KR20100104174A - The rotate picker device for using solar cell wafer transfer system - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A rotary picker device of a solar cell wafer transfer system is provided to improve the productivity of a wafer by supplying many wafers to a boat for a short time. CONSTITUTION: A rotary picker unit(10) includes a picker unit(11) and a side pusher unit. The picker unit grips the wafer lifted by an elevator unit from a magazine individually or with two sheets. The side pusher unit is installed on the upper side of the picker unit and pushes and arranges two overlapped wafers.

Description

솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 로테이트 픽커장치{The rotate picker device for using solar cell wafer transfer system}The rotate picker device for using solar cell wafer transfer system

본 발명은 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 로테이트 픽커 유닛(Rotate Picker Unit), 픽커 트랜스퍼 유닛(Picker Transfer unit), 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛(Elevator & Transfer Unit), 매거진 및 보우트 로더 유닛(Magazine & Boat Loader Unit)으로 구성된 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템(Wafer Transfer System) 중 상기 로테이트 픽커 유닛에 대해 두 개의 매거진으로부터 엘리베이터를 통해 상승되는 웨이퍼를 진공으로 파지하되 2장씩 겹쳐 파지함과 동시에 이를 다음 포지션인 보우트까지 회전 가능하도록 구성함으로써, 한쪽면 만을 사용하는 솔라 셀 웨이퍼의 제조공정 중 전기로를 통해 상기 웨이퍼의 사용면에 대해 인(P)을 주입하기 위한 가열작업을 수행키 위해 상기 웨이퍼의 사용 반대측면이 서로 면착되도록 2장씩 겹쳐 보다 안정되면서 많은 양의 웨이퍼를 짧은 시간에 보우트 측에 공급함과 동시에 이를 통한 웨이퍼의 생산성 향상과 더불어 대량생산 역시 가능할 수 있도록 한 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 로테이트 픽커장치에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to a solar cell wafer transfer system, and more particularly, a rotate picker unit, a picker transfer unit, an elevator and a transfer unit, an magazine and a boat loader unit. In the solar cell wafer transfer system consisting of (Magazine & Boat Loader Unit), the wafer picked up by two elevators from the two magazines is vacuumed on the rotate picker unit, and the two sheets are stacked and stacked next to each other. By using the wafer to rotate to position, the wafer is used to perform a heating operation for injecting phosphorus (P) to the use surface of the wafer through an electric furnace during the manufacturing process of the solar cell wafer using only one side. The two sides are stacked together so that the opposite sides stick together, Mass-produced with improved productivity in the wafer through the wafer at the same time as this, the amount of supplying the boat-side in a short time will also not be related to rotate the picker device of the solar cell wafer transfer system to be.

일반적으로, 솔라 셀(solar cell)은 다양한 디바이스들을 구동시키기 위한 에너지원으로서 이용되는데, 이는 솔라 방사 또는 조명 광을 전기 에너지로 변환시킨다.In general, solar cells are used as an energy source for driving various devices, which convert solar radiation or illumination light into electrical energy.

이와 같은 솔라 셀은 반도체로 구성된 기능적인 부분에 pn 접합부 또는 pin 접합부를 갖고 있으며, 통상적으로 알려진 바로 실리콘은 반도체로서 상기 pn 접합부(또는 pin 접합부)를 형성하기 위해 사용될 수 있다. 이때, 단결정 실리콘의 사용은 광 에너지를 기전력으로 변환하는 효율면에서 양호하지만, 비정질 실리콘은 영역 증대 및 비용 감소 측면에서 유리하다.Such a solar cell has a pn junction or a pin junction in a functional part composed of a semiconductor, and silicon, which is commonly known, can be used to form the pn junction (or pin junction) as a semiconductor. At this time, the use of single crystal silicon is good in terms of efficiency of converting light energy into electromotive force, but amorphous silicon is advantageous in terms of area increase and cost reduction.

한편, 광범위하게 사용되고 있는 실리콘 웨이퍼(Silicon Wafer; 다결정의 실리콘(Si)을 원재료로 하여 만들어진 단결정 실리콘 박판)를 기판으로 하여 솔라 셀 및 상기 솔라 셀을 이용해 집합된 솔라 모듈(solar module)을 제조하게 되는데, 상기 솔라 모듈의 전체 제조과정을 살펴보면, 단결정 성장으로 인한 실리콘 잉곳 제작공정(1단계) → 실리콘 잉곳을 수백 미크론(㎛) 두께로 슬라이싱 공정(2단계) → 슬라이스 된 실리콘 웨이퍼 세척 공정(3단계) → 실리콘 웨이퍼에 도핑 주입 공정(4단계) → 도핑 주입된 실리콘 웨이퍼에 전극선 긋기 공정(5단계) → 솔라 셀 제작 공정(6단계) → 회로 작업 공정(7단계) → 솔라 셀의 라미네이팅 공정(8단계) → 틀 작업 공정(9단계) → 솔라 모듈 제작공정(10단계) 등 총 10단계의 제조공정을 거쳐 솔라 모듈이 제작되게 된다.Meanwhile, a solar cell and a solar module assembled using the solar cell are manufactured by using a silicon wafer, which is widely used, as a substrate using a single crystal silicon thin plate made of polycrystalline silicon (Si) as a substrate. If you look at the entire manufacturing process of the solar module, the silicon ingot manufacturing process (step 1) due to the single crystal growth → silicon ingot sliced to several hundred microns (㎛) thickness (step 2) → sliced silicon wafer cleaning process (3 Step) → doping implantation process on silicon wafer (step 4) → electrode line drawing process on doped implanted silicon wafer (step 5) → solar cell manufacturing process (step 6) → circuit work process (step 7) → laminating process of solar cell Solar modules are manufactured through a total of 10 manufacturing steps, including (8 steps) → mold work process (9 steps) → solar module manufacturing process (10 steps).

그러나, 상기와 같은 솔라 모듈의 전체 제조과정 중에서 실리콘 잉곳을 수백 미크론(㎛) 두께로 슬라이싱(Slicing)하여 제조된 실리콘 웨이퍼 즉, 솔라 셀 웨이 퍼를 전기로에 공급하여 상기 웨이퍼의 사용면에 대해 인(P)을 주입하기 위한 가열작업인 도핑 주입 공정을 수행하기 위한 준비과정으로서, 작업자가 일일이 각 낱장의 웨이퍼를 사용 반대측면이 서로 면착되도록 2장씩 겹친 다음 이를 전기로 공급용 보우트 측으로 이송하여 상기 보우트의 각 슬롯에 삽입 안착시키는 등 상기 준비과정이 수동으로 이루어짐에 따라 이에 대한 작업공정이 매우 번거롭고 복잡할 뿐만 아니라, 상기 준비과정에 따른 작업시간 역시 오래 걸리게 되는 등의 커다란 문제점이 있었다.However, silicon wafers manufactured by slicing silicon ingots to several hundred microns (µm) in thickness during the entire manufacturing process of the solar module, that is, the solar cell wafers are supplied to an electric furnace to print the wafer on the surface of the wafer. As a preparation process for performing a doping injection process, which is a heating operation for injecting (P), an operator overlaps two sheets of wafers each day so that the opposite sides face each other, and then transfers them to the side of the boat for supplying electricity. As the preparation process is manually performed, such as inserting and seating in each slot of the bow, there is a big problem that the work process for this process is very cumbersome and complicated, and the work time according to the preparation process also takes a long time.

또한, 상기와 같이 솔라 셀 웨이퍼를 전기로에 공급하기 위한 준비과정 자체가 오래 걸림으로 인해 규정된 시간 내에 많은 양의 웨이퍼를 보우트 측에 이송시킬 수 없으며, 이와 같은 문제점을 토대로 할 때 제품의 생산성 및 경제성 역시 크게 저하될 수밖에 없는 등의 문제점도 있었다.In addition, as the preparation process for supplying the solar cell wafer to the electric furnace as described above takes a long time, a large amount of wafers cannot be transferred to the boat side within a prescribed time. There was also a problem that the economics also had to be greatly reduced.

