KR20120065050A - Contact device for test and fabrication method thereof - Google Patents

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KR20120065050A KR1020100126359A KR20100126359A KR20120065050A KR 20120065050 A KR20120065050 A KR 20120065050A KR 1020100126359 A KR1020100126359 A KR 1020100126359A KR 20100126359 A KR20100126359 A KR 20100126359A KR 20120065050 A KR20120065050 A KR 20120065050A
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Abstract

PURPOSE: A probe device for inspection and a manufacturing method thereof are provided to easily plate the inside of a barrel since a plating liquid is smoothly circulated by forming a hole on the upper and lower end of the barrel. CONSTITUTION: A probe device(10) for inspection comprises a barrel(20), a tip member(30), a plunger(40), and an elastic member(50). A first hole is formed on the upper end of the barrel. A second hole is formed on the bottom end of the barrel. The first hole and the second hole are communicated. The tip member is fixedly inserted into the first hole of the barrel and electrically connected to the barrel. A probe is formed on the upper end of the tip member and made out of a material with higher intensity than that of the barrel. The plunger is fitted into the second hole. A part of the plunger is arranged inside the barrel and the rest is projected from the second hole of the barrel. The plunger is movable to the top and bottom inside of the barrel. The elastic member is arranged inside the barrel and contacts the plunger. The elastic member causes the plunger to get elastically biased in a direction far from the tip member.

Description

검사용 탐침장치 및 그 검사용 탐침장치의 제조방법{Contact device for test and fabrication method thereof}Inspection probe and method for manufacturing the inspection probe {Contact device for test and fabrication method

본 발명은 검사용 탐침장치 및 그 검사용 탐침장치의 제조방법에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 안정적인 전기적 접속이 가능하고 제조가 간편하며 내구성이 우수한 검사용 탐침장치 및 그 검사용 탐침장치의 제조방법에 대한 것이다.The present invention relates to an inspection probe device and a method for manufacturing the inspection probe device, and more particularly, to a stable electrical connection, easy to manufacture, and excellent in durability, an inspection probe device for producing the inspection probe and its inspection probe. It is about.

일반적으로 반도체의 전기적 특성 검사를 위해서는 반도체와 테스트 장치와의 전기적 연결이 안정적으로 이루어져야 한다. 통상 반도체와 테스트 장치와의 연결을 위한 장치로서 테스트 소켓이 사용된다.In general, in order to inspect the electrical characteristics of a semiconductor, the electrical connection between the semiconductor and the test apparatus should be stable. Usually, a test socket is used as a device for connecting a semiconductor and a test device.

이러한 테스트 소켓의 역할은 반도체 디바이스의 단자와 테스트장치의 패드를 서로 연결시켜 전기적인 신호가 양방향으로 교환 가능하게 하는 것이다. 이를 위하여 테스트 소켓의 내부에 사용되는 접촉수단으로 탐침장치가 사용된다. 이러한 탐침장치는 내부에 스프링이 마련되어 있어서 반도체 디바이스와 테스트 장치와의 연결을 원활하게 하고, 연결시 발생할 수 있는 기계적인 충격을 완충할 수 있어 대부분의 테스트 소켓에 사용되고 있다.The role of the test socket is to connect the terminals of the semiconductor device and the pad of the test apparatus with each other so that electrical signals can be exchanged in both directions. For this purpose, a probe is used as a contact means used inside the test socket. These probes are used in most test sockets because springs are provided in the inside to facilitate the connection between the semiconductor device and the test device and to cushion mechanical shocks that may occur during the connection.

이러한 탐침 장치는 대한민국 공개특허 제10-2010-0034142호 '반도체 패키지 검사용 탐침 장치'에 개시되어 있다. 구체적으로 상기 '반도체 패키지 검사용 탐침 장치'에 의하면 반도체 칩의 접속 단자에 접촉되는 탐침 돌기가 형성된 원통형상의 플런저와, 상기 플런저의 하부가 수용되는 배럴과, 상기 배럴의 내부에 수용되어 상기 플런저에 수직 탄성력을 제공하는 탄성 스프링으로 구성된 반도체 패키지 검사용 탐침 장치에 있어서, 상기 탐침 돌기는, 상기 플런저의 상부에 일정한 각도로 경사진 좌우측 경사부를 통해서 형성되며, 상단부의 중심에는 길이방향으로 평행한 접촉부가 형성되어 있게 된다.Such a probe device is disclosed in Korean Patent Application Publication No. 10-2010-0034142 'Semi-conductor package inspection probe device'. Specifically, according to the 'semiconductor package inspection probe device', a cylindrical plunger having a probe protrusion in contact with a connection terminal of a semiconductor chip, a barrel in which a lower portion of the plunger is accommodated, and accommodated in the barrel are disposed in the plunger. In the probe for testing a semiconductor package consisting of an elastic spring that provides a vertical elastic force, the probe projection is formed through the left and right inclined portion inclined at an angle to the upper portion of the plunger, the contact portion parallel to the longitudinal direction in the center of the upper end Will be formed.

이러한 종래기술에 의한 탐침 장치는 다음과 같은 문제점이 있다.The probe device according to the prior art has the following problems.

첫째, 상기 배럴 내에는 상하방향으로 슬라이드 이동하는 플런저와 하부 플런저가 배치되어 있고 상기 플런저와 하부 플런저가 슬라이드 이동을 하는 과정에서 상기 배럴 내의 내주면과 접촉하면서 상기 플런저, 하부 플런저 및 배럴간의 전기적인 접속상태를 이루게 한다.First, in the barrel, a plunger and a lower plunger which slide up and down are disposed, and the electrical connection between the plunger, the lower plunger and the barrel is in contact with the inner circumferential surface of the barrel during the slide movement of the plunger and the lower plunger. To achieve state.

그러나, 이 과정에서 상기 플런저와 하부 플런저는 항상 슬라이드 이동하도록 설계되어 있어서 확실한 배럴과의 접촉을 보장하지 못한다는 문제가 있다. 즉, 접촉이 확실하게 이루어지지 못하고 접촉이 불안정해질 수 있는 문제가 있는 것이다. 또한 2개의 플런저가 항상 슬라이드 이동하도록 배치되어 있어서 플런저와 배럴의 내주면 사이에 발생할 불연속적인 접촉면이 증가되고 이에 따라서 검사의 신뢰성을 담보하기 어렵다는 문제점이 있다.However, there is a problem in this process that the plunger and the lower plunger are designed to slide at all times and thus do not guarantee reliable contact with the barrel. That is, there is a problem that the contact is not made surely, the contact may be unstable. In addition, since two plungers are arranged to slide at all times, there is a problem in that a discontinuous contact surface generated between the plunger and the inner circumferential surface of the barrel is increased, thereby making it difficult to secure the reliability of the inspection.

