KR20110103614A - 솔라셀 웨이퍼 피치조절장치용 웨이퍼 정렬장치 - Google Patents

솔라셀 웨이퍼 피치조절장치용 웨이퍼 정렬장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 솔라셀 웨이퍼 피치조절장치용 웨이퍼 정렬장치에 관한 것이다.
이러한 본 발명의 솔라셀 웨이퍼 피치조절장치용 웨이퍼 정렬장치는, 매거진이나 보우트로부터 매거진 픽커나 보우트 픽커를 통해 파지된 상태로 공급 수용된 웨이퍼 간의 피치 간격을 기본 표준화 피치(4.76mm) 보다 좁게 조절하여 상기 보우트 픽커 또는 매거진 픽커를 통해 이웃한 보우트나 매거진 측에 공급되도록 하는 웨이퍼 피치조절장치 중 웨이퍼 가이드의 좌우 양측 중앙부에는 수평이송실린더의 작동과 함께 수평가이드봉을 따라 동일방향으로 슬라이드 이송되는 웨이퍼 가이드의 피치 간격이 좁은 상태에서 기본 표준화 피치로 이격되어 벌어졌을 때 일측으로 기울어진 상태의 웨이퍼 가이드를 실린더 작동에 의해 좌우 슬라이드 이송되는 가이드정렬빗살판을 통해 수직으로 세워 일렬로 정렬시키기 위한 웨이퍼가이드정렬수단이 구비된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 상부 피치가이드 플레이트의 좌우 양측 상단에는 웨이퍼 가이드의 좌우 양측 상단에 위치됨과 동시에 매거진 픽커 또는 보우트 픽커에 파지된 웨이퍼가 웨이퍼 가이드의 슬롯홈에 이송되어 삽입 안착되었을 때 상기 슬롯홈과 웨이퍼 간의 틈새에 따라 상기 슬롯홈 내의 일측으로 기울어진 상태의 웨이퍼를 실린더 작동에 의해 좌우 슬라이드 이송되는 웨이퍼정렬빗살판을 통해 수직으로 세워 일렬로 정렬시키기 위한 웨이퍼정렬수단이나, 또는 웨이퍼의 좌우 양측 상부에 대응 위치됨과 동시에 매거진 픽커 또는 보우트 픽커에 파지된 웨이퍼가 웨이퍼 가이드의 슬롯홈에 이송되어 삽입 안착되었을 때 각 슬롯홈 내에 서로 좌우로 엇갈려진 상태의 웨이퍼를 실린더 작동에 의해 좌우 슬라이드 이송되는 웨이퍼정렬푸시바를 통해 일렬로 정렬시키기 위한 웨이퍼정렬푸시수단이 더 구비된 것을 특징으로 한다.
따라서 본 발명에 의하면, 각기 웨이퍼가이드정렬수단 및 웨이퍼정렬수단의 실린더 작동에 의해 좌우 슬라이드 이송되는 가이드정렬빗살판과 웨이퍼정렬빗살판을 통해 웨이퍼 가이드의 피치 간격이 좁은 상태에서 기본 표준화 피치로 이격되어 벌어졌을 때 일측으로 기울어진 상태의 웨이퍼 가이드, 및 상기 웨이퍼 가이드의 슬롯홈에 이송되어 삽입 안착되었을 때 상기 슬롯홈과 웨이퍼 간의 틈새에 따라 상기 슬롯홈 내의 일측으로 기울어진 상태의 웨이퍼를 수직으로 세워 일렬로 정렬시키는 등 상,하부 피치가이드 플레이트의 로케이션핀과 웨이퍼 가이드의 로케이션부재 간의 결속으로 인해 피치 조절된 상기 웨이퍼 가이드 및 웨이퍼의 위치 보정을 보다 간편하게 수행할 수 있으며, 더욱이 상기 웨이퍼정렬수단 대신에, 웨이퍼의 좌우 양측 상부에 위치되도록 상부 피치가이드 플레이트의 좌우 양측 상단에 웨이퍼정렬푸시수단을 설치함에 따라 상기 웨이퍼정렬푸시수단의 실린더 작동에 의해 좌우 슬라이드 이송되는 웨이퍼정렬푸시바를 통해 매거진 픽커 또는 보우트 픽커에 파지된 웨이퍼가 웨이퍼 가이드의 슬롯홈에 이송되어 삽입 안착되었을 때 각 슬롯홈 내에 서로 좌우로 엇갈려진 상태의 웨이퍼를 보다 간편하게 일렬로 정렬시켜 종래와 같이 웨이퍼의 로딩 또는 언로딩 시 웨이퍼 가이드의 벽면에 웨이퍼가 밀착되거나 부딪쳐 파손되는 것을 방지할 수 있는 등의 탁월한 효과가 있다.

Description

솔라셀 웨이퍼 피치조절장치용 웨이퍼 정렬장치{The wafer align device for using pitch adjust device solar cell wafer}
본 발명은 솔라셀 웨이퍼 피치조절장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 양측에 매거진 픽커와 보우트 픽커가 상하 및 전후, 좌우 이송이 가능하도록 설치된 메인 트랜스퍼 유닛의 일측에 고정되며, 상,하부 베이스플레이트, 상,하부 피치가이드 플레이트, 웨이퍼 가이드, 링크대, 웨이퍼가이드가동수단, 수직 및 수평이송실린더, 수직 및 수평가이드봉으로 구성되어 이웃한 매거진이나 보우트로부터 상기 매거진 픽커나 보우트 픽커를 통해 파지된 상태로 공급 수용된 웨이퍼 간의 피치 간격을 기본 표준화 피치(4.76mm) 보다 좁게 조절하여 상기 보우트 픽커 또는 매거진 픽커를 통해 이웃한 보우트나 매거진 측에 공급되도록 하는 웨이퍼 피치조절장치 중 상기 웨이퍼 가이드의 좌우 양측 중앙부와 웨이퍼의 좌우 양측 상단에 각각 위치되도록 하부 베이스플레이트의 좌우 양측 상단 및 상부 피치가이드 플레이트의 좌우 양측 상단에 웨이퍼가이드정렬수단과 웨이퍼정렬수단을 설치 구성함으로써, 각기 웨이퍼가이드정렬수단 및 웨이퍼정렬수단의 실린더 작동에 의해 좌우 슬라이드 이송되는 가이드정렬빗살판과 웨이퍼정렬빗살판을 통해 웨이퍼 가이드의 피치 간격이 좁은 상태에서 기본 표준화 피치로 이격되어 벌어졌을 때 일측으로 기울어진 상태의 웨이퍼 가이드 및 상기 웨이퍼 가이드의 슬롯홈에 이송되어 삽입 안착되었을 때 상기 슬롯홈과 웨이퍼 간의 틈새에 따라 상기 슬롯홈 내의 일측으로 기울어진 상태의 웨이퍼를 수직으로 세워 일렬로 정렬시키는 등 상,하부 피치가이드 플레이트의 로케이션핀과 웨이퍼 가이드의 로케이션부재 간의 결속으로 인해 피치 조절된 상기 웨이퍼 가이드 및 웨이퍼의 위치 보정을 보다 간편하게 수행할 수 있으며, 더욱이 상기 웨이퍼정렬수단 대신에, 웨이퍼의 좌우 양측 상부에 위치되도록 상부 피치가이드 플레이트의 좌우 양측 상단에 웨이퍼정렬푸시수단을 설치함에 따라 상기 웨이퍼정렬푸시수단의 실린더 작동에 의해 좌우 슬라이드 이송되는 웨이퍼정렬푸시바를 통해 매거진 픽커 또는 보우트 픽커에 파지된 웨이퍼가 웨이퍼 가이드의 슬롯홈에 이송되어 삽입 안착되었을 때 각 슬롯홈 내에 서로 좌우로 엇갈려진 상태의 웨이퍼를 보다 간편하게 일렬로 정렬시켜 종래와 같이 웨이퍼의 로딩 또는 언로딩 시 웨이퍼 가이드의 벽면에 웨이퍼가 밀착되거나 부딪쳐 파손되는 것을 방지할 수 있도록 한 솔라셀 웨이퍼 피치조절장치용 웨이퍼 정렬장치에 관한 것이다.
일반적으로, 솔라셀(solar cell)은 다양한 디바이스들을 구동시키기 위한 에너지원으로서 이용되는데, 이는 솔라 방사 또는 조명 광을 전기 에너지로 변환시킨다.
이와 같은 솔라셀은 반도체로 구성된 기능적인 부분에 pn 접합부 또는 pin 접합부를 갖고 있으며, 통상적으로 알려진 바로 실리콘은 반도체로서 상기 pn 접합부(또는 pin 접합부)를 형성하기 위해 사용될 수 있다. 이때, 단결정 실리콘의 사용은 광 에너지를 기전력으로 변환하는 효율면에서 양호하지만, 비정질 실리콘은 영역 증대 및 비용 감소 측면에서 유리하다.
한편, 광범위하게 사용되고 있는 실리콘 웨이퍼(Silicon Wafer; 다결정의 실리콘(Si)을 원재료로 하여 만들어진 단결정 실리콘 박판)를 기판으로 하여 솔라셀 및 상기 솔라셀을 이용해 집합된 솔라 모듈(solar module)을 제조하게 되는데, 상기 솔라 모듈의 전체 제조과정을 살펴보면, 단결정 성장으로 인한 실리콘 잉곳 제작공정(1단계) → 실리콘 잉곳을 수백 미크론(㎛) 두께로 슬라이싱 공정(2단계) → 슬라이스 된 실리콘 웨이퍼 세척 공정(3단계) → 실리콘 웨이퍼에 도핑 주입 공정(4단계) → 도핑 주입된 실리콘 웨이퍼에 전극선 긋기 공정(5단계) → 솔라셀 제작 공정(6단계) → 회로 작업 공정(7단계) → 솔라셀의 라미네이팅 공정(8단계) → 틀 작업 공정(9단계) → 솔라 모듈 제작공정(10단계) 등 총 10단계의 제조공정을 거쳐 솔라 모듈이 제작되게 된다.
