KR101106098B1 - The rotate picker device for using solar cell wafer transfer system - Google Patents

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Abstract

본 발명은 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템 중 로테이트 픽커장치에 관한 것이다.The present invention relates to a rotate picker device in a solar cell wafer transfer system.
이러한 본 발명의 로테이트 픽커장치는, 메인구동모터의 상단에 고정된 베이스프레임의 좌우 양측에 위치됨과 동시에 각 픽커고정프레임을 통해 고정되며, 각 픽커의 진공작용 및 서로 대향된 회동작용을 통해 매거진으로부터 엘리베이터에 의해 상승된 웨이퍼를 개별 및 2장씩 겹쳐진 상태로 취부하는 픽커유닛과; 상기 픽커유닛의 상단 일측에 설치되며, 2장씩 겹쳐진 웨이퍼를 한쪽으로 밀어서 정렬시키는 사이드푸셔유닛과; 상기 픽커 트랜스퍼 유닛의 이송대 상단에 고정되며, 매거진으로부터 상승되어 픽커유닛에 취부된 웨이퍼를 이웃한 보우트 측으로 회전시키는 메인구동모터로 구성된 것을 특징으로 한다.The rotate picker device of the present invention is located on the left and right sides of the base frame fixed to the top of the main drive motor and is fixed through each picker fixing frame, and the magazine is rotated from the magazine through the vacuum action and the opposite rotation action of each picker. A picker unit which mounts the wafers lifted by the elevator in a state where the wafers are stacked individually and two by one; A side pusher unit installed at one side of the upper side of the picker unit and configured to push the two stacked wafers to one side; It is fixed to the upper end of the picker transfer unit of the picker transfer unit, it is characterized by consisting of a main drive motor for lifting the wafer mounted on the picker unit to the side of the neighboring boat side.
따라서 본 발명에 의하면, 한쪽면 만을 사용하는 솔라 셀 웨이퍼의 제조공정 중 전기로를 통해 상기 웨이퍼의 사용면에 대해 인(P)을 주입하기 위한 가열작업을 수행키 위해 상기 웨이퍼의 사용 반대측면이 서로 면착되도록 2장씩 겹쳐 보다 안정되면서 많은 양의 웨이퍼를 짧은 시간에 보우트 측에 공급함과 동시에 이를 통한 웨이퍼의 생산성 향상과 더불어 대량생산 역시 가능할 수 있는 등의 탁월한 효과가 있다.Therefore, according to the present invention, in order to perform a heating operation for injecting phosphorus (P) to the use surface of the wafer through an electric furnace during the manufacturing process of the solar cell wafer using only one side, the opposite sides of the wafer are mutually used. By stacking two sheets together to be more stable and supplying a large amount of wafers to the boat side in a short time, the productivity of the wafers can be improved and mass production can be possible.
솔라 셀, 웨이퍼, 트랜스퍼 시스템, 로테이트 픽커장치, 진공픽커, 진공 흡착 취부, 회동픽커유닛, 회동픽커, 회동 취부, 보우트 Cell, Wafer, Transfer System, Rotate Picker, Vacuum Picker, Vacuum Adsorption Mounting, Rotating Picker Unit, Rotating Picker, Rotating Mounting, Boat

Description

솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 로테이트 픽커장치{The rotate picker device for using solar cell wafer transfer system}The rotate picker device for using solar cell wafer transfer system
본 발명은 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 로테이트 픽커 유닛(Rotate Picker Unit), 픽커 트랜스퍼 유닛(Picker Transfer unit), 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛(Elevator & Transfer Unit), 매거진 및 보우트 로더 유닛(Magazine & Boat Loader Unit)으로 구성된 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템(Wafer Transfer System) 중 상기 로테이트 픽커 유닛에 대해 두 개의 매거진으로부터 엘리베이터를 통해 상승되는 웨이퍼를 진공으로 파지하되 2장씩 겹쳐 파지함과 동시에 이를 다음 포지션인 보우트까지 회전 가능하도록 구성함으로써, 한쪽면 만을 사용하는 솔라 셀 웨이퍼의 제조공정 중 전기로를 통해 상기 웨이퍼의 사용면에 대해 인(P)을 주입하기 위한 가열작업을 수행키 위해 상기 웨이퍼의 사용 반대측면이 서로 면착되도록 2장씩 겹쳐 보다 안정되면서 많은 양의 웨이퍼를 짧은 시간에 보우트 측에 공급함과 동시에 이를 통한 웨이퍼의 생산성 향상과 더불어 대량생산 역시 가능할 수 있도록 한 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 로테이트 픽커장치에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to a solar cell wafer transfer system, and more particularly, a rotate picker unit, a picker transfer unit, an elevator and a transfer unit, an magazine and a boat loader unit. In the solar cell wafer transfer system consisting of (Magazine & Boat Loader Unit), the wafer picked up by two elevators from the two magazines is vacuumed on the rotate picker unit, and the two sheets are stacked and stacked next to each other. By using the wafer to rotate to position, the wafer is used to perform a heating operation for injecting phosphorus (P) to the use surface of the wafer through an electric furnace during the manufacturing process of the solar cell wafer using only one side. The two sides are stacked together so that the opposite sides stick together, Mass-produced with improved productivity in the wafer through the wafer at the same time as this, the amount of supplying the boat-side in a short time will also not be related to rotate the picker device of the solar cell wafer transfer system to be.
일반적으로, 솔라 셀(solar cell)은 다양한 디바이스들을 구동시키기 위한 에너지원으로서 이용되는데, 이는 솔라 방사 또는 조명 광을 전기 에너지로 변환시킨다.In general, solar cells are used as an energy source for driving various devices, which converts solar radiation or illumination light into electrical energy.
이와 같은 솔라 셀은 반도체로 구성된 기능적인 부분에 pn 접합부 또는 pin 접합부를 갖고 있으며, 통상적으로 알려진 바로 실리콘은 반도체로서 상기 pn 접합부(또는 pin 접합부)를 형성하기 위해 사용될 수 있다. 이때, 단결정 실리콘의 사용은 광 에너지를 기전력으로 변환하는 효율면에서 양호하지만, 비정질 실리콘은 영역 증대 및 비용 감소 측면에서 유리하다.Such a solar cell has a pn junction or a pin junction in a functional part composed of a semiconductor, and silicon, which is commonly known, can be used to form the pn junction (or pin junction) as a semiconductor. In this case, the use of single crystal silicon is good in terms of efficiency of converting light energy into electromotive force, but amorphous silicon is advantageous in terms of area increase and cost reduction.
한편, 광범위하게 사용되고 있는 실리콘 웨이퍼(Silicon Wafer; 다결정의 실리콘(Si)을 원재료로 하여 만들어진 단결정 실리콘 박판)를 기판으로 하여 솔라 셀 및 상기 솔라 셀을 이용해 집합된 솔라 모듈(solar module)을 제조하게 되는데, 상기 솔라 모듈의 전체 제조과정을 살펴보면, 단결정 성장으로 인한 실리콘 잉곳 제작공정(1단계) → 실리콘 잉곳을 수백 미크론(㎛) 두께로 슬라이싱 공정(2단계) → 슬라이스 된 실리콘 웨이퍼 세척 공정(3단계) → 실리콘 웨이퍼에 도핑 주입 공정(4단계) → 도핑 주입된 실리콘 웨이퍼에 전극선 긋기 공정(5단계) → 솔라 셀 제작 공정(6단계) → 회로 작업 공정(7단계) → 솔라 셀의 라미네이팅 공정(8단계) → 틀 작업 공정(9단계) → 솔라 모듈 제작공정(10단계) 등 총 10단계의 제조공정을 거쳐 솔라 모듈이 제작되게 된다.Meanwhile, a solar cell and a solar module assembled using the solar cell are manufactured by using a silicon wafer, which is widely used, as a substrate using a single crystal silicon thin plate made of polycrystalline silicon (Si) as a substrate. If you look at the entire manufacturing process of the solar module, the silicon ingot manufacturing process (step 1) due to the single crystal growth → silicon ingot sliced to several hundred microns (㎛) thickness (step 2) → sliced silicon wafer cleaning process (3 Step) → doping implantation process on silicon wafer (step 4) → electrode line drawing process on doped implanted silicon wafer (step 5) → solar cell manufacturing process (step 6) → circuit work process (step 7) → laminating process of solar cell Solar modules are manufactured through a total of 10 manufacturing steps, including (8 steps) → mold work process (9 steps) → solar module manufacturing process (10 steps).
그러나, 상기와 같은 솔라 모듈의 전체 제조과정 중에서 실리콘 잉곳을 수백 미크론(㎛) 두께로 슬라이싱(Slicing)하여 제조된 실리콘 웨이퍼 즉, 솔라 셀 웨이 퍼를 전기로에 공급하여 상기 웨이퍼의 사용면에 대해 인(P)을 주입하기 위한 가열작업인 도핑 주입 공정을 수행하기 위한 준비과정으로서, 작업자가 일일이 각 낱장의 웨이퍼를 사용 반대측면이 서로 면착되도록 2장씩 겹친 다음 이를 전기로 공급용 보우트 측으로 이송하여 상기 보우트의 각 슬롯에 삽입 안착시키는 등 상기 준비과정이 수동으로 이루어짐에 따라 이에 대한 작업공정이 매우 번거롭고 복잡할 뿐만 아니라, 상기 준비과정에 따른 작업시간 역시 오래 걸리게 되는 등의 커다란 문제점이 있었다.However, silicon wafers manufactured by slicing silicon ingots to several hundred microns (µm) in thickness during the entire manufacturing process of the solar module, that is, the solar cell wafers are supplied to an electric furnace to print the wafer on the surface of the wafer. As a preparation process for performing a doping injection process, which is a heating operation for injecting (P), an operator overlaps two sheets of wafers each day so that the opposite sides face each other, and then transfers them to the side of the boat for supplying electricity. As the preparation process is manually performed, such as inserting and seating in each slot of the bow, there is a big problem that the work process for this process is very cumbersome and complicated, and the work time according to the preparation process also takes a long time.
또한, 상기와 같이 솔라 셀 웨이퍼를 전기로에 공급하기 위한 준비과정 자체가 오래 걸림으로 인해 규정된 시간 내에 많은 양의 웨이퍼를 보우트 측에 이송시킬 수 없으며, 이와 같은 문제점을 토대로 할 때 제품의 생산성 및 경제성 역시 크게 저하될 수밖에 없는 등의 문제점도 있었다.In addition, as the preparation process for supplying the solar cell wafer to the electric furnace as described above takes a long time, a large amount of wafers cannot be transferred to the boat side within a prescribed time. There was also a problem that the economics also had to be greatly reduced.
상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위하여 안출된 본 발명은, 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 구성요소 중 로테이트 픽커 유닛에 대해 두 개의 매거진으로부터 엘리베이터를 통해 상승되는 웨이퍼를 진공으로 파지하되 2장씩 겹쳐 파지함과 동시에 이를 다음 포지션인 보우트까지 회전 가능하도록 구성함으로써, 한쪽면 만을 사용하는 솔라 셀 웨이퍼의 제조공정 중 전기로를 통해 상기 웨이퍼의 사용면에 대해 인(P)을 주입하기 위한 가열작업을 수행키 위해 상기 웨이퍼의 사용 반대측면이 서로 면착되도록 2장씩 겹쳐 보다 안정되면서 많은 양의 웨이퍼를 짧은 시간에 보우트 측에 공급할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made in order to solve the above-described problems, the wafer is lifted by the vacuum from the two magazines for the rotate picker unit of the components of the solar cell wafer transfer system in a vacuum, but two by two overlapping gripping At the same time, it is configured to be rotatable to the next position, the boat, so as to perform a heating operation for injecting phosphorus (P) through the electric furnace during the manufacturing process of the solar cell wafer using only one side. The purpose is to be able to supply a large amount of wafers to the boat side in a short time while more stable by stacking two sheets so that opposite sides of the wafers face each other.
