KR102600865B1 - 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 측면에 따르면, 증발물질을 증발시켜 기판에 박막을 형성하는 증착장치로서, 내부에서 상기 기판에 대해 증착이 수행되는 증착챔버와; 상기 기판에 대향하여 배치되며 가열에 따라 증발물질이 증발되어 상기 기판을 향하여 증발입자를 분출하는 증발원과; 언와인딩 롤(unwinding roll)와, 상기 언와인딩 롤에서 송출되어 상기 증발원에서 분출되는 증발입자의 분출각을 한정하여 상기 기판의 일정 영역에 도달하도록 세워지는 플렉서블 쉬트와, 상기 플렉서블 쉬트가 권취되는 와인딩 롤(winding roll)를 구비하는 롤투롤 분출각도조절부를 포함하는, 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치가 제공된다.

Description

롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치{Apparatus of deposition having roll-to-roll radiation angle controlling element}
본 발명은 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 분출각도조절부에 기생증착된 증발입자를 회수하여 기생증착 퇴적물을 용이하게 제거할 수 있는 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치에 관한 것이다.
유기 전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.
유기 전계 발광 소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열증착법으로 기판 상에 증착된다.
진공열증착법은 진공챔버 내에 기판을 배치하고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)를 기판에 정렬시킨 후, 증발원의 도가니를 가열하여 도가니에서 증발되는 증발입자를 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.
증발원에서 증발되는 증발입자를 기판에 증착하는 과정에서, 증발입자를 기판의 일정 영역에 증착되도록 유도하기 위해 증발원에서 분출하는 증발입자의 분출각을 조절할 필요가 있다. 또한, 마스크에 의한 쉐도우 현상(shadow effect)을 방지하기 위하여 증발원에서 분출하는 증발입자의 분출각을 조절하기도 한다.
증발입자의 분출각의 조절은 증발원과 기판 사이에 판 상의 각도조절판 등을 배치하여 증발입자가 기판의 일정 영역으로 분출되도록 유도한다.
그러나, 장시간의 증착공정이 진행되는 동안, 각도조절판에 증발입자가 기생증착되어 불균일한 퇴적물이 발생하고 이로 인해 증발입자의 분출각이 불균일하게 되어 증착 균일도가 떨어질 수 있다. 또한, 퇴적물이 증가에 따라 퇴적물이 낙하하여 증발원의 입구를 막아 증발입자의 분출 경로 차단하여 증착 균일도가 떨어질 우려가 있다.
본 발명은 분출각도조절부에 기생증착된 증발입자를 회수하여 기생증착 퇴적물을 용이하게 제거할 수 있는 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 증발물질을 증발시켜 기판에 박막을 형성하는 증착장치로서, 내부에서 상기 기판에 대해 증착이 수행되는 증착챔버와; 상기 기판에 대향하여 배치되며 가열에 따라 증발물질이 증발되어 상기 기판을 향하여 증발입자를 분출하는 증발원과; 언와인딩 롤(unwinding roll)와, 상기 언와인딩 롤에서 송출되어 상기 증발원에서 분출되는 증발입자의 분출각을 한정하여 상기 기판의 일정 영역에 도달하도록 세워지는 플렉서블 쉬트와, 상기 플렉서블 쉬트가 권취되는 와인딩 롤(winding roll)를 구비하는 롤투롤 분출각도조절부를 포함하는, 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치가 제공된다.
상기 플렉서블 쉬트는, 상기 증발원에서 분출되는 증발입자의 분포를 일정한 영역으로 한정하여 한정 영역을 구획하도록 포위할 수 있다.
상기 롤투롤 각도조절부는, 상기 한정영역의 외주를 따라 서로 이격되어 배치되며, 상기 플렉서블 쉬트에 의해 포위되어 감기는 복수의 방향전환롤을 포함할 수 있다.
상기 롤투롤 각도조절부는, 상기 복수의 방향전환롤을 포위한 상기 플렉서블 쉬트가 내측으로 감기는 한 쌍의 아이들러(idler)를 더 포함할 수 있다.
상기 한정영역은 직사각형 형태를 이룰 수 있으며, 상기 방향전환롤은 상기 직사각형 형태의 상기 한정영역의 서로 인접하는 세 개의 모서리에 상응하여 위치하고, 상기 한 쌍의 아이들러(idler)는 나머지 하나의 모서리에 상응하여 위치할 수 있다.
