KR20120071960A - 광학 접촉 결합을 이용한 금속 및 글라스 접합 방법, 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법, 및 상기 제조 방법에 의해 만들어진 표시 장치 - Google Patents
광학 접촉 결합을 이용한 금속 및 글라스 접합 방법, 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법, 및 상기 제조 방법에 의해 만들어진 표시 장치 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명의 일 측면은, 금속 기판의 일면에 광학 접촉 결합(optical contact bonding) 매개물을 증착하는 단계; 및 광학 접촉 결합을 이용하여, 상기 광학 접촉 결합 매개물이 형성된 금속 기판과 글라스 기판을 접합하는 단계;를 포함하는 금속 및 글라스 접합 방법을 제공한다.
Description
본 발명은 광학 접촉 결합(optical contact bonding)을 이용한 금속 및 글라스 접합 방법, 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법, 및 상기 제조 방법에 의해 만들어진 표시 장치에 관한 것이다.
금속과 글라스와 같은 이형 물질은 에폭시(epoxy)나 프릿(frit) 등과 같은 접착제를 일면에 도포한 후, 접착제를 가열 또는 용융함으로써 접합된다.
이와 같이 접착제를 사용하여 금속과 글라스를 접합할 경우, 진공이나 극한의 환경에서 접착제의 결합력이 떨어지거나, 금속과 글라스의 열팽창 계수의 차이로 인하여 접합 부위가 떨어져 새거나, 접착제의 아웃 개싱(out gassing)에 의한 제품 불량이 증가하여 수율이 떨어지는 문제가 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제 및 그 밖의 문제를 해결하기 위하여, 기존의 접착제를 사용하지 않고 광학 접촉 결합에 의해 금속과 글라스를 접합할 수 있는 접합 방법, 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법, 및 상기 제조 방법에 의해 만들어진 표시 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 금속 기판의 일면에 광학 접촉 결합(optical contact bonding) 매개물을 증착하는 단계; 및 광학 접촉 결합을 이용하여, 상기 광학 접촉 결합 매개물이 형성된 금속 기판과 글라스 기판을 접합하는 단계;를 포함하는 금속 및 글라스 접합 방법을 제공한다.
본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 금속 기판의 일면에 실리콘 옥사이드를 증착하여 상기 광학 접촉 결합 매개물을 형성할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 금속 기판과 상기 글라스 기판의 접합 단계는, 상기 광학 접촉 결합 매개물을 가열하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 광학 접촉 결합 매개물을 가열하는 단계는, 온도 상승 후 일정 시간 상승된 온도를 유지하고, 온도 상승 시간보다 더 빨리 온도가 하강하는 프로파일로 진행될 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 광학 접촉 결합 매개물을 가열하는 동안 상기 금속 기판 및 상기 글라스 기판에 하중(weighting)을 가하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 금속 기판과 상기 글라스 기판을 접합하기 전, 상기 금속 기판과 상기 글라스 기판의 상기 광학 접촉 결합 매개물에 의해 접합되는 영역을 세정하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 금속 기판과 상기 글라스 기판을 접합하기 전, 상기 금속 기판과 상기 글라스 기판의 상기 광학 접촉 결합 매개물에 의해 접합되는 영역을 연마하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 의하면, 글라스 기판의 일면에 표시 소자를 형성하는 단계; 금속 기판의 일면에 광학 접촉 결합 매개물을 증착하는 단계; 및 광학 접촉 결합을 이용하여, 상기 광학 접촉 결합 매개물이 상기 글라스 기판의 표시 소자를 밀봉하도록 상기 금속 기판과 상기 글라스 기판을 접합하는 단계;를 포함하는 표시 장치의 제조 방법을 제공한다.