그러나, 상기와 같은 솔라 모듈의 전체 제조과정 중에서 실리콘 잉곳을 수백 미크론(㎛) 두께로 슬라이싱(Slicing)하여 제조된 실리콘 웨이퍼 즉, 솔라셀 웨이퍼를 전기로에 공급하여 상기 웨이퍼의 사용면에 대해 인(P)을 주입하기 위한 가열작업인 도핑 주입 공정을 수행하기 위한 준비과정으로서, 작업자가 일일이 각 낱장의 웨이퍼를 사용 반대측면이 서로 면착되도록 2장씩 겹친 다음 이를 전기로 공급용 보우트 측으로 이송하여 상기 보우트의 각 슬롯에 삽입 안착시키는 등 상기 준비과정이 수동으로 이루어짐에 따라 이에 대한 작업공정이 매우 번거롭고 복잡할 뿐만 아니라, 상기 준비과정에 따른 작업시간 역시 오래 걸리게 되는 등의 커다란 문제점이 있었다.
또한, 상기와 같이 솔라셀 웨이퍼를 전기로에 공급하기 위한 준비과정 자체가 오래 걸림으로 인해 규정된 시간 내에 많은 양의 웨이퍼를 보우트 측에 이송시킬 수 없으며, 이와 같은 문제점을 토대로 할 때 제품의 생산성 및 경제성 역시 크게 저하될 수밖에 없는 등의 문제점도 있었다.
그리고, 종래 매거진이나 보우트의 경우 이에 수용되는 다수 웨이퍼 간의 피치 간격이 기본 표준화 피치 즉, 4.76mm의 피치 간격을 갖도록 형성되어 있기 때문에 매거진 대비 보우트 내에 수용되는 웨이퍼의 수 역시 동일 개수로 한정 수용될 수밖에 없으며, 이에 따른 보우트의 크기 역시 웨이퍼의 한정적 개수로 인해 제한적일 수밖에 없기 때문에 상기 웨이퍼의 전기로 가열작업을 위한 상기 매거진으로부터 보우트 측으로 잦은 웨이퍼 이송작업을 수행해야 하는 등의 번거롭고 불편한 문제점과 아울러, 이를 통한 한 번의 웨이퍼 가열작업공정으로 인(P)이 주입된 웨이퍼 제품의 생산량 또한 불량률을 감안할 때 매거진으로부터 공급된 웨이퍼 공급 개수 이하로 저하되게 되는 등의 문제점도 있었다.
이에, 상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위하여 본 출원인에 의해 2009년 08월 28일자로 선(先) 출원된 "솔라셀 웨이퍼 피치조절장치(특허출원번호 제2009-0080175호; 이하 웨이퍼 피치조절장치라 함)"가 제안되었는데, 이는 양측에 매거진 픽커와 보우트 픽커가 상하 및 전후, 좌우 이송이 가능하도록 설치된 메인 트랜스퍼 유닛의 일측에 고정되며, 상,하부 베이스플레이트, 상,하부 피치가이드 플레이트, 웨이퍼 가이드, 링크대, 웨이퍼가이드가동수단, 수직 및 수평이송실린더, 수직 및 수평가이드봉으로 이루어져 이웃한 매거진이나 보우트로부터 상기 매거진 픽커나 보우트 픽커를 통해 파지된 상태로 공급 수용된 웨이퍼 간의 피치 간격을 기본 표준화 피치(4.76mm) 보다 좁게 조절하여 상기 보우트 픽커 또는 매거진 픽커를 통해 이웃한 보우트나 매거진 측에 공급되도록 구성되어 있다.
그러나, 종래 웨이퍼 피치조절장치의 경우 수평이송실린더의 작동과 함께 수평가이드봉을 따라 동일방향으로 슬라이드 이송되는 웨이퍼 가이드의 피치 간격이 좁은 상태에서 기본 표준화 피치로 이격되어 벌어질 때 상,하부 피치가이드 플레이트의 로케이션핀과 웨이퍼 가이드의 로케이션부재가 서로 결속됨으로써 각 웨이퍼 가이드의 불완전한 위치 보정을 수행하였으나, 상기와 같이 상,하부 피치가이드 플레이트의 로케이션핀과 웨이퍼 가이드의 로케이션부재가 서로 결속되기 전(前)에 일측으로 기울어진 웨이퍼 가이드의 위치 보정을 할 수 있는 수단 즉, 수평이송실린더의 작동과 함께 수평가이드봉을 따라 동일방향으로 슬라이드 이송되는 웨이퍼 가이드의 피치 간격이 좁은 상태에서 기본 표준화 피치로 이격되어 벌어질 때 일측으로 기울어진 웨이퍼 가이드를 수직으로 세워 일렬로 정렬시키기 위한 장치적 구성의 수단이 전무한 구조로 이루어져 있기 때문에 상기와 같이 웨이퍼 가이드의 피치 간격이 좁은 상태에서 기본 표준화 피치로 이격되어 벌어질 때 일측으로 웨이퍼 가이드가 기울어져 있을 시 상기 상,하부 피치가이드 플레이트의 업(up)/다운(down)에 따른 로케이션핀과 로케이션부재가 서로 결속되는 결합작용이 원활하게 이루어지지 않게 됨과 아울러, 이를 통한 웨이퍼 가이드의 위치 보정 역시 어려운 문제점이 있었다.
또한, 종래 웨이퍼 피치조절장치의 경우 매거진 픽커 또는 보우트 픽커에 파지된 웨이퍼가 웨이퍼 가이드의 슬롯홈에 이송되어 삽입 안착되었을 때 상기 슬롯홈과 웨이퍼 간의 틈새에 따라 상기 슬롯홈 내의 일측으로 기울어진 상태의 웨이퍼를 수직으로 세워 일렬로 정렬시키기 위한 장치적 구성의 수단 역시 전무한 구조로 이루어져 있기 때문에 상기와 같이 웨이퍼 가이드의 피치 간격이 좁아짐에 따른 웨이퍼 간의 피치 즉, 웨이퍼와 이웃한 웨이퍼의 사이간격이 매우 작아져 이를 통해 매거진 픽커 또는 보우트 픽커가 웨이퍼 사이로 들어가 진공 취부하여 픽업하기가 매우 어려움과 동시에 이를 통한 웨이퍼의 픽업 확률이 저하될 수밖에 없으며, 이와 아울러 상기 웨이퍼 사이로 들어가는 매거진 픽커 또는 보우트 픽커의 충격에 의해 웨이퍼의 모서리나 변부위에 크랙이 발생하면서 파손되게 되는 등의 문제점도 있었다.
그리고, 종래 웨이퍼 피치조절장치의 경우 매거진 픽커 또는 보우트 픽커에 파지된 웨이퍼가 피치 간격이 좁게 조절되거나 기본 표준화 피치(4.76mm) 또는 그 이상으로 넓게 조절된 웨이퍼 가이드의 슬롯홈에 이송되어 삽입 안착되었을 때 각 슬롯홈 내에 서로 좌우로 엇갈려진 상태의 웨이퍼를 일렬로 정렬시키기 위한 장치적 구성의 수단 또한 전무한 구조로 이루어져 있기 때문에 상기와 같이 각 슬롯홈 내에 서로 좌우로 엇갈려진 상태로 웨이퍼가 삽입 안착됨에 따른 웨이퍼 가이드의 벽면에 웨이퍼가 밀착되거나 부딪혀서 웨이퍼의 로딩 또는 언로딩 시 웨이퍼가 파손되면서 사용불능화 상태를 이루게 되는 등의 문제점 역시도 있었다.
상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위하여 안출된 본 발명은, 이웃한 매거진이나 보우트로부터 매거진 픽커나 보우트 픽커를 통해 파지된 상태로 공급 수용된 웨이퍼 간의 피치 간격을 기본 표준화 피치 보다 좁게 조절하여 상기 보우트 픽커 또는 매거진 픽커를 통해 보우트나 매거진 측에 공급되도록 하는 웨이퍼 피치조절장치 중 웨이퍼 가이드의 좌우 양측 중앙부에 가이드정렬빗살판이 위치되도록 하부 베이스플레이트의 좌우 양측 상단에 웨이퍼가이드정렬수단을 설치 구성함에 따라 실린더 작동에 의해 좌우 슬라이드 이송되는 가이드정렬빗살판을 통해 웨이퍼 가이드의 피치 간격이 좁은 상태에서 기본 표준화 피치로 이격되어 벌어졌을 때 일측으로 기울어진 상태의 웨이퍼 가이드를 수직으로 세워 일렬로 정렬시키는 등 상,하부 피치가이드 플레이트의 로케이션핀과 웨이퍼 가이드의 로케이션부재 간의 원활한 결속으로 인해 피치 조절된 상기 웨이퍼 가이드 및 웨이퍼의 위치 보정을 보다 간편하게 수행할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명의 경우 웨이퍼의 좌우 양측 상단에 웨이퍼정렬빗살판이 위치되도록 상부 피치가이드 플레이트의 좌우 양측 상단에 웨이퍼정렬수단을 설치함에 따라 실린더 작동에 의해 좌우 슬라이드 이송되는 웨이퍼정렬빗살판을 통해 웨이퍼 가이드의 슬롯홈에 이송되어 삽입 안착되었을 때 상기 슬롯홈과 웨이퍼 간의 틈새에 따라 상기 슬롯홈 내의 일측으로 기울어진 상태의 웨이퍼를 수직으로 세워 일렬로 정렬시키는 등 웨이퍼 가이드의 피치 간격이 좁아짐에 따른 웨이퍼 간의 피치 즉, 웨이퍼와 이웃한 웨이퍼의 사이간격이 매우 작아져 이를 통해 픽커가 웨이퍼 사이로 들어가 진공 취부하여 픽업하기가 매우 어려움과 동시에 상기 웨이퍼 사이로 들어가는 픽커의 충격에 의해 웨이퍼의 모서리나 변부위에 크랙이 발생하여 파손되게 되는 종래의 문제점을 해소함과 아울러, 상기 웨이퍼와 웨이퍼의 사이간격이 매우 좁다하더라도 슬롯홈 내의 일측으로 기울어진 상태의 웨이퍼를 수직으로 세워 일렬로 정렬시킴에 따라 상기 픽커에 의한 웨이퍼의 픽업이 매우 간편하면서 원활하게 이루어짐과 아울러, 이를 통한 웨이퍼의 픽업 확률을 보다 향상시킬 수 있도록 하는데 다른 목적이 있다.
