KR101532389B1 - Conductive sheet and conductive composite sheet - Google Patents

Conductive sheet and conductive composite sheet Download PDF

Info

Publication number
KR101532389B1
KR101532389B1 KR1020130165889A KR20130165889A KR101532389B1 KR 101532389 B1 KR101532389 B1 KR 101532389B1 KR 1020130165889 A KR1020130165889 A KR 1020130165889A KR 20130165889 A KR20130165889 A KR 20130165889A KR 101532389 B1 KR101532389 B1 KR 101532389B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
conductive
sheet
insulating
conductive sheet
parts
Prior art date
Application number
KR1020130165889A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
김봉영
Original Assignee
주식회사 아이에스시
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 아이에스시 filed Critical 주식회사 아이에스시
Priority to KR1020130165889A priority Critical patent/KR101532389B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101532389B1 publication Critical patent/KR101532389B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • G01R1/0416—Connectors, terminals
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R13/00—Details of coupling devices of the kinds covered by groups H01R12/70 or H01R24/00 - H01R33/00
    • H01R13/02—Contact members
    • H01R13/22—Contacts for co-operating by abutting
    • H01R13/24—Contacts for co-operating by abutting resilient; resiliently-mounted
    • H01R13/2407—Contacts for co-operating by abutting resilient; resiliently-mounted characterized by the resilient means
    • H01R13/2414—Contacts for co-operating by abutting resilient; resiliently-mounted characterized by the resilient means conductive elastomers

Abstract

The present invention relates to a conductive sheet and a composite conductive sheet and, more specifically, to a conductive sheet which is disposed between a test target device and a testing device to electrically connect a terminal of the test target device and a pad of the testing device to each other. The conductive sheet comprises: a plurality of conductive portions which are provided with a plurality of conductive particles arranged in an insulating elastic material in a thickness direction; and an insulating and supporting portion which is integrally provided between the conductive portions to insulate the conductive portions from each other while supporting the conductive portions, wherein the conductive portion has a cross section having a narrow width and has an extending shape within a predetermined section when cutting the conductive portion in a plane direction perpendicular to the thickness direction, and an extending length of the conductive portion is longer than the width of the conductive portion.

Description

도전성 시트 및 복합 도전성 시트{Conductive sheet and conductive composite sheet}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a conductive sheet and a conductive composite sheet,

본 발명은 도전성 시트 및 복합 도전성 시트에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 미세피치를 가진 피검사 디바이스의 단자의 전기적 검사시 단자의 형상에 관계없이 단자와의 접촉면적을 최대한 확보하여 전기적 검사의 신뢰성을 확보할 수 있는 도전성 시트 및 복합 도전성 시트에 대한 것이다. The present invention relates to a conductive sheet and a composite conductive sheet, and more particularly to a conductive sheet and a composite conductive sheet, which can secure a contact area with a terminal irrespective of the shape of a terminal during electrical inspection of terminals of a device under test having fine pitches, The present invention relates to a conductive sheet and a composite conductive sheet which can be secured.

일반적으로 피검사 디바이스의 전기적 특성 검사를 위해서는 피검사 디바이스와 검사장치와의 전기적 연결이 안정적으로 이루어져야 한다. 통상 피검사 디바이스와 검사장치와의 연결을 위한 장치로서 다양한 매개소켓이 사용된다.Generally, in order to inspect the electrical characteristics of a device to be inspected, the electrical connection between the device to be inspected and the inspection device must be stable. A variety of mediocre sockets are usually used as devices for connecting the inspected device to the inspected device.

이러한 매개소켓의 역할은 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 연결시켜 전기적인 신호가 양방향으로 교환 가능하게 하는 것이다. 이를 위하여 전기적 검사소켓의 내부에 사용되는 접촉수단으로 고무소재 내에 다수의 도전성 입자가 분포되어 있는 도전성 시트 또는 금속핀이 스프링에 의하여 탄력지지되는 포고핀이 주로 사용된다. 이중 도전성 시트는 탄성을 가지는 도전부를 피검사 디바이스의 단자와 접속시키는 것이며, 포고핀은 내부에 스프링이 마련되어 있어서 피검사 디바이스와 검사장치와의 연결을 원활하게 하고, 연결시 발생할 수 있는 기계적인 충격을 완충할 수 있어 대부분의 전기적 검사를 위한 매개소켓에 사용되고 있다. The role of such a medial socket is to connect the terminals of the device under test and the pads of the inspecting device so that electrical signals can be exchanged in both directions. To this end, a conductive sheet in which a large number of conductive particles are distributed in a rubber material, or a pogo pin in which a metal pin is resiliently supported by a spring is mainly used as a contact means used inside the electric test socket. The double conductive sheet connects the conductive part having elasticity to the terminal of the device to be inspected. The pogo pin is provided with a spring inside to smooth connection between the device to be inspected and the inspection device, and a mechanical shock Can be buffered and used in most sockets for electrical testing.

도 1 및 도 2에서는 대한민국 공개특허 10-2006-0062824호에 개시되어 있는 도전성 시트를 개시한다. 종래기술에 따른 도전성 시트(100)는 절연성 실리콘 파우더(25)와 도전성 파우더(35)를 고형화하여 형성한 커넥터로서, 절연성 실리콘 파우더(25)가 고형화된 커넥터 몸체(20)와, 테스트할 반도체 패키지의 솔더 볼에 대응되는 커넥터 몸체(20)의 위치에 도전성 파우더(35)가 모여 형성된 도전성 실리콘부(30)를 포함한다. 도전성 실리콘부(30)는 커넥터 몸체(20)에 기둥 형태에 가깝게 수직으로 형성된다. Figs. 1 and 2 disclose a conductive sheet disclosed in Korean Patent Laid-Open No. 10-2006-0062824. The conductive sheet 100 according to the related art is a connector formed by solidifying the insulating silicone powder 25 and the conductive powder 35. The connector body 20 includes a connector body 20 in which the insulating silicone powder 25 is solidified, And a conductive silicon part 30 in which a conductive powder 35 is gathered at a position of the connector body 20 corresponding to the solder ball. The conductive silicon portion 30 is formed in the connector body 20 vertically close to the columnar shape.

