rectangular.

상기 수직 부재(200)는 일정 길이를 갖는다. 상기 수직 부재(200)의 길이 방향이 상기 베이스 프레임(100)에 수직이 되도록 베이스 프레임(100)의 하면에 결합된다. 상기 수직 부재(200)는 베이스 프레임(100)의 관통구멍 가장자리에 위치한다. 또한, 상기 수직 부재(200)에 가이드 레일(210)이 구비되며, 상기 가이드 레일(210)의 길이 방향이 수직 방향으로 위치한다.The vertical member 200 has a predetermined length. It is coupled to the bottom surface of the base frame 100 so that the longitudinal direction of the vertical member 200 is perpendicular to the base frame 100. The vertical member 200 is located at the edge of the through hole of the base frame 100. In addition, the guide rail 210 is provided on the vertical member 200, and the longitudinal direction of the guide rail 210 is positioned in the vertical direction.

상기 상하 이동부재(300)는 상기 수직 부재(200)의 가이드 레일(210)에 상하로 움직임 가능하게 결합된다. 상기 상하 이동부재(300)는 상기 수직 부재(200)의 가이드 레일(210)에 슬라이딩 가능하게 결합되는 슬라이딩 블록부(310)와, 상기 슬라이딩 블록부(310)에 결합되는 받침부(320)를 포함한다. The vertical movement member 300 is coupled to the guide rail 210 of the vertical member 200 so as to be movable up and down. The vertical movement member 300 includes a sliding block portion 310 slidably coupled to the guide rail 210 of the vertical member 200 and a support portion 320 coupled to the sliding block portion 310. Include.

상기 상하 구동유닛(500)은 상기 상하 이동부재(300)를 상하로 움직인다. 상기 상하 구동유닛(500)의 제1 실시예로, 상기 상하 구동유닛(500)은 회전 모터와, 상기 회전 모터에 연결되는 볼 스크류 어셈블리를 포함한다. 상기 볼 스크류 어셈블리를 구성하는 스크류가 상기 상하 이동부재(300)의 슬라이딩 블록부(310)에 연결된다. 이와 같은 볼 스크류 어셈블리 구성은 일반적인 기술이므로 구체적인 설명은 생략한다. 상기 상하 구동유닛(500)의 제2 실시예로, 상기 상하 구동유닛(500)은 유압 엑츄에이터를 포함한다. 상기 유압 엑츄에이터의 로드가 상기 상하 이동부재(300)의 슬라이딩 블록부(310)에 연결된다. 유압 엑츄에이터 구성은 일반적인 기술이므로 구체적인 설명은 생략한다. 상기 상하 구동유닛(500)은 다양한 형태로 구현될 수 있다.The vertical drive unit 500 moves the vertical movement member 300 up and down. In a first embodiment of the vertical drive unit 500, the vertical drive unit 500 includes a rotary motor and a ball screw assembly connected to the rotary motor. The screw constituting the ball screw assembly is connected to the sliding block 310 of the vertical movement member (300). Since the ball screw assembly configuration is a general technology, a detailed description thereof will be omitted. In a second embodiment of the vertical drive unit 500, the vertical drive unit 500 includes a hydraulic actuator. The rod of the hydraulic actuator is connected to the sliding block 310 of the vertical movement member 300. Since the hydraulic actuator configuration is a general technology, detailed description thereof will be omitted. The vertical driving unit 500 may be implemented in various forms.

상기 이동형 카세트 지지대(600)는 수평 방향으로 움직임 가능하게 상기 상하 이동부재(300)에 결합된다. 또한, 상기 이동형 카세트 지지대(600)에 카세트(30)가 착탈 가능하게 안착된다. 상기 이동형 카세트 지지대(600)의 상면에 상기 카세트(30)를 착탈시키는 착탈유닛(400)이 구비됨이 바람직하다. 상기 착탈유닛(400)은 상기 이동형 카세트 지지대(600)의 상면에 서로 일정 간격을 두고 결합된 기역자형 블록(410)들과, 상기 기역자형 블록(410)과 일정 간격을 두고 결합되는 두 개의 일자형 블록(420)들과, 상기 이동형 카세트 지지대(600)에 구비된 락커(430)를 포함한다. The movable cassette support 600 is coupled to the vertical movement member 300 to be movable in the horizontal direction. In addition, the cassette 30 is detachably seated on the movable cassette support 600. Preferably, a detachable unit 400 for attaching and detaching the cassette 30 is provided on an upper surface of the movable cassette support 600. The detachable unit 400 is a couple of block-type blocks 410 coupled to the upper surface of the movable cassette support 600 at a predetermined interval from each other, and a couple of two-shaped coupled to the block-shaped block 410 at a predetermined interval Blocks 420 and a locker 430 provided in the movable cassette support 600.

