KR20110102206A - 유리 기판 - Google Patents

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KR20110102206A
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아사히 가라스 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 유리 기판의 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부에 레이저광을 조사했을 때에 있어서의 유리 기판의 위치 결정, 제품 번호 확인을 정확하게 행할 수 있는 유리 기판을 제공한다.
본 발명의 유리 기판(10)은 레이저 변위계로부터 레이저광을 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부에 조사한 위치 결정 또는 유리 기판(10)의 제품 번호 확인을 위해, 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부의 면을 미연마면으로 했다. 구체적으로는, 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부의 면의 산술 평균 거칠기(Ra)가 0.5㎛를 초과하도록 코너컷용 지석(16A, 16B)에 있어서는 입도 #400 이상 #600 미만을 사용했다. 이에 의해, 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부의 면의 산술 평균 거칠기(Ra)가 0.8 내지 1.0㎛로 되는 것이 실측에 의해 확인되었다.

Description

유리 기판{GLASS SUBSTRATE}
본 발명은 유리 기판에 관한 것으로, 특히 FPD용으로서 사용되는 유리 기판에 관한 것이다.
플라즈마 디스플레이용 유리 기판 및 액정용 유리 기판 등의 FPD(Flat Panel Display)용 유리 기판은 그의 제조 공정에 코너컷 공정을 구비하고 있다.
코너컷 공정에 있어서 유리 기판은, 유리 기판의 인접하는 단부면이 교차하는 4개의 능선 부분(이하, 4 코너부라고 함)이 코너컷용 지석에 의해 연삭 가공되어, 예리한 코너부가 둥글게 됨으로써 유리 기판의 깨짐, 절결 형성이 방지된다. 또한, 4 코너부 중 적어도 하나의 코너부는 외관 검사 공정 등의 후공정에 있어서의 유리 기판의 판별의 표시가 되도록, 다른 코너부보다 크게 연삭 가공된다. 이 큰 연삭 가공 부분을 오리엔테이션 플랫부라고도 한다. 이와 같이 적어도 하나의 코너부에 오리엔테이션 플랫부를 구비하고, 이 오리엔테이션 플랫부의 크기 및 위치를 검출 수단에 의해 검출함으로써 유리 기판의 품종, 종횡 방향 및 표리의 판별이 가능하게 되어 있다.
하기 특허문헌 1에는, 액정 표시용 유리 기판의 제조 공정에 있어서, 꺾음 절단 가공된 유리 기판의 절단면을 모따기용 지석에 의해 모따기 가공함과 함께, 유리 기판의 코너부를 코너컷용 지석에 의해 코너부를 연삭 가공하는 것이 개시되어 있다.
또한, 하기 특허문헌 2에는, 유리 기판의 단부면 또는 모따기부의 표면 거칠기(Ra)를 0.5㎛ 이하, 보다 바람직하게는 0.4㎛ 이하로 하는 것이 개시되어 있다.
또한, 하기 특허문헌 3에는, 모따기면의 치수가 유리 기판의 판 두께 방향에 있어서 17 내지 75㎛로 규정된 FPD용 유리 기판이 개시되어 있다. 또한, 특허문헌 3에는, 유리 기판의 모따기면의 표면 거칠기(Ra)를 0.2㎛ 이하, 보다 바람직하게는 0.08㎛ 이하로 하는 유리 기판이 개시됨과 함께, 유리 기판의 단부면이 미연마면인 것이 개시되어 있다. 특허문헌 3의 상기 미연마면은, 유리 원판을 레이저 스크라이브하여 유리 기판을 얻는 것이 전제이다. 레이저 스크라이브하여 얻어진 유리 기판의 단부면은, 다이아몬드 커터에 의한 스크라이브와 비교하여 평활한 면으로 되고, 유리 기판의 단부면을 연마 가공하지 않아도, 유리 기판의 단부면을 기점으로 한 균열이 발생하기 어렵다. 즉, 인용 문헌 3의 유리 기판의 단부면은 필연적으로 경면으로 되어 있다.
