KR20110066816A

KR20110066816A - 전기영동 표시장치의 전기영동필름 제조방법

Info

Publication number: KR20110066816A
Application number: KR1020090123610A
Authority: KR
Inventors: 박춘호; 신상일
Original assignee: 엘지디스플레이 주식회사
Priority date: 2009-12-11
Filing date: 2009-12-11
Publication date: 2011-06-17

Abstract

본 발명은 전기영동표시소자의 전기영동필름 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 전기영동표시소자의 일렉트론 잉크 어레이 제조방법은 기판 상에 식각패턴을 형성하는 단계와, 상기 식각패턴을 식각 마스크로 상기 기판을 식각하여 복수 개의 홈을 형성하고, 상기 복수 개의 홈을 형성함으로써 상기 홈들 사이에 격벽이 형성되는 단계와, 상기 식각패턴을 제거하는 단계와, 상기 제1 식각 패턴이 제거된 기판 상의 홈 내부에 일렉트론 잉크를 분사하는 단계를 포함한다.

전기영동, 격벽

Description

전기영동 표시장치의 전기영동필름 제조방법{Method for manufacturing Electrophoretic film in Electrophoretic Display Device}

본 발명은 전기영동 표시장치의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 전기영동 표시장치의 전기영동필름 제조방법에 관한 것이다.

통상의 전기영동 표시장치(Electrophoretic Display Device : EPD)는 유연성(flexibility)과 휴대성이 뛰어나며, 경량 등의 특성을 지닌 전기영동(Electrophoresis : 전기장 내에서 하전된 입자가 양극 또는 음극쪽으로 이동하는 현상)을 이용한 평판 표시의 일종이다.

이러한, 전기영동 표시 장치는 종이나 플라스틱과 같은 얇고 구부리기 쉬운 베이스 필름에 박막 트랜지스터 어레이를 형성하고 박막 트랜지스터 어레이의 화소전극과 공통전극 사이의 수직전계에 의해 전기영동 부유입자를 구동하는 표시로써 차세대 전자종이로서도 기대되는 표시장치이다.

도 1은 전기영동 표시장치를 개략적으로 도시한 도면이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 전기영동 표시장치는 서로 대면하는 상부 어레이 기판(2) 및 하부 어레이 기판(3)과, 그들(2, 3) 사이에 위치되어 전기영동입자(4a, 4c)가 분산용액(4b)에 분산되어 형성된 잉크가 충진될 영역을 정의하는 격벽(1)과, 상기 격벽(1)에 의해 구획된 각 영역에 일렉트론 잉크(Electron ink, 4)를 구비한다. 이러한 전기영동방식 평판표시장치는 상부 어레이 기판(2)과 하부 어레이 기판(3) 사이에 전계를 이용하여 일렉트론 잉크(4)를 회전시킴으로써 화상을 표시한다.

일렉트론 잉크(4)는 일측에 양의 전하 또는 음의 전하를 띄도록 대전된 화이트 컬러를 구현하는 전기영동입자(이하, 화이트 전기영동입자)(4a)가 배치되며 타측에 화이트 전기영동입자(4a)가 띄는 전하와 반대되는 전하를 띄는 블랙 컬러를 구현하는 전기영동입자(이하, 블랙 전기영동입자)(4b)가 배치되어 모노 화상을 구현한다.

이와 같이 일렉트론 잉크를 수용하기 위해 사용되는 격벽은 주로 폴리머(polymer)와 같은 유기물질로 형성되어 비교적 패턴 구현은 용이하다.

그러나, 유기물질로 형성되는 격벽은 용해 및 팽윤 등이 발생하여 일렉트론 잉크에 대한 내화학성이 저하되며, 일렉트론 잉크와의 상호작용 및 입자 뭉침을 초래하게 되며, 고온 소성 공정시, 재료 자체의 축소 등의 문제가 발생될 수 있다.

그리고, 일렉트론 잉크를 격벽 내부에 분사하는 과정에서 격벽표면에 긁힘 불량이 발생하거나 일렉트론 잉크가 격벽 표면에 부착될 경우 제거가 용이하지 않는 등의 문제가 발생한다.