커넥터 몸체의 하부면(21)으로 노출된 도전성 실리콘부(30)의 하부면(31)은 테스트 기판의 기판 패드(도 2의 91)에 접촉하여 전기적으로 연결되고, 커넥터 몸체의 상부면(23)으로 노출된 도전성 실리콘부의 상부면(33)은 반도체 패키지의 솔더 볼(도 2의 81)과 접촉하여 전기적으로 연결된다. The lower surface 31 of the conductive silicon portion 30 exposed to the lower surface 21 of the connector body is in electrical contact with the substrate pad (91 of FIG. 2) of the test substrate and is electrically connected to the upper surface 23 The upper surface 33 of the conductive silicon portion exposed in contact with the solder ball (81 of FIG. 2) of the semiconductor package is electrically connected.

종래기술에 따른 도전성 시트(100)를 제조하는 방법을 설명하면, 절연성 실리콘 파우더(25)와 도전성 파우더(35)가 소정의 비율로 섞은 실리콘 혼합물을 준비한 상태에서 금형에 넣어 용융시킨다. 그리고 도전성 실리콘부(30)로 형성될 위치에 도전성 파우더(35)를 모으는 단계가 진행된다. 즉, 도전성 실리콘부(30)가 형성될 위치에 전기를 걸어주면 용융된 실리콘 혼합물에 포함된 도전성 파우더(35)가 전기가 걸린 위치로 모이게 된다. 마지막으로 융융된 실리콘 혼합물을 고형화시킴으로써 종래기술에 따른 도전성 시트(100)를 얻을 수 있다.A method of manufacturing the conductive sheet 100 according to the related art will be described. A silicon mixture in which an insulating silicone powder 25 and a conductive powder 35 are mixed at a predetermined ratio is prepared and melted by putting in a mold. And a step of collecting the conductive powder 35 at a position to be formed by the conductive silicon part 30 proceeds. That is, when electricity is applied to the position where the conductive silicon part 30 is to be formed, the conductive powder 35 contained in the molten silicon mixture is collected at the position where electricity is applied. Finally, the conductive sheet 100 according to the prior art can be obtained by solidifying the melted silicon mixture.

이와 같은 구조를 갖는 도전성 시트(100)에 반도체 패키지(80)가 접촉되는 상태를, 도 2를 참조하여 설명하면, 먼저 도전성 시트(100)가 설치된 테스트 기판(90)이 준비된다. 이때 커넥터 몸체의 하부면(21)으로 노출된 도전성 실리콘부의 하부면(31)은 테스트 기판(90)의 기판 패드(91)에 접촉하여 전기적으로 연결된다. 도전성 시트의 상부면(23)으로 이송된 반도체 패키지(80)의 솔더 볼(81)은 도전성 실리콘부의 상부면(33)을 소정의 압력으로 가압하면서 탄성적으로 접촉됨으로써 전기적으로 연결되며, 이와 같은 상태에서 테스트 기판(80)을 통하여 테스트 신호가 도전성 시트(100)를 매개로 반도체 패키지(80)로 전달되어 테스트 공정이 이루어진다.Referring to FIG. 2, a state in which the semiconductor package 80 is in contact with the conductive sheet 100 having such a structure will be described. First, a test board 90 provided with the conductive sheet 100 is prepared. At this time, the lower surface 31 of the conductive silicon part exposed to the lower surface 21 of the connector body is electrically connected to the substrate pad 91 of the test substrate 90. The solder ball 81 of the semiconductor package 80 transferred to the upper surface 23 of the conductive sheet is electrically connected by being elastically contacted while pressing the upper surface 33 of the conductive silicon portion at a predetermined pressure, A test signal is transmitted to the semiconductor package 80 via the conductive sheet 100 through the test substrate 80 to perform a test process.

이러한 종래기술에 따른 도전성 시트는 다음과 같은 문제점이 있다.Such conventional conductive sheets have the following problems.

통상적으로 반도체 패키지의 형태가 DIP(Dual In-line Package), SOP(Small Out-line Package), QFP(Quad Flat Package) 및 BGA(Ball Grid Array) 또는 기타 다양한 형태일 수 있는데, 이중 도 1 및 도 2에 따른 반도체 패키지는 BGA 형태의 반도체 패키지를 예시하고 있다. 이러한 BGA 형태의 반도체 패키지는 단자의 형태가 구형으로 되어 있어 원형 단면을 가지는 도전성 실리콘부(30)에 접촉시에는 별 문제가 되지 않으나, 도 3에 도시된 바와 같이 사각형 단면을 가지는 FPCB 패턴 또는 OLED 패턴(82)을 가지는 패키지의 경우에는 하나의 단자가 여러개의 도전성 실리콘부(30)에 함께 접촉해야 한다. Typically, the semiconductor package may be a dual in-line package (DIP), a small out-line package (SOP), a quad flat package (QFP) and a ball grid array (BGA) The semiconductor package according to Fig. 2 exemplifies a BGA type semiconductor package. The semiconductor package of the BGA type has a spherical shape of a terminal and is not a problem when it contacts the conductive silicon part 30 having a circular cross section. However, as shown in FIG. 3, the FPCB pattern or the OLED In the case of a package having the pattern 82, one terminal must contact the plurality of conductive silicon parts 30 together.

이때, 대부분의 도전성 실리콘부의 단면형상은 원형으로만 이루어져 있기 때문에 단자와 접촉시 접촉면적에 있어서 불리한 측면이 있다. 즉, 접촉되는 단자는 도전성 실리콘부(30) 뿐만 아니라 도전성 실리콘부(30) 사이의 절연부에도 접촉하게 되는데, 이때 절연부에 접촉되는 면적이 클수록 전기전도성의 측면에서는 불리하게 되는 단점이 있다. 물론, 도전성 실리콘부의 간격(피치)을 극도로 좁히게 되는 경우에는 이러한 문제점을 해결할 수 있으나, 도전성 실리콘부의 간격을 좁히게 되는 경우 서로 인접한 도전성 실리콘부(30)와 쇼트가 날 염려가 있다. At this time, since most of the conductive silicon parts have only a circular cross-sectional shape, there is a disadvantage in the contact area when contacting the terminals. That is, the terminals to be brought into contact with not only the conductive silicon part 30 but also the insulating part between the conductive silicon part 30, which is disadvantageous in terms of electrical conductivity as the area of contact with the insulating part is larger. Of course, this problem can be solved if the interval (pitch) of the conductive silicon part is extremely narrowed. However, if the interval of the conductive silicon part is narrowed, there is a risk of short-circuiting with the adjacent conductive silicon part 30.