또한, 본 발명의 경우 상기와 같이 로테이트 픽커 유닛을 통해 많은 양의 웨이퍼를 짧은 시간에 보우트 측에 공급함에 따라 이에 따른 웨이퍼의 생산성 향상과 더불어 상기 웨이퍼에 대한 대량생산 역시 가능할 수 할 수 있도록 하는데 또 다른 목적이 있다.In addition, in the case of the present invention, by supplying a large amount of wafers to the boat side in a short time through the rotate picker unit as described above, it is possible to improve the productivity of the wafers according to this, and also to mass-produce the wafers. There is another purpose.
본 발명에 대한 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 로테이트 픽커장치는, 로테이트 픽커 유닛, 픽커 트랜스퍼 유닛, 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛, 매거진 및 보우트 로더 유닛으로 구성된 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템에 있어서,A rotate picker device of a solar cell wafer transfer system according to the present invention is a solar cell wafer transfer system comprising a rotate picker unit, a picker transfer unit, an elevator and a transfer unit, a magazine and a boat loader unit.
상기 로테이트 픽커 유닛은, 메인구동모터의 상단에 고정된 베이스프레임의 좌우 양측에 위치됨과 동시에 각 픽커고정프레임을 통해 고정되며, 각 픽커의 진공작용 및 서로 대향된 회동작용을 통해 매거진으로부터 엘리베이터에 의해 상승된 웨이퍼를 개별 및 2장씩 겹쳐진 상태로 취부하는 픽커유닛과;The rotate picker unit is located on both the left and right sides of the base frame fixed to the top of the main drive motor and is fixed through each picker fixing frame, by the elevator from the magazine through the vacuum action and the opposite rotation action of each picker. A picker unit for attaching the raised wafers individually and in two sheets;
상기 픽커유닛의 상단 일측에 설치되며, 2장씩 겹쳐진 웨이퍼를 한쪽으로 밀어서 정렬시키는 사이드푸셔유닛과;A side pusher unit installed at one side of the upper side of the picker unit and configured to push the two stacked wafers to one side;
상기 픽커 트랜스퍼 유닛의 이송대 상단에 고정되며, 매거진으로부터 상승되어 픽커유닛에 취부된 웨이퍼를 이웃한 보우트 측으로 회전시키는 메인구동모터로 구성된 것을 특징으로 한다.It is fixed to the upper end of the picker transfer unit of the picker transfer unit, it is characterized by consisting of a main drive motor for lifting the wafer mounted on the picker unit to the side of the neighboring boat side.
이러한 본 발명의 경우 한쪽면 만을 사용하는 솔라 셀 웨이퍼의 제조공정 중 전기로를 통해 상기 웨이퍼의 사용면에 대해 인(P)을 주입하기 위한 가열작업을 수행키 위해 상기 웨이퍼의 사용 반대측면이 서로 면착되도록 2장씩 겹쳐 보다 안정되면서 많은 양의 웨이퍼를 짧은 시간에 보우트 측에 공급할 수 있는 등의 탁월한 효과가 있다.In the case of the present invention, the opposite sides of the wafers face each other in order to perform a heating operation for injecting phosphorus (P) through the electric furnace during the manufacturing process of the solar cell wafer using only one side. It is possible to supply a large amount of wafer to the side of the boat in a short time while being more stable by stacking two sheets as much as possible.
또한, 본 발명의 경우 상기와 같이 로테이트 픽커 유닛을 통해 많은 양의 웨이퍼를 짧은 시간에 보우트 측에 공급함에 따라 이에 따른 웨이퍼의 생산성 향상과 더불어 상기 웨이퍼에 대한 대량생산 역시 가능할 수 할 수 있는 등의 효과도 있다.In addition, in the case of the present invention, by supplying a large amount of wafers to the boat side in a short time through the rotate picker unit as described above, it is possible to improve the productivity of the wafers according to this, and also to mass-produce the wafers. It also works.
본 발명에 대한 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 로테이트 픽커장치(이하, 로테이트 픽커장치라 함)에 대하여 첨부된 도면과 대비하여 상세히 설명한다.A rotate picker device (hereinafter, referred to as a rotate picker device) of a solar cell wafer transfer system according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명이 적용된 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템을 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 발명에 대한 로테이트 픽커장치의 사시도를 나타낸 것이며, 도 3은 본 발명에 대한 로테이트 픽커장치의 정면도 및 측면도를 나타낸 것이고, 도 4는 본 발명에 대한 로테이트 픽커장치의 평면도를 나타낸 것이다.1 is a perspective view schematically showing a solar cell wafer transfer system to which the present invention is applied, FIG. 2 is a perspective view of a rotate picker device according to the present invention, and FIG. 3 is a front view and a side view of the rotate picker device according to the present invention. 4 shows a plan view of a rotate picker device according to the present invention.
또한, 도 5는 본 발명에 대한 로테이트 픽커장치 중 진공픽커의 사시도 및 세부 상세도를 나타낸 것이고, 도 6은 본 발명에 대한 로테이트 픽커장치 중 회동픽커유닛의 결합 사시도 및 세부 상세도를 나타낸 것이며, 도 7은 본 발명에 대한 로테이트 픽커장치 중 사이드푸셔유닛의 결합 사시도를 나타낸 것이다.In addition, Figure 5 shows a perspective view and a detailed view of a vacuum picker of the rotate picker device of the present invention, Figure 6 shows a combined perspective view and a detailed view of the rotation picker unit of the rotate picker device for the present invention, Figure 7 illustrates a perspective view of the side pusher unit of the rotate picker device according to the present invention.
본 발명의 로테이트 픽커장치(10)에 대해 상세히 설명하기에 앞서, 본 발명이 적용된 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템(Solar Cell Wafer Transfer System)(1)에 대하여 간략히 설명하면, 일측 매거진(M)으로부터 상기 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 픽커(52)가 웨이퍼(W)를 결착한 상태로 1차 상승하여 상기 진공픽커(14)의 진공작용을 통해 웨이퍼(W)가 1차 흡착되고, 상기 이송대(41)의 직선이송작용에 따라 이웃한 타측 매거진(M)과 대응되는 위치로 이송된 진공픽커(14) 측에 상기 이웃한 타측 매거진(M)으로 직선이송된 상기 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 픽커(52)를 통해 상기 타측 매거진(M)으로부터 또 다른 웨이퍼(W)가 결착된 상태로 1차 진공흡착된 웨이퍼(W)의 일면에 또 다른 웨이퍼(W)의 일면이 상호 겹쳐져 면착되도록 상승하여 진공픽커(14)의 진공작용을 통해 하나의 슬롯(17)에 웨이퍼(W)가 2장씩 겹쳐진 상태로 2차 진공흡하여 전기로(미도시)에 공급하기 위한 보우트(Boat)(B) 측으로 보다 안정되면서 많은 양의 웨이퍼(W)를 짧은 시간에 보우트(B) 측에 이송시키는데 사용되는 장치로서, 도 1에 도시한 바와 같이 베이스판(5) 상단 중앙에 고정된 수평가이드바(41a)의 상단에 사각 브라켓 형태의 이송대(41)가 슬라이드 이송 가능하게 설치되되, 이송대구동모터(미도시)와 연결되어 이의 회전력을 전달받아 회전하는 볼스크류(미도시)에 상기 이송대(41)의 하단이 나사 결합되어 상기 이송대구동모터 구동에 의한 볼스크류의 회전 시 발생되는 나사이송작용과 대응되어 상기 이송대(41)가 볼스크류의 외주면을 따라 좌우로 직선이송되면서 상기 이송대(41)의 상단에 고정된 메인구동모터(12)와 함께 상기 메인구동모터(12)의 상단에 위치 고정되는 로테이트 픽커 유닛(10)을 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 픽커(52)와 대응되도록 2개의 매거진(M) 즉, 일측 매거진(M)과 이웃한 타측 매거진(M) 사이를 직선이송시킴과 동시에 상기 메인구동모터(12)의 회전작용을 통해 상기 로테이트 픽커 유닛(10)을 보우트(B) 측으로 180도 회전시키는 픽커 트랜스퍼 유닛(Picker Transfer unit)(40)과; 상기 메인구동모터(12)의 상단에 고정되어 픽커 트랜스퍼 유닛(40)의 일측으로 이격 설치된 2개의 매거진(M)으로부터 승,하강작용을 이루는 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 픽커(52)에 의해 상승된 웨이퍼(W)를 취부하여 상기 웨이퍼(W)를 메인구동모터(12)의 회전작용에 따라 상기 픽커 트랜스퍼 유닛(40)의 타측에 이격 설치된 보우트(B) 측으로 회전이송 공급하는 로테이트 픽커 유닛(Rotate Picker Unit)(10)과; 각기 픽커(51,56)를 구비한 매거진 엘리베이터 유닛(51)과 보우트 엘리베이터 유닛(55)으로 구분되어 2개의 매거진(M)과 보우트(B) 내에서 수평이송과 승하강이 가능하게 설치됨과 동시에 상기 픽커(51,56)의 승강작용을 통해 매거진(M)에서 웨이퍼(W)를 상승시켜 로테이트 픽커 유닛(10) 측으로 공급하거나 또는 상기 로테이트 픽커 유닛(10)으로부터 웨이퍼(W)를 공급받아 보우트(B) 측으로 하강 안착시키는 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛(Elevator & Transfer Unit)(50)과; 매거진 로더 유닛(61)과 보우트 로더 유닛(65)으로 구분되어 2개의 매거진(M) 사이 및 양 끝단과 보우트(B)의 일측단에 각각 설치됨과 동시에 상기 매거진 로더 유닛(61)을 통해 2개의 매거진(M)을 서로 반대방향으로 로딩하여 2개의 매거진(M)에 내삽된 웨이퍼(W)를 서로 대향된 한쪽 방향으로 정렬시키고, 상기 보우트 로더 유닛(65)을 통해 보우트 슬롯(Bs)의 각도에 맞게 로딩하여 보우트(B)의 각도를 셋팅해 웨이퍼(W)의 안착이 원활하도록 하는 매거진 및 보우트 로더 유닛(Magazine & Boat Loader Unit)(60)으로 구성되어 있다.Prior to describing the rotate picker device 10 of the present invention in detail, the solar cell wafer transfer system 1 to which the present invention is applied will be briefly described. The picker 52 of the elevator unit 51 first rises in a state in which the wafer W is bound, and the wafer W is first adsorbed through the vacuum action of the vacuum picker 14, and the transfer table 41 is used. Picker of the magazine elevator unit 51 linearly transferred to the neighboring other magazine (M) to the vacuum picker 14 side transported to a position corresponding to the neighboring other magazine (M) according to the linear transfer action 52, one surface of another wafer (W) overlaps one surface of the first wafer (W), which is first vacuum-adsorbed in a state in which another wafer (W) is bound from the other magazine (M), and is raised to face each other and is vacuumed. Through the vacuum action of the picker 14 In the state where the wafers W are overlapped by two sheets in the slot 17, the second vacuum suction is more stable to the side of the boat B for supplying the electric furnace (not shown). As a device used to transport to the side of the boat (B) in time, as shown in FIG. 1, the transfer table 41 in the form of a square bracket on the top of the horizontal guide bar (41a) fixed to the center of the upper end of the base plate (5) The slide is installed to be transported, the lower end of the feeder 41 is screwed to the ball screw (not shown) is connected to the feeder drive motor (not shown) is rotated to receive the rotational force to drive the feeder drive motor drive. Corresponding to the screw transfer action generated when the ball screw is rotated by the main drive motor 12 is fixed to the upper end of the feed table 41 while the feed table 41 is linearly moved along the outer circumferential surface of the ball screw. The top of the main drive motor 12 together Position-rotated rotate picker unit 10 is transported straight between two magazines M, one magazine M and another magazine M, so as to correspond to the pickers 52 of magazine elevator unit 51 And a picker transfer unit (40) for rotating the rotate picker unit (10) 180 degrees toward the boat (B) side by rotating the main drive motor (12); The picker 52 of the magazine elevator unit 51 which is fixed to the upper end of the main drive motor 12 and is spaced up and down from two magazines M installed to one side of the picker transfer unit 40 to move up and down. A rotate picker unit which mounts the wafer W and rotates and supplies the wafer W to the side of the boat B spaced apart from the other side of the picker transfer unit 40 according to the rotation of the main drive motor 12 ( Rotate Picker Unit) 10; It is divided into a magazine elevator unit 51 and a boat elevator unit 55 having pickers 51 and 56, respectively, so that horizontal conveyance and raising and lowering are installed in the two magazines M and the boat B. The wafer W is lifted from the magazine M by the lifting and lowering of the pickers 51 and 56 and supplied to the rotate picker unit 10, or the wafer W is supplied from the rotate picker unit 10. An elevator & transfer unit 50 for lowering and seating on the (B) side; It is divided into a magazine loader unit 61 and a boat loader unit 65 and installed between two magazines M, and both ends and one side of the boat B, respectively, and the two through the magazine loader unit 61. The magazines M are loaded in opposite directions to align the wafers W interpolated in the two magazines M in one direction opposite to each other, and the angle of the bolt slot Bs through the boat loader unit 65 is adjusted. It consists of a magazine and a boat loader unit (Magazine & Boat Loader Unit) (60) to load according to the angle of the boat (B) to settle the wafer (W) smoothly.
