KR20120117270A - 트레이 이송장치 - Google Patents

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KR20120117270A
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hook
tray
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support frame
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KR1020110034925A
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이강혁
백문구
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삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

트레이(tray) 이송장치에 있어서, 베이스 프레임, 트레이(tray)를 지지하는 제1 후크 유닛, 상기 베이스 프레임을 사이에 두고 제1 후크 유닛과 평행하게 형성되고, 상기 트레이(tray)를 지지하는 제2 후크 유닛, 상기 제1 후크 유닛의 하부에 형성되어 상기 제1 후크 유닛과 연결되고, 상기 제1 후크 유닛을 제3 방향으로 이송시키는 제1 승강 유닛 및 상기 제2 후크 유닛의 하부에 형성되어 상기 제1 후크 유닛과 연결되고, 상기 제2 후크 유닛을 상기 제3 방향으로 이송시키며, 상기 제1 승강 유닛과 실질적으로 평행하도록 형성되는 제2 승강 유닛을 포함한다. 따라서, 트레이(tray)의 이동 단계를 단순화하여 트레이(tray)의 충격을 최소화하고 생산 시간을 단축 할 수 있다.

Description

트레이 이송장치 {APPARATUS FOR TRAVERSING A TRAY}
본 발명은 트레이(tray) 이송 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 이송 단계가 단순화된 트레이(tray) 이송 장치에 관한 것이다.
스퍼터(sputter)는 평판 디스플레이 기판 상에 금속 박막을 증착시키는 장치로서, 최근에는 기판이 대형화되면서 스퍼터(sputter)의 형태는 중앙에 기판을 전달하는 로봇이 있고 그 로봇을 주변으로 챔버가 수 개 배열된 클러스터 타입(Cluster type)에서 다수의 챔버를 일렬로 세워 기판을 트레이 (tray)에 얹어 주행하면서 순차적으로 처리하는 인라인 타입(in-line type)으로 바뀌어 가고 있다.
인라인 타입(in-line type)의 스퍼터(sputter)는 트레이(tray)에 기판을 얹어 반송을 하게 되며, 일반적인 스퍼터(sputter)는 트레이(tray)의 출발점과 도착점이 같은 회전식 인라인 타입(in-line type)을 사용한다. 따라서, 트레이(tray)는 설비의 끝에 도착하면 다시 출발점으로 돌아오는데, 후발 트레이(tray)의 이동 경로를 방해하지 않기 위해 돌아오는 라인은 따로 형성된다. 끝에 도착한 트레이(tray)가 돌아오는 라인으로 넘어가는 동작 및 이를 수행하는 장치를 트래버스(traverse)라고 한다.
일반적으로 트래버스는 승강 유닛과 슬라이딩 유닛을 포함한다. 트래버스의 형성위치로 이동해온 트레이 (tray)를 승강 유닛이 들었다가 슬라이딩 유닛에 고정되어 있는 후크에 걸려 고정되도록 내려놓는다. 상기 승강 유닛과 상기 슬라이딩 유닛이 수평이동 한다. 상기 강 유닛은 상기 트레이(tray)를 들어올리고, 슬리이딩 유닛이 수평 이동한 후, 상기 승강 유닛은 상기 트레이(tray)를 다시 내려놓는다.
따라서, 상기 트레이(tray)를 제1 라인에서 제2 라인으로 옮기는데 다수의 승하강 운동이 필요하며 승하강 운동 시마다 상기 트레이(tray)와 상기 승강 유닛과의 접촉으로 인한 충격이 불가피하게 된다. 상기 충격으로 인하여 상기 트레이(tray)의 이물질이 낙하하게 되어 주변을 오염시키거나 기판을 파손시키게 되고 후발 기판들의 불량을 증가시키는 문제점이 있다. 또한, 여러 번의 승하강 운동 및 수평운동으로 인하여 생산 시간이 증가하게 된다.
