CN217981300U - 一种光学检测系统 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种光学检测系统，其主要包括位移台、光源、反射镜、调节机构和光电探测器。一方面，技术方案利用调节机构可对反射镜的姿态进行调节，如此能够对探测图像进行修正补偿，利于解决因位移台结构形变导致的图像特征相对位移的问题；另一方面，技术方案从物理光学方面进行了图像特征的位置偏移补偿，可实现同一图像特征的准确对准，从而消除位移台结构形变的影响，利于提高系统对待测件表面异常区域检出的灵敏度。

Description

一种光学检测系统

技术领域

本申请涉及光学检测技术领域，具体涉及一种光学检测系统。

背景技术

随着大规模集成电路中芯片尺寸的不断缩小，与制造工艺相匹配的半导体表面检测的最小检测尺寸也在不断的缩小，由此带来了检测难度增加的情况。

在诸如晶圆的半导体检测系统中，通常采用灵敏度较高的TDI相机配合扫描位移台来实现晶圆表面图像的快速采集，进而对比不同Die(即指裸片、晶圆体，是硅片中很小的单位，包括了设计完整的单个芯片以及芯片邻近水平和垂直方向上的部分划片槽区域)间图像的灰度差异来实现对表面缺陷的检出。然而，在对晶圆的扫描过程中存在很多不稳定的因素，如位移台本身结构的轻微弯曲、温度变化导致的结构形变等因素，都会导致被测的晶圆相对TDI相机的靶面在垂直扫描方向上的相对位移，这会导致用于检测的Die图像之间的相对位移。

显而易见，对于采用图像灰度差值检出缺陷的检测方法而言，当用于差分的图像在晶圆结构上存在相对位移时，容易造成检出缺陷的灵敏度下降，甚至造成误检等严重后果。为了修正补偿这部分误差来提高光学检测的灵敏度，最常见方法的是图像后处理技术，即在进行差分计算前将两个图像进行对准，然而基于图像后处理技术的对准方式在亚像素对位的过程中，往往会引入部分误差，这就导致缺陷检出的信噪比相较无相对位移的结果会下降，从而无法达到预期效果。

发明内容

本申请主要解决的技术问题是：如何克服半导体位移台的结构形变导致的成像误差。为解决上述技术问题，本申请提出一种光学检测系统。

根据第一方面，一种实施例中提供一种光学检测系统，包括：位移台，用于承载待测件；光源，用于向所述位移台上承载的待测件投射照明光；所述照明光用于投射到所述待测件的表面后产生第一反射光；反射镜，倾斜设于第一反射光的传输光路上，用于反射第一反射光以产生第二反射光，并将第二反射光投射到预设的探测位；调节机构，用于调节所述反射镜的姿态，所述调节机构对所述反射镜的姿态调节方式为平移或偏转；光电探测器，设于所述探测位，用于沿预设的扫描方向探测第二反射光并产生对应的探测图像。

所述的光学检测系统还包括显微物镜；所述显微物镜设于第一反射光的传输光路上，用于按照一定的光学放大倍率调整第一反射光，调整后的第一反射光传输至所述反射镜。

所述的光学检测系统还包括照明管镜；所述照明管镜设于照明光的传输光路上，用于对照明光进行光学调整，并通过自身的出光口出射调整后的照明光。

所述的光学检测系统还包括分光镜；所述分光镜倾斜设于第一反射光的传输光路上，且斜对于所述照明管镜的出光口；所述分光镜用于将所述照明管镜出射的照明光分出一部分并反射入所述显微物镜，反射入所述显微物镜的照明光经过所述显微物镜后投射到所述待测件的表面；所述分光镜还用于将所述显微物镜调整后的第一反射光分出一部分并透射至所述反射镜。

所述的光学检测系统还包括成像管镜；所述成像管镜设于所述分光镜和所述反射镜之间，用于对所述分光镜透射的第一反射光进行光学调整，并将光学调整后的第一反射光传输至所述反射镜。

所述调节机构包括平移滑轨；所述反射镜设于所述平移滑轨上；所述平移滑轨用于在预设平移方向上往复滑动，并在滑动过程中带动所述反射镜产生预设的平移距离，所述反射镜产生的平移距离与所述第二反射光的被改变的像点位置有关；所述预设平移方向与所述预设的扫描方向保持正交。