여기서, 상기 로테이트 픽커 유닛(10)의 경우 로딩(Loading)된 두 개의 매거진(M)으로부터 순차적으로 상기 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 픽커(52)에 의해 1차로 상승된 웨이퍼를 진공픽커(14)의 진공작용을 통해 개별 흡착하고, 상기 웨이퍼가 1차 진공흡착된 상태에서 2차로 상승되는 또 다른 웨이퍼의 일면이 1차 진공흡된 웨이퍼의 일면에 상호 겹쳐져 면착되는 상태로 상승하여 진공픽커(14)의 진공작용을 통해 하나의 슬롯(17)에 웨이퍼(W)가 2장씩 겹쳐진 상태로 2차 진공흡착된 후 메인구동모터(12)의 회전작용을 통해 180도 회전을 하여 매거진(M) 뒤 쪽에 로딩되어 있는 보우트(B)에 이송 공급하는 역할을 수행하는 장치적 요소로서, 이에 대한 설명은 이하에서 기술되는 본 발명의 로테이트 픽커장치(10)에서 상세히 설명하기로 한다.Here, in the case of the rotate picker unit 10, the vacuum picker 14 receives wafers primarily lifted by the pickers 52 of the magazine elevator unit 51 from two loaded magazines M. FIG. Is individually adsorbed through the vacuum action of the wafer, and the surface of another wafer, which is secondly elevated in the state where the wafer is first vacuum-adsorbed, rises to face and overlaps with one surface of the first-vacuum-absorbed wafer, and the vacuum picker 14 After the second vacuum suction in a state in which the wafers W are overlapped two by one through the vacuum action of) and rotated 180 degrees through the rotation action of the main drive motor 12, the magazine (M) is back. As a device element that serves to feed the boat B loaded on the side, a description thereof will be described in detail in the rotate picker device 10 of the present invention described below.
또한, 상기 픽커 트랜스퍼 유닛(40)의 경우 앞서 밝힌 바와 같이 베이스판(5) 상단 중앙에 수평가이드바(41a)가 설치 고정되고, 상기 수평가이드바(41a)의 상단에 이송대구동모터(미도시)와 연결되어 회전하는 볼스크류(미도시)와 나사 결합된 상태로 사각 브라켓 형태의 이송대(41)가 슬라이드 이송 가능하게 설치되어 있는데, 이때 상기 이송대구동모터의 구동에 따라 회전하는 볼스크류의 나사모양에 의한 나사이송작용이 발생하게 되고, 상기 볼스크류와 나사 결합된 이송대는 상기 볼스크류의 나사이송작용과 대응되어 회전하는 볼스크류의 외주면을 따라 직선이송이 이루어지는 등 상기 수평가이드바(41a)에 안내되어 직선왕복이송이 이루어지게 되면서 상기 이송대의 상단에 고정된 메인구동모터(12) 및 이의 상단에 고정된 로테이트 픽커 유닛(10)을 X-축 방향인 수평가이드바(41a)의 길이방향으로 직선왕복이송시킴과 동시에 모터라이즈 스테이지(motorized stage)인 메인구동모터(12)를 통해 로테이트 픽커 유닛(10)을 180도 회전시키는 역할을 수행한다.
여기서, 상기 수평가이드바(41a)의 상단에 설치된 이송대(41)가 직선왕복이송되기 위한 작동방식의 경우 앞서 밝힌 바와 같이 이송대구동모터와 함께 상기 이송대구동모터의 회전력을 전달받아 회전하는 볼스크류와 상기 이송대(41)의 하단이 나사 결합되어 상기 이송대구동모터 구동에 의한 볼스크류의 회전시 발생되는 나사이송작용과 대응되어 상기 이송대가 볼스크류의 외주면을 따라 좌,우로 직선이송되는 것으로서, 이와 같은 작동방식은 통상적으로 이송부재가 승하강이나, 직선왕복이송하는데 있어, 공지기술 즉, 모터 구동에 의해 회전하는 볼스크류의 나사이송작용에 따라 이송부재가 좌우로 직선왕복이송되거나, 상하로 승하강이 이루어지는 것은 해당기술분야에서 종사하는 통상의 기술자라면 누구나 알고 있고, 누구나 사용하는 일반적인 공지의 기술 및 구조라는 것을 밝혀둔다.
In addition, in the case of the picker transfer unit 40, as described above, a horizontal guide bar 41a is installed and fixed at the top center of the base plate 5, and a transfer table driving motor (not shown) is provided at the top of the horizontal guide bar 41a. ) Is connected to the ball screw (not shown) that rotates in connection with the screw is installed in the form of a square bracket type slide so that the slide can be transported, at this time the ball screw that rotates in accordance with the drive of the feed table drive motor The screw feed action is caused by a screw shape, and the feed guide coupled to the ball screw is linearly moved along the outer circumferential surface of the rotating ball screw in correspondence with the screw feed action of the ball screw. The main drive motor 12 fixed to the upper end of the carriage and the rotate picker unit 10 fixed to the upper end thereof while the linear reciprocating is made by Length linear reciprocating transfer Sikkim in the direction of the direction of the horizontal guide bars (41a) and at the same time through the main drive motor 12 is motorized stage (motorized stage) and performs a role of 180 degrees to rotate the picker unit 10.
Here, in the case of the operation method for the transfer table 41 is installed on the top of the horizontal guide bar (41a) linear reciprocating transfer as described above, the ball screw that is rotated by receiving the rotational force of the transfer table drive motor together with the transfer table drive motor And the lower end of the feed table 41 is screwed to correspond to the screw feed action generated when the ball screw is rotated by driving the feed table driving motor so that the feed table is linearly moved left and right along the outer circumferential surface of the ball screw. In this operation method, the conveying member is usually moved up and down, or in a straight reciprocating transfer. According to a known technique, that is, the conveying member is linearly reciprocated to the left or right according to the screw feeding action of a rotating ball screw. The raising and lowering is known to all ordinary technicians working in the relevant technical field, and is generally used by everyone. Place discovered that the magazine technology and architecture.
그리고, 상기 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛(50)의 경우 각기 픽커(51,56)를 구비한 매거진 엘리베이터 유닛(Magazine Elevator Unit)(51)과 보우트 엘리베이터 유닛(Boat Elevator Unit)(55)으로 구분되어 2개의 매거진(M)과 보우트(B) 내에서 수평이송과 승하강이 가능하도록 설치되는데, 이때 상기 매거진 엘리베이터 유닛(51)은 로딩된 매거진(M) 밑에서 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 픽커(52)가 웨이퍼(W)를 잡고 상승시켜 로테이트 픽커 유닛(10) 측으로 공급하는 역할을 수행하며, 상기 보우트 엘리베이터 유닛(55)은 보우트(B) 밑에서 보우트 엘리베이터 유닛(55)의 픽커(56)가 상승하여 로테이트 픽커 유닛(10)이 파지하고 있는 웨이퍼(W)를 잡아 아래로 하강하면서 보우트 슬롯(Bs)에 웨이퍼(W)를 집어넣는 역할을 수행한다.In addition, the elevator and the transfer unit 50 are divided into a magazine elevator unit 51 having a picker 51 and 56 and a boat elevator unit 55 respectively. The magazine (M) and the boat (B) is installed to be capable of horizontal transfer and lifting up and down, wherein the magazine elevator unit 51 is a picker 52 of the magazine elevator unit 51 under the loaded magazine (M) Grab the wafer (W) to raise the supply to the rotate picker unit 10 side, the boat elevator unit 55, the picker 56 of the boat elevator unit 55 is raised under the boat (B) to rotate It picks up the wafer W held by the picker unit 10 and lowers the wafer W into the boat slot Bs.
마지막으로, 상기 매거진 및 보우트 로더 유닛(60)의 경우 매거진(M)을 로딩하는 매거진 로더 유닛(Magazine Loader Unit)(61)과 보우트(B)를 로딩하는 보우트 로더 유닛(Boat Loader Unit)(65)으로 구분되어 2개의 매거진(M) 사이 및 양 끝단과 보우트(B)의 일측단에 각각 설치되는데, 이때 상기 매거진 로더 유닛(61)은 두 개의 매거진(M) 사이에 설치된 중앙실린더(62)가 각 매거진(M)의 일측단을 올린 후 양 사이드 즉, 각 매거진(M)의 타측면에 대응 설치된 측면실린더(63)가 각 매거진(M)을 연속적으로 밀면서 상기 두 개의 매거진(M)을 서로 반대방향으로 로딩하여 상기 2개의 매거진(M)에 내삽된 웨이퍼(W)를 서로 대향된 한쪽 방향으로 정렬시키는 역할을 수행하며, 상기 보우트 로더 유닛(65)은 보우트 슬롯(Bs) 각도에 맞춰 셋팅하는 역할을 수행함과 아울러, 상기와 같이 슬롯 각도에 맞게 셋팅 후 로딩된 보우트 슬롯(Bs)에 보우트 엘리베이터 유닛(55)의 하강작동을 통해 웨이퍼(W)를 집어넣게 된다.Finally, in the case of the magazine and the boat loader unit 60, a magazine loader unit 61 for loading a magazine M and a boat loader unit for loading a boat B 65 And divided into two magazines (M) and installed at both ends and one side of the boat (B), respectively, wherein the magazine loader unit 61 is the central cylinder (62) installed between the two magazines (M) Raises one end of each magazine (M), and then the two side surfaces (63) corresponding to the other side of each magazine (M) are pushed in each magazine (M) while pushing the two magazines (M) continuously. Loading in the opposite direction to align the wafers (W) interpolated in the two magazines (M) in one direction facing each other, the boat loader unit 65 according to the angle of the bolt slot (Bs) In addition to the setting role, the slot as described above After setting for the thrust it is also to pick up the wafer (W) with the descending operation of the boat elevator unit 55 in a loaded boat slot (Bs).
