KR20130020103A - 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치 - Google Patents

솔라 셀 웨이퍼 분류 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20130020103A
KR20130020103A KR1020110082512A KR20110082512A KR20130020103A KR 20130020103 A KR20130020103 A KR 20130020103A KR 1020110082512 A KR1020110082512 A KR 1020110082512A KR 20110082512 A KR20110082512 A KR 20110082512A KR 20130020103 A KR20130020103 A KR 20130020103A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
solar cell
wafer
cell wafer
base
disposed
Prior art date
Application number
KR1020110082512A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101264399B1 (ko
Inventor
이상훈
서광진
Original Assignee
주식회사 프로텍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 프로텍 filed Critical 주식회사 프로텍
Priority to KR1020110082512A priority Critical patent/KR101264399B1/ko
Publication of KR20130020103A publication Critical patent/KR20130020103A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101264399B1 publication Critical patent/KR101264399B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67271—Sorting devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67721—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations the substrates to be conveyed not being semiconductor wafers or large planar substrates, e.g. chips, lead frames
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • H01L22/30—Structural arrangements specially adapted for testing or measuring during manufacture or treatment, or specially adapted for reliability measurements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
    • H01L31/1876—Particular processes or apparatus for batch treatment of the devices
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy

Abstract

본 발명은 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 솔라 셀 웨이퍼에 대한 검사가 완료된 솔라 셀 웨이퍼를 검사장치로부터 순차적으로 전달받아 그 솔라 셀 웨이퍼를 양품과 불량품으로 분류하고 양품은 다시 검사장치에서 검사된 등급에 따라 분류하는 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치에 관한 것이다.
본 발명은, 검사장치에서 검사가 완료된 솔라 셀 웨이퍼를 전달 받아 신속하게 그 솔라 셀 웨이퍼를 등급별로 분류할 수 있는 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 검사장치로부터 전달받은 솔라 셀 웨이퍼를 신속하게 각 솔라 셀 웨이퍼의 등급별로 분류할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 위와 같이 솔라 셀 웨이퍼를 신속하게 분류할 수 있는 기능을 수행하면서도 장치의 전체적인 크기가 작고 구조가 단순하여 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치의 생산 단가를 낮추면서 큰 면적을 차지하지 않는 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치를 제공하는 효과가 있다.