둘째, 상부에 배치된 플런저와 배럴의 사이에는 상기 상부에 배치된 플런저가 슬라이드 이동가능하도록 간극이 형성되어 있는데, 이 간격을 통해서 피검사 디바이스의 단자로부터 떨어지는 이물질이 상기 배럴의 내부에 삽입될 염려가 있다. 이와 같이 배럴의 내부에 이물질이 삽입되는 경우에는 플런저와 배럴간의 접촉에 영향을 미쳐서 좋은 접촉 상태를 이루지 못하게 하는 원인이 된다.Secondly, a gap is formed between the plunger disposed at the top and the barrel so that the plunger disposed at the upper part can be slidably moved. This gap may cause foreign substances falling from the terminals of the device under test to be inserted into the barrel. There is. As such, when foreign matter is inserted into the barrel, it may affect the contact between the plunger and the barrel, thereby preventing a good contact.

셋째, 플런저는 슬라이드 이동가능한 상태로 놓여있기 때문에, 압축되었다가 복원되는 과정에서 원래위치로 복귀하지 못하고 예상한 위치와는 다소 다른 위치로 복귀될 염려가 있게 되고 이와 같이 원래와 벗어난 위치로 복귀되는 경우에는 피검사 디바이스의 단자와의 접촉이 이루어지지 않게 될 염려가 있게 된다는 문제점이 있다.Third, since the plunger is in a slide-movable state, it may not return to its original position in the process of being compressed and restored, and may return to a position slightly different from the expected position. In this case, there is a problem that the contact with the terminal of the device under test may not be made.

이러한 문제점을 극복하고자, 배럴과 상부에 배치된 플런저를 일체화한 탐침 장치가 연구되오고 있으며, 이는 도 1 및 2에 도시되어 있다.In order to overcome this problem, a probe device integrating a barrel and a plunger disposed thereon has been studied, which is shown in FIGS. 1 and 2.

이러한 탐침장치(100)는, 원통형상에서 상단이 막혀있는 구조를 가진 배럴(110)과, 상기 배럴(110)의 내부에 배치되는 스프링(130)과, 배럴(110)의 하부에서 슬라이드 이동하며 상기 스프링(130)에 의하여 탄력지지되는 하부 플런저(120)로 이루어진다. 상기 배럴의 상부(111)에는 다수의 탐침(111a)이 마련되어 있게 된다. 한편, 배럴의 측면에는 도금액의 순환을 원활하도록 하기 위한 관통공(110a)이 형성된다.The probe device 100 is a barrel 110 having a structure in which the upper end is blocked in a cylindrical shape, a spring 130 disposed inside the barrel 110, the slide movement in the lower portion of the barrel 110 The lower plunger 120 is elastically supported by the spring 130. A plurality of probes 111a are provided at the upper portion 111 of the barrel. On the other hand, the through hole (110a) is formed on the side of the barrel to facilitate the circulation of the plating liquid.

이러한 도 1 및 2에 따른 탐침장치는 상술한 문제점을 극복된다. 즉, 하부플런저만이 개시되어 있으므로 2개의 플런저가 설치된 경우에 비하여 접촉성능이 우수하고, 상부에 별도의 슬라이드 이동하는 플런저가 마련되어 있지 않고 막힌 상태를 유지하고 있기 때문에 외부의 이물질이 배럴 내부로 유입될 염려가 없고, 플런저가 슬라이드 이동하지 않기 때문에 그로 인한 단점이 해결될 수 있다.The probe according to FIGS. 1 and 2 overcomes the above problems. That is, since only the lower plunger is disclosed, the contact performance is better than when the two plungers are installed, and since there is no separate slide moving plunger at the top and the blockage state is kept, external foreign matter flows into the barrel. There is no fear, and the disadvantages can be solved because the plunger does not slide.

그러나 도 1 및 2에 개시된 탐침장치도 다음과 같은 문제점이 있다.However, the probes disclosed in FIGS. 1 and 2 also have the following problems.

먼저, 상측에 배치된 플런저를 배럴과 일체형으로 제작하기 때문에, 플런저의 상부에 배치된 탐침의 강도가 낮을 수 밖에 없다. 즉, 배럴은 기본적으로 기계적인 드릴링의 가공을 수행해야 하기 때문에, 강도면에서 다소 낮은 Be-Cu 등의 소재를 사용해야 하는데, 이와 함께 탐침부의 강도도 낮을 수 밖에 없다. 이는 결국 탐침부의 첨예도를 낮게 하고 반복적인 검사과정에서 쉽게 마모될 수 있도록 하며, 피검사 디바이스의 가압력이 낮은 경우에는 전기적인 접속 특성이 낮아질 수 있다는 문제점이 있다.First, since the plunger disposed on the upper side is manufactured integrally with the barrel, the strength of the probe disposed on the upper portion of the plunger is inevitably low. In other words, since the barrel basically has to perform mechanical drilling, it is necessary to use a material such as Be-Cu which is somewhat lower in strength, but the strength of the probe is inevitably low. This, in turn, lowers the sharpness of the probe and makes it easy to wear in a repetitive inspection process, and there is a problem that the electrical connection characteristics may be lowered when the pressing force of the device under test is low.

또한, 도 1 및 2에 개시된 배럴의 측면에는 도금액의 순환을 위한 관통홀이 형성되게 된다. 이러한 관통홀은 도금액이 그 배럴을 통하여 순환이 원활하게 하는 한편, 이에 따라서 배럴 내부에 도금층이 잘 형성되도록 하는 것이다. 이러한 이와 같은 측면의 가공은 그 비용이 많이 들고, 이에 따라서 가공 비용이 전체적으로 상승한다는 문제점이 있다. 또한, 측면에 구멍이 형성되어 있으므로 전체적인 구조의 안정성을 저해한다는 문제도 있다.In addition, a through hole for circulation of the plating liquid is formed on the side surface of the barrel disclosed in FIGS. 1 and 2. Such a through hole allows the plating liquid to circulate smoothly through the barrel, and accordingly, a plating layer is well formed in the barrel. This aspect of the machining is expensive and there is a problem that the overall machining costs accordingly increase. Moreover, since the hole is formed in the side surface, there also exists a problem of inhibiting stability of the whole structure.