그런데, 유리 기판의 제조 공정에 있어서, 코너컷 공정 후에 실시되는 유리 기판의 연마 공정, 연마 후의 검사 공정에서는, 유리 기판을 소정의 위치로 위치 결정한 후에 소정의 처리가 유리 기판에 실시된다. 이때, 유리 기판의 위치를 레이저 변위계에 의해 검출하여 유리 기판의 위치 결정을 행하는 경우에는, 레이저 변위계로부터 레이저광을 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부의 면에 조사하여, 그 반사광을 수광함으로써 유리 기판의 위치를 검출하고 있다. 또한, 유리 기판의 적합성 검사시에 있어서도, 레이저 변위계로부터 레이저광을 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부에 조사하여 그의 제품 번호 등을 확인하도록 하고 있다.
일본 특허 공개 평11-326856호 공보 일본 특허 공개 평10-212134호 공보 일본 특허 공개 제2008-266046호 공보
그러나, 종래의 유리 기판에서는, 유리 기판의 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부에 레이저광을 조사하여 유리 기판을 위치 결정하거나 제품 번호 확인을 하고자 한 경우, 유리 기판의 위치 결정, 제품 번호 확인을 정확하게 행할 수 없다는 문제가 있었다.
본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 유리 기판의 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부에 레이저광을 조사하여 유리 기판의 위치 결정, 제품 번호 확인을 정확하게 행할 수 있는 유리 기판을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해, 2개의 주면과 4개의 단부면과 인접하는 2 단부면 사이에 코너컷부 및/또는 상기 코너컷부보다 크게 절삭 가공된 오리엔테이션 플랫부를 갖는 유리 기판이며, 상기 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부의 산술 평균 거칠기(Ra)가 0.5㎛를 초과하는 것을 특징으로 하는 유리 기판을 제공한다.
발명자는 레이저광을 사용한 유리 기판의 위치 결정 개선책, 제품 번호 확인 개선책을 예의 검토한 결과, 다음의 사실을 얻었다. 즉, 유리 기판의 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부가 경면인 것에 기인하여, 레이저광의 대부분이 그 경면에서 반사되지 않고 유리 기판의 내부로 투과해 버린다. 이에 의해, 오검출이 발생하여 위치 결정, 제품 번호 확인을 정확하게 행할 수 없다는 원인을 밝혀냈다. 즉, 코너컷용 지석에 의해 가공되는 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부를 미연마면으로 함으로써, 유리 기판의 위치 결정, 제품 번호 확인을 정확하게 실시할 수 있다는 지견을 얻었다.
여기에서 특허문헌 2에 개시된 유리 기판은 그의 단부면 또는 모따기부의 표면 거칠기(Ra)가 0.5㎛ 이하, 보다 바람직하게는 0.4㎛ 이하이므로, 단부면 또는 모따기부는 경면이라고 할 수 있다. 또한, 특허문헌 3에 개시된 유리 기판은 그의 모따기면의 표면 거칠기(Ra)가 0.2㎛ 이하, 보다 바람직하게는 0.08㎛ 이하이므로, 이것도 또한 경면이라고 할 수 있다.
특허문헌 2, 3의 유리 기판은 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부에 관한 기재는 없지만, 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부에 있어서도 경면이라고 생각할 수 있다. 따라서, 특허문헌 2, 3의 유리 기판에서는, 레이저 변위계로부터 레이저광을 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부에 조사한 유리 기판의 위치 결정, 제품 번호 확인을 정확하게 행하는 것이 곤란하다.
