KR20110057153A - 배기 장치 압력 제어 시스템의 제어 상태를 모니터하기 위한 시스템 및 방법 - Google Patents

배기 장치 압력 제어 시스템의 제어 상태를 모니터하기 위한 시스템 및 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20110057153A
KR20110057153A KR1020117005720A KR20117005720A KR20110057153A KR 20110057153 A KR20110057153 A KR 20110057153A KR 1020117005720 A KR1020117005720 A KR 1020117005720A KR 20117005720 A KR20117005720 A KR 20117005720A KR 20110057153 A KR20110057153 A KR 20110057153A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
pressure
control
pressure sensor
control system
pilot chamber
Prior art date
Application number
KR1020117005720A
Other languages
English (en)
Inventor
마사히로 남부
Original Assignee
어드밴스드 에너지 인더스트리즈 인코포레이티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 어드밴스드 에너지 인더스트리즈 인코포레이티드 filed Critical 어드밴스드 에너지 인더스트리즈 인코포레이티드
Publication of KR20110057153A publication Critical patent/KR20110057153A/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D16/00—Control of fluid pressure
    • G05D16/20—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23N—REGULATING OR CONTROLLING COMBUSTION
    • F23N3/00—Regulating air supply or draught
    • F23N3/002—Regulating air supply or draught using electronic means
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
    • F01N—GAS-FLOW SILENCERS OR EXHAUST APPARATUS FOR MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; GAS-FLOW SILENCERS OR EXHAUST APPARATUS FOR INTERNAL COMBUSTION ENGINES
    • F01N13/00—Exhaust or silencing apparatus characterised by constructional features ; Exhaust or silencing apparatus, or parts thereof, having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F01N1/00 - F01N5/00, F01N9/00, F01N11/00
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K17/00—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves
    • F16K17/02—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves opening on surplus pressure on one side; closing on insufficient pressure on one side
    • F16K17/04—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves opening on surplus pressure on one side; closing on insufficient pressure on one side spring-loaded
    • F16K17/06—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves opening on surplus pressure on one side; closing on insufficient pressure on one side spring-loaded with special arrangements for adjusting the opening pressure
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23J—REMOVAL OR TREATMENT OF COMBUSTION PRODUCTS OR COMBUSTION RESIDUES; FLUES 
    • F23J11/00—Devices for conducting smoke or fumes, e.g. flues 
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D16/00—Control of fluid pressure
    • G05D16/20—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means
    • G05D16/2093—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with combination of electric and non-electric auxiliary power
    • G05D16/2097—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with combination of electric and non-electric auxiliary power using pistons within the main valve
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23N—REGULATING OR CONTROLLING COMBUSTION
    • F23N2225/00—Measuring
    • F23N2225/04—Measuring pressure

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Control Of Fluid Pressure (AREA)

Abstract

배기 압력 제어 장치가 기술된다. 상기 배기 압력 제어 장치는, 입구 및 출구들이 형성되고, 또한 파일럿 챔버를 포함하는 본체를 포함한다. 상기 기그템은 또한, 상부 슬라이드 및 하부 슬라이드를 구비하는 스풀로서, 상기 상부 슬라이드는 파일럿 챔버의 가동부를 형성하고, 상기 스풀은 상부 슬라이드 및 하부 슬라이드에 의해 지지되어 흡입구 및 배출구를 연결하는 슬라이딩 면 위에 축방향으로 미끄러질 수 있도록 되어 있는 스풀을 포함한다. 제어 시스템은 파일럿 챔버에 공급되는 압력 조절 가스를 제어함으로써 흡입구의 압력을 조절하고, 제어 상태 부는 파일럿 챔버의 압력에 기초하여 제어 시스템의 안정성의 지시를 제공한다.

