KR20120005373A - Cutter wheel with groove - Google Patents

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KR20120005373A
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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

PURPOSE: A cutter wheel with grooves is provided to reduce the occurrence of cracks and scratches in a scribe line processing process by slantly forming central division planes of respective groove on the cross section of a ridge on the cutter wheel. CONSTITUTION: A cutter wheel(CW) includes a plurality of grooves(4) along a symmetric ridge(3). Respective groove includes two times rotational symmetric based on a central division plane. The direction of the central division plane is the longitudinal direction or the transversal direction of the groove. The central division plane crosses the center of the groove and slants the cross section of the ridge toward a rotary shaft. The angle of the central division plane(L) and the ridge is set in a range between 20 and 70 degrees.

Description

홈이 있는 커터 휠{CUTTER WHEEL WITH GROOVE}Grooved Cutter Wheel {CUTTER WHEEL WITH GROOVE}

본 발명은, 유리 기판, 반도체 웨이퍼, 사파이어, 세라믹 등의 취성 재료 기판(brittle material substrate)을 분단(dividing)할 때에, 기판 표면에 스크라이브 라인(scribing line)을 형성하는 커터 휠(통상, 스크라이빙 휠이라고도 불림)에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 날끝 능선(ridge line)을 따라서 홈(절결;cut-away)을 형성한 커터 휠에 관한 것이다.The present invention relates to a cutter wheel (usually a scribing line) that forms a scribing line on a substrate surface when dividing a brittle material substrate such as a glass substrate, a semiconductor wafer, sapphire, ceramic, or the like. Also referred to as bing wheels, and more particularly, to a cutter wheel with a groove (cut-away) formed along a ridge line.

유리 기판 등의 취성 재료 기판을 분단할 때에, 분단 예정 라인을 따라서 원반 형상의 커터 휠을 전동(rolling)함으로써 스크라이브 라인을 형성하는 방법이 알려져 있다.When dividing brittle material substrates, such as a glass substrate, the method of forming a scribe line by rolling the disk shaped cutter wheel along a dividing plan line is known.

스크라이브 라인을 형성할 때에 이용하는 커터 휠로서, 능선을 따라서 일정한 피치로 작은 홈(절결)을 형성한 커터 휠이 개시되어 있다(예를 들면 특허문헌 1 참조).As a cutter wheel used when forming a scribe line, a cutter wheel in which small grooves (cutouts) are formed along a ridgeline at a constant pitch is disclosed (see Patent Document 1, for example).

홈이 있는 커터 휠은, 홈이 없는 통상의 커터 휠에 비하여, 기판에 대한 마찰력이 크기 때문에 전동할 때의 슬립을 방지할 수 있다. 또한, 홈을 형성함으로써 능선 부분이 돌기가 되어, 기판에 타점 충격을 가할 수 있기 때문에, 깊은 수직 크랙을 효과적으로 형성할 수 있고, 스크라이브 성능을 향상시킬 수 있다.The grooved cutter wheel has a greater frictional force on the substrate than the conventional cutter wheel without grooves, and can thus prevent slipping when rolling. In addition, by forming the grooves, the ridge portion becomes a projection, and thus, the spot impact can be applied to the substrate, so that deep vertical cracks can be effectively formed and the scribing performance can be improved.

이러한 특징을 갖는 홈이 있는 커터 휠의 구체예로서, 미츠보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 제조의 페네트(Penett(등록 상표)) 커터 휠, 아피오(APIO(등록 상표)) 커터 휠이 있다. 이들 커터 휠에 형성되어 있는 홈은, 홈(절결)의 깊이가 1∼100㎛(특히 2∼30㎛) 정도, 홈의 피치가 10∼200㎛(특히 30∼150㎛)로 되어 있다. 능선 방향에 있어서의 홈의 길이를 돌기의 길이(홈과 홈과의 사이의 능선의 길이)보다도 길게 한 홈이 있는 커터 휠에서는, 기판 두께 방향으로 신전(extension)하는 수직 크랙의 깊이가 커지는 경향이 있다.As a specific example of the grooved cutter wheel having such a feature, there are a Penet (registered trademark) cutter wheel and an APIO (APIO) cutter wheel manufactured by Mitsubishi Daimondo Kogyo Co., Ltd. The grooves formed in these cutter wheels have a groove depth of about 1 to 100 µm (particularly 2 to 30 µm) and a groove pitch of 10 to 200 µm (particularly 30 to 150 µm). In a grooved cutter wheel in which the length of the groove in the ridge direction is longer than the length of the projection (the length of the ridge between the groove and the groove), the depth of the vertical crack extending in the substrate thickness direction tends to increase. There is this.

