KR20120100726A - Ｆｐｄ 모듈의 조립 장치 및 조립 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 탑재 부재가 탑재되는 표시 기판에 의해 구성되는 FPD(Flat Panel Display) 모듈에 대하여 효율적으로 처리를 행하기 위한 것으로서, FPD 모듈을 조립하는 FPD 모듈 조립 라인에 있어서, 표시 기판(1)이 반송(搬送)되는 제1 방향의 반송 라인을 따라 배치되는, ACF(Anisotropic Conductive Film) 접착 유닛, 가압착(假壓着) 유닛(200), 본압착(本壓着) 유닛(300) 중, 적어도 어느 하나의 장치에 대하여, 반송 라인과 교차하는 방향의 처리 위치로 표시 기판(1)을 이동시키고, 배치하는 이동 장치를 포함한다. 그리고, ACF 접착 유닛, 가압착 유닛(200), 본압착 유닛(300) 중, 적어도 어느 하나의 장치는, 이동 장치에 의해 처리 위치로 이동된 표시 기판(1) 중 적어도 3변(邊)에, 적어도 각 변에 대한 처리 시간이 오버랩(overlap)하는 타이밍에서 소정의 처리를 행하는 것이다.

Description

ＦＰＤ 모듈의 조립 장치 및 조립 방법{APPARATUS AND METHOD FOR ASSEMBLING FLAT PANEL DISPLAY(FPD) MODULE}

본 발명은, 평판 디스플레이[이하, FPD(Flat Panel Display)라고 함]를 구성하는 FPD 모듈에 전자 부품(탑재 부재)을 실장(實裝)하는 FPD 모듈의 조립 장치 및 조립 방법에 관한 것이다.

종래, FPD로서는, 예를 들면, 액정 디스플레이나 유기 EL(Electro- luminescence) 디스플레이, 플라즈마 디스플레이 등이 있다. 이 FPD에서의 표시 기판의 주위 에지부에는, 구동 IC의 탑재나, COF(Chip on Film), FPC(Flexible Printed Circuit) 등의 TAB(Tape Automated Bonding) 접속이 행해진다. 또한, 표시 기판의 주변에는, 예를 들면, PCB(Printed Circuit Board) 등의 주변 기판이 실장된다. 그 결과, FPD 모듈이 조립된다.

FPD 모듈의 조립 장치는, 복수의 공정을 순차적으로 행함으로써, FPD의 표시 기판에서의 주위 에지부 및 주변에, 구동 IC, COF 및 PCB 등의 탑재 부재를 실장하여, FPD 모듈을 조립하는 라인 장치이다.

여기서, 이하의 설명에서 「탑재 부재」라는 전자 부품은, 그 상세 형상이나 부재의 두께의 차이 등에 따라, TCP(Tape Carrier Package)라고 하거나, C0F라고 하거나 한다. 이들 TCP나 COF는, 스프로켓공(sprocket hole)을 가지는 장척(長尺)의 폴리이미드 필름에 배선을 행한 FPC에, IC 칩을 탑재하고, 이것을 잘라내어 구성된 것이며, 실장하는 데 있어서의 차이는 없다. 또한, 패널의 설계에 따라서는 IC 칩 없이 FPC만을 실장하는 경우도 있다. FPD의 실장 조립 공정에 있어서는, 이들 부품에 실질적인 차이는 없기 때문에, 본 발명에서는 탑재 부재라고 한다.

FPD 모듈의 조립 장치에 있어서의 공정의 일례로서는, (1) 표시 기판 단부(端部)의 탑재 부재 접착부를 청소하는 단자 클리닝(cleaning) 공정과, (2) 청소 후의 표시 기판 단부에 이방성 도전 필름(ACF: Anisotropic Conductive Film)을 접착하는 ACF 공정이 있다. 또한, (3) 표시 기판의 ACF를 접착한 위치에, 탑재 부재를 위치결정하여 탑재하는 탑재 공정과, (4) 탑재 부재를 가열 압착(壓着)하여 ACF에 의해 고정시키는 압착 공정이 있다. 또한, (5) 탑재 부재의 표시 기판측과는 반대측에, 미리 ACF를 접착한 PCB 기판을 접착 탑재하는 PCB 공정이 있다. 그리고, PCB 공정은, 복수의 공정으로 되어 있다.

ACF는, 접합하는 부재 공정 중 어느 한쪽에 미리 접착되어 있으면 된다. 예를 들면, 상기 ACF 공정의 다른 예에서는, ACF를 탑재 부재에 미리 접착하도록 해도 된다. 또한, FPD 모듈 조립 라인에는, 처리할 기판의 변(邊)의 수, 처리할 탑재 부재나 IC의 수 등에 따라 다양한 처리 장치군(裝置群)을 필요로 한다.

이와 같은 처리 장치군에 의한 일련의 공정을 거침으로써, 표시 기판 상의 전극과 탑재 부재에 설치한 전극과의 사이를 열압착하고, ACF 내부의 도전성(導電性) 입자를 사이에 두고 양 전극의 전기적인 접속이 행해진다. 그리고, 압착 공정이 종료되면, ACF 기재 수지가 경화되므로, 양 전극의 전기적인 접속과 동시에, 표시 기판과 탑재 부재가 기계적으로도 접속된다.

FPD 모듈의 조립 장치의 공정에 사용되는 압착 장치에 대해서는, 특허 문헌 1에 기재되어 있다. 이 특허 문헌 1에는, 가압착(假壓着) 스테이지로부터 공급된 표시 기판을 반송 벨트의 반송 방향으로부터 수직인 방향으로 이동시킬 때, 표시 기판을 반시계 방향으로 방향 전환한 후, 표시 기판의 2변에 전자 회로 부품을 동시에 열압착하는 압착 장치에 대하여 개시되어 있다.

일본공개특허 제2009-117704호 공보

그런데, FPD 모듈 조립 라인에는, 공정마다 다양한 처리를 행하기 위한 장치군이 배치되므로, 조립 라인의 규모가 확대되기 쉽다. 그러나, 특허 문헌 1에 개시된 기술에서는, 표시 기판의 크기가 커짐에 따라 표시 기판을 회전함으로써 생기는 관성력(慣性力)에 의해 소정 위치에 표시 기판을 정지시키는 것이 곤란해져, 위치맞춤에 시간이 필요하게 된다. 또한, 표시 기판을 회전시키면, 표시 기판의 대각선을 직경으로 하는 원의 면적분만큼 각각의 처리 장치군에 공간을 설치하지 않으면 안되므로, 라인 구성이 용장(冗長)으로 되기 쉬웠다.

본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위해서 이루어진 것이며, 탑재 부재가 탑재되는 표시 기판에 의해 구성되는 FPD 모듈에 대하여 효율적으로 처리를 행하는 것을 목적으로 한다.

상기한 바와 같은 문제점을 해결하고, 본 발명의 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 표시 기판에 ACF를 접착하는 ACF 접착 장치와, 표시 기판에 탑재 부재를, ACF를 사이에 두고 가압착하는 가압착 장치와, 가압착된 탑재 부재를 표시 기판에 본압착(本壓着)하는 본압착 장치를 구비하는 FPD 모듈을 조립하는 FPD 모듈 조립 라인에 있어서 이하의 처리가 행해진다.

즉, 표시 기판이 제1 방향으로 반송되는 반송 라인을 따라 배치되는, ACF 접착 장치, 가압착 장치 또는 본압착 장치 중, 적어도 어느 하나의 장치에 설치되는 이동 장치에 의해, 반송 라인과 교차하는 방향의 소정 위치에 표시 기판을 이동시키고, 배치한다.

그리고, ACF 접착 장치, 가압착 장치, 본압착 장치 중, 적어도 어느 하나의 장치가, 이동 장치에 의해 처리 위치로 이동된 표시 기판의 적어도 3변에, 적어도 각 변에 대한 처리 시간이 오버랩(overlap)하는 타이밍에서 소정의 처리를 행한다.

본 발명의 FPD 모듈의 조립 장치에 의하면, ACF 접착 장치, 가압착 장치, 본압착 장치 중, 적어도 어느 하나의 장치에 설치되는 이동 장치를 사용하여, 반송 라인과 교차하는 방향의 소정 위치에 표시 기판을 이동하고, 배치함으로써, 처리 위치로 이동한 표시 기판의 적어도 3변에, 적어도 각 변에 대한 처리 시간이 오버랩하는 타이밍에서 소정의 처리를 행할 수 있다. 그러므로, 종래 사용되고 있던 표시 기판의 2변씩에 대하여 처리를 행하는 FPD 모듈 조립 라인에 비하여, FPD 모듈의 조립 장치의 규모를 축소할 수 있다.

도 1은 본 발명의 FPD 모듈의 조립 장치의 제1 실시형태에 관한 FPD 모듈의 개략적인 구성을 나타낸 평면도이다.
도 2는 본 발명의 FPD 모듈의 조립 라인의 플로어 레이아웃 도면이다.
도 3은 본 발명의 FPD 모듈의 조립 장치의 제1 실시형태에 관한 가압착 유닛을 나타낸 평면도이다.
도 4는 본 발명의 FPD 모듈의 조립 장치의 제1 실시형태에 관한 ACF 접착부의 구성 개략도이다.
도 5는 본 발명의 FPD 모듈의 조립 장치의 제1 실시형태에 관한 ACF 접착부의 사시도이다.
도 6은 본 발명의 FPD 모듈의 조립 장치의 제1 실시형태에 관한 ACF 접착부의 커터날의 제어 회로를 나타낸 블록도이다.
도 7의 (A)는, 본 발명의 FPD 모듈의 조립 장치의 제1 실시형태에 관한 ACF 접착부에서 행해지는 탑재 부재의 촬상에서의 촬상 영역을 나타낸 설명도, 도 7의 (B)는, ACF 접착부에 있어서 행해지는 탑재 부재의 화상 측정을 설명하는 설명도이다.
도 8은 본 발명의 FPD 모듈의 조립 장치의 제1 실시형태에 관한 본압착 유닛의 단면도(斷面圖)이다.
도 9는 본압착 유닛에 관한 시트 이송 기구의 경사 변경부를 나타낸 설명도이다.
도 10은 본압착 유닛에 관한 시트 이송 기구의 일부를 나타낸 설명도이다.
도 11은 본 발명의 FPD 모듈의 조립 장치에 관한 보호 시트의 경사 각도 및 이송량의 제1 예를 나타낸 설명도이다.
도 12는 본 발명의 FPD 모듈의 조립 장치에 관한 보호 시트의 경사 각도 및 이송량의 제2 예를 나타낸 설명도이다.
도 13은 본 발명의 FPD 모듈의 조립 장치에 관한 보호 시트의 경사 각도 및 이송량의 제3 예를 나타낸 설명도이다.
도 14는 본 발명의 FPD 모듈의 조립 장치에 관한 보호 시트의 경사 각도 및 이송량의 제4 예를 나타낸 설명도이다.
도 15는 본 발명의 FPD 모듈의 조립 장치에 관한 보호 시트의 경사 각도 및 이송량의 제5 예를 나타낸 설명도이다.
도 16은 본 발명의 FPD 모듈의 조립 장치에 관한 보호 시트의 경사 각도 및 이송량의 제6 예를 나타낸 설명도이다.
도 17은 본 발명의 FPD 모듈의 조립 장치의 제1 실시형태에 관한 본압착 유닛의 변형예를 나타낸 설명도이다.
도 18은 본 발명의 FPD 모듈의 조립 장치의 제2 실시형태를 나타낸 FPD 모듈 조립 라인의 플로어(floor) 레이아웃(layout) 도면이다.
도 19는 본 발명의 FPD 모듈의 조립 장치의 제2 실시형태에 관한 이동 장치의 사시도이다.
도 20은 본 발명의 FPD 모듈의 조립 장치의 제2 실시형태에 관한 반송 유닛의 동작을 나타낸 설명도이다.
도 21은 본 발명의 FPD 모듈의 조립 장치의 제2 실시형태에 관한 반송 유닛의 동작을 나타낸 타이밍 차트이다.

이하, FPD 모듈의 조립 장치를 실시하기 위한 형태에 대하여, 첨부 도면을 참조하여 설명한다. 그리고, 각 도면에 있어서 공통의 부재에는, 동일한 부호를 부여하고 있다.

먼저, 본 발명의 FPD 모듈의 조립 장치의 제1 실시형태에 대하여, 도 1~도 17을 참조하여 설명한다.

[제1 실시형태: FPD 모듈의 조립 장치]

먼저, FPD 모듈에 대하여, 도 1을 참조하여 설명한다.

도 1은 본 발명의 제1 실시형태에 관한 FPD 모듈의 개략적인 구성을 나타낸 평면도이다.

도 1에 나타낸 바와 같이, FPD 모듈(7)은, 표시 기판(1)의 주위 에지부에 복수 개의 탑재 부재(2)를 ACF 접합에 의해 접속하고, 또한 표시 기판(1)의 1개의 장변(長邊)과 2개의 단변(短邊)에 접속되는 탑재 부재(2)에 PCB(6)를 ACF 접속하여 구성되어 있다. 탑재 부재(2)는, 편평한 직사각형의 폴리이미드 필름에 동박(銅箔)에 의한 인쇄 회로(도시하지 않음)를 형성한 FPC(Flexible Printed Circuit)(4)에, IC 칩(5)을 탑재하여 이루어지는 탑재 부재(2)이다. IC 칩(5)은, FPC(4)의 대략 중앙에 실장되어 있다. FPC(4)의 하면에는, 인쇄 회로가 형성되어 있고, 길이 방향의 양측(2개의 장변)에 아우터 리드(outer lead) 단자(도시하지 않음)가 설치되어 있다.

탑재 부재(2)의 종류에 따라서는, IC 칩(5)이 하면측에 있는 경우(COF 타입)나, IC 칩이 없는 경우(FPC 타입) 등도 있다. 도 1에는, 예로서 IC 칩(5)을 FPC(4)의 구멍에 끼워넣은 형식이 도시되어 있다. 또한, 탑재 부재(2)나 PCB(6)는, 접속 부위에 따라 회로적으로는 서로 차이가 있지만, 탑재 실장의 설명에는 구별할 필요가 없기 때문에, 동일한 것으로 하여 도시하고 있다.

도 2는 FPD 모듈 조립 라인(10)의 전체를 나타낸 플로어 레이아웃 도면이다.

FPD 모듈 조립 라인(10)은, 표시 기판(1)을 수취(受取)하는 수취 장치로서의 수취 유닛(100), 표시 기판(1)에 ACF를 사이에 두고 탑재 부재(2)를 가압착하는 가압착 장치로서의 가압착 유닛(200), 표시 기판(1)에 ACF를 사이에 두고 탑재 부재(2)를 본압착하는 본압착 장치로서의 본압착 유닛(300), 표시 기판(1)에 PCB를 접속하는 PCB 접속 장치로서의 PCB 접속 유닛(400), 및 표시 기판(1)을 반송하는 반송 장치로서의 반송 유닛(500)으로 구성되어 있다. 각 유닛은, 프레임(103, 203, 303, 403 및 503)을 가지고 있다. 각 프레임의 조작면 측에는, 반송 레일(101, 201, 301, 401 및 501)이 설치되어 있고, 인접하는 반송 레일이 연결되어 있다. 또한, 가압착 유닛(200), 본압착 유닛(300), PCB 접속 유닛(400)에 있어서, 표시 기판(1)을 반송 라인과 교차하는 Y 방향으로 이동시키는 이동 기구(290, 390, 490)를, 「이동 장치」라고 총칭한다.

반송 레일(101, 201, 301 및 401)은, 반송 스테이지(102, 202, 302 및 402)를 이동 가능하게 지지하고 있다. 이들 반송 스테이지(102, 202, 302 및 402)는, 다음 유닛의 작업 위치까지 표시 기판(1)을 반송한다. 그리고, 최후의 반송 유닛(500)에는, 표시 기판(1)을 수취하는 장치가 별도로 설치되지만, 반송 유닛(500)으로부터의 반송은, 일반적으로 공장마다 사양이 상이하므로, 여기서는 생략하고 있다.