그리고, 본 발명의 경우 상기와 같이 슬롯홈 내의 일측으로 기울어진 웨이퍼를 수직으로 세워 일렬로 정렬시키기 위해 상부 피치가이드 플레이트의 좌우 양측 상단에 설치 고정된 웨이퍼정렬수단 대신에, 웨이퍼의 좌우 양측 상부에 위치되도록 상부 피치가이드 플레이트의 좌우 양측 상단에 웨이퍼정렬푸시수단을 설치함에 따라 상기 웨이퍼정렬푸시수단의 실린더 작동에 의해 좌우 슬라이드 이송되는 웨이퍼정렬푸시바를 통해 매거진 픽커 또는 보우트 픽커에 파지된 웨이퍼가 웨이퍼 가이드의 슬롯홈에 이송되어 삽입 안착되었을 때 각 슬롯홈 내에 서로 좌우로 엇갈려진 상태의 웨이퍼를 보다 간편하게 일렬로 정렬시켜 종래와 같이 웨이퍼의 로딩 또는 언로딩 시 웨이퍼 가이드의 벽면에 웨이퍼가 밀착되거나 부딪쳐 파손되는 것을 방지할 수 있도록 하는데 또 다른 목적이 있다.
본 발명의 솔라셀 웨이퍼 피치조절장치용 웨이퍼 정렬장치는, 양측에 매거진 픽커와 보우트 픽커가 상하 및 전후, 좌우 이송이 가능하도록 설치된 메인 트랜스퍼 유닛의 일측에 고정되며, 상,하부 베이스플레이트, 상,하부 피치가이드 플레이트, 웨이퍼 가이드, 링크대, 웨이퍼가이드가동수단, 수직 및 수평이송실린더, 수직 및 수평가이드봉으로 구성되어 이웃한 매거진이나 보우트로부터 상기 매거진 픽커나 보우트 픽커를 통해 파지된 상태로 공급 수용된 웨이퍼 간의 피치 간격을 기본 표준화 피치(4.76mm) 보다 좁게 조절하여 상기 보우트 픽커 또는 매거진 픽커를 통해 이웃한 보우트나 매거진 측에 공급되도록 하는 웨이퍼 피치조절장치 중 상기 웨이퍼 가이드의 좌우 양측 중앙부에는 수평이송실린더의 작동과 함께 수평가이드봉을 따라 동일방향으로 슬라이드 이송되는 웨이퍼 가이드의 피치 간격이 좁은 상태에서 기본 표준화 피치로 이격되어 벌어졌을 때 일측으로 기울어진 상태의 웨이퍼 가이드를 실린더 작동에 의해 좌우 슬라이드 이송되는 가이드정렬빗살판을 통해 수직으로 세워 일렬로 정렬시키기 위한 웨이퍼가이드정렬수단이 구비된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 상부 피치가이드 플레이트의 좌우 양측 상단에는 웨이퍼 가이드의 좌우 양측 상단에 위치됨과 동시에 매거진 픽커 또는 보우트 픽커에 파지된 웨이퍼가 웨이퍼 가이드의 슬롯홈에 이송되어 삽입 안착되었을 때 상기 슬롯홈과 웨이퍼 간의 틈새에 따라 상기 슬롯홈 내의 일측으로 기울어진 상태의 웨이퍼를 실린더 작동에 의해 좌우 슬라이드 이송되는 웨이퍼정렬빗살판을 통해 수직으로 세워 일렬로 정렬시키기 위한 웨이퍼정렬수단이 더 구비된 것을 특징으로 한다.
그리고, 본 발명의 솔라셀 웨이퍼 피치조절장치용 웨이퍼 정렬장치에 대한 또 다른 실시예로서, 상기 웨이퍼 가이드의 좌우 양측 중앙부에 구비된 웨이퍼가이드정렬수단과 함께, 상기 상부 피치가이드 플레이트의 좌우 양측 상단에는 웨이퍼의 좌우 양측 상부에 대응 위치됨과 동시에 매거진 픽커 또는 보우트 픽커에 파지된 웨이퍼가 웨이퍼 가이드의 슬롯홈에 이송되어 삽입 안착되었을 때 각 슬롯홈 내에 서로 좌우로 엇갈려진 상태의 웨이퍼를 실린더 작동에 의해 좌우 슬라이드 이송되는 웨이퍼정렬푸시바를 통해 일렬로 정렬시키기 위한 웨이퍼정렬푸시수단이 더 구비된 것을 특징으로 한다.
이러한 본 발명에 의하면, 웨이퍼 가이드의 좌우 양측 중앙부에 가이드정렬빗살판이 위치되도록 하부 베이스플레이트의 좌우 양측 상단에 설치된 웨이퍼가이드정렬수단의 실린더 작동에 따라 좌우 슬라이드 이송되는 가이드정렬빗살판을 통해 웨이퍼 가이드의 피치 간격이 좁은 상태에서 기본 표준화 피치로 이격되어 벌어졌을 때 일측으로 기울어진 상태의 웨이퍼 가이드를 수직으로 세워 일렬로 정렬시키는 등 상,하부 피치가이드 플레이트의 로케이션핀과 웨이퍼 가이드의 로케이션부재 간의 원활한 결속으로 인해 피치 조절된 상기 웨이퍼 가이드 및 웨이퍼의 위치 보정을 보다 간편하게 수행할 수 있는 등의 탁월한 효과가 있다.
또한, 본 발명의 경우 웨이퍼의 좌우 양측 상단에 웨이퍼정렬빗살판이 위치되도록 상부 피치가이드 플레이트의 좌우 양측 상단에 설치된 웨이퍼정렬수단의 실린더 작동에 따라 좌우 슬라이드 이송되는 웨이퍼정렬빗살판을 통해 웨이퍼 가이드의 슬롯홈에 이송되어 삽입 안착되었을 때 상기 슬롯홈과 웨이퍼 간의 틈새에 따라 상기 슬롯홈 내의 일측으로 기울어진 상태의 웨이퍼를 수직으로 세워 일렬로 정렬시키는 등 웨이퍼 가이드의 피치 간격이 좁아짐에 따른 웨이퍼 간의 피치 즉, 웨이퍼와 이웃한 웨이퍼의 사이간격이 매우 작아져 이를 통해 매거진 픽커나 보우트 픽커가 웨이퍼 사이로 들어가 진공 취부하여 픽업하기가 매우 어려움과 동시에 상기 웨이퍼 사이로 들어가는 매거진 픽커나 보우트 픽커의 충격에 의해 웨이퍼의 모서리나 변부위에 크랙이 발생하여 파손되게 되는 종래의 문제점을 해소함과 아울러, 상기 웨이퍼와 웨이퍼의 사이간격이 매우 좁다하더라도 슬롯홈 내의 일측으로 기울어진 상태의 웨이퍼를 수직으로 세워 일렬로 정렬시킴에 따라 상기 매거진 픽커나 보우트 픽커에 의한 웨이퍼의 픽업이 매우 간편하면서 원활하게 이루어짐과 동시에 이를 통한 웨이퍼의 픽업 확률을 보다 향상시킬 수 있는 등의 효과 역시 있다.
그리고, 본 발명의 경우 상기와 같이 상부 피치가이드 플레이트의 좌우 양측 상단에 설치 고정된 웨이퍼정렬수단 대신에, 웨이퍼의 좌우 양측 상부에 웨이퍼정렬푸시바가 위치되도록 상부 피치가이드 플레이트의 좌우 양측 상단에 웨이퍼정렬푸시수단을 설치함과 동시에 상기 웨이퍼정렬푸시수단의 실린더 작동에 따라 좌우 슬라이드 이송되는 웨이퍼정렬푸시바를 통해 매거진 픽커 또는 보우트 픽커에 파지된 웨이퍼가 웨이퍼 가이드의 슬롯홈에 이송되어 삽입 안착되었을 때 각 슬롯홈 내에 서로 좌우로 엇갈려진 상태의 웨이퍼를 보다 간편하게 일렬로 정렬시켜 종래와 같이 웨이퍼의 로딩 또는 언로딩 시 웨이퍼 가이드의 벽면에 웨이퍼가 밀착되거나 부딪쳐 파손되는 것을 방지할 수 있는 효과 등도 있다.
도 1은 본 발명이 적용된 솔라셀 웨이퍼 픽커 트랜스퍼 시스템을 개략적으로 나타낸 사시도.
도 2는 본 발명이 적용된 웨이퍼 피치조절장치의 사시도.
도 3은 본 발명이 적용된 웨이퍼 피치조절장치의 정면도.