종래부터, 홈이 있는 커터 휠은, 스크라이브의 직진 안정성을 손상시키지 않도록 하는 관점으로부터, 도 6에 나타내는 바와 같이, 능선(13)을 중심으로 하여 좌우 대칭형의 날끝이 사용되며, 능선(13)을 따라서 동일한 피치로 형성되는 홈(14)에 대해서도, 능선(13)을 중심으로 하여 좌우 대칭형으로 되어 있다.Conventionally, grooved cutter wheels have a left-right symmetrical blade tip centered on the ridgeline 13 as shown in FIG. 6 from the viewpoint of not impairing the straight stability of the scribe. Therefore, also about the groove | channel 14 formed in the same pitch, it is left-right symmetrical centering around the ridgeline 13. As shown in FIG.

또한, 정회전, 역회전 어느 방향으로 전동시킨 경우에도 동일한 품질의 스크라이브 라인이 형성될 수 있도록 하는 관점으로부터, 홈(14)의 능선 방향(원주 방향)에 대해서도 2회 회전 대칭성을 갖는 형상(180° 회전했을 때에 일치하는 형상)으로 되어 있다. 구체적으로는, 도 6에 나타낸 개개의 홈(14)은, 능선(13)과 직교하는 방향의 단면(斷面)이 타원 형상임과 함께, 능선(13) 방향(전후 방향)의 단면에 대해서도, 타원 형상으로 되어 있다.In addition, from the viewpoint of forming a scribe line of the same quality even when the motor rotates in either the forward rotation or the reverse rotation, the shape having the rotational symmetry twice in the ridgeline direction (circumferential direction) of the groove 14 (180) Shape coinciding with rotation). Specifically, the individual grooves 14 shown in FIG. 6 have an elliptical shape in the cross section in the direction orthogonal to the ridge line 13, and also have a cross section in the ridge line 13 direction (front and rear direction). It has an elliptic shape.

즉, 능선(13)과 직교하는 방향으로 2등분하는 중앙 분할면(L)을 상정하면, 홈(14)은 이 중앙 분할면(L)을 중심으로 하여 홈면(14a, 14a)(홈의 날면)이 2회 회전 대칭형(면 대칭이기도 함)으로 되어 있다.That is, assuming a center split surface L that is divided into two in the direction orthogonal to the ridge line 13, the groove 14 has grooves 14a and 14a (the blade surface of the groove centering on the center split surface L). ) Is twice rotationally symmetrical (also called face symmetry).

이러한 홈이 있는 커터 휠에는, 도 6에 나타낸 형상의 홈 이외에, 도 7(a)에 나타내는 바와 같은 중앙 분할면(L)에서의 단면이 평탄한 홈이며, 능선에서의 단면이 타원 형상인 홈, 도 7(b)에 나타내는 바와 같은 중앙 분할면(L)에서의 단면이 평탄한 홈이고, 능선에서의 단면이 V자 형상인 홈, 도 7(c)에 나타내는 바와 같은 중앙 분할면(L)에서의 단면이 평탄한 홈이며, 능선에서의 단면이 평탄한 경사면과 평탄한 저면(底面)을 조합시킨 형상인 홈, 도 7(d)에 나타내는 바와 같은 중앙 분할면(L)에서의 단면이 평탄하며, 능선에서의 단면이 U자 형상(저면은 평탄)인 홈 등이 있다.In the grooved cutter wheel, in addition to the grooves of the shape shown in Fig. 6, the grooves are flat grooves in the center dividing surface L as shown in Fig. 7A, and the grooves in the ridge line are elliptical shapes, In the center dividing surface L as shown in FIG. 7 (b) is a groove having a flat cross section, and the cross section at the ridgeline is a V-shaped groove, in the center dividing surface L as shown in FIG. 7 (c). Is a groove having a flat cross section, a groove having a shape in which an inclined surface having a flat cross section at the ridge line and a flat bottom surface, a flat cross section at the center dividing surface L as shown in FIG. Grooves having a U-shaped cross section (the bottom is flat).

이들은 중앙 분할면(L)이 홈(14)과 교차하는 위치에 직선이 되어 나타나는 곡선(谷線)(L1, L2, L3, L4)에 대해서는, 능선 단면에 직교하게 된다(후술하는 본 발명과의 상위점으로서 홈에 나타나 있음).These are orthogonal to the ridge cross section with respect to the curves L 1 , L 2 , L 3 , and L 4 that appear as a straight line at the position where the center split surface L intersects the groove 14 (described later). Shown in the groove as a difference from the present invention).

또한, 도 7(a)∼(d)에 나타낸 홈(14)과 같이, 회전축 방향을 따라서 홈의 단면이 평탄한 홈은, 가공을 용이하게 행할 수 있기 때문에 홈이 있는 커터 휠로서 적합하다. 예를 들면, 레이저 어블레이션(laser ablation) 가공으로 홈을 형성할 때에, 레이저 빔의 방향을 커터 휠의 회전축과 평행하게 세트하고, 홈의 형상에 맞춰 주사(scanning)함으로써, 이들 커터 휠을 제조할 수가 있다.As shown in the grooves 14 shown in Figs. 7A to 7D, grooves having a flat cross section along the rotation axis direction are suitable as grooved cutter wheels because they can be easily processed. For example, when forming grooves by laser ablation, these cutter wheels are manufactured by setting the direction of the laser beam parallel to the axis of rotation of the cutter wheel and scanning the grooves in accordance with the shape of the grooves. You can do it.