상기 카세트(30)는 하측판(31)과, 상기 하측판(31)과 대면되도록 하측판(31)과 일정 거리를 두고 위치하는 상측판(32)과, 상기 하측판(31)과 상측판(32)을 우측에서 연결하는 두 개의 우측바(33)들과, 상기 하측판(31)과 상측판(32)을 좌측에서 연결하는 두 개의 좌측바(34)들과, 상기 하측판(31)과 상측판(34)을 후측에서 연결하는 후측바(35)들을 포함한다. 상기 카세트(30)는 위에서 설명한 카세트(30)와 동일하므로 보다 구체적인 설명은 생략한다.The cassette 30 includes a lower side plate 31, an upper side plate 32 positioned at a predetermined distance from the lower side plate 31 so as to face the lower side plate 31, and the lower side plate 31 and the upper side plate. Two right bars 33 connecting 32 at the right side, two left bars 34 connecting the lower plate 31 and the upper plate 32 at the left side, and the lower plate 31. ) And the rear bars 35 connecting the upper plate 34 to the rear side. Since the cassette 30 is the same as the cassette 30 described above, a more detailed description thereof will be omitted.

상기 카세트(30)가 이동형 카세트 지지대(600)의 상면에 놓여질 때 상기 두 개의 기역자형 블록(410)들의 내측면은 카세트(30)의 하측판(31)의 한쪽 두 모서리를 지지하고 상기 두 개의 일자형 블록(420)의 내측면은 카세트(30)의 하측판 다른 한쪽 양측면을 지지하게 된다. 상기 락커(430)는 카세트(30)의 하측판 상면을 누르거나 그 누름을 해제하게 된다.When the cassette 30 is placed on the upper surface of the movable cassette support 600, the inner surface of the two translating blocks 410 supports one two corners of the lower plate 31 of the cassette 30 and the two An inner side surface of the straight block 420 supports both sides of the lower plate of the cassette 30. The locker 430 presses or releases the upper surface of the lower plate of the cassette 30.

상기 상하 이동부재(300)와 이동형 카세트 지지대(600) 사이에 상기 이동형 카세트 지지대(600)의 수평 움직임을 안내하는 가이드 유닛(610)이 구비됨이 바람직하다. 상기 가이드 유닛(610)은 상하 이동부재(300)의 상면에 구비되는 가이드 레일(611)과, 상기 이동형 카세트 지지대(600)의 하면에 결합되는 슬라이딩 부재(612)를 포함한다. 상기 슬라이딩 부재(612)는 상기 가이드 레일(611)에 슬라이딩 가능하게 결합된다. 상기 가이드 레일(611)의 길이 방향이 수평 방향으로 위치한다. 상기 가이드 레일(611)은 상기 한 쌍의 지지유닛(700)들을 연결하는 가상의 연결선과 평행하게 위치하는 것이 바람직하다.A guide unit 610 for guiding the horizontal movement of the movable cassette support 600 is preferably provided between the up and down moving member 300 and the movable cassette support 600. The guide unit 610 includes a guide rail 611 provided on the upper surface of the vertical moving member 300 and a sliding member 612 coupled to the lower surface of the movable cassette support 600. The sliding member 612 is slidably coupled to the guide rail 611. The longitudinal direction of the guide rail 611 is positioned in the horizontal direction. The guide rail 611 is preferably located in parallel with the virtual connecting line connecting the pair of support units (700).