도 4는 본 발명이 적용된 웨이퍼 피치조절장치의 측면도.
도 5는 본 발명이 적용된 웨이퍼 피치조절장치의 분해 사시도.
도 6은 웨이퍼 피치조절장치 중 본 발명의 웨이퍼가이드정렬수단에 대한 결합 상태도 및 분해도.
도 7은 웨이퍼 피치조절장치 중 본 발명의 웨이퍼정렬수단에 대한 결합 상태도 및 분해도.
도 8은 웨이퍼 피치조절장치에 적용된 본 발명의 웨이퍼 정렬장치에 대한 또 다른 실시예도.
도 9a 내지 도 9g는 본 발명의 웨이퍼 정렬장치가 적용된 웨이퍼 피치조절장치에 대한 전체작동과정을 나타낸 상태도.
본 발명에 대한 솔라셀 웨이퍼 피치조절장치용 웨이퍼 정렬장치(이하, 웨이퍼 정렬장치라 함)를 첨부된 도면과 대비하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명이 적용된 솔라셀 웨이퍼 픽커 트랜스퍼 시스템을 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 발명이 적용된 웨이퍼 피치조절장치의 사시도를 나타낸 것이며, 도 3은 본 발명이 적용된 웨이퍼 피치조절장치의 정면도를 나타낸 것이고, 도 4는 본 발명이 적용된 웨이퍼 피치조절장치의 측면도를 나타낸 것이며, 도 5는 본 발명이 적용된 웨이퍼 피치조절장치의 분해 사시도를 나타낸 것이다.
또한, 도 6은 웨이퍼 피치조절장치 중 본 발명의 웨이퍼가이드정렬수단에 대한 결합 상태도 및 분해도를 나타낸 것이고, 도 7은 웨이퍼 피치조절장치 중 본 발명의 웨이퍼정렬수단에 대한 결합 상태도 및 분해도를 나타낸 것이다.
먼저, 본 발명의 웨이퍼 정렬장치에 대하여 상세히 설명하기에 앞서, 본 발명이 적용된 웨이퍼 피치조절장치(10)에 대하여 간략히 설명하면 다음과 같다.
이에 대한 상기 웨이퍼 피치조절장치(10)는, 매거진(M)과 보우트(B) 사이에 설치되는 메인 트랜스퍼 유닛(Main Transfer Unit)(3)의 양측에 각각 매거진 픽커(Magazine Picker)(5)와 보우트 픽커(Boat Picker)(7)가 설치된 솔라셀 웨이퍼 픽커 트랜스퍼 시스템(Solar Cell Wafer Picker Transfer System)(1) 중 상기 메인 트랜스퍼 유닛(3)의 일측에 설치되어 이웃한 매거진(M)이나 보우트(B)로부터 상기 매거진 픽커(5)나 보우트 픽커(7)를 통해 파지된 상태로 공급 수용된 웨이퍼(W) 간의 피치 간격을 조절하는데 사용되는 장치로서, 도 1에 도시한 바와 같이 상기 매거진(M)이나 보우트(B)로부터 상승된 다수의 웨이퍼(W)가 상기 매거진 픽커(5) 또는 보우트 픽커(7)를 통해 파지된 상태로, 상,하부 피치가이드 플레이트(13,14) 사이에 2개의 부재씩 핀(19) 결합되어 하나의 단위 블록체를 형성함과 동시에 그 단위 블록체 역시 상호 간 핀(19) 결합되어 연속적으로 연결되어진 다수의 웨이퍼 가이드(20)를 수평이송 가능하게 설치하되, 각기 한 쌍으로 이루어진 다수의 웨이퍼 가이드(20)에 서로 대향되게 형성된 슬롯홈(22)에 삽입 수용된 상태에서 실린더의 길이가변에 따라 웨이퍼 가이드(20)의 슬라이드 이송작용과 함께 연동되는 링크작용을 통해 상기 웨이퍼(W) 간에 이격된 피치 간격을 기본 표준화 피치(4.76mm) 보다 좁게 조절하여 상기 피치 간격이 좁게 조절된 웨이퍼(W)를 보우트 픽커(7) 또는 매거진 픽커(5)가 파지하여 이웃한 보우트(B)나 매거진(M) 측에 공급할 수 있도록 구성됨에 따라 상기 웨이퍼 피치조절장치(10)를 통한 한 번의 작업공정으로 매거진(M)과 함께 기본 표준화 피치를 갖는 종래 보우트에 비해 동일크기 대비 종래 보다 많은 양의 웨이퍼(W)를 보우트(B) 내에 수용시킬 수 있음과 아울러, 특히 상기 웨이퍼 피치조절장치(10)를 통한 보우트(B) 측에 웨이퍼(W)를 이송 공급시키는데 대한 작업공정 및 작업시간 역시 종래에 비해 크게 단축됨에 따라 이를 통한 웨이퍼(W)의 생산성 향상과 더불어 대량생산 역시 가능할 수 있는 등의 기술적 특징을 갖는다.
따라서, 상기와 같은 기술적 특징을 갖도록 구성된 웨이퍼 피치조절장치(10)에 대한 세부구성을 살펴보면, 도 2 내지 도 5에 도시한 바와 같이 메인 트랜스퍼 유닛(3)의 일측에 설치 고정되며, 수직가이드봉(16)의 양단을 지지하는 상,하부 베이스플레이트(11,12)와; 상기 상,하부 베이스플레이트(11,12)의 사이에 다수의 웨이퍼 가이드(20)가 수평이송되도록 상하 이격된 상태로 설치되며, 수직이송실린더(17)의 길이가변을 통해 수직가이드봉(16)을 따라 승하강되면서 웨이퍼 가이드(20)의 상,하단을 결착하여 상기 웨이퍼 가이드(20)를 피치 조절된 상태로 고정 유지토록 하는 상,하부 피치가이드 플레이트(13,14)와; 상기 상,하부 피치가이드 플레이트(13,14) 사이에 2개의 부재씩 핀(19) 결합되어 하나의 단위 블록체를 형성함과 동시에 그 단위 블록체 역시 상호 간 핀(19) 결합되어 연속적으로 연결되어져 일렬로 배열 설치되며, 수평이송실린더(28)의 길이가변을 통해 수평가이드봉(18)을 따라 좌우이송되면서 삽착된 웨이퍼(W) 간의 피치 간격이 기본 표준화 피치나, 또는 상기 기본 표준화 피치 보다 좁게 조절되는 다수의 웨이퍼 가이드(20)와; 상기 각 웨이퍼 가이드(20)의 일측 상,하단에 연결 설치되며, 수평이송실린더(28)의 길이가변에 따른 각 웨이퍼 가이드(20)의 슬라이드 이송작용이 원활하게 이루어지도록 하는 링크대(27)와; 상기 상,하부 피치가이드 플레이트(13,14)의 사이에 위치되어 웨이퍼 가이드(20)가 삽착되는 수평가이드봉(18)의 양단을 지지함과 동시에 일측이 수평이송실린더(28)와 연결 설치되며, 길이가변되는 수평이송실린더(28)의 작동에 따라 슬라이드 이송되면서 웨이퍼 가이드(20)를 좌우 이송시키는 웨이퍼가이드가동수단(29)과; 상기 상,하부 피치가이드 플레이트(13,14) 사이 및 웨이퍼가이드가동수단(29)의 일측 하단에 각각 연결 설치되며, 공압 또는 유압작용에 의한 로드의 길이가변에 따라 상부 피치가이드 플레이트(13)의 승강작용과 웨이퍼가이드가동수단(29)의 좌우이송작용이 이루어지도록 하는 수직 및 수평이송실린더(17,28)로 구성되어 있다.
이때, 상기와 같은 세부구성으로서 이루어진 웨이퍼 피치조절장치(10)의 경우 본 출원인에 의해 2009년 08월 28일자로 선(先) 출원된 "솔라셀 웨이퍼 피치조절장치(특허출원번호 제2009-0080175호)"와 동일 구조 및 동일 구성요소로서 구성되어 있기 때문에 이에 따른 각 구성요소들의 세부구조 및 이에 대한 상세한 설명은 이와 대응되는 상기 솔라셀 웨이퍼 피치조절장치의 각 구성요소들의 상세한 설명으로 대신함과 동시에 이에 대한 중복설명은 생략하기로 하며, 본 발명에 해당하는 웨이퍼가이드정렬수단(40) 및 웨이퍼정렬수단(50) 즉, 상기 웨이퍼 피치조절장치(10) 중 웨이퍼 가이드(20)의 좌우 양측 중앙부에 위치되도록 하부 베이스플레이트(12)의 좌우 양측 상단 및 웨이퍼(W)의 좌우 양측 상단에 위치되도록 상부 피치가이드 플레이트(13)의 좌우 양측 상단에 각각 설치 고정되는 웨이퍼가이드정렬수단(40)과 웨이퍼정렬수단(50)에 대해서만 중점적으로 상세히 설명하기로 한다.
