CN216297333U - 样品瓶清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种样品瓶清洗装置，包括一具有上料口和下料口的密封腔室，所述密封腔室内包括多个功能槽，多个所述功能槽包括瓶盖拆装槽、清洗液填充槽、第一清洗槽、第二清洗槽和烘干槽，所述密封腔室内还包括用于在多个所述功能槽之间同时传送多个不同大小的样品瓶的传送结构。

Description

样品瓶清洗装置

技术领域

本实用新型涉及清洗干燥技术领域，尤其涉及一种样品瓶清洗装置。

背景技术

硅片是半导体制造业的基础材料，硅片表面及其少量的沾污都有可能导致器件功能失效或可靠性变差，因此硅片在制作使用过程中的杂质控制非常重要，对其进行的相关测试既是硅片制造过程中必不可少的监控手段，也是提升后续器件性能的重要方法和指标。生产过程中的沾污主要为：颗粒，金属杂质，有机物，自然氧化层，静电释放等，这些沾污的检测可以通过监测洁净间空气，人员，生产过程中的水，化学品(HF，HCL，NH4OH，H2O2等)及工艺气体，硅片表面及基体等方式来实现。然而在对这些沾污的检测过程中会受到各种因素的影响：(1)在取样过程中，环境的洁净程度，能否与外界的环境进行隔离；(2)人员取样及测试过程中对样品的污染；(3)在取样时样品瓶、取样工具的材质，是否专瓶专用，样品瓶的清洗状况等；(4)分析设备的精密度、稳定性及使用的测试方法等。这些因素都会对测试结果的准确性造成影响，无法客观的评价杂质的真实水平。

其中保证取样时，样品瓶的洁净度是测试过程中至关重要的一环。实验室使用的瓶子的形状尺寸大小不一，且材质各不相同，有的为一次性使用，需要直接废弃，有的价格昂贵，且可以循环使用，需要清洗之后再次使用。目前各实验室内大多数还是采用人工清洗的方式，缺乏相应的清洗工具使清洗效率低下，清洗不彻底，浪费大量人力。同时半导体行业中对金属离子的管控非常严格，需要达到1个ppt以下，因此在清洗过程中为了保证洁净度会用到HF， HNO3等比较危险的化学品，对人员造成一定的伤害。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种样品瓶清洗装置，解决不能同时对多个样品瓶进行清洗，且容易对人员造成伤害的问题。

为了达到上述目的，本实用新型实施例采用的技术方案是：一种样品瓶清洗装置，包括一具有上料口和下料口的密封腔室1，所述密封腔室1内包括多个功能槽，多个所述功能槽包括瓶盖拆装槽、清洗液填充槽、第一清洗槽、第二清洗槽和烘干槽，所述密封腔室内还包括用于在多个所述功能槽之间同时传送多个不同大小的样品瓶的传送结构。

可选的，每个所述功能槽为一个密封箱体结构，所述密封箱体结构包括自动开关门，使得样品瓶进入所述功能槽，或者从所述功能槽内输出。

可选的，所述传送结构包括：

传送机械臂；

设置于所述传送机械臂一端的固定盘，所述固定盘上设置多个固定孔；

与多个所述固定孔一一对应的多个夹持部，所述夹持部包括至少两个相对设置的夹持件，以及调节件，所述调节件用于控制至少两个所述夹持件相对移动以夹持样品瓶，所述夹持件位于对应的所述固定孔的边沿。

可选的，所述夹持部包括两个相对设置的弧形夹持件。

可选的，每个所述弧形夹持件的夹持面上设置有贯穿所述弧形夹持件设置的吸附孔，所述调节件包括与所述吸附孔连接的吸附管道，以及与所述吸附管道连接的真空泵。

可选的，所述瓶盖拆装槽内设置有第一机械手臂，所述第一机械手臂设置有开口大小可调的夹取部，所述夹取部夹取瓶盖后沿第一方向旋转以取下瓶盖，或者沿与所述第一方向相反的方向旋转以盖紧瓶盖。