본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 금속 기판의 상기 표시 소자를 향하는 일면에 반사층을 코팅하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 측면에 의하면, 표시 소자가 형성된 글라스 기판; 및 상기 표시 소자를 둘러싸는 위치에 광학 접촉 결합 매개물이 형성되고 상기 광학 접촉 매개물로 상기 글라스 기판에 접합하는 금속 기판;을 포함하는 표시 장치를 제공한다.
본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 광학 접촉 결합 매개물은 실리콘 옥사이드를 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 금속 기판 및 상기 글라스 기판의 상기 광학 접촉 결합 매개물에 의해 결합되는 영역의 평탄도(flatness)는 기준 파장(λ) 의 0.1λ이상 0.25λ이하일 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 광학 접촉 결합 매개물에 의해 결합되는 상기 금속 기판과 상기 글라스 기판의 평탄도의 합은 0λ일 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 금속 기판 및 상기 글라스 기판의 표면 거칠기(surface roughness)는 제곱평균거칠기(root-mean-square roughness, RMS value)가 1Å 이상 10Å 이하 또는, 최대높이거칠기(maximum peak-to-valley roughness)가 100Å 이상 500Å 이하일 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 금속 기판 및 상기 글라스 기판의 표면 정도(scratch and dig)는 40 이상 60 이하일 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 표시 소자는 유기 발광 소자일 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 유기 발광 소자는 상기 글라스 기판으로부터 순서대로 제1전극, 발광층, 및 제2전극을 구비하고, 상기 발광층에서 방출된 광은 상기 글라스 기판 측으로 발광할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 제1전극은 투명전극으로 구비되고, 상기 제2전극은 반사전극으로 구비될 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 금속 기판의 상기 표시 소자를 향하는 면에 반사층이 더 구비될 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 반사층은 알루미늄 또는 은을 포함할 수 있다.
상기와 같은 본 발명의 실시예들에 따른 광학 접촉 결합을 이용한 금속 및 글라스 접합 방법, 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법, 및 상기 제조 방법에 의해 만들어진 표시 장치에 따르면, 근본적으로 접착제를 사용하지 않고 접합면의 광학 접촉 결합에 의한 분자간 결합력에 의해 금속과 글라스를 결합함으로써 기존의 접착제에 의한 문제를 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 광학 접촉 결합 매개물에 가해지는 온도-시간에 대한 그래프이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 의해 제조된 표시 장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 의해 제조된 표시 장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 의해 제조된 표시 장치의 일부의 개략적인 확대 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 광학 접촉 결합 매개물에 가해지는 온도-시간에 대한 그래프이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 의해 제조된 표시 장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 의해 제조된 표시 장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 의해 제조된 표시 장치의 일부의 개략적인 확대 단면도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 1을 참조하면, 표시 소자(50)가 구비된 글라스 기판(40)에, 광학 접촉 결합(optical contact bonding) 매개물(20)이 형성된 금속 기판(10)을 접합한다.
광학 접촉 결합 매개물(20)은 금속 기판(10)의 일면에 증착된다. 상기 도면에는 상세히 도시되지 않았으나, 상기 증착 공정은 진공 챔버(미도시) 내부에서 진행될 수 있다.
광학 접촉 결합 매개물(20)로는 실리콘 옥사이드(silicon oxide)가 사용될 수 있다. 광학 접촉 결합 매개물(20)을 통해서 이형 물질인 금속 기판(10)과 글라스 기판(40)이 반데르 발스 힘(Van der Waal's force)과 같은 분자간 결합력의 일종인 광학 접촉 결합에 의해 결합된다.
상기 도면에는 광학 접촉 결합 매개물(20)이 상당한 두께를 가지는 것으로 도시되어 있으나, 이는 설명의 편의를 위한 것이다. 즉, 광학 접촉 결합 매개물(20)은 일반적인 접착제와는 달리 거의 두께를 갖지 않는다.
