KR20120099755A - Device and method for electrically contacting treatment material in electroplating systems - Google Patents

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Abstract

본 발명은 밴드 형상 또는 플레이트 형상인 재료(1)의 전기 접촉에 관한 것인데, 상기 재료는 운반 트랙 상에서 전기도금 시스템을 통해 이송될 수 있다. 캐소드로 성극되는 접촉 수단(6)이 예컨대 전해질(12) 내에서 재료(1)의 하면 상에 위치하게 되는데, 상기 전해질은 전기도금 시스템에서 순환된다. 상기 재료는 재료(1)에 전류를 전달하기 위해 전기적으로 접촉하게 된다. 종래 기술에 있어서, 접촉 수단(6)은 재료(1)에 추가하여 금속 코팅된다. 상기 금속 코팅은 접촉으로 인해 지속적으로 분명히 제거된다. 본 발명에 따르면, 예컨대 각각의 관형 접촉 수단(6)은 냉각 유닛 또는 냉각 매체에 의해 냉각된다. 전해질(12)의 작동 온도와 접촉 수단(6)의 표면 온도 사이의 온도차가 충분히 크면 접촉 수단(6)의 냉각된 표면 상에 금속이 전혀 증착되지 않는다. 이러한 특성은, 사용되는 전해질(12)에서 캐소드로 금속 코팅될 수 없는 접촉 수단(6)의 표면에 추가될 수 있다.The present invention relates to the electrical contact of a material 1 in the form of a band or plate, which material can be conveyed via an electroplating system on a transport track. A cathode 6 contact means 6 is placed on the lower surface of the material 1, for example in the electrolyte 12, which is circulated in the electroplating system. The material is in electrical contact to deliver a current to the material 1. In the prior art, the contact means 6 are metal coated in addition to the material 1. The metal coating is clearly removed continuously due to contact. According to the invention, for example, each tubular contact means 6 is cooled by a cooling unit or a cooling medium. If the temperature difference between the operating temperature of the electrolyte 12 and the surface temperature of the contact means 6 is large enough, no metal is deposited on the cooled surface of the contact means 6. This property can be added to the surface of the contact means 6 which cannot be metal coated with the cathode in the electrolyte 12 used.

Figure P1020127017324
Figure P1020127017324

Description

전기도금 시스템에서 전기적으로 접촉하는 처리 재료를 위한 장치 및 방법{DEVICE AND METHOD FOR ELECTRICALLY CONTACTING TREATMENT MATERIAL IN ELECTROPLATING SYSTEMS}DEVICE AND METHOD FOR ELECTRICALLY CONTACTING TREATMENT MATERIAL IN ELECTROPLATING SYSTEMS}

본 발명은 전기도금 시스템에서 전기도금 대상인 재료의 전기적 접촉에 관한 것이다.The present invention relates to the electrical contact of a material to be electroplated in an electroplating system.

이러한 목적을 위해 적합한 화학적 습식 시스템은, 침지 욕 시스템, 드럼 시스템, 연속 흐름 시스템 및 롤 대 롤 테이프 형상의 재료에 대한 시스템뿐만 아니라 다른 전기도금 장비를 포함한다. 전기도금 대상인 재료는, 예컨대 금속, 플라스틱, 세라믹, 유리 및 표면 상에서 적어도 부분적으로 전기 전도성인 다른 물질로 제조된 단편 재료, 플레이트 형상의 재료, 박막 및 테이프를 포함한다. 예로는 금속 공작물, 회로판 또는 전도체 박막, 웨이퍼 및 태양 전지가 포함된다.Chemical wet systems suitable for this purpose include immersion bath systems, drum systems, continuous flow systems and systems for roll to roll tape shaped materials, as well as other electroplating equipment. Materials to be electroplated include, for example, piece materials, plate-shaped materials, thin films and tapes made of metals, plastics, ceramics, glass and other materials that are at least partially electrically conductive on the surface. Examples include metal workpieces, circuit boards or conductor thin films, wafers and solar cells.

본 발명의 방법을 이용하여 전기화학적으로 처리될 재료의 전기 전도성인 표면의 전체 영역 또는 구조화된 영역은, 애노드와 함께 전해질에 캐소드로(cathodically) 배치되어야만 한다. 이는 적어도 정류기 또는 펄스 정류기의 사용을 필요로 하는데, 정류기 또는 펄스 정류기의 음극은 처리 대상인 재료의 표면에 연결되며, 정류기 또는 펄스 정류기의 양극은 적어도 하나의 전기 전도성인 전해조의 애노드에 연결된다.The entire area or structured area of the electrically conductive surface of the material to be electrochemically treated using the method of the present invention must be cathodically disposed in the electrolyte with the anode. This requires the use of at least a rectifier or pulse rectifier, the cathode of the rectifier or pulse rectifier being connected to the surface of the material to be treated and the anode of the rectifier or pulse rectifier being connected to an anode of at least one electrically conductive electrolyzer.

침투 도금(immersion plating)에 있어서, 캐소드 재료는 접촉에 의해 예컨대 프레임 및 재료 캐리어와 전기적으로 접촉하게 된다. 연속 흐름 도금(continuous flow plating)에 있어서, 상기 재료는, 회전하거나 클램핑하는 이송 수단과 연속하게 또는 불연속하게 전기적으로 접촉하게 된다. 롤 대 롤 도금(roll to roll plating)에 있어서, 예를 들면, 접촉 롤러는 전기 접촉을 형성한다. 그 캐소드 극성 때문에, 이들 접촉 수단 및/또는 이송 수단은 재료 자체의 표면과 거의 유사하게 전기도금된다. 모든 다양한 유형의 전기도금에 있어서 접촉 수단의 이러한 금속화(metalization)는 대단히 문제가 된다. 접촉 수단은 연속적으로 탈금속화(de-metalization)되어야만 한다. 이러한 목적을 위한 여러 가지 해법이 이미 공지되어 있다. 주기적으로 작동하는 침투 도금 시스템에서 재료 캐리어에 부착되는 프레임 접촉부는 특별한 공정에서 규칙적인 간격으로 탈금속화되어야만 한다. 이러한 탈금속화는 어떠한 특정한 기술적 문제도 초래하지 않지만, 이는 경제적인 관점에서 대단히 불리하다. 연속 흐름 시스템의 경우에 있어서, 접촉 수단은 연속 전기도금 동안 분리되어야만 한다. 이들 기술적 문제를 해소하기 위해 입증된 기술적 해법이 이미 공지되어 있다.In immersion plating, the cathode material is brought into electrical contact with the frame and the material carrier, for example by contact. In continuous flow plating, the material is in continuous or discontinuous electrical contact with the conveying means which rotates or clamps. In roll to roll plating, for example, contact rollers make electrical contact. Because of their cathode polarity, these contact means and / or transfer means are electroplated almost similar to the surface of the material itself. This metallization of the contact means is very problematic for all the various types of electroplating. The contact means must be continuously de-metalized. Various solutions are already known for this purpose. In periodically operated penetration plating systems, the frame contacts attached to the material carrier must be demetallized at regular intervals in a particular process. This demetallization does not cause any particular technical problem, but it is very disadvantageous from an economic point of view. In the case of a continuous flow system, the contact means must be separated during continuous electroplating. Proven technical solutions are already known to solve these technical problems.

종래 기술에 따르면, 전기적 접촉 수단은 전기화학적으로 탈금속화되며, 즉 에칭된다. 이러한 목적을 위해, 이들 수단은 애노드로(anodically) 연결된다. 접촉 수단 자체가 에칭되지 않도록 하기 위해, 접촉 수단은 적어도 그 표면 상에서, 사용되는 전해질에 내성이 있는 애노드 재료로 제조되어야만 한다.According to the prior art, the electrical contact means is electrochemically demetallized, ie etched. For this purpose, these means are connected anodically. In order to ensure that the contact means themselves are not etched, the contact means must be made of an anode material that is resistant to the electrolyte used, at least on its surface.

티타늄, 니오븀 또는 탈탄과 같은 애노드 내성 재료의 표면은 가장 일반적으로 사용되는 산성 전해질에서 산화된다. 이러한 얇은 산화물 막은 전기 절연체이다. 실제로, 산화물 층에서의 나머지 공극을 통해 그리고 접촉 파트너에 대해 압력 및/또는 마찰을 적용함으로써 전기적 전도 또는 접촉이 달성된다. 접촉을 통해 재료에 대해 압력 또는 마찰을 적용하는 것은, 유리와 같이 다루기 곤란한 재료의 경우에는 가능하지 않다. 이러한 재료의 파괴를 방지하기 위해, 재료에 단지 작은 힘만을 인가하도록, 롤링 접촉부 및 다른 회전하는 이송 수단이 사용될 수 있다. 이는, 표면이 산화되는 금속은 접속 수단으로서의 사용에 있어서 거의 완전하게 배제된다는 것을 의미한다. 여기에서, 접촉 수단의 코팅을 위해 귀금속과 같은 비산화성 재료가 요구된다.Surfaces of anode resistant materials such as titanium, niobium or decarburization are oxidized in the most commonly used acidic electrolytes. This thin oxide film is an electrical insulator. Indeed, electrical conduction or contact is achieved through the remaining pores in the oxide layer and by applying pressure and / or friction to the contact partner. Applying pressure or friction to the material through contact is not possible in the case of materials that are difficult to handle, such as glass. To prevent destruction of this material, rolling contacts and other rotating conveying means can be used to apply only a small force to the material. This means that the metal whose surface is oxidized is almost completely excluded in use as a connecting means. Here, non-oxidizing materials such as precious metals are required for the coating of the contact means.

또한 실시를 통해, 산화된 표면을 갖거나 또는 금속 산화물 층이 그 위에 증착되는 금속은 단지 불완전한 전기분해식 탈금속화를 겪게 될 수 있다는 것을 보인 바 있다. 이러한 금속화의 잔류물은 산화물 층에 점착되는 입자로서 남게 된다. 따라서, 이러한 접촉 수단의 표면에는 또한 귀금속 코팅이 마련된다. 이는, 절연성 산화물 층의 문제를 해소해준다.It has also been shown through practice that metals with oxidized surfaces or on which metal oxide layers are deposited may only undergo incomplete electrolytic demetallization. This metallization residue remains as particles sticking to the oxide layer. Thus, the surface of such contact means is also provided with a precious metal coating. This solves the problem of the insulating oxide layer.