可选的，所述夹取部包括至少两个相对设置的机械爪，至少两个机械爪相向或相背移动以调节至少两个机械爪之间的空间大小。

可选的，还包括用于向位于所述清洗液填充槽内的样品瓶填充清洗液的清洗液填充结构，

所述清洗液包括氢氟酸、双氧水、硝酸和超纯水中的至少一种，所述清洗液填充结构包括氢氟酸存储部、双氧水存储部、硝酸存储部、第一超纯水存储部、溶液混合部，以及分别将所述氢氟酸存储部、所述双氧水存储部、所述硝酸存储部和所述第一超纯水存储部与所述溶液混合部连通的四个进液管道；

所述清洗液填充结构还包括与所述溶液混合部连通的出液管道；

所述清洗液填充结构还包括调节部，所述调节部包括设置于每个所述进液管道上的第一阀门和第一流量计和设置于所述出液管道上的第二阀门和第二流量计，所述调节部用于根据每个所述进液管道上的所述第一流量计的反馈，控制对应的所述进液管道上的所述第一阀门的开关状态，以调节所述清洗液中的氢氟酸、双氧水、硝酸或超纯水的比例；所述调节部还用于根据所述第二流量计的反馈控制所述第二阀门的开关状态，以控制向样品瓶内填充的清洗液的量。

可选的，所述第一清洗槽内设置有超声结构，用于对填充有清洗液的样品瓶进行超声清洗。

可选的，所述第一清洗槽内还设置有第一加热结构，使得所述第一清洗槽内的温度保持在第一预设温度。

可选的，所述第二清洗槽包括超纯水填充结构和第二加热结构，所述超纯水填充结构包括第二超纯水存储部和将所述第二超纯水存储部与所述第二清洗槽连通的进液管道，所述第二加热结构用于将所述第二清洗槽内的温度加热到第二预设温度。

可选的，所述第一清洗槽复用为所述第二清洗槽，用于对填充有超纯水的样品瓶进行清洗。

可选的，还包括设置于所述密封腔室内顶壁上的风机过滤单元，以及设置于所述密封腔室底部的排风口。

可选的，还包括惰性气体提供结构，所述惰性气体提供结构对每个所述功能槽内部提供惰性气体。

可选的，所述上料口复用为所述下料口，所述上料口处设置有自动窗以及载物台，所述传送机械臂用于在所述自动窗打开时，将位于所述载物台上的样品瓶传送至所述密封腔室内，或者将清洗完成后的样品瓶传送至所述载物台。

本实用新型的有益效果是：通过密封腔室的设置，有效防止外界环境对清洗效果的影响，且样品瓶的整个清洗过程是自动清洗，减少人员操作，避免人员伤害，且可以同时对多个样品瓶进行清洗，提高清洗效率。

附图说明

图1表示本实用新型实施例中清洗装置外部结构示意图；

图2表示本实用新型实施例中清洗装置内部结构示意图；

图3表示本实用新型实施例中机械臂结构示意图；

图4表示本实用新型实施例中清洗液填充结构示意图；

图5表示本实用新型实施例中夹持部的第一状态示意图；

图6表示本实用新型实施例中夹持部的第二状态示意图；

图7表示本实用新型实施例中夹持部的第三状态示意图。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

参考图1-图4，本实施例中提供一种样品瓶清洗装置，包括一具有上料口和下料口的密封腔室1，所述密封腔室1内包括多个功能槽，多个所述功能槽包括瓶盖拆装槽10、清洗液填充槽20、第一清洗槽30、第二清洗槽40和烘干槽50，所述密封腔室1内还包括用于在多个所述功能槽之间同时传送多个样品瓶的传送结构。

通过密封腔室1的设置，有效防止外界环境对清洗效果的影响，且样品瓶的整个清洗过程是自动清洗，减少人员操作，避免人员伤害，且可以同时对多个不同大小的样品瓶进行清洗，提高清洗效率。