상기 상하 이동부재(300)와 이동형 카세트 지지대(600) 사이에 상기 이동형 카세트 지지대(600)를 탄성력으로 지지함과 아울러 이동형 카세트 지지대(600)의 움직임 거리를 한정하는 탄성형 스토퍼(620)가 구비됨이 바람직하다. 상기 탄성형 스토퍼(620)는 개구홈(h)이 구비되며 상기 상하 이동부재(300)에 결합되는 고정블록(621)과, 상기 이동형 카세트 지지대(600)에 결합되며 일측이 상기 고정블록(621)의 개구홈(h)에 삽입되는 이동블록(622)과, 상기 고정블록(621)에 각각 결합되어 이동블록(622)의 양쪽을 각각 지지하는 탄성부재(623)들을 포함한다. 상기 고정블록(621)은 상기 상하 이동부재(300)의 받침부(320)의 측면에 결합되는 것이 바람직하다. 상기 개구홈(h)은 고정블록(621)의 양측면을 관통하고 상측이 개구되도록 일정 폭과 깊이를 갖는다. 상기 고정블록(621)의 개구홈(h)의 양측면에 탄성부재 삽입홀이 각각 구비된다. 상기 탄성부재(623)는 코일 스프링인 것이 바람직하다. 상기 탄성부재(623)는 두 개이며 그 두 개의 탄성부재(623)는 상기 탄성부재 삽입홀들에 각각 삽입되어 개구홈(h)에 위치한 이동블록(622)의 양측면을 각각 탄성력으로 지지하게 된다. 상기 탄성형 스토퍼(620)는 받침부(320)의 양쪽면에 각각 구비되는 것이 바람직하다. 상기 탄성형 스토퍼(620)는 한쪽면에 구비될 수도 있다.An elastic stopper 620 is provided between the vertical moving member 300 and the movable cassette support 600 to support the movable cassette support 600 with elastic force and to limit the moving distance of the movable cassette support 600. Is preferred. The elastic stopper 620 is provided with an opening groove (h) and is fixed to the fixed block 621 coupled to the vertical movement member 300, the movable cassette support 600 and one side of the fixed block 621 A moving block 622 inserted into the opening groove (h) of the) and the elastic member 623 are respectively coupled to the fixed block 621 to support both sides of the moving block 622. The fixed block 621 is preferably coupled to the side of the support 320 of the vertical movement member 300. The opening groove h penetrates both sides of the fixing block 621 and has a predetermined width and depth to open the upper side. Resilient member insertion holes are provided on both side surfaces of the opening groove h of the fixing block 621, respectively. The elastic member 623 is preferably a coil spring. The elastic member 623 is two and the two elastic members 623 are respectively inserted into the elastic member insertion holes to support both sides of the moving block 622 positioned in the opening groove h with elastic force. . The elastic stopper 620 is preferably provided on both sides of the support portion 320, respectively. The elastic stopper 620 may be provided on one side.

상기 한 쌍을 이루는 두 개의 지지유닛(700)들은 상기 이동형 카세트 지지대(600)의 양쪽에 각각 위치하도록 상기 베이스 프레임(100)에 장착된다. 상기 한 쌍의 지지유닛(700)들은 상기 상하 이동부재(300)를 따라 상하로 이동하는 상기 카세트(30)를 설정된 위치에서 지지한다. 상기 한 쌍의 지지유닛(700)은 상기 카세트(30)의 양쪽면을 각각 지지하게 된다. 도 7에 도시한 바와 같이, 한 개의 지지유닛(700)이 카세트(30)의 한쪽을 지지하는 지지점과 다른 한 개의 지지유닛(700)이 카세트(30)의 다른 한쪽을 지지하는 지지점을 연결하는 가상의 연결 라인이 픽업 위치(P)가 되며, 그 픽업 위치(P)에 픽업될 웨이퍼(W)가 위치하게 된다. 상기 지지유닛(700)은 몸체부(710)와, 상기 몸체부(710)에 결합되는 엑츄에이터(720)와, 상기 엑츄에이터(720)의 로드(721)에 결합되는 보조 부재(730)와, 상기 보조 부재(730)에 회전 가능하게 결합되어 상기 카세트(30)를 지지하는 롤러(740)를 포함한다. 상기 엑츄에이터(720)의 작동에 의해 상기 보조 부재(730)와 롤러(740)가 카세트(30) 쪽으로 움직이거나 그 반대쪽으로 움직이게 된다.The pair of two support units 700 are mounted to the base frame 100 so as to be located at both sides of the movable cassette support 600. The pair of support units 700 support the cassette 30 moving up and down along the up and down moving member 300 at a set position. The pair of support units 700 respectively support both sides of the cassette 30. As shown in FIG. 7, one support unit 700 connects a support point for supporting one side of the cassette 30 and another support unit 700 connects a support point for supporting the other side of the cassette 30. The virtual connection line becomes the pick-up position P, and the wafer W to be picked up is located at the pick-up position P. FIG. The support unit 700 includes a body portion 710, an actuator 720 coupled to the body portion 710, an auxiliary member 730 coupled to the rod 721 of the actuator 720, and A roller 740 is rotatably coupled to the auxiliary member 730 to support the cassette 30. Operation of the actuator 720 causes the auxiliary member 730 and the roller 740 to move toward or away from the cassette 30.