가압착 유닛(200), 본압착 유닛(300) 및 PCB 접속 유닛(400)의 작업 위치에는, 표시 기판(1)의 작업 변을 탑재하는 기준 바(204, 304 및 404)가 설치되어 있다. 이들 기준 바(204, 304 및 404)는, 표시 기판(1)의 작업 변을 흡착하고, 표시 기판(1)의 평탄화를 행한다. 이들 기준 바(204, 304 및 404)는, 가압착 유닛(200), 본압착 유닛(300) 및 PCB 접속 유닛(400)의 후단 지지(도시하지 않음)와 함께 작업 중인 표시 기판(1)을 안정적으로 유지한다.

가압착 유닛(200)은, 표시 기판(1)을 반송 라인과 교차하는 Y 방향으로 이동시키는 이동 기구(290)를 구비한다. 이하의 설명에 있어서, 본 예에서는, Y 방향은, 반송 라인과 직교하는 것으로 한다. 그리고, 가압착 유닛(200)은, 탑재 부재 공급부(220)에 의해 공급되고, 후술하는 펀칭 기구에 의해 잘라내어진 탑재 부재(2)에 ACF를 접착하는 ACF 접착부(230)를 구비한다. ACF를 접착된 탑재 부재(2)는 탑재부(280)에 건네진다. 그리고, 가압착 유닛(200)은, 이동 기구(290)에 의해 Y 방향으로 이동된 표시 기판(1)의 한쪽 장변과 양 단변의 3변에 탑재 부재(2)를 ACF에 의해 가압착한다.

본압착 유닛(300)은, 3개의 본압착부(320A, 320B 및 320C)를 가진다. 또한, 본압착 유닛(300)은, 표시 기판(1)을 반송 라인과 교차하는 Y 방향으로 이동시키는 이동 기구(390)를 구비한다. 그리고, 본압착 유닛(300)은, 이동 기구(390)에 의해 Y 방향으로 이동된 표시 기판(1)의 한쪽 장변과 양 단변의 3변에 탑재된 탑재 부재(2)의 본압착 작업을 적어도 각 변에 대한 처리 시간이 오버랩하는 타이밍에서 행한다. 3개의 본압착부(320A, 320B 및 320C)는, 상부날을 가지는 본압착 헤드와, 하부날을 구비하고 있다. 상부날 및 하부날은, 히터에 의해 가열되어 있고, 탑재 부재(2)를 가열 가압하여 표시 기판(1)과 접속한다.

탑재 부재(2)를 표시 기판(1)에 본압착하기 위해서는, 탑재 부재(2)를 가압착한 표시 기판(1)을 아래쪽으로부터 하부날로 지지하면서, 상부날로 가압한다. 이 때, 탑재 부재(2)와 상부날과의 사이에는, 보호 시트(340A)가 개재(介在)된다(후술하는 도 8 참조). 상부날에 의해 가압된 ACF는, 예를 들면, 190℃에서 5초간 가열되어 열경화된다. 보호 시트(340A)는, 소정 횟수의 압착 작업이 행해지면, 시트 이송 기구에 의해 보내져, 상부날에 맞닿는 사용 부분이 변경된다.

이 본압착 유닛(300)에서는, 표시 기판(1)의 양 단변에 가압착된 게이트측의 탑재 부재(2)를 본압착하는 본압착부(320B, 320C)를 좌우 방향(유닛이 배열된 방향)으로 이동시키는 이동 기구가 필요해진다. 그러나, 유닛마다 필요한 생산 시간 중, 가장 생산 시간의 긴 본압착 작업을 적어도 각 변에 대한 처리 시간이 오버랩하는 타이밍에서 실시할 수 있다. 그러므로, 전체 행정을 통해서 처리의 개시로부터 종료까지 필요한 시간(어라운드 타임)을 짧게 할 수 있는 장점이 있다.

PCB 접속 유닛(400)은, 표시 기판(1)의 1개의 장변과 2개의 단변의 탑재 부재(2)에 PCB(6)를 접속한다. PCB 접속 유닛(400)은, 각 변에 각각 PCB 공급 장치(430)와, ACF 접착 장치(440)와, 이송탑재 장치(450)와, 본압착부(460)를 구비하고 있다. 또한, PCB 접속 유닛(400)은, 표시 기판(1)을 반송 라인과 교차하는 Y 방향으로 이동시키는 이동 기구(490)를 구비한다. 그리고, 이동 기구(490)는, PCB 접속 유닛(400)이 표시 기판(1)에 PCB를 접속하는 처리를 행하는 위치로 표시 기판(1)을 이동시키는 경우에, PCB 접속 유닛(400)은, 이동 기구(490)에 의해 Y 방향으로 이동된 표시 기판(1)의 한쪽 장변과 양 단변의 3변에 PCB(6)의 접속 작업을 적어도 각 변에 대한 처리 시간이 오버랩하는 타이밍에서 행한다.

PCB 공급 장치(430)는, 트레이(도시하지 않음)에 의해 공급된 PCB(6)를 1매씩 좌우의 ACF 접착 장치(440)에 공급한다. ACF 접착 장치(440)는, PCB 공급 장치(430)로부터 공급된 PCB(6)에 ACF를 접착시킨다. 이송탑재 장치(450)는, ACF의 접착이 종료된 PCB(6)를 본압착부(460)에 반송한다. 그리고, 본압착부(460)는, PCB(6)를 가압 가열하여 복수 개의 소스측의 탑재 부재(2)와 접속한다.

이와 같이, ACF 접착부(230), 가압착 유닛(200), 본압착 유닛(300), PCB 접속 유닛(400) 중, 적어도 어느 하나의 장치가 표시 기판(1)의 3변에 각각 동일한 처리를 행하는 3대의 처리 기구를 가진다. 그리고, 3대의 처리 기구 중, 2대의 처리 기구가 반송 라인과 교차하는 방향으로서, 처리 위치에 배치된 표시 기판(1)의 대향하는 2변에 대하여 각각 처리를 행하는 경우에, 이동되는 표시 기판(1)의 크기에 맞추어 2대의 처리 기구가 표시 기판(1)에 접근 또는 이격 가능하게 구성된다.

그리고, 이미 설명한 바와 같이, ACF 접착은 표시 기판(1) 측에 행하는 것도 가능하다. 이 경우에는, 상기한 ACF 접착부(230)를 3변 처리로 하기 위해서는, ACF 접착부(230)를 탑재 부재 공급부(220)없이 표시 기판(1)의 배치 위치의 3변에 배치함으로써 실현할 수 있다. 이 변형예는, 유리 기판에의 접착하는 ACF에 선행하여 실적이 있는 경우에, 프로세스 변경을 피할 수 있는 효과가 있다.

또한, 탑재 부재 공급부(220)와 ACF 접착부(230)를 표시 기판(1)의 장변측에 배치하고, 좌우의 단변측에는 ACF 접착부(230)를 탑재 부재 공급부(220)없이 배치함으로써, 장변측의 탑재 부재(2)(예를 들면, COF)에 미리 ACF를 접착하여 가압착하는 구성으로 하고, 단변측은 다음 공정에서 IC 칩 등을 탑재하는 구성으로 하는 것도 가능하다. 이 경우에는 미리 ACF를 회로면에 접착하면 위치 결정 마크가 인식하기 어려워지는 미소한 IC 칩을 직접 표시 기판(1)과 접속하는 구성에서는, 탑재 정밀도를 높이는 데 있어서 유효하다.

전술한 바와 같이, 이동 장치는, 표시 기판(1)이 반송되는 제1 방향의 반송 라인을 따라 배치되는, ACF 접착부(230), 가압착 유닛(200), 본압착 유닛(300), PCB 접속 유닛(400) 중, 적어도 어느 하나의 장치에 대하여, 반송 라인과 교차하는 방향의 처리 위치로 표시 기판(1)을 이동시키고, 적어도 어느 하나의 장치의 처리 위치에 표시 기판(1)을 배치한다. 이로써, ACF 접착부(230), 가압착 유닛(200), 본압착 유닛(300), PCB 접속 유닛(400) 중, 적어도 어느 하나의 장치가, 이동 장치에 의해 처리 위치로 이동된 표시 기판(1) 중 적어도 각 변에 대한 처리 시간이 오버랩하는 타이밍에서 소정의 처리를 행할 수 있다.

이와 같이, FPD 모듈 조립 라인(10)에서의 이동 장치에 의하면, 가압착 유닛(200), 본압착 유닛(300) 및 PCB 접속 유닛(400)에는, 각각 표시 기판(1)을 Y 방향으로 이동시키는 이동 기구(290, 390, 490)가 설치된다. 그러므로, 표시 기판(1) 중 적어도 각 변에 대한 처리 시간이 오버랩하는 타이밍에서 소정의 처리를 행할 수 있다. 이 때, 표시 기판(1)을 회전하도록 하는 처리는 불필요하므로, 장치군의 스페이스를 감소시킬 수 있어, FPD 모듈의 조립 장치 전체의 라인 길이를 짧게 할 수 있다. 그리고, 이동 기구(290, 390, 490)는, 반드시 반송 라인과 직교하는 방향으로 표시 기판(1)을 이동시키는 것이 아니어도 된다.

그리고, 본 예의 이동 장치로서, 수평 방향에서 반송 방향과 교차하는 방향으로 표시 기판(1)을 이동시키는 예에 대하여 설명하였으나, 표시 기판(1)의 이동 방향을 상하 방향으로 이동하도록 구성하는 것도, 당연히 가능하다.

[가압착 유닛]

다음에, 가압착 유닛(200)의 형태에 대하여, 도 3~도 7을 참조하여 설명한다. 도 3은 가압착 유닛(200)을 나타낸 평면도이다. 도 4는 제1 실시형태에 관한 ACF 접착부의 구성 개략도이다.

ACF의 특성 상, 신장(伸張)이 생기기 쉬우므로, 이 신장에 어떻게 대처할 것인지 검토하는 것이 필요하다. ACF는, 두께 30㎛ 정도의 PET(Polyethylene Terephthalate)제의 베이스 필름 상에 두께 30㎛ 정도의 ACF를 도포하여 형성되어 있고, 릴에 의해 공급된다. 그러므로, ACF가 필요한 길이로 잘라내지도록, 미리 ACF에 하프컷(half cut) 등의 절입(切入; cut-in)을 형성해도, 베이스 필름의 신장 등에 의해 ACF의 길이에 오차가 생긴다. 그리고, 여기서 말하는 하프컷이란, ACF층에는 절입을 형성하고, 베이스 필름층은 완전하게는 떼어내지 않고 연속성을 유지하도록 절입을 형성하는 가공이다.

도 3에 나타낸 바와 같이, 가압착 유닛(200)은, 탑재 부재 공급부(220)와, ACF 접착부(230)와, 탑재부(280)를 구비하고 있다. 탑재 부재 공급부(220)는, 릴(221)과, 릴(221)을 회전시키는 릴 이송 기구(622)와, 펀칭 기구(623)를 구비하고 있다.

표시 기판(1)에 탑재하는 탑재 부재(2)는, 장척(長尺)의 리본형 필름으로서 릴(221)에 권취되어 있다. 릴(221)은, 릴 이송 기구(622)에 의해 회전하고, 리본형 필름을 규정 피치로 송출한다. 펀칭 기구(623)는, 릴(221)에 의해 송출된 리본형 필름을 펀칭하여, 탑재 부재(2)를 개별적으로 잘라낸다. 잘라내어진 탑재 부재(2)는, 인출 기구(624)(도 4 참조)에 의해 꺼내져, ACF 접착부(230)에 공급된다.

도 4에 나타낸 바와 같이, ACF 접착부(230)는, 반입(搬入) 십자 암(660)과, ACF 접착 블록(670)과, 반출(搬出) 십자 암(680)을 구비하고 있다.

반입 십자 암(660)은, 4개의 암편(660a)을 구비하고 있고, ACF 접착 블록(670)에 탑재 부재(2)를 공급한다. 반입 십자 암(660)의 4개의 암편(660a)은, 각각 탑재 부재(2)를 진공 흡착하는 탑재 부재 척(chuck)(666)을 가지고 있다. 반입 십자 암(660)은, 약 90°씩 회전하고, 각 암편(660a)을, 인출 위치, 청소 위치, 촬상 위치 및 탑재?압착 위치에 배치한다.

탑재 부재(2)의 인출 위치에는, 펀칭 기구(623)와 인출 기구(624)가 배치되어 있다. 이 인출 위치에서는, 인출 기구(624)의 상하 반전 암(624a)이 펀칭 기구(623)로부터 탑재 부재(2)를 인출하여, 탑재 부재 척(666)에 건넨다. 청소 위치에는, 브러시(625)가 배치되어 있다. 이 청소 위치에서는, 브러시(625)가 탑재 부재 척(666)에 흡착된 탑재 부재(2)에서의 ACF(3a)가 접착되는 면을 청소한다.

촬상 위치에는, 제1 촬상 카메라(626)가 배치되어 있다. 이 촬상 위치에서는, 제1 촬상 카메라(626)가 탑재 부재 척(666)에 흡착된 탑재 부재(2)를 아래쪽으로부터 촬상하고, 탑재 부재(2)의 단부[ACF(3a)가 접착되는 변]의 길이와, 얼라인먼트 마크(710A, 710B)(도 5 참조)가 검출된다. 탑재?압착 위치에는, ACF 접착 블록(670)이 배치되어 있다. 이 탑재?압착 위치에서는, 탑재 부재 척(666)에 흡착된 탑재 부재(2)가 ACF 접착 블록(670)에 건네진다. ACF 접착 블록(670)에 대해서는, 다음에, 도 5를 참조하여 상세하게 설명한다.

반출 십자 암(680)은, 반입 십자 암(660)과 마찬가지로, 4개의 암편(680a)을 구비하고 있고, 탑재부(280)에 탑재 부재(2)를 공급한다. 반출 십자 암(680)의 4개의 암편(680a)은, 각각 탑재 부재(2)를 진공 흡착하는 박리(剝離) 척(681)을 가지고 있다. 반출 십자 암(680)은, 약 90°씩 회전하고, 각 암편(680a)을, 박리 위치, 촬상 위치, 반출 위치 및 대기 위치에 배치한다.

박리 위치에는, ACF 접착 블록(670)이 배치되어 있다. 이 박리 위치에서는, ACF(3a)(도 5 참조)가 접착된 탑재 부재(2)가 박리 척(681)에 흡착된다. 촬상 위치에는, 제2 촬상 카메라(627)가 배치되어 있다. 이 촬상 위치에서는, 제2 촬상 카메라(627)가 박리 척(681)에 흡착된 탑재 부재(2)를 아래쪽으로부터 촬상한다. 제2 촬상 카메라(627)에 의해 촬상된 화상은, 화상 처리 장치(도시하지 않음)에 출력되고, 탑재 부재(2)에 대한 ACF(3a)의 접착 상태가 검사된다.

반출 위치에는, 받아건넴부(275)(도 3 참조)가 배치되어 있다. 이 반출 위치에서는, 촬상 위치에서 촬상된 화상에 기초한 검사에 의해 합격으로 판정된 탑재 부재(2)가 받아건넴부(275)에 건네진다. 받아건넴부(275)는, 공급된 탑재 부재(2)를 탑재부(280)에 건넨다. 대기 위치에서는, 탑재 부재(2)를 흡착하고 있지 있지 않은 박리 척(681)이 대기하고 있다. 그리고, 촬상 위치에서의 검사 결과가 불합격인 탑재 부재(2)는, 대기 위치에 있어서 폐기되어, 도시하지 않은 회수부에 회수된다.