Description

배기 장치 압력 제어 시스템의 제어 상태를 모니터하기 위한 시스템 및 방법{SYSTEM AND METHOD FOR MONITORING CONTROL STATUS OF AN EXHAUST APPARATUS PRESSURE CONTROL SYSTEM}
본 출원은 발명의 명칭이 배기 장치 압력 제어 시스템인 미국 출원 11/ 994,696호의 일부 계속 출원이다. 본 출원은 또한 발명의 명칭이 배기 장치 압력 제어 시스템의 제어 상태를 감시하기 위한 시스템 및 방법인 미국 임시 출원 61/088,687를 우선권으로 주장한 것으로 이는 본 출원에 참고로 언급되어 있다.
본 발명은 일반적으로 배기 장치의 배기 압력을 제어하기 위한 시스템에 관한 것이다.
산화, 확산, CVD 장치 등은 각종 가스들이 챔버에 공급되고 반응을 일으킨 후, 반응 후의 가스들이 배기 장치에 의해 배기되도록 구성된다.
이와 같은 경우, 챔버의 내부 압력이 매우 빠르게 변할 때, 챔버 내의 반응에 악영향을 미친다. 그 이유로, 압력 제어 시스템이 배기 장치에 제공되고, 배기되는 가스의 유량의 변화 또는 배기 장치로부터의 하류의 압력 변화에 관계없이, 배기되는 가스의 압력이 일정하도록 제어가 실시된다.
전형적인 배기 압력 제어기는 (예컨대, 제어가 안정한지를 지시하기 위해) 제어 상태의 지시기로서 제어 밸브 전압을 이용할 수도 있다. 그러나, 제어 밸브의 전압을 이용하는 것은 종종 제어 상태의 부정확한 지시기로 되어 문제가 있다. 일예로서, 안정한 제어 조건 하에, 제어 밸브의 전압에 기초한 모니터링은, 전압 기반 모니터링에 악영향을 미치는 온도 변화로 인해 불안정한 제어를 나타낼 수도 있다.
도시된 본 발명의 예시적 실시예는 하기와 같이 요약된다. 이들 및 다른 실시예는 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용에 보다 상세히 기재되어 있다. 그러나, 이들 발명의 상세한 설명이나 실시예에 기술된 형태로 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 당업자들은 특허청구범위에 표현된 발명의 정신 및 관점 내에 들어가는 수많은 개조, 등가물 및 다른 구성이 있다는 것을 인식할 수 있을 것이다.
1 실시예에서, 본 발명은 입구 및 출구들이 형성되는 본체를 포함하고, 상기 본체는 파일럿 챔버도 포함하는 배기 압력 제어 장치로서 특정될 수 있다. 또한, 상기 장치는, 상부 슬라이드 및 하부 슬라이드를 포함하는 스풀을 포함하고, 상기 상부 슬라이드는 파일럿 챔버의 가동부를 형성하고, 상기 스풀은 상부 슬라이드 및 하부 슬라이드에 의해 지지되어 흡입구 및 배출구를 연결하는 슬라이딩 면 위에 축방향으로 미끄러질 수 있도록 된다. 제어 시스템은, 파일럿 챔버에 공급되는 압력 조절 가스를 제어함으로써 흡입구의 압력을 조절하며; 압력 상태 부는 파일럿 챔버의 압력에 기초하여 제어 시스템의 안정성의 지시를 제공한다.
도1은 본 발명의 1 실시예에 따른 압력 제어 시스템의 구성의 1 예를 나타낸 도면이다.
도2는 본 발명의 1 실시예에 따른 배기 장치 압력 제어 시스템의 절결도이다.
도3은 제어 상태 부의 예시적 실시예의 구성 부품들을 나타낸 블록도이다.
도4는 본 발명의 1 실시예에 따른 배기 장치 압력 제어 시스템의 절결도이다.
도5는 도4를 참조하여 기술된 배기 장치 압력 제어 시스템의 예시적 제어부의 개략도이다.
도6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 배기 장치 압력 제어 시스템의 절결도이다.
도7은 안정한 제어 압력 하에, ΔP의 모니터링과 비교하여 모니터링된 밸브 전압에 대한 온도의 영향을 나타낸 그래프이다.
도8과 도9는 각각, 밸브 전압 및 ΔP에 대한 히스테리시스의 영향을 나타낸 그래프이다.
도10과 도11은 각각, 밸브 전압 및 ΔP에 대한 주택 배기의 영향을 나타낸 그래프이다.
