KR20120078376A - Light emitting diode having reflective electrode, its light emitting diode package and its manufacturing method - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A light emitting diode having a reflective layer, a light emitting diode package, and a manufacturing method thereof are provided to improve optical extraction efficiency by arranging an electrode which can reflect light generated from an active layer to the outside by using a reflecting layer. CONSTITUTION: A light emitting structure(10) comprises a first conductivity type semiconductor layer, an active layer, and a second conductivity type semiconductor layer. A first electrode(21) is electrically connected to the first conductivity type semiconductor layer and includes a reflecting layer on a side in order to reflect light generated from the active layer. A second electrode(22) is electrically connected to the second conductivity type semiconductor layer.

Description

반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드와, 발광 다이오드 패키지 및 이의 제작 방법{Light Emitting Diode having reflective electrode, its Light Emitting Diode package and its manufacturing method}A light emitting diode having an electrode on which a reflective layer is formed, and a light emitting diode package and a method of manufacturing the same.

본 발명은 반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드와, 발광 다이오드 패키지 및 이의 제작 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 활성층에서 발생된 광을 반사층을 이용하여 외부로 반사시킬 수 있는 전극을 설치하여 광추출 효율을 향상시킬 수 있는 반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드와, 발광 다이오드 패키지 및 이의 제작 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a light emitting diode having an electrode on which a reflective layer is formed, and a light emitting diode package and a method of manufacturing the same. More specifically, the light is provided by installing an electrode capable of reflecting light generated in the active layer to the outside using a reflective layer. A light emitting diode having an electrode having a reflective layer capable of improving extraction efficiency, and a light emitting diode package and a method of manufacturing the same.

발광 다이오드는 공기에 비하여 높은 굴절율을 가지므로, 전자와 정공의 재결합으로 발생하는 광의 많은 부분이 소자 내부에 잔존하게 된다. 이러한 광자는 외부로 탈출하기 전에 박막, 기판, 전극 등 여러 경로를 거치게 되며, 이에 따른 흡수에 의하여 외부양자효율이 감소된다. 이러한 외부양자효율의 증가를 위한 다양한 연구가 계속되고 있다.Since light emitting diodes have a higher refractive index than air, much of the light generated by recombination of electrons and holes remains in the device. These photons pass through various paths such as a thin film, a substrate, and an electrode before escaping to the outside, and the external quantum efficiency is reduced by absorption. Various studies for increasing the external quantum efficiency are continuing.

특히, 종래의 전극은, 통상적으로 전기 전도성이 우수한 재질로 제작된다. 그러나, 이러한 전기 전도성이 우수한 금이나 구리 등과 같은 전극 재질은, 자체적으로 상당량의 광을 흡수하는 성질을 갖는다.In particular, conventional electrodes are usually made of a material having excellent electrical conductivity. However, an electrode material such as gold or copper having excellent electrical conductivity has a property of absorbing a considerable amount of light by itself.

즉, 활성층에서 발생된 광이 외부로 추출되지 않고, 종래의 전극으로 흡수되어 광추출 효율이 낮아지는 문제점이 있었다.That is, the light generated in the active layer is not extracted to the outside, it is absorbed by the conventional electrode has a problem that the light extraction efficiency is lowered.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 측면에 반사층이 형성되는 전극을 이용하여 활성층에서 발생된 광을 외부로 반사시켜서 전극 내부로 광이 흡수되는 현상을 방지하고, 광추출 효율을 향상시킬 수 있게 하는 반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드와, 발광 다이오드 패키지 및 이의 제작 방법을 제공하는 것이다.The technical problem to be achieved by the present invention is to reflect the light generated from the active layer to the outside by using an electrode having a reflective layer on the side to prevent the phenomenon of light is absorbed into the electrode, and to improve the light extraction efficiency A light emitting diode having an electrode on which a reflective layer is formed, a light emitting diode package, and a method of manufacturing the same are provided.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드는, 제 1 도전형 반도체층, 활성층, 제 2 도전형 반도체층을 포함하는 발광구조물; 및 상기 제 1 도전형 반도체층에 전기적으로 연결되고, 상기 활성층에서 발생된 광을 반사할 수 있도록 측면에 반사층이 형성되는 제 1 전극;을 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a light emitting diode having an electrode having a reflective layer, the light emitting structure including a first conductive semiconductor layer, an active layer, and a second conductive semiconductor layer; And a first electrode electrically connected to the first conductivity type semiconductor layer and having a reflective layer formed on a side thereof to reflect light generated from the active layer.

본 발명의 일부 실시예들에 있어서, 본 발명의 사상에 따른 반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드는, 상기 제 2 도전형 반도체층에 전기적으로 연결되는 제 2 전극; 및 상기 제 1 도전형 반도체층의 하면에 적층되는 기판;을 더 포함하고, 상기 제 1 전극은, 상기 제 1 도전형 반도체층의 메사 식각된 일부분에 설치될 수 있다.In some embodiments of the present invention, a light emitting diode having an electrode having a reflective layer according to the spirit of the present invention may include a second electrode electrically connected to the second conductive semiconductor layer; And a substrate stacked on a lower surface of the first conductivity type semiconductor layer, wherein the first electrode may be provided on a mesa-etched portion of the first conductivity type semiconductor layer.

또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 제 1 전극은, 전체적으로 원기둥 형상이고, 상기 반사층은 상기 제 1 전극의 외경면에 형성될 수 있다.In addition, according to the spirit of the present invention, the first electrode may have a cylindrical shape as a whole, and the reflective layer may be formed on an outer diameter surface of the first electrode.

또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 제 1 전극의 반사층은, 상기 활성층에서 발생되어 측방향으로 방출되는 측광을 상방으로 반사시킬 수 있도록 소정 각도로 경사지게 형성될 수 있다.In addition, according to the spirit of the present invention, the reflective layer of the first electrode may be formed to be inclined at a predetermined angle so as to reflect upwardly the photometry generated in the active layer and emitted laterally.

또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 제 1 전극의 반사층은, 상기 제 1 도전형 반도체층의 메사 식각된 일부분을 덮어 연장될 수 있다.In addition, according to the spirit of the present invention, the reflective layer of the first electrode may extend to cover the mesa etched portion of the first conductive semiconductor layer.