일본특허공보 제3074143호Japanese Patent Publication No. 3074143

종래의 홈이 있는 커터 휠에서는, 도 6에서 설명한 바와 같이, 능선 단면(H)과 직교하는 중앙 분할면(L)을 중심으로 하여 전후로 대향하는 2개의 홈면(14a, 14a)(홈의 날면)은 2회 회전 대칭형(면 대칭형)으로 되어 있다.In the conventional grooved cutter wheel, as described with reference to FIG. 6, two groove surfaces 14a and 14a facing each other back and forth centering on the center dividing surface L orthogonal to the ridge cross section H (blade surface of the groove). Is made of two rotational symmetry (face symmetry).

이러한, 종래의 홈이 있는 커터 휠(Wh)을 이용하여 스크라이브 라인을 가공하면, 능선(13)과 홈(14)과의 경계 부분에서, 커터 휠(Wh)의 홈면(14a)은 진행 방향에 대하여 직각 방향을 향하고 있기 때문에, 도 8에 나타내는 바와 같이, 취성 재료 기판(M)에 대하여 홈면(14a)이 파고드는 부분(F)에서, 면 닿음의 상태에서 베어 들어가게 되게 된다. 그 때문에, 능선(13)이 기판에 베어 들어가는 상태일 때와, 홈면(14a)이 기판에 베어 들어가는 상태일 때에서, 면압에 의한 저항이 크게 변화하고, 타점 충격이 더해진다.When the scribe line is processed using such a conventional grooved cutter wheel Wh, at the boundary portion between the ridge line 13 and the groove 14, the groove surface 14a of the cutter wheel Wh is in the traveling direction. Since it faces at right angles with respect to it, as shown in FIG. 8, in the part F which the groove surface 14a penetrates with respect to the brittle material board | substrate M, it will be cut in the state of surface contact. Therefore, when the ridge 13 is cut into the substrate and when the groove surface 14a is cut into the substrate, the resistance due to the surface pressure changes significantly, and the spot impact is added.

도 9는, 도 6의 홈이 있는 커터 휠(Wh)로 스크라이브 라인(S)을 가공했을 때에, 취성 재료 기판에 남는 절삭 흔적을 나타내기 위한 개념도이다. 또한, 설명의 편의상, 스크라이브 라인(S)의 폭(W)은 실제보다도 넓게 과장하여 나타내고 있다.FIG. 9 is a conceptual diagram for illustrating a cutting trace remaining on a brittle material substrate when the scribe line S is processed with the grooved cutter wheel Wh of FIG. 6. In addition, for convenience of explanation, the width W of the scribe line S is exaggerated and shown wider than it actually is.

홈이 있는 커터 휠(Wh)을 전동시켰을 때에, 도 9(a)에 있어서의 A-A점을 잇는 선 그리고 B-B점을 잇는 선이 능선(13)에 대하여 직교하고 있기 때문에, 그 부위에 있어서의 절삭 흔적이 도 9(b)에 있어서의 A'-A'점, B'-B'점을 잇는 선으로서 나타나며, 거의 직각인 네 모퉁이를 갖는 대략 사각형의 절삭 흔적으로서 잔존한다. 가공시에 있어서, 능선(13)이 베어 들어가는 상태와 홈면(14a)이 베어 들어가는 상태가 바뀌는 것에 의한 타점 충격의 발생에 의해, 사각형의 절삭 흔적의 각 코너 부위에, 스크라이브 라인의 측방으로 연장되는 금이나 균열 등의 상흔(E)이 발생한다. 이 상흔(E)은, 취성 재료 기판의 단면(端面) 강도의 저하 요인이 된다.When the grooved cutter wheel Wh is driven, the line connecting the AA point and the line connecting the BB point in Fig. 9A are orthogonal to the ridge line 13. The traces appear as lines connecting the A'-A 'points and the B'-B' points in FIG. 9 (b), and remain as roughly rectangular cutting marks having four corners that are substantially perpendicular. At the time of processing, it is extended to the side of a scribe line in each corner part of a rectangular cutting trace by generation | occurrence | production of the spot impact by the state which the state which the ridgeline 13 cuts in and the state which the groove surface 14a cut in, changes. Scars (E) such as cracks and cracks are generated. This scar (E) is a factor of lowering the cross-sectional strength of the brittle material substrate.

