KR102702979B1

KR102702979B1 - socket for test

Info

Publication number: KR102702979B1
Application number: KR1020210190408A
Authority: KR
Inventors: 정영배; 이병주; 윤희복; 양준혁; 최진우
Original assignee: 주식회사 아이에스시
Filing date: 2021-12-28
Publication date: 2024-09-04

Abstract

본 발명은 검사용 시트형 커넥터 및 검사용 소켓에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 관통구멍이 형성되어 있으며 절연성 소재로 이루어진 절연성 시트; 상기 절연성 시트의 관통구멍과 대응되는 위치로서 상기 절연성 시트의 상면에 배치되는 상부 전극부와, 상기 절연성 시트의 관통구멍과 대응되는 위치로서 상기 절연성 시트의 하면에 배치되는 하부 전극부와, 상기 상부 전극부와 상기 하부 전극부를 연결하며 상기 관통구멍을 통과하는 연결부를 포함하는 전극구조체;를 포함하되, 상기 연결부의 길이는 상기 절연성 시트의 두께보다 커서 상기 전극구조체는 상기 절연성 시트에 대하여 상하방향으로 이동가능한 것을 특징으로 하는 검사용 시트형 커넥터와, 그 검사용 시트형 커넥터를 포함하는 검사용 소켓에 대한 것이다.The present invention relates to an inspection sheet-type connector and an inspection socket, and more specifically, to an inspection sheet-type connector, comprising: an insulating sheet made of an insulating material, wherein through holes are formed at each position corresponding to a terminal of a device to be inspected; an electrode structure including an upper electrode portion arranged on an upper surface of the insulating sheet at a position corresponding to the through holes of the insulating sheet, a lower electrode portion arranged on a lower surface of the insulating sheet at a position corresponding to the through holes of the insulating sheet, and a connecting portion connecting the upper electrode portion and the lower electrode portion and passing through the through holes; wherein a length of the connecting portion is greater than a thickness of the insulating sheet, and the electrode structure is capable of moving up and down with respect to the insulating sheet; and an inspection socket including the inspection sheet-type connector.

Description

socket for test

본 발명은 검사용 시트형 커넥터 및 검사용 소켓에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 전극구조체가 상하 개별적으로 동작하여 검사에 필요한 동작성을 확보할 수 있는 검사용 시트형 커넥터 및 검사용 소켓에 대한 것이다. The present invention relates to an inspection sheet-type connector and an inspection socket, and more specifically, to an inspection sheet-type connector and an inspection socket in which electrode structures can operate independently from top to bottom to secure operability required for inspection.

피검사 디바이스의 검사를 위해, 피검사 디바이스와 검사장치를 전기적으로 연결시키는 검사용 소켓이 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치된다. 검사용 소켓은 검사장치의 전기적 테스트 신호를 피검사 디바이스에 전달하고, 피검사 디바이스의 응답 신호를 검사장치에 전달한다. 이러한 검사용 소켓으로서, 포고핀 소켓과 도전성 러버 시트가 사용되고 있다.In order to test the device under test, a test socket that electrically connects the device under test and the test device is placed between the device under test and the test device. The test socket transmits an electrical test signal of the test device to the device under test and transmits a response signal of the device under test to the test device. As such a test socket, a pogo pin socket and a conductive rubber sheet are used.

포고핀 소켓은 피검사 디바이스에 가해지는 외력에 응해 수직 방향으로 눌러지는 포고핀을 갖는다. 포고핀 소켓은, 핀과 스프링을 수용하는 부품을 필요로 하므로, 얇은 두께를 갖기 어렵고, 피검사 디바이스의 단자들의 미세 피치에 적용되기 어렵다.A pogo pin socket has a pogo pin that is pressed in a vertical direction in response to an external force applied to a device under test. Since a pogo pin socket requires a component that accommodates the pin and a spring, it is difficult to have a thin thickness and is difficult to apply to the fine pitch of terminals of a device under test.

도전성 러버 시트는 피검사 디바이스에 가해지는 외력에 응해 탄성 변형할 수 있다. 도전성 러버 시트는, 포고핀 소켓에 비해, 적은 제조 비용으로 제조될 수 있고, 피검사 디바이스의 단자를 손상시키지 않으며, 매우 얇은 두께를 가지는 점에서, 유리하다. 따라서, 포고핀 소켓을 도전성 러버 시트로 대체하는 시도가 피검사 디바이스의 검사 분야에서 다양하게 행해지고 있다.The conductive rubber sheet can be elastically deformed in response to an external force applied to the device under test. The conductive rubber sheet is advantageous in that it can be manufactured at a lower manufacturing cost than the pogo pin socket, does not damage the terminal of the device under test, and has a very thin thickness. Therefore, various attempts are being made to replace the pogo pin socket with the conductive rubber sheet in the field of inspection of the device under test.

도 1은 종래의 검사용 소켓의 일예를 나타내고 있으며, 도 2는 작동상태를 나타내며 도 3은 도 2의 일부 확대도이다.Fig. 1 shows an example of a conventional inspection socket, Fig. 2 shows the operating state, and Fig. 3 is an enlarged view of a portion of Fig. 2.

검사용 소켓(10)은, 시트형 커넥터(20)와, 이방 도전성 시트(30)로 이루어진다.The inspection socket (10) is composed of a sheet-shaped connector (20) and a foreign conductive sheet (30).

시트형 커넥터(20)는, 절연성 필름(21)에 다수의 전극(22)이 결합되어 구성된 것이며, 이방 도전성 시트(30)는 상기 시트형 커넥터(20)의 아래에 배치되며 도전부(31)와 절연부(32)로 이루어진다. The sheet-shaped connector (20) is configured by combining a plurality of electrodes (22) to an insulating film (21), and an anisotropic conductive sheet (30) is arranged below the sheet-shaped connector (20) and is composed of a conductive portion (31) and an insulating portion (32).

상기 도전부(31)는 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 집합되어 있는 것이며, 절연부(32)는 각 도전부(31)를 절연시키면서 지지하도록 구성되며 탄성 절연물질로 이루어진다.The above conductive portion (31) is formed by a plurality of conductive particles gathered in the thickness direction within an elastic insulating material, and the insulating portion (32) is configured to support and insulate each conductive portion (31) and is made of an elastic insulating material.

이러한 검사용 소켓(10)은 시트형 커넥터(20)와 이방 도전성 시트(30)가 일체로 결합되어 구성되어 있으며, 검사장치(40)에 탑재된다. This inspection socket (10) is composed of a sheet-shaped connector (20) and a foreign conductive sheet (30) integrally joined together and is mounted on an inspection device (40).

트레이(미도시)에 탑재된 피검사 디바이스(50)는 인서트(60)에 탑재된 상태로 이동되어 검사용 소켓(10)으로 운반되어 온다. 이때, 피검사 디바이스(50)는 인서트(60)의 하측에 배치된 시트(61) 위에 배치되어 있으며, 시트(61)에 형성된 복수의 구멍(62)에 피검사 디바이스(50)의 단자(51)가 끼워진 상태로 운반된다.The test device (50) mounted on a tray (not shown) is moved while mounted on an insert (60) and transported to a test socket (10). At this time, the test device (50) is placed on a sheet (61) positioned on the lower side of the insert (60), and is transported with the terminals (51) of the test device (50) fitted into a plurality of holes (62) formed on the sheet (61).

피검사 디바이스(50)를 운반해온 인서트(60)는 피검사 디바이스(50)의 단자(51)가 시트형 커넥터(20)의 전극(22)에 접촉되도록 하강하게 되고, 피검사 디바이스(50)의 상면에 배치된 푸셔(70)가 피검사 디바이스(50)의 단자(51)를 검사용 소켓(10)으로 가압하게 되면 피검사 디바이스(50)의 단자(51)와 시트형 커넥터(20)의 전극(22)이 서로 접촉된다. 이후에 검사장치(40)로부터 소정의 전기적 신호가 인가되면서 전기적 검사가 수행된다.The insert (60) carrying the test device (50) is lowered so that the terminal (51) of the test device (50) comes into contact with the electrode (22) of the sheet-shaped connector (20), and when the pusher (70) arranged on the upper surface of the test device (50) presses the terminal (51) of the test device (50) to the test socket (10), the terminal (51) of the test device (50) and the electrode (22) of the sheet-shaped connector (20) come into contact with each other. Thereafter, an electrical test is performed when a predetermined electrical signal is applied from the test device (40).

이러한 종래기술에 따른 검사용 소켓은 다음과 같은 문제점이 있다.These inspection sockets according to prior art have the following problems.

피검사 디바이스의 단자는 탄성이 없는 시트형 커넥터의 전극과 접촉하게 되는데, 단자와 전극이 모두 탄성이 없어서 접촉시 반도체 시험에 필요한 동작성이 부족하게 되는 단점이 있다.The terminal of the test device comes into contact with the electrode of the inelastic sheet-shaped connector, but since both the terminal and the electrode are inelastic, there is a disadvantage in that the operability required for semiconductor testing is lacking when in contact.

최근에는 피검사 디바이스가 미세피치화되면서 피검사 디바이스의 단자들이 작아지게 되고 이 과정에서 각 단자의 높이도 낮아지면서 인서트에 배치된 시트의 구멍에 단자가 삽입되었을 때 검사용 소켓과의 접촉 안정성이 저해되는 일이 있다.Recently, as the inspection device becomes fine-pitched, the terminals of the inspection device become smaller, and in this process, the height of each terminal also decreases, and when the terminal is inserted into the hole of the sheet placed on the insert, the stability of contact with the inspection socket is sometimes deteriorated.

특히, 인서트에 배치된 시트는 피검사 디바이스를 안정적으로 지지해야 하기 때문에 충분한 내구성을 가져야 하고 이로 인하여 일정 이상의 두께를 가져야 하는데, 이에 따라 인서트의 시트의 구멍 내에서 단자와 전극이 서로 접촉해야 하는 경우도 있게 되어 동작성능에 문제가 있게 된다In particular, the sheet placed on the insert must have sufficient durability to stably support the inspection device, and therefore must have a thickness above a certain level. Accordingly, there are cases where the terminal and electrode must come into contact with each other within the hole of the sheet of the insert, which causes problems with the operating performance.

또한 피검사 디바이스의 단자들이 미세피치화 과정에서 피검사 디바이스의 단자의 높이가 일정하지 못하게 되는 경우가 있는데, 이때 단자가 전극에 접촉되지 못하는 경우도 있게 되는데, 이 경우에는 정확한 전기적 검사를 수행할 수 없게 되는 문제가 있다.In addition, there are cases where the height of the terminals of the device to be tested becomes inconsistent during the process of fine-pitching, and in such cases, the terminals may not make contact with the electrodes. In such cases, there is a problem in that accurate electrical testing cannot be performed.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 미세피치를 가진 피검사 디바이스에 대하여 동작성과 전기적 접촉성능을 높일 수 있는 검사용 시트형 커넥터 및 검사용 소켓을 제공하는 것을 기술적 목적으로 한다.The present invention has been created to solve the above-described problems, and more specifically, the technical purpose of the present invention is to provide an inspection sheet-type connector and an inspection socket capable of improving the operability and electrical contact performance of an inspection device having a fine pitch.