그러나, 영구적으로 점착성이 있고 마모에 견디도록 하는 방식으로 접촉부의 산화성 금속을 도금하는 것은, 불가능하지는 않지만 기술적으로 매우 어렵다. 실제로, 이러한 접촉부는 예컨대 예리한 에지를 갖는 회로판 상에서 롤링되어야만 한다. 그 결과로서 귀금속 코팅의 급속한 마모가 이루어지며, 이에 따라 전체 흐름 시스템의 효율은 저하된다.However, plating the oxidizing metal of the contact in a manner that is permanently tacky and resistant to abrasion, although not impossible, is technically very difficult. In practice, this contact must be rolled, for example, on a circuit board with sharp edges. As a result, rapid wear of the precious metal coating occurs, thereby reducing the efficiency of the overall flow system.

유리 디스크와 같이 파손되기 쉬운 재료가 전기화학적으로 처리되어야만 하는 경우, 경질 금속성 이송 수단 및 접촉 수단은 사용이 거의 불가능하다. 적어도 이송 수단 및/또는 접촉 수단의 표면은 탄성 재료를 구비할 필요가 있다. 접촉 수단은 또한 전기 전도성이어야만 한다. 종래 기술에 따르면, 이는 충분히 양호한 전기 전도성을 제공하는 금속/플라스틱 복합재료를 통해 달성될 수 있는데, 특히 복합 재료가 임시 접촉 영역에서 국지적으로 압축되는 경우에 그러하다.If fragile materials such as glass disks have to be electrochemically treated, hard metallic conveying means and contacting means are almost impossible to use. At least the surface of the conveying means and / or the contact means needs to comprise an elastic material. The contact means must also be electrically conductive. According to the prior art, this can be achieved through metal / plastic composites that provide sufficiently good electrical conductivity, especially when the composite material is locally compressed in the temporary contact area.

상기 전도성은, 예컨대 엘라스토머 또는 고무에 통합되는, 화학적으로 그리고 전기화학적으로 안정한 금속 입자 또는 탄소 입자를 통해 달성된다.The conductivity is achieved through chemically and electrochemically stable metal particles or carbon particles, for example, incorporated into the elastomer or rubber.

본 발명의 목적은, 간단한 고정 접촉부 또는 회전 접촉부에 의해 모든 유형의 전기도금 시스템에서 전기도금 대상인 재료의 전기적 접촉을 가능하게 하는 장비 및 방법으로서, 이에 따라 이러한 접촉부가 종래 기술의 단점을 방지함으로써 금속화되지 않는 것인 장비 및 방법을 제공하는 것이다. 전기도금 대상인 표면이란 전체 표면 또는 구조화된 표면을 의미한다. 이러한 구조는, 전기 전도성 시드층(seed layer) 상의 레지스트에 의해, 또는 예컨대 절연 기판 상의 시드층으로서 전기 전도성인 인쇄 회로 패턴에 의해 형성될 수 있다.It is an object of the present invention to provide an apparatus and a method for enabling electrical contact of a material to be electroplated in all types of electroplating systems by simple fixed or rotary contacts, whereby the contact prevents metal It is to provide an equipment and method that will not be converted. Surface to be electroplated means either the entire surface or a structured surface. Such a structure can be formed by a resist on an electrically conductive seed layer, or by a printed circuit pattern that is electrically conductive, for example, as a seed layer on an insulating substrate.

전술한 목적은 특허 청구항 1 및 특허 청구항 7에 따른 장치에 의해 그리고 특허 청구항 4 및 특허 청구항 10에 따른 방법에 의해 달성된다. 본 발명에 대한 가능한 추가 및 조합은 종속 청구항에 설명되어 있다.The above object is achieved by a device according to patent claims 1 and 7 and by a method according to patent claims 4 and 10. Possible additions and combinations of the invention are described in the dependent claims.

접촉 수단은 고정 접촉부 또는 회전 접촉부로 이루어진다. 고정 접촉이란, 예컨대 침지 시스템에서 재료와 접촉하는 것을 의미한다. 연속 흐름 시스템에서 회전하는 접촉 휠 또는 접촉 롤러는 적어도 하나의 접촉 트랙 상에서 또는 재료의 전체 폭에 걸쳐 이송 방향에 대해 횡방향으로 상품과 접촉한다. 경질이거나 탄성인 접촉 휠 또는 접촉 롤러는 적어도 그 롤링 둘레에서 그 표면에 대해 전기 전도성이다. 본 발명에 따른 회전식 접촉 수단의 단지 적은 부분만이 전해조의 영역에 일시적으로 위치하며, 즉 캐소드로서 전기도금 대상인 재료와 용해성 또는 불용성 애노드 사이에 존재하는 전기장의 일부에 위치한다. 캐소드인 접촉 수단 및 접촉 휠 또는 접촉 롤러의 나머지 영역은 전기적으로 비전도성인 차폐부에 의해 전해조(들)의 전기장으로부터 차폐된다. 접촉 수단은 차폐 영역에서 금속화되지 않는다. 따라서, 접촉 휠 또는 접촉 롤러의 단지 적은 부분만이 연속적으로 전기도금될 수 있는데, 즉 상기 부분은 캐소드 재료에 근접하며 이에 따라 전해조 및 그 전기장 내에 놓인다.The contact means consists of fixed or rotary contacts. Fixed contact means contact with a material, for example in an immersion system. A rotating contact wheel or contact roller in a continuous flow system contacts the product transversely with respect to the conveying direction on at least one contact track or over the entire width of the material. A rigid or elastic contact wheel or contact roller is electrically conductive to its surface at least about its rolling. Only a small part of the rotary contact means according to the invention is located temporarily in the region of the electrolyzer, ie in the part of the electric field present between the material to be electroplated as a cathode and the soluble or insoluble anode. The cathode contact means and the remaining area of the contact wheel or contact roller are shielded from the electric field of the electrolyzer (s) by an electrically nonconductive shield. The contact means are not metallized in the shielding area. Thus, only a small part of the contact wheel or contact roller can be continuously electroplated, ie the part is close to the cathode material and thus lies in the electrolyzer and its electric field.

예컨대, 침지 욕 시스템에서의 프레임의 고정 접촉 수단 또는 연속 흐름 시스템에서의 클램핑 접촉부뿐만 아니라 슬라이딩 접촉부의 접촉 트랙의 경우에 있어서, 상품과 전기적으로 접촉하는 동일한 영역이 항상 전해조의 전기장에 노출된다. 전해조의 전기장에 노출되는 접촉 수단의 이러한 영역은 재료 자체와 같이 금속화될 수 있다.For example, in the case of fixed contact means of the frame in an immersion bath system or contact tracks of sliding contacts as well as clamping contacts in a continuous flow system, the same area in electrical contact with the product is always exposed to the electric field of the electrolyzer. This region of the contact means exposed to the electric field of the electrolyzer can be metallized like the material itself.

이러한 전기도금의 난제는, 본 발명의 제1 양태에 있어서 접촉 수단을 냉각함으로써, 그리고 제2 양태에 있어서 사용되는 전해질에서 전기화학적 금속화를 초래하지 않은 접촉 형성 재료를 사용함으로써 해소될 수 있다.The difficulty of such electroplating can be solved by cooling the contact means in the first aspect of the present invention and by using a contact forming material that does not cause electrochemical metallization in the electrolyte used in the second aspect.

해당 전해질은 전기화학적 증착을 위한, 특히 점착 및 적절한 전기도금을 위한 특정 작동 온도가 되도록 요구된다. 이러한 작동 온도 미만에서, 증착되는 금속은 산업적으로 이용 불가능하거나, 또는 전혀 증착이 이루어지지 않는다. 전해질의 작동 온도와 접촉 수단의 표면 온도 사이의 차이가 커질수록, 전술한 증착은 감소하거나, 또는 전혀 증착이 이루어지지 않는다. 실제로, 전해질의 작동 온도는 보통 30 ℃ 내지 80 ℃이다. 통상적인 액상 냉각 매질의 온도는, 예컨대 8 ℃이다. 압축기, 기화기, 열교환기 펠티에 요소 등과 같은 통상적인 냉각 장치를 이용하면 훨씬 낮은 온도가 얻어질 수 있다. 따라서, 전해질의 작동 온도와 접촉 수단의 표면 온도 사이에서 충분히 큰 차이가 얻어질 수 있으며, 이에 의해 접촉 수단의 캐소드 표면 상에서 금속의 증착이 이루어지지 않는다.The electrolyte is required to be at a particular operating temperature for electrochemical deposition, in particular for adhesion and proper electroplating. Below this operating temperature, the deposited metal is not industrially available, or no deposition takes place at all. As the difference between the operating temperature of the electrolyte and the surface temperature of the contacting means increases, the above-mentioned deposition decreases or no deposition takes place. In practice, the operating temperature of the electrolyte is usually 30 ° C to 80 ° C. Typical liquid cooling medium temperatures are, for example, 8 ° C. Even lower temperatures can be obtained using conventional cooling devices such as compressors, vaporizers, heat exchanger Peltier elements and the like. Thus, a sufficiently large difference can be obtained between the operating temperature of the electrolyte and the surface temperature of the contact means, whereby no deposition of metal is made on the cathode surface of the contact means.

주어진 전해질을 이용하면 모든 재료 및 전기 전도성 표면에 대해 전기화학적 도금이 가능하지 않다. 이러한 사실은 본 발명의 추가적인 양태에서 사용된다. 적어도 캐소드인 접촉 수단의 전기적으로 절연되지 않는 표면은 이러한 금속화 가능하지 않은 재료로 제조된다. 예로서, 적어도 표면 상에서 주석 또는 니오븀으로 이루어진 접촉 수단이 존재한다. 예를 들어, 경질 크롬 욕에서 전기화학적으로 금속화가 이루어지지 않는다.With a given electrolyte, electrochemical plating is not possible for all materials and electrically conductive surfaces. This fact is used in further aspects of the invention. An electrically non-insulated surface of at least the cathode contact means is made of such a non-metallizable material. By way of example, there is at least a contact means consisting of tin or niobium on the surface. For example, there is no electrochemical metallization in a hard chromium bath.

추가적으로, 본 발명에 따르면, 전해질의 선택된 작동 온도에서 대상 전해질에서 금속화되지 않는 재료 또는 거의 금속화되지 않는 재료 및 접촉 냉각의 조합이 가능하다.In addition, according to the present invention, a combination of contactless cooling and material which is not metallized or hardly metallized in the subject electrolyte at selected operating temperatures of the electrolyte is possible.

모든 경우에 있어서, 전기도금되는 재료는 전기적으로 접촉되며, 이에 따라 접촉부는 영구적으로 금속화되지 않고, 이에 따라 별도로 탈금속화할 필요가 없다. 따라서, 애노드로서 에칭되는 극성의 접촉 수단이 요구되지 않는다.In all cases, the material to be electroplated is in electrical contact, so that the contacts are not permanently metallized and thus do not need to be demetallized separately. Thus, no contact means of polarity which is etched as an anode is required.