그래서, 본 발명에서는, 스크라이브 라인의 가공시에, 상흔(E)에 기인하는 금이나 균열 등의 발생을 저감할 수 있는 홈이 있는 커터 휠을 제공하는 것을 목적으로 한다.Then, an object of this invention is to provide the grooved cutter wheel which can reduce generation | occurrence | production of the cracks, a crack, etc. which originate in the scar E at the time of processing a scribe line.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 홈이 있는 커터 휠은, 좌우 대칭형의 날끝 능선을 따라서 복수의 홈을 형성한 홈이 있는 커터 휠로서, 각 홈은, 각각이 중앙 분할면(L)을 중심으로 한 2회 회전 대칭성을 갖고, 중앙 분할면(L)의 방향이 홈의 장축(長軸) 방향 또는 단축(短軸) 방향이 되는 홈면이 형성되며, 또한, 각 홈의 중앙 분할면(L)은, 각각의 홈의 중앙을 횡단하고, 능선 단면(H)을 회전축(J)측으로 비스듬히 경사지게 한 경사면이 되도록 하고 있다.In order to achieve the above object, the grooved cutter wheel of the present invention is a grooved cutter wheel in which a plurality of grooves are formed along a symmetrical blade tip ridge, each groove each having a center dividing surface (L). A groove surface having two rotational symmetry centered and having the direction of the center dividing surface L in the major axis direction or the minor axis direction of the groove is formed, and the central division surface of each groove ( L) crosses the center of each groove | channel, and it is set as the inclined surface which inclined the ridgeline cross section H obliquely to the rotation axis J side.

본 발명에 의하면, 개개의 홈의 중앙 분할면이 능선 단면에 대하여, 직교하는 것이 아니고, 비스듬히 경사지도록 되어 있으며, 게다가 중앙 분할면의 방향이 홈의 장축 방향 또는 단축 방향(등방적이지 않은 형상)으로 되어 있기 때문에, 능선의 좌우 양측에서는, 홈면(홈의 날면)이 비대칭으로 형성되게 된다. 따라서, 본 발명의 홈이 있는 커터 휠을 전동했을 때에, 기판으로의 베어 들어감 상태가 능선으로부터 홈면으로 바뀔 때에, 커터 휠 진행 방향에 대하여 홈 부분의 날면의 절삭 흔적이 직각이 아니고 비스듬하게(한쪽에서 다른 한쪽으로 비스듬하게 걸친 형상으로) 되는 결과, 금이나 균열 등의 원인이 되는 상흔의 길이가 작아짐과 함께 좌우로 비대칭이 되며, 반 정도(4개 중의 2개)의 상흔에 대해서는 스크라이브 라인에 가까워지는 방향으로 형성되게 되기 때문에, 금이나 균열의 원인이 되는 상흔이 저감된다. 또한, 스크라이브 라인 형성시의 날이 드는 정도를 현저하게 향상시킬 수 있다.According to the present invention, the center dividing surface of the individual grooves is not orthogonal to the cross section of the ridge line but is inclined at an angle, and the direction of the central dividing surface is the long axis direction or the short axis direction of the grooves (not isotropic). As a result, the groove surface (the blade surface of the groove) is formed asymmetrically on both the left and right sides of the ridgeline. Therefore, when the grooved cutter wheel of the present invention is driven, when the state of cutting into the substrate is changed from the ridge line to the groove surface, the cutting trace of the blade surface of the groove portion is not oblique to the cutter wheel traveling direction at an angle (one side). As a result, the length of the scar, which causes cracks or cracks, becomes small and asymmetrical from side to side, and about half (two of four) scars appear on the scribe line. Since it is formed in the direction of approaching, the scar which causes a crack and a crack is reduced. In addition, the degree of cutting at the time of forming a scribe line can be remarkably improved.

또한, 홈면이 능선의 좌우에서 비대칭이 됨으로써 스크라이브의 직진 안정성이 손상될 우려가 있는 점에 대해서는, 실제로는 홈과 홈과의 사이에서, 능선 부분이 간헐적으로 베어 들어가게 되며, 이때의 직진 안정성이 보상되게 되기 때문에, 실용상에서 홈면이 능선의 좌우에서 비대칭이 되는 것에 의한 영향은 거의 없는 것이 확인되고 있다.In addition, about the possibility that the straight stability of the scribe may be impaired because the groove surface becomes asymmetrical from the left and right of the ridge line, the ridge portion is intermittently cut between the groove and the groove, and the straight stability at this time is compensated. In practice, it is confirmed that there is almost no effect due to the asymmetry of the groove surface on the right and left of the ridge line in practical use.

또한, 각 홈은, 각각이 홈의 중앙을 횡단하는 중앙 분할면을 대칭면으로 하여 2회 회전 대칭성을 갖고 있기 때문에, 정회전, 역회전 어느 방향으로 전동한 경우라도 동일한 품질의 스크라이브 라인을 형성할 수 있다.In addition, since each groove has two rotational symmetry with the central divided surface crossing the center of the groove as the symmetry plane, scribe lines of the same quality can be formed even when the motor rotates in either the forward or reverse rotation direction. Can be.

상기 발명에 있어서, 홈이 있는 커터 휠에 있어서의 개개의 홈의 중앙 분할면(L)과 능선 단면(H)이 이루는 각도(θ)가 20도∼70도의 범위로 설정되어 있는 것이 바람직하다.In the said invention, it is preferable that the angle (theta) which the center dividing surface L and the ridgeline cross section H of each groove | channel in a grooved cutter wheel makes is set in the range of 20 degrees-70 degrees.

