KR20130044572A - 액정표시장치용 러빙장치 및 러빙방법 - Google Patents

액정표시장치용 러빙장치 및 러빙방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20130044572A
KR20130044572A KR1020110108699A KR20110108699A KR20130044572A KR 20130044572 A KR20130044572 A KR 20130044572A KR 1020110108699 A KR1020110108699 A KR 1020110108699A KR 20110108699 A KR20110108699 A KR 20110108699A KR 20130044572 A KR20130044572 A KR 20130044572A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
rubbing
liquid crystal
injection
crystal display
liquid
Prior art date
Application number
KR1020110108699A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101280635B1 (ko
Inventor
손홍배
이정하
김건우
Original Assignee
하이디스 테크놀로지 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 하이디스 테크놀로지 주식회사 filed Critical 하이디스 테크놀로지 주식회사
Priority to KR1020110108699A priority Critical patent/KR101280635B1/ko
Publication of KR20130044572A publication Critical patent/KR20130044572A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101280635B1 publication Critical patent/KR101280635B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1337—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
    • G02F1/13378—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by treatment of the surface, e.g. embossing, rubbing or light irradiation
    • G02F1/133784—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by treatment of the surface, e.g. embossing, rubbing or light irradiation by rubbing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
    • B05D1/28—Processes for applying liquids or other fluent materials performed by transfer from the surfaces of elements carrying the liquid or other fluent material, e.g. brushes, pads, rollers
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

본 발명은 액정표시장치용 러빙장치 및 러빙방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는, 적어도 하나의 노즐을 포함하는 분사수단이 러빙방향과 나란한 방향으로 진행하며 러빙액을 분사하여 비접촉식으로 러빙함으로써, 접촉식 러빙에 의한 이물질 발생, 러빙포의 정전기로 인한 TFT의 손상 및 배향불량의 발생없이 균일한 러빙홈을 형성할 수 있으며, 이로 인하여 화질을 향상시킨 액정표시장치용 러빙장치 및 러빙방법에 관한 것이다.

