JPH05224203A - 液晶表示装置の配向方法 - Google Patents
液晶表示装置の配向方法Info
- Publication number
- JPH05224203A JPH05224203A JP2787792A JP2787792A JPH05224203A JP H05224203 A JPH05224203 A JP H05224203A JP 2787792 A JP2787792 A JP 2787792A JP 2787792 A JP2787792 A JP 2787792A JP H05224203 A JPH05224203 A JP H05224203A
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- JP
- Japan
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- blow
- substrate
- nozzle
- liquid crystal
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ラビング処理の不良を抑制でき、たとえラビ
ング処理の不良が生じても連続した不良を生じることが
ない液晶表示装置の配向方法を提供する。 【構成】 オゾン発生装置１には、オゾンガス発生源２
が内蔵されるとともに、上部に空気取入口３を形成し、
下部にオゾンガスを吹き出す吹出ノズル４を設ける。吹
出ノズル４は、吹出口を有する０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ
の内径の細管を５°〜３０°の角度で複数本蜜に束ね接
着剤で固着させる。オゾン発生装置１の空気取入口３か
ら空気を取り入れ、オゾンガス発生源２でオゾンを発生
させ、吹出ノズル４から０．５ｋｇ／ｃｍ2 程度の圧力
で、基板10の配向膜11に５°〜３０°の角度でオゾンガ
スを噴射する。基板10を吹出ノズル４と一定の距離を保
ち、１０ｍｍ／ｓ〜１５０ｍｍ／ｓの速度で移動させ、
吹出ノズル４からのオゾンガスの噴射で斜め方向から配
向膜11をエッチングして、配向処理する。
ング処理の不良が生じても連続した不良を生じることが
ない液晶表示装置の配向方法を提供する。 【構成】 オゾン発生装置１には、オゾンガス発生源２
が内蔵されるとともに、上部に空気取入口３を形成し、
下部にオゾンガスを吹き出す吹出ノズル４を設ける。吹
出ノズル４は、吹出口を有する０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ
の内径の細管を５°〜３０°の角度で複数本蜜に束ね接
着剤で固着させる。オゾン発生装置１の空気取入口３か
ら空気を取り入れ、オゾンガス発生源２でオゾンを発生
させ、吹出ノズル４から０．５ｋｇ／ｃｍ2 程度の圧力
で、基板10の配向膜11に５°〜３０°の角度でオゾンガ
スを噴射する。基板10を吹出ノズル４と一定の距離を保
ち、１０ｍｍ／ｓ〜１５０ｍｍ／ｓの速度で移動させ、
吹出ノズル４からのオゾンガスの噴射で斜め方向から配
向膜11をエッチングして、配向処理する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、配向膜に対して斜め方
向に配向を行なう液晶表示装置の配向方法に関する。
向に配向を行なう液晶表示装置の配向方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、液晶表示装置の一対の基板に挟持
された液晶分子を一定方向に配向させる配向方法として
は、綿布で基板の表面を一定方向にするラビング法、シ
ャワー状のイオンビームを基板の表面に斜め方向から照
射するイオンシャワー法、あるいは、真空装置の中でＳ
ＩＯなどの誘電体を基板に斜め方向から蒸着する斜め蒸
着法などが知られている。
された液晶分子を一定方向に配向させる配向方法として
は、綿布で基板の表面を一定方向にするラビング法、シ
ャワー状のイオンビームを基板の表面に斜め方向から照
射するイオンシャワー法、あるいは、真空装置の中でＳ
ＩＯなどの誘電体を基板に斜め方向から蒸着する斜め蒸
着法などが知られている。
【０００３】そして、イオンビーム法および斜め蒸着法
は真空装置を必要とするため、生産効率が低いので、一
般的にはラビング法が用いられている。
は真空装置を必要とするため、生産効率が低いので、一
般的にはラビング法が用いられている。
【０００４】ところが、いずれの方法によっても、十分
な配向処理がなされた基板と、配向処理が不十分な基板
とは、直接目視で判断することができないほど微細な違
いである。このため、ラビング処理が十分になされてい
るか否かは、生産ラインから基板を抜き取り配向処理の
良否を判別している。そして、通常は、抜き取りによる
判別を行なっている間にも、生産ラインでは生産を継続
して行なっている。
な配向処理がなされた基板と、配向処理が不十分な基板
とは、直接目視で判断することができないほど微細な違
いである。このため、ラビング処理が十分になされてい