상기 이재유닛(800)은 상기 베이스 프레임(100)의 상면에 구비된다. 상기 이재유닛(800)은 카세트(30)에 적재된 웨이퍼(W)를 꺼내어 다른 장비에 전달한다. 상기 이재유닛(800)은 포크(810)를 포함하며, 상기 포크(810)가 직선 왕복 운동하면서 카세트(30)에 적재된 웨이퍼(W)를 꺼내어 다른 장비에 놓는다. 상기 다른 장비는 카세트, 컨베이어, 또는 로봇 등이 될 수 있다.The transfer unit 800 is provided on an upper surface of the base frame 100. The transfer unit 800 takes out the wafer W loaded on the cassette 30 and transfers it to other equipment. The transfer unit 800 includes a fork 810, and the fork 810 linearly reciprocates while taking out the wafer W loaded on the cassette 30 and placing it on another equipment. The other equipment can be a cassette, conveyor, robot or the like.

이하, 본 발명에 따른 카세트의 위치조절장치의 작용과 효과를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the operation and effects of the position adjusting device of the cassette according to the present invention will be described.

먼저, 한 쌍의 지지유닛(700)의 각 롤러(740)가 뒤로 이동하고 상하 이동부재(300) 및 이동형 카세트 지지대(600)가 최상측에 위치한 상태에서, 웨이퍼(W)들이 적재된 카세트(30)를 이동형 카세트 지지대(600) 상면에 안착된다. 이때, 카세트(30)의 하측판(31)이 두 개의 기역자형 블록(410)들의 내측면과 두 개의 일자형 블록(420)들의 내측면에 지지된다. 카세트(30)가 이동형 카세트 지지대(600)에 안착된 상태에서 락커(430)가 카세트(30)의 하측판 상면을 눌러 카세트(30)를 이동형 카세트 지지대(600)에 고정시킨다. 한 쌍의 지지유닛(700)의 각 롤러(740)를 앞으로 이동하여 카세트(30)의 우측바(33) 측면과 좌측바(34) 측면을 각각 지지한다. 상기 한 개의 롤러(740)와 우측바(33)가 접촉 지지되는 지지점과 다른 한 개의 롤러(740)와 좌측바(34)가 접촉 지지되는 지지점을 연결하는 가상의 연결 라인이 픽업 위치가 되며, 그 픽업 위치에 픽업될 웨이퍼(W)가 위치하게 된다.First, in a state in which the rollers 740 of the pair of support units 700 are moved backward and the vertical movement member 300 and the movable cassette support 600 are positioned at the uppermost side, the wafers W are loaded with a cassette ( 30) is mounted on the upper surface of the movable cassette support (600). At this time, the lower plate 31 of the cassette 30 is supported on the inner side of the two block-shaped blocks 410 and the inner side of the two straight blocks 420. In a state in which the cassette 30 is seated on the movable cassette support 600, the locker 430 presses the upper surface of the lower plate of the cassette 30 to fix the cassette 30 to the movable cassette support 600. Each roller 740 of the pair of support units 700 is moved forward to support the side of the right bar 33 and the side of the left bar 34 of the cassette 30, respectively. The pick-up position is a virtual connection line connecting a support point at which the one roller 740 and the right bar 33 are in contact and support, and a support point at which the other roller 740 and the left bar 34 are in contact and support. The wafer W to be picked up is located at the pick-up position.