또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 제 1 전극의 반사층은, 산란을 유도하도록 요철면이 형성될 수 있다.In addition, according to the spirit of the present invention, the reflective layer of the first electrode, the uneven surface may be formed to induce scattering.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드 패키지는, 제 1 도전형 반도체층, 활성층, 제 2 도전형 반도체층이 순차적으로 적층된 발광구조물; 및 상기 제 1 도전형 반도체층에 전기적으로 연결되고, 상기 활성층에서 발생된 광을 반사할 수 있도록 측면에 반사층이 형성되는 제 1 전극;을 포함하는 발광 다이오드; 상기 제 1 전극과 와이어로 연결되는 리드프레임; 및 상기 발광 다이오드와 리드프레임을 덮어 보호하는 투명 보호층;을 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a light emitting diode package including an electrode having a reflective layer, including: a light emitting structure in which a first conductive semiconductor layer, an active layer, and a second conductive semiconductor layer are sequentially stacked; And a first electrode electrically connected to the first conductivity type semiconductor layer and having a reflective layer formed on a side thereof to reflect light generated from the active layer. A lead frame connected to the first electrode by a wire; And a transparent protective layer covering and protecting the light emitting diode and the lead frame.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드 제작 방법은, 제 1 도전형 반도체층, 활성층, 제 2 도전형 반도체층이 순차적으로 적층된 발광구조물을 형성하고, 상기 제 1 도전형 반도체층에 제 1 전극을 형성하는 단계; 상기 제 1 전극만 노출되도록 제 1 전극 주위에 마스크를 형성하는 단계; 노출된 제 1 전극에 반사층을 형성하는 단계; 및 와이어 본딩면이 형성되도록 상기 반사층의 일부를 제거하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a light emitting diode having an electrode having a reflective layer, the light emitting structure having a first conductive semiconductor layer, an active layer, and a second conductive semiconductor layer sequentially stacked, and Forming a first electrode on the first conductivity type semiconductor layer; Forming a mask around the first electrode to expose only the first electrode; Forming a reflective layer on the exposed first electrode; And removing a portion of the reflective layer to form a wire bonding surface.

또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 제 1 전극에 반사층을 형성하는 단계는, 이베포레이션(evaporation), 스퍼터링(sputtering), 도금 및 이들의 조합 중 어느 하나 이상을 선택하여 이루어질 수 있다.In addition, according to the spirit of the present invention, the forming of the reflective layer on the first electrode may be performed by selecting any one or more of evaporation, sputtering, plating, and a combination thereof.

본 발명의 반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드와, 발광 다이오드 패키지 및 이의 제작 방법은, 광의 전극 흡수를 방지하여 광추출 효율을 향상시킬 수 있는 효과를 갖는 것이다.The light emitting diode having the electrode on which the reflective layer of the present invention is formed, the light emitting diode package, and a method of manufacturing the same have an effect of preventing light absorption of the light and improving light extraction efficiency.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드의 광 반사 상태를 나타내는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드를 나타내는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드 제작방법을 나타내는 블록도이다.
도 4 내지 도 8은 도 1의 반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드의 제작 방법을 단계적으로 나타내는 단면도이다.
도 9 내지 도 13은 본 발명의 여러 실시예들에 따른 반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드를 나타내는 단면도들이다.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드 패키지를 나타내는 단면도이다.
1 is a cross-sectional view illustrating a light reflection state of a light emitting diode having an electrode on which a reflective layer is formed according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view illustrating a light emitting diode having an electrode on which a reflective layer is formed according to another exemplary embodiment of the present invention.
3 is a block diagram illustrating a method of manufacturing a light emitting diode having an electrode on which a reflective layer is formed according to an embodiment of the present invention.
4 to 8 are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a light emitting diode having an electrode on which a reflective layer of FIG. 1 is formed.
9 to 13 are cross-sectional views illustrating a light emitting diode having an electrode on which a reflective layer is formed, according to various embodiments of the present disclosure.
14 is a cross-sectional view illustrating a light emitting diode package having an electrode on which a reflective layer is formed according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다. 본 명세서에서 동일한 부호는 동일한 요소를 지칭한다. 명세서 전체에 걸쳐서 층, 영역, 또는 기판 등과 같은 하나의 구성요소가 다른 구성요소 "상에", "연결되어", 또는 "하에" 위치한다고 언급할 때는, 상기 하나의 구성요소가 직접적으로 다른 구성요소 "상에", "연결되어", 또는 "하에" 접촉하거나, 그 사이에 개재되는 또 다른 구성요소들이 존재할 수 있다고 해석될 수 있다. 반면에, 하나의 구성요소가 다른 구성요소 "직접적으로 상에", "직접적으로 연결되어", 또는 "직접적으로 하에" 위치한다고 언급할 때는, 그 사이에 개재되는 다른 구성요소들이 존재하지 않는다고 해석된다.Hereinafter, various embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments of the present invention are described in order to more fully explain the present invention to those skilled in the art, and the following embodiments may be modified into various other forms, It is not limited to the embodiment. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art. In addition, the thickness or size of each layer in the drawings is exaggerated for convenience and clarity of description. Like numbers refer to like elements herein. Throughout the specification, when referring to one component, such as a layer, region, or substrate, being located on, “connected”, or “under” another component, the one component is directly in another configuration. It may be interpreted that there may be other components in contact with or interposed between, or “on,” “connected”, or “under” an element. On the other hand, when one component is referred to as being located on another component "directly on", "directly connected", or "directly under", it is interpreted that there are no other components intervening therebetween. do.

도면에서 전류의 흐름은 실선 화살표로 도시되어 있고, 광의 진행은 점선 화살표로 도시되어 있다.In the figure the flow of current is shown by solid arrows and the progress of light is shown by dashed arrows.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드의 광 반사 상태를 나타내는 단면도이고, 도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드를 나타내는 사시도이다.1 is a cross-sectional view illustrating a light reflection state of a light emitting diode having an electrode on which a reflective layer is formed according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view of a light emitting diode having an electrode on which a reflective layer is formed according to another embodiment of the present invention. to be.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드는, 발광구조물(10)과, 투명 전극층(14)과, 제 1 전극(21)과, 제 2 전극(22) 및 기판(40)을 포함하여 이루어지는 구성이다.1 and 2, a light emitting diode having an electrode having a reflective layer according to an embodiment of the present invention includes a light emitting structure 10, a transparent electrode layer 14, a first electrode 21, and a first electrode 21. This configuration includes the two electrodes 22 and the substrate 40.

상기 기판(40)은, 상기 제 1 도전형 반도체층(11)의 하측에 위치하는 것으로서, 사파이어(Al2O3), 실리콘 탄화물(SiC), 갈륨 질화물(GaN), 갈륨 비소(GaAs), 실리콘(Si), 게르마늄(Ge), 아연 산화물(ZnO), 마그네슘 산화물(MgO), 알루미늄 질화물(AlN), 붕산 질화물(BN), 갈륨 인화물(GaP), 인듐 인화물(InP), 리튬-알루미늄 산화물(LiAl2O3) 중 어느 하나를 포함할 수 있다. 도시되지는 않았으나, 기판(40)의 상면 및/또는 하면에는 광을 반사시킬 수 있는 요철 패턴(미도시)이 형성될 수 있으며, 상기 요철 패턴은 스트라이프 형태, 렌즈 형태, 기둥 형태, 뿔 형태 등 다양한 형상을 가질 수 있다.The substrate 40 is positioned below the first conductivity type semiconductor layer 11 and includes sapphire (Al 2 O 3), silicon carbide (SiC), gallium nitride (GaN), gallium arsenide (GaAs), and silicon (Si). ), Germanium (Ge), zinc oxide (ZnO), magnesium oxide (MgO), aluminum nitride (AlN), borate nitride (BN), gallium phosphide (GaP), indium phosphide (InP), lithium-aluminum oxide (LiAl2O3) It may include any one of. Although not shown, an uneven pattern (not shown) may be formed on the top and / or bottom surface of the substrate 40 to reflect light, and the uneven pattern may have a stripe shape, a lens shape, a pillar shape, a horn shape, or the like. It may have various shapes.