상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위하여 안출된 본 발명은, 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 구성요소 중 로테이트 픽커 유닛에 대해 두 개의 매거진으로부터 엘리베이터를 통해 상승되는 웨이퍼를 진공으로 파지하되 2장씩 겹쳐 파지함과 동시에 이를 다음 포지션인 보우트까지 회전 가능하도록 구성함으로써, 한쪽면 만을 사용하는 솔라 셀 웨이퍼의 제조공정 중 전기로를 통해 상기 웨이퍼의 사용면에 대해 인(P)을 주입하기 위한 가열작업을 수행키 위해 상기 웨이퍼의 사용 반대측면이 서로 면착되도록 2장씩 겹쳐 보다 안정되면서 많은 양의 웨이퍼를 짧은 시간에 보우트 측에 공급할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made in order to solve the above-described problems, the wafer is lifted by the vacuum from the two magazines for the rotate picker unit of the components of the solar cell wafer transfer system in a vacuum, but two by two overlapping gripping At the same time, it is configured to be rotatable to the next position, the boat, so as to perform a heating operation for injecting phosphorus (P) through the electric furnace during the manufacturing process of the solar cell wafer using only one side. The purpose is to be able to supply a large amount of wafers to the boat side in a short time while more stable by stacking two sheets so that opposite sides of the wafers face each other.

또한, 본 발명의 경우 상기와 같이 로테이트 픽커 유닛을 통해 많은 양의 웨이퍼를 짧은 시간에 보우트 측에 공급함에 따라 이에 따른 웨이퍼의 생산성 향상과 더불어 상기 웨이퍼에 대한 대량생산 역시 가능할 수 할 수 있도록 하는데 또 다른 목적이 있다.In addition, in the case of the present invention, by supplying a large amount of wafers to the boat side in a short time through the rotate picker unit as described above, it is possible to improve the productivity of the wafers according to this, and also to mass-produce the wafers. There is another purpose.

본 발명에 대한 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 로테이트 픽커장치는, 로테이트 픽커 유닛, 픽커 트랜스퍼 유닛, 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛, 매거진 및 보우트 로더 유닛으로 구성된 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템에 있어서,A rotate picker device of a solar cell wafer transfer system according to the present invention is a solar cell wafer transfer system comprising a rotate picker unit, a picker transfer unit, an elevator and a transfer unit, a magazine and a boat loader unit.

상기 로테이트 픽커 유닛은, 메인구동모터의 상단에 고정된 베이스프레임의 좌우 양측에 위치됨과 동시에 각 픽커고정프레임을 통해 고정되며, 각 픽커의 진공작용 및 서로 대향된 회동작용을 통해 매거진으로부터 엘리베이터에 의해 상승된 웨이퍼를 개별 및 2장씩 겹쳐진 상태로 취부하는 픽커유닛과;The rotate picker unit is located on both the left and right sides of the base frame fixed to the top of the main drive motor and is fixed through each picker fixing frame, by the elevator from the magazine through the vacuum action and the opposite rotation action of each picker. A picker unit for attaching the raised wafers individually and in two sheets;

상기 픽커유닛의 상단 일측에 설치되며, 2장씩 겹쳐진 웨이퍼를 한쪽으로 밀어서 정렬시키는 사이드푸셔유닛과;A side pusher unit installed at one side of the upper side of the picker unit and configured to push the two stacked wafers to one side;

상기 픽커 트랜스퍼 유닛의 이송대 상단에 고정되며, 매거진으로부터 상승되어 픽커유닛에 취부된 웨이퍼를 이웃한 보우트 측으로 회전시키는 메인구동모터로 구성된 것을 특징으로 한다.It is fixed to the upper end of the picker transfer unit of the picker transfer unit, it is characterized by consisting of a main drive motor for lifting the wafer mounted on the picker unit to the side of the neighboring boat side.

이러한 본 발명의 경우 한쪽면 만을 사용하는 솔라 셀 웨이퍼의 제조공정 중 전기로를 통해 상기 웨이퍼의 사용면에 대해 인(P)을 주입하기 위한 가열작업을 수행키 위해 상기 웨이퍼의 사용 반대측면이 서로 면착되도록 2장씩 겹쳐 보다 안정되면서 많은 양의 웨이퍼를 짧은 시간에 보우트 측에 공급할 수 있는 등의 탁월한 효과가 있다.In the case of the present invention, the opposite sides of the wafers face each other in order to perform a heating operation for injecting phosphorus (P) through the electric furnace during the manufacturing process of the solar cell wafer using only one side. It is possible to supply a large amount of wafer to the side of the boat in a short time while being more stable by stacking two sheets as much as possible.

또한, 본 발명의 경우 상기와 같이 로테이트 픽커 유닛을 통해 많은 양의 웨이퍼를 짧은 시간에 보우트 측에 공급함에 따라 이에 따른 웨이퍼의 생산성 향상과 더불어 상기 웨이퍼에 대한 대량생산 역시 가능할 수 할 수 있는 등의 효과도 있다.In addition, in the case of the present invention, by supplying a large amount of wafers to the boat side in a short time through the rotate picker unit as described above, it is possible to improve the productivity of the wafers according to this, and also to mass-produce the wafers. It also works.

본 발명에 대한 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 로테이트 픽커장치(이하, 로테이트 픽커장치라 함)에 대하여 첨부된 도면과 대비하여 상세히 설명한다.A rotate picker device (hereinafter, referred to as a rotate picker device) of a solar cell wafer transfer system according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명이 적용된 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템을 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 발명에 대한 로테이트 픽커장치의 사시도를 나타낸 것이며, 도 3은 본 발명에 대한 로테이트 픽커장치의 정면도 및 측면도를 나타낸 것이고, 도 4는 본 발명에 대한 로테이트 픽커장치의 평면도를 나타낸 것이다.1 is a perspective view schematically showing a solar cell wafer transfer system to which the present invention is applied, FIG. 2 is a perspective view of a rotate picker device according to the present invention, and FIG. 3 is a front view and a side view of the rotate picker device according to the present invention. 4 shows a plan view of a rotate picker device according to the present invention.

또한, 도 5는 본 발명에 대한 로테이트 픽커장치 중 진공픽커의 사시도 및 세부 상세도를 나타낸 것이고, 도 6은 본 발명에 대한 로테이트 픽커장치 중 회동픽커유닛의 결합 사시도 및 세부 상세도를 나타낸 것이며, 도 7은 본 발명에 대한 로테이트 픽커장치 중 사이드푸셔유닛의 결합 사시도를 나타낸 것이다.In addition, Figure 5 shows a perspective view and a detailed view of a vacuum picker of the rotate picker device of the present invention, Figure 6 shows a combined perspective view and a detailed view of the rotation picker unit of the rotate picker device for the present invention, Figure 7 illustrates a perspective view of the side pusher unit of the rotate picker device according to the present invention.

