KR20110104326A

KR20110104326A - Sheet type connector, the fabrication method therefor and test socket

Info

Publication number: KR20110104326A
Application number: KR1020100023409A
Authority: KR
Inventors: 이재학
Original assignee: 이재학
Priority date: 2010-03-16
Filing date: 2010-03-16
Publication date: 2011-09-22
Also published as: KR101151880B1

Abstract

본 발명은 시트형 접속체, 그 시트형 접속체의 제조방법 및 테스트 소켓에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드의 사이에 배치되어 상기 단자와 상기 패드를 전기적으로 연결하기 위한 시트형 접속체에 있어서, 다공성의 그물망 형태로 이루어지는 메쉬시트; 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치에 배치되며 상기 메쉬시트에 일체적으로 연결되는 전극으로 이루어지되,
상기 전극은, 상기 메쉬시트의 상면으로부터 돌출되는 상측전극부;
상기 상측전극부와 대응되는 위치로서 상기 메쉬시트의 하면으로부터 돌출되는 하측전극부; 및 상기 상측전극부와 상기 하측전극부를 서로 전기적으로 접속시키면서 상기 메쉬시트의 상기 다공성의 그물망의 사이사이를 충전하도록 구성되는 연결전극부로 구성되는 것을 특징으로 하는 시트형 접속체에 대한 것이다.The present invention relates to a sheet-like connector, a method for manufacturing the sheet-like connector, and a test socket, and more particularly, to be disposed between a terminal of a device under test and a pad of an inspection device to electrically connect the terminal and the pad. In the sheet-like connection for, Mesh sheet made of a porous mesh form; It is made of an electrode disposed at a position corresponding to the terminal of the device under test and integrally connected to the mesh sheet,
The electrode may include an upper electrode part protruding from an upper surface of the mesh sheet;
A lower electrode part protruding from a lower surface of the mesh sheet as a position corresponding to the upper electrode part; And a connecting electrode part configured to fill between the porous meshes of the mesh sheet while electrically connecting the upper electrode part and the lower electrode part to each other.

Description

Sheet type connector, manufacturing method and test socket of the sheet type connector {Sheet type connector, the fabrication method therefor and test socket}

본 발명은 시트형 접속체, 그 시트형 접속체의 제조방법 및 테스트 소켓에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 다공성의 그물망 형태의 메쉬시트에 단자가 일체적으로 결합되어 있어 신뢰성이 높으면서 수명이 증가되는 시트형 접속체 및 그 시트형 접속체의 제조방법 및 테스트 소켓에 대한 것이다.The present invention relates to a sheet-like connector, a method for manufacturing the sheet-like connector, and a test socket, and more particularly, a sheet-type connection in which terminals are integrally coupled to a porous mesh-type mesh sheet to increase reliability and increase lifetime. A method for producing a sieve and a sheet-like connector thereof and a test socket.

일반적으로 피검사 디바이스의 전기적 특성 검사를 위해서는 피검사 디바이스와 검사장치를 서로 전기적으로 연결시킨 후에, 상기 검사장치로부터 흘러나온 전기적 신호를 상기 피검사 디바이스로 들어가도록 한다. 이러한 전기적 특성 검사에서는 그 피검사 디바이스를 직접적으로 검사장치에 접촉시키는 것이 아니라 검사장치를 보호하기 위하여 시트형 접속체 또는 그 시트형 접속체를 포함하는 테스트 소켓을 사용하게 된다. 즉, 상기 검사장치에 탑재되어 있는 시트형 접속체에 상기 피검사 디바이스가 접촉함에 따라서 간접적으로 상기 피검사 디바이스와 상기 검사장치가 서로 전기적으로 연결되도록 하는 것이다.In general, in order to test the electrical characteristics of the device under test, the device under test is electrically connected to the device under test, and then an electrical signal flowing from the device under test is introduced into the device under test. In this electrical property inspection, the test device including the sheet-like connection or the sheet-like connection is used to protect the inspection device rather than directly contacting the device under test. That is, the device under test and the device under test are electrically connected to each other indirectly as the device under test comes into contact with the sheet-shaped connection body mounted in the test apparatus.

이러한 시트형 접속체는 도 1에 도시된 바와 같이 합성수지로 이루어진 필름(110)에 비아홀(110a)을 형성한 후에 그 비아홀(110a)에 금속소재의 전극(111)이 결합되고 상기 피검사 디바이스(120)의 단자(121)는 상기 전극(111)과 접촉됨으로서 상기 검사장치(130)에 접속될 수 있게 된다.As shown in FIG. 1, the sheet-shaped connector forms a via hole 110a in a film 110 made of synthetic resin, and then the electrode 111 of a metal material is coupled to the via hole 110a, and the device under test 120 is formed. The terminal 121 of) may be connected to the inspection apparatus 130 by being in contact with the electrode 111.

