KR20110091648A - 가요성 기판, 표시 소자의 제조 방법 및 표시 소자의 제조 장치 - Google Patents

가요성 기판, 표시 소자의 제조 방법 및 표시 소자의 제조 장치 Download PDF

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마사키 가토
도루 기우치
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Abstract

가요성 기판의 제1면에 격벽을 간이하게 만드는 것과 아울러, 가요성 기판 내의 거리 및 각도의 변화를 억제하는 표시 소자의 제조 장치 및 제조 방법을 제공하는 것을 과제로 한다. 표시 소자의 제조 장치는 제1면 및 그 반대면의 제2면을 가지는 가요성의 기판(FB)에 표시 소자를 형성하는 것에 의해, 가요성의 기판(FB)의 폭방향(Y 방향)과 교차하는 소정 방향(X 방향)으로 가요성의 기판(FB)을 반송하는 반송부(RR)와, 제1면에 표시 소자용의 제1 격벽을 형성하는 제1 격벽 형성부(10)와, 제2면에 제2 격벽을 형성하는 제2 격벽 형성부(15)를 구비한다.

Description

가요성 기판, 표시 소자의 제조 방법 및 표시 소자의 제조 장치{FLEXIBLE SUBSTRATE, METHOD FOR MANUFACTURING DISPLAY ELEMENT AND APPARATUS FOR MANUFACTURING DISPLAY ELEMENT}
본 발명은 발광 소자 또는 회로 소자 등을 형성하는 표시 소자의 제조 기술에 관한 것이다. 특히 나노 인프린트에 의해 격벽(隔璧; 뱅크)을 형성한 가요성 기판, 표시 소자를 제조하는 제조 기술에 관한 것이다.
표시 소자로서 액정 또는 유기 EL 등을 이용한 표시 매체가 넓게 이용되고 있다. 예를 들어 유기 EL 소자의 제조에 있어서는 전극층이나 유기 화합물층의 패터닝이 되어 있다. 이 패터닝을 행하는 방법으로서, 쉐도우 마스크를 통하여 유기 화합물을 증착하는 방법이나 잉크젯에 의해 유기 화합물을 도포하는 방법이 있다.
증착 장치는 균일한 막을 얻기 위해 기판과 증착원의 간격을 어느 정도 떼어 놓을 필요가 있어, 증착 장치 자체가 대형화되고, 증착 장치의 각 성막실(成膜室)의 배기(排氣)에 필요로 하는 시간도 장시간으로 되어 버렸다. 또한, 증착 장치는 기판을 회전시키는 구조이기 때문에, 대면적 기판을 목적으로 하는 증착 장치에는 한계가 있었다. 이 때문에, 특허 문헌 1에 개시된 바와 같이, 잉크젯에 의해 유기 화합물을 도포하는 연구 개발이 활발히 진행되고 있다.
잉크젯에 의해 유기 화합물을 도포할 때에는, 도포된 잉크가 특정의 영역으로부터 퍼지지 않게 격벽(뱅크)이 형성되는 것이 많다. 특허 문헌 1에서는 격벽과 격벽 사이에 잉크가 도포되어 있지만, 격벽의 제조에 대해 개시되어 있지 않다. 일반적으로 격벽은 포토 리소그래피 공정으로 제조되어 있다. 구체적으로, 격벽은 기판 상에 감광성을 가지는 합성 수지를 코팅하여 감광성 재료층(절연층)을 마련한 후, 패턴을 가지는 마스크를 노광 광으로 조명하고, 마스크를 투과한 노광 광에 의해 감광성 재료층을 노광한다. 그 다음에 현상 처리함으로써 격벽을 제조하고 있다.
또, 특허 문헌 1에서는 가요성의 기판을 이용하여 유기 EL을 제조하는 기술을 개시하지만, 1매씩을 제조하는 기술이다. 그러나 1매씩을 생산하는 것은 비용이 들기 때문에, 특허 문헌 2는 롤 형상의 가요성 기판을 이용하여 유기 EL을 제조하는 기술을 제안하고 있다.
선행 기술 문헌
특허 문헌
특허 문헌 1 : 미국 특허 7108369호 공보
특허 문헌 2 : 미국 특허 6919680호 공보
그러나 특허 문헌 2에 제안된 바와 같이 롤 형상의 가요성 기판을 이용하여 유기 EL을 제조하면 제조 비용은 저감시킬 수 있지만, 복수의 롤러 사이에 가요성 기판이 인장(引張)되면, 가요성 기판의 늘어남이 불균일하게 되어 버린다고 하는 결과를 초래한다. 그리고 가요성 기판의 반송(搬送) 중에 가요성 기판 내의 거리 및 각도가 점차 변화해 버리는 문제가 있었다.
그래서 가요성 기판의 제1면에 격벽을 간이하게 만드는 것과 아울러, 가요성 기판 내의 거리 및 각도의 변화를 억제하는 표시 소자용의 제조 장치 및 제조 방법을 제공한다.
제1 관점의 표시 소자의 제조 장치는 제1면 및 그 반대면의 제2면을 가지는 가요성의 기판에 표시 소자를 형성한다. 이 표시 소자의 제조 장치는 가요성 기판의 폭방향과 교차하는 소정 방향으로 가요성의 기판을 반송하는 반송부와; 제1면에 표시 소자용의 제1 격벽을 형성하는 제1 격벽 형성부와; 제2면에 제2 격벽을 형성하는 제2 격벽 형성부를 구비한다.
제2 관점의 표시 소자의 제조 방법은 제1면 및 그 반대면의 제2면을 가지는 가요성의 기판에 표시 소자를 형성한다. 표시 소자의 제조 방법은 가요성 기판의 폭방향과 교차하는 소정 방향으로 가요성의 기판을 반송하는 반송 공정과; 제1면에 표시 소자용의 제1 격벽을 형성하는 제1 격벽 형성 공정과; 제2면에 제2 격벽을 형성하는 제2 격벽 형성 공정을 구비한다.
제3 관점의 가요성 기판은 제1면 및 그 반대면의 제2면을 가진다. 가요성 기판은제1면에 형성된 표시 소자용의 제1 격벽과; 제2면에 형성된 제2 격벽을 구비한다.
제4 관점의 표시 소자의 제조 장치는 제1면 및 그 반대면의 제2면을 가지는 가요성의 기판에 표시 소자를 형성한다. 이 표시 소자의 제조 장치는 제1면에 형성되는 제1 격벽 사이의 소정 위치에 가공을 실시하는 가공부와; 가공부와 대향해서 배치되어 제2면에 형성된 제2 격벽과 맞물리는 형상을 가지는 반송부를 구비한다.
제5 관점의 표시 소자의 제조 방법은 제1면 및 그 반대면의 제2면을 가지는 가요성의 기판에 표시 소자를 형성한다. 표시 소자의 제조 방법은 제1면에 표시 소자용의 제1 격벽을 형성하는 제1 격벽 형성 공정과; 제2면에 제2 격벽을 형성하는 제2 격벽 형성 공정과; 제1 격벽 사이의 소정 위치에 가공을 실시하는 가공 공정을 가진다. 그리고 가공 공정은 제2 격벽과 맞물리는 형상을 가지는 반송부와 가요성의 기판이 접하는 범위에서 가공을 실시한다.
제6 관점의 표시 소자의 제조 방법은 제1면에 형성된 표시 소자용의 제1 격벽과 제1면의 반대면인 제2면에 형성된 제2 격벽을 가지는 가요성의 기판에 표시 소자를 형성한다. 이 표시 소자의 제조 방법은 제1 격벽 사이의 소정 위치에 가공을 실시하는 가공 공정을 가지고, 가공 공정은 제2 격벽과 맞물리는 형상을 가지는 반송부와 가요성의 기판이 접하는 범위에서 가공을 실시한다.
본 발명의 표시 소자의 제조 방법 또는 제조 장치는 제2 격벽이 형성되어 있기 때문에 가요성의 기판이 신축(伸縮)되어 있어도 그 신축이 교정된다. 이로 인해, 신축이 교정된 가요성의 기판에 대해 가공을 실시할 수 있기 때문에, 고정밀도로 표시 소자가 형성된다. 특히, 다면취(多面取) 패널이나 대형 패널로 되면 될수록, 가요성의 기판이 신축되기 쉽기 때문에 효과는 크다.
도 1은 유기 EL 소자용의 제조 장치(100)로 제조된 유기 EL 소자(50)의 개념도이다.
도 2의 (a)는 유기 EL 소자(50)의 표시 영역(51)의 확대 상면도이며, (b) 및 (c)는 (a)의 b-b 단면도 및 c-c 단면도이다.
도 3은 유기 EL 소자의 제조 장치(100)의 구성을 나타낸 개략도이다.
도 4의 (A)는 인프린트 롤러(10)와 제1 격벽(BA)이 형성된 시트 기판(FB)의 제1면(FB1)을 나타낸 도면이고, (B)는 전사 롤러(15)와 제2 격벽(BB; 주변용 제2 격벽(BB1)과 중앙용 제2 격벽(BB2))이 형성된 시트 기판(FB)의 제2면(FB2)을 나타낸 도면이다.
도 5는 제1 격벽(BA)을 형성하는 미세 인프린트용 몰드(11)를 나타낸 도면이다.
도 6은 제2 격벽(BB; 주변용 제2 격벽(BB1)과 중앙용 제2 격벽(BB2))을 형성하는 전사 롤러(15)를 나타낸 도면이다.