즉, 도전성 실리콘부(30)은 다수의 도전성 입자가 밀집하여 배치되어 있는 것인데, 도전성 실리콘부(30) 사이의 간격을 좁히게 되면 도전성 실리콘부에만 도전성 입자가 배열되는 것이 아니라 도전성 실리콘부 사이의 절연부에도 도전성 입자가 분포될 확률이 높아지게 되어 쇼트의 문제가 발생되는 것이다.That is, when the distance between the conductive silicon parts 30 is narrowed, conductive particles are not arranged only in the conductive silicon part, but the conductive silicon parts 30 The probability that the conductive particles are distributed in the insulating portion is increased, and a problem of short circuit occurs.

따라서, 기존의 도전성 시트를 이용하여 BGA 반도체 패키지 이외의 다른 형태의 반도체 패키지에 사용되는 경우에는 전기적 전도성 측면에서 유리하지 못하여 전기적 검사의 신뢰성에 확보할 수 없게 되고 있다.Therefore, when the conventional conductive sheet is used in a semiconductor package other than a BGA semiconductor package, it is not advantageous from the viewpoint of electrical conductivity, and reliability of electrical inspection can not be ensured.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 미세피치를 가진 피검사 디바이스의 단자의 전기적 검사시 단자의 형상에 관계없이 단자와의 접촉면적을 최대한 확보하여 전기적 검사의 신뢰성을 확보할 수 있는 도전성 시트 및 복합 도전성 시트를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made in order to solve the above-described problems, and more particularly, it is an object of the present invention to provide a method of inspecting a terminal of a device to be inspected having a fine pitch, And to provide a conductive sheet and a composite conductive sheet which are capable of securing a conductive layer.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 도전성 시트는, 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위하여 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 사용되는 도전성 시트로서, In order to achieve the above object, the conductive sheet of the present invention is a conductive sheet used between an inspecting device and an inspecting device for electrically connecting terminals of an inspecting device and pads of the inspecting device,

절연성 탄성 물질 내에 두께방향으로 배열되는 다수의 도전성 입자가 마련되어 있는 복수의 도전부; 및A plurality of conductive parts provided with a plurality of conductive particles arranged in a thickness direction in an insulating elastic material; And

상기 각각의 도전부를 지지하면서 서로 절연시키도록 도전부들 사이에 일체로 마련되어 있는 절연지지부;를 포함하고,And an insulating support part integrally provided between the conductive parts to insulate the conductive parts from each other while supporting the conductive parts,

상기 도전부는 상기 두께방향과 직각인 면방향으로 잘랐을 때의 단면이, 좁은 폭을 가지면서 일정구간 내에서 길게 연장되어 있는 형상을 가지되, 상기 도전부의 연장된 길이는 상기 도전부의 폭보다 길다.The conductive portion has a shape in which a cross section when cut in a plane direction perpendicular to the thickness direction has a narrow width and is elongated in a predetermined section, and an extended length of the conductive portion is longer than a width of the conductive portion.

상기 도전성 시트에서, 상기 도전부의 단면형상은, 타원형일 수 있다.In the conductive sheet, the cross-sectional shape of the conductive portion may be an elliptical shape.

상기 도전성 시트에서, 상기 도전부는 복수개가 상기 면방향을 따라서 지그재그 형태로 배열될 수 있다.In the conductive sheet, a plurality of the conductive portions may be arranged in a zigzag shape along the plane direction.

상기 도전성 시트에서, In the conductive sheet,

상기 도전부의 단면형상은, "ㄱ", "S" 형 중 어느 하나일 수 있다.The cross-sectional shape of the conductive portion may be any of "A" and "S" shapes.

상기 도전성 시트에서,In the conductive sheet,

상기 도전부의 폭을 a라고 하고, 도전부의 연장된 길이를 b라고 하였을 때, 1 < b/a < 6 일 수 있다.A < b / a < 6, where a is a width of the conductive portion and b is an extended length of the conductive portion.

상기 도전성 시트에서, 상기 피검사 디바이스의 단자에 상기 도전부가 적어도 2개 이상 접촉될 수 있다.In the conductive sheet, at least two conductive parts may be in contact with the terminals of the device to be inspected.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 복합 도전성 시트는, 상술한 도전성 시트와, 상기 도전성 시트의 도전부와 대응되는 위치에 배치되며 상기 도전부와 접촉되어 있는 전극부와, 상기 각 전극부와 결합되며 상기 전극부를 지지하는 절연성 시트를 포함하는 시트형 커넥터로 구성된다.According to an aspect of the present invention, there is provided a composite conductive sheet comprising: the conductive sheet; an electrode portion disposed at a position corresponding to the conductive portion of the conductive sheet and in contact with the conductive portion; And a sheet-like connector including an insulating sheet which is joined and supports the electrode portion.

상기 복합 도전성 시트에서, 상기 전극부는 상기 도전부의 단면형상과 대응되는 형상을 가질 수 있다.In the composite conductive sheet, the electrode portion may have a shape corresponding to the cross-sectional shape of the conductive portion.

상기 복합 도전성 시트에서, 상기 전극부는 금속소재로 이루어질 수 있다.In the composite conductive sheet, the electrode portion may be made of a metal material.

상기 복합 도전성 시트에서, 상기 절연성 시트는 상기 도전성 시트의 절연지지부에 일체화될 수 있다.In the above-described composite conductive sheet, the insulating sheet may be integrated into the insulating sheet portion of the conductive sheet.

상기 복합 도전성 시트에서, 상기 절연성 시트는 상기 절연성 지지부보다 내열성이 우수한 소재로 이루어질 수 있다.In the above-described composite conductive sheet, the insulating sheet may be made of a material superior in heat resistance to the insulating support.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 도전성 시트는, 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위하여 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 사용되는 도전성 시트로서, In order to achieve the above object, the conductive sheet of the present invention is a conductive sheet used between an inspecting device and an inspecting device for electrically connecting terminals of an inspecting device and pads of the inspecting device,

절연성 탄성 물질 내에 두께방향으로 배열되는 다수의 도전성 입자가 마련되어 있는 복수의 도전부; 및A plurality of conductive parts provided with a plurality of conductive particles arranged in a thickness direction in an insulating elastic material; And

상기 각각의 도전부를 지지하면서 서로 절연시키도록 도전부들 사이에 일체로 마련되어 있는 절연지지부를 포함하되,And an insulating support part integrally provided between the conductive parts to insulate the conductive parts from each other while supporting the conductive parts,

상기 도전부는 상기 피검사 디바이스의 단자보다 작은 단면적을 가지되, 각각의 도전부는 두께방향과 직각인 면방향을 따라서 지그재그형태로 배열된다.The conductive portion has a smaller cross sectional area than the terminal of the device to be inspected, and each of the conductive portions is arranged in a zigzag shape along a plane direction perpendicular to the thickness direction.

