KR20120009241A - Film type probe apparatus and menufacturing method of the same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A film type probe device and a probe manufacturing method are provided to improve contact performance with the pad of test materials. CONSTITUTION: A probe device comprises a pattern film(210). The pattern film comprises a base film(211), an electrode(212), and a contact terminal(213). The electrode is formed at one end of the base film and is contacted with the pad of the test material. The contact terminal is formed at the other end of the base film and applies inspection signals. The transformation prevention unit prevents the thermal deformation of the electrode.

Description

필름타입의 프로브 장치 및 프로브 제조방법{FILM TYPE PROBE APPARATUS AND MENUFACTURING METHOD OF THE SAME}FILM TYPE PROBE APPARATUS AND MENUFACTURING METHOD OF THE SAME}

본 발명은 필름 타입의 프로브 장치 및 프로브 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 필름의 열변형을 방지하여 전극부의 피치를 일정하게 유지할 수 있는 필름타입의 프로브 장치 및 프로브 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to a film type probe device and a probe manufacturing method, and more particularly, to a film type probe device and a probe manufacturing method capable of maintaining a constant pitch of the electrode portion by preventing thermal deformation of the film.

근래에는 표시장치로서 액정패널이 널리 이용된다. 도 1은 일반적인 액정패널(1)의 구성을 나타낸 것으로서, TFT기판(12)과 칼라필터기판(14)이 구비되며, 가장자리에는 전기적 신호(영상신호, 동기신호, 색상신호 등)가 인가되도록 하는 수십 내지 수 백개의 접속단자가 고밀도로 배치되는 패드(18)가 복수개 형성되는데, 이러한 액정패널의 패드(18)에 구동IC를 부착하기 전에 비쥬얼검사 등 전기적 검사를 수행한다. 미설명부호 '16'은 액티브영역을 표시한 것이다. Recently, liquid crystal panels are widely used as display devices. FIG. 1 shows a configuration of a general liquid crystal panel 1, and includes a TFT substrate 12 and a color filter substrate 14, and an electric signal (video signal, synchronization signal, color signal, etc.) is applied to an edge thereof. A plurality of pads 18 having tens to hundreds of connection terminals are formed at a high density, and electrical inspection such as visual inspection is performed before attaching the driving IC to the pads 18 of the liquid crystal panel. Reference numeral '16' indicates the active area.

이러한 비쥬얼 검사는 다수개의 게이트라인 및 데이터 라인이 연결된 쇼팅바(shorting bar)에 소정의 전압을 인가하여 액정패널에 흑백상태의 화상을 표시하여 게이트라인 및 데이터 라인의 불량 여부를 검사하는 공정이다. The visual inspection is a process of inspecting whether a gate line and a data line are defective by displaying a black and white image on a liquid crystal panel by applying a predetermined voltage to a shorting bar to which a plurality of gate lines and data lines are connected.

여기서 흑백상태의 화상은 쇼팅바에 소정의 전압을 인가하여 구현될 수 있다. 이와 같이 구현된 흑백 화상은 CCD카메라를 통해 도트, 라인, 유니폼 등의 불량 여부를 확인하는데 이용된다. The black and white image may be implemented by applying a predetermined voltage to the shorting bar. The black and white image implemented in this way is used to check whether the dots, lines, uniforms, etc. are defective through the CCD camera.

이와 같은 종래 프로브 장치는 검사신호 발생부(PCB)와, FPC와, 패턴필름과, 탐침핀으로 구성된다. 상기 탐침핀의 양단은 각각 상기 패턴필름의 전극부와, 액정패널의 패드에 전기적으로 접촉하는 구성요소이다. Such a conventional probe device is composed of a test signal generator (PCB), an FPC, a pattern film, and a probe pin. Both ends of the probe pins are components that electrically contact the electrode portions of the pattern film and the pads of the liquid crystal panel, respectively.

그러나 종래의 프로브 장치는 탐침핀의 제작 및 미세피치로의 배열이 어렵다는 문제점이 있다. However, the conventional probe device has a problem in that the production of the probe pin and the arrangement into the fine pitch are difficult.

이러한 문제점을 해결하기 위하여 종래에도 탐침핀 없이 비쥬얼검사하는 필름타입의 프로브장치가 개시되었다. 도 2를 참조하면 종래의 필름타입 프로브장치(1)는 패드와 직접 접촉하는 전극부가 형성된 패턴필름과, 상기 패턴필름에 연결되는 FPC와, 상기 FPC를 통해 검사신호를 인가하는 PCB가 구비된다. In order to solve this problem, a film type probe apparatus for visual inspection without a probe pin has been disclosed. Referring to FIG. 2, the conventional film type probe apparatus 1 includes a pattern film on which an electrode part is in direct contact with a pad, an FPC connected to the pattern film, and a PCB to which an inspection signal is applied through the FPC.