Description

액정표시장치용 러빙장치 및 러빙방법{RUBBING APPARATUS AND RUBBING METHOD FOR LIQUID CRYSTAL DISPLAY}
본 발명은 액정표시장치용 러빙장치 및 러빙방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는, 적어도 하나의 노즐을 포함하는 분사수단이 러빙방향과 나란한 방향으로 진행하며 러빙액을 분사하여 비접촉식으로 러빙함으로써, 접촉식 러빙에 의한 이물질 발생, 러빙포의 정전기로 인한 TFT의 손상 및 배향불량의 발생없이 균일한 러빙홈을 형성할 수 있으며, 이로 인하여 화질을 향상시킨 액정표시장치용 러빙장치 및 러빙방법에 관한 것이다.
일반적으로 LCD(Liquid Crystal Display)는 광학적 이방성을 나타내는 액정의 배열특성에 따라 액정층을 투과하는 빛의 양을 조절함으로써 이미지가 표현되는 장치이다. 액정분자의 배열특성을 제어하는 것은 액정표시장치의 구성에서 필수적인 기술이다.
액정분자의 배열을 위해 액정물질을 유리기판 사이에 도입하는 것만으로 균일한 분자배열상태를 얻는 것은 어렵기 때문에, 기판 내에 액정을 한 방향으로 배향시킬 수 있는 여러 방법이 도입되었는데 그 중 가장 보편적으로 응용되고 있는 방법이 러빙공정(Rubbing)이다.
도 1 내지 도 2를 참조하면, 종래의 러빙공정이란 폴리이미드(polyimide) 등의 액정배향막이 형성된 기판상에 러빙포가 감긴 러빙롤(R)의 균일한 회전속도와 압력으로 러빙롤(R) 또는 스테이지(S)의 속도를 유지하면서, 액정배향막 표면을 코튼이나 나일론 같은 러빙포를 이용하여 일정한 방향으로 문지르면 홈이 생겨 액정이 배향될 수 있게 하는 것이다.
즉, 스테이지(S)의 상부면에 액정배향막(20)이 형성된 기판(10)을 안착하고, 기판 상부에는 러빙포(21)가 외주연에 부착된 러빙롤(R)이 위치하여, 기판(10)과 러빙롤(R)이 접촉한 상태에서 물리적인 마찰에 의해 액정배향막(20)의 배향홈 방향을 결정하는 것이다. 이때, 스테이지(S)는 고정된 상태에서 러빙롤(R)이 회전하면서 이동하여 러빙하거나, 러빙롤(R)은 고정되어 회전하면서 스테이지(S)가 이동하여 러빙한다.
하지만, 액정배향막(20)에 직접적으로 접촉되는 러빙롤(S)의 외주연에 부착된 러빙포(21)의 어느 한 부분에 이물질이 있는 경우나 러빙포(21)가 결함이 있을 경우, 액정배향막(20)에 배향방향을 따라 배향홈을 형성할 수는 있으나 이물질 또는 러빙포(21) 결함에 의하여 액정배향막(20) 표면에 손상을 가하게 되며, 반복 러빙공정 진행시 러빙결함의 시인성은 더욱 강하게 나타나게 되어 액정표시장치의 화면품질이 저하되는 문제점이 발생된다.
또한, 러빙공정은 러빙포(21)를 액정배향막(20) 표면에 마찰시키는 과정이므로 정전기가 쉽게 발생하는 문제점이 있으며, 이러한 정전기가 발생할 경우에 액정표시장치의 미세한 배선이나 TFT에 영향을 주거나, 배향막에 영향을 주어 전기적 특성이 저하되거나 액정표시장치의 화면품질이 떨어지는 등의 문제가 발생하게 된다.
본 발명은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 접촉식 러빙에 의한 이물질 발생을 미연에 방지하고, 러빙포의 정전기로 인한 TFT의 손상 및 배향불량의 발생없이 균일한 러빙홈을 형성할 수 있으며, 이로 인하여 화질을 향상시킨 액정표시장치용 러빙장치 및 러빙방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치의 러빙장치는, 기판 위에 형성된 배향막에 소정의 러빙방향으로 러빙홈을 형성하는 액정표시장치의 러빙장치에 있어서, 상기 기판이 안착되는 스테이지; 및 상기 러빙방향과 나란한 방향으로 이동가능하며, 상기 기판방향으로 러빙액을 분사하는 분사수단;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 분사수단은 러빙각도를 조절하는 분사헤드 및 선 경사각을 조절하는 적어도 하나의 분사노즐을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 러빙액은 식각액 및 세척액을 포함하며,상기 분사수단은 상기 식각액을 분사하는 제1분사수단; 및 상기 세척액을 분사하는 제2분사수단;을 포함하고, 상기 분사수단의 진행방향을 따라 제1분사수단 및 제2분사수단이 순차적으로 배치되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 분사수단의 상기 분사노즐은 0.5 내지 10mm 간격으로 위치하고, 상기 분사노즐의 내경은 0.05 내지 5mm 인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 분사수단의 상기 분사노즐의 각도는 10 내지 80도이며, 분사압력은 0.2 내지 10kg/cm2인 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 액정표시장치의 러빙장치는 상기 제1분사수단과 상기 제2분사수단은 일정 간격 이격되어 형성되며, 잔여 식각액 및 세척액을 제거하는 에어나이프를 더 포함하는 것을 한다.