所述调节机构还包括第一驱动部件；所述第一驱动部件与所述平移滑轨连接，用于驱动所述平移滑轨进行往复滑动。

所述调节机构包括转动件；所述反射镜设于所述转动件上；所述转动件用于在预设偏转方向上转动，并在转动过程中带动所述反射镜产生预设的偏转角度，所述反射镜产生的偏转角度与所述第二反射光的被改变的像点位置有关；所述预设偏转方向形成的偏转面的法线方向与所述预设的扫描方向保持一致或者平行。

所述调节机构还包括第二驱动部件；所述第二驱动部件与所述转动件连接，用于驱动所述转动件进行转动。

所述的光学检测系统还包括第三驱动部件；所述第三驱动部件用于驱动所述位移台进行移动，通过所述位移台的移动改变所述待测件的表面在照明光下的被投射位置。

所述的光学检测系统还包括承载部件；所述承载部件设于所述位移台上，用于对所述待测件进行固定，以防止所述待测件跟随所述位移台的移动过程中发生脱落。

本申请的有益效果是：

依据上述实施例的一种光学检测系统，其中光学检测系统主要包括位移台、光源、反射镜、调节机构、光电探测器。一方面，技术方案利用调节机构可对反射镜的姿态进行调节，如此能够对探测图像进行修正补偿，利于解决因位移台结构形变导致的图像特征相对位移的问题；另一方面，技术方案从物理光学方面进行了图像特征的位置偏移补偿，可实现同一图像特征的准确对准，从而消除位移台结构形变的影响，利于提高系统对待测件表面异常区域检出的灵敏度。

附图说明

图1为本申请一种实施例中光学检测系统的结构图；

图2为本申请另一种实施例中光学检测系统的结构图；

图3为本申请一种实施例中通过平移反射镜改变第二反射光的像点位置的原理图；

图4为本申请一种实施例中通过偏转反射镜改变第二反射光的像点位置的原理图；

图5为本申请又一种实施例中光学检测系统的结构图。

具体实施方式

下面通过具体实施方式结合附图对本申请作进一步详细说明。其中不同实施方式中类似元件采用了相关联的类似的元件标号。在以下的实施方式中，很多细节描述是为了使得本申请能被更好的理解。然而，本领域技术人员可以毫不费力的认识到，其中部分特征在不同情况下是可以省略的，或者可以由其他元件、材料、方法所替代。在某些情况下，本申请相关的一些操作并没有在说明书中显示或者描述，这是为了避免本申请的核心部分被过多的描述所淹没，而对于本领域技术人员而言，详细描述这些相关操作并不是必要的，他们根据说明书中的描述以及本领域的一般技术知识即可完整了解相关操作。

另外，说明书中所描述的特点、操作或者特征可以以任意适当的方式结合形成各种实施方式。同时，方法描述中的各步骤或者动作也可以按照本领域技术人员所能显而易见的方式进行顺序调换或调整。因此，说明书和附图中的各种顺序只是为了清楚描述某一个实施例，并不意味着是必须的顺序，除非另有说明其中某个顺序是必须遵循的。

本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。

本申请技术方案为了克服半导体位移台的结构形变导致的图像特征相对位移的问题，在待测件的待测图像输出之前，通过光学结构上的动态调节来修正补偿光电探测过程中待测件与光电探测器的探测靶面垂直于扫描方向上的相对位移，目的避免探测图像中相同特征的相对位移，从而提高光学检测系统对待测件的表面瑕疵特征的检测灵敏度。

在一个实施例中，请参考图1，公开一种光学检测系统，其主要包括位移台11、光源21、反射镜31、调节机构32和光电探测器41，下面分别说明。

位移台11是待测件A的承载平台，位移台11可带动承载的待测件A实现x-y-z方向上的移动，从而使得光源21、反射镜31、光电探测器41构成的光学成像机构能够扫描整个待测件A的表面。