本实施例中示例性的，每个所述功能槽为一个密封箱体结构，所述密封箱体结构包括自动开关门，使得样品瓶进入所述功能槽，或者从所述功能槽内输出。

每个所述功能槽为一个密封箱体结构，多个所述功能槽设置于所述密封腔室1内，形成双重密封效果，有效的减少样品瓶被环境中的污染物污染的机率。

本实施例中示例性的，所述传送结构包括：

传送机械臂2；

设置于所述传送机械臂2一端的固定盘21，所述固定盘21上设置多个固定孔201；

与多个所述固定孔201一一对应的多个夹持部202，所述夹持部202包括至少两个相对设置的夹持件，以及调节件，所述调节件用于控制至少两个所述夹持件相对移动以夹持样品瓶，所述夹持件位于对应的所述固定孔201的边沿。

本实施例中示例性的，所述夹持部202包括两个相对设置的弧形夹持件。

图5-图7中表示了夹持部202夹持不同大小的样品瓶的状态示意图，需要说明的是，图5-图7中所示的夹持部202同时夹持的样品瓶的大小是相同的，但是并不以此为限，图示中固定盘21上具有12个固定孔201，固定于12个固定孔201内的样品瓶的大小可以完全相同，也可以完全不同，也可以不完全相同(即部分相同)，所述夹持部202根据对应的样品瓶的大小调节至少两个夹持件之间的夹持空间的大小。

所述固定盘21包括相对设置的第一侧和第二侧，所述夹持件设置于所述固定盘21的第一侧，所述调节件可以设置于所述固定盘21的第一侧，也可以设置于所述固定盘21的第二侧，在一实施方式中，所述调节件包括传动部分和驱动部分，所述传动部分可以为一传动杆，传动杆的一端与所述夹持件连接，另一端穿过对应的所述固定孔201与所述驱动部分连接，所述传动杆紧贴所述固定孔201的内壁设置，所述驱动部分位于所述固定盘21的所述第二侧，所述传动杆的外部包覆有弹性材料以避免对样品瓶的损伤。

所述夹持件的夹持面设置有弹性材料，避免夹持件夹持过度对样品瓶的损伤。

所述驱动部分可以是电机，但并不以此为限。本实施例的一实施方式中，每个所述弧形夹持件的夹持面上设置有贯穿所述弧形夹持件设置的吸附孔，所述调节件包括与所述吸附孔连接的吸附管道，以及与所述吸附管道连接的真空泵。即所述驱动部分包括所述真空泵。

所述夹持部202的设置可以适用于不同尺寸的样品瓶，这样就可以实现不同尺寸的样品瓶的同时清洗，提高清洗效率。

本实施例中示例性的，所述夹持部202可以抓取容量为50-500ml的样品瓶。

本实施例中示例性的，所述瓶盖拆装槽10内设置有第一机械手臂5，所述第一机械手臂5设置有开口大小可调的夹取部51，样品瓶是固定于所述固定盘21内的，所述夹取部51夹取瓶盖后沿第一方向旋转以取下瓶盖，或者沿与所述第一方向相反的方向旋转以盖紧瓶盖。

本实施例中示例性的，所述第一方向为顺时针方向，或逆时针方向。

图3表示出了所述第一机械臂5抓取样品瓶100的瓶盖的状态示意图，所述夹取部51的设置，可以适用于不同大小的瓶盖，便于不同大小的瓶盖的拆装。

本实施例中示例性的，所述夹取部51包括至少两个相对设置的机械爪，至少两个机械爪相向或相背移动以调节至少两个机械爪之间的空间大小。

本实施例中示例性的，还包括用于向位于所述清洗液填充槽20内的样品瓶填充清洗液的清洗液填充结构，所述清洗液包括氢氟酸、双氧水、硝酸和超纯水中的至少一种，所述清洗液填充结构包括氢氟酸存储部70、双氧水存储部90、硝酸存储部80和第一超纯水存储部010，以及分别将所述氢氟酸存储部70、所述双氧水存储部90、所述硝酸存储部80和所述第一超纯水存储部 010与所述第一清洗槽连通的四个进液管道200；

所述清洗液填充结构还包括调节部，所述调节部包括设置于每个所述进液管道200上的第一阀门和第一流量计和设置于所述出液管道上的第二阀门和第二流量计，所述调节部用于根据每个所述进液管道200上的所述第一流量计的反馈，控制对应的所述进液管道200上的所述第一阀门的开关状态，以调节所述清洗液中的氢氟酸、双氧水、硝酸或超纯水的比例；所述调节部还用于根据所述第二流量计的反馈控制所述第二阀门的开关状态，以控制向样品瓶内填充的清洗液的量。