이러한 종래기술에 따른 시트형 접속체는 그 필름상에 형성된 비아홀을 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 형성시키게 되는데, 최근 피검사 디바이스는 단자들 사이의 간격이 좁은 미세피치를 가지도록 제작되는데 이러한 단자들 사이의 간격이 좁은 경우에는 그 비아홀과 비아홀 사이의 간격이 좁아질 수 밖에 없어 전체적으로 필름의 강도저하를 유발시키게 된다. 즉, 피치의 거리가 넓은 경우에는 별 문제가 되지 않지만 피치가 좁은 단자에 맞춰서 비아홀을 촘촘히 필름상에 형성시키게 되는 경우에는 그러한 비아홀로 인하여 전체적인 필름의 강성이 저하되고 이에 따라 전체적으로 시트형 접속체의 내구성이 떨어지게 되는 문제점이 있다.The sheet-like connection body according to the prior art forms via holes formed on the film at positions corresponding to the terminals of the device under test, and recently, the device under test is manufactured to have a fine pitch with a narrow gap between the terminals. When the gap between these terminals is narrow, the gap between the via hole and the via hole must be narrowed, which causes the overall strength reduction of the film. That is, it is not a problem when the pitch distance is wide, but when the via holes are formed on the film closely in accordance with the narrow pitch terminals, the via holes lower the overall rigidity of the film and thus the durability of the sheet-like connector as a whole. There is a problem that fall.

또한, 상기 전극의 형상이 반구형의 형상을 이루고 있어 단자와 전극간의 접속력이 떨어지는 경우도 있다. Moreover, since the shape of the said electrode is hemispherical, the connection force between a terminal and an electrode may fall.

또한, 상기 시트형 접속체는 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 배열되어 있는 탄성도전시트와 함께 사용될 수 있는데, 이와 같이 시트형 접속체가 탄성도전시트와 함께 사용되는 경우에는 그 시트형 접속체의 필름이 상기 탄성도전시트의 상면에 일체적으로 부착되어 사용된다. 그러나, 이와 같이 시트형 접속체의 하면만이 상기 탄성도전시트의 상면에 부착되는 경우에는 그 시트형 접속체가 상기 탄성도전시트로부터 쉽게 떨어져 나갈 수 있게 된다는 문제점이 있다. In addition, the sheet-like connecting body may be used with an elastic conductive sheet in which a plurality of conductive particles are arranged in an elastic material. When the sheet-like connecting body is used together with the elastic conductive sheet, the film of the sheet-like connecting body is elastic. It is used integrally attached to the upper surface of the conductive sheet. However, when only the bottom surface of the sheet-like connecting body is attached to the top surface of the elastic conductive sheet, there is a problem that the sheet-shaped connecting body can be easily separated from the elastic conductive sheet.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스의 단자 사이의 간격이 좁은 경우에도 전체적인 내구성이 저하되지 않아 장기간 사용할 수 있으며, 탄성도전시트 등과 결합되어 사용되는 경우에도 그 탄성도전시트로부터 쉽게 이탈되지 않고 확실하게 고정될 수 있는 시트형 접속체, 그 시트형 접속체의 제조방법 및 테스트 소켓을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made to solve the above problems, and more particularly, even when the interval between the terminals of the device to be inspected is narrow, the overall durability does not decrease and can be used for a long time, and is used in combination with an elastic conductive sheet. An object of the present invention is to provide a sheet-like connector which can be securely fixed without being easily detached from the elastic conductive sheet, a method of manufacturing the sheet-like connector, and a test socket.

또한, 본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 그 전극의 상단에 요철이 형성되어 있어 단자와 확실한 전기적 접속을 가능하게 하는 시트형 접속체, 그 시트형 접속체의 제조방법 및 테스트 소켓을 제공하는 것을 목적으로 한다.In addition, the present invention was created in order to solve the above-described problems, and the present invention provides a sheet-like connector, a method of manufacturing the sheet-like connector, and a test socket, in which irregularities are formed on the upper end of the electrode to enable reliable electrical connection with the terminal. It aims to provide.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 다른 시트형 접속체는, 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드의 사이에 배치되어 상기 단자와 상기 패드를 전기적으로 연결하기 위한 시트형 접속체에 있어서,A sheet-like connector according to the present invention for achieving the above object is a sheet-like connector for electrically connecting the terminal and the pad, disposed between the terminal of the device under test and the pad of the test apparatus.

다공성의 그물망 형태로 이루어지는 메쉬시트;Mesh sheet made of a porous mesh form;

상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치에 배치되며 상기 메쉬시트에 일체적으로 연결되는 전극으로 이루어지되,It is made of an electrode disposed at a position corresponding to the terminal of the device under test and integrally connected to the mesh sheet,

상기 전극은,The electrode,

상기 메쉬시트의 상면으로부터 돌출되는 상측전극부;An upper electrode portion protruding from an upper surface of the mesh sheet;

상기 상측전극부와 대응되는 위치로서 상기 메쉬시트의 하면으로부터 돌출되는 하측전극부; 및A lower electrode part protruding from a lower surface of the mesh sheet as a position corresponding to the upper electrode part; And

상기 상측전극부와 상기 하측전극부를 서로 전기적으로 접속시키면서 상기 메쉬시트의 상기 다공성의 그물망의 사이사이를 충전하도록 구성되는 연결전극부로 구성된다.The upper electrode portion and the lower electrode portion is electrically connected to each other and is configured to connect between the electrode portion configured to fill between the porous mesh of the mesh sheet.

상기 시트형 접속체에서, In the sheet-like connection body,

상기 메쉬시트는 절연성의 유기섬유 또는 다공성 실리콘 필름으로 이루어지는 것이 바람직하다.The mesh sheet is preferably made of an insulating organic fiber or porous silicon film.

