CN213779610U - 取样装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种取样装置，包括一密封的盒体结构，盒体结构内通过隔板划分为进液区和取样区，取样区内设置有通过连通管依次连通的多个样品瓶，取样区包括用于取放样品瓶的密封门，进液区内设置有取样泵和进液管路，进液管路的供液端穿过隔板上的通孔插入多个样品瓶的首端样品瓶，进液管路的取样端伸出于盒体结构外部；进液管路包括具有取样端的第一支路和具有供液端的第二支路，取样泵设置于第一支路和第二支路之间，第一支路上设置有第一阀门，第二支路上设置有第二阀门；取样装置还包括控制结构，用于控制第一阀门、第二阀门以及取样泵的工作状态以进行取样。
Description
技术领域
本实用新型涉及溶液取样装置技术领域，尤其涉及一种取样装置。
背景技术
在半导体生产过程中,对电路的集成度有了越来越高的要求，意味着其线宽越来越小，集成的元件越多，降低了功耗。所以这就要求作为衬底的单晶硅片需要严格控制硅片表面金属污染物的含量。表面金属离子的污染可能导致半导体器件存在不同程度的缺陷，如Na,K,Ca,Mg,Ba等碱金属污染可导致元件击穿电压的降低；Fe,Cr,Ni,Cu,Mn,Pb等过渡金属或重金属污染可使元件的寿命缩短，或者使元件工作时的暗电流增大，最终使整个器件完全失效。
目前在硅片生产过程中，拉晶，成型，抛光，清洗为主要的生产工艺流程，其中清洗是硅片生产中必不可少的环节。SPM清洗液可以将硅片表面的金属氧化物溶于清洗液中，并能去除有机沾污；DHF清洗液可以将硅片表面的自然氧化膜去掉，同时抑制它的形成；SC1清洗液及SC2清洗液可以去除附着在硅片表面的颗粒、金属等沾污，同时使硅片表面钝化。因此，需要用到大量的超纯水及化学品(HF，HCL，NH4OH，H2O2等)，这些清洗液的金属杂质含量的多少直接影响到产品的质量，因此需要受到严格的管控。
然而对清洗液中金属杂质的含量进行管控需要受到各种因素的影响，例如： (1)在取样过程中，取样环境的洁净程度；(2)人员取样及测试过程中对样品的污染；(3)样品瓶是否专瓶专用，样品瓶的清洁度；(4)分析设备的精密度、稳定性及使用的测试方法等。这些因素都会对测试结果的准确性造成影响，无法客观的评价溶液中金属杂质的真实水平。
实用新型内容
为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种取样装置，解决取样时取样环境不能与外界隔离，以及通过人工取样造成的取样结果不准确的问题。
为了达到上述目的，本实用新型实施例采用的技术方案是：一种取样装置，包括一密封的盒体结构，所述盒体结构内通过隔板划分为进液区和取样区，所述取样区内设置有通过连通管依次连通的多个样品瓶，所述取样区包括用于取放所述样品瓶的密封门，所述进液区内设置有取样泵和进液管路，所述进液管路的供液端穿过所述隔板上的通孔插入多个所述样品瓶的首端样品瓶，所述进液管路的取样端伸出于所述盒体结构外部；
所述进液管路包括具有所述取样端的第一支路和具有所述供液端的第二支路，所述取样泵设置于所述第一支路和所述第二支路之间，所述第一支路上设置有第一阀门，所述第二支路上设置有第二阀门；
所述取样装置还包括控制结构，用于控制所述第一阀门、所述第二阀门以及所述取样泵的工作状态以进行取样。
可选的，所述取样区内还包括废液回收管路，所述废液回收管路的一端插入多个所述样品瓶中的末端样品瓶，所述废液回收管路的另一端伸出所述取样区与外部的废液回收桶连通；
所述废液回收管路上设置有第三阀门；
所述控制结构还用于控制所述第一阀门、所述第二阀门、所述第三阀门以及所述取样泵的工作状态，在取样前持续向所述样品瓶通入取样液预设时间，以对所述样品瓶进行清洗。
可选的，还包括六通阀，所述第二支路包括位于所述六通阀的第一开口和所述取样泵之间的第一子支路，以及位于所述六通阀的第二开口和所述首端样品瓶之间的第二子支路，所述废液回收管路包括位于所述末端样品瓶和所述六通阀的第三开口之间的第三支路，以及位于所述六通阀的第四开口和所述废液回收桶之间的第四支路；
还包括调节部，用于控制所述六通阀在第一状态和第二状态之间切换；
