KR20110038481A - 고속기판검사장치 및 이를 이용한 고속기판검사방법 - Google Patents

고속기판검사장치 및 이를 이용한 고속기판검사방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 이동중인 기판에 대하여 오토포커싱을 하면서 동시에 고속으로 기판화상을 획득할 수 있는 고속기판검사장치 및 고속기판검사방법에 대한 것이다. 이를 위하여 기판을 적재하여 이송 가능한 기판스테이지와, 기판스테이지에 초점조정용 제1조명광을 조사하는 제1광원과, 기판스테이지에 기판화상획득용 제2조명광을 조사하는 제2광원과, 제1조명광과 제2조명광 모두를 감지하는 공용의 광센서와, 제1조명광과 제2조명광의 광경로상에 마련되어 제1조명광과 제2조명광이 기판에서 반사되어 광센서에 도달하도록 유도하는 광학계와, 광센서에 도입된 레이저를 통하여 초점정합여부를 판단하는 초점정합판단부 및 초점정합판단부의 초점부정합신호를 받으면 광학계와 기판간의 초점맞춤을 수행하는 초점정합수단을 포함한다.

Description

고속기판검사장치 및 이를 이용한 고속기판검사방법 {HIGH SPEED SUBSTRATE INSPECTION APPARATUS AND METHOD USING THE SAME}
본 발명은 고속기판검사장치 및 고속기판검사방법에 관한 것이다.
기판에 결함이 있는지 정밀하게 검사하기 위해서는 고배율의 카메라로 확대한 화상을 통하여 검사하게 된다.
고배율의 카메라로 기판의 일부분을 촬영하기 위해서는 초점이 정확하여야 명확한 화상을 얻을 수 있다.
초점을 맞추는 오토포커싱 작업은 레이저 광원을 이용할 수 있다. 레이저를 기판에 조사하여 반사된 레이저의 화상이 센서에 도달하면, 센서에 감지된 레이저의 화상을 통하여 초점이 정합되었는지 판단할 수 있다.
초점이 맞추어지면 조명광원을 작동시켜 카메라를 통하여 기판면을 촬영하여 확대화상을 얻게 된다.
이러한 종래기술의 경우, 오토포커싱 작업을 위하여 사용되는 레이저의 화상을 감지하기 위한 센서와, 확대화상을 얻기 위한 카메라가 별개로 각각 필요하다. 이러한 구성의 경우에는 제조원가가 상승한다는 문제가 있다.
또한, 일반적으로 기판이 정지된 상태에서 기판검사를 진행하게 된다. 즉 검사장치쪽으로 기판을 이동시켜서 정지시킨 후에 촬영을 하고 다시 이동시켜서 다음 검사영역에서 정지시킨 후에 또 촬영을 하는 단계를 거친다.
이렇게 정지상태에서의 검사진행은 검사효율이 떨어진다는 문제가 있다.
이동중인 검사체에 대하여 오토포커싱을 할 수 있는 고속기판검사장치 및 고속기판검사방법이 요구된다.
또한, 하나의 광센서만을 사용하여 오토포커싱 및 리뷰화상을 획득할 수 있는 고속기판검사장치 및 고속기판검사방법이 요구된다.
본 발명의 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자가 명확하게 이해할 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 고속기판검사장치는, 기판을 적재하여 이송 가능한 기판스테이지; 상기 기판스테이지에 초점조정용 제1조명광을 조사하는 제1광원; 상기 기판스테이지에 기판화상획득용 제2조명광을 조사하는 제2광원; 상기 제1조명광과 제2조명광 모두를 감지하는 공용의 광센서; 상기 제1조명광과 제2조명광의 광경로상에 마련되어 상기 제1조명광과 제2조명광이 기판에서 반사되어 상기 광센서에 도달하도록 유도하는 광학계; 상기 광센서에 도입된 레이저를 통하여 초점정합여부를 판단하는 초점정합판단부; 및 상기 초점정합판단부의 초점부정합신호를 받으면 상기 광학계와 기판간의 초점맞춤을 수행하는 초점정합수단;을 포함한다.
또한, 상기 광센서는 CCD(Charged coupled device)를 포함할 수 있다.