이들 각도로 설정함으로써, 홈의 가공이 용이하며, 게다가, 단면 강도의 저하 요인이 되는 상흔의 영향을 억제할 수 있다.By setting them at these angles, the groove can be easily processed, and in addition, the influence of scars that cause a decrease in the cross-sectional strength can be suppressed.

또한, 상기 발명에 있어서, 중앙 분할면과 직교하는 단면의 홈의 형상이, 타원 형상, V자 형상, 사면과 평탄한 저면을 조합시킨 형상, U자 형상 중 어느 것이라도 좋다.In addition, in the said invention, the shape of the groove of the cross section orthogonal to a center dividing surface may be any of the shape which combined ellipse shape, V shape, the slope, and the flat bottom surface, and U shape.

도 1은 본 발명에 따른 홈이 있는 커터 휠을 나타내는 측면도 그리고 정면도이다.
도 2는 도 1의 홈이 있는 커터 휠의 부분 확대도와, 이것에 의한 절삭 흔적을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 홈이 있는 커터 휠이 부착되는 스크라이브 장치의 개략도이다.
도 4는 본 발명에 따른 홈이 있는 커터 휠의 다른 실시예를 나타내는 측면도 그리고 정면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 홈이 있는 커터 휠의 또 다른 실시예를 나타내는 측면도 그리고 정면도이다.
도 6은 종래의 홈이 있는 커터 휠을 나타내는 측면도 그리고 정면도이다.
도 7은 홈의 중앙 분할면을 나타내기 위한 사시도이다.
도 8은 홈이 있는 커터 휠에 의한 스크라이브 상태를 나타내는 확대 단면도이다.
도 9는 종래의 홈이 있는 커터 휠의 부분 확대도와 절삭 흔적을 나타내는 도면이다.1 is a side view and a front view showing a grooved cutter wheel according to the present invention.
FIG. 2 is a partially enlarged view of the grooved cutter wheel of FIG. 1 and a diagram showing cutting traces thereby. FIG.
3 is a schematic diagram of a scribe device to which a grooved cutter wheel according to the present invention is attached.
4 is a side view and a front view showing another embodiment of a grooved cutter wheel according to the present invention.
Figure 5 is a side view and a front view showing yet another embodiment of a grooved cutter wheel according to the present invention.
6 is a side view and a front view showing a conventional grooved cutter wheel.
7 is a perspective view for illustrating a central divided surface of the groove.
8 is an enlarged cross-sectional view showing a scribe state by a grooved cutter wheel.
9 is a view showing a partial enlarged view and a cutting trace of a conventional grooved cutter wheel.

(발명을 실시하기 위한 형태)(Form to carry out invention)

이하, 본 발명에 따른 홈이 있는 커터 휠에 대해서, 도면에 기초하여 상세하게 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the grooved cutter wheel which concerns on this invention is demonstrated in detail based on drawing.

도 3은, 본 발명의 홈이 있는 커터 휠을 부착하여 취성 재료 기판에 스크라이브 라인을 형성하기 위한 일반적인 스크라이브 장치를 나타내는 개략적인 정면도이다.3 is a schematic front view showing a general scribing apparatus for attaching a grooved cutter wheel of the present invention to form a scribe line on a brittle material substrate.

스크라이브 장치는, 유리 등의 취성 재료 기판(M)을 상면에 보지(保持;holding)하는 수평 회전 가능한 테이블(5)과, 이 테이블(5)을 한 방향으로 이동 가능하게 보지하는 레일(6)과, 테이블(5)의 상방에서 레일(6)과 직교하는 방향(도 1의 좌우 방향)으로 가교된 가이드바(7)와, 이 가이드바(7)를 따라서 이동 가능하게 형성된 스크라이브 헤드(8)와, 스크라이브 헤드(8)의 하단에 승강 가능하게 장착된 커터 홀더(9)를 구비하고 있다. 이 커터 홀더(9)에, 본 발명에 따른 홈이 있는 커터 휠(CW)이 부착된다. 취성 재료 기판(M)에 스크라이브 라인을 형성할 때는, 홈이 있는 커터 휠(CW)을 강하시켜, 취성 재료 기판(M) 상에 밀어붙이면서 테이블(5) 또는 스크라이브 헤드(8)를 스크라이브 예정 라인을 따라서 상대적으로 이동시킴으로써 행해진다.The scribing apparatus includes a horizontally rotatable table 5 for holding a brittle material substrate M such as glass on an upper surface thereof, and a rail 6 for holding the table 5 in one direction. And a guide bar 7 crosslinked in a direction orthogonal to the rail 6 (left and right direction in FIG. 1) above the table 5, and a scribe head 8 formed to be movable along the guide bar 7. ) And a cutter holder 9 mounted on the lower end of the scribe head 8 so as to be lifted and lowered. The cutter holder 9 is provided with a grooved cutter wheel CW according to the present invention. When forming a scribe line on the brittle material substrate M, the grooved cutter wheel CW is lowered and the table 5 or the scribe head 8 is to be scribed while being pushed onto the brittle material substrate M. By moving relatively along.