본 발명의 로테이트 픽커장치(10)에 대해 상세히 설명하기에 앞서, 본 발명 이 적용된 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템(Solar Cell Wafer Transfer System)(1)에 대하여 간략히 설명하면, 이는 각 픽커(14,21)의 진공작용 및 서로 대향된 회동작용을 통해 매거진(Magazine)(M) 내에 개별적으로 삽입되어 있는 웨이퍼(W)를 개별 및 사용 반대측면이 서로 면착되도록 2장씩 겹쳐진 상태로 취부하여 전기로(미도시)에 공급하기 위한 보우트(Boat)(B) 측으로 보다 안정되면서 많은 양의 웨이퍼(W)를 짧은 시간에 보우트(B) 측에 이송시키는데 사용되는 장치로서, 도 1에 도시한 바와 같이 크게 로테이트 픽커 유닛(Rotate Picker Unit)(10), 픽커 트랜스퍼 유닛(Picker Transfer unit)(40), 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛(Elevator & Transfer Unit)(50), 매거진 및 보우트 로더 유닛(Magazine & Boat Loader Unit)(60)으로 구성되어 있다.Prior to describing the rotate picker device 10 of the present invention in detail, the solar cell wafer transfer system 1 to which the present invention is applied will be briefly described. The wafers W, which are inserted into the magazine (M) individually through the vacuum action and the mutually opposite action of each other, are mounted in an overlapping state so that the individual and opposite sides of the wafer face each other. It is a device used to transfer a large amount of wafer (W) to the boat (B) side in a short time while more stable to the boat (B) side for supplying to), largely as shown in Figure 1 rotate picker Rotate Picker Unit (10), Picker Transfer Unit (40), Elevator & Transfer Unit (50), Magazine & Boat Loader Unit (60) )to There is sex.

여기서, 상기 로테이트 픽커 유닛(10)의 경우 로딩(Loading)된 두 개의 매거진(M)에서 상승된 웨이퍼(W)를 꺼내 두 장씩 겹친 후 180도 회전을 하여 매거진(M) 뒤 쪽에 로딩되어 있는 보우트(B)에 이송 공급하는 역할을 수행하는 장치적 요소로서, 이에 대한 설명은 이하에서 기술되는 본 발명의 로테이트 픽커장치(10)에서 상세히 설명하기로 한다.Here, in the case of the rotate picker unit 10, the lifted wafer W is taken out from two loaded magazines M, and the two sheets are stacked one by one, rotated 180 degrees, and loaded on the rear side of the magazine M. As a device element for carrying out the feeding to (B), a description thereof will be described in detail in the rotate picker device 10 of the present invention described below.

또한, 상기 픽커 트랜스퍼 유닛(40)의 경우 로봇(미도시) 구동으로 로테이트 픽커 유닛(10)을 X-축 방향으로 이송시킴과 동시에 모터라이즈 스테이지(motorized stage)(12)를 통해 로테이트 픽커 유닛(10)을 180도 회전시키는 역할을 수행한다.In addition, the picker transfer unit 40 transfers the rotate picker unit 10 in the X-axis direction by driving a robot (not shown) and at the same time rotates the rotate picker unit through a motorized stage 12. 10) rotates 180 degrees.

그리고, 상기 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛(50)의 경우 매거진 엘리베이터 유닛(Magazine Elevator Unit)(51)과 보우트 엘리베이터 유닛(Boat Elevator Unit)(55)으로 구성되는데, 이때 상기 매거진 엘리베이터 유닛(51)은 로딩된 매거진(M) 밑에서 픽커(52)가 웨이퍼(W)를 잡고 상승시키면 로테이트 픽커 유닛(10)이 상기 상승된 웨이퍼(W)를 파지하여 목적한 위치로 이송시키는 역할을 수행하며, 상기 보우트 엘리베이터 유닛(55)은 보우트(B) 밑의 픽커(56)가 상승하여 로테이트 픽커 유닛(10)이 파지하고 있는 웨이퍼(W)를 잡아 아래로 하강하면서 보우트 슬롯(Bs)에 웨이퍼(W)를 집어넣는 역할을 수행한다.In addition, the elevator and the transfer unit 50 is composed of a magazine elevator unit (Magazine Elevator Unit) 51 and the boat elevator unit (Boat Elevator Unit) 55, wherein the magazine elevator unit 51 is loaded When the picker 52 holds the wafer W under the magazine M, the rotate picker unit 10 grips the raised wafer W and transfers the wafer W to a desired position. 55 picks up the wafer W under the bolt B, catches the wafer W held by the rotate picker unit 10, and descends downward to insert the wafer W into the bolt slot Bs. Play a role.

마지막으로, 상기 매거진 및 보우트 로더 유닛(60)의 경우 매거진(M)을 로딩하는 매거진 로더 유닛(Magazine Loader Unit)(61)과 보우트(B)를 로딩하는 보우트 로더 유닛(Boat Loader Unit)(65)으로 구성되는데, 이때 상기 매거진 로더 유닛(61)은 두 개의 매거진(M)을 서로 반대방향으로 로딩하여 매거진(M) 사이의 중앙실린더(62)가 한쪽으로 각각의 매거진(M)을 올린 후 양 사이드에 설치된 측면실린더(63)가 매거진(M)을 밀면서 매거진(M)에 내삽된 웨이퍼(W)를 한쪽 방향으로 정렬시키는 역할을 수행하며, 상기 보우트 로더 유닛(65)은 보우트 슬롯(Bs) 각도에 맞춰 셋팅하는 역할을 수행함과 아울러, 상기와 같이 슬롯 각도에 맞게 셋팅 후 로딩된 보우트 슬롯(Bs)에 보우트 엘리베이터 유닛(55)의 하강작동을 통해 웨이퍼(W)를 집어넣게 된다.Finally, in the case of the magazine and the boat loader unit 60, a magazine loader unit 61 for loading a magazine M and a boat loader unit for loading a boat B 65 At this time, the magazine loader unit 61 loads two magazines (M) in opposite directions so that the central cylinder 62 between the magazines (M) raises each magazine (M) to one side. Side cylinders 63 installed at both sides serve to align the wafer W inserted in the magazine M in one direction while pushing the magazine M, and the bolt loader unit 65 has a bolt slot Bs. The wafer W is inserted through the lowering operation of the boat elevator unit 55 to the loaded boat slot Bs after setting to the slot angle as described above.

한편, 상기 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템(1) 중 본 발명의 로테이트 픽커장치(10)의 경우 전술한 바와 같이 로딩된 두 개의 매거진(M)에서 상승된 웨이퍼(W)를 꺼내 두 장씩 겹친 후 180도 회전을 하여 매거진(M) 뒤 쪽에 로딩되어 있는 보우트(B)에 이송 공급하는 역할을 수행하는 장치적 요소로서, 도 2 내지 도 4 에 도시한 바와 같이 메인구동모터(일명, 모터라이즈 스테이지)(12)의 상단에 고정된 베이스프레임(13)의 좌우 양측에 위치됨과 동시에 각 픽커고정프레임(13a,13b)을 통해 고정되며, 각 픽커(14,21)의 진공작용 및 서로 대향된 회동작용을 통해 매거진(M)으로부터 엘리베이터 유닛(51)에 의해 상승된 웨이퍼(W)를 개별 및 사용 반대측면이 서로 면착되도록 2장씩 겹쳐진 상태로 취부하는 픽커유닛(11)과; 상기 픽커유닛(11)의 상단 일측에 설치되며, 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 한쪽으로 밀어서 정렬시키는 사이드푸셔유닛(30)과; 상기 픽커 트랜스퍼 유닛(40)의 이송대(41) 상단에 고정되며, 매거진(M)으로부터 상승되어 픽커유닛(11)에 취부된 웨이퍼(W)를 이웃한 보우트(B) 측으로 회전시키는 메인구동모터(12)를 포함하여 구성되어 있다.Meanwhile, in the rotate picker device 10 of the solar cell wafer transfer system 1, as described above, the raised wafer W is taken out from two loaded magazines M and overlapped by two sheets 180 degrees. As a device element that rotates and feeds and supplies the boat B loaded behind the magazine M, as shown in FIGS. 2 to 4, a main drive motor (aka motorized stage) ( 12) is positioned on the left and right sides of the base frame 13 fixed at the top of the base 12, and is fixed through each of the picker fixing frames 13a and 13b, and the vacuum action of each picker 14 and 21 and the rotational action opposite to each other. A picker unit (11) for mounting the wafers (W) raised by the elevator unit (51) from the magazine (M) through two sheets so that individual and opposite sides of the wafer face each other; A side pusher unit (30) installed on one side of an upper end of the picker unit (11), for pushing and stacking two stacked wafers (W) to one side; The main drive motor which is fixed to the upper end of the transfer table 41 of the picker transfer unit 40 and lifted from the magazine M to rotate the wafer W mounted on the picker unit 11 toward the neighboring bolt B side. It is comprised including 12.