이상에서 밝힌 바와 같이 본 발명의 웨이퍼 정렬장치 중 상기 웨이퍼가이드정렬수단(40)의 경우 웨이퍼 가이드(20)의 좌우 양측 중앙부에 가이드정렬빗살판(48)이 대응 위치되도록 하부 베이스플레이트(12)의 좌우 양측 상단에 설치 고정되어 수평이송실린더(28)의 작동과 함께 수평가이드봉(18)을 따라 동일방향으로 슬라이드 이송되는 웨이퍼 가이드(20)의 피치 간격이 좁은 상태에서 기본 표준화 피치로 이격되어 벌어졌을 때 일측으로 기울어진 상태의 웨이퍼 가이드(20)를 실린더(41) 작동에 의해 좌우 슬라이드 이송되는 가이드정렬빗살판(48)을 통해 수직으로 세워 일렬로 정렬시키기 위한 구동요소로서, 도 6에 도시한 바와 같이 하부 베이스플레이트의 좌우 양측에 각각 설치 고정되며, 공압 또는 유압작용에 의한 로드(42)의 길이가변이 이루어지는 실린더(41)와; 상기 실린더(41)의 상단에 설치 고정되는 가이드레일(43)과; 상기 가이드레일(43)의 상단에 슬라이드 가능하게 설치되는 가이드블록(44)과; 상기 실린더(41)의 로드(42) 일단에 연결된 상태로 가이드블록(44)의 일단에 고정되는 로드연결바(45)와; 상기 가이드블록(44)의 상단에 설치 고정되며, 웨이퍼 가이드(20)의 좌우 양측 중앙부에 대응 위치되도록 가이드정렬빗살판(48)을 지지하는 빗살판지지대(46)와; 상기 가이드정렬빗살판(48)의 후면(後面)에 연결된 상태로 빗살판지지대(46)의 상단에 볼트 고정되는 빗살판고정부재(47)와; 상기 빗살판고정부재(47)의 전면(前面)에 볼트 고정되며, 실린더(41) 작동에 의해 좌우 슬라이드 이송되면서 수평이송실린더(28)의 작동에 따라 동일방향으로 슬라이드 이송되는 각 웨이퍼 가이드(20)에 끼움 결합되어 상기 웨이퍼 가이드(20)의 피치 간격이 좁은 상태에서 기본 표준화 피치로 이격되어 벌어졌을 때 일측으로 기울어진 웨이퍼 가이드(20)를 수직으로 세워 일렬로 정렬시키는 가이드정렬빗살판(48)으로 구성되어 있다.
여기서, 상기 가이드정렬빗살판(48)의 경우 전체형상이 직사각형태의 플레이트로 형성되어 있으며, 상기 가이드정렬빗살판(48)의 전면(前面)에는 각 웨이퍼 가이드(20)에 끼움 결합되어 상기 웨이퍼 가이드(20)의 피치 간격이 좁은 상태에서 기본 표준화 피치로 이격되어 벌어졌을 때 일측으로 기울어진 웨이퍼 가이드(20)를 수직으로 세워 일렬로 정렬시킬 수 있도록 다수의 빗살돌기(49)가 형성되어 있는데, 이때 상기 빗살돌기(49)의 경우 각 웨이퍼 가이드(20)에 끼움 결합과 함께 일측으로 기울어진 웨이퍼 가이드(20)를 수직으로 세워 일렬로 정렬시키기 원활하도록 각 웨이퍼 가이드(20)의 두께 크기로서 등간격으로 이격 형성됨과 동시에 그 전면(前面) 일단이 테이퍼져 형성되어 있다.
또한, 본 발명의 웨이퍼 정렬장치 중 상기 웨이퍼정렬수단(50)의 경우 웨이퍼 가이드(20)의 좌우 양측 상단에 웨이퍼정렬빗살판(58)이 대응 위치되도록 상부 피치가이드 플레이트(13)의 좌우 양측 상단에 설치 고정되어 매거진 픽커(5) 또는 보우트 픽커(7)에 파지된 웨이퍼(W)가 웨이퍼 가이드(20)의 슬롯홈(22)에 이송되어 삽입 안착되었을 때 상기 슬롯홈(22)과 웨이퍼(W) 간의 틈새에 따라 상기 슬롯홈(22) 내의 일측으로 기울어진 상태의 웨이퍼(W)를 실린더(51) 작동에 의해 좌우 슬라이드 이송되는 웨이퍼정렬빗살판(58)을 통해 수직으로 세워 일렬로 정렬시키기 위한 구동요소로서, 도 7에 도시한 바와 같이 상부 피치가이드 플레이트(13)의 좌우 양측 상단에 각각 설치 고정되며, 공압 또는 유압작용에 의한 로드(52)의 길이가변이 이루어지는 실린더(51)와; 상기 실린더(51)의 상단에 설치 고정되는 가이드레일(53)과; 상기 가이드레일(53)의 상단에 슬라이드 가능하게 설치되는 가이드블록(54)과; 상기 실린더(51)의 로드(52) 일단에 연결된 상태로 가이드블록(54)의 일단에 고정되는 로드연결바(55)와; 상기 로드연결바(55)의 후면(後面)에 설치 고정되며, 웨이퍼 가이드(20)의 좌우 양측 상단에 대응 위치되도록 웨이퍼정렬빗살판(58)을 지지하는 빗살판지지대(56)와; 상기 웨이퍼정렬빗살판(58)의 후면(後面)에 연결된 상태로 빗살판지지대(56)의 하단에 볼트 고정되는 빗살판고정부재(57)와; 상기 빗살판고정부재(57)의 전면(前面) 상단에 볼트 고정되며, 실린더(51) 작동에 의해 좌우 슬라이드 이송되면서 매거진 픽커(5) 또는 보우트 픽커(7)에 파지된 상태로 각 웨이퍼 가이드(20)의 슬롯홈(22)에 이송됨과 동시에 삽입 안착되는 각 웨이퍼(W)의 상단에 끼움 결합되어 상기 슬롯홈(22)과 웨이퍼(W) 간의 틈새에 따라 상기 슬롯홈(22) 내의 일측으로 기울어진 웨이퍼(W)를 수직으로 세워 일렬로 정렬시키는 웨이퍼정렬빗살판(58)으로 구성되어 있다.
여기서, 상기 웨이퍼정렬빗살판(58)의 경우 전체형상이 직사각형태의 플레이트로 형성되어 있으며, 상기 웨이퍼정렬빗살판(58)의 전면(前面)에는 웨이퍼 가이드(20)의 슬롯홈(22)에 삽착된 각 웨이퍼(W)에 끼움 결합되어 상기 슬롯홈(22)과 웨이퍼(W) 간의 틈새에 따라 상기 슬롯홈(22) 내의 일측으로 기울어진 웨이퍼(W)를 수직으로 세워 일렬로 정렬시킬 수 있도록 다수의 빗살돌기(59)가 형성되어 있는데, 이때 상기 빗살돌기(59)의 경우 각 웨이퍼(W)에 끼움 결합과 함께 슬롯홈(22) 내의 일측으로 기울어진 웨이퍼(W)를 수직으로 세워 일렬로 정렬시키기 원활하도록 각 웨이퍼(W)의 두께 크기로서 등간격으로 이격 형성됨과 동시에 그 전면(前面) 일단이 전술한 가이드정렬빗살판(48)의 빗살돌기(49) 전면(前面) 일단과 마찬가지로 테이퍼져 형성되어 있다.
도 8a 및 도 8b는 웨이퍼 피치조절장치에 적용된 본 발명의 웨이퍼 정렬장치에 대한 또 다른 실시예도를 나타낸 것이다.
한편, 웨이퍼 피치조절장치(10)에 적용된 본 발명의 웨이퍼 정렬장치에 대한 또 다른 실시예로서, 이는 도 2에 도시한 바와 같이 웨이퍼 가이드(20)의 좌우 양측 중앙부에 가이드정렬빗살판(48)이 위치되도록 하부 베이스플레이트(12)의 좌우 양측 상단 및 상기 웨이퍼 가이드(20)의 좌우 양측 상단에 웨이퍼정렬빗살판(58)이 위치되도록 상부 피치가이드 플레이트(13)의 좌우 양측 상단에 각각 설치 고정되는 웨이퍼가이드정렬수단(40)과 함께 본 발명의 웨이퍼 정렬장치를 이루는 웨이퍼정렬수단(50) 대신에, 매거진 픽커(5) 또는 보우트 픽커(7)에 파지된 웨이퍼(W)가 웨이퍼 가이드(20)의 슬롯홈(22)에 이송되어 삽입 안착되었을 때 각 슬롯홈(22) 내에 서로 좌우로 엇갈려진 상태의 웨이퍼(W)를 웨이퍼정렬푸시바(67)가 좌우 양측에서 푸싱하여 일렬로 정렬시키는 웨이퍼정렬푸시수단(60)이 적용된 구조로 구성되어 있다.
이러한, 상기 웨이퍼정렬푸시수단(60)의 경우 웨이퍼(W)의 좌우 양측 상부에 웨이퍼정렬푸시바(67)가 대응 위치되도록 상부 피치가이드 플레이트(13)의 좌우 양측 상단에 설치 고정되어 매거진 픽커(5) 또는 보우트 픽커(7)에 파지된 웨이퍼(W)가 웨이퍼 가이드(20)의 슬롯홈(22)에 이송되어 삽입 안착되었을 때 각 슬롯홈(22) 내에 서로 좌우로 엇갈려진 상태의 웨이퍼(W)를 실린더(61) 작동에 의해 좌우 슬라이드 이송되는 웨이퍼정렬푸시바(67)를 통해 일렬로 정렬시키기 위한 구동요소로서, 도 8a에 도시한 바와 같이 상부 피치가이드 플레이트(13)의 좌우 양측 상단에 각각 설치 고정되며, 공압 또는 유압작용에 의한 로드(62)의 길이가변이 이루어지는 실린더(61)와; 상기 실린더(61)의 상단에 설치 고정되는 가이드레일(63)과; 상기 가이드레일(63)의 상단에 슬라이드 가능하게 설치되는 가이드블록(64)과; 상기 실린더(61)의 로드(62) 일단에 연결된 상태로 가이드블록(64)의 일단에 고정되는 로드연결바(65)와; 상기 로드연결바(65)의 전면(前面)에 볼트 고정되며, 웨이퍼(W)의 좌우 양측 상부에 대응 위치되도록 웨이퍼정렬푸시바(67)를 지지 고정하는 푸시바고정부재(66)와; 상기 푸시바고정부재(66)의 전면(前面)에 볼트 고정되며, 실린더(61) 작동에 의해 좌우 슬라이드 이송되면서 매거진 픽커(5) 또는 보우트 픽커(7)에 파지된 상태로 각 웨이퍼 가이드(20)의 슬롯홈(22)에 이송됨과 동시에 삽입 안착되는 웨이퍼(W) 측으로 푸싱하여 각 슬롯홈(22) 내에 서로 좌우로 엇갈려진 상태의 웨이퍼(W)를 일렬로 정렬시키는 웨이퍼정렬푸시바(67)로 구성되어 있다.