이에, 본 발명의 기술적 과제는 이러한 점에서 착안된 것으로, 트레이(tray)가 이동되는 단계를 줄여서, 기판에 가해지는 충격을 최소화하고, 생산 시간을 최소화하는 트레이(tray) 이송 장치를 제공하는 것이다.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 따른 트레이(tray) 이동 장치는 베이스 프레임, 제1 후크 유닛, 제2 후크 유닛, 제1 승강 유닛 및 제2 승강 유닛을 포함한다. 상기 제1 후크 유닛은 트레이(tray)를 지지한다. 상기 제2 후크 유닛은 상기 베이스 프레임을 사이에 두고 제1 후크 유닛과 평행하게 형성되고, 상기 트레이(tray)를 지지한다. 상기 제1 승강 유닛은 상기 제1 후크 유닛의 하부에 형성되어 상기 제1 후크 유닛과 연결되고, 상기 제1 후크 유닛을 제3 방향으로 이송시킨다. 상기 제2 승강 유닛은 상기 제2 후크 유닛의 하부에 형성되어 상기 제1 후크 유닛과 연결되고, 상기 제2 후크 유닛을 상기 제3 방향으로 이송시키며, 상기 제1 승강 유닛과 실질적으로 평행하도록 형성된다.
일 실시예에서, 상기 제1 및 제2 후크 유닛 각각은 메인 프레임, 하부 지지프레임 및 상부 지지 프레임을 포함할 수 있다. 상기 하부 지지 프레임은 상기 메인 프레임의 상부에 상기 제3 방향으로 연장되어 형성될 수 있다. 상기 상부 지지 프레임은 상기 하부 지지 프레임과 평행하게 형성될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제1 및 제2 후크 유닛 각각은 상기 상부 지지 프레임 및 상기 하부 지지 프레임 사이에 바(bar)형상으로 형성되고, 상기 상부 지지 프레임 및 상기 하부 지지 프레임의 간격을 일정하게 유지하는 지지 부재를 더 포함 할 수 있다. 상기 상부 지지 프레임들은 상기 상부 지지 프레임들의 하부에 연결되어 있는 지지 부재를 포함하고, 상기 지지 부재는 바 형상일 수 있다.
일 실시예에서, 상기 상부 지지 프레임 각각에 상부 후크가 형성되고, 상기 하부 프레임 각각에 하부 후크가 형성될 수 있다. 상기 상부 후크 및 상기 하부 후크의 상부에는 상기 트레이(tray)를 고정하는 홈을 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제3 방향으로 연장되어 형성되고, 제1 포스트 유닛 및 제2 포스트 유닛을 포함 할 수 있다. 상기 제1 포스트 유닛은 상기 제1 후크 유닛의 상기 상부 및 하부 지지 프레임과 결합될 수 있다. 상기 제2 포스트 유닛은 상기 제3 방향으로 연장되고 형성되고, 상기 제2 후크 유닛의 상기 상부 및 하부 지지 프레임과 결합될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제1 및 제2 포스트 유닛 각각은 제1 면 및 상기 제1면과 실질적으로 수직한 제2 면을 포함하고, 상기 상부 및 하부 후크들은 상기 제1면의 상부에 형성되고, 상기 지지 부재는 상기 제2 면의 상부에 형성될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제1 및 제2 포스트유닛 각각은 상기 제3 방향으로 연장되어 형성되고, 상기 상부 지지 프레임과 결합하는 제1 가이드 및 사익 제 3 방향으로 연장되어 형성되고, 상기 하부 지지 프레임과 결합하는 제2 가이드를 포함 할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제1 및 제2 승강 유닛들 각각은 제1 메인 프레임, 승하강 구동부, 측벽 프레임 및 승강 프레임을 포함 할 수 있다. 상기 제1 메인 프레임은 상기 제3 방향으로 연장되어 형성될 수 있다. 상기 승하강 구동부는 상기 제1 메인 프레임의 일단면에 형성될 수 있다. 상기 측벽 프레임은 상기 승하강 구동부와 중첩되어 형성되고, 상기 제3 방향으로 형성되는 개구부를 포함할 수 있다. 상기 승강 프레임은 상기 개구부를 통하여 상기 승하강 구동부와 결합할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 승강 프레임은 제1 방향을 축으로 상기 제2 방향으로 회전하고 상기 제2 방향을 따라 일렬로 배열된 복수의 롤러들을 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 후크 유닛의 하단부에는 상기 롤러들과 결합하고, 상기 제2 방향으로 연장되어 형성된 이송 프레임을 포함할 수 있다.