본 발명에 따른 도전성 시트는, 도전부이 원형이 아니라 타원형의 형상을 가지고 있기 때문에, 다양한 형태의 단자와의 접촉과정에서 단자와의 접촉면적을 극대화하여 전기적 접속특성을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.The conductive sheet according to the present invention has an advantage that the electrical connection characteristics can be improved by maximizing the contact area with the terminals in the process of contact with various types of terminals because the conductive sheet has an elliptic shape instead of a circular shape.

도 1은 종래기술에 따른 도전성 시트의 사시도.
도 2는 도 1의 도전성 시트를 이용하여 검사를 수행하는 모습을 나타내는 도면.
도 3은 도 1의 도전성 시트를 이용하여 검사를 수행하는 일 예를 나타내는 모습을 나타내는 도면.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 도전성 시트의 평면도.
도 5는 도 4의 Ⅴ-Ⅴ 단면도.
도 6은 도 4의 Ⅵ-Ⅵ 단면도.
도 7은 도 4의 도전성 시트를 이용하여 검사를 수행하는 일 예를 나타내는 도면.
도 8은 도 7의 실제 모습을 나타내는 도면.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 도전성 시트의 평면도.
도 10은 본 발명의 복합 도전성 시트를 나타내는 도면.
도 11은 도 10의 ⅩⅠ-ⅩⅠ 단면도. 1 is a perspective view of a conductive sheet according to the prior art;
Fig. 2 is a view showing a state in which inspection is performed using the conductive sheet of Fig. 1; Fig.
Fig. 3 is a view showing an example of performing inspection using the conductive sheet of Fig. 1; Fig.
4 is a plan view of a conductive sheet according to an embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view taken along the line V-V of Fig.
6 is a sectional view taken along the line VI-VI of FIG.
Fig. 7 is a view showing an example of performing inspection using the conductive sheet of Fig. 4; Fig.
8 is a view showing the actual state of Fig.
9 is a plan view of a conductive sheet according to another embodiment of the present invention.
10 is a view showing a composite conductive sheet of the present invention.
11 is a sectional view taken along the line XI-XI in Fig. 10;

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 도전성 시트를 첨부된 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.Hereinafter, a conductive sheet according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 도전성 시트(110)는, 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위하여 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 사용되는 도전성 시트(110)이다. The conductive sheet 110 of the present invention is a conductive sheet 110 disposed between a device to be inspected and an inspection apparatus for electrically connecting terminals of the device to be inspected and pads of the inspection apparatus to each other.

이러한 도전성 시트(110)는, 도전부(111)와 절연지지부(112)를 포함하여 구성된다. The conductive sheet 110 includes a conductive portion 111 and an insulating support portion 112.

상기 도전부(111)는 절연성 탄성 물질 내에 두께방향으로 배열되는 다수의 도전성 입자(111a)가 마련되어 있는 것으로서, 복수개가 서로 밀접하게 배치되어 있다.The conductive part 111 is provided with a plurality of conductive particles 111a arranged in a thickness direction in an insulating elastic material, and a plurality of conductive particles 111a are closely arranged.

상기 도전부(111)를 형성하는 절연성 탄성 물질로서는 가교 구조를 갖는 내열성의 고분자 물질이 바람직하다. 이러한 가교 고분자 물질을 얻기 위해 이용할 수 있는 경화성의 고분자 물질 형성 재료로서는, 다양한 것을 이용할 수 있지만, 액상 실리콘 고무가 바람직하다. 액상 실리콘 고무는 부가형의 것이라도 축합형의 것이라도 좋지만, 성형성과 탄성변형이 용이하다는 측면에서 부가형 액상 실리콘 고무가 바람직하다. 도전부(111)를 액상 실리콘 고무의 경화물(이하,「실리콘 고무 경화물」이라 함)에 의해 형성하는 경우에 있어서, 상기 실리콘 경화물은 그 150 ℃에 있어서의 압축 영구 왜곡이 10 ％ 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 8 ％ 이하, 더욱 바람직하게는 6 ％ 이하이다. 이 압축 영구 왜곡이 10 ％를 넘는 경우에는, 얻을 수 있는 도전성 시트(110)를 고온 환경 하에 있어서 반복해서 사용하였을 때에는 접속용 도전부(111)에 있어서의 도전성 입자(111a)의 연쇄에 흐트러짐이 생기는 결과, 소요의 도전성을 유지하는 것이 곤란해진다.As the insulating elastic material forming the conductive part 111, a heat-resistant polymer material having a crosslinked structure is preferable. As the curable polymeric substance-forming material that can be used to obtain such a crosslinked polymeric substance, various ones can be used, but liquid silicone rubber is preferable. The liquid silicone rubber may be of an addition type or a condensation type, but an addition type liquid silicone rubber is preferable in view of moldability and elastic deformation. In the case where the conductive portion 111 is formed of a liquid silicone rubber cured product (hereinafter referred to as &quot; silicone rubber cured product &quot;), the silicone cured product has a compression set of 10% , More preferably not more than 8%, further preferably not more than 6%. In the case where the permanent compression set is more than 10%, when the conductive sheet 110 obtained is repeatedly used under a high-temperature environment, the chain of the conductive particles 111a in the conductive part for connection 111 is disturbed As a result, it becomes difficult to maintain required conductivity.