또한, 스프링의 삽입공간이 작아서 스프링 반력 증가에 한계가 있어 일반적으로 수명이 짧다는 문제도 있게 되는 것이다.In addition, the spring insertion space is small, there is a limit to increase the spring reaction force is also a problem that the life is short.

본 발명은 상술한 문제점을 극복하기 위하여 창출된 것으로서, 상세하게는 전기적인 접속력이 우수하고 외부의 이물질이 유입되기 어려우면 수명의 장기화를 달성할 수 있는 검사용 탐침 장치 및 그 검사용 탐침 장치의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention was created in order to overcome the above-mentioned problems, and in detail, an inspection probe device and an inspection probe device capable of achieving a prolongation of life when the electrical connection power is excellent and foreign substances are difficult to enter. An object of the present invention is to provide a manufacturing method.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 탐침장치는,Inspection probe device of the present invention for achieving the above object,

피검사용 단자와 검사용 패드의 사이에 배치되어 단자와 패드의 전기적 연결을 수행하는 검사용 탐침 장치에 있어서,An inspection probe device disposed between an inspection terminal and an inspection pad to perform electrical connection between the terminal and the pad,

상단에 제1구멍이 형성되고 하단에 제2구멍이 형성되고 상기 제1구멍과 제2구멍을 연통하는 연결구멍이 형성되어 있고 상기 제1구멍, 제2구멍 및 연결구멍은 동축선상에 배치되는 배럴; A first hole is formed at the upper end, a second hole is formed at the lower end, and a connection hole is formed to communicate the first hole and the second hole, and the first hole, the second hole, and the connection hole are disposed on the coaxial line. Barrel;

상기 배럴의 제1구멍에 끼워져 고정결합되어 상기 배럴과 전기적으로 연결상태에 있고, 상단에 탐침이 형성되어 있으며 상기 배럴보다 강도가 높은 소재로 이루어지는 팁부재;A tip member inserted into and fixed to the first hole of the barrel, the tip member being electrically connected to the barrel, having a probe formed at an upper end thereof, and having a higher strength than the barrel;

상기 제2구멍에 끼워져 삽입되되 일부는 상기 배럴의 내부에 배치되고 나머지 일부는 배럴의 제2구멍으로부터 돌출되어 있고 상기 배럴의 내부에서 상하방향으로 이동가능한 플런저; 및A plunger inserted into the second hole, a part of which is disposed inside the barrel and a part of which protrudes from the second hole of the barrel and which is movable up and down in the barrel; And

상기 배럴의 내부에 배치되며 상기 플런저와 접촉하여 상기 플런저를 상기 팁부재로부터 멀어지는 방향으로 탄성바이어스시키는 탄성부재를 포함한다.And an elastic member disposed inside the barrel to elastically bias the plunger in a direction away from the tip member in contact with the plunger.

상기 검사용 탐침장치에서,In the inspection probe device,

상기 제1구멍의 하단에는 상기 팁부재가 안착될 수 있도록 상기 배럴의 내주면으로부터 돌출되는 걸림부가 형성되어 있는 것이 바람직하다.Preferably, the lower end of the first hole is provided with a locking portion protruding from the inner circumferential surface of the barrel so that the tip member can be seated.

상기 검사용 탐침장치에서,In the inspection probe device,

상기 걸림부에 의하여 이루어지는 배럴의 내경은 상기 팁부재의 하단의 외경보다 작은 것이 바람직하다.The inner diameter of the barrel formed by the locking portion is preferably smaller than the outer diameter of the lower end of the tip member.

상기 검사용 탐침장치에서,In the inspection probe device,

상기 팁부재는,The tip member,

기둥형태로 이루어지되, 상단에는 상기 탐침이 형성되어 있고 하단에는 외측으로 돌출되는 확장부가 형성되는 것이 바람직하다.It is preferably made of a pillar shape, the probe is formed at the top and the extension is formed to protrude outward.

상기 검사용 탐침장치에서,In the inspection probe device,

상기 배럴은,The barrel,

내부에 상기 제1구멍이 형성되는 상측부;An upper portion having the first hole formed therein;

상기 상측부보다 큰 외경을 가지며 내부에 상기 탄성부재가 삽입되는 중간부;An intermediate part having an outer diameter greater than the upper part and having the elastic member inserted therein;

상기 하단이 내측으로 오무려져 있는 하측부; 및A lower portion of which the lower end is recessed inwardly; And

상기 상측부와 상기 중간부를 연결하며 하측으로 갈수록 직경이 증가되는 경사부를 포함하는 것이 바람직하다.It is preferable to include an inclined portion connecting the upper portion and the intermediate portion and the diameter increases toward the lower side.

상기 검사용 탐침장치에서,In the inspection probe device,

상기 탄성부재는 그 상단이 상기 경사부와 접촉되어 있는 것이 바람직하다.It is preferable that the upper end of the elastic member is in contact with the inclined portion.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 탐침장치의 제조방법은,The manufacturing method of the inspection probe device of the present invention for achieving the above object,

봉재에 제1구멍, 제2구멍 및 연결구멍을 형성하는 배럴 형성단계; A barrel forming step of forming a first hole, a second hole, and a connecting hole in the bar;

상기 배럴의 내부를 도금시키는 도금단계;A plating step of plating the inside of the barrel;

팁부재를 상기 제1구멍에 삽입한 상태에서 배럴을 코킹하여 상기 팁부재가 상기 배럴에 고정되도록 하는 팁부재 부착단계;A tip member attaching step of caulking the barrel while the tip member is inserted into the first hole to fix the tip member to the barrel;

상기 배럴의 내부에 탄성부재를 삽입하는 삽입단계;Inserting an elastic member into the barrel;

상기 플런저를 상기 제2구멍을 통하여 삽입한 후에 배럴의 하단을 오무려서 상기 플런저가 상기 배럴 내에 유지되도록 하는 배럴 장착단계;를 포함하는 것이 바람직하다.And a barrel mounting step of closing the bottom of the barrel after inserting the plunger through the second hole to maintain the plunger in the barrel.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 탐침장치의 제조방법은, 파이프에 제1구멍, 제2구멍 및 연결구멍을 형성하는 배럴 형성단계; A method of manufacturing the inspection probe device of the present invention for achieving the above object, the barrel forming step of forming a first hole, a second hole and a connecting hole in the pipe;