또한, 상기 기판(40)의 일측 상에는 상기 기판(40)과 발광구조물(10) 사이의 격자 부정합을 완화하기 위한 버퍼층(미도시)이 위치할 수 있다. 버퍼층은 단일층 또는 다중층으로 형성될 수 있고, 예를 들어, GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, AlGaInN, AlInN 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다. 도시되지는 않았으나, 기판(40) 또는 버퍼층 상에 언도프드(undoped) 반도체층(미도시)이 위치할 수 있고, 상기 언도프드 반도체층은 GaN를 포함할 수 있다.In addition, a buffer layer (not shown) may be positioned on one side of the substrate 40 to mitigate lattice mismatch between the substrate 40 and the light emitting structure 10. The buffer layer may be formed of a single layer or multiple layers, and may include, for example, at least one of GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, AlGaInN, and AlInN. Although not shown, an undoped semiconductor layer (not shown) may be located on the substrate 40 or the buffer layer, and the undoped semiconductor layer may include GaN.

여기서, 상기 발광구조물(10)은, 제 1 도전형 반도체층(11), 활성층(13), 제 2 도전형 반도체층(12)이 순차적 또는 비순차적으로 적층된 것으로서, 상기 발광 구조물(10)은 기판(40) 상에 위치할 수 있고, 복수의 도전형 반도체층이 기판(40)을 기준으로 n-p 접합 구조, p-n 접합 구조, n-p-n 접합 구조, p-n-p 접합 구조 중 어느 하나로 형성될 수 있다. 이하에서는 발광 구조물(10)이 n-p 접합 구조인 경우를 일 예로 설명하기로 한다.The light emitting structure 10 may include a first conductive semiconductor layer 11, an active layer 13, and a second conductive semiconductor layer 12 that are sequentially or non-sequentially stacked. The silver may be positioned on the substrate 40, and a plurality of conductive semiconductor layers may be formed of any one of an np junction structure, a pn junction structure, an npn junction structure, and a pnp junction structure based on the substrate 40. Hereinafter, a case in which the light emitting structure 10 is an n-p junction structure will be described as an example.

상기 발광 구조물(10)은 순차적 또는 비순차적으로 적층된 제 1 도전형 반도체층(11), 활성층(13), 및 제 2 도전형 반도체층(12)을 포함한다. 발광 구조물(10)은, 예를 들어 전자빔 증착(electron beam evaporation), 물리기상증착(physical vapor deposition, PVD), 화학기상증착(chemical vapor deposition, CVD), 플라즈마 강화 CVD(plasma enhanced CVD, PECVD), 플라즈마 레이저 증착(plasma laser deposition, PLD), 듀얼 타입 열증착(dual-type thermal evaporator), 스퍼터링(sputtering), 유기금속 화학기상증착(metal organic chemical vapor deposition, MOCVD), 분자빔 에피택시(Molecular Beam Epitaxy, MBE), 수소화물 기상 에피택시(Hydride Vapor Phase Epitaxy, HVPE) 등을 이용하여 형성할 수 있다.The light emitting structure 10 includes a first conductive semiconductor layer 11, an active layer 13, and a second conductive semiconductor layer 12 that are sequentially or non-sequentially stacked. The light emitting structure 10 may be, for example, electron beam evaporation, physical vapor deposition (PVD), chemical vapor deposition (CVD), plasma enhanced CVD (PECVD) , Plasma laser deposition (PLD), dual-type thermal evaporator, sputtering, metal organic chemical vapor deposition (MOCVD), molecular beam epitaxy Beam Epitaxy (MBE), Hydride Vapor Phase Epitaxy (HVPE), or the like.

상기 발광구조물(10)에 순방향으로 전압을 인가하면, 활성층(13)의 전도대에 있는 전자와 가전자대에 있는 정공이 천이되어 재결합하고, 에너지 갭에 해당하는 에너지가 광으로 방출된다. 활성층(13)을 구성하는 물질의 종류에 따라서 방출되는 광의 파장이 결정된다. 또한, 제 1 도전형 반도체층(11) 및 제 2 도전형 반도체층(12)은 상기 인가되는 전압에 따라 전자 또는 정공을 활성층(13)에 제공하는 기능을 수행한다. 제 1 도전형 반도체층(11)과 제 2 도전형 반도체층(12)은 서로 다른 도전형을 가지도록 불순물들을 포함할 수 있다. 예를 들어 제 1 도전형 반도체층(11)은 n-형 불순물들을 포함할 수 있고, 제 2 도전형 반도체층(12)은 p-형 불순물들을 포함할 수 있다. 이러한 경우에는, 제 1 도전형 반도체층(11)은 전자를 제공할 수 있고, 제 2 도전형 반도체층(12)은 정공을 제공할 수 있다. 또한, 이와 반대로, 제 1 도전형 반도체층(11)이 p-형이고, 제 2 도전형 반도체층(12)이 n-형인 경우도 본 발명의 기술적 사상에 포함된다. 제 1 도전형 반도체층(11) 및 제 2 도전형 반도체층(12)은 각각 III족-V족 화합물 물질을 포함할 수 있고, 예를 들어 갈륨 질화물계 물질을 포함할 수 있다.When a voltage is applied to the light emitting structure 10 in the forward direction, electrons in the conduction band of the active layer 13 and holes in the valence band transition and recombine, and energy corresponding to the energy gap is emitted as light. The wavelength of the emitted light is determined by the kind of material constituting the active layer 13. In addition, the first conductivity type semiconductor layer 11 and the second conductivity type semiconductor layer 12 perform a function of providing electrons or holes to the active layer 13 according to the applied voltage. The first conductivity type semiconductor layer 11 and the second conductivity type semiconductor layer 12 may include impurities to have different conductivity types. For example, the first conductivity type semiconductor layer 11 may include n-type impurities, and the second conductivity type semiconductor layer 12 may include p-type impurities. In this case, the first conductivity type semiconductor layer 11 may provide electrons, and the second conductivity type semiconductor layer 12 may provide holes. On the contrary, the technical concept of the present invention also includes the case where the first conductivity-type semiconductor layer 11 is p-type and the second conductivity-type semiconductor layer 12 is n-type. Each of the first conductive semiconductor layer 11 and the second conductive semiconductor layer 12 may include a group III-V compound material, and may include, for example, a gallium nitride-based material.

제 1 도전형 반도체층(11)은 n-형 도판트가 도핑된 n-형 반도체층으로 구현될 수 있고, 예를 들어 n-형 AlxInyGazN (0≤x, y, z ≤1, x+y+z=1)을 포함할 수 있다. 예를 들어 제 1 도전형 반도체층(11)은 n-형 GaN을 포함할 수 있다. 상기 n-형 도판트는 실리콘(Si), 게르마늄(Ge), 주석(Sn), 셀레늄(Se), 및 텔루륨(Te) 중 적어도 어느 하나일 수 있다.The first conductivity type semiconductor layer 11 may be implemented as an n-type semiconductor layer doped with an n-type dopant, for example, n-type AlxInyGazN (0 ≦ x, y, z ≦ 1, x + y + z = 1). For example, the first conductivity type semiconductor layer 11 may include n-type GaN. The n-type dopant may be at least one of silicon (Si), germanium (Ge), tin (Sn), selenium (Se), and tellurium (Te).