한편, 상기 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템(1) 중 본 발명의 로테이트 픽커장치(10)의 경우 도 2 내지 도 4에 도시한 바와 같이 메인구동모터(일명, 모터라이즈 스테이지)(12)의 상단에 고정되는 베이스프레임(13)의 좌우 양측에 위치됨과 동시에 각 픽커고정프레임(13a,13b)을 통해 고정되는 진공픽커(14)와 회동픽커유닛(20)을 구비하며, 일측 매거진(M)으로부터 상기 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 픽커(52)가 웨이퍼(W)를 결착한 상태로 1차 상승하여 상기 진공픽커(14)의 진공작용을 통해 웨이퍼(W)가 1차 흡착되고, 상기 이송대(41)의 직선이송작용에 따라 이웃한 타측 매거진(M)과 대응되는 위치로 이송된 진공픽커(14) 측에 상기 이웃한 타측 매거진(M)으로 직선이송된 상기 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 픽커(52)를 통해 상기 타측 매거진(M)으로부터 또 다른 웨이퍼(W)가 결착된 상태로 1차 진공흡착된 웨이퍼(W)의 일면에 또 다른 웨이퍼(W)의 일면이 상호 겹쳐져 면착되도록 상승하여 진공픽커(14)의 진공작용을 통해 하나의 슬롯(17)에 웨이퍼(W)가 2장씩 겹쳐진 상태로 2차 흡착됨과 아울러, 상기 진공픽커(14)에 2장씩 겹쳐진 상태로 2차 흡착된 웨이퍼(W)를 픽커(52)에 결착시켜 진공해제와 함께 하강시킨 후 메인구동모터(12)의 회전작용을 통해 진공픽커(14)와 회동픽커유닛(20)의 위치를 180도 전환시킴과 동시에 픽커(52)를 통해 2장씩 겹쳐진 상태로 최종 상승된 웨이퍼(W)에 대하여 상기 회동픽커유닛(20)의 각 회동픽커(21) 일단에 설치된 회동픽커구동모터(24)의 구동에 따라 각 회동픽커(21)를 서로 대향되게 회동시켜 상기 웨이퍼(W)를 고정 취부하는 픽커유닛(11)과; 상기 픽커유닛(11)의 상단 일측에 설치되며, 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 한쪽으로 밀어서 정렬시키는 사이드푸셔유닛(30)으로 구성되어 있다.Meanwhile, in the case of the rotate picker device 10 of the present invention, the solar cell wafer transfer system 1 is fixed to the upper end of the main drive motor (aka motorized stage) 12 as shown in FIGS. 2 to 4. Located on both the left and right sides of the base frame 13 is provided with a vacuum picker 14 and a rotating picker unit 20 fixed through each picker fixing frame (13a, 13b), the magazine from one magazine (M) The picker 52 of the elevator unit 51 first rises in a state in which the wafer W is bound, and the wafer W is first adsorbed through the vacuum action of the vacuum picker 14, and the transfer table 41 is used. Picker of the magazine elevator unit 51 linearly transferred to the neighboring other magazine (M) to the vacuum picker 14 side transported to a position corresponding to the neighboring other magazine (M) according to the linear transfer action 52 through another wafer (W) from the other magazine (M) ) Is raised so that one surface of another wafer (W) overlaps and adheres to one surface of the first vacuum absorbed wafer (W) in a state of being bound to one slot (17) through the vacuum action of the vacuum picker (14). The wafer W is secondarily adsorbed in the state of being superimposed on two sheets, and the second adsorbed wafer W in the state of being superimposed on the vacuum picker 14 two times is bound to the picker 52 and lowered together with the vacuum release. After the main drive motor 12 rotates, the position of the vacuum picker 14 and the rotary picker unit 20 are switched 180 degrees, and the wafer W is finally raised in the state of being superimposed two by one through the picker 52. By rotating the pivot picker driving motor 24 installed at one end of each pivot picker 21 of the pivot picker unit 20, the pivot pickers 21 are rotated to face each other to fix the wafer W. A picker unit 11 for mounting; It is provided on one side of the upper end of the picker unit 11, and consists of a side pusher unit 30 for pushing and aligning the wafers W stacked on one side to one side.
이와 같이 구성된 본 발명의 로테이트 픽커장치(10) 중 상기 픽커유닛(11)의 경우 베이스프레임(13)의 일측에 고정되는 픽커고정프레임(13a) 하단에 설치되며, 상기 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 픽커(52)를 통해 일측 매거진(M)으로부터 1차 상승된 웨이퍼(W)를 1차 진공 흡착하고, 이웃한 타측 매거진(M)으로 이송된 상기 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 픽커(52)를 통해 상기 타측 매거진(M)으로부터 또 다른 웨이퍼(W)가 상승하되, 1차 진공흡착된 웨이퍼(W)의 일면에 또 다른 웨이퍼(W)의 일면이 상호 겹쳐져 면착되도록 상승하여 하나의 슬롯(17)에 2장씩 겹쳐진 상태의 웨이퍼(W)를 2차 진공흡착하여 취부하는 진공픽커(14)와; 상기 베이스프레임(13)의 타측에 고정되는 픽커고정프레임(13b)의 좌우 양단에 회동픽커구동모터(24)의 회전축을 통해 회동 가능하면서 하나 이상의 슬롯(22)을 갖는 2개의 회동픽커(21)가 설치되며, 상기 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 픽커(52)를 통해 2장씩 겹쳐진 상태로 최종 상승된 웨이퍼(W)의 양측면 상하측으로 회동픽커(21)가 각각 회동하여 취부하는 회동픽커유닛(20)과; 상기 베이스프레임(13)의 타측에 고정되는 픽커고정프레임(13b)의 중앙에 관통된 상태로 설치되며, 상기 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 픽커(52)를 통해 2장씩 겹쳐진 상태로 최종 상승된 웨이퍼(W)를 보우트(B)의 사양에 맞게 삽입시킬 수 있도록 상기 회동픽커유닛(20)을 45도 회전시키는 회동픽커유닛구동모터(23)와; 상기 회동픽커유닛(20)의 각 회동픽커(21) 일단에 회전축이 결합된 상태로 설치되며, 상기 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 픽커(52)를 통해 2장씩 겹쳐진 상태로 최종 상승된 웨이퍼(W)를 취부토록 각 회동픽커(21)를 회동시키는 회동픽커구동모터(24)로 구성되어 있다.
즉, 픽커 트랜스퍼 유닛(40)의 이송대(41) 상단에 위치된 메인구동모터(12)의 상단에 설치 고정되는 로테이트 픽커장치(10) 중 베이스프레임(13)의 일측에 고정되는 픽커고정프레임(13a) 하단에 설치 고정된 진공픽커(14)가 메인구동모터(12)의 회전작용을 통해 로딩된 두 개의 매거진(M) 측으로 회동 위치된 상태에서, 상기 로딩된 두 개의 매거진(M) 중 일측의 매거진(M)으로부터 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 상승 구동에 따라 픽커(52)와 함께 상기 픽커(52)에 결착된 웨이퍼(W)가 상승하면서 상기 진공픽커(14)의 일면에 병렬형태로 다수 형성된 각 슬롯(17) 사이로 웨이퍼(W)가 삽입됨과 동시에 상기 각 슬롯(17)의 측면 양측에 형성된 흡착구(18)를 통해 상기 각 슬롯(17) 사이에 삽입된 웨이퍼(W)에 상기 진공포트(15)에 삽착된 진공흡입관(16)의 진공작용에 따른 진공 흡착력이 작용되면서 상기 각 슬롯(17) 측면에 웨이퍼(W)가 개별적으로 진공 흡착되어 1차 취부되고, 이의 상태에서 이와 연동적으로 상기 픽커 트랜스퍼 유닛(40)의 구성요소인 이송대(41)의 슬라이드 이송작용에 따라 이웃한 타측의 매거진(M) 측으로 상기 진공픽커(14)가 대응되도록 로테이트 픽커장치(10)가 이송됨과 동시에 상기 타측의 매거진(M)으로부터 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 상승 구동에 따라 이 역시 픽커(52)와 함께 상기 픽커(52)에 결착된 웨이퍼(W)가 상승하여 이의 사용 반대측면과 상기 진공픽커(14)의 각 슬롯(17)에 취부된 웨이퍼(W)의 사용 반대측면이 서로 면착되는 상태로 상기 진공픽커(14)의 각 슬롯(17)까지 상승하게 되고, 이의 상승작용을 통해 상기 진공픽커(14)의 각 슬롯(17)에 웨이퍼(W)가 2장씩 겹쳐진 상태로 2차 취부되는 제1취부공정이 이루어지게 된다.
그리고, 상기 제1취부공정을 통해 웨이퍼(W)가 2장씩 겹쳐진 상태에서 상기 진공픽커(14)에 작용되었던 진공 흡착력이 해제되면서 상기 진공픽커(14)로부터 2장씩 겹쳐진 상태의 웨이퍼(W)가 분리됨과 동시에 상기 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 픽커(52)에 결착되어 상기 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 하강 구동에 따라 픽커(52)와 함께 상기 픽커(52)에 2장씩 겹쳐진 상태로 결착된 웨이퍼(W)가 하강하여 상기 타측의 매거진(M) 상단 일정높이에 위치되고, 이의 상태에서 메인구동모터(12)가 반대방향으로 회전하는 회전작용을 통해 베이스프레임(13)의 타측에 고정되는 픽커고정프레임(13b)의 좌우 양단에 2개의 회동픽커(21)가 각각의 회동픽커구동모터(24)와 연결 설치됨과 동시에 상기 픽커고정프레임(13b)의 중앙에 회동픽커유닛구동모터(23)가 설치된 조합구조의 회동픽커유닛(20)이 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)가 위치한 타측의 매거진(M) 측으로 회동 위치된 후, 상기와 같이 타측의 매거진(M) 측으로 회동 위치한 회동픽커유닛(20)이 상기 픽커고정프레임(13b)의 중앙에 회전축이 관통하여 설치된 회동픽커유닛구동모터(23)의 회전작용을 통해 상기 각 회동픽커(21)가 양단에 고정된 픽커고정프레임(13b)이 45도 각도로 회전되면서 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 상승 구동에 따라 픽커(52)와 함께 상기 픽커(52)에 결착된 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)가 상승함과 동시에 상기 회동픽커구동모터(24)에 의해 각 회동픽커(21)가 각각 시계방향 및 반시계방향으로 회동하면서 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)의 양측면 상,하측으로 회동 위치되는 제2취부공정이 이루어지되, 상기 제1취부공정과 제2취부공정이 연속적으로 이루어지면서 하나의 슬롯(22)에 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)가 삽입 취부되도록 구성된 것이다.
In the case of the picker unit 11 of the rotate picker device 10 of the present invention configured as described above, the picker fixing frame 13a fixed to one side of the base frame 13 is installed at the bottom of the magazine elevator unit 51. The picker 52 of the magazine elevator unit 51 transferred to the neighboring other magazine M is first vacuum-adsorbed to the wafer W first lifted from one magazine M through the picker 52. Another wafer (W) is raised from the other magazine (M) through, one surface of another wafer (W) on one surface of the first vacuum-absorbed wafer (W) is raised so as to overlap each other to face one slot 17 A vacuum picker 14 for secondary vacuum suction and mounting of the wafers W superimposed on each of the two wafers; Two pivot pickers 21 having at least one slot 22 while being rotatable through rotation axes of the pivot picker driving motor 24 at both ends of the picker fixing frame 13b fixed to the other side of the base frame 13. Is installed, and the pivot picker unit 20 rotates and mounts the pivot pickers 21 on both sides of the wafer W, which are finally raised in the state of being superimposed by the pickers 52 of the magazine elevator unit 51, respectively. )and; The wafer is installed in the state penetrated in the center of the picker fixing frame (13b) fixed to the other side of the base frame 13, the last lifted in the state of overlapping two sheets through the picker 52 of the magazine elevator unit 51 A rotational picker unit driving motor 23 for rotating the rotational picker unit 20 by 45 degrees to insert the (W) in accordance with the specifications of the bolt B; The rotating shaft is coupled to one end of each pivot picker 21 of the pivot picker unit 20, and the wafer W is finally raised in the state of being superimposed two by two through the picker 52 of the magazine elevator unit 51. Is constituted by a rotating picker driving motor 24 which rotates each of the rotating pickers 21.
