KR20110018997A - 고밀도 탄화붕소 소결체의 제조방법 및 이에 의해 제조된 고밀도 탄화붕소 소결체 - Google Patents
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Abstract
Description
비표면적(specific surface area) | 18㎡/g |
입경(particle size) |
D 90%의 입자(particle)≤3.0㎛ D 50%의 입자(particle)≤0.8㎛ D 10%의 입자(particle)≤0.2㎛ |
불순물 레벨(impurity levels) |
최대 1.7wt%의 산소(O) 최대 0.7wt%의 질소(N) 최대 0.05wt%의 철(Fe) 최대 0.15wt%의 실리콘(Si) 최대 0.05wt%의 알루미늄(Al) 최대 0.5wt%의 다른 불순물 |
붕소(boron)의 함량 | 75.65wt% |
탄소(carbon)의 함량 | 21.2wt% |
붕소(B)와 탄소(C)의 몰비(B/C molar ratio) | 3.7 |
Claims (8)
- (a) 탄화붕소 분말을 퍼니스에 구비된 몰드에 넣고 압력을 가하여 원하는 형태의 성형체로 성형하는 단계;(b) 펌프를 작동시켜 퍼니스 내에 존재하는 불순물 가스를 배기하는 단계;(c) 상기 퍼니스의 온도를 탄화붕소 분말의 표면에 존재하는 붕소산화물이 휘발되는 온도로 상승시키는 단계;(d) 상기 붕소산화물이 휘발되는 온도에서 유지하여 붕소산화물을 휘발시키면서 상기 퍼니스 외부로 휘발된 붕소산화물을 배기하는 단계;(e) 상기 퍼니스의 온도를 붕소산화물이 휘발되는 온도보다 높고 탄화붕소의 용융 온도보다 낮은 목표하는 소결 온도로 상승시키는 단계;(f) 상기 소결 온도에서 탄화붕소 분말의 성형체에 압력을 가하면서 탄화붕소를 소결시키는 단계; 및(g) 퍼니스를 냉각하여 탄화붕소 소결체를 얻는 단계를 포함하는 고밀도 탄화붕소 소결체의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 붕소산화물이 휘발되는 온도는 1200∼1400℃이고, 상기 (c) 단계에서 퍼니스의 온도 상승 속도는 5∼50℃/min 범위로 설정하며, 상기 (d) 단계는 붕소산화물의 휘발 속도를 고려하여 10분 내지 3시간 동안 붕소산화물 이 휘발되는 온도에서 유지하는 것을 특징으로 하는 고밀도 탄화붕소 소결체의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 (d) 단계에서 붕소산화물이 휘발되는 온도에서 유지되는 동안 상기 퍼니스 내의 압력을 1×10-1∼1×10-3 Torr 범위로 일정하게 유지하는 것을 특징으로 고밀도 탄화붕소 소결체의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 (e) 단계에서 퍼니스의 온도 상승 속도가 상기 (c) 단계에서의 퍼니스의 온도 상승 속도보다 작게 하고, 상기 (e) 단계에서 퍼니스의 온도 상승 속도는 1∼30℃/min 범위로 설정하여 미처 휘발되지 않아 성형체 내부에 잔류하는 붕소산화물이 완전히 휘발될 수 있는 시간을 주면서 소결 온도로 올려줌으로써 탄화붕소 분말 성형체에 열적 스트레스가 최소로 작용되게 하는 것을 특징으로 하는 고밀도 탄화붕소 소결체의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 소결 온도는 1800∼2100℃ 이고, 상기 소결은 소결체의 미세구조 및 입자 크기를 고려하여 10분∼3시간 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 고밀도 탄화붕소 소결체의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 탄화붕소 분말의 성형체에 가해지는 압력은 20∼60MPa 범위이고, 상기 몰드의 상부와 하부에서 상하 양방향 압축을 실시하는 것을 특징으로 하는 고밀도 탄화붕소 소결체의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 몰드는 탄화붕소의 탄소 성분과 동일한 재질인 그라파이트 재질로 이루어진 몰드를 사용하는 것을 특징으로 하는 고밀도 탄화붕소 소결체의 제조방법.
- 제1항 내지 제7항 중 어느 하나의 항에 기재된 제조방법을 이용하여 제조된 탄화붕소 소결체로서 겉보기 밀도가 이론밀도의 90%보다 큰 고밀도 탄화붕소 소결체.
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KR101123392B1 (ko) * | 2009-08-19 | 2012-03-23 | 한국세라믹기술원 | 초음파를 이용한 고밀도 탄화붕소 소결체의 제조방법 |
KR102132251B1 (ko) * | 2019-01-31 | 2020-07-09 | 비씨엔씨 주식회사 | 실린더 또는 링 형태의 보론카바이드 소결체 제조방법 및 이를 이용한 플라즈마 장치용 엣지링 제조방법 |
KR102249470B1 (ko) * | 2020-05-19 | 2021-05-07 | 비씨엔씨 주식회사 | 입자성장을 억제한 고밀도 보론카바이드 세라믹 제조방법 및 제조된 세라믹 소결체 |
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KR20210092370A (ko) * | 2020-01-15 | 2021-07-26 | 비씨엔씨 주식회사 | 미립자를 첨가한 플라즈마 저항성 소재 및 그의 제조방법 |
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FR2713818B1 (fr) * | 1993-12-10 | 1996-01-12 | Commissariat Energie Atomique | Matériau composite absorbant les neutrons et son procédé de fabrication. |
KR101123392B1 (ko) * | 2009-08-19 | 2012-03-23 | 한국세라믹기술원 | 초음파를 이용한 고밀도 탄화붕소 소결체의 제조방법 |
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101123392B1 (ko) * | 2009-08-19 | 2012-03-23 | 한국세라믹기술원 | 초음파를 이용한 고밀도 탄화붕소 소결체의 제조방법 |
KR102132251B1 (ko) * | 2019-01-31 | 2020-07-09 | 비씨엔씨 주식회사 | 실린더 또는 링 형태의 보론카바이드 소결체 제조방법 및 이를 이용한 플라즈마 장치용 엣지링 제조방법 |
KR20210092370A (ko) * | 2020-01-15 | 2021-07-26 | 비씨엔씨 주식회사 | 미립자를 첨가한 플라즈마 저항성 소재 및 그의 제조방법 |
KR102261947B1 (ko) * | 2020-02-12 | 2021-06-08 | 에스케이씨솔믹스 주식회사 | 반도체 소자를 제조하는 장비에 사용되는 세라믹 부품의 제조방법 및 세라믹 부품 |
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KR20210103432A (ko) * | 2020-02-12 | 2021-08-23 | 에스케이씨솔믹스 주식회사 | 포커스링, 포커스링의 제조방법 및 반도체소자의 제조방법 |
KR102249470B1 (ko) * | 2020-05-19 | 2021-05-07 | 비씨엔씨 주식회사 | 입자성장을 억제한 고밀도 보론카바이드 세라믹 제조방법 및 제조된 세라믹 소결체 |
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