다음으로, 본 발명의 홈이 있는 커터 휠에 대해서 설명한다. 도 1은 홈이 있는 커터 휠(CW)을 나타내는 측면도, 정면도이며, 도 2는 도 1의 부분 확대도이다. 축심부에 부착구멍(1)을 형성한 원반 형상의 보디(2)의 외주에, 날끝이 되는 좌우 대칭형의 능선(3)이 형성되어 있으며, 이 능선(3)을 따라서, 날면이 타원 형상인 홈(4)이 등간격으로 다수 형성되어 있다.Next, the grooved cutter wheel of the present invention will be described. FIG. 1 is a side view and a front view showing a grooved cutter wheel CW, and FIG. 2 is a partially enlarged view of FIG. 1. On the outer periphery of the disc-shaped body 2 in which the attachment hole 1 is formed in the shaft center, a symmetrical ridgeline 3 that forms a blade tip is formed, and the blade surface is elliptical along the ridgeline 3. Many grooves 4 are formed at equal intervals.

홈(4)은, 각각이 중앙 분할면(L)을 기준으로 하여 형성되어 있다. 중앙 분할면(L)은, 각각의 홈(4)의 중앙을 횡단하는 면으로서, 도 1(b)에 나타내는 바와 같이, 능선 단면(H)을 회전축(J)측으로 각도(θ)만큼 비스듬히 경사지게 한 경사면으로 되어 있다. 각도(θ)는 가공의 용이함으로부터 20도∼70도의 범위(보다 바람직하게는 30도∼60도)로 설정되어 있다. 단, θ는 0도(90도) 이외이면, 중앙 분할면으로 할 수 있다.The grooves 4 are formed on the basis of the center split surface L, respectively. The center split surface L is a surface which crosses the center of each groove 4, and as shown in FIG. It is a slope. Angle (theta) is set in the range of 20 degree-70 degree (more preferably 30 degree-60 degree) from the ease of processing. However, if (theta) is other than 0 degree (90 degree), it can be set as a center dividing surface.

또한, 홈(4)은, 날면의 형상이 원형(등방적 형상)이 되지 않도록, 장축 방향이 정의 가능한 형상(도 1, 도 2의 예에서는 타원형)으로 되어 있고, 이에 따라, 홈(4)의 날면이 능선을 중심으로 하여 좌우 비대칭이 되도록 되어 있다.In addition, the groove 4 has a shape (an ellipse in the examples of FIGS. 1 and 2) in which the major axis direction can be defined so that the shape of the blade surface is not circular (isotropic). The blade surface of the asymmetry is centered on the ridge line.

그리고, 홈(4)의 장축 방향(단축이라도 좋음)을, 중앙 분할면(L)의 방향에 일치시키고 있다.The major axis direction (may be a short axis) of the groove 4 is matched with the direction of the center dividing surface L. As shown in FIG.

이와 같이, 홈(4)의 장축(단축) 방향을, 능선 단면(H)에 대하여 각도(θ)로 비스듬히 경사지는 중앙 분할면(L)의 방향에 일치시킴으로써, 도 2에 나타나는 바와 같이, 홈(4)의 중앙 분할면(L)에 의해 2분할되는 홈면(4a, 4a)(홈의 날면)이, 스크라이브 예정 라인을 따른 커터 휠 진행 방향에 대하여 비스듬히 형성됨과 함께, 2회 회전 대칭형으로 되어 있다.Thus, as shown in FIG. 2 by making the long-axis (short-axis) direction of the groove | channel 4 correspond to the direction of the center parting surface L inclined at an angle (theta) with respect to the ridge cross section H, as shown in FIG. Groove surfaces 4a, 4a (blade surfaces of the grooves), which are divided into two by the center dividing surface L of (4), are formed at an angle with respect to the cutter wheel traveling direction along the scribe scheduled line, and are symmetrically rotated twice. have.

홈이 있는 커터 휠(CW)을 전동시켜 폭(W)의 스크라이브 라인(S)을 가공하면, 커터 휠(CW)의 홈면(4a)이, 커터 휠 진행 방향에 대하여 비스듬히 형성되어 있기 때문에, 취성 재료 기판(M)에 대하여 비스듬히 베어 들어가게 되게 된다. 또한, 도 2(a)에 있어서의 C-C점을 잇는 선 그리고 D-D점을 잇는 선이 날끝 능선(3)에 대하여 경사져 있기 때문에, 그 부위에 있어서의 절삭 흔적이 도 2(b)에 있어서의 C'-C'점을 잇는 선 그리고 D'-D'점을 잇는 선으로서 나타나며, 한 쌍의 예각인 모퉁이부와 둔각인 모퉁이부를 갖는 평행 사변형의 절삭 흔적이 남는다. 이 흔적으로부터, 커터 휠(CW)의 홈면(4a)을 포함하는 날끝이 취성 재료 기판(M)에 대하여, 종래보다도 예각인 모퉁이부를 형성하도록 베어 들어가게 되는 것을 알 수 있다.When the grooved cutter wheel CW is rotated to process the scribe line S having a width W, the groove surface 4a of the cutter wheel CW is formed at an angle with respect to the cutter wheel travel direction, and therefore brittle. It is to be inclined to the material substrate (M). In addition, since the line connecting CC point in FIG.2 (a) and the line connecting DD point are inclined with respect to the blade edge ridge 3, the cutting trace in the site | part is C in FIG.2 (b). It appears as a line connecting the '-C' point and a line connecting the D'-D 'point, leaving a parallelogram cutting trace with a pair of acute corners and an obtuse corner. From this trace, it can be seen that the blade tip including the groove face 4a of the cutter wheel CW is cut into the brittle material substrate M so as to form a corner having an acute angle than conventionally.