도1은 본 발명의 1 실시예의 압력 제어 시스템(10)의 구성의 1 예를 나타낸 도면이다. 도1에 나타낸 바와 같이, 산화, 확산, CVD 장치 등에 있어서의 프로세스 챔버로부터의 배기 라인은 압력 제어 시스템(10)의 흡입구(22)에 연결되며, 배기 라인을 따라 중간의 지점으로부터, 배기 압력이 압력 제어 시스템(10) 까지 압력 센서 파이프라인(SP)에 의해 유도된다. 도시된 바와 같이, 압력 제어 시스템(10)의 배출구(24)에 이젝터가 연결되고, 이젝터의 배출구는 공장 배기 덕트에 연결된다. 흡인력을 발생시키기 위해 질소 가스가 이젝터에 공급된다.
동작에 있어서, 질소와 같은 가스가 가스 공급구(PIN)로부터 압력 제어 시스템(10)의 내부에 공급된다. 가스 공급구(PIN)로부터 공급된 가스는 압력 조절 가스, 센서들을 보호하기 위한 퍼지 가스, 스풀 동작을 유연하게 하기 위한 가스, 및 밸브 유닛의 개방도(degree of opening)를 조절하기 위한 가스로서 사용된다. 챔버로부터 배출된 수증기 등의 냉각되고 액체의 축적시 이를 위해 본체의 하부에 액체 배출구가 제공된다. 이 배출구는 배출관에 위해 배출 탱크에 연결된다.
도2는 본 발명의 몇몇 실시예들의 주요부를 이송하기 위해 언급되는 배기 압력 제어기(10)의 절결도를 나타낸다. 도시된 바와 같이, 가스 흡입구(22) 및 배출구(24)가 본체(20)에 형성되고, 스풀(40)은 흡입구(22)와 배출구(24)를 연결하는 슬라이딩 면들(29a,29b)에 의해 허용된다. 또한, 파일럿 챔버(30)의 가동부가 스풀(40)의 상부 슬라이드(42)의 표면(60)에 의해 형성되도록 본체(20)의 톱 커버(28) 부와 스풀(40)의 상부 슬라이드(42) 부의 표면(60) 사이에 파일럿 챔버(30)가 형성된다.
본체(20)의 외부에는, 흡입구(22)의 압력을 검출하기 위한 절대압 센서(SA), 파일럿 통로(32)를 통해 파일럿 챔버(30)에 질소와 같은 압력 조절 가스를 공급하기 위한 제어 밸브(V), 및 절대압 센서(SA)로부터의 출력에 기초하여 제어 밸브(V)를 구동하기 위한 제어 회로(C)가 설치되어 있다.
도시된 바와 같이, 스풀(40)이 스프링(48)에 의해 본체의 상부에 부착되고, (스풀 40 상하에 각각 형성된) 상부 슬라이드(42) 및 하부 슬라이드(44)는 스풀(40)이 본체(20)의 슬라이딩 면(29a,29b)에 대해 축 방향으로 미끄러지도록 한다. 또한, 스풀 40의 축 방향 치수에 대해) 중앙에, 본체(20)에 형성된 밸브 시트(26)에 대응하여 밸브 유닛(46)이 제공된다. 스풀(40)이 (커버 28을 향해) 상방 축 방향으로 미끄러지면, 스풀(40) 상의 밸브 유닛(46)과 밸브 시트(26) 간에 갭이 생기고, 따라서, 흡입구(22)와 배출구(24)가 연통한다. 도시된 바와 같이, 스풀(40)을 지지하는 스프링(48)의 탄성력(F)이 스프링 조정 스크류(48a)에 의해 조정될 수 있다.
많은 동작 모드에 있어서, 압력 조절 가스가 파일럿 통로(32)를 통해 제어 밸브(V)를 거쳐 파일럿 챔버(30)에 공급되고, 파일럿 챔버(30)의 내부 압력(δP)이 실질적으로 일정하도록 가스가 유지된다. 스프링의 힘을 F, 스풀의 중량을 W, 흡입구(22)의 압력을 P1, 배출구(24)의 압력을 P2, 스풀(40)의 밸브 직경을 d, 파일럿 챔버(30)의 내부 압력을 δP로 나타내고, 스풀(40)이 평형의 상태에 있을 때,
P1 = 4/πd2·(W-F)+δP 로 된다. 따라서, 흡입구(22)를 통과하는 가스의 압력(P1)은 배출구(24)의 가스 압력(P2)에 관련되지 않지만, 파일럿 챔버(30)의 내부 압력(δP)과 스프링의 탄성력(F)에 의해 결정될 것이다.
δP를 일정하게 하기 위해 제어밸브(V)로부터 공급되는 압력 조절 가스의 체적을 조절함으로써, 밸브 시트(26)와 밸브 유닛(46) 간의 갭의 크기가 조절되고, 흡입구(22)의 가스 압력(P1)이 설정치로 유지될 것이다.
예컨대 흡입구(22)의 가스 압력(P1)이 설정치보다 높아지면, 스풀(44)의 하부 슬라이드(44)가 밀어 올려지고, 스풀(40)은 (커버 28을 향해) 축 방향으로 상승하며, 밸브 시트(26)와 밸브 유닛(46) 간의 갭이 더 커지게 된다. 따라서, 보다 많은 가스가 흡입구(22)로부터 배출구(24) 측으로 유출되고, 그 결과, 흡입구(22)의 가스 압력(P1)이 다시 설정치로 복귀한다.