That is, the picker fixing frame is fixed to one side of the base frame 13 of the rotate picker device 10 is fixed to the top of the main drive motor 12 located on the top of the feeder 41 of the picker transfer unit 40 (13a) In the state in which the fixed vacuum picker 14 installed at the lower end is rotated to the two magazines M loaded through the rotation of the main drive motor 12, of the two magazines M loaded. As the magazine elevator unit 51 drives up from the magazine M on one side, the wafer W, which is bound to the picker 52 together with the picker 52, rises and is parallel to one surface of the vacuum picker 14. The wafers W are inserted between each of the slots 17 formed at the same time, and at the same time, the wafers W are inserted between the slots 17 through the suction holes 18 formed at both sides of the slots 17. Vacuum suction according to the vacuum action of the vacuum suction tube 16 inserted into the vacuum port 15 As the force is applied, the wafers W are individually vacuum-adsorbed to the sides of the slots 17 and mounted first, and in this state, the transfer table 41, which is a component of the picker transfer unit 40, is interlocked. The rotary picker device 10 is transported so that the vacuum picker 14 corresponds to the neighboring magazine M side according to the slide conveying action of the magazine, and the magazine elevator unit 51 is lifted from the magazine M on the other side. According to the driving, the wafer W, which is also attached to the picker 52 together with the picker 52, rises, and the wafer W mounted on the opposite side of the use and each slot 17 of the vacuum picker 14. In the state in which the opposite sides of the use of each other are raised to each slot 17 of the vacuum picker 14, the synergism of the wafer (W) in each slot 17 of the vacuum picker 14 The first mounting process, which is secondly mounted in two sheets Will be done.
In addition, while the vacuum suction force applied to the vacuum picker 14 is released while the wafers W are stacked two by one through the first mounting process, the wafers W being stacked two by one from the vacuum picker 14 are released. The wafer is separated and bound to the picker 52 of the magazine elevator unit 51 and bound to the picker 52 together with the picker 52 by the lowering driving of the magazine elevator unit 51. (W) is lowered and the picker is fixed to the other side of the base frame 13 through the rotation action that the main drive motor 12 is rotated in the opposite direction in the magazine (M) top of the other side in this state Two pivot pickers 21 are connected to each of the pivot picker driving motors 24 at both left and right ends of the fixed frame 13b, and a pivot picker unit driving motor 23 is provided at the center of the picker fixing frame 13b. Of installed combination structure After the pivot picker unit 20 is rotated to the other side of the magazine M on which the two wafers W are stacked, the pivot picker unit 20 rotates to the side of the other magazine M as described above. The picker fixing frame 13b in which each of the pivoting pickers 21 is fixed at both ends is rotated at an angle of 45 degrees through the rotation of the pivoting picker unit driving motor 23 installed through the rotation axis through the center of the fixed frame 13b. As the magazine elevator unit 51 moves up, the wafer W, which is stacked on the picker 52 together with the picker 52, rises and is rotated by the pivot picker driving motor 24. While the picker 21 rotates clockwise and counterclockwise, respectively, a second mounting process is performed in which the picker 21 is rotated up and down on both sides of the overlapped wafer W, and the first mounting process and the second mounting process are performed. One slab in succession The wafers W superimposed on the lot 22 two by one are configured to be inserted and mounted.
여기서, 상기 진공픽커(14)의 경우 도 5에 도시한 바와 같이 전체형상이 일면에 하나 이상의 슬롯(17)을 구비한 사각판체로 형성되어 있는데, 이때 그 상단에는 각 슬롯(17)의 측면을 통해 취부된 웨이퍼(W)에 진공 흡착력이 작용되도록 진공흡입관(16)이 삽착되기 위한 진공포트(15)가 형성되어 있고, 상기 각 슬롯(17) 측면 양측에는 진공포트(15)와 연통되는 흡착구(18)가 각각 형성되어 있으며, 상기 슬롯(17)은 사각판체의 양측으로 이격된 병렬형태로 고정되어 있어, 상기 매거진(M)으로부터 매거진 엘리베이터 유닛(51)에 의해 상승된 웨이퍼(W)를 진공작용을 통해 개별적으로 취부하게 된다.Here, in the case of the vacuum picker 14, as shown in Figure 5, the overall shape is formed of a rectangular plate body having one or more slots 17 on one surface, wherein the upper side of each slot 17 is A vacuum port 15 for inserting the vacuum suction tube 16 is formed to apply a vacuum suction force to the wafer W mounted through the wafer W, and the suction port communicates with the vacuum port 15 on both sides of the slot 17. Spheres 18 are formed, respectively, and the slots 17 are fixed in a parallel form spaced to both sides of the square plate body, and the wafer W raised by the magazine elevator unit 51 from the magazine M. Are separately mounted via vacuum.
또한, 상기 회동픽커유닛(20)의 경우 도 6에 도시한 바와 같이 베이스프레임(13)의 타측에 고정되는 픽커고정프레임(13b)의 좌우 양단에 2개의 회동픽커(21)가 각각의 회동픽커구동모터(24)의 회전축을 통해 연결된 상태로 회동 가능하게 설치되어 상기 각 회동픽커구동모터(24)의 회전작용에 따라 각기 시계방향 및 반시계방향으로 회동함과 아울러, 상기 픽커고정프레임(13b)의 중앙에 관통 설치된 회동픽커유닛구동모터(23)의 회전작용에 따라 상기 회동픽커유닛(20) 즉, 각 회동픽커(21)가 고정된 픽커고정프레임(13b)을 45도 각도로 회전하게 되는데, 이때 상기 각 회동픽커(21)의 경우 전체형상이 일면에 하나 이상의 슬롯(22)을 구비한 사각판체로 형성되어 있어, 상기 2장씩 겹쳐진 상태로 상승된 웨이퍼(W)의 양측면 상하측으로 각각 회동하여 하나의 슬롯(22)에 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 취부하게 된다.In addition, in the case of the pivoting picker unit 20, as shown in FIG. 6, two pivoting pickers 21 are provided at respective left and right ends of the picker fixing frame 13b fixed to the other side of the base frame 13. It is rotatably installed in a state connected through the rotation shaft of the drive motor 24 and rotates in the clockwise and counterclockwise directions, respectively, in accordance with the rotation action of the respective pivot picker driving motor 24, the picker fixing frame (13b) Rotating picker unit 20, ie, each picking frame 21b, rotates at a 45 degree angle according to the rotation of the rotating picker unit driving motor 23 installed through the center of the wheel. In this case, each of the pivoting pickers 21 is formed in a rectangular plate body having one or more slots 22 on one surface thereof, and the upper and lower sides of the wafers W, which are raised in the state of being superimposed by two sheets, respectively. Rotate to one slot (22) The wafers W stacked in two sheets are mounted.
이와 더불어, 상기 각 회동픽커(21)를 시계방향 및 반시계방향으로 회동시키는 회동픽커구동모터(24)와 상기 회동픽커유닛(20)을 45도 각도로 회전시키는 회동픽커유닛구동모터(23)의 경우 입력 펄스 수와 모터의 회전각도가 완전히 비례하여 펄스 신호를 줄 때마다 일정한 각도씩 회전하는 모터 즉, 입력 펄스 수에 대응하여 일정 각도씩 움직여 회전각도를 정확하게 제어할 수 있는 스텝모터를 사용함이 바람직하다.In addition, the pivoting picker driving motor 24 for rotating the pivoting pickers 21 clockwise and counterclockwise and the pivoting picker unit driving motor 23 for rotating the pivoting picker unit 20 at a 45 degree angle. In this case, the motor rotates by a certain angle every time the pulse signal is given in proportion to the number of input pulses and the rotation angle of the motor. That is, it uses a step motor that can control the rotation angle accurately by moving it by a certain angle corresponding to the input pulse number This is preferred.
그리고, 본 발명의 로테이트 픽커장치(10) 중 상기 사이드푸셔유닛(30)의 경우 전술한 바와 같이 픽커유닛(11)의 상단 일측 즉, 회동픽커유닛(20)의 상단에 설치되어 상기 회동픽커유닛(20)의 작동에 따른 웨이퍼(W)를 취부하기에 앞서 2장씩 겹쳐진 상태로 상승된 웨이퍼(W)를 한쪽으로 밀어서 정렬시키는 장치적 요소로서, 도 7에 도시한 바와 같이 픽커유닛(11) 중 회동픽커유닛(20) 즉, 베이스프레임(13)의 타측에 고정되는 픽커고정프레임(13b)의 상단 좌우 양측에 고정되는 수직블록(31)과; 상기 수직블록(31) 상단에 고정되며, 중앙이 개방된 수평지지판(32)과; 상기 수평지지판(32)의 일측 중앙 하단에 고정되며, 로드(34)의 길이가변작용을 통해 2장씩 겹쳐진 상태로 상승된 웨이퍼(W)를 한쪽으로 밀어 정렬시키기 위한 웨이 퍼정렬바(36)를 승하강시키는 푸셔실린더(33)와; 상기 수평지지판(32)의 일측 양단에 각각 관통하여 설치되며, 푸셔실린더(33)의 작동에 따라 승하강하는 웨이퍼정렬바(36)를 안내하는 가이드봉(35)과; 상기 푸셔실린더(33)의 로드(34) 하단 및 가이드봉(35)의 하단에 바의 중앙 및 양단이 각각 고정되며, 푸셔실린더(33)의 작동 시 로드(34)와 함께 동일방향으로 하강하여 회동픽커유닛(20)의 작동에 따른 웨이퍼(W)를 취부하기에 앞서 상기 2장씩 겹쳐진 상태로 상승된 웨이퍼(W)를 한쪽으로 밀어 정렬시키는 웨이퍼정렬바(36)와; 상기 가이드봉(35)의 상단에 연결 고정되며, 푸셔실린더(33)의 작동에 따른 웨이퍼정렬바(36)의 승하강 시 가이드봉(35)의 승하강작용이 동일하게 이루어지도록 하는 연결바(37)로 구성되어 있다.In addition, in the case of the side pusher unit 30 of the rotate picker device 10 of the present invention, as described above, an upper end side of the picker unit 11, that is, an upper end of the rotation picker unit 20 is installed. Prior to mounting the wafer W according to the operation of the operation 20, the picker unit 11 as shown in FIG. A vertical block 31 fixed to the left and right both sides of the pivot picker unit 20, that is, the picker fixing frame 13b fixed to the other side of the base frame 13; A horizontal support plate 32 fixed to an upper end of the vertical block 31 and having an open center; The wafer alignment bar 36 is fixed to one of the center lower ends of the horizontal support plate 32 and pushes the wafers W, which are raised in the state of overlapping two by one, through the variable length of the rod 34 to one side. A pusher cylinder 33 for raising and lowering; Guide rods 35 installed at both ends of one side of the horizontal support plate 32 and for guiding the wafer alignment bar 36 to move up and down according to the operation of the pusher cylinder 33; The center and both ends of the bar are fixed to the lower end of the rod 34 and the lower end of the guide rod 35 of the pusher cylinder 33, respectively, and are lowered in the same direction together with the rod 34 when the pusher cylinder 33 is operated. A wafer alignment bar 36 for pushing and aligning the wafers W, which are raised in two overlapping states, to one side before mounting the wafers W according to the operation of the rotation picker unit 20; The connection bar is fixed to the upper end of the guide bar 35, the connection bar to make the lifting and lowering action of the guide bar 35 when the lifting and lowering of the wafer alignment bar 36 according to the operation of the pusher cylinder 33 ( 37).
이하, 본 발명의 로테이트 픽커장치(10)에 대한 작동과정을 첨부된 도면과 대비하여 그 실시예를 바람직하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the present invention is described in detail with reference to the accompanying drawings the operation of the rotate picker device 10 of the present invention.
도 8a 내지 도 8h는 본 발명에 대한 로테이트 픽커장치의 작동 상태도를 나타낸 것이다.8A to 8H show an operational state diagram of the rotate picker device according to the present invention.