또한, 상기 기판에서 검사가 필요한 검사좌표를 저장하는 검사좌표저장부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 초점정합판단부의 초점정합신호를 받으면 상기 광센서에 도달한 제2조명광을 전기적 신호로 전환하여 기판화상을 획득하는 기판화상획득부와, 상기 기판화상획득부에서 획득된 기판화상을 확대 디스플레이하는 디스플레이부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1조명광이 직접 기판에 도달한 이후부터 상기 광센서까지의 광경로상에 상기 광학계가 마련될 수 있다.
또한, 상기 제1광원은 레이저를 조사하는 레이저광원일 수 있다.
또한, 상기 제1광원은 라인 형태의 광을 조사하는 슬릿조명광원일 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 고속기판검사방법은, 기판을 적재하여 이송 가능한 기판스테이지와, 상기 기판스테이지에 초점조정용 제1조명광을 조사하는 제1광원과, 상기 기판스테이지에 기판화상획득용 제2조명광을 조사하는 제2광원과, 상기 제1조명광과 제2조명광을 감지하는 광센서와, 상기 제1조명광과 제2조명광의 광경로상에 마련되어 상기 제1조명광과 제2조명광이 기판에서 반사되어 상기 광센서에 도달하도록 유도하는 광학계를 포함하는 기판검사장치를 이용한 기판검사방법에 있어서,
(a) 상기 기판에서 반사되어 상기 광센서에 도달한 제1조명광을 분석하여 초점 정합을 판단하는 단계;
(b) 초점 정합 불량이라고 판단된 경우, 상기 광학계를 제어하여 초점조정을 행하는 단계; 및
(c) 초점조정이 완료되거나 초점정합으로 판단되면, 상기 제2조명광이 상기 기판에서 반사되어 상기 광센서에 도달하도록 하는 단계;를 포함하며,
상기 (a)단계와 상기 (c)단계에서 사용되는 상기 광센서는 공용의 광센서이며, 상기 (a)단계 내지 (c)단계에서 상기 기판은 이동중인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 (a) 단계의 이전에 상기 기판에 있어서 검사가 필요한 검사좌표를 저장하는 단계를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 (a) 및 (b)단계는 상기 광학계가 상기 저장된 검사좌표로 접근함과 동시에 상기 제1광원이 지속적으로 펄스 조명광을 조사하고 지속적으로 초점정합여부를 판단하여 상기 (c)단계 이전에 초점정합을 완료할 수 있는 단계일 수 있다.
또한, 상기 (c)단계 이후에는, 상기 광센서에 유도된 상기 제2조명광을 통하여 상기 기판의 화상을 디스플레이 또는 기록하는 단계를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 광센서는 CCD(Charged coupled device)를 포함하며, 상기 CCD에 도달한 제1조명광의 화상을 통하여 초점 정합 여부를 판단할 수 있다.
또한, 상기 제2광원의 제2조명광의 ON 상태의 지속시간 동안 상기 CCD에 의해 감지되는 기판 이미지가 상기 CCD의 1 픽셀 보다 작게 변화되도록 상기 기판스테이지가 상기 기판을 이동시킬 수 있다.
또한, 상기 (a)단계에서 상기 제1조명광은 직접 기판에 조사되며 상기 기판에서 반사된 상기 제1조명광이 상기 광학계를 통하여 상기 광센서에 도달할 수 있 다.
또한, 상기 (a)단계는 초점정합여부를 판단하는 동안 상기 제2광원을 OFF시킬 수 있다.
또한, 상기 (c)단계는 상기 제2조명광이 상기 광센서에 의하여 감지되는 동안 상기 제1광원을 OFF시킬 수 있다.
하나의 광센서를 이용하여 오토포커싱 작업과 기판화상획득 작업을 모두 실행가능하므로 구성부품이 감소되고 작업공수가 줄어들어서 원가절감과 생산능률향상의 효과가 있다.
또한, 기판을 정지시키지 않고 계속 검사가능하므로 검사효율이 향상되는 효과가 있다.
본 발명의 기술적 효과는 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 실시예는 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 위하여 과장되게 표현된 부분이 있을 수 있으며, 도면상에서 동일 부호로 표시된 요소는 동일 요소를 의미한다.