여기서, 상기 웨이퍼정렬푸시바(67)의 경우 전체형상이 "ㄱ"자 형태의 플레이트로 형성되어 있는데, 이때 상기 웨이퍼정렬푸시바(67)의 전면(前面) 상부에서부터 중앙부까지는 푸시바고정부재(66)와 볼트 체결되는 부위로서 하향으로 경사진 경사부(67a)가 형성되어 있고, 상기 웨이퍼정렬푸시바(67)의 전면(前面) 중앙부서부터 하단까지는 서로 좌우로 엇갈려진 상태의 웨이퍼(W)를 푸시(push)하는 부위로서 수직판(67b)으로 형성되어 있다. 미 설명 부호 "45a, 55a, 65a"는 실린더(61)의 슬라이드 이송작용이 원활하게 이루어지는지 여부를 감지하는 접촉센서(45a, 55a, 65a)를 각각 나타낸 것이고, "49a"는 빗살판고정부재(47)가 안착되어 가이드정렬빗살판(48)과 볼트 고정시키기 위한 고정부재장착부를 나타낸 것이다.
이상과 같이 본 발명의 웨이퍼 정렬장치에 대한 또 다른 실시예로서, 웨이퍼 가이드(20)의 좌우 양측 중앙부에 가이드정렬빗살판(48)이 위치되도록 하부 베이스플레이트(12)의 좌우 양측 상단에 설치 고정된 웨이퍼가이드정렬수단(40)과 함께 웨이퍼(W)의 좌우 양측 상부에 웨이퍼정렬푸시바(67)가 위치되도록 상부 피치가이드 플레이트(13)의 좌우 양측 상단에 웨이퍼정렬푸시수단(60)이 설치 고정된 상태에서 매거진 픽커(5) 또는 보우트 픽커(7)에 파지된 웨이퍼(W)가 피치 간격이 좁게 조절되거나 기본 표준화 피치(4.76mm) 또는 그 이상으로 넓게 조절된 웨이퍼 가이드(20)의 슬롯홈(22)에 이송되어 삽입 안착되되, 각 슬롯홈(22) 내에 웨이퍼(W)가 서로 좌우로 엇갈려진 상태로 안착되게 되면, 도 8b에 도시한 바와 같이 실린더(61) 작동에 의해 웨이퍼(W) 측으로 좌우 슬라이드 이송되는 웨이퍼정렬푸시바(67)가 상기와 같이 슬롯홈(22) 내에 서로 엇갈려져 안착되어 있는 웨이퍼(W)의 돌출된 측면을 푸싱함과 동시에 상기 웨이퍼(W)가 슬롯홈(22)의 중앙으로 이동됨으로써, 상기 웨이퍼 가이드(20)의 슬롯홈(22) 내에 일렬로 정렬되게 된다.
이하, 본 발명의 웨이퍼 정렬장치에 대한 작동과정을 첨부된 도면과 대비하여 그 실시예를 바람직하게 설명하면 다음과 같다.
도 9a 내지 도 9g는 본 발명의 웨이퍼 정렬장치가 적용된 웨이퍼 피치조절장치에 대한 전체작동과정을 나타낸 상태도이다.
먼저, 본 발명에 대한 웨이퍼 정렬장치의 작동과정에 대해서는 앞서 밝힌 바와 같이 본 발명의 웨이퍼 정렬장치가 적용된 웨이퍼 피치조절장치(10)에 대한 전체작동과정으로서 대신하기로 함과 아울러, 본 발명이 적용된 웨이퍼 피치조절장치(10)의 경우 본 발명의 상세한 설명 서두(序頭)에서 밝힌 바와 같이 매거진(M)과 보우트(B) 사이에 설치되는 솔라셀 웨이퍼 픽커 트랜스퍼 시스템(1) 중 매거진 픽커(5)를 통해 매거진(M)으로부터 다수의 웨이퍼(W)를 파지한 상태로 상기 메인 트랜스퍼 유닛(3)의 일측에 설치된 웨이퍼 피치조절장치(10)에 이송 공급하여 수용시킴과 동시에 상기 웨이퍼 피치조절장치(10)의 작동에 따라 상기 수용된 웨이퍼(W) 간의 피치 간격을 기본 표준화 피치 즉, 4.76mm 보다 좁게 조절한 후 이와 같이 피치 간격이 조절된 웨이퍼(W)를 보우트 픽커(7)가 파지한 다음 보우트(B) 측으로 이송 공급하여 상기 보우트(B) 내에 웨이퍼(W)가 수용되도록 하거나, 또는 상기 보우트 픽커(7)를 통해 보우트(B)로부터 인(P) 주입을 위한 전기로의 가열작업이 끝난 다수의 웨이퍼(W)를 파지한 상태로 상기 웨이퍼 피치조절장치(10)에 이송 공급하여 수용시킴과 동시에 상기 웨이퍼 피치조절장치(10)의 작동에 따라 상기 수용된 웨이퍼(W) 간의 피치 간격을 기본 표준화 피치 보다 좁게 조절한 후 이와 같이 피치 간격이 조절된 웨이퍼(W)를 매거진 픽커(5)가 파지한 다음 매거진(M) 측으로 이송 공급하여 상기 매거진(M) 내에 웨이퍼(W)가 수용되도록 하는데 사용되는 장치이기 때문에, 이에 따른 본 발명이 적용된 웨이퍼 피치조절장치(10)에 대한 작동과정은 상기와 같이 매거진 픽커(5)를 통해 매거진(M)으로부터 다수의 웨이퍼(W)를 취부하여 웨이퍼 피치조절장치(10)로 공급 수용시킴과 동시에 상기 웨이퍼 피치조절장치(10)의 작동에 따라 수용된 웨이퍼(W) 간의 피치 간격을 기본 표준화 피치 보다 좁게 조절한 후 이를 보우트 픽커(7)가 취부 및 보우트(B) 측으로 공급하여 상기 보우트(B) 내에 웨이퍼(W)가 수용되는 과정으로서 한정하여 상세히 설명하기로 한다.
이와 같은 작동과정으로서, 먼저 매거진(M)에 수용된 다수의 웨이퍼(W)를 솔라셀 웨이퍼 픽커 트랜스퍼 시스템(1) 중 메인 트랜스퍼 유닛(3)의 일측에 설치된 웨이퍼 피치조절장치(10)에 이송 공급하기 위하여 도 9a에 도시한 바와 같이 메인 트랜스퍼 유닛(3)의 양측에 설치된 매거진 픽커(5) 및 보우트 픽커(7) 중 상기 매거진 픽커(5)를 이용해 수용된 매거진(M)으로부터 일정높이로 상승된 다수의 웨이퍼(W)를 진공작용을 통해 흡착 파지하여 상기 웨이퍼 피치조절장치(10) 측으로 이송시킨 다음, 이의 상태에서 도 9b에 도시한 바와 같이 매거진 픽커(5)의 하강작용을 통해 상기 매거진 픽커(5)에 진공 취부된 다수의 웨이퍼(W)를 상기 웨이퍼 피치조절장치(10) 내에 설치된 웨이퍼 가이드(20) 즉, 4.76mm의 기본 표준화 피치 간격으로 이격된 웨이퍼 가이드(20)의 슬롯홈(22)을 통해 각기 1장씩 독립적으로 대응 삽입하는 등 상기 웨이퍼 가이드(20) 내에 웨이퍼(W)가 수용되게 된다.
이때, 상기와 같이 웨이퍼 가이드(20) 내에 웨이퍼(W)를 삽입 수용시키는 과정에 앞서, 수평이송실린더(28)의 작동과 함께 수평가이드봉(18)을 따라 동일방향으로 슬라이드 이송되는 웨이퍼 가이드(20)의 피치 간격이 좁은 상태에서 기본 표준화 피치로 이격되어 벌어질 때 일측으로 웨이퍼 가이드(20)가 기울어지게 되면, 도 9c에 도시한 바와 같이 웨이퍼 가이드(20)의 좌우 양측 중앙부에 가이드정렬빗살판(48)이 대응 위치되도록 하부 베이스플레이트(12)의 좌우 양측 상단에 설치 고정된 웨이퍼가이드정렬수단(40)의 실린더(41) 작동에 의해 웨이퍼 가이드(20) 측으로 좌우 슬라이드 이송되는 가이드정렬빗살판(48) 즉, 상기 가이드정렬빗살판(48)의 전면(前面)에 각 웨이퍼 가이드(20)의 두께 크기로서 등간격으로 이격 형성된 빗살돌기(49)가 수평이송실린더(28)의 작동에 따라 동일방향으로 슬라이드 이송되는 각 웨이퍼 가이드(20)에 끼움 결합되는 등 상기와 같이 웨이퍼 가이드(20)의 피치 간격이 좁은 상태에서 기본 표준화 피치로 이격되어 벌어졌을 때 일측으로 기울어진 웨이퍼 가이드(20)가 가이드정렬빗살판(48)에 의해 수직으로 세워 일렬로 정렬되게 되며, 상기와 같이 가이드정렬빗살판(48)의 가압작용을 통해 웨이퍼 가이드(20)가 일렬로 정렬된 상태에서 매거진 픽커(5)에 의한 웨이퍼(W)의 삽입이 이루어져 수용되게 된다.