금속 기판(10)은 다양한 재질이 사용될 수 있다. 예를 들어, 금속 기판(10)은 철, 니켈, 알루미늄 및 티타늄을 포함하는 그룹에서 선택된 물질, 또는 이들의 합금이 사용될 수 있다. 본 실시예에서, 금속 기판(10)으로 철/니켈 합금인 인바(invar)를 사용하였다.
금속 기판(10)에 광합 접촉 결합 매개물(20)을 증착 한 후, 금속 기판(10)과 글라스 기판(40)의 접합 시, 광합 접촉 결합을 강화하기 위하여 상기 광학 접촉 결합 매개물(20)을 가열하는 단계를 포함할 수 있다.
도 2는 금속 기판(10)의 일면에 형성된 광학 접촉 결합 매개물(20)에 가해지는 온도-시간에 대한 그래프이다.
상기 그래프를 참조하면, 광학 접촉 결합 매개물(20)은 초기에 소정 온도로 상승한 후, 일정 시간 동안 상승된 온도를 유지하고, 온도 상승 시간보다 더 빨리 온도가 하강하는 온도 프로파일을 갖도록 가열 공정이 진행된다.
여기서, 금속 기판(10)으로는 인바(invar)를 사용하였으며, 광학 접촉 결합 매개물(20)로는 실리콘 옥사이드가 사용되었다. 실리콘 옥사이드를 광학 접촉 결합 매개물(20)로 사용할 경우, 가열 공정에 의해 다공성(porous)의 실리콘 옥사이드는 건조해지고 밀도가 증가한다. 또한, 실리콘 옥사이드의 팽창에 의해 접합면의 표면적이 증가하여 광학 접촉 결합에 의한 금속 기판(10)과 글라스 기판(40) 간의 접합력을 더욱 향상시킬 수 있다.
상기 도면에는 상세히 도시되지 않았으나, 광학 접촉 결합 매개물(20)을 가열하는 동안, 금속 기판(10)과 글라스 기판(40)에 소정의 하중(weighting)을 가할 수 있다. 이는 금속 기판(10)과 글라스 기판(40) 간 간격을 더욱 좁게 유지시키고 가열 공정 동안 금속 기판(10)과 글라스 기판(40)이 서로 분리되는 것을 방지하기 위함이다. 본 실시예에서 광학 접촉 결합 매개물(20)에 가해진 하중은 1.2~2.0kg/㎠이다. 이와 같은 하중의 정도는 광학 접촉 결합 매개물(20)의 종류와 접합되는 기판의 상태에 따라 변경될 수 있다.
광학 접촉 결합에 있어서, 접합력을 결정하는 주요 변수는 광학 접촉 결합 매개물(20)이 형성되는 금속 기판(10)과 글라스 기판(40)의 평탄도(flatness)와 표면 거칠기(surface roughness)와 같은 표면의 상태에 관한 파라미터들(parameters)이다.
표면 상태에 관한 파라미터들 중, 광학 접촉 결합 매개물(20)이 증착되는 영역의 금속 기판(10)과 글라스 기판(40)의 평탄도는(flatness)는 기준 파장(λ)인 632.8nm에서 0.1λ이상 0.25λ이하로 유지하는 것이 바람직하다. 또한, 광학 접촉 결합 매개물(20)에 의해 결합되는 금속 기판(10)과 글라스 기판(40)의 평탄도의 합은 0λ를 유지하는 것이 바람직하다.
한편, 표면 상태에 관한 다른 파라미터로, 금속 기판(10)과 글라스 기판(40)의 표면 거칠기(surface roughness)는 제곱평균거칠기(root-mean-square roughness, RMS value)가 1Å 이상 10Å 이하, 또는 최대높이거칠기(maximum peak-to-valley roughness)가 100Å 이상 500Å 이하인 것이 바람직하다.
물론 상기 평탄도와 표면 거칠기 외에도, 표면의 스크래치(scratch)와 패임(dig)에 관한 파라미터인 표면 정도(scratch and dig)의 경우도 40 이상 60 이하인 것이 바람직하다.
