CN201446092U

CN201446092U - 具有初检合格太阳能晶圆枢转分流装置的分类系统

Info

Publication number: CN201446092U
Application number: CN2009200593054U
Authority: CN
Inventors: 林汉声
Original assignee: Chroma ATE Suzhou Co Ltd
Current assignee: Chroma ATE Suzhou Co Ltd
Priority date: 2009-06-26
Filing date: 2009-06-26
Publication date: 2010-05-05
Anticipated expiration: 2019-06-26

Abstract

本实用新型是一种具有初检合格太阳能晶圆枢转分流装置的分类系统，包含基座、传送汲取装置、供应收纳装置以及枢转分流装置。传送汲取装置除将未合格晶圆放置于未合格晶圆承载装置内，并将初检合格的晶圆传送至合格晶圆输出位置；供应收纳装置则分别具有合格晶圆承载装置供应位置、合格晶圆收纳位置、及承载装置移出位置；由枢转分流装置在初检合格晶圆输出位置及合格晶圆收纳位置间枢转，吸附所述初检合格晶圆由初检合格晶圆输出位置并经二次检测后，将合格晶圆搬移至该合格晶圆收纳位置的合格晶圆承载装置内，加速分流输出速度。

Description

具有初检合格太阳能晶圆枢转分流装置的分类系统

技术领域

本实用新型是关于一种半导体晶圆检测机台，特别是一种具有初检合格太阳能晶圆枢转分流装置的分类系统。

背景技术

替代性能源的开发正是大势所趋，将太阳的光能转换为电能输出的太阳能板随之日趋普及，检测的项目除基本的光电转换效率等实质性能外，买方更因美观因素而要求整批货品的配色需一致等条件。使得分类等工作的挑战益增，因此，如何提升检测输出及分类的效率，即成为自动化检测机台力求百尺竿头、更进一步的重点。

组成太阳能板主要的部件为太阳能硅晶圆，如图1所示，图中左侧呈现太阳能硅晶圆1的受光面，以下称为第一面12、右侧呈现者为太阳能硅晶圆1翻转180度的非受光面，以下称为第二面14。为将光电流导出，太阳能硅晶圆1的第一面12与第二面14分别布设有电极122、142；因此，太阳能硅晶圆1的两面均需受到检验。

请参照图2，例释一台申请人所采用，依序进行检测与分类的太阳能晶圆检测机台2，其运作方式先由一枢转汲取器71将晶圆取出，经光学影像撷取器72检测晶圆设有电极的第二面后，再枢转一个预定角度(例如90度)将晶圆放置于设计在对应光学影像撷取器72该预定角度的传送装置21上、由传送装置21输送至其它例如颜色检测装置92、厚度检测装置93等，以检测晶圆的部分特性，再由分类系统的汲取装置22从传送装置21上汲取检测完毕的晶圆，并依检测结果分门别类的放置到不同的承载装置8内。当各个承载装置8内的晶圆达到一个预定数量，即会停机并由工作人员取下该承载装置8并置换一个空的承载装置8。

然而，当分类完成的太阳能晶圆需取出以进行包装时，将被迫全机暂停，无论前端检测效率有多高，都势必配合暂停，尤其每一色阶的数目不一，可能才停机取出置放深蓝色晶圆类别的承载装置，重新运作不多久，又面临紫色晶圆爆满而需停机。目前业者认同此种状况为不得已的时间损耗，但对分秒必争的电子产业而言，实属不必要的产能延宕与时间浪费。

更进一步检视可发现，实际分类时，最常被检定合格的类别竟然大致符合80/20法则。亦即，依照电气性能与色泽等因素，最常被检定归类为合格的头几类晶圆占据极大的百分比例，即最频繁出现的两、三种分类，通常占所有晶圆的六、七成以上，而较冷门的多数晶圆类别则仅占总体的极少量。尤其以习知的方式逐一检测后才加以分类，并且对所有分类的类别一视同仁，将需因为特别频繁出现的某几类经常满载，必须时常停机取出其承载装置，并补充空的承载装置，难免消耗不必要的检测资源、且延缓系统检测效率。

因此，若能提供一种可搭配检测系统或机台，可随分类需求进行模块化扩充、针对特殊需求再次分类并不节省检测资源、且不需时常停机、并衔接现有检测机台的应用架构，应为最佳解决方案。

实用新型内容

本实用新型的目的，在提高晶圆检测速度，致使大部分的太阳能晶圆在初检后符合本次检验标准者快速通过，并进程至另一检测或收纳步骤，无须太多停滞时间等待不合格或特殊晶圆由传送装置取下，提高分类效率。