其中，在所述第一状态下，所述第一开口和所述第二开口之间通过第一路径连通，所述第三开口和所述第四开口之间通过第二路径连通，在所述第二状态下，所述第一开口和所述第二开口之间通过第三路径连通，所述第三开口和所述第四开口之间通过第四路径连通。
可选的，还包括位于所述进液区的过滤器，所述过滤器位于所述第一子支路。
可选的，还包括用于提供对所述取样区进行清洁的惰性气体的惰性气体提供结构，所述惰性气体提供结构包括气体管路，所述气体管路的一端穿过所述进液区、所述隔板进入所述取样区、以对所述取样区提供惰性气体；
所述取样区设置有排气口，所述排气口处设置有过滤部。
可选的，所述气体管路上设置有用于控制所述气体管路的通断的第四阀门。
可选的，所述取样区的第一侧壁上设置有观察窗。
可选的，所述第一侧壁上设置有两个通孔，所述取样区内部设置有密封连接于每个所述通孔处的手套，所述手套的内部通过所述通孔与外界连通。
可选的，所述取样端包括可拆卸连接于所述进液管路的进液口的取样结构，所述取样结构包括喇叭状弹性部和套设于所述弹性部外部的刚性部，所述刚性部沿其周向设置有多个豁口，该豁口将所述刚性部划分为间隔设置的至少两部分，所述刚性部的外表面设置有外螺纹，所述刚性部外套设有锁紧螺母，所述锁紧螺母转动、以向靠近或远离所述进液管路的进液口的方向移动，以缩小或扩大所述弹性部的开口大小。
可选的，所述取样装置还包括用于固定所述样品瓶的夹持固定结构，所述夹持固定结构包括与多个所述样品瓶一一对应的夹持组件，每个所述夹持组件包括相对设置的两个夹持部，每个所述夹持部呈弯曲状，一个所述夹持部朝向另一个所述夹持部的一侧有弹性层。
可选的，所述夹持部通过伸缩杆连接于所述取样区的侧壁上。
可选的，所述进液区的侧壁上设置有维修口。
本实用新型的有益效果是：所述盒体结构是密封设置，取样区与外界隔离，避免外界环境对取样区的污染，且在控制结构的控制下对多个样品瓶自动进行取样，避免了由于人工操作带来的污染，提供取样精度和取样效率。
附图说明
图1表示本实用新型实施例中取样装置结构示意图一；
图2表示本实用新型实施例中取样装置结构示意图二；
图3表示本实用新型实施例中取样装置结构示意图三；
图4表示本实用新型实施例中取样结构的结构示意图一；
图5表示本实用新型实施例中取样结构的结构示意图二；
图6表示本实用新型实施例中取样结构的结构示意图三；
图7表示本实用新型实施例中六通阀流路示意图一；
图8表示本实用新型实施例中六通阀流路示意图二。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
如图1-图3所示，本实施例中提供一种取样装置，包括一密封的盒体结构，所述盒体结构内通过隔板划分为进液区1和取样区2，所述取样区2内设置有通过连通管依次连通的多个样品瓶100，所述取样区2包括用于取放所述样品瓶100的密封门21，所述进液区1内设置有取样泵4和进液管路10，所述进液管路10的供液端穿过所述隔板上的通孔插入多个所述样品瓶100的首端样品瓶100，所述进液管路10的取样端伸出于所述盒体结构外部；
所述进液管路10包括具有所述取样端的第一支路和具有所述供液端的第二支路，所述取样泵4设置于所述第一支路和所述第二支路之间，所述第一支路上设置有第一阀门，所述第二支路上设置有第二阀门；
所述取样装置还包括控制结构，用于控制所述第一阀门、所述第二阀门以及所述取样泵4的工作状态以进行取样。
所述盒体结构是密封设置，所述取样区2与外界隔离，并且所述取样区2 与所述进液区1通过隔板进行隔离，有效的避免外界环境对取样区2的污染。多个所述样品瓶100的设置，可以通过多个所述样品瓶100进行样品的采集，提高了取样效率，且在所述控制结构的控制下对多个样品瓶100自动进行取样，避免了由于人工操作带来的污染，提高取样精度，通过本实施例中的取样装置进行取样，可以实现金属含量在ppt级别的危险化学品的溶液的取样。
需要说明的是，本实施例中，多个所述样品瓶100是依次连通设置的，沿着连通顺序，第一个样品瓶即为首端样品瓶，最后一个样品瓶即为末端样品瓶，如图3所示，图3中左边的样品瓶100为首端样品瓶，而右边的样品瓶为末端样品瓶，相邻两个样品瓶100之间的管路上设置有阀门，以便于对流入每个样品瓶内的液体的流速等参数进行控制。