이재유닛(800)의 포크(810)가 카세트(30)쪽으로 이동한 후 픽업 위치에 있는 웨이퍼(W)를 픽업한 후 꺼내어 다른 장비의 설정 위치에 적재시킨다. 한편 이재유닛(800)의 포크(810)가 카세트(30)에서 꺼낸 한 장의 웨이퍼(W)를 다른 장비의 설정 위치에 적재시키는 동안 상하 구동유닛(500)이 상하 이동부재(300)를 한 단계 아래로 이동시킨다. 상기 상하 이동부재(300)가 한 단계 아래로 이동함에 따라 이동형 카세트 지지대(600)와 카세트(30)도 함께 아래로 한 단계 이동하면서 픽업된 웨이퍼(W)의 위쪽에 위치한 웨이퍼(W)가 픽업 위치로 이동하게 된다. 상기 카세트(30)는 한 쌍의 지지유닛(700)의 롤러(740)들에 의해 지지된 상태에서 아래로 이동하게 된다.The fork 810 of the transfer unit 800 moves to the cassette 30, and then picks up the wafer W at the pick-up position and removes it, and loads the wafer W at a setting position of another equipment. Meanwhile, the vertical drive unit 500 moves the vertical moving member 300 one step while the fork 810 of the transfer unit 800 loads one wafer W taken out of the cassette 30 at the setting position of the other equipment. Move down As the vertical movement member 300 moves down one step, the movable cassette support 600 and the cassette 30 move down one step together, and the wafer W located above the picked up wafer W is picked up. Will be moved to the location. The cassette 30 is moved downward in a state supported by the rollers 740 of the pair of support units 700.

이재유닛(800)의 포크(810)가 웨이퍼(W)를 다른 장비의 설정 위치에 적재시킨 후 다시 카세트(30)쪽으로 이동하여 픽업 위치에 있는 웨이퍼(W)를 픽업한 후 꺼내어 다른 장비의 설정 위치에 적재시킨다.The fork 810 of the transfer unit 800 loads the wafer W at the setting position of another equipment, and then moves to the cassette 30 again, picks up the wafer W at the pickup position, and takes out the setting of the other equipment. Load in position.

위와 같은 작동을 반복하면서 카세트(30)에 적재된 웨이퍼(W)들을 다른 장비로 이송시킨다. 상기 카세트(30)에 적재된 웨이퍼(W)를 모두 다른 장비로 이송시킨 후 상하 구동유닛(500)이 상하 이동부재(300)를 최상측으로 이동시킨다. 락커(430)를 풀어 카세트(30)의 고정을 해제한 후 이동형 카세트 지지대(600)에 놓여진 카세트(30)를 웨이퍼(W)들이 적재된 새로운 카세트(30)로 교체하게 된다.While repeating the above operation, the wafers W loaded on the cassette 30 are transferred to other equipment. After transferring all the wafers W loaded on the cassette 30 to other equipment, the vertical driving unit 500 moves the vertical moving member 300 to the uppermost side. After unlocking the locker 430 to release the cassette 30, the cassette 30 placed on the movable cassette support 600 is replaced with a new cassette 30 loaded with wafers W.

상기 웨이퍼(W)들이 적재된 카세트(30)가 변형이 발생되지 않은 경우 상하 구동유닛(500)이 상하 이동부재(300)를 아래로 이동시킬 때 이동형 카세트 지지대(600) 및 카세트(30)도 함께 아래 방향으로 수직으로 이동하게 되므로 카세트(30)에 적재된 웨이퍼(W)가 픽업 위치에 위치할 때 그 픽업 위치에서의 설정된 위치에 정확하게 얼라인된다.When the cassette 30 loaded with the wafers W is not deformed, the movable cassette support 600 and the cassette 30 also move when the vertical driving unit 500 moves the vertical moving member 300 downward. Since the wafer W loaded on the cassette 30 is located at the pick-up position, the wafer W loaded on the cassette 30 is precisely aligned at the set position at the pick-up position because the wafer W is vertically moved together.