상기 도전성 입자(111a)로는 자성을 나타내는 코어 입자(이하,의 표면에 고도전성 금속이 피복되어 이루어지는 것을 이용하는 것이 바람직하다. 여기서,「고도전성 금속」이라 함은, 0 ℃에 있어서의 도전율이 5 ×106 Ω1m-1 이상인 것을 말한다. 도전성 입자(111a)(P)를 얻기 위한 자성 코어 입자는 그 수평균 입자 직경이 3 내지 40 ㎛인 것이 바람직하다. 여기서, 자성 코어 입자의 수평균 입자 직경은 레이저 회절 산란법에 의해 측정된 것을 말한다. 자성 코어 입자를 구성하는 재료로서는 철, 니켈, 코발트, 이들 금속을 구리, 수지에 코팅한 것 등을 이용할 수 있지만, 그 포화 자화가 0.1 ㏝/㎡ 이상인 것을 바람직하게 이용할 수 있고, 보다 바람직하게는 0.3 ㏝/㎡ 이상, 특히 바람직하게는 0.5 ㏝/㎡ 이상인 것이고, 구체적으로는 철, 니켈, 코발트 또는 그들 합금을 들 수 있다.As the conductive particles 111a, it is preferable to use core particles having magnetic properties (hereinafter referred to as &quot; high conductivity metal &quot;) coated with a high-conductive metal. × 10 6 Ω 1 m -1 or more. The magnetic core particles for obtaining the conductive particles (111 a) (P) preferably have a number average particle diameter of 3 to 40 μm. Here, the number average particle diameter Iron, nickel, cobalt, those obtained by coating these metals with copper or a resin can be used as the material constituting the magnetic core particles. However, when the saturation magnetization is 0.1 ㏝ / ㎡ More preferably not less than 0.3 m 2 / m 2, and particularly preferably not less than 0.5 m 2 / m 2. Specifically, iron, nickel, cobalt or their sum It can be given.

자성 코어 입자의 표면에 피복되는 고도전성 금속으로서는 금, 은, 로듐, 백금, 크롬 등을 이용할 수 있고, 이들 중에서는 화학적으로 안정되고 또한 높은 도전율을 갖는 점에서 금을 이용하는 것이 바람직하다.Gold, silver, rhodium, platinum, chromium and the like can be used as the high-conductive metal to be coated on the surface of the magnetic core particles. Among them, gold is preferably used because it is chemically stable and has high conductivity.

상기 도전부(111)는 상기 두께방향과 직각인 면방향으로 잘랐을 때의 단면이, 좁은 폭을 가지면서 일정구간 내에서 길게 연장되어 있는 형상을 가지되, 상기 도전부(111)의 연장된 길이는 상기 도전부(111)의 폭보다 긴 것이 좋다. 구체적으로는 각 도전부(111)는 좁은 폭을 가지면서 길게 연장된 형상을 가지는 것으로서, 타원형인 것이 좋다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며 직사각형, 십자형 등 다양한 형상을 가질 수 있다.The conductive part 111 has a shape in which a cross section when cut in a planar direction perpendicular to the thickness direction has a narrow width and is elongated in a certain section. The extended length of the conductive part 111 May be larger than the width of the conductive portion 111. [ Concretely, each of the conductive parts 111 has a narrow width and elongated shape, and it is preferably an elliptical shape. However, the present invention is not limited thereto, and may have various shapes such as a rectangle and a cross.

이때, 도전부(111)의 폭을 상기 도전부(111)의 폭을 a라고 하고, 도전부(111)의 연장된 길이를 b라고 하였을 때, 1 < b/a < 6 인 것이 좋고, 2 < b/a <4 인 것이 바람직하다. 또한, 상기 도전부(111)는 피검사 디바이스의 단자가 적어도 2개 이상이 접촉될 수 있는데, 접촉되는 단자의 형상과 무관하게 최대한 많은 접촉면적을 가질 수 있게 된다.If the width of the conductive portion 111 is a and the extending length of the conductive portion 111 is b, it is preferable that 1 <b / a <6, and 2 < b / a < 4 is preferable. In addition, at least two or more terminals of the device under test may be in contact with the conductive portion 111, so that the conductive portion 111 can have as much contact area as possible regardless of the shape of the terminal to be contacted.

이러한 도전부(111)는 면방향을 따라서 복수개가 배치되어 있는데, 바둑판식으로 배열되는 것이 아니라 지그재그 형태로 배열되어 있는 것이 좋다. 특히, 도전부(111)가 타원형을 가지는 경우 일렬로 상하좌우 배치하는 경우에는 인접한 도전부(111)와 조밀하게 배치하는 경우 쇼트 등이 발생할 염려가 있게 되는데, 지그재그 형태로 배열하는 경우에는 조밀한 피치를 가지면서도 쇼트의 위험성을 최소화할 수 있게 된다. Although a plurality of such conductive parts 111 are arranged along the plane direction, they are preferably arranged in a zigzag pattern instead of being arranged in a tiled pattern. Particularly, when the conductive parts 111 have an elliptical shape, when the conductive parts 111 are arranged vertically and horizontally in a line, there is a possibility that a short circuit occurs when the conductive parts 111 are closely arranged with the adjacent conductive parts 111. In the case of arranging in a zigzag form, It is possible to minimize the risk of shorts while maintaining the pitch.

상기 절연지지부(112)는 상기 도전부(111)를 지지하면서 도전부(111) 간에 절연성을 유지시키는 기능을 수행한다. 이러한 절연지지부(112)는 상기 도전부(111) 내의 절연성 탄성 물질과 동일한 소재가 사용될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 탄성력이 좋으면서 절연성이 우수한 소재라면 무엇이나 사용될 수 있음은 물론이다.The insulating support part 112 supports the conductive part 111 and maintains the insulating property between the conductive parts 111. The insulating support part 112 may be made of the same material as the insulating elastic material in the conductive part 111. However, it is not limited thereto and any material having good elasticity and excellent insulation property can be used.

한편, 도 4에서 도면번호 120은 도전성 시트(110)를 외곽에서 지지하기 위한 프레임(120)이다. 이러한 프레임(120)은 그 중앙에 사각형태의 구멍이 형성되어 있으며 상기 도전성 시트(110)가 프레임(120)에 형성된 구멍의 둘레를 따라서 고정되어 있게 된다. 이러한 프레임(120)은 플라스틱 또는 금속소재로 이루어질 수 있다.In FIG. 4, reference numeral 120 denotes a frame 120 for supporting the conductive sheet 110 on the outside. The frame 120 has a rectangular hole at its center, and the conductive sheet 110 is fixed along the periphery of the hole formed in the frame 120. Such a frame 120 may be made of plastic or a metal material.