도 7은 시트 기판(FB)이 반송 롤러(RR)로 반송되는 상태를 나타낸 반송 방향의 확대 단면도이다.
도 8은 시트 기판(FB)이 반송 롤러(RR)로 반송되는 상태를 나타낸 시트 기판(FB)의 폭방향의 확대 단면도이다.
도 9는 유기 EL 소자의 제조 장치(100) 동작의 개략 플로차트이다.
도 10의 (A)는 인프린트 롤러(10)와 제1 격벽(BA)이 형성된 시트 기판(FB)의 제1면(FB1)을 나타낸 도면이고, (B)는 전사 롤러(15)와 제2 격벽(BB; 그리드 격벽(BB3))이 형성된 시트 기판(FB)의 제2면(FB2)을 나타낸 도면이다.
도 11은 제2 격벽(BB; 그리드 격벽(BB3))을 형성하는 전사 롤러(15)를 나타낸 도면이다.
도 12의 (A)는 인프린트 롤러(10)와 전사 롤러(15)를 반송 방향에 별개로 배치한 예이고, (B)는 자외선 경화 인프린트 롤러(41)와 전사 롤러(15)를 반송 방향에 별개로 배치한 예이다.
도 13은 반송 롤러(RR)의 변형예이다.
본 실시 형태로 설명하는 표시 소자의 제조 장치는 유기 EL 소자, 액정 표시 소자 또는 전계 방출 디스플레이에 적용할 수 있는 장치이다. 그 중에서 대표하여, 유기 EL 소자의 구조, 유기 EL 소자의 제조 장치에 대해 설명한다.
<전계 효과형 트랜지스터의 유기 EL 소자(50)>
<<유기 EL 소자(50)의 구조>>
도 1은 유기 EL 소자용의 제조 장치(100)로 제조된 유기 EL 소자(50)의 개념도이다. 도 1에 나타난 바와 같이, 시트 기판(FB)에는 유기 EL 소자(50)의 표시 영역(51)이 배치되고, 그 표시 영역(51)의 외주(外周) 부분에는 신호선 구동 회로(55) 및 주사 구동 회로(57)가 마련되어 있다. 신호선 구동 회로(55)에는 소스 버스 라인(SBL)이 접속되어 있고, 그 소스 버스 라인(SBL)은 개개의 유기 EL 소자(50)에 배선되어 있다. 또 주사 구동 회로(57)에는 게이트 버스 라인(GBL)이 접속되어 있고, 그 게이트 버스 라인(GBL)은 개개의 유기 EL 소자(50)에 배선되어 있다. 또, 도시하지 않은 공통 전극 등도 유기 EL 소자(50)에는 배선되어 있다.
유기 EL 소자(50)의 표시 영역(51)은 복수의 화소 전극(P)을 가지고 있고, 예를 들어 각각이 R(적), G(녹) 및 B(청)를 발광한다. 이 화소 전극(P)은 박막 트랜지스터로 스위칭된다. 박막 트랜지스터는 게이트 전극(G), 소스 전극(S) 및 드레인 전극(D)을 가지고 있다. 소스 전극(S)과 드레인 전극(D)의 사이에는 유기 반도체층(OS)이 형성되어 있다.
도 2(a)는 유기 EL 소자(50)의 표시 영역(51)의 확대 상면도이며, 도 2(b) 및 (c)는 도 2(a)의 b-b 단면도 및 c-c 단면도이다. 이 실시 형태에서는 유기 EL 소자(50)는 보텀 컨택트형으로 설명하지만, 이하에 설명하는 실시 형태는 탑컨택트형에도 적용할 수 있다.
도 2(b)에 나타난 바와 같이 가요성 시트 기판(FB) 상에 게이트 전극(G)이 형성되어 있다. 그 게이트 전극(G) 상에 절연층(I)이 형성되어 있다. 절연층(I) 상에 소스 버스 라인(SBL)의 소스 전극(S)이 형성됨과 아울러, 화소 전극(P)과 접속한 드레인 전극(D)이 형성된다. 소스 전극(S)과 드레인 전극(D)의 사이에는 유기 반도체층(OS)이 형성된다. 이것에서 전계 효과형 트랜지스터가 완성하게 된다. 또, 화소 전극(P) 상에는 도 2(b) 및 (c)에 나타난 바와 같이, 발광층(IR)이 형성되고, 그 발광층(IR) 상에는 투명 전극(ITO)이 형성된다.
도 2(b) 및 (c)로부터 이해되는 바와 같이, 시트 기판(FB)에는 제1 격벽(BA; 뱅크)이 형상(形狀)되어 있다. 그리고 도 2(c)에 나타난 바와 같이 소스 버스 라인(SBL)이 제1 격벽(BA) 사이에 형성되어 있다. 이와 같이, 제1 격벽(BA)이 존재함으로써 소스 버스 라인(SBL)이 고정밀도로 형성됨과 아울러, 화소 전극(P) 및 발광층(IR)도 정확하게 형성되어 있다. 또한, 도 2(b) 및 (c)에서는 도시되어 있지 않지만 게이트 버스 라인(GBL)도 소스 버스 라인(SBL)과 동일하게 제1 격벽(BA) 사이에 형성되어 있다. 이와 같은 유기 EL 소자(50)를 양산적으로 제조하는 제조 장치를 이하에 설명한다.
<<실시 형태 1 : 유기 EL 소자의 제조 장치>>
유기 EL 소자(50)를 제조하기 위해, 유기 EL 소자의 제조 장치(100)는 반송 롤러(RR) 상에서 제1 격벽(BA)을 형성하고, 반송 롤러(RR) 상에서 액적(液滴) 도포 장치에 의해 게이트 버스 라인(GBL), 소스 버스 라인(SBL), 및 화소 전극(P) 등의 배선 전극을 고정밀도로 형성한다. 이와 같은 유기 EL 소자(50)를 양산적으로 제조하는 유기 EL 소자의 제조 장치(100)를 이하에 설명한다.
도 3은 가요성의 시트 기판(FB)에, 화소 전극(P) 및 발광층(IR) 등을 가지는 유기 EL 소자(50)를 제조하는 유기 EL 소자의 제조 장치(100)의 구성을 나타낸 개략도이다. 또한, 연속한 제조 장치이지만 지면(紙面)의 사정으로 상하 2단으로 나누어 도시하고 있다.
유기 EL 소자의 제조 장치(100)는 롤 형상으로 감겨진 가요성의 시트 기판(FB)을 송출하기 위한 공급 롤(RL)을 구비하고 있다. 시트 기판(FB)은 예를 들어 길이가 200m, 폭이 2m인 크기이다. 공급 롤(RL)이 소정 속도의 회전을 행하는 것에 의해, 시트 기판(FB)이 반송 방향인 X축 방향에 보내진다. 또, 유기 EL 소자의 제조 장치(100)는 복수 개소에 돌기를 가지는 반송 롤러(RR)를 구비하고 있고, 이 반송 롤러(RR)가 회전하는 것에 의해서도 시트 기판(FB)이 X축 방향으로 반송된다.
시트 기판(FB)은 격벽 형성 공정 61, 전극 형성 공정 62, 배선 전극의 가공 공정 63, 및 발광층 형성 공정 64를 통과하는 것에 의해 가공 처리되어, 유기 EL 소자(50)가 완성된다. 이하는 각각의 공정을 순서를 따라 설명한다.
<격벽 형성 공정 61>
공급 롤(RL)로부터 송출된 시트 기판(FB)은 먼저 시트 기판(FB)에 제1 격벽(BA)을 형성하는 격벽 형성 공정 61로 진행한다. 격벽 형성 공정 61에는 인프린트 롤러(10) 및 전사 롤러(15)가 대향해서 마련되어 있다. 인프린트 롤러(10)의 롤러 표면은 경면(鏡面) 마감되어 있고, 그 롤러 표면에 SiC, Ta 등의 재료로 구성된 미세 인프린트용 몰드(11)가 장착되어 있다. 미세 인프린트용 몰드(11)는 얼라이먼트 마크(AM)용, 박막 트랜지스터의 배선용 및 화소 전극용의 요철 패턴(CC; 도 5를 참조)을 형성하고 있다. 전사 롤러(15)의 일부에는 제2 격벽(BB; 도 4(B) 참조)을 형성하기 위한 요철 패턴(DD; 도 6 참조)이 형성되어 있다.
격벽 형성 공정 61은 인프린트 롤러(10)로 시트 기판(FB)의 제1면을 프레스하여 박막 트랜지스터의 배선용 및 화소 전극용의 제1 격벽(BA)을 형성하는 것과 아울러, 시트 기판(FB)의 폭방향인 Y축 방향의 양측에 얼라이먼트 마크(AM; 도 3을 참조)을 형성한다. 또, 격벽 형성 공정 61은 전사 롤러(15)로 시트 기판(FB)의 제2면을 프레스하여 제2 격벽(BB; 도 4(B) 참조)을 형성한다. 프레스하여 형성된 제1 격벽(BA) 및 제2 격벽(BB)이 일단 소성(塑性)하여 형상을 유지하도록, 인프린트 롤러(10) 또는 전사 롤러(15)가 시트 기판(FB)을 글래스 전이점까지 가열한다.
유기 EL 소자의 제조 장치(100)는 주제어부(90)를 가지고 있고, 주제어부(90)는 인프린트 롤러(10) 또는 전사 롤러(15)의 회전을 제어하고, 제1 격벽(BA) 및 제2 격벽(BB)을 형성하는 것과 아울러 시트 기판(FB)을 반송한다. 또한, 도 3에서 반송 롤러(RR)는 주제어부(90)와 접속되어 있지 않지만, 주제어부(90)는 반송 롤러(RR)의 회전을 피드 포워드 제어 또는 피드백 제어로 시트 기판(FB)의 반송을 행해도 좋다.
