KR20110103880A - 광필터, 광필터 모듈, 분석 기기 및 광기기 - Google Patents

광필터, 광필터 모듈, 분석 기기 및 광기기 Download PDF

Info

Publication number
KR20110103880A
KR20110103880A KR1020110022468A KR20110022468A KR20110103880A KR 20110103880 A KR20110103880 A KR 20110103880A KR 1020110022468 A KR1020110022468 A KR 1020110022468A KR 20110022468 A KR20110022468 A KR 20110022468A KR 20110103880 A KR20110103880 A KR 20110103880A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
electrode
potential difference
substrate
optical filter
voltage
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
KR1020110022468A
Other languages
English (en)
Korean (ko)
Inventor
아키라 사노
Original Assignee
세이코 엡슨 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세이코 엡슨 가부시키가이샤 filed Critical 세이코 엡슨 가부시키가이샤
Publication of KR20110103880A publication Critical patent/KR20110103880A/ko
Ceased legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
    • G01J3/26—Generating the spectrum; Monochromators using multiple reflection, e.g. Fabry-Perot interferometer, variable interference filters
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/001—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements based on interference in an adjustable optical cavity
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/20—Filters
    • G02B5/28—Interference filters
    • G02B5/284—Interference filters of etalon type comprising a resonant cavity other than a thin solid film, e.g. gas, air, solid plates
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
    • G02B6/293—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means
    • G02B6/29346—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means operating by wave or beam interference
    • G02B6/29358—Multiple beam interferometer external to a light guide, e.g. Fabry-Pérot, etalon, VIPA plate, OTDL plate, continuous interferometer, parallel plate resonator

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
KR1020110022468A 2010-03-15 2011-03-14 광필터, 광필터 모듈, 분석 기기 및 광기기 Ceased KR20110103880A (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2010-057290 2010-03-15
JP2010057290A JP5589459B2 (ja) 2010-03-15 2010-03-15 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20110103880A true KR20110103880A (ko) 2011-09-21

Family

ID=44146675

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110022468A Ceased KR20110103880A (ko) 2010-03-15 2011-03-14 광필터, 광필터 모듈, 분석 기기 및 광기기

Country Status (6)

Country Link
US (3) US9030743B2 (https=)
EP (1) EP2367044B8 (https=)
JP (1) JP5589459B2 (https=)
KR (1) KR20110103880A (https=)
CN (2) CN106094197A (https=)
TW (1) TWI510808B (https=)