도 1은 본 실시예에 따른 고속기판검사장치의 개략적인 구성도이다.
도 2는 다른 실시예에 따른 고속기판검사장치의 개략적인 구성도이다. 도 1에서와 동일한 도면번호의 구성은 유사한 기능을 수행하므로 중복되는 설명은 생략한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 기판(S)는 기판스테이지(101)에 놓이게 되며, 기판스테이지(101)는 기판스테이지제어부(102)에 의하여 기판면, 즉 XY평면상에서 X축방향이나 Y축방향으로 기판(S)를 이동시키는 구성을 가질 수 있다. 또는 Z축방향으로 기판(S)를 상하 이동시키는 구성을 가질 수도 있다.
제1광원(123a)에서 조사된 제1조명광과 제2광원(121)에서 조사된 제2조명광은 광학계(110)를 통하여 광센서(125)에 도달할 수 있다.
제1광원(123a)은 레이저를 조사하는 레이저광원일 수 있고, 또는 라인 형태의 광을 조사하는 슬릿조명광원일 수도 있다.
광학계(110)는 대물렌즈(111), 광학부재(113), 튜브렌즈(117)를 포함할 수 있다. 광학부재(113)는 프리즘, 하프미러 또는 빔스플리터로 마련될 수 있다.
제1광원(123a)에서 조사된 제1조명광은 직접 기판(S)에 도달하여 반사되어 대물렌즈(111), 광학부재(113), 튜브렌즈(117)를 통과하여 광센서(125)에 도달할 수 있다.
제2광원(121)에서 조사된 제2조명광은 광학부재(113)에서 반사되어 대물렌즈(111)를 통과한 후에 기판(S)에서 반사되어 다시 대물렌즈(111), 광학부재(113), 튜브렌즈(117)를 통과하여 광센서(125)에 도달할 수 있다.
도 2는 다른 실시예로서, 제1광원(123b)에서 조사된 제1조명광 및 제2광원(121)에서 조사된 제2조명광은 각각 광학부재(113)에서 반사되어 대물렌즈(111)를 통과한 후에 기판(S)에서 반사되어 다시 대물렌즈(111), 광학부재(113), 튜브렌즈(117)를 통과하여 광센서(125)에 도달할 수 있다.
튜브렌즈(117)는 광의 단면적이 감소되거나 확장되는 경우에 평행광으로 조절하도록 마련되어 광경로상의 다른 위치에 적절히 배치될 수도 있다.
제1광원(123a,123b)은 이동중인 기판(S)의 초점거리 측정을 위하여 레이저광원으로 마련된 경우에는, 짧은 주기 또는 짧은 지속시간을 가지는 레이저 펄스를 조사할 수 있다. 상황에 따라 다양한 레이저 펄스를 조사할 수 있으며, 대략 600 헤르쯔의 주기를 가지게 하거나, 지속시간을 수십 마이크로 초 만큼 되도록 마련될 수 있다.
제2광원(121)은 초점정합이 이루어진 경우에 제2조명광을 조사하며, 제2조명광은 광학계(110)를 거쳐서 기판(S)에 도달하여 반사된 후에 다시 광학계(110)를 거쳐서 광센서(125)에 도달하여 기판(S)의 화상을 제공하게 된다.
이동중인 기판(S)의 화상을 또렷하게 촬영하기 위하여 셔터속도는 비교적 빠르게 설정될 수 있으며, 이에 따라 제2조명광의 지속시간은 수 마이크로 초 만큼만 지속될 수도 있다. 제2광원은 스트로브 타입의 조명으로 마련될 수도 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 광학계(110) 전체가 기판평면상에서 이동가능하게 마련될 수 있다. 도 1의 실시예에서는 제1광원(123a)은 광학계와 결합되어 같이 이 동가능하다.
대물렌즈(111), 튜브렌즈(117) 및 광학부재(113)를 Y축방향으로 이동가능하도록 광학계가동수단(127)이 마련될 수 있다.
경우에 따라 X방향이나 Z축방향으로도 이동가능하도록 마련될 수도 있다. 광학계가동수단(127)은 전자적으로 제어되는 엑츄에이터 등을 포함하도록 마련될 수 있다.