상술한 기술적 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 소켓은, The inspection socket of the present invention for achieving the above-described technical purpose is,

피검사 디바이스와 검사장치 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시켜 피검사 디바이스에 대한 전기적 검사가 수행되도록 하는 검사용 시트형 커넥터에 있어서,In a test sheet-type connector that is placed between a test device and a test apparatus to electrically connect the terminal of the test device and the pad of the test apparatus to each other so that an electrical test of the test device can be performed,

피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 관통구멍이 형성되어 있으며 절연성 소재로 이루어진 절연성 시트; 및An insulating sheet made of an insulating material, with through holes formed at each location corresponding to the terminals of the test device; and

상기 절연성 시트의 관통구멍과 대응되는 위치로서 상기 절연성 시트의 상면에 배치되는 상부 전극부와,An upper electrode portion arranged on the upper surface of the insulating sheet at a position corresponding to the through hole of the insulating sheet,

상기 절연성 시트의 관통구멍과 대응되는 위치로서 상기 절연성 시트의 상면에 배치되는 하부 전극부와,A lower electrode portion arranged on the upper surface of the insulating sheet at a position corresponding to the through hole of the insulating sheet,

상기 상부 전극부의 하면과, 상기 하부 전극부의 상면에 연결되고 상기 절연성 시트의 관통구멍을 통과하며, 상기 절연성 시트의 두께방향을 따라서 이동가능한 연결부로 구성된 전극구조체;를 포함하되,An electrode structure comprising a lower surface of the upper electrode portion and an upper surface of the lower electrode portion, a connecting portion passing through a through hole of the insulating sheet, and movable along the thickness direction of the insulating sheet;

상기 연결부의 길이는 상기 절연성 시트의 두께보다 커서 상기 전극구조체는 상기 절연성 시트에 대하여 상하방향으로 이동할 수 있다.The length of the above connecting portion is greater than the thickness of the insulating sheet, so that the electrode structure can move up and down with respect to the insulating sheet.

상기 검사용 시트형 커넥터에서,In the above inspection sheet-type connector,

상기 상부 전극부와, 하부 전극부는 상기 관통구멍의 직경보다 클 수 있다.The upper electrode portion and the lower electrode portion may be larger than the diameter of the through hole.

상기 연결부는 상기 관통구멍의 직경보다 작을 수 있다.The above connecting portion may have a diameter smaller than the diameter of the through hole.

상기 피검사 디바이스의 단자와 접촉되는 상부 전극부의 표면에는 요철이 형성될 수 있다.The surface of the upper electrode portion that comes into contact with the terminal of the above-mentioned test device may have unevenness.

상기 요철은 삼각뿔, 원뿔, 다각뿔, 다각기둥, 원기둥 중 어느 하나가 복수개 마련되어 형성될 수 있다.The above-mentioned irregularities can be formed by providing multiple numbers of any one of a triangular pyramid, a cone, a polygonal pyramid, a polygonal prism, and a cylinder.

상기 하부 전극부에는 반구형 범프가 형성될 수 있다.A hemispherical bump can be formed on the lower electrode portion.

상기 반구형 범프는 상기 하부 전극부와 다른 이종소재로 이루어지거나, 다른 이종소재가 도금처리될 수 있다.The above hemispherical bump may be made of a different material than the lower electrode portion, or may be plated with a different material.

상기 이종소재는 연성이 우수한 주석을 포함할 수 있다.The above heterogeneous materials may include tin having excellent ductility.

상기 관통구멍은 복수개가 서로 이격되어 배치되고,The above through holes are arranged in multiple numbers spaced apart from each other,

상기 전극구조체는 복수개가 각각의 관통구멍에 배치되어 있으며,The above electrode structures are arranged in multiple through holes,

각 전극구조체는 인접한 전극구조체에 대하여 독립적으로 상하방향으로 이동할 수 있다.Each electrode structure can move independently in the vertical direction with respect to the adjacent electrode structures.

상기 전극구조체는 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)에 의하여 제조될 수 있다.The above electrode structure can be manufactured by MEMS (Micro Electro Mechanical Systems).

상술한 기술적 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 소켓은,The inspection socket of the present invention for achieving the above-described technical purpose is,

피검사 디바이스와 검사장치 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시켜 피검사 디바이스에 대한 전기적 검사가 수행되도록 하는 검사용 소켓에 있어서,In a test socket that is placed between a test device and a test apparatus to electrically connect the terminal of the test device and the pad of the test apparatus to each other so that an electrical test of the test device can be performed,

시트형 커넥터; 및sheet type connector; and

상기 시트형 커넥터의 하측에 배치되는 이방 도전성 시트;를 포함하되,Including a heterogeneous conductive sheet arranged on the lower side of the above sheet-shaped connector;

상기 이방 도전성 시트는,The above foreign challenge sheet is,

피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 배치되는 도전부와,A conductive part in which a number of conductive particles are arranged in the thickness direction within an elastic insulating material at each location corresponding to the terminal of the test device,

상기 도전부 사이에 배치되며 상기 도전부를 지지하면서 절연시키는 절연부를 포함할 수 있다.It may include an insulating member that is placed between the above conductive members and supports and insulates the conductive members.

상기 검사용 소켓은,The above inspection socket is,

상기 절연성 시트의 하면과, 상기 이방 도전성 시트의 상면 사이에는 상기 전극구조체의 하부 전극부가 상하방향으로 이동될 수 있도록 비어있는 이동공간이 마련될 수 있다.An empty moving space may be provided between the lower surface of the insulating sheet and the upper surface of the anisotropic conductive sheet so that the lower electrode portion of the electrode structure can move up and down.

상기 검사용 소켓은,The above inspection socket is,

상기 절연성 시트와, 상기 이방 도전성 시트는 상하방향으로 서로 이격되어 있으며, 그 이격거리는, 상기 전극구조체의 하부 전극부의 두께와 같거나 그보다 클 수 있다.The above insulating sheet and the above anisotropic conductive sheet are spaced apart from each other in the vertical direction, and the distance between them may be equal to or greater than the thickness of the lower electrode portion of the electrode structure.

상기 검사용 소켓은,The above inspection socket is,

상기 절연성 시트와, 상기 이방 도전성 시트 사이에는, 상기 이격거리를 유지시키기 위하여 하부 전극부의 두께와 같거나 그보다 큰 높이를 가지는 전극 가이드 필름이 배치될 수 있다.Between the insulating sheet and the anisotropic conductive sheet, an electrode guide film having a height equal to or greater than the thickness of the lower electrode portion may be placed to maintain the separation distance.

상기 검사용 소켓에서,In the above inspection socket,

상기 전극 가이드 필름은 각 전극구조체 사이에 위치하여, 인접한 전극구조체와 구분되도록 할 수 있다.The above electrode guide film can be positioned between each electrode structure to distinguish it from adjacent electrode structures.

상기 검사용 소켓에서,In the above inspection socket,

상기 이방 도전성 시트의 상면에는 도전부와 대응되는 위치마다 통공이 형성된 절연시트가 마련될 수 있다.An insulating sheet having perforations formed at each position corresponding to the conductive portion may be provided on the upper surface of the above-mentioned foreign conductive sheet.

시트형 커넥터;Sheet type connector;

상기 시트형 커넥터의 하측에 배치되는 이방 도전성 시트; 및A heterogeneous conductive sheet arranged on the lower side of the above sheet-shaped connector; and

상기 시트형 커넥터의 가장자리를 지지하고 상기 시트형 커넥터를 이방 도전성 시트에 근접한 방향 또는 멀어지는 방향으로 이동시킬 수 있는 플로팅 본체와,A floating body that supports the edge of the sheet-shaped connector and can move the sheet-shaped connector toward or away from the foreign conductive sheet,

상기 플로팅 본체의 하부에 배치되어 상기 플로팅 본체를 탄성적으로 지지하는 탄성바이어스 부재로 이루어진 플로팅 장치;를 포함하고,A floating device comprising an elastic bias member arranged at the lower portion of the floating body and elastically supporting the floating body;

상기 이방 도전성 시트는,The above foreign challenge sheet is,

상기 도전부 사이에 배치되며 상기 도전부를 지지하면서 절연시키는 절연부를 포함한다.It includes an insulating part that is placed between the above conductive parts and supports and insulates the conductive parts.

상기 검사용 소켓에서,In the above inspection socket,

상기 절연성 시트의 하면과, 상기 이방 도전성 시트의 상면 사이에는 상기 전극구조체의 하부 전극부가 상하방향으로 이동될 수 있게 하는 비어있는 이동공간이 마련될 수 있다.An empty movement space may be provided between the lower surface of the insulating sheet and the upper surface of the anisotropic conductive sheet to allow the lower electrode portion of the electrode structure to move in the up and down direction.

상기 검사용 소켓에서,In the above inspection socket,

상기 절연성 시트와, 상기 이방 도전성 시트 사이의 이격거리는, 상기 전극구조체의 하부 전극부의 두께와 같거나 그보다 클 수 있다.The distance between the insulating sheet and the anisotropic conductive sheet may be equal to or greater than the thickness of the lower electrode portion of the electrode structure.

상기 검사용 소켓에서,In the above inspection socket,

상기 절연성 시트와, 상기 이방 도전성 시트 사이에는, 이격거리를 유지시키기 위하여 하부 전극부의 두께와 같거나 큰 높이를 가지는 전극 가이드 필름이 상기 이방 도전성 시트의 상면에 부착될 수 있다.Between the insulating sheet and the anisotropic conductive sheet, an electrode guide film having a height equal to or greater than the thickness of the lower electrode portion may be attached to the upper surface of the anisotropic conductive sheet to maintain a distance.

상기 검사용 소켓에서,In the above inspection socket,

상기 전극 가이드 필름은 각 전극구조체 사이에 위치하여, 전극구조체를 구분시킬 수 있다.The above electrode guide film is positioned between each electrode structure, so as to distinguish the electrode structures.

상기 검사용 소켓에서,In the above inspection socket,

상기 이방 도전성 시트의 절연부 상면에는 도전부와 대응되는 위치마다 통공이 형성된 절연시트가 마련될 수 있다.On the upper surface of the insulating portion of the above-mentioned foreign conductive sheet, an insulating sheet may be provided with holes formed at each position corresponding to the conductive portion.

상기 검사용 소켓에서,In the above inspection socket,

상기 이방 도전성 시트를 수용하기 위한 하부 하우징을 더 포함하되,Further comprising a lower housing for accommodating the above foreign conductive sheet,

상기 플로팅 본체는 상기 하부 하우징에 가이드되어 상하이동가능하고,The above floating body is guided by the lower housing and can move up and down,

상기 탄성바이어스부재는, 상기 플로팅 본체와, 상기 하부 하우징 사이에 배치되어 상기 플로팅 본체를 상기 하부 하우징으로부터 멀어지는 방향으로 탄성바이어스 시킬 수 있다.The above elastic bias member is arranged between the floating body and the lower housing and can elastically bias the floating body away from the lower housing.