이와 같이 구성된 본 발명의 로테이트 픽커장치(10) 중 상기 픽커유닛(11)의 경우 전술한 바와 같이 메인구동모터(12)의 상단에 고정된 베이스프레임(13)의 좌우 양측에 위치됨과 동시에 각 픽커고정프레임(13a,13b)을 통해 고정됨과 동시에 각 픽커(14,21)의 진공작용 및 서로 대향된 회동작용을 통해 매거진(M)으로부터 엘리베이터 유닛(51)에 의해 상승된 웨이퍼(W)를 개별 및 사용 반대측면이 서로 면착 즉, 웨이퍼(W)의 사용면이 각각 전후에 위치되도록 2장씩 겹쳐진 상태로 취부하는 장치적 요소로서, 베이스프레임(13)의 일측에 고정되는 픽커고정프레임(13a) 하단에 설치되며, 매거진(M)으로부터 상승된 웨이퍼(W)를 진공작용을 통해 개별적으로 취부토록 하나 이상의 슬롯(17)을 갖는 진공픽커(14)와; 상기 베이스프레임(13)의 타측에 고정되는 픽커고정프레임(13b)의 좌우 양단에 회동 가능하게 설치되며, 2장씩 겹쳐진 상태로 상승된 웨이퍼(W)의 양측면 상하측으로 각각 회동하여 취부토록 하나 이상의 슬롯(22)을 갖는 회동픽커유닛(20)과; 상기 베이스프레임(13)의 타측에 고정되는 픽커고정프레임(13b)의 중앙에 관통된 상태로 설치되며, 2장씩 겹쳐진 상태로 상승된 웨이퍼(W)를 보우트(B)의 사양에 맞게 삽입시킬 수 있도록 상기 회동픽커유닛(20)을 45도 회전시키는 회동픽커유닛구동모터(23)와; 상기 회동픽커유닛(20)의 각 회동픽커(21) 일단에 회전축이 결합된 상태로 설치되며, 2장씩 겹쳐진 상태로 상승된 웨이퍼(W)를 취부토록 각 회동픽커(21)를 회동시키는 회동픽커구동모터(24)로 구성되어 있다.As described above, the picker unit 11 of the rotate picker device 10 of the present invention configured as described above is located on both left and right sides of the base frame 13 fixed to the upper end of the main drive motor 12 and each picker. The wafer W, which is lifted by the elevator unit 51 from the magazine M, is fixed by the fixing frames 13a and 13b and at the same time through the vacuum action and the mutually opposite rotation action of each picker 14 and 21. And a device element mounted in a state where the opposite sides of the use face each other, that is, two sheets are stacked so that the use surfaces of the wafers W are positioned before and after each other, and the picker fixing frame 13a fixed to one side of the base frame 13. A vacuum picker 14 installed at the bottom and having one or more slots 17 for individually mounting the wafer W raised from the magazine M through a vacuum action; One or more slots are rotatably installed on both left and right ends of the picker fixing frame 13b fixed to the other side of the base frame 13, and rotated to the upper and lower sides of both sides of the wafer W, which are raised in two stacks, respectively. A rotation picker unit (20) having (22); Installed in the center of the picker fixing frame 13b fixed to the other side of the base frame 13, it can be inserted in accordance with the specifications of the boat (B) the wafer (W) raised in the state of overlapping two sheets A rotational picker unit driving motor 23 for rotating the rotational picker unit 20 by 45 degrees; Rotating pickers installed at one end of each of the rotating pickers 21 of the rotating picker unit 20 in a state in which the rotating shafts are coupled to each other, and rotating the respective pickers 21 so as to mount the raised wafers W in two overlapping states. The drive motor 24 is comprised.

여기서, 상기 진공픽커(14)의 경우 도 5에 도시한 바와 같이 전체형상이 일면에 하나 이상의 슬롯(17)을 구비한 사각판체로 형성되어 있는데, 이때 그 상단에는 각 슬롯(17)의 측면을 통해 취부된 웨이퍼(W)에 진공 흡착력이 작용되도록 진공흡입관(16)이 삽착되기 위한 진공포트(15)가 형성되어 있고, 상기 각 슬롯(17) 측면 양측에는 진공포트(15)와 연통되는 흡착구(18)가 각각 형성되어 있으며, 상기 슬롯(17)은 사각판체의 양측으로 이격된 병렬형태로 고정되어 있어, 상기 매거진(M)으로부터 엘리베이터 유닛(51)에 의해 상승된 웨이퍼(W)를 진공작용을 통해 개별적으로 취부하게 된다.Here, in the case of the vacuum picker 14, as shown in Figure 5, the overall shape is formed of a rectangular plate body having one or more slots 17 on one surface, wherein the upper side of each slot 17 is A vacuum port 15 for inserting the vacuum suction tube 16 is formed to apply a vacuum suction force to the wafer W mounted through the wafer W, and the suction port communicates with the vacuum port 15 on both sides of the slot 17. Spheres 18 are formed, respectively, and the slots 17 are fixed in parallel spaced apart on both sides of the rectangular plate body, so as to lift the wafer W raised by the elevator unit 51 from the magazine M. It is individually mounted by vacuum action.

또한, 상기 회동픽커유닛(20)의 경우 도 6에 도시한 바와 같이 베이스프레임(13)의 타측에 고정되는 픽커고정프레임(13b)의 좌우 양단에 2개의 회동픽커(21)가 각각의 회동픽커구동모터(24)와 연결된 상태로 설치되어 상기 각 회동픽커구동모터(24)의 회전작용에 따라 각기 시계방향 및 반시계방향으로 회동함과 아울러, 상기 픽커고정프레임(13b)의 중앙에 관통 설치된 회동픽커유닛구동모터(23)의 회전 작용에 따라 상기 회동픽커유닛(20) 즉, 각 회동픽커(21)가 고정된 픽커고정프레임(13b)을 45도 각도로 회전하게 되는데, 이때 상기 각 회동픽커(21)의 경우 전체형상이 일면에 하나 이상의 슬롯(22)을 구비한 사각판체로 형성되어 있어, 상기 2장씩 겹쳐진 상태로 상승된 웨이퍼(W)의 양측면 상하측으로 각각 회동하여 하나의 슬롯(22)에 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 취부하게 된다.In addition, in the case of the pivoting picker unit 20, as shown in FIG. 6, two pivoting pickers 21 are provided at respective left and right ends of the picker fixing frame 13b fixed to the other side of the base frame 13. Installed in connection with the drive motor 24 is rotated in the clockwise and counterclockwise direction, respectively, in accordance with the rotation action of each of the rotary picker driving motor 24, and installed through the center of the picker fixing frame (13b) According to the rotation of the pivot picker unit driving motor 23, the pivot picker unit 20, that is, each pivot picker 21, rotates the fixed picker frame 13b at a 45 degree angle. In the case of the picker 21, the entire shape is formed of a rectangular plate body having one or more slots 22 on one surface thereof, and is rotated to the upper and lower sides of both sides of the wafer W, which are raised in the state of being superimposed on two sheets, and one slot ( 22) take a wafer (W) superimposed on 2 sheets It is.