通过所述第一阀门和所述第一流量计的设置，可以自由调节所述清洗液的成分以及各成分的比例，通过所述第二阀门和所述第二流量计的作用，可以控制进入样品瓶内的清洗液的量，可以提高清洗效果，且避免清洗液的浪费。

本实施例中示例性的，所述清洗液填充结构还包括位于所述进液管道200 和所述出液管道之间的液体混合区60，使得清洗液在包括至少两种成分时，可以充分的混合后再进行填充，提高清洗效果。

本实施例中示例性的，所述密封腔室1的第一侧壁12上设置有门，以在打开状态时，为所述氢氟酸存储部70、双氧水存储部90、硝酸存储部80和第一超纯水存储部010补充相应的液体。

本实施例中示例性的，所述第一清洗槽30内设置有超声结构，用于对填充有清洗液的样品瓶进行超声清洗。

本实施例中示例性的，所述第一清洗槽30内还设置有第一加热结构，使得所述第一清洗槽30内的温度保持在第一预设温度。

对所述第一清洗槽30进行加热，增加动能，可以使得污染物尽快脱离样品瓶的瓶身，所述第一预设温度可以根据实际需要设定，例如30-60度，但并不以此为限。

本实施例中示例性的，所述第二清洗槽40包括超纯水填充结构和第二加热结构，所述超纯水填充结构包括第二超纯水存储部和将所述第二超纯水存储部与所述第二清洗槽40连通的进液管道，所述第二加热结构用于将所述第二清洗槽内的温度加热到第二预设温度。

在此工序中，会采用超纯水对样品瓶进行多次清洗，以避免清洗液的残留。

本实施例中，对所述第二清洗槽40进行加热，使得样品瓶内的污染物被加热挥发，上升过程中遇到温度较低的瓶盖，冷却回流，最终随着液体一起被排出，提高样品瓶的清洁效果，所述第二预设温度可以根据实际需要设定，例如100-120度，但并不以此为限。

本实施例中，通过第一清洗槽30和所述第二清洗槽40两次进行清洗，提高样品瓶的清洗效率。

所述第一超纯水存储部010可以复用为所述第二超纯水存储部，所述第一超纯水存储部可以通过单独的管道300直接向位于所述第二清洗槽40内的样品瓶提供超纯水，避免采用提供清洗液的管道，造成清洗液残留。

本实施例中示例性的，在所述第一清洗槽30内进行超声清洗后，可以在所述第一清洗槽内采用超纯水进行二次清洗，然后在所述第二清洗槽40内再次通过超纯水进行清洗，增强清洗效果。

本实施例中示例性的，所述第一清洗槽30复用为所述第二清洗槽40，用于对填充有超纯水的样品瓶进行清洗。

所述第一清洗槽30复用为所述第二清洗槽40，简化结构，在执行与所述第二清洗槽40相同的清洗功能时，只要通过所述调节部控制所述清洗液只包含超纯水即可，向所述第一清洗槽30内提供超纯水进行再清洗时，可以通过单独设立的管道300，与提供清洗液的管道分开设置，避免清洗液残留。

本实施例中示例性的，还包括设置于所述密封腔室1内顶壁上的风机过滤单元(FFU)，以及设置于所述密封腔室1底部的排风口。保证装置内部为无污染的恒定环境，不受外界环境的影响

本实施例中示例性的，还包括惰性气体提供结构，所述惰性气体提供结构对每个所述功能槽内部提供惰性气体。

每个所述功能槽都是一个独立的密封结构，通过向每个所述功能槽内通入惰性气体，可以保证每个所述功能槽内的清洁度，提高样品瓶的清洗效果。

本实施例中，所述惰性气体为PN2(高纯氮气)，但并不以此为限。

向每个所述功能槽提供PN2，保证每个所述功能槽内的无污染的环境，提高清洗效果。

本实施例中，所述上料口复用为所述下料口，所述上料口处设置有自动窗 11以及载物台3，所述传送机械臂2用于在所述自动窗11打开时，将位于所述载物台3上的样品瓶传送至所述密封腔室1内，或者将清洗完成后的样品瓶传送至所述载物台3。