需要说明的是，这里的待测件A可以是晶圆、芯片等半导体产品，由于其表面可能存在瑕疵等缺陷，所以需要对其表面进行光学检测，从而对产品的质量进行管控。

光源21的作用是向位移台11上承载的待测件A投射照明光L1；该照明光用于投射到待测件A的表面后产生第一反射光L2。光源21可以采用LED、氙灯、汞灯，卤素灯、激光灯、激光等离子体灯、激光驱动白光光源灯中的任一者，所以照明光L1可以是白光、有色光或激光。可以理解，由于照明光L1投射到待测件A的表面后会产生反射光线和散射光线，所以第一反射光L2仅为光线的统称，可以包括反射的光线和散射的光线。

反射镜31倾斜设于第一反射光L2的传输光路上，反射镜31的作用是反射(如平面反射)第一反射光L2以产生第二反射光L3，并将第二反射光L3投射到预设的探测位。该探测位处用于设置光电探测器41。

调节机构32与反射镜31连接，用于调节反射镜31的姿态，这里的姿态可包括平移距离和/或偏转角度。可以理解，由于反射镜31对光线的倾斜反射作用，则在调节机构32对反射镜31的姿态进行调节之后，将会改变第一反射光L2的传输方向，使第二反射光L3在探测位处的像点位置发生变动。

需要说明的是，调节机构32可以是压电、伺服电机、DD马达等驱动部件，可以驱动反射镜31执行平移动作，平移方向可参考图3；此外，调节机构32还可以驱动反射镜31执行偏转动作，偏转方向可参考图4。为了增强调节机构32的响应速度，优选地采用响应频率在20Hz以上的驱动部件。为了保证调节效果，在每次的光学检测过程中，调节机构32应该采用平移、偏转中的一种方式对反射镜31进行姿态调节。

光电探测器41设于探测位，光电探测器41的作用是沿预设的扫描方向探测第二反射光L3并产生对应的探测图像。可以理解，光电探测器41是将光信号转化为电信号的部件，产生的探测图像就是待测件A的表面被照明光L1照射的区域成像结果。光电探测器41可为线扫相机，优选地采用TDI线扫相机。

进一步地，参见图1和图2，公开的光学检测系统还包括显微物镜34。显微物镜34设于第一反射光L2的传输光路上，用于按照一定的光学放大倍率调整第一反射光L2，调整后的第一反射光L2传输至反射镜31。在某些情况下，系统可设置多个不同放大倍数或工作波段的显微物镜34，通过切换这些显微物镜可满足不同的光学检测需要。

进一步地，参见图1和图2，公开的光学检测系统还包括照明管镜22和分光镜23。其中，照明管镜22设于照明光L1的传输光路上，用于对照明光L1进行光学调整，并通过自身的出光口出射调整后的照明光L1。其中，分光镜23倾斜设于第一反射光L1的传输光路上，且斜对于照明管镜22的出光口。在这里，分光镜23用于将照明管镜22出射的照明光L1分出一部分并反射入显微物镜34，反射入显微物镜34的照明光L1经过显微物镜34后投射到待测件A的表面；此外，分光镜23还用于将显微物镜34调整后的第一反射光L2分出一部分并透射至反射镜31。

需要说明的是，照明管镜22可以是科勒照明或临界照明的光学调整形式，其作用是在物镜焦面形成均匀的照明光场。分光镜23可以采用50：50的分光比镜片，也就是说，射到分光镜23上的光线有一半会发生反射，另一半会发生投射。

进一步地，参见图1和图2，公开的光学检测系统还包括成像管镜33。成像管镜33设于分光镜23和反射镜31之间，用于对分光镜23透射的第一反射光L2进行光学调整，并将光学调整后的第一反射光L2传输至反射镜31。可以理解，成像管镜33的光学调整方式包括聚焦调整、滤光调整等方式。

在一个实施例中，参见图1、图2和图3，调节机构32包括平移滑轨321。反射镜31可设于该平移滑轨321上，则该平移滑轨321的作用是在预设平移方向上往复滑动，并在滑动过程中带动反射镜31产生预设的平移距离。需要说明的是，反射镜31产生的平移距离与第二反射光L3的被改变的像点位置有关，而且，平移滑轨321的预设平移方向与光电探测器41的预设的扫描方向保持正交。

进一步地，参见图3，调节机构32还包括第一驱动部件322，该第一驱动部件322与平移滑轨321连接，第一驱动部件322用于驱动平移滑轨321进行往复滑动。可以理解，第一驱动部件323可以采用压电、伺服电机、DD马达等。