이와 같이 본 발명에 의하면, 트레이(tray)를 여러 단계를 거치지 않고 빠른 시간 안에 이동시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이(tray) 이송 장치의 사시도이다.
도 2는 도 1의 제1 승강 유닛의 확대 사시도이다.
도 3은 도 1의 제1 포스트 유닛의 확대 사시도이다.
도 4는 도 1의 제1 후크 유닛의 확대 사시도이다.
도 5는 도 1의 승강 프레임, 제1 후크 유닛 및 제1 포스트 유닛이 조립된 상태 및 운동 상태를 설명하기 위한 사시도이다.
도 6a 및 도 6b는 트레이(tray) 이송 장치의 조립 및 이동 상태를 설명하기 위한 사시도들이다.
도 7은 도 1의 트레이 이송 장치를 포함하는 인라인 타입(in-line type)의 스퍼터(sputter)의 개략적인 최상부도이다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이(tray) 이송 장치의 사시도이다.
도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 트레이(tray) 이송 장치(10)는 베이스 프레임(100), 제1 포스트 유닛(110), 제2 포스트 유닛(120), 제1 후크 유닛(210), 제2 후크 유닛(220), 제1 승강 유닛(310), 제2 승강유닛(320)을 포함한다.
상기 베이스 프레임(100)은 제1 방향(D1)으로 연장되어 형성된 바(bar) 형상을 갖는다. 상기 제1 포스트 유닛(110)은 상기 베이스 프레임(100)의 일단부로부터 상기 제1 방향(D1)과 실질적으로 수직한 제3 방향(D3)을 따라 연장되어 형성되고, 상기 제2 포스트 유닛(120)은 상기 베이스 프레임(100)의 타단부로부터 상기 제3 방향(D3)을 따라 연장되어 형성된다. 따라서, 제1 및 제 2 포스트 유닛들(110, 120)은 서로 평행하게 형성되고, 서로 동일한 길이로 형성될 수 있다.
상기 제1 승강 유닛(310)은 상기 베이스 프레임(100)의 일단부에서 상기 제1 방향(D1) 및 상기 제3 방향(D3) 각각과 실질적으로 수직한 제2 방향(D2)으로 이격되어 형성되고, 상기 제3 방향(D3)으로 연장되어 형성된다. 상기 제2 승강 유닛(320)은 상기 베이스 프레임(100)의 타단부에서 상기 제2 방향(D2)으로 이격되어 형성되고, 상기 제3 방향(D3)으로 연장되어 형성된다. 상기 제1 및 제2 승강 유닛들(310, 320)은 서로 평행하고, 서로 동일한 길이로 형성될 수 있다.
상기 제1 포스트 유닛(110)과 상기 제1 승강 유닛(310) 사이에 상기 제1 후크 유닛(210)이 형성된다. 또한, 제2 포스트 유닛(120)과 상기 제2 승강 유닛(320) 사이에 상기 제2 후크 유닛(220)이 형성된다. 즉, 상기 제1 포스트 유닛(110), 상기 제1 후크(210) 및 상기 제1 승강 유닛(310)은 상기 제2 방향(D2)을 따라 순서대로 형성되고, 상기 제2 포스트 유닛(120), 상기 제2 후크(220) 및 상기 제2 승강 유닛(320)은 상기 제2 방향(D2)을 따라 순서대로 형성된다. 상기 제1 및 제2 후크 유닛들(210, 220)은 각각 상기 제1 포스트 유닛(110)과 상기 제1 승강 유닛(310), 상기 제2 포스트 유닛(120)과 상기 제2 승강 유닛(320)을 연결한다.