상기 배럴의 내부를 도금시키는 도금단계;A plating step of plating the inside of the barrel;

팁부재를 상기 제1구멍에 삽입한 상태에서 배럴을 코킹하여 상기 팁부재가 상기 배럴에 고정되도록 하는 팁부재 부착단계;A tip member attaching step of caulking the barrel while the tip member is inserted into the first hole to fix the tip member to the barrel;

상기 배럴의 내부에 탄성부재를 삽입하는 삽입단계;Inserting an elastic member into the barrel;

상기 플런저를 상기 제2구멍을 통하여 삽입한 후에 배럴의 하단을 오무려서 상기 플런저가 상기 배럴 내에 유지되도록 하는 배럴 장착단계;를 포함하는 것이 바람직하다.And a barrel mounting step of closing the bottom of the barrel after inserting the plunger through the second hole to maintain the plunger in the barrel.

본 발명에 따른 탐침 장치는, 배럴의 상하단에 구멍이 형성되어 있어 도금액의 순환이 원활하여 쉽게 배럴 내부가 쉽게 도금될 수 있다는 장점이 있다.The probe device according to the present invention has an advantage in that holes are formed in the upper and lower ends of the barrel so that the plating liquid can be easily circulated and the inside of the barrel can be easily plated.

또한, 본 발명에 따른 탐침 장치는, 배럴에 비하여 강도가 높은 별도의 팁부재를 배럴에 고정결합함에 따라서 전체적인 배럴의 수명을 증가시키고 검사의 전체적인 신뢰성을 향상시킬 수 있다.In addition, the probe device according to the present invention can increase the life of the overall barrel and improve the overall reliability of the inspection by fixing a separate tip member having a higher strength than the barrel to the barrel.

또한, 본 발명에 따른 탐침 장치는 외부의 이물질 등이 배럴 내부에 삽입되는 것이 방지되어 전체적인 탐침 장치의 수명을 증대시킬 수 있으며 접속성능을 향상시킬 수 있다는 장점이 있다.In addition, the probe device according to the present invention is prevented from being inserted into the barrel of the foreign matter, etc. can increase the life of the overall probe device, there is an advantage that can improve the connection performance.

도 1은 종래기술에 따른 검사용 탐침장치를 나타내는 도면.
도 2는 도 1의 단면도.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 검사용 탐침장치를 나타내는 도면.
도 4는 도 3의 제작모습을 개략적으로 나타내는 도면.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사용 탐침장치를 제작하는 모습을 나타내는 도면.1 is a view showing the inspection probe device according to the prior art.
2 is a sectional view of Fig. 1;
3 is a view showing the inspection probe device according to a preferred embodiment of the present invention.
Figure 4 is a view schematically showing the production of Figure 3;
5 is a view showing a state of manufacturing a test probe device according to another embodiment of the present invention.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참고로 하면서 상세하게 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 검사용 탐침장치(10)는 테스트 소켓용 하우징(미도시)의 내부에 삽입되어 배치된다. 단일의 검사용 탐침장치(10)가 설치되거나 다수의 검사용 탐침장치(10)가 설치될 수 있다. 이러한 테스트 소켓용 하우징은 피검사용 디바이스와 검사장치의 사이에 설치되며 상기 탐침장치(10)는 그 상단이 피검사용 디바이스의 단자(미도시)와 접촉되고, 하단이 검사장치의 패드(미도시)와 접촉된다.The inspection probe device 10 according to the present invention is inserted into and disposed inside a housing for a test socket (not shown). A single inspection probe device 10 may be installed or multiple inspection probe devices 10 may be installed. The test socket housing is installed between the device under test and the test apparatus, and the probe device 10 has an upper end contacting a terminal (not shown) of the device under test, and a lower end pad of the test apparatus (not shown). Contact with

이러한 검사용 탐침장치(10)는 배럴(20), 팁부재(30), 플런저(40) 및 탄성부재(50)로 이루어진다. This inspection probe device 10 is composed of a barrel 20, the tip member 30, the plunger 40 and the elastic member 50.

상기 배럴(20)은 전체적으로 통형상으로 이루어지되, 내부에 제1구멍(21a)이 형성되는 상측부(21)와, 상기 상측부(21)보다 큰 외경을 가지며 내부에 탄성부재(50)가 삽입되는 중간부(23), 상기 중간부(23)와 일체로 연결되되 하단이 내측으로 오무려져 있는 하측부(24) 및, 상기 상측부(21)와 상기 중간부(23)를 연결하며 하측으로 갈수록 직경이 증가되는 경사부(22)를 포함한다. The barrel 20 is formed in a tubular shape as a whole, and has an upper portion 21 having a first hole 21a formed therein and an outer diameter larger than that of the upper portion 21, and having an elastic member 50 therein. Inserted into the intermediate portion 23, the lower portion 24 is integrally connected to the intermediate portion 23, the lower end is inwardly, and connects the upper portion 21 and the intermediate portion 23, the lower side It includes an inclined portion 22 is increased in diameter.

상기 하측부(24)에는, 제2구멍(24a)이 형성되며 중간부(23)에는 연결구멍(23a)이 형성되어 있다. 상기 연결구멍(23a)은 상기 제1구멍(21a)과 제2구멍(24a)을 연통하는 것이다. 상기 제1구멍(21a), 제2구멍(24a) 및 상기 연결구멍(23a)은 서로 동축선상에 배치되어 있게 된다.The lower portion 24 has a second hole 24a formed therein, and the intermediate portion 23 has a connection hole 23a formed therein. The connection hole 23a communicates with the first hole 21a and the second hole 24a. The first hole 21a, the second hole 24a and the connecting hole 23a are arranged coaxially with each other.

이러한 배럴(20)의 내부에는 금, 니켈, 은과 같이 전기적 도통성능이 우수한 도금층이 형성될 수 있다.In the barrel 20, a plating layer having excellent electrical conduction performance, such as gold, nickel, and silver, may be formed.