当然，在某些情况下中，用户可以手动驱动平移滑轨321进行平移运动，比如第一驱动部件322采用手摇丝杆，在人手摇动丝杆转动的过程中带动平移滑轨321进行平移运动。此外，平移滑轨321上可以标记有距离等标识，这样用户就可以手动将平移滑轨321上的反射镜31带动到预设的平移位置，从而对第一反射光L2进行轻微的光路偏移，使该反射产生的第二反射光L3也发生了轻微的光路偏移，从而对第二反射光L3进行修正。

在另一个实施例中，参见图1、图2和图4，调节机构32包括转动件323。反射镜31设于该转动件323上，则转动件323用于在预设偏转方向上转动，并在转动过程中带动反射镜31产生预设的偏转角度。需要说明的是，反射镜31产生的偏转角度与第二反射光L3的被改变的像点位置有关，而且，转动件323的预设偏转方向形成的偏转面的法线方向与光电探测器41的预设的扫描方向保持一致或者平行。

进一步地，参见图4，调节机构32还包括第二驱动部件324，该第二驱动部件324与转动件323连接，第二驱动部件324用于驱动转动件323进行转动。

当然，在某些情况下中，用户可以手动驱动转动件323进行转动，比如第二驱动部件324采用手摇齿轮，在人手摇动齿轮转动的过程中带动转动件323进行转动。此外，转动件323上可以标记有角度等标识，这样用户就可以手动将转动件323上的反射镜31转动到预设的偏转角度，从而对第一反射光L2进行轻微的光路偏转，使该反射镜31产生的第二反射光L3也发生了轻微的光路偏转，从而对第二反射光L3进行修正。

在一个实施例中，光源21、照明管镜22、分光镜23、显微物镜34、成像管镜33、反射镜31、调节机构32、光电探测器41可共同组成为一个光学成像机构，其中，光源21输出的照明光L1耦合进照明管镜22，经由分光镜23的反射，照明光L1通过显微物镜34投射到待测件A的表面，待测件A的表面反射和散射形成的第一反射光L2由显微物镜34收集，第一反射光L2透过分光镜23后耦合进入成像管镜33，然后经由反射镜31反射，产生的第二反射光L3最终成像在光电探测器41的感光区域上，光电探测器41产生一帧帧的探测图像，探测图像被传输到后端的图像处理部件中。

在一个实施例中，参见图1和图2，公开的光学检测系统还包括第三驱动部件12和承载部件13。其中，第三驱动部件12用于驱动位移台11进行移动，通过位移台11的移动改变待测件A的表面在照明光L1下的被投射位置；第三驱动部件12可为压电、伺服电机、DD马达等驱动部件，可驱动位移台11实现x-y-z方向上的移动，以及实现多个自由度上的控制，甚至可驱动位移台11进行转动。其中，承载部件13设于位移台11上，用于对待测件A进行固定，以防止待测件A跟随位移台11的移动过程中发生脱落；承载部件13可以采用压紧、吸附、粘贴等固定方式，比如可采用常见的CHUCK部件。

可以理解，在位移台11的移动过程中，应当使得前述的光学成像机构能够扫描待测件A的整个表面。以常规的12寸晶圆为例，位移台11移动过程中支持的扫描区域至少满足300mm×300mm。

需要说明的是，如位移台11本身结构的轻微弯曲、温度变化导致的结构形变等因素，都会引起待测件A相对光电探测器41的靶面在垂直于扫描方向上的相对位移，这会使得用于光学检测的探测图像之间发生相对位移。而前述的光学成像机构就是要驱动反射镜31进行相应的平移(或偏转)，由此来实现探测图像相对位移的修正补偿。

需要说明的是，调节机构32可通过平移反射镜31，或者偏转反射镜31的方式对反射镜31的姿态进行调节。那么，在反射镜31在被平移调节或被偏转调节的过程中改变第二反射光L3的像点位置，从而对探测图像的相对位移进行修正补偿。在优选地实施例中，针对反射镜31的平移调节的方向与预设的扫描方向保持正交，针对反射镜31的偏转调节形成的偏转面的法线方向与预设的扫描方向保持一致或者平行。