상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 내화학성이 우수하고 일렉트론 잉크와의 상호작용을 방지할 수 있는 격벽이 구비된 전기영동표시소자의 전기영동필름 제조방법을 제공함에 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 전기영동표시소자의 전기영동필름 제조방법은 기판 상에 식각패턴을 형성하는 단계와, 상기 식각패턴을 식각 마스크로 상기 기판을 식각하여 복수 개의 홈을 형성하고, 상기 복수 개의 홈을 형성함으로써 상기 홈들 사이에 격벽이 형성되는 단계와, 상기 식각패턴을 제거하는 단계와, 상기 제1 식각 패턴이 제거된 기판 상의 홈 내부에 일렉트론 잉크를 분사하는 단계를 포함한다.

상기 기판은 유리 기판으로 사용하고, 상기 유리기판을 식각하는 단계는 불산(HF) 및 불산HF)혼합물을 식각액으로 사용한 습식식각공정을 통해 수행한다.

상기 식각패턴은 금속막 및 유기막 중 어느 하나로 형성하고, 상기 금속막은 Mo, Ti, In, Ga, Zn, Cu 및 이의 합금막 중 어느 하나를 사용하고, 상기 유기막은 폴리이미드(polyimide), 폴리에스테르(polyester), 에폭시 레진(epoxy resin), 폴리스티렌(Polystyrene), PDMS(Polydimethylsiloxane) 및 유도체, 이들의 공중합체 중 어느 하나를 사용한다.

상기 유기막으로 형성된 식각패턴을 형성하는 단계는 상기 유기막에 사진 공정을 수행하여 형성하거나, 상기 금속막으로 형성된 식각패턴을 형성하는 단계는 상기 금속막 상에 사진공정을 통해 포토레지스트 패턴을 형성하는 단게와, 상기 포토레지스트 패턴을 식각 마스크로 상기 금속막을 식각하여 형성하는 단계를 포함한다. 상기 홈 내부에 일렉트론 잉크를 형성하는 단계는 바 코팅(bar coating), 다이 코팅(die coating), 스퀴징 코팅(squeezing coating). 디스펜서(dispenser), 스크린 프린팅(screen printing) 중 어느 하나의 방법으로 수행된다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 전기영동표시소자의 전기영동필름 제조방법은 기판 상에 제1 식각패턴을 형성하는 단계와, 상기 제1 식각패턴을 식각 마스크로 상기 기판을 식각하여 복수 개의 홈을 형성하고, 상기 복수 개의 홈을 형성함으로써 상기 홈들 사이에 제1 격벽이 형성되는 단계와, 상기 홈과 제1 격벽이 형성된 기판 상에 제2 식각패턴을 형성하는 단계와, 상기 제2 식각패턴을 식각 마스크로 상기 제1 격벽을 식각하여 상기 제1 격벽보다 낮은 높이를 갖는 제2 격벽을 형성하는 단계와, 상기 제2 식각 패턴을 제거하는 단계와, 상기 제2 식각 패턴이 제거된 기판 상의 홈 내부에 컬러 일렉트론 잉크를 분사하는 단계를 포함한다.

상기 컬러 일렉트론 잉크는 적색 컬러 일렉트론 잉크, 청색 컬러 일렉트론 잉크, 녹색 컬러 일렉트론 잉크를 포함한다.

상기 제2 식각 패턴은 동일한 색의 일렉트론 잉크가 수용될 서브 픽셀들 사이에 형성된 상기 제1 격벽이 노출되도록 형성된다.

상기 제1 격벽은 서로 다른 색의 일렉트론 잉크가 형성될 영역을 구획하고, 상기 제2 격벽은 서로 동일한 색의 일렉트론 잉크가 형성될 영역을 구획한다.

상기 제1 및 제2 식각패턴은 금속막 및 유기막 중 어느 하나로 형성한다.