정상 조절 시, 즉, 막 형성 시, 흡입구(22)의 절대 압력은 제어 회로(C)로 피드백되는 절대 압력 센서(SA)에 의해 검출되는 흡입구(22)의 압력(P1)을 가짐으로써 조절된다.
도시된 바와 같이, 스풀 작용력은 다음과 같이 표현될 수 있다:
Figure pct00001
제어가 안정할 때, 파일럿 챔버 압력(δP)과 흡입구 압력(P1) 간의 차가 거의 일정하고, 따라서, (ΔP로 표시된) 차가 압력 제어 시스템(10)의 제어 상태의 정밀한 지시기로서 사용될 수 있으며, 다음과 같이 표현될 수 있다:
Figure pct00002
도3은 제어 상태 부(300)의 구성 부품들을 나타낸 블록도이다. 이 실시예의 제어 상태 부(300)는 일반적으로 파일럿 압력(δP) 및 프로세스 챔버 압력(P1)을 사용하여 압력 제어 시스템(10)에 관한 상태 정보(예컨대, 안정성 정보)를 제공하도록 구성된다. 이 특정 실시예에서, 제어 상태 부(300)는 δP와 챔버 압력 P1 간의 차를 발견함으로써 ΔP를 계산하는 ΔP 구성부(302)를 포함한다. 많은 실시예에서, ΔP 구성부(302)는 차압 센서를 포함하며, 이는 파일럿 압력(δP) 및 프로세스 챔버 압력(P1)을 모두 감지하며 ΔP를 나타내는 출력을 제공한다. 그러나, 다른 실시예에서, ΔP는 두 개의 별도의 압력 센서들의 출력을 처리(예컨대, 그 사이의 차를 얻음) 하도록 할 수도 있으며; 상기 센서 중 하나는 파일럿 압력(δP)을 감지하고 하나는 챔버 압력(P1)을 감지한다.
또한, 제어 상태 부(300)는 압력 제어 시스템(10)의 상태의 지시를(예컨대, 시스템 사용자에게) 제공하는 보고 구성품(304)(예컨대, 디스플레이에 대한 출력, 디스플레이, 또는 다른 보고 장치)을 포함한다. 전술한 바와 같이, 압력 제어 시스템(10)이 안정할 때 ΔP는 실질적으로 일정하며; 이에 따라 보고 구성품(304)은 ΔP의 임의의 변화에 기초하여 시스템(10) 안전성의 지시를 제공한다.
또한, 사용자 입력(306)이 도시되어 있으며, 이는 일반적으로 제어 상태 부(300)와 관련하여 사용자로부터 하나 이상의 입력들을 받도록 동작한다. 예컨대 (후술되는 바와 같이) 어떤 실시예에서 사용자 입력(306)은 제어 시스템(10)의 하나 이상의 구성품의 재구성을 개시할 수도 있으며 이는 제어 상태 부(300)의 하나 이상의 구성품들이 제어 시스템(10)의 하나 이상의 구성품에 의해 실현되도록 한다. 제어 상태 부(300)의 구성품들의 도시는 단순히 논리적인 것으로서 하드웨어 도시만을 의도하지 않는다. 이에 따라, 구성품들은 실제 구현에 있어서는 결합되거나 다시 분리될 수 있다. 또한, 이 사양의 관점에서 (하드웨어, 소프트웨어 및/또는 펌웨어의 조합을 포함할 수도 있는) 각 개별적 구성품의 구성은 당업자들에는 잘 알려진 것이다.
도4는 본 발명에 따른 배기 장치 압력 제어 시스템의 예시적 실시예를 보인 도면이다. 이 실시예는 본 출원에 참고로 언급되는 미국 특허 출원 11/994,696호에 대응하는 2005년 7월 4일자 출원된 일본 출원 JP2005-195315에 기술된 배기 장치 압력 제어 시스템을 채용함으로써 실현될 수도 있다.
상기 두 개의 출원에 기술된 바와 같이, 이 실시예는 또한, 대기압과 흡입구에서의 압력 간의 차를 검지하기 위한 차압 센서(SB)를 포함하고, 절대 압력 센서(SA) 또는 차압 센서(SB)로부터의 출력들에 기초하여 제어 밸브(V)를 구동하고 절대 압력 센서(SA)와 차압 센서(SB) 간을 절환하도록 제어 회로(C)가 채용된다. 예컨대, 제어 상태가 관찰되지 않을 때, 압력 센서(SA)의 출력을 이용하여 압력(P1)이 제어되고, 차압 센서(SB)의 H 라인이 대기압에 결합되어 압력 센서(B)의 출력이 P1(SB의 L 라인상의 입력)과 대기압(H 라인상의 입력) 간의 차압을 나타내도록 3구 2밸브 장치에 의해 실현될 수도 있는 델타-P 밸브(402)(델타-P 스위치로도 지칭)가 배치된다. 또한, 프로세스 챔버의 개방 시, P1의 압력이 대기압이나 그 부근에 있도록 P1의 압력을 제어하기 위해 압력 센서(SB)가 이용된다.