한편, 상기 광학계가동수단(127)을 제어하는 광학계제어부(137)가 마련될 수 있다.
초점정합을 위하여 대물렌즈(111)을 Z축방향으로 상하로 이동시키는 초점정합수단(126)이 마련될 수 있다. 초점정합수단(126)은 전자적으로 제어되는 엑츄에이터 등을 포함하도록 마련될 수 있으며, 초점정합수단(126)을 제어하는 초점정합수단제어부(136)가 마련될 수 있다.
다른 실시예로서 가동광학계가동수단이 초점정합수단의 기능을 겸하도록 구성할 수도 있다.
한편, 광센서(125)는 CCD(Charged coupled device)로 마련될 수 있다. CCD는 빛을 전하로 변환시켜 화상을 얻어내는 센서로서, CCD칩은 많은 광다이오드들이 모여 이루어질 수 있으며, 각각의 다이오드에 조사되는 빛의 양에 따라 해당 다이오드의 전자량이 빛의 밝기를 뜻하게 된다.
이에 따라 본 실시예의 광센서(125)는 레이저을 수광하는 광센서로도 기능할 수 있고, 동시에 일반적인 스트로브 타입의 LED, 제논 램프 등을 수광하는 광센서 로도 기능할 수 있다. 따라서, 종래의 레이저센서와 조명광센서를 각각 별개로 구비하여야 하는 구성보다 보다 간단하게 구현이 가능하며, 이에 따라 작업공수의 절감과 원가절감의 효과가 있다.
광센서제어부(135)에 의해서 광센서(125)의 동작이 제어되며, 초점정합이 이루어졌는지 확인하기 위하여 광센서(125)의 신호가 초점정합판단부(138)로 보낼 수 있다.
초점정합판단부(138)에서 초점정합이 양호하다는 신호가 발생되면 광센서(125)에 도달된 조명광에 의한 전기적 신호를 기판화상획득부(134)로 전달하게 된다.
초점정합판단부(138)에서 초점정합이 불량이라는 신호가 발생되면 초점정합수단제어부(136)로 신호를 보내어 초점정합수단(126)을 다시 제어하도록 유도할 수 있다.
검사좌표저장부(132)는 사전에 조사대상이 되는 검사영역의 좌표를 저장할 수 있으며 광학계제어부(137)에 위치정보를 제공하여 제어량에 대한 신호를 전달하게 된다.
그리고, 검사영역에 대물렌즈가 도달했는지 여부의 판단 및 기타 종합적인 제어를 중앙처리부(139)가 수행하게 된다.
도 3은 본 실시예에 따른 고속기판검사방법에 대한 순서도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 우선 기판검사영역에 대한 좌표를 검사좌표저장부(132)에 저장하는 단계(S10)가 수행될 수 있다. 다른 기판검사장치에서 개괄적인 기판결함을 검사하여 기판검사를 추가적으로 상세하게 할 필요가 있다고 판단한 영역에 대한 좌표를 전자적으로 전달받을 수도 있다.
다음으로, 기판을 이동시키는 단계(S12)가 수행될 수 있다. 기판의 이동은 기판검사종료 이전까지 계속 유지될 수 있다. 기판의 이동속도는 일정 속도로 유지될 수도 있다. 이에 따라 기판검사시에 기판이동속도를 정지시켰다가 다시 이동시키는 동작에 따른 기판검사속도의 저하현상이 방지되므로 검사효율이 향상될 수 있다.
또한, 상기 저장된 기판검사영역으로 가동광학계가 이동되며, 동시에 제1광원이 ON 상태로 전환되면서 제1조명광으로서 레이저 펄스를 조사하는 단계(S14)가 수행될 수 있다.
이를 위하여 광학계가동수단을 통하여 광학계를 Y축방향으로 이동가능하며, 기판검사영역이 위치하는 Y축좌표축선상에 위치하도록 광학계제어부가 광학계가동수단을 제어할 수 있다.
제1광원에서는 조사된 레이저 펄스는 기판에서 반사되어 광센서에 도달하게 된다.
다음으로, 초점정합여부를 판단하는 단계(S16)가 수행될 수 있다. S16단계에서 초점 정합불량으로 판단되면, 다시 초점조정을 수행하는 단계(S18)로 진행할 수 있다.