<전극 형성 공정 62>
시트 기판(FB)은 추가로 X축 방향으로 나아가면 전극 형성 공정 62로 진행한다. 전극 형성 공정 62에서는 박막 트랜지스터(TFT)를 형성한다. 전극 형성 공정 62에는 게이트용의 액적 도포 장치(20), 절연층 배선용의 액적 도포 장치(21), 추가로 소스ㆍ드레인용 및 화소 전극용의 액적 도포 장치(22; 소스ㆍ드레인용 액적 도포 장치(22)라고 함)가 배치되어 있다. 이러한 액적 도포 장치는 잉크젯 방식 또는 디스펜서 방식을 채용할 수 있다. 또 이러한 액적 도포 장치는 시트 기판(FB)에 있어서 수직으로 Z방향에 액적 도포하는 방식이다. 잉크젯 방식으로서는 대전(帶電) 제어 방식, 가압 진동 방식, 전기 기계 변환식, 전기열 변환 방식, 정전 흡인 방식 등을 들 수 있다. 액적 도포법은 재료의 이용에 헛됨이 적고, 또한 원하는 위치에 원하는 양의 재료를 적확하게 배치할 수 있다.
또, 유기 EL 소자의 제조 장치(100)는 게이트용의 액적 도포 장치(20), 절연층 배선용의 액적 도포 장치(21) 및 소스ㆍ드레인용 액적 도포 장치(22)의 상류(上流)에, 각각 얼라이먼트 카메라(CA1 내지 CA3)를 가지고 있다. 얼라이먼트 카메라(CA1 내지 CA3)는 얼라이먼트 마크(AM; 도 3 참조)를 촬상하고, 그 촬상 결과에 기초하여 게이트용의 액적 도포 장치(20), 절연층 배선용의 액적 도포 장치(21) 및 소스ㆍ드레인용 액적 도포 장치(22)가 메탈 잉크 또는 전기 절연성 잉크를 도포한다.
게이트용의 액적 도포 장치(20)은 시트 기판(FB)이 반송 롤러(RR)의 외주면을 따르고 있는 영역에 있어서 Z방향으로부터 시트 기판(FB)에 메탈 잉크를 도포하고 있다. 그리고 열처리 장치(BK)로 열풍 또는 원적외선 등의 방사열 등에 의해 메탈 잉크를 건조 또는 소성시킨다. 이로 인해 게이트 전극(G)이 형성된다.
도 3에서 나타난 바와 같이 시트 기판(FB)이 반송 방향으로 나아가 반송 롤러(RR)로 향하면, 시트 기판(FB)이 반송 롤러(RR)에 진입하는 부위에는 시트 기판(FB)을 적당히 누르기 위한 소형의 전부(前部) 롤러(SR1)를 구비하고, 시트 기판(FB)이 반송 롤러(RR)로부터 배출하는 부위에도 소형의 후부(後部) 롤러(SR2)를 구비한다. 전부 롤러(SR1) 및 후부 롤러(SR2)는 시트 기판(FB)이 반송 롤러(RR)의 외주면을 따르고 있는 영역을 늘리고 있다. 소형의 전부 롤러(SR1)가 시트 기판(FB)을 폭방향으로 횡단하도록 재치(載置)하는데 대하여, 소형의 후부 롤러(SR2)는 시트 기판(FB)의 외연(外緣; 단부(端部))을 적당히 눌러서 시트 기판(FB)의 굴곡을 제거하고 있다. 게이트용의 액적 도포 장치(20)가 도포한 메탈 잉크가 마르지 않기 때문에 소형의 후부 롤러(SR2)는 시트 기판(FB)의 외연만을 누르고 있다. 이하의 공정에서도 반송 롤러(RR)의 전후에는 전부 롤러(SR1) 및 후부 롤러(SR2)가 적절히 배치되어 있다.
절연층용의 액적 도포 장치(21)는 시트 기판(FB)이 반송 롤러(RR)의 외주면을 따르고 있는 영역에 있어서 시트 기판(FB)에 전기 절연성 잉크를 도포하고 있다. 그 후, 열처리 장치(BK)로 열풍 또는 원적외선 등의 방사열 등에 의해 전기 절연성 잉크가 건조 또는 소성된다. 이로 인해 게이트 전극(G) 상에 절연층(I)이 형성된다.
다음에, 소스ㆍ드레인용의 액적 도포 장치(22)는 시트 기판(FB)이 반송 롤러(RR)의 외주면을 따르고 있는 영역에 있어서 Z방향으로 메탈 잉크를 도포한다. 그리고 열처리 장치(BK)로 열풍 또는 원적외선 등의 방사열 등에 의해 메탈 잉크를 건조 또는 소성시킨다. 이로 인해 소스 전극(S), 드레인 전극(D) 및 화소 전극(P)가 형성된다.
<배선 전극의 가공 공정 63>
다음에, 서로 연결된 소스 전극(S)과 드레인 전극(D)을 절단 장치(30)로 절단한다. 절단 장치(30)은 레이저 가공 장치 또는 다이싱 소우 장치이다. 소스 전극(S)과 드레인 전극(D)의 절단 간격은 박막 트랜지스터의 성능을 결정하기 때문에 고정밀도로 절단 처리할 필요가 있다. 이 때문에, 시트 기판(FB)이 반송 롤러(RR)의 외주면을 따르고 있는 영역에 있어서 가공되어 있다. 특히 소스 전극(S)과 드레인 전극(D)의 간격은 정밀도가 요구되기 때문에 시트 기판(FB)이 반송 롤러(RR)에 각도 90˚정도 접해 있다. 소스 전극(S)과 드레인 전극(D)의 간격, 이른바 채널 길이는 3㎛ ~ 20㎛ 폭으로 절단된다.
다음에, 유기 반도체의 액적 도포 장치(23)는 절단 처리한 소스 전극(S)과 드레인 전극(D)의 채널 길이 사이의 스위칭부에 유기 반도체 잉크를 도포한다. 유기 반도체의 액적 도포 장치(23)는 시트 기판(FB)이 반송 롤러(RR)의 외주면을 따르고 있는 영역에 있어서 Z방향으로부터 유기 반도체 잉크를 도포한다. 그리고 열처리 장치(BK)로 열풍 또는 원적외선 등의 방사열 등에 의해 유기 반도체 잉크를 건조 또는 소성시킨다. 이러한 처리로, 도 2(b)에 나타난 유기 반도체층(OS)이 형성된다.
유기 EL 소자의 제조 장치(100)는 절단 장치(30) 및 유기 반도체의 액적 도포 장치(23)의 상류에는 각각 얼라이먼트 카메라(CA4 또는 CA5)를 가지고 있다. 얼라이먼트 카메라(CA4 또는 CA5)는 얼라이먼트 마크(AM; 도 3 참조)를 촬상하고, 그 촬상 결과에 기초하여 절단 장치(30)에 의해 절단하고, 또는 유기 반도체의 액적 도포 장치(23)의 유기 반도체 잉크를 도포한다.
이상과 같이 하여, 인쇄 기술이나 액적 도포법 기술을 활용하여 박막 트랜지스터 등을 형성할 수 있다. 인쇄 기술만이나 액적 도포법 기술만으로는 잉크의 번짐이나 퍼짐 때문에 정밀도 좋게 박막 트랜지스터 등을 할 수 없지만, 격벽 형성 공정 61에 의해 제1 격벽(BA)이 형성되어 있기 때문에 잉크의 번짐이나 퍼짐을 방지할 수 있다. 또, 제2 격벽(BB)이 형성되어 있기 때문에 반송 롤러(RR)의 외주면에서 시트 기판(FB)의 신축이 교정된 상태에서 잉크 등이 액적되기 때문에 정밀도 좋게 박막 트랜지스터 등이 형성된다.
<발광층 형성 공정 64>
유기 EL 소자의 제조 장치(100)는 화소 전극(P) 상에 유기 EL 소자의 발광층(IR)의 형성 공정을 계속해서 행한다. 발광층 형성 공정 64에서는 발광층용의 액적 도포 장치(24)를 이용한다.
발광층(IR)에는 호스트 화합물과 인광성 화합물(인광 발광성 화합물이라고도 함)이 함유된다. 호스트 화합물은 발광층(IR)에 함유되는 화합물이다. 인광성 화합물은 여기(勵起) 3중항으로부터의 발광이 관측되는 화합물이며, 실온에 있어서 인광 발광한다.
적색 발광층용의 액적 도포 장치(24R)는 R용액을 화소 전극(P) 상에 도포하고, 건조 후의 두께 100nm로 되도록 성막을 행한다. R용액은 호스트재(材)의 폴리비닐칼바졸(PVK)에 적 도펀트재를 1, 2-디클로로에탄 중에 용해한 용액으로 한다.
계속해서, 녹색 발광층용의 액적 도포 장치(24G)는 G용액을 화소 전극(P) 상에 도포한다. G용액은 호스트재 PVK에 녹 도펀트재를 1, 2-디클로로 에탄 중에 용해한 용액으로 한다.
또한, 청색 발광층용의 액적 도포 장치(24B)는 B용액을 화소 전극(P) 상에 도포한다. B용액은 호스트재 PVK에 청 도펀트재를 1, 2-디클로로 에탄 중에 용해한 용액으로 한다.