상기 제1 및 제2 포스트 유닛들(110, 120), 상기 제1 및 제2 승강 유닛들(310, 320), 및 상기 제1 및 제2 후크 유닛들(210, 220)의 각각의 구성은 후술하겠다. 상기 제1 포스트 유닛(110)과 상기 제2 포스트 유닛(120), 상기 제1 승강 유닛(310)과 상기 제2 승강 유닛(320) 및 상기 제1 후크 유닛(210)과 상기 제2 후크 유닛(220)에 포함되는 구성요소는 동일하므로, 제2 포스트 유닛(120), 상기 제2 승강 유닛(320) 및 상기 제2 후크 유닛(220)에 관한 상세한 설명은 생략한다.
도 2는 도 1의 제1 승강 유닛의 확대 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 제1 승강 유닛(310)은 제1 메인 프레임(311), 측벽 프레임(312), 승강 프레임(313), 승하강 구동부(317) 및 다수의 롤러(318)를 포함한다. 상기 제1 메인 프레임(311)은 상기 제3 방향(D3)으로 연장된 직육면체 형상이다. 상기 승하강 구동부(317)는 상기 제3 방향(D3)으로 연장된 상기 제1 메인 프레임(311)의 면들 중 일면에 형성된다. 상기 측벽 프레임(312)은 상기 승하강 구동부(317)가 형성된 상기 제1 프레임(311)의 일면 상에 상기 승하강 구동부(317)와 중첩되어 형성되며, 상기 제3 방향(D3)으로 연장된 개구부(316)를 포함하는 판형상으로 형성된다. 상기 개구부(316)를 통하여 상기 승하강 구동부(317)와 상기 승강 프레임(313)이 결합된다. 상기 승강 프레임(313)은 승강부(314)와 롤러 수납부(315)를 포함한다. 상기 승강부(314)는 상기 측벽 프레임(312)과 중첩되고 상기 제3 방향(D3)으로 확장되는 판형상으로 형성된다. 상기 롤러 수납부(315)는 상기 승강부(314)의 하부에 형성되며, 상기 제2 방향(D2)으로 연장되어 형성된다. 상기 롤러들(318)은 상기 롤러 수납부(315) 내부에 수납된다. 상기 롤러들(318)은 상기 제2 방향(D2)을 따라 배열되며 상기 제1 방향(D1)의 각각의 중심축을 중심으로 회전이 가능하다. 상기 각각의 롤러(318)의 중앙부분에는 상기 제2 방향(D2)으로 형성된 홈을 포함하며, 후술할 이동 프레임(220)과 연결된다. 즉, 승하강 구동부(317)는 측벽 프레임(312)을 따라 상기 승강부(314)가 상기 제3 방향(D3)으로 이동 되도록 구동시킨다.
도 3은 도 1의 제1 후크 유닛의 확대 사시도이다.