사용자가 제어 상태 정보를 얻도록 요망할 때, 델타-P 밸브(402)를 조정하여 차압 센서(SB)의 H 라인이 파일럿 압력 δP에 결합되도록 조정되며(압력 센서 SB의 L라인은 압력 P1에 결합된 채로 있다); 이에 따라 ΔP가 차압 센서(SB)의 출력을 모니터링함으로써 얻어질 수 있다. 따라서 이 실시예에서, 차압 센서(SB)는 제어 시스템(10)과 제어 상태 부(300) 모두에 이용된다.
도5는 도4를 참조하여 기술된 제어 회로(C)의 예시적 실시예를 나타낸다. 이 실시예에서, 절대압 센서(SA) 및 차압 센서(SB)로부터의 전압 출력들은 핀 번호 3 및 핀 번호 8에 나타나고, 흡입구(22)에서의 압력이 검출될 수 있도록 제공된다. 정상 제어 시(막 형성 시), 절대 압력 제어가 실시되어, 절대압 센서(SA)로부터의 전압 출력이 핀 번호 3에 나타남과 동시에 제어 회로의 비교 제어 회로 내에 제공된다. 이것을 출력측으로부터 핀 번호 11을 통해 보내진 설정 신호와 비교하면서, 제어 밸브(V)로부터의 압력 조절 가스가 조절되고 밸브 유닛(46)이 제어된다.
프로세스 챔버의 내부가 대기압일 때, 이용되는 압력 센서는, 핀 번호 5에 센서 스위칭 신호 입력을 인가함으로써 절대압 센서(SA)로부터 차압 센서(SB)로 절환되고, (대기압에 대응하는) 차압 센서(SB)로부터의 전압이 핀 번호 9에 인가되고, 센서(SB)를 사용하여 제어 밸브(V)가 조절된다.
핀 번호 5의 센서 스위칭 신호를 차단함으로써, 정상 제어로 다시 복귀시, 비교 제어 회로에 제공된 센서는 차압 센서(SB)로부터 절대압 센서(SA)로 절환되고, 밸브(V)의 제어는 절대압 센서(SA)에 기초하여 이루어진다. 정상 제어 시, 차압 센서(SB)로부터의 출력은 핀 번호 8로 모니터되고, 대기압이 (예컨대, 태풍 등으로 인해) 떨어지면 알람 출력이 발생되어 프로세스 챔버 내의 압력이 대기압보다 높아지지 않도록 하여 사고의 발생을 미연에 방지한다.
도5에 도시된 바와 같이, 제어 상태 정보가 요망될 때, 핀 10(델타 P 스위치)이 핀 12에(POWER COMMON)에 결합되어 밸브(델타 p 스위치로도 지칭)(402)가 ON되어 압력 센서(SB)의 H라인에 파일럿 챔버(30), 즉 파일럿 압력 δ를 결합하도록 한다. 압력 센서(SB)의 출력은, 배기 제어 시스템(410)의 상태의 지시(예컨대, 배기 제어 시스템 410의 안정성의 지시)를 제공하기 위해 이용된다.
도6은 본 발명에 따른 배기 장치 압력 제어 시스템의 예시적 실시예의 다른 도면이다. 이 실시예는 본 출원에 참고로 언급되는 미국 특허 6,237,635호에 기술된 배기 장치 압력 제어 시스템을 채용함으로써 실현될 수도 있다. 도시된 바와 같이, 이 실시예에 있어서, H 및 L로 각각 나타낸 라인을 통해 δP 및 P1에 기초하여ΔP로 나타낸 출력을 제공하기 위해 부가적 센서(D)가 부가된다.
도7은 안정한 제어 압력 하에, ΔP(예컨대, ΔP는 도4 및 도5에 나타낸 실시예에서 얻어짐)의 모니터링 및 모니터링된 밸브 전압에 대한 온도의 영향을 나타낸 그래프이다. 도시된 바와 같이, 모니터링된 제어 밸브 전압은 모니터링된 ΔP가 정상 상태에 있는 동안 온도 변화에 의해 악영향을 받으며; 이에 따라, ΔP에 기초한 모니터링은 제어 밸브 전압에 기초한 모니터링과 비교하여 더욱 정밀한 지시를 제공한다.
도8은 모니터링 밸브 전압이 히스테리시스에 민감하게 되는 문제점을 갖는 것을 나타내고, 반면에 도9에 나타낸 바와 같이, ΔP의 모니터링은 이와 같은 단점을 갖지 않는다는 것을 나타낸다. 또한, 도10에 나타낸 바와 같이, 밸브 전압 모니터링은 또한 주택 배기에 있어서의 변화에 의해 악영향을 받으며, 주택 배기는 대기압과 관련되며; 이에 따라 밸브 전압의 모니터링은 대기압 변화에 의해 악영향을 받을 수도 있다. 반대로, 도11에 나타낸 바와 같이, ΔP의 모니터링은 주택 배기의 변화로부터 실질적인 악영향을 받는다는 것을 나타내지 않는다.