그리고, 상기와 같이 수직으로 세워 일렬로 정렬된 웨이퍼 가이드(20) 내에 웨이퍼(W)가 삽입 수용된 상태에서 상기 웨이퍼(W) 간의 피치 간격을 기본 표준화 피치 간격 보다 좁게 조절하기 위하여, 상기 웨이퍼 피치조절장치(10) 중 상,하부 피치가이드 플레이트(13,14)의 사이에 위치됨과 동시에 수평이송실린더(28)와 연결 설치되어 상기 수평이송실린더(28)의 작동에 따라 슬라이드 이송되면서 웨이퍼 가이드(20)를 좌우 이송시키는 웨이퍼가이드가동수단(29) 즉, 가이드레일을 통해 수평이송실린더(28)의 상단에 슬라이드 가능하게 설치되는 플레이트지지가동판(34)의 일단에 위치 고정된 상태로 수평이송실린더(28)와 결합된 가이드가동플레이트(30)엔 다수의 웨이퍼 가이드(20) 중 최 전단(前段) 웨이퍼 가이드(20)가 결합되고, 이와 대향되는 가이드베이스플레이트(31)엔 최 종단(終段) 웨이퍼 가이드(20)가 결합되는 등 상기 가이드가동플레이트(30)와 가이드베이스플레이트(31) 사이에 수평가이드봉(18)에 결합된 상태로 다수의 웨이퍼 가이드(20)가 설치된 상태에서 수평이송실린더(28)의 길이단축에 따른 상기 가이드가동플레이트(30)를 가이드베이스플레이트(31) 측으로 슬라이드 이송시키게 되면 도 9d의 (a)에 도시한 바와 같이 상기 가이드가동플레이트(30)의 이송작용과 함께 이와 연동되는 상기 웨이퍼 가이드(20)의 상,하단에 힌지 결합된 링크대(27)의 링크작용을 통해 상기 웨이퍼 가이드(20) 역시 가이드베이스플레이트(31) 측으로 수평가이드봉(18)을 따라 슬라이드 이송되면서 초기 웨이퍼(W) 간의 피치 간격 즉, 4.76mm의 기본 표준화 피치 간격 보다 좁게 조절되게 된다.
이와 더불어, 상기와 같이 수평이송실린더(28)의 작동에 따라 슬라이드 이송되면서 피치 간격이 조절된 상태 그대로 웨이퍼 가이드(20)를 고정 유지시키기 위하여 도 9d의 (b)에 도시한 바와 같이 수직이송실린더(17)의 길이단축에 따른 상,하부 피치가이드 플레이트(13,14)를 상기 웨이퍼 가이드(20) 측으로 승하강시켜 상기 상부 피치가이드 플레이트(13)의 웨이퍼슬라이드홈(13a) 및 상기 하부 피치가이드 플레이트(14)의 가동플레이트슬라이드홈(14a)의 각 테두리 양측에 설치된 로케이션핀(15a,15b)을 상기 웨이퍼 가이드(20)의 상,하단 각 양측에 설치된 로케이션부재(25)의 핀홀(25a)에 결속시킴으로써, 상기 웨이퍼 가이드(20)를 피치 조절된 상태 그대로 고정 유지시킨다.
이때, 상기와 같이 수직이송실린더(17)의 길이단축에 따른 상,하부 피치가이드 플레이트(13,14)를 상기 웨이퍼 가이드(20) 측으로 승하강시킴과 동시에 상기 상,하부 피치가이드 플레이트(13,14)의 로케이션핀(15a,15b)을 상기 웨이퍼 가이드(20)의 로케이션부재(25)에 결속시켜 상기 웨이퍼 가이드(20)를 피치 조절된 상태로 고정 유지시키는 과정에 앞서, 매거진 픽커(5)에 파지된 웨이퍼(W)가 웨이퍼 가이드(20)의 슬롯홈(22)에 이송되어 삽입 안착되었을 때 상기 슬롯홈(22)과 웨이퍼(W) 간의 틈새에 따라 상기 슬롯홈(22) 내의 일측으로 웨이퍼(W)가 기울어지게 되면, 도 9e에 도시한 바와 같이 웨이퍼 가이드(20)의 좌우 양측 상단에 웨이퍼정렬빗살판(58)이 대응 위치되도록 상부 피치가이드 플레이트(13)의 좌우 양측 상단에 설치 고정된 웨이퍼정렬수단(50)의 실린더(51) 작동에 의해 웨이퍼(W) 측으로 좌우 슬라이드 이송되는 웨이퍼정렬빗살판(58) 즉, 웨이퍼정렬빗살판(58)의 전면(前面)에 각 웨이퍼(W)의 두께 크기로서 등간격으로 이격 형성된 빗살돌기(59)가 매거진 픽커(5)에 파지된 상태로 각 웨이퍼 가이드(20)의 슬롯홈(22)에 이송됨과 동시에 삽입 안착되는 각 웨이퍼(W)의 상단에 끼움 결합되는 등 상기와 같이 슬롯홈(22)과 웨이퍼(W) 간의 틈새에 따라 상기 슬롯홈(22) 내의 일측으로 기울어진 웨이퍼(W)가 웨이퍼정렬빗살판(58)의 가압작용을 통해 각 웨이퍼 가이드(20)의 슬롯홈(22) 내에 수직으로 세워 일렬로 정렬되게 된다.
그리고, 각 웨이퍼 가이드(20)의 슬롯홈(22) 내에 수직으로 세워 일렬로 정렬됨과 동시에 기본 표준화 피치(4.76mm) 보다 좁게 조절된 웨이퍼(W)를 상기 웨이퍼 피치조절장치(10)로부터 보우트(B) 측에 이송 공급시키기 위하여 도 9f에 도시한 바와 같이 메인 트랜스퍼 유닛(3)의 양측에 설치된 매거진 픽커(5) 및 보우트 픽커(7) 중 상기 보우트 픽커(7)를 이용해 웨이퍼 피치조절장치(10)로부터 피치 간격이 기본 표준화 피치 보다 좁게 조절된 다수의 웨이퍼(W)를 진공작용을 통해 흡착 파지하여 상기 보우트(B) 측으로 이송시킨 다음, 이의 상태에서 도 9g에 도시한 바와 같이 보우트 픽커(7)의 하강작용을 통해 상기 보우트 픽커(7)에 진공 취부된 다수의 웨이퍼(W)를 상기 보우트(B) 내에 안착 수용시킴으로써, 매거진(M)으로부터 웨이퍼 피치조절장치(10)를 거쳐 보우트(B) 측으로 다수의 웨이퍼(W)를 이송시키되, 상기 웨이퍼(W) 간의 피치 간격이 기본 표준화 피치(4.76mm) 보다 좁게 조절된 상태로 보우트(B) 측에 이송 공급하여 많은 양의 웨이퍼(W)를 하나의 보우트(B)에 수용시킬 수 있으며, 이로써 상기 매거진(M)으로부터 보우트(B) 측으로 웨이퍼(W)의 이송작업공정이 종료되게 된다.
이상에서와 같이 상술한 실시예는 본 발명의 가장 바람직한 예에 대하여 설명한 것이지만 상기 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변형이 가능하다는 것은 당업자에게 있어서 명백한 것이다.