상기 시트형 접속체에서,In the sheet-like connection body,

상기 유기섬유는, 불소수지 섬유, 아라미드 섬유, 폴리에틸렌 섬유, 불소 수지 섬유, 나일론 섬유 또는 폴리에스테르 섬유 중 어느 하나를 포함하는 것이 바람직하다.It is preferable that the said organic fiber contains any of fluororesin fiber, aramid fiber, polyethylene fiber, fluororesin fiber, nylon fiber, or polyester fiber.

상기 시트형 접속체에서,In the sheet-like connection body,

상기 상측전극부의 상단에는 다수의 요철이 형성되어 있는 것이 바람직하다.It is preferable that a plurality of irregularities are formed on an upper end of the upper electrode portion.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 시트형 접속체는, 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드의 사이에 배치되어 상기 단자와 패드를 서로 전기적으로 연결하기 위한 시트형 접속체에 있어서,The sheet-like connecting body according to the present invention for achieving the above object is a sheet-like connecting body disposed between the terminal of the device under test and the pad of the test apparatus, and electrically connecting the terminal and the pad to each other,

상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치에 배치되며 도전성의 금속성 물질로 이루어지는 다수의 전극; 및A plurality of electrodes disposed at positions corresponding to the terminals of the device under test and made of a conductive metallic material; And

상기 각각의 전극들을 연결하면서 지지하되, 그 각각의 전극과 일체로 연결되는 메쉬시트로 구성된다.While supporting the respective electrodes, the mesh sheet is integrally connected to each of the electrodes.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트 소켓은, Test socket according to the present invention for achieving the above object,

상기 시트형 접속체와,The sheet-like connecting body,

상기 전극과 대응되는 위치에 배치되며 다수의 전도성 입자가 탄성물질 내에서 상하방향으로 배열되어 있는 도전부와, 상기 도전부를 지지하면서 각각의 도전부를 서로 절연시키는 절연부로 구성된 탄성도전시트를 포함하되, It includes an elastic conductive sheet disposed at a position corresponding to the electrode and composed of a conductive portion in which a plurality of conductive particles are arranged up and down in an elastic material, and an insulating portion for supporting the conductive portion and insulating each conductive portion from each other,

상기 시트형 접속체는 상기 탄성도전시트의 상측에 일체로 결합된다.The sheet-like connecting body is integrally coupled to the upper side of the elastic conductive sheet.

상기 테스트 소켓은, The test socket,

상기 시트형 접속체에서 상기 메쉬시트의 다공성의 그물망의 사이사이에는 상기 탄성도전시트의 탄성물질이 채워지는 것이 바람직하다.It is preferable that the elastic material of the elastic conductive sheet is filled between the porous meshes of the mesh sheet in the sheet-like connector.

상기 테스트 소켓은,The test socket,

상기 시트형 접속체에서 상기 메쉬시트의 다공성의 그물망의 사이사이에는 상기 탄성도전시트와 상기 시트형 접속체를 서로 접착시키는 접착제가 채워지는 것이 바람직하다.It is preferable that an adhesive for bonding the elastic conductive sheet and the sheet-shaped connecting body to each other is filled between the porous meshes of the mesh sheet in the sheet-type connecting body.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 시트형 프로브의 제조방법은, 상기 상측전극부와 대응되는 형상을 가지는 제1홈이 형성되는 제1몰드를 마련하는 제1몰드 마련단계;Method for manufacturing a sheet-like probe according to the present invention for achieving the above object, the first mold providing step of providing a first mold having a first groove having a shape corresponding to the upper electrode portion;

상기 제1몰드에서 제1홈을 덮도록 상기 제1몰드의 일면에 메쉬시트를 배치하는 메쉬시트 배치단계;Disposing a mesh sheet on one surface of the first mold to cover the first groove in the first mold;

상기 하측전극부와 대응되는 형상을 가지는 제1홀이 형성되는 제2몰드를 상기 메쉬시트 위에 마련하는 제2몰드 마련단계;A second mold preparing step of preparing a second mold on the mesh sheet, the second mold having a first hole having a shape corresponding to the lower electrode part;

상기 제1홈과 제1홀에 도전성 물질을 도금시켜 상기 메쉬시트를 관통하는 전극를 형성시키는 도금단계를 포함한다.And plating the conductive material in the first groove and the first hole to form an electrode penetrating the mesh sheet.

상기 제조방법에서, In the above production method,

상기 제2몰드 마련단계는,The second mold preparing step,

포토레지스트(Photo Resist; PR)를 패터닝하여 제1홀이 마련된 제2몰드가 형성되도록 하는 것이 바람직하다.It is preferable to pattern the photoresist (PR) so that a second mold having a first hole is formed.

상기 제조방법에서,In the above production method,

상기 포토레지스트는 액상 또는 드라이필름을 이용하는 것이 바람직하다.The photoresist is preferably a liquid or dry film.

상기 제조방법에서,In the above production method,

상기 제1홈에는 다수의 요철이 형성되어 있는 것이 바람직하다.It is preferable that a plurality of irregularities are formed in the first groove.

상기 제조방법에서,In the above production method,

본 발명에 따른 시트형 접속체는 별도의 비아홀이 형성됨이 없이 그 다공성의 그물망 형태로 이루어진 메쉬시트의 사이사이에 전극이 충전되어 일체적으로 결합되어 있어, 피검사 디바이스의 단자들 사이의 간격이 좁은 경우에도 전체적인 메쉬시트의 강도가 저하됨이 없이 내구성이 그대로 유지될 수 있다는 장점이 있다.In the sheet-like connector according to the present invention, the electrodes are filled and integrally coupled between the mesh sheets made of the porous mesh without the formation of a separate via hole, so that the gap between the terminals of the device under test is narrow. Even in this case, there is an advantage that durability can be maintained without deterioration of the overall strength of the mesh sheet.