るか否かは、生産ラインから基板を抜き取り配向処理の
良否を判別している。そして、通常は、抜き取りによる
判別を行なっている間にも、生産ラインでは生産を継続
して行なっている。
【０００５】特に、ラビング法では、基板の表面を綿布
などで擦っているため、綿布に堅さの異なるガラスある
いは金属などの小片が付着してしまうと、この綿布につ
いた小片の部分で擦った配向膜の表面は、配向処理の程
度が他の部分とは異なるために、液晶表示装置に傷のよ
うに現れてしまうことが多い。なお、ここでこのラビン
グの不良を、ラビ筋と称することにする。
などで擦っているため、綿布に堅さの異なるガラスある
いは金属などの小片が付着してしまうと、この綿布につ
いた小片の部分で擦った配向膜の表面は、配向処理の程
度が他の部分とは異なるために、液晶表示装置に傷のよ
うに現れてしまうことが多い。なお、ここでこのラビン
グの不良を、ラビ筋と称することにする。
【０００６】そして、ラビング法の場合には、ガラスあ
るいは金属などの堅さの異なる小片がいつ付着するか分
からないため、生産現場では、次の配向膜検査までの間
に生産される何百枚の基板を連続してラビ筋不良にして
しまうおそれがある。
るいは金属などの堅さの異なる小片がいつ付着するか分
からないため、生産現場では、次の配向膜検査までの間
に生産される何百枚の基板を連続してラビ筋不良にして
しまうおそれがある。
【０００７】また、配向膜を擦ることにより発生した塵
埃を取除く必要があるため、ラビング処理の後に基板の
洗浄を行なう必要がある。
埃を取除く必要があるため、ラビング処理の後に基板の
洗浄を行なう必要がある。
【０００８】そして、このラビング処理の不良を防止す
る方法としては、たとえば特開昭５４−２１８６０号公
報記載の構成が知られている。
る方法としては、たとえば特開昭５４−２１８６０号公
報記載の構成が知られている。
【０００９】この特開昭５４−２１８６０号公報記載の
構成は、数μｍ〜数１０μｍの微細粒子を加圧状態で一
定方向から噴射して配向処理するものである。
構成は、数μｍ〜数１０μｍの微細粒子を加圧状態で一
定方向から噴射して配向処理するものである。
【００１０】しかしながら、配向膜の厚さが実際には１
００オングストローム程度と薄いため、微細粒子の噴射
によっては、配向膜自体が除去されてしまい配向膜がな
くなってしまうことが多く、制御が非常に微妙で実用的
ではない。
００オングストローム程度と薄いため、微細粒子の噴射
によっては、配向膜自体が除去されてしまい配向膜がな
くなってしまうことが多く、制御が非常に微妙で実用的
ではない。
【００１１】さらに、微細粒子が基板に接着して完全に
除去できなくなり、２枚の基板間を５μｍ〜６μｍの間
隙に対向させて平行配置させることができず、いわゆる
ギャップ不良となる。
除去できなくなり、２枚の基板間を５μｍ〜６μｍの間
隙に対向させて平行配置させることができず、いわゆる
ギャップ不良となる。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、通常の
ラビング法の場合には、ガラスあるいは金属などの堅さ
の異なる小片がいつ付着するか分からないため、生産現
場では、次の配向膜検査までの間に生産される何百枚の
基板を連続してラビング処理の不良にしてしまうおそれ
があるとともに、ラビング処理の後に基板を洗浄する必
要も生ずる。
ラビング法の場合には、ガラスあるいは金属などの堅さ
の異なる小片がいつ付着するか分からないため、生産現
場では、次の配向膜検査までの間に生産される何百枚の
基板を連続してラビング処理の不良にしてしまうおそれ
があるとともに、ラビング処理の後に基板を洗浄する必
要も生ずる。
【００１３】また、特開昭５４−２１８６０号公報記載
の構成の場合には、微細粒子の噴射によっては配向膜が
除去されてしまいなくなってしまうことが多いととも
に、微細粒子が基板に接着して完全に除去できなくな
り、ギャップ不良となる問題を有している。
の構成の場合には、微細粒子の噴射によっては配向膜が
除去されてしまいなくなってしまうことが多いととも
に、微細粒子が基板に接着して完全に除去できなくな
り、ギャップ不良となる問題を有している。
【００１４】本発明は、上記問題点に鑑みなされたもの
で、ラビング処理の不良を生じにくく、かつ、たとえラ
ビング処理に不良が生じても、液晶表示装置の配向処理
の連続したラビング処理の不良を生じることがない液晶
表示装置の配向方法を提供することを目的とする。
で、ラビング処理の不良を生じにくく、かつ、たとえラ
ビング処理に不良が生じても、液晶表示装置の配向処理
の連続したラビング処理の不良を生じることがない液晶
表示装置の配向方法を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明は、内壁面に配向
膜を形成した２枚の基板を、液晶を挟持して平行に対向
配置した液晶表示装置の配向方法において、前記基板の
配向膜に対して斜め方向からオゾンガスを吹き付け配向
させるものである。
膜を形成した２枚の基板を、液晶を挟持して平行に対向
配置した液晶表示装置の配向方法において、前記基板の