또한, 특허문헌 3의 유리 기판의 단부면은 미연마면이지만, 이 단부면은 레이저 스크라이브하여 얻어진 단부면이며 미가공의 경면이다. 이에 반해, 본 발명의 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부는 코너컷용 지석에 의해 가공되는 가공면이며, 경면과는 달리 연마를 행하지 않은 조면이다. 따라서, 특허문헌 3의 경면인 미연마면과 본 발명의 미연마면은 거칠기가 완전히 상이하다.
또한, 본 발명에 있어서는, 상기 코너컷부 및/또는 오리엔테이션 플랫부의 산술 평균 거칠기(Ra)가 0.5㎛를 초과하는 것을 특징으로 하고, 보다 바람직하게는 0.7㎛를 초과하는 것이다.
산술 평균 거칠기(Ra)가 0.5㎛ 이하이면, 레이저광의 대부분이 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부에서 반사하지 않고 유리 기판의 내부로 투과해 버리지만, 거칠기(Ra)가 0.5㎛를 초과하면, 레이저광의 대부분이 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부에서 반사하여 레이저 변위계로 수광되는 것을 확인했다. 또한, 거칠기(Ra)가 0.7㎛를 초과한 경우에는, 레이저광의 대부분이 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부에서 반사하여 레이저 변위계로 수광되는 것을 확인했다.
또한, 본 발명에 있어서는, 상기 코너컷부 또는 상기 오리엔테이션 플랫부의 산술 평균 거칠기(Ra)가 1.5㎛ 이하인 것이 바람직하다.
코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부의 거칠기가 지나치게 거칠면, 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부에 유리 가루 등의 입자가 부착되기 쉬워져, 유리 기판의 품질이 저하되는 경우가 있으므로, 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부의 Ra가 1.5㎛ 이하인 것이 바람직하고, 1.2㎛ 이하인 것이 보다 바람직하다.
또한, 본 발명에 있어서는, 상기 코너컷부 또는 상기 오리엔테이션 플랫부의 거칠기는, 상기 유리 기판의 상기 단부면의 거칠기보다 거칠고, 상기 코너컷부 또는 상기 오리엔테이션 플랫부의 산술 평균 거칠기(Ra)와 상기 유리 기판의 상기 단부면의 산술 평균 거칠기(Ra)의 차가 0.1㎛ 이상인 것이 바람직하다.
이에 의해, 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부와 유리 기판의 단부면의 경계부가 명확해진다.
또한, 본 발명에 있어서는, 상기 오리엔테이션 플랫부가 상기 유리 기판의 인접하는 2 단부면 사이 중 적어도 1개소에 구비되어 있는 것이 바람직하다.
유리 기판에 가공되는 오리엔테이션 플랫부는 1개소에 한정되는 것이 아니라 2개소 이상이어도 된다. 오리엔테이션 플랫부에 레이저광을 조사하여 위치 결정하는 경우, 2개소 이상의 오리엔테이션 플랫부를 사용하는 경우가 있기 때문이다.
또한, 본 발명에 있어서는, 상기 유리 기판의 판 두께가 0.3mm 이하인 것이 바람직하다.
유리 기판의 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부의 면이 경면이며, 유리 기판의 판 두께가 0.3mm 이하인 경우에 오검출이 다발하는 것을 밝혀냈다. 이것은, 유리 기판의 판 두께가 0.3mm 이하인 경우, 레이저광의 반사 면적이 작아 오검출이 발생하기 쉽기 때문이다.
이에 따라, 본 발명에서는, 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부의 면의 산술 평균 거칠기(Ra)를 0.5㎛ 초과로 규정함으로써, 판 두께가 0.3mm 이하인 유리 기판이어도 상기 오검출을 방지할 수 있다.
본 발명에 따르면, 유리 기판의 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부를 미연마면으로 했으므로, 유리 기판의 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부에 레이저광을 조사하여 유리 기판의 위치 결정, 제품 번호 확인을 정확하게 행할 수 있다.
도 1은 유리 기판의 코너컷 장치 및 모따기 장치의 평면도.