도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 패턴필름(110)은 폴리이미드 재질의 베이스 필름(111)의 일면에 패드(18)와 직접 접촉하는 전극부(112)가 형성되고, 상기 베이스 필름(111)의 이면에는 FPC와 연결되는 접속단자(113)가 형성된다.또한 상기 전극부(112)와 접속단자(113)는 비아홀(h)을 통해 회로패턴(114)에 의해 전기적으로 연결된다. 또한 상기 전극부(112) 및 접속단자(113)가 형성된 후에는 양면에 절연층(115)을 형성한다. Referring to FIGS. 3 and 4, the pattern film 110 is formed with an electrode 112 directly contacting the pad 18 on one surface of the polyimide base film 111, and the base film 111. A connection terminal 113 connected to the FPC is formed on the rear surface of the NPC. In addition, the electrode 112 and the connection terminal 113 are electrically connected to each other by the circuit pattern 114 through the via hole h. In addition, after the electrode part 112 and the connection terminal 113 are formed, the insulating layer 115 is formed on both surfaces.

이러한 필름 접촉형 프로브 장치는 탐침핀이 불필요하기 때문에 제작이 용이하다는 장점이 있다. 그러나 상기 패턴필름은 폴리이미드재질의 베이스필름에 전극을 형성하기 때문에 열에 취약하다는 문제점이 있다. 다시 말하면, 베이스필름에 소정 피치로 전극을 형성한 후에, 검사공정에서 열이 전달되어 필름이 열변형을 하면, 전극간 피치가 상이해지는 문제점이 있다. 이러한 열변형으로 인해 패드와 전극부의 접촉성능이 떨어지는 것이다. Such a film contact probe device has an advantage that it is easy to manufacture because no probe pin is required. However, the pattern film has a problem in that it is susceptible to heat because the electrode is formed on the polyimide base film. In other words, if the electrode is formed at a predetermined pitch on the base film, and heat is transferred in the inspection process to thermally deform the film, the pitch between the electrodes is different. Due to such thermal deformation, the contact performance of the pad and the electrode unit is deteriorated.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 필름의 열변형을 방지할 수 있어 전극의 피치를 유지할 수 있는 필름타입의 프로브 장치 및 프로브 제조방법을 제공함에 있다. The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a film type probe device and a probe manufacturing method that can prevent the thermal deformation of the film to maintain the pitch of the electrode.

위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 프로브 장치는 베이스 필름; 상기 베이스 필름의 일단에 형성되어 피검사체의 패드에 접촉하는 전극부; 상기 베이스 필름의 타단에 형성되어 검사신호가 인가되는 접속단자; 및 상기 전극부의 열변형을 방지하기 위한 변형방지부;를 포함한다. Probe device according to the present invention to solve the above technical problem is a base film; An electrode portion formed at one end of the base film and in contact with a pad of the test object; A connection terminal formed at the other end of the base film to which a test signal is applied; And a deformation preventing part for preventing thermal deformation of the electrode part.

또한 상기 변형방지부는 상기 전극부의 이면에 패터닝된 금속박막인 것이 바람직하다.In addition, the deformation preventing portion is preferably a metal thin film patterned on the back surface of the electrode portion.

또한 상기 접속단자는 상기 전극부의 이면에 형성되는 것이 바람직하다. In addition, the connection terminal is preferably formed on the rear surface of the electrode portion.

또한 상기 베이스필름에는 상기 피검사체를 구동하는 구동신호를 출력하는 구동IC가 실장되는 것이 바람직하다. In addition, the base film is preferably mounted with a drive IC for outputting a drive signal for driving the inspected object.

본 발명에 의한 프로브 제조방법은 양면에 금속박막이 형성된 베이스필름을 준비하는 단계; 상기 베이스필름상에 형성된 금속박막을 패터닝하여 피검사체의 패드에 접촉하는 전극부와, 검사신호가 인가되는 접속단자를 형성하는 단계; 및 상기 베이스필름상에 형성된 금속박막을 패터닝하여 상기 전극부의 열변형을 방지하기 위한 변형방지부를 형성하는 단계;를 포함한다. Probe manufacturing method according to the present invention comprises the steps of preparing a base film having a metal thin film formed on both sides; Patterning a metal thin film formed on the base film to form an electrode part in contact with a pad of the object under test and a connection terminal to which a test signal is applied; And patterning a metal thin film formed on the base film to form a deformation preventing part for preventing thermal deformation of the electrode part.