이상에서와 같이, 본 발명에 따른 전기영동표시소자의 전기영동필름 제조방법에 있어서, 기판과 일체형으로 형성된 격벽을 형성하고, 상기 격벽들로 인해 형성된 홈에 일렉트론 잉크를 분사함으로써, 유리 기판으로 형성되는 격벽은 일렉트론 잉크와의 내화학성이 우수하고, 일렉트론 잉크와의 상호작용을 방지할 수 있게 되는 효과가 있다.

이하는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대해 상세히 설명하고자 한다.

도 2는 본 발명에 따른 전기영동표시장치의 단면도를 도시한 도면이다.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 전기영동표시장치(100)는 박막트랜지스터(T)가 형성된 하부 기판(80)과, 일렉트론 잉크가 형성된 전기영동필름(30)가 형성된 상부 기판(90)으로 형성된다.

먼저, 하부 기판(80)은 제1 기판(32) 상에 서로 교차하는 게이트 라인 및 데이터 라인(미도시)과, 게이트 라인 및 데이터 라인의 교차부에 형성된 박막트랜지스터와, 박막트랜지스터와 접속된 화소전극(34)을 구비한다. 그리고, 박막 트랜지스터는 게이트 라인(미도시)과 접속된 게이트 전극(42)과, 데이터 라인과 접속된 소스전극(44)과, 화소전극(34)과 접속된 드레인 전극(46)과, 게이트 전극(42)과 게이트 절연막(50)을 사이에 두고 중첩되어 소스 전극(44)과 드레인 전극(46) 사이에 채널을 형성하는 활성층(48)과, 그 활성층(48)과 소스 및 드레인 전극과의 접촉 저항을 줄이기 위한 오믹 접촉층(49)을 포함한다. 화소전극(34)은 보호막(52)을 관통하여 드레인 전극(46)을 노출시키는 콘택홀을 통하여 드레인 전극(46)과 접속된다.

그리고, 상부 기판(90)은 전기영동필름로써, 제2 기판(22)에 위치하며, 일렉트론 잉크(111)들이 배치될 영역을 구획함과 아울러, 일렉트론 잉크(111)를 수용하는 격벽(120)과, 격벽(120)에 의해 구획된 각각의 영역에 형성된 일렉트론 잉크(111)와, 격벽(120) 및 일렉트론 잉크(111) 상부를 덮어 보호하는 보호필름(121)이 구비된다.

일렉트론 잉크(111)은 일측에 양의 전하 또는 음의 전하를 띄도록 대전된 화이트 컬러를 구현하는 전기영동입자(이하, 화이트 전기영동입자)(111a)가 배치되며 타측에 화이트 전기영동입자(111a)가 띄는 전하와 반대되는 전하를 띄는 블랙 컬러를 구현하는 전기영동입자(이하, 블랙 전기영동입자)(111b)가 배치되며, 상기 화이트 전기영동입자(111a) 및 블랙 전기영동입자(111b)는 분산용액(111b) 내에 분산되어 있다.

상기 일렉트론 잉크(111)는 박막 트랜지스터를 통해 화소 신호가 공급된 화소 전극(34)과 공통 전압이 공급된 공통 전극(미도시) 사이에 수직 전계에 의하여 회전한다.

본 발명의 전기영동표시장치는 이러한 일렉트론 잉크(111)들의 회전에 의하여 화이트 전기영동입자(111a)가 상부에 위치하는 일렉트론 잉크(111)가 배치된 영역에서는 외부광을 반사하고, 블랙 전기영동입자(111c)가 상부에 위치하는 일렉트 론 잉크(111)가 배치된 영역에서는 외부광을 흡수함으로써 화상을 구현한다.

그리고, 상부 기판(90)은 제2 기판(22)을 식각하여 소정 깊이로 파인 골 형태의 홈을 복수 개 형성하고, 이들 홈이 형성됨으로 인해 홈들 사이에 위치한 산 형태의 격벽(120)이 형성된다. 이로써, 홈은 기판(22) 내부에 형성되고, 격벽(102)은 기판(22)과 일체형으로 형성된다.