Claims (6)

  1. 배기 압력 제어 장치로서,
    입구 및 출구들이 형성되고, 또한 파일럿 챔버를 포함하는 본체;
    상부 슬라이드 및 하부 슬라이드를 구비하는 스풀로서, 상기 상부 슬라이드는 파일럿 챔버의 가동부를 형성하고, 상기 스풀은 상부 슬라이드 및 하부 슬라이드에 의해 지지되어 흡입구 및 배출구를 연결하는 슬라이딩 면 위에 축방향으로 미끄러질 수 있도록 되어 있는, 스풀;
    파일럿 챔버에 공급되는 압력 조절 가스를 제어함으로써 흡입구의 압력을 조절하기 위한 제어 시스템; 및
    파일럿 챔버의 압력에 기초하여 제어 시스템의 안정성의 지시를 제공하도록 구성되는 제어 상태 부를 포함하는, 배기 압력 제어 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제어 상태 부는, 파일럿 챔버의 압력과 흡입구의 압력 간의 차에 기초하여 상기 제어 시스템의 안정성의 지시를 제공하도록 배치되는 차압 센서를 포함하는, 배기 압력 제어 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 차압 센서는 흡입구 및 대기압에 결합되고, 제어 상태 문의에 응답하여, 제어 회로는. 상기 차압 센서를 대기압으로부터 분리하고 상기 차압 센서를 파일럿 챔버에 결합하도록 스위칭 신호를 보내는, 배기 압력 제어 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제어 시스템은,
    절대압 센서; 및
    파일럿 챔버에 공급된 압력 조절 가스의 흐름을 변조하도록 배치된 제어 밸브를 포함하고, 상기 제어 시스템은 절대압 센서의 출력에 기초하여 제어 밸브를 구동하는, 배기 압력 제어 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제어 시스템은, 대기압 및 흡입구에 결합된 차압 센서를 포함하고, 상기 제어 시스템은 절대압 센서 또는 차압 센서로부터의 출력에 기초하여 제어 밸브를 구동하는, 배기 압력 제어 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 제어 상태 부는 차압 센서를 포함하고, 제어 상태 문의에 응답하여, 제어 회로는, 상기 차압 센서를 대기압으로부터 분리하고 상기 차압 센서를 파일럿 챔버에 결합하도록 스위칭 신호를 보내는, 배기 압력 제어 장치.
KR1020117005720A 2008-08-13 2009-08-13 배기 장치 압력 제어 시스템의 제어 상태를 모니터하기 위한 시스템 및 방법 KR20110057153A (ko)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US8868708P 2008-08-13 2008-08-13
US61/088,687 2008-08-13
US12/540,055 US20100163762A1 (en) 2008-06-12 2009-08-12 System and method for monitoring control status of an exhaust apparatus pressure control system
US12/540,055 2009-08-12