比如图2和图3，待测件A上具有一个瑕疵区域且用a表示，a点对应的第一反射光L2经显微物镜34、成像管镜33、反射镜31后到达光电探测器41的探测区域，在探测区域上形成第二反射光的像点位置并用a′表示，可将此时成像得到的探测图像视为标准图像。由于位移台11的结构形变影响，待测件A上的a点会发生位移，比如位移到了b点，那么会导致原本的像点位置a′位移到了b′，可将此时成像得到的探测图像视为待处理的探测图像。由于出现了探测图像相对位移的情况发生，如此会导致成像抖动，将利于依据探测图像进行待测件A的表面光学检测，所以需要对像点位置b′进行位移调整。此时，可将a′点作为像素参考点，计算探测图像相对于标准图像在垂直于光电探测器41的扫描方向上的偏移值(如偏移像素值)，根据偏移值换算得到反射镜31的平移量(如平移距离)；然后，就可以通过调节机构32对反射镜31进行图3的平移调节，将反射镜31平移到另一个位置，如反射镜31′所示的位置；由于反射镜31′对第一反射光L2的反射位置发生了改变，所以第二反射光L3的像点位置将由b′点位移到a′点，从而满足b′点和a′重合的要求，如此就将探测图像相对位移到了标准图像的位置，使得探测图像对准于标准图像。

比如图2和图4，待测件A上具有一个瑕疵区域且用a表示，a点对应的第一反射光L2经显微物镜34、成像管镜33、反射镜31后到达光电探测器41的探测区域，在探测区域上形成第二反射光的像点位置并用a′表示，可将此时成像得到的探测图像视为标准图像。由于位移台11的结构形变影响，待测件A上的a点会发生位移，比如位移到了b点，那么会导致原本的像点位置a′位移到了b′，可将此时成像得到的探测图像视为待处理的探测图像。由于出现了探测图像相对位移的情况发生，如此会导致成像抖动，将利于依据探测图像进行待测件A的表面光学检测，所以需要对像点位置b′进行位移调整。此时，可将a′点作为像素参考点，计算探测图像相对于标准图像在垂直于光电探测器41的扫描方向上的偏移值(如偏移像素值)，根据偏移值换算得到反射镜31的偏转量(如偏转角度)；然后，就可以通过调节机构32对反射镜31进行图4的偏转调节，将反射镜31偏转到另一个角度，如反射镜31′所示的角度；由于反射镜31′对第一反射光L2的反射角度发生了改变，所以第二反射光L3的像点位置将由b′点位移到a′点，从而满足b′点和a′重合的要求，如此就将探测图像相对位移到了标准图像的位置，使得探测图像对准于标准图像。

需要说明的是，上述内容中计算像点位置b′相对a′的偏移值，以及计算反射镜31的平移距离(或偏转角度)过程可以是人为计算的结果，人为计算得到反射镜31的平移距离(或偏转角度)之后，人为操作调节机构32对反射镜31进行平移调节(或偏转调节)，只要将反射镜31按照平移距离进行平移调节(或按照偏转角度进行偏转调节)之后即可实现探测图像与标准图像的对准。

可以理解，在某些情况下，也可以不需要人为参与计算，那么，计算像点位置b′相对a′的偏移值和反射镜31的平移距离(或偏转角度)的过程，以及对调节机构32的驱动控制过程均可由逻辑电路来实现。

在一个实施例中，图5公开了另一种光学检测系统，其中的光学成像机构可由图2中的光源21、照明管镜22、分光镜23、显微物镜34、成像管镜33、反射镜31、调节机构32、光电探测器41共同组成。在图5中，光学成像机构2将光学探测得到的探测图像发送给采集计算单元511，采集计算单元511对探测图像处理后向控制单元512发送控制命令，控制单元512响应于控制命令对光学成像机构2中的反射镜31姿态进行工作控制，以及对位移台11的运动进行工作控制。

参见图2和图5，光学成像机构2的工作原理如下：光源21输出的照明光L1耦合进照明管镜22，经由分光镜23的反射，照明光L1通过显微物镜34投射到待测件A的表面，待测件A的表面反射和散射形成的第一反射光L2由显微物镜34收集，第一反射光L2透过分光镜23后耦合进入成像管镜33，然后经由反射镜31反射，产生的第二反射光L3最终成像在光电探测器41的感光区域上，光电探测器41产生一帧帧的探测图像，探测图像被传输到采集计算单元511。