또한, 상기 분사수단의 이동속도는 20 내지 30mm/sec인 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치의 러빙방법은, 액정표시장치의 러빙방법에 있어서, 기판 위에 형성된 배향막에, 이동가능한 분사수단이 러빙방향과 나란한 방향으로 이동하며 식각액 및 세척액을 포함하는 러빙액을 분사하여 러빙하는 러빙단계;를 포함하며, 상기 러빙단계는 상기 배향막에 러빙방향과 나란한 방향으로 상기 식각액을 분사하여 러빙홈을 형성하는 식각단계; 및 상기 세척액을 분사하여 상기 러빙홈 안의 상기 식각액을 제거하는 세척단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 의한 액정표시장치의 러빙방법은 상기 세척단계 이후에, 잔여 식각액 및 세척액을 제거하기 위하여 에어나이프를 이용하여 크리닝하는 에어크리닝 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 러빙단계에서, 상기 분사수단은 러빙각도를 조절하는 분사헤드 및 선 경사각을 조절하는 적어도 하나의 분사노즐을 포함하며, 상기 분사노즐 각도는 10 내지 80도이며, 분사압력은 0.2 내지 10kg/cm2인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 러빙단계에서, 상기 식각액은 알칼리계열이며, 상기 세척액은 탈 이온수인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 러빙단계에서 상기 식각액은 글리콜에테르, 2-아미노에탄올, 폴리하이드릭알코올, 테트라메틸암모늄하이드록사이드, 벤질 알코올 또는 디에틸렌글리콜 모노부틸 에테르 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 한다.
나아가, 상기 식각단계는 180 내지 600초 동안 지속하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 액정표시장치용 러빙장치 및 러빙방법에 따르면, 적어도 하나의 노즐을 포함하는 분사수단이 러빙방향과 나란한 방향으로 진행하며 러빙액을 분사하여 비접촉식으로 러빙함으로써, 접촉식 러빙에 의한 이물질 발생을 미연에 방지하고, 러빙포의 정전기로 인한 TFT의 손상 및 배향불량의 발생없이 균일한 러빙홈을 형성할 수 있으며, 이로 인하여 화질을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
도 1은 종래의 액정표시장치용 러빙장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 종래의 액정표시장치용 러빙방법을 나타낸 공정모식도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 의한 액정표시장치용 러빙장치의 개념도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 의한 액정표시장치용 러빙장치의 사시도이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예의 러빙장치로 러빙된 액정배향막의 사시도이다.
도 6(a) 및 도 6(b)는 본 발명에 따른 러빙장치의 분사노즐의 각도에 따라 형성되는 러빙홈의 구조를 나타낸 모식도이다.
도 7은 본 발명에 따른 액정표시장치용 러빙방법을 순차적으로 나타낸 순서도이다.
이하, 본 발명에 의한 액정표시장치용 러빙장치 및 러빙방법에 대하여 바람직한 실시형태를 첨부된 도 3 내지 도 7를 참조하여 상세히 설명한다. 본 발명은 하기의 제1 실시예에 의하여 보다 더 잘 이해될 수 있으며, 하기의 제1 실시예는 본 발명의 예시 목적을 위한 것이고, 첨부된 특허 청구범위에 의하여 한정되는 보호범위를 제한하고자 하는 것은 아니다.