상기 플렉서블 쉬트는 상기 증발원에 인접하여 세워질 수 있으며, 상기 와인딩 롤은 상기 증발원에서 일정 거리 이격되어 배치될 수 있다.
상기 롤투롤 각도조절부는, 상기 증발원에서 분출되는 증발입자의 분포를 일정한 영역으로 한정하여 한정 영역을 구획하도록 복수 개가 구비될 수 있다.
상기 증발원은 일 방향으로 긴 선형의 증발원일 수 있으며, 상기 롤투롤 분출각도조절부는 상기 플렉서블 쉬트가 상기 선형의 증발원의 길이 방향을 따라 서로 대향하여 각각 배치되는 한 쌍의 장변한정용 롤투롤 분출각도조절부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 롤투롤 분출각도조절부는 상기 플렉서블 쉬트가 상기 선형의 증발원의 양단부을 따라 서로 대향하여 각각 배치되는 한 쌍의 단변한정용 롤투롤 분출각도조절부를 포함할 수 있다.
상기 장변한정용 롤투롤 각도조절부는, 서로 이격되어 배치되며 상기 플렉서블 쉬트가 상기 선형의 증발원의 길이 방향을 따라 배치되도록 감기는 한 쌍의 방향전환롤을 포함할 수 있다.
상기 단변한정용 롤투롤 각도조절부는, 서로 이격되어 배치되며, 상기 플렉서블 쉬트가 상기 선형의 증발원의 단부를 따라 배치되도록 감기는 한 쌍의 방향전환롤을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 분출각도조절부에 기생증착된 증발입자를 회수하여 기생증착 퇴적물을 용이하게 제거할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치를 간략히 도시한 측면도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치를 간략히 도시한 정면도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치의 롤투롤 분출각도조절부를 간략히 도시한 도면.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치의 롤투롤 분출각도조절부의 변형예를 간략히 도시한 도면.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치의 롤투롤 분출각도조절부를 간략히 도시한 도면.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치의 롤투롤 분출각도조절부의 변형예를 간략히 도시한 도면.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
이하, 본 발명에 따른 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치를 간략히 도시한 측면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치를 간략히 도시한 정면도이다. 그리고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치의 롤투롤 분출각도조절부를 간략히 도시한 도면이다. 그리고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치의 롤투롤 분출각도조절부의 변형예를 간략히 도시한 도면이다.
도 1 내지 도 4에는, 기판(10), 증착챔버(12), 증발물질(14), 증발입자(16), 도가니(18), 노즐부(20), 증발원(22), 롤투롤 분출각도조절부(24), 방향전환롤(26),플렉서블 쉬트(28), 언와인딩 롤(30), 와인딩 롤(32), 한정영역(34), 아이들러(idler)(36), 기생증착(37)이 도시되어 있다.
본 실시예에 따른 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치는, 증발물질(14)을 증발시켜 기판(10)에 박막을 형성하는 증착장치로서, 내부에서 상기 기판(10)에 대해 증착이 수행되는 증착챔버(12)와; 상기 기판(10)에 대향하여 배치되며 가열에 따라 증발물질(14)이 증발되어 상기 기판(10)을 향하여 증발입자(16)를 분출하는 증발원(22)과; 언와인딩 롤(unwinding roll)(30)와, 상기 언와인딩 롤(30)에서 송출되어 상기 증발원(22)에서 분출되는 증발입자(16)의 분출각을 한정하여 상기 기판(10)의 일정 영역에 도달하도록 세워지는 플렉서블 쉬트(28)와, 상기 플렉서블 쉬트(28)가 권취되는 와인딩 롤(winding roll)(32)를 구비하는 롤투롤 분출각도조절부(24)를 포함한다.
증착챔버(12)의 내부의 증착공간은 증발입자(16)의 증착을 위하여 진공 분위기가 유지되며, 기판(10)이 증착챔버(12)의 내부의 기판안착부(미도시)에 안착되거나 이동하면서 기판(10)에 대한 증착이 이루어진다.