本实施例中示例性的，所述取样区2内还包括废液回收管路20，所述废液回收管路20的一端插入多个所述样品瓶100中的末端样品瓶100(参考图3 中右边的样品瓶)，所述废液回收管路20的另一端伸出所述取样区2与外部的废液回收桶6连通；
所述废液回收管路20上设置有第三阀门；
所述控制结构还用于控制所述第一阀门、所述第二阀门、所述第三阀门以及所述取样泵4的工作状态，在取样前持续向所述样品瓶通入取样液预设时间，以对所述样品瓶进行清洗。
在进行取样前，需要通过清洗液对样品瓶进行清洗，以保证样品瓶的洁净度，但是为了避免清洗液的残留，可以通过控制结构控制所述第一阀门、所述第二阀门、所述第三阀门以及所述取样泵4的工作状态，持续向所述样品瓶通入取样液预设时间，以对所述样品瓶进行再次清洗，废液通过废液回收管路 20流入所述废液回收桶6，这样可以进一步保证样品瓶100的清洁度。
所述预设时间以及通入所述样品瓶100以用于清洗样品瓶100的取样液的流速可根据实际需要设定。
本实施例中示例性的，所述取样装置还包括六通阀7，所述第二支路包括位于所述六通阀7的第一开口(图7和图8中的开口6)和所述取样泵4之间的第一子支路，以及位于所述六通阀7的第二开口(图7和图8中的开口1) 和所述首端样品瓶100之间的第二子支路，所述废液回收管路20包括位于所述末端样品瓶100和所述六通阀7的第三开口(图7和图8中的开口4)之间的第三支路，以及位于所述六通阀7的第四开口(图7和图8中的开口3)和所述废液回收桶6之间的第四支路；
还包括调节部，用于控制所述六通阀7在第一状态和第二状态之间切换；
其中，在所述第一状态下，所述第一开口(开口6)和所述第二开口(开口1)之间通过第一路径连通，所述第三开口(开口4)和所述第四开口(开口3)之间通过第二路径连通，在所述第二状态下，所述第一开口(开口6) 和所述第二开口(开口1)之间通过第三路径连通，所述第三开口(开口4) 和所述第四开口(开口3)之间通过第四路径连通。
所述第一状态为清洗状态，所述第二状态为取样状态，图7中表示的是取样时的流路，图8表示的是清洗时的流路。在清洗时，清洗液依次通过开口6 和开口1进入样品瓶，清洗后的清洗液依次经过开口4、开口5、开口2和开口3流出至废液回收桶6；在进行取样时，取样液依次经过开口6、开口5、开口2和开口1进入样品瓶，在取样结束后，为防止取样液溢污染环境，溢出的取样液(超出样品瓶容量的取样液)，会依次经过开口4和开口3流出至废液回收桶6，避免取样环境污染。
如图7和图8所示，所述六通阀7的设置将清洗样品瓶100的流路和进行取样的流路分离，保证取样过程的清洁度。
需要说明的是，本实施例中，在通过清洗液对样品瓶进行清洗后，在进行取样之前，需要在样品瓶内通入取样液预设时间(可根据实际需要设定，例如 1小时)，即通过取样液对样品瓶进行再次清洗，去除清洗液的残留，六通阀可以实现取样路径与清洗路径之间的切换，保证可以不取出样品瓶，就能达到清洗的目的。
本实施例中示例性的，所述取样装置还包括位于所述进液区1的过滤器5，所述过滤器5位于所述第一子支路。
所述过滤器5的设置可以过滤掉取样液中的颗粒污染物。
本实施例中示例性的，所述取样装置还包括用于提供对所述取样区2进行清洁的惰性气体的惰性气体提供结构，所述惰性气体提供结构包括气体管路 30，所述气体管路30的一端穿过所述进液区1、所述隔板进入所述取样区2、以对所述取样区2提供惰性气体；
所述取样区2设置有排气口，所述排气口处设置有过滤部24。
所述排气口设置于所述取样区2的顶部，所述过滤部24可以为过滤网，过滤部24的设置可以将取样过程中可能泄露到所述取样区2的化学物质(取样液挥发形成的气体)进行吸收，杜绝有害气体的产生。
所述过滤网可拆卸的设置于所述排气口处，以便于更换。
本实施例中示例性的，所述气体管路30上设置有用于控制所述气体管路 30的通断的第四阀门。
在取样前，需要通过惰性气体对所述取样区2进行吹扫，以保证所述取样区2的环境的清洁，本实施例中，通过所述第四阀门的设置，可以控制所述惰性气体的流量、流速以及清洁时间。
本实施例中示例性的，所述惰性气体采用PN2高纯氮气，但并不以此为限。
本实施例中，所述气体管路30的出口设置有喷淋头，以便于对所述取样区2的多个方向进行吹扫。