상기 상측부(21)에는 그 하단에 팁부재(30)가 안착될 수 있도록 배럴(20)의 내주면으로부터 돌출되는 걸림부(21b)가 형성된다. 이러한 걸림부(21b)에 의하여 이루어지는 배럴(20)의 내경은 상기 팁부재(30)의 하단의 외경보다 작게 된다. 이에 따라서 상기 팁부재(30)가 상기 배럴(20)의 상측부(21) 내에서 확실하게 안착될 수 있다.The upper portion 21 has a locking portion 21b protruding from the inner circumferential surface of the barrel 20 so that the tip member 30 is seated at the lower end thereof. The inner diameter of the barrel 20 formed by the locking portion 21b is smaller than the outer diameter of the lower end of the tip member 30. Accordingly, the tip member 30 can be reliably seated in the upper portion 21 of the barrel 20.

상기 상측부(21)의 상단은 상기 배럴(20)을 향하여 오무려져 있으며 이는 코킹공정에 의하여 형성된 것이다. 즉, 팁부재(30)를 배럴(20)의 내부에 삽입한 상태에서 상기 코킹공정에 의하여 상기 배럴(20)의 상단을 오무림에 따라서 상기 팁부재(30)가 상기 배럴(20) 내에 확실하게 고정결합될 수 있도록 하는 것이다.The upper end of the upper portion 21 is recessed toward the barrel 20, which is formed by a caulking process. That is, the tip member 30 is secured in the barrel 20 as the tip member 30 is inserted into the barrel 20 by pressing the upper end of the barrel 20 by the caulking process. To be fixedly coupled.

이러한 배럴(20)은, 전기적인 도통성능이 우수한 소재라면 무엇이나 가능하나, Be-Cu 등의 소재를 사용할 수 있다.The barrel 20 may be any material as long as the material has excellent electrical conduction performance, but a material such as Be-Cu may be used.

상기 팁부재(30)는, 배럴(20)의 제1구멍(21a)에 끼워져 고정결합되어 상기 배럴(20)과 전기적으로 연결상태에 있고, 상단에 탐침(31)이 형성되어 있는 것이다. 이러한 팁부재(30)는 배럴(20)보다 강도가 높은 소재가 사용되는 것이 바람직하다. The tip member 30 is inserted into and fixed to the first hole 21a of the barrel 20 to be electrically connected to the barrel 20, and a probe 31 is formed at an upper end thereof. The tip member 30 is preferably a material having a higher strength than the barrel 20.

팁부재(30)는 다양한 방법으로 제조될 수 있으나, MEMS 공정에 의하여 제작되는 것이 가능하다. The tip member 30 may be manufactured by various methods, but may be manufactured by a MEMS process.

구체적으로 MEMS(Microelectromechanical System) 공정이란 다음과 같다. Specifically, the microelectromechanical system (MEMS) process is as follows.

Wet 에칭에 의하여 제작된 팁부재(30)의 끝(또는 끝단의 뾰족한 부분)과 대응되는 홈을 기판에 생성시킨 후에, 상기 기판에 산화막을 증착하고, 포토레지스트(Photo Resist; PR)를 패터닝(patterning)한다. 또한, 이후에 식각된 홈에 Ni-Co 또는 Ni-W 등의 전도성 물질을 도금시켜 다수의 탐침(31)이 형성된 팁부재(30)가 완성된다.After a groove is formed in the substrate corresponding to the tip (or pointed portion of the tip) produced by the wet etching, an oxide film is deposited on the substrate and the photoresist (PR) is patterned ( patterning). In addition, the tip member 30 is formed by plating a conductive material such as Ni-Co or Ni-W on the etched groove afterwards.

이러한 MEMS 공정에 의하여 제작된 팁부재(30)는 기계적인 절삭가공에 의하여 형성된 팁부재(30)에 비하여 정밀하면서도 끝을 뾰족하게 제작할 수 있다. 또한 소형으로도 용이하게 제작할 수 있으며 다수의 탐침(31)을 용이하게 제작할 수 있게 되는 것이다.The tip member 30 manufactured by the MEMS process can be manufactured precisely and pointed more precisely than the tip member 30 formed by mechanical cutting. In addition, it can be easily manufactured even in a small size and will be able to easily produce a plurality of probes (31).

이러한 팁부재(30)는 기둥형태로 이루어지되, 상단에는 탐침(31)이 형성되어 있고 하단에는 외측으로 돌출되는 확장부가 형성되어 있다. 상기 확장부는 상기 제1구멍(21a)에 삽입되는 과정에서 그 배럴(20)의 내주면에 억지끼움을 가능하게 하고, 팁부재(30)와 상측에 배럴(20)과의 이격공간을 형성함에 따라서 상기 배럴(20)을 코킹에 의하여 상기 팁부재(30)에 확실하게 결합할 수 있도록 한다.The tip member 30 is formed in a columnar shape, the upper end of the probe 31 is formed and the lower end is formed with an extension protruding outward. The expansion portion enables interference fit on the inner circumferential surface of the barrel 20 in the process of being inserted into the first hole 21a, and forms a space between the tip member 30 and the barrel 20 on the upper side. The barrel 20 can be securely coupled to the tip member 30 by caulking.

상기 플런저(40)는 상기 제2구멍(24a)에 끼워져 삽입되되 일부는 상기 배럴(20)의 내부에 배치되고 나머지 일부는 배럴(20)의 제2구멍(24a)으로부터 돌출되어 상기 배럴(20)의 내부에서 상하방향으로 슬라이드 가능하게 장착되는 것이다. 이러한 플런저(40)는 종래기술과 유사하므로 구체적인 설명은 생략한다.The plunger 40 is inserted into and inserted into the second hole 24a, a part of which is disposed inside the barrel 20, and a part of the plunger 40 protrudes from the second hole 24a of the barrel 20 to allow the barrel 20 to be inserted into the barrel 20. ) Is slidably mounted in the up and down direction. Since the plunger 40 is similar to the prior art, a detailed description thereof will be omitted.

상기 탄성부재(50)는 상기 배럴(20)의 내부에 배치되며 상기 플런저(40)와 접촉하여 상기 플런저(40)를 상기 팁부재(30)로부터 멀어지는 방향으로 탄성바이어스시키는 것이다. 이러한 탄성부재(50)로는 압축과 팽창이 가능한 것이라면 무엇이나 가능하나, 압축코일 스프링이 사용될 수 있다. 한편, 상기 압축코일 스프링은 필요에 따라서 도전성을 가져야 할 필요가 있으므로 전도성능이 우수한 금속소재가 사용될 수 있다.The elastic member 50 is disposed inside the barrel 20 and is in contact with the plunger 40 to elastically bias the plunger 40 away from the tip member 30. The elastic member 50 may be any one that can be compressed and expanded, but a compression coil spring may be used. On the other hand, since the compression coil spring needs to have conductivity as needed, a metal material having excellent conductivity can be used.

