KR20110026391A

KR20110026391A - 진공 기구의 회전-전달 장치

Info

Publication number: KR20110026391A
Application number: KR1020100086783A
Authority: KR
Inventors: 창 크리스티안
Original assignee: 이펀 테크놀러지 컴퍼니, 리미티드
Priority date: 2009-09-07
Filing date: 2010-09-06
Publication date: 2011-03-15
Also published as: DE202010012177U1; US20110057530A1; JP3164117U; TWI392818B; US8525380B2; TW201109551A

Abstract

진공 기구의 회전-전달 장치가 진공 챔버(10)를 한정하는 중공 부재(1) 상에 배치된다. 진공 기구의 회전-전달 장치는, 입력 샤프트 어셈블리(5); 입력 샤프트 어셈블리(5) 및 진공 챔버(10) 쪽으로 연장된 출력 샤프트 어셈블리(6); 입력 샤프트 어셈블리(5) 및 출력 샤프트 어셈블리(6) 사이에 배치되는 스페이서 부재(2); 입력 샤프트 어셈블리(5) 상에 배치되는 복수의 제1 자석 유닛들(33); 및 출력 샤프트 어셈블리(6) 상에 배치되는 복수의 제2 자석 유닛들(43)을 포함한다. 자기 인력(Magnetic Attractive Force)이 제1 및 제2 자석 유닛들(33, 43) 사이에 발생함으로써, 입력 샤프트 어셈블리(5)와 출력 샤프트 어셈블리(6)의 상호-회전을 허용한다.

Description

진공 기구의 회전-전달 장치 {Vacuum mechanical rotation-transmitting apparatus}

본 발명은 회전-전달 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로, 진공 시스템 내의 피회전 부품에게 구동 유닛으로부터의 회전을 전달하는 기구적 회전-전달 장치(Rotation-transmitting apparatus)에 관한 것이다.

반도체 또는 광전 소자를 제조하는 과정 동안, 중공 부재(Hollow Member) 내의 진공 챔버(Vacuum Chamber)가 흔히 박막 도금 공정을 수행하기 위해 필요하다. 진공 챔버내에서 피회전 부품을 회전시키기 위해서, 회전-전달 장치를 동작시킴으로써 이러한 피회전 부품에 회전력을 전달할 필요가 있다. 이러한 회전-전달 장치는 중공 부재 상에 배치되는 장착 부재(Mounting Member) 및 이러한 장착 부재를 관통하여 연장되는 회전 샤프트(Rotating Shaft)를 기본적으로 포함한다. 이러한 회전 샤프트는 중공 부재 및 장착 부재의 바깥쪽에 배치되고 구동 유닛에 연결되는 외부 단부(Outer End) 및 상기 중공 부재 내로 연장되고 피회전 부품에 연결되는 내부 단부(Inner End)를 포함한다. 회전 샤프트는 그 중심축에 대해 회전하도록 구동 유닛에 의해 회전됨으로써 상기 피회전 부품을 회전 구동하게 된다. 이와 같이, 회전 샤프트는 상기 장착 부재에 대응하여 회전할 수 있다. 밀봉 부재(Airtight Seal)가 상기 장착 부재 및 회전 샤프트 사이 그리고 상기 장착 부재 및 중공 부재 사이에 설치되어야 하며, 이에 의해 상기 진공 챔버내의 유체가 대기와 반응하지 않게 된다.

회전 샤프트를 밀봉 상태에서 회전시키기 위해서, 자성 유체(Magnetic Fluid)가 회전-전달 장치 내에 도입되어, 회전이 전달되는 동안에 피회전 부품 및 회전 샤프트 사이에 접촉 및 마찰이 발생하지 않고, 이에 의해 상기 회전-전달 장치의 서비스 수명을 향상시킬 수 있고, 상기 회전-전달 장치가 고진공 수준을 갖는 진공 시스템에 사용될 수 있다. 하지만, 자성 유체는 비교적 고가이기 때문에, 비용 관점에서 저진공 수준을 갖는 진공 시스템에 사용하기에는 그 가치가 적다. 다른 회전-전달 장치가 대만 특허번호 제247855호에 개시되어 있고, 이러한 회전-전달 장치가 O-링들(O-rings)을 포함하며, O-링들은 밀봉 부재를 설치하는데 사용되고 저가로 제조된다. 하지만, 상기 회전-전달 장치의 회전 가능 부재들에 대한 마찰 저항(Frictional Resistance)이 상기 O-링들 및 상기 회전가능 부재들 사이의 접촉 때문에 증가되며, 이에 따라 회전이 전달되는 동안 전력량 손실을 증가시키게 된다. 결국, 종래의 회전-전달 장치는 고가로 제조되거나 또는 마찰 저항이 높다는 단점을 갖는다.