配向膜に対して斜め方向からオゾンガスを吹き付け配向
させるものである。
【００１６】
【作用】本発明は、基板の配向膜に対して斜め方向から
オゾンガスを吹き付け配向させるため、従来のように、
綿布などが直接に配向膜に接触することがないのでラビ
ング不良を抑制でき、かつ、綿布を用いないので堅さが
異なる小片のようなものが接着することもなくなるの
で、たとえラビング処理の不良が発生しても、連続した
ラビング不良を防止できるとともに、オゾンガスを吹き
付けているためラビング処理により発生した塵埃を除去
でき、ラビング処理後に基板の洗浄を行なう必要もな
い。
オゾンガスを吹き付け配向させるため、従来のように、
綿布などが直接に配向膜に接触することがないのでラビ
ング不良を抑制でき、かつ、綿布を用いないので堅さが
異なる小片のようなものが接着することもなくなるの
で、たとえラビング処理の不良が発生しても、連続した
ラビング不良を防止できるとともに、オゾンガスを吹き
付けているためラビング処理により発生した塵埃を除去
でき、ラビング処理後に基板の洗浄を行なう必要もな
い。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の液晶表示装置の配向方法の一
実施例を図面を参照して説明する。
実施例を図面を参照して説明する。
【００１８】図１において、１はオゾン発生装置で、こ
のオゾン発生装置１には、オゾンガス発生源２が内蔵さ
れるとともに、上部には空気取入口３が形成され、さら
に、下部にはオゾンガスを吹き出す吹出ノズル４が設け
られている。
のオゾン発生装置１には、オゾンガス発生源２が内蔵さ
れるとともに、上部には空気取入口３が形成され、さら
に、下部にはオゾンガスを吹き出す吹出ノズル４が設け
られている。
【００１９】そして、この吹出ノズル４は、図２に示す
ように、０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの内径の吹出口５を有
する細管６を、５°〜３０°の角度で複数本蜜に束ね接
着剤７で固着させたものである。
ように、０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの内径の吹出口５を有
する細管６を、５°〜３０°の角度で複数本蜜に束ね接
着剤７で固着させたものである。
【００２０】そうして、この吹出ノズル４の先端に、基
板10の表面に形成された配向膜11を５°〜３０°の角度
で対向させる。
板10の表面に形成された配向膜11を５°〜３０°の角度
で対向させる。
【００２１】次に、上記実施例の動作について説明す
る。
る。
【００２２】まず、オゾン発生装置１の空気取入口３か
ら空気を取り入れ、オゾンガス発生源２でオゾンを発生
させ、吹出ノズル４から０．５ｋｇ／ｃｍ2 程度の圧力
で、基板10の配向膜11に５°〜３０°の角度でオゾンガ
スを噴射する。
ら空気を取り入れ、オゾンガス発生源２でオゾンを発生
させ、吹出ノズル４から０．５ｋｇ／ｃｍ2 程度の圧力
で、基板10の配向膜11に５°〜３０°の角度でオゾンガ
スを噴射する。
【００２３】そして、この吹出ノズル４の先端に、基板
10の表面に形成された配向膜11を５°〜３０°の角度で
対向させ、この基板10を吹出ノズル４と一定の距離を保
った状態で、１０ｍｍ／ｓ〜１５０ｍｍ／ｓの速度で移
動させ、吹出ノズル４からのオゾンガスの噴射により斜
め方向からエッチングして、配向処理する。
10の表面に形成された配向膜11を５°〜３０°の角度で
対向させ、この基板10を吹出ノズル４と一定の距離を保
った状態で、１０ｍｍ／ｓ〜１５０ｍｍ／ｓの速度で移
動させ、吹出ノズル４からのオゾンガスの噴射により斜
め方向からエッチングして、配向処理する。
【００２４】また、エッチングに濃淡をつける場合に
は、オゾン発生装置１に取り入れた空気に振動を与え、
噴射されるオゾンガスの濃度または圧力に差を与える。
は、オゾン発生装置１に取り入れた空気に振動を与え、
噴射されるオゾンガスの濃度または圧力に差を与える。
【００２５】そうして、配向処理された２枚の基板10，
10間に液晶を挟み、基板10の移動方向に対して平行に、
液晶分子の長軸方向を配向し、液晶表示装置を構成す
る。
10間に液晶を挟み、基板10の移動方向に対して平行に、
液晶分子の長軸方向を配向し、液晶表示装置を構成す
る。
【００２６】なお、上記実施例では、オゾン発生装置１
に対して基板10を移動させているが、オゾン発生装置１
と基板10とは相対的に移動すればよいので、オゾン発生
装置１を基板10に対して移動させるようにしてもよい。
に対して基板10を移動させているが、オゾン発生装置１
と基板10とは相対的に移動すればよいので、オゾン発生
装置１を基板10に対して移動させるようにしてもよい。
【００２７】上記実施例によれば、従来のように、綿布
などが直接に配向膜11に接触することがないのでラビン
グ不良を防止でき、かつ、綿布を用いないので堅さが異
なる小片のようなものが接着することもなくなるので、
たとえラビング不良が生じても、連続したラビング不良