그 후, 열처리 장치(BK)로 열풍 또는 원적외선 등의 방사열 등에 의해 발광층 용액을 건조하여 경화시킨다. 발광층(IR)의 면적은 도포 범위가 배선 전극에 비해 넓지만, 시트 기판(FB)의 신축의 교정을 위해 시트 기판(FB)이 반송 롤러(RR)의 외주면을 따른 영역에서 R용액, G용액 및 B용액이 도포된다.
다음에, 절연층용의 액적 도포 장치(21)는 폴리이미드계 수지 또는 우레탄계 수지의 전기 절연성 잉크를, 시트 기판(FB)이 반송 롤러(RR)의 외주면을 따른 상태에서 게이트 버스 라인(GBL) 또는 소스 버스 라인(SBL)의 일부에 도포한다. 그리고 열처리 장치(BK)로 열풍 또는 원적외선 등의 방사열 등에 의해 전기 절연성 잉크를 건조하여 경화시킨다. 이와 같이 하여 게이트 절연층(I)이 형성된다.
그 후, 투명 전극용의 액적 도포 장치(25)는 적색, 녹색 및 청색 발광층 위에 ITO(Indium Tin Oxide 인듐 주석 산화물) 잉크를 도포하는 것에 의해 투명 전극층(ITO)을 형성한다. ITO 잉크는 산화 인듐(In2O3)에 수%의 산화 주석(SnO2)을 첨가한 화합물이며, 그 전극은 투명하다. 또, IDIXO(In2O3-ZnO) 등 비정질의 재료를 이용하여 투명 전극층(ITO)을 제작해도 좋다. 투명 전극층(ITO)은 투과율이 90% 이상인 것이 바람직하다. 그리고 열처리 장치(BK)로 열풍 또는 원적외선 등의 방사열 등에 의해 ITO 잉크를 건조하여 경화시킨다. 투명 전극층(ITO)의 형상은 도 2에 나타낸 바와 같이 발광층(IR)의 상부에 형성되고, 투명 전극층(ITO)와 투명 전극층(ITO)을 연결하는 배선 전극도 동시에 형성할 필요가 있기 때문에, 고정밀도로 액적 도포하는 것이 바람직하다. 이 때문에 본 실시 형태에서는 시트 기판(FB)이 반송 롤러(RR)의 외주면을 따르고 있는 영역에 있어서 Z방향으로부터 ITO 잉크를 도포한다.
또, 발광층 형성 공정 64에서 이용하는 발광층용의 액적 도포 장치(24) 및 투명 전극용의 액적 도포 장치(25)는 모두 잉크젯 방식 또는 디스펜서 방식을 채용할 수 있다.
유기 EL 소자의 제조 장치(100)는 발광층용의 액적 도포 장치(24), 절연층용의 액적 도포 장치(21) 및 투명 전극용의 액적 도포 장치(25)의 상류에, 각각 얼라이먼트 카메라(CA6, CA7 또는 CA8)를 가지고 있다. 얼라이먼트 카메라(CA6 내지 CA8)는 얼라이먼트 마크(AM; 도 3 참조)를 촬상하고, 그 촬상 결과에 기초하여 잉크를 도포한다.
도 3에서 설명한 유기 EL 소자의 제조 장치(100)는 도 1 또는 도 2의 유기 EL 소자(50)를 제조할 수 있지만, 유기 EL 소자에 추가로 정공 수송층(正孔 輸送層) 및 전자 수송층을 마련하는 경우가 있다. 이러한 층도 인쇄 기술이나 액적 도포법 기술을 활용하고, 이들을 마련하기 위한 공정을 유기 EL 소자의 제조 장치(100)에 추가하면 좋다.
<격벽 형성 공정 61을 거친 시트 기판(FB)>
도 4(A)는 격벽 형성 공정 61에서 인프린트 롤러(10)에 의해 제1 격벽(BA)이 형성된 시트 기판(FB)의 제1면(FB1; 표면)을 나타낸 도면이다. 도 4(B)는 전사 롤러(15)에 의해 제2 격벽(BB)이 형성된 시트 기판(FB)의 제2면(FB2; 이면)을 나타낸 도면이다.
도 4(A)에 나타나는 시트 기판(FB)의 제1면(FB1)은 폭방향인 Y축 방향으로 유기 EL 소자(50)의 제1 격벽(BA)을 2열 줄지어 형성하고 있다. 즉, 표시 영역(51)이 폭방향으로 2열 줄지어 있고, 그 폭방향의 양측에 신호선 구동 회로(55)가 배치되어 있다. 시트 기판(FB)의 제1면(FB1)의 양측에는 얼라이먼트 마크(AM)가 소정의 간격으로 형성되어 있다. 표시 영역(51)의 X축 방향의 양측에는 주사 구동 회로(57)가 형성되어 있다.
도 5는 도 4(A)에 나타나는 제1 격벽(BA)을 형성하는 미세 인프린트용 몰드(11)를 나타낸 도면이다. 미세 인프린트용 몰드(11)에는 박막 트랜지스터의 배선용 및 화소 전극용의 요철 패턴(CC)이 형성되어 있다. 시트 기판(FB)에 형성되는 제1 격벽(BA)은 반전하여 형성되기 때문에, 제1 격벽(BA)에 대응하는 미세 인프린트용 몰드(11)의 요철 패턴(CC)은 오목하다.
도 4(B)에서 나타나는 시트 기판(FB)의 제2면(FB2)에는 제2 격벽(BB; 주변용 제2 격벽(BB1)과 중앙용 제2 격벽(BB2))이 형성되어 있다. 시트 기판(FB)의 폭방향의 양측에 주변용 제2 격벽(BB1)이 반송 방향으로 줄지어 형성되어 있다. 이 주변용 제2 격벽(BB1)은 X축 방향으로 연장하는 홈과 Y축 방향으로 연장하는 홈으로 이루어지고, 시트 기판(FB)의 양단의 강도를 유지하기 위해, Y축 방향의 홈이 X축 방향의 홈과 교차하는 위치에서 멈추어 T자 형상으로 형성되어 있다. 또 시트 기판(FB)의 폭방향의 중앙에 형성된 중앙용 제2 격벽(BB2)은 X축 방향으로 연장하는 홈과 Y축 방향으로 연장하는 홈이 교차하는 십자 모양의 형상이다.
예를 들어, Y축 방향으로 십자 형상의 홈과 T자 형상의 홈은 거리(W3)만큼 떨어져서 형성되어 있다. 또 X축 방향으로 T자 형상의 홈과 T자 형상의 홈은 거리(L3), 또는 십자 형상의 홈과 십자 형상의 홈은 거리(L3)만큼 떨어져서 형성되어 있다.
제2면(FB2)에 형성되는 제2 격벽(BB)의 홈은 제1면(FB1)에 형성되는 표시 영역(51)의 제1 격벽(BA)과 겹치지 않는 영역에 형성되는 것이 바람직하다. 표시 영역(51)의 제1 격벽(BA)의 형상 또는 치수에 영향을 주지 않게 하기 위함이다.
도 6은 도 4(B)에 나타나는 제2 격벽(BB)을 형성한 전사 롤러(15)를 나타낸 도면이다. 전사 롤러(15)에는 제2 격벽(BB)용의 요철 패턴(DD)이 형성되어 있다. 시트 기판(FB)에 형성되는 제2 격벽(BB)은 반전하여 형성되기 때문에, 제2 격벽(BB)에 대응하는 전사 롤러(15)의 요철 패턴(DD)은 돌기가 형성되어 있다.
전사 롤러(15)의 요철 패턴(DD)의 돌기는 도 4(B)에 대응하도록, Y축 방향으로 십자 형상의 돌기와 T자 형상의 돌기가 거리(W3)만큼 떨어져서 형성되어 있다. 또 X축 방향으로 T자 형상의 돌기와 T자 형상의 돌기는 거리(L3), 또는 십자 형상의 돌기와 십자 형상의 돌기는 거리(L3)만큼 떨어져서 형성되어 있다. 또, 요철 패턴(DD)의 돌기 선단(先端)은 역U자 또는 역V자의 형상이 바람직하다.
<시트 기판(FB)와 반송 롤러(RR)>
도 7은 시트 기판(FB)이 반송 롤러(RR)로 반송되는 상태를 나타낸 반송 방향의 확대 단면도이다. 도 8은 시트 기판(FB)이 반송 롤러(RR)로 반송되는 상태를 나타낸 시트 기판(FB)의 폭방향의 확대 단면도이다. 예를 들어 도 7 및 도 8은 도 3에서 나타난 전극 형성 공정 62의 반송 롤러(RR)이다.
도 7 및 도 8에 있어서, 시트 기판(FB)은 예를 들어 두께(H1)가 100㎛ 정도이며 수지 필름으로 구성되어 있다. 구체적으로, 시트 기판(FB)으로서 폴리에틸렌 수지, 폴리프로필렌 수지, 폴리에스테르 수지, 에틸렌 비닐 공중합체 수지, 폴리염화 비닐 수지, 셀룰로오스 수지, 폴리아미드 수지, 폴리이미드 수지, 폴리카보네이트 수지, 폴리스틸렌 수지, 아세트산 비닐 수지 등이 이용된다.