본 발명에 따른 접촉 수단이 애노드로 성극될 필요는 없지만, 대신 전기도금 공정을 위해 캐소드 방식으로 일정하게 연결된다는 사실은, 전기 전도성 재료 또는 유사한 충전재(filler)가 전해질에서 화학적으로 안정하고 전기화학적으로 안정하지 않은 경우, 이 전기 전도성 재료 또는 유사한 충전재가 이를 위해 또한 사용될 수 있다는 것을 의미한다. 스테인레스 강과 같은 이러한 재료는 티타늄, 니오븀 또는 탄탈과 같은 다른 안정한 애노드 금속보다 현저하게 저렴하다. 황산구리 전해질에 있어서, 적절한 스테인레스 강은 예컨대 하스텔로이 C(Hastelloy C)라는 상표명을 갖는 것이다. 이들 재료는 또한 전술한 전기화학적으로 내성인 금속보다 경제적으로 처리될 수 있다. 추가적인 장점은, 예를 들어 전해질에서의 스테인레스 강이, 예컨대 갈바닉 응집체로 된 접촉부의 표면 상에, 또는 접촉 휠의 운전되는 표면 상에, 또는 슬라이딩 접촉부의 슬라이딩 표면 상에 문제가 되는 절연성 산화물 층을 형성하지 않는다는 것이다.The contact means according to the invention need not be polarized to the anode, but instead the fact that the cathodes are constantly connected in a cathodic manner for the electroplating process means that an electrically conductive material or similar filler is chemically stable and electrochemically in the electrolyte. If not stable, this means that this electrically conductive material or similar filler can also be used for this. Such materials, such as stainless steel, are significantly cheaper than other stable anode metals such as titanium, niobium or tantalum. In copper sulfate electrolytes, suitable stainless steels are those having the trade name Hastelloy C, for example. These materials can also be economically treated than the electrochemically resistant metals described above. A further advantage is that an insulating oxide layer, for example, in which the stainless steel in the electrolyte is problematic on the surface of the contact of galvanic aggregates, on the operating surface of the contact wheel, or on the sliding surface of the sliding contact It does not form.

따라서, 산화성 금속과 비교하면, 이는 접촉점에서 훨씬 작은 전기 경계 저항(electrical transition resistance)을 초래한다. 따라서, 이는 어느 정도 가열되는데, 이로 인해 재료뿐만 아니라 접촉 수단 양자를 보조하며, 즉 마모와 관련되는 한 더욱 무난하다. 또한 접촉 수단 상에서 주로 비산화성인 재료의 양호한 전기 접촉은 더 작은 접촉력을 요구하며, 이에 따라 심지어 경질 접촉 수단을 사용할 때에도 예컨대 특히 박막의 변형 또는 엠보싱을 방지한다. 탄성 복합체 재료 내에서 충전재의 전기 전도성 입자의 내부 연결에도 동일한 사항이 적용된다. 재료에 대한 충전재의 작은 접촉 경계 저항은 또한 이러한 탄성 접촉 수단의 경우에 발생한다.Thus, compared with oxidizing metals, this results in much smaller electrical transition resistance at the point of contact. It is thus heated to some extent, thereby assisting both the material as well as the contact means, i.e., as far as wear is concerned. Good electrical contact of mainly non-oxidizing materials on the contact means also requires smaller contact forces, thus preventing deformation or embossing, for example, of thin films, even when using hard contact means. The same applies to the internal connection of the electrically conductive particles of the filler in the elastic composite material. Small contact boundary resistance of the filler to the material also occurs in the case of such elastic contact means.

특히 어그레시브한(aggressive) 전해질의 경우에 있어서, 접촉 휠을 위해 이용 가능한 비산화성 재료는 충분히 화학적으로 안정하지 않은 경우가 발생할 수 있다. 이러한 경우에 있어서, 접촉 수단에는 적어도 접촉 표면에 전기 전도성 보호 층이 마련된다. 귀금속에 추가하여 전기 전도성 다이아몬드 층을 갖춘 코팅은 이러한 목적을 위해 특히 적합한데, 이는 또한 기계적인 연마에 대해 특히 내성이 있다. 예를 들어 5 미크론 내지 10 미크론 두께의 다이아몬드 층의 전도도는 예컨대 붕소로 도핑함으로써 생성된다. 이러한 방식으로 코팅된 접촉부의 표면은 금속성 접촉 재료와 유사하다. 그 재료의 전기화학적 금속화는, 본 발명에 따른 접촉 수단 냉각에 의해 및/또는 다이아몬드 코팅 상에 금속이 전혀 증착되지 않는 전해질을 이용하여 방지된다. 가능한 귀금속 코팅과는 대조적으로, 다이아몬드 코팅은 연마 및 마모에 대해 극히 내성이 있다. 이러한 특성은, 특히 연속 흐름 도금 시스템에서 본 발명에 따른 회전 접촉부 또는 슬라이딩 접촉부에 대해, 주된 부가적인 장점이다.Particularly in the case of aggressive electrolytes, cases may arise where the non-oxidizing materials available for the contact wheels are not sufficiently chemically stable. In this case, the contact means is provided with an electrically conductive protective layer at least on the contact surface. Coatings with an electrically conductive diamond layer in addition to the precious metal are particularly suitable for this purpose, which is also particularly resistant to mechanical polishing. For example, the conductivity of a diamond layer 5 micron to 10 micron thick is produced, for example, by doping with boron. The surface of the contacts coated in this way is similar to the metallic contact material. Electrochemical metallization of the material is prevented by cooling the contact means according to the invention and / or using an electrolyte in which no metal is deposited on the diamond coating. In contrast to possible precious metal coatings, diamond coatings are extremely resistant to abrasion and abrasion. This property is a major additional advantage, in particular for rotary or sliding contacts according to the invention in continuous flow plating systems.

물론, 다이아몬드 코팅은 또한 티타늄과 같은 산화성 재료에 대해서도 적합하다. 다이아몬드 코팅이 있는 또는 없는, 스테인레스 강으로 제조된 접촉 휠 및 접촉 롤러는 본 발명을 실시할 때 바람직하다.Of course, diamond coatings are also suitable for oxidizing materials such as titanium. Contact wheels and contact rollers made of stainless steel, with or without diamond coating, are preferred when practicing the present invention.

본 발명의 효과성, 즉 접촉 수단 상에서의 영구적인 금속화의 방지는, 필요하다면 그리고 특히 전해질의 작동 온도가 주위 온도에 근접할 때, 화학적 무전해 에칭과 조합함으로써 증가될 수 있다. 에천트(echant)로서, 도금이 이루어지는 작동 컨테이너 또는 전해조의 전해질이 사용될 수 있다. 다수의 도금 욕에 있어서, 증착되는 금속에 대해 사용되는 전해질은, 황산에 기초한 구리 전해질을 이용하는 경우와 같이 재용해 효과, 즉 에칭 특성을 갖는다. 이러한 특성은, 접촉 수단의 냉각 또는 전해질의 선택이 충분하지 않을 때, 즉 냉각된 접촉 수단 상에 금속이 약간 증착될 때, 본 발명에 따라 접촉 수단의 보조적인 탈금속화를 위해 사용된다.The effectiveness of the present invention, i.e. the prevention of permanent metallization on the contact means, can be increased if necessary and in combination with chemical electroless etching, especially when the operating temperature of the electrolyte is close to ambient temperature. As an etchant, an electrolyte of an electrolytic cell or an operation container in which plating is performed may be used. In many plating baths, the electrolyte used for the deposited metal has a remelting effect, i.e., etching characteristics, as in the case of using a copper electrolyte based on sulfuric acid. This property is used for assisted demetallization of the contact means in accordance with the invention when the cooling of the contact means or the choice of electrolyte is not sufficient, ie when metal is deposited slightly on the cooled contact means.

전해질은 도금 동안 재료에 대한 컨테이너를 통한 순환에 의해 공급된다. 이러한 전해질 유동의 일부는 에칭액으로서 공급되며, 예컨대 전해질 운반 장치에 의해, 탈금속화 대상인 접촉 수단의 표면에 공급되고, 다음으로 전기도금 공정의 전해조 외부로 강력하게 그리고 이들 접촉 수단에 근접하게 유동한다. 이는 매우 적은 금속화를 초래하는데, 이는 냉각 재료 및/또는 개별적인 접촉 재료가 즉시 재용해됨에도 불구하고 매 회전마다 전해조에서 접촉 휠 상에 증착된 것일 수 있다.The electrolyte is supplied by circulation through the container for the material during plating. A portion of this electrolyte flow is supplied as an etchant, for example by an electrolyte transport device, to the surface of the contact means to be demetallized, and then flows strongly outside the electrolyzer of the electroplating process and close to these contact means. . This results in very little metallization, which may have been deposited on the contact wheels in the electrolytic cell at every turn, even though the cooling material and / or the individual contact materials are redissolved immediately.

현저한 압력 하에서 에칭 전해질의 강력한 유동에 추가하여, 접촉 수단의 표면의 이러한 화학적 에칭의 효과를 높이기 위해 다른 물리적 및/또는 화학적 장치 혹은 조치들이 사용될 수 있다.In addition to a strong flow of etch electrolyte under significant pressure, other physical and / or chemical devices or measures may be used to enhance the effect of such chemical etching on the surface of the contacting means.

● 이러한 양태에서 전해질의 이러한 부분 유동이 가열될 때, 예컨대 70 ℃로 가열될 때, 즉 예컨대 30 ℃인 작동 컨테이너에서의 낮은 작동 온도보다 높을 때, 에칭 속도는 실질적으로 증가하게 된다.In this embodiment the etching rate is substantially increased when this partial flow of electrolyte is heated, for example when heated to 70 ° C., ie higher than the low operating temperature in an operating container, for example 30 ° C.

● 접촉 수단으로 유동하는 전해질은 전기도금 공정의 각각의 전해질과 융화성이 있는 적어도 하나의 산화제, 예컨대 오존, 산소, 공기, 대기 산소, 과산화수소 또는 과산 등으로 농후화된다.The electrolyte flowing into the contacting means is enriched with at least one oxidant, such as ozone, oxygen, air, atmospheric oxygen, hydrogen peroxide or peracid, which is compatible with each electrolyte in the electroplating process.

● 화학물질의 지속적인 소모 및 배출 재료에 의한 작동 컨테이너로부터의 전해질의 소실로 인해, 전해질의 첨가제는 지속적으로 보충되어야만 한다. 투여되는 특정 약품은 증착된 금속(metalization)에 대해 에칭 특성을 가질 수 있다. 일례로는, 인쇄 회로 기판을 위해 황산 구리 욕에서 사용되는 염화물로서, 분사될 수 있는, 즉 접촉 수단에 대해 유동하는 전해질에 대해 염의 형태로 추가될 수 있는 염화물이 있다.Due to the constant consumption of chemicals and the loss of the electrolyte from the working container by the discharged material, the additives in the electrolyte must be constantly replenished. The particular agent to be administered may have etching properties for the deposited metalization. One example is the chloride used in copper sulphate baths for printed circuit boards, which can be sprayed, ie added in the form of salts to the electrolyte flowing against the contact means.