이상에서와 같이, 기판과 일체형으로 형성된 격벽은 일렉트론 잉크와의 내화학성이 우수하고, 일렉트론 잉크와의 상호작용을 방지할 수 있게 된다.

다음은 본 발명과 같은 기판과 일체형으로 형성되는 격벽을 구비한 전기영동표시소자의 전기영동필름 제조방법에 대해 상세히 설명하고자 한다.

도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 제1 실시예에 따른 전기영동표시소자의 전기영동필름 제조방법을 도시한 공정순서도이다.

도 3a에 도시된 바와 같이, 기판(100)상에 식각패턴(102)을 형성한다.

상기 식각패턴(102)은 상기 기판(100)상에 식각막을 패터닝하여 형성한다.

상기 기판은 유리 기판(100)으로 사용하고, 상기 식각패턴(102)을 형성하는 식각막은 이후 수행되는 식각공정의 식각액에 대한 내성이 강한 금속막 및 유기막을 이용할 수 있고, 상기 금속막은 Mo, Ti, In, Ga, Zn, Cu 및 이의 합금막 등이 사용될 수 있고, 상기 유기막은 폴리이미드(polyimide), 폴리에스테르(polyester), 에폭시 레진(epoxy resin), 폴리스티렌(Polystyrene), PDMS( Polydimethylsiloxane) 및 유도체, 이들의 공중합체등이 사용될 수 있다.

이때, 상기 식각 패턴(102)을 금속막으로 사용할 경우, 상기 금속막 상에 사 진공정을 통해 포토레지스트 패턴을 형성하고, 상기 포토레지스트 패턴을 식각 마스크로 금속막을 식각하여 식각 패턴을 형성한다.

그리고, 상기 식각패턴(102)을 유기막으로 사용할 경우, 상기 유기막에 사진 공정을 수행하여 식각패턴을 형성한다.

도 3b에 도시된 바와 같이, 기판(100)의 식각 패턴(102)을 식각 마스크로 식각하여 복수 개의 홈(104)과, 홈(104)들 사이에 격벽(106)을 형성한다.

즉, 상기 유리기판(100)을 식각하여 소정 깊이로 파인 골 형태의 홈(104)을 복수 개 형성하고, 이들 홈(104)이 형성됨으로 인해 홈(104)들 사이에 위치한 산 형태의 격벽(106)이 형성된다. 이로써, 홈(104)은 기판(100) 내부에 형성되고, 격벽(106)은 기판(100)과 일체형으로 형성된다.

상기 홈(104)은 이후에 일렉트론 잉크가 분사될 영역이고, 상기 홈들 사이에 위치한 격벽(106)은 상기 일렉트론 잉크가 분사될 영역을 정의하는 영역이다.

상기 홈(104)과 격벽(106)을 형성하기 위한 식각 공정은 불산(HF) 및 불산HF)혼합물을 식각액으로 사용하고, 등방성으로 식각이 진행되는 습식식각을 수행한다. 이와 같이 등방성으로 진행되는 습식식각을 통해 홈(104)은 라운드형상을 가지게 된다.

그리고, 홈(104)의 형성을 위한 식각 공정시, 식각액의 농도, 온도, 식각시간을 조절하거나 식각 횟수를 조절하여 원하는 홈의 깊이를 얻을 수 있게 된다.

이어, 도 3c에 도시된 바와 같이, 홈(104)과 격벽(106)이 형성된 기판(100)상에 식각공정을 수행하여 식각패턴(102)을 제거함으로써, 홈(104)과 격벽(106)의 형성공정을 완료한다.

다음은 도 3d에 도시된 바와 같이, 기판(100)의 홈(104) 내부에 일렉트론 잉크(108)를 잉크분사공정을 통해 분사한다.

상기 잉크 분사공정은 바 코팅(bar coating), 다이 코팅(die coating), 스퀴징 코팅(squeezing coating). 디스펜서(dispenser), 스크린 프린팅(screen printing)등을 사용할 수도 있다.

이어, 도 3e에 도시된 바와 같이, 일렉트론 잉크(108)이 분사된 기판(100)상에 보호필름(110)을 형성한다.