이와 더불어, 상기 각 회동픽커(21)를 시계방향 및 반시계방향으로 회동시키는 회동픽커구동모터(24)와 상기 회동픽커유닛(20)을 45도 각도로 회전시키는 회동픽커유닛구동모터(23)의 경우 입력 펄스 수와 모터의 회전각도가 완전히 비례하여 펄스 신호를 줄 때마다 일정한 각도씩 회전하는 모터 즉, 입력 펄스 수에 대응하여 일정 각도씩 움직여 회전각도를 정확하게 제어할 수 있는 스텝모터를 사용함이 바람직하다.In addition, the pivoting picker driving motor 24 for rotating the pivoting pickers 21 clockwise and counterclockwise and the pivoting picker unit driving motor 23 for rotating the pivoting picker unit 20 at a 45 degree angle. In this case, the motor rotates by a certain angle every time the pulse signal is given in proportion to the number of input pulses and the rotation angle of the motor. That is, it uses a step motor that can control the rotation angle accurately by moving it by a certain angle corresponding to the input pulse number This is preferred.

그리고, 본 발명의 로테이트 픽커장치(10) 중 상기 사이드푸셔유닛(30)의 경우 전술한 바와 같이 픽커유닛(11)의 상단 일측 즉, 회동픽커유닛(20)의 상단에 설치되어 상기 회동픽커유닛(20)의 작동에 따른 웨이퍼(W)를 취부하기에 앞서 2장씩 겹쳐진 상태로 상승된 웨이퍼(W)를 한쪽으로 밀어서 정렬시키는 장치적 요소로서, 도 7에 도시한 바와 같이 픽커유닛(11) 중 회동픽커유닛(20) 즉, 베이스프레임(13)의 타측에 고정되는 픽커고정프레임(13b)의 상단 좌우 양측에 고정되는 수직블록(31)과; 상기 수직블록(31) 상단에 고정되며, 중앙이 개방된 수평지지판(32)과; 상기 수평지지판(32)의 일측 중앙 하단에 고정되며, 로드(34)의 길이가변작용을 통해 2장씩 겹쳐진 상태로 상승된 웨이퍼(W)를 한쪽으로 밀어 정렬시키기 위한 웨이 퍼정렬바(36)를 승하강시키는 푸셔실린더(33)와; 상기 수평지지판(32)의 일측 양단에 각각 관통하여 설치되며, 푸셔실린더(33)의 작동에 따라 승하강하는 웨이퍼정렬바(36)를 안내하는 가이드봉(35)과; 상기 푸셔실린더(33)의 로드(34) 하단 및 가이드봉(35)의 하단에 바의 중앙 및 양단이 각각 고정되며, 푸셔실린더(33)의 작동 시 로드(34)와 함께 동일방향으로 하강하여 회동픽커유닛(20)의 작동에 따른 웨이퍼(W)를 취부하기에 앞서 상기 2장씩 겹쳐진 상태로 상승된 웨이퍼(W)를 한쪽으로 밀어 정렬시키는 웨이퍼정렬바(36)와; 상기 가이드봉(35)의 상단에 연결 고정되며, 푸셔실린더(33)의 작동에 따른 웨이퍼정렬바(36)의 승하강 시 가이드봉(35)의 승하강작용이 동일하게 이루어지도록 하는 연결바(37)로 구성되어 있다.In addition, in the case of the side pusher unit 30 of the rotate picker device 10 of the present invention, as described above, an upper end side of the picker unit 11, that is, an upper end of the rotation picker unit 20 is installed. Prior to mounting the wafer W according to the operation of the operation 20, the picker unit 11 as shown in FIG. A vertical block 31 fixed to the left and right both sides of the pivot picker unit 20, that is, the picker fixing frame 13b fixed to the other side of the base frame 13; A horizontal support plate 32 fixed to an upper end of the vertical block 31 and having an open center; The wafer alignment bar 36 is fixed to one of the center lower ends of the horizontal support plate 32 and pushes the wafers W, which are raised in the state of overlapping two by one, through the variable length of the rod 34 to one side. A pusher cylinder 33 for raising and lowering; Guide rods 35 installed at both ends of one side of the horizontal support plate 32 and for guiding the wafer alignment bar 36 to move up and down according to the operation of the pusher cylinder 33; The center and both ends of the bar are fixed to the lower end of the rod 34 and the lower end of the guide rod 35 of the pusher cylinder 33, respectively, and are lowered in the same direction together with the rod 34 when the pusher cylinder 33 is operated. A wafer alignment bar 36 for pushing and aligning the wafers W, which are raised in two overlapping states, to one side before mounting the wafers W according to the operation of the rotation picker unit 20; The connection bar is fixed to the upper end of the guide bar 35, the connection bar to make the lifting and lowering action of the guide bar 35 when the lifting and lowering of the wafer alignment bar 36 according to the operation of the pusher cylinder 33 ( 37).

이하, 본 발명의 로테이트 픽커장치(10)에 대한 작동과정을 첨부된 도면과 대비하여 그 실시예를 바람직하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the present invention is described in detail with reference to the accompanying drawings the operation of the rotate picker device 10 of the present invention.

도 8a 내지 도 8h는 본 발명에 대한 로테이트 픽커장치의 작동 상태도를 나타낸 것이다.8A to 8H show an operational state diagram of the rotate picker device according to the present invention.

먼저, 본 발명이 적용된 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템(1) 중 픽커 트랜스퍼 유닛(40)의 이송대(41) 상단에 설치된 로테이트 픽커장치(10) 중 메인구동모터(12)의 회전작용을 통해 픽커유닛(11)의 진공픽커(14) 즉, 베이스프레임(13)의 일측에 고정되는 픽커고정프레임(13a) 하단에 설치 고정된 진공픽커(14)가 로딩된 두 개의 매거진(M) 측으로 회동 위치된 상태에서 로딩된 두 개의 매거진(M) 중 일측의 매거진(M)으로부터 엘리베이터 유닛(51)을 통해 웨이퍼(W)가 상승하여 상기 진공픽커(14)의 일면에 병렬형태로 다수 형성된 각 슬롯(17) 사이로 삽입되게 되 면, 도 8a에 도시한 바와 같이 상기 진공픽커(14)의 일면에 병렬형태로 형성된 각 슬롯(17)의 측면 양측에 형성된 흡착구(18)를 통해 상기 각 슬롯(17) 사이에 삽입된 웨이퍼(W)에 상기 진공포트(15)에 삽착된 진공흡입관(16)의 진공작용에 따른 진공 흡착력이 작용되면서 상기 각 슬롯(17) 측면에 웨이퍼(W)가 개별적으로 진공 흡착되어 취부되게 된다.First, the picker unit is rotated through the rotation of the main drive motor 12 of the rotate picker device 10 installed on the transfer table 41 of the picker transfer unit 40 of the solar cell wafer transfer system 1 to which the present invention is applied. The vacuum picker 14 (11), that is, the vacuum picker 14 fixed to the bottom of the picker fixing frame 13a fixed to one side of the base frame 13 is rotated to the two magazine (M) side loaded Each slot 17 formed in parallel on one surface of the vacuum picker 14 by raising the wafer W from the magazine M on one side of the two magazines M loaded in the state through the elevator unit 51. When inserted between the slots, each slot 17 through the suction holes 18 formed on both sides of the side of each slot 17 formed in parallel on one surface of the vacuum picker 14 as shown in Figure 8a Vacuum suction inserted in the vacuum port 15 to the wafer (W) inserted between As the vacuum suction force of the vacuum action of the pipe 16 serves the wafer (W) on the side of the respective slots 17 are presented individually to the vacuum suction mount.