도 1 및 도 3을 참조하면, 상기 후크 유닛(210)은 제3 메인 프레임(211), 상부 지지 프레임(215), 하부 지지 프레임(218). 지지 부재(221), 하부 후크(219) 및 이동 프레임(220)을 포함한다. 상기 제3 메인 프레임(211)은 상기 제3 방향(D3)으로 연장된다. 상기 상부 지지 프레임(215)은 제1 면(212)과 상기 제1 면(212)과 실질적으로 수직하게 형성된 제2 면(213)을 포함한다. 상부 후크(214)는 상기 제2 면(213) 상에 형성되며, 상기 트레이(tray)가 고정될 수 있도록 상부에 홈이 형성될 수 있다. 상기 하부 지지 프레임(218)은 상기 제3 메인 프레임(211)에서 연장되어 형성된 제3 면(217)과 상기 제3 면(217)과 실질적으로 수직하게 형성되어 상기 제2 방향(D2)으로 연장된 제4 면(216)을 포함한다. 상기 상부 지지 프레임(215)과 상기 하부 지지 프레임(218) 사이에 지지 부재(221)가 형성된다. 상기 지지 부재(221)는 상기 상부 지지 프레임(215)에 고정되고, 상기 하부 지지 프레임(218)과 분리되어 형성 될 수 있다. 상기 제3 메인 프레임(211)이 상기 제 3 방향(D3)으로 이동할 때, 상기 하부 지지 프레임(218)이 상기 지지 부재(221)를 상기 제3 방향(D3)으로 밀어 상기 상부 지지 프레임(215)을 상기 제3 방향(D3)으로 이동시킨다. 상기 상부 지지 프레임(215) 및 상기 하부 지지 프레임(218)은 후술할 제1 및 제2 가이드(112, 113)와 결합되기 위하여 돌출부(미도시)가 형성되어 있으며, 상기 돌출부는 삼각형 형상으로 형성될 수 있다. 상기 하부 후크(219)는 상기 제3 메인 프레임(211) 상에 형성되며, 상기 트레이(tray)가 고정될 수 있도록 상부에 홈이 형성될 수 있다. 상기 이동 프레임(219)은 상기 메인 프레임(211)의 타단부에서 상기 제2 방향(D2)으로 연장되어 형성된다. 상기 이동 프레임(219)의 하부에 상기 제2 방향(D2)으로 연장되어 형성된 돌출부들이 형성되어, 상기 롤러 수납부(315)와 고정될 수 있다. 또한, 상기 이동 프레임(214)의 하부의 중앙에 돌출부가 형성되어 상기 롤러(318)의 홈과 결합하게 된다. 따라서, 상기 제1 후크 유닛(210)은 상기 승하강 구동부(317)에 의하여 상기 승강 프레임(313)이 상기 제3 방향(D3)으로 구동되면, 상기 제1 후크 유닛(210)도 상기 제3 방향(D3)으로 이동하고, 상기 롤러(318)의 홈에 따라 상기 제2 방향(D2)을 따라 이동하게 된다.
종래의 이송 장치는 트레이(tray)를 상기 제2 방향(D2)으로 이동하게 하는 장치가 별도로 포함한다. 그리고 이러한 제2 방향 이동 장치는 상기 포스트 유닛과 승강장치를 원하는 위치에 놓기 위해 별도로 구동된다. 다만, 본 발명의 이동 장치는 상기 롤러(318) 상에 후크 유닛(210)이 위치하여 상기 롤러를 따라 상기 제1 후크 유닛(210) 및 상기 제1 포스트 유닛(110)이 동시에 상기 제2 방향(D2)으로 운동하게 되어 별도의 구동 장치가 불필요하다. 또한, 처음부터 연결되어 있는 장치들이 동시에 이동하여 움직이므로 서로간의 충격으로 인한 손상을 줄일 수 있다.
또한, 종래 이송 장치의 포스트 유닛의 경우, 트레이(tray)를 고정하는 후크부가 포스트 유닛에 고정되어 형성되어 있으므로, 트레이(tray)를 후크에 고정하는 때마다 충격이 발생한다. 즉, 후크부의 상부에서 트레이(tray)를 낙하하여 후크에 고정하므로 트레이(tray) 내부의 가판에 충격이 발생할 수 있다. 다만, 본 발명의 경우, 트레이(tray)를 고정하는 후크가 상하로 이동이 가능하고, 후크가 트레이(tray)의 고정부보다 아래쪽에서부터 승강 하여 대기하는 트레이(tray)를 들어올리는 동시에 고정하고, 다시 하강하여 내려놓으므로, 이동시간이 단축되고 충격이 감소할 수 있다.
도 4는 도 1의 제1 포스트 유닛의 확대 사시도이다.
도 1 및 도 4를 참조하면, 제1 포스트 유닛(110)은 제2 메인 프레임(111), 제1 가이드(112), 제2 가이드(113)를 포함한다.