시트 기판(FB)의 제1면(FB1)에는 미세 인프린트용 몰드(11; 도 5 참조)에 의해 형성된 제1 격벽(BA)이 형성되어 있다. 제1 격벽(BA)의 단차(段差; H2)는 약 1㎛ 내지 3㎛이다. 제2면(FB2)에는 전사 롤러(15; 도 6 참조)에 의해 형성된 제2 격벽(BB)이 형성되어 있다. 제2 격벽(BB)의 단차(H3)는 약 10㎛ 내지 70㎛이다. 즉, 제2 격벽(BB)의 단차(H3)는 제1 격벽(BA)의 단차(H2)의 약 10배 내지 60배로 되고, 제2 격벽(BB)의 단차(H3)는 제1 격벽(BA)의 단차(H2)보다 훨씬 크다. 이것은 제2 격벽(BB)의 단차(H3)가 시트 기판(FB)의 신축을 교정하기 위함이다.
또 제2 격벽(BB)의 단차(H3)는 시트 기판(FB)의 두께(H1)와 비교해서, 약 1/10배 내지 2/3배이다. 제2 격벽(BB)의 단차(H3)가 시트 기판(FB)의 두께(H1)의2/3배 이상이면 제2 격벽(BB) 부근이 약해져 버리기 때문이다. 한편, 제2 격벽(BB)의 단차(H3)가 시트 기판(FB)의 두께(H1)의 약 1/10배 이상이 아니면 시트 기판(FB)의 신축을 교정하기 어렵기 때문이다.
반송 롤러(RR)의 외주에는 돌기(PJ)가 형성되어 있다. 이 돌기(PJ)의 형상은 도 4(B)에서 도시된 제2 격벽(BB)의 홈에 들어간 형상이다. 반송 롤러(RR)의 외주면은 도 6에 나타낸 전사 롤러(15)의 외주면과 동일한 형상이다. 즉, 반송 롤러(RR)의 축 방향의 양측에 주변용의 T자 형상의 돌기(PJ)가 반송 방향으로 줄지어 형성되어 있다. 또 반송 롤러(RR)의 축 방향의 중앙에 중앙용의 십자 형상의 돌기(PJ)가 반송 방향으로 줄지어 형성되어 있다. 반송 롤러(RR)의 Y축 방향으로 십자 형상의 돌기와 T자 형상의 돌기는 거리(W3)만큼 떨어져서 형성되어 있다. 또 X축 방향으로 T자 형상의 돌기와 T자 형상의 돌기는 거리(L3), 또는 십자 형상의 돌기와 십자 형상의 돌기는 거리(L3)만큼 떨어져서 형성되어 있다.
또한 반송 롤러(RR)의 돌기(PJ)는 전사 롤러(15)의 요철 패턴(DD)의 돌기보다 치수적으로 다소 작은 것이 바람직하다. 다소의 위치 어긋남이 생겨도 제2 격벽(BB)의 홈에 돌기(PJ)가 맞물릴 수 있기 때문이다. 또, 반송 롤러(RR)의 돌기(PJ)는 시트 기판(FB)의 신축을 교정할 수 있는 정도의 크기이면 좋다. 또한, 전사 롤러(15)의 요철 패턴(DD)의 돌기 및 반송 롤러(RR)의 돌기(PJ)의 형상은 각뿔 형상, 즉 역V자 형상으로 도시되어 있지만, 역U자 형상이어도 좋다.
시트 기판(FB)은 예를 들어 롤 길이가 200m, 폭이 2m인 크기이다. 이 시트 기판(FB)이 반송될 때 시트 기판(FB)에 적당한 장력을 가하여 시트 기판(FB)에 주름이 생기지 않도록 하고 있다. 그러나 시트 기판(FB)이 제조될 때에 두께(H1)가 1 ~ 2퍼센트 부분적으로 다른 경우가 있다. 예를 들어 도 8에 있어서 영역(AR1)의 두께가 100㎛이고 영역(AR2)의 두께가 102㎛인 경우이다. 그러면, 시트 기판(FB)에 장력을 걸었을 때에, 영역(AR1)과 영역(AR2)에서 X축 방향 또는 Y축 방향으로 수백㎛ 내지 수mm정도 시트 기판(FB)의 신축 차가 생겨 버리는 일이 있다. 또, 도 3에서 나타난 바와 같이 복수의 가공 공정을 거치는 것에 의해 시트 기판(FB)이 신축되기도 한다.
도 7에 나타내는 바와 같이, 반송 롤러(RR)에 보내져서 온 시트 기판(FB)은 X축 방향으로 T자 형상의 제2 격벽(BB)과 T자 형상의 제2 격벽(BB)의 사이가 거리(L1) 또는 거리(L2)로 신축하고 있다. 즉, 격벽 형성 공정 61에서 시트 기판(FB)에 형성된 시점과는 다른 거리로 되어 있는 경우가 있다.
X축 방향의 반송 롤러(RR)의 돌기(PJ)와 돌기(PJ) 사이의 거리는 L3이기 때문에, 시트 기판(FB)은 제2 격벽(BB)과 제2 격벽(BB)의 사이가 거리(L1) 또는 거리(L2)이어도, 맞물렸을 때에 시트 기판(FB)은 X축 방향으로 제2 격벽(BB)과 제2 격벽(BB)의 사이가 거리(L3)에 교정된다. 제2 격벽(BB)의 단차(H3)가 시트 기판(FB)의 두께(H1)의 약 1/10배 이상이기 때문에, 시트 기판(FB)의 제2면(FB2)뿐만 아니라 제1면FB의 거리도 교정된다. 시트 기판(FB)의 제1면(FB1)의 거리를 교정하기 위해서도 제2 격벽(BB)의 단차(H3)가 시트 기판(FB)의 두께(H1)의 약 1/2배 이상인 것이 바람직하다.
동일하게 도 8과 같이, 반송 롤러(RR)에 보내져서 온 시트 기판(FB)은 Y축 방향으로 T자 형상의 제2 격벽(BB)과 십자 형상의 제2 격벽(BB)의 사이가 거리(W1) 또는 거리(W2)에 격벽 형성 공정 61에서 형성된 거리(W3)로부터 신축하고 있는 경우가 있다.
Y축 방향의 반송 롤러(RR)의 돌기(PJ)와 돌기(PJ) 사이의 거리는 W3이기 때문에, 시트 기판(FB)은 제2 격벽(BB)과 제2 격벽(BB)의 사이가 거리(W1) 또는 거리(W2)이어도, 맞물렸을 때에 시트 기판(FB)은 Y축 방향으로 제2 격벽(BB)과 제2 격벽(BB)의 사이가 거리(W3)에 교정된다. 제2 격벽(BB)의 단차(H3)가 시트 기판(FB)의 두께(H1)의 약 1/10배 이상이기 때문에, 시트 기판(FB)의 제1면FB의 거리도 교정된다.
도 7 또는 도 8에는 도시되어 있지 않지만, 반송 롤러(RR)의 상방(Z축 방향)에는 도 3에서 나타난 액적 도포 장치(20) 내지 액적 도포 장치(25) 또는 절단 장치(30)가 배치되어 있다. 시트 기판(FB)의 신축이 교정된 상태에서, 메탈 잉크 등을 도포하거나 레이저 조사로 절단할 수 있기 때문에, 정확한 도포 또는 절단이 가능하게 된다.
또, 얼라이먼트 카메라(CA1) 내지 얼라이먼트 카메라(CA8)는 시트 기판(FB)이 반송 롤러(RR)의 외주면을 따르고 있는 영역에 있어서 얼라이먼트 마크(AM)를 촬상한다. 반송 롤러(RR)의 외주면에서는 시트 기판(FB)의 신축이 교정된 상태이며, 얼라이먼트 카메라(CA1) 내지 얼라이먼트 카메라(CA8)는 이 상태에서 얼라이먼트 마크(AM)를 촬상하여 위치 검출할 수 있기 때문에, 고정밀도로 위치 검출이 가능하게 된다.
또한, 도 7 및 도 8에 있어서, 반송 롤러(RR)는 히터(HT)가 내장되어 있다. 시트 기판(FB)은 반송 롤러(RR)의 돌기(PJ)와 맞물려 있는 상태에 있어서, X축 방향 및 Y축 방향으로 거리(L3) 및 거리(W3)에 교정되어 있다. 이 상태에서 시트 기판(FB)이 글래스 전이점 이상으로 가열되면, 시트 기판(FB)이 소성 변형된다. 반송 롤러(RR)가 회전하여 시트 기판(FB)이 반송 롤러(RR)로부터 멀어지면 냉각되어 시트 기판(FB)이 글래스 전이점보다 낮아진다. 그러면 시트 기판(FB)이 교정된 상태를 유지해 다음의 공정에 반송되게 된다. 따라서, 시트 기판(FB)의 신축이, 반송 롤러(RR)와 맞물려 있는 경우뿐만 아니라 시트 기판(FB)이 반송 롤러(RR)로부터 멀어진 상태에서도 교정된 상태를 유지할 수 있다. 이와 같은 히터(HT)는 모든 반송 롤러(RR)에 내장되어 있을 필요는 없으며, 특히 시트 기판(FB)의 신축이 큰 개소의 하류에 배치하면 좋다.
또, 상술한 도 7 및 도 8에 있어서는 예를 들어, 시트 기판(FB)의 제2 격벽(BB)과 반송 롤러(RR)의 돌기(PJ)가 잘 맞물리지 않은 경우, 또는 제2 격벽(BB)과 어느 돌기(PJ)만이 맞물리지 않은 경우 등이 있다. 이와 같은 경우, 필요을 따라서, 예를 들어 시트 기판(FB)에 형성된 얼라이먼트 마크(AM)에 기초하여, 액적 도포 장치(20)의 메탈 잉크를 도포하도록 하면 좋고, 또는 반송 롤러(RR)의 돌기(PJ)와 시트 기판(FB)에 형성된 얼라이먼트 마크(AM)에 기초하여, 액적 도포 장치(20)의 메탈 잉크를 도포하도록 하면 좋다.