● 전해질에서의 첨가제의 특성 및 농도에 따라, 접촉 수단으로 유동하는 에칭 전해질의 에칭 속도를 증가시키기 위한 전술한 조치는 이러한 접촉 수단의 냉각과 조합될 수 있다.Depending on the nature and concentration of the additives in the electrolyte, the aforementioned measures for increasing the etch rate of the etch electrolyte flowing to the contact means can be combined with cooling of such contact means.

불용성 애노드를 이용할 때, 전해질은 금속 증착물의 각각의 금속 이온으로 지속적으로 보충되어야만 하거나, 재생되어야만 한다. 이는 적절한 염에 의해 행해질 수 있다. 공개공보 DD215589 A1에 설명된 방법도 또한 이러한 목적에 적합하다. 전기화학적으로 가역적인 산화환원 시스템의 형태로 전해질에 물질이 추가된다. 이러한 물질 또는 산화환원제는 전해질과 함께 회로에서의 작동 컨테이너 및 재생 챔버를 통해 운반된다. 이는 애노드에서 산화되며 재생성 금속의 무전해 분해 용해에 의해 재생 영역에서 다시 환원된다. 이러한 방식으로 용해된 금속은, 전기도금 전류 소스에 의해 전해조에서 캐소드 재료 상에 증착된다. 이에 대한 예는, 인쇄 회로 기판 생산에서 사용되는 바와 같은 황산 전해질이다. 철이 산화환원제로서 사용된다. 작동 컨테이너에서 그리고 재생 영역에서, 이들 과정 중에 다음의 반응이 주로 이루어진다.When using an insoluble anode, the electrolyte must be continuously replenished or regenerated with each metal ion of the metal deposit. This can be done with an appropriate salt. The method described in publication DD215589 A1 is also suitable for this purpose. The material is added to the electrolyte in the form of an electrochemically reversible redox system. This material or redox agent is conveyed with the electrolyte through the working container and regeneration chamber in the circuit. It is oxidized at the anode and reduced again in the regeneration zone by electroless decomposition dissolution of the regenerative metal. The metal dissolved in this manner is deposited on the cathode material in the electrolytic cell by an electroplating current source. An example of this is sulfuric acid electrolytes as used in printed circuit board production. Iron is used as redox agent. In the working container and in the regeneration zone, the following reactions mainly occur during these processes.

작동 컨테이너에서,In a working container,

애노드 : Fe2 + - 1e → Fe3 + Anode: Fe 2 + -1e → Fe 3 +

캐소드, 재료 : Cu2 + + 2e → Cu0 Cathode, Material: Cu 2 + + 2e → Cu 0

재생 영역에서 : Cu0 + Fe3 + → Cu2 + + Fe2 + In the regeneration zone: Cu 0 + Fe 3 + → Cu 2 + + Fe 2 +

불용성 애노드에서, 본 예에서는 철에서 산화되는 산화환원제는 그 이온으로서 Fe3 +를 갖는데, 이는 구리를 용해시키는 능력을 갖는다. 이는 구리의 조합된 무전해 용해를 위해 본 발명의 다른 양태에서 매우 유리하게 사용되는데, 구리는 본 발명에 따라 냉각된 접촉 수단 상에 여전히 증착될 수 있다. 이를 행하기 위해, Fe3+이 풍부한 순환하는 전해질의 일부는 전해조의 애노드의 영역으로부터 분기되며 접촉 수단에 대해 강력한 유동을 겪게 되고, 이때 이상적으로는 재료의 표면으로부터 멀리 유동하게 된다.In the insoluble anode, in this example oxide reducing agent it is oxidized in the iron is gatneunde the Fe 3 + as the ion, which has the ability to dissolve the copper. This is very advantageously used in other aspects of the invention for the combined electroless dissolution of copper, which can still be deposited on the cooled contact means according to the invention. To do this, part of the circulating electrolyte rich in Fe 3+ diverges from the region of the anode of the electrolyzer and undergoes a strong flow to the contact means, ideally flowing away from the surface of the material.

본 발명에 따르면, 간단한 고정 접촉부 또는 회전 접촉부에 의해 모든 유형의 전기도금 시스템에서 전기도금 대상인 재료의 전기적 접촉을 가능하게 하는 장비 및 방법으로서, 이에 따라 종래 기술의 단점을 방지함으로써 상기 접촉부가 금속화되지 않는 것인 장비 및 방법을 얻을 수 있다.According to the present invention, an apparatus and method for enabling electrical contact of a material to be electroplated in all types of electroplating systems by simple fixed or rotary contacts, thereby avoiding the disadvantages of the prior art, thereby making the contact metallized. Equipment and methods that are not available.

본 발명은, 개략적이고 축척대로 도시되지 않은 도 1 내지 도 5를 참고하여 설명될 것이다.
도 1은 연속 흐름 시스템에서 회전하거나 슬라이딩하는 접촉 수단이 전혀 없는 상태에서 테이프 형상의 재료의 일측 접촉에 대한 제1 접촉 양태에 관한 상황을 2가지 도면으로 나타낸 것이다.
도 2은 연속 흐름 시스템의 섹션으로서 도 1의 전기 접촉 양태의 구조를 측면도로 도시한 것이다.
도 3은 연속 흐름 시스템에서 회전식 피드스루(feed-throughs)를 이용하여 회전하는 접촉 수단을 갖춘 상태에서, 특히 플레이트 형상인 재료에 대한, 제2 접촉 양태의 2가지 도면을 나타낸 것이다.
도 4는 연속 흐름 시스템에서 회전하는 접촉 수단 및 비회전식 냉각 파이프를 갖춘 상태에서, 특히 플레이트 형상인 재료에 대한, 제3 접촉 양태의 2가지 도면을 나타낸 것이다.
도 5는 연속 흐름 시스템의 측면도로서, 이러한 접촉 수단 상에서 가능한 금속 증착의 잔류량의 무전해 탈금속화와 냉각된 접촉 수단이 조합되는 것인 연속 흐름 시스템의 측면도를 도시한 것이다.
도 6은 연속 흐름 시스템의 3가지 도면으로서, 전기적으로 접촉하는 슬라이딩 레일 상에서 회전하는 본체로서 작동 컨테이너를 통해 재료가 공급되는 것인 연속 흐름 시스템의 3가지 도면을 도시한 것이다.
The invention will be explained with reference to FIGS. 1 to 5, which are not schematically and to scale.
FIG. 1 shows in two views a situation relating to a first aspect of contact for one-sided contact of a tape-shaped material with no rotating or sliding contact means in a continuous flow system.
2 shows a side view of the structure of the electrical contact embodiment of FIG. 1 as a section of a continuous flow system.
FIG. 3 shows two views of the second contact embodiment, in particular with respect to the material in the form of a plate, with contact means rotating with rotary feed-throughs in a continuous flow system.
FIG. 4 shows two views of a third contact embodiment, in particular with a plate-shaped material, with a rotating contact means and a non-rotating cooling pipe in a continuous flow system.
FIG. 5 is a side view of the continuous flow system, showing a side view of the continuous flow system in which the electroless demetallization of the residual amount of possible metal deposition on such contact means and the cooled contact means are combined.
FIG. 6 shows three views of the continuous flow system, three views of the continuous flow system in which material is supplied through the working container as a body rotating on electrically sliding sliding rails.

본 발명의 제1 양태에 있어서, 캐소드인 접촉 수단은 접촉부 금속화를 방지하기 위해 냉각된다. 본 발명의 제2 양태에서는, 전해질에서 금속화 가능하지 않은 접촉 재료가 사용된다.In a first aspect of the invention, the contact means, which is a cathode, is cooled to prevent contact metallization. In a second aspect of the invention, a contact material which is not metallizable in the electrolyte is used.

본 발명의 제1 양태는, 연속 흐름 시스템에서 접촉 수단을 위한 관형 중공 본체의 예를 설명하는데, 냉각 매체가 이 관형 중공 본체를 횡단한다. 특히 전기도금 대상인 재료가 이송 방향에 대해 수직으로 작은 폭을 갖는 재료인 경우에 있어서, 유리하게는 펠티에 요소와 같은 다른 냉각 방법이 또한 사용될 수 있다. 이러한 경우에 있어서, 구리와 같이 양호한 전기 전도도 및 열 전도도를 제공하는 재료로 이루어진 중실 본체가 또한 접촉 수단으로서 사용될 수 있다. 냉각제는 이때 접촉 수단의 일측 또는 양측으로부터 도입된다.The first aspect of the invention describes an example of a tubular hollow body for contacting means in a continuous flow system in which a cooling medium traverses the tubular hollow body. Especially in the case where the material to be electroplated is a material having a small width perpendicular to the conveying direction, other cooling methods such as Peltier elements can also be used advantageously. In this case, a solid body made of a material which provides good electrical and thermal conductivity such as copper can also be used as the contact means. The coolant is then introduced from one or both sides of the contact means.

접촉 수단의 표면 상에 적합한 재료를 갖춘 본 발명의 제2 양태에 있어서, 원칙적으로 냉각은 배제될 수 있다. 이러한 경우에 있어서, 접촉 수단을 위해 어떠한 중공 본체도 필요하지 않다.In a second aspect of the invention with a suitable material on the surface of the contact means, cooling can in principle be ruled out. In this case, no hollow body is needed for the contact means.

본 발명의 제3 양태는, 본 발명의 제2 양태를 이용한 제1 양태의 조합 또는 제1 양태를 이용한 제2 양태의 조합이다. 모든 경우에 있어서, 접촉 수단의 임의의 가능한 금속화를 완전하게 방지하는 것은, 필요하다면, 추가적인 무전해 에칭, 즉 화학적 에칭을 통해 달성될 수 있다.The third aspect of the present invention is a combination of the first aspect using the second aspect of the present invention or a combination of the second aspect using the first aspect. In all cases, the complete prevention of any possible metallization of the contact means can be achieved via additional electroless etching, ie chemical etching, if necessary.

본 발명은 연속 흐름 시스템의 예와 함께 설명된다. 이는, 침지 욕 시스템 및 드럼 시스템과 같은 모든 다른 공지된 도금 시스템에 대해 또한 적합하다.The invention is described with an example of a continuous flow system. This is also suitable for all other known plating systems such as immersion bath systems and drum systems.