먼저, 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정표시장치용 러빙장치에 대하여 상세하게 설명한다. 도 3은 본 발명의 액정표시장치용 러빙장치의 개념도이며, 도 4는 본 발명의 액정표시장치용 러빙장치의 사시도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정표시장치의 러빙을 위한 러빙장치는 스테이지(S) 및 이동가능한 분사수단을 포함하여 구성된다.
상기 스테이지는(S)는 기판(10)이 안착되며 모터 등의 소정의 구동수단을 통해 기판(10)을 일 방향으로 이송할 수 있다.
도 4를 참조하면, 상기 분사수단은 스테이지(S)의 상부영역에 위치하여 기판(10)과 일정간격 이격되어 러빙방향과 나란한 방향으로 진행하며 상기 기판방향으로 러빙액을 분사하는 특징을 갖는다. 상기 러빙액은 식각액(53) 및 세척액(63)으로 구성되며, 분사수단은 식각액(53)을 분사하는 제1분사수단 및 세척액(63)을 분사하는 제2분사수단을 포함한다. 상기 분사수단의 진행방향, 즉 러빙방향을 따라서 상기 제1분사수단 및 제2분사수단이 순차적으로 배치되어 이동한다.
상기 분사수단은 제1분사수단 및 제2분사수단 각각 분사헤드(50,60) 및 분사노즐(51,61)을 포함하여 소정의 지지대(미도시)에 이동이 가능하도록 결합되어 있다. 이는 분사헤드(50,60)를 이동시켜 러빙각도를 조절할 수 있으며, 분사노즐(51,61)을 이동시켜 선경사각도를 조절할 수 있도록 구성된다. 여기서, 선경사각도(pretilt angle)이란, 인접한 액정분자의 장축이 상하 배향막에서 배향막 평면과 이루는 각을 의미하며, 액정의 초기배향각도를 결정한다.
상기 분사수단에서 상기 분사노즐(51,61)은 적어도 하나를 포함하며, 0.5 내지 10mm 간격으로 위치하는 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 분사노즐이 조밀하게 위치할수록 효과적이다. 이는 분사노즐이 조밀할수록 러빙홈이 촘촘하게 형성되어 액정분자의 배향에 도움을 주기 때문이다. 또한, 분사노즐의 내경은 0.05 내지 5mm인 것이 바람직하고, 상기 분사노즐의 내경의 크기는 식각액(53)의 점도에 따라 조절 가능하다.
도 6은 본 발명의 러빙장치의 분사노즐의 각도에 따라 형성되는 러빙홈의 모식도를 나타내었다.
구체적으로, 도 6(a)는 분사 노즐의 각도가 수직일 경우, 수직으로 형성되는 러빙홈을, 도 6(b)은 분사 노즐의 각도가 수직이 아닐 경우, 그에 따라 각도를 갖도록 형성되는 러빙홈을 나타낸다.
도 6에서 도시된 바와 같이, 분사 노즐 각도를 통해 배향홈의 깊이와 초기 배향 각도를 조절할 경우, 액정분자의 초기 배향이 용이한 장점이 있다.
또한, 도 6(b)과 같이, 분사 노즐의 각도가 수직이 아닐 경우, 상기 분사수단의 분사 노즐의 각도는 10 내지 80도이며, 분사압력은 0.2 내지 10kg/cm2인 것이 바람직하다. 여기서, 상기 분사노즐의 각도는 분사수단이 위치해 있는 스테이지와 평행한 면과 상기 분사수단에 결합되어 있는 분사노즐이 향하고 있는 방향과의 각도를 의미한다. 이 경우, 최적의 분사노즐의 각도와 분사압력을 조절함으로써 액정분자의 초기 배향을 효과적으로 할 수 있다.
상기 분사노즐의 각도가 10도 미만이거나, 상기 분사압력이 0.2kg/cm2 미만일 경우에는 러빙홈이 형성되는 효과를 미미하게 하여, 액정분자의 배향에 영향을 미치지 못하는 문제가 발생하고, 상기 분사노즐의 각도가 80도 초과이거나, 상기 분사압력이 10kg/cm2 초과일 경우에는 도 6(a)와 같이 러빙홈이 과도하게 깊게 형성됨으로써 액정배향막(20)에 천공이 생기거나 손상될 우려가 있으며, 액정분자의 초기 배향 각도가 거의 수직에 가깝게 형성되어 전체 배향각도에 영향을 미치며, 이와 같은 영향으로 액정표시장치의 성능을 저하시는 문제점이 발생한다.
또한, 상기 분사수단의 이동속도는 20 내지 30mm/sec인 것이 바람직하다. 이동속도가 20mm/sec 미만일 경우에는, 분사수단이 천천히 이동함으로써 식각액의 체류시간이 길어지고, 그에 따라 균일한 러빙홈을 형성하기 어려운 문제가 있으며, 이동속도가 30mm/sec 초과일 경우에는, 분사수단이 너무 빠르게 이동함으로써, 러빙홈이 형성되는 효과를 미미하게 하여, 액정분자의 배향에 영향을 미치지 못하는 문제가 발생한다.
또한, 잔여로 남아있는 식각액(53) 및 세척액(63)이 남아있을 경우, 추후 액정표시장치 제조공정에 불량을 야기하므로, 이를 제거하기 위하여 공기를 분사하는 에어나이프를 추가로 포함한다. 상기 에어나이프는 상기 분사수단과 일정 간격 이격되어 형성되며, 상기 분사수단의 이동방향과 동일한 방향으로 이동하는 것이 바람직하다.