제 2 도전형 반도체층(12)은 p-형 도판트가 도핑된 p-형 반도체층으로 구현될 수 있고, 예를 들어 p-형 AlxInyGazN (0≤x, y, z ≤1, x+y+z=1)을 포함할 수 있다. 예를 들어 제 2 도전형 반도체층(12)은 p-형 GaN을 포함할 수 있다. 상기 n-형 도판트는 마그네슘(Mg), 아연(Zn), 칼슘(Ca), 스트론튬(Sr), 베릴륨(Be), 및 바륨(Ba) 중 적어도 어느 하나일 수 있다. 도시되지는 않았으나, 제 2 도전형 반도체층(12)은 광을 굴절하여 외부로 방출시키도록 요철 패턴(미도시)이 상측 표면에 형성될 수 있다.The second conductivity-type semiconductor layer 12 may be implemented as a p-type semiconductor layer doped with a p-type dopant, for example, p-type AlxInyGazN (0 ≦ x, y, z ≦ 1, x + y + z = 1). For example, the second conductivity-type semiconductor layer 12 may include p-type GaN. The n-type dopant may be at least one of magnesium (Mg), zinc (Zn), calcium (Ca), strontium (Sr), beryllium (Be), and barium (Ba). Although not shown, the second conductive semiconductor layer 12 may have a concave-convex pattern (not shown) formed on the upper surface of the second conductive semiconductor layer 12 so as to be refracted and emitted to the outside.

상기 활성층(13)은 제 1 도전형 반도체층(11) 및 제 2 도전형 반도체층(12)에 비하여 낮은 에너지 밴드갭을 가지므로 발광을 활성화할 수 있다. 활성층(13)은 다양한 파장의 광을 방출할 수 있으며, 예를 들어 적외선, 가시 광선, 또는 자외선을 방출할 수 있다. 활성층(13)은 III족-V족 화합물 물질을 포함할 수 있고, 예를 들어 AlxInyGazN (0≤x, y, z ≤1, x+y+z=1)을 포함할 수 있고, 예를 들어 InGaN 또는 AlGaN을 포함할 수 있다. 또한, 활성층(13)은 단일양자우물(single quantum well, SQW) 또는 다중양자우물(multi quantum well, MQW)을 포함할 수 있다. 활성층(13)은 양자 우물층과 양자 장벽층의 적층 구조를 가질 수 있고, 상기 양자 우물층과 상기 양자 장벽층의 갯수는 설계 상의 필요에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 또한, 활성층(13)은, 예를 들어 GaN/InGaN/GaN MQW 구조 또는 GaN/AlGaN/GaN MQW 구조를 포함할 수 있다. 그러나 이는 예시적이며, 활성층(13)은 구성 물질에 따라 방출되는 광의 파장이 달라지며, 예를 들어, 인듐의 양이 약 22%의 경우에는 청색 광을 발광할 수 있고, 약 40%의 경우에는 녹색 광을 발광할 수 있다. 본 발명은 활성층(13)의 구성 물질에 대해 한정하는 것은 아니다.Since the active layer 13 has a lower energy band gap than the first conductive semiconductor layer 11 and the second conductive semiconductor layer 12, light emission may be activated. The active layer 13 may emit light of various wavelengths, and may emit infrared light, visible light, or ultraviolet light, for example. The active layer 13 may comprise a Group III-V compound material, for example AlxInyGazN (0 ≦ x, y, z ≦ 1, x + y + z = 1), for example It may include InGaN or AlGaN. In addition, the active layer 13 may include a single quantum well (SQW) or a multi quantum well (MQW). The active layer 13 may have a stacked structure of a quantum well layer and a quantum barrier layer, and the number of the quantum well layer and the quantum barrier layer may be variously changed according to design needs. In addition, the active layer 13 may include, for example, a GaN / InGaN / GaN MQW structure or a GaN / AlGaN / GaN MQW structure. However, this is exemplary, and the active layer 13 has a wavelength of light emitted according to the constituent material, for example, when the amount of indium is about 22%, it can emit blue light, and about 40% It can emit green light. The present invention is not limited to the constituent materials of the active layer 13.

상기 발광구조물(10)은 활성층(13), 및 제 2 도전형 반도체층(12)의 일부 영역이 제거된 메사(mesa) 영역을 가질 수 있고, 또한 제1 도전형 반도체층(11)의 일부가 제거될 수 있다. 활성층(13)은 상기 메사 영역에 한정되어 광을 방출할 수 있다. 상기 메사 영역을 형성함에 따라, 제1 도전형 반도체층(11)의 일부 영역이 노출될 수 있다. The light emitting structure 10 may have an active layer 13 and a mesa region from which a portion of the second conductivity-type semiconductor layer 12 is removed, and a portion of the first conductivity-type semiconductor layer 11. Can be removed. The active layer 13 may be limited to the mesa region to emit light. As the mesa region is formed, a portion of the first conductivity type semiconductor layer 11 may be exposed.

상기 메사 영역은 유도결합 플라즈마 반응성 이온 식각(inductively coupled plasma reactive ion etching, ICP-RIE), 습식 식각 또는 건식 식각을 이용하여 형성할 수 있다.The mesa region may be formed using inductively coupled plasma reactive ion etching (ICP-RIE), wet etching, or dry etching.

한편, 상기 제 1 전극(21)은, 상기 제 1 도전형 반도체층(11)에 전기적으로 연결되고, 핑거(F)를 갖을 수 있는 것으로서, 상기 활성층(13)에서 발생된 광을 반사할 수 있도록 측면에 반사층(30)이 형성되는 것이다.Meanwhile, the first electrode 21 is electrically connected to the first conductive semiconductor layer 11 and may have a finger F. The first electrode 21 may reflect light generated from the active layer 13. So that the reflective layer 30 is formed on the side.

상기 제 1 전극(21)은, 원기둥 형상, 사각 기둥 형상 또는 다각 기둥 형상을 가질 수 있고, 상기 반사층(30)은 상기 제 1 전극(21)의 외경면에 형성될 수 있다.The first electrode 21 may have a cylindrical shape, a square column shape, or a polygonal column shape, and the reflective layer 30 may be formed on an outer diameter surface of the first electrode 21.