이하, 첨부 도면에 따라서 본 발명에 관한 유리 기판의 바람직한 실시 형태에 대해 상세하게 설명한다.
도 1의 (A), (B)에는, 실시 형태의 유리 기판(10)을 얻기 위한 오리엔테이션 플랫 가공을 포함하는 코너컷 장치 및 모따기 장치의 평면도가 도시되어 있다.
도 1에 도시한 유리 기판(10)은 액정 디스플레이용 유리 기판(10)이며, 가공시에는 도 1의 파선으로 나타낸 테이블(22)에 흡착 고정된다. 테이블(22)에 고정된 유리 기판(10)의 긴 변(10A)에 대향하여 제1 코너컷 장치 및 제1 모따기 장치가 배치되어 있다. 제1 코너컷 장치는 코너컷용 지석(16A)을 구비하고 있다. 이 코너컷용 지석(16A)은 유리 기판(10)의 도 1 상에서 우측 하부 코너부(C1)의 근방에 배치되고, 코너부(C1)를 연삭 가공할 때에 화살표로 나타낸 바와 같이 사행 이동된다. 이에 의해, 유리 기판(10)의 도 1 상에서 우측 하부 코너부(C1)에 코너컷부가 형성된다.
제1 모따기 장치는, 초벌 연마용 제1 모따기 지석(12A), 제1 마무리 지석(18A), 초벌 연마용 제2 모따기 지석(14A) 및 제2 마무리 지석(20A)을 구비하고 있다. 이들 지석(12A, 18A, 14A, 20A)은 유리 기판(10)의 긴 변(10A)을 따라 소정의 간격을 두고 배치됨과 함께, 긴 변(10A)에 소정의 가압력을 갖고 접촉된다. 그리고, 이들 지석(12A, 18A, 14A, 20A)은 상기 간격을 유지한 상태에서 긴 변(10A)을 따라(이하 X방향이라고 함) 도 1의 좌측으로부터 우측을 향해 이동된다. 이에 의해, 유리 기판(10)의 긴 변(10A)이 모따기 가공되면서 마무리 가공된다.
또한, 유리 기판(10)의 긴 변(10B)에 대향하여 제2 코너컷 장치 및 제2 모따기 장치가 배치되어 있다. 제2 코너컷 장치는 코너컷용 지석(16B)을 구비하고 있다. 이 코너컷용 지석(16B)은 유리 기판(10)의 도 1 상에서 좌측 상부 코너부(C2)의 근방에 배치되고, 코너부(C2)를 연삭 가공할 때에 화살표로 나타낸 바와 같이 사행 이동된다. 이에 의해, 유리 기판(10)의 도 1 상에서 좌측 상부 코너부(C2)에 코너컷부가 형성된다.
제2 모따기 장치는 초벌 연마용 제1 모따기 지석(12B), 제1 마무리 지석(18B), 초벌 연마용 제2 모따기 지석(14B) 및 제2 마무리 지석(20B)을 구비하고 있다. 이들 지석(12B, 18B, 14B, 20B)은 유리 기판(10)의 긴 변(10B)을 따라 소정의 간격을 두고 배치됨과 함께, 긴 변(10B)에 소정의 가압력을 갖고 접촉된다. 그리고, 이들 지석(12B, 18B, 14B, 20B)은 상기 간격을 유지한 상태에서 긴 변(10B)을 따라 도 1의 우측으로부터 좌측을 향해 X방향으로 이동된다. 이에 의해, 유리 기판(10)의 긴 변(10B)이 모따기 가공되면서 마무리 가공된다.