따라서 본 발명의 목적은 저가로 제조되거나 또는 낮은 마찰 저항을 갖는 진공 기구의 회전-전달 장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명에 따르면, 진공 기구의 회전-전달 장치는 진공 챔버를 한정하는 중공 부재 상에 배치된다. 진공 기구의 회전-전달 장치는 입력 샤프트 어셈블리; 상기 입력 샤프트 어셈블리 및 진공 챔버 쪽으로 연장된 출력 샤프트 어셈블리; 상기 입력 샤프트 어셈블리 및 출력 샤프트 어셈블리 사이에 배치되는 스페이서 부재; 상기 입력 샤프트 어셈블리 상에 배치되는 복수의 제1 자석 유닛들; 및 상기 출력 샤프트 어셈블리 상에 배치되는 복수의 제2 자석 유닛들을 포함한다. 자기 인력(Magnetic Attractive Force)이 상기 제1 및 제2 자석 유닛들 사이에 발생함으로써, 상기 입력 샤프트 어셈블리와 상기 출력 샤프트 어셈블리의 상호-회전을 허용한다.

이와 같이, 입력 샤프트 어셈블리 및 출력 샤프트 어셈블리 사이의 회전 전달은 제1 및 제2 자석 유닛들 사이에 발생하는 자력에 의해 달성된다. 상기 제1 및 제2 자석 유닛들은 저가로서 비용 효율적이다. 더욱이, 상기 입력 샤프트 어셈블리, 상기 출력 샤프트 어셈블리, 상기 제1 자석 유닛들 및 상기 제2 자석 유닛들 사이에 마찰이 발생하지 않는다. 따라서 상기 입력 샤프트 어셈블리 및 출력 샤프트 어셈블리에 대한 마찰 저항이 현저하게 감소된다.

본 발명의 이러한 특징들 및 장점들, 기타 특징들 및 장점들이 다음과 같은 첨부 도면을 참조하여 이하의 본 발명의 바람직한 실시예의 상세한 설명으로부터 명백해질 것이다:
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공 기구의 회전-전달 장치가 조립된 사시도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공 기구의 회전-전달 장치의 부분 확대 사시도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공 기구의 회전-전달 장치에서 진공 챔버를 구비한 중공 부재의 수직 단면도이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공 기구의 회전-전달 장치의 단면도이다.

도 1, 도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공 기구의 회전-전달 장치는 중공 부재(1)의 챔버-한정 벽(11) 상에 장착되어, 중공 부재(1) 내의 피회전 부품(도시되지 않음)의 회전을 구동하게 된다. 상기 중공 부재(1)는 진공 챔버(10)를 한정한다. 상기 챔버-한정 벽(11)은 그 내부를 관통하여 상기 진공 챔버(10)와 공간적으로 통하도록 형성되는 관통홀(111)을 구비한다. 상기 회전-전달 장치는 스페이서 부재(2), 입력 기구(3) 및 출력 기구(4)를 포함한다.

상기 스페이서 부재는 상기 챔버-한정 벽(11)으로부터 이격되어 그 상부에 배치되는 원형의 스페이서 단부 벽(Space End Wall: 21), 상기 스페이서 단부 벽(21)의 주위로부터 상기 챔버-한정 벽(11) 쪽으로 연장되는 스페이서 서라운딩 벽(Space Surrounding Wall: 22), 및 상기 스페이서 서라운딩 벽(22)의 하부 단부로부터 방사 방향 및 외부 방향으로 연장되는 환형(Annular)의 스페이서 베이스 벽(Space Base Wall: 23)을 포함한다. 상기 스페이서 베이스 벽(23)은 볼트에 의해 상기 챔버-한정 벽(11)에 고정되도록 연결되고, 상기 스페이서 단부 벽(21) 및 상기 스페이서 서라운딩 벽(22)과 연동하여 하부쪽으로 개구(opening)의 수납공간(20)을 한정한다. 상기 스페이서 단부 벽(21)은 상기 스페이서 서라운딩 벽(22)과 밀봉되도록 연결됨으로써, 상기 수납공간(20) 및 상기 진공 챔버(10)의 어셈블리 내의 유체(Fluid)가 대기와 반응하지 않게 된다.