이러한, 상기 반사층(30)은, 광 반사율이 우수한 유전체, 은(Ag), 백금(Pt), 알루미늄(Al), 이들의 합금, 은(Ag)계 산화물(Ag-O), APC 합금(Ag, Pd, Cu를 포함하는 합금), 주석(Sn), 텅스텐(W), 코발트(Co), 마그네슘(Mg), 아연(Zn), 크롬(Cr), 실리콘, 로듐(Rh), 팔라듐(Pd), 니켈(Ni), 루테늄(Ru), 이리듐(Ir), 티타늄(Ti), 분산 브래그 반사기(distributed Bragg reflector, DBR), 투명 전극 분말, 사파이어 분말 및 이들의 조합 중 어느 하나 이상을 포함하여 제작할 수 있다.The reflective layer 30 includes a dielectric having excellent light reflectivity, silver (Ag), platinum (Pt), aluminum (Al), alloys thereof, silver (Ag) oxide (Ag-O), and APC alloy (Ag). , Pd, alloy containing Cu), tin (Sn), tungsten (W), cobalt (Co), magnesium (Mg), zinc (Zn), chromium (Cr), silicon, rhodium (Rh), palladium (Pd ), Nickel (Ni), ruthenium (Ru), iridium (Ir), titanium (Ti), distributed Bragg reflector (DBR), transparent electrode powder, sapphire powder and combinations thereof I can make it.

한편, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 전극(21)은, 상기 제 1 도전형 반도체층(11)의 메사 식각된 일부분(A1), 즉 메사 영역에 설치될 수 있다.As illustrated in FIG. 1, the first electrode 21 may be provided in the mesa-etched portion A1 of the first conductive semiconductor layer 11, that is, the mesa region.

여기서, 상기 제 1 전극(21)은 상기 메사 영역에 의하여 노출된 제 1 도전형 반도체층(11) 상에 위치할 수 있다. 제 1 전극(21)은 제 1 도전형 반도체층(11)과 오믹 콘택을 형성하는 물질을 포함할 수 있고, 예를 들어 금(Au), 은(Ag), 알루미늄(Al), 팔라듐(Pd), 티타늄(Ti), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 주석(Sn), 크롬(Cr), 백금(Pt), 텅스텐(W), 코발트(Co), 이리듐(Ir), 로듐(Rh), 루테늄(Ru), 아연(Zn), 마그네슘(Mg) 또는 이들의 합금을 포함할 수 있고, 예를 들어 탄소나노튜브(carbon nano tube)를 포함할 수 있다. 제 1 전극(21)은 단일층으로 구성되거나 또는 다중층으로 구성될 수 있고, 예를 들어 Ti/Al, Cr/Au, Ti/Au, Au/Sn과 같은 다중층으로 구성될 수 있다. 제 1 전극(21)은 패키지 공정에서 본딩 와이어가 연결될 수 있다.Here, the first electrode 21 may be located on the first conductivity type semiconductor layer 11 exposed by the mesa region. The first electrode 21 may include a material forming an ohmic contact with the first conductive semiconductor layer 11. For example, gold (Au), silver (Ag), aluminum (Al), and palladium (Pd) may be used. ), Titanium (Ti), chromium (Cr), nickel (Ni), tin (Sn), chromium (Cr), platinum (Pt), tungsten (W), cobalt (Co), iridium (Ir), rhodium (Rh) ), Ruthenium (Ru), zinc (Zn), magnesium (Mg) or alloys thereof, and may include, for example, carbon nanotubes. The first electrode 21 may be composed of a single layer or multiple layers, for example, may be composed of multiple layers such as Ti / Al, Cr / Au, Ti / Au, Au / Sn. Bonding wires may be connected to the first electrode 21 in the packaging process.

또한, 한편, 상기 제 2 전극(22)은, 상기 제 2 도전형 반도체층(12)에 전기적으로 연결되는 것이다. 상기 제 2 전극(22)은 투명 전극층(14) 상에 위치할 수 있다. 제 1 전극(21)과 제 2 전극(22)은 서로 대향하도록 위치할 수 있다. 제 2 전극(22)은 투명 전극층(14)과 오믹 콘택을 형성하는 물질을 포함할 수 있고, 예를 들어 금(Au), 은(Ag), 팔라듐(Pd), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 주석(Sn), 크롬(Cr), 백금(Pt), 텅스텐(W), 코발트(Co), 이리듐(Ir), 로듐(Rh), 루테늄(Ru), 아연(Zn), 마그네슘(Mg) 또는 이들의 합금을 포함할 수 있고, 예를 들어 탄소나노튜브를 포함할 수 있다. 제 2 전극(22)은 단일층으로 구성되거나 또는 다중층으로 구성될 수 있고, 예를 들어 Ni/Au, Pd/Au, Pd/Ni 과 같은 다중층으로 구성될 수 있다. 제 2 전극(22)은 패키지 공정에서 본딩 와이어가 연결될 수 있다.In addition, the second electrode 22 is electrically connected to the second conductivity-type semiconductor layer 12. The second electrode 22 may be located on the transparent electrode layer 14. The first electrode 21 and the second electrode 22 may be positioned to face each other. The second electrode 22 may include a material forming an ohmic contact with the transparent electrode layer 14. For example, gold (Au), silver (Ag), palladium (Pd), titanium (Ti), nickel ( Ni), tin (Sn), chromium (Cr), platinum (Pt), tungsten (W), cobalt (Co), iridium (Ir), rhodium (Rh), ruthenium (Ru), zinc (Zn), magnesium ( Mg) or an alloy thereof, and may include, for example, carbon nanotubes. The second electrode 22 may be composed of a single layer or multiple layers, and may be composed of multiple layers such as Ni / Au, Pd / Au, and Pd / Ni. Bonding wires may be connected to the second electrode 22 in the packaging process.

제 1 전극(21)과 제 2 전극(22)은 열증착, 전자빔 증착(e-beam evaporation), 스퍼터링(sputtering), 또는 화학기상증착(chemical vapor deposition)을 이용하여 형성할 수 있으며, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 또한, 제 1 전극(21)과 제 2 전극(22)은 리프트 오프(lift-off), 도금법 등 다양한 방법을 이용하여 형성할 수 있다. 또한, 제 1 전극(21)과 제 2 전극(22)은 오믹 콘택을 향상시키기 위하여 열처리될 수 있다.The first electrode 21 and the second electrode 22 may be formed using thermal evaporation, e-beam evaporation, sputtering, or chemical vapor deposition. This is not limited to this. In addition, the first electrode 21 and the second electrode 22 may be formed using various methods such as a lift-off and a plating method. In addition, the first electrode 21 and the second electrode 22 may be heat treated to improve ohmic contact.

제 2 전극(22)은 제 1 전극(21)을 향하여 연장된 전극 핑거(F)를 더 포함할 수 있다. 핑거(F)는 전류를 투명 전극층(14)에 더 균일하게 분산시킬 수 있다. 상기 핑거(14)는 제 2 전극(21)과 동일한 물질로 형성될 수 있고, 제 2 전극(22)과 동시에 형성될 수 있다.The second electrode 22 may further include an electrode finger F extending toward the first electrode 21. The finger F may distribute the current more evenly to the transparent electrode layer 14. The finger 14 may be formed of the same material as the second electrode 21 and may be formed simultaneously with the second electrode 22.