이와 같이 상기 진공픽커(14)의 진공작용을 통해 각 슬롯(17)에 웨이퍼(W)가 개별적으로 취부된 상태에서 상기 이송대(41)의 이송작용에 따라 이웃한 타측의 매거진(M) 측으로 이송되게 되면, 도 8b에 도시한 바와 같이 이 역시 타측의 매거진(M)으로부터 엘리베이터 유닛(51)을 통해 웨이퍼(W)가 상승하여 이의 사용 반대측면과 상기 진공픽커(14)의 각 슬롯(17)에 취부된 웨이퍼(W)의 사용 반대측면이 서로 면착되는 상태로 상기 진공픽커(14)의 각 슬롯(17)까지 상승하게 되고, 이의 상승작용을 통해 상기 진공픽커(14)의 각 슬롯(17)에 웨이퍼(W)가 2장씩 겹쳐진 상태로 취부가 완료되게 되면, 도 8c에 도시한 바와 같이 상기 진공픽커(14)에 작용되었던 진공 흡착력 즉, 각 슬롯(17)의 측면 양측에 형성된 흡착구(18)에 작용되었던 진공 흡착력이 해제되면서 상기 진공픽커(14)로부터 2장씩 겹쳐진 상태의 웨이퍼(W)가 분리됨과 동시에 상기 엘리베이터 유닛(51)의 하강작용을 통해 상기 2장씩 겹쳐진 상태의 웨이퍼(W)가 하강하여 상기 타측의 매거진(M) 상단 일정높이에 위치하게 된다.In this way, the wafer W is individually mounted to each slot 17 through the vacuum action of the vacuum picker 14, and the other side of the magazine M is adjacent to the other side according to the transfer action of the transfer table 41. When transferred, as shown in FIG. 8B, the wafer W is also raised from the magazine M on the other side through the elevator unit 51 so that its opposite side and each slot 17 of the vacuum picker 14 are used. ) To the respective slots 17 of the vacuum picker 14 in a state in which the opposite sides of the wafer W attached to each other are in contact with each other, and through the synergism thereof, each slot of the vacuum picker 14 17, when the mounting is completed in the state in which the wafers W are overlapped by two sheets, as shown in FIG. 8C, the vacuum suction force applied to the vacuum picker 14, that is, the adsorption formed on both sides of each slot 17 While the vacuum suction force applied to the sphere 18 is released, the vacuum picker ( The wafer W in the state where the two sheets overlap each other is separated from the wafer 14 and at the same time, the wafer W in the state where the two sheets overlap each other is lowered by the lowering action of the elevator unit 51, and the predetermined height of the upper side of the magazine M on the other side is lowered. It is located at.

그리고, 상기와 같이 진공작용의 해제에 따라 상기 진공픽커(14)로부터 분리 하강하여 타측의 매거진(M) 상단 일정높이에 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)가 위치 하게 되면, 도 8d에 도시한 바와 같이 본 발명의 로테이트 픽커장치(10) 중 반대방향으로 회전하는 메인구동모터(12)의 회전작용을 통해 픽커유닛(11)의 회동픽커유닛(20) 즉, 베이스프레임(13)의 타측에 고정되는 픽커고정프레임(13b)의 좌우 양단에 2개의 회동픽커(21)가 각각의 회동픽커구동모터(24)와 연결 설치됨과 동시에 상기 픽커고정프레임(13b)의 중앙에 회동픽커유닛구동모터(23)가 설치된 조합구조의 회동픽커유닛(20)이 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)가 위치한 타측의 매거진(M) 측으로 회동 위치하게 되고, 상기와 같이 타측의 매거진(M) 측으로 회동 위치한 회동픽커유닛(20)은 상기 픽커고정프레임(13b)의 중앙에 회전축이 관통하여 설치된 회동픽커유닛구동모터(23)의 회전작용을 통해 상기 회동픽커유닛(20) 즉, 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 취부하여 이웃한 보우트(B)의 사양에 맞게 삽입시킬 수 있도록 각 회동픽커(21)가 양단에 고정된 픽커고정프레임(13b)을 45도 각도로 회전시킴과 동시에 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)가 엘리베이터 유닛(51)의 상승작용을 통해 상기 회전된 회동픽커유닛(20) 측까지 상승하게 된다.Then, as described above, when the wafer W, which is separated from the vacuum picker 14 and descends from the vacuum picker 14 on the other side of the magazine M at a predetermined height, is positioned as shown in FIG. 8D. As described above, the pivot picker unit 20 of the picker unit 11 is fixed to the other side of the base frame 13 through the rotation of the main drive motor 12 rotating in the opposite direction of the rotate picker device 10 of the present invention. Two pivoting pickers 21 are connected to each of the pivoting picker driving motors 24 at right and left ends of the picker fixing frame 13b, and at the same time, the pivoting picker unit driving motors 23 are arranged in the center of the picker fixing frame 13b. ), The pivoting picker unit 20 of the combination structure provided is rotated to the magazine M side of the other side on which the two wafers W are stacked, and the pivoting picker unit pivoting to the other magazine M side as described above. 20, the picker fixed frame The rotary picker unit 20, that is, the wafer W, which is stacked on two sheets, is mounted by rotating the rotary picker unit driving motor 23 installed through the rotation shaft in the center of the 13b. Each pivot picker 21 rotates the picker fixing frame 13b fixed at both ends at a 45 degree angle, and the two stacked wafers W act as a lifter of the elevator unit 51 so that the pivot picker 21 can be inserted according to the specification. It is raised to the rotated pivot picker unit 20 side through.

이후, 상기와 같이 회전된 회동픽커유닛(20) 측까지 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)가 엘리베이터 유닛(51)에 의해 상승하게 되면, 상기 회동픽커구동모터(24)에 의해 시계방향 및 반시계방향으로 회동하는 각 회동픽커(21)로 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 취부하기에 앞서, 도 8e에 도시한 바와 같이 회동픽커유닛(20)의 상단 일측에 설치된 사이드푸셔유닛(30) 즉, 푸셔실린더(33)의 작동에 따라 길이신장을 이루는 로드(34)와 함께 웨이퍼정렬바(36)가 가이드봉(35)의 가이드작용을 통해 동일방향으로 하강하여 상기 2장씩 겹쳐진 상태로 상승된 웨이퍼(W)를 한쪽으로 밀어 정렬 시킨 다음, 도 8f에 도시한 바와 같이 상기 각 회동픽커(21)와 상호 연결된 각 회동픽커구동모터(24)의 회전작용에 따라 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W) 측으로 상기 각 회동픽커(21)가 각기 시계방향 및 반시계방향으로 회동하되, 상기와 같이 회동픽커유닛구동모터(23)의 회전작용을 통해 픽커고정프레임(13b)이 45도 각도로 회전 경사짐에 따라 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)의 양측면 상하측으로 각각 회동하여 하나의 슬롯(22)에 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)가 삽입되도록 취부하게 된다.Subsequently, when the wafers W overlapped by two to the side of the rotating picker unit 20 rotated as described above are lifted by the elevator unit 51, the clockwise and counterclockwise directions are driven by the rotating picker driving motor 24. Prior to attaching the wafers W superimposed on each of the pivoting pickers 21 rotated with each other, as shown in FIG. 8E, the side pusher unit 30, that is, the pusher, installed on one side of the upper side of the pivoting picker unit 20 is shown. The wafer alignment bar 36 descends in the same direction through the guide action of the guide rod 35 along with the rod 34 constituting a length extension according to the operation of the cylinder 33, and the wafers are raised in the state of being overlapped by two sheets ( After aligning W) to one side, as shown in FIG. 8F, the two pieces of the wafer picker driving motors 24 interconnected with the respective picking pickers 21 are rotated to the side of the wafers W which are overlapped by two. Each pivot picker 21 is clockwise and half Rotate in the system direction, and as the picker fixing frame 13b rotates at an angle of 45 degrees through the rotation of the pivoting picker unit driving motor 23 as described above, respectively, on both sides of the wafers W stacked on both sides of the wafer W. It is mounted so that the wafers W, which are rotated and inserted in two slots, are inserted.