그리고, 전술한 반입 십자 암(660) 및 반출 십자 암(680)은, 반드시 4개의 암을 가지는 십자 암으로 할 필요는 없고, 반송 택트(tact)의 필요에 따라서는, 탑재 부재(2)를 반입 및 반출하기 위한 암을 1개로 하여 이동 장치에 적용할 수 있다. 또한, 표시 기판(1)을 고속으로 반송하는 것이 필요할 경우에는, 탑재 부재(2)를 반입하고, 반출하는 기구가 가지는 암을 6개, 8개로 증가시켜 적용하는 것도 당연히 가능하다.

[ACF 접착 블록]

다음에, ACF 접착 블록(670)에 대하여, 도 5를 참조하여 설명한다. 도 5는 제1 실시형태에 관한 ACF 접착부의 사시도이다.

도 5에 나타낸 ACF 접착 블록(670)은, 반입 십자 암(660)으로부터 공급된 탑재 부재(2)의 2개의 변에 ACF 테이프(3)의 ACF(3a)를 접착시킨다. 이 ACF 접착 블록(670)은, 도시하지 않은 공급릴과 가이드 롤러(691A, 691B, 691C)와, 베이스 필름 회수부(692)와, 제1 커터날(694A)과, 제2 커터날(694B)을 구비하고 있다. 또한, ACF 접착 블록(670)은, ACF 가이드(696)와, 압착 날(697)과, 하부 받이부(698)와, 흡착 받이부(699)와, 박리 롤러(701)와, 이동 척(702A, 702B)과, 고정 척(703)을 구비하고 있다.

제1 커터날(694A)과 제2 커터날(694B)은, ACF 테이프(3)의 이송 방향과 평행한 방향(ACF 테이프의 길이 방향)으로 적당한 간격을 두고 배치되어 있다. 제1 커터날(694A)은, 제1 커터날 구동 기구(도시하지 않음)에 의해, 상하 방향과, ACF 테이프(3)의 길이 방향으로 이동된다. 또한, 제1 커터날(694A)은, 제1 커터날 구동 기구에 의해 ACF 테이프(3)에 대하여 각도가 수정된다.

제2 커터날(694B)은, 제1 커터날(694A)과 마찬가지로, 제2 커터날 구동 기구(도시하지 않음)에 의해, 상하 방향과, ACF 테이프의 길이 방향으로 이동된다. 또한, 제2 커터날(694B)은, 제2 커터날 구동 기구에 의해 ACF 테이프(3)에 대하여 각도가 수정된다.

제1 커터날(694A)과 제2 커터날(694B)은, ACF 테이프(3)에 하프컷을 행한다. 제1 커터날(694A), 제2 커터날(694B) 사이에는, 중공(中空)의 암(도시하지 않음)이 설치되어 있다. 이 중공의 암은, 제1 커터날(694A), 제2 커터날(694B)에 의해 형성되는 2개의 하프컷 사이의 여분의 ACF(3a)를 접착 테이프에 접착시켜 제거한다.

ACF 가이드(696)는, 표면을 평활하게 마무리한 스테인레스제의 부재이며, 탑재 부재 척(666)에 대향하는 표면에 불소 수지 가공이 행해져 있다. 이로써, 베이스 필름(3b)으로부터 비어져 나온 ACF(3a)가 ACF 가이드(696)에 고착되지 않는다. ACF 가이드(696)는, ACF 테이프(3) 및 ACF 테이프(3)의 ACF(3a) 상에 탑재되는 탑재 부재(2)를 이동 가능하게 지지한다.

그리고, 도 5에서는, 반입 십자 암(660)의 암편(660a)으로부터 탑재 부재 척(666)이 이탈하고 있는 것처럼 나타내고 있지만, 탑재 부재 척(666)은, 암편(660a)과 접속되어 일체로 되어 있다. 이 탑재 부재 척(666)은, 암편(660a)과 함께 하강되고, ACF 가이드(696) 상에 송출된 ACF 테이프(3)의 ACF(3a)에 탑재 부재(2)를 가압한다. 또한, 탑재 부재 척(666) 및 ACF 가이드(696)에는, 히터가 내장되어 있고, 탑재 부재(2) 및 ACF 테이프(3)를, 예를 들면 70~90℃로 가열한다.

압착 날(697)은, 승강 기구(도시하지 않음)에 의해 하강되어, 하부 받이부(698)와의 사이에 탑재 부재(2) 및 ACF 테이프(3)를 사이에 두고, 예를 들면 2MPa로 가압한다. 또한, 압착 날(697) 및 하부 받이부(698)의 ACF 테이프(3)에 대향하는 부분에는, 히터가 내장되어 있고, 탑재 부재(2) 및 ACF 테이프(3)를, 예를 들면 70~90℃로 가열한다. 그리고, 탑재 부재 척(666), ACF 가이드(696), 압착 날(697) 및 하부 받이부(698)의 가열 온도와 가압력은, 사용하는 ACF의 특성에 따라 적절히 설정한다.

이동 척(702A, 702B)은, 여분의 ACF(3a)가 제거된 2개의 하프컷 사이의 베이스 필름(3b)을 각각 협지한다. 이들 이동 척(702A, 702B)은, 각각 척 베이스(705A, 705B)에 지지되어 있다. 척 베이스(705A, 705B)는, 이동 척(702A, 702B)을 ACF 테이프(3)의 이송 방향 또는 이송 방향과는 반대의 방향으로 1피치분 이동시킨다. 또한, 고정 척(703)은, 가이드 롤러(691C)와 베이스 필름 회수부(692)와의 사이에 배치되어 있고, ACF(3a)로부터 박리된 베이스 필름(3b)을 협지한다.

다음에, ACF 접착 블록(670)의 동작에 대하여 설명한다.

ACF 테이프(3)는, 가이드 롤러(691A)에 의해 방향이 변경되어, ACF 가이드(696) 상의 정위치에 배치된다. ACF 테이프(3)에는, ACF 가이드(696)에 배치되기 전에, 제1 커터날(694A), 제2 커터날(694B)에 의해 ACF 테이프(3)의 하프컷이 행해진다. 이 때, 제1 커터날(694A), 제2 커터날(694B)은, 제1 촬상 카메라(626)에 의해 촬상된 화상으로부터 검출된 탑재 부재(2)의 단부[ACF(3a)가 접착되는 변]의 길이 및 경사에 기초하여 구동 제어된다. 제1 커터날(694A), 제2 커터날(694B)의 구동 제어에 대해서는, 다음에 상세하게 설명한다.

반입 십자 암(660)의 탑재 부재 척(666)은, 탑재 부재(2)를 진공 흡착시켜 반송하고, ACF 가이드(696)를 따라 연신(延伸)된 ACF 테이프(3)의 ACF(3a) 상에 탑재하여 가압한다. 이 때, 탑재 부재 척(666)은, 제1 촬상 카메라(626)에 의해 촬상된 탑재 부재(2)의 얼라인먼트 마크(710A, 710B)에 기초하여 구동되고, ACF(3a)에 대한 탑재 부재(2)의 자세(X, Y, θ)를 보정한다.

또한, 압착 날(697)은, 승강 기구(도시하지 않음)에 의해 하강되어, 하부 받이부(698)와의 사이에 있는 탑재 부재(2) 및 ACF 테이프(3)를 사이에 두고, 예를 들면 2MPa로 가압한다. 한편, 반출 십자 암(680)의 박리 척(681)은, 흡착 받이부(699)에 지지된 탑재 부재(2)를 흡착한다. 그리고, 이동 척(702A, 702B)은, 각각 베이스 필름(3b)을 협지하고, 고정 척(703)은, 베이스 필름(3b)을 개방한다.

가압이 끝난 탑재 부재 척(666)은, 진공 흡착을 대기 개방하고, 탑재 부재(2)로부터 이격된다. 또한, 가압이 끝난 압착 날(697)은, 승강 기구에 의해 상승한다. 그리고, 척 베이스(705A, 705B)는, 베이스 필름(3b)을 협지한 이동 척(702A, 702B)을 이송 방향으로 1피치분 이동시킨다. 이로써, 탑재 부재(2) 및 ACF 테이프(3)는, 이송 방향으로 1피치분 송출된다.

이 때, 박리 척(681)에 흡착된 탑재 부재(2)에 접착되어 있는 ACF(3a)와 베이스 필름(3b)와의 사이에 박리 롤러(701)가 삽입되고, ACF(3a)로부터 베이스 필름(3b)이 박리된다.

탑재 부재(2) 및 ACF 테이프(3)의 송출이 완료되면, 고정 척(703)은, ACF(3a)가 박리된 베이스 필름(3b)을 협지한다. 그리고, 이동 척(702A, 702B)은, 베이스 필름(3b)을 개방하고, 척 베이스(705A, 705B)에 의해 이송 방향과는 반대의 방향으로 1피치분 이동한다.

한편, 반입 십자 암(660)과 반출 십자 암(680)은, 약 90° 회전한다. 이로써, ACF 가이드(696)의 상부에는, 반입 십자 암(660)의 탑재 부재 척(666)에 흡착된 탑재 부재(2)가 배치된다. 또한, 반출 십자 암(680)의 박리 척(681)에 흡착된 ACF(3a)가 접착한 탑재 부재(2)는, 받아건넴부(275)에 건네지고, 흡착 받이부(699)의 상부에는, 탑재 부재(2)를 흡착하고 있지 있지 않은 박리 척(681)이 배치된다. 이로써, ACF 접착 블록(670)의 동작이 일순(一巡)하고, 제1 커터날(694A), 제2 커터날(694B)에 의한 ACF 테이프(3)의 하프컷이 행해진다.

[커터날의 구동 제어]

다음에, ACF 접착부(230)에서의 제1 커터날(694A), 제2 커터날(694B)의 구동 제어에 대하여, 도 6 및 도 7을 참조하여 설명한다. 도 6은 제1 커터날(694A)과 제2 커터날(694B)의 구동 제어에 관한 제어 회로의 예를 설명한다. 도 7의 (A)는, ACF 접착부(230)에 있어서 행해지는 탑재 부재(2)의 촬상에서의 촬상 영역을 나타낸 설명도이다. 도 7의 (B)는, ACF 접착부(230)에 있어서 행해지는 탑재 부재(2)의 화상 측정을 설명하는 설명도이다.

제1 커터날(694A)과 제2 커터날(694B)의 구동 제어에 관한 제어 회로는, 제1 촬상 카메라(626)와, 화상 처리 장치(110)와, 제어 장치(111)를 구비하고 있다. 화상 처리 장치(110)는, 제1 촬상 카메라(626) 및 제어 장치(111)와 전기적으로 접속되어 있다. 제어 장치(111)는, 제1 커터날 구동 기구(265A), 제2 커터날 구동 기구(265B)와 전기적으로 접속되어 있다. 제어 장치(111)는, 화상 처리 장치(110)와 전기적으로 접속된 연산 처리부(112)와, 제1 커터날 구동 기구(265A), 제2 커터날 구동 기구(265B)와 전기적으로 접속된 구동 출력부(113)를 가지고 있다.

제1 촬상 카메라(626)는, 2 시야(視野) 렌즈를 가지고, 2개의 얼라인먼트 마크(710A, 710B)가 설치되어 있는 탑재 부재(2)의 2개의 코너부를 포함하는 촬상 영역 T1, T2를 촬상한다. 제1 촬상 카메라(626)는, 촬상한 탑재 부재(2)의 단부(端部)의 화상을 화상 처리 장치(110)에 출력한다. 화상 처리 장치(110)는, 2개의 얼라인먼트 마크(710A, 710B)에 의해, 단자 부분 S의 위치를 검출한다. 또한, 촬상 영역 T1에서의 각 영역 M1과 촬상 영역 T2에서의 각 영역 M2로부터, 탑재 부재(2)의 단부[ACF(3a)가 접착되는 변]의 길이 M을 검출한다. 또한, 탑재 부재(2)의 이송 방향(진행 방향)의 전후의 변의 단자 부분 S에 대한 경사를 검출한다. 화상 처리 장치(110)는, 보내져 온 화상으로부터 탑재 부재(2)의 단부의 기준선에 대한 위치 및 경사를 검출한다.

ACF 접착부(230)에서는, 화상 처리 장치(110)에 의해, 도 7에 나타낸 단자 부분 S의 위치를 검출한다. 또한, 탑재 부재(2)의 단부[ACF(3a)가 접착되는 변]의 길이와 단자 부분에 대한 경사를 검출한다. 여기서, 연산 처리부(112)는, 제1 촬상 카메라(626)가 촬상한 촬상 결과로부터 판명되는 탑재 부재(2)의 단부의 기준선으로부터의 거리 및 경사에 기초하여, 제1 커터날(694A)과 제2 커터날(694B)에 의한 절단 위치를 결정하는 절단 위치 결정부로서 사용된다. 이 기준선은, 구동 출력부(113)는, 연산 처리부(112)에 의해 결정된 절단 위치에 기초하여 구동 신호를 생성하고, 제1 커터날 구동 기구(265A), 제2 커터날 구동 기구(265B)에 출력한다. 그리고, 제1 커터날 구동 기구(265A), 제2 커터날 구동 기구(265B)는, 연산 처리부(112)에 의해 결정된 절단 위치에서 ACF를 절단하는 절단부로서 사용된다.

연산 처리부(112)는, 단자 부분 S의 위치에 기초하여, ACF(3a)에 대한 탑재 부재(2)의 자세(X, Y, θ)의 보정값을 결정한다. 또한, 탑재 부재(2)의 단부의 길이 M과, 탑재 부재(2)의 이송 방향(진행 방향)의 전후의 변의 단자 부분 S에 대한 경사에 기초하여, 제1 커터날(694A), 제2 커터날(694B)에 의한 절단 위치를 결정한다. 그리고, 제2 커터날(694B)에 의한 절단 위치를 기억부(도시하지 않음)에 기억한다.

구동 출력부(113)는, 이번 화상 측정에 따라서 결정한 제1 커터날(694A)에 의한 절단 위치에 기초하여 구동 신호를 생성하여, 제1 커터날 구동 기구(265A)에 출력한다. 제1 커터날 구동 기구(265A)는, 대응하는 탑재 부재(2)가 촬상 위치에 있을 때, 수신한 구동 신호에 기초하여 제1 커터날(694A)을 회전 및 수평 이동시킨다.

이로써, 제1 커터날(694A)은, 대응하는 탑재 부재(2)의 이송 방향의 앞쪽의 변과 평행하게 탑재 부재(2)의 단부의 길이 M을 따른 위치에 배치된다. 그리고, 제1 커터날 구동 기구(265A)는, 제1 커터날(694A)을 하강시켜, ACF(3a)를 절단한다.

또한, 구동 출력부(113)는, 대응하는 탑재 부재(2)가 탑재?압착 위치[ACF 가이드(696)의 위쪽]에 배치되었을 때, 기억부에 기억된 제2 커터날(694B)에 의한 절단 위치를 추출한다. 그리고, 추출한 절단 위치에 기초하여 구동 신호를 생성하고, 제2 커터날 구동 기구(265B)에 출력한다. 제2 커터날 구동 기구(265B)는, 수신한 구동 신호에 기초하여 제2 커터날(694B)을 회전 및 수평 이동시킨다.

이로써, 제2 커터날(694B)은, 대응하는 탑재 부재(2)의 이송 방향의 뒤쪽의 변과 평행하게 탑재 부재(2)의 단부의 길이 M을 따른 위치에 배치된다. 그리고, 제2 커터날 구동 기구(265B)는, 제2 커터날(694B)을 하강시켜, ACF(3a)를 절단한다. 그 결과, ACF(3a)를 대응하는 탑재 부재(2)에 따른 길이로 절단할 수 있어, ACF(3a)를 탑재 부재(2)에 고정밀도로 접착시키는 것이 가능하다.