제 2 전극(22)의 하측에는 반사 전극층(미도시)을 더 포함할 수 있다. 반사 전극층은 광을 반사하여 제 2 전극(22)이 광을 흡수하는 것을 방지할 수 있다. 반사 전극층은 알루미늄(Al), 은(Ag), 이들의 합금, 은(Ag)계 산화물(Ag-O) 또는 APC 합금(Ag, Pd, Cu를 포함하는 합금)을 포함할 수 있다. 또한, 반사 전극층은 로듐(Rh), 구리(Cu), 팔라듐(Pd), 니켈(Ni), 루테늄(Ru), 이리듐(Ir) 및 백금(Pt) 중의 적어도 어느 하나를 더 포함할 수 있다. 또한, 반사 전극층은 투명 전극층(14)과 제 2 전극(22) 사이의 오믹 접촉을 증가시키는 물질로 구성될 수 있다. 도시되지는 않았지만, 이러한 반사 전극층은 제 1 전극(21)의 하측에도 형성될 수 있다.A lower side of the second electrode 22 may further include a reflective electrode layer (not shown). The reflective electrode layer may reflect light and prevent the second electrode 22 from absorbing light. The reflective electrode layer may include aluminum (Al), silver (Ag), alloys thereof, silver (Ag) oxides (Ag-O), or APC alloys (alloys including Ag, Pd, and Cu). In addition, the reflective electrode layer may further include at least one of rhodium (Rh), copper (Cu), palladium (Pd), nickel (Ni), ruthenium (Ru), iridium (Ir), and platinum (Pt). In addition, the reflective electrode layer may be formed of a material for increasing ohmic contact between the transparent electrode layer 14 and the second electrode 22. Although not shown, the reflective electrode layer may also be formed below the first electrode 21.

한편, 선택적으로 설치되는 상기 투명 전극층(14)은 제 2 도전형 반도체층(12) 상에 위치하는 것으로서, 제 2 전극(22)으로부터 주입되는 전류를 제 2 도전형 반도체층(12)에 대하여 균일하게 분산하는 기능을 수행할 수 있다. 투명 전극층(14)은 전체적으로 패턴이 없는 박막 형태를 가지거나 또는 일정한 패턴 형태를 가질 수 있다. 투명 전극층(14)은 제 2 도전형 반도체층(12)과의 접착성을 위해 메쉬(mesh) 구조의 패턴으로 형성될 수 있다. 투명 전극층(14)은 투명하고 전도성이 있는 물질을 포함할 수 있다. 투명 전극층(14)은 금속을 포함할 수 있고, 예를 들어 니켈(Ni)과 금(Au)의 복합층일 수 있다. 또한, 투명 전극층(14)은 산화물을 포함할 수 있고, 예를 들어 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), IZTO(indium zinc tin oxide), AZO(aluminum zinc oxide), IAZO(indium aluminum zinc oxide), GZO(gallium zinc oxide), IGO(indium gallium oxide), IGZO(indium gallium zinc oxide), IGTO(indium gallium tin oxide), ATO(aluminum tin oxide), IWO(indium tungsten oxide), CIO(cupper indium oxide), MIO(magnesium indium oxide), MgO, ZnO, In2O3, TiTaO2, TiNbO2, TiOx, RuOx, 및 IrOx 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다. 투명 전극층(14)은 예를 들어 증착(Evaporation) 또는 스퍼터링을 이용하여 형성할 수 있으며, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 또한, 투명 전극층(14)은 광을 굴절하여 외부로 방출시키도록 요철 패턴(미도시)이 상측 표면에 형성될 수 있다.Meanwhile, the transparent electrode layer 14, which is selectively provided, is positioned on the second conductive semiconductor layer 12, and the current injected from the second electrode 22 is applied to the second conductive semiconductor layer 12. It can perform the function of uniformly dispersing. The transparent electrode layer 14 may have a thin film form without a pattern as a whole or may have a predetermined pattern form. The transparent electrode layer 14 may be formed in a pattern of a mesh structure for adhesion to the second conductive semiconductor layer 12. The transparent electrode layer 14 may include a transparent and conductive material. The transparent electrode layer 14 may include a metal, and may be, for example, a composite layer of nickel (Ni) and gold (Au). In addition, the transparent electrode layer 14 may include an oxide, for example, indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), indium zinc tin oxide (IZTO), aluminum zinc oxide (AZO), or indium (AZO) aluminum zinc oxide (GZO), gallium zinc oxide (GZO), indium gallium oxide (IGO), indium gallium zinc oxide (IGZO), indium gallium tin oxide (IGTO), aluminum tin oxide (ATO), indium tungsten oxide (IGWO), CIO (cupper indium oxide), MIO (magnesium indium oxide), MgO, ZnO, In2O3, TiTaO2, TiNbO2, TiOx, RuOx, and may include at least one of IrOx. The transparent electrode layer 14 may be formed using, for example, evaporation or sputtering, but the present invention is not limited thereto. In addition, an uneven pattern (not shown) may be formed on the upper surface of the transparent electrode layer 14 so as to refract light to be emitted to the outside.

한편, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드 제작방법을 나타내는 블록도이다. 도 4 내지 도 8은 도 1의 반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드의 제작 방법을 단계적으로 나타내는 단면도이다.On the other hand, Figure 3 is a block diagram showing a light emitting diode manufacturing method having an electrode with a reflective layer according to an embodiment of the present invention. 4 to 8 are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a light emitting diode having an electrode on which a reflective layer of FIG. 1 is formed.

도 3에 도시된 바와 같이, 이러한 본 발명의 반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드의 제작 방법을 보다 상세하게 설명하면, 도 4의 제 1 도전형 반도체층(11), 활성층(13), 제 2 도전형 반도체층(12)이 순차적으로 적층된 발광구조물(10)을 형성하고, 상기 제 1 도전형 반도체층(11)에 제 1 전극(21)을 형성한다(S1).As illustrated in FIG. 3, the method of manufacturing the light emitting diode having the electrode having the reflective layer of the present invention will be described in more detail. The first conductive semiconductor layer 11, the active layer 13, and the second conductive layer of FIG. The light emitting structure 10 in which the conductive semiconductor layer 12 is sequentially stacked is formed, and the first electrode 21 is formed in the first conductive semiconductor layer 11 (S1).

이어서, 도 5의 상기 제 1 전극(21)이 노출되도록 제 1 전극(21) 주위에 마스크(M)를 형성한다(S2). Subsequently, a mask M is formed around the first electrode 21 to expose the first electrode 21 of FIG. 5 (S2).

이어서, 도 6의 노출된 제 1 전극(21)에 반사층(30)을 형성한다(S3). 이 때, 상기 반사층(30)은 이베포레이션(evaporation), 스퍼터링(sputtering), 도금 및 이들의 조합 중 어느 하나 이상의 공정을 선택하여 형성될 수 있고. 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 반사층(30)이 형성된 이후, 식각 등의 공정을 통해 상기 마스크(M)는 제거될 수 있다.Subsequently, a reflective layer 30 is formed on the exposed first electrode 21 of FIG. 6 (S3). In this case, the reflective layer 30 may be formed by selecting any one or more processes of evaporation, sputtering, plating, and a combination thereof. As shown in FIG. 7, after the reflective layer 30 is formed, the mask M may be removed through a process such as etching.