다음으로, 도 7을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정표시장치용 러빙장치의 제조방법은 러빙단계(S10)을 포함하여 이루어진다.
상기 러빙단계(S10)는 기판(10) 위에 형성된 액정배향막(20)에 분사수단이 러빙방향과 나란한 방향으로 이동하며, 식각액(53) 및 세척액(63)을 포함하는 러빙액을 분사하여 러빙하는 단계를 의미한다.
여기서, 상기 식각액(53)은 알칼리계열인 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 글리콜에테르(Glycol ether), 2-아미노에탄올(2-Aminoethanol), 폴리하이드릭알코올(Polyhydric alcohol), 테트라메틸암모늄하이드록사이드(Tetramethyl Ammonium Hydroxide), 벤질 알콜(Benzyl alcohol) 또는 디에틸렌글리콜 모노부틸 에테르(Diethylene glycol monobutyl ether) 중 적어도 하나를 포함하여 이루어지는 것이 효과적이다.
또한, 상기 세척액(63)은 액정배향막(20) 및 식각액(53)과 반응하지 않는 액체면 제한없이 사용가능하며, 그 중 탈 이온수(DI water)인 것이 가장 바람직하다.
한편, 러빙단계(S10)는 식각단계(S11) 및 세척단계(S12)를 포함한다.
여기서, 상기 식각단계(S11)는 액정배향막(20)에 러빙방향으로 나란한 방향으로 식각액(53)을 분사하는 단계로써, 식각액이 액정배향막을 식각하여 일정한 러빙방향과 나란한 방향으로 러빙홈이 형성되는 단계이다.
상기 식각단계(S11)에서 식각시간은 180 내지 600초 지속하는 것이 바람직하며, 보다 바람직하게는 250 내지 500초, 가장 바람직하게는 300 내지 400초 지속하는 것이 효과적이다. 상기 식각시간이 180초 미만일 경우에는 러빙홈이 형성되는 효과를 미미하게 하여, 액정분자의 배향에 영향을 미치지 못하는 문제가 발생하고, 600초 초과일 경우에는, 러빙홈이 과도하게 깊게 형성됨으로써 액정배향막(20)에 천공이 생기거나 손상될 우려가 있으며, 이러한 불량으로 액정표시장치의 성능을 저하시는 문제점이 발생한다. 또한, 식각시간은 식각액(53)을 포함하는 분사수단과 세척액(63)을 포함하는 분사수단의 간격을 조절함으로써 어느 정도 조절 가능하다.
또한, 상기 세척단계(S12)는 세척액(63)을 분사하여 식각액(53)을 제거하면서 러빙홈을 형성하는 단계로써, 식각액이 액정배향막 전면에 머무르는 시간을 일정하게 해주며, 과도한 식각을 방지하여 균일한 러빙홈을 완성하는 단계이다. 따라서, 상기 식각단계(S11) 및 상기 세척단계(S12)는 순차적으로 이루어지는 것이 바람직하다.
나아가, 상기 세척단계(S12) 이후에, 식각액(53) 또는 세척액(63)이 잔류할 경우, 추후 액정표시장치 제조공정에 불량을 야기하는 문제가 발생하므로, 액정배향막(20) 상부에 잔류하는 식각액(53) 및 세척액(63)을 완전히 제거하기 위하여 에어나이프를 이용하여 크리닝하는 에어크리닝단계(S20)가 추가로 포함되는 것이 바람직하다. 도 5를 참조하면, 상기한 액정표시장치의 러빙방법을 통해 러빙되어 균일한 러빙홈(70)을 형성한 액정배향막을 나타내고 있다.
이처럼 적어도 하나의 노즐을 포함하는 분사수단이 러빙방향과 나란한 방향으로 진행하며 러빙액을 분사하여 비접촉식으로 러빙함으로써, 접촉식 러빙에 의한 이물질 발생을 미연에 방지하고, 러빙포의 정전기로 인한 TFT의 손상 및 배향불량의 발생없이 균일한 러빙홈을 형성할 수 있으며, 이로 인하여 화질을 효과적으로 향상시킬 수 있다.
따라서, 본 발명의 액정표시장치용 러빙장치는 상기와 같은 제1 실시예와 같이 형성됨으로써, 접촉식 러빙에 의한 불량을 효과적으로 방지하여 균일한 러빙홈을 형성함으로써, 액정표시장치의 화질을 향상시킬 수 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명은 다양한 변화와 균등물을 사용할 수 있다. 본 발명은 상기 실시예를 적절히 변형하여 동일하게 응용할 수 있음이 명확하다. 따라서 상기 기재 내용은 하기 특허청구범위의 한계에 의해 정해지는 본 발명의 범위를 한정하는 것이 아니다.
R : 러빙롤 S : 스테이지
10 : 기판 20 : 액정배향막
21 : 러빙포 50 : 식각액 분사헤드
51 : 식각액 분사노즐 53 : 식각액
60 : 세척액 분사헤드 61 : 세척액 분사노즐
63 : 세척액 70 : 러빙홈