이러한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 검사용 탐침장치(10)는 다음과 같이 제조될 수 있다.Inspection probe device 10 according to a preferred embodiment of the present invention can be manufactured as follows.

봉재에 제1구멍(21a), 제2구멍(24a) 및 연결구멍(23a)을 형성한다. 구체적으로는 봉재에 드릴링 가공을 통하여 제1구멍(21a), 제2구멍(24a) 및 연결구멍(23a)을 형성하게 된다.(배럴 형성단계) The first hole 21a, the second hole 24a and the connecting hole 23a are formed in the bar. Specifically, the first hole 21a, the second hole 24a, and the connecting hole 23a are formed in the rod by drilling. (Barrel forming step)

이후에는 상기 배럴(20)의 내부를 도금시킨다. 구체적으로는 배럴(20)을 도금액 속에 담근 상태에서 상기 배럴(20)을 전기적 또는 화학적으로 도금시키게 된다. 이때 순환되는 도금액은 상기 제1구멍(21a), 연결구멍(23a) 및 제2구멍(24a)을 통하여 순환되면서 상기 배럴(20) 내부가 확실하게 도금될 수 있도록 한다.(도금단계)Thereafter, the inside of the barrel 20 is plated. Specifically, the barrel 20 is electrically or chemically plated while the barrel 20 is immersed in a plating solution. At this time, the circulating plating solution is circulated through the first hole 21a, the connection hole 23a, and the second hole 24a, so that the inside of the barrel 20 can be reliably plated (plating step).

이후에는 팁부재(30)를 상기 제1구멍(21a)에 삽입한 상태에서 배럴(20)을 코킹하여 상기 팁부재(30)가 상기 배럴(20)에 고정될 수 있도록 한다. (팁부재 부착단계)Thereafter, the tip member 30 is caulked in the state where the tip member 30 is inserted into the first hole 21a so that the tip member 30 can be fixed to the barrel 20. (Tip member attachment step)

상기 배럴(20)의 내부에 탄성부재(50)를 삽입한다. 구체적으로는 압축 코일 스프링을 배럴(20)의 내부에 삽입한다.(삽입단계)The elastic member 50 is inserted into the barrel 20. Specifically, the compression coil spring is inserted into the barrel 20. (insertion step)

상기 플런저(40)를 상기 제2구멍(24a)을 통하여 삽입한 후에 배럴(20)의 하단을 오무려서 상기 플런저(40)가 상기 배럴(20) 내에 유지되도록 한다.(배럴 장착단계) After inserting the plunger 40 through the second hole 24a, the lower end of the barrel 20 is pinched to maintain the plunger 40 in the barrel 20. (Barrel mounting step)

또한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 검사용 탐침장치(10)는 다음과 같이 제조될 수 있다. In addition, the inspection probe device 10 according to a preferred embodiment of the present invention can be manufactured as follows.

상술한 제조방법에서는 봉재의 배럴(20)을 드릴링가공에 의하여 제1구멍(21a), 제2구멍(24a) 및 연결구멍(23a)을 형성하는 예를 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 도 5에 개시된 바와 같이 미리 내부에 구멍이 형성되어 있는 파이프(20')의 외주면을 가공하여 가공된 파이프(20'')을 제작하고, 하단을 오무림에 의하여 배럴(20)을 형성하는 것도 가능하다. 구체적으로는 파이프(20')에 제1구멍(21a), 제2구멍(24a) 및 연결구멍(23a)을 형성한다.(배럴(20) 형성단계)In the above-described manufacturing method, an example in which the first barrel 21a, the second hole 24a, and the connecting hole 23a is formed by drilling the barrel 20 of the bar is described, but is not limited thereto. As disclosed in the present invention, it is also possible to fabricate the machined pipe 20 '' by processing the outer circumferential surface of the pipe 20 'having a hole formed therein in advance, and to form the barrel 20 by pressing the lower end. . Specifically, the first hole 21a, the second hole 24a, and the connecting hole 23a are formed in the pipe 20 '(barrel 20 forming step).

이후에는 상기 배럴(20)의 내부를 도금시킨다. 구체적으로는 배럴(20)을 도금액 속에 담근 상태에서 상기 배럴(20)을 전기적 또는 화학적으로 도금시키게 된다. 이때 순환되는 도금액은 상기 제1구멍(21a), 연결구멍(23a) 및 제2구멍(24a)을 통하여 순환되면서 상기 배럴(20) 내부가 확실하게 도금될 수 있도록 한다.(도금단계)Thereafter, the inside of the barrel 20 is plated. Specifically, the barrel 20 is electrically or chemically plated while the barrel 20 is immersed in a plating solution. At this time, the circulating plating solution is circulated through the first hole 21a, the connection hole 23a, and the second hole 24a, so that the inside of the barrel 20 can be reliably plated (plating step).

이후에는 팁부재(30)를 상기 제1구멍(21a)에 삽입한 상태에서 배럴(20)을 코킹하여 상기 팁부재(30)가 상기 배럴(20)에 고정될 수 있도록 한다. (팁부재(30) 부착단계)Thereafter, the tip member 30 is caulked in the state where the tip member 30 is inserted into the first hole 21a so that the tip member 30 can be fixed to the barrel 20. (Tip member 30 attachment step)

상기 배럴(20)의 내부에 탄성부재(50)를 삽입한다. 구체적으로는 압축 코일 스프링을 배럴(20)의 내부에 삽입한다.(삽입단계)The elastic member 50 is inserted into the barrel 20. Specifically, the compression coil spring is inserted into the barrel 20. (insertion step)

상기 플런저(40)를 상기 제2구멍(24a)을 통하여 삽입한 후에 배럴(20)의 하단을 오무려서 상기 플런저(40)가 상기 배럴(20) 내에 유지되도록 한다.(배럴(20) 장착단계) After inserting the plunger 40 through the second hole 24a, the lower end of the barrel 20 is pinched to maintain the plunger 40 in the barrel 20. (Barrel 20 mounting step) )

이상과 같은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 검사용 탐침장치(10)는 다음과 같은 작동한다.Inspection probe device 10 according to a preferred embodiment of the present invention as described above operates as follows.