그리고, 상기와 같이 각 회동픽커(21)의 회동작용을 통해 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 취부하게 되면, 도 8g에 도시한 바와 같이 상승하였던 엘리베이터 유닛(51)이 타측의 매거진(M) 아래로 하강함과 동시에 반대방향으로 회전하는 회동픽커유닛구동모터(23)의 회전작용을 통해 45도 각도로 회전되었던 회동픽커유닛(20)이 원위치로 회전되면서 상기 회동픽커유닛(20)의 각 회동픽커(21)에 취부된 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)는 이의 회전작용을 통해 오히려 45도 각도로 회전하여 마름모 형태를 형성하게 되며, 이후 반대방향으로 회전하였던 메인구동모터(12)의 원위치 회전작용을 통해 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 취부하고 있는 회동픽커유닛(20)은 보우트(B) 측으로, 상기 진공픽커(14)는 타측의 매거진(M) 측으로 회전 위치하게 됨과 동시에 도 8e에서와 같이 웨이퍼(W)를 한쪽으로 밀어 정렬시키기 위해 작용되었던 사이드푸셔유닛(30)의 작동을 해제함으로써 길이신장을 이뤘던 로드(34)의 길이단축과 함께 웨이퍼정렬바(36) 역시 웨이퍼(W)의 한쪽면으로부터 분리 상승하게 된다.Then, as described above, when the wafers W, which are stacked two by one through the pivoting action of each of the pivoting pickers 21, are mounted, the elevator unit 51, which has risen as shown in Fig. 8G, is under the other magazine M. Rotating picker unit 20 rotated to an angle of 45 degrees by the rotation action of the rotating picker unit driving motor 23 rotates in the opposite direction and at the same time rotates to the respective positions of the pivoting picker unit 20 The two wafers W stacked on the picker 21 are rotated at an angle of 45 degrees to form a rhombus shape through the rotation of the picker 21, and then the in-situ rotation of the main driving motor 12 rotated in the opposite direction. The rotating picker unit 20 mounting the two stacked wafers W through the bolt B side and the vacuum picker 14 are rotated to the other side of the magazine M side and the same as in FIG. 8E. As wafer (W The wafer alignment bar 36 is also separated from one side of the wafer W together with the shortening of the length of the rod 34, which has been extended by releasing the side pusher unit 30 which has been operated to push the side to one side. Will rise.

이후, 본 발명의 로테이트 픽커장치(10)의 마지막 작동과정으로서, 도 8h에 도시한 바와 같이 상기 보우트(B)로부터 엘리베이터 유닛(55)이 상승하여 상기 회동픽커유닛(20)에 취부되었던 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)의 하단이 삽입되도록 취부한 다음 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 취부하고 있던 각 회동픽커(21)가 상기 각 회동픽커구동모터(24)의 원위치 회전에 따라 각기 회동되었던 반대방향으로 회동하게 되면서 상기 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 취부하고 있던 각 회동픽커(21)의 파지상태가 해제된 후 상기 엘리베이터 유닛(55)이 보우트(B) 아래로 하강함과 동시에 상기 보우트(B)의 각 슬롯(Bs)에 2장씩 겹쳐진 웨이퍼(W)를 안착 취부시킴으로써, 본 발명의 로테이트 픽커장치(10)에 대한 작동과정이 종료되게 된다.Then, as a final operation of the rotate picker device 10 of the present invention, as shown in Figure 8h, the elevator unit 55 is lifted from the boat (B) by two sheets each mounted on the rotation picker unit 20 After the lower end of the overlapped wafer W is inserted, the rotational pickers 21 which are mounted on the two overlapped wafers W are rotated in accordance with the in-situ rotation of the respective rotation picker driving motors 24. And the elevator unit 55 descends below the boat B while the holding state of each of the pivoting pickers 21, which are mounted on the two stacked wafers W, is released. By mounting and mounting the wafers W superposed on each of the two slots Bs, B, the operation process for the rotate picker device 10 of the present invention is completed.

이상에서와 같이 상술한 실시예는 본 발명의 가장 바람직한 예에 대하여 설명한 것이지만 상기 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변형이 가능하다는 것은 당업자에게 있어서 명백한 것이다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described for illustrative purposes, those skilled in the art will appreciate that various modifications, additions and substitutions are possible, without departing from the scope and spirit of the invention as disclosed in the accompanying claims. .

도 1은 본 발명이 적용된 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템을 개략적으로 나타낸 사시도.1 is a perspective view schematically showing a solar cell wafer transfer system to which the present invention is applied.

도 2는 본 발명에 대한 로테이트 픽커장치의 사시도.Figure 2 is a perspective view of a rotate picker device according to the present invention.

도 3은 본 발명에 대한 로테이트 픽커장치의 정면도 및 측면도.3 is a front view and a side view of a rotate picker device according to the present invention.

도 4는 본 발명에 대한 로테이트 픽커장치의 평면도.Figure 4 is a plan view of a rotate picker device according to the present invention.

도 5는 본 발명에 대한 로테이트 픽커장치 중 진공픽커의 사시도 및 세부 상세도.Figure 5 is a perspective view and detail of the vacuum picker of the rotate picker device for the present invention.

도 6은 본 발명에 대한 로테이트 픽커장치 중 회동픽커유닛의 결합 사시도 및 세부 상세도.Figure 6 is a perspective view and a detailed combined view of the rotation picker unit of the rotate picker device for the present invention.

도 7은 본 발명에 대한 로테이트 픽커장치 중 사이드푸셔유닛의 결합 사시도.7 is a perspective view of the side pusher unit of the rotate picker device according to the present invention.

도 8a 내지 도 8h는 본 발명에 대한 로테이트 픽커장치의 작동 상태도.8a to 8h is an operating state diagram of the rotate picker device according to the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

1. 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템 10. 로테이트 픽커장치1. Solar Cell Wafer Transfer System 10. Rotate Picker

11. 픽커유닛 12. 메인구동모터11. Picker unit 12. Main drive motor

13. 베이스프레임 13a, 13b. 픽커고정프레임13. Baseframes 13a and 13b. Picker Frame

14. 진공픽커 15. 진공포트14. Vacuum Picker 15. Vacuum Port

16. 진공흡입관 17, 22. 슬롯16. Vacuum suction line 17, 22. Slot

18. 흡착구 20. 회동픽커유닛18. Suction Hole 20. Rotating Picker Unit

21. 회동픽커 23. 회동픽커유닛구동모터21. Rotating picker 23. Rotating picker unit driving motor

24. 회동픽커구동모터 30. 사이드푸셔유닛24. Rotating picker drive motor 30. Side pusher unit

31. 수직블록 32. 수평지지판31. Vertical block 32. Horizontal support plate

33. 푸셔실린더 34. 로드33. Push cylinder 34. Rod

35. 가이드봉 36. 웨이퍼정렬바35. Guide bar 36. Wafer alignment bar

37. 연결바 40. 픽커 트랜스퍼 유닛37. Connecting bar 40. Picker transfer unit

41. 이송대 50. 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛41. Transfer table 50. Elevator and transfer unit

51. 매거진 엘리베이터 유닛 52, 56. 픽커51. Magazine elevator unit 52, 56. Picker

55. 보우트 엘리베이터 유닛 60. 매거진 및 보우트 로더 유닛55. Boat elevator unit 60. Magazine and boat loader unit

61. 매거진 로더 유닛 62. 중앙실린더61. Magazine loader unit 62. Central cylinder

63. 측면실린더 65. 보우트 로더 유닛63. Side cylinder 65. Bolt loader unit

B. 보우트 Bs. 보우트 슬롯B. Boat Bs. Bolt slot

M. 매거진 Ms. 매거진 슬롯M. Magazine Ms. Magazine slot

W. 웨이퍼W. Wafer

Claims (5)