Description

솔라 셀 웨이퍼 분류 장치{Solar Cell Wafer Sorter}
본 발명은 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 솔라 셀 웨이퍼에 대한 검사가 완료된 솔라 셀 웨이퍼를 검사장치로부터 순차적으로 전달받아 그 솔라 셀 웨이퍼를 양품과 불량품으로 분류하고 양품은 다시 검사장치에서 검사된 등급에 따라 분류하는 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 솔라 셀(solar cell)은 다양한 디바이스들을 구동시키기 위한 에너지원으로서 이용되는데, 이는 솔라 방사 또는 조명 광을 전기 에너지로 변환시킨다.
이와 같은 솔라 셀은 반도체로 구성된 기능적인 부분에 pn 접합부 또는 pin 접합부를 갖고 있다. 단결정 실리콘의 사용은 광 에너지를 기전력으로 변환하는 효율면에서 양호하지만, 비정질 실리콘은 영역 증대 및 비용 감소 측면에서 유리하다.
일반적으로 사용되고 있는 실리콘 웨이퍼(Silicon Wafer; 다결정의 실리콘(Si)을 원재료로 하여 만들어진 단결정 실리콘 박판)를 기판으로 하여 솔라 셀 및 그 솔라 셀을 이용해 집합된 솔라 모듈(solar module)을 제조한다.
이와 같은 솔라 셀 웨이퍼는 제조 공정이 대부분 완료된 후 검사장치에 의해 양품 여부와 그 성능 및 품질에 따른 등급이 판별되고 출하되기 전에 그 성능 등급에 따라 분류하여 동일 등급의 솔라 셀 웨이퍼끼리 포장되어 출하되거나 다음 공정에 전달된다. 최근의 기술 수준에서 검사장치가 솔라 셀 웨이퍼를 검사하는 데에는 각 솔라 셀 웨이퍼별로 약 2초의 시간이 소요된다. 따라서 검사장치로부터 솔라 셀 웨이퍼와 그 솔라 셀 웨이퍼의 검사 등급을 절달받아 2초 이내에 이를 등급별로 분류할 수 있는 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치가 필요하다.
특히, 솔라 셀 웨이퍼는 매우 얇으면서 취성이 강한 재질도 되어 있으므로, 작은 충격에도 쉽게 파손된다. 따라서 수작업으로 이를 분류하는 것은 매우 비효율적이며 자동화 장비에 의해 신속하면서도 안전하게 솔라 셀 웨이퍼를 분류할 수 있는 장치가 필요하게 되었다.
본 발명은 상술한 바와 같은 필요성을 해결하기 위해 안출된 것으로, 검사장치에서 검사가 완료된 솔라 셀 웨이퍼를 전달 받아 신속하게 그 솔라 셀 웨이퍼를 등급별로 분류할 수 있는 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 본 발명은, 솔라 셀 웨이퍼를 검사하는 검사장치로부터 검사가 완료된 솔라 셀 웨이퍼와 그 웨이퍼의 검사 등급을 전달받아 상기 솔라 셀 웨이퍼들을 검사 등급별로 분류하는 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치에 있어서, 베이스;
상기 검사장치에 의해 검사가 완료된 상기 솔라 셀 웨이퍼를 공급받을 수 있도록 상기 베이스 위에 설치되는 공급 테이블; 상기 공급 테이블 위에 배치된 상기 솔라 셀 웨이퍼를 흡착하여 전달받을 수 있도록 형성된 흡착부재와, 상기 흡착부재를 승강시키는 승강부재와, 상기 흡착부재와 승강부재를 상기 베이스에 대해 지지할 수 있도록 길이방향으로 연장되도록 형성된 지지부재를 구비하며, 상기 베이스 위에 동일 각도 간격으로 방사상으로 배치되는 복수의 암(arm) 부재; 상기 암 부재들의 중심에 배치되어 상기 암 부재들을 상기 베이스에 대해 회전시키도록 상기 베이스 위에 설치되는 회전부재; 상기 베이스 위에 설치되며 상기 암 부재들 중 어느 하나의 흡착부재 하측에 배치되어 그 흡착부재에서 떨어뜨린 상기 솔라 셀 웨이퍼를 전달받아 수용할 수 있도록 빈(BIN) 카세트가 배치되는 적어도 2개의 웨이퍼 트레이; 및 상기 검사장치로부터 각 솔라 셀 웨이퍼에 대한 검사결과를 전달받아 상기 회전부재와 암 부재의 작동을 제어하는 제어부;를 포함하는 점에 특징이 있다.
본 발명은 검사장치로부터 전달받은 솔라 셀 웨이퍼를 신속하게 각 솔라 셀 웨이퍼의 등급별로 분류할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 위와 같이 솔라 셀 웨이퍼를 신속하게 분류할 수 있는 기능을 수행하면서도 장치의 전체적인 크기가 작고 구조가 단순하여 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치의 생산 단가를 낮추면서 큰 면적을 차지하지 않는 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치를 제공하는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치의 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치의 정면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치의 측면도이다.