を防止できるとともに、ラビング処理により発生した配
向膜11の塵埃などはオゾンガスにより吹き飛ばされるの
で、ラビング処理後に基板10の洗浄を行なう必要もなく
なる。
などが直接に配向膜11に接触することがないのでラビン
グ不良を防止でき、かつ、綿布を用いないので堅さが異
なる小片のようなものが接着することもなくなるので、
たとえラビング不良が生じても、連続したラビング不良
を防止できるとともに、ラビング処理により発生した配
向膜11の塵埃などはオゾンガスにより吹き飛ばされるの
で、ラビング処理後に基板10の洗浄を行なう必要もなく
なる。
【００２８】
【発明の効果】本発明の液晶表示装置の配向方法によれ
ば、基板の配向膜に対して斜め方向からオゾンガスを吹
き付け配向させるため、従来のように、綿布などが直接
に配向膜に接触することがないのでラビング不良を防止
でき、かつ、綿布を用いないので堅さが異なる小片のよ
うなものが接着することもなくなるので、たとえラビン
グ処理の不良が発生しても、連続したラビング不良を防
止できるとともに、オゾンガスを吹き付けているためラ
ビング処理により発生した塵埃を除去でき、ラビング処
理後に基板の洗浄を行なう必要もなくなる。
ば、基板の配向膜に対して斜め方向からオゾンガスを吹
き付け配向させるため、従来のように、綿布などが直接
に配向膜に接触することがないのでラビング不良を防止
でき、かつ、綿布を用いないので堅さが異なる小片のよ
うなものが接着することもなくなるので、たとえラビン
グ処理の不良が発生しても、連続したラビング不良を防
止できるとともに、オゾンガスを吹き付けているためラ
ビング処理により発生した塵埃を除去でき、ラビング処
理後に基板の洗浄を行なう必要もなくなる。
【図１】本発明の液晶表示装置の配向方法の一実施例を
示す説明図である。
示す説明図である。
【図２】同上吹出しノズルを示す断面図である。
10 基板 11 配向膜
Claims (1)
- 【請求項１】 内壁面に配向膜を形成した２枚の基板
を、液晶を挟持して平行に対向配置した液晶表示装置の
配向方法において、 前記基板の配向膜に対して斜め方向からオゾンガスを吹
き付け配向させることを特徴とする液晶表示装置の配向
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2787792A JPH05224203A (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | 液晶表示装置の配向方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2787792A JPH05224203A (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | 液晶表示装置の配向方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05224203A true JPH05224203A (ja) | 1993-09-03 |
Family
ID=12233126
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2787792A Pending JPH05224203A (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | 液晶表示装置の配向方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05224203A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030018084A (ko) * | 2001-08-27 | 2003-03-06 | (주)아이씨디 | 플라즈마를 이용하여 기판 위에 도포된 유기 배향막을제거하고 이를 재생하는 방법 |
| KR101280635B1 (ko) * | 2011-10-24 | 2013-07-01 | 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 액정표시장치용 러빙장치 및 러빙방법 |
-
1992
- 1992-02-14 JP JP2787792A patent/JPH05224203A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030018084A (ko) * | 2001-08-27 | 2003-03-06 | (주)아이씨디 | 플라즈마를 이용하여 기판 위에 도포된 유기 배향막을제거하고 이를 재생하는 방법 |
| KR101280635B1 (ko) * | 2011-10-24 | 2013-07-01 | 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 액정표시장치용 러빙장치 및 러빙방법 |
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