이어서, 도 8의 제 1 전극(21)의 와이어 본딩면(21a)이 형성되도록 식각이나 레이저 커팅 등의 공정을 이용하여 상기 반사층(30)의 일부를 제거한다(S4).Subsequently, a portion of the reflective layer 30 is removed using a process such as etching or laser cutting so that the wire bonding surface 21a of the first electrode 21 of FIG. 8 is formed (S4).

따라서, 상술된 공정들을 통해 제 1 전극의 측면에 상기 반사층(30)이 형성될 수 있고, 상기 와이어 본딩면(21a)을 통해 와이어링이 원활하게 이루어질 수 있는 것이다.Therefore, the reflective layer 30 may be formed on the side of the first electrode through the above-described processes, and the wiring may be smoothly made through the wire bonding surface 21a.

도 9 내지 13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드의 광 반사 상태를 나타내는 단면도이다.9 to 13 are cross-sectional views illustrating a light reflection state of a light emitting diode having an electrode on which a reflective layer is formed, according to another exemplary embodiment.

도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 상기 제 1 전극(51)의 반사층(60)은, 상기 활성층(13)에서 발생되어 측방향으로 방출되는 측광을 상방으로 반사시킬 수 있도록 소정 각도(K)로 경사지게 형성될 수 있다.As shown in FIG. 9, the reflective layer 60 of the first electrode 51 according to another embodiment of the present invention may reflect upwardly the photometry generated in the active layer 13 and emitted laterally. It may be formed to be inclined at a predetermined angle (K).

또한, 도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 상기 제 1 전극(71)의 반사층(80)은, 상기 제 1 도전형 반도체층(11)의 메사 식각된 일부분(A1)을 제외한 메사 식각된 다른 일부분(A2)을 덮어 연장되는 것도 가능하다.In addition, as shown in FIG. 10, the reflective layer 80 of the first electrode 71 according to another embodiment of the present invention may be a mesa-etched portion A1 of the first conductivity-type semiconductor layer 11. It is also possible to cover and extend the other part A2 which is mesa etched except).

또한, 도 11에 도시된 바와 같이, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 상기 제 1 전극(91)의 반사층(100)은, 산란을 유도하도록 요철면(100a)이 형성되는 것도 가능하다. 상기 요철면(100a)은 반사층(100)의 표면을 식각함에 의해 형성될 수 있다.11, the uneven surface 100a may be formed in the reflective layer 100 of the first electrode 91 according to another embodiment of the present invention to induce scattering. The uneven surface 100a may be formed by etching the surface of the reflective layer 100.

또한, 도 12에 도시된 바와 같이, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 상기 제 1 전극(111)의 반사층(120)은, 분산 브래그 반사기(distributed Bragg reflector, DBR)를 포함할 수 있다.In addition, as shown in FIG. 12, the reflective layer 120 of the first electrode 111 according to another embodiment of the present invention may include a distributed Bragg reflector (DBR).

여기서, 상기 분산 브래그 반사기로 구성된 반사층(120)은, "mλ/4n" 의 두께로 저굴절율층(121)과 고굴절율층(122)이 교대로 적층하여 구성될 수 있다. 여기에서, λ는 방출되는 광의 파장, n은 매질의 굴절율, m은 홀수이다. 저굴절율층(121)은, 예를 들어 실리콘 산화물(SiO2, 굴절율 1.4) 또는 알루미늄 산화물(Al2O3, 굴절율 1.6)을 포함할 수 있다. 고굴절율층(122)은, 예를 들어, 실리콘 질화물(Si3N4, 굴절율 2.05~2.25) 티타늄 질화물(TiO2, 굴절률 2 이상), 또는 Si-H(굴절율 3 이상)를 포함할 수 있다. 저굴절율층(121)과 고굴절율층(122)의 갯수는 다양하게 변화될 수 있다.Here, the reflective layer 120 composed of the distributed Bragg reflector may be configured by alternately stacking the low refractive index layer 121 and the high refractive index layer 122 to a thickness of “mλ / 4n”. Is the wavelength of the emitted light, n is the refractive index of the medium, and m is the odd number. The low refractive index layer 121 may include, for example, silicon oxide (SiO 2, refractive index 1.4) or aluminum oxide (Al 2 O 3, refractive index 1.6). The high refractive index layer 122 may include, for example, silicon nitride (Si 3 N 4, refractive index 2.05 to 2.25) titanium nitride (TiO 2, refractive index 2 or more), or Si—H (refractive index 3 or more). The number of the low refractive index layer 121 and the high refractive index layer 122 may vary.

또한, 도 13에 도시된 바와 같이, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 상기 제 1 전극(131)의 반사층(140)은, 투명 전극 분말이나 사파이어 분말 등 광을 다양한 방향으로 산란시키는 분말 산란체(141)를 포함할 수 있다. 분말 산란체(141)는 반사층(140)의 표면에 위치할 수 있다.In addition, as shown in FIG. 13, the reflective layer 140 of the first electrode 131 according to another embodiment of the present invention is a powder scattering body that scatters light such as transparent electrode powder or sapphire powder in various directions. 141 may include. The powder scatterer 141 may be located on the surface of the reflective layer 140.

한편, 도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드 패키지를 나타내는 단면도이다. 14 is a cross-sectional view illustrating a light emitting diode package having an electrode on which a reflective layer is formed according to an embodiment of the present invention.

도 14에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드 패키지(1000)는, 상술된 상기 발광 다이오드(200)와, 상기 제 1 전극(21)과 와이어(201)로 연결되는 리드프레임(202) 및 상기 발광 다이오드(200)와 리드프레임(202)을 덮어 보호하는 투명 보호층(203)을 포함하는 이루어지는 것을 특징으로 한다.As shown in FIG. 14, the LED package 1000 having the electrode on which the reflective layer is formed according to the exemplary embodiment of the present invention includes the above-described LED 200, the first electrode 21, and a wire ( And a transparent protective layer 203 covering and protecting the light emitting diode 200 and the lead frame 202 connected to the lead frame 202.

따라서, 상기 리드프레임(202)을 통하여 전류가 제공되면, 발광 다이오드(200)의 발광 구조물에서 광이 방출되고, 이어서 투명 보호층(203)을 통하여 발광된다. 이러한, 발광 다이오드 패키지(1000)는 예시적이며, 본 발명은 기술적 사상은 이에 한정되는 것은 아니다.Therefore, when a current is provided through the lead frame 202, light is emitted from the light emitting structure of the light emitting diode 200, and then emitted through the transparent protective layer 203. Such a light emitting diode package 1000 is exemplary, and the present invention is not limited thereto.