도 4 내지 도 6은 도 1에 도시된 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치의 작동을 설명하기 위하여 일부분만을 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치의 평면도이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 제1실시예에 따른 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치에 대해 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치의 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치의 정면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치의 측면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치는 베이스(10)와 공급 테이블(20)과 복수의 암(arm) 부재와 회전부재(40)를 포함하여 이루어진다.
베이스(10) 위에는 본 실시예의 주요 구성들이 설치된다. 베이스(10)의 상면 중앙부에 브릿지(90)가 설치되고 그 브릿지(90) 위에 회전부재(40)가 설치된다. 회전부재(40)에는 복수의 암 부재(30)가 방사상으로 배치되어 설치된다. 본 실시예에서는 총 10개의 암 부재(30)가 회전부재(40)를 중심으로 방사상으로 배치되어 브릿지(90) 위에 설치된다. 도 4에 도시한 것과 같이 10개의 암 부재(30)는 동일 각도 간격으로 배치된다.
베이스(10) 위에는 암 부재(30)들과 함께 공급 테이블(20)이 설치된다. 공급 테이블(20)에는 솔라 셀 웨이퍼(W)를 검사하는 검사장치에서 검사가 완료된 솔라 셀 웨이퍼(W)가 검사장치로부터 전달되어 배치된다. 검사장치는 솔라 셀 웨이퍼(W)의 성능과 불량 여부를 검사하여 양품과 불량품으로 분류하고 양품은 다시 품질 또는 성능에 따라 등급을 부여한다. 검사장치에 의해 검사가 완료된 솔라 셀 웨이퍼(W)는 베이스(10) 위에 설치된 공급 테이블(20)로 전달되어 배치되고, 그 솔라 셀 웨이퍼(W)의 등급과 양품여부는 후술하는 제어부(60)에 전달된다.
도 2 및 도 3을 참조하면 암 부재(30)는 지지부재(31)와 승강부재(33)와 흡착부재(35)를 포함하여 이루어진다. 지지부재(31)는 회전중심에 해당하는 회전부재(40)로부터 반경방향을 따라 길이 방향으로 연장되도록 형성되고 그 지지부재(31)의 끝단에는 승강부재(33)가 설치된다. 승강부재(33)에는 다시 흡착부재(35)가 설치되고 승강부재(33)는 제어부(60)에서 전달되는 신호에 따라 흡착부재(35)를 승강시킨다. 제어부(60)의 조작에 의해 암 부재(30)가 공급 테이블(20)과 동일한 연장선상에 배치되면 흡착부재(35)가 공급 테이블(20)의 바로 위에 배치될 수 있는 길이로 지지부재(31)는 형성된다. 흡착부재(35)가 공급 테이블(20)의 바로 위에 배치되면 승강부재(33)의 작동에 의해 흡착부재(35)가 하강하여 공급 테이블(20) 위에 배치된 솔라 셀 웨이퍼(W)에 근접하게 되고 이때 흡착부재(35)에 진공이 작용하여 공급 테이블(20)에 배치된 솔라 셀 웨이퍼(W)를 픽업하게 된다. 다시 승강부재(33)가 작동하여 흡착부재(35)를 상승시키면 회전부재(40)가 암 부재(30)를 회전시켜 솔라 셀 웨이퍼(W)를 전달하고자 하는 위치로 솔라 셀 웨이퍼(W)를 이송하게 된다.
베이스(10) 위에는 암 부재(30)의 개수보다 하나 적은 개수의 웨이퍼 트레이(50)들이 설치된다. 즉, 본 실시예의 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치는 10개의 암 부재(30)를 구비하므로, 9개의 웨이퍼 트레이(50)들이 베이스(10) 위에 설치된다. 웨이퍼 트레이(50)들은 회전부재(40)의 회전중심으로부터 공급 테이블(20)과 동일한 반경 반향 거리에 원주 방향을 따라 동일 각도 간격으로 배치된다. 즉, 10개의 암 부재(30)들 중 어느 하나의 흡착부재(35)가 공급 테이블(20)의 상측에 위치한 상태에서 나머지 암 부재(30)의 흡착부재(35)의 아래에 각각 웨이퍼 트레이(50)들이 배치되도록 베이스(10) 위에 배치된다. 웨이퍼 트레이(50)들 위에는 각각 빈(BIN) 카세트가 배치된다. 빈 카세트(51)는 웨이퍼 트레이(50) 위에 배치되어 동일한 등급별로 분류된 솔라 셀 웨이퍼(W)를 암 부재(30)에 의해 전달 받아 수용하게 되고, 일정 개수의 솔라 셀 웨이퍼(W)가 모이면 새로운 빈 카세트(51)로 교체된다.
도 3, 도 5 및 도 6을 참조하면, 공급 테이블(20)과 회전부재(40)의 연장선상에 위치하는 웨이퍼 트레이(50)를 제외한 나머지 웨이퍼 트레이(50)들과 베이스(10) 사이에는 슬라이딩 부재(80)가 각각 설치된다. 슬라이딩 부재(80)는 웨이퍼 트레이(50)를 베이스(10)에 대해 슬라이드 이동시킨다. 즉, 웨이퍼 트레이(50) 위에 비어 있는 상태의 빈 카세트(51)를 배치하거나 솔라 셀 웨이퍼(W)가 가득 채워진 빈 카세트(51)를 외부로 배출하기 용이하도록 슬라이딩 부재(80)는 웨이퍼 트레이(50)를 베이스(10)의 가장자리로 이송하게 된다.