바람직하게는, 제1 모따기 지석(12A, 12B)은 긴 변(10A, 10B)의 대략 중앙부로부터 모따기를 개시함과 함께 긴 변(10A, 10B)을 통과한 시점에서 모따기 가공을 정지한다. 또한, 제2 모따기 지석(14A, 14B)은 긴 변(10A, 10B)의 시점을 개시점으로 하여 모따기를 개시함과 함께 제1 모따기 지석(12A, 12B)의 개시점을 약간의 양 통과한 시점에서 모따기 가공을 정지한다. 제1, 제2 마무리 지석(18A, 18B, 20A, 20B)에 대해서도 제1, 제2 모따기 지석과 각각 마찬가지의 동작을 한다.
도 1의 (A)와 같이, 긴 변(10A, 10B)의 모따기 가공 및 코너부(C1, C2)의 코너컷 가공을 동시에 행하고, 이 후 도 1의 (B)와 같이 유리 기판(10)을 90도 회전시킴으로써 짧은 변(10C, 10D)의 모따기, 마무리 가공 및 나머지 코너부(C3, C4)의 코너컷 가공을 동시에 행할 수 있다. 또한, 동일 장소에서 4변의 모따기를 동시에 실시하면, 유리 기판(10)의 생산 라인 길이를 짧게 할 수 있고, 설비도 저렴해지지만, 유리 기판(10)의 4변을 동시에 모따기하는 것은 좁은 공간에 다수의 모따기용 헤드를 배치해야만 하기 때문에 설비 구성상 곤란하다. 또한, 모따기는 유리 기판(10)의 1변마다 행해도 되지만, 전술한 바와 같이 2변을 동시에 모따기를 행하는 것이 택트 향상의 관점에서 바람직하다. 제1, 제2 마무리 지석(18A, 18B, 20A, 20B)의 연마 부재로서는, 예를 들어 부직포 또는 레진 본드제 등을 적용할 수 있다.
또한, 실시 형태에서는, 액정 디스플레이용 유리 기판(10)을 나타냈지만, 플라즈마 디스플레이용 등의 FPD용 유리 기판에도 적용할 수 있다. 또한, 코너컷용 지석(16A, 16B)은 지석(20A, 20B)에 대해 주행 방향(X방향)의 후방에 배치해도 되지만, 전방에 배치하는 쪽이 택트 향상의 관점에서 바람직하다. 또한, 도 1에 도시한 코너컷부의 크기는 코너컷부를 설명하는 편의상 과장하여 도시하고 있다. 실제 코너컷부의 크기는 유리 기판(10)의 크기에도 의존하지만 수mm이다.
그런데, 코너컷용 지석(16A, 16B)은 4개의 코너부(C1 내지 C4) 중 적어도 1개의 코너부에 오리엔테이션 플랫부를 형성하도록 구동된다. 코너컷부에 대해 오리엔테이션 플랫부의 연삭 가공 영역은 크고, 따라서 유리 기판(10)의 적어도 하나의 코너부에는, 코너컷부보다 큰 오리엔테이션 플랫부가 형성된다. 즉, 코너컷부 및 오리엔테이션 플랫부는 유리 기판(10)의 2개의 주면과 4개의 단부면과 인접하는 2 단부면 사이에 가공되는 것이다.
그리고, 실시 형태의 유리 기판(10)에서는, 이러한 코너컷 공정, 모따기 공정의 후공정에 실시되는, 레이저 변위계로부터 레이저광을 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부에 조사한 위치 결정, 또는 유리 기판(10)의 제품 번호 확인을 위해 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부의 면을 미연마면으로 하고 있다.
구체적으로는, 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부의 면의 산술 평균 거칠기(Ra)가 0.5㎛를 초과하도록, 코너컷용 지석(16A, 16B)에 있어서는 입도 #400 이상 #600 미만을 사용하고 있다. 이에 의해, 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부의 면의 산술 평균 거칠기(Ra)가 0.8 내지 1.0㎛로 되는 것이 실측에 의해 확인되고 있다. 또한, 입도 #600의 코너컷용 지석(16A, 16B)을 사용한 경우, 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부의 면의 산술 평균 거칠기(Ra)는 0.3 내지 0.6㎛로 되어, 0.5㎛ 이하의 부분도 포함해 버리므로 바람직하지 않다. 또한, 산술 평균 거칠기(Ra)라 함은 JIS B0601:2001에 준거한 방법(컷오프를 0.25mm, 측정 길이는 10mm)에 의해 측정한 값을 가리킨다.