<유기 EL 소자의 제조 장치의 동작>
도 9는 유기 EL 소자의 제조 장치(100) 동작의 개략 플로차트이다. 도 3, 도 7및 도 8에서 도시된 부호를 참작하면 이해가 높아진다.
격벽 형성 공정 61인 스텝 P1에 있어서, 인프린트 롤러(10)에 의해 시트 기판(FB)의 제1면(FB1)에 얼라이먼트 마크(AM)와 박막 트랜지스터 및 발광층 등의 제1 격벽(BA)이 열전사로 형성된다. 또한, 얼라이먼트 마크(AM)와 제1 격벽(BA)은 상호의 위치 관계가 중요하기 때문에 동시에 형성된다.
스텝 P2에 있어서, 전사 롤러(15)에 의해 시트 기판(FB)의 제2면(FB2)에 제2 격벽(BB)이 열전사로 형성된다.
전극 형성 공정 62로 진행하여, 스텝 P3에서는 반송 롤러(RR)의 돌기(PJ)와 시트 기판(FB)의 제2 격벽(BB)이 맞물린 상태에서 얼라이먼트 카메라(CA1) 내지 얼라이먼트 카메라(CA3)에 의해 얼라이먼트 마크(AM)를 촬상한다. 그리고 주제어부(90)가 시트 기판(FB)의 위치를 파악한다.
다음에, 스텝 P4에서는 주제어부(90)로부터의 위치 정보에 기초하여, 반송 롤러(RR)의 돌기(PJ)와 시트 기판(FB)의 제2 격벽(BB)이 맞물린 상태에서 게이트용 액적 도포 장치(20G), 절연층용의 액적 도포 장치(21), 소스ㆍ드레인용의 액적 도포 장치(22)가 각종 전극용의 메탈 잉크 등을 순차 도포한다.
배선 전극의 가공 공정 63으로 진행하여, 스텝 P5에서는 반송 롤러(RR)의 돌기(PJ)와 시트 기판(FB)의 제2 격벽(BB)이 맞물린 상태에서 얼라이먼트 카메라(CA4) 또는 얼라이먼트 카메라(CA5)가 얼라이먼트 마크(AM)를 촬상하고, 주제어부(90)가 시트 기판(FB)의 위치를 파악한다.
다음에, 스텝 P6에서는 주제어부(90)로부터의 위치 정보에 기초하여, 반송 롤러(RR)의 돌기(PJ)와 시트 기판(FB)의 제2 격벽(BB)이 맞물린 상태에서 절단 장치(30)의 레이저가 소스 전극(S)과 드레인 전극(D)의 사이를 정확하게 절단하여 채널 길이를 형성한다.
또 스텝 P7에서는 주제어부(90)로부터의 위치 정보에 기초하여, 반송 롤러(RR)의 돌기(PJ)와 시트 기판(FB)의 제2 격벽(BB)이 맞물린 상태에서 유기 반도체의 액적 도포 장치(23)가 유기 반도체를 소스 전극(S)과 드레인 전극(D)의 간극에 도포한다.
스텝 P8에서는 반송 롤러(RR)의 돌기(PJ)와 시트 기판(FB)의 제2 격벽(BB)이 맞물린 상태에서 얼라이먼트 카메라(CA6)가 얼라이먼트 마크(AM)를 촬상하고, 주제어부(90)가 시트 기판(FB)의 위치를 파악한다.
다음에, 스텝 P9에서는 주제어부(90)로부터의 위치 정보에 기초하여, 반송 롤러(RR)의 돌기(PJ)와 시트 기판(FB)의 제2 격벽(BB)이 맞물린 상태에서 발광층용의 액적 도포 장치(24; 24R, 24G, 24B)가 RGB 용액을 화소 전극(P) 상에 도포한다.
스텝 P10에서는 반송 롤러(RR)의 돌기(PJ)와 시트 기판(FB)의 제2 격벽(BB)이 맞물린 상태에서 얼라이먼트 카메라(CA7)가 얼라이먼트 마크(AM)를 촬상하고, 주제어부(90)가 시트 기판(FB)의 위치를 파악한다.
다음에, 스텝 P11에서는 주제어부(90)로부터의 위치 정보에 기초하여, 반송 롤러(RR)의 돌기(PJ)와 시트 기판(FB)의 제2 격벽(BB)이 맞물린 상태에서 절연층용의 액적 도포 장치(21)가 전기 절연성 잉크를 도포한다.
스텝 P12에서는 반송 롤러(RR)의 돌기(PJ)와 시트 기판(FB)의 제2 격벽(BB)이 맞물린 상태에서 얼라이먼트 카메라(CA8)가 얼라이먼트 마크(AM)를 촬상하고, 주제어부(90)가 시트 기판(FB)의 위치를 파악한다.
다음에, 스텝 P13에서는 주제어부(90)로부터의 위치 정보에 기초하여, 반송 롤러(RR)의 돌기(PJ)와 시트 기판(FB)의 제2 격벽(BB)이 맞물린 상태에서 투명 전극용의 액적 도포 장치(25)가 ITO 잉크를 도포한다.
<격벽 형성 공정 61을 거친 다른 시트 기판(FB)>
도 10(A)는 격벽 형성 공정 61에 있어서 인프린트 롤러(10)와 제1 격벽(BA)이 형성된 시트 기판(FB)의 제1면(FB1)을 나타낸 도면이다. 도 10(B)은 전사 롤러(15)와 제2 격벽(BB)이 형성된 시트 기판(FB)의 제2면(FB2)을 나타낸 도면이다. 단, 도 4에서 도시된 제2 격벽(BB; 주변용 제2 격벽(BB1)과 중앙용 제2 격벽(BB2))과 다르게, 도 10에서 나타나는 제2 격벽(BB)은 그리드 격벽(BB3)이다.
도 10(A)에서 나타나는 시트 기판(FB)의 제1면(FB1)은 도 4에서 도시된 유기 EL 소자(50)의 제1 격벽(BA)과 동일하고, 표시 영역(51)이 폭방향으로 2열 줄지어 있고, 그 폭방향의 양측에 신호선 구동 회로(55)가 배치되고, 표시 영역(51)의 X축 방향의 양측에는 주사 구동 회로(57)가 형성되어 있다. 표시 영역(51)은 도 1에서 나타난 바와 같이, X축 방향으로 연장하는 게이트 버스 라인(GBL) 및 Y축 방향으로 연장하는 소스 버스 라인(SBL)이 형성되어 있다.
도 10(B)에서 나타나는 시트 기판(FB)의 제2면(FB2)에는 제2 격벽(BB; 그리드 격벽(BB3))이 형성되어 있다. 그리드 격벽(BB3)은 표시 영역(51)의 X축 방향으로 연장하는 게이트 버스 라인(GBL) 및 Y축 방향으로 연장하는 소스 버스 라인(SBL)과 대략 동일한 형상 및 치수로 된 홈으로 이루어진다.
제2면(FB2)에 형성되는 제2 격벽(BB)의 홈은 제1면(FB1)에 형성되는 표시 영역(51)의 게이트 버스 라인(GBL) 및 소스 버스 라인(SBL)과 겹치는 영역에 형성되어 있다. 제2 격벽(BB)의 홈이 게이트 버스 라인(GBL) 및 소스 버스 라인(SBL)과 겹치는 것에 의해, 표시 영역(51)의 치수가 엄격한 소스 전극(S)과 드레인 전극(D)의 간격인 채널 길이에 영향을 주지 않게 한다.
도 11은 도 10(B)에 나타나는 제2 격벽(BB)을 형성한 전사 롤러(15)를 나타낸 도면이다. 전사 롤러(15)에는 제2 격벽(BB)용의 요철 패턴(DD)이 형성되어 있다. 시트 기판(FB)에 형성되는 제2 격벽(BB)은 반전하여 형성되기 때문에, 제2 격벽(BB)에 대응하는 전사 롤러(15)의 요철 패턴(DD)은 돌기가 형성되어 있다.
전사 롤러(15)의 요철 패턴(DD)의 돌기는 도 10(B)에 대응하도록, X축 방향 및 Y축 방향에 그리드 형상으로 형성되어 있다. 또, 요철 패턴(DD)의 돌기의 선단은 역U자 또는 역V자의 형상이 바람직하다.
도 10에서 나타나는 제2 격벽(BB)의 그리드 격벽(BB3)은 도 4(B)에서 도시된 제2 격벽(BB; 주변용 제2 격벽(BB1)과 중앙용 제2 격벽(BB2))보다, 조밀하게 시트 기판(FB)의 제2면(FB2)에 형성되어 있다. 추가로 그리드 격벽(BB3)은 게이트 버스 라인(GBL) 및 소스 버스 라인(SBL)과 겹치고 있기 때문에 시트 기판(FB)의 신축을 정확하게 교정할 수 있다. 전사 롤러(15; 도 11 참조)에 의해 형성된 그리드 격벽(BB3)의 단차(H3)는 약 10㎛ 내지 50㎛이다. 시트 기판(FB)의 두께(H1)와 비교해서, 약 1/10배 내지 1/2배이다. 그리드 격벽(BB3)은 조밀하게 형성되어 있기 때문에, 그리드 격벽(BB3)의 단차(H3)는 도 4(B)에서 나타낸 주변용 제2 격벽(BB1)과 중앙용 제2 격벽(BB2)의 두께(H3)보다 얇아서 좋다.