1. 웨이퍼 픽커 트랜스퍼 시스템 3. 메인 트랜스퍼 유닛
5. 매거진 픽커 7. 보우트 픽커
10. 웨이퍼 피치조절장치 11. 상부 베이스플레이트
11b, 13a. 웨이퍼슬라이드홈 12. 하부 베이스플레이트
13. 상부 피치가이드 플레이트 14. 하부 피치가이드 플레이트
14a. 가동플레이트슬라이드홈 15a, 15b. 로케이션핀
16. 수직가이드봉 17. 수직이송실린더
18. 수평가이드봉 19. 핀
19a. 스냅링 20. 웨이퍼 가이드
21a, 21b, 25a, 26a. 핀홀 22. 슬롯홈
24. 하부덮개 25. 로케이션부재
26. 링크고정부재 27. 링크대
28. 수평이송실린더 29. 웨이퍼가이드가동수단
30. 가이드가동플레이트 31. 가이드베이스플레이트
32. 가동판슬라이드홈 33. 수평봉지지플레이트
34. 플레이트지지가동판 35. 웨이퍼가이드 작동감지수단
36. 센서고정블록 37. 감지센서
38. 센싱이송블록 40. 웨이퍼가이드정렬수단
41, 51, 61. 실린더 42, 52, 62. 로드
43, 53, 63. 가이드레일 44, 54, 64. 가이드블록
45, 55, 65. 로드연결바 46, 56. 빗살판지지대
47, 57. 빗살판고정부재 48. 가이드정렬빗살판
49, 59. 빗살돌기 50. 웨이퍼정렬수단
58, 웨이퍼정렬빗살판 60. 웨이퍼정렬푸시수단
66. 푸시바고정부재 67. 웨이퍼정렬푸시바
B. 보우트 M. 매거진
W. 웨이퍼

Claims (9)

  1. 양측에 매거진 픽커와 보우트 픽커가 상하 및 전후, 좌우 이송이 가능하도록 설치된 메인 트랜스퍼 유닛의 일측에 고정되며, 상,하부 베이스플레이트, 상,하부 피치가이드 플레이트, 웨이퍼 가이드, 링크대, 웨이퍼가이드가동수단, 수직 및 수평이송실린더, 수직 및 수평가이드봉으로 구성되어 이웃한 매거진이나 보우트로부터 상기 매거진 픽커나 보우트 픽커를 통해 파지된 상태로 공급 수용된 웨이퍼 간의 피치 간격을 기본 표준화 피치(4.76mm) 보다 좁게 조절하여 상기 보우트 픽커 또는 매거진 픽커를 통해 이웃한 보우트나 매거진 측에 공급되도록 하는 웨이퍼 피치조절장치에 있어서,
    상기 웨이퍼 가이드의 좌우 양측 중앙부에는 수평이송실린더의 작동과 함께 수평가이드봉을 따라 동일방향으로 슬라이드 이송되는 웨이퍼 가이드의 피치 간격이 좁은 상태에서 기본 표준화 피치로 이격되어 벌어졌을 때 일측으로 기울어진 상태의 웨이퍼 가이드를 실린더 작동에 의해 좌우 슬라이드 이송되는 가이드정렬빗살판을 통해 수직으로 세워 일렬로 정렬시키기 위한 웨이퍼가이드정렬수단이 구비된 것을 특징으로 하는 솔라셀 웨이퍼 피치조절장치용 웨이퍼 정렬장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 상부 피치가이드 플레이트의 좌우 양측 상단에는 웨이퍼 가이드의 좌우 양측 상단에 위치됨과 동시에 매거진 픽커 또는 보우트 픽커에 파지된 웨이퍼가 웨이퍼 가이드의 슬롯홈에 이송되어 삽입 안착되었을 때 상기 슬롯홈과 웨이퍼 간의 틈새에 따라 상기 슬롯홈 내의 일측으로 기울어진 상태의 웨이퍼를 실린더 작동에 의해 좌우 슬라이드 이송되는 웨이퍼정렬빗살판을 통해 수직으로 세워 일렬로 정렬시키기 위한 웨이퍼정렬수단이 더 구비된 것을 특징으로 하는 솔라셀 웨이퍼 피치조절장치용 웨이퍼 정렬장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 상부 피치가이드 플레이트의 좌우 양측 상단에는 웨이퍼의 좌우 양측 상부에 대응 위치됨과 동시에 매거진 픽커 또는 보우트 픽커에 파지된 웨이퍼가 웨이퍼 가이드의 슬롯홈에 이송되어 삽입 안착되었을 때 각 슬롯홈 내에 서로 좌우로 엇갈려진 상태의 웨이퍼를 실린더 작동에 의해 좌우 슬라이드 이송되는 웨이퍼정렬푸시바를 통해 일렬로 정렬시키기 위한 웨이퍼정렬푸시수단이 더 구비된 것을 특징으로 하는 솔라셀 웨이퍼 피치조절장치용 웨이퍼 정렬장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 웨이퍼가이드정렬수단은 하부 베이스플레이트의 좌우 양측에 각각 설치 고정되며, 공압 또는 유압작용에 의한 로드의 길이가변이 이루어지는 실린더와;
    상기 실린더의 상단에 설치 고정되는 가이드레일과;
    상기 가이드레일의 상단에 슬라이드 가능하게 설치되는 가이드블록과;
    상기 실린더의 로드 일단에 연결된 상태로 가이드블록의 일단에 고정되는 로드연결바와;
    상기 가이드블록의 상단에 설치 고정되며, 웨이퍼 가이드의 좌우 양측 중앙부에 대응 위치되도록 가이드정렬빗살판을 지지하는 빗살판지지대와;
    상기 가이드정렬빗살판의 후면(後面)에 연결된 상태로 빗살판지지대의 상단에 볼트 고정되는 빗살판고정부재와;
    상기 빗살판고정부재의 전면(前面)에 볼트 고정되며, 실린더 작동에 의해 좌우 슬라이드 이송되면서 수평이송실린더의 작동에 따라 동일방향으로 슬라이드 이송되는 각 웨이퍼 가이드에 끼움 결합되어 상기 웨이퍼 가이드의 피치 간격이 좁은 상태에서 기본 표준화 피치로 이격되어 벌어졌을 때 일측으로 기울어진 웨이퍼 가이드를 수직으로 세워 일렬로 정렬시키는 가이드정렬빗살판으로 구성된 것을 특징으로 하는 솔라셀 웨이퍼 피치조절장치용 웨이퍼 정렬장치.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 가이드정렬빗살판은 직사각형태의 플레이트로 형성되되, 그 전면(前面)에는 각 웨이퍼 가이드에 끼움 결합되어 상기 웨이퍼 가이드의 피치 간격이 좁은 상태에서 기본 표준화 피치로 이격되어 벌어졌을 때 일측으로 기울어진 웨이퍼 가이드를 수직으로 세워 일렬로 정렬시키기 위한 빗살돌기가 형성되며,
    상기 빗살돌기는 각 웨이퍼 가이드에 끼움 결합과 함께 일측으로 기울어진 웨이퍼 가이드를 수직으로 세워 일렬로 정렬시키기 원활하도록 각 웨이퍼 가이드의 두께 크기로서 등간격으로 이격 형성되면서 그 전면(前面) 일단이 테이퍼져 형성된 것을 특징으로 하는 솔라셀 웨이퍼 피치조절장치용 웨이퍼 정렬장치.
  6. 제 2 항에 있어서, 상기 웨이퍼정렬수단은 상부 피치가이드 플레이트의 좌우 양측 상단에 각각 설치 고정되며, 공압 또는 유압작용에 의한 로드의 길이가변이 이루어지는 실린더와;
    상기 실린더의 상단에 설치 고정되는 가이드레일과;
    상기 가이드레일의 상단에 슬라이드 가능하게 설치되는 가이드블록과;
    상기 실린더의 로드 일단에 연결된 상태로 가이드블록의 일단에 고정되는 로드연결바와;
    상기 로드연결바의 후면(後面)에 설치 고정되며, 웨이퍼 가이드의 좌우 양측 상단에 대응 위치되도록 웨이퍼정렬빗살판을 지지하는 빗살판지지대와;
    상기 웨이퍼정렬빗살판의 후면(後面)에 연결된 상태로 빗살판지지대의 하단에 볼트 고정되는 빗살판고정부재와;
    상기 빗살판고정부재의 전면(前面) 상단에 볼트 고정되며, 실린더 작동에 의해 좌우 슬라이드 이송되면서 매거진 픽커 또는 보우트 픽커에 파지된 상태로 각 웨이퍼 가이드의 슬롯홈에 이송됨과 동시에 삽입 안착되는 각 웨이퍼의 상단에 끼움 결합되어 상기 슬롯홈과 웨이퍼 간의 틈새에 따라 상기 슬롯홈 내의 일측으로 기울어진 웨이퍼를 수직으로 세워 일렬로 정렬시키는 웨이퍼정렬빗살판으로 구성된 것을 특징으로 하는 솔라셀 웨이퍼 피치조절장치용 웨이퍼 정렬장치.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 웨이퍼정렬빗살판은 직사각형태의 플레이트로 형성되되, 그 전면(前面)에는 웨이퍼 가이드의 슬롯홈에 삽착된 각 웨이퍼에 끼움 결합되어 상기 슬롯홈과 웨이퍼 간의 틈새에 따라 상기 슬롯홈 내의 일측으로 기울어진 웨이퍼를 수직으로 세워 일렬로 정렬시키기 위한 빗살돌기가 형성되며,
    상기 빗살돌기는 각 웨이퍼에 끼움 결합과 함께 슬롯홈 내의 일측으로 기울어진 웨이퍼를 수직으로 세워 일렬로 정렬시키기 원활하도록 각 웨이퍼의 두께 크기로서 등간격으로 이격 형성되면서 그 전면(前面) 일단이 테이퍼져 형성된 것을 특징으로 하는 솔라셀 웨이퍼 피치조절장치용 웨이퍼 정렬장치.
  8. 제 3 항에 있어서, 상기 웨이퍼정렬푸시수단은 상부 피치가이드 플레이트의 좌우 양측 상단에 각각 설치 고정되며, 공압 또는 유압작용에 의한 로드의 길이가변이 이루어지는 실린더와;
    상기 실린더의 상단에 설치 고정되는 가이드레일과;
    상기 가이드레일의 상단에 슬라이드 가능하게 설치되는 가이드블록과;
    상기 실린더의 로드 일단에 연결된 상태로 가이드블록의 일단에 고정되는 로드연결바와;
    상기 로드연결바의 전면(前面)에 볼트 고정되며, 웨이퍼의 좌우 양측 상부에 대응 위치되도록 웨이퍼정렬푸시바를 지지 고정하는 푸시바고정부재와;
    상기 푸시바고정부재의 전면(前面)에 볼트 고정되며, 실린더 작동에 의해 좌우 슬라이드 이송되면서 매거진 픽커 또는 보우트 픽커에 파지된 상태로 각 웨이퍼 가이드의 슬롯홈에 이송됨과 동시에 삽입 안착되는 웨이퍼 측으로 푸싱하여 각 슬롯홈 내에 서로 좌우로 엇갈려진 상태의 웨이퍼를 일렬로 정렬시키는 웨이퍼정렬푸시바로 구성된 것을 특징으로 하는 솔라셀 웨이퍼 피치조절장치용 웨이퍼 정렬장치.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 웨이퍼정렬푸시바는 "ㄱ"자 형태의 플레이트로 형성되되, 그 전면(前面) 상부에서부터 중앙부까지는 푸시바고정부재와 볼트 체결되는 부위로서 하향으로 경사져 형성되고, 상기 전면(前面) 중앙부서부터 하단까지는 웨이퍼 푸시부위로서 수직판으로 형성된 것을 특징으로 하는 솔라셀 웨이퍼 피치조절장치용 웨이퍼 정렬장치.
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