베이스(10)의 상면에는 이송 레일(70)이 설치되어 공급 테이블(20)로부터 특정 등급의 솔라 셀 웨이퍼(W)를 직접 특정 웨이퍼 트레이(50)로 이송한다. 본 실시예에서는 이송 레일(70)이 공급 테이블(20)로부터 솔라 셀 웨이퍼(W)를 전달 받아 회전부재(40)를 사이에 두고 공급 테이블(20)과 맞은 편에 배치되는 웨이퍼 트레이(50)로 직접 전달할 수 있도록 베이스(10) 위에 설치된다. 이경우 이송 레일(70)은 회전부재(40)가 위치하는 지점을 경유하게 된다. 도 3에 도시한 것과 같이, 이송 레일(70)과 회전부재(40)와의 간섭을 피하기 위하여 브릿지(90)가 베이스(10)와 회전부재(40)의 사이에 설치되어 회전부재(40)를 베이스(10)에 대해 소정 높이 이상 높아지도록 하고, 이송 레일(70)은 브릿지(90)를 관통하여 지나도록 배치된다.
제어부(60)는 검사장치로부터 각 솔라 셀 웨이퍼(W)의 검사결과에 따른 등급을 전달받아 회전부재(40)와 암 부재(30)와 이송 레일(70) 등 각 부재의 작동을 제어한다.
이하, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예의 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치의 작동에 대해 설명한다.
먼저, 검사장치에 의해 검사가 완료된 솔라 셀 웨이퍼(W)를 공급 테이블(20)이 전달 받고, 제어부(60)는 그 솔라 셀 웨이퍼(W)의 등급을 전달 받는다.
솔라 셀 웨이퍼(W)가 불량인 경우 솔라 셀 웨이퍼(W)는 이송 레일(70)에 의해 직접 맞은편에 배치된 웨이퍼 트레이(50)로 전달된다. 즉, 불량품인 솔라 셀 웨이퍼(W)는 암 부재(30)를 거치지 않고 이송 레일(70)에 의해 불량품만 취합하는 웨이퍼 트레이(50)의 빈 카세트(51)로 전달되어 외부로 배출되도록 한다.
양품으로 검사된 솔라 셀 웨이퍼(W)가 공급 테이블(20)에 배치되면, 10개의 암 부재(30) 중 하나가 회전부재(40)의 작동에 의해 공급 테이블(20)의 상측에 배치된다. 승강부재(33)가 흡착부재(35)를 하강시키고 흡착부재(35)는 솔라 셀 웨이퍼(W)에 근접한 상태에서 제어부(60)에 의해 진공 펌프가 작동되어 공급 테이블(20)에 배치된 솔라 셀 웨이퍼(W)를 흡착한다. 솔라 셀 웨이퍼(W)는 얇고 취성이 매우 강하기 때문에 흡착부재(35)가 솔라 셀 웨이퍼(W)에 직접 접촉하여 솔라 셀 웨이퍼(W)를 흡착하지 않고 솔라 셀 웨이퍼(W)에 근접한 상태에서 진공을 발생시켜 솔라 셀 웨이퍼(W)가 떠 올라 흡착부재(35)에 픽업되도록 하는 것이 좋다.
솔라 셀 웨이퍼(W)가 흡착부재(35)에 의해 픽업되면 승강부재(33)는 다시 흡착부재(35)를 상승시킨다. 도 4를 참조하면 회전부재(40)는 암 부재(30)들을 각 암 부재(30)들 사이의 각도 간격만큼 회전시킨다. 다음 솔라 셀 웨이퍼(W)가 공급 테이블(20)에 전달되고 다음 암 부재(30)가 순차적으로 공급 테이블(20)로부터 솔라 셀 웨이퍼(W)를 픽업한다.
한편, 웨이퍼 트레이(50)들은 각각 분류되어 수집될 솔라 셀 웨이퍼(W)의 등급이 지정되어 있다. 제어부(60)는 각 암 부재(30)에 의해 픽업되어 회전부재(40)에 의해 이송되고 있는 솔라 셀 웨이퍼(W)의 등급이 지정된 등급의 웨이퍼 트레이(50) 위에 배치되면 승강부재(33)를 작동시켜 솔라 셀 웨이퍼(W)를 웨이퍼 트레이(50)와 근접하도록 하강시키고 흡착부재(35)를 작동시켜 솔라 셀 웨이퍼(W)에 작용하고 있는 진공을 해제함으로써 솔라 셀 웨이퍼(W)가 웨이퍼 트레이(50) 위에 배치된 빈 카세트(51)로 떨어지도록 한다. 솔라 셀 웨이퍼(W)는 가볍고 면적에 비해 두께가 매우 얇기 때문에 수평한 상태에서 떨어뜨리면 공기의 저항에 의해 천천히 낙하하여 큰 충격없이 빈 카세트(51)에 수용된다.
이와 같이 10개의 암 부재(30)에 의해 순차적으로 솔라 셀 웨이퍼(W)가 픽업되면서 동시에 각각의 암 부재(30)는 솔라 셀 웨이퍼(W)를 등급별로 분류하는 작업을 수행하게 된다. 따라서 솔라 셀 웨이퍼(W)의 분류작업을 시간 손실 없이 빠른 속도로 수행할 수 있는 장점이 있다.
또한, 제어부(60)는 빈 카세트(51)들 중 어느 하나에 솔라 셀 웨이퍼(W)가 가득 채워지면 신호음을 발생시키고, 작업자가 버튼을 누르는 등의 방법으로 슬라이딩 부재(80)를 작동시키면 슬라이딩 부재(80)는 도 6에 도시한 것과 같이 해당 웨이퍼 트레이(50)를 바깥쪽으로 이송하고 새로운 빈 카세트(51)로 교체하게 된다. 경우에 따라서는 솔라 셀 웨이퍼(W)가 빈 카세트(51)에 가득 채워지면 제어부(60)는 자동으로 슬라이딩 부재(80)를 작동시키고 신호음을 발생시켜 사용자가 해당 빈 카세트(51)를 교체하도록 작동할 수도 있다.