먼저, 검사용 탐침장치(10)를 하우징에 장착한 상태에서 검사장치에 탑재한다. 이때 검사장치의 패드와 검사용 탐침장치(10)의 플런저(40)가 서로 접촉된 상태를 유지하도록 한다. 이후에는 피검사 디바이스를 하강하면서 그 피검사 디바이스의 단자가 상기 검사용 탐침장치(10)의 팁부재(30)의 표면에 접촉하도록 한다. 한편 피검사 디바이스는 하강하면서 상기 검사용 탐침장치(10)의 탄성부재(50)는 압축되면서 플런저(40) 및 팁부재(30)를 각각 단자와 패드에 밀착되어 확실하게 접촉될 수 있도록 한다.First, the inspection probe device 10 is mounted on the inspection device while the inspection probe device 10 is mounted on the housing. At this time, the pad of the inspection device and the plunger 40 of the inspection probe 10 to maintain the contact state with each other. Thereafter, while the device under test is lowered, the terminal of the device under test is in contact with the surface of the tip member 30 of the test probe 10 for inspection. On the other hand, while the device under test is lowered, the elastic member 50 of the test probe 10 for compression is compressed so that the plunger 40 and the tip member 30 are in close contact with the terminals and the pads, respectively, so that they can be surely contacted.

이와 같은 본 발명에 따른 검사용 탐침장치는, 다음과 같은 효과를 가진다. 첫째, 배럴 내에서 슬라이드 이동하는 단일의 플런저를 가지고 있으므로 접촉력의 저하를 최대한 방지할 수 있다는 효과가 있다.The inspection probe device according to the present invention as described above has the following effects. First, since it has a single plunger that slides in the barrel, there is an effect that the fall of contact force can be prevented as much as possible.

또한, 팁부재가 배럴에 고정설치되어 있고 그 팁부재와 배럴은 서로 확실하게 밀착되어 있으므로 외부의 이물질이 그 배럴의 내부에 유입될 가능성이 적어지게 되고, 또한 팁부재의 위치가 확실하게 유지되어 팁부재와 피검사 디바이스의 단자 간의 접촉이 용이하게 이루어질 수 있다.In addition, since the tip member is fixed to the barrel and the tip member and the barrel are firmly in contact with each other, there is less possibility that foreign matter enters the inside of the barrel. Contact between the tip member and the terminal of the device under test can be easily made.

또한, 배럴의 측면에는 별도의 관통홀이 마련되어 있지 않고 배럴의 양단측에 제1구멍 및 제2구멍이 형성되어 있어 도금액의 순환이 원활할 뿐 아니라, 가공이 용이하다는 장점이 있다.In addition, the side of the barrel is not provided with a separate through hole, and the first and second holes are formed at both ends of the barrel, so that the circulation of the plating liquid is smooth and the processing is easy.

또한, 배럴보다 강도가 높은 팁부재를 사용함에 따라서 빈번한 단자와의 접촉과정에서 쉽게 마모되지 않고 장기간 검사를 수행할 수 있다는 장점이 있다.In addition, the use of the tip member having a higher strength than the barrel has the advantage that it is possible to perform long-term inspection without being easily worn in the process of contact with frequent terminals.

또한, 팁부재가 MEMS 방식에 의하여 제조될 수 있어 미세한 탐침이 다수 형성되고 이에 따라서 적은 가압력에 의해서도 쉽게 단자와 접촉될 수 있고 이에 따라 스프링 설계가 유리하다는 장점이 있다.In addition, since the tip member can be manufactured by the MEMS method, a large number of fine probes are formed, and thus, the terminal member can be easily contacted by a small pressing force, and thus there is an advantage that the spring design is advantageous.

10...검사용 탐침장치 20...배럴
21...상측부 21a...제1구멍
21b...걸림부 22...경사부
23...중간부 23a...연결구멍
24...하측부 24a...제2구멍
30...팁부재 31...탐침
32...확장부 40...플런저
50...탄성부재10 ... inspection probe 20 ... barrel
21.Top 21a ... First hole
21 b.
23 Middle part 23a Connecting hole
24 ... lower part 24a ... 2nd hole
30.Tip member 31 ... Probe
32.Extension 40 ... Plunger
50.Elastic member

Claims (8)