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5589459B2 (ja) 2010-03-15 2014-09-17 セイコーエプソン株式会社 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器
JP5434719B2 (ja) * 2010-03-19 2014-03-05 セイコーエプソン株式会社 光フィルターおよび分析機器
JP5884393B2 (ja) * 2011-10-13 2016-03-15 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
JP5807353B2 (ja) * 2011-03-18 2015-11-10 セイコーエプソン株式会社 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器
FI125897B (fi) * 2011-06-06 2016-03-31 Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Oy Mikromekaanisesti säädettävä Fabry-Perot-interferometri ja menetelmä sen valmistamiseksi
JP5834718B2 (ja) * 2011-09-29 2015-12-24 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
JP5879910B2 (ja) * 2011-10-18 2016-03-08 セイコーエプソン株式会社 光フィルター、光フィルターモジュール、分析機器、及び光機器
JP5919728B2 (ja) * 2011-10-26 2016-05-18 セイコーエプソン株式会社 分光測定装置
JP5888080B2 (ja) * 2012-04-11 2016-03-16 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法
JP6003168B2 (ja) * 2012-04-11 2016-10-05 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
JP6015090B2 (ja) 2012-04-18 2016-10-26 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
JP2013238755A (ja) 2012-05-16 2013-11-28 Seiko Epson Corp 光学モジュール、電子機器、食物分析装置、分光カメラ、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法
JP6098051B2 (ja) 2012-07-04 2017-03-22 セイコーエプソン株式会社 分光測定装置
US9996199B2 (en) * 2012-07-10 2018-06-12 Electronics And Telecommunications Research Institute Film haptic system having multiple operation points
JP5987573B2 (ja) 2012-09-12 2016-09-07 セイコーエプソン株式会社 光学モジュール、電子機器、及び駆動方法
JP6036341B2 (ja) * 2013-01-29 2016-11-30 セイコーエプソン株式会社 光学モジュール、及び電子機器
JP6107186B2 (ja) 2013-02-05 2017-04-05 セイコーエプソン株式会社 光学モジュール、電子機器、及び分光カメラ
FR3005750B1 (fr) * 2013-05-14 2016-09-16 Cie Ind Des Lasers - Cilas Dispositif optique d'obturation rapide.
JP2015066611A (ja) 2013-09-27 2015-04-13 セイコーエプソン株式会社 アクチュエーターの駆動システム、光学モジュール及び電子機器
JP6543884B2 (ja) 2014-01-27 2019-07-17 セイコーエプソン株式会社 アクチュエーター制御装置、光学モジュール、電子機器、及びアクチュエーター制御方法
JP6413325B2 (ja) 2014-05-01 2018-10-31 セイコーエプソン株式会社 アクチュエーター装置、電子機器、及び制御方法
US11768376B1 (en) * 2016-11-21 2023-09-26 Apple Inc. Head-mounted display system with display and adjustable optical components
JP7142419B2 (ja) 2017-05-01 2022-09-27 浜松ホトニクス株式会社 光計測制御プログラム、光計測システム及び光計測方法
CN107561685B (zh) * 2017-09-30 2020-10-02 Oppo广东移动通信有限公司 滤光片、镜头模组和成像模组
CN107479185A (zh) * 2017-09-30 2017-12-15 广东欧珀移动通信有限公司 滤光片、显示装置和电子装置
JP7006172B2 (ja) * 2017-11-21 2022-01-24 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター、光学デバイス、光学モジュール、及び電子機器
FR3076290B1 (fr) * 2018-01-03 2020-02-07 Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives Dispositif de detection micro ou nanomecanique de particules
EP3640690B1 (en) * 2018-09-27 2023-06-21 Seiko Epson Corporation Optical device and electronic apparatus
JP7200842B2 (ja) * 2019-06-21 2023-01-10 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4301492A (en) 1980-01-28 1981-11-17 Paquin Maurice J Pressure-sensing transducer
FI84401C (fi) 1987-05-08 1991-11-25 Vaisala Oy Kapacitiv tryckgivarkonstruktion.
JPH02195223A (ja) 1989-01-25 1990-08-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧力センサ素子
US5142414A (en) 1991-04-22 1992-08-25 Koehler Dale R Electrically actuatable temporal tristimulus-color device
JPH06213613A (ja) 1993-01-14 1994-08-05 Sumitomo Electric Ind Ltd 歪抵抗材料およびその製造方法および薄膜歪センサ
JPH11142752A (ja) 1997-11-05 1999-05-28 Yokogawa Electric Corp 透過波長可変干渉フィルタ及びこれを用いた分光器
US6813291B2 (en) * 1998-06-26 2004-11-02 Coretek Inc Tunable fabry-perot filter and tunable vertical cavity surface emitting laser
JP2001221913A (ja) * 2000-02-08 2001-08-17 Yokogawa Electric Corp ファブリペローフィルタ及び赤外線ガス分析計
WO2002075872A1 (en) 2001-03-16 2002-09-26 Coretek, Inc. Tunable fabry-perot filter and tunable vertical cavity surface emitting laser
CN1279386C (zh) * 2003-05-26 2006-10-11 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 压电驱动法布里－珀罗腔可调光学滤波器件及制作方法
JP2005099206A (ja) 2003-09-22 2005-04-14 Seiko Epson Corp 波長可変フィルタおよび波長可変フィルタの製造方法
US7265477B2 (en) 2004-01-05 2007-09-04 Chang-Feng Wan Stepping actuator and method of manufacture therefore
JP4479351B2 (ja) 2004-05-28 2010-06-09 セイコーエプソン株式会社 波長可変フィルタおよび波長可変フィルタの製造方法
CN100410723C (zh) * 2005-01-28 2008-08-13 精工爱普生株式会社 可变波长滤光器以及可变波长滤光器的制造方法
WO2007022326A2 (en) 2005-08-16 2007-02-22 Infotonics Technology Center Inc. Tunable light filter
JP4466634B2 (ja) 2006-01-19 2010-05-26 セイコーエプソン株式会社 光学デバイス、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ
US7734131B2 (en) * 2006-04-18 2010-06-08 Xerox Corporation Fabry-Perot tunable filter using a bonded pair of transparent substrates
CN101529282B (zh) * 2006-12-15 2011-05-18 株式会社艾迪科 滤光器
JP2008197362A (ja) 2007-02-13 2008-08-28 Olympus Corp 可変分光素子
JP5141213B2 (ja) 2007-11-29 2013-02-13 セイコーエプソン株式会社 光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ
JP5446110B2 (ja) * 2008-03-31 2014-03-19 セイコーエプソン株式会社 受光装置
JP5369515B2 (ja) 2008-06-26 2013-12-18 セイコーエプソン株式会社 光フィルタとその製造方法及び光学フィルタ装置モジュール
JP5151944B2 (ja) * 2008-12-09 2013-02-27 セイコーエプソン株式会社 光フィルタ及びそれを備えた光モジュール
JP5798709B2 (ja) 2009-03-04 2015-10-21 セイコーエプソン株式会社 光フィルター及びそれを備えた光モジュール
JP5589459B2 (ja) 2010-03-15 2014-09-17 セイコーエプソン株式会社 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器
JP5673049B2 (ja) 2010-12-08 2015-02-18 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置
JP5834418B2 (ja) * 2011-02-04 2015-12-24 セイコーエプソン株式会社 光フィルター、光フィルターモジュール、分析機器及び光機器