<격벽 형성 공정 61의 변형예>
도 12는 도 3에 나타난 격벽 형성 공정 61의 변형예를 나타낸 도면이다. 도 12(A)는 인프린트 롤러(10)와 전사 롤러(15)를 반송 방향에 별개로 배치한 예이다. (B)는 자외선 경화 인프린트 롤러(41)와 전사 롤러(15)를 반송 방향에 별개로 배치한 예이다.
도 12(A)에 있어서, 인프린트 롤러(10)에 대향하여 지지 롤러(19)가 하방에 배치되어 있다. 지지 롤러(19)는 외주면이 표면 거칠기가 적고 정밀도 좋게 형성된 롤러이고 시트 기판(FB)의 제2면(FB2)에 접해 있다. 또, 전사 롤러(15)는 인프린트 롤러(10)의 하류에서 시트 기판(FB)의 제2면(FB2)에 접하여 배치되어 있다. 이 전사 롤러(15)에 대향하여 지지 롤러(19)가 상방에 배치되어 있다. 이와 같은 배치에서도, 격벽 형성 공정 61에 있어서 제1 격벽(BA)과 제2 격벽(BB)을 형성할 수 있다. 또 전사 롤러(15)는 인프린트 롤러(10)의 상류에 배치되어도 좋다.
도 12(B)에서는 상술해 온 인프린트 롤러(10) 대신에, 자외선 경화 인프린트 롤러(41)를 배치하고 있다. 자외선 경화 인프린트 롤러(41) 내에는 자외선 경화성의 액상 수지가 들어가 있다. 자외선 경화 인프린트 롤러(41)는 제1 격벽(BA)이 형성되어야 할 개소에 구멍이 형성되어 있다. 시트 기판(FB)의 반송에 수반하여 스키지(42)에 의해 자외선 경화 인프린트 롤러(41)의 구멍으로부터 자외선 경화성의 액상 수지가 압출(押出)된다. 자외선 경화 인프린트 롤러(41)에 대향하여 투명 지지 롤러(43)가 하방에 배치되어 있다. 투명 지지 롤러(43)는 외주가 자외선을 투과하는 부재, 예를 들어 글래스 등으로 형성되어 있다. 또 그 표면은 표면 거칠기가 적게 형성되어 있다.
압출된 액상 수지에는 투명 지지 롤러(43) 내부에 배치된 자외선 조사부(44)에 의해 자외선을 포함하는 광이 조사된다. 이로 인해 액상 수지가 경화하여 제1 격벽(BA)이 형성된다.
자외선 경화성의 액상 수지로서는 지방족 아릴 우레탄, 불휘발성 재료, 방향족산 메타크릴레이트, 방향족 아크릴산 에스테르, 아크릴화 폴리에스테르 올리고머, 아크릴레이트 모노머, 폴리에틸렌 글리콜 디메타크릴레이트, 라우릴 메타크릴레이트, 지방족 디아그릴레이트, 3관능성산 에스테르, 또는 에폭시 수지를 들 수 있다. 또 이러한 분자량은 중량 평균 분자량 100 ~ 10,000의 범위 내이다.
또, 전사 롤러(15)는 인프린트 롤러(10)의 하류에서 시트 기판(FB)의 제2면(FB2)에 접하여 배치되어 있다. 이 전사 롤러(15)에 대향하여 지지 롤러(19)가 상방에 배치되어 있다. 전사 롤러(15)는 인프린트 롤러(10)의 상류에 배치되어도 좋다.
<반송 롤러(RR)의 변형예>
도 13은 반송 롤러(RR)의 변형예이다. 반송 롤러(RR)의 축 방향의 길이가 길어지면 반송 롤러(RR)의 중앙 부분이 자중에 의해 휘어 버린다. 이 때문에, 공기 압력 또는 유압 제어 방식으로 롤러 중앙이 부풀어 오르는 반송 롤러(RR)를 준비한다. 주제어부(90)는 얼라이먼트 카메라(CA)로부터의 검출 신호에 기초하여 중앙 부분이 자중에 의해 휘고 있는지를 판단하고, 공기 또는 기름이 반송 롤러(RR) 내에 공급되는 것에 의해 롤러 중앙부의 굴곡을 해소할 수 있다.
본 실시 형태에서는 잉크젯 등의 액적 도포 장치 또는 레이저 등의 절단 장치를 이용했지만, 그 이외에 가공 장치로서 인쇄 롤러를 이용한 인쇄 도포 장치 또는 자외선을 이용하여 노광하는 노광 장치를 이용할 수도 있다.
10 ㆍㆍㆍ인프린트 롤러
11ㆍㆍㆍ미세 인프린트용 몰드
15ㆍㆍㆍ전사 롤러
19ㆍㆍㆍ지지 롤러
20ㆍㆍㆍ게이트용 액적 도포 장치
21ㆍㆍㆍ절연층용의 액적 도포 장치
22ㆍㆍㆍ소스ㆍ드레인용 액적 도포 장치
24Gㆍㆍㆍ녹색 발광층용의 액적 도포 장치
24Rㆍㆍㆍ적색 발광층용의 액적 도포 장치
24Bㆍㆍㆍ청색 발광층용의 액적 도포 장치
30ㆍㆍㆍ절단 장치
41ㆍㆍㆍ인프린트 롤러
42ㆍㆍㆍ스키지
43ㆍㆍㆍ투명 지지 롤러
44ㆍㆍㆍ자외선 조사부
50ㆍㆍㆍ유기 EL 소자
51ㆍㆍㆍ표시 영역
55ㆍㆍㆍ신호선 구동 회로
57ㆍㆍㆍ주사 구동 회로
61ㆍㆍㆍ격벽 형성 공정
62ㆍㆍㆍ전극 형성 공정
63ㆍㆍㆍ배선 전극의 가공 공정
64ㆍㆍㆍ발광층 형성 공정
90ㆍㆍㆍ주제어부
100ㆍㆍㆍ제조 장치
AMㆍㆍㆍ얼라이먼트 마크
ARㆍㆍㆍ영역
BA, BBㆍㆍㆍ격벽
BKㆍㆍㆍ열처리 장치
CC, DDㆍㆍㆍ요철 패턴
CAㆍㆍㆍ얼라이먼트 카메라
FBㆍㆍㆍ시트 기판
Gㆍㆍㆍ게이트 전극
GBLㆍㆍㆍ게이트 버스 라인
H1ㆍㆍㆍ두께
H2, H3ㆍㆍㆍ단차
HTㆍㆍㆍ히터
Iㆍㆍㆍ절연층
IRㆍㆍㆍ발광층
ITOㆍㆍㆍ투명 전극
LLㆍㆍㆍ레이저광
L3, W3ㆍㆍㆍ거리
OSㆍㆍㆍ유기 반도체층
Pㆍㆍㆍ화소 전극
PJㆍㆍㆍ돌기
PVKㆍㆍㆍ호스트재
RLㆍㆍㆍ공급 롤
RRㆍㆍㆍ롤러
Sㆍㆍㆍ소스 전극
SBLㆍㆍㆍ소스 버스 라인

Claims (49)

  1. 제1면 및 그 반대면의 제2면을 가지는 가요성의 기판에 표시 소자를 형성하는 표시 소자의 제조 장치에 있어서,
    상기 가요성 기판의 폭방향과 교차하는 소정 방향으로 상기 가요성의 기판을 반송(搬送)하는 반송부와,
    상기 제1면에 상기 표시 소자용의 제1 격벽을 형성하는 제1 격벽 형성부와,
    상기 제2면에 제2 격벽을 형성하는 제2 격벽 형성부를 구비하는 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제2 격벽의 깊이는 상기 제1 격벽 깊이의 10배 이상인 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 장치.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 제2 격벽은 상기 가요성 기판의 폭방향의 양단측에 상기 소정 방향으로 줄지어 형성되는 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 장치.
  4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 격벽은 상기 폭방향의 중앙 영역에 상기 소정 방향으로 줄지어 형성되는 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 장치.
  5. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 격벽의 형상은 상기 소정 방향과 상기 폭방향으로 연장하는 십자 형상인 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 장치.
  6. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 제2 격벽의 형상은 상기 제1 격벽의 패턴 일부를 반전시킨 반전 패턴 형상인 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 제1 격벽의 패턴 일부는 게이트 전극 라인 또는 소스 전극 라인의 적어도 한쪽인 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 장치.
  8. 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 반송부는 상기 제2 격벽과 맞물리는 형상을 가지는 롤러부를 가지고, 이 롤러부가 상기 가요성의 기판을 소정 방향으로 반송하는 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 장치.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 제1 격벽 사이의 소정 위치에 도전 부재를 도포하여 전극을 형성하는 전극 형성부를 구비하고,
    상기 가요성의 기판과 상기 롤러부가 접해 있는 범위에서, 상기 전극 형성부가 상기 도전 부재를 도포하는 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 장치.
  10. 청구항 8 또는 청구항 9에 있어서,
    상기 롤러부는 히터부를 가지고, 상기 가요성의 기판을 소성 변형시키는 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 장치.
  11. 청구항 8 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 롤러부는 원통 형상이며, 그 원통 형상의 중앙 영역이 주변 영역보다 부풀어 올라 있는 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 장치.