도 1은 연속 흐름 시스템을 통해 공급되는 제1 접촉 재료, 바람직하게는 테이프 형상의 재료(1)에 대한 제1 접촉 재료를 도시한 것이다. 재료(1)는 단지 일측부 상에서만, 이 경우에서는 저부 상에서만 전기도금된다. 재료(1)의 예는, 롤 대 롤로 공급되며 전기도금되는 테이프 형상의 전기 절연성 기판 상에 장착되는 RFID 안테나이다. 연속 흐름 시스템을 따라 다수의 접촉부 중 하나에서 접촉 수단(6)은 고정된, 즉 회전하지 않는 방식으로 재료가 전기도금되는 측 상에 배치된다. 재료(1)로 된 테이프 또는 기판은 연속 흐름 시스템을 통해 적어도 하나의 공지된 권취 장치에 의해 당겨진다. 이를 통해 전기 접촉을 유지하면서 슬라이딩하는 전기 접촉부(6) 위로 구조물을 활주시킨다. 테이프 이송을 지원하기 위해, 중량 롤러(16)는 도금되지 않는 상측을 따라 회전하는 방식으로 구동될 수 있다. 이러한 중량 롤러(16)는 바람직하게는 그 표면 상에 전기 절연성 재료를 가질 수 있다. 이러한 재료는 경질일 수도 있고 연질일 수도 있다. 한편으로, 이러한 탄성도로 인해 이송 방향으로 중량 롤러(16) 상에서 전기 접촉부의 길이가 증가하지만, 다른 한편으로, 중량 롤러(16)는 테이프의 인장을 감소시키거나 방지한다. 따라서, 각각 구동되는 중량 롤러(16)는 연속 흐름 시스템을 통해 재료(1)를 공급함에 있어서 효과적이다. 더 큰 접촉 면적으로 인해, 접촉 수단(6)에 대한 전류 밀도는 감소되는데, 이는 전술한 접촉 수단(6)의 잠재적인 마모를 감소시킨다.1 shows a first contact material with respect to a first contact material, preferably tape-shaped material 1, supplied through a continuous flow system. The material 1 is electroplated only on one side, in this case only on the bottom. An example of the material 1 is an RFID antenna which is supplied on a roll-to-roll and mounted on a tape-shaped electrically insulating substrate that is electroplated. In one of the plurality of contacts along the continuous flow system the contact means 6 is arranged on the side on which the material is electroplated in a fixed, ie non-rotating manner. The tape or substrate of material 1 is pulled by at least one known winding device through a continuous flow system. This slides the structure over the sliding electrical contact 6 while maintaining electrical contact. To support tape conveyance, the weight roller 16 can be driven in a way that rotates along the unplated top. This weight roller 16 may preferably have an electrically insulating material on its surface. Such materials may be hard or soft. On the one hand, this elasticity increases the length of the electrical contact on the weight roller 16 in the conveying direction, while on the other hand, the weight roller 16 reduces or prevents tension of the tape. Thus, each driven weight roller 16 is effective in feeding the material 1 through a continuous flow system. Due to the larger contact area, the current density for the contact means 6 is reduced, which reduces the potential wear of the contact means 6 described above.

설치 위치에서의 중량 롤러(16)가 단지 회전하도록 배치하는 것이 가능하다. 연속 흐름 시스템의 이송 경로를 따라 주어진 개수의 접촉 수단(6)에 따르면, 테이프의 전진을 견디기 위해 드로잉 롤러가 양측에 배치될 수 있다. 상기 테이프는, 측부가 접촉되도록, 그리고 이 양태에서 중공 본체로서 형성되며 고정식으로 배치되는 접촉 수단(6)에 걸쳐 전기도금되도록 활주한다.It is possible to arrange so that the weight roller 16 in the installation position only rotates. According to the given number of contact means 6 along the conveying path of the continuous flow system, the drawing rollers can be arranged on both sides to withstand the advancing of the tape. The tape slides so that the sides are in contact and in this embodiment are electroplated over the contact means 6 which are formed as a hollow body and which are fixedly arranged.

본 발명에 따르면, 액상 또는 가스상 냉매(5) 또는 냉각 매체가 회전하지 않는 관형 접촉 수단(6)을 통해 유동하는데, 상기 관형 접촉 수단은 적어도 부분적으로 재료(1)에 걸쳐 이송 방향에 수직하게 연장된다. 냉매 유동 파이프(4)는 접촉 수단(6) 상에 직접적으로 플랜지 장착된다. 유사하게, 직접적으로 플랜지 장착되는 냉매 복귀 파이프(8)는 연속 흐름 시스템의 대향 측 상에 위치하게 된다.According to the invention, the liquid or gaseous refrigerant 5 or the cooling medium flows through the non-rotating tubular contact means 6, which extends at least partially perpendicular to the conveying direction over the material 1. do. The refrigerant flow pipe 4 is flange mounted directly on the contact means 6. Similarly, the refrigerant return pipe 8 directly flanged is placed on the opposite side of the continuous flow system.

작동 컨테이너(14)는 적어도 하나의 용해성 또는 불용성 애노드(10)를 수용하며, 이 애노드는 재료(1)의 캐소드로서 성극되는 표면과 함께 전해조(11)를 형성한다. 전해조(11)는 전해질(12)을 수용하는데, 전해질의 레벨(13)은 적어도 재료(1)의 하면만큼 멀리 도달하게 된다. 이러한 방식으로, 접촉 수단이 거의 완전하게 전기 절연부(22)로 보호되기 때문에, 애노드(10)로부터 유래하는 전기장은 접촉 수단(6)에 도달할 수 없다. 단지 재료(1)로 된 기판이 그 위로 활주하는 작은 표면 라인은 절연부(22)가 없다. 그러나, 이러한 영역은 재료(1)와 똑같이 전기도금될 수 있다. 이러한 일이 발생하는 것을 방지하기 위해, 본 발명의 제1 양태에서 접촉 수단(6)이 냉각된다. 전해질의 작동 온도보다 훨씬 낮은 온도를 갖는 캐소드 표면 상에서, 적어도 전해질 욕에서는 전혀 금속이 증착되지 않는데, 상기 전해질 욕은 높은 작동 온도에 대해 구성된다. 전해질의 요구되는 작동 온도와 접촉 수단(6)의 표면 온도 사이의 차이가 가능한 가장 큰 것이 유리하다. 이는 실제로 매우 빈번한 경우이다. 테이프 형상의 재료(1)는, 본 발명의 극히 간단한 양태에 있어서 저렴한 비용 및 최소한의 유지보수를 통해 전기도금될 수 있다. 그렇지 않은 경우 매우 고비용이 소요되는 접촉 수단(6)의 탈금속화는 요구되지 않는다.The working container 14 houses at least one soluble or insoluble anode 10, which forms an electrolytic cell 11 with the surface being polarized as the cathode of the material 1. The electrolyzer 11 receives the electrolyte 12, where the level 13 of electrolyte reaches at least as far as the bottom surface of the material 1. In this way, the electric field originating from the anode 10 cannot reach the contact means 6 because the contact means is almost completely protected by the electrical insulation 22. The small surface line on which only a substrate of material 1 slides there is no insulation 22. However, this region can be electroplated just like the material 1. In order to prevent this from happening, the contact means 6 is cooled in the first aspect of the invention. On the cathode surface having a temperature much lower than the operating temperature of the electrolyte, no metal is deposited at least in the electrolyte bath, which is configured for high operating temperatures. It is advantageous that the difference between the required operating temperature of the electrolyte and the surface temperature of the contact means 6 is as large as possible. This is actually a very frequent case. The tape shaped material 1 can be electroplated in a very simple aspect of the invention with low cost and minimal maintenance. Otherwise demetallization of the contact means 6 which is very expensive is not required.

재료(1)와 접촉 수단(6) 사이에서 필요한 접촉력을 달성하기 위해, 또한 특정 각도의 접촉이 선택될 수 있다. 도 1은 중량 롤러(16)를 도시한 것이다. 이는 그 자체 중량 하에서 테이프 형상인 재료(1) 상에 안착하며 이에 따라 가로질러 위치하는 접촉 수단(6)에 접촉력을 가한다. 이러한 중량 롤러(16)는 회전하도록 장착되며 테이프에 의해 회전하게 되거나, 또는 중량 롤러는 이송부를 지지하도록 구동부(3)에 의해 회전하게 될 수 있다. 전기 도선(23)은 전해조의 전극을 도금용 정류기(들)와 연결시킨다.In order to achieve the required contact force between the material 1 and the contact means 6, a certain angle of contact can also be chosen. 1 shows a weight roller 16. It exerts a contact force on the contact means 6, which rests on its tape-like material 1 under its own weight and are thus positioned across. This weight roller 16 can be mounted to rotate and rotated by a tape, or the weight roller can be rotated by the drive 3 to support the conveying part. The electrical lead 23 connects the electrode of the electrolytic cell with the plating rectifier (s).

도 2는 연속 흐름 시스템의 이송 경로를 따르는 여러 접촉 수단(6)과 함께 도 1의 상황의 측면도를 도시한 것이다. 냉각된 접촉 수단(6)에서의 절연부(22)는 거의 재료(1)에 도달한다. 추가적으로, 절연부(22)는 관형 접촉 수단(6) 상에 확실하게 안착할 수 있다. 이는 전기 절연부로서 작용할 뿐만 아니라 유동하는 냉매(5)에 대해 단열부로서도 작용한다. 접촉 수단의 중공 본체의 단면은 도시된 원형 형상으로부터 벗어날 수 있는데, 예컨대 직사각형이며 바람직하게는 좁은 변이 이송 방향으로 놓이고, 따라서 이로 인해 얻어지는 공간은 이송 방향으로 더 긴 애노드(10)를 위해 사용될 수 있다. 전기적으로 접촉하지 않는 중량 롤러(16)가 도시된 바와 같이 구동될 수 있다. 파선은 접촉 수단(6)들 사이에서 구동되는 중량 롤러(16)의 대안적인 구성을 나타내는데, 이에 따라 또한 대응하는 접촉력의 형성과 함께 접촉 수단(6)과 포위각(wrap angle)을 형성한다. 화살표(24)는 이송 방향을 지시한다.FIG. 2 shows a side view of the situation of FIG. 1 with several contact means 6 along a transport path of a continuous flow system. The insulation 22 in the cooled contact means 6 almost reaches the material 1. In addition, the insulation 22 can be reliably seated on the tubular contact means 6. This not only acts as an electrical insulator but also as a heat insulator for the flowing refrigerant 5. The cross section of the hollow body of the contact means may deviate from the circular shape shown, for example rectangular and preferably a narrow side lies in the conveying direction, so that the space obtained thereby can be used for the longer anode 10 in the conveying direction. have. The weight roller 16, which is not in electrical contact, can be driven as shown. The broken line represents an alternative configuration of the weight roller 16 driven between the contact means 6, thus also forming a wrap angle with the contact means 6 together with the formation of a corresponding contact force. Arrow 24 indicates the conveying direction.