기판(10)에 대향하는 위치에는 증발원(22)이 배치되고, 증발원(22)의 내부에 위치하는 도가니(18)의 가열에 따라 도가니(18)의 증발물질(14)이 증발되면서 증발입자(16)가 증발원(22)에서 분출된다.
본 실시예에서는 T 형의 선형의 노즐부(20)가 증착챔버(12)의 내부에 배치되고, 도가니(18)가 증착챔버(12)의 외부에서 선형의 노즐부(20)로 결합되어 증발원(22)이 구성되는 형태를 제시한다. 도가니(18)의 외주에는 도가니(18)를 가열하기 위한 히터부(미도시)가 배치될 수 있고 히터부의 가열에 따라 도가니(18)가 가열되면서 도가니(18) 내부의 증발물질(14)이 증발되어 증발입자(16)가 도가니(18)에서 분출된다. 도가니(18)에서 분출되는 증발입자(16)는 선형의 노즐부(20)를 통해 선형의 분포 형태로 기판(10)을 향해 분출된다.
롤투롤 분출각도조절부(24)는 증발원(22)에서 분출되는 증발입자(16)의 분포영역을 한정하여 기판(10)의 일정 영역에 도달하도록 유도한다. 선형의 증발원(22)을 이용하여 기판(10)에 증발입자(16)를 증착하는 경우, 선형의 증발원(22)이 기판(10)의 폭과 평행하게 배치시킨 상태에서 기판(10)의 길이 방향으로 기판(10)을 이동시켜 기판(10) 전체에 대해 증착을 수행하게 되는데, 이때, 도 1에 도시된 바와 같이, 기판(10)의 길이 방향으로 선형의 증발원(22)에서 분출되는 증발입자(16)의 분출각도를 한정한 상태에서 기판(10)을 길이 방향으로 이동시켜 기판(10) 전체에 대한 증착을 수행하게 된다.
한편, 기판(10)에 대한 증발입자(16)의 증착 과정에서 증발원(22)에서 분출되는 증발입자(16)는 플렉서블 쉬트(28)의 내면에 기생증착(37)될 수 있고, 이를 제거하지 않는 경우 불균일하게 퇴적되어 기판(10)에 대한 불균일한 증착을 초래하거나, 퇴적이 많이 되는 경우 낙하하여 증발원(22)의 입구를 막을 수 있다.
이러한 문제를 해결하기 위해 본 실시예에 따른 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치는, 플렉서블 쉬트(28)의 내면에 일정량의 증발입자(16)의 기생증착(37)이 이루어지면 언와인딩 롤(30)에서 깨끗한 플렉서블 쉬트(28)를 풀면서 와인딩 롤(32)에서 기생증착(37)이 이루어진 플렉서블 쉬트(28)를 감아 깨끗한 플렉서블 쉬트(28)로 교체함으로써 기생증착에 따른 증착 불균일을 방지할 수 있다.
롤투롤 분출각도조절부(24)는, 언와인딩 롤(30), 플렉서블 쉬트(28), 와인딩 롤(32)을 포함한다. 플렉서블 쉬트(28)는 언와인딩 롤(30)에 감겨 있다가 풀리면서 송출되어 와인딩 롤(32)에 감기게 된다. 플렉서블 쉬트(28)는 긴 띠장 형태로서 폭 방향으로 세워져 증발원(22)에서 분출되는 증발입자(16)의 분출각을 한정하여 기판(10)의 일정 영역에 도달하도록 한다. 플렉서블 쉬트(28)는 가요성(可撓性)이 유연한 긴 띠장 형태로서 증발원(22)에서 발생하는 복사열에 의해 손상이 되지 않도록 내열성의 재질로 이루어질 수 있다. 플렉서블 쉬트(28)는 언와인딩 롤(30)에 감겨 있다가 필요 시 언와인딩 롤(30)에서 풀리면서 와인딩 롤(32)에 감기게 된다.
도 1을 참조하면, 노즐부(20)에서 분출되는 증발입자(16)는 플렉서블 쉬트(28)의 상단에 의해 분출각도가 제한되어 기판(10)에 도달하게 된다.