또한, 상기 시트형 접속체가 탄성도전시트와 함께 사용되는 경우에는 그 탄성도전시트와 일체적으로 확실하게 고정결합될 수 있어 내구성이 그대로 유지될 수 있다는 장점이 있게 된다.In addition, when the sheet-like connecting body is used together with the elastic conductive sheet, the sheet-like connection body can be fixedly fixedly integrally with the elastic conductive sheet, so that durability can be maintained as it is.

또한, 상기 시트형 접속체에서 그 전극의 상단에 요철이 형성되어 있어 전기적인 접속력을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.In addition, since the irregularities are formed on the upper end of the electrode in the sheet-like connection body there is an advantage that can improve the electrical connection force.

도 1은 종래기술에 따른 시트형 접속체의 도면.
도 2는 본 발명에 따른 시트형 접속체의 도면.
도 3은 도 2에 따른 시트형 접속체를 제조하는 방법을 나타내는 도면.
도 4는 도 2에 따른 시트형 접속체를 포함하는 테스트 소켓을 나타내는 도면.
도 5는 도 2에 따른 시트형 접속체를 포함하는 테스트 소켓을 나타내는 도면. 1 is a view of a sheet-like connector according to the prior art.
2 is a view of a sheet-like connecting body according to the present invention.
3 shows a method of manufacturing the sheet-like connecting body according to FIG. 2.
4 shows a test socket comprising a sheet-like connector according to FIG. 2;
FIG. 5 shows a test socket comprising a sheet-like connector according to FIG. 2; FIG.

본 발명에 따른 바람직한 실시예에 따른 시트형 접속체(10)는, 메쉬시트(11)와 전극(12)으로 이루어진다.The sheet-like connecting body 10 according to the preferred embodiment of the present invention includes a mesh sheet 11 and an electrode 12.

상기 메쉬시트(11)는 다공성의 그물망 형태로 이루어지는 것으로서, 절연성을 가지면서 유기섬유(11a) 또는 다공성 실리콘 필름에 의하여 형성된 것이 바람직하며, 이러한 유기섬유(11a)로는 폴리테트라플루오로에틸렌 수지 등의 불소 수지 섬유, 아라미드 섬유, 폴리에틸렌 섬유, 폴리아릴레이트 섬유, 나일론 섬유, 폴리에스테르 섬유등이 사용될 수 있다.The mesh sheet 11 is formed in the form of a porous mesh, it is preferably formed by an organic fiber (11a) or a porous silicon film while having insulation, such organic fibers (11a), such as polytetrafluoroethylene resin Fluorine resin fibers, aramid fibers, polyethylene fibers, polyarylate fibers, nylon fibers, polyester fibers and the like can be used.

이러한 메쉬시트(11)의 두께는 10 내지 100㎛ 인 것이 바람직하고, 20 내지 50㎛ 인 것이 보다 바람직하다. 이러한 두께가 과소한 경우에는 높은 내구성을 가지기가 어려워 반복적인 피검사 디바이스와의 접촉에 의하여 쉽게 손상될 수 있어 곤란해지는 경우가 있다. 또한 이러한 두께가 과도한 경우에는 전극(12)의 두께가 두꺼워져서 통전성 면에서 다소 불리한 경우가 있다. 즉, 메쉬시트(11) 사이를 통과하는 전극의 부분이 많아지게 되는 경우에는 절연체인 유지섬유에 의하여 저항성이 높아질 우려가 있어서 바람직하지 못하게 되는 것이다.It is preferable that it is 10-100 micrometers, and, as for the thickness of this mesh sheet 11, it is more preferable that it is 20-50 micrometers. If the thickness is too small, it may be difficult to have high durability and may be easily damaged by repeated contact with the device under test. In addition, when the thickness is excessive, the thickness of the electrode 12 may be thick, which may be somewhat disadvantageous in terms of conductance. That is, when the portion of the electrode passing between the mesh sheet 11 increases, there is a possibility that the resistance is increased by the holding fiber which is an insulator, which is not preferable.

이러한 메쉬시트(11)를 구성하는 유기 섬유(11a)의 직경은 5 내지 100㎛ 인 것이 바람직하며, 10 내지 50㎛ 인 것이 좋다. 한편, 메쉬시트(11)의 평균 구멍크기는 10 내지 700㎛ 인 것이 바람직하며, 10 내지 400 ㎛ 인 것이 더 좋다. 이러한 구멍크기가 과소한 경우에는 그 내부에 충전될 전극의 양이 부족하여 충분한 전기적 흐름을 방해하여 바람직하지 못하고, 구멍크기가 과도한 경우에는 전체적인 메쉬시트의 내구성이 감소될 염려가 있을 뿐만 아니라, 특히 미세피치의 단자에 적용하기 위하여 전극(12)을 다수 형성시켰을 때 그 전극(12)에 의하여 메쉬시트(11)가 쉽게 손상되는 경우가 있다.It is preferable that the diameter of the organic fiber 11a which comprises this mesh sheet 11 is 5-100 micrometers, and it is good that it is 10-50 micrometers. On the other hand, the average pore size of the mesh sheet 11 is preferably 10 to 700 µm, more preferably 10 to 400 µm. If the hole size is too small, the amount of the electrode to be charged therein is insufficient to prevent sufficient electric flow, and if the hole size is excessive, not only the durability of the overall mesh sheet may be reduced, but in particular, When a large number of electrodes 12 are formed to be applied to a fine pitch terminal, the mesh sheet 11 may be easily damaged by the electrodes 12.

상기 전극(12)은 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치에 배치되며 상기 메쉬시트(11)에 일체적으로 연결되는 것이다. 이러한 전극(12)은 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 전기적으로 연결시키는 것으로서 구체적으로는 금속소재로 이루어지는 것이 바람직하다. The electrode 12 is disposed at a position corresponding to the terminal of the device under test and is integrally connected to the mesh sheet 11. The electrode 12 electrically connects the terminal of the device under test and the pad of the test device, and is preferably made of a metal material.

상기 전극(12)을 구성하는 금속으로는 도전성이 우수한 소재라면 무엇이나 가능하나, 바람직하게는 높은 경도를 가지는 단일의 소재 또는 합금등이 사용될 수 있다. 특히 후술하는 MEMS 기술에 의하여 제작되기 용이한 Ni(니켈)-Co(코발트) 또는 Ni(니켈)-W(텅스텐) 등의 합금소재로 사용되는 것이 바람직하나 이에 한정되는 것은 아니며 니켈, 구리, 금, 은, 팔라듐, 철 등도 이용할 수 있다. 이러한 전극(12)은 단일의 금속으로 이루어질 수도 있으며, 2종 이상의 금속의 합금으로 이루어지는 것 또는 2종 이상의 금속이 적층되어 이루어지는 것도 좋다. The metal constituting the electrode 12 may be any material having excellent conductivity, but preferably, a single material or an alloy having a high hardness may be used. In particular, it is preferably used as an alloying material such as Ni (nickel) -Co (cobalt) or Ni (nickel) -W (tungsten), which is easy to be manufactured by the MEMS technique described below, but is not limited thereto. Nickel, copper, gold , Silver, palladium, iron and the like can also be used. The electrode 12 may be made of a single metal, or may be made of an alloy of two or more kinds of metals, or may be formed by stacking two or more kinds of metals.

이러한 전극(12)은 상측전극부(12a), 하측전극부(12b) 및 연결전극부(12c)로 이루어진다.The electrode 12 includes an upper electrode part 12a, a lower electrode part 12b, and a connecting electrode part 12c.

상기 상측전극부(12a)는 상기 메쉬시트(11)의 상면으로부터 돌출되는 것으로서, 구체적으로는 피검사 디바이스의 단자와 접촉될 수 있는 부분이다. 이러한 상측전극부(12a)는 그 상단에 다수의 요철이 형성되어 있어 상기 피검사 디바이스와의 접속을 확실하게 할 수 있다. 한편, 요철의 형태는 끝단이 뾰족한 탐침의 형태로 이루어지는 것도 가능하며, 크라운 형태 또는 단일의 탐침형태등도 사용될 수 있으며, 필요에 따라서는 그러한 요철이 형성되지 않는 것도 고려할 수 있다.The upper electrode portion 12a protrudes from the upper surface of the mesh sheet 11, and specifically, may be in contact with the terminal of the device under test. In the upper electrode portion 12a, a plurality of irregularities are formed at the upper end thereof, so that the connection with the device under test can be secured. On the other hand, the shape of the concave-convex can also be formed in the form of a pointed tip of the tip, it may be used in the form of a crown or a single probe, and if necessary, it can be considered that such irregularities are not formed.

상기 하측전극부(12b)는, 상기 상측전극부(12a)와 대응되는 위치로서 상기 메쉬시트(11)의 하면으로부터 돌출되는 것으로서, 구체적으로는 하면이 평편한 평면 또는 요철형태가 형성될 수 있다. 이러한 하측전극부(12b)와 상측전극부(12a)는 서로 동일한 소재로 이루어질 수 있으며 필요에 따라서는 서로 다른 소재로 이루어지는 것도 가능하다.The lower electrode part 12b protrudes from the lower surface of the mesh sheet 11 as a position corresponding to the upper electrode part 12a. Specifically, the lower electrode part 12b may have a flat or uneven shape having a flat lower surface. . The lower electrode part 12b and the upper electrode part 12a may be made of the same material, and may be made of different materials as necessary.

상기 연결전극부(12c)는 상기 상측전극부(12a)와 상기 하측전극부(12b)를 서로 전기적으로 접속시키면서 상기 메쉬시트(11)의 상기 다공성의 그물망 사이사이를 충전하도록 구성되어 있는 것이다. 이러한 연결전극부(12c)는 상기 메쉬시트(11)의 구멍 사이를 채워지도록 구성됨에 따라서 확실하게 전극(12)이 메쉬시트(11)와 결합될 수 있게 할 뿐 아니라, 별도의 시트에 별도의 비아홀 등을 형성할 필요가 없어서 미세피치의 단자를 위하여 전극 사이의 간격을 좁게 하여도 전체적인 시트의 강도가 저하됨이 적다.The connection electrode part 12c is configured to fill between the porous meshes of the mesh sheet 11 while electrically connecting the upper electrode part 12a and the lower electrode part 12b to each other. The connection electrode part 12c is configured to fill the gaps between the holes of the mesh sheet 11, so that the electrode 12 can be surely combined with the mesh sheet 11, and is separated into a separate sheet. Since there is no need to form via holes or the like, even if the interval between the electrodes is narrowed for the terminal of the fine pitch, the overall sheet strength is reduced.

상기 상측전극부(12a)의 돌출높이는 접속해야 할 단자에 대해 안정된 전기적 접속을 달성할 수 있도록 15 ~ 50㎛ 인 것이 바람직하며, 보다 바람직하게는 15 ~ 35㎛ 인 것이 좋다.The protrusion height of the upper electrode portion 12a is preferably 15 to 50 µm, more preferably 15 to 35 µm, to achieve stable electrical connection with respect to the terminal to be connected.

또한, 하측전극부(12b)의 돌출높이는 강도가 충분히 높고 우수한 반복 내구성을 얻게 되는 점에서 10 ~ 40㎛ 인 것이 바람직하며, 보다 바람직하게는 15 ~ 35㎛ 인 것이 좋다.In addition, the protrusion height of the lower electrode portion 12b is preferably 10 to 40 µm, and more preferably 15 to 35 µm in that the strength is sufficiently high and excellent repeat durability is obtained.

이러한 본 발명에 따른 시트형 접속체는 도 3에 도시된 바와 같이 제조될 수 있다.Such a sheet-like connecting body according to the present invention can be manufactured as shown in FIG.

먼저, 제조방법은, 제1몰드 마련단계, 메쉬시트 배치단계, 제2몰드 마련단계 및 제2몰드 마련단계 및 도금단계를 포함한다.First, the manufacturing method includes a first mold preparation step, a mesh sheet arrangement step, a second mold preparation step, a second mold preparation step, and a plating step.

상기 제1몰드 마련단계는, 도 3 (a)에 도시한 바와 같이 상기 상측전극부(12a)와 대응되는 형상을 가지는 제1홈(23)이 형성되는 제1몰드(20, 21)를 마련하는 단계이다. 이때 제1홈(23)에는 다수의 요철(20a)이 형성되어 있어 그 형상에 맞게 상기 상측전극부(12a)에 요철이 형성될 수 있도록 한다. 이때, 상기 제1몰드는 Wet 에칭에 의하여 요철과 대응되는 형상을 가지는 요철(20a)을 기판(20)에 생성시킨 후에, 상기 기판(20)에 액상 또는 드라이필름등을 배치시킨 후에, 포토레지스트를 패터닝하여 제1홈(23)을 형성시키게 되는 것이다.In the preparing of the first mold, as illustrated in FIG. 3A, first molds 20 and 21 having first grooves 23 having shapes corresponding to the upper electrode portions 12a are formed. It's a step. In this case, a plurality of unevennesses 20a are formed in the first groove 23 so that the unevennesses may be formed in the upper electrode part 12a according to the shape thereof. In this case, the first mold is formed by the wet etching to form the unevenness 20a having a shape corresponding to the unevenness on the substrate 20, after the liquid or dry film or the like is disposed on the substrate 20, the photoresist By patterning the first groove 23 will be formed.

상기 메쉬시트 배치단계는, 도 3 (b)에 도시된 바와 같이 상기 제1몰드(20, 21)에서 제1홈(23)을 덮도록 상기 제1몰드(20, 21)의 일면에 메쉬시트(11)를 배치하는 단계이다.The mesh sheet arrangement step, as shown in Figure 3 (b) is a mesh sheet on one surface of the first mold (20, 21) to cover the first groove (23) in the first mold (20, 21) It is a step of arranging (11).

상기 제2몰드 마련단계는, 상기 하측전극부(12b)와 대응되는 형상을 가지는 제1홀(24)이 형성되는 제2몰드(22)를 상기 메쉬시트(11) 위에 마련하는 단계이다. 구체적으로는 액상 또는 드라이필름과 같은 포토레지스트를 패터닝함에 의하여 제1홀(24)을 형성시키는 것이다. 이러한 제1홀(24)은 상기 하측전극부(12b)와 대응되는 형상을 가지도록 구성된다.In the preparing of the second mold, the second mold 22 having the first hole 24 having a shape corresponding to the lower electrode part 12b is formed on the mesh sheet 11. Specifically, the first hole 24 is formed by patterning a photoresist such as a liquid or a dry film. The first hole 24 is configured to have a shape corresponding to the lower electrode part 12b.

상기 도금단계는, 상기 제1홈(23)과 제1홀(24)에 도전성 물질(12')을 도금시켜 상기 메쉬시트(11)를 관통하는 전극(12)을 형성시키는 것이다. 구체적으로는 Ni-Co 또는 Ni-W 등의 도전성 물질(12')을 도금시켜 전극(12)을 완성하는 것이다. 이때 제1홈(23)에 도금된 부분은 상측전극부(12a)를 형성하고 제1홀(24)에 도금된 부분은 하측전극부(12b)를 형성하며 메쉬시트(11)를 관통하는 부분은 연결전극부(12c)를 형성하게 될 수 있다.In the plating step, the conductive material 12 ′ is plated in the first groove 23 and the first hole 24 to form an electrode 12 penetrating the mesh sheet 11. Specifically, the electrode 12 is completed by plating a conductive material 12 'such as Ni-Co or Ni-W. At this time, the portion plated in the first groove 23 forms the upper electrode portion 12a and the portion plated in the first hole 24 forms the lower electrode portion 12b and penetrates the mesh sheet 11. The silver connection electrode part 12c may be formed.