이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 도전성 시트는, 다음과 같은 작용효과를 가진다.The conductive sheet according to one embodiment of the present invention has the following operational effects.

먼저, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 직사각형의 형상을 가지는 단자 또는 패턴(400)과 도전부(111)가 접촉되는 경우 하나의 단자 또는 패턴(400)에 다수의 도전부(111)가 접촉될 수 있는데, 이때 도전부(111)는 타원형의 단면형상을 가지면서 지그재그 형태로 배열되어 있기 때문에 같은 면적이라도 최대한 넓은 면적을 가지면서 상기 단자 또는 패턴과 접촉되는 것이 가능하다. 특히, 도전부(111)의 배열모습을 공간 활용을 극대화하도록 구성함에 따라서, 최대한 절연지지부(112)의 면적을 적게 하고 도전부(111)의 면적을 넓게 하면서도 도전부들 간의 쇼트 등의 문제점을 용이하게 해결할 수 있게 되어 전기적 검사의 신뢰성을 극대화할 수 있게 된다.7 and 8, when a terminal or a pattern 400 having a rectangular shape and a conductive portion 111 are in contact with each other, a plurality of conductive portions 111 are formed on one terminal or pattern 400, Since the conductive parts 111 are arranged in a zigzag shape having an elliptical cross-sectional shape, it is possible to contact the terminal or the pattern with a maximally wide area even if the same area is used. Particularly, by configuring the arrangement of the conductive parts 111 to maximize the space utilization, it is possible to reduce the area of the insulating support parts 112 as much as possible and widen the area of the conductive parts 111, The reliability of the electrical inspection can be maximized.

이러한 본 발명의 도전성 시트는 도 9에 개시된 형태를 가질 수 있다.Such a conductive sheet of the present invention may have the form disclosed in FIG.

즉, 도 4에 개시된 도전성 시트(110)는 대략 타원형을 가지는 것을 예시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 도 9에 개시된 바와 같이 도전성 시트(210)의 도전부(211)의 면방향 단면형상을 "ㄱ", "ㄴ"이 반복되어 형성되도록 함으로서 접촉면적을 극대화하는 것도 가능하다. 한편, 도전부의 단면형상은 이에 한정되는 것은 아니며 "S" 형상을 가지는 것도 가능하다.That is, although the conductive sheet 110 shown in FIG. 4 has a substantially elliptical shape, the present invention is not limited thereto. The conductive sheet 210 may have a cross-sectional shape in the planar direction of the conductive portion 211, "And" b "are repeatedly formed, thereby maximizing the contact area. On the other hand, the cross-sectional shape of the conductive portion is not limited to this, and it is also possible to have the "S" shape.

또한, 본 발명의 도전성 시트에 별도의 시트형 커넥터가 배치되어 복합 도전성 시트로서 이용되는 것도 가능하다.It is also possible that a separate sheet-like connector is disposed on the conductive sheet of the present invention and used as the composite conductive sheet.

본 발명에 따른 복합 도전성 시트(300)는 상술한 도전성 시트(310)에 시트형 커넥터(320)가 추가적으로 부착되어 있게 된다. 이때 시트형 커넥터(320)는, 절연지지부(312)에 일체화되어 결합되는 절연성 시트(321)와, 상기 절연성 시트(321)에 결합되는 전극부(322)를 포함하여 구성된다. The composite conductive sheet 300 according to the present invention is further provided with the sheet-like connector 320 attached to the conductive sheet 310 described above. At this time, the sheet-like connector 320 includes an insulating sheet 321 integrated with the insulating support portion 312 and an electrode portion 322 coupled to the insulating sheet 321.

상기 절연성 시트(321)는 절연성을 갖는 유연한 것이면 특별히 한정되는 것은 아니고, 절연성 시트(321)를 구성하는 그 밖의 재료로서는, 메시 또는 부직포, 또는 이들에 수지 또는 탄성 고분자 물질이 함침되어 이루어지는 것을 사용할 수 있다. 이러한 메시 또는 부직포를 형성하는 섬유로서는, 아라미드 섬유, 폴리에틸렌 섬유, 폴리알릴레이트 섬유, 나일론 섬유, 테플론(등록 상표) 섬유 등의 불소 수지 섬유, 폴리에스테르 섬유 등의 유기 섬유를 사용할 수 있다. 이러한 재료를 절연성 시트을 구성하는 재료로서 사용함으로써, 전극부가 작은 피치로 배치되더라도, 전체의 유연성이 크게 저하되는 경우가 없기 때문에, 전극부의 돌출 높이나 피검사 전극의 돌출 높이에 편차가 있더라도, 유연성에 의해 충분히 흡수되므로, 피검사 전극의 각각에 대하여 안정된 전기적 접속을 확실하게 달성할 수 있다.The insulating sheet 321 is not particularly limited as long as it is flexible and has insulating properties. As the other material constituting the insulating sheet 321, a mesh or nonwoven fabric or a resin or an elastic polymer material impregnated with the material can be used have. As the fibers forming the mesh or nonwoven fabric, organic fibers such as aramid fibers, polyethylene fibers, polyallylate fibers, nylon fibers, fluororesin fibers such as Teflon (registered trademark) fibers, and polyester fibers can be used. By using such a material as a constituent material of the insulating sheet, even if the electrode portion is arranged at a small pitch, the flexibility of the whole is not significantly lowered. Therefore, even if the projecting height of the electrode portion and the projecting height of the electrodes to be inspected are different, Therefore, stable electrical connection can be reliably achieved with respect to each of the electrodes to be inspected.

또한, 절연성 시트(321)를 구성하는 그 밖의 소재로는, 절연성을 갖는 유연한 것이면 특별히 한정되지 않고, 폴리이미드, 액정 폴리머 등의 수지 재료나 이들의 복합 재료를 사용할 수 있지만, 전극부(322)의 형성을 위한 관통 구멍을 에칭에 의해서 용이하게 형성할 수 있는 점에서, 폴리이미드를 사용하는 것이 바람직하다. 이때 폴리이미드는 실리콘 고무보다 내열성 측면에서 우수하여 다양한 검사환경에서도 치수안정성을 유지할 수 있는 장점이 있다. 또한, 절연성 시트의 두께는, 유연한 것이면 특별히 한정되지 않지만, 5 내지 50 ㎛인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 10 내지 30 ㎛이다. As the other material constituting the insulating sheet 321, a resin material such as polyimide or liquid crystal polymer, or a composite material thereof may be used as long as it is flexible and insulating, It is preferable to use polyimide because it is possible to easily form a through hole for the formation of the through hole by etching. At this time, the polyimide is more excellent in heat resistance than silicone rubber, so that the dimensional stability can be maintained even in various inspection environments. The thickness of the insulating sheet is not particularly limited as long as it is flexible, but it is preferably 5 to 50 탆, more preferably 10 to 30 탆.