本实施例中示例性的，所述取样区2的第一侧壁上设置有观察窗22。所述观察窗22的设置，便于工作人员对所述取样区2内部情况的观察。
本实施例中示例性的，所述控制结构包括设置于所述第一侧壁上的控制面板3，便于对所述第一阀门、所述第二阀门、所述第三阀门、所述取样泵4的控制。
所述观察窗22是透明的，且采用耐腐蚀、低溶出的材质制成，例如PFA (可溶性聚四氟乙烯)或者PTFE(聚四氟乙烯)或者PVC(聚氯乙烯)。
本实施例中示例性的，所述第一侧壁上设置有两个通孔23，所述取样区2 内部设置有密封连接于每个所述通孔23处的手套，所述手套的内部通过所述通孔23与外界连通。
工作人员可以通过手套对位于所述取样区2内的阀门(包括六通阀7)进行控制，或者对所述样品瓶100进行操作，例如样品瓶100的放置、与相应管路的连接等，由于手套的内部通过所述通孔23与外部连通，而手套的外部是位于所述取样区2内的，即工作人员与所述取样区2内部是完全隔离的，保护工作人员安全，且避免了人工操作带来的污染。
本实施例中所述通孔23设置于所述观察窗22上，但并不以此为限。
本实施例中示例性的，所述手套采用耐腐蚀的材质制成，例如PFA(可溶性聚四氟乙烯)或者PTFE(聚四氟乙烯)。
本实施例中示例性的，所述进液区1的侧壁上开设有维修口11，由于所述进液区1与所述取样区2通过所述隔板隔离，所以所述维修口11的设置，可以便于所述进液管路10的维修，还可以避免维修时对所述取样区2的洁净度的影响。
本实施例中示例性的，如图4-图6所示，所述取样端包括可拆卸连接于所述进液管路的进液口的取样结构所述取样结构包括喇叭状弹性部和套设于所述弹性部103外部的刚性部101，所述刚性部101沿其周向设置有多个豁口102，多个豁口102沿着所述刚性部101的延伸方向延伸设置，多个豁口102将所述刚性部101的至少部分区域、沿其周向划分为间隔设置的至少两部分，所述刚性部101的外表面设置有外螺纹，所述刚性部101外套设有锁紧螺母(图中未示)，所述锁紧螺母顺时针转动，以向远离所述进液管路的方向移动，以缩小所述弹性部103的开口大小((参考图6))，所述锁紧螺母逆时针旋转，以向靠近所述进液管路的方向移动，以扩大所述弹性部103的开口的大小(参考图 5)，进而可以取样结构取样结构适配不同大小的取样液的取样口的设置，便于取样。
本实施例中示例性的，所述取样装置还包括用于固定所述样品瓶的夹持固定结构，所述夹持固定结构包括与多个所述样品瓶100一一对应的夹持组件，每个所述夹持组件包括相对设置的两个夹持部，每个夹持部呈弯曲状，一个夹持部朝向另一个所述夹持部的一侧有弹性层，所述弹性层可以是海绵或者橡胶，以防止对样品瓶100的损伤。
本实施例中示例性的，所述夹持部通过一伸缩杆固定在所述取样区2的侧壁上，通过所述伸缩杆的调节可以实现不同大小的样品瓶100的固定。
以上所述为本实用新型较佳实施例，需要说明的是，对于本领域普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型保护范围。
Claims (12)
1.一种取样装置，其特征在于，包括一密封的盒体结构，所述盒体结构内通过隔板划分为进液区和取样区，所述取样区内设置有通过连通管依次连通的多个样品瓶，所述取样区包括用于取放所述样品瓶的密封门，所述进液区内设置有取样泵和进液管路，所述进液管路的供液端穿过所述隔板上的通孔插入多个所述样品瓶的首端样品瓶，所述进液管路的取样端伸出于所述盒体结构外部；
所述进液管路包括具有所述取样端的第一支路和具有所述供液端的第二支路，所述取样泵设置于所述第一支路和所述第二支路之间，所述第一支路上设置有第一阀门，所述第二支路上设置有第二阀门；
所述取样装置还包括控制结构，用于控制所述第一阀门、所述第二阀门以及所述取样泵的工作状态以进行取样。
2.根据权利要求1所述的取样装置，其特征在于，所述取样区内还包括废液回收管路，所述废液回收管路的一端插入多个所述样品瓶中的末端样品瓶，所述废液回收管路的另一端伸出所述取样区与外部的废液回收桶连通；
所述废液回收管路上设置有第三阀门；
所述控制结构还用于控制所述第一阀门、所述第二阀门、所述第三阀门以及所述取样泵的工作状态，在取样前持续向所述样品瓶通入取样液预设时间，以对所述样品瓶进行清洗。
