KR20110043232A - 오토클레이브 장치 및 그 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 편광판이 부착된 평판디스플레이를 제조하는 공정에서 편광판과
기판 간에 잔존하는 기포를 실질적으로 소멸할 수 있도록 평판디스플레이에
가열 및 가압이 동시에 이루어지도록 하는 오토클레이브에 관한 것으로, 특히 가열시간 단축 및 가압시 안전성을 보다 향상시킬 수 있도록 한 오토클레이브 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
본 발명에 의하면, 처리하고자 하는 제품을 로딩하는 로딩부와 가열 및 가압 처리가 이루어지는 처리부, 그리고 처리가 이루어진 제품을 언로딩 하기 위해 필요한 언로딩부를 갖춘 오토클레이브 장치 형태로 이루어지되, 장치 본체 상하부에는 가열수단과 가압수단이 갖추어지고, 가열, 가압시 시간 단축 및 균일한 온도 유지를 위한 핫에어(Hot Air) 공급 장치를 마련하였고, 가압시 안전성을 높이기 위한 구조를 갖춘 처리장치가 제공된다.
오토클레이브, 가열, 가압, 핫에어(Hot Air) 공급 장치, 평판디스플레이

Description

오토클레이브 장치 및 그 방법{Autoclave Machine and Method}
본 발명은 편광판이 부착된 평판디스플레이를 제조하는 공정에서 편광판과
기판 간에 잔존하는 기포를 실질적으로 소멸할 수 있도록 평판디스플레이에
가열 및 가압이 동시에 이루어지도록 하는 오토클레이브에 관한 것으로 특히
가열, 가압시간 단축 및 가압시 안전성을 보다 향상시킬 수 있도록 한 오토
클레이브 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
일반적으로 평판디스플레이 중 여러 분야에서 가장 많이 사용되는LCD
(Liquid Crystal Display)는 특성상 편광판을 부착한다.
통상적으로 편광판을 부착하고 나면, LCD 기판과 편광판 사이에 남아 있을
수 있는 기포를 제거하는 작업이 이루어진다. 이러한 작업은 오토클레이브
(Autoclave)라는 장치로 기포를 제거하는 작업이 이루어진다. 이러한 작업은
편광판이 부착된 LCD 기판을 한꺼번에 다량을 처리하기 위해 카세트에 적층
시켜 밀폐형 구조를 가진 챔버 내부로 넣어 일정시간 동안 고온, 고압을 유
지 시킴으로써 LCD 기판과 평광판 사이의 기포를 제거하는 방식을 주로 채택
하고 있다.
더욱이 최근 평판디스플레이는 대형화 추세로 크기가 점점더 커져 가고 있는
상황에서 종래의 오토클레이브 방식을 사용하면 관련 장치의 대형화가 필요
하게 되고, 이에 상응해서 제작 비용 및 설치공간 등 여러 부분에서 비효율
적인 면이 발생 된다.
물론, 이러한 문제점을 해결하기 위해 여러 가지 방식들이 개발되고 있고 그
중 제품을 카세트에 적층 된 형태가 아닌 하나씩 처리하는 매엽식 오토클레
이브 장치가 소개되고 있다.
기존의 장치에 비해 처리시간 및 공간 활용 면에서 상당히 장점을 가지고 있
으나, 가열 및 가압 방식 등에서 여러 가지 단점이 남아 있게 된다.
본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위하여 연구 개발이 이루어
진 것으로서 다음과 같은 목적을 갖는다.
발명의 주 목적은 처리하고자 하는 LCD 기판 제품에 대한 가열, 가압시 처리
조건에 신속하게 도달하도록 하면서 오토클레이브에 의한 처리시간을 단축시
켜 생산성을 향상시키는 데 있다.
본 발명은 위와 같은 목적을 달성하기 위하여 기본적으로 가열 및 가압 처리
가 가능하도록 이루어지는 처리부, 개폐가 용이하도록 이루어지는 이동부,
처리부와 이동부를 고정시켜 주는 본체와 LCD 기판 제품을 상기 처리부에 로
딩 시키는 로딩부, 처리가 완료된 LCD 기판 제품을 외부로 언로딩 시키는 언
로딩부를 갖추어 오토클레이브 장치 형태로 이루어지되 하나씩 낱장 형태의
LCD 기판 제품을 수용할 수 있게 이루어지는 오토클레이브에 의한 처리장치
를 제공한다.
또한, 상기 본체엔 가열수단 과 가압수단이 갖추어지고 가열, 가압 시간을
단축시키고 균일한 온도를 유지하기 위해 핫에어(Hot Air) 공급 장치가 제공
된다
더우기, 상기 본체에는 처리부에 LCD 기판 제품을 가압시 압력에 의한 하중
을 견딜 수 있는 구조물을 갖춘 오토클레이브에 의한 처리 장치를 제공한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 의하면 처리하고자 하는 LCD 기판 제품의 처리
시 처리조건에 도달하는 가열, 가압 시간을 단축시키면서 처리부 내에 보다
균일한 온도 유지를 가능하게 하여 생산성 및 품질을 향상시킬 수 있게 한
다.
또한, 본 발명은 처리조건에 적합하도록 안전하게 가압이 이루어져야 하는데
가압시 처리부 내에 완전 밀폐 유지 및 안전성을 갖출 수 있는 구조로 이루
어져 보다 향상된 오토클레이브 기능을 갖게 된다.
이하 첨부된 도면에 의거 본 발명의 바람직한 실시 예를 기준으로 보다 상세
하게 살펴보기로 한다.
도1에 예시한 바 같이, 가열 및 가열처리가 가능하도록 이루어지는 처리부(1), 상기 처리부(1)를 이동시키는 이동부(2), 처리부(1)와 이동부(2)를 고정하는 본체(100)로 나누어 지며, 본체(100)는 도2와 같이 다시 상부(10)와 하부(11)로 구분되어 진다.
기판 제품(101)을 상기 처리부(1)에 로딩시키는 로딩부(3)와 처리부(1)에서 처리가 완료된 기판 제품(101)을 외부로 언로딩 시키는 언로딩부(4), 가열 및 가압 시간을 단축하고 처리부(1) 내부 온도를 균일하게 유지시키기 위해 핫에어(Hot Air)를 공급하는 장치(5)를 갖춰 이루어지게 된다.
이때, 본 발명에 있어서 본체(100)의 상부(10)와 하부(11)에 가열수단인 판 히터(21)를 모두 설치하여 처리부(1) 기판 제품(101)의 온도 분포가 균일하게 이루어지도록 한다.
여기에 가열시간과 처리온도 유지를 위해 외부에 설치된 핫에어(Hot Air) 공
금 장치(5)에서 일정 온도의 핫에어(Hot Air)를 일정시간 동안 공급한다.
여기서 핫에어(Hot Air) 공급은 기판 제품(101)의 처리 조건에 따라 온도 및
시간이 달라질 수 있다.
상기 핫에어(Hot Air) 공급장치(5)는 도3에 예시한 바 같이 핫에어(Hot Air)
를 보관하는 용기(31)와 에어(Air) 공급부(32), 에어(Air) 인출부(33), 온도 감지센서(34), 에어(Air) 공급시 데우는 역할을 하는 히터(35)로 구성된다. 히터(35)는 에어(Air)와의 접촉을 최대화하여 빠른 시간 안에 데울 수 있는 핀 히터(Pin Heater)를 사용한다.
더우기, 본 발명에 의한 장치의 경우에 도2에 예시한 바와 같이 처리부(1)에
서 기판 제품(101)을 처리시 가열과 동시에 가압도 이루어진다. 이때 가압시
중요한 요소인 처리부(1) 밀폐 및 안전을 위해, 이동부(2) 내측에 폐곡선 형태로 설치홈(22)을 마련하고 설치홈(22)의 내측에 패킹(23)을 설치한다.
여기서 밀폐 방법은 본체(100) 하부(11)에 설치된 실린더(25)를 1차로 상승 시켜 상부(10)와 처리부(1) 내측에 오링(O-Ring)(23)을 맞물리도록 하여 밀폐를 시키며,가압 시 이동부(2) 및 실린더(25)로 전달되는 하중을 견디기 위해 본체(100) 하부(11)에 설치된 캠(CAM)(24)을 90도 회전시켜 가압 하중이 실린더(25)가 아닌 본체(100) 하부(11)로 분산하도록 한다.
캠(CAM)(24)이 90도 회전하면 처리부(1)와 이동부(2)가 분리되는 작용을 하여 이동부(2)에 부착된 부품들에 하중이 전달되지 않도록 하여 장치 유지에 유리하도록 한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일례로서 평면 예시도
도 2는 정면에서 바라본 종단면도
도 3은 핫에어(Hot Air) 공급장치의 측면도
도 4는 다단구조 예시도
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
100 : 오토클레이브 본체, 101 : 기판 제품,
1 : 처리부, 2 : 이동부,
3 : 로딩부, 4 : 언로딩부,
5 : 핫에어 공급장치 10 : 본체 상부
11 : 본체 하부