다음에, 상기와 같이 가공된 유리 기판(10)의 특징에 대해 설명한다.
발명자는 레이저광을 사용한 유리 기판(10)의 위치 결정 개선책, 제품 번호 확인 개선책을 예의 검토한 결과, 다음의 지견을 얻었다.
즉, 유리 기판(10)의 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부의 면이 경면이면, 레이저광의 대부분이 그 경면에서 반사되지 않고 유리 기판(10)의 내부로 투과해 버린다. 이에 기인하여, 유리 기판의 위치 검출, 제품 번호 확인에 오검출이 발생하여, 유리 기판의 위치 결정, 제품 번호 확인을 정확하게 행할 수 없다는 원인을 밝혀냈다. 특히 유리 기판의 판 두께가 0.3mm 이하인 경우에 오검출이 다발하는 것을 밝혀냈다. 유리 기판의 판 두께가 0.3mm 이하인 경우, 레이저광의 반사 면적이 작아 오검출이 발생하기 쉽기 때문이다.
즉, 코너컷용 지석(16A, 16B)에 의해 가공되는 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부의 면을 실시 형태의 유리 기판(10)과 같이 미연마면으로 함으로써, 유리 기판(10)의 위치 결정, 제품 번호 확인을 정확하게 실시할 수 있다는 지견을 얻었다.
따라서, 실시 형태의 유리 기판(10)에 따르면, 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부의 면이 미연마이므로, 레이저 변위계로부터 레이저광을 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부에 조사한 유리 기판의 위치 결정, 제품 번호 확인을 정확하게 행할 수 있다.
또한, 실시 형태에서는, 유리 기판(10)의 상기 미연마면의 산술 평균 거칠기(Ra)가 0.5㎛를 초과하도록 유리 기판(10)을 코너컷용 지석(16A, 16B)에 의해 가공하고 있다.
미연마면의 산술 평균 거칠기(Ra)가 0.5㎛ 이하이면, 레이저광의 대부분이 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부의 면에서 반사되지 않고 유리 기판(10)의 내부로 투과해 버린다. 이에 반해, 미연마면의 거칠기(Ra)가 0.5㎛를 초과하면, 레이저광의 대부분이 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부의 면에서 반사되어 레이저 변위계로 수광되는 것을 확인했다. 또한, 거칠기(Ra)가 0.7㎛를 초과한 경우에는, 레이저광의 대부분이 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부에서 반사되어 레이저 변위계로 수광되는 것을 확인했다. 따라서, 코너컷부 및/또는 오리엔테이션 플랫부의 거칠기(Ra)가 0.5㎛를 초과하는 것을 필요로 하고, 0.7㎛를 초과하는 것이 보다 바람직한 것을 확인했다.
또한, 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부의 면의 거칠기가 지나치게 거칠면, 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부에 유리 가루 등의 입자가 부착되기 쉬워져, 유리 기판의 품질이 저하되는 경우가 있으므로, 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부의 거칠기의 상한값의 Ra가 1.5㎛인 것이 바람직하고, 1.2㎛인 것이 보다 바람직하다.
또한, 유리 기판(10)에 형성되는 오리엔테이션 플랫부는 1개소에 한정되는 것이 아니라 2개소 이상이어도 된다. 오리엔테이션 플랫부에 레이저광을 조사하여 위치 결정하는 경우, 2개소 이상의 오리엔테이션 플랫부를 사용하는 경우가 있기 때문이다.