한편, 상기 이동형 카세트 지지대(600)에 안착된 카세트(30)가 변형된 카세트(30)일 경우에도 카세트(30)가 아래로 이동할 때 카세트(30)가 좌우로 이동하면서 아래로 이동하게 되어 카세트(30)에 적재된 웨이퍼(W)들이 각각 픽업 위치에서 설정된 위치에 정확하게 얼라인된다. 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같다. 먼저, 도 8에 도시한 바와 같이, 변형된 카세트(30)가 이동형 카세트 지지대(600)에 안착되고 한 쌍의 지지유닛(700)의 롤러(740)들이 카세트(30)를 지지한 상태에서 카세트(30)에 적재된 웨이퍼(W)를 아래로부터 위로 순서적으로 제1,2,3,4 웨이퍼(W1)(W2)(W3)(W4)라 한다. 이때, 한 쌍의 지지유닛(700)의 롤러(740)들의 지지점을 연결한 가상의 연결 라인인 픽업 위치에 제1 웨이퍼(W1)가 위치하며, 제2,3,4 웨이퍼들(W2)(W3)(W4)은 카세트가 변형되어 있기 때문에 수직 방향으로 얼라인되지 않는다. 즉, 카세트(30)가 변형된 상태이므로 제2,3,4 웨이퍼들(W2)(W3)(W4)은 각각 제1 웨이퍼(W1)보다 오른쪽에 위치하게 되며 아래쪽에 위치한 웨이퍼보다 위쪽에 위치하는 웨이퍼가 더 오른쪽으로 위치하게 된다. 이와 같은 상태에서, 포크가 픽업 위치에 있는 제1 웨이퍼(W1)를 픽업하여 꺼낸 후, 도 9에 도시한 바와 같이, 카세트(30)가 아래로 한 단계 이동할 때 롤러(740)들이 설정된 위치에 고정된 상태에서 카세트(30)를 지지하고 또한 카세트는 수평 방향으로 움직임 가능하게 되므로 카세트(30)는 왼쪽으로 움직이면서 아래로 한 단계 이동하게 된다. 이로 인하여, 제2 웨이퍼(W2)가 두 롤러(740)들의 지지점인 픽업 위치에 위치할 때 제2 웨이퍼(W2)가 픽업 위치의 설정 위치에 정확하게 얼라인된다. On the other hand, even when the cassette 30 seated on the movable cassette support 600 is a modified cassette 30, when the cassette 30 is moved downward, the cassette 30 is moved left and right while moving downward. The wafers W loaded on the 30 are each exactly aligned at the position set at the pick-up position. More specifically, it is as follows. First, as shown in FIG. 8, the modified cassette 30 is seated on the movable cassette support 600, and the cassettes are supported by the rollers 740 of the pair of support units 700 supporting the cassette 30. The wafers W loaded on the 30 are called first, second, third, and fourth wafers W1, W2, W3, and W4 in order from the bottom up. At this time, the first wafer W1 is positioned at a pickup position, which is a virtual connection line connecting the support points of the rollers 740 of the pair of support units 700, and the second, third and fourth wafers W2 ( W3) W4 is not aligned in the vertical direction because the cassette is deformed. That is, since the cassette 30 is in a deformed state, the second, third, and fourth wafers W2, W3, and W4 are respectively positioned to the right of the first wafer W1 and located above the wafer located below. The wafer is placed to the right. In such a state, after the fork picks up and removes the first wafer W1 in the pick-up position, as shown in FIG. 9, the rollers 740 are positioned at the set position when the cassette 30 moves one step downward. Since the cassette 30 is supported in the fixed state and the cassette is movable in the horizontal direction, the cassette 30 moves one step downward while moving to the left. Due to this, when the second wafer W2 is positioned at the pick-up position, which is the support point of the two rollers 740, the second wafer W2 is accurately aligned with the set position of the pick-up position.

상기 카세트(30)가 수평으로 이동 가능한 이동형 카세트 지지대(600)에 고정되므로 변형된 카세트(30)가 두 개의 롤러(740)들에 의해 지지된 상태로 아래로 이동할 때 카세트(30)의 변형된 상태에 따라 카세트(30)가 수평 방향인 좌우 방향으로 움직이면서 아래로 이동하는 것이 가능하게 된다. 한편, 상기 이동형 카세트 지지대(600)가 카세트(30)에 의해 수평방향으로 이동할 때 이동형 카세트 지지대(600)에 결합된 이동블록(622)이 탄성부재(623)들에 의해 탄성력을 받게 되므로 이동형 카세트 지지대(600)는 탄성력에 의해 지지된다.Since the cassette 30 is fixed to the movable cassette supporter 600 which is horizontally movable, the deformed cassette 30 is deformed when the deformed cassette 30 moves downward while being supported by the two rollers 740. Depending on the state, the cassette 30 can be moved downward while moving in the horizontal direction. On the other hand, when the movable cassette support 600 is moved in the horizontal direction by the cassette 30, the movable block 622 coupled to the movable cassette support 600 is subjected to the elastic force by the elastic members 623, the movable cassette Support 600 is supported by an elastic force.