상기 제2 메인 프레임(111)은 상기 제3 방향(D3)으로 연장되어 형성된다. 상기 제1 및 제2 가이드들(112, 113)은 상기 제3 방향(D3)으로 서로 이격되며 상기 제3 방향(D3)으로 연장되어 형성된다. 상기 제2 메인 프레임(111)은 제1 면(114)과 상기 제1 면(114)과 실질적으로 수직한 방향으로 형성되는 제2 면(115)을 포함한다. 상기 제1 면상에는 상기 상부 및 하부 지지 프레임들(215, 218)의 상기 제1 면(212) 및 상기 제3 면(217)이 결합된다. 상기 제1 및 제2 가이드들(112, 113)은 상기 제2 메인 프레임(111)의 상기 제2 면(115) 상에 형성되며, 각각 상기 하부 지지 프레임(218) 및 상기 상부 지지 프레임(215)과 결합하기 위하여, 상기 제1 면(114)과 중첩하는 면의 중앙에 서로 마주하여 형성된 중앙부분이 함몰부를 포함할 수 있다. 상기 함몰된 부분은 삼각형 형상을 포함할 수 있으며, 상기 상부 및 하부 지지 프레임(215, 218)에 포함되는 돌출부와 대응되어 결합될 수 있다. 상기 제1 및 제2 가이드들(112, 113)은 상기 하부 및 상부 지지 프레임들(218, 215)과 결합하여 상기 제3 방향(D3)으로 이동할 수 있도록 가이드 하는 역할을 한다.
도 5는 도 1의 승강 프레임, 제1 후크 유닛 및 제1 포스트 유닛이 조립된 상태 및 운동 상태를 설명하기 위한 사시도이다.
도 1 및 도 5를 참조하면, 상기 이동 프레임(220)의 하부는 상기 롤러(318) 상의 상부에 형성된 홈과 결합한다. 상기 하부 지지 프레임(218)은 상기 제1 가이드(112)와 연결되고, 상기 하부 지지 프레임(218)의 상부는 상기 지지 부재(221)와 접촉된다. 또한, 상기 상부 지지 프레임(215)은 상기 제2 가이드(113)와 연결된다. 상기 롤러(318)와 결합된 상기 이동 프레임(214)은 상기 제2 방향(D2)으로 운동하고, 상기 제1 및 제2 가이드들(112, 113)과 결합된 상기 상부 및 하부 지지 프레임들(218, 215)은 제3 방향(D3)으로 운동할 수 있다.
도 6a 및 도 6b는 트레이(tray) 이송 장치의 조립 및 이동 상태를 설명하기 위한 사시도이다. 도 7은 도 1의 트레이 이송 장치를 포함하는 인라인 타입(in-line type)의 스퍼터(sputter)의 개략적인 최상부도이다.
도 1, 도 6a, 도6b 및 도 7을 참조하면, 상기 트레이(tray)(20)는 로드부(40)에서 스퍼터(sputter)장치로 로드된 후 제1 라인(L1)을 따라 이동하여 챔버(30)들을 거쳐 상기 트레이(tray)(20) 이동 장치에 도달한 후, 상기 트레이(tray)(20) 이동 장치로부터 상기 제1 라인(L1)의 이동방향과 반대방향인 제2 라인(L2)을 따라 이동하여 멀어지게 된다. 상기 제1 및 제2 라인들(L1, L2)은 일정한 거리로 이격되어 있으며, 이격된 거리는 실질적으로 상기 롤러(318)를 통하여 상기 트레이(tray)(20)가 상기 제2 방향(D2)으로 이동하는 거리와 같다. 상기 제1 및 제2 라인들(L1, L2)의 사이의 하부에는 여러 장치들이 형성되어 있어, 트레이(tray)(20)의 손상을 방지하기 위하여 트레이(tray)(20)를 일정 높이로 들어올려 이동시켜야 한다.