이와 같이, 홈면(4a)을 포함하는 커터 휠(CW)의 날끝이 비스듬히 베어 들어가게 됨으로써 날이 드는 정도를 현저하게 향상시킬 수가 있다. 또한, 스크라이브 라인 형성시에 있어서의 절삭 흔적의 코너 부위에 발생하는 균열이나 금의 발생을 억제할 수 있어, 취성 재료 기판 분단 후의 단면 강도를 높일 수 있다. 그리고, 직진 안정성도 문제 없고, 정회전과 역회전에서 스크라이브의 성능에 차이도 발생하지 않는다.In this way, the blade tip of the cutter wheel CW including the groove face 4a is inclined at an angle, whereby the degree of blade insertion can be remarkably improved. Moreover, the generation | occurrence | production of the crack and gold which generate | occur | produce in the corner part of the cutting trace at the time of scribe line formation can be suppressed, and the cross-sectional strength after a brittle material board | substrate parting can be raised. In addition, there is no problem of straight stability, and there is no difference in the performance of the scribe in the forward rotation and the reverse rotation.

도 4는, 본 발명의 다른 실시 형태인 홈이 있는 커터 휠(CW2)을 나타내는 도면이며, 홈(4)을 V자 형상으로 한 예이다. 또한, 도 5는 본 발명의 또 다른 실시 형태인 홈이 있는 커터 휠(CW3)로서, 홈(4)을 평평한 바닥을 갖는 냄비 바닥 형상으로 한 예를 나타내는 것이다. 어느 경우나, 도 1과 동일하게, 홈(4)의 중앙 분할면(L)은 능선 단면(H)에 대하여 각도(θ)만큼 경사져 형성되어 있다.4 is a view showing the grooved cutter wheel CW2 which is another embodiment of the present invention, and is an example in which the groove 4 is formed in a V shape. 5 is a grooved cutter wheel CW3 which is still another embodiment of the present invention, and shows an example in which the groove 4 has a pot bottom shape having a flat bottom. In any case, similarly to FIG. 1, the center split surface L of the groove 4 is formed inclined by the angle θ with respect to the ridgeline cross section H. As shown in FIG.

따라서, 이들에 대해서도, 중앙 분할면(L)에 의해 2분할되는 홈면이 스크라이브 예정 라인을 따른 커터 휠 진행 방향에 대하여 비스듬히 형성되며, 스크라이브시에 앞의 실시예와 동일한 효과를 발휘할 수 있다. 이들 이외의 도 7에서 설명한 U자 홈 등이라도 동일하다. 또한, 도 4, 도 5와 같이 홈(4)의 바닥에 곡선이 나타나는 홈의 경우, 곡선의 방향이 각도(θ)를 나타내기 때문에, 이에 따라 중앙 분할면(L)의 경사각을 확인할 수 있다.Therefore, also in these, the groove surface divided into 2 by the center dividing surface L is formed obliquely with respect to the cutter wheel advancing direction along a scribe planned line, and can exhibit the same effect as the previous Example at the time of scribing. The same applies to the U-shaped grooves and the like described in FIG. 7 except for these. In addition, in the case of a groove where a curve appears at the bottom of the groove 4 as shown in Figs. 4 and 5, since the direction of the curve indicates the angle θ, the inclination angle of the central dividing surface L can be confirmed accordingly. .

이상 본 발명의 대표적인 실시예에 대해서 설명했지만, 본 발명은 반드시 상기의 실시 형태로 특정되는 것이 아니고, 본 발명의 청구의 범위를 일탈하지 않는 범위 내에서 적절히 수정, 변경하는 것이 가능하다.As mentioned above, although the typical Example of this invention was described, this invention is not necessarily identified by said embodiment, It is possible to modify and change suitably within the range which does not deviate from the Claim of this invention.

본 발명의 홈이 있는 커터 휠은, 유리 기판, 반도체 웨이퍼, 사파이어, 세라믹 등의 취성 재료 기판을 스크라이브할 때에 이용할 수 있다.The grooved cutter wheel of this invention can be used when scribing brittle material board | substrates, such as a glass substrate, a semiconductor wafer, sapphire, and a ceramic.