도 3은 증발원(22)의 상부에서 증발원(22)을 향하여 바라본 상태를 나타낸 것으로서, 플렉서블 쉬트(28)에 의해 증발원(22)에서 분출되는 증발입자(16)의 분포영역이 사각형 형태의 한정영역(34)으로 구획되고 있다. 여기서, 한정영역(34)이라 함은 증발원(22)에서 분출되는 증발입자(16)의 분포를 일정한 영역으로 한정하고자 하는 가상의 영역(도 3의 빗금친 영역)으로서, 본 실시예서는 기판(10)의 폭 방향으로 긴 직사각형 형태로 한정영역(34)을 정의하고 있다.
증발원(22)에서 분출되는 증발입자(16)의 분포는 일정한 형태가 없는 무정형을 이루게 되는데, 증발원(22)에서 분출되는 증발입자(16)를 기판(10)의 일정 영역에 도달하도록 유도하기 위해서는 증발입자(16)의 분포를 일정한 영역으로 한정할 필요가 있다. 이와 같이, 증발원(22)에서 분출되는 무정형의 증발입자(16)의 분포를 일정한 영역으로 한정하고자 하는 영역을 한정영역(34)이라 하고, 이러한 한정영역(34)은 본 실시예에서와 같이 플렉서블 쉬트(28)의 배치에 의해 구획될 수 있다.
도 3을 참조하면, 본 실시예에서는 언와인딩 롤(30)에서 풀린 플렉서블 쉬트(28)는 폐합된 직사각형 형태로 증발원(22)에서 분출되는 증발입자(16)의 분포 영역을 포위하여 한정영역(34)을 구획한 후 와인딩 롤(32)에 감기도록 구성되었다.
보다 자세히 살펴 보면, 직사각형 형태의 한정영역(34)의 서로 인접하는 세 개의 모서리에 상응한 위치에 세 개의 방향전환롤(26)을 각각 배치한 상태에서, 나머지 한 모서리에 상응한 위치에 배치된 언와인딩 롤(30)에서 송출되는 플렉서블 쉬트(28)가 세 개의 방향전환롤(26)을 포위하도록 감긴 후 다시 나머지 모서리에 상응한 위치에 배치된 와인딩 롤(32)에 감기도록 하여 플렉서블 쉬트(28)가 직사각형 형태의 한정영역(34)을 포위하도록 구성하였다.
복수의 방향전환롤(26)은 구획하고자 하는 가상의 한정영역(34)의 외주를 따라 서로 이격되게 배치한 상태에서 플렉서블 쉬트(28)가 복수의 방향전환롤(26)을 포위하도록 거치면서 감겨 한정영역(34)을 구획하게 된다.
도 4는 본 실시예에 따른 롤투롤 분출각도조절부(24)의 변형예를 도시한 도면이다. 본 변형례는, 직사각형 형태의 한정영역(34)의 서로 인접하는 세 개의 모서리에 상응한 위치에 세 개의 방향전환롤(26)을 각각 배치하고 나머지 한 모서리에 상응한 위치에 한 쌍의 아이들러(36)를 배치한 상태에서, 언와인딩 롤(30)에서 풀린 플렉서블 쉬트(28)가 한 쌍의 아이들러(36) 사이로 진입한 상태에서 세 개의 방향전환롤(26)을 포위하도록 감긴 후 다시 한 쌍의 아이들러(36) 사이로 유출되어 와인딩 롤(32)에 감기도록 구성한 형태이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치의 롤투롤 분출각도조절부를 간략히 도시한 도면이다. 도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치의 롤투롤 분출각도조절부의 변형예를 간략히 도시한 도면이다.
도 5 및 도 6에는, 증발원(22), 장변한정용 롤투롤 분출각도조절부(23), 단변한정용 롤투롤 분출각도조절부(25), 반향전환롤(26), 플렉서블 쉬트(28), 언와인딩 롤(30), 와인딩 롤(32), 한정영역(34), 낙하지점(38)이 도시되어 있다.
상술한 일 실시예는 하나의 롤투롤 분출각도조절부(24)를 이용하여 한정영역(34)을 포위하도록 구성한 형태이다. 즉, 언와인딩 롤(30)에서 풀린 플렉서블 쉬트(28)가 한정영역(34)을 포위한 상태에서 와인딩 롤(32)에 감기도록 구성한 형태이다.