本实施例中示例性的，所述上料口位于所述第一侧壁12的相邻的侧壁。

本实施例中示例性的，所述载物台3上设置用于承载样品瓶的承载盘4，所述承载盘上设置有多个承载孔，在所述固定盘21位于所述承载盘4的正上方时，所述固定孔201的正投影与所述承载孔完全重合，以便于所述传送机械臂21夹取位于所述承载盘4上的样品瓶。

本实施例中示例性的，所述固定盘21和所述承载盘4中的一个上可以设置定位标记，所述固定盘21和所述承载盘4中的另一个上可以设置传感器，所述传感器感应苏搜狐定位标记的位置，以使得所述固定盘21和所述承载盘 4进行定位，使得所述固定孔201的正投影与所述承载孔完全重合，然后通过所述传送机械手臂2向靠近所述承载盘4的方向移动，在所述承载盘4上的样品瓶穿设于所述固定孔21内后，所述夹持部202夹持固定样品瓶，所述传送机械手臂即可将样品瓶传送至所述密封腔室1内部。

以下介绍采用本实施例中的样品瓶清洗装置清洗样品瓶的具体过程。

通过所述传送机械手臂2将位于所述承载台3上的样品瓶传送入所述密封腔室1内；

所述传送机械手臂2将样品瓶传送至所述瓶盖拆装槽10内，通过所述第一机械手臂5取下样品瓶的瓶盖；

通过所述传送机械手臂2将取下瓶盖的样品瓶传送至所述清洗液填充槽 20，通过所述清洗液填充结构填充清洗液；

通过所述传送机械手臂2将填充有清洗液的样品瓶传送回所述瓶盖拆装槽10内，通过所述第一机械手臂5给样品瓶盖紧瓶盖；

通过所述传送机械手臂2将样品瓶传送至所述第一清洗槽30进行超声清洗；

通过所述传送机械手臂2将经过超声清洗后的样品瓶再次传送至所述瓶盖拆装槽内，取下瓶盖，然后倒掉样品瓶内的清洗液(废液可倒入密封腔室1 内未设置功能槽的区域，可通过废液排出口排出于密封腔室1外部)；

将样品瓶传送至所述清洗液填充槽20内填充超纯水，或者将样品瓶传送至所述第一清洗槽30或所述第二清洗槽40内填充超纯水；

将填充有超纯水的样品瓶传送至所述瓶盖拆装槽10内，给样品瓶盖紧瓶盖；

将盖紧瓶盖的样品瓶再次传送至所述第一清洗槽30或第二清洗槽40内进行清洗；

将清洗结束后的样品瓶传送至所述瓶盖拆装槽10内，取下瓶盖，然后将样品瓶内的超纯水倒掉(废液可倒入密封腔室1内未设置功能槽的区域，可通过废液排出口排出于密封腔室1外部)；

将样品瓶传送至所述烘干槽50内进行烘干。

将样品瓶进行所述超声清洗和所述超纯水清洗，可以仅清洗一次，也可以至少清洗2次，可根据实际需要设定。

需要说明的是，所述密封腔室1的底部设置有用于排出所述清洗液的排出口，通过排出管道可将废液排出。

以上所述为本实用新型较佳实施例，需要说明的是，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型保护范围。

Claims (15)

1.一种样品瓶清洗装置，其特征在于，包括一具有上料口和下料口的密封腔室，所述密封腔室内包括多个功能槽，多个所述功能槽包括瓶盖拆装槽、清洗液填充槽、第一清洗槽、第二清洗槽和烘干槽，所述密封腔室内还包括用于在多个所述功能槽之间同时传送多个不同大小的样品瓶的传送结构。

2.根据权利要求1所述的样品瓶清洗装置，其特征在于，每个所述功能槽为一个密封箱体结构，所述密封箱体结构包括自动开关门，使得样品瓶进入所述功能槽，或者从所述功能槽内输出。