그리고, 본 발명에 관한 촬상부는, 2 시야 렌즈를 가지는 제1 촬상 카메라(626)에 한정되는 것이 아니고, 예를 들면, 2개의 촬상 카메라와 프리즘에 의해 구성할 수도 있다. 이 경우에는, 한쪽의 촬상 카메라가 프리즘을 통하여 촬상 영역 T1을 촬상하고, 다른 쪽의 촬상 카메라가 프리즘을 통하여 촬상 영역 T2를 촬상한다. 또한, 탑재 부재의 종류에 따라 촬상 영역 T1, T2의 위치를 변경하는 경우에는, 2개의 촬상 카메라를 고정하여 프리즘을 이동시키거나, 또는 프리즘을 고정시켜 2개의 촬상 카메라를 이동시킴으로써 대응할 수 있다.

이와 같이, ACF 접착 블록(670)은, 탑재 부재(2)의 단부를 제1 촬상 카메라(626)로 촬상하여 화상 측정을 행하고, 그 결과에 기초하여 ACF(3a)의 절단 위치를 결정한다. 그 결과, ACF(3a)를 탑재 부재(2)의 개체차(個體差)에 따른 길이로 절단할 수 있어, 대응하는 탑재 부재(2)에 고정밀도로 접착시키는 것이 가능하다.

그리고, ACF 접착 블록(670)은, 절단부로서 2개의 커터날을 사용하였지만, 본 발명에 관한 커터날은, 1개라도 된다. 그 경우에는, 탑재 부재(2)에 대한 ACF(3a)의 2개의 절단 위치를 1개의 커터날로 절단하게 된다.

또한, 전술한 실시형태에 관한 ACF 접착 블록(670)에서는, ACF 테이프(3)를 하프컷한 후, 하프컷된 ACF(3a)를 탑재 부재(2)에 접착하는 예에 대하여 설명하였으나, 탑재 부재(2)에 ACF(3a)를 접착한 후, ACF 테이프(3)를 하프컷할 수도 있다.

다음에, 탑재부(280)에 대하여 설명한다.

탑재부(280)는, 표시 기판(1)의 장변에 탑재 부재(2)를 탑재하는 장변 탑재부(280A)와, 각각 표시 기판(1)의 단변에 탑재 부재(2)를 탑재하는 단변 탑재부(280B, 280C)로 구성되어 있다. 이들 장변 탑재부(280A) 및 단변 탑재부(280B, 280C)는, 받아건넴부(275)로부터 탑재 부재(2)를 수취한다.

장변 탑재부(280A)는, 셔틀 척(281)과, Y축 가이드(282)와, X축 가이드(283)와, 탑재 블록(285)과, X축 가이드(286)와, 카메라부(287)를 구비하고 있다.

셔틀 척(281)은, 받아건넴부(275)로부터 탑재 부재(2)를 수취한다. 이 셔틀 척(281)은, Y축 가이드(282)에 이동 가능하게 지지되어 있다. 그리고, Y축 가이드(282)는, X축 가이드(283)에 이동 가능하게 지지되어 있다. 이로써, 셔틀 척(281)은, 수평 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 셔틀 척(281) 및 Y축 가이드(282)는, 2개씩 설치되어 있다. 그리고, 2개의 Y축 가이드(282)는, X축 가이드(283)를 공유하고 있다.

탑재 블록(285)은, 탑재 베이스(291)와, 탑재 부재 테이블(292)과, 탑재 헤드(293)와, 받아건넴 헤드(294)로 되어 있다. 탑재 베이스(291)는, X축 가이드(286)에 이동 가능하게 지지되어 있고, 표시 기판(1)의 장변에서의 탑재 위치로 이동한다. 탑재 부재 테이블(292), 탑재 헤드(293) 및 받아건넴 헤드(294)는, 탑재 베이스(291) 상에 배치되어 있다.

셔틀 척(281)은, 탑재 베이스(291)에 접근하여, 탑재 부재 테이블(292)에 탑재 부재(2)를 건넨다. 받아건넴 헤드(294)는, 탑재 부재 테이블(292) 상의 탑재 부재(2)를 탑재 헤드(293)에 건넨다. 탑재 헤드(293)는, 받아건넴 헤드(294)로부터 공급된 탑재 부재(2)를 표시 기판(1)의 탑재 위치에 가압착(탑재)한다. 이 때, 탑재 베이스(291)의 이동에 앞서 미리 탑재 위치의 양 단부 아래쪽에 대기한 한쌍의 카메라부(287)는, 각각 2 시야 렌즈를 가지고, 표시 기판(1)의 탑재 마크와 탑재 부재(2)의 위치 결정 마크의 촬상을 행한다. 이 화상 측정에 의해 산출된 위치 결정 오차를 탑재 헤드(293)에 송신하고, 탑재 헤드(293)는, 수신한 개별 조정값에 의해 탑재 위치의 조정(위치 결정)을 행하면서 탑재 부재(2)를 표시 기판(1)에 탑재하고 있다.

그리고, 장변 탑재부(280A)의 탑재 블록(285) 및 카메라부(287)는, 셔틀 척(281)에 대응하여 2조 설치되어 있다. 그리고, 2개의 탑재 베이스(291)는, X축 가이드(286)를 공유하고 있다.

단변 탑재부(280B, 280C)는, 장변 탑재부(280A)와 동일한 구성을 가지고 있다. 즉, 단변 탑재부(280B, 280C)는, 셔틀 척(281)과, X축 가이드(296)와, Y축 가이드(297)와, 탑재 블록(285)과, Y축 가이드(298)와, 카메라부(도시하지 않음)를 각각 구비하고 있다.

단변 탑재부(280B, 280C)의 셔틀 척(281)은, X축 가이드(296)에 이동 가능하게 지지되어 있고, X축 가이드(296)는, Y축 가이드(297)에 이동 가능하게 지지되어 있다. 단변 탑재부(280B, 280C)의 탑재 베이스(291)는, Y축 가이드(298)에 이동 가능하게 지지되어 있고, 표시 기판(1)의 단변에서의 탑재 위치로 이동한다.

표시 기판(1)은, 기준 바(204)에 배치될 때, 미리 양단의 기준 마크를 카메라부(287)에 의해 촬영하고, 대략적인 얼라인먼트 조정을 행한 상태로 건네받는다. 그러나, 표시 기판(1)의 치수 오차에 의한 탑재 위치의 어긋남을 피하기 위해, 탑재 헤드(293)에 의한 탑재에 있어서도, 각각 얼라인먼트를 행한다.

[본압착 장치]

다음에, 본압착 유닛(300)의 구성예를 설명한다.

처음에, 종래의 본압착 장치의 구성예에 대하여 설명한다.

압착 공정에서 사용되는 압착 장치는, 탑재 부재를 표시 기판에 가압하는 압착 헤드를 구비하고 있다. 이 압착 헤드의 압착면(상부날)을 탑재 부재에 직접 접촉시키면, 탑재 부재와 표시 기판 사이에 개재되는 ACF가 비어져나와 압착면에 부착되므로, 압착면의 평탄성이 저하되어 버린다. 이로써, 탑재 부재에 작용하는 가압력이 불균일해져, 압착 불량이 발생하기 쉬워진다.

그래서, 압착 헤드의 압착면과 탑재 부재와의 사이에 보호 시트를 개재시켜, 비어져 나온 ACF가 압착 헤드의 압착면에 부착되지 않도록 하는 기술이 고려되고 있다. 보호 시트는, 압착 헤드의 열이나 가압력의 영향에 의해 열화(劣化)되므로, 소정의 사용 횟수 또는 소정 시간으로 이송 기구에 의해 보내져, 사용 부분이 변경된다.

[본압착 유닛]

여기서, 본 발명의 제1 실시형태에 관한 본압착 유닛(300)의 시트 이송 기구에 대하여, 도 8~도 10을 참조하여 설명한다. 도 8은 본압착 유닛(300)의 단면도이다. 도 9는 도 8에 나타낸 본압착 유닛(300)에 관한 시트 이송 기구(350A)의 일부를 나타낸 설명도이다. 도 10은 도 8에 나타낸 본압착 유닛(300)에 관한 시트 이송 기구의 경사 변경부를 나타낸 설명도이다.

본압착 유닛(300)은, 본압착부(320A, 320B 및 320C)를 가지고 있다.

본압착부(320A)는, 하부 프레임(321A)과, 상부 프레임(322A)과, 압착 헤드(330A)와, 보호 시트(340A)와, 시트 이송 기구(350A)를 구비하고 있다.

하부 프레임(321A) 상에는, 하부날(도시하지 않음)이 설치되어 있다. 이 하부날은, 도시하지 않은 히터 유닛에 의해 가열되고, 선단 부분이 60℃~100℃로 보온되어 있다. 이 하부날의 선단 부분의 온도는, 사용할 ACF의 특성 등에 따라 적절히 설정된다. 또한, 하부 프레임(321A) 상에는, 하부날을 넘도록, 상부 프레임(322A)이 설치되어 있다. 상부 프레임(322A)은, 압착 헤드(330A)를 상하 방향으로 이동시키는 승강 기구가 설치되어 있다.

압착 헤드(330A)는, 에어 실린더를 사용한 공기 스프링 구조로 되어 있다. 에어 실린더의 가압 로드에는, 복수 개의 상부날 프레임(도시하지 않음)이 장착되어 있고, 이들 상부날 프레임에 각각 상부날(331)이 고정되어 있다. 상부날(331)은, 도시하지 않은 히터 유닛에 의해 가열되고, 압착면을 가지는 선단 부분이 예를 들면 150℃~350℃로 보온되어 있다. 각각의 상부날(331)의 압착면은, 대략 직사각형으로 형성되어 있다. 그리고, 복수 개의 상부날 프레임에 장착된 복수 개의 상부날(331)은, 서로의 단변이 대향하도록 일직선 상에 정렬되어 있다.

상부날(331)과 하부날과의 사이에는, 보호 시트(340A)가 개재되어 있다. 이 보호 시트(340A)는, 소정의 폭을 가지는 밴드형으로 형성되어 있고, 시트 이송 기구(350A)에 의해 상부날(331)과 하부날과의 사이로 송출된다.

시트 이송 기구(350A)는, 시트 공급릴(351)과, 회전 구동부(352)와, 가이드 롤러군(353A)과, 시트 회수부(354)를 구비하고 있다.

시트 공급릴(351)에는, 미사용의 보호 시트(340A)가 권취되어 있고, 시트 회수부(354)에는, 사용이 끝난 보호 시트(340A)가 회수된다. 회전 구동부(352)는, 간헐적으로 구동하여 시트 공급릴(351)을 간헐적으로 회전시킨다. 시트 공급릴(351)이 회전하면, 보호 시트(340A)는, 소정의 전송 속도로 소정의 이송량만큼 송출된다.

시트 회수부(354)는, 회전 구동부(352)의 구동에 동기하여, 보호 시트(340A)를 소정의 이송량분만큼 회수한다. 이 시트 회수부(354)로서는, 예를 들면, 회수 릴과 회수 릴을 회전시키는 회전 구동부로 구성할 수 있다. 또한, 보호 시트(340A)를 흡인하는 흡인 장치라도 된다.

가이드 롤러군(353A)은, 보호 시트(340A)의 진행 방향을 변경하여, 시트 공급릴(351)로부터 시트 회수부(354)로 보호 시트(340A)를 안내한다. 가이드 롤러군(353A)은, 하부날의 측방에 배치되는 가이드 롤러(353a, 353b)를 포함한다. 시트 공급릴(351)로부터 송출된 보호 시트(340A)는, 가이드 롤러군(353A) 중 도시하지 않은 가이드 롤러에 의해 진행 방향이 변경되어, 가이드 롤러(353a)에 안내된다.

가이드 롤러(353a)의 회전축은, 수평 방향으로 평행하게 복수 개의 상부날(331)이 배열된 방향과 직교하는 방향에 대하여 경사져 있고, 본압착부(320A)의 전방을 향함에 따라 상부날(331)로부터 이격된다. 이 가이드 롤러(353A)는, 보호 시트(340A)를 압착 헤드(330A)의 상부날(331)과 하부 프레임(321A)에 설치된 하부날과의 사이로 안내하고, 복수 개의 상부날(331)이 배열된 방향에 대하여 수평 방향으로 경사지게 한다. 이 경사 각도에 대해서는, 다음에, 도 11~도 16을 참조하여 설명한다.

또한, 시트 이송 기구(350A)는, 상부날(331)과 하부날과의 사이에 배치되는 보호 시트(340A)의 경사 방향을 변경하는 경사 변경부(355)를 구비하고 있다. 이 경사 변경부(355)는, 2개의 가압 롤러(355a, 355b)와, 테이퍼 롤러(355c)로 구성되어 있다(도 9 참조).

가압 롤러(355a, 355b)는, 원기둥형으로 형성되어 있고, 상부날(331)에 대향하는 보호 시트(340A)가 위쪽으로 변위되지 않도록 가압하고 있다. 이로써, 상부날(331)과 대향하는 보호 시트(340A)는, 수평 방향과 대략 평행한 상태를 유지하고 있다. 가압 롤러(355a, 355b)의 회전축은, 보호 시트(340A)의 폭 방향으로 대략 직교하고 있다.

그리고, 가압 롤러(355a, 355b)는, 원기둥형에 한정되지 않고, 예를 들면, 본압착부(320A) 전방을 향함에 따라 직경이 커지는 테이퍼 롤러를 사용할 수도 있다.

테이퍼 롤러(355c)는, 가압 롤러(355a, 355b)의 위쪽에 배치되어 있다. 이 테이퍼 롤러(355c)의 회전축은, 상부날(331)이 배열된 방향에 대하여 직교하는 방향으로 향하고 있다. 그리고, 테이퍼 롤러(355c)는, 본압착부(320A)의 전방을 향함에 따라 연속적으로 직경이 작게 되어 있다.

이들 가압 롤러(355a, 355b) 및 테이퍼 롤러(355c)는, 가이드 롤러(353a)에 안내된 보호 시트(340A)의 경사 각도를 반전시킨다. 따라서, 가이드 롤러(353a)로부터 가압 롤러(355a)까지의 보호 시트(340A)와, 가압 롤러(355b)로부터 가이드 롤러(353b)까지의 보호 시트(340A)는, 복수 개의 상부날(331)이 배열된 방향과 직교하는 평면에 대하여 대칭으로 되어 있다(도 8 참조).

이로써, 보호 시트(340A)의 복수 개의 상부날(331)이 배열된 방향에 대하여 수평 방향으로 경사지는 부분을 짧게 할 수 있다. 따라서, 보호 시트(340A) 및 가이드 롤러(353b)의 전방으로의 돌출량을 억제할 수 있어, 장치의 소형화를 도모할 수 있다.

또한, 본압착 유닛(300)은, 표시 기판(1)의 3변에 탑재된 탑재 부재(2)(도 1 참조)의 압착 작업을 적어도 각 변에 대한 처리 시간이 오버랩하는 타이밍에서 행하므로, 3개의 본압착부(320A, 320B, 320C)를 설치하고 있다. 따라서, 보호 시트(340A) 및 가이드 롤러(353b)의 전방으로의 돌출량을 억제함으로써, 보호 시트(340A) 및 가이드 롤러(353b)가 본압착부(320B, 320C)에 간섭하지 않도록 할 수 있다.

가이드 롤러(353b, 353c)는, 상부날(331)과 하부날과의 사이를 통과한 보호 시트(340A)의 진행 방향을 변경하여, 시트 회수부(354)에 안내한다. 이로써, 가이드 롤러(353b, 353c)를 통과한 보호 시트(340A)는, 시트 회수부(354)로 회수된다.

본압착부(320B 및 320C)는, 본압착부(320A)의 전방에 배치되어 있고, 서로의 압착 헤드(330B, 330C)가 대향하고 있다. 이들 본압착부(320B 및 320C)는, 본압착부(320A)와 동일한 구성을 가지고 있다. 본압착부(320B 및 320C)가 본압착부(320A)와 다른 점은, 시트 이송 기구(350B, 350C)가 경사 변경부를 가지고 있는 점이다.

본압착부(320B)는, 하부 프레임(321B)과, 상부 프레임(322B)과, 압착 헤드(330B)와, 보호 시트(340B)와, 시트 이송 기구(350B)를 구비하고 있다.