10: 발광구조물 11: 제 1 도전형 반도체층
12: 제 2 도전형 반도체층 13: 활성층
14: 투명 전극층 F: 핑거
21, 71, 91, 111, 131: 제 1 전극 22: 제 2 전극
30, 60, 80, 100, 120, 140: 반사층 40: 기판
K: 각도 100a: 요철면
141: 분말 산란체 200: 발광 다이오드
201: 와이어 202: 리드프레임
203: 투명 보호층 1000: 발광 다이오드 패키지
M: 마스크
10: light emitting structure 11: first conductive semiconductor layer
12: second conductive semiconductor layer 13: active layer
14: transparent electrode layer F: finger
21, 71, 91, 111, and 131: first electrode 22: second electrode
30, 60, 80, 100, 120, 140: reflective layer 40: substrate
K: angle 100a: uneven surface
141: powder scatterer 200: light emitting diode
201: wire 202: leadframe
203: transparent protective layer 1000: light emitting diode package
M: mask

Claims (10)

제 1 도전형 반도체층, 활성층, 제 2 도전형 반도체층을 포함하는 발광구조물;
상기 제 1 도전형 반도체층에 전기적으로 연결되고, 상기 활성층에서 발생된 광을 반사할 수 있도록 측면에 반사층이 형성되는 제 1 전극; 및
상기 제 2 도전형 반도체층에 전기적으로 연결되는 제 2 전극;
을 포함하는 것을 특징으로 하는 반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드.
A light emitting structure including a first conductive semiconductor layer, an active layer, and a second conductive semiconductor layer;
A first electrode electrically connected to the first conductivity type semiconductor layer and having a reflective layer formed on a side thereof to reflect light generated from the active layer; And
A second electrode electrically connected to the second conductivity type semiconductor layer;
A light emitting diode having an electrode with a reflective layer formed thereon comprising a.
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 전극은, 전체적으로 원기둥 형상, 사각 기둥 형상 또는 다각 기둥 형상이고, 상기 반사층은 상기 제 1 전극의 외경면에 형성되는 것을 특징으로 하는 반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드.
The method of claim 1,
And the first electrode is generally cylindrical, square or polygonal in shape, and the reflective layer is formed on an outer diameter surface of the first electrode.
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 전극의 반사층은, 반사율이 우수한 유전체, 은(Ag), 백금(Pt), 알루미늄(Al), 이들의 합금, 은(Ag)계 산화물(Ag-O), APC 합금(Ag, Pd, Cu를 포함하는 합금), 주석(Sn), 텅스텐(W), 코발트(Co), 마그네슘(Mg), 아연(Zn), 크롬(Cr), 실리콘, 로듐(Rh), 팔라듐(Pd), 니켈(Ni), 루테늄(Ru), 이리듐(Ir), 티타늄(Ti) 및 이들의 조합 중 어느 하나 이상을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드.
The method of claim 1,
The reflective layer of the first electrode is a dielectric having excellent reflectivity, silver (Ag), platinum (Pt), aluminum (Al), alloys thereof, silver (Ag) oxides (Ag-O), APC alloys (Ag, Pd , Alloy containing Cu), tin (Sn), tungsten (W), cobalt (Co), magnesium (Mg), zinc (Zn), chromium (Cr), silicon, rhodium (Rh), palladium (Pd), A light emitting diode having an electrode with a reflective layer, comprising at least one of nickel (Ni), ruthenium (Ru), iridium (Ir), titanium (Ti), and combinations thereof.
제 1 항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1 전극의 반사층은, 상기 활성층에서 발생되어 측방향으로 방출되는 측광을 상방으로 반사시킬 수 있도록 소정 각도로 경사지게 형성되는 것을 특징으로 하는 반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드.
4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The reflective layer of the first electrode is a light emitting diode having an electrode with a reflective layer, characterized in that formed to be inclined at a predetermined angle so as to reflect upwardly the photometry generated in the active layer and emitted laterally.
제 1 항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1 전극은, 상기 제 1 도전형 반도체층의 메사 식각된 일부분에 설치되고,
상기 제 1 전극의 반사층은, 상기 제 1 도전형 반도체층의 메사 식각된 일부분을 덮어 연장되는 것을 특징으로 하는 반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드.
4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The first electrode is provided on a mesa etched portion of the first conductivity type semiconductor layer,
The reflective layer of the first electrode, the light emitting diode having an electrode with a reflective layer, characterized in that extending to cover the mesa-etched portion of the first conductive semiconductor layer.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1 전극의 반사층은, 산란을 유도하도록 요철면이 형성되는 것을 특징으로 하는 반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드.
The method according to any one of claims 1 to 3,
The reflective layer of the first electrode is a light emitting diode having an electrode with a reflective layer, characterized in that the concave-convex surface is formed to induce scattering.
제 1 항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1 전극의 반사층은, 분산 브래그 반사기(distributed Bragg reflector, DBR)를 포함하는 것을 특징으로 하는 반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드.
4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The reflective layer of the first electrode, the light emitting diode having an electrode with a reflective layer, characterized in that it comprises a distributed Bragg reflector (DBR).
제 1 항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1 전극의 반사층은, 광을 산란시키는 분말 산란체를 포함하는 것을 특징으로 하는 반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드.
4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The reflective layer of the first electrode includes a powder scatterer for scattering light, wherein the light emitting diode having an electrode with a reflective layer formed thereon.
제 1 도전형 반도체층, 활성층, 제 2 도전형 반도체층이 적층된 발광구조물; 및 상기 제 1 도전형 반도체층에 전기적으로 연결되고, 상기 활성층에서 발생된 광을 반사할 수 있도록 측면에 반사층이 형성되는 제 1 전극;을 포함하는 발광 다이오드;
상기 제 1 전극과 와이어로 연결되는 리드프레임; 및
상기 발광 다이오드와 리드프레임을 덮어 보호하는 투명 보호층;
을 포함하는 것을 특징으로 하는 반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드 패키지.
A light emitting structure in which a first conductive semiconductor layer, an active layer, and a second conductive semiconductor layer are stacked; And a first electrode electrically connected to the first conductivity type semiconductor layer and having a reflective layer formed on a side thereof to reflect light generated from the active layer.
A lead frame connected to the first electrode by a wire; And
A transparent protective layer covering and protecting the light emitting diode and the lead frame;
The light emitting diode package having an electrode with a reflective layer, characterized in that it comprises a.
제 1 도전형 반도체층, 활성층, 제 2 도전형 반도체층이 순차적으로 적층된 발광구조물을 형성하고, 상기 제 1 도전형 반도체층에 제 1 전극을 형성하는 단계;
상기 제 1 전극만 노출되도록 제 1 전극 주위에 마스크를 형성하는 단계;
노출된 제 1 전극에 반사층을 형성하는 단계; 및
와이어 본딩면이 형성되도록 상기 반사층의 일부를 제거하는 단계;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 반사층이 형성된 전극을 갖는 발광 다이오드 제작 방법.
Forming a light emitting structure in which a first conductive semiconductor layer, an active layer, and a second conductive semiconductor layer are sequentially stacked, and forming a first electrode on the first conductive semiconductor layer;
Forming a mask around the first electrode to expose only the first electrode;
Forming a reflective layer on the exposed first electrode; And
Removing a portion of the reflective layer to form a wire bonding surface;
Light emitting diode manufacturing method having an electrode with a reflective layer formed, comprising a.
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