상기 보호필름(110)은 상기 일렉트론 잉크(108) 및 격벽(106)이 형성된 기판(100)을 보호하기 위해 형성되는 필름(110)으로써, 플라스틱 필름, 유리기판 등을 형성한다.

이상에서와 같이, 본 발명에 따른 전기영동표시소자의 전기영동필름 제조방법에 있어서, 기판과 일체형으로 형성된 격벽을 형성하고, 상기 격벽들로 인해 형성된 홈에 일렉트론 잉크를 분사함으로써, 유리 기판으로 형성되는 격벽은 일렉트론-잉크와의 내화학성이 우수하고, 일렉트론- 잉크와의 상호작용을 방지할 수 있게 된다.

상기 제1 실시예는 동일한 높이의 격벽이 구비된 전기영동표시소자의 전기영동필름 제조방법에 대해 설명하고 있고, 다음의 제2 실시예는 서로 다른 높이의 격벽이 구비된 전기영동표시소자의 컬러 전기영동필름 제조방법에 대해 설명하고자 한다.

한편, 서로 다른 높이로 형성되는 격벽에 대해 도 4a 및 도 4b에서 먼저 설명하고자 한다.

먼저, 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 컬러 전기영동필름은 서로 교차하여 서브픽셀(R1, R2, R3, G1, G2, G3, B1, B2, B3)을 정의하는 제1 격벽(201a)과 제2 격벽(201b)으로 형성되는 격벽(200)과, 상기 격벽(200) 사이에 형성되는 적색 일렉트론 잉크(R), 녹색 일렉트론 잉크(G), 청색 일렉트론 잉크(B)가 형성된다.

한편, 서브픽셀 R1, R2, R3는 적색 일렉트론 잉크가 형성될 서브 픽셀이고, 서브픽셀 G1, G2, G3는 녹색 일렉트론 잉크가 형성될 서브 픽셀이고, 서브픽셀 B1, B2, B3는 청색 일렉트론 잉크가 형성될 서브 픽셀이다.

상기 제1 격벽(201a)은 서로 다른 색의 일렉트론 잉크가 형성될 영역을 구획하고, 제1 높이(h2)를 갖도록 형성된다. 즉, 도 4a 및 도 4b와 같이, 제1 격벽(201a)을 통해 서브 픽셀 G1은 서브 픽셀 R1 및 서브 픽셀 B1과 구획되어, 서브 픽셀 G1, 서브 픽셀 B1, 서브 픽셀 R1 각각에 녹색 일렉트론 잉크, 청색 일렉트론 잉크, 적색 일렉트론 잉크를 각각 수용한다.

그리고, 제2 격벽(201b)은 상기 제1 격벽(201a)과 서로 교차하도록 형성되어 동일한 색의 일렉트론 잉크가 형성될 영역을 구획하고, 상기 제1 격벽(201a)의 높이(h2)보다 낮은 제2 높이(h1)를 갖도록 형성된다. 즉, 도 4a 및 도 4b와 같이, 제2 격벽(201b)을 통해 서브 픽셀 R1과 R2(또는 서브 픽셀 B1과 B2, 또는 서브 픽셀 G1과 G2)는 서로 구획되어, 서브 픽셀 R1과 서브 픽셀 R2 각각에 적색 일렉트론 잉 크를 수용한다.

이와 같이, 서로 다른 색의 일렉트론 잉크가 형성되는 서브픽셀을 구획하는 제1 격벽(201a)을 통해 인접한 서브픽셀의 서로 다른 색의 일렉트론 잉크가 오버플로우되는 것을 방지하여 잉크들간의 혼색을 방지할 수 있다.

그리고, 서로 동일한 색의 일렉트론 잉크가 형성되는 서브픽셀을 구획하는 제2 격벽(201b)을 통해, 인접한 서브픽셀의 서로 동일한 색의 일렉트론 잉크가 다른 서브픽셀보다 적은 양의 잉크를 가진 서브픽셀로 이동하게 되어 각 서브픽셀들의 잉크량을 동일하게 조절할 수 있다.