상기 검사용 소켓에서,In the above inspection socket,

상기 플로팅 본체는, 알루미늄, 스테인리스, 멜딘, 울템 또는 세라믹피크 중 어느 하나의 소재로 이루어질 수 있다. The above floating body can be made of any one of aluminum, stainless steel, meldin, ultem or ceramic peak.

본 개시의 일 실시예에 의하면, 상하방향으로 개별동작성을 가지는 전극 구조체를 가지는 시트형 커넥터가 제공될 수 있다.According to one embodiment of the present disclosure, a sheet-shaped connector having an electrode structure having individual operability in the vertical direction can be provided.

본 개시의 일 실시예에 의하면, 탄성이 없는 피검사 디바이스의 단자에 접촉되어도 상하개별적인 동작성이 가능한 전극구조체를 제공함으로서 전기적 접속력이 저하되지 않는 시트형 커넥터가 제공될 수 있다.According to one embodiment of the present disclosure, a sheet-type connector can be provided in which electrical connection strength is not reduced by providing an electrode structure capable of individual up-and-down movement even when in contact with a terminal of a non-elastic inspection device.

본 개시의 일 실시예에 의하면, 개별동작성을 가지는 전극 구조체를 가지는 시트형 커넥터와 이방 도전성 시트가 결합되어 미세피치를 가진 피검사 디바이스에 대하여 전기적 접속능력이 저하되지 않는 검사용 소켓이 제공될 수 있다.According to one embodiment of the present disclosure, a sheet-shaped connector having an electrode structure having individual operability and a heterogeneous conductive sheet are combined to provide an inspection socket whose electrical connection ability is not reduced for a device to be inspected having a fine pitch.

본 개시의 일 실시예에 의하면, 시트형 커넥터가 플로팅 장치에 지지되어 있어서 전극의 두께 편차를 보정할 수 있게 하는 검사용 소켓이 제공될 수 있다.According to one embodiment of the present disclosure, an inspection socket may be provided in which a sheet-shaped connector is supported on a floating device to enable correction of thickness deviation of an electrode.

도 1은, 종래의 검사용 소켓을 나타내는 도면.
도 2는 도 1의 작동모습을 나타내는 도면.
도 3은 도 2의 일부 확대도.
도 4는 본 개시의 제1 실시예에 따른 검사용 소켓을 나타내는 도면.
도 5는 도 4에서 시트형 커넥터를 도시한 도면.
도 6은 도 4의 검사용 소켓의 작동모습을 나타내는 도면.
도 7은 본 개시의 제2 실시예에 따른 검사용 소켓을 나타내는 도면.
도 8은 본 개시의 제3 실시예에 따른 검사용 소켓을 나타내는 도면.
도 9는 본 개시의 제4 실시예에 따른 검사용 소켓을 나타내는 도면.
도 10은 본 개시의 제5 실시예에 따른 검사용 소켓을 나타내는 도면.
도 11은 본 개시의 제6 실시예에 따른 검사용 소켓을 나타내는 도면.
도 12는 본 개시의 제7 실시예에 따른 검사용 소켓을 나타내는 도면.
도 13은 본 개시의 제8 실시예에 따른 검사용 소켓을 나타내는 도면.Figure 1 is a drawing showing a conventional inspection socket.
Figure 2 is a drawing showing the operating appearance of Figure 1.
Figure 3 is an enlarged view of a portion of Figure 2.
FIG. 4 is a drawing showing a test socket according to the first embodiment of the present disclosure.
Figure 5 is a drawing illustrating a sheet-shaped connector in Figure 4.
Figure 6 is a drawing showing the operation of the inspection socket of Figure 4.
FIG. 7 is a drawing showing a test socket according to a second embodiment of the present disclosure.
FIG. 8 is a drawing showing a test socket according to a third embodiment of the present disclosure.
FIG. 9 is a drawing showing a test socket according to a fourth embodiment of the present disclosure.
FIG. 10 is a drawing showing a test socket according to the fifth embodiment of the present disclosure.
FIG. 11 is a drawing showing a test socket according to the sixth embodiment of the present disclosure.
FIG. 12 is a drawing showing a test socket according to the seventh embodiment of the present disclosure.
FIG. 13 is a drawing showing a test socket according to the eighth embodiment of the present disclosure.

본 개시의 실시예들은 본 개시의 기술적 사상을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것이다. 본 개시에 따른 권리범위가 이하에 제시되는 실시예들이나 이들 실시예들에 대한 구체적 설명으로 한정되는 것은 아니다.The embodiments of the present disclosure are provided for the purpose of explaining the technical idea of the present disclosure. The scope of rights according to the present disclosure is not limited to the embodiments presented below or the specific description of these embodiments.

본 개시에 사용되는 모든 기술적 용어들 및 과학적 용어들은, 달리 정의되지 않는 한, 본 개시가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해되는 의미를 갖는다. 본 개시에 사용되는 모든 용어들은 본 개시를 더욱 명확히 설명하기 위한 목적으로 선택된 것이며 본 개시에 따른 권리범위를 제한하기 위해 선택된 것이 아니다.All technical and scientific terms used in this disclosure, unless otherwise defined, have the meaning commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this disclosure belongs. All terms used in this disclosure have been selected for the purpose of more clearly describing this disclosure and are not selected to limit the scope of rights under this disclosure.

본 개시에서 사용되는 "포함하는", "구비하는", "갖는" 등과 같은 표현은, 해당 표현이 포함되는 어구 또는 문장에서 달리 언급되지 않는 한, 다른 실시예를 포함할 가능성을 내포하는 개방형 용어(open-ended terms)로 이해되어야 한다.The expressions “including,” “comprising,” “having,” and the like, used in this disclosure, should be understood as open-ended terms implying the possibility of including other embodiments, unless otherwise stated in the phrase or sentence in which the expression is included.

본 개시에서 기술된 단수형의 표현은 달리 언급하지 않는 한 복수형의 의미를 포함할 수 있으며, 이는 청구범위에 기재된 단수형의 표현에도 마찬가지로 적용된다.The singular forms described in this disclosure may include plural meanings unless otherwise stated, and the same applies to the singular forms described in the claims.

본 개시에서 사용되는 "제1", "제2" 등의 표현들은 복수의 구성요소들을 상호 구분하기 위해 사용되며, 해당 구성요소들의 순서 또는 중요도를 한정하는 것은 아니다.The expressions “first,” “second,” etc. used in this disclosure are used to distinguish between multiple components, and do not limit the order or importance of the components.

본 개시에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 경우, 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수 있거나 접속될 수 있는 것으로, 또는 새로운 다른 구성요소를 매개로 하여 연결될 수 있거나 접속될 수 있는 것으로 이해되어야 한다.In this disclosure, when a component is referred to as being “connected” or “connected” to another component, it should be understood that the component can be directly connected or connected to the other component, or can be connected or connected via a new other component.

본 개시에서 사용되는 "상방"의 방향지시어는 시트형 커넥터, 이방 도전성 시트가 검사장치에 대해 위치하는 방향에 근거하고, "하방"의 방향지시어는 상방의 반대 방향을 의미한다. 본 개시에서 사용되는 "수직 방향"의 방향지시어는 상방 방향과 하방 방향을 포함하지만, 상방 방향과 하방 방향 중 특정한 하나의 방향을 의미하지는 않는 것으로 이해되어야 한다.The directional term "upward" used in the present disclosure is based on the direction in which the sheet-shaped connector, the anisotropic conductive sheet, is positioned with respect to the inspection device, and the directional term "downward" means the opposite direction of upward. It should be understood that the directional term "vertical direction" used in the present disclosure includes the upward direction and the downward direction, but does not mean a specific one of the upward direction and the downward direction.

본 개시에서 사용되는 "두께"의 방향 지시어는 필름 또는 시트의 두께의 방향에 근거하고, "면방향"은 두께방향과 수직한 방향을 의미한다. The directional designation of "thickness" used in the present disclosure is based on the direction of the thickness of the film or sheet, and "plane direction" means the direction perpendicular to the thickness direction.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 실시예들을 설명한다. 첨부된 도면에서, 동일하거나 대응하는 구성요소에는 동일한 참조부호가 부여되어 있다. 또한, 이하의 실시예들의 설명에 있어서, 동일하거나 대응하는 구성요소를 중복하여 기술하는 것이 생략될 수 있다. 그러나, 구성요소에 관한 기술이 생략되어도, 그러한 구성요소가 어떤 실시예에 포함되지 않는 것으로 의도되지는 않는다.Hereinafter, embodiments will be described with reference to the attached drawings. In the attached drawings, identical or corresponding components are given the same reference numerals. In addition, in the description of the embodiments below, duplicate descriptions of identical or corresponding components may be omitted. However, even if the description of a component is omitted, it is not intended that such a component is not included in any embodiment.

이하에 설명되는 실시예들과 첨부된 도면에 도시된 예들은, 피검사 디바이스의 검사에 사용되는 검사용 소켓에 관련된다. 실시예들에 따른 검사용 소켓은, 피검사 디바이스의 제조 공정 중 후공정에서, 피검사 디바이스를 최종적으로 검사하기 위해 사용될 수 있다. 그러나, 실시예들에 따른 검사용 시트가 적용되는 검사의 예가 전술한 예에 한정되지는 않는다.The embodiments described below and the examples illustrated in the attached drawings relate to a test socket used for testing a test device. The test socket according to the embodiments can be used for final testing of the test device in a post-process during the manufacturing process of the test device. However, the examples of tests to which the test sheet according to the embodiments is applied are not limited to the examples described above.

도 1 내지 도 3은 본 개시의 제1 실시예에 따른 검사용 소켓을 도시한다. 제1 실시예에 따른 검사용 소켓은 검사장치와 피검사 디바이스의 사이에 배치되어, 피검사 디바이스의 검사를 위해 사용된다.Figures 1 to 3 illustrate a test socket according to a first embodiment of the present disclosure. The test socket according to the first embodiment is arranged between a test apparatus and a device to be tested, and is used for testing the device to be tested.

피검사 디바이스의 검사를 위해, 피검사 디바이스를 수용하는 인서트가 검사장치에 제거가능하게 장착될 수 있다. 인서트는 테스트 핸들러의 운반 장치에 의해 검사장치로 운반된 피검사 디바이스를 그 안에 수용하여 피검사 디바이스를 검사장치에 위치시킨다. 인서트는 그 하단에 피검사 디바이스가 탑재될 수 있는 시트가 배치되어 있으며 그 시트에는 다수의 구멍이 형성되어 피검사 디바이스의 단자가 그 구멍에 삽입되어 시트형 커넥터의 전극구조체에 접촉될 수 있게 한다. For the purpose of testing the device under test, an insert accommodating the device under test can be removably mounted on the test apparatus. The insert accommodates the device under test, which is transported to the test apparatus by a transport device of the test handler, therein and positions the device under test on the test apparatus. The insert has a sheet on the lower part of which the device under test can be mounted, and a plurality of holes are formed in the sheet so that terminals of the device under test can be inserted into the holes and come into contact with electrode structures of the sheet-shaped connector.

일 예로, 피검사 디바이스는 반도체 패키지일 수 있지만, 이에 한정되지는 않는다. 반도체 패키지는, 반도체 IC 칩과 다수의 리드 프레임(lead frame)과 다수의 단자를 수지 재료를 사용하여 육면체 형태로 패키징한 피검사 디바이스이다. 상기 단자로서, 핀, 솔더볼(solder ball) 등이 사용될 수 있다. 도 6에 도시된 피검사 디바이스는 솔더볼의 단자를 포함한다. 이에 따라, 피검사 디바이스는 그 하면에 반구형의 다수의 단자를 가진다. 또한, 피검사 디바이스의 반도체 IC 칩은 메모리 IC 칩 또는 비메모리 IC 칩이 될 수 있다.For example, the device to be inspected may be a semiconductor package, but is not limited thereto. The semiconductor package is a device to be inspected that packages a semiconductor IC chip, a plurality of lead frames, and a plurality of terminals in a hexahedral shape using a resin material. As the terminals, pins, solder balls, etc. may be used. The device to be inspected illustrated in Fig. 6 includes terminals of solder balls. Accordingly, the device to be inspected has a plurality of hemispherical terminals on its lower surface. In addition, the semiconductor IC chip of the device to be inspected may be a memory IC chip or a non-memory IC chip.

검사장치는 피검사 디바이스의 전기적 특성, 기능적 특성, 동작 속도 등을 검사할 수 있다. 검사장치는, 검사가 수행되는 테스트 보드 내에, 전기적 테스트 신호를 인가할 수 있고 응답 신호를 받을 수 있는 다수의 도전 패드를 가질 수 있다. 검사용 소켓은 검사장치의 도전 패드 상에 위치되어, 도전 패드와 접촉될 수 있다. 피검사 디바이스의 단자는 검사용 소켓을 통해 대응하는 도전 패드와 전기적으로 연결된다. 즉, 검사용 소켓이 피검사 디바이스의 단자와 단자에 대응하는 도전 패드를 상하 방향으로 도전가능하게 연결시킴으로써, 검사장치에 의해 피검사 디바이스의 검사가 수행된다.The test device can test the electrical characteristics, functional characteristics, operating speed, etc. of the device under test. The test device can have a plurality of conductive pads capable of applying an electrical test signal and receiving a response signal within a test board on which the test is performed. A test socket is located on the conductive pad of the test device and can be in contact with the conductive pad. A terminal of the device under test is electrically connected to a corresponding conductive pad through the test socket. That is, the test socket conductively connects the terminal of the device under test and the conductive pad corresponding to the terminal in the vertical direction, thereby performing a test of the device under test by the test device.

제1 실시예에 따른 검사용 소켓(100)은, 시트형 커넥터(110)와, 이방 도전성 시트(120)를 포함하여 구성된다.The inspection socket (100) according to the first embodiment is configured to include a sheet-shaped connector (110) and a foreign conductive sheet (120).

상기 시트형 커넥터(110)는, 이방 도전성 시트(120)의 상부에 배치되어 피검사 디바이스(150)로부터 떨어지는 이물질로부터 이방 도전성 시트(120)를 보호하여 내구성을 높이고 전극구조체(112)가 피검사 디바이스(150)의 단자(151)에 확실하게 접촉됨으로서 전기적 성능도 높이게 된다. The above sheet-shaped connector (110) is placed on top of the anisotropic conductive sheet (120) to protect the anisotropic conductive sheet (120) from foreign substances falling from the device to be tested (150), thereby increasing durability, and also improving electrical performance by ensuring that the electrode structure (112) is in secure contact with the terminal (151) of the device to be tested (150).

이러한 시트형 커넥터(110)는, 이방 도전성 시트(120)의 상부에 설치되어 있게 되며, 절연성 시트(111)와, 전극구조체(112)로 이루어진다.This sheet-shaped connector (110) is installed on top of a foreign conductive sheet (120) and is composed of an insulating sheet (111) and an electrode structure (112).

상기 절연성 시트(111)는, 피검사 디바이스(150)의 단자(151)와 대응되는 위치마다 관통구멍(1111)이 형성되어 있으며 절연성 소재로 이루어진 시트이다. 이때 관통구멍(1111)은 시트의 두께 방향으로 연장되어 있으며 복수개가 면방향으로 서로 이격되어 설치되어 있게 되며, r3의 내경을 가지게 된다.The above insulating sheet (111) is a sheet made of an insulating material, with through holes (1111) formed at each position corresponding to the terminals (151) of the device to be inspected (150). At this time, the through holes (1111) extend in the thickness direction of the sheet, and a plurality of them are installed spaced apart from each other in the surface direction, and have an inner diameter of r3.

절연성 시트(111)는, 액정 폴리머, 폴리이미드 수지, 폴리에스테르 수지, 폴리아라미드 수지, 폴리아미드 수지 등의 수지 재료, 글래스 섬유 보강형 에폭시 수지, 글래스 섬유 보강형 폴리에스테르 수지, 글래스 섬유 보강형 폴리이미드 수지 등의 섬유 보강형 수지 재료, 에폭시 수지 등에 알루미나, 붕소 나이트라이드 등의 무기 재료를 필러로서 함유한 복합 수지 재료 등을 이용할 수 있다.The insulating sheet (111) can be formed using a resin material such as a liquid crystal polymer, a polyimide resin, a polyester resin, a polyaramid resin, a polyamide resin, a fiber-reinforced resin material such as a glass fiber-reinforced epoxy resin, a glass fiber-reinforced polyester resin, a glass fiber-reinforced polyimide resin, a composite resin material containing an inorganic material such as alumina or boron nitride as a filler in an epoxy resin, etc.

또한, 절연성 시트(111)를 고온 환경 하에서 사용할 경우에는, 선열팽창 계수가 3×10^-5/K 이하의 것을 이용하는 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 1×10^-6 내지 2×10^-5/K, 특히 바람직하게는 1×10^-6 내지 6×10^-6/K이다. 이러한 절연성 시트(111)를 이용함으로써, 절연성 시트(111)의 열팽창에 의한 전극구조체(112)와 도전부(121) 간의 위치 어긋남을 억제할 수 있다.In addition, when using the insulating sheet (111) in a high temperature environment, it is preferable to use one having a coefficient of thermal expansion of 3×10 ^-5 /K or less, more preferably 1×10 ^-6 to 2×10 ^-5 /K, and particularly preferably 1×10 ^-6 to 6×10 ^-6 /K. By using such an insulating sheet (111), it is possible to suppress misalignment between the electrode structure (112) and the conductive portion (121) due to thermal expansion of the insulating sheet (111).

상기 전극구조체(112)는, 절연성 시트(111)의 관통구멍(1111)에 삽입되어 절연성 시트(111)의 양면으로 돌출된 전극으로서, 피검사 디바이스(150)의 단자(151)와 이방 도전성 시트(120)의 도전부(121)를 서로 전기적으로 접속시키는 기능을 수행한다.The above electrode structure (112) is an electrode that is inserted into a through hole (1111) of an insulating sheet (111) and protrudes from both sides of the insulating sheet (111), and performs the function of electrically connecting a terminal (151) of a device to be tested (150) and a conductive portion (121) of an anisotropic conductive sheet (120).

이러한 전극구조체(112)는, 상기 절연성 시트(111)의 관통구멍(1111)과 대응되는 위치로서 상기 절연성 시트(111)의 상면에 배치되는 상부 전극부(1121)와, 상기 절연성 시트(111)의 관통구멍(1111)과 대응되는 위치로서 상기 절연성 시트(111)의 하면에 배치되는 하부 전극부(1122)와, 상기 상부 전극부(1121)의 하면과, 상기 하부 전극부(1122)의 상면에 연결되고 상기 절연성 시트(111)의 관통구멍(1111)을 통과하며, 상기 절연성 시트(111)의 두께방향을 따라서 이동가능한 연결부(1123)로 구성된다.This electrode structure (112) is composed of an upper electrode part (1121) arranged on the upper surface of the insulating sheet (111) at a position corresponding to the through hole (1111) of the insulating sheet (111), a lower electrode part (1122) arranged on the lower surface of the insulating sheet (111) at a position corresponding to the through hole (1111) of the insulating sheet (111), and a connecting part (1123) that is connected to the lower surface of the upper electrode part (1121) and the upper surface of the lower electrode part (1122), passes through the through hole (1111) of the insulating sheet (111), and is movable along the thickness direction of the insulating sheet (111).

구체적으로 상부 전극부(1121)는, 절연성 시트(111)의 상면에서 노출되는 것으로서, 절연성 시트(111)의 관통구멍(1111)의 직경(r3)보다 큰 외경(r2)을 가지게 된다. 상부 전극부(1121)의 표면에는 원뿔 형태의 돌기가 복수개 형성되어 요철(1121a)을 구성하게 된다. 이러한 요철(1121a)은 피검사 디바이스(150)의 단자(151)의 표면에 묻어 있는 산화피막을 제거하는데 활용된다. 요철(1121a)은 원뿔 형태의 돌기로만 구성되는 것은 아니며 삼각뿔, 다각뿔, 원기둥 중 어느 하나의 형태가 사용되는 것도 가능하다.Specifically, the upper electrode portion (1121) is exposed on the upper surface of the insulating sheet (111) and has an outer diameter (r2) larger than the diameter (r3) of the through hole (1111) of the insulating sheet (111). A plurality of cone-shaped protrusions are formed on the surface of the upper electrode portion (1121) to form an uneven surface (1121a). This uneven surface (1121a) is utilized to remove an oxide film on the surface of the terminal (151) of the device to be tested (150). The uneven surface (1121a) is not composed only of cone-shaped protrusions, and any one shape of a triangular pyramid, a polygonal pyramid, or a cylinder may be used.

상기 하부 전극부(1122)는 절연성 시트(111)의 하면에서 노출되는 것으로서, 절연성 시트(111)의 관통구멍(1111)의 직경(r3)보다 큰 외경(r2)을 가지게 된다. 하부 전극부(1122)의 하면에는 반구형 범프(1122a)가 형성되어 있게 된다. 이러한 반구형 범프(1122a)는 하부 전극부(1122)와는 다른 소재로 구성될 수 있으며, 주석(Sn)이 사용되는 것이 좋다. 이러한 반구형 범프(1122a)는 이방 도전성 시트(120)와 접촉시 도전부(121) 상면에 감싸면서 접촉하여 도전부(121)와의 접촉성능을 높게 한다. 또한 소재가 주석으로 이루어져 있어서 도전부(121)와 부드러운 접촉이 가능하게 하고 장기간 사용해도 소재 변형이 없어서 전기적 성능이 유지할 수 있게 한다.The lower electrode portion (1122) is exposed from the lower surface of the insulating sheet (111) and has an outer diameter (r2) larger than the diameter (r3) of the through hole (1111) of the insulating sheet (111). A hemispherical bump (1122a) is formed on the lower surface of the lower electrode portion (1122). This hemispherical bump (1122a) may be composed of a different material from the lower electrode portion (1122), and it is preferable to use tin (Sn). When this hemispherical bump (1122a) comes into contact with the anisotropic conductive sheet (120), it wraps around the upper surface of the conductive portion (121) and makes contact, thereby enhancing the contact performance with the conductive portion (121). In addition, since the material is made of tin, it enables smooth contact with the conductive portion (121) and does not deform the material even after long-term use, so that the electrical performance can be maintained.

한편, 반구형 범프(1122a)는 전체적으로 주석소재로 이루어지는 것이 가능하나, 이에 한정되는 것은 아니며 주석이 피복되어 있는 것도 가능하다.Meanwhile, the hemispherical bump (1122a) may be made entirely of tin material, but is not limited thereto, and may also be covered with tin.

상기 연결부(1123)는 원기둥 형태로 이루어지고 상부 전극부(1121)와 하부 전극부(1122)를 상호 연결하는 기능을 수행한다. 연결부(1123)는 절연성 시트(111)의 관통구멍(1111)의 직경(r3)보다 작은 외경(r1)을 가지고 있어서 관통구멍(1111)의 내벽을 따라서 상하이동할 수 있도록 구성된다. 또한, 연결부(1123)의 길이(L)은 절연성 시트(111)의 두께(d)보다 크게 되어 있어서 전극 구조체가 절연서 시트에 대하여 상하방향으로 이동가능하게 한다. The above connecting portion (1123) is formed in a cylindrical shape and functions to interconnect the upper electrode portion (1121) and the lower electrode portion (1122). The connecting portion (1123) has an outer diameter (r1) smaller than the diameter (r3) of the through hole (1111) of the insulating sheet (111), so that it can move up and down along the inner wall of the through hole (1111). In addition, the length (L) of the connecting portion (1123) is larger than the thickness (d) of the insulating sheet (111), so that the electrode structure can move up and down with respect to the insulating sheet.

상기 전극구조체(112)는, 강성을 갖는 금속 재료를 적합하게 이용할 수 있고, 특히, MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)에 의하여 제조되는 것이 용이한 금속 재료를 이용하는 것이 바람직하다. 이러한 금속 재료의 구체예로서는, 니켈, 코발트, 금, 은, 구리, 알루미늄 등의 단체 금속 또는 이들 합금 등을 예로 들 수 있다.The above electrode structure (112) can suitably utilize a metal material having rigidity, and in particular, it is preferable to utilize a metal material that is easy to manufacture by MEMS (Micro Electro Mechanical Systems). Specific examples of such metal materials include single metals such as nickel, cobalt, gold, silver, copper, and aluminum, or alloys thereof.

전극구조체(112)는 복수개가 절연성 시트(111)에 대하여 면방향으로 서로 이격되어 배치되어 있으며, 각각을 따라서 상하방향으로 자유롭게 이동가능하다. 또한, 각 전극구조체(112)는 인접한 전극구조체(112)에 영향을 받지 않고 독립적으로 상하방향으로 이동할 수 있어서 피검사 디바이스(150)의 단자(151) 높이에 따라서 전극구조체(112)가 상승 또는 하강함으로서 단자(151)에 확실하게 접촉될 수 있게 된다.A plurality of electrode structures (112) are arranged spaced apart from each other in the plane direction with respect to the insulating sheet (111), and can freely move up and down along each of them. In addition, each electrode structure (112) can independently move up and down without being affected by an adjacent electrode structure (112), so that the electrode structure (112) can rise or fall depending on the height of the terminal (151) of the device to be tested (150), thereby ensuring reliable contact with the terminal (151).

이러한 전극구조체(112)는, MEMS 에 의하여 제조될 수 있다. 구체적으로는 기판에 원하는 형태의 홈을 형성한 후에 그 홈에 도금층을 형성함으로서 필요한 형태의 전극구조체(112)를 제작할 수 있게 한다. 이러한 MEMS 기술에 의하여 제조된 전극구조체(112)는 설계자가 원하는 미세한 형태로 제작될 수 있으며 소재에 따라서 충분한 강도를 가질 수 있게 한다.Such electrode structures (112) can be manufactured by MEMS. Specifically, by forming a groove of a desired shape on a substrate and then forming a plating layer in the groove, an electrode structure (112) of a required shape can be manufactured. An electrode structure (112) manufactured by such MEMS technology can be manufactured in a fine shape desired by a designer and can have sufficient strength depending on the material.

상기 이방 도전성 시트(120)는, 소프트한 접촉을 가능하게 함으로서 피검사 디바이스(150)가 하강하면서 가압되어도 그 피검사 디바이스(150)의 가압에 의한 충격을 흡수하면서도 필요한 전기적 접속능력을 가질 수 있게 한다.The above-mentioned foreign conductive sheet (120) enables soft contact, thereby absorbing the shock caused by the pressure of the test device (150) while lowering it and maintaining the necessary electrical connection capability.

이러한 이방 도전성 시트(120)는 도전부(121)와 절연부(122)를 포함하여 구성된다.This foreign conductive sheet (120) is composed of a conductive portion (121) and an insulating portion (122).

상기 도전부(121)는 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자(1211)가 두께방향으로 집합되어 있는 것이다. 피검사 디바이스(150)의 단자(151)가 도전부(121)를 가압하게 되면 도전성 입자(1211)들이 상호 접촉하면서 인접한 도전성 입자(1211)와 접촉면적이 증가되면서 전도성을 가지게 된다. The above conductive portion (121) is formed by a plurality of conductive particles (1211) being gathered in the thickness direction within an elastic insulating material. When the terminal (151) of the device to be tested (150) presses the conductive portion (121), the conductive particles (1211) come into contact with each other, and the contact area with adjacent conductive particles (1211) increases, thereby providing conductivity.

상기 도전성 입자(1211)는 코어 입자의 표면을 고도전성 금속으로 피복하여 이루어질수 있다. 코어 입자는 자성체인 철, 니켈, 코발트 등의 금속 재료로 이루어지거나, 탄성을 지닌 수지 등의 입자가 사용될 수 있다. 코어 입자의 표면에 피복되는 고도전성 금속으로는, 금, 은, 로듐, 백금, 크롬 등이 사용될 수 있다.The above-mentioned conductive particle (1211) can be formed by covering the surface of a core particle with a highly conductive metal. The core particle can be formed of a magnetic metal material such as iron, nickel, or cobalt, or a particle such as an elastic resin can be used. As a highly conductive metal coated on the surface of the core particle, gold, silver, rhodium, platinum, or chromium can be used.

상기 탄성 절연물질은 경화된 실리콘 러버 재료로 이루어진다. 예컨대, 다수의 도전성 입자(1211)가 분포된 액상의 실리콘 러버가 금형 내에 주입되고 경화됨으로써, 상기 도전부(121)가 형성될 수 있다. 상기 도전부(121)를 성형하기 위한 액상의 실리콘 러버 재료로서, 부가형 액상 실리콘 고무, 축합형 액상 실리콘 고무, 비닐기나 히드록시기를 포함하는 액상 실리콘 고무 등이 사용될 수 있다. 구체적인 예로서, 상기 액상 실리콘 러버 재료는, 디메틸실리콘 생고무, 메틸비닐실리콘 생고무, 메틸페닐비닐실리콘 생고무 등을 포함할 수 있다.The above-described elastic insulating material is made of a cured silicone rubber material. For example, a liquid silicone rubber having a plurality of conductive particles (1211) distributed therein may be injected into a mold and cured to form the conductive portion (121). As a liquid silicone rubber material for forming the conductive portion (121), an addition-type liquid silicone rubber, a condensation-type liquid silicone rubber, a liquid silicone rubber containing a vinyl group or a hydroxyl group, or the like may be used. As a specific example, the liquid silicone rubber material may include dimethyl silicone raw rubber, methyl vinyl silicone raw rubber, methyl phenyl vinyl silicone raw rubber, or the like.

상기 절연부(122)는 상기 도전부(121)를 지지하면서 각 도전부(121)를 서로 절연시키는 것이다. 이러한 절연부(122)는 도전부(121)를 구성하는 탄성 절연물질과 동일한 연질의 소재로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 다른 이종소재로 이루어지는 것도 가능하다. 즉, 절연부(122)는 비탄성물질로 이루어지는 것이 가능하며 이 경우에는 도전부(121)를 견고하게 지지할 수 있게 된다.The above insulating portion (122) supports the conductive portion (121) and insulates each conductive portion (121) from each other. The insulating portion (122) may be made of a soft material identical to the elastic insulating material constituting the conductive portion (121), but is not limited thereto and may be made of a different material. That is, the insulating portion (122) may be made of an inelastic material, and in this case, the conductive portion (121) may be firmly supported.

상기 시트형 커넥터(110)와, 이방 도전성 시트(120)는 가장자리에 스페이서(130)에 의하여 상호 연결된다. 스페이서(130)는 상기 시트형 커넥터(110)의 절연성 시트(111)의 가장자리와, 이방 도전성 시트(120)의 대응위치에 사이에 배치되어 있으며, 절연성 시트(111)가 이방 도전성 시트(120)의 상면에 소정의 간격을 유지하게 한다. The above sheet-shaped connector (110) and the anisotropic conductive sheet (120) are interconnected by a spacer (130) at the edge. The spacer (130) is positioned between the edge of the insulating sheet (111) of the sheet-shaped connector (110) and the corresponding position of the anisotropic conductive sheet (120), and allows the insulating sheet (111) to maintain a predetermined gap on the upper surface of the anisotropic conductive sheet (120).

구체적으로 절연성 시트(111)의 하면과, 이방 도전성 시트(120)의 상면 사이에는 전극구조체(112)의 하부 전극부(1122)가 상하방향으로 이동될 수 있도록 비어있는 이동공간(123)이 마련되는데, 스페이서(130)가 이동공간(123)을 마련할 수 있도록 절연성 시트(111)를 이방 도전성 시트(120)에서 이격시킨다. Specifically, an empty movement space (123) is provided between the lower surface of the insulating sheet (111) and the upper surface of the anisotropic conductive sheet (120) so that the lower electrode portion (1122) of the electrode structure (112) can move up and down. The insulating sheet (111) is spaced from the anisotropic conductive sheet (120) so that the spacer (130) can provide the movement space (123).

이때, 상기 절연성 시트(111)와, 상기 이방 도전성 시트(120)는 상하방향으로 서로 이격되어 있으며, 그 이격거리는, 상기 전극구조체(112)의 하부 전극부(1122)의 두께와 같거가 그보다 크게 된다. 이에 따라서 전극구조체(112)는 이동공간(123) 내에서 상하방향으로 자유롭게 이동될 수 있게 된다. At this time, the insulating sheet (111) and the anisotropic conductive sheet (120) are spaced apart from each other in the vertical direction, and the distance between them is equal to or greater than the thickness of the lower electrode portion (1122) of the electrode structure (112). Accordingly, the electrode structure (112) can freely move in the vertical direction within the moving space (123).

이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 소켓(100)은 다음과 같은 작용효과를 가진다.The inspection socket (100) according to one embodiment of the present invention has the following effects.

피검사 디바이스(150)가 인서트에 삽입된 상태에서 이동하여 검사용 소켓(100)을 가압하는 경우 도 6에 도시된 바와 같이, 피검사 디바이스(150)의 단자(151)들의 높이가 각각 다르더라도 각 전극구조체(112)를 개별적으로 상하방향으로 이동가능하여 각 단자(151)들의 높이차에도 불구하고 전극구조체(112)가 각 단자(151)들에 확실하게 접촉될 수 있다.When the inspection device (150) is moved while inserted into the insert and pressurizes the inspection socket (100), as shown in FIG. 6, even if the heights of the terminals (151) of the inspection device (150) are different, each electrode structure (112) can be individually moved up and down, so that the electrode structure (112) can reliably contact each terminal (151) despite the height difference between the terminals (151).

단자(151)의 높이가 작은 경우에는 전극구조체(112)가 상승하여 높이를 보정하고, 단자(151)의 높이가 높은 경우에는 전극구조체(112)가 하강하여 높이를 보정할 수 있다. 이때 이방 도전성 시트(120)는 탄성소재로 이루어져 있어서 전극구조체(112)가 하강하게 되면 하측으로 눌림으로서 전극구조체(112)의 하강을 방해하지 않고 단자(151)의 높이가 낮은 경우에는 이방 도전성 시트(120)가 덜 가압됨으로써 전극구조체(112)를 덜 하강시켜 도전부(121)와 접촉상태를 유지할 수 있게 한다.When the height of the terminal (151) is small, the electrode structure (112) can be raised to correct the height, and when the height of the terminal (151) is high, the electrode structure (112) can be lowered to correct the height. At this time, the anisotropic conductive sheet (120) is made of an elastic material, so that when the electrode structure (112) is lowered, it is pressed downwards, so that the lowering of the electrode structure (112) is not impeded, and when the height of the terminal (151) is low, the anisotropic conductive sheet (120) is less pressed, so that the electrode structure (112) is lowered less, so that the contact state with the conductive portion (121) can be maintained.

피검사 디바이스(150)의 단자(151)가 전극구조체(112)와 접촉상태에 놓이게 되는 경우에 검사장치(140)로부터 소정의 전기적 신호가 인가되면 그 전기적 신호를 도전부(121)를 통하여 전극구조체(112)를 거쳐서 피검사 디바이스(150)의 단자(151)에 도달하게 되고 이에 따라서 소정의 전기적 검사가 진행된다.When a terminal (151) of a test device (150) is placed in contact with an electrode structure (112), and a predetermined electrical signal is applied from a test device (140), the electrical signal passes through the electrode structure (112) via the conductive portion (121) to reach the terminal (151) of the test device (150), and accordingly, a predetermined electrical test is performed.

본 발명에서는 전극구조체(112)의 하단이 반구형상을 가지고 있어서 전극구조체(112)가 도전부(121)를 가압하는 것이 용이하고 접촉성능이 높아지게 되는 장점이 있다. 또한 전극구조체(112)의 반구형 범퍼가 주석으로 이루어져 있어서 도전부(121)와 소프트한 접촉이 가능하다는 장점이 있게 된다.In the present invention, since the lower part of the electrode structure (112) has a hemispherical shape, it is easy for the electrode structure (112) to press the conductive portion (121) and the contact performance is improved, which has the advantage. In addition, since the hemispherical bumper of the electrode structure (112) is made of tin, there is the advantage of being able to make soft contact with the conductive portion (121).

또한, 본 발명은 피검사 디바이스(150)의 단자(151)의 높이편차 뿐만 아니라 시트형 커넥터(110)의 두께 편차를 보정할 수 있게 되는 장점도 있다.In addition, the present invention has an advantage in that it can correct not only the height deviation of the terminal (151) of the inspection device (150) but also the thickness deviation of the sheet-shaped connector (110).

또한 본 발명은 피검사 디바이스(150)의 단자(151) 높이에 관계없이 인서트(160)에서 시트(161)의 구멍(162) 내부에서 전기적 접촉이 가능하다는 장점도 있게 되고, 이에 따라서 인서트(161)의 시트(162) 두께를 증가시킬 수 있어서 인서트(161)의 시트(161) 내구성도 높일 수 있게 된다.In addition, the present invention has an advantage in that electrical contact is possible inside the hole (162) of the sheet (161) in the insert (160) regardless of the height of the terminal (151) of the inspection device (150), and accordingly, the thickness of the sheet (162) of the insert (161) can be increased, thereby also improving the durability of the sheet (161) of the insert (161).

또한 본 발명은 다양한 높이를 가지는 피검사 디바이스(150)에 대한 전기적 검사를 가능하게 한다. 즉, 높이가 전체적으로 낮은 단자(151)를 가지는 피검사 디바이스(150)에 대한 전기적 검사도 가능하고, 높이가 전체적으로 높은 단자(151)를 가지는 피검사 디바이스(150)에 대한 전기적 검사가 가능하게 됨으로서 범용적으로 사용할 수 있게 되는 장점도 있다.In addition, the present invention enables electrical inspection of a test device (150) having various heights. That is, electrical inspection of a test device (150) having terminals (151) having an overall low height is possible, and electrical inspection of a test device (150) having terminals (151) having an overall high height is possible, so there is also an advantage of being able to be used universally.

이러한 본 발명의 검사용 소켓(100)에서, 검사용 시트형 커넥터(110)는 이방 도전성 시트(120)와 결합되어 사용되는 것이 가능하나, 이에 한정되는 것은 아니며 검사용 시트형 커넥터(110)만 단독으로 사용되는 것이 가능하며, 검사용 시트형 커넥터(110)가 단독으로 전기접속용으로 사용되는 경우 각종 단자(151)들의 접속을 용이하게 할 수 있게 한다.In the inspection socket (100) of the present invention, the inspection sheet-shaped connector (110) can be used in combination with a foreign conductive sheet (120), but is not limited thereto, and the inspection sheet-shaped connector (110) can be used alone, and when the inspection sheet-shaped connector (110) is used alone for electrical connection, it facilitates connection of various terminals (151).

또한, 본 발명에 따른 검사용 소켓(100)은 피검사 디바이스(150)가 전체적으로 휘어진 (Warpage) 경우에도 적용할 수 있게 된다. 즉 피검사 디바이스(150)가 완전하게 평면형태를 이루어지 못하고 휘어진 경우에도 전극구조체(112)가 필요에 따라서 상승하강함으로서 피검사 디바이스(150)의 단자(151)들에 모두 접촉할 수 있게 되는 장점이 있다.In addition, the test socket (100) according to the present invention can be applied even when the test device (150) is warped overall. That is, even when the test device (150) is not in a completely flat shape but is warped, there is an advantage in that the electrode structure (112) can be raised and lowered as needed to make contact with all terminals (151) of the test device (150).

이러한 본 발명의 검사용 소켓(100)은 다음과 같이 변형되는 것이 가능하다.The inspection socket (100) of the present invention can be modified as follows.

도 7은 제2 실시형태에 따른 검사용 소켓(200)을 도시하고 있다. 제2 실시형태에 따른 검사용 소켓(200)은, 상기 절연성 시트(211)와, 상기 이방 도전성 시트(220) 사이에는, 상기 이격거리를 유지시키기 위하여 하부 전극부(2122)보다 두께와 같거나 그보다 큰 높이를 가지는 전극 가이드 필름(231)이 추가로 배치되는 것이다. Fig. 7 illustrates a test socket (200) according to a second embodiment. In the test socket (200) according to the second embodiment, an electrode guide film (231) having a height equal to or greater than a thickness of a lower electrode portion (2122) is additionally placed between the insulating sheet (211) and the anisotropic conductive sheet (220) to maintain the separation distance.

제1 실시형태에서는 절연성 시트(111)의 가장자리에 스페이서(130)만이 배치된 상태로 시트형 커넥터(110)와 이방 도전성 시트(120)를 서로 이격시키고 있었으나, 제2 실시형태에서는 전극 가이드 필름(231)이 추가로 배치되어 있어서 전극구조체(212)가 상하방향으로 이동하는 이동공간을 충분하게 확보할 수 있다. In the first embodiment, only a spacer (130) is placed on the edge of the insulating sheet (111) to separate the sheet-shaped connector (110) and the anisotropic conductive sheet (120) from each other, but in the second embodiment, an electrode guide film (231) is additionally placed so that a sufficient moving space for the electrode structure (212) to move in the up and down direction can be secured.

구체적으로 절연성 시트(211)의 길이가 긴 경우에는 가장자리에서 먼 중앙부분은 처질 수 있게 되고 이에 따라서 전극구조체(212)가 승하강할 수 있는 공간을 충분하게 확보할 수 없게 되는 일이 있는데, 전극 가이드 필름(231)이 추가로 배치되어 있게 되어 승하강을 위한 충분한 공간을 확보할 수 있게 한다.Specifically, when the length of the insulating sheet (211) is long, the central portion far from the edge may sag, and thus, there may be cases where sufficient space for the electrode structure (212) to be raised and lowered cannot be secured. However, an electrode guide film (231) is additionally arranged to secure sufficient space for raising and lowering.

또한, 전극구조체(212)의 연결부(1123)가 절연성 시트(211)의 관통구멍(2111)보다 작게 되어 있는 경우에는 전극구조체(112)가 상승 또는 하강하는 과정에서 경사이동할 수 있는데, 전극 가이드 필름(231)이 전극구조체(212)와 인접하게 배치되어 있는 경우에는 전극구조체(212)가 승하강 위치를 가이드하는 기능도 수행함으로서 전극구조체(212)의 상승 하강시 기울어지지 않게 하여 접촉성능을 좋게 한다.In addition, if the connecting portion (1123) of the electrode structure (212) is smaller than the through hole (2111) of the insulating sheet (211), the electrode structure (112) can tilt during the process of rising or falling. However, if the electrode guide film (231) is arranged adjacent to the electrode structure (212), the electrode structure (212) also performs the function of guiding the rising and falling position, thereby preventing the electrode structure (212) from tilting during the rising and falling, thereby improving the contact performance.

도 8은 제3 실시형태에 따른 검사용 소켓(300)을 도시하고 있다. 제3 실시형태에 따른 검사용 소켓(300)은, 상기 이방 도전성 시트(320)의 상면에는 도전부(321)와 대응되는 위치마다 통공이 형성된 절연시트(324)가 추가로 배치되어 있게 된다.Fig. 8 illustrates a test socket (300) according to a third embodiment. In the test socket (300) according to the third embodiment, an insulating sheet (324) having holes formed at each position corresponding to a conductive portion (321) is additionally arranged on the upper surface of the anisotropic conductive sheet (320).

이러한 절연시트(324)는, 폴리이미드와 같은 경질의 합성수지 소재로 이루어진 시트이다. 이러한 절연시트(324)의 두께는 10 내지 200㎛인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 15 내지 100㎛이다. 절연시트(324)는 절연부(322) 상면에 이물질이 묻는 것을 방지하고 도전부(321)의 위치를 고정하는 기능도 수행하게 된다. 즉, 도전부(321)가 일정한 위치를 유지하게 함으로서 전극구조체(312)와 도전부(321)가 확실하게 접촉될 수 있게 한다. This insulating sheet (324) is a sheet made of a hard synthetic resin material such as polyimide. The thickness of this insulating sheet (324) is preferably 10 to 200 ㎛, and more preferably 15 to 100 ㎛. The insulating sheet (324) prevents foreign substances from being deposited on the upper surface of the insulating portion (322) and also performs the function of fixing the position of the conductive portion (321). That is, by maintaining the conductive portion (321) at a constant position, it ensures that the electrode structure (312) and the conductive portion (321) are in secure contact.

즉, 종래기술에서는 시트형 커넥터가 이방 도전성 시트에 공극이 없이 일체적으로 결합되어 있어서 전극구조체와 도전부의 위치 어긋남이 발생될 염려가 적었으나, 본 실시예와 같이 전극구조체(312)가 상하이동가능한 구조에서는 전극구조체(312)와 도전부(321)의 위치가 상호 어긋날 염려가 있다. 특히, 번인테스트를 위하여 고온환경하에서 검사를 수행하는 경우에는 도전부(321)가 좌우방향으로 팽창되어 전극구조체(312)와 위치어긋남이 발생될 여지가 있는데, 경질의 절연시트(324)가 이방 도전성 시트(320)의 상면에 설치되어 있게 되어 전극구조체(312)와 도전부(321) 간의 위치맞춤을 확실하게 할 수 있게 된다.That is, in the conventional technology, since the sheet-shaped connector is integrally bonded to the anisotropic conductive sheet without a gap, there is little concern that misalignment will occur between the electrode structure and the conductive portion. However, in a structure in which the electrode structure (312) can move up and down as in the present embodiment, there is concern that the positions of the electrode structure (312) and the conductive portion (321) may misalign with each other. In particular, when performing a test in a high-temperature environment for a burn-in test, there is a possibility that the conductive portion (321) may expand in the left-right direction, causing misalignment with the electrode structure (312). However, since a hard insulating sheet (324) is installed on the upper surface of the anisotropic conductive sheet (320), the alignment between the electrode structure (312) and the conductive portion (321) can be ensured.

도 9는, 제4 실시형태에 따른 검사용 소켓(400)을 도시하고 있다. 제4 실시형태에 따른 검사용 소켓(400)은, 제2실시형태와 제3실시형태의 복합구조라고 할 것이며, 전극 가이드 필름과, 절연시트가 함께 배치되어 있게 된다.Fig. 9 illustrates an inspection socket (400) according to the fourth embodiment. The inspection socket (400) according to the fourth embodiment is said to be a composite structure of the second embodiment and the third embodiment, and an electrode guide film and an insulating sheet are arranged together.

구체적으로, 상기 절연성 시트(411)와, 상기 이방 도전성 시트(420) 사이에는, 상기 이격거리를 유지시키기 위하여 하부 전극부(4122)의 두께와 같거나 그보다 큰 높이를 가지는 전극 가이드 필름(431)이 배치되고, 이방 도전성 시트(420)의 상면에는 도전부(421)와 대응되는 위치마다 통공이 형성된 절연시트(423)가 배치되어 있게 된다.Specifically, between the insulating sheet (411) and the anisotropic conductive sheet (420), an electrode guide film (431) having a height equal to or greater than the thickness of the lower electrode portion (4122) is arranged to maintain the separation distance, and an insulating sheet (423) having perforations formed at each position corresponding to the conductive portion (421) is arranged on the upper surface of the anisotropic conductive sheet (420).

이러한 제4 실시형태에 따른 검사용 소켓(400)은, 제2, 제3 실시형태에 나타난 효과를 복합적으로 가질 수 있는 장점이 있다.The inspection socket (400) according to the fourth embodiment has the advantage of being able to have the combined effects shown in the second and third embodiments.

도 10은, 제5실시형태에 따른 검사용 소켓(500)으로서, 제1실시형태에 따른 검사용 소켓(100)에 플로팅 장치가 추가로 배치된 것이다. Fig. 10 is an inspection socket (500) according to the fifth embodiment, in which a floating device is additionally arranged in the inspection socket (100) according to the first embodiment.

플로팅 장치(570)는, 상기 시트형 커넥터(510)의 가장자리를 지지하고 상기 시트형 커넥터(510)를 이방 도전성 시트(520)에 근접한 방향 또는 멀어지는 방향으로 이동시킬 수 있는 플로팅 본체(571)와, 상기 플로팅 본체(571)의 하부에 배치되어 상기 플로팅 본체(571)를 탄성적으로 지지하는 탄성바이어스 부재(572)로 이루어진다.The floating device (570) is composed of a floating body (571) that supports the edge of the sheet-shaped connector (510) and can move the sheet-shaped connector (510) toward or away from the anisotropic conductive sheet (520), and an elastic bias member (572) that is arranged at the bottom of the floating body (571) and elastically supports the floating body (571).

구체적으로 이방 도전성 시트(120)의 가장자리에는 이방 도전성 시트(120)의 프레임을 지지하는 하부 하우징(580)이 배치되어 있으며 하부 하우징(580)에는 상방향으로 가이드 핀(581)이 설치되어 있게 된다. Specifically, a lower housing (580) that supports the frame of the foreign conductive sheet (120) is arranged at the edge of the foreign conductive sheet (120), and a guide pin (581) is installed upward in the lower housing (580).

상기 플로팅 본체(571)는, 시트형 커넥터(510)의 가장자리를 지지하는 것으로서 상기 가이드 핀(581)에 끼워져 있게 된다. 이러한 플로팅 본체(571)는 가이드 핀(581)에 의하여 승하강 위치가 가이드된 상태에서 시트형 커넥터(110)를 상승 또는 하강가능하게 지지한다. 상기 플로팅 본체(571)는 알루미늄, 스테인리스, 멜딘, 울템 또는 세라믹피크 중 어느 하나의 소재로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 내구성이 좋은 소재라면 무엇이나 사용가능하다.The floating body (571) above supports the edge of the sheet-shaped connector (510) and is fitted into the guide pin (581). The floating body (571) supports the sheet-shaped connector (110) so that it can be raised or lowered while the raising and lowering position is guided by the guide pin (581). The floating body (571) may be made of any one of aluminum, stainless steel, meldin, ultem, or ceramic peak, but is not limited thereto, and any durable material may be used.

상기 탄성바이어스 부재(572)는, 플로팅 본체(571)와 하부 하우징(580) 사이에 배치되어 있어서 플로팅 본체(571)가 하부 하우징(580)으로부터 멀어지도록 탄성바이어스시키게 된다. 이러한 탄성바이어스 부재(572)는 코일 스프링이 적용될 수 있으며 상단은 플로팅 본체(571)에 접촉되어 지지되고, 하단은 하부 하우징(580)에 접촉되어 지지된다. The above elastic bias member (572) is positioned between the floating body (571) and the lower housing (580) to elastically bias the floating body (571) away from the lower housing (580). A coil spring can be applied to this elastic bias member (572), and the upper end is supported by contacting the floating body (571), and the lower end is supported by contacting the lower housing (580).

상기 탄성바이어스 부재(572)는 코일 스프링이 일예로 나타나 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 플로팅 본체(571)를 탄력적으로 지지할 수 있는 수단이라면 고무나 기타 다양한 형태의 탄성부재가 사용될 수 있다.The above elastic bias member (572) is shown as an example of a coil spring, but is not limited thereto, and rubber or other various types of elastic members may be used as long as they are a means capable of elastically supporting the floating body (571).

제1 실시형태에서는 시트형 커넥터(110)가 이방 도전성 시트(120)의 가장자리에 스페이서(130)에 의하여 위치고정되어 있었으나, 제5 실시형태에 따른 검사용 소켓(500)은 시트형 커넥터(510)가 플로팅 장치(570)에 의하여 승하강가능하게 배치되어 있게 된다. In the first embodiment, the sheet-shaped connector (110) was fixed in position at the edge of the foreign conductive sheet (120) by a spacer (130), but in the inspection socket (500) according to the fifth embodiment, the sheet-shaped connector (510) is positioned so as to be able to be raised and lowered by a floating device (570).

제5 실시형태에 따른 검사용 소켓(500)은, 시트형 커넥터(510)의 위치가 가변될 수 있으므로, 피검사 디바이스의 단자)에 대한 높이편차를 보다 효과적으로 대응할 수 있는 장점이 있다. 즉, 절연성 시트의 가장자리가 고정되어 있는 것에 비하여 절연성 시트(511)가 상승 또는 하강할 수 있도록 구성되어 있으므로 전극구조체(512)의 승하강 자유도를 보다 크게 할 수 있게 되어 전체적인 동작성능을 높게 할 수 잇다.The inspection socket (500) according to the fifth embodiment has an advantage in that it can more effectively cope with height deviation of the terminal of the device to be inspected since the position of the sheet-shaped connector (510) can be varied. That is, since the insulating sheet (511) is configured to be able to rise or fall compared to a case where the edge of the insulating sheet is fixed, the degree of freedom for the raising and lowering of the electrode structure (512) can be increased, thereby improving the overall operating performance.

또한, 시트형 커넥터(510)를 쉽게 교체할 수 있는 장점도 있게 된다. 시트형 커넥터(510)에 대한 교체가 필요한 경우 플로팅 장치(570)를 가이드 핀(581)으로부터 들어올려 분리함으로서 시트형 커넥터(510)에 대한 교체를 용이하게 할 수 있게 된다.In addition, there is an advantage in that the sheet-type connector (510) can be easily replaced. When replacement of the sheet-type connector (510) is required, the floating device (570) can be lifted and separated from the guide pin (581) to facilitate replacement of the sheet-type connector (510).

도 11은 제6 실시형태에 따른 검사용 소켓(600)을 나타낸다. 제6 실시형태에 따른 검사용 소켓(600)에서, 상기 절연성 시트(611)와, 상기 절연성 시트(611)로부터 이격된 이방 도전성 시트(620) 사이에는, 상기 이격거리를 유지시키기 위하여 하부 전극부(1122)의 두께와 같거나 그보다 큰 높이를 가지는 전극 가이드 필름(631)이 추가로 배치되는 것이다. 이때 전극가이드 필름(631)은 플로팅 본체(671)의 승하강을 저해하지 않도록 플로팅 본체(671)의 최대상승높이보다는 낮은 높이를 가지는 것이 좋다. 플로팅 본체(671)가 충분하게 하강한 후에는 절연성 시트(111)의 하면이 전극 가이드 필름(631)에 접촉되는데, 이 상태에서도 전극구조체(112)의 승하강 작동성은 보장될 수 있는 것이 바람직하다.Fig. 11 shows a test socket (600) according to the sixth embodiment. In the test socket (600) according to the sixth embodiment, an electrode guide film (631) having a height equal to or greater than the thickness of the lower electrode portion (1122) is additionally arranged between the insulating sheet (611) and the anisotropic conductive sheet (620) spaced apart from the insulating sheet (611) in order to maintain the spaced distance. At this time, it is preferable that the electrode guide film (631) have a height lower than the maximum rising height of the floating body (671) so as not to impede the rising and falling of the floating body (671). After the floating body (671) has sufficiently descended, the lower surface of the insulating sheet (111) comes into contact with the electrode guide film (631), and it is preferable that the rising and falling operability of the electrode structure (112) be guaranteed even in this state.