  12. 제1면 및 그 반대면의 제2면을 가지는 가요성의 기판에 표시 소자를 형성하는 표시 소자의 제조 방법에 있어서,
    상기 가요성 기판의 폭방향과 교차하는 소정 방향으로 상기 가요성의 기판을 반송하는 반송 공정과,
    상기 제1면에 상기 표시 소자용의 제1 격벽을 형성하는 제1 격벽 형성 공정과,
    상기 제2면에 제2 격벽을 형성하는 제2 격벽 형성 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 방법.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 제2 격벽 형성 공정은 제2 격벽의 깊이를 상기 제1 격벽 깊이의 10배 이상으로 형성하는 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 방법.
  14. 청구항 12 또는 청구항 13에 있어서,
    상기 제2 격벽 형성 공정은 상기 제2 격벽이 상기 가요성 기판의 폭방향의 양단측에 상기 소정 방향으로 줄짓도록 형성하는 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 방법.
  15. 청구항 12 내지 청구항 14 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 격벽의 형상은 상기 소정 방향과 상기 폭방향으로 연장하는 십자 형상인 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 방법.
  16. 청구항 12에 있어서,
    상기 제2 격벽의 형상은 상기 제1 격벽의 패턴 일부를 반전시킨 반전 패턴 형상인 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 방법.
  17. 청구항 16에 있어서,
    상기 제1 격벽의 패턴 일부는 게이트 전극 라인 또는 소스 전극 라인의 적어도 한쪽인 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 방법.
  18. 청구항 12 내지 청구항 17 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 반송 공정은 상기 제2 격벽과 맞물리는 형상을 가지는 롤러부로 상기 가요성의 기판을 소정 방향으로 반송하는 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 방법.
  19. 청구항 18에 있어서,
    상기 가요성의 기판과 상기 롤러부가 접해 있는 범위에서, 상기 제1 격벽 사이의 소정 위치에 상기 도전 부재를 도포하여 상기 표시 소자의 전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 방법.
  20. 청구항 18 또는 청구항 19에 있어서,
    상기 롤러부는 히터부를 가지고, 상기 가요성의 기판을 소성 변형시키는 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 방법.
  21. 제1면 및 그 반대면의 제2면을 가지는 가요성 기판에 있어서,
    상기 제1면에 형성된 표시 소자용의 제1 격벽과,
    상기 제2면에 형성된 제2 격벽을 구비하는 것을 특징으로 하는 가요성 기판.
  22. 청구항 21에 있어서,
    상기 제2 격벽의 깊이는 상기 제1 격벽 깊이의 10배 이상인 것을 특징으로 하는 가요성 기판.
  23. 청구항 21 또는 청구항 22에 있어서,
    상기 제2 격벽은 상기 가요성 기판의 폭방향의 양단측에 상기 폭방향과 교차하는 소정 방향으로 줄지어 형성되는 것을 특징으로 하는 가요성 기판.
  24. 청구항 21 내지 청구항 23 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 격벽은 상기 가요성 기판의 폭방향의 중앙 영역에 상기 폭방향과 교차하는 소정 방향으로 줄지어 형성되는 것을 특징으로 하는 가요성 기판.
  25. 청구항 21 내지 청구항 24 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 격벽의 형상은 상기 가요성 기판의 폭방향과 상기 폭방향과 교차하는 소정 방향으로 연장하는 십자 형상인 것을 특징으로 하는 가요성 기판.
  26. 청구항 21 또는 청구항 22에 있어서,
    상기 제2 격벽의 형상은 상기 제1 격벽의 패턴 일부를 반전시킨 반전 패턴 형상인 것을 특징으로 하는 가요성 기판.
  27. 청구항 26에 있어서,
    상기 제1 격벽의 패턴 일부는 게이트 전극 라인 또는 소스 전극 라인의 적어도 한쪽인 것을 특징으로 하는 가요성 기판.
  28. 청구항 21 내지 청구항 27 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 격벽의 형상은 상기 가요성 기판을 반송하는 반송부와 맞물리는 형상인 것을 특징으로 하는 가요성 기판.
  29. 제1면 및 그 반대면의 제2면을 가지고, 그 제1면에 표시 소자가 형성되는 가요성 기판에 있어서,
    상기 제2면에 형성되고, 상기 가요성 기판 두께의 1/10 이상의 깊이를 가지는 격벽을 구비하는 것을 특징으로 하는 가요성 기판.
  30. 청구항 29에 있어서,
    상기 격벽은 상기 가요성 기판의 폭방향의 양단측에 상기 폭방향과 교차하는 소정 방향으로 줄지어 형성되는 것을 특징으로 하는 가요성 기판.
  31. 청구항 29 또는 청구항 30에 있어서,
    상기 격벽은 상기 가요성 기판의 폭방향의 중앙 영역에 상기 폭방향과 교차하는 소정 방향으로 줄지어 형성되는 것을 특징으로 하는 가요성 기판.
  32. 청구항 29 내지 청구항 31 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 격벽은 상기 가요성 기판 두께의 1/5 이상의 깊이를 가지는 것을 특징으로 하는 가요성 기판.
  33. 청구항 29 내지 청구항 32 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 격벽의 형상은 상기 가요성 기판을 반송하는 반송부와 맞물리는 형상인 것을 특징으로 하는 가요성 기판.
  34. 제1면 및 그 반대면의 제2면을 가지는 가요성의 기판에 표시 소자를 형성하는 표시 소자의 제조 장치에 있어서,
    상기 제1면에 형성되는 제1 격벽 사이의 소정 위치에 가공을 실시하는 가공부와,
    상기 가공부와 대향해서 배치되고, 상기 제2면에 형성된 제2 격벽과 맞물리는 형상을 가지는 반송부를 구비하는 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 장치.
  35. 청구항 34에 있어서,
    상기 제1면에 상기 제1 격벽을 형성하는 제1 격벽 형성부를 구비하는 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 장치.
  36. 청구항 34 또는 청구항 35에 있어서,
    상기 반송부는 상기 가요성 기판의 폭방향과 교차하는 소정 방향으로 상기 가요성의 기판을 반송하는 롤러부를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 장치.
  37. 청구항 36에 있어서,
    상기 제2 격벽은 상기 폭방향의 양단측에 상기 소정 방향으로 줄지어 형성되는 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 장치.
  38. 청구항 36 또는 청구항 37에 있어서,
    상기 제2 격벽은 상기 폭방향의 중앙 영역에 상기 소정 방향으로 줄지어 형성되는 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 장치.
  39. 청구항 36 내지 청구항 38 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 격벽의 형상은 상기 소정 방향과 상기 폭방향으로 연장하는 십자 형상인 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 장치.
  40. 청구항 34 내지 청구항 39 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 격벽의 깊이는 상기 제1 격벽 깊이의 10배 이상인 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 장치.
  41. 청구항 34 내지 청구항 40 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 격벽의 형상은 상기 제1 격벽의 패턴 일부를 반전시킨 반전 패턴 형상인 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 장치.
  42. 청구항 36 내지 청구항 41 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 롤러부는 상기 가요성의 기판을 소성 변형시키는 히터부를 가지는 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 장치.
  43. 제1면 및 그 반대면의 제2면을 가지는 가요성의 기판에 표시 소자를 형성하는 표시 소자의 제조 방법에 있어서,
    상기 제1면에 상기 표시 소자용의 제1 격벽을 형성하는 제1 격벽 형성 공정과,
    상기 제2면에 제2 격벽을 형성하는 제2 격벽 형성 공정과,
    상기 제1 격벽 사이의 소정 위치에 가공을 실시하는 가공 공정을 가지고,
    상기 가공 공정은 상기 제2 격벽과 맞물리는 형상을 가지는 반송부와 상기 가요성의 기판이 접하는 범위에서, 상기 가공을 실시하는 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 방법.
  44. 제1면에 형성된 표시 소자용의 제1 격벽과 상기 제1면의 반대면인 제2면에 형성된 제2 격벽을 가지는 가요성의 기판에 표시 소자를 형성하는 표시 소자의 제조 방법에 있어서,
    상기 제1 격벽 사이의 소정 위치에 가공을 실시하는 가공 공정을 가지고,
    상기 가공 공정은 상기 제2 격벽과 맞물리는 형상을 가지는 반송부와 상기 상기 가요성의 기판이 접하는 범위에서, 상기 가공을 실시하는 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 방법.
  45. 청구항 43 또는 청구항 44에 있어서,
    상기 반송부는 상기 가요성 기판의 폭방향과 교차하는 소정 방향으로 상기 가요성의 기판을 반송하는 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 방법.
  46. 청구항 43 내지 청구항 45 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 격벽의 깊이는 상기 제1 격벽 깊이의 10배 이상인 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 방법.
  47. 청구항 43 내지 청구항 46 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 격벽의 형상은 상기 제1 격벽의 패턴 일부를 반전시킨 반전 패턴 형상인 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 방법.
  48. 청구항 43 내지 청구항 47 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 롤러부는 히터부를 가지고, 상기 가요성의 기판을 소성 변형시키는 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 방법.
  49. 표시 소자의 제조 방법에 있어서,
    청구항 21 내지 청구항 33 중 어느 한 항에 기재된 가요성 기판에 대해 상기 제1 격벽 사이의 소정 위치에 도전 부재를 도포하는 전극 형성 공정과,
    상기 가요성 기판의 폭방향과 교차하는 소정 방향으로 상기 가요성 기판을 반송하는 반송 공정을 가지는 것을 특징으로 하는 표시 소자의 제조 방법.
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