Claims (13)

  1. 기판 위에 형성된 배향막에 소정의 러빙방향으로 러빙홈을 형성하는 액정표시장치의 러빙장치에 있어서,
    상기 기판이 안착되는 스테이지; 및
    상기 러빙방향과 나란한 방향으로 이동가능하며, 상기 기판방향으로 러빙액을 분사하는 분사수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 러빙장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 분사수단은 러빙각도를 조절하는 분사헤드 및 선 경사각을 조절하는 적어도 하나의 분사노즐을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 러빙장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 러빙액은 식각액 및 세척액을 포함하며,
    상기 분사수단은 상기 식각액을 분사하는 제1분사수단; 및
    상기 세척액을 분사하는 제2분사수단;을 포함하고,
    상기 분사수단의 진행방향을 따라 제1분사수단 및 제2분사수단이 순차적으로 배치되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 러빙장치.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 분사수단의 상기 분사노즐은 0.5 내지 10mm 간격으로 위치하고, 상기 분사노즐의 내경은 0.05 내지 5mm 인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 러빙장치.
  5. 제 2항에 있어서,
    상기 분사수단의 상기 분사노즐의 각도는 10 내지 80도이며, 분사압력은 0.2 내지 10kg/cm2인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 러빙장치.
  6. 제 2항에 있어서,
    상기 분사수단의 상기 분사노즐의 각도는 10 내지 80도이며, 분사압력은 0.2 내지 10kg/cm2인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 러빙장치.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 분사수단의 이동속도는 20 내지 30mm/sec인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 러빙장치.
  8. 액정표시장치의 러빙방법에 있어서,
    기판 위에 형성된 배향막에, 이동가능한 분사수단이 러빙방향과 나란한 방향으로 이동하며 식각액 및 세척액을 포함하는 러빙액을 분사하여 러빙하는 러빙단계;를 포함하며,
    상기 러빙단계는,
    상기 배향막에 러빙방향과 나란한 방향으로 상기 식각액을 분사하여 러빙홈을 형성하는 식각단계; 및
    상기 세척액을 분사하여 상기 러빙홈 안의 상기 식각액을 제거하는 세척단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시 장치의 러빙방법.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 세척단계 이후에, 잔여 식각액 및 세척액을 제거하기 위하여 에어나이프를 이용하여 크리닝하는 에어크리닝 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 러빙방법.
  10. 제 8항에 있어서,
    상기 러빙단계에서, 상기 분사수단은 러빙각도를 조절하는 분사헤드 및 선 경사각을 조절하는 적어도 하나의 분사노즐을 포함하며,
    상기 분사노즐 각도는 10 내지 80도이며, 분사압력은 0.2 내지 10kg/cm2인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 러빙방법.
  11. 제 8항에 있어서,
    상기 러빙단계에서, 상기 식각액은 알칼리계열이며, 상기 세척액은 탈 이온수인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 러빙방법.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 러빙단계에서 상기 식각액은 글리콜에테르, 2-아미노에탄올, 폴리하이드릭알코올, 테트라메틸암모늄하이드록사이드, 벤질 알코올 또는 디에틸렌글리콜 모노부틸 에테르 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 러빙방법.
  13. 제 8항에 있어서,
    상기 식각단계는 180 내지 600초 동안 지속하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 러빙방법.
KR1020110108699A 2011-10-24 2011-10-24 액정표시장치용 러빙장치 및 러빙방법 KR101280635B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110108699A KR101280635B1 (ko) 2011-10-24 2011-10-24 액정표시장치용 러빙장치 및 러빙방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110108699A KR101280635B1 (ko) 2011-10-24 2011-10-24 액정표시장치용 러빙장치 및 러빙방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130044572A true KR20130044572A (ko) 2013-05-03
KR101280635B1 KR101280635B1 (ko) 2013-07-01