3.根据权利要求2所述的取样装置，其特征在于，还包括六通阀，所述第二支路包括位于所述六通阀的第一开口和所述取样泵之间的第一子支路，以及位于所述六通阀的第二开口和所述首端样品瓶之间的第二子支路，所述废液回收管路包括位于所述末端样品瓶和所述六通阀的第三开口之间的第三支路，以及位于所述六通阀的第四开口和所述废液回收桶之间的第四支路；
还包括调节部，用于控制所述六通阀在第一状态和第二状态之间切换；
其中，在所述第一状态下，所述第一开口和所述第二开口之间通过第一路径连通，所述第三开口和所述第四开口之间通过第二路径连通，在所述第二状态下，所述第一开口和所述第二开口之间通过第三路径连通，所述第三开口和所述第四开口之间通过第四路径连通。
4.根据权利要求3所述的取样装置，其特征在于，还包括位于所述进液区的过滤器，所述过滤器位于所述第一子支路。
5.根据权利要求1所述的取样装置，其特征在于，还包括用于提供对所述取样区进行清洁的惰性气体的惰性气体提供结构，所述惰性气体提供结构包括气体管路，所述气体管路的一端穿过所述进液区、所述隔板进入所述取样区、以对所述取样区提供惰性气体；
所述取样区设置有排气口，所述排气口处设置有过滤部。
6.根据权利要求5所述的取样装置，其特征在于，所述气体管路上设置有用于控制所述气体管路的通断的第四阀门。
7.根据权利要求1所述的取样装置，其特征在于，所述取样区的第一侧壁上设置有观察窗。
8.根据权利要求7所述的取样装置，其特征在于，所述第一侧壁上设置有两个通孔，所述取样区内部设置有密封连接于每个所述通孔处的手套，所述手套的内部通过所述通孔与外界连通。
9.根据权利要求1所述的取样装置，其特征在于，所述取样端包括可拆卸连接于所述进液管路的进液口的取样结构，所述取样结构包括喇叭状弹性部和套设于所述弹性部外部的刚性部，所述刚性部沿其周向设置有多个豁口，该豁口将所述刚性部划分为间隔设置的至少两部分，所述刚性部的外表面设置有外螺纹，所述刚性部外套设有锁紧螺母，所述锁紧螺母转动、以向靠近或远离所述进液管路的进液口的方向移动，以缩小或扩大所述弹性部的开口大小。
10.根据权利要求1所述的取样装置，其特征在于，所述取样装置还包括用于固定所述样品瓶的夹持固定结构，所述夹持固定结构包括与多个所述样品瓶一一对应的夹持组件，每个所述夹持组件包括相对设置的两个夹持部，每个所述夹持部呈弯曲状，一个所述夹持部朝向另一个所述夹持部的一侧有弹性层。
11.根据权利要求10所述的取样装置，其特征在于，所述夹持部通过伸缩杆连接于所述取样区的侧壁上。
12.根据权利要求1所述的取样装置，其特征在于，所述进液区的侧壁上设置有维修口。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202022691238.7U CN213779610U (zh) | 2020-11-19 | 2020-11-19 | 取样装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202022691238.7U CN213779610U (zh) | 2020-11-19 | 2020-11-19 | 取样装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN213779610U true CN213779610U (zh) | 2021-07-23 |
Family
ID=76879367
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202022691238.7U Active CN213779610U (zh) | 2020-11-19 | 2020-11-19 | 取样装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN213779610U (zh) |
-
2020
- 2020-11-19 CN CN202022691238.7U patent/CN213779610U/zh active Active
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