시트 이송 기구(350B)는, 시트 공급릴(351)과, 회전 구동부(352)와, 가이드 롤러군(353B)과, 시트 회수부(354)를 가지고 있다.

본압착부(320B)의 시트 공급릴(351)에는, 미사용의 보호 시트(340B)가 권취되어 있고, 시트 회수부(354)에는, 사용이 끝난 보호 시트(340B)가 회수된다. 회전 구동부(352)에 의해 시트 공급릴(351)이 회전하면, 보호 시트(340B)는, 소정의 전송 속도로 소정의 이송량만큼 송출된다.

가이드 롤러군(353B)은, 보호 시트(340B)의 진행 방향을 변경하여, 시트 공급릴(351)로부터 시트 회수부(354)에 보호 시트(340B)를 안내한다. 가이드 롤러군(353B)은, 하부날의 측방에 배치되는 가이드 롤러(353d, 353e)를 포함한다. 시트 공급릴(351)로부터 송출된 보호 시트(340B)는, 가이드 롤러군(353B) 중 도시하지 않은 가이드 롤러에 의해 진행 방향이 변경되어, 가이드 롤러(353d)에 안내된다.

가이드 롤러(353d)는, 보호 시트(340B)를 압착 헤드(330B)의 상부날(331)과 하부 프레임(321B)에 설치된 하부날(도시하지 않음)과의 사이로 안내하고, 상부날(331)이 배열된 방향에 대하여 수평 방향으로 경사지게 한다. 상부날(331)과 하부날과의 사이를 통과한 보호 시트(340B)는, 가이드 롤러(353e) 및 도시하지 않은 가이드 롤러에 의해 진행 방향이 변경되어, 시트 회수부(354)를 향해 진행한다.

본압착부(320C)는, 하부 프레임(321C)과, 상부 프레임(322C)과, 압착 헤드(330C)와, 보호 시트(340C)와, 시트 이송 기구(350C)를 구비하고 있다.

시트 이송 기구(350C)는, 시트 공급릴(351)과, 회전 구동부(352)와, 가이드 롤러군(353C)과, 시트 회수부(354)를 가지고 있다.

본압착부(320C)의 시트 공급릴(351)에는, 미사용의 보호 시트(340C)가 권취되어 있고, 시트 회수부(354)에는, 사용이 끝난 보호 시트(340C)가 회수된다. 회전 구동부(352)에 의해 시트 공급릴(351)이 회전하면, 보호 시트(340C)는, 소정의 전송 속도로 소정의 이송량만큼 송출된다.

가이드 롤러군(353C)은, 보호 시트(340C)의 진행 방향을 변경하여, 시트 공급릴(351)로부터 시트 회수부(354)로 보호 시트(340C)를 안내한다. 가이드 롤러군(353C)은, 하부날의 측방에 배치되는 가이드 롤러(353f, 353g)를 포함한다. 시트 공급릴(351)로부터 송출된 보호 시트(340C)는, 가이드 롤러군(353C) 중 도시하지 않은 가이드 롤러에 의해 진행 방향이 변경되어, 가이드 롤러(353f)에 안내된다.

가이드 롤러(353f)는, 보호 시트(340C)를 압착 헤드(330C)의 상부날(331)과 하부 프레임(321C)에 설치된 하부날(도시하지 않음)과의 사이로 안내하고, 상부날(331)이 배열된 방향에 대하여 수평 방향으로 경사지게 한다. 상부날(331)과 하부날과의 사이를 통과한 보호 시트(340C)는, 가이드 롤러(353g) 및 도시하지 않은 가이드 롤러에 의해 진행 방향이 변경되어, 시트 회수부(354)를 향해 진행한다.

보호 시트(340A, 340B, 340C)의 재료로서는, 예를 들면, 폴리테트라플루오로에틸렌, 실리콘 고무, 폴리이미드 등을 적용할 수 있다. 또한, 이들 재료의 2종류 이상을 적층한 복합 시트로 형성할 수도 있다. 폴리테트라플루오로에틸렌은, ACF가 쉽게 부착되지 않는 재료로서 매우 적합하고, 실리콘 고무는, 쿠션성을 가지는 재료로서 바람직하다. 또한, 폴리이미드는, 내열성이 양호한 재료로서 바람직하다.

[보호 시트의 경사 각도 및 이송량]

다음에, 보호 시트의 경사 각도 및 이송량에 대하여, 도 11~도 16을 참조하여 설명한다.

도 11~도 16은 FPD 모듈 조립 라인(10)에 관한 보호 시트의 경사 각도 및 이송량의 제1 예~ 제6 예를 나타낸 설명도이다.

FPD 모듈 조립 라인(10)의 시트 이송 기구(350A, 350B, 350C)에서는, 사용이 끝난 부분이 상부날(331)로부터 벗어나기까지 보호 시트(340A, 340B, 340C)를 보낸다. 그리고, 복수 개의 상부날(331)이 배열된 방향에 대한 보호 시트의 경사 각도 θ가 작으면, 보호 시트가 압착 헤드의 전방으로 돌출하는 양을 작게 할 수 있어, 장치의 소형화를 도모할 수 있다. 따라서, 본 실시형태에서는, 상기한 2가지 점을 고려하여 보호 시트의 경사 각도 θ를 결정한다.

여기서, 복수 개의 상부날(331)이 배열된 방향을 X 방향이라 하고, 복수 개의 상부날(331)이 배열된 방향에 대하여 직교하는 방향을 Y 방향이라고 한다. 그리고, 상부날(331)의 X 방향의 길이(상부날의 길이)를 L이라고 하고, 인접하는 상부날(331)의 간격(상부날 사이의 거리)을 L1이라고 한다. 또한, 상부날(331)의 Y 방향의 길이(상부날의 폭)를 t라고 한다.

그 경우에, 보호 시트의 경사 각도 θ는 다음 식에 의해 결정된다.

tanθ= t/(L＋L1)

도 11에 나타낸 제1 예에서는, 상부날 사이의 거리 L1이 상부날의 길이 L보다 짧다(L>L1). 그리고, 상부날 사이의 거리 L1이 짧을 수록, tanθ는 t/L에 가까워진다[t/(L＋L1)≒t/L].

제1 예에서의 보호 시트의 X 방향의 이송량은, 상부날의 길이 L과 상부날 사이의 거리 L1을 더한 길이와 동일하게 하여, Y 방향의 이송량은 상부날의 폭 t와 같게 한다.

이로써, 보호 시트의 폭 방향의 길이를 짧게 설정할 수 있다. 또한, 보호 시트 상에 많은 사용이 끝난 부분을 배열할 수 있어, 보호 시트의 사용 효율을 높일 수 있다. 그리고, 상기한 이송량으로 하면, 보호 시트 상의 사용이 끝난 부분[압흔(壓痕)]이 Y 방향[복수 개의 상부날(331)이 배열된 방향과 직교하는 방향]으로 배열된다. 또한, Y 방향으로 배열된 보호 시트의 사용이 끝난 부분은, 각각 다른 상부날(331)에 의해 사용되게 된다.

도 12에 나타낸 제2 예에서는, 상부날 사이의 거리 L1이 상부날의 길이 L보다 길다(L<L1). 이 상부날 사이의 거리 L1은, 상부날의 길이 L의 2배의 길이로 되어 있다. 따라서,

tanθ= t/3L

로 된다.

제2 예에서의 보호 시트의 X 방향의 이송량은, 상부날의 길이 L에 상부날 사이의 거리 L1을 더한 길이의 1/3로 한다. 즉, 상부날의 길이 L과 같게 한다. 한편, Y 방향의 이송량은 상부날의 폭 t의 1/3로 한다.

이로써, 보호 시트의 폭 방향의 길이를 짧게 설정할 수 있다. 또한, 보호 시트 상에 많은 사용이 끝난 부분을 배열할 수 있어, 보호 시트의 사용 효율을 높일 수 있다. 그리고, 상기한 이송량으로 하면, 보호 시트 상의 사용이 끝난 부분이 Y 방향으로 배열되고, 이들 사용이 끝난 부분은, 각각 다른 상부날(331)에 의해 사용되게 된다.

도 13에 나타낸 제3 예에서는, 상부날 사이의 거리 L1이 상부날의 길이 L과 대략 같다(L= L1). 따라서,

tanθ= t/2L

로 된다.

제3 예에서의 보호 시트의 X 방향의 이송량은, 상부날의 길이 L에 상부날 사이의 거리 L1을 더한 길이의 1/2로 한다. 즉, 상부날의 길이 L과 같게 한다. 한편, Y 방향의 이송량은 상부날의 폭 t의 1/2로 한다.

이로써, 보호 시트의 폭 방향의 길이를 짧게 설정할 수 있다. 또한, 보호 시트 상에 많은 사용이 끝난 부분을 배열할 수 있어, 보호 시트의 사용 효율을 높일 수 있다. 그리고, 상기한 이송량으로 하면, 보호 시트 상의 사용이 끝난 부분이 Y 방향으로 배열되고, 이들 사용이 끝난 부분은, 각각 다른 상부날(331)에 의해 사용되게 된다.

도 14에 나타낸 제4 예에서는, Y 방향으로 배열된 사용이 끝난 부분이 서로 접촉되지 않도록, Y 방향으로 인접하는 사용이 끝난 부분의 간격이 α로 되도록 한다. 따라서,

tanθ= (t＋α)/(L＋L1)

으로 된다.

이 제4 예에서는, 상부날 사이의 거리 L1이 상부날의 길이 L보다 길다(L<L1). 구체적으로는, 상부날 사이의 거리 L1이, 상부날의 길이 L의 2배의 길이에 β를 더한 길이로 되어 있다. 따라서,

L＋L1= 3L＋β

로 된다.

여기서, 3L＋β= 3L'로 하고, t＋α를 t'로 한다. 이로써,

tanθ= t'/3L'

로 된다.

제4 예에서의 보호 시트의 X 방향의 이송량은, 상부날의 길이 L에 상부날 사이의 거리 L1을 더한 길이의 1/3로 한다. 즉, X 방향의 이송량을 L'/3로 한다. 한편, Y 방향의 이송량은, 상부날의 폭 t에 α를 더한 길이의 1/3로 한다. 즉, Y 방향의 이송량을 t'/3로 한다.

이로써, 보호 시트 상에 많은 사용이 끝난 부분을 배열할 수 있어, 보호 시트의 사용 효율을 높일 수 있다. 그리고, 상기한 이송량으로 하면, 보호 시트 상의 사용이 끝난 부분이 Y 방향으로 배열되고, 이들 사용이 끝난 부분은, 각각 다른 상부날(331)에 의해 사용되게 된다.

도 15에 나타낸 제5 예에서는, 제4 예와 마찬가지로, Y 방향으로 인접하는 사용이 끝난 부분의 간격이 α로 되도록 한다. 따라서,

tanθ= (t＋α)/(L＋L1)

으로 된다.

이 제5 예에서는, 상부날 사이의 거리 L1이 상부날의 길이 L보다 길다(L<L1). 구체적으로는, 상부날 사이의 거리 L1이, 상부날의 길이 L에 β를 더한 길이로 되어 있다. 따라서,

L＋L1= 2L＋β

로 된다.

여기서, 2L＋β= 2L'로 하고, t＋α를 t'로 한다. 이로써,

tanθ= t'/2L'

로 된다.

제5 예에서의 보호 시트의 X 방향의 이송량은, 상부날의 길이 L에 상부날 사이의 거리 L1을 더한 길이의 1/2로 한다. 즉, X 방향의 이송량을 L'/2로 한다. 한편, Y 방향의 이송량은, 상부날의 폭 t에 α를 더한 길이의 1/2로 한다. 즉, Y 방향의 이송량을 t'/2로 한다.

이로써, 보호 시트 상에 많은 사용이 끝난 부분을 배열할 수 있어, 보호 시트에 보호 시트의 사용 효율을 높일 수 있다. 그리고, 상기한 이송량으로 하면, 보호 시트 상의 사용이 끝난 부분이 Y 방향으로 배열되고, 이들 사용이 끝난 부분은, 각각 다른 상부날(331)에 의해 사용되게 된다.

도 16에 나타낸 제6 예에서는, 상부날 사이의 거리 L1이 상부날의 길이 L보다 짧다(L>L1). 상부날 사이의 거리 L1이 상부날의 길이 L보다 짧은 경우에는, 보호 시트의 경사 각도 θ를, 다음 식에 의해 결정할 수 있다.

tanθ= (t＋α)/n(L＋L1)

단, n은 양(+)의 정수(整數)로 한다(n≥1).

이로써, 보호 시트의 경사 각도 θ를 작게 할 수 있다. 즉, n을 크게 하면 경사 각도 θ를 작게 설정할 수 있다. 따라서, 이 식에 의해 보호 시트의 경사 각도 θ를 결정하는 것은, 보호 시트가 압착 헤드의 전방으로 돌출하는 양에 제한이 있는 경우에 유효하다. 그리고, n을 크게 할수록, 보호 시트의 사용 효율이 낮아지므로, 보호 시트가 압착 헤드의 전방으로 돌출하는 양과 보호 시트의 사용 효율을 고려하여 n의 값을 결정하면 된다.

제6 예에서는, n= 2로 하고 있다. 이 경우에서의 보호 시트의 X 방향의 이송량은, 상부날의 길이 L에 상부날 사이의 거리 L1을 더한 길이의 2배로 한다. 즉, X 방향의 이송량을 2(L＋L1)로 한다. 한편, Y 방향의 이송량은, 상부날의 폭 t에 α를 더한 길이로 한다. 즉, Y 방향의 이송량을 t＋α로 한다.

그리고, 도 8에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태의 본압착부(320A)에서는, 경사 변경부(355)에 의해 보호 시트(340A)의 경사 각도를 변경하고 있다. 그러므로, 경사 변경부(355)보다 하류측[시트 회수부(354) 측]의 보호 시트(340A)에서는, 상부날(331)이 사용이 끝난 부분에 맞닿게 된다. 따라서, 본압착부(320A)에서는, 경사 변경부(355)보다 상류측[시트 공급릴(351) 측]에서의 보호 시트(340A)의 사용 횟수를 허용 횟수의 절반으로 한다.

전술한 사용 횟수란, 상부날(331)이 보호 시트(340A)의 동일 부분에 맞닿는 횟수이다. 또한, 허용 횟수란, 상부날(331)을 보호 시트(340A)의 동일 부분에 맞닿게 해도 되는 횟수의 상한값이다. 이 허용 횟수는, 보호 시트의 재질, 상부날의 온도 등을 고려하여 적절히 설정할 수 있다.

예를 들면, 동일 부분에 압착 작업을 10회까지 행할 수 있는 보호 시트를 사용하는 경우에는, 경사 변경부(355)보다 상류측으로 압착 작업을 5회 행하면, 소정의 이송량만큼 보호 시트를 보낸다. 이로써, 경사 변경부(355)보다 하류측에서 상부날(331)이 사용이 끝난 부분에 맞닿아도, 사용 횟수가 허용 횟수를 초과하는 경우는 없다.

[본압착 유닛의 압착부의 변형예]

도 17은 본 발명의 FPD 모듈의 조립 장치의 제1 실시형태에 관한 본압착 유닛의 압착부의 변형예를 나타낸 설명도이다. 본 변형예에서는, 제1 실시형태와 비교하여 도 8에 나타낸 시트 이송 기구의 구성을 상이하게 하고 있다. 즉, 2개의 시트 이송 기구를 가지는 것에 의해, 보호 시트와 시트 이송 기구의 조를 2조 가지고 있다. 그리고, 경사 변경부를 경계로 하여 보호 시트를 좌우의 압착하는 부분에서 2회 사용하지 않도록 했기 때문에, 보호 시트가 도중에 끊길 우려가 없다는 효과가 있다.

FPD 모듈의 조립 장치의 제1 실시형태에 관한 본압착 유닛은, 압착부(620A, 320B 및 320C)를 가지고 있다. 즉, 본압착부(320B 및 320C)는, 제1 실시형태에 관한 본압착 유닛(300)에 사용되고 있는 것과 같다.