먼저, 본 발명이 적용된 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템(1) 중 픽커 트랜스퍼 유닛(40)의 이송대(41) 상단에 설치된 로테이트 픽커장치(10) 중 메인구동모터(12)의 회전작용을 통해 픽커유닛(11)의 진공픽커(14) 즉, 베이스프레임(13)의 일측에 고정되는 픽커고정프레임(13a) 하단에 설치 고정된 진공픽커(14)가 로딩된 두 개의 매거진(M) 측으로 회동 위치된 상태에서 로딩된 두 개의 매거진(M) 중 일측의 매거진(M)으로부터 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 상승 구동에 따라 픽커(52)와 함께 상기 픽커(52)에 결착된 웨이퍼(W)가 상승하면서 상기 진공픽커(14)의 일면에 병렬형태로 다수 형성된 각 슬롯(17) 사이로 웨이퍼(W)가 삽입되게 되면, 도 8a에 도시한 바와 같이 상기 진공픽커(14)의 일면에 병렬형태로 형성된 각 슬롯(17)의 측면 양측에 형성된 흡착구(18)를 통해 상기 각 슬롯(17) 사이에 삽입된 웨이퍼(W)에 상기 진공포트(15)에 삽착된 진공흡입관(16)의 진공작용에 따른 진공 흡착력이 작용되면서 상기 각 슬롯(17) 측면에 웨이퍼(W)가 개별적으로 진공 흡착되어 1차 취부되게 된다.First, the picker unit is rotated through the rotation of the main drive motor 12 of the rotate picker device 10 installed on the transfer table 41 of the picker transfer unit 40 of the solar cell wafer transfer system 1 to which the present invention is applied. The vacuum picker 14 (11), that is, the vacuum picker 14 fixed to the bottom of the picker fixing frame 13a fixed to one side of the base frame 13 is rotated to the two magazine (M) side loaded The wafer W bound to the picker 52 together with the picker 52 is raised as the magazine elevator unit 51 is driven up from the magazine M on one side of the two magazines M loaded in the state. When the wafers W are inserted between the slots 17 formed in parallel on one surface of the vacuum picker 14, as shown in FIG. 8A, the angles formed in parallel on one surface of the vacuum picker 14 are illustrated. Through the suction holes 18 formed on both sides of the slot 17 As the vacuum suction force of the vacuum suction tube 16 inserted into the vacuum port 15 is applied to the wafer W inserted between the slots 17, the wafer W is provided on the side of each slot 17. It is vacuum-adsorbed individually and it is mounted first.
이와 같이 상기 진공픽커(14)의 진공작용을 통해 각 슬롯(17)에 웨이퍼(W)가 개별적으로 1차 취부된 상태에서 이와 연동적으로 상기 픽커 트랜스퍼 유닛(40)의 구성요소인 이송대(41)의 슬라이드 직선왕복이송작용에 따라 이웃한 타측의 매거진(M) 측으로 상기 진공픽커(14)가 대응되도록 로테이트 픽커장치(10)가 이송되게 되면, 도 8b에 도시한 바와 같이 상기 타측의 매거진(M)으로부터 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 상승 구동에 따라 이 역시 픽커(52)와 함께 상기 픽커(52)에 결착된 또 다른 웨이퍼(W)가 상승하여 이의 일면 즉, 사용 반대측면이 상기 진공픽커(14)의 각 슬롯(17)에 1차 진공흡착된 웨이퍼(W)의 일면 즉, 사용 반대측면에 상호 겹쳐져 면착되는 상태로 상기 진공픽커(14)의 각 슬롯(17)까지 상승하게 되고, 이와 연동적으로 상기 진공픽커(14)의 진공작용을 통해 각 슬롯(17) 즉, 하나의 슬롯(17)에 웨이퍼(W)가 2장씩 겹쳐진 상태로 2차 진공흡착되는 제1취부공정이 완료되게 되면, 도 8c에 도시한 바와 같이 상기 진공픽커(14)에 작용되었던 진공 흡착력 즉, 각 슬롯(17)의 측면 양측에 형성된 흡착구(18)에 작용되었던 진공 흡착력이 해제되면서 상기 진공픽커(14)로부터 2장씩 겹쳐진 상태의 웨이퍼(W)가 분리됨과 동시에 상기 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 픽커(52)에 결착되어 상기 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 하강 구동에 따라 픽커(52)와 함께 상기 픽커(52)에 2장씩 겹쳐진 상태로 결착된 웨이퍼(W)가 하강하여 상기 타측의 매거진(M) 상단 일정높이에 위치하게 된다.As described above, the wafer W is individually mounted to each slot 17 through the vacuum action of the vacuum picker 14, and the transfer table, which is a component of the picker transfer unit 40, is interlocked with each other. When the rotate picker device 10 is transferred to the neighboring magazine M side in response to the slide straight reciprocating operation of 41), the magazine on the other side as shown in FIG. 8B. In response to the upward drive of the magazine elevator unit 51 from M, another wafer W, which is also attached to the picker 52 together with the picker 52, is raised, and one side thereof, that is, the opposite side of the use, is vacuumed. Each slot 17 of the picker 14 is lifted up to each slot 17 of the vacuum picker 14 in a state that overlaps and faces each other on one surface of the wafer W, that is, on the opposite side of use. In conjunction with this, the vacuum action of the vacuum picker 14 When the first mounting process of secondary vacuum adsorption is completed by stacking two wafers W in each slot 17, that is, one slot 17, through the vacuum picker as shown in FIG. While the vacuum suction force applied to the 14, that is, the vacuum suction force applied to the suction holes 18 formed on both sides of each side of the slot 17 is released, the wafers W in the state of overlapping two by two from the vacuum picker 14 are released. The wafer is separated and bound to the picker 52 of the magazine elevator unit 51 and bound to the picker 52 together with the picker 52 by the lowering driving of the magazine elevator unit 51. (W) is lowered to be located at a predetermined height of the upper side of the other magazine (M).
그리고, 상기와 같이 진공작용의 해제에 따라 상기 진공픽커(14)로부터 분리 하강하여 타측의 매거진(M) 상단 일정높이에 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)가 위치하게 되면, 도 8d에 도시한 바와 같이 본 발명의 로테이트 픽커장치(10) 중 반대방향으로 회전하는 메인구동모터(12)의 회전작용을 통해 픽커유닛(11)의 회동픽커유닛(20) 즉, 베이스프레임(13)의 타측에 고정되는 픽커고정프레임(13b)의 좌우 양단에 2개의 회동픽커(21)가 각각의 회동픽커구동모터(24)와 연결 설치됨과 동시에 상기 픽커고정프레임(13b)의 중앙에 회동픽커유닛구동모터(23)가 설치된 조합구조의 회동픽커유닛(20)이 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)가 위치한 타측의 매거진(M) 측으로 회동 위치하게 되고, 상기와 같이 타측의 매거진(M) 측으로 회동 위치한 회동픽커유닛(20)은 상기 픽커고정프레임(13b)의 중앙에 회전축이 관통하여 설치된 회동픽커유닛구동모터(23)의 회전작용을 통해 상기 회동픽커유닛(20) 즉, 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 취부하여 이웃한 보우트(B)의 사양에 맞게 삽입시킬 수 있도록 각 회동픽커(21)가 양단에 고정된 픽커고정프레임(13b)을 45도 각도로 회전시킴과 동시에 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)가 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 상승작용을 통해 상기 회전된 회동픽커유닛(20) 측까지 상승하게 된다.Then, as described above, when the wafer W, which is separated from the vacuum picker 14 and descends from the vacuum picker 14 on the other side, is placed at a predetermined height at the top of the other magazine M, as shown in FIG. 8D. As described above, the pivot picker unit 20 of the picker unit 11 is fixed to the other side of the base frame 13 through the rotation of the main drive motor 12 rotating in the opposite direction of the rotate picker device 10 of the present invention. Two pivoting pickers 21 are connected to each of the pivoting picker driving motors 24 at right and left ends of the picker fixing frame 13b, and at the same time, the pivoting picker unit driving motors 23 are arranged in the center of the picker fixing frame 13b. ), The pivoting picker unit 20 of the combination structure provided is rotated to the magazine M side of the other side on which the two wafers W are stacked, and the pivoting picker unit pivoting to the other magazine M side as described above. 20, the picker fixing frame ( 13b) by rotating the rotary picker unit driving motor 23 installed through the rotation axis in the center of the rotary picker unit 20, that is, the specification of the neighboring bolt (B) by mounting the wafers (W) overlapping two by one Each pivot picker 21 rotates the picker fixing frame 13b fixed at both ends at an angle of 45 degrees so as to be inserted according to the lifter, and at the same time, a synergistic action of the elevator unit 51 in which the two stacked wafers W are stacked. It is raised to the rotated pivot picker unit 20 side through.
이후, 상기와 같이 회전된 회동픽커유닛(20) 측까지 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)가 매거진 엘리베이터 유닛(51)에 의해 상승하게 되면, 상기 회동픽커구동모터(24)에 의해 시계방향 및 반시계방향으로 회동하는 각 회동픽커(21)로 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 취부하기에 앞서, 도 8e에 도시한 바와 같이 회동픽커유닛(20)의 상단 일측에 설치된 사이드푸셔유닛(30) 즉, 푸셔실린더(33)의 작동에 따라 길이신장을 이루는 로드(34)와 함께 웨이퍼정렬바(36)가 가이드봉(35)의 가이드작용을 통해 동일방향으로 하강하여 상기 2장씩 겹쳐진 상태로 상승된 웨이퍼(W)를 한쪽으로 밀어 정렬시킨 다음, 도 8f에 도시한 바와 같이 상기 각 회동픽커(21)와 상호 연결된 각 회동픽커구동모터(24)의 회전작용에 따라 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W) 측으로 상기 각 회동픽커(21)가 각기 시계방향 및 반시계방향으로 회동하되, 상기와 같이 회동픽커유닛구동모터(23)의 회전작용을 통해 픽커고정프레임(13b)이 45도 각도로 회전 경사짐에 따라 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)의 양측면 상하측으로 각각 회동하여 하나의 슬롯(22)에 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)가 삽입되도록 취부하게 된다.Subsequently, when the wafers W stacked on the rotating picker unit 20 side rotated as described above are lifted by the magazine elevator unit 51, the clockwise and counterclockwise directions are driven by the rotating picker driving motor 24. Prior to mounting the wafers W superimposed on each of the pivoting pickers 21 rotating in the direction, as shown in FIG. 8E, the side pusher unit 30 installed on one side of the upper side of the pivoting picker unit 20, namely, FIG. Wafer alignment bar 36 descends in the same direction through the guide action of the guide rod 35 together with the rod 34 constituting a length extension according to the operation of the pusher cylinder 33, and the wafers are raised in the overlapping state by two sheets. After aligning (W) to one side, as shown in FIG. 8F, the two pieces of wafer picker drive motors 24 interconnected with the respective pickers 21 are rotated toward the wafers W which are overlapped by two. Each pivot picker 21 is clockwise And rotates counterclockwise, but as the picker fixing frame 13b rotates at an angle of 45 degrees through the rotation of the pivoting picker unit driving motor 23 as described above, the upper and lower sides of the wafer W overlapped two by two. The wafers W, which are rotated to the side and are superimposed on each of the two slots 22, are inserted.