다음은 이와 같은 전기영동표시소자의 전기영동필름 제조방법에 대해 상세히 설명하고자 한다.

도 5a 내지 도 5e는 본 발명의 제2 실시예에 따른 전기영동표시소자의 전기영동필름 제조방법을 도시한 공정순서도이다.

한편, 본 발명에 따른 제2 실시예는 컬러화상을 구현하는 컬러 전기영동필름 제조방법에 대해 설명한다.

도 5a에 도시된 바와 같이, 기판(100)상에 홈(104)과 제1 격벽(106)을 형성한다.

도 5a의 홈(104) 및 제1 격벽(106)은 본 발명의 제1 실시예의 도 3a 내지 도 3c를 통한 제1 식각패턴(102), 홈(104) 및 제1 격벽(106)의 형성방법과 동일하므로, 이에 대한 설명은 생략하도록 한다.

도 5a의 R1, R2, R3는 적색 일렉트론 잉크가 형성될 서브 픽셀로 정의하고, G1은 녹색 일렉트론 잉크가 형성될 서브 픽셀로 정의하고, B1, B2는 청색 일렉트론 잉크가 형성될 서브 픽셀로 정의한다.

도 5b에 도시된 바와 같이, 기판(100)상에 제2 식각 패턴(200)을 형성한다.

상기 제2 식각패턴(200)은 동일한 색의 일렉트론 잉크가 수용될 서브픽셀들 사이에 형성된 제1 격벽(106) 즉, R1과 R2사이에 형성된 제1 격벽(106)과 R3과 R1사이에 형성된 제1 격벽(106)이 노출되도록 형성된다. 더불어, 서로 다른 색의 일렉트론 잉크가 수용될 서브픽셀들 사이에 형성된 제1 격벽(106) 즉, R1과 G1사이에 형성된 제1 격벽(106), G1과 B1사이에 형성된 제1 격벽(106)이 노출되지 않도록 포토레지스트 패턴(200)이 덮고 있다.

상기 제2 식각 패턴(200)을 형성하는 식각막은 제1 식각 패턴(102)와 동일한 재료로 형성할 수 있다.

도 5c에 도시된 바와 같이, 기판(100)상의 제2 식각 패턴(200)을 식각 마스크로 노출된 제1 격벽(106)을 식각하여 제2 격벽(106a)을 형성한다.

상기 제1 격벽(106)은 서로 다른 색의 일렉트론 잉크가 형성될 영역을 구획하고, 제1 높이(A')를 갖도록 형성되고, 제2 격벽(106a)은 동일한 색의 일렉트론 잉크가 형성될 영역을 구획하고, 상기 제1 격벽(106)의 높이(A')보다 낮은 제2 높이(A)를 갖도록 형성된다.

이와 같이, 서로 다른 색의 일렉트론 잉크가 형성되는 서브픽셀을 구획하는 제1 격벽(106)을 통해 인접한 서브픽셀의 서로 다른 색의 일렉트론 잉크가 오버플로우되는 것을 방지하여 잉크들간의 혼색을 방지할 수 있고, 서로 동일한 색의 일 렉트론 잉크가 형성되는 서브픽셀을 구획하는 제2 격벽(106a)을 통해, 인접한 서브픽셀의 서로 동일한 색의 일렉트론 잉크가 다른 서브픽셀보다 적은 양의 잉크를 가진 서브픽셀로 이동하게 되어 각 서브픽셀들의 잉크량을 동일하게 조절할 수 있다.

이어, 제1 및 제2 격벽(106, 106a)이 형성된 기판(100)상에 스트립공정을 수행하여 제2 식각패턴(200)을 제거함으로써, 홈(104)와 제1 및 제2 격벽(106, 106a)의 형성공정을 완료한다.

다음은 도 5d에 도시된 바와 같이, 기판(100)의 홈(104) 내부에 컬러 일렉트론 잉크(111R, 111G, 111B)를 잉크분사공정을 통해 분사한다.