입력 기구(3)는 입력 샤프트 어셈블리(5), 고정 링(31), 외부 쉘(Outer Shell: 32), 4개의 제1 자석 유닛들(33), 4개의 보조 자석 유닛들(34) 및 8개의 고정 플레이트들(35)을 포함한다.

도 4를 추가로 참조하면, 상기 입력 샤프트 어셈블리(5)는 상기 스페이서 부재(2)를 에워싸는 입력 몸체(51), 및 상기 입력 몸체(51)의 상부 단부(Top End)로부터 상부쪽으로 연장되는 입력 샤프트(52)를 포함한다. 상기 입력 몸체(51)는 상기 스페이서 단부 벽(21) 상부에 배치되는 몸체 단부 벽(511), 및 상기 몸체 단부 벽(511)의 주위로부터 상기 챔버-한정 벽(11) 쪽으로 연장되는 몸체 서라운딩 벽(512)을 포함한다. 상기 몸체 서라운딩 벽(512)은 상기 스페이서 서라운딩 벽(22) 주위로부터 이격되도록 배치되고, 상기 몸체 서라운딩 벽(512)의 축을 따라 연장되는 8개의 각도 등거리(Angularly Equidistant)의 제1 돌기부들(513)을 구비함으로써, 상기 제1 돌기부들(513) 중에서 2개의 인접한 돌기부들 사이에 각각 배치되는 8개의 제1 수납홈들(514)을 한정하게 된다. 이와 같이, 상기 제1 돌기부들(513) 및 상기 제1 수납홈들(514)은 수직으로 배치된다. 상기 제1 돌기부들(513) 각각은 상기 제1 수납홈들(514) 중에서 2개의 인접한 수납홈들 내에 개별적으로 연장되는 2개의 제1 리브들(Ribs: 515)을 구비한다.

입력 샤프트(52)는 키홈(Spline Groove)으로 형성되는 외부 표면을 구비함으로써, 회전하는 회전 구동 유닛(도시되지 않음)에 의해 구동된다. 상기 고정 링(31)은 상기 몸체 서라운딩 벽(512)의 하부 단부에 볼트에 의해 고정되도록 연결되고, 상기 제1 수납홈들(514)의 하측 단부들을 밀봉한다.

상기 외부 쉘(32)은 상기 몸체 단부 벽(511) 상부에 배치되는 쉘 단부 벽(321), 및 상기 쉘 단부 벽(321)으로부터 상기 챔버-한정 벽(11) 쪽으로 연장되고 상기 몸체 서라운딩 벽(512)을 에워싸는 쉘 서라운딩 벽(322)을 포함한다. 상기 쉘 단부 벽(321)은 상기 몸체 단부 벽(511)에 볼트에 의해 고정되도록 연결된다.

상기 제1 자석 유닛들(33) 및 상기 보조 자석 유닛들(34)은 각각 상기 제1 수납홈들(514) 내에 교대로 정렬된다. 즉, 상기 보조 자석 유닛들(34) 각각은 상기 제1 자석 유닛들(33) 중에서 2개의 인접하는 자석 유닛들 사이에 배치된다.

상기 제1 자석 유닛들(33) 각각은 서로에 대해 인접하는 5개의 적층된 제1 자석들(331)을 포함한다. 본 발명의 실시예에서, 제1 자석들(331) 각각은 영구자석이며, 2개의 인접하는 제1 리브들(515) 중에서 두 개의 대응하는 리브들을 구속하는 두 개의 제1 슬롯들(332)을 구비한다. 이와 같이, 상기 제1 자석 유닛들(33) 각각의 제1 자석들(331)은 대응하는 제1 수납홈들(514) 내에 배치된다. 상기 제1 자석들(331) 각각은 상기 입력 샤프트(52)의 방사 방향을 따라 서로로부터 이격된 제1 자극(N) 및 제2 자극(S)을 구비한다. 상기 제1 자석들(331) 각각의 제1 및 제2 자극들(N, S)은 상기 제1 자석들(331) 중에서 임의의 인접하는 자석들의 제2 및 제1 자극들(S, N)과 개별적으로 정렬된다.