Claims (7)

  1. 본체(100)의 구조가 격자(6) 모양으로 되어 있어서 하중과 압력을 지지 할
    수 있는 구조로 되어 있는 오토클레이브 장치
  2. 처리부(1)에 받는 압력을 CAM(24)구조로 받쳐 본체 하부(11)에 전달하는 것을 특징으로 하는 오토클레이브 장치
  3. 밀폐하는 O-Ring(23)이 처리부(1)에 있어서 유지,보수의 편이성을 도모한 것을 특징으로 하는 오토클레이브 장치
  4. 이동부(2) 구조가 3단 Rail로 구성되어 있어서 구동부의 길이를 최소화 한 것을 특징으로 하는 오토클레이브 장치
  5. 처리 조건에 이르는 시간 단축 및 온도 유지를 위하여 핫에어(Hot Air)를 공
    급하는 것을 특징으로 하는 오토클레이브 장치
  6. 다단구조로 형성되어 각각의 면압에 대해 본체 상하부(10,11)가 상쇄 작용을 하는 것을 특징으로 하는 오토클레이브 장치
  7. 처리부(1)에 면압 작용시 이동부(2) Rail에서 이격되어 이동부(2)의 구성품을 보호하는 것을 특징으로 하는 오토클레이브 장치
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101491249B1 (ko) * 2013-05-08 2015-02-06 김재욱 가압이송부로 전달되는 가압력을 분산시킬 수 있는 오토클레이브장치
KR101933808B1 (ko) * 2017-12-29 2019-04-05 경규오 복수의 개별 챔버를 구비하는 오토클레이브 장치
CN110376771A (zh) * 2015-07-03 2019-10-25 伊莱泰克自动化有限公司 能多段除泡的热压罐装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH071548Y2 (ja) * 1989-03-23 1995-01-18 三井造船株式会社 難溶接性金属製容器
KR100782119B1 (ko) * 2006-09-27 2007-12-05 박웅기 오토클레이브 장치

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101491249B1 (ko) * 2013-05-08 2015-02-06 김재욱 가압이송부로 전달되는 가압력을 분산시킬 수 있는 오토클레이브장치
CN110376771A (zh) * 2015-07-03 2019-10-25 伊莱泰克自动化有限公司 能多段除泡的热压罐装置
KR101933808B1 (ko) * 2017-12-29 2019-04-05 경규오 복수의 개별 챔버를 구비하는 오토클레이브 장치

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