초점정합판단부에서는 일반적인 초점정합판단 알고리즘이 실행될 수 있으며, 하나의 예로서 레이저 화상을 일 방향으로 압축시켜 형성되는 라인 형상의 레이저 화상의 위치 및 변화정도 등을 분석하여 초점정합여부를 판단할 수도 있다.
다음으로, S16단계에서 초점 정합으로 판단되면, 저장된 기판검사영역에 도달하였는지 판단하는 단계(S20)가 진행될 수 있다.
도달하지 않았다고 판단하면, 저장된 검사영역으로 이동을 계속하게 된다(S22).
저장된 검사영역에 도달할 때까지 제1광원에서는 지속적으로 레이저 펄스를 조사하게 되며 계속 초점정합여부를 판단하는 단계가 실행될 수 있다.(S16)
이에 따라 정해진 검사영역에 도달하면 바로 기판화상을 획득하는 단계가 진행될 수 있어서 검사과정에 소요되는 시간이 감소하게 되는 효과가 있다.
다음으로, 검사영역에 도달했다고 판단되면 조명광원제어부에 의하여 제2광원이 ON 상태로 전환되며, 제1광원은 OFF 상태로 전환되고, 기판에서 반사된 조명광이 광센서에 도달되며 기판화상을 획득하는 단계(S24)가 진행될 수 있다.
이 경우에는, 상기 제2광원은 제2조명광을 조사할 수 있으며, 제2조명광의 ON 상태의 지속시간 동안 상기 CCD에 의해 감지되는 기판 이미지가 상기 CCD의 1 픽셀 보다 작게 변화되도록 기판스테이지의 이동속도와 셔터노출속도를 조절할 수 있다. 이에 따라 이동중이더라도 기판화상이 선명하게 기록될 수 있다.
다음으로, 광센서에 도달하여 획득된 기판의 화상에 대한 전기적 신호를 디스플레이부(141)를 통하여 디스플레이되도록 하거나 저장장치(143)에 보내어 저장할 수 있다(S26).
다음으로, 추가로 검사할 기판검사영역이 있는지를 판단하는 단계(S28)가 실 행될 수 있다. 검사좌표저장부(132)에 저장된 검사좌표중에서 미검사된 좌표가 있는지 판단하는 방식으로 수행될 수 있다.
여기서, 추가로 검사할 기판검사영역이 있는 경우에는, 다음 기판검사영역으로 광학계를 이동하는 단계(S30)가 수행될 수 있다. 그리고, S16단계로 다시 진행될 수 있다. 따라서, 다음 검사영역으로 이동하는 동안에도 계속 레이저 펄스를 조사하여 계속 초점 정합 여부를 판단하게 된다.
추가로 검사할 기판검사영역이 없는 경우에는, 검사를 종료할 수 있다.
앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 일 실시예는, 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.
도 1은 본 실시예에 따른 고속기판검사장치의 개략적인 구성도이다.
도 2 내지 도 4는 다른 실시예에 따른 고속기판검사장치의 개략적인 구성도이다.
도 5는 본 실시예에 따른 고속기판검사방법에 대한 순서도이다.

Claims (16)

  1. 기판을 적재하여 이송 가능한 기판스테이지;
    상기 기판스테이지에 초점조정용 제1조명광을 조사하는 제1광원;
    상기 기판스테이지에 기판화상획득용 제2조명광을 조사하는 제2광원;
    상기 제1조명광을 감지하는 센서와 상기 제2조명광을 감지하는 센서의 역할을 모두 수행하도록 마련된 공용의 광센서;
    상기 제1조명광과 제2조명광의 광경로상에 마련되어 상기 제1조명광과 제2조명광이 기판에서 반사되어 상기 광센서에 도달하도록 유도하는 광학계;
    상기 광센서에 도입된 레이저를 통하여 초점정합여부를 판단하는 초점정합판단부; 및
    상기 초점정합판단부의 초점부정합신호를 받으면 상기 광학계와 기판간의 초점맞춤을 수행하는 초점정합수단;을 포함하는 고속기판검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 광센서는 CCD(Charged coupled device)를 포함하는 고속기판검사장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 기판에서 검사가 필요한 검사좌표를 저장하는 검사좌표저장부를 더 포함하는 고속기판검사장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 초점정합판단부의 초점정합신호를 받으면 상기 광센서에 도달한 제2조명광을 전기적 신호로 전환하여 기판화상을 획득하는 기판화상획득부와, 상기 기판화상획득부에서 획득된 기판화상을 확대 디스플레이하는 디스플레이부를 더 포함하는 고속기판검사장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1조명광이 직접 기판에 도달한 이후부터 상기 광센서까지의 광경로상에 상기 광학계가 마련되는 고속기판검사장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1광원은 레이저를 조사하는 레이저광원인 것을 특징으로 하는 고속기판검사장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제1광원은 라인 형태의 광을 조사하는 슬릿조명광원인 것을 특징으로 하는 고속기판검사장치.