CW, CW2, CW3 : 홈이 있는 커터 휠
M : 취성 재료 기판
S : 스크라이브 라인
L : 홈의 중앙 분할면
1 : 부착구멍
2 : 보디
3 : 날끝 능선
4 : 홈
4a : 홈면CW, CW2, CW3: Grooved Cutter Wheel
M: brittle material substrate
S: scribe line
L: center plane of groove
1: mounting hole
2: body
3: blade tip ridge
4: Home
4a: groove face

Claims (3)

좌우 대칭형의 날끝 능선을 따라서 복수의 홈을 형성한 홈이 있는 커터 휠로서,
각 홈은, 각각이 중앙 분할면(L)을 중심으로 한 2회 회전 대칭성을 갖고, 중앙 분할면(L)의 방향이 홈의 장축(長軸) 방향 또는 단축(短軸) 방향이 되는 홈면이 형성되며,
상기 각 홈의 중앙 분할면(L)은, 각각의 홈의 중앙을 횡단하고, 능선 단면(斷面)(H)을 회전축(J)측으로 비스듬히 경사지게 한 경사면인 것을 특징으로 하는 홈이 있는 커터 휠.A grooved cutter wheel with a plurality of grooves formed along a symmetrical blade tip ridge,
Each groove has a rotational symmetry twice around the center split surface L, and the groove surface in which the direction of the center split surface L becomes the long axis direction or the short axis direction of the groove. Is formed,
The grooved cutter wheel which is the inclined surface which traversed the center of each groove | channel, and inclined the ridgeline cross section H obliquely to the rotation axis J side of the said groove | channel by the center division surface L of each said groove | channel. . 제1항에 있어서,
중앙 분할면(L)과 능선 단면(H)이 이루는 각도(θ)가 20도∼70도의 범위로 설정되어 있는 홈이 있는 커터 휠.The method of claim 1,
A grooved cutter wheel in which the angle θ formed between the center split surface L and the ridgeline cross section H is set in a range of 20 degrees to 70 degrees. 제1항에 있어서,
중앙 분할면(L)과 직교하는 단면의 홈의 형상이, 타원 형상, V자 형상, 경사면과 평탄한 저면(底面)을 조합시킨 형상, U자 형상 중 어느 것인 홈이 있는 커터 휠.
The method of claim 1,
The cutter wheel with a groove | channel in which the shape of the groove of the cross section orthogonal to the center dividing surface L is any of an oval shape, a V shape, the shape which combined the inclined surface and the flat bottom surface, and U shape.
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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108481580B (en) * 2012-07-27 2020-10-23 二和钻石工业股份有限公司 Scribing wheel with precise structure groove
JP6056575B2 (en) * 2013-03-18 2017-01-11 三星ダイヤモンド工業株式会社 Scribing method and scribing apparatus
JP2015120251A (en) * 2013-12-20 2015-07-02 三星ダイヤモンド工業株式会社 Scribing wheel for forming hollow hole, and method for forming hollow hole
TWI637923B (en) * 2016-07-19 2018-10-11 日商三星鑽石工業股份有限公司 Scoring wheel
JP2018086785A (en) * 2016-11-29 2018-06-07 三星ダイヤモンド工業株式会社 Scribing wheel and scribing method for the same
CN107176784B (en) * 2017-07-13 2023-07-18 嘉兴沃尔德金刚石工具有限公司 Hole-free knife wheel
CN109531638B (en) * 2018-12-12 2024-03-26 强浩机械科技(青岛)有限公司 Dust-free cutter for cutting rock wool
TWI719755B (en) * 2019-12-13 2021-02-21 孫春雨 Cutter wheel
TWI719756B (en) * 2019-12-13 2021-02-21 孫春雨 Cutter wheel capable of adjusting blade sharpness through changing blade appearances
CN115947534A (en) * 2022-12-29 2023-04-11 安徽金视界光电科技有限公司 Large ITO glass typesetting method for parallelogram LCD glass

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3074143B2 (en) * 1995-11-06 2000-08-07 三星ダイヤモンド工業株式会社 Glass cutter wheel
JP2989602B1 (en) * 1999-01-28 1999-12-13 三星ダイヤモンド工業株式会社 Glass cutter wheel
TW544442B (en) * 2000-08-11 2003-08-01 Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltd Cutter wheel for brittle material substrate and scriber
KR200269441Y1 (en) 2001-11-28 2002-03-23 정창봉 Glass cutter wheel for double vibration
KR20060017058A (en) * 2004-08-19 2006-02-23 엠.제이.테크(주) Scribing wheel cutter
KR20090116749A (en) * 2007-01-19 2009-11-11 더치 다이아몬드 테크놀로지스 비.브이. Cutting disk for forming a scribed line
WO2009034759A1 (en) * 2007-09-13 2009-03-19 Sharp Kabushiki Kaisha Cutter wheel
JP2009234874A (en) * 2008-03-28 2009-10-15 Shiba Giken:Kk Cutter wheel and method for manufacturing the same

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