도 1 및 도 2에 제시된 접촉 양태에 따른 본 발명의 양태는 테이프 형상의 재료(1)를 이용하는 통상적인 용례에 적합하다. 이들 양태는 특히 비용 효과적이다. 플레이트 형상의 재료(1)에 대해서는, 회전하는 휠 또는 롤러가 보통 접촉 수단(2)으로서 요구되며, 이에 따라 접촉 수단은 재료(1)를 위한 이송 수단으로서 동시에 작용할 수 있다. 다른 도면은 이러한 양태를 도시한 것이다.The aspect of the invention according to the contact aspect shown in FIGS. 1 and 2 is suitable for the conventional application of using tape-shaped material 1. These embodiments are particularly cost effective. For the plate-shaped material 1, a rotating wheel or roller is usually required as the contact means 2, so that the contact means can act simultaneously as a conveying means for the material 1. Another figure illustrates this aspect.

도 3에 있어서, 재료(1)는 단지 하면 상에서 전기화학적으로 금속화된다. 도시된 접촉 수단(2)은 관형 형상을 갖는다. 접촉 수단은 작동 컨테이너(14) 내에서 회전하도록 장착되며, 예컨대 스퍼 기어와 같은 구동부(3)에 의해 회전하게 되고, 이에 따라 재료(1)은 연속 흐름 시스템을 통해 평면에 수직하게 이송된다. 이송 경로를 따라, 보통 이러한 접촉 수단(2)이 다수 존재한다. 고정식으로 배치되는 냉매 유동 파이프(4)는 냉매(5)를 제1 회전식 피드스루(7)로 이송한다. 거기서부터, 냉매는 관형 접촉 수단(2)을 통해 유동하며, 이에 따라 접촉 수단(2)의 표면은 사실상 냉매(5)의 온도인 것으로 가정된다. 냉매는 제2 회전식 피드스루(7)를 통해, 고정식으로 배치되는 냉매 복귀 파이프(8)로 유입된다. 전기도금을 위해 요구되는 전류는 전기 도선(23), 그리고 예컨대 슬라이딩 접촉부(9) 또는 회전 접촉부에 의해 회전하는 접촉 수단(2)에 도달한다. 접촉 수단(2)은 재료(1)에 걸쳐 회전하는데, 상기 재료는 플레이트 형상일 수도 있고 테이프 형상일 수도 있다. 이러한 방식으로, 재료(1)의 하면은 전기적으로 접촉된다. 재료(1)는 애노드(10)와 함께 전해조(11)를 형성한다. 이는 전해질(12) 내에 위치하게 되며, 이에 따라 작동 컨테이너(14)에서의 레벨(13)은 적어도 코팅될 재료(1)까지 연장된다. 이러한 방식으로, 접촉 수단(2)은 대체로 애노드(10)로부터 유래되는 전기장이 없는 상태로 남게 되는데, 이는 금속성 접촉 수단(2) 위에 위치하는 차폐부(15)가 존재하기 때문이다. 이는 재료(1)의 표면에 근접하게 연장된다. 이는 접촉 수단(2)에 의해 달성되는 탈금속화를 지원한다. 순환되는 전해질에 대한 전기도금을 위해 필요한 것인 공지된 순환 요소는 이 도면 및 다른 도면에서는 도시되어 있지 않다.In FIG. 3, the material 1 is electrochemically metallized only on the bottom surface. The illustrated contact means 2 has a tubular shape. The contact means are mounted to rotate in the working container 14, for example by means of a drive 3, such as a spur gear, so that the material 1 is conveyed perpendicularly to the plane via a continuous flow system. Along the transport path, there are usually many such contact means 2. The fixedly arranged refrigerant flow pipe 4 transfers the refrigerant 5 to the first rotary feedthrough 7. From there, the coolant flows through the tubular contact means 2, whereby the surface of the contact means 2 is assumed to be in fact the temperature of the coolant 5. The refrigerant flows into the refrigerant return pipe 8 which is fixedly arranged through the second rotary feedthrough 7. The current required for electroplating reaches the electrical conductor 23 and the contact means 2 which rotates, for example by sliding contact 9 or by rotating contact. The contact means 2 rotates over the material 1, which may be plate-shaped or tape-shaped. In this way, the lower surface of the material 1 is in electrical contact. Material 1 forms electrolyzer 11 together with anode 10. It is located in the electrolyte 12 such that the level 13 in the working container 14 extends at least to the material 1 to be coated. In this way, the contact means 2 remains largely free of electric fields originating from the anode 10, since there is a shield 15 located above the metallic contact means 2. This extends close to the surface of the material 1. This supports the demetallization achieved by the contact means 2. Known circulating elements, which are required for electroplating of the circulating electrolyte, are not shown in this and the other figures.

무엇보다도 신뢰성 있는 전기적 접촉을 위해 특정 접촉력이 요구된다. 이는, 테이프 형상의 재료(1)의 경우에 있어서, 예컨대 포위각을 형성함으로써 접촉 수단(2)에서 형성될 수 있다. 본 명세서에서의 도면은, 접촉력이 중량 롤러(16)에 의해 생성되는 방식을 나타내는데, 중량 롤러는 그 자체 중량 하에서 재료(1) 상에 안착한다. 이러한 중량 롤러(16)은, 재료(1)의 이송을 지원하기 위해 예컨대 벨트 구동부 또는 기어 구동부에 의해 회전하도록 구동될 수 있다. 구체적으로, 테이프 형상의 재료(1)의 경우에 있어서, 중량 롤러(16)가 해당 지점에서 단순히 회전하며 구동되지 않도록 하는 것으로 충분할 수 있다.Above all, certain contact forces are required for reliable electrical contact. This can be formed in the contact means 2 in the case of a tape-shaped material 1, for example by forming an enveloping angle. The figures herein show how the contact force is produced by the weight roller 16, which rests on the material 1 under its own weight. This weight roller 16 can be driven to rotate by, for example, a belt drive or a gear drive to support the transport of the material 1. In particular, in the case of tape-shaped material 1, it may be sufficient that the weight roller 16 is simply rotated and not driven at that point.

도 3의 측면도는 단면 A-B를 나타낸 것이다. 여기서 역시, 본 발명의 양태는 실시하기게 간단하다는 것을 알 수 있다. 접촉 양태를 위해 2개의 회전식 피드스루(7)가 요구된다. 그러나, 이들 피드스루는 상당한 비용 요인을 의미하는데, 다수의 접촉 수단(2)이 연속 흐름 시스템에서 요구되기 때문이다. 이는, 예컨대 서로 절연되고 이송 방향으로 치수가 작은 플레이트 형상의 구조로서 전기 절연성 기판이 전기도금되어야 할 때의 경우이다. 이러한 상황의 예는 RFID 안테나의 전기도금인데, 이때 RFID 안테나는 플레이트 상에 배치될 수 있다. 도 4에 따른 본 발명의 양태는 회전식 피드스루(7)의 비용을 피하도록 한다.The side view of FIG. 3 shows the cross section A-B. Here too, it can be seen that aspects of the present invention are simple to implement. Two rotary feedthroughs 7 are required for the contact aspect. However, these feedthroughs represent a significant cost factor, since a large number of contact means 2 are required in a continuous flow system. This is the case, for example, when the electrically insulating substrate is to be electroplated as a plate-shaped structure insulated from each other and small in the conveying direction. An example of such a situation is electroplating of an RFID antenna, where the RFID antenna can be placed on a plate. The aspect of the invention according to FIG. 4 avoids the cost of the rotary feedthrough 7.

도 4는 튜브 양태에서 접촉 수단(2)에 대한 튜브를 도시한 것이다. 실제 금속성 접촉 수단(2)은 역시 관형이다. 이는 작동 컨테이너(14)에서 회전하도록 장착된다. 다른 비회전식 냉각 튜브(17)는 접촉 수단(2)을 간접적으로 냉각하도록 작동 컨테이너 내에 위치한다. 이 튜브는 냉매(5)에 의해 횡단된다. 이러한 히트 파이프(17)로부터 관형 접촉 수단(2)으로의 열 교환 또는 냉각 교환이 이루어진다. 2개의 튜브 사이에 매우 작은 간격을 마련함으로써, 접촉 수단(2)의 외측 표면에 대한 냉매의 매우 작은 열 저항이 또한 달성된다. 열 팽창 및 공차를 보상하기 위해, 냉각 파이프(17)는 바람직하게는 탄성 슬리브(18)에 의해 냉매 유동 파이프(4)에 연결되고 그리고 냉매 복귀 파이프(8)에 연결된다. 전체적으로, 이는 가능하며 본 발명의 양태를 조립하기가 용이하게 된다.4 shows the tube for the contact means 2 in the tube embodiment. The actual metallic contact means 2 is also tubular. It is mounted to rotate in the working container 14. Another non-rotating cooling tube 17 is located in the working container to indirectly cool the contact means 2. This tube is traversed by the refrigerant 5. Heat exchange or cold exchange from this heat pipe 17 to the tubular contact means 2 takes place. By providing a very small gap between the two tubes, very small thermal resistance of the refrigerant to the outer surface of the contact means 2 is also achieved. In order to compensate for thermal expansion and tolerance, the cooling pipe 17 is preferably connected to the refrigerant flow pipe 4 by an elastic sleeve 18 and to the refrigerant return pipe 8. In total, this is possible and facilitates assembling aspects of the present invention.

도 5는, 거의 금속화되지 않은 표면을 갖거나 갖지 않은 것인 냉각되는 접촉 수단(2)과, 회전하는 접촉 수단(2) 상에서 일어날 가능성이 있는 나머지 금속화에 대한 화학적 에칭의 조합을 나타낸 것이다. 연속 흐름 시스템을 따르는 여러 개의 접촉 지점이 측면도에 도시되어 있다. 구조화된 RFID 안테나(19)와 같은, 일측 상의 금속화 대상 표면은 전기적으로 비전도성인 테이프 형상의 기판(20) 상에 위치하게 된다. 이송 방향으로 접촉 수단(2)들 사이의 거리는, 적어도 하나의 접촉 수단이 항상 각각의 RFID 안테나와 전기적으로 접촉하게 되도록 선택되는 것이 바람직하다. 접촉 수단(2)을 통한 냉매의 공급 및 배출은 도 5에는 도시되어 있지 않다.FIG. 5 shows a combination of cooled contact means 2 with or without a nearly metallized surface and chemical etching for the remaining metallization likely to occur on the rotating contact means 2. . Several contact points along the continuous flow system are shown in a side view. The metallization target surface on one side, such as the structured RFID antenna 19, is placed on an electrically nonconductive tape-shaped substrate 20. The distance between the contact means 2 in the conveying direction is preferably selected such that at least one contact means is always in electrical contact with each RFID antenna. The supply and discharge of the refrigerant through the contact means 2 is not shown in FIG. 5.