또한 상기 변형방지부는 상기 전극부의 이면에 패터닝되는 것이 바람직하다. In addition, the deformation preventing portion is preferably patterned on the back surface of the electrode portion.

또한 상기 접속단자는 상기 전극부의 이면에 패터닝되는 것이 바람직하다. In addition, the connection terminal is preferably patterned on the back surface of the electrode portion.

또한 상기 접속단자와 전극부는 비아홀을 통해 연결되는 것이 바람직하다. In addition, the connection terminal and the electrode unit is preferably connected via a via hole.

본 발명에 따르면, 필름의 열변형을 방지할 수 있어 전극의 피치를 유지할 수 있는 효과가 있다. 따라서 피검사체의 패드와의 접촉성능을 향상시킬 수 있다. According to the present invention, there is an effect that can prevent the thermal deformation of the film to maintain the pitch of the electrode. Therefore, the contact performance with the pad of a test subject can be improved.

특히, 전극을 패터닝하는 것과 동일한 방법으로 변형방지패턴을 형성하기 때문에 제조공정이 매우 간편하다. In particular, since the deformation prevention pattern is formed in the same manner as patterning the electrode, the manufacturing process is very simple.

도 1은 일반적인 액정패널의 구조를 나타낸 것이다.
도 2 내지 도 4는 종래 필름 타입의 프로브 유닛을 나타낸 것이다.
도 5 및 도 6은 본 발명에 의한 프로브 유닛을 나타낸 것이다. 1 illustrates a structure of a general liquid crystal panel.
2 to 4 show a conventional film type probe unit.
5 and 6 show a probe unit according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성 및 작용을 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described the configuration and operation of the present invention.

도 5를 참조하면, 본 발명에 의한 프로브 장치는 패턴필름(210)과, FPC(미도시) 및 PCB(미도시)를 구비한다. 상기 패턴필름(210)은 폴리이미드 재질의 베이스 필름(211)과, 상기 베이스 필름(211)의 일면에 형성된 전극부(212)와, 상기 베이스 필름(211)의 이면에 형성된 접속단자(213)를 포함한다. Referring to FIG. 5, the probe device according to the present invention includes a pattern film 210, an FPC (not shown), and a PCB (not shown). The pattern film 210 may be formed of a polyimide base film 211, an electrode part 212 formed on one surface of the base film 211, and a connection terminal 213 formed on the back surface of the base film 211. It includes.

상기 전극부(212)는 피검사체인 액정패널의 패드와 직접 접촉하기 위한 구성으로서, 상기 패드와 동일한 피치로 형성된다. The electrode portion 212 is configured to directly contact the pad of the liquid crystal panel as the test object, and is formed at the same pitch as the pad.

상기 접속단자(213)는 FPC(미도시) 및 PCB(미도시)와 연결되어 검사신호가 인가되는 구성요소이다. The connection terminal 213 is a component connected to an FPC (not shown) and a PCB (not shown) to which a test signal is applied.

상기 전극부(212)와 접속단자(213)는 비아홀(h)을 통해 연결된다. The electrode part 212 and the connection terminal 213 are connected through the via hole h.

특히, 상기 베이스 필름(211)의 이면에는 변형방지부(215)가 형성된다. 상기 변형방지부(215)는 상기 베이스 필름(211)의 열변형을 방지하기 위한 구성요소이다. 즉, 베이스 필름(211)이 열변형되면 전극부(212)의 피치 및 형상이 변형될 수 있으므로, 이를 보호하기 위한 것이다. In particular, the deformation preventing part 215 is formed on the rear surface of the base film 211. The deformation preventing part 215 is a component for preventing thermal deformation of the base film 211. That is, when the base film 211 is thermally deformed, the pitch and the shape of the electrode part 212 may be deformed, thereby protecting the base film 211.

또한 도시되지는 아니하였으나, 상기 베이스필름상에는 상기 피검사체를 구동하는 구동신호를 출력하는 구동IC가 실장되는 것도 가능하다. 이와 같이 구동IC가 구비된 실시예의 경우, 구동IC가 피검사체의 구동신호를 출력하고 전극부를 통해 피검사체의 패드로 인가시켜 피검사체에 그로스 테스트 화면이 출력하여 피검사체의 불량상태를 검사할 수 있는 그로스 테스트를 할 수 있다. 이와 같은 그로스 테스트는 피검사체의 얼룩 및 디스플레이와 관련된 전반적인 검사를 하기 위한 것이다. Although not shown, a driving IC for outputting a driving signal for driving the inspected object may be mounted on the base film. As described above, in the exemplary embodiment in which the driver IC is provided, the driver IC outputs the driving signal of the object under test and applies it to the pad of the test object through the electrode to output a gross test screen to the test object, thereby inspecting the defective state of the test object. You can do a gross test. Such a gross test is for the overall inspection related to the stain and display of the subject.