상기와 같이 광학 접촉 결합 매개물(20)이 형성된 금속 기판(10)과 글라스 기판(40)의 표면 상태를 유지하기 위하여, 광학 접촉 결합 매개물(20)을 증착하기 전, 또는 금속 기판(10)과 글라스 기판(40)의 접합 공정 전에 금속 기판(10)과 글라스 기판(40)을 세정하는 공정이 진행될 수 있다. 세정 공정의 경우, 접합면의 무기질이나 유기물을 제거하는 공정을 별도로 진행할 수 있다.
또한, 상기와 같이 광학 접촉 결합 매개물(20)이 형성된 금속 기판(10)과 글라스 기판(40)의 표면 상태를 유지하기 위하여, 광학 접촉 결합 매개물(20)을 증착하기 전, 또는 금속 기판(10)과 글라스 기판(40)의 접합 공정 전에 금속 기판(10)과 글라스 기판(40)을 연마하는 공정이 진행될 수 있다. 연마 공정으로는 기계적 연마와 화학적 연마 어느 것이나 사용될 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 의해 제조된 표시 장치를 개략적으로 도시한 단면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 의해 제조된 표시 장치를 개략적으로 도시한 평면도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 의해 제조된 표시 장치의 일부의 개략적인 확대 단면도이다.
상기 도면들을 참조하면, 표시 장치는 표시 소자(50)가 구비된 글라스 기판(40)에 광학 접촉 결합 매개물(20)이 증착된 금속 기판(10)이 접합된다.
글라스 기판(40) 상에 표시 소자(50)는 다양하게 구비될 수 있다. 본 실시예와 같이, 표시 소자(50)가 유기 발광 소자일 경우, 유기 발광 소자는 글라스 기판(40)으로부터 순서대로 제1전극(51), 발광층(52), 제2전극(53)을 구비하고, 발광층(52)에서 방출된 빛은 글라스 기판(40) 측으로 방출되는 전면 발광형으로 구비된다. 금속 기판(10) 외부로는 빛이 방출될 수 없기 때문이다.
상기 도면에는 유기 발광 소자가 능동 구동형으로 도시되어 있으나, 이는 일 예시이며 본 발명은 이에 한정되지 않으며 수동 구동형 소자에 적용되는 것은 물론이다.
도 5를 참조하면, 능동 구동형 유기 발광 소자의 예로서, 글라스 기판(40) 상에 버퍼층(41)이 형성되고, 버퍼층(41) 상에 반도체층(42)이 형성되어 있다. 반도체층(42) 상부에 게이트 절연막(43)이 형성되고, 게이트 절연막(43) 상에 게이트 전극(44)이 구비된다. 게이트 전극(44) 상에 층간 절연막(45)이 형성되고 층간 절연막(45)을 관통하는 비어홀(미도시)을 통하여 소스 및 드레인 전극(46)이 반도체층(42)의 소스 및 드레인 영역(미도시)에 접속한다. 소스 및 드레인 전극(46) 중 일 전극에 제1 전극(51)이 접속하고, 제1전극(51) 상에 발광층(52) 및 제2전극(53)이 형성된다. 제1 전극(51)의 가장자리에는 화소를 정의하는 화소 정의막(54)이 형성된다.
표시 소자(50)로서 유기 발광 소자는 전면 발광형으로 구비되기 때문에, 제1 전극(51)은 투명전극으로 구비되고, 제2전극(53)은 반사전극으로 구비될 수 있다.
제1 전극(51)과 제2 전극(53)에 전압이 인가되어 각각 애노드 전극 또는 캐소드 전극으로 사용될 경우, 제1 전극(51)과 제2 전극(52)으로부터 주입된 전자와 정공(hole)이 발광층(52)에서 결합하면서 여기자(exciton)가 형성되고, 이 여기자에 의해 발광층(52)이 발광함으로써 영상이 구현된다.