상기 보조 자석 유닛들(34) 각각은 5개의 적층된 보조 자석들(341)을 포함하며, 상기 보조 자석들(341)은 상기 제1 자석들(331)의 구조와 유사하며, 그 각각은 2개의 보조 슬롯들(342)을 구비한다. 상기 보조 자석들(341) 각각의 제1 및 제2 자극들(N, S)은 상기 제1 자석들(331) 중에서 임의의 인접 자석의 제2 및 제1 자극(S, N)과 개별적으로 정렬된다.

상기 고정 플레이트들(35)은 상기 몸체 단부 벽(511)의 외부 표면에 고정되도록 연결되고, 상기 제1 수납 홀들(332) 내에 각각 배치되고, 상기 제1 자석 유닛들(33) 및 상기 보조 자석 유닛들(34) 상부에 개별적으로 위치함으로써, 상기 제1 자석 유닛들(33) 및 상기 보조 자석 유닛들(34)은 상기 고정 링(31) 및 상기 고정 플레이트들(35) 사이에 한정된다.

출력 기구(4)는 출력 샤프트 어셈블리(6), 제1 고정 부재(41), 제2 고정 부재(42) 및 4개의 제2 자석 유닛들(43)을 포함한다. 상기 출력 샤프트 어셈블리(6)는 상기 수납 공간내로 연장되는 출력 몸체(61), 및 상기 출력 몸체(61)의 하부 단부로부터 아래쪽으로 연장되는 출력 샤프트(62)를 포함한다. 상기 출력 샤프트(62)는 상기 관통홀(111)을 통해 상기 진공 챔버(10)내로 연장된다.

상기 출력 몸체(61)는 4개의 각도 등거리(Angularly Equidistant)인 제2 돌기부들(611)을 포함함으로써, 상기 제2 돌기부들(611)의 2개의 인접하는 돌기부들 사이에 각각 배치되는 4개의 제2 수납홈들(612)을 한정하게 된다. 상기 제2 돌기부들(611) 및 제2 수납홈들(612)은 수직으로 배치된다. 상기 제2 돌기부들(611) 각각은 상기 제2 수납홈들(612) 중에서 2개의 인접하는 수납홈들 내에 개별적으로 연장되는 2개의 제2 리브들(613)을 구비한다. 상기 제1 고정 부재(41)는 환형(Annular)이고, 상기 출력 샤프트(612) 주변에 슬리브 고정되며, 상기 제2 자석 유닛들(43)을 그 상부에 지지하는 제2 돌기부들(611)의 하부 표면에 고정되도록 연결된다. 상기 제2 고정 부재(42)는 상기 출력 몸체(61)의 상부 표면상에 고정되도록 배치되며, 상기 제1 고정 부재(41)에 대해 제2 자석 유닛들(43)을 누르게 된다. 상기 제2 출력 샤프트(62)는 키홈(Spline Groove)으로 형성되는 외부 표면을 구비함으로써, 상기 피회전 부품이 회전하는 출력 샤프트(62)에 의해 구동될 수 있는 방식으로, 상기 중공 부재(1) 내에 피회전 부품과 연결된다.