이재유닛(800)의 포크(810)가 픽업 위치에 있는 제2 웨이퍼(W2)를 픽업하여 꺼낸 후 카세트(30)가 아래로 한 단계 더 이동하게 되면 두 개의 롤러(740)들이 설정된 위치에 고정된 상태에서 카세트(30)를 지지하게 되어 변형된 카세트(30)는 왼쪽으로 움직이면서 아래로 한 단계 이동하여 제3 웨이퍼(W3)가 픽업 위치로 이동하게 된다. 이로 인하여, 제3 웨이퍼(W3)가 픽업 위치에서 설정된 위치에 정확하게 얼라인된다. 이와 같은 작동이 반복되면서 변형된 카세트(30)에 적재된 웨이퍼들은 각각 픽업 위치에서 설정된 위치에 정확하게 얼라인된다.After the fork 810 of the transfer unit 800 picks up and removes the second wafer W2 at the pick-up position, the cassette 30 is moved one step further to fix the two rollers 740 in the set position. The cassette 30 deformed by supporting the cassette 30 is moved one step downward while moving to the left to move the third wafer W3 to the pickup position. For this reason, the 3rd wafer W3 is correctly aligned in the position set in the pick-up position. As the above operation is repeated, the wafers loaded on the deformed cassette 30 are each exactly aligned at the positions set at the pickup positions.

이와 같이, 웨이퍼(W)가 적재된 변형된 카세트(30)가 이동형 카세트 지지대(600)에 안착된 경우에도 변형된 카세트(30)에 적재된 각 웨이퍼(W)가 픽업 위치에서 설정된 위치에 정확하게 얼라인되므로 포크(810)가 픽업 위치에 있는 웨이퍼(W)를 픽업한 후 꺼내어 다른 장비의 설정된 위치에 적재시킬 때 설정된 위치에 정확하게 적재된다. 이로 인하여, 웨이퍼(W)를 다른 장비의 설정된 위치에 적재(또는 이송)시킬 때 웨이퍼(W)가 다른 장비의 부품에 충돌하여 파손되는 것을 방지하게 된다.As such, even when the modified cassette 30 on which the wafers W are loaded is seated on the movable cassette support 600, each wafer W loaded on the modified cassettes 30 is accurately positioned at the pick-up position. Since the fork 810 is picked up, the fork 810 picks up the wafer W at the pick-up position, and is accurately loaded at the set position when the fork 810 is picked out and loaded at the set position of the other equipment. As a result, when the wafer W is loaded (or transported) at a predetermined position of other equipment, the wafer W is prevented from colliding with the parts of the other equipment and being damaged.

한편, 위에서는 웨이퍼들이 적재된 변형된 카세트에서 웨이퍼들을 픽업하여 꺼내는 경우에 대하여 설명하였으나, 웨이퍼들을 변형된 카세트에 적재할 경우에도 웨이퍼가 카세트에 부딪힘이 없이 카세트의 삽입홈에 정확하게 삽입하여 적재할 수 있다.Meanwhile, the case in which the wafers are picked up and taken out from the modified cassette in which the wafers are loaded has been described. However, even when the wafers are loaded in the modified cassette, the wafers can be inserted and loaded correctly in the insertion groove of the cassette without hitting the cassette. Can be.

300; 상하 이동부재 600; 이동형 카세트 지지대 610; 가이드 유닛 620; 탄성형 스토퍼300; Vertical moving member 600; Movable cassette support 610; Guide unit 620; Elastic stopper

Claims (8)