  8. 기판을 적재하여 이송 가능한 기판스테이지와, 상기 기판스테이지에 초점조 정용 제1조명광을 조사하는 제1광원과, 상기 기판스테이지에 기판화상획득용 제2조명광을 조사하는 제2광원과, 상기 제1조명광과 제2조명광을 감지하는 광센서와, 상기 제1조명광과 제2조명광의 광경로상에 마련되어 상기 제1조명광과 제2조명광이 기판에서 반사되어 상기 광센서에 도달하도록 유도하는 광학계를 포함하는 기판검사장치를 이용한 기판검사방법에 있어서,
    (a) 상기 기판에서 반사되어 상기 광센서에 도달한 제1조명광을 분석하여 초점 정합을 판단하는 단계;
    (b) 초점 정합 불량이라고 판단된 경우, 상기 광학계를 제어하여 초점조정을 행하는 단계; 및
    (c) 초점조정이 완료되거나 초점정합으로 판단되면, 상기 제2조명광이 상기 기판에서 반사되어 상기 광센서에 도달하도록 하는 단계;를 포함하며,
    상기 (a)단계와 상기 (c)단계에서 사용되는 상기 광센서는 공용의 광센서이며, 상기 (a)단계 내지 (c)단계에서 상기 기판은 이동중인 것을 특징으로 하는 고속기판검사방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 (a) 단계의 이전에 상기 기판에 있어서 검사가 필요한 검사좌표를 저장하는 단계를 더 포함하는 고속기판검사방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 (a) 및 (b)단계는 상기 광학계가 상기 저장된 검사좌표로 접근함과 동시에 상기 제1광원이 지속적으로 펄스 조명광을 조사하고 지속적으로 초점정합여부를 판단하여 상기 (c)단계 이전에 초점정합을 완료할 수 있는 단계인 것을 특징으로 하는 고속기판검사방법.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 (c)단계 이후에는, 상기 광센서에 유도된 상기 제2조명광을 통하여 상기 기판의 화상을 디스플레이 또는 기록하는 단계를 더 포함하는 고속기판검사방법.
  12. 제8항에 있어서,
    상기 광센서는 CCD(Charged coupled device)를 포함하며, 상기 CCD에 도달한 제1조명광의 화상을 통하여 초점 정합 여부를 판단하는 고속기판검사방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 제2조명광의 ON 상태의 지속시간 동안 상기 CCD에 의해 감지되는 기판 이미지가 상기 CCD의 1 픽셀 보다 작게 변화되도록 상기 기판스테이지가 상기 기판을 이동시키는 것을 특징으로 하는 고속기판검사방법.
  14. 제8항에 있어서,
    상기 (a)단계에서 상기 제1조명광은 직접 기판에 조사되며 상기 기판에서 반사된 상기 제1조명광이 상기 광학계를 통하여 상기 광센서에 도달하는 것을 특징으로 하는 고속기판검사방법.
  15. 제8항에 있어서,
    상기 (a)단계는 초점정합여부를 판단하는 동안 상기 제2광원을 OFF시키는 것을 특징으로 하는 고속기판검사방법.
  16. 제8항에 있어서,
    상기 (c)단계는 상기 제2조명광이 상기 광센서에 의하여 감지되는 동안 상기 제1광원을 OFF시키는 것을 특징으로 하는 고속기판검사방법.
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