상기의 일 실시예에 대비하여 본 실시예는 복수 개의 롤툴롤 분출각도조절부(23, 25)를 이용하여 한정영역(34)을 구획한 형태이다.
상술한 바와 같이, 선형의 증발원(22)을 이용하여 기판에 대한 증착을 수행하고자 하는 경우, 선형의 증발원(22)을 기판의 폭을 따라 평행하게 배치한 상태에서 기판의 길이 방향으로 기판을 이동시켜 기판 전체에 대한 증착을 수행하는데, 기판의 길이 방향으로 선형의 증발원(22)에서 분출되는 증발입자(16)의 분출각도를 한정하게 된다. 이를 위해, 도 5를 참조하면, 선형의 증발원(22)의 길이 방향을 따라 플렉서블 쉬트(28)가 서로 대향하도록 한 쌍의 장변한정용 롤투롤 분출각도조절부(23)를 배치하여 기판의 길이 방향으로 선형의 증발원(22)에서 분출되는 증발입자의 분출각도를 한정하도록 구성하였다. 한편, 선형의 증발원(22)의 양단부에도 플렉서블 쉬트(28)가 서로 대향하도록 한 쌍의 단변한정용 롤투롤 분출각도조절부(25)를 배치하였다.
본 실시예의 경우, 플렉서블 쉬트(28)는 증발원(22)에 인접하여 증발원(22)을 따라 배치되게 되나, 플렉서블 쉬트(28)가 감기는 와인딩 롤러는 증발원(22)에서 일정 거리 이격되게 배치된다. 도 5를 참조하면, 플렉서블 쉬트(28)의 내면에 일정한 량의 증발입자(16)의 기생증착이 이루어지면 깨끗한 플렉서블 쉬트(28)의 교체를 위해 언와인딩 롤(30)에서 깨끗한 플렉서블 쉬트(28)가 풀리고 증발입자(16)가 기생증착(37)된 플렉서블 쉬트(28)는 와인딩 롤(32)에 감기게 되는데, 와인딩 롤(32)에 증발입자(16)가 기생증착(37)된 플렉서블 쉬트(28)가 감기면서 꺾여 퇴적물이 이탈되면서 낙하될 수 있다. 이러한 퇴적물이 증발원(22)에서 이격된 낙하지점(38)에 낙하되도록 와인딩 롤(32)은 증발원(22)에서 일정 거리 이격시켜 배치된다. 언와인딩 롤(30)의 경우엔 깨끗한 플렉서블 쉬트(28)가 풀리게 되므로 증발원(22)에 인접하여 배치되어도 무방하다.
도 5를 참조하면, 선형의 증발원(22)에서 분출되는 증발입자(16)의 분포를 직사각형 형태의 한정영역(34)으로 한정하게 되는데, 한 쌍의 장변한정용 롤투롤 분출각도조절부(23)는 한정영역(34)의 장변을 따라 각각 배치되고, 한 쌍의 단변한정용 롤투롤 분출각도조절부(25)는 한정영역(34)의 단변을 따라 각각 배치된다.
장변한정용 롤투롤 분출각도조절부(23)의 경우, 한정영역(34)의 장변의 일단에 언와인딩 롤(30)을 배치하고 언와인딩 롤(30)에서 풀린 플렉서블 쉬트(28)를 한정영역(34)의 장변을 따라 배치한 상태에서, 장변의 타단에서 일정 거리 이격된 위치에 와인딩 롤(32)을 배치하였다. 또한, 단변한정용 롤투롤 분출각도조절부(25)의 경우, 한정영역(34)의 단변의 일단에 언와인딩 롤(30)을 배치하고 언와인딩 롤(30)에서 풀린 플렉서블 쉬트(28)를 한정영역(34)의 단변을 따라 배치한 상태에서, 단변의 타단에서 일정 거리 이격된 위치에 와인딩 롤(32)을 배치하였다.
본 실시예에서는 선형의 증발원(22)의 양단부에도 단변한정용 롤투롤 분출각도조절부(25)를 배치한 형태를 제시하고 있으나, 선형의 증발원(22)의 양단부에는 단변한정용 롤투롤 분출각도조절부(25)를 배치하지 않고 선형의 증발원(22)의 길이 방향을 따라서만 장변한정용 롤투롤 분출각도조절부(23)를 배치하는 것도 가능하다.