도 6을 참조하여 본 발명에 의한 프로브 장치의 제조방법을 설명한다. A method of manufacturing a probe device according to the present invention will be described with reference to FIG. 6.

먼저, 폴리이미드의 양면에 동박이 형성된 베이스 필름(211)을 준비한다. First, the base film 211 in which copper foil was formed on both surfaces of the polyimide is prepared.

다음으로, 상기 베이스필름(211)의 일면에 적층된 동박을 패터닝하여 패드에 접촉하는 전극부(212)를 형성한다. Next, the copper foil laminated on one surface of the base film 211 is patterned to form an electrode part 212 in contact with the pad.

다음으로, 상기 베이스필름(211)의 이면에 적층된 동박을 패터닝하여 FPC 및 전극부(212)에 연결되는 접속단자(213)를 형성한다. Next, the copper foil laminated on the back surface of the base film 211 is patterned to form a connection terminal 213 connected to the FPC and the electrode unit 212.

다음으로, 상기 전극부(212)의 이면에 적층된 동박을 패터닝하여 변형방지부(215)를 형성한다. Next, the copper foil laminated on the back surface of the electrode portion 212 is patterned to form the deformation preventing portion 215.

다음으로, 베이스필름(211)의 양면에 절연층(216)을 형성한다. Next, the insulating layer 216 is formed on both sides of the base film 211.

다음으로, 상기 접속단자(213)에 FPC 및 PCB를 전기적으로 연결한다. Next, the FPC and the PCB are electrically connected to the connection terminal 213.

210: 패턴필름 211: 베이스필름
212: 전극부 213: 접속단자
215: 변형방지패턴 216: 절연층210: pattern film 211: base film
212: electrode portion 213: connection terminal
215: strain preventing pattern 216: insulating layer

Claims (8)

베이스 필름;
상기 베이스 필름의 일단에 형성되어 피검사체의 패드에 접촉하는 전극부;
상기 베이스 필름의 타단에 형성되어 검사신호가 인가되는 접속단자; 및
상기 전극부의 열변형을 방지하기 위한 변형방지부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
Base film;
An electrode portion formed at one end of the base film and in contact with a pad of the test object;
A connection terminal formed at the other end of the base film to which a test signal is applied; And
And a deformation preventing part for preventing thermal deformation of the electrode part.
제1항에 있어서,
상기 변형방지부는 상기 전극부의 이면에 패터닝된 금속박막인 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
The method of claim 1,
And the strain preventing part is a metal thin film patterned on a rear surface of the electrode part.
제1항에 있어서,
상기 접속단자는 상기 전극부의 이면에 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
The method of claim 1,
And the connection terminal is formed on the back surface of the electrode portion.
제1항에 있어서,
상기 베이스필름에는 상기 피검사체를 구동하는 구동신호를 출력하는 구동IC가 실장되는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
The method of claim 1,
And a driving IC mounted on the base film to output a driving signal for driving the inspected object.
양면에 금속박막이 형성된 베이스필름을 준비하는 단계;
상기 베이스필름상에 형성된 금속박막을 패터닝하여 피검사체의 패드에 접촉하는 전극부와, 검사신호가 인가되는 접속단자를 형성하는 단계; 및
상기 베이스필름상에 형성된 금속박막을 패터닝하여 상기 전극부의 열변형을 방지하기 위한 변형방지부를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 제조방법.
Preparing a base film having metal thin films formed on both surfaces thereof;
Patterning a metal thin film formed on the base film to form an electrode part in contact with a pad of the object under test and a connection terminal to which a test signal is applied; And
And patterning a metal thin film formed on the base film to form a deformation preventing part for preventing thermal deformation of the electrode part.
제5항에 있어서,
상기 변형방지부는 상기 전극부의 이면에 패터닝되는 것을 특징으로 하는 프로브 제조방법.
The method of claim 5,
And the strain preventing part is patterned on a rear surface of the electrode part.
제5항에 있어서,
상기 접속단자는 상기 전극부의 이면에 패터닝되는 것을 특징으로 하는 프로브 제조방법.
The method of claim 5,
And the connection terminal is patterned on the rear surface of the electrode part.
제7항에 있어서,
상기 접속단자와 전극부는 비아홀을 통해 연결되는 것을 특징으로 하는 프로브 제조방법.
The method of claim 7, wherein
And the connection terminal and the electrode portion are connected via via holes.
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