도 1, 도 6a 및 도 7을 참조하면, 제1 라인(L1)을 따라 이동해온 상기 트레이(tray)(20)가 대기하고 있고, 상기 제1 및 제2 포스트 유닛들(110, 120)은 상기 제1 라인(L1)에 가장 가까이에 위치하도록, 상기 제1 및 제2 후크 유닛들(210, 220)이 상기 롤러(218)를 통해 상기 제2 방향(D2)으로 이동한다. 또한, 상기 제1 밀 제2 승강 유닛들(310, 320)의 상기 승강 구동부(317)는 구동하지 아니하여, 상기 승강부(313) 및 상기 상부 및 하부 지지 프레임들(215, 218)은 가장 아래로 위치하여 대기한다. 상기 트레이(tray)(20)는 상기 제2 방향(D2)을 따라 이동하여 온 상기 상부 및 하부 후크들(214, 219)에 의하여 고정되게 된다. 상기 트레이(tray)(20)가 고정되면, 상기 제1 및 제2 승강 유닛들(310, 320)이 상기 승하강 구동부(317)에 의하여 상기 제3 방향(D3)으로 운동을 하고, 상기 제1 및 제2 후크 유닛들(210, 220)의 상기 하부 지지 프레임들(212)이 상기 제1 및 제2 가이드들(112, 113)을 따라 상승하게 된다. 상기 승강 프레임(313)의 롤러(318)와 직접적으로 결합되어 있는 상기 하부 지지 프레임(212)이 승강 하여, 상기 지지 부재(116)를 밀게 되면, 상기 지지 부재(116)와 연결되어 있는 상기 상부 지지 프레임들(215)이 상기 제2 가이드들(113)을 따라 상승하게 된다. 즉, 상기 승강 유닛들(310, 320)의 상기 승강 프레임(313)이 이동하는 거리, 상기 후크 유닛들(210, 220)이 이동하는 거리 및 상기 트레이(tray)(20)가 이송되는 거리는 동일할 수 있다.
이 후, 상기 롤러(318)와 접촉하고 있는 상기 이동 프레임(214)이 상기 제1 및 제2 승강 유닛들(310, 320)과 멀어지는 방향으로 상기 제2 방향(D2)을 따라 이동하여 상기 트레이(tray)(20)가 상기 제2 라인(L2)과 동일 선상으로 위치하도록 이동시킨다. 상기 제1 및 제2 승강 유닛들(310, 320)의 상기 승하강 구동부(317)에 의하여 상기 승강부(314)가 하강한다. 이에 따라 상기 후크 유닛들(310, 320)이 하강하게 되고, 상기 하부 지지 프레임들(212)이 하강하게 된다. 상기 하부 지지 프레임들(212)이 하강함에 따라 지지 부재들(116)에 의하여 지지되고 있던 상기 상부 지지 프레임들(114)도 하강하게 된다. 결과적으로 상부 및 하부 후크들(214, 219)에 의하여 고정되어 있던 트레이(tray)(20)가 하강하여 상기 제2 라인(L2)에 안착하게 된다. 상기 트레이(tray)(20)는 상기 제 2라인(L2)을 따라 상기 챔버(30)들을 거쳐 상기 로드부(40)에 도달하게 된다.
이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
이상에서 상세하게 설명한 바에 의하면, 트레이(tray)의 상하, 전후 및 수평운동을 한번에 연결해주는 후크 유닛을 포함하고, 트레이(tray)가 고정되는 후크가 상하 운동할 수 있는 구조를 가짐으로써, 상기 트레이(tray)와 트레이(tray) 이동장치 사이의 충격을 최소화하여 기판의 변형을 방지하고, 트레이(tray)에서 낙하하여 후발 기판의 오염을 방지할 수 있다. 또한, 라인과 라인 사이의 이동 단계를 단순화하여 생산 시간을 단축할 수 있다.