상기 전극부(322)는, 절연성 시트(321)를 두께방향으로 관통하여 상하 돌출되는 것으로서, 금속소재로 이루어진다. 이러한 전극부(322)는, 도전부(311)와 대응되는 위치로서 도전부(311)의 상측에 배치되어 피검사 디바이스의 단자 또는 전극, 내지 패턴들에 묻어 있는 이물질이 도전부(311)에 접촉하여 도전부(311)의 도전성이 저하되는 것을 방지할 수 있게 된다. 또한, 전극부(322)는 상기 도전부(311)와 대응하는 형상을 가지는데, 대략 타원형의 형상을 가질 수 있으며 그 배열형태로 지그재그 형태로 배열될 수 있다. The electrode part 322 protrudes vertically through the insulating sheet 321 in the thickness direction, and is made of a metal material. The electrode portion 322 is disposed on the upper side of the conductive portion 311 as a position corresponding to the conductive portion 311 so that foreign substances on the terminals or electrodes or patterns of the device to be inspected are electrically connected to the conductive portion 311 It is possible to prevent the conductivity of the conductive portion 311 from being lowered by contact. The electrode portion 322 has a shape corresponding to the conductive portion 311 and may have a substantially elliptical shape and may be arranged in a zigzag form in an array form.

이와 같이 도전성 시트(310) 위에 별도의 시트형 커넥터(320)가 배치됨에 따라서, 피검사 디바이스의 단자에 묻어 있는 이물질을 도전부에 접촉하는 것을 방지함은 물론, 금속소재의 전극이 단자의 표면에 있는 산화막을 용이하게 깨뜨릴 수 있게 된다. 또한, 상기 전극부(322)는 절연성 시트(321)에 고정결합되어 있어 도전부(311)로부터 이탈될 염려가 적게 된다.By disposing the separate sheet-like connector 320 on the conductive sheet 310 as described above, it is possible to prevent the foreign matter on the terminals of the device to be inspected from being brought into contact with the conductive portion, It is possible to break the oxide film easily. In addition, the electrode portion 322 is fixedly coupled to the insulating sheet 321, so that there is less concern that the electrode portion 322 is detached from the conductive portion 311.

이상에서는 다양한 실시예를 들어 본 발명의 도전성 시트 또는 복합 도전성 시트를 예시하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 도전부가 종래와 같이 원형이 아니라 타원 기타 다양한 길쭉한 형상을 가지는 것이라면 본 발명의 권리범위에 속하게 된다. Although the conductive sheet or the composite conductive sheet of the present invention has been illustrated by way of various embodiments, the present invention is not limited thereto, and if the conductive part has an elliptical shape and various elongated shapes instead of a circular shape as in the conventional art, .

또한, 도전부가 반드시 지그재그 형태로 배열되는 것이 아니라, 전기적 접속을 효율적으로 하기 위하여 통상적인 바둑판 배열이 아닌 비정형의 배열형태를 가지도록 배치하는 것이라면 본 발명의 권리범위에 속할 수 있게 된다.Further, the conductive parts are not necessarily arranged in a zigzag form, but are arranged to have an irregular arrangement rather than a general checkerboard arrangement for efficient electrical connection, so that they can be included in the scope of the present invention.

또한, 도전성 시트의 위에 시트형 커넥터가 배치되는 것을 예시하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 시트형 커넥터가 도전성 시트의 아래쪽에 추가적으로 배열되는 것도 가능하며, 시트형 커넥터의 형태도 도전성 시트의 형상에 따라서 다양한 형상을 가질 수 있음은 물론이다.Although the sheet-like connector is disposed on the conductive sheet, the present invention is not limited thereto. The sheet-like connector may be further arranged below the conductive sheet. The shape of the sheet- Of course.

이상에서 다양한 실시예를 들어 본 발명의 도전성 시트 내지 복합 도전성 시트를 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 본 발명의 권리범위로부터 합리적으로 해석될 수 있는 것이라면 무엇이나 본 발명의 권리범위에 속하는 것은 당연하다.While the present invention has been described with respect to the conductive sheet or composite conductive sheet according to various embodiments of the present invention, it should be understood that the present invention is not limited thereto. .

110...도전성 시트 111...도전부
111a...도전성 입자 112...절연지지부
300...복합 도전성 시트 310...도전성 시트
311...도전부 312...절연지지부
320...시트형 커넥터 321...절연성 시트
322...전극부110 ... conductive sheet 111 ... conductive portion
111a ... conductive particles 112 ... insulating paper
300 ... composite conductive sheet 310 ... conductive sheet
311 ... conductive part 312 ... insulating paper part
320 ... sheet-like connector 321 ... insulating sheet
322 ... electrode portion

Claims (12)