도 17에 나타낸 바와 같이, 압착부(620A)는, 상부 프레임(622A)과, 2개의 보호 시트(640A, 640B)와, 2개의 시트 이송 기구(650A, 650B)를 가지고 있다. 즉, 압착부(620A)는, 보호 시트와 시트 이송 기구의 조를 2조 가지고 있다. 또한, 압착부(620A)는, 하부 프레임 및 압착 헤드(도시하지 않음)를 구비하고 있다.

상부 프레임(622A)은, 정면으로부터 본 형상이 대략 C자형으로 형성되어 있고, 직사각형의 상판(628)과, 이 상판(628)의 단변에 각각 연속되는 측판(629A, 629B)을 가지고 있다. 측판(629A, 629B)은, 각각 상하 방향으로 긴 직사각형으로 형성되어 있고, 한쪽의 단변이 상판(628)에 연속되어 있다.

상판(628)의 한쪽(앞쪽)의 장변에는, 보호 시트(640A, 640B)와의 간섭을 피하기 위한 절결부(切缺部)(625a, 625b)가 형성되어 있다. 이와 마찬가지로, 측판(629A, 629B)의 한쪽(앞쪽)의 장변에도, 보호 시트(640A, 640B)와의 간섭을 피하기 위한 절결부(626a, 627a)가 형성되어 있다.

2개의 보호 시트(640A, 640B)는, 각각 소정의 폭을 가지는 밴드형으로 형성되어 있고, 상부날과 하부날과의 사이에 개재되어 있다. 그리고, 압착 작업을 행할 때, 상부날과 탑재 부재(2)(도 1 참조)와의 사이에 개재된다. 이들 보호 시트(640A, 640B)의 상부날과 하부날과의 사이에 개재되어 있는 부분은, 동일 평면 상에 위치하고 있다.

보호 시트(640A)는, 소정의 폭을 가지는 밴드형으로 형성되어 있고, 시트 이송 기구(650A)에 의해 상부 프레임(622A)의 중간부보다 측판(629A) 측의 상부날과 하부날과의 사이로 송출된다. 한편, 보호 시트(640B)는, 보호 시트(640A)와 같은 소정의 폭을 가지는 밴드형으로 형성되어 있고, 시트 이송 기구(650B)에 의해 상부 프레임(622A)의 중간부보다 측판(629A) 측의 상부날과 하부날과의 사이로 송출된다.

시트 이송 기구(650A)는, 도시하지 않은 시트 공급릴 및 회전 구동부와, 가이드 롤러군(653A)과, 시트 회수부(655A)를 구비하고 있다.

가이드 롤러군(653A)은, 보호 시트(640A)를 시트 공급릴로부터 시트 회수부(655A)로 안내한다. 이 가이드 롤러군(653A)은, 복수 개의 상부날(도시하지 않음)이 배열된 방향으로 소정 간격을 두고 배치되는 가이드 롤러(653a, 653b)를 포함한다. 가이드 롤러(653a)은, 상부 프레임(622A) 내에 있어서 측판(629A) 측에 배치되어 있고, 가이드 롤러(653b)은, 상부 프레임(622A) 내의 중간부에 배치되어 있다.

시트 공급릴로부터 송출된 보호 시트(640A)는, 측판(629A)의 절결부(626a)를 관통하여 가이드 롤러(653a)에 도달한다. 가이드 롤러(653a)는, 보호 시트(640A)를 상부날과 하부날과의 사이로 안내하고, 복수 개의 상부날이 배열된 방향에 대하여 수평 방향으로 경사지게 한다.

가이드 롤러(653b)는, 상부날과 하부날과의 사이를 통과한 보호 시트(640A)를 위쪽으로 안내하여, 시트 회수부(655A)로 안내한다. 이로써, 보호 시트(640A)는, 상부 프레임(622A)의 절결부(625a)를 관통하여 시트 회수부(655A)로 회수된다.

시트 이송 기구(650B)는, 시트 이송 기구(650A)와 동일한 구성을 가지고 있고, 도시하지 않는 시트 공급릴 및 회전 구동부와, 가이드 롤러군(653B)과, 시트 회수부(655B)를 구비하고 있다.

가이드 롤러군(653B)은, 보호 시트(640B)를 시트 공급릴로부터 시트 회수부(655B)로 안내한다. 이 가이드 롤러군(653B)은, 복수 개의 상부날(도시하지 않음)이 배열된 방향으로 소정 간격을 두고 배치되는 가이드 롤러(653c, 653d)를 포함한다. 가이드 롤러(653c)는, 상부 프레임(622A) 내에 있어서 측판(629B) 측에 배치되어 있고, 가이드 롤러(653d)는, 상부 프레임(622A) 내의 중간부에 배치되어 있다.

시트 공급릴로부터 송출된 보호 시트(640B)는, 측판(629B)의 절결부(627a)를 관통하여 가이드 롤러(653c)에 도달한다. 가이드 롤러(653c)는, 보호 시트(640B)를 상부날과 하부날과의 사이로 안내하고, 복수 개의 상부날이 배열된 방향에 대하여 수평 방향으로 경사지게 한다.

가이드 롤러(653d)는, 상부날과 하부날과의 사이를 통과한 보호 시트(640B)를 위쪽으로 안내하고, 시트 회수부(655B)로 안내한다. 이로써, 보호 시트(640B)는, 상부 프레임(622A)의 절결부(625b)를 관통하여 시트 회수부(655B)로 회수된다.

이와 같이, 본 실시형태에서는, 압착부(620A)의 압착 헤드에 대하여, 보호 시트와 시트 이송 기구의 조를 2조 설치하는 구성으로 하였다. 이로써, 압착부(620A)의 압착 헤드에 대하여, 보호 시트와 시트 이송 기구를 1조 설치하는 경우보다, 보호 시트의 전방으로의 돌출량을 작게 할 수 있다. 그 결과, 장치의 소형화를 실현할 수 있다. 또한, 보호 시트의 전방으로의 돌출량을 작게 함으로써, 보호 시트가 본압착부(320B, 320C)(도 8 참조)에 간섭하지 않도록 할 수 있다.

또한, 상부날(331)의 접촉 위치로부터 벗어난 사용이 끝난 부분에 다른 상부날(331)이 맞닿는 경우는 없으므로, 제1 실시형태에 관한 본압착부(320A)보다 안정된 압착 작업을 행할 수 있다.

그리고, 제1 실시형태의 변형예에서는, 압착부(620A)의 압착 헤드에 대하여, 보호 시트와 시트 이송 기구의 조를 2조 설치하였으나, 본 발명에 관한 보호 시트와 시트 이송 기구의 조는, 3조 이상으로 할 수도 있다.

전술한 제1 실시형태를 포함하는 변형예에 의하면, 보호 시트를 압착 헤드의 복수 개의 상부날과 탑재 부재(하부날)와의 사이로 안내하고, 복수 개의 상부날이 배열된 방향에 대하여 수평 방향으로 경사지게 한다. 시트 이송 기구에 의해 보호 시트를 보내면, 상부날이 맞닿음으로써 생기는 사용이 끝난 부분이 상부날에 대하여 경사지게 변위한다. 따라서, 상부날에 의한 압착 개소로부터 사용이 끝난 부분이 벗어나기까지의 보호 시트의 변위량을 작게 할 수 있다. 그 결과, 보호 시트의 이송량을 작게 할 수 있어, 이송 시간을 짧게 할 수 있다. 또한, 보호 시트의 변위량이 작아져도, 사용이 끝난 부분을 압착 개소로부터 제외할 수 있다.

또한, 이송 기구를 압착 헤드의 측방에 배치하는 것이 가능해지므로, 장치의 소형화를 도모할 수 있는 동시에, 압착 헤드의 주위에 열이 높아지지 않게 할 수 있다. 즉, 전술한 제1 실시형태에서는, 장치의 소형화를 실현하면서 단시간에 보호 시트의 이송을 행할 수 있다. 또한, 보호 시트의 이송량을 조정함으로써, 보호 시트 상에 많은 사용이 끝난 부분을 배열할 수 있어, 보호 시트의 사용 효율을 높일 수 있다.

전술한 제1 실시형태를 포함하는 변형예에서는, ACF가 접착된 탑재 부재(2)의 탑재 작업을 표시 기판(1)의 3변에 대하여 각 변에 대한 처리 시간이 오버랩하도록 했다. 그러므로, 종래 사용되고 있던 표시 기판의 2변씩에 대하여 처리를 행하는 FPD 모듈 조립 라인에 비하여, 규모를 축소할 수 있다.

그리고, 전술한 제1 실시형태를 포함하는 변형예에서는, 2열의 ACF를 동시에 접착하는 예를 나타냈으나, 실장하는 COF의 형식에 따라서는 한쪽만 ACF를 접착하는 경우도 있으므로, 동시에 2열의 ACF를 접착하는 것에 한정되는 것은 아니다.

[제2 실시형태: 이동 장치의 변형예]

다음에, 본 발명의 제2 실시형태에 관한 FPD 모듈 조립 라인(11)에 대하여, 도 18~도 21을 참조하여 설명한다. 여기서는, 제1 실시형태에 있어서 설명한 FPD 모듈 조립 라인(10)이 구비하는 이동 장치의 변형예를 설명한다.

[FPD 모듈 조립 라인]

여기서, 본 발명의 FPD 모듈의 조립 장치의 제2 실시형태인 FPD 모듈 조립 라인(11)에 대하여, 도 18을 참조하여 설명한다. 그리고, 가압착 유닛(200), 본압착 유닛(300), PCB 접속 유닛(400)에 대해서는, 제1 실시형태에 관한 FPD 모듈 조립 라인(10)에서의 구성과 동일한 구성으로 하고 있으므로, 상세한 설명을 생략한다.

도 18은 FPD 모듈 조립 라인(11) 전체를 나타낸 플로어 레이아웃 도면이다. 전술한 제1 실시형태에 있어서, 표시 기판(1)을 Y 방향으로 반송할 때, X 방향과 직교하는 방향으로 표시 기판(1)을 이동시키는 이동 기구(290, 390, 490)를 사용하여 행하였으나, 본 실시형태에서는, 2축의 회전 구동하는 암을 사용하여 Y 방향으로 표시 기판(1)을 반송하는 것을 실현하고 있다.

FPD 모듈 조립 라인(11)을 구성하는 수취 유닛(100), 탑재 유닛인 가압착 유닛(200), 본압착 유닛(300) 및 PCB 접속 유닛(400)은, 반송 라인에 따른 제1 방향 X를 따라 정렬되어 있다.

이하, 제1 방향 X와 교차하는 상하 방향을 제2 방향 Z라고 하고, 제1 방향 X 및 제2 방향 Z와 교차하는 방향을 제3 방향 Y라고 한다. 본 예에서는, 제2 방향 Z는, 제1 방향 X와 직교하고, 제3 방향 Y는, 제1 방향 X 및 제2 방향 Z와 직교하는 것으로 한다. 제1 방향 X의 수취 유닛(100) 측을 상류측으로 하고, 제1 방향 X의 PCB 접속 유닛(400) 측을 하류측으로 한다.

표시 기판(1)은, 수취 유닛(100)으로부터 PCB 접속 유닛(400)까지 순차적으로 반송되고, 각각의 처리 작업 공정을 거쳐 주위 에지부에 탑재 부재(2)가 실장되고, 또한 그 탑재 부재(2)에 PCB(6)가 실장된다. FPD 모듈 조립 라인(11)은, 다음 유닛의 작업 위치까지 표시 기판(1)을 반송하는 반송 유닛(500)을 구비하고 있다.

[반송 유닛]

다음에, 반송 유닛(500)에 대하여, 도 19를 참조하여 설명한다.

도 19는 본압착 유닛(300)에 관계하는 반송 유닛(500)의 사시도이다.

반송 유닛(500)은, 각 작업 유닛에 대하여 설치되어 있다. 이 반송 유닛(500)은, 공급 반송부(510)와, 인출 반송부(520)와, 중앙 탑재대(570)로 구성되어 있다.

먼저, 중앙 탑재대(570)에 대하여 설명한다.

중앙 탑재대(570)는, 인접하는 작업 유닛 사이에 배치되어 있다. 이 중앙 탑재대(570)에는, 인출 반송부(520)에 의해 반송된 표시 기판(1)이 탑재된다.

그리고, 중앙 탑재대(570)는, PCB 접속 유닛(400)의 하류측에도 배치되어 있다(도 18 참조). PCB 접속 유닛(400)의 하류측에 설치된 중앙 탑재대(570)는, PCB 접속 유닛(400)과 반송 유닛(도시하지 않음)과의 사이에 배치되어 있다.

중앙 탑재대(570)는, 지지 상자체(571)에 지지되어 있다. 이 지지 상자체(571)는, 중공의 직육면체형으로 형성되어 있다. 지지 상자체(571)의 내부에는, 반송 유닛 제어부(도시하지 않음)가 수납되어 있다. 이 반송 유닛 제어부는, 수납된 지지 상자체(571)의 상류측에 설치된 작업 유닛에 대하여 설치된 인출 반송부(520) 및 공급 반송부(510)의 각각의 구동부를 제어한다.

다음에, 공급 반송부(510)에 대하여 설명한다.

공급 반송부(510)는, 작업 유닛[예를 들면, 본압착 유닛(300)]과 제3 방향 Y에 대향하고 있고, 작업 유닛의 한쌍의 제어부[제어부(303A, 303B)] 사이에 배치되어 있다. 이 공급 반송부(510)는, 공급된 표시 기판(1)을 작업 유닛의 작업 위치에 반송하고, 기준 바[예를 들면, 기준 바(304)]에 탑재한다.

공급 반송부(510)는, 유지부(511)와, 회동 구동부(512)와, 승강부(513)와, X축 슬라이더(514)와, Y축 슬라이더(515)와, Y축 가이드(516)를 구비하고 있다.

유지부(511)는, 표시 기판(1)의 아래쪽을 향한 평면부를 진공 흡착하는 흡착부(도시하지 않음)를 가지고 있고, 표시 기판(1)을 착탈(着脫) 가능하게 유지한다. 이 유지부(511)는, 1개 전(前)(상류측)의 작업 유닛에 대하여 설치된 인출 반송부(520)로부터 건네받는 표시 기판(1)을 유지하고, 그 표시 기판(1)을 대응하는 작업 유닛의 기준 바에 탑재할 때 유지를 해제한다.

회동 구동부(512)는, 제2 방향 Z와 평행한 회동축을 중심으로 회동시킨다. 이 회동 구동부(512)는, 예를 들면, 모터와, 이 모터에서의 회전축의 회전 속도를 감속시키는 감속 기구와, 이 감속 기구와 유지부(511)를 접속하는 접속 부재로 구성되어 있다. 또한, 회동 구동부(512)의 감속 기구로서는, 예를 들면, 기어 감속기를 사용할 수 있다.

승강부(513)는, 회동 구동부(512)를 지지하고 있다. 이 승강부(513)는, 회동 구동부(512)를 제2 방향 Z로 이동시킨다. 이로써, 유지부(511)는, 회동 구동부(512)를 통하여 제2 방향 Z로 이동 가능하게 되어 있다.

이 승강부(513)로서는, 예를 들면, 에어 실린더나 유압 실린더 등을 적용할 수 있다.

X축 슬라이더(514)는, 승강부(513)를 지지한다. Y축 슬라이더(515)는, X축 슬라이더(514)를 제1 방향 X로 이동 가능하게 지지한다. X축 슬라이더(514)는, Y축 슬라이더(515) 상을 이동시키기 위한 구동부를 가지고 있고, Y축 슬라이더(515)는, Y축 가이드(516) 상을 이동시키기 위한 구동부를 가지고 있다.

X축 슬라이더(514) 및 Y축 슬라이더(515)의 구동부, 회동 구동부(512), 승강부(513)는, 지지 상자체(571) 내에 수납된 반송 유닛 제어부(도시하지 않음)에 의해 제어된다.