한편, 경우에 따라서는 불량으로 검사된 솔라 셀 웨이퍼(W)를 이송 레일(70)에 의해 직접 지정된 웨이퍼 카세트로 전달하지 않고 상술한 바와 같은 방법으로 암 부재(30)에 의해 지정된 빈 카세트(51)로 분류되도록 본 실시예의 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치를 작동시킬 수도 있다.
상술한 바와 같이 본 실시예의 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치는 10개의 암 부재(30)에 의해 순차적으로 솔라 셀 웨이퍼(W)의 분류작업을 수행하도록 함으로써 작업에 중단이 없이 연속적으로 빠르고 정확하게 다수의 솔라 셀 웨이퍼(W)를 등급에 분류할 수 있는 효과가 있다.
또한 본 실시예의 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치는 비교적 구조가 단순하고 종래의 다른 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치에 비해 적은 공간을 차지하기 때문에 고장으로 인한 유지 보수의 어려움이 절감되고 작업장을 적게 차지하는 장점이 있다.
이상 본 발명의 제1실시예에 대해 바람직한 실시예를 들어 설명하였으나 본 발명의 범위가 앞에서 설명하고 도시한 구조로 한정되는 것은 아니다.
예를 들어, 앞에서 웨이퍼 트레이(50)들은 슬라이딩 부재(80)에 의해 이송될 수 있도록 베이스(10)에 설치되는 것으로 설명하였으나, 슬라이딩 부재(80)를 구비하지 않고 웨이퍼 트레이(50)가 직접 베이스(10) 위에 고정되도록 구성하는 것도 가능하다.
또한, 앞에서 이송 레일(70)을 구비하는 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치를 예로 들어 설명하였으나, 이송 레일(70)을 구비하지 않고 불량품 여부에 관계 없이 모든 솔라 셀 웨이퍼(W)가 암 부재(30)에 의해 각 웨이퍼 트레이(50)에 분류되도록 구성하는 것도 가능하다.
또한, 상술한 바와 같이 이송 레일(70)을 구비하지 않는 경우에는 회전부재(40)를 지지하는 브릿지(90)를 구비하지 않는 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치를 구성하는 것도 가능하다.
다음으로 본 발명에 따른 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치의 제2실시예에 대해 설명한다. 본 실시예의 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치는 앞서 설명한 제1실시예와 동일한 구조의 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치를 후방에 배치하고 그와 유사한 구조를 전방에 배치하여 2개의 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치를 직렬로 연결하여 구성한 점에 특징이 있다.
즉, 도 7을 참조하면 전방에 배치된 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치는 앞서 제1실시예에서 이송 레일(70)로부터 솔라 셀 웨이퍼(W)를 전달받는 웨이퍼 트레이(50)가 없으며, 전방의 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치의 이송 레일(70)이 후방의 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치의 공급 테이블(20)에 직접 솔라 셀 웨이퍼(W)를 전달할 수 있도록 구성된다. 그에 따라 검사장치로부터 순차적으로 전달되는 솔라 셀 웨이퍼(W)들 중 일부는 후방의 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치로 전달되어 분류되고 나머지는 전방의 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치에서 분류되도록 함으로써 전체적인 솔라 셀 웨이퍼(W) 분류 작업의 처리 시간을 단축시키고 생산성을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
경우에 따라서는 도 7에 도시된 것과 달리 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치 2대를 병렬로 배치하고 검사장치로부터 전달받은 솔라 셀 웨이퍼(W)를 2대의 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치에 분배하는 분배장치를 설치하여 2대의 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치에서 솔라 셀 웨이퍼(W) 분류 작업을 수행하도록 함으로써 작업 속도를 향상시키고 생산성을 향상시킬 수도 있다.
10: 베이스 20: 공급 테이블
30: 암 부재 31: 지지부재
33: 승강부재 35: 흡착부재
40: 회전부재 50: 웨이퍼 트레이
51: 반 카세트 60: 제어부
70, 71: 이송 레일 80: 슬라이딩 부재
90: 브릿지 W: 솔라 셀 웨이퍼