그리고, 상기와 같이 각 회동픽커(21)의 회동작용을 통해 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 취부하게 되면, 도 8g에 도시한 바와 같이 상승하였던 매거진 엘리베이터 유닛(51)이 타측의 매거진(M) 아래로 하강함과 동시에 반대방향으로 회전하는 회동픽커유닛구동모터(23)의 회전작용을 통해 45도 각도로 회전되었던 회동픽커유닛(20)이 원위치로 회전되면서 상기 회동픽커유닛(20)의 각 회동픽커(21)에 취부된 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)는 이의 회전작용을 통해 오히려 45도 각도로 회전하여 마름모 형태를 형성하게 되며, 이후 반대방향으로 회전하였던 메인구동모터(12)의 원위치 회전작용을 통해 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 취부하고 있는 회동픽커유닛(20)은 보우트(B) 측으로, 상기 진공픽커(14)는 타측의 매거진(M) 측으로 회전 위치하게 됨과 동시에 도 8e에서와 같이 웨이퍼(W)를 한쪽으로 밀어 정렬시키기 위해 작용되었던 사이드푸셔유닛(30)의 작동을 해제함으로써 길이신장을 이뤘던 로드(34)의 길이단축과 함께 웨이퍼정렬바(36) 역시 웨이퍼(W)의 한쪽면으로부터 분리 상승하게 된다.Then, when the wafers W, which are stacked two by one through the rotational action of each of the pivoting pickers 21, are mounted, the magazine elevator unit 51 that has risen as shown in FIG. 8G is the magazine M of the other side. The pivoting picker unit 20, which was rotated at an angle of 45 degrees by the rotational action of the pivoting picker unit driving motor 23 which rotates in the opposite direction and descends downward, is rotated to its original position, and the angle of the pivoting picker unit 20 is reduced. The two wafers W stacked on the pivot picker 21 are rotated at an angle of 45 degrees to form a rhombus shape through the rotational action thereof, and then the home drive motor 12 rotates in the opposite direction. The rotating picker unit 20 mounting the two stacked wafers W through the action is moved to the side of the boat B, and the vacuum picker 14 is rotated to the other side of the magazine M. together with The wafer alignment bar 36 also has one side of the wafer W, along with the shortening of the length of the rod 34, which has been elongated by releasing the side pusher unit 30 which has been operated to push the wafer W to one side. The separation rises from the plane.
이후, 본 발명의 로테이트 픽커장치(10)의 마지막 작동과정으로서, 도 8h에 도시한 바와 같이 상기 보우트(B)로부터 엘리베이터 유닛(55)이 상승하여 상기 회동픽커유닛(20)에 취부되었던 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)의 하단이 삽입되도록 취부한 다음 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 취부하고 있던 각 회동픽커(21)가 상기 각 회동픽커구동모터(24)의 원위치 회전에 따라 각기 회동되었던 반대방향으로 회동하게 되면서 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 취부하고 있던 각 회동픽커(21)의 파지상태가 해제된 후 상기 엘리베이터 유닛(55)이 보우트(B) 아래로 하강함과 동시에 상기 보우트(B)의 각 슬롯(Bs)에 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 안착 취부시킴으로써, 본 발명의 로테이트 픽커장치(10)에 대한 작동과정이 종료되게 된다.Then, as a final operation of the rotate picker device 10 of the present invention, as shown in Figure 8h, the elevator unit 55 is lifted from the boat (B) by two sheets each mounted on the rotation picker unit 20 After the lower end of the overlapped wafer W is inserted, the rotational pickers 21 which are mounted on the two overlapped wafers W are rotated in accordance with the in-situ rotation of the respective rotation picker driving motors 24. And the elevator unit 55 descends below the boat B while the holding state of each of the pivoting pickers 21, which are mounted on the two stacked wafers W, is released. By mounting and mounting the wafers W superposed on each of the two slots Bs, B, the operation process for the rotate picker device 10 of the present invention is completed.
이상에서와 같이 상술한 실시예는 본 발명의 가장 바람직한 예에 대하여 설명한 것이지만 상기 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변형이 가능하다는 것은 당업자에게 있어서 명백한 것이다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described for illustrative purposes, those skilled in the art will appreciate that various modifications, additions and substitutions are possible, without departing from the scope and spirit of the invention as disclosed in the accompanying claims. .
도 1은 본 발명이 적용된 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템을 개략적으로 나타낸 사시도.1 is a perspective view schematically showing a solar cell wafer transfer system to which the present invention is applied.
도 2는 본 발명에 대한 로테이트 픽커장치의 사시도.Figure 2 is a perspective view of a rotate picker device according to the present invention.
도 3은 본 발명에 대한 로테이트 픽커장치의 정면도 및 측면도.3 is a front view and a side view of a rotate picker device according to the present invention.
도 4는 본 발명에 대한 로테이트 픽커장치의 평면도.Figure 4 is a plan view of a rotate picker device according to the present invention.
도 5는 본 발명에 대한 로테이트 픽커장치 중 진공픽커의 사시도 및 세부 상세도.Figure 5 is a perspective view and detail of the vacuum picker of the rotate picker device for the present invention.
도 6은 본 발명에 대한 로테이트 픽커장치 중 회동픽커유닛의 결합 사시도 및 세부 상세도.Figure 6 is a perspective view and a detailed combined view of the rotation picker unit of the rotate picker device for the present invention.
도 7은 본 발명에 대한 로테이트 픽커장치 중 사이드푸셔유닛의 결합 사시도.7 is a perspective view of the side pusher unit of the rotate picker device according to the present invention.
도 8a 내지 도 8h는 본 발명에 대한 로테이트 픽커장치의 작동 상태도.8a to 8h is an operating state diagram of the rotate picker device according to the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
1. 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템 10. 로테이트 픽커장치1. Solar Cell Wafer Transfer System 10. Rotate Picker
11. 픽커유닛 12. 메인구동모터11. Picker unit 12. Main drive motor
13. 베이스프레임 13a, 13b. 픽커고정프레임13. Baseframes 13a and 13b. Picker Frame
14. 진공픽커 15. 진공포트14. Vacuum Picker 15. Vacuum Port
16. 진공흡입관 17, 22. 슬롯16. Vacuum suction line 17, 22. Slot
18. 흡착구 20. 회동픽커유닛18. Suction Hole 20. Rotating Picker Unit
21. 회동픽커 23. 회동픽커유닛구동모터21. Rotating picker 23. Rotating picker unit driving motor
24. 회동픽커구동모터 30. 사이드푸셔유닛24. Rotating picker drive motor 30. Side pusher unit
31. 수직블록 32. 수평지지판31. Vertical block 32. Horizontal support plate
33. 푸셔실린더 34. 로드33. Push cylinder 34. Rod
35. 가이드봉 36. 웨이퍼정렬바35. Guide bar 36. Wafer alignment bar
37. 연결바 40. 픽커 트랜스퍼 유닛37. Connecting bar 40. Picker transfer unit
41. 이송대 50. 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛41. Transfer table 50. Elevator and transfer unit
51. 매거진 엘리베이터 유닛 52, 56. 픽커51. Magazine elevator unit 52, 56. Picker
55. 보우트 엘리베이터 유닛 60. 매거진 및 보우트 로더 유닛55. Boat elevator unit 60. Magazine and boat loader unit
61. 매거진 로더 유닛 62. 중앙실린더61. Magazine loader unit 62. Central cylinder
63. 측면실린더 65. 보우트 로더 유닛63. Side cylinder 65. Bolt loader unit
B. 보우트 Bs. 보우트 슬롯B. Boat Bs. Bolt slot
M. 매거진 Ms. 매거진 슬롯M. Magazine Ms. Magazine slot
W. 웨이퍼W. Wafer

Claims (5)

  1. 베이스판(5) 상단 중앙에 고정된 수평가이드바(41a)의 상단에 사각 브라켓 형태의 이송대(41)가 슬라이드 이송 가능하게 설치되되, 이송대구동모터(미도시)와 연결되어 이의 회전력을 전달받아 회전하는 볼스크류(미도시)에 상기 이송대(41)의 하단이 나사 결합되어 상기 이송대구동모터 구동에 의한 볼스크류의 회전 시 발생되는 나사이송작용과 대응되어 상기 이송대(41)가 볼스크류의 외주면을 따라 좌우로 직선이송되면서 상기 이송대(41)의 상단에 고정된 메인구동모터(12)와 함께 상기 메인구동모터(12)의 상단에 위치 고정되는 로테이트 픽커 유닛(10)을 직선왕복이송시키는 픽커 트랜스퍼 유닛(Picker Transfer unit)(40)과; 상기 메인구동모터(12)의 상단에 고정되어 픽커 트랜스퍼 유닛(40)의 일측으로 이격 설치된 2개의 매거진(M)으로부터 승,하강작용을 이루는 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 픽커(52)에 의해 상승된 웨이퍼(W)를 취부하여 상기 웨이퍼(W)를 메인구동모터(12)의 회전작용에 따라 상기 픽커 트랜스퍼 유닛(40)의 타측에 이격 설치된 보우트(B) 측으로 회전 이송 공급하는 로테이트 픽커 유닛(10)과; 각기 픽커(51,56)를 구비한 매거진 엘리베이터 유닛(51)과 보우트 엘리베이터 유닛(55)으로 구분되어 2개의 매거진(M)과 보우트(B) 내에서 수평이송과 승하강이 가능하게 설치됨과 동시에 상기 픽커(51,56)의 승강작용을 통해 매거진(M)에서 웨이퍼(W)를 상승시켜 로테이트 픽커 유닛(10) 측으로 공급하거나 또는 상기 로테이트 픽커 유닛(10)으로부터 웨이퍼(W)를 공급받아 보우트(B) 측으로 하강 안착시키는 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛(50)과; 매거진 로더 유닛(61)과 보우트 로더 유닛(65)으로 구분되어 2개의 매거진(M) 사이 및 양 끝단과 보우트(B)의 일측단에 각각 설치됨과 동시에 상기 매거진 로더 유닛(61)을 통해 2개의 매거진(M)을 서로 반대방향으로 로딩하여 2개의 매거진(M)에 내삽된 웨이퍼(W)를 서로 대향된 한쪽 방향으로 정렬시키고, 상기 보우트 로더 유닛(65)을 통해 보우트 슬롯(Bs)의 각도에 맞게 로딩하여 보우트(B)의 각도를 셋팅해 웨이퍼(W)의 안착이 원활하도록 하는 매거진 및 보우트 로더 유닛(60)으로 구성된 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템(1) 중 상기 로테이트 픽커 유닛인 로테이트 픽커장치(10)에 있어서,At the upper end of the horizontal guide bar 41a fixed to the upper center of the base plate 5, a square bracket-shaped transfer table 41 is installed to be slide-movable, and is connected to a transfer table driving motor (not shown) to transmit its rotational force. The lower end of the transfer table 41 is screwed to a ball screw (not shown) that rotates to receive a screw feed action generated when the ball screw is rotated by driving the transfer table drive motor. The rotary picker unit 10 which is fixed at the upper end of the main driving motor 12 together with the main driving motor 12 fixed to the upper end of the feed table 41 while being linearly moved from side to side along the outer circumferential surface of the screw is straight. A picker transfer unit 40 for reciprocating; The picker 52 of the magazine elevator unit 51 which is fixed to the upper end of the main drive motor 12 and is spaced up and down from two magazines M installed to one side of the picker transfer unit 40 to move up and down. A rotate picker unit for mounting the wafer W and rotating and supplying the wafer W to the side of the bow B spaced apart from the other side of the picker transfer unit 40 according to the rotation of the main drive motor 12 ( 10); It is divided into a magazine elevator unit 51 and a boat elevator unit 55 having pickers 51 and 56, respectively, so that horizontal conveyance and raising and lowering are installed in the two magazines M and the boat B. The wafer W is lifted from the magazine M by the lifting and lowering of the pickers 51 and 56 and supplied to the rotate picker unit 10, or the wafer W is supplied from the rotate picker unit 10. An elevator and a transfer unit (50) seated on the lower side (B); It is divided into a magazine loader unit 61 and a boat loader unit 65 and installed between two magazines M, and both ends and one side of the boat B, respectively, and the two through the magazine loader unit 61. The magazines M are loaded in opposite directions to align the wafers W interpolated in the two magazines M in one direction opposite to each other, and the angle of the bolt slot Bs through the boat loader unit 65 is adjusted. The rotate picker unit, which is the rotate picker unit, of the solar cell wafer transfer system 1, which is configured of a magazine and the boat loader unit 60, which loads accordingly and sets the angle of the boat B to facilitate the seating of the wafer W. In (10),