参见图2和图5，采集计算单元511可实现一些功能，比如计算探测图像相对于预设的标准图像，在垂直于光电探测器41的扫描方向上的偏移值；然后根据偏移值换算得到反射镜31的姿态调节量(如平移距离或偏转角度)，以及根据姿态调节量向控制单元512发送一些控制信号。控制单元512可实现一些功能，比如控制单元512可以响应于采集计算单元511发送的某个控制信号，对调节机构32进行控制，由调节机构32驱动反射镜31按照姿态调节量进行姿态调整，通过改变反射镜31的姿态对第二反射光L3的像点位置进行补偿，使再次探测产生的探测图像对准于标准图像；而且，控制单元512还可以在光学检测开始之后自动地对位移台11进行运动控制，从而让位移台11上的承载部件13(即CHUCK)带动承载的待测件A进行运动，这样光电探测器41就可以不断地探测得到探测图像。

在图5中，采集计算单元511用于对位移台11进行运动控制，带动承载部件13(即CHUCK)固定的待测件进行运动的过程中，由光电探测器41可不断地探测得到探测图像，而采集计算单元511则从光电探测器41获得一帧帧探测图像。而且，采集计算单元511还用于计算探测图像相对于预设的标准图像，在垂直于光电探测器41的扫描方向上的偏移值；这里的标准图像可以是光学检测初始时刻得到的探测图像，也可以是光学检测过程中某个时间点得到的探测图像，还可以是光学检测过程中得到的上一探测图像；由于需要计算探测图像相对于标准图像的偏移值，所以探测图像和标准图像中可包含同一个图像特征，该图像特征可作为偏移计算的参考点，比如图3(或图4)中的a点对应的成像点a′就可作为偏移计算的参考点。接着，采集计算单元511根据偏移值换算得到反射镜31的平移距离(或偏转角度)。之后，采集计算单元511向控制单元512发送控制命令，使得控制单元512对调节机构32进行控制，由调节机构32驱动反射镜31按照计算得到的平移距离进行平移跳机(或按照偏转角度进行偏转调节)，通过改变反射镜31的平移距离(或偏转角度)对第二反射光L3的像点位置进行补偿，使再次探测产生的探测图像对准于标准图像。

比如，采集计算单元511计算探测图像相对于预设的标准图像，在垂直于光电探测器41的扫描方向上的偏移值时，具体包括以下的处理过程：采集计算单元511从标准图像中选取参考特征点，该参考特征点可以是待测件A的表面上一个瑕疵区域对应的成像特征位置。采集计算单元511从探测图像中获取与参考特征点属于同一个图像特征的对位特征点，该对位特征点可以是参考特征点在发生相对位移后的成像特征位置。采集计算单元511计算对位特征点相比参考特征点在垂直于光电探测器41的扫描方向上的像素差值。采集计算单元511可根据像素差值得到偏移值，比如偏移值可用偏移的像素个数或者偏移的像素距离来进行表示，甚至可采用pixel单位。

比如，采集计算单元511根据偏移值换算得到反射镜31的姿态调节量时，具体包括以下的处理过程：采集计算单元511根据预设的函数曲线对偏移值进行换算，得到对应的函数值；该函数曲线用于表示偏移值和姿态调节量之间的线性关系，即一个偏移值仅对应一个姿态调节量。采集计算单元511根据换算得到的函数值确定反射镜31的姿态调节量；其中，反射镜31的姿态调节量为平移量或偏转量，平移量用于调节反射镜31的平移运动距离，偏转量用于调节反射镜31的偏转转动角度。

进一步地，采集计算单元511还用于进行以下处理过程：采集计算单元511在再次探测产生的探测图像对准于标准图像之后，会消除探测图像的成像抖动，此时将利于依据探测图像对待测件A的表面进行光学检测，那么，采集计算单元511就可根据再次探测产生的探测图像对待测件A的表面瑕疵特征进行检测，从而得到待测件A的表面瑕疵特征的位置和/或类型。可以理解，由于图像的瑕疵特征(即缺陷特征)的检测方式已经在光学检测系统中普遍应用，所以这里认为采用了现有技术的检测方式。