피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위하여 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 사용되는 도전성 시트로서,
절연성 탄성 물질 내에 수직방향으로 배열되는 다수의 도전성 입자가 마련되어 있는 복수의 도전부; 및
상기 각각의 도전부를 지지하면서 서로 절연시키도록 도전부들 사이에 일체로 마련되어 있는 절연지지부;를 포함하고,
상기 복수의 도전부는 수평방향으로 서로 이격되어 있으며, 상기 수직방향과 직각인 수평방향으로 잘랐을 때의 단면이, 좁은 폭을 가지면서 일정구간 내에서 길게 연장되어 있는 형상을 가지되, 상기 도전부의 연장된 길이는 상기 도전부의 폭보다 긴 것을 특징으로 하는 도전성 시트.A conductive sheet for use between a device to be inspected and an inspection apparatus for electrically connecting a terminal of a device to be inspected and a pad of the inspection apparatus to each other,
A plurality of conductive parts provided with a plurality of conductive particles vertically arranged in an insulating elastic material; And
And an insulating support part integrally provided between the conductive parts to insulate the conductive parts from each other while supporting the conductive parts,
Wherein the plurality of conductive portions are spaced apart from each other in a horizontal direction and have a shape in which a cross section when cut in a horizontal direction perpendicular to the vertical direction has a narrow width and is elongated in a predetermined section, And the length of the conductive portion is longer than the width of the conductive portion. 제1항에 있어서,
상기 도전부의 단면형상은, 타원형인 것을 특징으로 도전성 시트.The method according to claim 1,
Wherein the conductive portion has an elliptical cross-sectional shape. 제2항에 있어서,
상기 도전부는 복수개가 상기 수평방향을 따라서 지그재그 형태로 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 도전성 시트.3. The method of claim 2,
Wherein a plurality of the conductive portions are arranged in a zigzag form along the horizontal direction. 제1항에 있어서,
상기 도전부의 단면형상은, "ㄱ", "S" 형 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 도전성 시트.The method according to claim 1,
Wherein the conductive portion has a cross-sectional shape of any one of "A" and "S". 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 도전부의 폭을 a라고 하고, 도전부의 연장된 길이를 b라고 하였을 때, 1 < b/a < 6 인 것을 특징으로 하는 도전성 시트.5. The method according to any one of claims 1 to 4,
Wherein the width of the conductive portion is a and the length of the conductive portion is b, 1 < b / a < 6. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 피검사 디바이스의 단자에 상기 도전부가 적어도 2개 이상 접촉되는 것을 특징으로 하는 도전성 시트.5. The method according to any one of claims 1 to 4,
Wherein at least two conductive parts are brought into contact with the terminals of the device to be inspected. 제1항에 개시된 도전성 시트와,
상기 도전성 시트의 도전부와 대응되는 위치에 배치되며 상기 도전부와 접촉되어 있는 전극부와, 상기 각 전극부와 결합되며 상기 전극부를 지지하는 절연성 시트를 포함하는 시트형 커넥터로 구성된 복합 도전성 시트.A conductive sheet comprising the conductive sheet described in claim 1,
And a sheet-like connector including an electrode portion disposed at a position corresponding to a conductive portion of the conductive sheet and in contact with the conductive portion, and an insulating sheet coupled to each of the electrode portions and supporting the electrode portion. 제7항에 있어서, 상기 전극부는 상기 도전부의 단면형상과 대응되는 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 복합 도전성 시트.The composite conductive sheet according to claim 7, wherein the electrode portion has a shape corresponding to a cross-sectional shape of the conductive portion. 제7항에 있어서, 상기 전극부는 금속소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 복합 도전성 시트.The composite conductive sheet according to claim 7, wherein the electrode portion is made of a metal material. 제7항에 있어서,
상기 절연성 시트는 상기 도전성 시트의 절연지지부에 일체화되어 있는 것을 특징으로 하는 복합 도전성 시트.8. The method of claim 7,
Wherein the insulating sheet is integrated with the insulating sheet portion of the conductive sheet. 제7항에 있어서, 상기 절연성 시트는 상기 절연성 지지부보다 내열성이 우수한 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 복합 도전성 시트.8. The composite conductive sheet according to claim 7, wherein the insulating sheet is made of a material superior in heat resistance to the insulating support. 삭제delete
KR1020130165889A 2013-12-27 2013-12-27 Conductive sheet and conductive composite sheet KR101532389B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130165889A KR101532389B1 (en) 2013-12-27 2013-12-27 Conductive sheet and conductive composite sheet

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130165889A KR101532389B1 (en) 2013-12-27 2013-12-27 Conductive sheet and conductive composite sheet

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101532389B1 true KR101532389B1 (en) 2015-06-30

Family

ID=53520027

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020130165889A KR101532389B1 (en) 2013-12-27 2013-12-27 Conductive sheet and conductive composite sheet

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101532389B1 (en)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000149665A (en) * 1998-11-10 2000-05-30 Jsr Corp Anisotropic conductive sheet, anisotropic conductive layered product and manufacture of the product
KR101019721B1 (en) * 2008-11-11 2011-03-07 주식회사 아이에스시테크놀러지 Test socket with pillar particle
KR101030360B1 (en) * 2004-07-15 2011-04-20 제이에스알 가부시끼가이샤 Anisotropic conductive connector and inspection equipment for circuit device

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000149665A (en) * 1998-11-10 2000-05-30 Jsr Corp Anisotropic conductive sheet, anisotropic conductive layered product and manufacture of the product
KR101030360B1 (en) * 2004-07-15 2011-04-20 제이에스알 가부시끼가이샤 Anisotropic conductive connector and inspection equipment for circuit device
KR101019721B1 (en) * 2008-11-11 2011-03-07 주식회사 아이에스시테크놀러지 Test socket with pillar particle

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI470247B (en) Test socket including electrode supporting portion and method of manufacturing the same
JP6060253B2 (en) Easy-to-align test socket
KR101706331B1 (en) Test socket
US9488675B2 (en) Test socket having high-density conductive unit, and method for manufacturing same
US6906541B2 (en) Electric resistance measuring connector and measuring device and measuring method for circuit board electric resistance
KR101522624B1 (en) Electrical test socket
KR101266123B1 (en) Rubber socket for test with spring member
KR101366171B1 (en) Test socket with high density conduction section
KR101145886B1 (en) Electical connection device and test socket having the electrical connection device
KR101353481B1 (en) Test socket with high density conduction section
KR101490501B1 (en) Electrical test socket
CN108780115B (en) Test socket and conductive particles
KR101482245B1 (en) Electrical test socket
KR101471116B1 (en) Test socket with high density conduction section
KR101151880B1 (en) Sheet type connector, the fabrication method therefor and test socket
KR20150079255A (en) Sheet-form connector and electrical connector apparatus
KR101506131B1 (en) Fabrication method of test sheet and test sheet
KR101566173B1 (en) Semiconductor test socket and manufacturing method thereof
KR101339167B1 (en) Test socket
TWI391671B (en) Inspection structure
CN101346813A (en) Circuit board apparatus for wafer inspection, probe card, and wafer inspection apparatus
KR101532389B1 (en) Conductive sheet and conductive composite sheet
KR101572139B1 (en) Connector and fabrication method of connector
KR101532390B1 (en) Electrical insulating sheet, fabrication method thereof and electrical test apparatus
KR101490500B1 (en) Test socket having mesh type connector

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180607

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190603

Year of fee payment: 5