本实用新型的另一目的，是提供一种自动化、可模块化衔接于现有检测机台的分类系统。

因此，本实用新型的具有初检合格太阳能晶圆枢转分流装置的分类系统，是供以复数合格晶圆承载装置承载初检合格太阳能晶圆，并以复数未合格晶圆承载装置承载初检未合格太阳能晶圆，包含：一个形成有复数承载位置、供置放未合格晶圆承载装置而承接该传送汲取装置释放的未合格太阳能晶圆的基座；一组设置于该基座、供沿一个传送方向传送所述太阳能晶圆，并沿一个与该传送方向呈夹角的汲取方向汲取初检未合格的太阳能晶圆，且具有一个合格晶圆输出位置的传送汲取装置；一组供沿一个与该传送方向呈夹角排列及移动上述复数合格晶圆承载装置，且分别形成有一个合格晶圆承载装置供应位置、一个合格晶圆收纳位置、及一个满载的合格晶圆承载装置移出位置的供应收纳装置；及一组在对应该初检合格晶圆输出位置、及对应该合格晶圆收纳位置间枢转，并由该初检合格晶圆输出位置将所述初检合格太阳能晶圆吸附搬移至该合格晶圆收纳位置的合格晶圆承载装置中的枢转分流装置。

经由上述装置结构，本实用新型所揭露的分类系统可于检测系统完验一般必要的检测项目(例如刮痕、水痕、白点、断线、脏污、对位偏移及电气性能等)后，淘汰不符合初检规格的晶圆、针对留存的晶圆做特殊检测、再次分类，并于取出分类完毕的太阳能晶圆时不需停机，将可使太阳能晶圆的分类检测速度提升并避免不必要的检测资源浪费而节省成本。

附图说明

图1是太阳能晶圆第一面与第二面的示意图；

图2是已知的太阳能晶圆检测机台；

图3是本实用新型第一较佳实施例的侧视图；

图4是图2分类系统的俯视图；

图5是枢转分流装置示意图；

图6是图2分类系统的供应收纳装置测试示意图；

附图标记：

1、晶圆，12、第一面，14、第二面，122、电极，142、电极，2、太阳能晶圆检测机台，21、传送装置，22、汲取装置，3’、分类系统，30’、基座，4’、传送汲取装置，49’、合格晶圆输出位置，5’、供应收纳装置，51’、合格晶圆承载装置供应位置，53’、合格晶圆收纳位置，55’、满载的合格晶圆承载装置移出位置，6’、检测系统，62’、传送带，7’、枢转分流装置，71、枢转汲取器，71’、枢转汲取器，711’、枢转组件，712’、吸嘴，72、光学影像撷取器，72’、光学影像撷取器，8、承载装置，8’、承载装置，92、颜色检测装置，93、厚度检测装置。

具体实施方式

有关本新型的前述及其它内容、特点与功效，在配合以下参考图式的较佳实施例的详细说明，将可以清楚的呈现.

请参阅图3及图4，例释本实用新型的分类系统3’包含：一个基座30’、一组传送汲取装置4’、一组供应收纳装置5’以及一组枢转分流装置7’。而该供应收纳装置5’沿一个与该传送方向呈夹角(例如90度)的方向分别形成有一个合格晶圆承载装置供应位置51’、一个合格晶圆收纳位置53’、一个满载的合格晶圆承载装置移出位置55’，供放置复数合格晶圆承载置8’并移动之。

当传送带62’从左向右传送太阳能晶圆，使其进入检测系统6’接受如破片、脏污、电气性能或厚度量测等一般必要的检测后，输送晶圆使其进入该分类系统3’。而衔接检测系统6’沿该传送方向承接晶圆的传送汲取装置4’即依照检测系统6’的检测结果，将有破损、脏污、电气性能不佳或厚度不符等未达到一般必要的检测标准、列为不合格的晶圆，以沿着传送方向呈夹角(例如垂直)汲取，即朝沿着传送方向、设置在基座30’两侧边的承载装置8’垂直移动，并依不符合规格的次分类项目分门别类置入两旁的不合格晶圆承载装置8’中。

此时，剩余未被汲取的晶圆则定义为经初检合格，续由传送汲取装置4’传送至其端部的合格晶圆输出位置49’，由枢转分流装置7’进行进一部的检测分类。为便于说明起见，本实施例中是例释本次进一部分类标准为太阳能晶圆的第二面的布局，当布局符合某一预定标准范围为本例中所谓合格，其它例如有刮痕、偏斜等，则再进一步分别区隔为不合格次分类。