이와 같이 제작된 본 발명에 따른 시트형 접속체는 다음과 같은 효과를 가진다. The sheet-like connecting body according to the present invention thus produced has the following effects.

종래기술의 경우에는 피검사 디바이스의 단자들 사이가 좁은 경우에는 비아홀을 그에 맞게 뚫어야 하기 때문에 전체적인 시트의 강도가 떨어지는 문제가 있다. 이에 반해서 본원발명은 기존의 메쉬시트를 관통하도록 전극을 형성함에 따라서 미세피치의 단자의 경우에도 손쉽게 적용할 수 있으며 전체적인 내구성 저하가 방지될 수 있다.In the prior art, when the terminals of the device under test are narrow, the via hole has to be drilled accordingly, so that the strength of the entire sheet is lowered. On the contrary, the present invention can be easily applied to the case of the terminal of the fine pitch as the electrode is formed to penetrate the existing mesh sheet and the overall durability can be prevented.

또한, 본원발명은 별도의 비아홀 형성과정이 없기 때문에 공정이 단순화되어 전체적인 제조비용을 절약할 수 있을 뿐만 아니라, 제조시간도 절약할 수 있다는 장점이 있다.In addition, the present invention has the advantage that the process is simplified because there is no separate via hole forming process, not only can reduce the overall manufacturing cost, but also the manufacturing time.

이러한 본 발명에 따른 시트형 접속체는 탄성도전시트등과 함께 테스트 소켓으로서 사용될 수 있다.The sheet-like connecting body according to the present invention can be used as a test socket with an elastic conductive sheet or the like.

상기 시트형 접속체(10)는 상술한 바와 동일하며, 상기 탄성도전시트(30)는 전극(12)과 대응되는 위치에 배치되며 다수의 전도성 입자(32a)가 탄성물질 내에서 상하방향으로 배열되어 있는 것이다. 이러한 도전부(32)의 주변에는 도전부(32)를 지지하면서 각각의 도전부(32)를 서로 이격시키면서 절연시키는 절연부(31)가 마련되어 있게 된다.The sheet-shaped connector 10 is the same as described above, the elastic conductive sheet 30 is disposed in a position corresponding to the electrode 12 and a plurality of conductive particles 32a are arranged in the elastic material in the vertical direction It is. An insulating portion 31 is provided around the conductive portion 32 to insulate the conductive portions 32 from each other while supporting the conductive portions 32.

한편, 상기 도전부(32) 및 절연부(31)는 그 메쉬시트(11)와 일체적으로 결합된다. 구체적으로는 상기 탄성도전시트(30)를 액상의 탄성물질, 예를 들어 실리콘 고무 내에 다수의 탄성도전입자를 함유한 상태에서 금형(미도시) 내에서 상하방향으로 자기장을 가하면서 굳혀서 제작되는데, 이러한 과정에서 그 금형 내에 상기 시트형 접속체(10)를 미리 삽입하여 둔 상태에서 일체적으로 상기 탄성도전시트(30)와 결합하는 것도 가능하다. 이러한 경우에는 상기 시트형 접속체(10)는 그 구성이 메쉬시트(11)로 이루어져 있기 때문에, 각각의 절연성 물질이 상기 메쉬시트(11)의 공극 내부에 충전됨으로서 확실하게 그 메쉬시트(11)가 고정결합될 수 있게 되는 것이다.On the other hand, the conductive portion 32 and the insulating portion 31 is integrally coupled with the mesh sheet (11). Specifically, the elastic conductive sheet 30 is produced by hardening while applying a magnetic field in a mold (not shown) in a state in which a plurality of elastic conductive particles are contained in a liquid elastic material, for example, silicone rubber. In this process, it is also possible to integrally couple with the elastic conductive sheet 30 in a state in which the sheet-like connecting body 10 is previously inserted into the mold. In this case, since the structure of the sheet-shaped connection body 10 is made of the mesh sheet 11, the mesh sheet 11 is reliably filled by filling each of the insulating materials into the voids of the mesh sheet 11. It can be fixedly coupled.

이에 반해서 종래기술의 경우에는 필름의 시트형태로 이루어져 있어 그 시트의 하면이 상기 탄성도전시트의 상면에 접촉되도록 구성되어 있어 쉽게 그 탄성도전시트로부터 이탈될 수 있다.On the contrary, in the case of the prior art, the film is formed in the form of a sheet so that the bottom surface of the sheet is in contact with the top surface of the elastic conductive sheet so that it can be easily separated from the elastic conductive sheet.

한편, 본 발명에 따른 시트형 접속체는 이에 한정되는 것은 아니며, 이미 제작해둔 탄성도전시트에 접착제등에 의하여 서로 부착하는 것도 가능하다. 이 경우에는 상기 접착제를 상기 다공성의 구멍을 통과하도록 충분히 묻힌 상태에서 상기 탄성도전시트의 상면측에 부착시키기 때문에 그 시트형 접속체가 확실하게 탄성도전시트에 부착될 수 있게 되어 종래기술보다 효과적일 수 있다.On the other hand, the sheet-like connecting body according to the present invention is not limited to this, it is also possible to attach to each other by an adhesive or the like to the already prepared elastic conductive sheet. In this case, since the adhesive is attached to the upper surface side of the elastic conductive sheet in a state sufficiently buried to pass through the porous hole, the sheet-like connecting member can be securely attached to the elastic conductive sheet, which can be more effective than the prior art. .