상기 제2 자석 유닛들(43) 각각은 서로에 대해 인접하는 5개의 적층된 제2 자석들(431)을 포함한다. 상기 제2 자석들(431) 각각은 상기 제2 리브들(613) 중에서 2개의 인접하는 리브들을 개별적으로 구속하는 2개의 제2 슬롯들(432)을 구비함으로써, 대응하는 제2 수납 홈(612) 내에 자리잡을 수 있다. 상기 제2 자석 유닛들(43)은 상기 제1 자석 유닛들(33)과 개별적으로 정렬된다. 제2 자석들(431) 각각은 제1 자극(N) 및 제2 자극(S)을 구비하며, 대응하는 제1 자석(331)의 방사 내부 단부(Radial inner end)가 제2 자극(S)을 구비하는 경우, 그 방사 외부 단부(Radial outer end)가 제1 자극(N)을 갖고, 대응하는 제1 자석(331)의 방사 내부 단부가 제1 자극(N)을 구비하는 경우 그 방사 외부 단부가 제2 자극(S)을 갖는다. 이와 같이, 자기 인력(Magnetic Attractive Force)이 상기 인접하는 제1 및 제2 자석들(331, 431) 쌍(Pair) 사이에 발생된다.

상기 입력 기구(3)의 어셈블리가 요구되는 경우, 상기 제1 고정 링(31)은 상기 몸체 서라운딩 벽(512)에 고정되도록 연결된다. 후속적으로, 상기 제1 자석들(331) 및 상기 보조 자석들(341)은 제1 수납홈들(314) 내에 삽입되고, 상기 고정 플레이트들(35)은 상기 몸체 단부 벽(511)에 고정되도록 연결된다. 상기 출력 기구(4)의 어셈블리가 요구되는 경우, 상기 제1 고정 부재(41)는 상기 제2 돌기부들(611)에 고정되도록 연결된다. 후속적으로, 상기 제2 자석들(431)은 상기 제2 수납홈들(612) 내에 삽입되고, 상기 제2 고정 부재(42)는 상기 출력 몸체(61)에 고정되도록 연결된다.

본 발명의 실시예에 따른 회전-전달 장치가 중공 부재(1) 내에 조립되는 경우, 상기 스페이서 부재(2)가 밀봉 방식으로 상기 입력 기구(3) 및 상기 출력 기구(4) 사이에 배치되고, 상기 외부 쉘(32)은 상기 쉘 단부 벽(321)을 관통하여 상부 방향으로 연장되는 상기 입력 몸체(51) 및 상기 입력 샤프트(52)를 에워싼다.

본 발명의 실시예에 따른 회전-전달 장치를 사용하는 동안, 회전 구동 유닛이 구동되어 그 중심축에 대해 입력 샤프트(52)를 회전시키게 된다. 상기 제1 자석 유닛들(33) 및 상기 제2 자석 유닛들(43) 사이에서 발생하는 자기 인력 때문에, 상기 입력 샤프트(52)의 회전이 상기 입력 몸체(51) 및 상기 출력 몸체(61)를 경유하여 상기 출력 샤프트(62)에 전달된다.

상기 제2 자석 유닛들(43)은 상기 출력 샤프트(62)의 방사 방향을 따라 대응하는 제1 자석 유닛들(33)과 정렬되고, 상기 보조 자석 유닛들(34)의 2개의 인접하는 보조 자석들 사이에 배치되는 점에 주목해야 된다. 이와 같이, 방사상 외부 방향으로 작용하는 자기 인력(Magnetic Attractive Force) 그리고 상기 방사상 외부 방향으로 작용하는 자기 인력의 측면에 작용하는 2개의 방사상 내부 방향으로 작용하는 자기 척력(Magnetic Repulsive Force)이 상기 제2 자석들(431) 각각에 인가됨으로써, 이에 의해 상기 출력 샤프트(6)의 부드러운 회전이 발생될 수 있다. 실질적으로, 상기 보조 자석 유닛들(34)이 반드시 필요한 것은 아니다.

대안적으로, 상기 제1 자석(331), 보조 자석(341) 및 제2 자석(431)이 충분한 자력(Magnetic Force)을 제공할 수 있다면, 상기 제1 자석 유닛들(33) 각각은 단지 하나의 제1 자석(331)을 포함하고, 상기 보조 자석 유닛들(34) 각각은 단지 하나의 보조 자석(341)을 포함하며, 상기 제2 자석 유닛들(43) 각각은 단지 하나의 제2 자석(431)을 포함할 수 있다.