공급 반송부(510)에서는, 수취 위치에서 표시 기판(1)을 받으면, 유지부(511)에 의해 표시 기판(1)을 유지한다. 다음에, 카메라부(도시하지 않음)에 의해 유지부(511)에 대한 표시 기판(1)의 위치를 검출한다. 그리고, 그 검출 결과에 기초하여, X축 슬라이더(514) 및 회동 구동부(512)를 구동시켜, 작업 유닛의 작업 위치에 대한 표시 기판(1)의 제1 방향 X 및 회전 방향의 위치를 조정한다.

다음에, Y축 슬라이더(515)를 구동시켜 표시 기판(1)을 작업 유닛에서의 작업 위치의 위쪽으로 반송한다. 그리고, 승강부(513)를 구동시키고, 표시 기판(1)을 하강시켜, 표시 기판(1)을 대응하는 작업 유닛의 기준 바에 탑재한다. 그 후, 유지부(511)에 의한 표시 기판(1)의 유지를 해제하고, Y축 슬라이더(515)를 구동시켜 수취 위치로 되돌린다.

수취 위치에 배치된 공급 반송부(510)의 유지부(511)와, 중앙 탑재대(570)는, 제1 방향 X로 배열되는 동시에, 제2 방향 Z의 위치가 같아지게 된다.

다음에, 인출 반송부(520)에 대하여 설명한다.

인출 반송부(520)는, 작업 유닛[예를 들면, 본압착 유닛(300)]의 작업 위치로부터 표시 기판(1)을 인출하여, 다음 유닛[예를 들면, PCB 접속 유닛(400)]의 공급 반송부(510)에 건넨다.

인출 반송부(520)는, 표시 기판(1)을 유지하는 기판 지지 부재(521)와, 이 기판 지지 부재(521)를 제1 방향 X로 이동시키는 직동 구동부(522)로 구성되어 있다.

기판 지지 부재(521)는, 유지부(531)와, 제1 회동 구동부(532)와, 암부(533)와, 제2 회동 구동부(534)와, 기판 유지 암(535)과, 지지부(536)와, 승강부(537)를 구비하고 있다.

유지부(531)는, 표시 기판(1)의 위쪽을 향한 평면부를 진공 흡착하는 흡착부(도시하지 않음)를 가지고 있고, 표시 기판(1)을 착탈 가능하게 유지한다. 이 유지부(531)는, 작업 유닛의 작업 위치에 배치된 표시 기판(1)을 유지한다. 그리고, 표시 기판(1)을 중앙 탑재대(570)에 탑재할 때 유지를 해제한다.

제1 회동 구동부(532)는, 제2 방향 Z와 평행한 회동축(532a)을 중심으로 유지부(531)를 회동시킨다. 이 제1 회동 구동부(532)는, 예를 들면, 모터와, 이 모터에서의 회전축의 회전 속도를 감속시키는 감속 기구와, 이 감속 기구와 유지부(531)를 접속하는 접속 부재로 구성되어 있다. 또한, 제1 회동 구동부(532)의 감속 기구로서는, 예를 들면, 기어 감속기를 사용할 수 있다.

암부(533)는, 대략 L자형으로 형성되어 있다. 이 암부(533)의 한쪽의 단부에는, 제1 회동 구동부(532)가 장착되어 있다. 따라서, 유지부(531)는, 암부(533)에 대하여 회동축(532a)을 중심으로 회동한다. 한편, 암부(533)의 다른 쪽의 단부는, 제2 회동 구동부(534)와 접속되어 있다.

제2 회동 구동부(534)는, 제2 방향 Z와 평행한 회동축(534a)을 중심으로 암부(533)를 회동시킨다. 이 제2 회동 구동부(534)는, 제1 회동 구동부(532)와 마찬가지로, 모터와, 감속 기구와, 감속 기구와 암부(533)를 접속하는 접속 부재로 구성되어 있다.

기판 유지 암(535)은, 암부(541)와, 접속부(542)와, 유지부(543)로 구성되어 있다.

암부(541)는, 적당한 두께를 가지는 직사각형의 판체로 되어있다. 접속부(542)는, 제2 방향 Z와 평행한 원기둥형으로 형성되어 있다. 이 접속부(542)의 일단은, 암부(541)의 한쪽의 단부에 고정되어 있다. 또한, 접속부(542)의 타단은, 유지부(543)에 고정되어 있다. 즉, 유지부(543)는, 암부(541)에 대하여 회동하지 않는다.

유지부(543)는, 유지부(531)와 같은 것이며, 표시 기판(1)의 위쪽을 향한 평면부를 진공 흡착하는 흡착부(도시하지 않음)를 가지고 있다. 기판 유지 암(535)의 유지부(543)는, 중앙 탑재대(570)에 탑재된 표시 기판(1)을 유지한다. 그리고, 표시 기판(1)을 다음의 작업 유닛에 대응하는 공급 반송부(510)에 건넬 때 유지를 해제한다.

지지부(536)는, 제2 회동 구동부(534)와 기판 유지 암(535)을 지지한다. 이 지지부(536)는, 적당한 두께를 가지는 직사각형의 판체로 이루어지고, 장변이 제1 방향 X와 평행하게 되도록 배치되어 있다. 이 지지부(536)의 상류측의 단부에는, 제2 회동 구동부(534)가 고정되어 있다. 따라서, 암부(533)는, 지지부(536)에 대하여 회동축(534a)을 중심으로 회동한다.

지지부(536)의 하류측의 단부에는, 기판 유지 암(535)에서의 암부(541)의 다른 쪽의 단부가 고정되어 있다. 따라서, 기판 유지 암(535)은, 지지부(536)에 대하여 회동하지 않는다.

승강부(537)에는, 지지부(536)가 장착되어 있다. 이 승강부(537)는, 지지부(536)를 제2 방향 Z로 이동시킨다. 이로써, 기판 유지 암(535)의 유지부(543)와 유지부(531)는, 지지부(536)를 통하여 제2 방향 Z로 이동 가능하게 되어 있다.

이 승강부(537)로서는, 예를 들면, 에어 실린더나 유압 실린더 등을 적용할 수 있다.

직동 구동부(522)는, X축 가이드(551)와, 이 X축 가이드(551) 상을 이동하는 슬라이더(552)로 구성되어 있다.

X축 가이드(551)는, 지지 상자체(571)에 설치된 가이드 지지부(555A, 555B)에 지지되어 있다.

슬라이더(552)는, X축 가이드(551) 상을 이동시키기 위한 구동부를 가지고 있다. 이 슬라이더(552)의 구동부와, 기판 지지 부재(521)의 제1 회동 구동부(532), 제2 회동 구동부(534)는, 지지 상자체(571) 내에 수납된 반송 유닛 제어부(도시하지 않음)에 의해 제어된다.

[인출 반송부의 동작]

다음에, 인출 반송부(520)의 동작에 대하여, 도 20 및 도 21을 참조하여 설명한다. 도 20은 반송 유닛(500)에서의 인출 반송부(520)의 동작을 나타낸 설명도이다. 도 21은 인출 반송부(520)의 동작을 나타낸 타이밍 차트이다.

도 20의 (A)는, 인출 반송부(520)의 유지부(531)가 표시 기판(1)의 위쪽을 향한 평면부에 접촉된 상태의 설명도이며, 도 21에 나타낸 타이밍 t1 상태를 나타내고 있다.

도 20의 (A)에 나타낸 상태에서는, 유지부(531)가 본압착 유닛(300)의 작업 위치에 있는 표시 기판(1A)의 평면부에 접촉하고, 기판 유지 암(535)에서의 유지부(543)가 중앙 탑재대(570)(도 19 참조) 상의 표시 기판(1B)의 평면부에 접촉한다. 이 때의 기판 지지 부재(521)에서의 지지부(536)의 제1 방향 X의 위치 및 제2 방향 Z의 위치를 0으로 한다.

또한, 이 때의 암부(533)에 대한 유지부(531)의 회동 각도 θ1은, -35°로 되어 있다. 회동 각도 θ1은, 유지부(531)의 회동 범위를 70°로 설정하고, 그 중간을 0°로 한 경우의 각도이다. 따라서, 유지부(531)는, -35°로부터 35°까지 회동한다.

한편, 지지부(536)에 대한 암부(533)의 회동 각도 θ2는, 35°로 되어 있다.

회동 각도 θ2는, 암부(533)의 회동 범위를 70°로 설정하고, 그 중간을 0°로 한 경우의 각도이다. 따라서, 암부(533)는, 35°로부터 －35°까지 회동하고, 암부(533)와 유지부(531)의 회동 방향은, 반대로 된다.

유지부(531, 543)가 표시 기판(1A, 1B)의 평면부에 접촉하면, 유지부(531)의 흡착부에 의한 표시 기판(1A)의 흡착 및 유지부(543)의 흡착부에 의한 표시 기판(1B)의 흡착이 개시된다(도 21 참조). 그리고, 소정 시간이 경과하면, 유지부(531, 543)가 표시 기판(1A, 1B)을 흡착하여 유지한다.

그 후, 승강부(537)(도 19 참조)가 구동하고, 지지부(536)가 제2 방향 Z로 소정 거리(본 예에서는 60mm)만큼 이동(상승)한다. 이로써, 표시 기판(1A, 1B)을 유지한 유지부(531, 543)는, 지지부(536)와 함께 제2 방향 Z로 소정 거리만큼 이동(상승)한다. 이 상태는, 도 21에 나타낸 타이밍 t1의 상태이다.

그리고, 도 20에서는, 공급 반송부(510)의 동작을 생략하고 있지만, 공급 반송부(510)와 인출 반송부(520)의 동작은, 공급 반송부(510)의 동작에 동기하고 있다. 표시 기판(1A, 1B)을 유지한 유지부(531, 543)가 제2 방향 Z로의 이동을 개시하면, 공급 반송부(510)는, 표시 기판(1)(도시하지 않음)을 유지한 유지부(511)를 본압착 유닛(300)의 작업 위치를 향해 제3 방향 Y로 이동시킨다.

표시 기판(1A, 1B)을 유지한 유지부(531, 543)의 제2 방향 Z로의 이동이 완료되면, 제2 회동 구동부(534)(도 19 참조)가 암부(533)를 R1 방향[도 20의 (B) 참조]으로 소정의 속도로 회동시킨다. 또한, 제1 회동 구동부(532)(도 19 참조)가 유지부(531)를 R1 방향과 반대 방향인 R2 방향으로 암부(533)와 같은 소정의 속도로 회동시킨다. 또한, 슬라이더(552)가 기판 지지 부재(521)를 제1 방향 X의 하류측으로 이동시킨다.

이 때, 기판 지지 부재(521)의 이동 속도는, 유지부(531)의 회동축(532a)이 암부(533)의 회동축(534a)에 대하여 제1 방향 X의 상류측으로 변위하는 속도와 일치하고 있다. 따라서, 유지부(531)의 회동축(532a)은, 제3 방향 Y로 이동하여 본압착 유닛(300)의 작업 위치로부터 이격된다.

그 결과, 유지부(531)의 이동을 제3 방향 Y로 안내하는 직동축(直動軸)을 이용하지 않고 유지부(531)를 제3 방향 Y로 이동시킬 수 있다. 따라서, 유지부(531)의 이동을 제3 방향 Y로 안내하는 직동축을 작업 유닛에 간섭하지 않게 될 때까지 퇴피시키기 위한 스페이스를 확보할 필요가 없다. 이로써, 반송 유닛(500)을 배치하기 위한 스페이스를 작게 할 수 있어, 장치 전체의 소형화를 도모할 수 있다.

또한, 유지부(531)가 R2 방향으로 암부(533)와 같은 소정의 속도로 회동하기 위해, 표시 기판(1A)은, 본압착 유닛(300)에 대하여 회전하지 않고 이동한다. 이로써, 본압착 유닛(300)에 대한 표시 기판(1A)의 자세를 항상 일정하게 할 수 있으므로, 표시 기판(1A)이 본압착 유닛(300)에 간섭하지 않는다.

도 20의 (B)는, 암부(533) 및 유지부(531)의 회동 각도 θ1, θ2가 0°로 된 상태의 설명도이며, 도 21에 나타낸 타이밍 t2 상태를 나타내고 있다.

도 20의 (B)에 나타낸 상태에서는, 유지부(531)의 회동축(532a)과, 암부(533)의 회동축(534a)이 제1 방향 X와 평행한 직선 L과 일치한다. 이 도 20의 (B)에 나타낸 상태로 될 때까지는, 회동축(532a)이 회동축(534a)에 대하여 제1 방향 X의 상류측으로 변위한다. 그러므로, 회동축(532a)과 회동축(534a)이 제1 방향 X와 평행한 직선 L과 일치할 때까지, 슬라이더(552)(도 19 참조)는, 기판 지지 부재(521)를 제1 방향 X의 하류측으로 이동시킨다.

본 예에서는, 회동축(532a)과 회동축(534a)이 제1 방향 X와 평행한 직선 L과 일치할 때까지, 기판 지지 부재(521)를 제1 방향 X의 하류측으로 50mm 이동시킨다(도 21 참조).

회동축(532a)과 회동축(534a)이 제1 방향 X와 평행한 직선 L과 일치한 후, 암부(533)가 R1 방향으로 회동하면, 회동축(532a)은, 회동축(534a)에 대하여 제1 방향 X의 하류측으로 변위한다. 그러므로, 회동축(532a)과 회동축(534a)이 제1 방향 X와 평행한 직선 L과 일치하고나서는, 슬라이더(552)(도 19 참조)가, 기판 지지 부재(521)를 제1 방향 X의 상류측으로 이동시킨다. 이로써, 유지부(531)의 회동축(532a)은, 계속 제3 방향 Y로 이동하여 본압착 유닛(300)의 작업 위치로부터 이격된다.

도 20의 (C)는, 암부(533)의 회동 각도 θ1이 35°로 되고, 유지부(531)의 회동 각도 θ2가 35°로 된 상태의 설명도이며, 도 21에 나타낸 타이밍 t3 상태를 나타내고 있다.

도 20의 (C)에 나타낸 상태에서는, 암부(533) 및 유지부(531)의 회동 동작이 정지하고, 또한 기판 지지 부재(521)에서의 지지부(536)의 제1 방향 X의 위치가 0으로 된다. 즉, 지지부(536)는, 타이밍 t2[도 20의 (B) 참조]로부터 타이밍 t3[도 20의 (C) 참조]로 될 때까지, 제1 방향 X의 상류측으로 50mm 이동하고, 타이밍 t1[도 20의 (A) 참조]와 같은 위치로 되돌아온다. 이 때, 유지부(531)에 유지된 표시 기판(1A)과, 유지부(543)에 유지된 표시 기판(1B)은, 제1 방향 X를 따라 배열된다.

또한, 도 20의 (C)에 나타낸 상태에서는, 공급 반송부(510)가, 유지부(511)에 의해 유지한 표시 기판(1)을 본압착 유닛(300)의 작업 위치에 있는 기준 바(304)에 탑재한다. 그리고, 유지부(511)를 제3 방향 Y로 이동시켜 작업 위치로부터 이격시킨다.

암부(533) 및 유지부(531)의 회동 동작이 정지하면, 슬라이더(552)(도 19 참조)가 기판 지지 부재(521)를 제1 방향 X의 하류측으로 이동시킨다.

도 20의 (D)는, 기판 지지 부재(521)의 제1 방향 X의 하류측으로의 이동이 정지한 상태의 설명도이며, 도 21에 나타낸 타이밍 t4 및 t5 상태를 나타내고 있다.

암부(533) 및 유지부(531)의 회동 동작이 정지하면[도 20의 (C) 참조] 직동 구동부(522)의 슬라이더(552)는, 기판 지지 부재(521)를 제1 방향 X의 하류측으로 소정 거리만큼 이동시킨다(도 21에 나타낸 타이밍 t4). 본 예에서는, 기판 지지 부재(521)를 제1 방향 X의 하류측으로 500mm 이동시킨다.