Also Published As

Publication number Publication date
CN102193184A (zh) 2011-09-21
EP2367044B8 (en) 2014-09-24
JP2011191492A (ja) 2011-09-29
US20150219889A1 (en) 2015-08-06
US20110222157A1 (en) 2011-09-15
CN102193184B (zh) 2017-03-01
US9921403B2 (en) 2018-03-20
EP2367044A1 (en) 2011-09-21
US9030743B2 (en) 2015-05-12
US10578859B2 (en) 2020-03-03
EP2367044B1 (en) 2014-08-20
TWI510808B (zh) 2015-12-01
JP5589459B2 (ja) 2014-09-17
US20180172976A1 (en) 2018-06-21
TW201144857A (en) 2011-12-16
CN106094197A (zh) 2016-11-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5589459B2 (ja) 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器
JP6010275B2 (ja) 光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器
JP5834418B2 (ja) 光フィルター、光フィルターモジュール、分析機器及び光機器
JP5348032B2 (ja) 光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器
JP5807353B2 (ja) 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器
JP5879910B2 (ja) 光フィルター、光フィルターモジュール、分析機器、及び光機器
JP6135707B2 (ja) 光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器
JP5915693B2 (ja) 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器
JP6798566B2 (ja) 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器
JP2017187799A (ja) 光フィルターの駆動方法
JP6168137B2 (ja) 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器
JP6264356B2 (ja) 光フィルター、光フィルターモジュール、分析機器及び光機器

Legal Events

Date Code Title Description
PA0109 Patent application

Patent event code: PA01091R01D

Comment text: Patent Application

Patent event date: 20110314

PG1501 Laying open of application
A201 Request for examination
PA0201 Request for examination

Patent event code: PA02012R01D

Patent event date: 20160314

Comment text: Request for Examination of Application

Patent event code: PA02011R01I

Patent event date: 20110314

Comment text: Patent Application

E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event date: 20170621

Patent event code: PE09021S01D

E601 Decision to refuse application
PE0601 Decision on rejection of patent

Patent event date: 20170831

Comment text: Decision to Refuse Application

Patent event code: PE06012S01D

Patent event date: 20170621

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event code: PE06011S01I