임의의 필요한 보조적인 화학적 탈금속화를 위해, 화학적으로 및/또는 물리적으로 컨디셔닝된 에칭액(27)은 에칭액 펌프 및/또는 다방향 밸브로 이루어진 전해질 공급 장치에 의해 접촉 수단(2)에 대해 유동한다. 이는 차폐부(15)에서 이루어지는데, 이로 인해 또한 전해질이 접촉 수단(2)에 대해 고압으로 유동할 때 전해질의 분사를 방지한다. 순환 요소로서 에칭액 파이프(21) 그리고 차폐부(15)에 있는 적합한 개구(25)는, 각각의 접촉 수단(2)의 전체 표면이 유동하는 전해질의 회전 동안 도달될 수 있도록 이송 방향에 대해 수직으로 배치된다.For any necessary auxiliary chemical demetallization, chemically and / or physically conditioned etchant 27 flows to the contact means 2 by means of an electrolyte supply device consisting of an etchant pump and / or a multidirectional valve. . This is done in the shield 15, which also prevents the injection of the electrolyte when the electrolyte flows at high pressure with respect to the contact means 2. A suitable opening 25 in the etchant pipe 21 and the shield 15 as a circulation element is perpendicular to the conveying direction so that the entire surface of each contacting means 2 can be reached during the rotation of the flowing electrolyte. Is placed.

캐소드인 접촉 수단(2, 6)의 원치않는 금속화를 방지하기 위한 다른 조합은, 접촉 수단의 냉각 및 선택된 재료 혹은 표면의 냉각으로 이루어진다. 특정한 전해질 욕의 경우에는, 표면 상에 금속이 거의 또는 전혀 증착될 수 없는데, 이 표면은 자체로 특별히 선택된 재료로 이루어진다. 이러한 재료가 접촉 수단(2, 6)을 위해 그리고 그 표면을 위해 사용되면, 이때 이들 접촉 수단 및 표면은 금속화되지 않거나 또는 단지 무난한 수준의 금속화만이 존재한다. 적어도 이는 본 발명에 따라, 접촉 수단의 탈금속화를 지원한다. 이에 관한 한 가지 예는, 예컨대 주석 도금된 표면으로서, 적어도 전해질의 작동 온도와 접촉 수단(2, 6)의 표면 온도 사이의 차이가 클 때 그 위에 경질 크롬이 증착될 수 없는 주석 도금된 표면이다. 동일한 사항이 경질 크롬 전해질 및 접촉 수단에 적용되는데, 접촉 수단의 표면은 니오븀으로 이루어진다. 전기 전도성 다이아몬드로 코팅되는 표면은 유사하게 선택적인 방식으로 거동한다. 다이아몬드 층이 또한 연마에 대해 큰 내성을 가지므로, 이는 도 1 및 도 2에 따른 비회전 접촉 수단(2)에 특히 적합하다.Another combination for preventing unwanted metallization of the cathode contact means 2, 6 consists of cooling the contact means and cooling of the selected material or surface. In the case of certain electrolyte baths, little or no metal can be deposited on the surface, which surface itself is made of a specially selected material. If such a material is used for the contact means 2, 6 and for its surface, then these contact means and surfaces are not metallized or there are only moderate levels of metallization. At least this supports, according to the invention, the demetallization of the contact means. One example in this regard is a tin plated surface, for example, a tin plated surface on which hard chromium cannot be deposited thereon when the difference between at least the operating temperature of the electrolyte and the surface temperature of the contact means 2, 6 is large. . The same applies to the hard chromium electrolyte and the contact means, wherein the surface of the contact means is made of niobium. Surfaces coated with electrically conductive diamond behave in a similarly selective manner. Since the diamond layer also has great resistance to polishing, it is particularly suitable for the non-rotating contact means 2 according to FIGS. 1 and 2.

인쇄된 이미지는, 예컨대 전기적으로 비전도성인 기판 상의 전기도금 대상 구조에 대한 전기 전도성 시드층으로서의 역할을 한다. 전기 전도성 프린터 페이스트는, 예컨대 스크린 인쇄에 의해 기판 상에 인쇄되며 경화된다.The printed image serves as, for example, an electrically conductive seed layer for the electroplating object structure on the electrically nonconductive substrate. The electrically conductive printer paste is printed and cured on the substrate, for example by screen printing.

그러나, 이러한 인쇄된 이미지는 연마에 대해 매우 큰 내성을 갖지 않는다. 이로 인해, 인쇄된 이미지가 접촉 수단(6)에 걸쳐 활주하는 것인 도 1 및 도 2에 따른 장치를 이용한 전해질 강화는, 인쇄된 이미지가 시딩(seeding) 단계에서 손상되는 결과를 초래할 수 있다. 이러한 경우에 있어서, 도 3 내지 도 5에 따른 도금 장비는 전기도금의 개시 시에 짧은 초기 신장을 위해 사용된다. 이러한 구조의 보호용 초기 금속화 이후에, 전기도금의 추가적인 보강은 도 1 및 도 2에 따른 장치를 이용하여 행해질 수 있다. 전체적으로, 이는 매우 신뢰성이 있고 경제적인 전기도금 시스템이며, 이에 의해 재료는 매우 비용 효과적으로 생산될 수 있다.However, these printed images do not have very high resistance to polishing. As a result, electrolyte reinforcement using the apparatus according to FIGS. 1 and 2, in which the printed image slides over the contact means 6, may result in the printed image being damaged in the seeding step. In this case, the plating equipment according to FIGS. 3-5 is used for short initial elongation at the start of electroplating. After the protective initial metallization of this structure, further reinforcement of the electroplating can be done using the device according to FIGS. 1 and 2. Overall, this is a very reliable and economical electroplating system, whereby the material can be produced very cost effectively.

본 발명의 양태는 또한 거울 이미지로서 구성될 수 있으며, 즉 상부 및 저부가 상호교환될 수 있다. 이러한 경우에 있어서, 중량 롤러(16)는 재료(1) 상에 압박된다. 접촉 수단(2, 6)의 일부는 이때 또한 전해질(12)의 외부에 위치하게 될 수 있고, 즉 그 레벨 위애서 전해질은 적어도 애노드(9)에 도달해야만 한다. 재료의 양면 전기도금의 경우에 있어서, 본 발명에 따른 장치는 이송 경로를 따라 재료 위에서 그리고 재료 아래에서 상호교환된다.Aspects of the present invention may also be configured as a mirror image, ie the top and bottom may be interchanged. In this case, the weight roller 16 is pressed onto the material 1. Some of the contact means 2, 6 can then also be located outside of the electrolyte 12, ie above that level the electrolyte must reach at least the anode 9. In the case of double-sided electroplating of material, the devices according to the invention are interchanged above and below the material along the transport path.

도 6은 재료를 위한 연속 흐름 시스템의 예를 도시한 것이다. 재료(1)는, 고정식으로 배치되는 접촉 수단(6)이 슬라이딩하는 또는 회전하는 이송 지지부로서 역할을 할 때 작동 컨테이너(14)를 통해 공급된다. 접촉 수단(6)은 절연부(22)에 의해 공급 라인(26)의 영역까지 전해조(11)의 전기장에 대해 보호된다. 본 발명에 따른 표면 라인(26) 상의 영역은 관형 접촉 수단(6)을 냉각함으로써 및/또는 사용되는 전해질에서 금속화되지 않는 표면에 의해 원치않는 금속화에 대해 보호된다. 냉매(5)는 접촉 수단(6)을 통해 유동한다. 절연부(22)는 또한 단열재로서 작용한다.6 shows an example of a continuous flow system for a material. The material 1 is fed through the working container 14 when the stationary contact means 6 serve as a sliding or rotating conveying support. The contact means 6 is protected against the electric field of the electrolytic cell 11 by the insulation 22 up to the region of the supply line 26. The area on the surface line 26 according to the invention is protected against unwanted metallization by cooling the tubular contact means 6 and / or by the surface which is not metallized in the electrolyte used. The coolant 5 flows through the contact means 6. The insulation 22 also acts as a heat insulator.

도 6a는, 단지 작동 컨테이너의 하부 영역에 배치되는 전해조(11)를 갖춘, 본 발명에 따른 연속 흐름 시스템의 단면을 도시한 것이다. 이는 캐소드인 재료(1) 및 애노드(10)로 형성된다. 양 전극은 전해질(12) 내에 위치하게 되고, 그 레벨(13)은 적어도 재료(1)까지 연장된다. 재료(1)에 대한 캐소드 전류 공급은 전기 도선(23)을 통해 그리고 이송 경로를 따라 배치되는 접촉 수단(6)을 통해 이루어진다.6a shows a cross section of a continuous flow system according to the invention, with an electrolytic cell 11 arranged only in the lower region of the working container. It is formed of the material 1 and the anode 10 which are cathodes. Both electrodes are located in electrolyte 12, the level 13 of which extends to at least material 1. The cathode current supply to the material 1 takes place via the electrical conductor 23 and through the contact means 6 arranged along the conveying path.

도 6b는 본 발명에 따른 장치의 상부도를 도시한 것이다. 이송 방향(24)으로 단지 짧은 거리만이 도시되어 있다. 실제로, 이러한 연속 흐름 시스템은 예컨대 5 미터인 특정 처리량을 달성하기 위해 훨씬 더 길다. 접촉 수단(6)은 심지어 접촉 영역에서도 거의 균일한 증착을 달성하기 위해 이송 방향으로 원추형으로 배치된다. 연속 흐름 시스템을 통한 이송 동안 재료(1)의 회전에 의해 재료(1), 예컨대 쇼크업소버(shock absorber)를 위한 피스톤 로드의 전체 둘레에 걸쳐 매우 균일한 코팅 두께가 달성된다. 이는 또한, 도면에 도시된 바와 같이 심지어 단지 재료(1)의 일측이 하나의 애노드(10)를 갖추고 이에 따라 또한 단지 하나의 전해조(11)를 가질 때의 경우이다.6b shows a top view of the device according to the invention. Only a short distance in the conveying direction 24 is shown. In practice, this continuous flow system is much longer to achieve a specific throughput, for example 5 meters. The contact means 6 are arranged conically in the conveying direction to achieve an almost uniform deposition even in the contact region. Rotation of the material 1 during transport through the continuous flow system achieves a very uniform coating thickness over the entire circumference of the piston rod for the material 1, for example a shock absorber. This is also the case even when only one side of the material 1 has one anode 10 and thus also only one electrolyzer 11 as shown in the figure.