    상기 메인구동모터(12)의 상단에 고정되는 베이스프레임(13)의 좌우 양측에 위치됨과 동시에 각 픽커고정프레임(13a,13b)을 통해 고정되는 진공픽커(14)와 회동픽커유닛(20)을 구비하며, 일측 매거진(M)으로부터 상기 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 픽커(52)가 웨이퍼(W)를 결착한 상태로 1차 상승하여 상기 진공픽커(14)의 진공작용을 통해 웨이퍼(W)가 1차 흡착되고, 상기 이송대(41)의 직선이송작용에 따라 이웃한 타측 매거진(M)과 대응되는 위치로 이송된 진공픽커(14) 측에 상기 이웃한 타측 매거진(M)으로 직선이송된 상기 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 픽커(52)를 통해 상기 타측 매거진(M)으로부터 또 다른 웨이퍼(W)가 결착된 상태로 1차 진공흡착된 웨이퍼(W)의 일면에 또 다른 웨이퍼(W)의 일면이 상호 겹쳐져 면착되도록 상승하여 진공픽커(14)의 진공작용을 통해 하나의 슬롯(17)에 웨이퍼(W)가 2장씩 겹쳐진 상태로 2차 흡착됨과 아울러, 상기 진공픽커(14)에 2장씩 겹쳐진 상태로 2차 흡착된 웨이퍼(W)를 픽커(52)에 결착시켜 진공해제와 함께 하강시킨 후 메인구동모터(12)의 회전작용을 통해 진공픽커(14)와 회동픽커유닛(20)의 위치를 180도 전환시킴과 동시에 픽커(52)를 통해 2장씩 겹쳐진 상태로 최종 상승된 웨이퍼(W)에 대하여 상기 회동픽커유닛(20)의 각 회동픽커(21) 일단에 설치된 회동픽커구동모터(24)의 구동에 따라 각 회동픽커(21)를 서로 대향되게 회동시켜 상기 웨이퍼(W)를 고정 취부하는 픽커유닛(11)과;The vacuum picker 14 and the rotary picker unit 20 which are positioned on both left and right sides of the base frame 13 fixed to the upper end of the main driving motor 12 and fixed through the respective picker fixing frames 13a and 13b. It is provided, the picker 52 of the magazine elevator unit 51 from the one side magazine (M) is first lifted in a state in which the wafer (W) bound to the wafer (W) through the vacuum action of the vacuum picker 14 Is first adsorbed, and is linearly transferred to the neighboring other magazine M on the side of the vacuum picker 14, which is transported to a position corresponding to the neighboring other magazine M according to the linear transport action of the transport table 41. Another wafer (W) on one surface of the wafer (W), which is first vacuum-adsorbed in a state in which another wafer (W) is bound from the other magazine (M) through the picker (52) of the magazine elevator unit (51). One surface of the upper surface is overlapped with each other and rises to face each other through the vacuum action of the vacuum picker 14 Secondary adsorption is carried out in a state in which two wafers W are superposed on one slot 17 and the second adsorption wafer W is superposed on the picker 52 in a state in which two sheets of wafers W are superimposed on the vacuum picker 14. After descending together with the vacuum release, the position of the vacuum picker 14 and the pivoting picker unit 20 is switched 180 degrees through the rotation of the main drive motor 12 and at the same time, the two sheets are stacked by the picker 52. The pivot pickers 21 are rotated to face each other in response to the driving of the pivot picker driving motor 24 installed at one end of each pivot picker 21 of the pivot picker unit 20 with respect to the wafer W finally raised. A picker unit (11) for fixing and mounting the wafer (W);
    상기 픽커유닛(11)의 상단 일측에 설치되며, 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 한쪽으로 밀어서 정렬시키는 사이드푸셔유닛(30)으로 구성된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 로테이트 픽커장치.The picker unit of the solar cell wafer transfer system, characterized in that it is installed on one side of the picker unit (11), the side pusher unit (30) for pushing and aligning the two stacked wafers (W) to one side.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 픽커유닛(11)은 베이스프레임(13)의 일측에 고정되는 픽커고정프레임(13a) 하단에 설치되며, 상기 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 픽커(52)를 통해 일측 매거진(M)으로부터 1차 상승된 웨이퍼(W)를 1차 진공 흡착하고, 이웃한 타측 매거진(M)으로 이송된 상기 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 픽커(52)를 통해 상기 타측 매거진(M)으로부터 또 다른 웨이퍼(W)가 상승하되, 1차 진공흡착된 웨이퍼(W)의 일면에 또 다른 웨이퍼(W)의 일면이 상호 겹쳐져 면착되도록 상승하여 하나의 슬롯(17)에 2장씩 겹쳐진 상태의 웨이퍼(W)를 2차 진공흡착하여 취부하는 진공픽커(14)와;According to claim 1, The picker unit 11 is installed on the lower side of the picker fixing frame (13a) fixed to one side of the base frame 13, the magazine through the picker 52 of the magazine elevator unit 51 The wafer W raised first from M is subjected to primary vacuum adsorption, and from the other magazine M through the picker 52 of the magazine elevator unit 51 transferred to the neighboring other magazine M. FIG. Another wafer (W) is raised, but the surface of the first vacuum-absorbed wafer (W) is raised so that one surface of another wafer (W) is overlapped with each other, so that the two wafers in one slot (17) A vacuum picker 14 for attaching (W) by secondary vacuum suction;
    상기 베이스프레임(13)의 타측에 고정되는 픽커고정프레임(13b)의 좌우 양단에 회동픽커구동모터(24)의 회전축을 통해 회동 가능하면서 하나 이상의 슬롯(22)을 갖는 2개의 회동픽커(21)가 설치되며, 상기 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 픽커(52)를 통해 2장씩 겹쳐진 상태로 최종 상승된 웨이퍼(W)의 양측면 상하측으로 회동픽커(21)가 각각 회동하여 취부하는 회동픽커유닛(20)과;Two pivot pickers 21 having at least one slot 22 while being rotatable through rotation axes of the pivot picker driving motor 24 at both ends of the picker fixing frame 13b fixed to the other side of the base frame 13. Is installed, and the pivot picker unit 20 rotates and mounts the pivot pickers 21 on both sides of the wafer W, which are finally raised in the state of being superimposed by the pickers 52 of the magazine elevator unit 51, respectively. )and;
    상기 베이스프레임(13)의 타측에 고정되는 픽커고정프레임(13b)의 중앙에 관통된 상태로 설치되며, 상기 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 픽커(52)를 통해 2장씩 겹쳐진 상태로 최종 상승된 웨이퍼(W)를 보우트(B)의 사양에 맞게 삽입시킬 수 있도록 상기 회동픽커유닛(20)을 45도 회전시키는 회동픽커유닛구동모터(23)와;The wafer is installed in the state penetrated in the center of the picker fixing frame (13b) fixed to the other side of the base frame 13, the last lifted in the state of overlapping two sheets through the picker 52 of the magazine elevator unit 51 A rotational picker unit driving motor 23 for rotating the rotational picker unit 20 by 45 degrees to insert the (W) in accordance with the specifications of the bolt B;
    상기 회동픽커유닛(20)의 각 회동픽커(21) 일단에 회전축이 결합된 상태로 설치되며, 상기 매거진 엘리베이터 유닛(51)의 픽커(52)를 통해 2장씩 겹쳐진 상태로 최종 상승된 웨이퍼(W)를 취부토록 각 회동픽커(21)를 회동시키는 회동픽커구동모터(24)로 구성된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 로테이트 픽커장치.The rotating shaft is coupled to one end of each pivot picker 21 of the pivot picker unit 20, and the wafer W is finally raised in the state of being superimposed two by two through the picker 52 of the magazine elevator unit 51. A rotate picker device for a solar cell wafer transfer system, characterized by comprising a rotating picker driving motor (24) for rotating each rotating picker (21).
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 진공픽커(14)는 전체형상이 일면에 하나 이상의 슬롯(17)을 구비한 사각판체로 형성되되, 그 상단엔 진공 흡착력이 각 슬롯(17)의 측면을 통해 취부된 웨이퍼(W)에 작용되도록 진공흡입관(16)이 삽착되기 위한 진공포트(15)가 형성되고, 상기 각 슬롯(17) 측면 양측에는 진공포트(15)와 연통되는 흡착구(18)가 각각 형성되며, 상기 슬롯(17)은 사각판체의 양측으로 이격된 병렬형태로 고정된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 로테이트 픽커장치.According to claim 2, wherein the vacuum picker 14 is formed in a rectangular plate body having one or more slots 17 on one side of the overall shape, the vacuum suction force is mounted on the upper side through the side of each slot (17) A vacuum port 15 is formed to insert the vacuum suction tube 16 to act on the wafer W, and suction ports 18 communicating with the vacuum port 15 are formed on both sides of the slot 17, respectively. And the slots (17) are fixed in a parallel form spaced apart on both sides of the rectangular plate body.
  4. 제 2 항에 있어서, 상기 회동픽커유닛(20)의 각 회동픽커(21)는 전체형상이 일면에 하나 이상의 슬롯(22)을 구비한 사각판체로 형성된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 로테이트 픽커장치.The rotation of the solar cell wafer transfer system according to claim 2, wherein each of the pivot pickers (21) of the pivot picker unit (20) is formed in a rectangular plate body having one or more slots (22) on one surface thereof. Picker device.
  5. 제 2 항에 있어서, 상기 사이드푸셔유닛(30)은 베이스프레임(13)의 타측에 고정되는 픽커고정프레임(13b)의 상단 좌우 양측에 고정되는 수직블록(31)과;According to claim 2, The side pusher unit 30 is vertical block 31 which is fixed to the left and right both sides of the top of the picker fixing frame (13b) fixed to the other side of the base frame (13);
    상기 수직블록(31) 상단에 고정되며, 중앙이 개방된 수평지지판(32)과;A horizontal support plate 32 fixed to an upper end of the vertical block 31 and having an open center;
    상기 수평지지판(32)의 일측 중앙 하단에 고정되며, 로드(34)의 길이가변작용을 통해 2장씩 겹쳐진 상태로 상승된 웨이퍼(W)를 한쪽으로 밀어 정렬시키기 위한 웨이퍼정렬바(36)를 승하강시키는 푸셔실린더(33)와;The wafer alignment bar 36 is fixed to one of the center lower ends of the horizontal support plate 32 and pushes the wafers W to be aligned to one side through the length-variable action of the rod 34. A pusher cylinder 33 which is lowered;
    상기 수평지지판(32)의 일측 양단에 각각 관통하여 설치되며, 푸셔실린더(33)의 작동에 따라 승하강하는 웨이퍼정렬바(36)를 안내하는 가이드봉(35)과;Guide rods 35 installed at both ends of one side of the horizontal support plate 32 and for guiding the wafer alignment bar 36 to move up and down according to the operation of the pusher cylinder 33;
    상기 푸셔실린더(33)의 로드(34) 하단 및 가이드봉(35)의 하단에 바의 중앙 및 양단이 각각 고정되며, 푸셔실린더(33)의 작동 시 로드(34)와 함께 동일방향으로 하강하여 회동픽커유닛(20)의 작동에 따른 웨이퍼(W)를 취부하기에 앞서 상기 2장씩 겹쳐진 상태로 상승된 웨이퍼(W)를 한쪽으로 밀어 정렬시키는 웨이퍼정렬바(36)와;The center and both ends of the bar are fixed to the lower end of the rod 34 and the lower end of the guide rod 35 of the pusher cylinder 33, respectively, and are lowered in the same direction together with the rod 34 when the pusher cylinder 33 is operated. A wafer alignment bar 36 for pushing and aligning the wafers W, which are raised in two overlapping states, to one side before mounting the wafers W according to the operation of the rotation picker unit 20;
    상기 가이드봉(35)의 상단에 연결 고정되며, 푸셔실린더(33)의 작동에 따른 웨이퍼정렬바(36)의 승하강 시 가이드봉(35)의 승하강작용이 동일하게 이루어지도록 하는 연결바(37)로 구성된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 로테이트 픽커장치.The connection bar is fixed to the upper end of the guide bar 35, the connection bar to make the lifting and lowering action of the guide bar 35 when the lifting and lowering of the wafer alignment bar 36 according to the operation of the pusher cylinder 33 ( And a rotate picker device for a solar cell wafer transfer system.
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