피검사용 단자와 검사용 패드의 사이에 배치되어 단자와 패드의 전기적 연결을 수행하는 검사용 탐침 장치에 있어서,
상단에 제1구멍이 형성되고 하단에 제2구멍이 형성되고 상기 제1구멍과 제2구멍을 연통하는 연결구멍이 형성되어 있고 상기 제1구멍, 제2구멍 및 연결구멍은 동축선상에 배치되는 배럴;
상기 배럴의 제1구멍에 끼워져 고정결합되어 상기 배럴과 전기적으로 연결상태에 있고, 상단에 탐침이 형성되어 있으며 상기 배럴보다 강도가 높은 소재로 이루어지는 팁부재;
상기 제2구멍에 끼워져 삽입되되 일부는 상기 배럴의 내부에 배치되고 나머지 일부는 배럴의 제2구멍으로부터 돌출되어 있고 상기 배럴의 내부에서 상하방향으로 이동가능한 플런저; 및
상기 배럴의 내부에 배치되며 상기 플런저와 접촉하여 상기 플런저를 상기 팁부재로부터 멀어지는 방향으로 탄성바이어스시키는 탄성부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침 장치.An inspection probe device disposed between an inspection terminal and an inspection pad to perform electrical connection between the terminal and the pad,
A first hole is formed at the upper end, a second hole is formed at the lower end, and a connection hole is formed to communicate the first hole and the second hole, and the first hole, the second hole, and the connection hole are disposed on the coaxial line. Barrel;
A tip member inserted into and fixed to the first hole of the barrel, the tip member being electrically connected to the barrel, having a probe formed at an upper end thereof, and having a higher strength than the barrel;
A plunger inserted into the second hole, a part of which is disposed inside the barrel and a part of which protrudes from the second hole of the barrel and which is movable up and down in the barrel; And
And an elastic member disposed inside the barrel to elastically bias the plunger in a direction away from the tip member in contact with the plunger. 제1항에 있어서,
상기 제1구멍의 하단에는 상기 팁부재가 안착될 수 있도록 상기 배럴의 내주면으로부터 돌출되는 걸림부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침장치.The method of claim 1,
And a locking portion protruding from the inner circumferential surface of the barrel so that the tip member can be seated at the lower end of the first hole. 제2항에 있어서,
상기 걸림부에 의하여 이루어지는 배럴의 내경은 상기 팁부재의 하단의 외경보다 작은 것을 특징으로 하는 검사용 탐침장치.The method of claim 2,
The inner diameter of the barrel made by the locking portion is smaller than the outer diameter of the lower end of the tip member for inspection probe. 제1항에 있어서,
상기 팁부재는,
기둥형태로 이루어지되, 상단에는 상기 탐침이 형성되어 있고 하단에는 외측으로 돌출되는 확장부가 형성되는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침장치. The method of claim 1,
The tip member,
It is made in the form of a column, the probe is characterized in that the probe is formed on the top and the bottom is formed an extension protruding outward. 제1항에 있어서,
상기 배럴은,
내부에 상기 제1구멍이 형성되는 상측부;
상기 상측부보다 큰 외경을 가지며 내부에 상기 탄성부재가 삽입되는 중간부;
상기 하단이 내측으로 오무려져 있는 하측부; 및
상기 상측부와 상기 중간부를 연결하며 하측으로 갈수록 직경이 증가되는 경사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침장치.The method of claim 1,
The barrel,
An upper portion having the first hole formed therein;
An intermediate part having an outer diameter greater than the upper part and having the elastic member inserted therein;
A lower portion of which the lower end is recessed inwardly; And
An inspection probe device comprising: an inclined portion connecting the upper portion and the intermediate portion to increase in diameter toward the lower side. 제5항에 있어서,
상기 탄성부재는 그 상단이 상기 경사부와 접촉되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침장치.The method of claim 5,
And the elastic member has an upper end thereof in contact with the inclined portion. 제1항의 검사용 탐침장치의 제조방법으로서,
봉재에 제1구멍, 제2구멍 및 연결구멍을 형성하는 배럴 형성단계;
상기 배럴의 내부를 도금시키는 도금단계;
팁부재를 상기 제1구멍에 삽입한 상태에서 배럴을 코킹하여 상기 팁부재가 상기 배럴에 고정되도록 하는 팁부재 부착단계;
상기 배럴의 내부에 탄성부재를 삽입하는 삽입단계;
상기 플런저를 상기 제2구멍을 통하여 삽입한 후에 배럴의 하단을 오무려서 상기 플런저가 상기 배럴 내에 유지되도록 하는 배럴 장착단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침장치의 제조방법.As a method of manufacturing the inspection probe of claim 1,
A barrel forming step of forming a first hole, a second hole, and a connecting hole in the bar;
A plating step of plating the inside of the barrel;
A tip member attaching step of caulking the barrel while the tip member is inserted into the first hole to fix the tip member to the barrel;
Inserting an elastic member into the barrel;
And a barrel mounting step of holding the plunger in the barrel by pinching the lower end of the barrel after inserting the plunger through the second hole. 제1항의 검사용 탐침장치의 제조방법으로서,
파이프에 제1구멍, 제2구멍 및 연결구멍을 형성하는 배럴 형성단계;
상기 배럴의 내부를 도금시키는 도금단계;
팁부재를 상기 제1구멍에 삽입한 상태에서 배럴을 코킹하여 상기 팁부재가 상기 배럴에 고정되도록 하는 팁부재 부착단계;
상기 배럴의 내부에 탄성부재를 삽입하는 삽입단계;
상기 플런저를 상기 제2구멍을 통하여 삽입한 후에 배럴의 하단을 오무려서 상기 플런저가 상기 배럴 내에 유지되도록 하는 배럴 장착단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 탐침장치의 제조방법.As a method of manufacturing the inspection probe of claim 1,
A barrel forming step of forming a first hole, a second hole, and a connecting hole in the pipe;
A plating step of plating the inside of the barrel;
A tip member attaching step of caulking the barrel while the tip member is inserted into the first hole to fix the tip member to the barrel;
Inserting an elastic member into the barrel;
And a barrel mounting step of holding the plunger in the barrel by pinching the lower end of the barrel after inserting the plunger through the second hole.
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101852867B1 (en) * 2017-09-16 2018-06-07 최병철 Caulking pin manufacturing apparatus for test semiconductor
KR102147699B1 (en) * 2020-04-29 2020-08-26 (주)피티앤케이 Probe pin and manufacturing method thereof
KR102158027B1 (en) * 2019-12-12 2020-09-21 주식회사 오킨스전자 A hollow test pin
KR102202826B1 (en) * 2020-10-27 2021-01-14 (주) 네스텍코리아 Plunger and probe pin using the same
KR20210029667A (en) * 2019-09-06 2021-03-16 야마이치 일렉트로닉스 컴퍼니 리미티드 Contact probe and inspecting socket including the same
KR102228318B1 (en) * 2019-12-26 2021-03-16 주식회사 오킨스전자 Probe pin having outer spring
KR20230060703A (en) * 2021-10-28 2023-05-08 주식회사 메가터치 Probe for test of electronic device

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102473943B1 (en) * 2021-04-01 2022-12-05 (주)티에스이 Pin for test socket and test socket having the same

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005337994A (en) * 2004-05-28 2005-12-08 Sanyu Kogyo Kk Electronic component inspecting probe, and electronic component inspecting splicer provided with same

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101852867B1 (en) * 2017-09-16 2018-06-07 최병철 Caulking pin manufacturing apparatus for test semiconductor
KR20210029667A (en) * 2019-09-06 2021-03-16 야마이치 일렉트로닉스 컴퍼니 리미티드 Contact probe and inspecting socket including the same
KR102158027B1 (en) * 2019-12-12 2020-09-21 주식회사 오킨스전자 A hollow test pin
WO2021118017A1 (en) * 2019-12-12 2021-06-17 주식회사 오킨스전자 Hollow test pin
KR102228318B1 (en) * 2019-12-26 2021-03-16 주식회사 오킨스전자 Probe pin having outer spring
KR102147699B1 (en) * 2020-04-29 2020-08-26 (주)피티앤케이 Probe pin and manufacturing method thereof
KR102202826B1 (en) * 2020-10-27 2021-01-14 (주) 네스텍코리아 Plunger and probe pin using the same
KR20230060703A (en) * 2021-10-28 2023-05-08 주식회사 메가터치 Probe for test of electronic device

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