이때, R1, R2로 정의된 홈에는 적색 일렉트론 잉크(111R)를 분사하고, G1으로 정의된 홈에는 녹색 일렉트론 잉크(111G)를 분사하고, B1, B2으로 정의된 홈에는 청색 일렉트론 잉크(111B)를 분사한다.

적색 일렉트론 잉크(111R)는 일측에 양의 전하 또는 음의 전하를 띄도록 대전된 적색 전기영동입자가 배치되고 타측에 블랙 전기영동입자가 배치되며, 적색 전기영동입자 및 블랙 전기영동입자가 분산 용액에서 분산되어 적색 화상을 구현한다.

녹색 일렉트론 잉크(111G)는 일측에 양의 전하 또는 음의 전하를 띄도록 대전된 녹색 전기영동입자가 배치되고 타측에 블랙 전기영동입자가 배치되며, 적색 전기영동입자 및 블랙 전기영동입자가 분산 용액에서 분산되어 녹색 화상을 구현한다.

청색 일렉트론 잉크(111B)는 일측에 양의 전하 또는 음의 전하를 띄도록 대 전된 청색 전기영동입자가 배치되고 타측에 블랙 전기영동입자가 배치되며, 청색 전기영동입자 및 블랙 전기영동입자가 분산 용액에서 분산되어 청색 화상을 구현한다.

상기 잉크 분사공정은 바 코팅(bar coating) 이외에 다이 코팅(die coating), 스퀴징 코팅(squeezing coating). 디스펜서(dispenser), 스크린 프린팅(screen printing)등을 사용할 수도 있다.

이어, 도 5e에 도시된 바와 같이, 컬러 일렉트론 잉크(111R, 111G, 111B)이 분사된 기판(100)상에 보호필름(110)을 형성한다.

상기 보호필름(110)은 상기 컬러 일렉트론 잉크(108) 및 격벽(106)이 형성된 기판(100)을 보호하기 위해 형성되는 기판(110)으로써, 플라스틱 필름, 유리기판 등을 형성한다.

이상 설명한 내용으로 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.

도 1은 전기영동 표시장치를 개략적으로 도시한 도면

도 2는 본 발명에 따른 전기영동표시장치의 단면도를 도시한 도면

도 3a 내지 도 3d는 본 발명의 제1 실시예에 따른 전기영동표시소자의 전기영동필름 제조방법을 도시한 공정순서도

도 4a 및 도 4b는 본 발명의 제2 실시예에 따른 전기영동표시소자의 전기영동필름 제조방법을 도시한 공정순서도

도 5a 내지 도 5e는 본 발명의 제2 실시예에 따른 전기영동표시소자의 전기영동필름 제조방법을 도시한 공정순서도

Claims

기판 상에 식각패턴을 형성하는 단계와,

상기 식각패턴을 식각 마스크로 상기 기판을 식각하여 복수 개의 홈을 형성하고, 상기 복수 개의 홈을 형성함으로써 상기 홈들 사이에 격벽이 형성되는 단계와, 상기 식각패턴을 제거하는 단계와,

상기 제1 식각 패턴이 제거된 기판 상의 홈 내부에 일렉트론 잉크를 분사하는 단계를 포함하는 전기영동표시소자의 전기영동필름 제조방법.
제1 항에 있어서, 상기 기판은

유리 기판으로 사용하는 것을 특징으로 하는 전기영동표시소자의 전기영동필름 제조방법.
제2 항에 있어서, 상기 유리기판을 식각하는 단계는

불산(HF) 및 불산HF)혼합물을 식각액으로 사용한 습식식각공정을 통해 수행하는 것을 특징으로 하는 전기영동표시소자의 전기영동필름 제조방법.
제1 항에 있어서, 상기 식각패턴은