상하로 움직이는 상하 이동부재;
상기 상하 이동부재에 수평방향으로 움직임 가능하게 결합되며, 카세트가 착탈 가능하게 안착되는 이동형 카세트 지지대; 및
상기 이동형 카세트 지지대의 양쪽에 구비되며, 상기 상하 이동부재를 따라 상하로 이동하는 상기 카세트를 설정된 위치에서 지지하는 한 쌍의 지지유닛을 포함하는 카세트의 위치조절장치.A vertical moving member moving up and down;
A movable cassette supporter coupled to the vertically movable member in a horizontal direction, the cassette being detachably seated thereon; And
And a pair of support units which are provided at both sides of the movable cassette supporter and support the cassette moving up and down along the vertical movement member at a set position. 제 1 항에 있어서, 상기 상하 이동부재와 이동형 카세트 지지대 사이에 상기 이동형 카세트 지지대의 수평 움직임을 안내하는 가이드 유닛이 구비되는 카세트의 위치조절장치.The cassette positioning device according to claim 1, further comprising a guide unit for guiding a horizontal movement of the movable cassette supporter between the vertically movable member and the movable cassette supporter. 제 2 항에 있어서, 상기 가이드 유닛은 상하 이동부재의 상면에 구비되는 가이드 레일과, 상기 이동형 카세트 지지대의 하면에 결합되며 상기 가이드 레일에 슬라이딩 가능하게 결합되는 슬라이딩 부재를 포함하며, 상기 가이드 레일의 길이 방향이 수평 방향으로 위치하는 것을 특징으로 하는 카세트의 위치조절장치.According to claim 2, The guide unit comprises a guide rail provided on the upper surface of the vertical movement member, and a sliding member coupled to the lower surface of the movable cassette support and slidably coupled to the guide rail, Positioning device of the cassette, characterized in that the longitudinal direction is located in the horizontal direction. 제 3 항에 있어서, 상기 가이드 레일은 상기 한 쌍의 지지유닛들을 연결하는 가상의 연결선과 평행하게 위치하는 것을 특징으로 하는 카세트의 위치조절장치.The apparatus of claim 3, wherein the guide rail is positioned in parallel with a virtual connection line connecting the pair of support units. 제 1 항에 있어서, 상기 지지유닛은 몸체부와, 상기 몸체부에 결합되는 엑츄에이터와, 상기 엑츄에이터의 로드에 결합되는 보조 부재와, 상기 보조 부재에 회전 가능하게 결합되어 상기 카세트를 지지하는 롤러를 포함하는 카세트의 위치조절장치.The support unit of claim 1, wherein the support unit includes a body portion, an actuator coupled to the body portion, an auxiliary member coupled to the rod of the actuator, and a roller rotatably coupled to the auxiliary member to support the cassette. Position adjusting device of a cassette comprising. 제 1 항에 있어서, 상기 한 개의 지지유닛이 카세트의 한쪽을 지지하는 지지점과 다른 한 개의 지지유닛이 카세트의 다른 한쪽을 지지하는 지지점을 연결하는 가상의 연결 라인에 웨이퍼를 픽업하는 픽업 위치가 위치하는 것을 특징으로 하는 카세트의 위치조절장치.2. The pickup position according to claim 1, wherein a pickup position for picking up a wafer is located on a virtual connection line connecting a support point for one support unit to support one side of the cassette and a support point for the other support unit to support the other side of the cassette. Positioning device of the cassette, characterized in that. 제 1 항에 있어서, 상기 상하 이동부재와 이동형 카세트 지지대 사이에 상기 이동형 카세트 지지대를 탄성력으로 지지함과 아울러 이동형 카세트 지지대의 움직임 거리를 한정하는 탄성형 스토퍼가 구비되는 것을 특징으로 하는 카세트의 위치조절장치.The cassette position adjustment method of claim 1, wherein an elastic stopper is provided between the vertically movable member and the movable cassette supporter to support the movable cassette supporter with an elastic force and to limit the moving distance of the movable cassette supporter. Device. 제 7 항에 있어서, 상기 탄성형 스토퍼는 개구홈이 구비되며 상기 상하 이동부재에 결합되는 고정블록과, 상기 이동형 카세트 지지대에 결합되며 일측이 상기 고정블록의 개구홈에 삽입되는 이동블록과, 상기 고정블록에 각각 결합되어 상기 이동블록의 양쪽을 각각 지지하는 탄성부재들을 포함하는 카세트의 위치조절장치.According to claim 7, The elastic stopper is provided with an opening groove and the fixed block coupled to the vertical movement member, the movable block coupled to the movable cassette support and one side is inserted into the opening groove of the fixed block, and Positioning apparatus of the cassette comprising elastic members respectively coupled to the fixed block to support both sides of the moving block.
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