도 6c는 도 6a의 단면 C-D와 같은 이송 경로를 따르는 매우 짧은 연속 흐름 시스템의 단면을 도시한 것이다. 전해조(11)는 상측 및 하부에서 도시되어 있다. 따라서, 전체 연속 흐름 시스템의 증착 속도는 2배가 될 수 있다. 연속적이고 압축성인 테이프와 같은 재료(1)의 이송을 위해 요구되는 구동부는 공지된 구조 지식에 해당하며 이에 따라 도 6에서는 도시되지 않는다.FIG. 6C shows a cross section of a very short continuous flow system along a transport path such as cross section C-D of FIG. 6A. The electrolyzer 11 is shown at the top and bottom. Thus, the deposition rate of the entire continuous flow system can be doubled. The drive required for the transfer of material 1, such as a continuous and compressible tape, corresponds to known structural knowledge and is therefore not shown in FIG.

1 : 재료
2 : 회전식 접촉 수단, 접촉 휠, 접촉 롤러, 브러시 접촉부
3 : 구동 수단
4 : 냉매 유동 파이프
5 : 냉매
6 : 고정 접촉 수단, 슬라이딩 접촉부, 접촉 브러시
7 : 회전식 피드스루(feed-throughs)
8 : 냉매 복귀 파이프
9 : 슬라이딩 접촉부
10 : 애노드
11 : 전해조
12 : 전해질
13 : 레벨
14 : 작동 컨테이너
15 : 차폐부
16 : 중량 롤러(weight roller)
17 : 냉각 파이프
18 : 커프스(cuff)
19 : RFID 안테나, 전기도금 대상 재료, 재료
20 : 기판
21 : 에칭액 파이프
22 : 절연부
23 : 전기 도선
24 : 이송 방향을 나타내는 화살표
25 : 개구, 노즐
26 : 표면 라인
27 : 에칭액, 에칭 전해질
1: material
2: rotary contact means, contact wheel, contact roller, brush contact
3: driving means
4: refrigerant flow pipe
5: refrigerant
6: fixed contact means, sliding contact, contact brush
7: rotary feed-throughs
8: refrigerant return pipe
9: sliding contact
10: anode
11: electrolytic cell
12: electrolyte
13: level
14: working container
15: shield
16: weight roller
17: cooling pipe
18: cuff
19: RFID antenna, electroplating material, material
20: substrate
21: etching liquid pipe
22: insulation
23 electric wire
24: arrow indicating the feed direction
25: opening, nozzle
26: surface line
27 etching liquid, etching electrolyte

Claims (12)

모든 유형의 전기도금 시스템에서 접촉 수단(2, 6)에 의해 전기도금 대상인 재료가 전기적으로 접촉하도록 하는 장치로서, 캐소드로 성극되는 접촉 수단(2, 6)이 적어도 부분적으로 전해질(12) 내로 연장되며 전기도금 대상인 재료와 전기적으로 접촉하는 것인 장치에 있어서, 접촉 수단(2, 6) 중 적어도 하나는 냉각 장치 및/또는 냉각 매체에 의해 냉각될 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.In all types of electroplating systems, a device for electrically contacting the material to be electroplated by the contact means (2, 6), wherein the contact means (2, 6), which are cathodicly polarized, extends at least partially into the electrolyte (12). And in electrical contact with the material to be electroplated, wherein at least one of the contact means (2, 6) can be cooled by a cooling device and / or a cooling medium. 제1항에 있어서, 금속의 전기화학적 증착을 목적으로 하는 접촉 수단(2, 6)의 전기 전도성 표면은 전해질(12)에서 전혀 또는 거의 금속화(metalization)되지 않을 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.2. The device according to claim 1, wherein the electrically conductive surface of the contact means (2, 6) for the purpose of electrochemical deposition of metal may be at least or little metallization in the electrolyte (12). 제1항 또는 제2항에 있어서, 전해질 공급 장치는 접촉 수단(2)에 에칭액(27)을 공급하며, 개구 또는 노즐(25)을 갖춘 에칭액 파이프(21)뿐만 아니라 적어도 하나의 에칭액 펌프 및/또는 다방향 밸브로서의 유동 요소로 이루어지는 것을 특징으로 하는 장치.The electrolyte supply device according to claim 1 or 2, wherein the electrolyte supply device supplies the etching liquid 27 to the contact means 2, and at least one etching liquid pump as well as the etching liquid pipe 21 having an opening or a nozzle 25 and / or Or a flow element as a multidirectional valve. 모든 유형의 전기도금 시스템에서 접촉 수단(2, 6)에 의해 전기도금 대상인 재료가 전기적으로 접촉하도록 하는 방법으로서, 제1항에 따른 장치를 이용함으로써, 캐소드로 성극되는 접촉 수단(2, 6)이 적어도 부분적으로 전해질(12) 내로 연장되며 전기도금 대상인 재료와 전기적으로 접촉하는 것인 방법에 있어서, 접촉 수단의 표면 상에서 접촉 수단(2, 6)의 금속화가 사용되는 전해질 내에서 방지되도록 하기 위해 접촉 수단(2, 6)은 냉각 매체 또는 냉각 장치에 의해 직접적으로 또는 간접적으로 냉각될 수 있는 것을 특징으로 하는 방법.A method of electrically contacting the material to be electroplated by the contact means (2, 6) in all types of electroplating systems, by means of the apparatus according to claim 1, the contact means (2, 6) being positively cathode In this method, at least partially extending into the electrolyte 12 and in electrical contact with the material to be electroplated, so that metallization of the contact means 2, 6 on the surface of the contact means is prevented in the electrolyte used. Contact means (2, 6) characterized in that the cooling medium or the cooling device can be cooled directly or indirectly. 제4항에 있어서, 사용되는 전해질(12)에서의 접촉 수단(2, 6)의 전기화학적 금속화는 접촉 수단(2, 6)의 접촉 표면의 재료가 갖는 기피 특성(repellent property)에 의해 방지되는 것을 특징으로 하는 방법.The electrochemical metallization of the contact means 2, 6 in the electrolyte 12 used is prevented by the repellent property of the material of the contact surface of the contact means 2, 6. Characterized in that the method. 제4항 또는 제5항에 있어서, 접촉 수단(2)의 영구적인 금속화는, 화학적으로 및/또는 물리적으로 컨디셔닝된 에칭액(27)에 의해 접촉 수단(2)의 표면을 화학적으로 에칭함으로써 방지되는 것을 특징으로 하는 방법.The method of claim 4 or 5, wherein the permanent metallization of the contact means 2 is prevented by chemically etching the surface of the contact means 2 with chemically and / or physically conditioned etchant 27. Characterized in that the method. 모든 유형의 전기도금 시스템에서 접촉 수단(2, 6)에 의해 전기도금 대상인 재료가 전기적으로 접촉하도록 하는 장치로서, 캐소드로 성극되는 접촉 수단(2, 6)이 적어도 부분적으로 전해질(12) 내로 연장되며 전기도금 대상인 재료와 전기적으로 접촉하는 것인 장치에 있어서, 사용되는 전해질(12)에서 접촉 수단(2, 6)의 적어도 접촉 표면의 물질은 전기화학적으로 거의 또는 전혀 금속화될 수 없는 것을 특징으로 하는 장치.In all types of electroplating systems, a device for electrically contacting the material to be electroplated by the contact means (2, 6), wherein the contact means (2, 6), which are cathodicly polarized, extends at least partially into the electrolyte (12). And in electrical contact with the material to be electroplated, characterized in that the material of at least the contact surface of the contact means 2, 6 in the electrolyte 12 used can be electrochemically little or no metallized. Device. 제7항에 있어서, 접촉 수단(2, 6)은 냉각 장치 및/또는 냉각 매체에 의해 냉각될 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.Device according to claim 7, characterized in that the contact means (2, 6) can be cooled by a cooling device and / or a cooling medium. 제7항 또는 제8항에 있어서, 전해질 공급 장치는 접촉 수단(2)에 에칭액(27)을 공급하며, 개구 또는 노즐(25)을 갖춘 에칭액 파이프(21) 및 적어도 하나의 에칭액 펌프 및/또는 다방향 밸브로서의 유동 요소로 이루어지는 것을 특징으로 하는 장치.The electrolyte supply apparatus according to claim 7 or 8, wherein the electrolyte supply device supplies the etching solution 27 to the contact means 2, and has an etching solution pipe 21 and at least one etching solution pump and / or having an opening or a nozzle 25. Apparatus characterized by consisting of flow elements as multidirectional valves. 모든 유형의 전기도금 시스템에서 접촉 수단(2, 6)을 통해 전기도금 대상인 재료가 전기적으로 접촉하도록 하는 방법으로서, 제7항에 따른 장치를 이용함으로써, 캐소드로 성극되는 접촉 수단(2, 6)이 적어도 부분적으로 전해질(12) 내로 연장되며 전기도금 대상인 재료와 전기적으로 접촉하는 것인 방법에 있어서, 사용되는 전해질(12)에서 접촉 수단(2, 6)의 재료의 특성은 그 표면에서 전기화학적 금속화가 전혀 또는 거의 없도록 유지하는 것을 특징으로 하는 방법.A method of electrically contacting the material to be electroplated via the contact means (2, 6) in all types of electroplating systems, the contact means (2, 6) being catalyzed by the use of the device according to claim 7. In this method, at least partially extending into the electrolyte 12 and in electrical contact with the material to be electroplated, the properties of the material of the contact means 2, 6 in the electrolyte 12 used are electrochemical at its surface. Maintaining at least or little metallization. 제10항에 있어서, 접촉 수단(2, 6)은, 사용되는 전해질(12)에서의 전기화학적 금속화가 그 표면에서 전혀 또는 거의 없도록 하기 위해 냉각 매질 또는 냉각 장치에 의해 직접적으로 또는 간접적으로 냉각될 수 있는 것을 특징으로 하는 방법.The contact means (2) and (6) of claim 10 can be cooled directly or indirectly by a cooling medium or a cooling device in order to ensure that there is little or no electrochemical metallization in the surface of the electrolyte 12 used. How it can be. 제10항 또는 제11항에 있어서, 접촉 수단(2)의 영구적인 금속화는, 화학적으로 및/또는 물리적으로 컨디셔닝된 에칭액(27)에 의해 접촉 수단(2)의 표면을 화학적으로 에칭함으로써 방지되는 것을 특징으로 하는 방법.12. The permanent metallization of the contact means 2 according to claim 10 or 11 is prevented by chemically etching the surface of the contact means 2 with chemically and / or physically conditioned etchant 27. Characterized in that the method.
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