금속막 및 유기막 중 어느 하나로 형성하는 것을 특징으로 하는 전기영동표시소자의 전기영동필름 제조방법.
제4 항에 있어서, 상기 금속막은 Mo, Ti, In, Ga, Zn, Cu 및 이의 합금막 중 어느 하나를 사용하고, 상기 유기막은 폴리이미드(polyimide), 폴리에스테르(polyester), 에폭시 레진(epoxy resin), 폴리스티렌(Polystyrene), PDMS(Polydimethylsiloxane) 및 유도체, 이들의 공중합체 중 어느 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 전기영동표시소자의 전기영동필름 제조방법.
제4항에 있어서, 상기 유기막으로 형성된 식각패턴을 형성하는 단계는

상기 유기막에 사진 공정을 수행하여 형성하는 것을 특징으로 하는 전기영동표시소자의 전기영동필름 제조방법.
상기 제4 항에 있어서, 상기 금속막으로 형성된 식각패턴을 형성하는 단계는

상기 금속막 상에 사진공정을 통해 포토레지스트 패턴을 형성하는 단게와,

상기 포토레지스트 패턴을 식각 마스크로 상기 금속막을 식각하여 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동표시소자의 전기영동필름 제조방법.
제1 항에 있어서, 상기 홈 내부에 일렉트론 잉크를 형성하는 단계는

바 코팅(bar coating), 다이 코팅(die coating), 스퀴징 코팅(squeezing coating). 디스펜서(dispenser), 스크린 프린팅(screen printing) 중 어느 하나의 방법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 전기영동표시소자의 전기영동필름 제조방법.
기판 상에 제1 식각패턴을 형성하는 단계와,

상기 제1 식각패턴을 식각 마스크로 상기 기판을 식각하여 복수 개의 홈을 형성하고, 상기 복수 개의 홈을 형성함으로써 상기 홈들 사이에 제1 격벽이 형성되는 단계와,

상기 홈과 제1 격벽이 형성된 기판 상에 제2 식각패턴을 형성하는 단계와,

상기 제2 식각패턴을 식각 마스크로 상기 제1 격벽을 식각하여 상기 제1 격벽보다 낮은 높이를 갖는 제2 격벽을 형성하는 단계와,

상기 제2 식각 패턴을 제거하는 단계와,

상기 제2 식각 패턴이 제거된 기판 상의 홈 내부에 컬러 일렉트론 잉크를 분사하는 단계를 포함하는 전기영동표시소자의 전기영동필름 제조방법.
제9 항에 있어서, 상기 컬러 일렉트론 잉크는

적색 컬러 일렉트론 잉크, 청색 컬러 일렉트론 잉크, 녹색 컬러 일렉트론 잉크를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동표시소자의 전기영동필름 제조방법.
제9 항에 있어서, 상기 제2 식각 패턴은

동일한 색의 일렉트론 잉크가 수용될 서브 픽셀들 사이에 형성된 상기 제1 격벽이 노출되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 전기영동표시소자의 전기영동필름 제조방법.
제9 항에 있어서,

상기 제1 격벽은 서로 다른 색의 일렉트론 잉크가 형성될 영역을 구획하고, 상기 제2 격벽은 서로 동일한 색의 일렉트론 잉크가 형성될 영역을 구획하는 것을 특징으로 하는 전기영동표시소자의 전기영동필름 제조방법.
제9 항에 있어서, 상기 기판은

유리 기판으로 사용하는 것을 특징으로 하는 전기영동표시소자의 전기영동필름 제조방법.
제13 항에 있어서, 상기 유리기판을 식각하는 단계는

불산(HF) 및 불산HF)혼합물을 식각액으로 사용한 습식식각공정을 통해 수행하는 것을 특징으로 하는 전기영동표시소자의 전기영동필름 제조방법.
제9 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 식각패턴은

금속막 및 유기막 중 어느 하나로 형성하는 것을 특징으로 하는 전기영동표시소자의 전기영동필름 제조방법.
제9 항에 있어서, 상기 홈 내부에 컬러 일렉트론 잉크를 형성하는 단계는

바 코팅(bar coating), 다이 코팅(die coating), 스퀴징 코팅(squeezing coating). 디스펜서(dispenser), 스크린 프린팅(screen printing) 중 어느 하나의 방법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 전기영동표시소자의 전기영동필름 제조방법.