请一并参照图5，本实施例的枢转分流装置7’包含一个光学影像撷取器72’、一个枢转汲取器71’；该枢转汲取器71’具有一个可沿一枢轴方向旋转并拥有四个旋转臂的枢转组件711’、四组设置于旋转臂的吸嘴712’。当然，熟于此技术者可轻易理解，枢转分流装置7’当可任意配置他种检测仪器，且其枢转组件711’及吸嘴712’的造型以及相对配置方式可依需求而做调整。

而该枢转组件711’运作时以顺时针方向旋转，依序利用该吸嘴712’吸取初检合格的太阳能晶圆(图未示)朝上的第一面，旋转约90度至光学影像撷取器72’上方，经进一步的撷取该晶圆的第二面影像后，若是符合本次进一步的分类标准，第二面没有明显刮痕、偏斜等，则再顺时针方向旋转约90度，将该晶圆置放在位于合格晶圆收纳位置53’上的承载装置8’中；若经光学影像撷取器72’检测结果为刮伤或偏斜者，则再顺时针方向旋转约180度，将其放置在区隔为不合格次分类的承载装置8’内。

而该分类系统的供应收纳装置进一步如图6所示，当位于该合格晶圆收纳位置53’的承载装置满载合格晶圆后，该满载的承载装置即向右移动至满载的合格晶圆承载装置移出位置55’，待该满载的合格晶圆承载装置移出位置55’的收内空间被满载的合格晶圆承载装置填满或填充到某一程度后，即发出警示通知工作人员将该处的合格晶圆承载装置全数取出(图未示)，以便继续收纳下一个满载的合格晶圆承载装置。同时，合格晶圆收纳位置53’左边的合格晶圆承载装置供应位置51’自动递补一个空的合格晶圆承载装置，并使之滑移至合格晶圆收纳位置53’供该枢转分流装置继续放置合格的晶圆。

由于被分类为合格者，满载的承载装置是从机台尾端被移出，由尾端观之，可分为如图6所示上下两层配置，上层承载装置是供枢转组件置放合格晶圆之用，而下层则是供操作人员移出满载承载装置、补充空的承载装置之用，彼此不相冲突；亦即，当操作人员移除满载承载装置而补充空盘时，不会影响机台整体运作，使得机台不需要为最频繁出现的产品类别停机，大幅度提升产品输出速率，从而提升产线整体产出效率.

惟，以上所述者，仅为本实用新型的较佳实施例而已，当不能以此限定本实用新型实施的范围。即，大凡依本实用新型申请专利范围及创作说明书内容所作的简单的等效变化与修饰，皆应仍属本实用新型专利涵盖的范围内。

Claims

1.一种具有初检合格太阳能晶圆枢转分流装置的分类系统，其特征是，在该分类系统中，是供以复数合格晶圆承载装置承载初检合格太阳能晶圆，并以复数未合格晶圆承载装置承载初检未合格太阳能晶圆，其包含：

一个形成有复数承载位置、供置放未合格晶圆承载装置而承接该传送汲取装置释放的未合格太阳能晶圆的基座；

一组设置于该基座、供沿一个传送方向传送所述太阳能晶圆，并沿一个与该传送方向呈夹角的汲取方向汲取初检未合格的太阳能晶圆，且具有一个合格晶圆输出位置的传送汲取装置；

一组供沿一个与该传送方向呈夹角排列及移动上述复数合格晶圆承载装置，且分别形成有一个合格晶圆承载装置供应位置、一个合格晶圆收纳位置、及一个满载的合格晶圆承载装置移出位置的供应收纳装置；及

一组在对应该初检合格晶圆输出位置、及对应该合格晶圆收纳位置间枢转，并由该初检合格晶圆输出位置将所述初检合格太阳能晶圆吸附搬移至该合格晶圆收纳位置的合格晶圆承载装置中的枢转分流装置。

2.如权利要求1所述的分类系统，其特征是，所述枢转分流装置包括一组供吸取、释放所述晶圆、并沿一个枢轴枢转的枢转汲取器。

3.如权利要求2所述的分类系统，其特征是，所述枢转分流装置更包括一组用以撷取被该枢转汲取器吸取的晶圆的影像数据的光学影像撷取器。

4.如权利要求2所述的分类系统，其特征是，所述枢转汲取器包含：

一组枢转组件；

复数个延伸自该枢转组件、分别供吸取所述晶圆的吸嘴。