본 실시예서는 플렉서블 쉬트(28)의 방향을 변경하기 위한 방향조절롤을 이용하지 않고 언와인딩 롤(30), 플렉서블 쉬트(28) 및 와인딩 롤(32)의 배치만으로 증발입자(16)의 분출각을 한정하도록 구성한 형태이다.
도 6은 본 실시예에 따른 롤투롤 분출각도조절부(24)의 변형예를 도시한 도면이다. 본 변형례는 방향조절롤(26)을 이용하여 플렉서블 쉬트(28)를 증발원(22)이 인접하게 배치하고 언와인딩 롤(30)과 와인딩 롤(32)를 후방으로 배치한 형태이다. 도 6을 참조하면, 직사각형 형태의 한정영역(34)의 한 변의 일단에 제1 방향조절롤(26)을 배치하고 한 변의 타단에서 일정 거리 이격된 위치에 또 다른 제2 방향조절롤(26)을 배치한 상태에서 제1 방향조절롤(26)의 후방에 위치한 언와인딩 롤(30)에서 풀린 플렉서블 쉬트(28)가 제1 방향조절롤(26)과 제2 방향조절롤(26)을 거치면서 감겨 제2 방향조절롤(26)의 후방에 위치한 와인딩 롤(32)에 플렉서블 쉬트(28)에 감기도록 구성한 형태이다. 이 경우, 증발물질(14)이 기생증착(37)된 플렉서블 쉬트(28)가 와인딩 롤(32)에 감기는 과정에서 플렉서블 쉬트(28)의 방향이 꺾이는 제2 방향조절롤(26)의 주변에 퇴적물이 낙하될 수 있다. 따라서 제2 방향조절롤(26)은 증발원(22)과 이격된 위치에 설치되도록 한다.
이상에서 본 발명의 실시예들에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시 예에 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.
10: 기판 12: 증착챔버
14: 증발물질 16: 증발입자
18: 도가니 20: 노즐부
22: 증발원 23, 24, 25: 롤투롤 분출각도조절부
26: 방향전환롤 28: 플렉서블 쉬트
30: 언와인딩 롤 32: 와인딩 롤
34: 한정영역 36: 아이들러(idler)
37: 기생증착 38: 낙하지점

Claims (11)

  1. 증발물질을 증발시켜 기판에 박막을 형성하는 증착장치로서,
    내부에서 상기 기판에 대해 증착이 수행되는 증착챔버와;
    상기 기판에 대향하여 배치되며 가열에 따라 증발물질이 증발되어 상기 기판을 향하여 증발입자를 분출하는 증발원과;
    언와인딩 롤(unwinding roll)와, 상기 언와인딩 롤에서 송출되어 상기 증발원에서 분출되는 증발입자의 분출각을 한정하여 상기 기판의 일정 영역에 도달하도록 세워지는 플렉서블 쉬트와, 상기 플렉서블 쉬트가 권취되는 와인딩 롤(winding roll)를 구비하는 롤투롤 분출각도조절부를 포함하며,
    상기 플렉서블 쉬트는,
    상기 증발원에서 분출되는 증발입자의 분포를 일정한 영역으로 한정하여 한정 영역을 구획하도록 포위하고,
    상기 롤투롤 각도조절부는,
    상기 한정영역의 외주를 따라 서로 이격되어 배치되며, 상기 플렉서블 쉬트에 의해 포위되어 감기는 복수의 방향전환롤과;
    상기 복수의 방향전환롤을 포위한 상기 플렉서블 쉬트가 내측으로 감기는 한 쌍의 아이들러(idler)를 포함하고,
    상기 한정영역은 직사각형 형태를 이루며,
    상기 방향전환롤은 상기 직사각형 형태의 상기 한정영역의 서로 인접하는 세 개의 모서리에 상응하여 위치하고,
    상기 한 쌍의 아이들러(idler)는 나머지 하나의 모서리에 상응하여 위치하는 것을 특징으로 하는, 증착장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 플렉서블 쉬트는,
    상기 증발원에 인접하여 세워지며,
    상기 와인딩 롤은,
    상기 증발원에서 일정 거리 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는, 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 삭제
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