발광층(52)은 저분자 또는 고분자 유기물로 구비될 수 있다. 저분자 유기물을 사용할 경우 유기 발광층(52)을 사이에 두고, 홀 주입층(HIL: hole injection layer)(미도시), 홀 수송층(HTL: hole transport layer)(미도시), 전자 수송층(ETL: electron transport layer)(미도시), 전자 주입층(EIL: electron injection layer)(미도시) 등이 단일 혹은 복합의 구조로 적층되어 형성될 수 있으며, 사용 가능한 유기 재료도 구리 프탈로시아닌(CuPc: copper phthalocyanine), N, N-디(나프탈렌-1-일)-N, N'-디페닐-벤지딘 (N, N'-di(naphthalene-1-yl)-N, N'-diphenyl-benzidine: NPB), 트리스-8-하이드록시퀴놀린 알루미늄(tris-8-hydroxyquinoline aluminum)(Alq3) 등을 비롯해 다양하게 적용 가능하다.
고분자 유기물의 경우 발광층(52)으로부터 애노드 전극 측으로 홀 수송층(HTL)(미도시)이 더 구비된 구조를 가질 수 있으며, 이때, 홀 수송층으로 PEDOT를 사용하고, 발광층으로 PPV(Poly-Phenylenevinylene)계 및 폴리플루오렌(Polyfluorene)계 등 고분자 유기물질을 사용할 수 있다.
또한, 본 실시예와 같이 금속 기판(10)의 표시 소자(50)를 향하는 일면에 반사층(30)을 더 형성할 수 있다. 이와 같은 반사층(30)은 알루미늄이나 은을 사용할 수 있다. 상기 반사층(30)은 발광층(52)에서 방출된 빛이 반사 전극인 제2전극(53)에 의해 반사되지 않고 발광층(52)에서 금속 기판(10) 측으로 투과하는 빛을 글라스 기판(40) 측으로 되반사 시킴으로써 표시 장치의 광효율을 더 높일 수 있다.
상술한 본 실시예에 따른 광학 접촉 결합을 이용한 금속 및 글라스 접합 방법, 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법, 및 상기 제조 방법에 의해 만들어진 표시 장치에 따르면, 근본적으로 접착제를 사용하지 않고 접합면의 광학 접촉 결합에 의한 분자간 결합력에 의해 금속과 글라스를 결합함으로써 기존의 접착제에 의한 문제를 방지할 수 있다.
상기 도면들에 도시된 구성요소들은 설명의 편의상 확대 또는 축소되어 표시될 수 있으므로, 도면에 도시된 구성요소들의 크기나 형상에 본 발명이 구속되는 것은 아니며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
10: 금속기판 20: 광학 접촉 결합 매개물
30: 반사층 40: 글라스 기판
50: 표시 소자
30: 반사층 40: 글라스 기판
50: 표시 소자
Claims (20)
- 금속 기판의 일면에 광학 접촉 결합(optical contact bonding) 매개물을 증착하는 단계;
광학 접촉 결합을 이용하여, 상기 광학 접촉 결합 매개물이 형성된 금속 기판과 글라스 기판을 접합하는 단계;를 포함하는 금속 및 글라스 접합 방법. - 제 1 항에 있어서,
상기 금속 기판의 일면에 실리콘 옥사이드를 증착하여 상기 광학 접촉 결합 매개물을 형성하는 금속 및 글라스 접합 방법. - 제 1 항에 있어서,
상기 금속 기판과 상기 글라스 기판의 접합 단계는, 상기 광학 접촉 결합 매개물을 가열하는 단계를 더 포함하는 금속 및 글라스 접합 방법. - 제 3 항에 있어서,