전술한 바와 같이, 개선된 밀봉 부재(Airtight Seal)가 상기 스페이서 부재(2)에 의해 상기 진공 챔버(10) 및 대기(Atmosphere) 사이에 설치됨으로써, 본 발명의 실시예에 따른 회전-전달 장치는 약 10^-7토르(Torr)의 진공 수준을 갖는 고진공 시스템에 적합할 수 있다. 게다가, 상기 제1, 보조 및 제2 자석 유닛들(33, 34, 43)을 사용함으로써, 상기 입력 샤프트 어셈블리(5), 상기 출력 샤프트 어셈블리(6) 및 상기 스페이서 부재(2) 중에 접촉이 발생하지 않는 방식으로, 회전이 상기 입력 샤프트 어셈블리(5)로부터 상기 출력 샤프트 어셈블리(6)에게 전달될 수 있다. 결국, 상기 입력 및 출력 샤프트(52, 62)의 회전에 대한 마찰 저항들(Frictional Resistances) 및 이에 따른 상기 입력 샤프트 어셈블리(5), 상기 출력 샤프트 어셈블리(6) 및 상기 스페이서 부재(2)에 의한 마모가 현저하게 감소되고, 상기 회전-전달 장치의 서비스 수명을 실질적으로 향상시키는데 기여하게 된다. 또한, 상기 제1, 보조 및 제2 자석들(331, 341, 431)은 용이하게 구입할 수 있는 영구자석들로 제작되기 때문에, 본 발명의 실시예에 따른 회전-전달 장치의 제조 비용이 자성 유체(Magnetic Fluid)를 포함하는 기존의 스페이서 시스템보다 적게 소요된다. 따라서 본 발명의 목적이 달성될 수 있다.

Claims

진공 챔버(Vacuum Chamber: 10)를 한정하는 중공 부재(Hollow Member: 1)의 챔버-한정 벽(11) 상에 장착되도록 적용되는 진공 기구의 회전-전달 장치(Vacuum Mechanical Rotation-Transmitting Apparatus)에 있어서,
상기 챔버-한정 벽(11)에 고정되도록 연결되고, 스페이서 단부 벽(Space End Wall: 21) 및 상기 스페이서 단부 벽(21)의 주변으로부터 연장되는 스페이서 서라운딩 벽(Space Surrounding Wall: 22)을 포함하며, 상기 스페이서 단부 벽(21)과 연동하는 상기 스페이서 서라운딩 벽(22)은 수납공간(Accommodating Space: 20)을 한정하며, 상기 챔버-한정 벽(11)으로 연장되는 스페이서 부재(Spacer Member: 2);
상기 스페이서 부재(2) 상에 회전 가능하도록 슬리브로 연결된 입력 샤프트 어셈블리(5) 및 상기 입력 샤프트 어셈블리(5) 상에 배치되는 복수의 제1 자석 유닛들(13)을 포함하며, 상기 입력 샤프트 어셈블리(5)는 입력 몸체(Input Body: 51) 및 입력 샤프트(Input Shaft: 52)를 포함하고 상기 제1 자석 유닛들(33)이 상기 입력 몸체(51)의 상부에 장착되도록 허용하며, 상기 입력 몸체(51)가 상기 스페이서 부재(2)를 에워싸고, 상기 입력 샤프트(52)는 상기 중공 부재(1)로부터 이격된 방향으로 상기 입력 몸체(51)의 단부로터 연장되는 입력 기구(Input Mechanism: 3); 및
출력 샤프트 어셈블리(6) 및 상기 출력 샤프트 어셈블리(6) 상에 배치되는 복수의 제2 자석 유닛들(43)을 포함하고, 상기 출력 샤프트 어셈블리(6)는 출력 몸체(61) 및 출력 샤프트(62)를 포함하고 상기 챔버-제한 벽(11)을 관통하여 상기 진공 챔버(10) 내로 연장되도록 적용되며, 상기 출력 몸체(61)는 상기 스페이서 부재(2)의 수납공간(20) 내에 배치되고, 상기 출력 샤프트(62)는 상기 출력 몸체(61)로부터 연장되며, 상기 제2 자석 유닛들(43)은 상기 출력 몸체(61) 상에 장착되고, 상기 제1 자석 유닛들(33)과 개별적으로 정렬되어, 상기 입력 샤프트 어셈블리(5)가 상기 스페이서 부재(2)에 대응하여 회전할 때, 자력(Magnetic Force)이 상기 제1 자석 유닛들(33) 및 상기 제2 자석 유닛들(43) 사이에서 발생되어 상기 입력 샤프트 어셈블리(5)의 회전이 상기 출력 샤프트 어셈블리(6)에게 전달되도록 허용하는 출력 기구(Output Mechanism: 4)
를 포함하는 진공 기구의 회전-전달 장치.
제1항에 있어서,
상기 입력 몸체(51)는 상기 스페이서 단부 벽(21)에 인접하는 몸체 단부 벽(511), 및 상기 몸체 단부 벽(511)의 주변으로부터 상기 중공 부재(1) 쪽으로 연장되고 상기 스페이서 서라운딩 벽(22) 부근에 이격되어 배치되는 몸체 서라운딩 벽(512)을 포함하며; 상기 제1 자석 유닛들(33)은 서로 이격되고 상기 몸체 서라운딩 벽(512) 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 진공 기구의 회전-전달 장치.
제2항에 있어서,
상기 몸체 서라운딩 벽(512)은 각각이 각도 방향으로 이격되고 상기 몸체 서라운딩 벽(512)의 샤프트 방향으로 연장된 복수의 제1 돌기부들(Projections: 513)을 포함하고, 상기 제1 돌기부들(513) 중 이웃하는 두 개의 돌기부들 사이에 각각 배치되는 복수의 제1 수납홈들(Receiving Grooves: 514)을 한정하며; 상기 제1 돌기부들(513) 각각은 상기 제1 수납홈들(514) 중에서 이웃하는 두 개의 수납홈들 내에 각각 연장되는 두 개의 제1 리브들(Ribs: 515)을 포함하며; 상기 제1 자석 유닛들(33)은 상기 제1 수납홈들(514) 내에 각각 배치되고, 상기 제1 자석 유닛들(33) 각각은 두 개의 제1 슬롯들(332)을 각각 구비하는 복수의 제1 자석들(331)을 포함하되 상기 두 개의 제1 슬롯들(332)은 상기 제1 돌기부들(513)의 제1 리브들(515) 중에서 이웃하는 두 개의 리브들을 개별적으로 구속하는 것을 특징으로 하는 진공 기구의 회전-전달 장치.
제3항에 있어서,
상기 입력 기구(3)는, 상기 몸체 서라운딩 벽(512)의 일측 단부(End)에 배치되는 고정 링(Fixing Ring: 31) 및 상기 제1 수납홈들(514)에 개별적으로 대응하고 상기 몸체 단부 벽(511)에 연결되는 복수의 고정 플레이트들(Fixing Plates: 35)을 추가로 포함하고; 상기 제1 자석 유닛들(33)은 상기 고정 링(31) 및 상기 고정 플레이트들(35) 사이에 제한되는 것을 특징으로 하는 진공 기구의 회전-전달 장치.
제3항에 있어서,
상기 출력 몸체(61)는 각각이 각도 방향으로 이격되고 상기 몸체 서라운딩 벽(512)의 축 방향으로 연장된 복수의 제2 돌기부들(Projections: 611)을 포함하고, 상기 제2 돌기부들(611) 중 이웃하는 두 개의 돌기부들 사이에 각각 배치되는 복수의 제2 수납홈들(612)을 한정하며; 상기 제2 돌기부들(611) 각각은 상기 제2 수납홈들(612) 중에서 이웃하는 두 개의 수납홈들 내에 각각 연장되는 두 개의 제2 리브들(613)을 포함하며; 상기 제2 자석 유닛들(43)은 상기 제2 수납홈들(612) 내에 각각 배치되고, 상기 제2 자석 유닛들(43) 각각은 두 개의 제2 슬롯들(432)을 각각 구비하는 복수의 제2 자석들(431)을 포함하되 상기 두 개의 제2 슬롯들(432)은 상기 제2 돌기부들(611)의 제2 리브들(613) 중에서 이웃하는 두 개의 리브들을 개별적으로 구속하는 것을 특징으로 하는 진공 기구의 회전-전달 장치.
제1항에 있어서,
상기 제1 자석 유닛들(33) 각각은 적어도 하나의 제1 자석(331)을 포함하고, 상기 제2 자석 유닛들(43) 각각은 적어도 하나의 제2 자석(431)을 포함하며;
상기 제1 및 제2 자석(331, 431) 각각은 상기 출력 샤프트(62)의 방사 방향을 따라 서로 이격되는 제1 자극(Magnetic Pole: N) 및 제2 자극(S)을 구비하며, 상기 제1 자석 유닛들(33) 각각의 제1 자석(331)의 제1 자극 및 제2 자극(N, S) 중 하나는 상기 제2 자석 유닛들(43) 중 대응하는 자석 유닛의 상기 제2 자석의 제1 및 제2 자극(N, S)에 서로 인접하며, 그 사이에서 자기 인력(Magnetic Attractive Force)을 발생하여 상기 입력 샤프트(52)와 상기 출력 샤프트(62)의 상호-회전을 허용하는 것을 특징으로 하는 진공 기구의 회전-전달 장치.
제6항에 있어서,
상기 입력 기구(3)는 상기 제1 자석 유닛들(33) 중 두 개의 이웃하는 자석 유닛들 상에 각각 배치되고 적어도 하나의 보조 자석(341)을 각각 구비하는 복수의 보조 자석 유닛들(Auxiliary Magnetic Units: 34)을 포함하고; 상기 보조 자석 유닛들(34) 각각의 보조 자석(341)은 상기 출력 샤프트(62)의 방사 방향을 따라 서로 이격된 제1 자극(N) 및 제2 자극(S)을 가지며; 상기 보조 자석 유닛들(34) 각각의 보조 자석(341)의 제1 및 제2 자극(N, S) 중 하나는 상기 제2 자석 유닛(43) 중 대응하는 자석 유닛의 제2 자석의 제1 및 제2 자극(N, S) 중 한 자극에 인접하여, 그 사이에 자기 척력(Magnetic Repulsive Force)을 발생하는 것을 특징으로 하는 진공 기구의 회전-전달 장치.
제1항에 있어서,
상기 제1 자석 유닛들(33)은 복수의 제1 자석들(331)을 포함하고, 복수의 제1 자석들(331)은 서로에 대해 인접하고, 상기 출력 샤프트(62)의 방사 방향을 따라 서로 이격된 제1 자극(N) 및 제2 자극(S)을 각각 구비하며; 상기 제1 자석들(331) 각각의 제1 자극(N) 및 제2 자극(S)은 상기 제1 자석들(331) 중 임의의 이웃하는 자석의 제2 자극(S) 및 제1 자극(N)과 개별적으로 정렬되며; 상기 제2 자석 유닛들(43) 각각은 복수의 제2 자석들(431)을 포함하고, 복수의 제2 자석들(431)은 서로에 대해 인접하고, 상기 출력 샤프트(62)의 방사 방향을 따라 서로 이격된 제1 자극(N) 및 제2 자극(S)을 구비하며, 상기 제2 자석들(43) 각각의 제1 자극(N) 및 제2 자극(S)은 상기 제2 자석들(431) 중 임의의 이웃하는 자석의 제2 자극(S) 및 제1 자극(N)과 개별적으로 정렬되고; 상기 제1 자석들(331) 각각의 제1 및 제2 자극(N, S)의 한 자극은 상기 제2 자석들(431)의 대응하는 자석의 제1 및 제2 자극(N, S)에 서로 인접하여, 그 사이에 자기 인력을 발생하는 것을 특징으로 하는 진공 기구의 회전-전달 장치.
제2항에 있어서,
상기 입력 기구(3)는 외부 쉘(Outer Shell: 32)을 추가로 포함하며, 상기 외부 쉘(32)은 상기 몸체 단부 벽(511)에 고정되도록 연결되는 쉘 단부 벽(321) 및 상기 쉘 단부 벽(321)로부터 상기 중공 부재(1) 쪽으로 연장되고 상기 몸체 서라운딩 벽(512)을 에워싸는 쉘 서라운딩 벽(322)을 포함하고; 상기 입력 샤프트(52)는 상기 쉘 단부 벽(321)을 관통하여 연장되고, 상기 입력 샤프트(52)는 상기 외부 쉘(32)의 외부 방향에 배치되는 부분을 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 기구의 회전-전달 장치.