이 때, 공급 반송부(510)의 유지부(511)는, 표시 기판을 수취하는 수취 위치로 반송한다. 이 수취 위치는, 본압착 유닛(300)으로부터 제3 방향 Y로 소정 거리만큼 이격되어 있다. 그리고, 공급 반송부(510)는, 1개 전의 작업 유닛인 가압착 유닛(200)에 대응하여 설치된 인출 반송부(도시하지 않음)로부터 표시 기판이 공급될 때까지 대기한다.

기판 지지 부재(521)의 제1 방향 X의 하류측으로의 이동이 정지하면, 유지부(531)에 유지된 표시 기판(1A)은, 중앙 탑재대(570)(도 19 참조)의 위쪽에 배치된다. 또한, 유지부(543)에 유지된 표시 기판(1B)은, 다음의 작업 유닛인 PCB 접속 유닛(400)에 대응하여 설치된 공급 반송부(도시하지 않음)에서의 유지부의 위쪽에 배치된다.

그 후, 승강부(537)(도 19 참조)가 구동하고, 지지부(536)가 제2 방향 Z로 소정 거리(본 예에서는 60mm)만큼 이동(하강)한다. 이로써, 표시 기판(1A)은, 중앙 탑재대(570)에 탑재된다. 그리고, 표시 기판(1B)은, PCB 접속 유닛(400)에 대응하여 설치된 공급 반송부(도시하지 않음)에서의 유지부에 탑재된다(도 21에 나타낸 타이밍 t5).

표시 기판(1A, 1B)이 중앙 탑재대(570) 및 공급 반송부(도시하지 않음)에서의 유지부에 탑재되면, 유지부(531) 및 유지부(543)의 흡착부에 의한 표시 기판(1A, 1B)의 흡착이 해제된다. 그리고, 소정 시간이 경과하면, 유지부(531, 543)이 표시 기판(1A, 1B)을 개방한다(도 21에 나타낸 타이밍 t5). 이로써, 표시 기판(1A, 1B)의 받아건넴이 완료된다.

표시 기판(1A, 1B)의 받아건넴이 완료되면, 인출 반송부(520)는, 도 20의 (A)에 나타낸 상태로 되돌아온다. 즉, 승강부(537)를 구동시켜 지지부(536)를 상승시킨 후, 슬라이더(552)를 구동시켜 기판 지지 부재(521)를 제1 방향 X의 상류측으로 이동시킨다. 다음에, 암부(533) 및 유지부(531)를 회동시키면서, 기판 지지 부재(521)를 제1 방향의 하류측 또는 상류측으로 이동시켜, 유지부(531)를 제3 방향 Y로 이동시킨다.

인출 반송부(520)가 도 20의 (D)에 나타낸 상태로부터 도 20의 (A)에 나타낸 상태로 되돌아올 때까지, 본압착 유닛(300)은, 공급된 표시 기판(1)에 대한 탑재 부재(2)의 본압착 작업을 행한다. 또한, 공급 반송부(510)는, 수취 위치에서 대기한다.

전술한 제2 실시형태에 의하면, 기판 지지 부재의 암부를 제2 방향으로 평행한 축을 중심으로 회동시키면서, 기판 지지 부재를 제1 방향의 한쪽 또는 다른 쪽으로 이동시킨다. 이로써, 제1 회동 구동부의 회동 중심을 제1 방향 및 제2 방향과 교차하는 제3 방향으로 변위시킬 수 있다. 예를 들면, 유지부(531)의 회동축(532a)이 암부(533)의 회동축(534a)의 회전에 의해 회동축(534a)에 대하여 제1 방향 X의 상류측으로 변위될 때는, 기판 지지 부재(521)를 제1 방향 X의 하류측으로 이동시킨다. 한편, 회동축(532a)이 회동축(534a)의 회전에 의해 회동축(534a)에 대하여 제1 방향 X의 하류측으로 변위될 때는, 기판 지지 부재(521)를 제1 방향 X의 상류측으로 이동시킨다. 이로써, 회동축(532a)을 제3 방향 Y로 이동시킬 수 있다.

그 결과, 직동축을 이용하지 않고 유지부(531) 및 표시 기판(1A)을 제3 방향 Y로 이동시킬 수 있다. 그 결과, 제3 방향 Y과 평행한 직동축을 설치하지 않아도, 표시 기판(1)을 제3 방향 Y로 이동시킬 수 있다. 또한, 직동축을 퇴피시키기 위한 스페이스를 확보할 필요가 없기 때문에, 반송 유닛(500)을 배치하기 위한 스페이스를 작게 할 수 있어, 장치 전체의 소형화를 도모할 수 있다.

또한, 암부(533)가 R1 방향으로 회동하고, 유지부(531)가 R1 방향과 반대의 R2 방향으로 회동한다. 그리고, 양자는, 같은 속도로 회동하므로[각속도(角速度)가 동일하므로] 유지부(531)에 유지된 표시 기판(1A)의 본압착 유닛(300)에 대한 자세를 항상 일정하게 할 수 있다. 따라서, 제3 방향 Y로 반송하는 표시 기판(1A)이 본압착 유닛(300)에 간섭하지 않는다.

또한, 중앙 탑재대(570)와 기판 유지 암(535)을 설치하였으므로, 표시 기판(1A)을 제3 방향 Y로 인출한 후에, 인출 반송부(520)가 제1 방향 X의 하류측으로 이동하는 거리를 짧게 할 수 있다. 이로써, 각 작업 유닛이 표시 기판(1A)의 반송 대기를 하지 않도록 할 수 있어, 생산성을 향상시킬 수 있다.

또한, 전술한 제2 실시형태에서는, 암부(533) 및 유지부(531)의 회동 범위의 중간에서, 회동축(532a)과 회동축(534a)이 제1 방향 X와 평행한 직선 L과 일치하는 구성으로 하였다. 그러나, 본 발명에 관한 암부 및 유지부의 회동축은, 암부 및 유지부의 회동 범위의 임의의 위치에서 제1 방향 X와 평행한 직선 L과 일치해도 된다.

예를 들면, 본 실시형태의 암부(533)의 회동 각도 θ1이 5°이며, 유지부(531)의 회동 각도 θ2가 －5°일 때, 회동축(532a)과 회동축(534a)을 제1 방향 X와 평행한 직선 L과 일치시킬 수도 있다. 즉, 도 20의 (A)에 나타낸 상태로부터 암부(533)가 R1 방향으로 20° 회동하고, 유지부(531)가 R2 방향으로 20° 회동했을 때, 회동축(532a)과 회동축(534a)을 제1 방향 X와 평행한 직선 L과 일치시킬 수도 있다.

이와 같이 구성하는 경우에는, 암부(533)의 회동축(534a)의 위치를 제3 방향 Y의 본압착 유닛(300) 측으로 어긋나게 하면 된다.

또한, 전술한 제2 실시형태에서는, 승강부(537)가 지지부(536)를 통하여 암부(533) 및 기판 유지 암(535)을 제2 방향 Z로 이동시키는 구성으로 하였다. 그러나, 본 발명에 관한 승강부는, 적어도 유지부(531, 543)를 제2 방향 Z로 이동시키면 된다. 그러므로, 승강부의 배치는, 유지부(531, 543)를 제2 방향 Z로 이동시킬 수 있어, 적절히 설정할 수 있다.

또한, 전술한 제2 실시형태에서는, ACF가 접착된 탑재 부재(2)의 탑재 작업을 표시 기판(1)의 3변에 대하여 적어도 각 변에 대한 처리 시간이 오버랩하는 타이밍에서 행하도록 했다. 그러므로, 종래 사용되고 있던 표시 기판의 2변씩에 대하여 처리를 행하는 FPD 모듈 조립 라인에 비하여, 규모를 축소할 수 있다.

이상, 본 발명의 FPD 모듈의 조립 장치의 실시형태에 대하여, 그 작용 효과 도 포함하여 설명하였다. 그러나, 본 발명의 FPD 모듈의 조립 장치는, 전술한 제1 및 제2 실시형태로 한정되는 것이 아니고, 특허 청구의 범위에 기재한 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 각종 응용, 변형 실시가 가능하다. 또한, 전술한 제1 및 제2 실시형태에 대하여 임의로 조합함으로써, 표시 기판(1)의 3변을 적어도 각 변에 대한 처리 시간이 오버랩하는 타이밍에 처리하는 FPD 모듈 조립 라인을 구성할 수 있다. 이 타이밍은, 각 유닛에서의 표시 기판(1)의 변마다의 처리 개시 및 처리 종료의 시간에 차이가 있어도 지장이 없고, 적어도 각 변에 대한 처리 시간이 중첩되어 있으면 된다. 또한, 본 발명에 관한 FPD 모듈의 조립 장치는, 그 구성에 따라서는 모든 유닛이 표시 기판(1)의 3변에 대하여 처리를 행하는 것으로 하지 않아도 된다. 예를 들면, 일부의 유닛에 대해서는, 개별적으로 처리를 행하는 기구를 배열된 것으로 해도 된다.

10: FPD 모듈 조립 라인, 100: 수취 유닛, 200: 가압착 유닛, 300: 본압착 유닛, 400: PCB 접속 유닛, 500: 반송 유닛

Claims (8)

1. 표시 기판에 ACF(Anisotropic Conductive Film)를 접착하는 ACF 접착 장치;
   상기 표시 기판에 탑재 부재를, ACF를 사이에 두고 가압착(假壓着)하는 가압착 장치;
   가압착된 상기 탑재 부재를 상기 표시 기판에 본압착(本壓着)하는 본압착 장치
   를 포함하는 FPD(Flat Panel Display) 모듈을 조립하는 FPD 모듈 조립 라인에 있어서,
   상기 표시 기판이 반송(搬送)되는 제1 방향의 반송 라인을 따라 배치되는, 상기 ACF 접착 장치, 상기 가압착 장치 또는 상기 본압착 장치 중, 적어도 어느 하나의 장치에 대하여, 상기 반송 라인과 교차하는 방향의 처리 위치에 상기 표시 기판을 이동시키고, 배치하는 이동 장치를 포함하고,
   상기 ACF 접착 장치, 상기 가압착 장치, 상기 본압착 장치 중, 적어도 어느 하나의 장치는, 상기 이동 장치에 의해 상기 처리 위치로 이동된 상기 표시 기판의 적어도 3변(邊)에, 적어도 각 변에 대한 처리 시간이 오버랩(overlap)하는 타이밍에서 소정의 처리를 행하는, FPD 모듈의 조립 장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 표시 기판에 PCB(Printed Circuit Board)를 접속하는 PCB 접속 장치를 추가로 포함하고,
   상기 이동 장치는, 상기 PCB 접속 장치가 상기 표시 기판에 상기 PCB를 접속하는 처리를 행하는 위치에 상기 표시 기판을 이동시키고,
   상기 PCB 접속 장치는, 이동된 상기 표시 기판의 적어도 3변에, 적어도 각 변에 대한 처리 시간이 오버랩하는 타이밍에서 상기 PCB를 접속하는 처리를 행하는, FPD 모듈의 조립 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 ACF 접착 장치, 상기 가압착 장치, 상기 본압착 장치, 상기 PCB 접속 장치 중, 적어도 어느 하나의 장치는 상기 표시 기판의 3변에 각각 동일한 처리를 행하는 3대의 처리 기구(機構)를 가지고, 상기 3대의 처리 기구 중, 2대의 상기 처리 기구가 상기 반송 라인과 교차하는 방향으로서, 상기 처리 위치에 배치된 상기 표시 기판의 대향하는 2변에 대하여 각각 처리를 행하는 경우에, 상기 표시 기판의 크기에 맞추어 2대의 상기 처리 기구가 상기 표시 기판에 접근 또는 이격(離隔) 가능하게 구성되는, FPD 모듈의 조립 장치.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 ACF 접착 장치는,
   베이스 필름과 상기 ACF로 이루어지는 ACF 테이프의 상기 ACF에 절입(切入; cut-in)을 형성한 절입부와, 절입이 형성된 상기 ACF 테이프에 상기 탑재 부재를 접착하는 접착부와, 상기 ACF 테이프의 상기 베이스 필름을 박리(剝離)하는 박리부를 가지는 ACF 접착부;
   복수 개의 탑재 헤드를 가지고, 상기 표시 기판의 적어도 3변에 대하여 상기 ACF가 접착된 탑재 부재의 탑재 작업을, 적어도 각 변에 대한 처리 시간이 오버랩하는 타이밍에서 행하는 탑재부
   를 포함하는, FPD 모듈의 조립 장치.
5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 이동 장치는,
   상기 표시 기판을 착탈(着脫) 가능하게 유지하는 유지부와, 상기 제1 방향과 교차하고, 또한 상기 표시 기판의 평면과 교차하는 제2 방향으로 평행한 축을 중심으로 상기 유지부를 회동(回動)시키는 제1 회동 구동부와, 상기 제1 회동 구동부가 장착되는 암부(arm portion)와, 상기 제2 방향으로 평행한 축을 중심으로 상기 암부를 회동시키는 제2 회동 구동부를 가지는 기판 지지 부재;
   상기 기판 지지 부재를 상기 제1 방향으로 이동시키는 직동(直動) 구동부
   를 포함하고,
   상기 기판 지지 부재의 상기 제1 회동 구동부는, 상기 표시 기판을 유지한 상기 유지부를 상기 제2 회동 구동부에 의해 회동하는 상기 암부의 회동 방향과 반대의 방향으로 회동시키고,
   상기 직동 구동부는, 상기 암부의 회동량에 따라 상기 기판 지지 부재를 상기 제1 방향의 한쪽 또는 다른 쪽으로 이동시킴으로써, 상기 유지부가 유지한 상기 표시 기판을 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 교차하는 제3 방향으로 이동시키는, FPD 모듈의 조립 장치.
6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 ACF 접착 장치는,
   상기 탑재 부재의 단부(端部)를 촬상(撮像)하는 촬상부;
   상기 촬상부의 촬상 결과에 기초하여 상기 ACF의 절단 위치를 결정하는 절단 위치 결정부와,
   상기 절단 위치 결정부에 의해 결정된 절단 위치에서 상기 ACF를 절단하는 절단부
   를 포함하는, FPD 모듈의 조립 장치.
7. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 본압착 장치는,
   복수 개의 상부날을 가지고, 상기 ACF를 사이에 두고 상기 탑재 부재를 상기 표시 기판에 열압착하는 압착 헤드;
   상기 압착 헤드와 상기 탑재 부재와의 사이에 개재(介在)되는 보호 시트;
   상기 보호 시트를 상기 복수 개의 상부날이 배열된 방향에 대하여 수평 방향으로 경사지게 하여 이송하는 시트 이송 기구
   를 포함하는, FPD 모듈의 조립 장치.
8. 표시 기판에 ACF를 접착하는 ACF 접착 장치와, 상기 표시 기판에 탑재 부재를, ACF를 사이에 두고 가압착하는 가압착 장치와, 가압착된 상기 탑재 부재를 상기 표시 기판에 본압착하는 본압착 장치를 구비하는 FPD 모듈을 조립하는 FPD 모듈 조립 라인에 있어서, 상기 표시 기판이 반송되는 제1 방향으로 반송 라인을 따라 배치되는, 상기 ACF 접착 장치, 상기 가압착 장치, 상기 본압착 장치 중, 적어도 어느 하나의 장치에 대하여, 이동 장치가 상기 반송 라인과 교차하는 방향의 처리 위치에 상기 표시 기판을 이동시키고, 배치하는 단계;
   상기 ACF 접착 장치, 상기 가압착 장치, 상기 본압착 장치 중, 적어도 어느 하나의 장치는, 상기 이동 장치에 의해 상기 처리 위치로 이동된 상기 표시 기판의 적어도 3변에, 적어도 각 변에 대한 처리 시간이 오버랩하는 타이밍에서 소정의 처리를 행하는 단계
   를 포함하는, FPD 모듈의 조립 방법.
   

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