Family

ID=48656940

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110108699A KR101280635B1 (ko) 2011-10-24 2011-10-24 액정표시장치용 러빙장치 및 러빙방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101280635B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106547149A (zh) * 2017-01-25 2017-03-29 京东方科技集团股份有限公司 一种基板及其制备方法、成膜设备
CN108196403A (zh) * 2018-02-27 2018-06-22 京东方科技集团股份有限公司 摩擦布的布毛毛向控制装置及控制方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05224203A (ja) * 1992-02-14 1993-09-03 Toshiba Corp 液晶表示装置の配向方法
KR19990050945A (ko) * 1997-12-17 1999-07-05 김영환 액정표시소자의 러빙 공정
JP2001166306A (ja) * 1999-12-06 2001-06-22 Hitachi Ltd 液晶配向形成方法
KR101097927B1 (ko) * 2005-08-18 2011-12-23 재단법인서울대학교산학협력재단 액정 표시장치 제조 방법

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106547149A (zh) * 2017-01-25 2017-03-29 京东方科技集团股份有限公司 一种基板及其制备方法、成膜设备
CN106547149B (zh) * 2017-01-25 2019-08-02 京东方科技集团股份有限公司 一种基板及其制备方法、成膜设备
CN108196403A (zh) * 2018-02-27 2018-06-22 京东方科技集团股份有限公司 摩擦布的布毛毛向控制装置及控制方法
CN108196403B (zh) * 2018-02-27 2021-01-15 京东方科技集团股份有限公司 摩擦布的布毛毛向控制装置及控制方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR101280635B1 (ko) 2013-07-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20190022713A1 (en) Method and apparatus for removing conductive film
KR101280635B1 (ko) 액정표시장치용 러빙장치 및 러빙방법
JP6329380B2 (ja) 液晶表示装置の製造方法および製造装置
KR101107709B1 (ko) 액정표시장치의 배향막 러빙 장치
KR100796372B1 (ko) 디스플레이용 패널 세정장치
KR101496031B1 (ko) 필름 형성 방법
KR20070121204A (ko) 기판이송장치 및 이를 이용한 기판세정시스템
CN103962335B (zh) 一种清洁设备和转印系统
CN102629029A (zh) 取向膜摩擦方法和装置
KR101378211B1 (ko) 액정표시장치 제조용 기판
JP2006320839A (ja) 配向膜の液滴吐出方法及び液滴吐出装置
US20200026130A1 (en) Method of producing glass substrate for liquid crystal display device
KR101924738B1 (ko) 배향필름의 배향방법
JP2019215536A (ja) 液晶用基板の製造方法、及び液晶用基板の処理装置
KR101001018B1 (ko) 샤워 노즐 조절 시스템
JPH09105939A (ja) 液晶表示素子の配向膜形成方法及び装置
KR102260571B1 (ko) 회전형 수직 습식에칭장치
KR102492389B1 (ko) 도포 처리 장치, 도포 처리 방법 및 컴퓨터 기억 매체
KR101405629B1 (ko) 액정표시장치 제조용 기판
KR100538546B1 (ko) 기판 상에 포토레지스트를 도포하는 설비 및 방법 그리고이에 사용되는 슬릿 노즐 처리장치
JP3198504B2 (ja) 液晶表示装置の製造方法
KR100625352B1 (ko) 연마벨트를 이용한 ｔｆｔ-ｌｃｄ 패널 세정장치
KR20070077997A (ko) 세정 장치 및 이를 이용한 세정 방법
KR200386479Y1 (ko) 대형 ｔｆｔ-ｌｃｄ 패널 세정장치
KR200266550Y1 (ko) 액정표시장치의 배향막 러빙장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
X701 Decision to grant (after re-examination)
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160518

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170523

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180517

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190527

Year of fee payment: 7