한편,절연성 시트(611)의 길이가 긴 경우에는 가장자리에서 먼 중앙부분은 처질 수 있게 되고 이에 따라서 전극구조체(612)가 승하강할 수 있는 공간을 충분하게 확보할 수 없게 되는 일이 있는데, 전극 가이드 필름(631)이 추가로 배치되어 있게 되어 승하강을 위한 충분한 공간을 확보할 수 있게 하며, 전극 가이드 필름(631)은 전극구조체(112)의 이동방향을 가이드 하는 기능도 수행하게 된다.Meanwhile, when the length of the insulating sheet (611) is long, the central portion far from the edge may sag, and thus, there may be cases where sufficient space is not secured for the electrode structure (612) to be raised and lowered. Therefore, an electrode guide film (631) is additionally arranged to secure sufficient space for raising and lowering, and the electrode guide film (631) also performs the function of guiding the direction of movement of the electrode structure (112).

도 12은 제7 실시형태에 따른 검사용 소켓(700)을 도시하고 있다. 제7 실시형태에 따른 검사용 소켓(700)은, 상기 이방 도전성 시트(720)의 상면에는 도전부(721)와 대응되는 위치마다 통공이 형성된 절연시트(724)가 추가로 배치되어 있게 된다.Fig. 12 illustrates a test socket (700) according to the seventh embodiment. The test socket (700) according to the seventh embodiment is provided with an insulating sheet (724) having holes formed at positions corresponding to conductive portions (721) on the upper surface of the anisotropic conductive sheet (720).

이러한 절연시트(724)는 절연부(722) 상면에 이물질이 묻는 것을 방지하고 도전부(721)의 위치를 고정하는 기능도 수행하게 된다. 즉, 도전부(721)가 일정한 위치를 유지하게 함으로서 전극구조체(712)와 도전부(721)가 확실하게 접촉될 수 있게 한다. This insulating sheet (724) prevents foreign substances from being deposited on the upper surface of the insulating portion (722) and also performs the function of fixing the position of the conductive portion (721). That is, by maintaining the conductive portion (721) in a certain position, it ensures that the electrode structure (712) and the conductive portion (721) are in secure contact.

도 13은, 제8 실시형태에 따른 검사용 소켓(100)을 도시하고 있다. 제8 실시형태에 따른 검사용 소켓(100)은, 제6실시형태와 제7실시형태의 복합구조라고 할 것이며, 전극 가이드 필름(831)과, 절연시트(824)가 함께 배치되어 있게 된다.Fig. 13 illustrates an inspection socket (100) according to the eighth embodiment. The inspection socket (100) according to the eighth embodiment is said to be a composite structure of the sixth embodiment and the seventh embodiment, and an electrode guide film (831) and an insulating sheet (824) are arranged together.

구체적으로, 상기 절연성 시트(811)와, 상기 이방 도전성 시트(820) 사이에는, 상기 이격거리를 유지시키기 위하여 하부 전극부의 두께와 같거나 그보다 큰 높이를 가지는 전극 가이드 필름(831)이 배치되고, 이방 도전성 시트(820)의 상면에는 도전부(821)와 대응되는 위치마다 통공이 형성된 절연시트(824)가 배치되어 있게 된다.Specifically, between the insulating sheet (811) and the anisotropic conductive sheet (820), an electrode guide film (831) having a height equal to or greater than the thickness of the lower electrode portion is arranged to maintain the separation distance, and an insulating sheet (824) having perforations formed at each position corresponding to the conductive portion (821) is arranged on the upper surface of the anisotropic conductive sheet (820).

이러한 제8 실시형태에 따른 검사용 소켓(100)은, 제2, 제3 실시형태에 나타난 효과를 복합적으로 가질 수 있는 장점이 있다.The inspection socket (100) according to the eighth embodiment has the advantage of being able to have the combined effects shown in the second and third embodiments.

이상에서 바람직한 실시예를 들어 본 발명을 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예들 및 변형예에 한정되는 것은 아니고 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다.Although the present invention has been described in detail above with reference to preferred embodiments, the present invention is not necessarily limited to these embodiments and modifications, and may be implemented in various ways without departing from the technical spirit of the present invention.

100... 검사용 소켓 110...시트형 커넥터
111...절연성 시트 1111...관통구멍
112...전극구조체 1121...상부 전극부
1121a...요철 1122...하부 전극부
1122a...반구형 범프 1123...연결부
120...이방 도전성 시트 121...도전부
1211...도전성 입자 122...절연부
123...이동공간 130...스페이서
140...검사장치 150...피검사 디바이스
151...단자 160...인서트
161...시트 162...구멍100... Inspection socket 110... Sheet type connector
111...Insulating sheet 1111...Through hole
112... Electrode structure 1121... Upper electrode part
1121a...Uneven 1122...Lower electrode
1122a...hemispherical bump 1123...connector
120...Foreign Challenge Sheet 121...Challenge Section
1211...challenging particle 122...insulating part
123...Movement space 130...Spacer
140...Testing device 150...Blood testing device
151...Terminal 160...Insert
161...Sheet 162...Hole

Claims

In a test socket that is placed between a test device and a test apparatus to electrically connect the terminal of the test device and the pad of the test apparatus to each other so that an electrical test of the test device can be performed,
A through hole is formed at each location corresponding to the terminal of the test device, and an insulating sheet made of an insulating material is formed.
An inspection sheet-type connector including an electrode structure comprising an upper electrode part arranged on the upper surface of the insulating sheet at a position corresponding to the through-hole of the insulating sheet, a lower electrode part arranged on the lower surface of the insulating sheet at a position corresponding to the through-hole of the insulating sheet, and a connecting part connected to the lower surface of the upper electrode part and the upper surface of the lower electrode part, passing through the through-hole of the insulating sheet, and movable along the thickness direction of the insulating sheet; and
Including a foreign conductive sheet arranged on the lower side of the above inspection sheet-type connector;
The above-mentioned foreign conductive sheet comprises a conductive portion in which a number of conductive particles are arranged in the thickness direction within an elastic insulating material at positions corresponding to terminals of a test device, and an insulating portion that is arranged between the conductive portions and supports and insulates the conductive portion.
The length of the above connecting portion is greater than the thickness of the insulating sheet, so that the electrode structure can move up and down with respect to the insulating sheet.
A test socket characterized in that a hemispherical bump is formed in the lower electrode portion of the electrode structure that presses the conductive portion by the test device, the lower center of which protrudes downward more than the lower periphery.

In the first paragraph,
An inspection socket, characterized in that the upper electrode portion and the lower electrode portion are larger than the diameter of the through hole.

In the first paragraph,
An inspection socket, characterized in that the connecting portion has a diameter smaller than the diameter of the through hole.

In the first paragraph,
A test socket characterized in that the surface of the upper electrode part that comes into contact with the terminal of the above test device has a rough surface.

In paragraph 4,
An inspection socket characterized in that the above-mentioned protrusions are formed by providing a plurality of any one of a triangular pyramid, a cone, a polygonal pyramid, a polygonal prism, and a cylinder.

delete

In the first paragraph,
An inspection socket characterized in that the hemispherical bump is made of a different material from the lower electrode portion or is plated with a different material.

In Article 7,
An inspection socket characterized in that the above heterogeneous material includes tin having excellent ductility.

In the first paragraph,
The above through holes are arranged in multiple numbers spaced apart from each other,
The above electrode structures are arranged in multiple through holes,
An inspection socket, characterized in that each electrode structure can move independently in the vertical direction with respect to an adjacent electrode structure.

Since there is a first clause,
A test socket characterized in that the electrode structure is manufactured by MEMS (Micro Electro Mechanical Systems).

delete

In the first paragraph,
An inspection socket characterized in that an empty moving space is provided between the lower surface of the insulating sheet and the upper surface of the anisotropic conductive sheet so that the lower electrode part of the electrode structure can move up and down.

In the first paragraph,
An inspection socket, characterized in that the insulating sheet and the anisotropic conductive sheet are spaced apart from each other in the vertical direction, and the distance between them is equal to or greater than the thickness of the lower electrode portion of the electrode structure.

In Article 13,
An inspection socket characterized in that an electrode guide film having a height equal to or greater than the thickness of the lower electrode portion is arranged between the insulating sheet and the anisotropic conductive sheet to maintain the separation distance.

In Article 14,
An inspection socket characterized in that the electrode guide film is positioned between each electrode structure to distinguish it from adjacent electrode structures.

In the first paragraph,
An inspection socket characterized in that an insulating sheet is provided on the upper surface of the above-mentioned foreign conductive sheet, with holes formed at each position corresponding to a conductive portion.

In a test socket that is placed between a test device and a test apparatus to electrically connect the terminal of the test device and the pad of the test apparatus to each other so that an electrical test of the test device can be performed,
Sheet-type connector for inspection of Article 1;
The foreign conductive sheet of clause 1; and
A floating body that supports the edge of the above inspection sheet-type connector and can move the above inspection sheet-type connector toward or away from the above foreign conductive sheet,
An inspection socket, characterized by including a floating device formed of an elastic bias member that is arranged at the lower portion of the floating body and elastically supports the floating body.

In Article 17,
An inspection socket characterized in that an empty moving space is provided between the lower surface of the insulating sheet and the upper surface of the anisotropic conductive sheet to enable the lower electrode portion of the electrode structure to move up and down.

In Article 17,
An inspection socket, characterized in that the distance between the insulating sheet and the anisotropic conductive sheet is equal to or greater than the thickness of the lower electrode portion of the electrode structure.

In Article 19,
An inspection socket characterized in that an electrode guide film having a height equal to or greater than the thickness of a lower electrode portion is attached to the upper surface of the anisotropic conductive sheet to maintain a distance between the insulating sheet and the anisotropic conductive sheet.

In Article 20,
An inspection socket characterized in that the electrode guide film is positioned between each electrode structure to separate the electrode structures.

In Article 17,
An inspection socket characterized in that an insulating sheet is provided on the upper surface of the insulating portion of the above-mentioned foreign conductive sheet, with holes formed at each position corresponding to the conductive portion.

In Article 17,
Further comprising a lower housing for accommodating the above foreign conductive sheet,
The above floating body is guided by the lower housing and can move up and down,
An inspection socket, characterized in that the elastic bias member is disposed between the floating body and the lower housing to elastically bias the floating body away from the lower housing.

In Article 17,
An inspection socket, characterized in that the floating body is made of any one of aluminum, stainless steel, meldin, ultem, or ceramic peak.