KR20110012743A - 기판 처리 장치 및 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 기판 처리 장치에 있어서:초임계 유체를 이용한 기판 건조 공정이 진행되는 공정 챔버;상기 공정 챔버에 초임계 유체를 공급하는 초임계 유체 공급부; 및상기 공정 챔버로부터 초임계 유체가 배기되는 벤트부를 포함하되;상기 벤트부는상기 공정 챔버의 압력이 공정압력을 초과하면 상기 공정 챔버 내부로 공급된 초임계 유체를 벤트시켜 상기 공정 챔버의 압력을 공정 압력으로 유지시키는 역압력조절밸브; 및상기 공정 챔버의 압력이 상기 공정압력으로 유지될 때 일시적으로 상기 공정압력보다 낮은 변동 압력으로 감압하기 위해 상기 공정 챔버 내부로 공급된 초임계 유체를 벤트시키는 슬로우 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 벤트부는상기 공정 챔버로부터 유체가 빠져나가는 벤트라인;상기 벤트라인상에 병렬로 연결되고, 상기 역압력조절밸브가 설치된 제1분기라인;상기 벤트라인상에 병렬로 연결되고, 상기 슬로우 밸브가 설치된 제2분기라인;상기 벤트라인상에 병렬로 연결되고, 공정 이상 발생시 상기 공정 챔버 내부를 신속하게 대기압으로 감압시키기 위한 패스크 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 벤트부는상기 벤트라인상에 병렬로 연결되고, 릴리프 밸브가 설치되는 제4분기라인; 및상기 공정챔버와 인접하게 상기 벤트라인에 설치되어 상기 공정 챔버의 내부 압력을 체크하는 압력센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 초임계 유체를 이용한 기판 처리 방법에 있어서:기판을 공정 챔버에 로딩하는 단계;초임계 유체를 이용하여 상기 공정 챔버를 임계압력 이상으로 조성하여 기판을 건조하는 단계를 포함하되;상기 건조 단계는상기 공정 챔버의 압력이 공정압력을 초과하면 벤트라인에 설치된 역압력조절밸브를 통해 상기 공정 챔버 내부로 공급된 초임계 유체가 벤트되는 것을 특징으 로 하는 기판 처리 방법.
- 제 4 항에 있어서,상기 건조 단계는상기 공정 챔버의 압력을 공정압력으로 유지하는 과정에서 적어도 1회 이상 상기 공정압력보다 낮은 변동압력으로 낮추는 압력변화를 주는 써어징(surging) 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
- 제 5 항에 있어서,상기 써어징 단계는상기 벤트라인에 설치된 슬로우밸브를 열어서 상기 공정 챔버 내부로 공급된 초임계 유체를 벤트시켜 상기 공정 챔버의 압력이 상기 변동압력으로 조절된 직후 상기 슬로우 밸브를 닫아 상기 공정 챔버의 압력을 상기 공정압력으로 가압하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
- 초임계 유체를 이용한 기판 처리 방법에 있어서:기판을 공정 챔버에 로딩하는 단계;초임계 유체를 이용하여 상기 공정 챔버를 임계압력 이상으로 조성하여 기판을 건조하는 단계를 포함하되;상기 건조 단계에서 상기 공정 챔버의 압력 조절은공정압력으로 가압하는 단계;상기 공정압력을 일정한 시간동안 유지하는 단계;상기 공정압력보다 낮은 변동압력으로 감압한 후 곧바로 상기 공정압력으로 가압하여 상기 공정 챔버 내부에 압력변동을 주는 써어징 단계;상기 공정압력을 일정한 시간동안 유지하는 단계; 및상기 공정압력을 대기압으로 가압하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
- 제 7 항에 있어서,상기 써어징 단계는벤트라인에 설치된 슬로우밸브를 열어서 상기 공정 챔버 내부로 공급된 초임계 유체를 벤트시켜 상기 공정 챔버의 압력이 상기 변동압력으로 조절된 직후 상기 슬로우 밸브를 닫아 상기 공정 챔버의 압력을 상기 공정압력으로 가압하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
- 제 7 항에 있어서,상기 써어징 단계는상기 공정 챔버의 압력이 공정압력으로 유지하는 동안에 적어도 1회 이상 실시하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
- 제 7 항에 있어서,상기 공정압력 유지 단계는상기 공정 챔버의 압력이 상기 공정압력을 초과하면, 벤트라인에 설치된 역압력조절밸브를 통해 상기 공정 챔버 내부로 공급된 초임계 유체를 벤트시켜 상기 공정 챔버의 압력을 공정 압력으로 유지시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
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