KR20110081482A - 세정액 공급 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2는 도 1에 도시된 오염 검출 유닛을 나타내는 개략적인 단면도이다.
120: 순환 라인 122: 순환 펌프
124: 필터 부재 130: 오염 검출 유닛
132: 유닛 몸체 133: 캡 부재
134: 반응 볼 140: 회수 라인
150: 공급 라인 160: 분사 라인
162: 분사 노즐 10: 기판
Claims (6)
- 기판의 세정을 위한 세정액이 저장되는 저장 탱크;
상기 저장 탱크와 연결되어 상기 저장 탱크에 저장되는 상기 세정액을 순환시키는 순환 라인; 및
상기 순환 라인에 연결되고 상기 세정액의 오염에 따른 상기 세정액의 특성 변화를 검출하기 위한 오염 검출 유닛을 포함하는 세정액 공급 장치. - 제1항에 있어서, 상기 오염 검출 유닛은
상기 순환 라인에 연결되어 상기 순환 라인을 흐르는 상기 세정액이 내부로 유입되도록 형성된 니플(Nipple) 형태의 유닛 몸체; 및
상기 유닛 몸체의 내부에 채워지고 상기 유닛 몸체 내부로 유입되는 상기 세정액의 특성에 따라 반응하여 상기 세정액의 특성 상태를 나타내기 위한 반응 볼들을 포함하는 것을 특징으로 하는 세정액 공급 장치. - 제2항에 있어서, 상기 반응 볼들은 상기 세정액의 특성 상태에 따라 색상이 변화되는 리트머스를 포함하는 것을 특징으로 하는 세정액 공급 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 유닛 몸체는 외부에서 상기 유닛 몸체 내부에 채워진 상기 반응 볼들을 육안으로 확인할 수 있게 투명 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 세정액 공급 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 순환 라인에 연결되는 상기 유닛 몸체의 일단의 반대편에 위치하는 상기 유닛 몸체의 타단은 개방된 구조를 가지며, 상기 유닛 몸체는 타단 개방부를 밀폐하기 위한 캡 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 세정액 공급 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 유닛 몸체는 내부에 채워지는 상기 반응 볼들이 상기 순환 라인으로 유입되지 않도록 상기 순환 라인과 연결되는 유로의 직경이 상기 반응 볼의 직경보다 작게 형성된 것을 특징으로 하는 세정액 공급 장치.
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CN109752868A (zh) * | 2017-11-06 | 2019-05-14 | 夏普株式会社 | 液体循环装置 |
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-
2010
- 2010-01-08 KR KR1020100001672A patent/KR101116653B1/ko active IP Right Grant
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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