이러한 본 발명에 따른 테스트 소켓은 이에 한정되는 것은 아니며, 두 5에 도시된 바와 같이 스프링이 마련된 하우징등과 함께 사용될 수 있다. 구체적으로는 하우징(40)은 플라스틱 소재로 이루어지는데, 그 하우징(40)에는 상기 피검사 디바이스(120)의 단자(121)와 대응되는 위치마다 상하방향으로 관통공(43)이 형성되어 있으며 그 관통공(43)의 상하단에는 단턱(41, 42)이 형성되어 있게 된다. 상기 스프링(50)은 그 관통공(43)에 삽입되어 배치되는데, 그 스프링(50)의 상하측은 직경이 좁아져서 상기 단턱(41, 42)에 의하여 그 하우징(40)으로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있게 된다. 이러한 상태에서 상기 시트형 접속체(10)를 그 하우징의 상측에 배치하여 일체적으로 상기 테스트 소켓을 구성할 수 있다.Such a test socket according to the present invention is not limited thereto, and may be used together with a housing provided with a spring as shown in FIG. 5. Specifically, the housing 40 is made of a plastic material, the through hole 43 is formed in the housing 40 in the vertical direction for each position corresponding to the terminal 121 of the device under test 120. Steps 41 and 42 are formed at upper and lower ends of the through hole 43. The spring 50 is inserted and disposed in the through hole 43, the upper and lower sides of the spring 50 is narrowed to prevent the spring 50 from being separated from the housing 40 by the stepped 41, 42 It becomes possible. In this state, the sheet-shaped connector 10 may be disposed above the housing to integrally configure the test socket.

한편, 본 발명에 따른 테스트 소켓은 이에 한정되는 것은 아니며 포고핀 또는 기타 다양한 형태로서 사용될 수 있음은 물론이다.On the other hand, the test socket according to the present invention is not limited thereto and may be used as a pogo pin or other various forms.

10...시트형 접속체 11...메쉬시트
12...전극 12a...상측전극부
12b...하측전극부 12c...연결전극부10 ... Sheet type connector 11 ... Mesh sheet
12.electrode 12a ... upper electrode
12b ... lower electrode part 12c ... connecting electrode part

Claims

In the sheet-like connecting body disposed between the terminal of the device under test and the pad of the inspection apparatus for electrically connecting the terminal and the pad,
Mesh sheet made of a porous mesh form;
It is made of an electrode disposed at a position corresponding to the terminal of the device under test and integrally connected to the mesh sheet,
The electrode
An upper electrode portion protruding from an upper surface of the mesh sheet;
A lower electrode part protruding from a lower surface of the mesh sheet as a position corresponding to the upper electrode part; And
And a connecting electrode part configured to fill between the porous meshes of the mesh sheet while electrically connecting the upper electrode part and the lower electrode part to each other.

The method of claim 1,
The mesh sheet is a sheet-like connector, characterized in that made of insulating organic fibers or porous silicon film.

The method of claim 2,
The organic fiber is any one of a fluorine resin fiber, aramid fiber, polyethylene fiber, fluorine resin fiber, nylon fiber or polyester fiber.

The method of claim 1,
A sheet-like connector, characterized in that a plurality of irregularities are formed on the upper end of the upper electrode.

In the sheet-like connecting body disposed between the terminal of the device under test and the pad of the inspection device for electrically connecting the terminal and the pad to each other,
A plurality of electrodes disposed at positions corresponding to the terminals of the device under test and made of a conductive metallic material; And
A sheet-like connector comprising a mesh sheet connected to each electrode while being supported while being connected to each of the electrodes.

A test socket having a sheet-like connector according to any one of claims 1 to 5,
The sheet-like connecting body,
It includes an elastic conductive sheet disposed at a position corresponding to the electrode and composed of a conductive portion in which a plurality of conductive particles are arranged up and down in an elastic material, and an insulating portion for supporting the conductive portion and insulating each conductive portion from each other.
The sheet connector is integrally coupled to the upper side of the elastic conductive sheet.

The method of claim 6,
The test socket is filled with the elastic material of the elastic conductive sheet between the porous mesh of the mesh sheet in the sheet-like connector.

The method of claim 6,
A test socket in which the adhesive for adhering the elastic conductive sheet and the sheet-shaped connection body to each other is filled between the porous meshes of the mesh sheet in the sheet-type connection body.

In the manufacturing method of the sheet-like connector according to claim 1,
A first mold providing step of preparing a first mold in which a first groove having a shape corresponding to the upper electrode part is formed;
Disposing a mesh sheet on one surface of the first mold to cover the first groove in the first mold;
A second mold preparing step of preparing a second mold on the mesh sheet, the second mold having a first hole having a shape corresponding to the lower electrode part;
And a plating step of forming an electrode penetrating the mesh sheet by plating a conductive material in the first groove and the first hole.

10. The method of claim 9,
The second mold preparing step,
The photoresist (PR) patterning method for producing a sheet-like connector, characterized in that to form a second mold provided with a first hole.

The method of claim 10,
The photoresist is a manufacturing method of the sheet-like connector, characterized in that using a liquid or dry film.

10. The method of claim 9,
The first groove is a manufacturing method of the sheet-like connector, characterized in that a plurality of irregularities are formed.

10. The method of claim 9,
The mesh sheet is a manufacturing method of the sheet-like connector, characterized in that made of insulating organic fibers or porous silicon film.