또한, 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부의 면의 산술 평균 거칠기(Ra)를 0.5㎛ 초과라고 규정함으로써, 판 두께가 0.3mm 이하인 유리 기판이어도, 전술한 오검출을 방지할 수 있다.
그런데, 유리 기판(10)의 긴 변(10A, 10B) 및 짧은 변(10C, 10D)은 제1, 제2 마무리 지석(18A, 18B, 20A, 20B)인 부직포, 또는 레진 본드 지석에 의해 경면으로 모따기 가공된다.
즉, 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부는 유리 기판(10) 단부면보다 거칠기가 거칠어지도록 코너컷용 지석(16A, 16B)에 의해 연삭 가공된다. 이때에, 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부의 산술 평균 거칠기(Ra)와 유리 기판(10)의 단부면의 산술 평균 거칠기(Ra)의 차가 0.1㎛ 이상으로 되도록 상기 단부면을 모따기 가공하는 것이 바람직하다. 예를 들어, 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부의 면의 산술 평균 거칠기(Ra)가 0.6㎛인 경우에는, 유리 기판(10)의 단부면의 산술 평균 거칠기(Ra)가 0.5㎛ 이하로 되도록 마무리 지석(18A, 18B, 20A, 20B)의 재질 또는 입도를 선택한다.
이와 같이, 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부의 산술 평균 거칠기(Ra)와 유리 기판(10)의 단부면의 산술 평균 거칠기(Ra)의 차를 0.1㎛ 이상 갖게 함으로써, 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부와 상기 단부면의 경계부가 명확해진다.
유리 기판의 제품 번호 판정 장치에는, 휘도와 거칠기의 상관에 의해 오리엔테이션 플랫부의 치수, 형상을 측정하여 제품 번호 판정하는 장치가 있다. Ra의 차가 0.1㎛ 이상인 본 발명의 유리 기판(10)에 이 제품 번호 판정 장치를 사용한 경우, 유리 기판(10)의 상기 경계부가 명확하게 되어 있으므로, 유리 기판(10)의 제품 번호 판정을 정확하게 행할 수 있다.
또한, 유리 기판(10)의 단부면의 복수 개소(예를 들어 10개소)에 있어서, 각각의 개소의 산술 평균 거칠기(Ra)를 구하고, 각각의 산술 평균 거칠기(Ra)의 평균값이 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부의 산술 평균 거칠기(Ra)보다 0.1㎛ 이하로 되도록 상기 단부면을 모따기 가공해도 된다. 이 경우에도, 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부와 상기 단부면의 경계부가 명확해진다.
또한, 실시 형태에서는 택트 향상의 관점에서 코너컷용 지석(16A, 16B)을 설치한 예로 설명했지만, 모따기 지석(12A, 12B)을 코너컷용 지석(16A, 16B)과 동일 방향으로 사행 이동시켜 코너컷 가공 또는 오리엔테이션 플랫 가공해도 된다. 또한, 모든 코너부(C1 내지 C4)에 형성되는 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부의 면을 미연마면으로 하는 것이 아니라, 레이저광이 조사되는 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부의 면을 미연마면으로 하고, 나머지 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부의 면을 연마면으로 해도 된다.
10: 유리 기판
12A, 12B: 제1 모따기 지석
14A, 14B: 제2 모따기 지석
16A, 16B: 코너컷용 지석
18A, 18B: 제1 마무리 지석
20A, 20B: 제2 마무리 지석
22: 테이블
C1 내지 C4: 코너부

Claims (5)

  1. 2개의 주면과 4개의 단부면과 인접하는 2 단부면 사이에 코너컷부 및/또는 상기 코너컷부보다 크게 절삭 가공된 오리엔테이션 플랫부를 갖는 유리 기판이며, 상기 코너컷부 또는 오리엔테이션 플랫부의 산술 평균 거칠기(Ra)가 0.5㎛를 초과하는 것을 특징으로 하는 유리 기판.