Claims (5)

  1. 솔라 셀 웨이퍼를 검사하는 검사장치로부터 검사가 완료된 솔라 셀 웨이퍼와 그 웨이퍼의 검사 등급을 전달받아 상기 솔라 셀 웨이퍼들을 검사 등급별로 분류하는 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치에 있어서,
    베이스;
    상기 검사장치에 의해 검사가 완료된 상기 솔라 셀 웨이퍼를 공급받을 수 있도록 상기 베이스 위에 설치되는 공급 테이블;
    상기 공급 테이블 위에 배치된 상기 솔라 셀 웨이퍼를 흡착하여 전달받을 수 있도록 형성된 흡착부재와, 상기 흡착부재를 승강시키는 승강부재와, 상기 흡착부재와 승강부재를 상기 베이스에 대해 지지할 수 있도록 길이방향으로 연장되도록 형성된 지지부재를 구비하며, 상기 베이스 위에 동일 각도 간격으로 방사상으로 배치되는 복수의 암(arm) 부재;
    상기 암 부재들의 중심에 배치되어 상기 암 부재들을 상기 베이스에 대해 회전시키도록 상기 베이스 위에 설치되는 회전부재;
    상기 베이스 위에 설치되며 상기 암 부재들 중 어느 하나의 흡착부재 하측에 배치되어 그 흡착부재에서 떨어뜨린 상기 솔라 셀 웨이퍼를 전달받아 수용할 수 있도록 빈(BIN) 카세트가 배치되는 적어도 2개의 웨이퍼 트레이; 및
    상기 검사장치로부터 각 솔라 셀 웨이퍼에 대한 검사결과를 전달받아 상기 회전부재와 암 부재의 작동을 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 웨이퍼 트레이 위에 분류된 상기 솔라 셀 웨이퍼들을 외부로 배출하기 용이하도록 상기 웨이퍼 트레이마다 설치되어 그 웨이퍼 트레이를 상기 베이스에 대해 슬라이드 이동시키는 복수의 슬라이딩 부재; 더 포함하는 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 공급 테이블로부터 상기 솔라 셀 웨이퍼를 전달받아 상기 웨이퍼 트레이 중 어느 하나로 직접 전달하는 이송 레일;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 베이스 위에 설치되어 상기 회전부재를 상기 베이스에 대해 지지하는 브릿지;를 더 포함하며,
    상기 이송 레일은, 상기 브릿지를 사이에 두고 상기 공급 테이블과 마주하도록 배치된 상기 웨이퍼 트레이에 대해 상기 브릿지를 관통하여 상기 솔라 셀 웨이퍼를 전달하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    하나의 공급 테이블과 상기 암 부재의 개수보다 하나 적은 개수의 웨이퍼 트레이를 구비하는 것을 특징으로 하는 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치.
KR1020110082512A 2011-08-19 2011-08-19 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치 KR101264399B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110082512A KR101264399B1 (ko) 2011-08-19 2011-08-19 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110082512A KR101264399B1 (ko) 2011-08-19 2011-08-19 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130020103A true KR20130020103A (ko) 2013-02-27
KR101264399B1 KR101264399B1 (ko) 2013-05-14