로테이트 픽커 유닛, 픽커 트랜스퍼 유닛, 엘리베이터 및 트랜스퍼 유닛, 매거진 및 보우트 로더 유닛으로 구성된 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템에 있어서,A solar cell wafer transfer system comprising a rotate picker unit, a picker transfer unit, an elevator and a transfer unit, a magazine and a boat loader unit, 상기 로테이트 픽커 유닛은, 메인구동모터의 상단에 고정된 베이스프레임의 좌우 양측에 위치됨과 동시에 각 픽커고정프레임을 통해 고정되며, 각 픽커의 진공작용 및 서로 대향된 회동작용을 통해 매거진으로부터 엘리베이터 유닛에 의해 상승된 웨이퍼를 개별 및 2장씩 겹쳐진 상태로 취부하는 픽커유닛과;The rotate picker unit is located on both the left and right sides of the base frame fixed to the top of the main drive motor and is fixed through each picker fixing frame, and the vacuum unit of each picker and the rotational operation opposite to each other from the magazine to the elevator unit. A picker unit for attaching the wafers lifted by the stacks individually and in two sheets; 상기 픽커유닛의 상단 일측에 설치되며, 2장씩 겹쳐진 웨이퍼를 한쪽으로 밀어서 정렬시키는 사이드푸셔유닛과;A side pusher unit installed at one side of the upper side of the picker unit and configured to push the two stacked wafers to one side; 상기 픽커 트랜스퍼 유닛의 이송대 상단에 고정되며, 매거진으로부터 상승되어 픽커유닛에 취부된 웨이퍼를 이웃한 보우트 측으로 회전시키는 메인구동모터로 구성된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 로테이트 픽커장치.The fixed picker device of the solar cell wafer transfer system, which is fixed to the upper end of the transfer table of the picker transfer unit and comprises a main drive motor which is lifted from the magazine and rotates the wafer attached to the picker unit toward the neighboring boat. 제 1 항에 있어서, 상기 픽커유닛은 베이스프레임의 일측에 고정되는 픽커고정프레임 하단에 설치되며, 매거진으로부터 상승된 웨이퍼를 진공작용을 통해 개별적으로 취부하는 진공픽커와;The apparatus of claim 1, wherein the picker unit comprises: a vacuum picker installed at a lower end of the picker fixing frame fixed to one side of the base frame and separately mounting wafers lifted from a magazine through a vacuum action; 상기 베이스프레임의 타측에 고정되는 픽커고정프레임의 좌우 양단에 회동 가능하게 설치되며, 2장씩 겹쳐진 상태로 상승된 웨이퍼의 양측면 상하측으로 각각 회동하여 취부하는 회동픽커유닛과;A rotation picker unit rotatably installed at both ends of left and right sides of the picker fixing frame fixed to the other side of the base frame, and rotated and mounted to upper and lower sides of both sides of the raised wafer in an overlapping state; 상기 베이스프레임의 타측에 고정되는 픽커고정프레임의 중앙에 관통된 상태로 설치되며, 2장씩 겹쳐진 상태로 상승된 웨이퍼를 보우트의 사양에 맞게 삽입시킬 수 있도록 상기 회동픽커유닛을 45도 회전시키는 회동픽커유닛구동모터와;The pivoting picker is installed in a state penetrated in the center of the picker fixing frame fixed to the other side of the base frame, and rotates the pivoting picker unit by 45 degrees so that the wafers can be inserted in accordance with the specifications of the boat in a state where the two sheets overlap each other. A unit driving motor; 상기 회동픽커유닛의 각 회동픽커 일단에 회전축이 결합된 상태로 설치되며, 2장씩 겹쳐진 상태로 상승된 웨이퍼를 취부토록 각 회동픽커를 회동시키는 회동픽커구동모터로 구성된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 로테이트 픽커장치.Solar cell wafer transfer, characterized in that the rotary picker drive motor is installed in one rotation picker of the rotation picker unit is coupled to each other, the rotation picker driving motor to rotate the respective picker to mount the raised wafer in the state of overlapping two sheets Rotate picker device of the system. 제 2 항에 있어서, 상기 진공픽커는 전체형상이 일면에 하나 이상의 슬롯을 구비한 사각판체로 형성되되, 그 상단엔 진공 흡착력이 각 슬롯 측면을 통해 취부된 웨이퍼에 진공 흡착력이 작용되도록 진공흡입관이 삽착되기 위한 진공포트가 형성되고, 상기 각 슬롯 측면 양측에는 진공포트와 연통되는 흡착구가 각각 형성되며, 상기 슬롯은 사각판체의 양측으로 이격된 병렬형태로 고정된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 로테이트 픽커장치.The vacuum pick-up tube of claim 2, wherein the vacuum picker is formed as a rectangular plate body having one or more slots on one surface thereof, and a vacuum suction pipe is applied on the upper end thereof so that the vacuum suction force is applied to the wafer mounted through the side of each slot. A vacuum port for insertion is formed, and suction holes communicating with the vacuum port are formed on both sides of each slot side, and the slots are fixed in a solar cell wafer transfer, characterized in that being fixed in parallel spaced to both sides of the square plate body. Rotate picker device of the system. 제 2 항에 있어서, 상기 회동픽커유닛의 각 회동픽커는 전체형상이 일면에 하나 이상의 슬롯을 구비한 사각판체로 형성된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 로테이트 픽커장치.The rotate picker device of a solar cell wafer transfer system according to claim 2, wherein each pivot picker of the pivot picker unit is formed in a rectangular plate body having one or more slots on one surface thereof. 제 2 항에 있어서, 상기 사이드푸셔유닛은 베이스프레임의 타측에 고정되는 픽커고정프레임의 상단 좌우 양측에 고정되는 수직블록과;According to claim 2, The side pusher unit and the vertical block is fixed to the upper left and right both sides of the picker fixing frame fixed to the other side of the base frame; 상기 수직블록 상단에 고정되며, 중앙이 개방된 수평지지판과;A horizontal support plate fixed at an upper end of the vertical block and having an open center; 상기 수평지지판의 일측 중앙 하단에 고정되며, 로드의 길이가변작용을 통해 2장씩 겹쳐진 상태로 상승된 웨이퍼를 한쪽으로 밀어 정렬시키기 위한 웨이퍼정렬바를 승하강시키는 푸셔실린더와;A pusher cylinder which is fixed to a lower side of one side of the horizontal support plate and moves up and down a wafer alignment bar for pushing and aligning the wafers which are raised to one side through the length-variable action of the rod to one side; 상기 수평지지판의 일측 양단에 각각 관통하여 설치되며, 푸셔실린더의 작동에 따라 승하강하는 웨이퍼정렬바를 안내하는 가이드봉과;A guide rod which penetrates through both ends of one side of the horizontal support plate and guides the wafer alignment bar to move up and down according to the operation of the pusher cylinder; 상기 푸셔실린더의 로드 하단 및 가이드봉의 하단에 바의 중앙 및 양단이 각각 고정되며, 푸셔실린더의 작동 시 로드와 함께 동일방향으로 하강하여 회동픽커유닛의 작동에 따른 웨이퍼를 취부하기에 앞서 상기 2장씩 겹쳐진 상태로 상승된 웨이퍼를 한쪽으로 밀어 정렬시키는 웨이퍼정렬바와;The center and both ends of the bar are fixed to the lower end of the rod of the pusher cylinder and the lower end of the guide rod, respectively, and each of the two sheets is lowered in the same direction together with the rod when the pusher cylinder is operated before mounting the wafer according to the operation of the pivoting picker unit. A wafer alignment bar which pushes and aligns the wafers raised in an overlapped state to one side; 상기 가이드봉의 상단에 연결 고정되며, 푸셔실린더의 작동에 따른 웨이퍼정렬바의 승하강 시 가이드봉의 승하강작용이 동일하게 이루어지도록 하는 연결바로 구성된 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 로테이트 픽커장치.The fixed picker device of the solar cell wafer transfer system is fixed to the upper end of the guide rod, characterized in that the connection bar is configured to make the lifting and lowering action of the guide bar when the lowering of the wafer alignment bar according to the operation of the pusher cylinder.
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