3.根据权利要求2所述的样品瓶清洗装置，其特征在于，所述传送结构包括：

传送机械臂；

位于所述传送机械臂一端的固定盘，所述固定盘上设置多个固定孔；

与多个所述固定孔一一对应的多个夹持部，所述夹持部包括至少两个相对设置的夹持件，以及调节件，所述调节件用于控制至少两个所述夹持件相对移动以夹持样品瓶，所述夹持件位于对应的所述固定孔的边沿。

4.根据权利要求3所述的样品瓶清洗装置，其特征在于，所述夹持部包括两个相对设置的弧形夹持件。

5.根据权利要求4所述的样品瓶清洗装置，其特征在于，每个所述弧形夹持件的夹持面上设置有贯穿所述弧形夹持件设置的吸附孔，所述调节件包括与所述吸附孔连接的吸附管道，以及与所述吸附管道连接的真空泵。

6.根据权利要求3所述的样品瓶清洗装置，其特征在于，所述瓶盖拆装槽内设置有第一机械手臂，所述第一机械手臂设置有开口大小可调的夹取部，所述夹取部夹取瓶盖后沿着第一方向旋转以取下瓶盖，或者沿着与所述第一方向相反的方向旋转以盖紧瓶盖。

7.根据权利要求6所述的样品瓶清洗装置，其特征在于，所述夹取部包括至少两个相对设置的机械爪，至少两个机械爪相向或相背移动以调节至少两个机械爪之间的空间大小。

8.根据权利要求2所述的样品瓶清洗装置，其特征在于，还包括用于向位于所述清洗液填充槽内的样品瓶填充清洗液的清洗液填充结构，

所述清洗液由氢氟酸、双氧水、硝酸中的一种和超纯水组成，所述清洗液填充结构包括氢氟酸存储部、双氧水存储部、硝酸存储部、第一超纯水存储部、溶液混合部，以及分别将所述氢氟酸存储部、所述双氧水存储部、所述硝酸存储部和所述第一超纯水存储部与所述溶液混合部连通的四个进液管道；

所述清洗液填充结构还包括与所述溶液混合部连通的出液管道；

所述清洗液填充结构还包括调节部，所述调节部包括设置于每个所述进液管道上的第一阀门和第一流量计和设置于所述出液管道上的第二阀门和第二流量计，所述调节部用于根据每个所述进液管道上的所述第一流量计的反馈，控制对应的所述进液管道上的所述第一阀门的开关状态，以调节所述清洗液中的氢氟酸、双氧水或硝酸和超纯水的比例；所述调节部还用于根据所述第二流量计的反馈控制所述第二阀门的开关状态，以控制向样品瓶内填充的清洗液的量。

9.根据权利要求2所述的样品瓶清洗装置，其特征在于，所述第一清洗槽内设置有超声结构，用于对填充有清洗液的样品瓶进行超声清洗。

10.根据权利要求9所述的样品瓶清洗装置，其特征在于，所述第一清洗槽内还设置有第一加热结构，使得所述第一清洗槽内的温度保持在第一预设温度。

11.根据权利要求2所述的样品瓶清洗装置，其特征在于，所述第二清洗槽包括超纯水填充结构和第二加热结构，所述超纯水填充结构包括第二超纯水存储部和将所述第二超纯水存储部与所述第二清洗槽连通的进液管道，所述第二加热结构用于将所述第二清洗槽内的温度加热到第二预设温度。

12.根据权利要求9所述的样品瓶清洗装置，其特征在于，所述第一清洗槽复用为所述第二清洗槽，用于对填充有超纯水的样品瓶进行清洗。

13.根据权利要求1所述的样品瓶清洗装置，其特征在于，还包括设置于所述密封腔室内顶壁上的风机过滤单元，以及设置于所述密封腔室底部的排风口。

14.根据权利要求2所述的样品瓶清洗装置，其特征在于，还包括惰性气体提供结构，所述惰性气体提供结构对每个所述功能槽内部提供惰性气体。

15.根据权利要求3所述的样品瓶清洗装置，其特征在于，所述上料口复用为所述下料口，所述上料口处设置有自动窗以及载物台，所述传送机械臂用于在所述自动窗打开时，将位于所述载物台上的样品瓶传送至所述密封腔室内，或者将清洗完成后的样品瓶传送至所述载物台。

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