Family

ID=47898099

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110082512A KR101264399B1 (ko) 2011-08-19 2011-08-19 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101264399B1 (ko)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104576838A (zh) * 2015-02-10 2015-04-29 姜利 太阳能电池片旋转式自动供料装置
WO2016175989A1 (en) 2015-04-29 2016-11-03 Applied Materials, Inc. High speed rotary sorter
KR20190010384A (ko) * 2017-07-21 2019-01-30 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 로터리 소터들을 위한 자동화
CN109994407A (zh) * 2019-04-10 2019-07-09 苏州晟成光伏设备有限公司 电池串分选缓存设备及其工作方法
US10507991B2 (en) 2018-05-08 2019-12-17 Applied Materials, Inc. Vacuum conveyor substrate loading module
CN111168188A (zh) * 2020-01-13 2020-05-19 张俊 一种太阳能电池焊接机的电池上料装置
US11072502B2 (en) 2018-05-03 2021-07-27 Applied Materials, Inc. Substrate tilt control in high speed rotary sorter
TWI806605B (zh) * 2022-05-13 2023-06-21 台達電子工業股份有限公司 晶圓分選系統與晶圓分選方法

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008024457A (ja) * 2006-07-22 2008-02-07 Tekkusu Iijii:Kk 搬送装置

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104576838A (zh) * 2015-02-10 2015-04-29 姜利 太阳能电池片旋转式自动供料装置
WO2016175989A1 (en) 2015-04-29 2016-11-03 Applied Materials, Inc. High speed rotary sorter
JP2017523590A (ja) * 2015-04-29 2017-08-17 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ 高速度回転ソータ
EP3127147A4 (en) * 2015-04-29 2017-12-13 Applied Materials, Inc. High speed rotary sorter
KR20180030258A (ko) * 2015-04-29 2018-03-21 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 고속 로터리 소터
US10777436B2 (en) 2015-04-29 2020-09-15 Applied Materials, Inc. High speed rotary sorter
KR20190010384A (ko) * 2017-07-21 2019-01-30 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 로터리 소터들을 위한 자동화
US11072502B2 (en) 2018-05-03 2021-07-27 Applied Materials, Inc. Substrate tilt control in high speed rotary sorter
US10507991B2 (en) 2018-05-08 2019-12-17 Applied Materials, Inc. Vacuum conveyor substrate loading module
CN109994407A (zh) * 2019-04-10 2019-07-09 苏州晟成光伏设备有限公司 电池串分选缓存设备及其工作方法
CN111168188A (zh) * 2020-01-13 2020-05-19 张俊 一种太阳能电池焊接机的电池上料装置
TWI806605B (zh) * 2022-05-13 2023-06-21 台達電子工業股份有限公司 晶圓分選系統與晶圓分選方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR101264399B1 (ko) 2013-05-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101264399B1 (ko) 솔라 셀 웨이퍼 분류 장치
CN101804405B (zh) 包含有双缓冲器的电子器件分选机
CN216094907U (zh) 一种用于半导体设备前端集成晶圆的分拣装置
CN103252320A (zh) 一种cob光组件自动测试分选机
CN201446092U (zh) 具有初检合格太阳能晶圆枢转分流装置的分类系统
JP5500605B2 (ja) 分類搬送装置、分類搬送方法及びプログラム
TW201503395A (zh) 用於將晶片分佈至元件屜的方法、電腦程式、控制器和組裝裝置
CN101241869A (zh) 芯片测试分类机
KR20100134498A (ko) 태양 에너지 실리콘 칩 테스터 및 테스트 방법
KR20100064189A (ko) 반도체 다이의 검사 및 분류 일체화장치
CN105689278B (zh) Ic外观检验装置
CN108538772B (zh) 适用于硅片生产线的收料装置
TW201702618A (zh) 元件處理器
CN107185856A (zh) 一种cob光组件自动测试分选机
TWI724410B (zh) 用於分類基板的設備，及用於操作此設備的方法
CN108816797B (zh) 一种太阳能光伏检测分板机
KR100979763B1 (ko) 대상물 분류장치
CN102439707A (zh) 基片的系统及处理
CN202150448U (zh) 晶圆测试机承片台
CN111545474A (zh) 一种led芯片检测设备
KR101496047B1 (ko) 반도체 패키지 분류 장치
TWI414800B (zh) Applied to image sensing IC test classifier (2)
CN113426682B (zh) 一种MiniLED的检测分选工艺
KR20090053303A (ko) 테스트 핸들러용 트레이 공급회수장치 및 이를 이용한트레이 이송방법
CN210120118U (zh) 一种电池片iv、el双面测试设备

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160502

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170502

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180502

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190502

Year of fee payment: 7