상기 광학 접촉 결합 매개물을 가열하는 단계는, 온도 상승 후 일정 시간 상승된 온도를 유지하고, 온도 상승 시간보다 더 빨리 온도가 하강하는 프로파일로 진행되는 금속 및 글라스 접합 방법. - 제 3 항에 있어서,
상기 광학 접촉 결합 매개물을 가열하는 동안 상기 금속 기판 및 상기 글라스 기판에 하중(weighting)을 가하는 단계를 더 포함하는 금속 및 글라스 접합 방법. - 제 1 항에 있어서,
상기 금속 기판과 상기 글라스 기판을 접합하기 전, 상기 금속 기판과 상기 글라스 기판의 상기 광학 접촉 결합 매개물에 의해 접합되는 영역을 세정하는 단계를 더 포함하는 금속 및 글라스 접합 방법. - 제 1 항에 있어서,
상기 금속 기판과 상기 글라스 기판을 접합하기 전, 상기 금속 기판과 상기 글라스 기판의 상기 광학 접촉 결합 매개물에 의해 접합되는 영역을 연마하는 단계를 더 포함하는 금속 및 글라스 접합 방법. - 글라스 기판의 일면에 표시 소자를 형성하는 단계;
금속 기판의 일면에 광학 접촉 결합 매개물을 증착하는 단계;
광학 접촉 결합을 이용하여, 상기 광학 접촉 결합 매개물이 상기 글라스 기판의 표시 소자를 밀봉하도록 상기 금속 기판과 상기 글라스 기판을 접합하는 단계;를 포함하는 표시 장치의 제조 방법. - 제 8 항에 있어서,
상기 금속 기판의 상기 표시 소자를 향하는 일면에 반사층을 코팅하는 단계를 더 포함하는 표시 장치의 제조 방법. - 표시 소자가 형성된 글라스 기판; 및
상기 표시 소자를 둘러싸는 위치에 광학 접촉 결합 매개물이 형성되고 상기 광학 접촉 매개물로 상기 글라스 기판에 접합하는 금속 기판;을 포함하는 표시 장치. - 제 10 항에 있어서,
상기 광학 접촉 결합 매개물은 실리콘 옥사이드를 포함하는 표시 장치. - 제 10 항에 있어서,
상기 금속 기판 및 상기 글라스 기판의 상기 광학 접촉 결합 매개물에 의해 결합되는 영역의 평탄도(flatness)는 기준 파장(λ)의 0.1λ 이상 0.25λ 이하인 표시 장치. - 제 10 항에 있어서,
상기 광학 접촉 결합 매개물에 의해 결합되는 상기 금속 기판과 상기 글라스 기판의 평탄도의 합은 0λ인 표시 장치. - 제 10 항에 있어서,
상기 금속 기판 및 상기 글라스 기판의 표면 거칠기(surface roughness)는 제곱평균거칠기(root-mean-square roughness, RMS value)가 1Å 이상 10Å 이하 또는, 최대높이거칠기(maximum peak-to-valley roughness)가 100Å 이상 500Å 이하인 표시 장치. - 제 10 항에 있어서,
상기 금속 기판 및 상기 글라스 기판의 표면 정도(scratch and dig)는 40 내지 60인 표시 장치. - 제 10 항에 있어서,
상기 표시 소자는 유기 발광 소자인 표시 장치. - 제 16 항에 있어서,
상기 유기 발광 소자는 상기 글라스 기판으로부터 순서대로 제1전극, 발광층, 및 제2전극을 구비하고, 상기 발광층에서 방출된 광은 상기 글라스 기판 측으로 발광하는 표시 장치. - 제 17 항에 있어서,
상기 제1전극은 투명전극으로 구비되고, 상기 제2전극은 반사전극으로 구비된 표시 장치. - 제 16 항에 있어서,
상기 금속 기판의 상기 표시 소자를 향하는 면에 반사층이 더 구비된 표시 장치. - 제 19 항에 있어서,
상기 반사층은 알루미늄 또는 은을 포함하는 표시 장치.
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