  2. 제1항에 있어서, 상기 코너컷부 또는 상기 오리엔테이션 플랫부의 산술 평균 거칠기(Ra)가 1.5㎛ 이하인 유리 기판.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 코너컷부 또는 상기 오리엔테이션 플랫부의 거칠기가 상기 유리 기판의 상기 단부면의 거칠기보다 거칠고,
    상기 코너컷부 또는 상기 오리엔테이션 플랫부의 산술 평균 거칠기(Ra)와 상기 유리 기판의 상기 단부면의 산술 평균 거칠기(Ra)의 차가 0.1㎛ 이상인 유리 기판.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 오리엔테이션 플랫부가 상기 유리 기판의 인접하는 2 단부면 사이 중 적어도 1개소에 구비되어 있는 유리 기판.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 유리 기판의 판 두께가 0.3mm 이하인 유리 기판.
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015063415A (ja) * 2013-09-24 2015-04-09 日本電気硝子株式会社 ガラスフィルム、及びガラスフィルム積層体、並びにガラスフィルムの切断方法
JP6269954B2 (ja) 2014-07-11 2018-01-31 旭硝子株式会社 積層体の剥離装置及び剥離方法並びに電子デバイスの製造方法
JP6288184B2 (ja) * 2016-08-12 2018-03-07 旭硝子株式会社 ガラス基板およびガラス基板の製造方法
CN108319052B (zh) * 2018-01-31 2020-11-06 京东方科技集团股份有限公司 一种显示面板制作与检测方法
JP6948988B2 (ja) * 2018-06-26 2021-10-13 クアーズテック株式会社 フォトマスク用基板およびその製造方法

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0933875A (ja) * 1995-07-18 1997-02-07 Advanced Display:Kk 液晶表示装置用ガラス基板の整列移載方法
US5816897A (en) 1996-09-16 1998-10-06 Corning Incorporated Method and apparatus for edge finishing glass
JP3639277B2 (ja) * 1996-09-30 2005-04-20 Ｈｏｙａ株式会社 磁気記録媒体用ガラス基板、磁気記録媒体、及びそれらの製造方法
JPH10212134A (ja) * 1997-01-23 1998-08-11 Toshiba Glass Co Ltd 電子光学部品用ガラスおよびその製造方法
JPH11326856A (ja) * 1998-05-12 1999-11-26 Hitachi Ltd 液晶表示装置の製造方法および製造装置
JP3534115B1 (ja) * 2003-04-02 2004-06-07 住友電気工業株式会社 エッジ研磨した窒化物半導体基板とエッジ研磨したＧａＮ自立基板及び窒化物半導体基板のエッジ加工方法
JP2005010307A (ja) * 2003-06-17 2005-01-13 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光学素子
JP4784969B2 (ja) * 2004-03-30 2011-10-05 Ｈｏｙａ株式会社 マスクブランク用のガラス基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、反射型マスクブランクの製造方法、露光用マスクの製造方法、及び反射型マスクの製造方法
JP4650791B2 (ja) * 2005-08-17 2011-03-16 日本電気硝子株式会社 ディスプレイ用ガラス基板の処理方法
WO2008111364A1 (ja) * 2007-03-12 2008-09-18 Konica Minolta Opto, Inc. 光ピックアップ装置用の光学素子及び光ピックアップ装置
JP2008233046A (ja) * 2007-03-23 2008-10-02 Ngk Spark Plug Co Ltd センサ制御装置
JP4863168B2 (ja) * 2007-04-17 2012-01-25 日本電気硝子株式会社 フラットパネルディスプレイ用ガラス基板およびその製造方法
JP5029952B2 (ja) * 2007-09-06 2012-09-19 富士電機株式会社 ガラス基板およびその製造方法、ならびに当該ガラス基板を用いた磁気ディスク
JP2010092975A (ja) * 2008-10-06 2010-04-22 Hitachi Cable Ltd 窒化物半導体基板

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