100: 베이스 프레임 110: 제1 포스트 유닛
120: 제2 포스트 유닛 210: 제1 후크 유닛
220: 제2 후크 유닛 310: 제1 승강 유닛
320: 제2 승강 유닛

Claims (10)

  1. 베이스 프레임;
    트레이(tray)를 지지하는 제1 후크 유닛;
    상기 베이스 프레임을 사이로 제1 후크 유닛과 평행하게 형성되고, 상기 트레이(tray)를 지지하는 제2 후크 유닛;
    상기 제1 후크 유닛의 하부에 형성되어 상기 제1 후크 유닛과 결합하고, 상기 제1 후크 유닛을 제3 방향으로 이송시키는 제1 승강 유닛; 및
    상기 제2 후크 유닛의 하부에 형성되어 상기 제1 후크 유닛과 결합하고, 상기 제2 후크 유닛을 상기 제3 방향으로 이송시키며, 상기 제1 승강 유닛과 실질적으로 평행하도록 형성되는 제2 승강 유닛을 포함하는 트레이(tray) 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 후크 유닛들 각각은
    메인 프레임;
    상기 메인 프레임의 상부에 상기 제3 방향으로 연장되어 형성되는 하부 지지 프레임; 및
    상기 하부 지지 프레임과 평행하게 형성되는 상부 지지 프레임을 포함하는 트레이(tray) 이송 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제1 및 제2 후크 유닛들 각각은
    상기 상부 지지 프레임 및 상기 하부 지지 프레임 사이에 바(bar)형상으로 형성되고, 상기 상부 지지 프레임 및 상기 하부 지지 프레임의 간격을 일정하게 유지하는 지지 부재를 더 포함하는 트레이(tray) 이송 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 상부 지지 프레임에 상부 후크가 형성되고, 상기 메인 프레임에 하부 후크가 형성되며, 상기 상부 후크의 상부 및 상기 하부 후크의 상부에는 홈이 형성된 것을 특징으로 하는 트레이(tray) 이송 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제3 방향으로 연장되어 형성되고, 상기 제1 후크 유닛의 상기 상부 및 하부 지지 프레임들과 결합되는 제1 포스트 유닛;
    상기 제3 방향으로 연장되고 형성되고, 상기 제2 후크 유닛의 상기 상부 및 하부 지지 프레임들과 결합되는 제2 포스트 유닛을 더 포함하는 트레이(tray) 이송 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 제1 및 제2 포스트 유닛들 각각은 제1 면 및 상기 제1 면과 실질적으로 수직한 제2 면을 포함하고, 상기 상부 및 하부 후크들은 상기 제1 면의 상부에 형성되고, 상기 지지 부재는 상기 제2 면의 상부에 형성되는 것을 특징으로 하는 트레이(tray) 이송 장치.
  7. 제2항에 있어서, 상기 제1 및 제2 포스트유닛들 각각은
    상기 제3 방향으로 연장되어 형성되고, 상기 상부 지지 프레임과 결합하는 제1 가이드; 및
    상기 제 3 방향으로 연장되어 형성되고, 상기 하부 지지 프레임과 결합하는 제2 가이드를 포함하는 트레이(tray) 이송 장치.
  8. 제2항에 있어서, 상기 제1 및 제2 승강 유닛들 각각은.
    상기 제3 방향으로 연장되어 형성된 제1 메인 프레임;
    상기 제1 메인 프레임의 일단면에 형성되는 승하강 구동부;
    상기 승하강 구동부와 중첩되고, 상기 제3 방향으로 연장되어 형성되는 개구부를 포함하는 측벽 프레임;
    상기 개구부를 통하여 상기 승하강 구동부와 결합하는 승강 프레임을 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이(tray) 이송 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 승강 프레임은 제1 방향을 축으로 상기 제2 방향으로 회전하고 상기 제2 방향을 따라 일렬로 배열된 복수의 롤러들을 포함하는 것을 특징을 하는 트레이(tray) 이송 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 후크 유닛의 하단부에는 상기 롤러들과 결합하고, 상기 제2 방향으로 연장되어 형성된 이송 프레임을 포함하는 트레이(tray) 이송 장치.
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WO2022197075A1 (ko) * 2021-03-16 2022-09-22 주식회사 엘지에너지솔루션 배터리 셀 외관 손상 방지를 위한 셀 안착 지그, 셀 정렬 장치 및 셀 안착 방법

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