KR20130045190A - 구리층 및/또는 구리합금층을 포함하는 금속막용 에칭액 조성물 및 그것을 이용한 에칭방법 - Google Patents

구리층 및/또는 구리합금층을 포함하는 금속막용 에칭액 조성물 및 그것을 이용한 에칭방법 Download PDF

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겐지 구로이와
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    • C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
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