本领域技术人员可以理解，上述实施方式中各种方法的全部或部分功能可以通过硬件的方式实现，也可以通过计算机程序的方式实现。当上述实施方式中全部或部分功能通过计算机程序的方式实现时，该程序可以存储于一计算机可读存储介质中，存储介质可以包括：只读存储器、随机存储器、磁盘、光盘、硬盘等，通过计算机执行该程序以实现上述功能。例如，将程序存储在设备的存储器中，当通过处理器执行存储器中程序，即可实现上述全部或部分功能。另外，当上述实施方式中全部或部分功能通过计算机程序的方式实现时，该程序也可以存储在服务器、另一计算机、磁盘、光盘、闪存盘或移动硬盘等存储介质中，通过下载或复制保存到本地设备的存储器中，或对本地设备的系统进行版本更新，当通过处理器执行存储器中的程序时，即可实现上述实施方式中全部或部分功能。

以上应用了具体个例对本申请进行阐述，只是用于帮助理解本申请技术方案，并不用以限制本申请。对于所属技术领域的技术人员，依据本申请的思想，还可以做出若干简单推演、变形或替换。

Claims (10)

1.一种光学检测系统，其特征在于，包括：

位移台，用于承载待测件；

光源，用于向所述位移台上承载的待测件投射照明光，所述照明光用于投射到所述待测件的表面后产生第一反射光；

反射镜，倾斜设于所述第一反射光的传输光路上，用于反射所述第一反射光以产生第二反射光，并将所述第二反射光投射到预设的探测位；

调节机构，用于调节所述反射镜的姿态；所述调节机构对所述反射镜的姿态调节方式为平移或偏转；

光电探测器，设于所述探测位，用于沿预设的扫描方向探测所述第二反射光并产生对应的探测图像。

2.如权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，还包括显微物镜；

所述显微物镜设于所述第一反射光的传输光路上，用于按照预设的光学放大倍率调整所述第一反射光，调整后的所述第一反射光被传输至所述反射镜。

3.如权利要求2所述的光学检测系统，其特征在于，还包括照明管镜；

所述照明管镜设于所述照明光的传输光路上，用于对所述照明光进行光学调整，并通过自身的出光口出射调整后的照明光。

4.如权利要求3所述的光学检测系统，其特征在于，还包括分光镜；

所述分光镜倾斜设于所述第一反射光的传输光路上，且斜对于所述照明管镜的出光口；

所述分光镜用于将所述照明管镜出射的照明光分出一部分并反射入所述显微物镜，反射入所述显微物镜的照明光经过所述显微物镜后投射到所述待测件的表面；所述分光镜还用于将所述显微物镜调整后的第一反射光分出一部分并透射至所述反射镜。

5.如权利要求4所述的光学检测系统，其特征在于，还包括成像管镜；

所述成像管镜设于所述分光镜和所述反射镜之间，用于对所述分光镜透射的第一反射光进行光学调整，并将光学调整后的第一反射光传输至所述反射镜。

6.如权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述调节机构包括平移滑轨；

所述反射镜设于所述平移滑轨上；

所述平移滑轨用于在预设平移方向上往复滑动，并在滑动过程中带动所述反射镜产生预设的平移距离，所述反射镜产生的平移距离与所述第二反射光的被改变的像点位置有关；

所述预设平移方向与所述预设的扫描方向保持正交。

7.如权利要求6所述的光学检测系统，其特征在于，所述调节机构还包括第一驱动部件；

所述第一驱动部件与所述平移滑轨连接，用于驱动所述平移滑轨进行往复滑动。

8.如权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述调节机构包括转动件；

所述反射镜设于所述转动件上；

所述转动件用于在预设偏转方向上转动，并在转动过程中带动所述反射镜产生预设的偏转角度，所述反射镜产生的偏转角度与所述第二反射光的被改变的像点位置有关；

所述预设偏转方向形成的偏转面的法线方向与所述预设的扫描方向保持一致或者平行。

9.如权利要求8所述的光学检测系统，其特征在于，所述调节机构包括第二驱动部件；

所述第二驱动部件与所述转动件连接，用于驱动所述转动件进行转动。

10.如权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，还包括第三驱动部件；

所述第三驱动部件用于驱动所述位移台运动，通过所述位移台的运动改变所述待测件的表面在照明光下的被投射位置。

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