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20110057153A true KR20110057153A (ko) 2011-05-31

Family

ID=41669678

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020117005720A KR20110057153A (ko) 2008-08-13 2009-08-13 배기 장치 압력 제어 시스템의 제어 상태를 모니터하기 위한 시스템 및 방법

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20100163762A1 (ko)
EP (1) EP2327000A4 (ko)
KR (1) KR20110057153A (ko)
WO (1) WO2010019759A2 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114300386A (zh) * 2021-12-17 2022-04-08 北京北方华创微电子装备有限公司 一种反应腔室尾气压力控制装置及半导体工艺设备

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5000221A (en) * 1989-09-11 1991-03-19 Palmer David W Flow control system
JP3153323B2 (ja) * 1992-03-31 2001-04-09 東京エレクトロン株式会社 気密室の常圧復帰装置及びその常圧復帰方法
DE19727358B4 (de) * 1996-07-02 2008-02-07 Conti Temic Microelectronic Gmbh Druckmittelanlage sowie ein Verfahren zu deren Verwendung
JP4212187B2 (ja) * 1999-06-25 2009-01-21 アドバンスド エナジー ジャパン株式会社 排気装置の圧力制御システム
JP2003131743A (ja) * 2001-10-22 2003-05-09 Advanced Energy Japan Kk 排気装置の圧力制御システム
JP2007011984A (ja) * 2005-07-04 2007-01-18 Advanced Energy Japan Kk 排気装置の圧力制御システム

Also Published As

Publication number Publication date
EP2327000A4 (en) 2012-02-29
WO2010019759A2 (en) 2010-02-18
US20100163762A1 (en) 2010-07-01
EP2327000A2 (en) 2011-06-01
WO2010019759A3 (en) 2010-05-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100710627B1 (ko) 유량제어장치를 구비한 가스공급설비로부터 쳄버로의가스분류공급장치 및 가스분류공급방법
US7605341B2 (en) Metering system and method for supplying gas to a torch
US8201989B2 (en) Fluid mixing system and fluid mixing apparatus
JP6216389B2 (ja) 圧力式流量制御装置
IL155358A (en) Pressure type device for flow control
JP2005196788A (ja) 流体の流量を制御する装置、方法及びシステム
JP2000077394A (ja) 半導体製造装置
CN102467132A (zh) 质量流量控制器和流量控制方法
US20080223455A1 (en) Gas supply unit
US7823604B2 (en) Exhaust apparatus pressure control system
JP4212187B2 (ja) 排気装置の圧力制御システム
US20050268968A1 (en) Pressure control system for low pressure high flow operation
JPWO2016035558A1 (ja) 質量流量制御装置
KR20110057153A (ko) 배기 장치 압력 제어 시스템의 제어 상태를 모니터하기 위한 시스템 및 방법
JP7131561B2 (ja) 質量流量制御システム並びに当該システムを含む半導体製造装置及び気化器
KR20110128427A (ko) 유량 조절 장치 및 그 제어 방법
JP3577236B2 (ja) ガス供給制御装置
JP2003162334A (ja) 整圧装置
JP2006285660A (ja) 整圧装置およびその特性調整方法
JP2009229444A (ja) 流量測定装置
KR20100130962A (ko) 유체제어방법, 유체제어시스템 및 유체제어프로그램
JP6056057B2 (ja) 整圧装置の安定化方法
TW201106124A (en) System and method for monitoring control status of an exhaust apparatus pressure control system
KR20070019101A (ko) 공정 챔버의 압력 측정 장치

Legal Events

Date Code Title Description
N231 Notification of change of applicant
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid