KR20110020878A - 기판 코팅용 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 증기 분배기(3)에 의해 기판(4)을 코팅하기 위한 장치에 관한 것이다. 이러한 증기 분배기(3)는 유입구(5)를 경유하여 기화기 도가니(7)에 연결된다. 하나 이상의 밸브(13)는 도가니(7)와 유입구(5) 사이에 배치된다. 기화기 도가니(7)는 진공 밸브(11)에 의해 비워지거나 채워질 수 있는 챔버(12) 내에 위치된다.

Description

기판 코팅용 장치 {ARRANGEMENT FOR COATING A SUBSTRATE}
본 발명은 청구항 1의 전제부에 따른 기판을 코팅하기 위한 장치에 관한 것이다.
황화카드뮴 또는 아연 황화카드뮴으로 또는 OLED 물질로 기판을 코팅하기 위한 장치가 이미 공개되어 있다(US 4 401 052, DE 102 24 908 A1, EP 1 357 200 A1). 여기서, 기판이 코팅되는 재료는 기화기에서 기화된다.
그러나, 이러한 장치로, 알칼리-금속 및/또는 알칼리성 토-금속에 속하는 재료가 기화되지 않는데, 이는 이러한 금속들이 고 반응성이고 유리 및 물로 화합물을 형성하기 때문이다. 알칼리-금속 및 알칼리성 토-금속 중에서, 리튬은 특히 흥미로운데, 이는 리튬은 단지 매우 느리게 방전하는 배터리 및 어큐뮬레이터의 제조에 적절하기 때문이다.
현대의 리튬 배터리는 먼저 1991년에 마켓에 나왔으며, 리튬 배터리로, Li+ 이온은 흑연(LixC6) 아노드와 층형 산화물(Li1 - XTMO2) 캐쏘오드 사이에서 교환되며, TM은 변이 금속-코발트, 니켈 또는 때때로 망간이다. 3.8 V의 평균 전압에서 에너지 밀도는 약 180 Whkg-1이며, 이는 상당히 오래된 납-산 배터리의 약 5 배이다.
Li+ 배터리의 분야에서 가장 최근의 개선예는 나노재료의 이용을 포함한다. 더욱이, 산소 캐쏘오드 및 리튬 아노드를 포함하는 리튬-산소 배터리가 투자되었다(엠. 아만드(M. Armand) 및 제이.-엠. 태라스콘(J.-M. Tarascon: 향상된 배터리 제조(Building Better Batteries, 네이쳐(Nature), 제451권, 2008년 2월 7일, 652 내지 657 쪽).
리튬 배터리는 또한 얇은-층 배터리(WO 02/099910 A1, 1쪽 17 내지 20 줄)로서 제조된다. 얇은 층의 적용은 스퍼터링에 의해 발생된다. 이온, 예를 들면 리튬을 스퍼터링하는 동안, 리튬 오르토인산염이 기판 상에 증착된다. 반응 스퍼터링을 통하여 LixPyONz의 전해질 층이 도포될 수 있다.
또한 기판상으로 PECVD(=플라즈마 강화 화학물 증착)에 의해 Si02 및 리튬의 얇은 층을 도포하는 것이 공개된다(US 6 177 142 B1).
Li-Co-O로 기판의 코팅이 추가로 공개되며, 전자 비임 기화기가 이용된다(JP 2003-234100).
기판 상에 리튬 또는 리튬 합금의 얇은 층의 제조를 위한 또 다른 공지된 장치에서, 도가니에 위치된 리튬이 진공 하에서 기화된다(JP 2002-206160).
마지막으로, 진공 또는 감압 상태가 형성되고 승화 또는 증발된 필름 형성 재료가 기판 상의 필름으로 형성되는 필름 형성 챔버를 가지는 필름 형성 장치에서 이용하기 위한 필름 형성 소스가 공개된다(EP 1 584 705 A). 이러한 필름 형성 소스는 기판의 필름 형성 챔버 내에 배치되는 방출 유출구. 필름 형성 챔버 외부에 배치되는 재료 수용 섹션을 포함하며, 필름 형성 재료를 포함하는 재료 컨테이너를 포함한다. 방출 유출구와 재료 수용 섹션을 기밀방식으로 소통하는 방출 통로는 또한 필름 형성 소스에 제공된다.
본 발명은 기판을 코팅하기 위한 장치를 제공하는 문제점을 해결하기 위한 것으로, 코팅 재료가 또한 화학적 반응성 알칼리-금속 및 알칼리성 토-금속의 그룹의 부재가 될 수 있다.
이러한 문제점은 청구항 1의 특징부에 따라 해결된다.
본 발명에 의한 장점은 특히 증발기 도가니가 위험 없이 보충 또는 교환될 수 있는 것을 포함한다. 이는 증발되는 고 반응성 재료, 예를 들면 리튬에 대해 특히 중요한데, 이는 고 반응성 재료가 일반적인 대기, 산소 또는 물과 접촉하지 않거나 노출되지 않아야 하기 때문이다.
본 발명은 결론적으로 증기 분배기에 의한 기판의 코팅에 대한 장치에 관련된다. 이러한 증기 분배기는 공급 시스템을 경유하여 기화기 도가니와 연결된다. 도가니와 공급 시스템 사이에 하나 이상의 밸브가 배치된다. 기화기 도가니는 가스 공급원 및 진공 펌프에 의해 진공 밸브를 경유하여 비워지거나 채워질 수 있는(flood) 챔버 내에 위치된다.
본 발명의 실시예가 도면에 도시되고 아래에서 더 상세하게 설명된다.
도 1은 폐쇄되는 개별 밸브를 구비한 증기 공급 시스템이며,
도 2는 개방되는 개별 밸브를 구비한 PID 제어기를 구비한 도 1에 따른 증기 공급 시스템이며,
도 3은 두 개의 개별 밸브들을 구비한 증기 공급 시스템이며,
도 4는 개별 밸브가 폐쇄되고 기화기 도가니가 측방향으로 시프트될 수 있는, 도 3에 따른 증기 공급 시스템이다.
도 1은 진공 챔버용 증기 공급 시스템을 보여준다. 진공 챔버의 챔버 벽(2) 만이 보여진다. DE 102 24 908 A1의 도 1 내지 도 3에서 이 같은 진공 챔버가 상세히 도시된다.
증기 공급 시스템(1)은 수직으로 배향된 기화기 튜브(3)를 포함하고, 기화기 튜브 반대쪽에는 코팅되는 기판(4)이 배치된다. 수 개의 선형으로 수직하게 배치되는 기화기 노즐이 제공되는 기화기 튜브(3)는 기화기 튜브(3)로 직각으로 지향되는 유입 튜브(5)와 연결된다. 이러한 기화기 튜브(3)는 결론적으로 증기 분배기로서 기능한다. 기화기 튜브(3)에 대해 평행하게 그리고 유입 튜브(5)에 수직하게 도가니 하우징(8)에 위치되는 원통형 기화기 도가니(7)를 제공한다. 반응성 재료, 예를 들면 리튬이 기화되는 경우, 도가니(7)는 예를 들면 스테인레스 강, 리튬 또는 몰리브덴을 포함한다. 기화기 도가니(7) 아래 피스톤(10)을 구비한 실린더(9)가 위치된다. 도 1에서 하부 위치에 있는 기화기 도가니(7)는 피스톤(10)에 의해 상승 및 하강될 수 있다. 피스톤(10)에 대해 측방향으로 진공 밸브(11)가 제공되고, 진공 밸브를 경유하여 도가니 챔버(12)는 비워지거나 예를 들면 보호 가스로 채워진다(flood).
그러나, 도가니(7)만이 반응성 재료에 노출되는 것이 아니기 때문에, 전체 증기 공급 시스템이 이러한 반응성 재료에 대해 불활성인 재료로 이루어져야 한다는 것이 명백하다.
이러한 도가니 챔버(12)에서 도가니 챔버(12)의 안정화에 기여하는 선형 가이드(31)가 위치된다. 이러한 선형 가이드(31) 상에서 기화기 도가니(7)에 연결되는 가이드 요소(32)를 배치한다. 선형 가이드(31)를 따라 가이드 요소(32)를 이동시킴으로써 기화기 도가니(7)는 또한 선형 가이드(31)를 따라, 즉 화살표(33 및 34)의 방향으로 이동된다.
페쇄 상태로 도 1에 도시된, 개별 밸브(13)의 도움으로, 도가니(7)와 함께 도가니 챔버(12)는 유입 튜브(5)로부터 분리될 수 있다. 이러한 개별 밸브(13)는 스페이서 링(25) 상에 배치된다. 유입 튜브(5)는 하향 연결 피팅(14)을 포함한다. 도 1에서 가열 재킷(15)을 추가로 볼 수 있다. 연결 피팅(14)은 피스톤(17)의 단부 피스(16)에 의해 폐쇄될 수 있다. 연결 피팅(14)은 기화기 도가니(7)의 상부 부분(18)이 결합될 수 있는 커랏-형(calotte-shaped) 부분(19)을 더 포함한다. 피스톤(17)은 실린더로 연결되며 실린더에 의해 피스톤(17)이 이동될 수 있다. 실린더(35)는 공기압으로 작동되는 실린더일 수 있다.
도가니 챔버(12) 내에 피스톤(10) 상에 배치되는 홀딩 장치(36)가 있는 것이 추가로 명백하다. 열전쌍(44)이 홀딩 장치(36)에 대해 나선형태로 진공-타이트 동력 공급부(vacuum-tight power feedthrough; 50)로부터 감겨져서 도가니(7)의 바닥에 위치된 만입부(indentation; 51)에서 종결된다. 열전쌍(44)에 의해, 기화기 도가니(7)의 바닥에서 온도가 측정될 수 있다. 한편으로 동력 공급부(50)에 체결되고 다른 한편으로 홀딩 장치(36)에 체결되는 열전쌍(44)의 나산형 권선부는 하부로부터 상부 위치로 도가니(7)의 필요한 상승을 허용한다. 이는 도 2에 도시된다. 이와 함께 열전쌍(44)은 피스톤(10)에 의해 각각 화살표(33 및 34)의 방향으로 이동될 수 있다.
도 1에서 또한 기화기 도가니(7) 및 기화기 챔버(12)를 둘러싸는 글로브박스(40)의 벽(6)이 명백하다. 이에 의해 보호 가스 하에서 기화기 도가니(7)를 교환하거나 기화기 도가니를 재료로 채우는 것이 명백하게 된다. 보호 가스는 예를 들면 아르곤이 기능할 수 있다. 도 1은 단지 세그먼트 방식(segment-wise) 및 개략적으로만 글로브박스(40)를 보여준다.
도 1은 기화기 도가니(7) 내의 압력을 측정하기 위한 압력 게이지 헤드(38)를 추가로 보여준다. 기화기 도가니(7) 내의 압력이 원하는 값으로 도달할 때, 개별 밸브(13)는 도 1에 도시되지 않은 제어부에 의해 개방 또는 폐쇄된다.
도 1에서 단지 세그먼트로 도시된 냉각 수단 포트(37)가 명백하다. 이러한 냉각 수단 포트(37)는 도 1에 도시되지 않은 냉각 수단, 예를 들면, H20에 대한 공급 유닛으로 연결된다. 필요한 경우, 하우징(41)은 이러한 냉각 수단에 의해 냉각된다. 냉각 수단 포트(37)는 요소, 예를 들면 도 1에 도시되지 않은 고무의 배관을 경유하여 공급 유닛으로 연결될 수 있다. 냉각 수단이 H20인 경우, 공급 유닛은 종래의 물 연결부일 수 있다.
도 2는 도 1과 동일한 장치를 보여주지만, 기화기 도가니(7)가 특히 기화기 도가니(7)의 최상 부분(18)이 연결 피팅(14)의 최하 부분(19) 내로 삽입될 때까지 피스톤(10)에 의해 상승된다. 기화기 도가니(7)의 상부 부분(18)은 여기서 구형으로 형성되지만 연결 피팅(14)의 하부 부분은 커랏(calotte) 형태로 실시된다. 개별 밸브(13)는 여기서 개방된다.
기화기 도가니(7)를 둘러싸는 도가니 가열 시스템이 "20"으로 표시된다. 이러한 도가니 가열 시스템(20)은 PID 제어기(21)와 연결되고 이어서 PID 제어기는 비율 취득부(rate acquisition; 22)와 연결된다. 이러한 비율 취득부(22)에는 측정 기구(23), 예를 들면 진동 크리스탈 또는 방출 분광기가 제공될 수 있다. 이러한 측정 기구(23)는 기화기 튜브(3)로부터 기판(4)으로 도달하는 재료의 기화율을 얻는다. 이 때문에 기화기 튜브(3)에서 기판(4) 상의 코팅 비율에 비례하는 비율 신호를 발생하는 특별한 노즐(24)이 제공된다. 이러한 노즐(24)을 통하여 측정 기구(23) 상으로 증기가 흐른다. 이러한 방식으로, 도가니 가열 시스템(20)은 코팅율의 함수로서 조절될 수 있다. PID 제어기(21) 상에 또한 공칭 밸브를 설정할 수 있다. PID 제어기 대신, 다른 제어기가 또한 제공될 수 있다. PID 제어기는 PD 제어기 및 I 제어기의 병렬 회로로 이루어지는 일반적인 기본 타입의 제어기를 포함하는데,장애의 초기 감지, 조절 편차의 신속한 수정 및 제거하는 제어기의 특성이 조합된다. 조절된 공정이 부동 시간을 포함하는 경우, PID 제어기는 이 제어기의 D 부품 때문에 이용될 수 없다.
수직하게 선형으로 배치되는 홀을 통하여 기화기 튜브(3)로부터 배출되는 증기가 화살표(26)에 의해 표시된다. 홀들은 고 기화율 및 균일한 코팅이 얻어지도록 배치된다. 예를 들면, 홀들은 1 mm 내지 4 mm의 직경 및 5 mm 내지 30 mm의 거리를 가진다. 기판(9)의 가장자리 구역에서 감소되는 층 두께를 보상하도록, 홀 또는 노즐 보어는 여기서 서로 더 근접하게 위치될 수 있으며 예를 들면 단지 서로로부터 절반의 거리를 가진다. 원통형 홀 대신, 긴 홀 또는 다른 형태의 개구가 또한 생각될 수 있다.
도 3은 도 1과 동일한 장치를 보여주지만, 모두 폐쇄되는 두 개의 개별 밸브(13 및 27)를 구비한다. 두 개의 개별 밸브(13 및 27)는 보호 가스 하에서 기화기 도가니(7)의 더 향상된 교체를 허용한다. 상부 개별 밸브(13)는 대기 압력(29)으로부터 코팅 챔버(28)를 분리하며, 하부 개별 밸브(27)는 대기 압력(29)으로부터, 보호 가스로 채워질 수 있는, 도가니 챔버(8)를 분리한다. 이러한 개별 밸브(27)는 스페이서 링(25) 상에 배치된다.
개별 밸브(27)의 하우징은 하우징이 진공 타이트(vacuum tight)되도록 실시되어야 하지만, 밸브의 게이트는 단지 가스에 대한 확산-타이트(diffusion-tight)될 것이 요구된다. 대기 압력으로 도가니(7)를 채운 후, 대기 공기에 대한 압력 차이가 존재하지 않기 때문에, 밸브(27)의 게이트는 어떠한 진공력도 흡수하는 것이 요구되지 않는다.
도 3에서, 기화기 도가니(7)는 하부 위치에 위치한다. 진공 밸브(11)를 경유하여, 도가니 챔버(12)는 개별적으로 비워지거나 예를 들면 보호 가스로 채워질 수 있다. 가스 공급원 및 진공 펌프로 진공 밸브(11)의 연결이 도시되지 않는다. 가스 공급원 뿐만 아니라 진공 펌프는 선택적으로 예를 들면, T-피스를 경유하여 연결될 수 있고 밸브(11)로 이어지는 가요성 주름형 배관으로 밸브가 적절히 배치될 수 있다. 도가니 챔버(12)로부터 기화기 도가니(7)를 제거하기 위해, 챔버가 채워진다. 글로브박스(40)에서 기화기 도가니(7)는 각각 다시 채워지거나 교환될 수 있다. 글로브박스(40)는 여기서 보호 가스, 예를 들면 아르곤 하에 있다.
도 4에서 기화기 도가니(7)는 레일(30)을 따라 기화기 챔버로부터 원격의 위치로 이동한다. 이는 화살표(39)의 방향으로 기화기 챔버(12)의 이동에 의해 발생한다. 바람직하게는 이러한 위치에서 기화기 도가니(7)가 교환되거나 다시 채워진다. 상부 개별 밸브(13)는 기화기 챔버가 진공 하에 계속 있도록 여기에서 폐쇄된다. 이에 의해 진공은 손상되지 않는다.
도가니(7)의 교환 또는 또한 도가니의 채움은 개방된 밸브(27)로만 가능하다는 것이 이해된다. 기화기 도가니(7)는 따라서 보호 가스로 채워진 글로브박스(40)에 의해 둘러싸여야 한다.
도 4에 도시된 바와 같이, 기화기 도가니(7)는 하부 위치에 위치된다. 진공 밸브(11)를 경유하여 도가니 챔버(12)는 진공 챔버와 관계없이 비워지거나 채워질 수 있다. 도가니 챔버(12)와 함께, 기화기 도가니(7)는 글로브박스(40) 내로 도입된다. 여기서 기화기 도가니(7)는 제거되어 새로운 기화기 도가니로 교체되거나 다시 채워진다.
기화 재료로 도가니(7)가 채워진 후, 개별 밸브(27)는 폐쇄되고 도가니 챔버(12)가 비워진다. 후속적으로 도가니 챔버(12) 및 기화기 도가니(7)는 화살표(42)의 방향으로 이동함으로써 후방 위치로 다시 레일(30)을 따라 이동한다. 개별 밸브(13 및 27)가 서로 진공-타이트로 연결되고 도가니 챔버(12)가 비워진 후, 개별 밸브(13, 27)가 개방될 수 있다. 기화기 도가니(7)는 후속적으로 화살표(33)의 방향으로 이동에 의해 상부 위치로 이동된다.
도시되지 않는, 추가 실시예에 따라, 글로브박스(40)는 코팅 설비로부터 이격하여 위치될 수 있다. 이러한 경우 보호 가스 하의 도가니(7)는 스페이서 링(25) 및 적절한, 또한 도시되지 않은, 록킹 메카니즘과 함께 도가니 챔버로부터, 즉 레일(30)로부터 상승된 도 4에 도시된 풀-아웃 위치에서 폐쇄된 밸브(27)로 제거된다. 이러한 록킹 메카니즘은 스페이서 링(25) 상에 또는 스페이서 링(25) 상에 체결된 플랜지 상에 고정된다. 이러한 방식으로 폐쇄 상태의 도가니(7)는 멀리 위치된 글로브박스(40)로 운반될 수 있다. 여기서 도가니(7)는 선택적으로 세정되고 다시 채워지고 밸브(27)로 폐쇄될 수 있다.
상술된 공정들은 유리 기판의 코팅을 위해 이용될 수 있다. 그러나, 상술된 공정들을 이용하여, 또한 200 mm 또는 300 mm 직경의 실리콘 웨이퍼를 코팅하는 것이 가능하며, 기판 캐리어는 하나 또는 수 개의 웨이퍼를 구비할 수 있다. 기판 캐리어는 또한 도 4에 도시되지 않는다. 캐리어 상으로 배치되는 기판 모드의 균일한 코팅을 위한 수 개의 코팅가능한 기판 높이(h)는 기화기 튜브(3)의 길이를 경유하여 적용될 수 있다.
더욱이, 합성 재료 또는 금속의 가요성 기판은 또한 EP 1 589 130 A1의 도 3에 도시된 예와 같은, 설비 내에서 작업될 수 있다. 이러한 공지된 설비에서 단지 증기 분배기 튜브 및 증기 배출 노즐은 시트(sheeting)에 대해 수평으로 그리고 평행하게 배치되는 것이 필요하다.
하나의 도가니 대신, 수 개의 도가니가 또한 EP 1 357 200 A1에서 설명된 방식으로 제공 및 서로 연결될 수 있다는 것이 이해된다.
다양한 변형 및 치환, 본 명세서에서 설명되는 실시예들에 의해 달성된 것과 실질적으로 동일한 결과를 달성하기 위한 본 발명의 용도 및 본 발명의 구성이 본 발명에서 이루어질 수 있다. 따라서, 본 발명을 공개된 전형적인 형태로 제한하려는 의도가 없다. 많은 변경, 변형 및 선택적인 구성은 청구범위에서 표현된 바와 같은 공개된 발명의 범위 및 사상 내에 있다.
1 증기 공급 시스템
2 벽
3 기화기 튜브
4 기판
5 유입 튜브
6 벽
7 기화기 도가니
8 기화기 하우징
9 실린더
10 피스톤
11 진공 밸브
12 도가니 챔버
13 개별 밸브
14 연결 피팅
15 가열 재킷
16 단부 피스
17 피스톤
18 부분
19 부분
20 도가니 가열 시스템
21 PID 제어기
22 비율 습득부
23 측정 기구
24 노즐
25 스페이서 링
26 화살표
27 개별 밸브
28 코팅 챔버
29 대기 압력
30 레일
31 선형 가이드
32 가이드 요소
33 화살표
34 화살표
35 실린더
36 홀딩 장치
37 냉각 수단 포트
38 압력 게이지 헤드
39 화살표
40 글로브 박스
41 하우징
42 화살표
44 열전쌍
50 공급부
51 만입부

Claims (23)

  1. 유입구(5)를 경유하여 기화기 도가니(7)와 연결가능한 증기 분배기(3)에 의한 기판(4)의 코팅용 장치로서,
    상기 기화기 도가니(7)와 상기 유입구(5) 사이에 하나 이상의 밸브(13)가 배치되고, 상기 기화기 도가니(7)가 진공 밸브(11)에 의해 비워지거나 벤팅될 수 있는 챔버(12) 내에 위치되는, 기판의 코팅용 장치에 있어서,
    상기 기화기 도가니(7)를 채우거나 교환하기 위해 개별 챔버(40)가 제공되는 것을 특징으로 하는,
    기판의 코팅용 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 증기 분배기(3)는 선형 증기 분배기인 것을 특징으로 하는,
    기판의 코팅용 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 기화기 도가니(7)는 상기 유입구(5)를 향하여 그리고 상기 유입구(5)로부터 멀리 이동 가능한 것을 특징으로 하는,
    기판의 코팅용 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 기화기 도가니(7)와 상기 유입구(5) 사이에 제공되는 밸브(13)가 상기 유입구(5)와 연관되는 것을 특징으로 하는,
    기판의 코팅용 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 도가니 챔버(12)와 연관되는 제 2 밸브(27)가 제공되는 것을 특징으로 하는,
    기판의 코팅용 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 2 밸브(27)는 상기 기화기 도가니(7) 및 상기 챔버(12)와 함께 이동 가능한 것을 특징으로 하는,
    기판의 코팅용 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    기화율을 측정하는 측정 기구(23)가 제공되고 상기 측정 기구(23)가 상기 기화기 도가니(7)를 가열하는 가열 시스템(20)을 조절하는 조절기(21)와 연결되는 것을 특징으로 하는,
    기판의 코팅용 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판(4)이 진공 챔버 내에 위치되는 것을 특징으로 하는,
    기판의 코팅용 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 기화기 도가니(7)는 진공 챔버 외부에 위치되는 것을 특징으로 하는,
    기판의 코팅용 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 증기 분배기(3)는 하나 이상의 노즐(24)을 포함하며, 상기 하나 이상의 노즐을 통하여 증기가 측정 기구(23) 상으로 흐르는 것을 특징으로 하는,
    기판의 코팅용 장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 증기 공급 시스템(1) 뿐만 아니라 상기 기화기 도가니(7)는 기화되는 재료와 화학적으로 반응하지 않는 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는,
    기판의 코팅용 장치.
  12. 제 6 항에 있어서,
    상기 이동은 레일(30)을 따라 발생하는 것을 특징으로 하는,
    기판의 코팅용 장치.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 챔버(40)는 글로브박스(40)인 것을 특징으로 하는,
    기판의 코팅용 장치.
  14. 제 7 항에 있어서,
    상기 조절기(21)는 PID 제어기인 것을 특징으로 하는,
    기판의 코팅용 장치.
  15. 제 2 항에 있어서,
    상기 선형 증기 분배기(3)는, 하나 이상의 라인 상에 배치되고 직경이 약 1 내지 4 mm인, 수 개의 개구를 가지는 것을 특징으로 하는,
    기판의 코팅용 장치.
  16. 제 6 항에 있어서,
    상기 개별 밸브(27)에 의해 페쇄되는 상기 기화기 도가니(7)가 상기 레일(30)로부터 제거될 수 있는 것을 특징으로 하는,
    기판의 코팅용 장치.
  17. 제 15 항에 있어서,
    상기 개구는 홀인 것을 특징으로 하는,
    기판의 코팅용 장치.
  18. 제 15 항에 있어서,
    상기 개구는 슬릿인 것을 특징으로 하는,
    기판의 코팅용 장치.
  19. 제 15 항에 있어서,
    상기 개구는 상기 증기 분배기(3)의 가장자리 구역에서 서로에 대해 더욱 근접하게 위치되는 것을 특징으로 하는,
    기판의 코팅용 장치.
  20. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판은 실리콘 또는 유리 또는 복합 재료 또는 금속으로 이루어지는 것을 특징으로 하는,
    기판의 코팅용 장치.
  21. 제 1 항 내지 제 20 항에서 청구된 장치로 코팅된 기판을 제조하기 위한 방법.
  22. 리튬 배터리의 제조를 위해 제 21 항에서 청구된 바와 같은 코팅된 기판에 대한 용도.
  23. 유입구(5)를 경유하여 기화기 도가니(7)와 연결가능한 증기 분배기(3)에 의한 기판(4)의 코팅용 장치로서,
    상기 기화기 도가니(7)와 상기 유입구(5) 사이에 하나 이상의 밸브(13)가 배치되고 상기 기화기 도가니(7)는 진공 밸브(11)에 의해 비워지거나 또는 벤팅될 수 있는 챔버 내에 위치되는, 기판의 코팅용 장치에 있어서,
    상기 도가니 챔버(12)와 연관되는 제 2 밸브(13)가 제공되는 것을 특징으로 하는,
    기판의 코팅용 장치.
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